KR102217878B1 - Nozzle inspection device and method using light wavelength - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예들은 복수 파장의 빛을 발산하는 발광부, 상기 발산된 빛을 파장 별로 나누는 렌즈부, 상기 파장 별로 나누어진 빛은 노즐에서 토출된 액적의 표면에서 반사 또는 산란되고, 상기 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정하는 분광계 및 상기 측정된 파장 별 광도를 기초로 액적의 유무, 위치, 크기 또는 길이를 분석하는 분석부를 포함하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공한다.
이에, 본 발명의 실시예들은 빛의 파장 별 광도 값을 기초로 액적의 유무 등을 분석하므로, 액적이 매우 작더라도 액적 및 노즐의 상태를 정밀하고 정확하며 신속하게 저비용으로 측정할 수 있다.Embodiments of the present invention include a light emitting unit that emits light of a plurality of wavelengths, a lens unit that divides the emitted light by wavelength, and the light divided by wavelength is reflected or scattered from a surface of a droplet discharged from a nozzle, and the reflection or It provides a nozzle inspection apparatus using a light wavelength including a spectrometer for measuring the luminous intensity of the scattered light by wavelength and an analysis unit for analyzing the presence, location, size, or length of a droplet based on the measured luminous intensity of each wavelength.
Accordingly, the embodiments of the present invention analyze the presence or absence of a droplet based on a luminous intensity value for each wavelength of light, so that even if the droplet is very small, the state of the droplet and the nozzle can be accurately, accurately and quickly measured at low cost.

Description

빛파장을 이용한 노즐검사장치 및 방법 {NOZZLE INSPECTION DEVICE AND METHOD USING LIGHT WAVELENGTH}Nozzle inspection device and method using light wavelength {NOZZLE INSPECTION DEVICE AND METHOD USING LIGHT WAVELENGTH}

본 발명은 빛파장을 이용한 노즐검사장치 및 방법에 관한 것이며, 더욱 상세하게는, 노즐에서 토출되는 액적에서 반사되는 빛의 파장을 이용하여 노즐의 상태를 판단하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a nozzle inspection apparatus and method using a light wavelength, and more particularly, a nozzle inspection apparatus and method using a light wavelength to determine the state of a nozzle using the wavelength of light reflected from droplets discharged from the nozzle. It is about.

잉크젯 프린팅이 전자 및 디스플레이 산업의 생산라인에 적용됨에 따라, 생산효율을 극대화하기 위해 잉크액적의 토출불량 여부를 검사하기 위한 노즐검사장치의 정확성 및 신속성이 요구되고 있다.As inkjet printing is applied to production lines in the electronic and display industries, accuracy and speed of a nozzle inspection device for inspecting whether ink droplets are ejected defective in order to maximize production efficiency are required.

종래의 노즐검사장치는 주로 고배율 렌즈와 CCD(Charge Coupled Device) 카메라로 구성되고, 렌즈와 CCD 카메라를 잉크젯 프린트 헤드(이하, 헤드)의 노즐배열과 평행한 방향으로 순차적으로 이동시키면서 토출되는 잉크액적을 촬상하고 촬상된 이미지를 영상처리하여 액적의 상태를 검사하였다.The conventional nozzle inspection device is mainly composed of a high magnification lens and a CCD (Charge Coupled Device) camera, and the ink liquid discharged while sequentially moving the lens and the CCD camera in a direction parallel to the nozzle arrangement of the inkjet print head (hereinafter referred to as the head). Enemies were captured and the images were image-processed to examine the state of the droplets.

그러나, 종래의 노즐검사장치는 (i) 잉크액적을 촬상하고 촬상된 이미지를 영상처리해야 하므로 노즐을 검사하는 데에 상당한 시간이 소요되고 (ii) 이미지처리를 통해 액적의 상태를 검사하므로 정확도가 낮고 (iii) 정확도를 향상시키기 위해 고정밀 카메라가 요구되므로 비용이 증가한다.However, the conventional nozzle inspection apparatus (i) takes a considerable amount of time to inspect the nozzles because it has to capture ink droplets and image-process the captured image, and (ii) inspect the state of the droplets through image processing. It is low and (iii) high-precision cameras are required to improve accuracy, thus increasing the cost.

이러한 문제를 해결하기 위한 종래기술은 다음과 같다.The prior art for solving this problem is as follows.

한국공개특허 제10-2014-0004878호는 액정 디스펜서에서 액정을 토출하는 노즐을 검사하는 장치에 관한 것으로, 광을 출력하는 광원, 상기 광원에서 출력된 상기 광을 수평 방향으로 반사하는 제 1 반사경; 및 상기 제 1 반사경에서 반사된 상기 광이 상기 노즐에서 토출된 액정에 조사된 영상을 획득하는 검사 카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2014-0004878 relates to a device for inspecting a nozzle that discharges liquid crystal from a liquid crystal dispenser, comprising: a light source that outputs light, a first reflector that reflects the light output from the light source in a horizontal direction; And an inspection camera for obtaining an image in which the light reflected from the first reflector is irradiated onto the liquid crystal discharged from the nozzle.

그러나, 종래기술은 여전히 카메라 및 영상처리를 통해 노즐을 검사하므로 노즐을 신속하고 정확하게 검사하지 못하고, 노즐검사장치의 비용이 높다.However, since the prior art still inspects the nozzle through a camera and image processing, the nozzle cannot be quickly and accurately inspected, and the cost of the nozzle inspection device is high.

전술한 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 실시예들은 복수 파장의 빛을 발산하는 발광부, 상기 발산된 빛을 파장 별로 나누는 렌즈부, 상기 파장 별로 나누어진 빛은 노즐에서 토출된 액적의 표면에서 반사 또는 산란되고, 상기 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정하는 분광계 및 상기 측정된 파장 별 광도를 기초로 액적의 유무, 위치, 크기 또는 길이를 분석하는 분석부를 포함하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.In order to solve the above-described problem, embodiments of the present invention include a light emitting unit that emits light of multiple wavelengths, a lens unit that divides the emitted light by wavelength, and the light divided by wavelength is on the surface of a droplet discharged from a nozzle. A nozzle using a light wavelength including a spectrometer that measures the light intensity of each wavelength of reflected or scattered light, and an analysis unit that analyzes the presence, location, size, or length of droplets based on the measured light intensity of each wavelength Its purpose is to provide an inspection device.

또한, 본 발명의 실시예들은 렌즈부가 발산된 빛을 파장 별로 나누어 서로 다른 위치에 수렴시키는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide a nozzle inspection apparatus using a light wavelength, characterized in that the light emitted by the lens unit is divided by wavelength and converged at different positions.

또한, 본 발명의 실시예들은 특정한 파장의 빛이 토출된 액적의 표면에서 수렴되어 반사 또는 산란되는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide a nozzle inspection apparatus using a light wavelength, characterized in that light of a specific wavelength is converged and reflected or scattered on a surface of a discharged droplet.

또한, 본 발명의 실시예들은 발광부로부터 렌즈부 방향의 빛은 통과시키고 반대 방향의 빛은 반사시키는 빔스플리터를 포함하고, 분광계는 빔스플리터에서 반사된 빛의 파장별 광도를 측정하는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, embodiments of the present invention include a beam splitter that passes light in a direction from the light emitting unit to the lens unit and reflects light in the opposite direction, and the spectrometer measures luminous intensity for each wavelength of light reflected from the beam splitter. Its purpose is to provide a nozzle inspection device using a wavelength of light.

또한, 본 발명의 실시예들은 렌즈부가 반사 또는 산란된 빛의 일부를 특정한 지점에 수렴시키고, 분광계의 광 입사경로에는 특정한 지점에 핀홀이 형성된 차단막이 배치되는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, the embodiments of the present invention converge a part of the light reflected or scattered by the lens unit to a specific point, and a blocking film having a pinhole formed at a specific point is disposed in the light incident path of the spectrometer. Its purpose is to provide a device.

또한, 본 발명의 실시예들은 발광부가 백색광을 발산하는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide a nozzle inspection apparatus using a light wavelength, characterized in that the light emitting portion emits white light.

또한, 본 발명의 실시예들은 복수 개의 발광부가 여러 위치에서 복수 파장의 빛을 발산하고, 복수 개의 렌즈부가 여러 위치에서 발산된 빛을 파장 별로 나누고, 여러 위치에서 발산되어 파장 별로 나누어진 빛은 토출된 액적의 표면에서 여러 위치에 대응되는 여러 지점으로 반사 또는 산란되고, 분광계는 상기 지점 별로 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정하고, 분석부는 상기 지점 별 및 파장 별 광도를 기초로 액적의 3차원 형태를 분석하는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, in the embodiments of the present invention, a plurality of light emitting units emit light of a plurality of wavelengths at various locations, a plurality of lens units divide light emitted at various locations by wavelength, and radiate at various locations to emit light divided by wavelength. It is reflected or scattered from the surface of the droplet to several points corresponding to various positions, the spectrometer measures the luminous intensity of the reflected or scattered light for each point, and the analysis unit measures the intensity of the droplet based on the luminous intensity for each point and wavelength. It is an object of the present invention to provide a nozzle inspection apparatus using a light wavelength characterized by analyzing a three-dimensional shape.

또한, 본 발명의 실시예들은 복수 파장의 빛을 발산시키는 발광단계, 상기 발산된 빛을 파장 별로 나누는 분광단계, 상기 파장 별로 나누어진 빛이 노즐에서 토출된 액적의 표면에서 반사 또는 산란되는 반사산란단계, 상기 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정하는 측정단계, 상기 측정된 파장 별 광도를 기초로 액적의 유무, 위치, 크기 또는 길이를 분석하는 분석단계를 포함하는 빛파장을 이용한 노즐검사방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, embodiments of the present invention include a light emitting step of emitting light of a plurality of wavelengths, a spectral step of dividing the emitted light by wavelength, and reflective scattering in which the light divided by wavelength is reflected or scattered from the surface of the droplet discharged from the nozzle. Nozzle inspection using a light wavelength comprising the step, a measuring step of measuring the luminous intensity of each wavelength of the reflected or scattered light, and an analysis step of analyzing the presence, location, size, or length of a droplet based on the measured luminous intensity of each wavelength Its purpose is to provide a method.

또한, 본 발명의 실시예들은 분광단계에서 발산된 빛을 파장 별로 나누어 서로 다른 위치에 수렴시키는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide a nozzle inspection method using a light wavelength, characterized in that the light emitted in the spectroscopy step is divided by wavelength and converged at different positions.

또한, 본 발명의 실시예들은 반사산란단계에서 특정한 파장의 빛이 토출된 액적의 표면에서 수렴되어 반사 또는 산란되는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide a nozzle inspection method using a wavelength of light, characterized in that light of a specific wavelength is converged on the surface of the discharged droplet in the reflection and scattering step to be reflected or scattered.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예는 복수 파장의 빛을 발산하는 발광부, 상기 발산된 빛을 파장 별로 나누는 렌즈부, 상기 파장 별로 나누어진 빛은 노즐에서 토출된 액적의 표면에서 반사 또는 산란되고, 상기 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정하는 분광계 및 상기 측정된 파장 별 광도를 기초로 액적의 유무, 위치, 크기 또는 길이를 분석하는 분석부를 포함하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공한다.An embodiment of the present invention for achieving the above object is a light emitting unit that emits light of a plurality of wavelengths, a lens unit that divides the emitted light by wavelength, and the light divided by wavelength is from the surface of the droplet discharged from the nozzle. A nozzle using a light wavelength including a spectrometer that measures the light intensity of each wavelength of reflected or scattered light, and an analysis unit that analyzes the presence, location, size, or length of droplets based on the measured light intensity of each wavelength Provide inspection equipment.

일 실시예에서, 상기 렌즈부는 상기 발산된 빛을 파장 별로 나누어 서로 다른 위치에 수렴시킬 수 있다.In an embodiment, the lens unit may divide the emitted light by wavelength and converge it at different positions.

일 실시예에서, 특정한 파장의 상기 빛은 상기 토출된 액적의 표면에서 수렴되어 반사 또는 산란될 수 있다.In an embodiment, the light of a specific wavelength may be converged on the surface of the discharged droplet to be reflected or scattered.

일 실시예에서, 상기 빛파장을 이용한 노즐검사장치는 상기 발광부로부터 상기 렌즈부 방향의 빛은 통과시키고 반대 방향의 빛은 반사시키는 빔스플리터를 포함하고, 상기 분광계는 상기 빔스플리터에서 반사된 빛의 파장별 광도를 측정할 수 있다.In one embodiment, the nozzle inspection apparatus using the light wavelength includes a beam splitter that passes light in a direction from the light emitting unit to the lens unit and reflects light in the opposite direction, and the spectrometer includes light reflected from the beam splitter. You can measure the light intensity of each wavelength.

일 실시예에서, 상기 렌즈부는 상기 반사 또는 산란된 빛의 일부를 특정한 지점에 수렴시키고, 상기 분광계의 광 입사경로에는 상기 특정한 지점에 핀홀이 형성된 차단막이 배치될 수 있다.In one embodiment, the lens unit may converge a part of the reflected or scattered light to a specific point, and a blocking film having a pinhole formed at the specific point may be disposed in the light incident path of the spectrometer.

일 실시예에서, 상기 발광부는 백색광을 발산할 수 있다.In one embodiment, the light emitting unit may emit white light.

일 실시예에서, 복수 개의 상기 발광부는 여러 위치에서 복수 파장의 빛을 발산하고, 복수 개의 상기 렌즈부는 상기 여러 위치에서 발산된 빛을 파장 별로 나누고, 상기 여러 위치에서 발산되어 파장 별로 나누어진 빛은 상기 토출된 액적의 표면에서 상기 여러 위치에 대응되는 여러 지점으로 반사 또는 산란되고, 상기 분광계는 상기 지점 별로 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정하고, 상기 분석부는 상기 지점 별 및 파장 별 광도를 기초로 액적의 3차원 형태를 분석할 수 있다.In one embodiment, the plurality of light emitting units emit light of a plurality of wavelengths at various positions, the plurality of the lens units divide the light emitted at the various positions by wavelength, and the light emitted at the various positions and divided by wavelength is Reflected or scattered from the surface of the ejected droplet to several points corresponding to the various positions, the spectrometer measures the luminous intensity of each wavelength of the reflected or scattered light for each point, and the analyzer The three-dimensional shape of the droplet can be analyzed based on.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 일 실시예는 복수 파장의 빛을 발산시키는 발광단계, 상기 발산된 빛을 파장 별로 나누는 분광단계, 상기 파장 별로 나누어진 빛이 노즐에서 토출된 액적의 표면에서 반사 또는 산란되는 반사산란단계, 상기 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정하는 측정단계, 상기 측정된 파장 별 광도를 기초로 액적의 유무, 위치, 크기 또는 길이를 분석하는 분석단계를 포함하는 빛파장을 이용한 노즐검사방법을 제공한다.Another embodiment of the present invention for achieving the above object is a light emission step of emitting light of a plurality of wavelengths, a spectral step of dividing the emitted light by wavelength, and the surface of a droplet discharged from a nozzle in which the light divided by wavelengths Including a reflection and scattering step reflected or scattered in, a measuring step of measuring the luminous intensity of each wavelength of the reflected or scattered light, and an analysis step of analyzing the presence, location, size, or length of a droplet based on the measured luminous intensity of each wavelength. Provides a nozzle inspection method using the wavelength of light.

다른 일 실시예에서, 상기 분광단계에서는 상기 발산된 빛을 파장 별로 나누어 서로 다른 위치에 수렴시킬 수 있다.In another embodiment, in the spectroscopy step, the emitted light may be divided by wavelength and converged at different locations.

다른 일 실시예에서, 상기 반사산란단계에서는 특정한 파장의 상기 빛이 상기 토출된 액적의 표면에서 수렴되어 반사 또는 산란될 수 있다.In another embodiment, in the reflection and scattering step, the light of a specific wavelength may be converged on the surface of the discharged droplet to be reflected or scattered.

이상과 같이, 본 발명의 실시예들은 복수 파장의 빛을 발산하는 발광부, 상기 발산된 빛을 파장 별로 나누는 렌즈부, 상기 파장 별로 나누어진 빛은 노즐에서 토출된 액적의 표면에서 반사 또는 산란되고, 상기 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정하는 분광계 및 상기 측정된 파장 별 광도를 기초로 액적의 유무, 위치, 크기 또는 길이를 분석하는 분석부를 포함하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공함으로써, 빛의 파장 별 광도 값을 기초로 액적의 유무 등을 분석하므로, 액적이 매우 작더라도 액적 및 노즐의 상태를 정밀하고 정확하며 신속하게 저비용으로 측정할 수 있다.As described above, embodiments of the present invention include a light emitting unit that emits light of a plurality of wavelengths, a lens unit that divides the emitted light by wavelength, and the light divided by wavelength is reflected or scattered from the surface of the droplet discharged from the nozzle. , Provides a nozzle inspection device using a light wavelength including a spectrometer for measuring the light intensity of each wavelength of the reflected or scattered light, and an analysis unit for analyzing the presence, location, size, or length of a droplet based on the measured light intensity for each wavelength. By doing so, since the presence or absence of droplets is analyzed based on the luminous intensity value for each wavelength of light, even if the droplets are very small, the state of droplets and nozzles can be accurately, accurately and quickly measured at low cost.

또한, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 실시예들은 렌즈부가 발산된 빛을 파장 별로 나누어 서로 다른 위치에 수렴시키는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공함으로써, 액적 및 노즐의 상태를 정밀하고 정확하며 신속하게 저비용으로 측정할 수 있다.In addition, the embodiments of the present invention provide a nozzle inspection apparatus using a light wavelength, characterized in that the light emitted by the lens unit is divided by wavelength and converged at different positions, so that the state of the droplet and the nozzle It can be measured precisely, accurately and quickly and at low cost.

또한, 본 발명의 실시예들은 특정한 파장의 빛이 토출된 액적의 표면에서 수렴되어 반사 또는 산란되는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공함으로써, 액적 및 노즐의 상태를 정밀하고 정확하며 신속하게 저비용으로 측정할 수 있다.In addition, embodiments of the present invention provide a nozzle inspection device using a light wavelength, characterized in that light of a specific wavelength is converged on the surface of the discharged droplet to be reflected or scattered, thereby accurately and accurately measuring the state of the droplet and the nozzle. It can be measured quickly and at low cost.

또한, 본 발명의 실시예들은 발광부로부터 렌즈부 방향의 빛은 통과시키고 반대 방향의 빛은 반사시키는 빔스플리터를 포함하고, 분광계는 빔스플리터에서 반사된 빛의 파장별 광도를 측정하는 것을 특징을 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공함으로써, 빛파장을 이용한 노즐검사장치에서 빛의 출사 경로와 입사 경로를 일치시킬 수 있으므로, 노즐검사장치의 광도 측정 정확도를 향상시키고 구조를 단순화시킬 수 있고 생산비용을 낮출 수 있다.In addition, embodiments of the present invention include a beam splitter that passes light in the direction of the lens from the light emitting unit and reflects light in the opposite direction, and the spectrometer measures the luminous intensity of each wavelength of light reflected from the beam splitter. By providing a nozzle inspection device using the wavelength of light, it is possible to match the light emission path and the incident path in the nozzle inspection device using the light wavelength, so that the optical intensity measurement accuracy of the nozzle inspection device can be improved and the structure can be simplified. You can lower the cost.

또한, 본 발명의 실시예들은 렌즈부가 반사 또는 산란된 빛의 일부를 특정한 지점에 수렴시키고, 분광계의 광 입사경로에는 특정한 지점에 핀홀이 형성된 차단막이 배치되는 것을 특징을 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공함으로써, 노이즈를 줄여 노즐검사장치의 광도 측정 정확도를 향상시킬 수 있다.In addition, embodiments of the present invention converge a part of the light reflected or scattered by the lens unit to a specific point, and a blocking film having a pinhole formed at a specific point is disposed in the light incident path of the spectrometer. By providing the device, it is possible to reduce noise and improve the accuracy of the optical intensity measurement of the nozzle inspection device.

또한, 본 발명의 실시예들은 발광부가 백색광을 발산하는 것을 특징을 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공함으로써, 다양한 파장의 빛을 이용하여 액적의 위치, 크기 등을 측정할 수 있으므로 노즐검사장치의 정확도를 향상시킬 수 있다. 수 있다.In addition, embodiments of the present invention provide a nozzle inspection device using a light wavelength characterized in that the light emitting unit emits white light, so that the location and size of a droplet can be measured using light of various wavelengths. Accuracy can be improved. I can.

또한, 본 발명의 실시예들은 복수 개의 발광부가 여러 위치에서 복수 파장의 빛을 발산하고, 복수 개의 렌즈부가 여러 위치에서 발산된 빛을 파장 별로 나누고, 여러 위치에서 발산되어 파장 별로 나누어진 빛은 토출된 액적의 표면에서 여러 위치에 대응되는 여러 지점으로 반사 또는 산란되고, 분광계는 상기 지점 별로 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정하고, 분석부는 상기 지점 별 및 파장 별 광도를 기초로 액적의 3차원 형태를 분석하는 것을 특징을 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 제공함으로써, 액적이 매우 작더라도 액적 및 노즐의 상태를 정밀하고 정확하며 신속하게 저비용으로 측정할 수 있다.In addition, in the embodiments of the present invention, a plurality of light emitting units emit light of a plurality of wavelengths at various locations, a plurality of lens units divide light emitted at various locations by wavelength, and radiate at various locations to emit light divided by wavelength. It is reflected or scattered from the surface of the droplet to several points corresponding to various positions, the spectrometer measures the luminous intensity of the reflected or scattered light for each point, and the analysis unit measures the intensity of the droplet based on the luminous intensity for each point and wavelength. By providing a nozzle inspection apparatus using a light wavelength characterized by analyzing a three-dimensional shape, even if the droplet is very small, the droplet and the state of the nozzle can be accurately, accurately and quickly measured at low cost.

또한, 본 발명의 실시예들은 복수 파장의 빛을 발산시키는 발광단계, 상기 발산된 빛을 파장 별로 나누는 분광단계, 상기 파장 별로 나누어진 빛이 노즐에서 토출된 액적의 표면에서 반사 또는 산란되는 반사산란단계, 상기 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정하는 측정단계, 상기 측정된 파장 별 광도를 기초로 액적의 유무, 위치, 크기 또는 길이를 분석하는 분석단계를 포함하는 빛파장을 이용한 노즐검사방법을 제공함으로써, 액적이 매우 작더라도 액적 및 노즐의 상태를 정밀하고 정확하며 신속하게 저비용으로 측정할 수 있다.In addition, embodiments of the present invention include a light emitting step of emitting light of a plurality of wavelengths, a spectral step of dividing the emitted light by wavelength, and reflective scattering in which the light divided by wavelength is reflected or scattered from the surface of the droplet discharged from the nozzle. Nozzle inspection using a light wavelength comprising the step, a measuring step of measuring the luminous intensity of each wavelength of the reflected or scattered light, and an analysis step of analyzing the presence, location, size, or length of a droplet based on the measured luminous intensity of each wavelength By providing the method, even if the droplet is very small, the condition of the droplet and the nozzle can be accurately, accurately and quickly measured at low cost.

또한, 본 발명의 실시예들은 분광단계에서 발산된 빛을 파장 별로 나누어 서로 다른 위치에 수렴시키는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사방법을 제공함으로써, 액적 및 노즐의 상태를 정밀하고 정확하며 신속하게 저비용으로 측정할 수 있다.In addition, embodiments of the present invention provide a nozzle inspection method using light wavelengths, characterized in that the light emitted in the spectroscopy step is divided by wavelength and converged at different positions, thereby accurately, accurately and quickly determining the state of droplets and nozzles. It can be measured at low cost.

또한, 본 발명의 실시예들은 반사산란단계에서 특정한 파장의 빛이 토출된 액적의 표면에서 수렴되어 반사 또는 산란되는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사방법을 제공함으로써, 액적 및 노즐의 상태를 정밀하고 정확하며 신속하게 저비용으로 측정할 수 있다.In addition, embodiments of the present invention provide a nozzle inspection method using a wavelength of light, characterized in that light of a specific wavelength is converged on the surface of the discharged droplet in the reflection and scattering step to be reflected or scattered. It can be measured precisely, accurately and quickly and at low cost.

이상의 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있다.It is not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned may be clearly understood by those of ordinary skill in the art from the following description.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 빛파장을 이용한 노즐검사장치의 분광계에서 측정된 특정한 파장의 광도를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 빛파장을 이용한 노즐검사장치에서 특정한 파장의 빛이 수렴되는 위치를 나타낸 다른 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 빛파장을 이용한 노즐검사방법을 나타낸 순서도이다.1 is a view showing a nozzle inspection apparatus using a light wavelength according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a luminous intensity of a specific wavelength measured by a spectrometer of a nozzle inspection apparatus using a light wavelength according to an embodiment of the present invention.
3 is another diagram showing a location where light of a specific wavelength is converged in the nozzle inspection apparatus using a light wavelength according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing a nozzle inspection apparatus using a light wavelength according to another embodiment of the present invention.
5 is a flow chart showing a nozzle inspection method using a light wavelength according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예들에 불과하므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예들에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 본 실시예들은 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Since the description of the present invention is merely examples for structural or functional description, the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described in the text. That is, since the present embodiments can be variously changed and have various forms, the scope of the present invention should be understood to include equivalents capable of realizing the technical idea.

또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.In addition, since the object or effect presented in the present invention does not mean that a specific embodiment should include all of them or only those effects, the scope of the present invention should not be understood as being limited thereto.

또한, 이하에 첨부되는 도면들은 본 발명의 이해를 돕기 위한 것으로, 상세한 설명과 함께 실시예들을 제공한다. 다만, 본 발명의 기술적 특징이 특정 도면에 한정되는 것은 아니며, 각 도면에서 개시하는 특징들은 서로 조합되어 새로운 실시예로 구성될 수 있다.In addition, the accompanying drawings are provided to aid in the understanding of the present invention, and provide embodiments together with a detailed description. However, the technical features of the present invention are not limited to a specific drawing, and features disclosed in each drawing may be combined with each other to constitute a new embodiment.

이하의 실시예들에서 개시되는 빛파장을 이용한 노즐검사장치에 대해 각 도면을 참조하여 보다 구체적으로 살펴보기로 한다.A nozzle inspection apparatus using a light wavelength disclosed in the following embodiments will be described in more detail with reference to each drawing.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 빛파장을 이용한 노즐검사장치(10)를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a nozzle inspection apparatus 10 using a light wavelength according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 일 실시예에 따른 빛파장을 이용한 노즐검사장치(10)는 발광부(100), 렌즈부(200), 빔스플리터(300), 차단막(400), 분광계(500) 및 분석부(600)를 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 1, a nozzle inspection apparatus 10 using a light wavelength according to an embodiment includes a light emitting unit 100, a lens unit 200, a beam splitter 300, a blocking film 400, a spectrometer 500, and It is configured to include an analysis unit 600.

발광부(100)는 복수 파장의 빛을 발산할 수 있다. 여기에서, 복수 파장의 빛이란 서로 다른 파장 값을 가지는 단일 파장의 빛이 두 개 이상 혼재하는 빛으로서, 예를 들면, 복수 파장의 빛은 백색광에 해당할 수 있다.The light-emitting unit 100 may emit light of multiple wavelengths. Here, the light having a plurality of wavelengths is light in which two or more light having a single wavelength having different wavelength values are mixed. For example, light having a plurality of wavelengths may correspond to white light.

이와 같이, 발광부(100)가 백색광을 발산함으로써, 다양한 파장의 빛을 이용하여 액적(720)의 위치, 크기 등을 측정할 수 있으므로, 노즐검사장치의 정확도를 향상시킬 수 있다.In this way, since the light-emitting unit 100 emits white light, it is possible to measure the location and size of the droplet 720 using light of various wavelengths, thereby improving the accuracy of the nozzle inspection apparatus.

렌즈부(200)는 발광부(100)에서 발산된 빛을 파장 별로 나눌 수 있다. 여기에서, 빛을 파장 별로 나눈다는 것은 빛을 파장 별로 다른 경로로 진행하게 하는 것을 의미할 수 있다.The lens unit 200 may divide the light emitted from the light emitting unit 100 by wavelength. Here, dividing the light by wavelength may mean making the light proceed in a different path for each wavelength.

구체적으로, 렌즈부(200)는 빛이 파장에 따라 서로 다른 각도로 굴절하는 점을 이용하여 렌즈부(200)를 통과하면서 굴절한 빛이 파장 별로 나누어져 서로 다른 경로로 진행하게 할 수 있다.Specifically, the lens unit 200 may pass through the lens unit 200 using a point where light is refracted at different angles depending on the wavelength, and the refracted light may be divided by wavelength to proceed in different paths.

또한, 렌즈부(200)는 발광부(100)에서 발산된 빛을 파장 별로 나누어 서로 다른 위치에 수렴시킬 수 있다. 예를 들면, 도 1에서, 렌즈부(200)는 서로 다른 파장의 빛을 파장 별로 나누고 서로 다른 경로로 진행시켜 점 a, 점 b, 점 c 등의 광축 상의 위치에 수렴시킬 수 있다. 구체적으로, 점 a, 점 b, 점 c는 각각 파란색(B), 녹색(G), 적색(R) 가시광선이 수렴되는 위치에 해당할 수 있다.In addition, the lens unit 200 may divide the light emitted from the light emitting unit 100 by wavelength and converge it at different positions. For example, in FIG. 1, the lens unit 200 divides light of different wavelengths by wavelength and proceeds in different paths to converge to positions on the optical axis such as points a, b, and c. Specifically, point a, point b, and point c may correspond to locations where blue (B), green (G), and red (R) visible rays converge, respectively.

한편, 점 a, 점 b, 점 c 등의 광축 상의 위치에 수렴된 빛은 직선 aa와 직선 aa', 직선 bb와 직선 bb', 직선 cc와 직선 cc'에서 알 수 있는 바와 같이 다시 발산될 수 있다.On the other hand, the light converging at positions on the optical axis such as points a, b, and c can be re-emitted as can be seen from straight lines aa and aa', straight lines bb and bb', and straight lines cc and cc'. have.

이하, 액적(720)에 대해 먼저 살펴보고, 렌즈부(200)를 통과한 빛이 액적(720)에서 반사 또는 산란되는 특성을 살펴본다.Hereinafter, the droplet 720 will be first looked at, and the characteristics in which the light passing through the lens unit 200 is reflected or scattered from the droplet 720 will be described.

액적(720)은 잉크젯 프린팅 장치의 헤드(700)에 구비된 노즐(710)에서 토출되는 잉크방울에 해당할 수 있고 액적(720)의 크기, 길이, 특정한 시각에 정해진 위치에 액적(720)이 있는지 여부 등을 이용하여 노즐(710)이 정상상태인지를 검사할 수 있다.The droplet 720 may correspond to an ink droplet discharged from the nozzle 710 provided in the head 700 of the inkjet printing apparatus, and the droplet 720 is positioned at a predetermined position at a specific time and size and length of the droplet 720. Whether or not the nozzle 710 is in a normal state may be checked using whether or not.

렌즈부(200)를 통과한 빛은 낙하하는 액적(720)의 표면에서 반사 또는 산란될 수 있다.The light passing through the lens unit 200 may be reflected or scattered from the surface of the falling droplet 720.

구체적으로, 도 1에서 점 a에 수렴된 후에 다시 발산된 특정한 파장의 빛(이하, 빛 a)은 낙하하는 액적(720)이 직선 aa와 최초로 접하는 순간부터 낙하하는 액적(720)이 직선 aa'과 마지막으로 접하는 순간까지 낙하하는 액적(720)의 표면에 부딪혀서 반사 또는 산란될 수 있다.Specifically, in FIG. 1, light of a specific wavelength (hereinafter, light a) that is emitted again after converging at point a is a drop 720 falling from the moment when the falling droplet 720 first contacts the straight line aa is a straight line aa' It may be reflected or scattered by hitting the surface of the falling droplet 720 until the moment of last contact with and.

이 때에, 빛 a는 광축에 가까워질수록 액적(720)의 표면에 부딪혀서 반사 또는 산란되는 양이 많아질 수 있다.In this case, as the light a approaches the optical axis, the amount of light a hits the surface of the droplet 720 and is reflected or scattered increases.

점 b에 수렴된 후에 다시 발산된 특정한 파장의 빛(이하, 빛 b)과 점 c에 수렴되는 특정한 파장의 빛(이하, 빛 c)도 상기한 빛 a와 유사하게 낙하하는 액적(720)의 표면에 부딪혀서 반사 또는 산란될 수 있다.Light of a specific wavelength (hereinafter, light b) and light of a specific wavelength that converges to point c (hereinafter, light c) that is re-emitted after converging at point b (hereinafter, light c) are also similar to the above-described light a. It can be reflected or scattered by hitting the surface.

그런데, 특정한 파장의 빛(빛 b)은 노즐(710)에서 토출되어 낙하하는 액적(720)의 표면에서 수렴되어 반사 또는 산란될 수 있다. 즉, 빛 b가 렌즈부(200)에 의해 수렴되는 위치에 해당하는 점 b가, 낙하하는 액적(720)의 표면에 위치할 수 있다. 이러한 경우에, 액적(720)의 표면에서 수렴된 빛 전부가 액적(720) 표면에서 반사 또는 산란될 수 있다.However, light of a specific wavelength (light b) may be discharged from the nozzle 710 and converged on the surface of the falling droplet 720 to be reflected or scattered. That is, a point b corresponding to a position at which the light b is converged by the lens unit 200 may be located on the surface of the falling droplet 720. In this case, all of the light converged on the surface of the droplet 720 may be reflected or scattered on the surface of the droplet 720.

따라서, 액적(720)의 표면에서 수렴되는 빛(빛 b)이 액적(720)에 부딪혀서 반사 또는 산란되는 양은 액적(720)의 표면이 아닌 다른 위치에서 수렴되는 빛(빛 a, 빛 c)이 액적(720)에 부딪혀서 반사 또는 산란되는 양에 비해 많아질 수 있다.Therefore, the amount of light (light b) that converges on the surface of the droplet 720 hits the droplet 720 and is reflected or scattered is light (light a, light c) converged at a location other than the surface of the droplet 720 It may be larger than the amount reflected or scattered by hitting the droplet 720.

특히, 도 1과 같이 특정한 파장의 빛(빛 b)이 수렴되는 위치(점 b)가 (i) 광축상에 있고 (ii) 액적(720)의 표면에 있는 경우에는, 액적(720)이 낙하하여 액적(720)의 중심이 광축상에 위치하는 순간에 상기 특정한 파장의 빛(빛 b)이 액적(720)에 부딪혀서 반사 또는 산란되는 양은 최대가 될 수 있다.In particular, as shown in FIG. 1, when the location (point b) at which light of a specific wavelength (light b) converges is (i) on the optical axis and (ii) on the surface of the droplet 720, the droplet 720 falls Thus, at the moment the center of the droplet 720 is positioned on the optical axis, the amount of light (light b) of the specific wavelength hits the droplet 720 and is reflected or scattered may be maximized.

또한, 렌즈부(200)는 액적(720)의 표면에서 반사 또는 산란된 빛의 일부를 특정한 지점에 수렴시킬 수 있다.In addition, the lens unit 200 may converge some of the light reflected or scattered from the surface of the droplet 720 to a specific point.

예를 들면, 도 1에서 렌즈부(200)는 액적(720) 표면에서 반사 또는 산란된 빛 중에서 발광부(100)에서 렌즈부(200)로 발산된 빛이 광축 상에 수렴하는 경로를 따라 정반대로 진행하는 빛을 발광부(100)의 위치에 수렴시킬 수 있다.For example, in FIG. 1, the lens unit 200 is opposite along a path in which light emitted from the light emitting unit 100 to the lens unit 200 from among the light reflected or scattered from the surface of the droplet 720 converges on the optical axis. Light advancing to may be converged to the position of the light emitting unit 100.

다만, 도 1에서 액적(720) 표면에서 반사 또는 산란된 빛은 후술할 빔스플리터(300)에 의해 반사되므로 렌즈부(200)는 빔스플리터(300)를 기준으로 발광부(100)와 대칭이 되는 지점에 액적(720) 표면에서 반사 또는 산란된 빛의 일부를 수렴시킬 수 있다.However, since the light reflected or scattered from the surface of the droplet 720 in FIG. 1 is reflected by the beam splitter 300 to be described later, the lens unit 200 is symmetric with the light emitting unit 100 based on the beam splitter 300. Part of the light reflected or scattered from the surface of the droplet 720 may be converged at the point where it is.

빔스플리터(300, beam splitter)는 발광부(100) 및 렌즈부(200) 사이에 배치될 수 있고 발광부(100)로부터 렌즈부(200) 방향의 빛은 통과시키고 반대 방향의 빛은 반사시킬 수 있다.The beam splitter 300 may be disposed between the light emitting unit 100 and the lens unit 200, and allow light from the light emitting unit 100 to pass in the direction of the lens unit 200 and reflect light in the opposite direction. I can.

빔스플리터(300, beam splitter)는 발광부(100) 및 렌즈부(200)를 통해 출사된 빛이 액적(720) 표면에서 반사 또는 산란되어 출사된 경로를 따라 역으로 입사되더라도 분광계(500)에 도달할 수 있도록 한다.The beam splitter 300 is reflected or scattered from the surface of the droplet 720 and is incident on the spectrometer 500 even if the light emitted through the light emitting unit 100 and the lens unit 200 is incident in the reverse direction along the exit path. Make it reachable.

이와 같이, 노즐검사장치가 빔스플리터(300)를 포함하여 구성됨으로써, 빛파장을 이용한 노즐검사장치(10)에서 빛의 출사 경로와 입사 경로를 일치시킬 수 있으므로, 노즐검사장치의 광도 측정 정확도를 향상시키고 구조를 단순화시킬 수 있고 생산비용을 낮출 수 있다.As described above, since the nozzle inspection device includes the beam splitter 300, the light exit path and the incident path in the nozzle inspection device 10 using the light wavelength can be matched, so that the accuracy of the optical intensity measurement of the nozzle inspection device is improved. It can improve and simplify the structure and lower the production cost.

차단막(400)은 분광계의 광 입사경로에 배치될 수 있다. 또한, 차단막(400)에는 렌즈부(200)가 액적(720) 표면에서 반사 또는 산란된 빛의 일부를 수렴시킨 특정한 지점에 핀홀(작은 구멍)이 형성될 수 있다. 여기에서, 렌즈부(200)가 액적(720) 표면에서 반사 또는 산란된 빛의 일부를 수렴시킨 특정한 지점은 전술한 바와 같다.The blocking layer 400 may be disposed in the light incident path of the spectrometer. In addition, a pinhole (small hole) may be formed in the blocking layer 400 at a specific point where the lens unit 200 converges some of the light reflected or scattered from the surface of the droplet 720. Here, a specific point at which the lens unit 200 converges some of the light reflected or scattered from the surface of the droplet 720 is as described above.

이와 같이, 차단막(400)을 구비함으로써, 액적(720) 표면에서 반사 또는 산란된 빛 중에서 핀홀이 형성된 지점에 수렴된 빛을 제외한 나머지 빛이 분광계(500)에 입사되는 것이 차단되므로, 노이즈를 줄여 노즐검사장치의 광도 측정 정확도를 향상시킬 수 있다.In this way, by providing the blocking film 400, the light reflected or scattered from the surface of the droplet 720 is blocked from entering the spectrometer 500 except for the light converged at the point where the pinhole is formed, thereby reducing noise. It is possible to improve the optical intensity measurement accuracy of the nozzle inspection device.

분광계(500)는 액적(720) 표면에서 반사 또는 산란된 빛이 입사되는 입사경로에 차단막(400)이 구비될 수 있고 액적(720) 표면에서 반사 또는 산란된 빛이 빔스플리터(400)에서 반사되어 분광계(500)에 입사될 수도 있다.The spectrometer 500 may be provided with a blocking film 400 in the incident path through which light reflected or scattered from the surface of the droplet 720 is incident, and the light reflected or scattered from the surface of the droplet 720 is reflected by the beam splitter 400 It may be incident on the spectrometer 500.

분광계(500)는 액적(720) 표면에서 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정할 수 있다.The spectrometer 500 may measure the luminous intensity for each wavelength of light reflected or scattered from the surface of the droplet 720.

구체적으로, 분광계(500)는 프리즘(510) 및 광센서(520)를 포함하여 구성될 수 있다.Specifically, the spectrometer 500 may include a prism 510 and an optical sensor 520.

프리즘(510)은 빛이 파장에 따라 서로 다른 각도로 굴절하는 점을 이용하여 프리즘(510)를 통과하면서 굴절된 빛이 파장 별로 나누어져 서로 다른 경로로 진행하여 광센서(520)의 서로 다른 위치에 각 파장에 해당하는 빛이 비춰질 수 있도록 한다.The prism 510 uses a point at which light is refracted at different angles according to the wavelength, and the light that is refracted while passing through the prism 510 is divided by wavelength and proceeds in different paths, so that different positions of the optical sensor 520 It allows light corresponding to each wavelength to be illuminated.

광센서(520)는 도 1과 같이, 한 방향으로 길게 형성된 광센서 어레이에 해당할 수 있고 광센서로 CCD(Charge Coupled Device)가 사용될 수 있다.As shown in FIG. 1, the optical sensor 520 may correspond to an optical sensor array formed long in one direction, and a charge coupled device (CCD) may be used as the optical sensor.

광센서(520)는 프리즘(510)에 의해 파장 별로 광센서 어레이의 서로 다른 위치에 비춰진 빛의 광도를 측정할 수 있다. 즉, 광도가 측정된 광센서 어레이의 위치는 빛의 파장에 대응할 수 있다.The photosensor 520 may measure the luminous intensity of light irradiated at different positions of the photosensor array for each wavelength by the prism 510. That is, the position of the optical sensor array in which the light intensity is measured may correspond to the wavelength of light.

분석부(600)는 분광계(500)와 연결될 수 있고 분광계(500)에서 측정된 파장 별 광도를 전달받을 수 있다.The analysis unit 600 may be connected to the spectrometer 500 and may receive light intensity for each wavelength measured by the spectrometer 500.

분석부(600)는 분광계(500)에서 측정된 파장 별 광도를 기초로 액적의 유무, 위치, 크기 또는 길이를 분석할 수 있다. 이와 관련하여, 도 2를 살펴본다.The analysis unit 600 may analyze the presence, location, size, or length of the droplet based on the luminous intensity of each wavelength measured by the spectrometer 500. In this regard, it looks at Figure 2.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 빛파장을 이용한 노즐검사장치의 분광계에서 측정된 특정한 파장의 광도를 나타낸 도면이다.FIG. 2 is a diagram showing a luminous intensity of a specific wavelength measured by a spectrometer of a nozzle inspection apparatus using a light wavelength according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 분석부(600)는 시간의 경과에 따라 파장 별 광도를 저장할 수 있는데, 전술한 바와 같이, 시간의 경과에 따라(노즐에서 토출된 액적이 연속하여 낙하함에 따라) 액적(720) 표면에서 반사 또는 산란되는 파장 별 빛의 양(광도)이 달라질 수 있다.Referring to FIG. 2, the analysis unit 600 may store luminous intensity for each wavelength over time. As described above, as described above, as time passes (as the droplets discharged from the nozzle continuously fall) droplets ( 720) The amount of light (luminosity) for each wavelength reflected or scattered from the surface may vary.

예를 들면, 도 1에서 점 b에 수렴된 후에 다시 발산된 특정한 파장의 빛(이하, 빛 b)은 낙하하는 액적(720)이 직선 bb와 최초로 접하는 순간(도 2의 시간 p)부터 광도가 점차 증가하고 낙하하는 액적(720) 표면이 점 b에 위치할 때(도 2의 시간 q)에 광도가 최대 값이 되며 낙하하는 액적(720)이 직선 bb'과 마지막으로 접하는 순간(도 2의 시간 r)까지 광도가 점차 감소할 수 있다.For example, light of a specific wavelength (hereinafter, light b) that is emitted again after converging at point b in FIG. 1 has a luminous intensity from the moment the falling droplet 720 first contacts the straight line bb (time p in FIG. 2). When the surface of the gradually increasing and falling droplet 720 is located at point b (time q in FIG. 2), the luminosity becomes the maximum value, and the moment when the falling droplet 720 finally contacts the straight line bb' (Fig. The luminosity may gradually decrease until time r).

이후에는, 다음에 토출된 액적(720)이 낙하하여 직선 bb와 최초로 접할 때까지 빛 b는 분광계(500)에서 감지되지 않아서 광도 값이 0에 해당할 수 있고 직선 bb와 최초로 접한 후에는 상기 과정이 반복될 수 있다.Thereafter, the light b may not be detected by the spectrometer 500 until the next discharged droplet 720 falls and first contacts the straight line bb, so the luminous intensity value may correspond to 0, and after the first contact with the straight line bb, the above process This can be repeated.

다른 파장의 빛(예를 들면, 점 a 또는 점 c에 수렴되는 특정한 파장의 빛 a 또는 빛 c)에 대한 광도도 도 2와 유사한 형태에 해당할 수 있다.The luminosity of light of other wavelengths (eg, light a or light c of a specific wavelength that converges at point a or point c) may also correspond to a form similar to that of FIG. 2.

이 때에, 전술한 바와 같이 빛 b는 노즐(710)에서 토출되어 낙하하는 액적(720)의 표면에서 수렴되어 반사 또는 산란될 수 있으므로(즉, 빛 b가 수렴되는 위치에 해당하는 점 b가, 낙하하는 액적의 표면에 위치할 수 있으므로), 빛 b가 다른 빛(빛 a, 빛 c 등)에 비해 도 2의 시간 q에 광도가 높을 수 있다.At this time, as described above, since the light b is discharged from the nozzle 710 and converged on the surface of the falling droplet 720 to be reflected or scattered (that is, the point b corresponding to the location where the light b converges, Since it may be located on the surface of the falling droplet), light b may have a higher luminance at time q of FIG. 2 than other lights (light a, light c, etc.).

분석부(600)는 시간의 경과에 따라 저장된 파장 별 광도를 기초로 파장 간에 광도를 비교할 수 있고 도 2의 시간 q(도 1에서 점 b가 낙하하는 액적의 표면에 위치하는 순간)에 광도값이 가장 큰 파장의 빛(빛 b)이 수렴하는 위치(점 b)를 도 1에서 액적(720) 표면의 중간 왼쪽 위치로 설정할 수 있다.The analysis unit 600 can compare the luminous intensity between wavelengths based on the luminous intensity of each wavelength stored over time, and the luminous intensity value at the time q in FIG. 2 (the moment the point b is located on the surface of the falling droplet in FIG. 1) The position (point b) at which the light of the largest wavelength (light b) converges may be set to a position to the middle left of the surface of the droplet 720 in FIG. 1.

여기에서, 빛이 수렴하는 위치(점 a, 점 b, 점 c 등)는 발광부(100), 렌즈(200)의 위치, 굴절률 등을 기초로 미리 정해질 수 있다.Here, the positions at which the light converges (point a, point b, point c, etc.) may be predetermined based on the position of the light emitting unit 100 and the lens 200, a refractive index, and the like.

한편, 도 1에서, 액적(720) 표면의 중간 왼쪽 위치는 광축과 액적(720) 표면의 왼쪽 접점에 해당하므로 액적(720)의 크기가 커지면 기존보다 왼쪽으로 이동하고 액적(720)의 크기가 작아지면 기존보다 오른쪽으로 이동할 수 있다.Meanwhile, in FIG. 1, the middle left position of the surface of the droplet 720 corresponds to the left contact point between the optical axis and the surface of the droplet 720, so when the size of the droplet 720 increases, it moves to the left and the size of the droplet 720 increases. When it gets smaller, it can move to the right than before.

만약, 노즐(710)의 전부 또는 일부가 막혀서 액적(720)이 토출되지 않거나 액적(720)의 크기가 작아지면, 분광계(500)에서 광도가 측정되지 않거나 파장 별 광도 값이 변하게 되고 이와 같은 측정값을 전달받은 분석부(600)는 일정한 주기로 일정한 패턴을 가진 값으로 측정되었던 파장 별 광도 값이 예상되는 값과 차이가 발생한 것을 인식함으로써, 노즐(710) 불량을 감지할 수 있다.If the droplet 720 is not ejected or the size of the droplet 720 is reduced because all or part of the nozzle 710 is blocked, the luminous intensity is not measured by the spectrometer 500 or the luminous intensity value for each wavelength is changed. The analysis unit 600 receiving the value may detect a defect of the nozzle 710 by recognizing that a difference in the luminous intensity value for each wavelength measured as a value having a constant pattern at a certain period from an expected value has occurred.

이와 같이, 분석부(600)는 빛의 파장 별 광도 값을 기초로 액적(720)의 유무 등을 분석하므로, 액적(720)이 매우 작더라도 액적(720) 및 노즐(710)의 상태를 정밀하고 정확하며 신속하게 저비용으로 측정할 수 있다.In this way, since the analysis unit 600 analyzes the presence or absence of the droplet 720 based on the luminous intensity value for each wavelength of light, even if the droplet 720 is very small, the state of the droplet 720 and the nozzle 710 is accurately It can be measured accurately and quickly and at low cost.

또한, 분석부(600)는 파장 별 광도 값의 패턴을 기초로 액적(720)의 유무 또는 크기 변화를 신속하고 정확하며 저비용으로 분석할 수 있다.In addition, the analysis unit 600 may quickly, accurately, and at low cost analyze the presence or absence or size change of the droplet 720 based on the pattern of the luminous intensity value for each wavelength.

또한, 분석부(600)는 위와 같은 방법에 의하지 않고, 일정한 시간동안 액적(720) 표면의 중간 왼쪽 위치가 감지되지 않거나(액적이 토출되지 않는 경우) 전술한 방법으로 산출한 액적(720) 표면의 중간 왼쪽 위치가 도 1에서 오른쪽으로 이동(액적의 크기가 작아진 경우)하는 것을 인식함으로써 노즐(710) 불량을 감지할 수도 있다.In addition, the analysis unit 600 does not use the above method, and the middle left position of the surface of the droplet 720 is not detected for a certain period of time (when the droplet is not discharged) or the surface of the droplet 720 calculated by the above-described method. It is also possible to detect a defect of the nozzle 710 by recognizing that the middle left position of is moving to the right (when the size of the droplet is reduced) in FIG. 1.

이와 같이, 분석부(600)는 렌즈부(200)가 발광부(100)에서 발산된 빛을 파장 별로 나누어 서로 다른 위치에 수렴시키고 특정한 파장의 빛이 액적(720)의 표면에서 수렴되되도록 함으로써, 액적(720)의 유무, 액적(720)의 크기 변화, 액적(720)의 위치(액적 표면의 중간 왼쪽 위치)를 신속하고 정확하며 저비용으로 분석할 수 있다.In this way, the analysis unit 600 divides the light emitted from the light emitting unit 100 by wavelength and converges the light at different locations, and allows the light of a specific wavelength to converge on the surface of the droplet 720. , The presence or absence of the droplet 720, the size change of the droplet 720, the position of the droplet 720 (the middle left position of the droplet surface) can be analyzed quickly, accurately, and at low cost.

또한, 분석부(600)는 액적(720)의 크기를 분석할 수 있다. 이와 관련하여, 도 3을 살펴본다.In addition, the analysis unit 600 may analyze the size of the droplet 720. In this regard, look at FIG. 3.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 빛파장을 이용한 노즐검사장치에서 특정한 파장의 빛이 수렴되는 위치를 나타낸 다른 도면이다.3 is another diagram showing a location where light of a specific wavelength is converged in the nozzle inspection apparatus using a light wavelength according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 점 d에 수렴된 후에 다시 발산된 특정한 파장의 빛(이하, 빛 d)은 낙하하는 액적(720)의 중심점에서 수렴하므로 다른 빛(빛 a, 빛 b, 빛 c 등)에 비해 광도가 가장 짧은 시간 동안 측정될 수 있다.Referring to FIG. 3, light of a specific wavelength (hereinafter, light d) that is emitted again after converging at point d converges at the center point of the falling droplet 720, so other light (light a, light b, light c, etc.) Compared to, the light intensity can be measured for the shortest time.

따라서, 분석부(600)는 가장 짧은 시간 동안 광도가 측정되는 빛(빛 d)이 수렴되는 위치(점 d)를 액적(720)의 중심점의 위치로 설정할 수 있으므로, 도 1에서, 액적(720)의 중심점의 위치(점 d)와 액적(720) 표면의 중간 왼쪽 위치(점 b)를 비교하여 액적(720)의 반지름을 산출할 수 있고 산출된 반지름을 기초로 액적(720)의 크기를 분석할 수 있다.Therefore, the analysis unit 600 may set the location (point d) at which the light (light d) whose luminous intensity is measured for the shortest time is converged as the location of the center point of the droplet 720, and thus, in FIG. 1, the droplet 720 ), the radius of the droplet 720 can be calculated by comparing the position of the center point (point d) of the droplet 720 and the middle left position (point b) of the surface of the droplet 720, and the size of the droplet 720 is calculated based on the calculated radius. Can be analyzed.

또한, 분석부(600)는 위와 같은 방법에 의하지 않고, 예를 들면, 도 1에서 하나의 액적(720)이 낙하할 때에, 점 c에 수렴된 후에 다시 발산된 특정한 파장의 빛(이하, 빛 c)이 검출되는 총 시간과 액적(720)의 낙하속도를 곱한 값에서 직선 cc와 직선 cc' 사이에서 낙하하는 액적(720)의 중심점이 이동한 거리를 빼는 방법으로 액적(720)의 지름, 높이 또는 길이 값을 대략적으로 산출할 수 있고 산출된 지름, 높이 또는 길이 값을 기초로 액적(720)의 크기를 분석할 수 있다.In addition, the analysis unit 600 does not follow the above method, for example, when one droplet 720 falls in FIG. 1, after converging at point c, light of a specific wavelength (hereinafter, light c) The diameter of the droplet 720 by subtracting the distance traveled by the center point of the droplet 720 falling between the straight line cc and the straight line cc' from the product of the total time at which it is detected and the falling speed of the droplet 720, The height or length value may be roughly calculated, and the size of the droplet 720 may be analyzed based on the calculated diameter, height, or length value.

액적(720)이 낙하할 때에, 직선 cc에 최초로 접한 후에 직선 cc'에 마지막으로 접할 때까지는 직선 cc와 직선 cc' 사이에서 액적(720)의 중심점이 이동한 거리보다 대략적으로 액적(720)의 지름, 높이 또는 길이 값만큼 더 이동해야 하는 점을 이용한 것이다.When the droplet 720 falls, after the first contact with the straight line cc, until the last contact with the straight line cc', between the straight line cc and the straight line cc', the center point of the droplet 720 is approximately greater than the distance moved. It uses a point that needs to be moved further by the value of diameter, height or length.

다만, 이와 같은 방법으로 액적(720)의 지름, 높이 또는 길이 값을 산출하기 위해서는 액적(720)의 속도 값을 미리 알고 있어야 한다.However, in order to calculate the diameter, height, or length value of the droplet 720 in this way, the velocity value of the droplet 720 must be known in advance.

또한, 분석부(600)는 상기 방법으로 분석된 액적(720)의 위치, 크기 또는 길이 값을 이용하여 액적(720)의 모양을 추정할 수도 있다.In addition, the analysis unit 600 may estimate the shape of the droplet 720 using the location, size, or length value of the droplet 720 analyzed by the above method.

도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 빛파장을 이용한 노즐검사장치를 나타낸 도면이다.4 is a view showing a nozzle inspection apparatus using a light wavelength according to another embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 다른 일 실시예에 따른 빛파장을 이용한 노즐검사장치(10)는 도 1과 비교해 볼 때에 복수 개의 발광부(100), 렌즈부(200), 빔스플리터(300), 차단막(400) 및 분광계(500)를 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 4, a nozzle inspection apparatus 10 using a light wavelength according to another embodiment includes a plurality of light emitting units 100, a lens unit 200, a beam splitter 300, and a blocking film when compared to FIG. 1. It is configured to include 400 and a spectrometer 500.

복수 개의 발광부(100)는 여러 위치(예를 들면, 도 4에서 발광부가 배치된 3 개의 위치)에서 복수 파장의 빛을 발산할 수 있고 복수 개의 렌즈부(200)는 여러 위치에서 발산된 빛을 파장 별로 나눌 수 있다.The plurality of light-emitting units 100 may emit light of multiple wavelengths at several positions (for example, three positions in which the light-emitting units are arranged in FIG. 4), and the plurality of lens units 200 may emit light emitted from several positions. Can be divided by wavelength.

여러 위치에서 발산되어 파장 별로 나누어진 빛은 토출된 액적(720)의 표면에서 여러 위치에 대응되는 여러 지점으로 반사 또는 산란될 수 있다. 구체적으로, 도 4에서 여러 위치(발광부가 배치된 3 개의 위치)에서 발산되어 파장 별로 나누어진 빛은 액적(720)의 표면에서 3 개의 차단막(400)에 구비된 핀홀의 지점으로 반사 또는 산란될 수 있다.Light emitted from various locations and divided by wavelength may be reflected or scattered from the surface of the discharged droplet 720 to various points corresponding to various locations. Specifically, light emitted from several positions (three positions in which the light emitting unit is disposed) in FIG. 4 and divided by wavelength may be reflected or scattered from the surface of the droplet 720 to the points of pinholes provided in the three blocking films 400. I can.

분광계(500)는 지점(예를 들면, 도 4에서 3 개의 차단막에 구비된 핀홀의 지점) 별로 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정할 수 있고 분석부(600)는 상기 지점 별 및 파장 별 광도를 기초로 액적(720)의 3차원 형태를 분석할 수 있다.The spectrometer 500 may measure the luminous intensity for each wavelength of reflected or scattered light for each point (for example, a point of a pinhole provided in the three blocking films in FIG. 4), and the analysis unit 600 The three-dimensional shape of the droplet 720 may be analyzed based on the star luminosity.

구체적으로 예를 들면, 도 4에서 분석부(600)는 도 1에서 액적 표면의 중간 왼쪽 위치를 산출하는 방법으로 액적(720) 평면 둘레의 3 개 지점(점 e, 점 f, 점 g)의 위치를 산출할 수 있고 산출된 위치를 기초로 액적(720)의 3차원 형태를 분석할 수 있다.Specifically, for example, in FIG. 4, the analysis unit 600 calculates the middle left position of the droplet surface in FIG. 1, and the three points (point e, point f, point g) around the plane of the droplet 720 The position can be calculated and the three-dimensional shape of the droplet 720 can be analyzed based on the calculated position.

이하, 빛파장을 이용한 노즐검사방법에 관해 도 5를 살펴본다.Hereinafter, a nozzle inspection method using a light wavelength will be described with reference to FIG. 5.

도 5는 본 발명의 일 실시례에 따른 빛파장을 이용한 노즐검사방법을 나타낸 순서도이다.5 is a flowchart illustrating a nozzle inspection method using a light wavelength according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 일 실시례에 따른 빛파장을 이용한 노즐검사방법(800)은 발광단계(S810), 분광단계(S820), 반사산란단계(S830), 측정단계(S840) 및 분석단계(S850)를 포함하여 구성된다.5, a nozzle inspection method 800 using a light wavelength according to an embodiment includes a light emission step (S810), a spectral step (S820), a reflection scattering step (S830), a measurement step (S840), and an analysis step ( S850).

발광단계(S810)에서, 발광부(100)는 복수 파장의 빛을 발산할 수 있다. 복수 파장의 빛은 예를 들면, 백색광에 해당할 수 있다.In the light emission step (S810), the light emitting unit 100 may emit light having a plurality of wavelengths. Light of multiple wavelengths may correspond to, for example, white light.

분광단계(S820)에서, 렌즈부(200)는 발광부(100)에서 발산된 빛을 파장 별로 나눌 수 있다. 또한, 렌즈부(200)는 발광부(100)에서 발산된 빛을 파장 별로 나누어 서로 다른 위치에 수렴시킬 수 있다.In the spectroscopy step S820, the lens unit 200 may divide the light emitted from the light emitting unit 100 by wavelength. In addition, the lens unit 200 may divide the light emitted from the light emitting unit 100 by wavelength and converge it at different positions.

반사산란단계(S830)에서, 파장 별로 나누어진 빛은 노즐(710)에서 토출된 액적(720)의 표면에서 반사 또는 산란될 수 있다. 이 때에, 특정한 파장의 빛이 노즐(710)에서 토출된 액적(720)의 표면에서 수렴되어 반사 또는 산란될 수 있다.In the reflection and scattering step (S830), light divided by wavelength may be reflected or scattered on the surface of the droplet 720 discharged from the nozzle 710. At this time, light of a specific wavelength may be converged on the surface of the droplet 720 discharged from the nozzle 710 to be reflected or scattered.

측정단계(S840)에서, 분광계(500)는 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정할 수 있다.In the measuring step S840, the spectrometer 500 may measure the luminous intensity of each wavelength of reflected or scattered light.

분석단계(S850)에서, 분석부(600)는 분광계(500)에서 측정된 파장 별 광도를 기초로 액적의 유무, 위치, 크기 또는 길이를 분석할 수 있다.In the analysis step (S850), the analysis unit 600 may analyze the presence, location, size, or length of the droplet based on the luminosity of each wavelength measured by the spectrometer 500.

이상에서와 같이, 본 출원의 바람직한 실시예 들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 출원을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, although it has been described with reference to the preferred embodiments of the present application, those skilled in the art will variously modify the present application within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. And it will be appreciated that it can be changed.

10 : 빛파장을 이용한 노즐검사장치
100 : 발광부 200 : 렌즈부
300 : 빔스플리터 400 : 차단막
500 : 분광계
510 : 프리즘 520 : 광센서
600 : 제어부
700 : 헤드
710 : 노즐 720 : 액적
800 : 빛파장을 이용한 노즐검사방법10: Nozzle inspection device using light wavelength
100: light emitting unit 200: lens unit
300: beam splitter 400: blocking film
500: spectrometer
510: prism 520: optical sensor
600: control unit
700: head
710: nozzle 720: droplet
800: Nozzle inspection method using light wavelength

Claims (10)

복수 파장의 빛을 하나의 광축 상으로 발산하는 발광부;
상기 발산된 빛을 파장 별로 나누는 렌즈부;
상기 파장 별로 나누어진 빛은 노즐에서 토출된 액적의 표면에서 반사 또는 산란되고,
상기 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정하는 분광계; 및
상기 측정된 파장 별 광도를 기초로 액적의 유무, 위치, 크기 또는 길이를 분석하는 분석부를 포함하고,
상기 렌즈부는 상기 발산된 빛을 파장 별로 나누어 상기 하나의 광축 상에서 서로 다른 위치에 수렴시키고,
특정한 파장의 빛은 상기 토출된 액적의 표면에서 수렴되어 반사 또는 산란되는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치.
A light emitting unit that emits light of multiple wavelengths onto one optical axis;
A lens unit dividing the emitted light by wavelength;
The light divided by the wavelength is reflected or scattered from the surface of the droplet discharged from the nozzle,
A spectrometer measuring the intensity of the reflected or scattered light according to wavelengths; And
Includes an analysis unit for analyzing the presence or absence, location, size or length of the droplet based on the measured light intensity for each wavelength,
The lens unit divides the emitted light by wavelength and converges at different positions on the one optical axis,
A nozzle inspection apparatus using a light wavelength, characterized in that light of a specific wavelength is converged on the surface of the discharged droplet and reflected or scattered.
 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 빛파장을 이용한 노즐검사장치는 상기 발광부로부터 상기 렌즈부 방향의 빛은 통과시키고 반대 방향의 빛은 반사시키는 빔스플리터를 포함하고,
상기 분광계는 상기 빔스플리터에서 반사된 빛의 파장별 광도를 측정하는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치.
The method of claim 1,
The nozzle inspection device using the light wavelength includes a beam splitter that passes light from the light emitting unit in a direction of the lens unit and reflects light in the opposite direction,
The spectrometer measures the intensity of light reflected by the beam splitter for each wavelength.
 제1항에 있어서,
상기 렌즈부는 상기 반사 또는 산란된 빛의 일부를 특정한 지점에 수렴시키고,
상기 분광계의 광 입사경로에는 상기 특정한 지점에 핀홀이 형성된 차단막이 배치되는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치.
The method of claim 1,
The lens unit converges part of the reflected or scattered light to a specific point,
A nozzle inspection apparatus using a wavelength of light, characterized in that a blocking film having a pinhole formed at the specific point is disposed in the light incident path of the spectrometer.
 제1항에 있어서,
상기 발광부는 백색광을 발산하는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치.
The method of claim 1,
The nozzle inspection device using a light wavelength, characterized in that the light emitting unit emits white light.
 제1항에 있어서,
상기 발광부는 서로 다른 위치에 복수 개로 구비되어 상기 복수의 발광부 각각은 여러 위치에서 복수 파장의 빛을 발산하고,
상기 렌즈부는 상기 복수 개의 발광부 각각에 대응되도록 복수개로 구비되어 상기 여러 위치에서 발산된 빛을 파장 별로 나누고,
상기 여러 위치에서 발산되어 파장 별로 나누어진 빛은 상기 토출된 액적의 표면에서 상기 여러 위치에 대응되는 여러 지점으로 반사 또는 산란되고,
상기 분광계는 상기 복수 개의 발광부 각각에 대응되도록 복수개로 구비되어 상기 지점 별로 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정하고,
상기 분석부는 상기 지점 별 및 파장 별 광도를 기초로 액적의 3차원 형태를 분석하는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사장치.
The method of claim 1,
The plurality of light-emitting units are provided at different positions so that each of the plurality of light-emitting units emit light of a plurality of wavelengths at various positions,
The lens unit is provided in plural so as to correspond to each of the plurality of light emitting units to divide the light emitted from the various positions by wavelength,
The light emitted from the various locations and divided by wavelength is reflected or scattered from the surface of the discharged droplet to various points corresponding to the various locations,
The spectrometer is provided in plural so as to correspond to each of the plurality of light emitting units to measure the luminous intensity of each wavelength of light reflected or scattered at each point,
The analysis unit analyzes the three-dimensional shape of the droplet based on the luminous intensity for each point and each wavelength.
 복수 파장의 빛을 하나의 광축 상으로 발산시키는 발광단계;
상기 발산된 빛을 파장 별로 나누는 분광단계;
상기 파장 별로 나누어진 빛이 노즐에서 토출된 액적의 표면에서 반사 또는 산란되는 반사산란단계;
상기 반사 또는 산란된 빛의 파장 별 광도를 측정하는 측정단계;
상기 측정된 파장 별 광도를 기초로 액적의 유무, 위치, 크기 또는 길이를 분석하는 분석단계를 포함하고,
상기 분광단계에서는, 상기 발산된 빛을 파장 별로 나누어 하나의 광축 상에서 서로 다른 위치에 수렴시키고,
상기 반사산란단계에서는, 특정한 파장의 상기 빛이 상기 토출된 액적의 표면에서 수렴되어 반사 또는 산란되는 것을 특징으로 하는 빛파장을 이용한 노즐검사방법.A light emitting step of emitting light of a plurality of wavelengths onto one optical axis;
A spectral step of dividing the emitted light by wavelength;
A reflection and scattering step in which the light divided by wavelength is reflected or scattered from the surface of the droplet discharged from the nozzle;
A measuring step of measuring the intensity of the reflected or scattered light for each wavelength;
Including an analysis step of analyzing the presence, location, size, or length of droplets based on the measured light intensity for each wavelength,
In the spectroscopy step, the emitted light is divided by wavelength and converged at different positions on one optical axis,
In the reflection and scattering step, the light of a specific wavelength is converged on the surface of the discharged droplet to be reflected or scattered. 삭제delete 삭제delete
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Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002095362A2 (en) * 2001-05-24 2002-11-28 New Objective, Inc. Method and apparatus for feedback controlled electrospray
JP3524419B2 (en) 1999-03-08 2004-05-10 アロカ株式会社 Absorbance measurement device
JP3869362B2 (en) 2000-07-25 2007-01-17 クボタ リサーチ アソシエーツ、インク． Exposure system for recording medium
JP4067826B2 (en) 2000-01-24 2008-03-26 アムニス コーポレイション Imaging system and imaging method thereof
JP2012521540A (en) * 2009-03-20 2012-09-13 バイオ−ラド ラボラトリーズ インコーポレイテッド Sequential line scan encoded multicolor fluorescence microscopy and image flow cytometry
JP2016017936A (en) 2014-07-11 2016-02-01 株式会社リコー Fine particle dispersibility evaluation device and fine particle dispersibility evaluation method
JP2016524703A (en) 2013-05-15 2016-08-18 キャピトル エルエルシー Scanning image flow cytometer
US20170120604A1 (en) 2015-10-30 2017-05-04 Manabu Seo Liquid droplet forming apparatus
JP2018066608A (en) 2016-10-18 2018-04-26 国立大学法人 筑波大学 Light measuring system, and light measuring method
JP2019020421A (en) 2012-10-15 2019-02-07 ナノセレクト バイオメディカル， インコーポレイテッド System, apparatus, and method for sorting particles

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3524419B2 (en) 1999-03-08 2004-05-10 アロカ株式会社 Absorbance measurement device
JP4067826B2 (en) 2000-01-24 2008-03-26 アムニス コーポレイション Imaging system and imaging method thereof
JP3869362B2 (en) 2000-07-25 2007-01-17 クボタ リサーチ アソシエーツ、インク． Exposure system for recording medium
WO2002095362A2 (en) * 2001-05-24 2002-11-28 New Objective, Inc. Method and apparatus for feedback controlled electrospray
JP2012521540A (en) * 2009-03-20 2012-09-13 バイオ−ラド ラボラトリーズ インコーポレイテッド Sequential line scan encoded multicolor fluorescence microscopy and image flow cytometry
JP2019020421A (en) 2012-10-15 2019-02-07 ナノセレクト バイオメディカル， インコーポレイテッド System, apparatus, and method for sorting particles
JP2016524703A (en) 2013-05-15 2016-08-18 キャピトル エルエルシー Scanning image flow cytometer
JP2016017936A (en) 2014-07-11 2016-02-01 株式会社リコー Fine particle dispersibility evaluation device and fine particle dispersibility evaluation method
US20170120604A1 (en) 2015-10-30 2017-05-04 Manabu Seo Liquid droplet forming apparatus
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