KR102198779B1 - 선형 세기 분포를 갖는 레이저 방사선의 생성 장치 - Google Patents

선형 세기 분포를 갖는 레이저 방사선의 생성 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 선형 세기 분포(11)를 갖는 레이저 방사선(3)을 생성하기 위한 장치에 관한 것이며, 상기 장치는 레이저 방사선(3)을 생성하기 위한 복수의 레이저 광원과, 이 레이저 광원들로부터 방출되는 레이저 방사선들(3)을 작업 평면(9)에서 선형 세기 분포(11)를 갖는 레이저 방사선(14)으로 변환하기 위한 광학 수단들을 포함하고, 레이저 광원들은 기본형 레이저로서 형성되며, 상기 장치는 레이저 광원들로부터 방출되는 레이저 방사선들(3)의 각각이 자신과 중첩되지 않도록 형성된다.

Description

선형 세기 분포를 갖는 레이저 방사선의 생성 장치{DEVICE FOR GENERATING LASER RADIATION HAVING A LINEAR INTENSITY DISTRIBUTION}
본 발명은, 청구항 제 1 항의 전제부에 따르는, 선형 세기 분포를 갖는 레이저 방사선의 생성 장치에 관한 것이다.
정의: 레이저 빔, 광 빔, 부분 빔 또는 빔은, 분명하게 달리 지시되어 있지 않으면, 기하 광학의 이상화된 빔을 의미하는 것이 아니라, 예컨대 극소의 작은 빔 횡단면이 아니라 확장된 빔 횡단면을 가진 가우스 프로파일 또는 변형된 가우스 프로파일 또는 탑-햇 프로파일(Top-Hat profile)을 갖는 레이저 빔과 같은 실제 레이저 빔을 의미한다. 탑-햇 분포(top-hat distribution) 또는 탑-햇 세기 분포 또는 탑-햇 프로파일은 적어도 한 방향에 대해 실질적으로 구형 함수(rect(x))로 나타내질 수 있는 세기 분포를 의미한다. 이 경우, 퍼센트 범위에서 구형 함수로부터의 편차, 또는 경사진 에지를 포함하는 실제 세기 분포들도 탑-햇 분포 또는 탑-햇 프로파일이라 할 수 있다.
전술한 유형의 장치는 DE 10 2007 001 639 A1에 개시되어 있다. 이 독일 공보에 개시된 장치의 경우, 복수의 레이저 광원이 다중 모드 작동 모드로 제공된다. 레이저 광원들의 레이저 방사선들은 로드형 균일화기(rod-shaped homonizer) 내에서 완전히 혼합되고 자신과 중첩된다. 그런 다음, 레이저 방사선들은 시준 및 집속 렌즈들에 의해 작업 평면에서 선형 세기 분포로 바뀐다.
선 초점(line focus) 및 균일한 세기 분포를 갖는 상기 유형의 레이저 시스템들은 지금까지 다중 모드 레이저원들(multi-mode laser source)을 이용하는 많은 기술적 적용 분야에서 공지되어 있고 사용되고 있다. 이에 대한 물리적 이유는, 다중 모드 레이저들의 방사선이 빔 번들들로 분할되고 이 빔 번들들은 후속하여 거의 간섭 스트립(interference strip) 없이 광학적으로 중첩되고 완전히 혼합되거나, 또는 균일화된다는 것에 있다. 따라서, 다중 모드 레이저원들로부터 거의 임의의 기하구조의 균일한 광계들(light field)이 생성된다. 기술적으로는 특히 장방형 탑-햇 세기 분포를 갖는 장방형 및 선형 광계들이 사용된다.
이 경우, 기본형 레이저는 DE 10 2007 001 639 A1에 기재된 균일화 및 중첩을 위해 적합하지 않는다는 것이 문제점으로서 나타났다. 오늘날, 기본형 레이저들은 전부터 알려진 점 초점(point focus)을 이용한 대부분의 경우에서 사용되고 있다. 소수의 예외의 경우, 기본형 레이저들에서는, 그 작동 원리가 물리적으로 기본적으로 다중 모드 레이저들의 경우와 다른 빔 형성 광학이 사용된다. 즉, 기본형 레이저들의 방사선은 심한 가간섭성(coherence)이며, 그럼으로써 자신과 중첩 시에 심한 간섭 스트립들이 발생한다. 그러므로 기본형 레이저들에서 사용되는 빔 형성은 종래 기술에서는 회절성을 의미하는 회절 효과를 통해, 또는 파면(wave front)의 가간섭성 변형을 통해 수행된다.
본 발명의 과제는, 기본형 레이저들의 사용에도 불구하고 작업 평면에서 비교적 균일한 선형 세기 분포를 생성할 수 있는 전술한 유형의 장치를 제공하는 것이다.
상기 과제는, 본 발명에 따라서, 청구항 제 1 항의 특징부의 특징들을 갖는 전술한 유형의 장치에 의해 달성된다. 종속 청구항들은 본 발명의 바람직한 구현예들에 관련된다.
청구항 제 1 항에 따라서, 레이저 광원들은 기본형 레이저로서 형성되며, 본원의 장치는, 레이저 광원들로부터 방출되는 레이저 방사선들의 각각이 자신과 중첩되지 않도록, 형성된다. 이로 인해, 자신과 중첩 시에 가간섭성 광을 생성하는 교란 간섭 스트립들이 발생하지 않는다.
개별 기본형 레이저의 광이 자신과 중첩되지 않는다는 것은, 전형적인 다중 렌즈 균일화기의 생략에 의해 보장될 수 있다. 상기 유형의 다중 렌즈 균일화기는 레이저 방사선을 다수의 부분 빔으로 분할한 다음, 상기 부분 빔들을 자신과 중첩시킨다.
레이저 광원들은, 2.0 미만, 특히 1.5 미만, 바람직하게는 1.3 미만의 빔 품질 계수(M2)(beam quality factor)를 갖는 레이저 방사선을 생성할 수 있으며, 예컨대 1.05의 빔 품질 계수(M2)를 갖는 레이저 방사선을 생성할 수 있다.
바람직하게 레이저 광원들은 각각 섬유 레이저(fiber laser)로서 형성된다. 모든 유형의 재료 가공에 있어서 매출 및 수량이 가장 빠르게 성장하고 있는 레이저 유형은 최근 몇 년간 섬유 레이저였다. 많은 적용 분야에서 섬유 레이저는 종래의 고체 레이저 및 가스 레이저에 비해 분명한 가격 대비 성능의 장점을 보이고 있다. 섬유 레이저는 높은 빔 품질 및 휘도를 특징으로 하고 재료 가공에 대해 새로운 성능 기록을 기록하였다. 예컨대 50kW까지의 기본형 레이저는 상업상 구입이 가능하다. 본 발명에 따른 구성에 의해, 섬유 레이저의 특별한 특성들로 선 초점 적용을 위한 지금까지 달성하지 못한 새로운 세기 범위로 나아갈 수 있다.
본원의 장치는, 작업 평면에서의 선형 세기 분포가 10을 상회하는, 특히 20을 상회하는, 바람직하게는 30을 상회하는 길이 대 폭의 비율을 갖도록 형성될 수 있다. 큰 종횡비를 갖는 선형 세기 분포는 많은 적용 분야에서 매우 중요하다.
본원의 장치는, 개별 레이저 광원들로부터 방출되는 레이저 방사선들이 작업 평면에서 선 종방향(line longitudinal direction)으로 실질적으로 상호 간에 나란하게 배열되어 함께 선형 세기 분포를 형성하며, 특히 개별 레이저 방사선들의 세기 분포들의 측면 에지들만이 선 종방향으로 중첩되도록, 형성될 수 있다. 이로 인해, 선을 형성할 때에도, 레이저 방사선들의 바람직하지 않은 중첩은 방지된다.
광학 수단들은 시준 및/또는 이미징 렌즈들을 포함할 수 있다.
또한, 광학 수단들은 가우스 분포를 탑-햇 분포로 변환할 수 있는 하나 이상의 변환 소자를 포함할 수 있고, 변환 소자는 예컨대 파월 렌즈(Powell lens)일 수 있거나, 또는 파월 렌즈를 포함할 수 있다.
특히 본원의 장치는 복수의 변환 소자를 포함할 수 있고, 이들 변환 소자 중에서 각각 하나의 변환 소자는, 제 1 레이저 광원으로부터 방출되는 레이저 방사선이 제 1 변환 소자를 통과하여 진행되고 제 2 레이저 광원으로부터 방출되는 레이저 방사선은 제 2 변환 소자를 통과하여 진행되도록, 레이저 광원들 중 하나의 레이저 광원에 할당된다. 이로 인해, 작업 평면에서는 비교적 장방형인 세기 분포들이 상호 간에 연결되며, 그럼으로써 매우 균일한 선이 형성된다.
이 경우, 변환 소자, 또는 변환 소자들 각각은 그에 의해 변환되는 레이저 방사선을 변환에 의해 균일화할 수 있지만, 각각의 레이저 방사선을 자신과 중첩시키지는 않는다. 이는, 특히, 변환 소자 또는 변환 소자들 각각이 위상 플레이트처럼 에너지를 레이저 방사선 내에서 재분포시키지만, 중첩을 수행하지 않기 때문이다. 중첩은 인접하고 비교적 장방형이면서 작업 평면에서는 상호 간에 연결되는 세기 분포들 사이에서만 이루어진다. 그러나 상기 세기 분포들은 상호 간에 가간섭성을 띠지 않으며, 그럼으로써 그들의 중첩에 의해 교란 간섭 스트립들이 형성되지 않는다.
본원의 장치는 섬유 레이저의 단부들을 위한, 또는 섬유 레이저들과 연결된 광섬유들을 위한 페룰들(ferrule)을 포함할 수 있으며, 바람직하게는 개별 레이저 광원들에 할당된 페룰들은 특히 열 전도성인 하나 이상의 공통 브래킷에서 상호 간에 연결된다. 열 전도성 브래킷들로 인해, 레이저 광원들은 매우 높은 출력으로 작동될 수 있다. 선의 길이를 증가시키기 위해, 상기 브래킷들 중 복수의 브래킷은 선 종방향으로 상호 간에 연결될 수 있다.
또한, 광학 수단들은 특히 열 전도성으로 형성되는 하나 이상의 브래킷을 포함할 수 있다. 여기서도, 하나 이상의 열 전도성 브래킷은, 레이저 광원들이 매우 높은 출력으로 작동될 수 있는 것을 보장한다.
또한, 페룰들의 하나 이상의 브래킷 및 광학 수단들의 하나 이상의 브래킷은 상호 간에 연결되어 하나 이상의 모듈을 형성할 수 있다. 이 경우, 특히 본원의 장치는 브래킷들을 포함하여 특히 생성할 세기 분포의 종방향으로 모듈 형태로 상호 간에 연결될 수 있는 모듈들 중 복수의 모듈을 포함할 수 있다. 이로 인해서도, 선의 길이가 증가될 수 있다.
본 발명의 추가 특징들 및 장점들은 첨부한 도면들을 참고로 하는 하기의 바람직한 실시예 설명에 의해 분명해진다.
도 1은 본 발명에 따른 장치의 제 1 실시예를 도시한 개략적 측면도이다.
도 2는 제 1 실시예에서 선 종방향과 관련하여 작업 평면에서 선형 세기 분포의 생성을 나타낸 개략적 다이어그램이다.
도 3은 선 횡방향과 관련하여 작업 평면에서 선형 세기 분포의 생성을 나타낸 개략적 다이어그램이다.
도 4는 작업 평면 내의 등세기선들(iso-intensity line)을 나타낸 개략적 다이어그램이다.
도 5는 본 발명에 따른 장치의 제 2 실시예를 도시한 개략적 측면도이다.
도 6은 제 2 실시예에서 선 종방향과 관련하여 작업 평면에서 선형 세기 분포의 생성을 나타낸 개략적 다이어그램이다.
도 7은 선 횡방향과 관련하여 작업 평면에서 선형 세기 분포의 생성을 나타낸 개략적 다이어그램이다.
도 8은 작업 평면 내의 등세기선들을 나타낸 개략적 다이어그램이다.
도면들에서, 동일하거나 기능이 동일한 부재들 또는 광 빔들은 동일한 도면부호들로 표시된다. 또한, 도면들 중 몇몇 도면에는 방향 설정을 수월하게 하기 위해 좌표계가 도시되어 있다.
도 1에서 알 수 있는 제 1 실시예는 기본형 레이저로서 형성되는 복수의 레이저 광원을 포함한다. 특히 레이저 광원들은 섬유 레이저들이다. 도 1에는, 섬유 레이저의 부분이거나, 또는 이 부분과 연결되어 있는 광섬유(1)의 단부가 도시되어 있다. 광섬유(1)는 기본형 섬유이다. 레이저 광원들, 및/또는 광섬유(1)의 출력 측 단부들은 도 1에서 도면 평면으로 연장되는 X 방향으로 상호 간에 나란히 배열된다.
각각의 광섬유(1)의 단부 상에는 열 전도성이면서 열적으로 최적화된 페룰이 배열된다. 이 경우, 특히 복수의 광섬유(1)의 페룰들은, 마찬가지로 열 전도성이면서 열적으로 최적화되어 형성되는 공통 브래킷(2) 내에 수용된다. 상기 브래킷들(2) 중 복수의 브래킷은 X 방향으로 선형으로 상호 간에 나란히 배열되고, 특히 상호 간에 연결될 수 있으며, 그럼으로써 섬유 단부들의 선형 배열은 임의의 총 길이로 확장된다. 또한, 브래킷들(2)은 산란광을 흡수할 수 있다.
광섬유들(1)의 단부들로부터 방출되는 레이저 방사선들(3)의 전파 방향(Z)으로, 제 1 실시예에서 하나 이상의 시준 렌즈 수단(4), 특히 하나 이상의 시준 렌즈 어레이를 포함하는 광학 수단들이 배열된다. 상기 하나 이상의 렌즈 어레이는 망원경으로서 형성되고 선형으로 상호 간에 마주보게 위치하는 렌즈들을 포함할 수 있으며, 이 렌즈들의 애퍼처는 할당된 광섬유(1)의 섬유 코어 중심점 상에 각각 센터링된다. 섬유 단부로부터 방출되는 광은 할당되거나 또는 마주보게 위치하는 망원경에 의해 시준된다.
또한, 본원의 장치는 하나 이상의 시준 렌즈 수단(4)을 위한 하나 이상의 열전도성 브래킷(5)을 포함한다. 이 브래킷(5)은, 열 전도성이면서 열적으로 최적화되어 렌즈 수단(들)(4)을 지지하면서 산란광을 흡수하는 홀더로 구성될 수 있다.
또한, 본원의 장치의 제 1 실시예는, 가우스형 프로파일을 탑-햇 프로파일로 변환할 수 있는 하나 이상의 변환 소자(6), 특히 하나 이상의 렌즈 어레이를 포함한다. 이 경우, 렌즈들 또는 대향하는 렌즈들의 각각은, 렌즈 어레이가 복수 개인 경우, 애퍼처들이 할당된 광섬유(1)의 섬유 코어 중심점 상에 각각 센터링되도록 배열될 수 있다.
또한, 본원의 장치의 제 1 실시예는, 하나 이상의 변환 소자(6)를 위한 하나 이상의 열 전도성 브래킷(7)을 포함한다. 이런 하나 이상의 브래킷(7)은, 열 전도성이면서 열적으로 최적화되어 하나 이상의 변환 소자(6)를 지지하면서 산란광을 흡수하는 홀더로 구성될 수 있다.
또한, 광학 수단들은, 작업 평면(9) 내로 레이저 방사선들(3)을 집속할 수 있는 하나 이상의 집속 렌즈 수단(8) 또는 하나 이상의 집속 렌즈 어레이를 포함한다. 도시된 실시예에서, 하나 이상의 집속 렌즈 수단(8)은, 하나 이상의 변환 소자(6)와 동일한 브래킷(7)에 수용된다. 그러나 도 5의 제 2 실시예의 경우처럼, 하나 이상의 집속 렌즈 수단(8)은 별도로 설치되거나, 또는 브래킷(7) 내에 수용될 수도 있다.
렌즈 수단들(4) 및 변환 소자들(6) 및 그 브래킷들(5, 7)의 길이는, 마주보는 섬유 단부들 및 렌즈 수단들(4) 그리고 변환 소자들(6)의 브래킷들(2, 5, 7)이 조합되어, 열적으로 연결된 광 기계식 유닛들(서브 모듈들)을 형성할 수 있도록, 섬유 단부들의 브래킷들(2)의 길이에 매칭된다.
렌즈 어레이로서 형성되는 변환 소자들(6)은 선형으로 상호 간에 마주보며 어레이로서 배열된 렌즈들로 구성되며, 이 렌즈들은 각각의 시준된 빔으로부터 특히 작업 평면(9)에서 세기 분포(10)를 생성한다. 개별 섬유 단부들 및 관련 렌즈들로부터 방출되는 방사선의 빔 프로파일들은 장축(X 방향)을 따라서, 한 세기 분포(10)의 측면 에지(10a)가 인접한 세기 분포(10)의 측면 에지(10a)와 중첩되어, 결합된 레이저 방사선(14)의 연속적이고 동일한 형태의 선형 세기 분포(11)를 형성하도록 하는 세기 하강부들을 갖는 측면 에지들(10a)을 포함한다.
이는, 작업 평면에서의 세기(I)가 X 방향에 대해 도시되어 있는 도 2에 나타난다. 각각의 세기 분포(10)들의 하부에는 12로 섬유 단부들의 이미지 중심의 위치가 표시되어 있다. 도 3에는, 그에 상응하게 작업 평면에서의 세기(I)가 Y 방향에 대해 도시되어 있다.
도 4에는, 작업 평면(9) 내의 등세기선(13)이 도시되어 있다. 이 경우, 특히 선 종방향(X 방향)으로 매우 긴 선형 세기 분포(11)가 생성되어야 한다면, 등세기선(13)은 도 4에서 우측 및 좌측 방향으로 훨씬 더 멀리 확장된다. 등세기선(13)은 작업 평면에서 대략 레이저 방사선(14)을 절단한 단면을 나타낸다.
도 5에 따른 실시예의 경우, 가우스 프로파일로부터 탑-햇 프로파일로 변환을 위한 변환 소자(6) 또는 렌즈 어레이가 제공되지 않는다. 그러므로 여기서는 예컨대 하나 이상의 집속 렌즈 수단(8) 또는 하나 이상의 집속 렌즈 어레이가 브래킷(7) 내에 수용될 수 있다.
가우스 프로파일로부터 탑-햇 프로파일로 변환을 위한 변환 소자(6)가 제공되지 않음으로 인해, 작업 평면(9) 내에서 개별 세기 분포(10)들은 가우스 형태를 갖는다. 제 2 실시예의 경우에도, 개별 세기 분포(10)들이 중첩되어, 결합된 레이저 방사선(14)의 연속적인 선형 세기 분포(11)를 형성한다. 이런 연속적인 선형 세기 분포(11)는 불균일하다. 그러나 세기 분포의 변동은 많은 적용 분야에서 허용될 수 있다.
이는, 작업 평면 내의 세기(I)가 X 방향에 대해 도시되어 있는 도 6에서 나타난다. 각각의 세기 분포(10)들의 하부에는 다시 12로 섬유 단부들의 이미지 중심의 위치가 표시되어 있다. 도 7에는, 작업 평면 내의 세기(I)가 Y 방향에 대해 도시되어 있다.
도 8에는, 다시 작업 평면(9) 내의 등세기선(13)이 도시되어 있다. 이 경우, 특히 선 종방향(X 방향)으로 매우 긴 선형 세기 분포(11)가 생성되어야 한다면, 등세기선(13)은 도 8에서 우측 및 좌측 방향으로 훨씬 더 멀리 확장된다. 등세기선(13)은 개별 부분 레이저 방사선들(3)의 가우스형 프로파일로 인해 마찬가지로 약간 불균일하다.
두 실시예에서, 페룰들의 선 종방향(X)으로 간격(피치)은 선 초점의 세기를 의도하는 값으로 설정할 수 있는 설계 매개변수들 중 하나이다. 피치는, 브래킷의 기계적 안정성, 필요한 열 전달률 및 시준 어레이의 마이크로 렌즈들의 최소의 애퍼처 크기 및 그 초점 거리에 의해 하향으로 제한된다(그리고 달성 가능한 선 초점 세기는 상향으로 제한된다).
실시예 1:
예시적인 실시예에서, 각각 1kW의 출력과 M2 = 1.05의 빔 품질 계수를 가지면서 상업상 구입 가능한 수냉식 IPG 섬유 레이저들(YLR SM)이 사용될 수 있다.
또한, 광섬유(1)로서는, 개구수가 0.1일 수 있는 단일 모드 섬유들이 이용된다.
렌즈 어레이들에서 렌즈들의 최소 초점거리는 0.3㎜일 수 있다. 렌즈 어레이들에서 렌즈들의 최소 애퍼처 크기도 0.3㎜일 수 있다. 그 결과, 0.06㎜의 작업 평면 내 스폿 크기(spot size)가 달성될 수 있다.
애퍼처의 완전한 조명 동안 세기는 1.41MW/㎠일 수 있다. 개별 세기 분포(10)의 치수는 예컨대 장축(X 방향)에서 2㎜이며, 단축(Y 방향)에서는 0.05㎜일 수 있다.
개별 세기 분포(10)들의 연속 배열에 의해, 0.5kW/㎜의 선 출력 또는 1000kW/㎠의 선 세기가 주어질 수 있다.
1 광섬유
2 브래킷
3 레이저 방사선
4 시준 렌즈 수단
5 브래킷
6 변환 소자
7 브래킷
8 집속 렌즈 수단
9 작업 평면
10 세기 분포
10a 측면 에지
11 선형 세기 분포
12 이미지 중심의 위치
13 등세기선
14 레이저 방사선

Claims (17)

  1. 선형 세기 분포(11)를 갖는 레이저 방사선(14)의 생성 장치로서,
    - 레이저 방사선(3)을 생성하기 위한 복수의 레이저 광원으로서, 상기 레이저 광원들은 각각 섬유 레이저로서 형성되고, 상기 장치는 상기 섬유 레이저들의 단부들을 위한, 또는 상기 섬유 레이저들과 연결된 광섬유들(1)을 위한 페룰들(ferrule)을 포함하며, 개별 레이저 광원들에 할당된 상기 페룰들은 복수의 공통 브래킷(2)에서 상호 간에 연결되는, 상기 복수의 레이저 광원과,
    - 상기 레이저 광원들로부터 방출되는 상기 레이저 방사선들(3)을 작업 평면(9)에서 선형 세기 분포(11)를 갖는 레이저 방사선(14)으로 변환하기 위한 광학 수단을 포함하며,
    상기 레이저 광원들은 기본형 레이저들로서 형성되며, 상기 장치는, 상기 레이저 광원들로부터 방출되는 상기 레이저 방사선들(3)의 각각이 그 자신과 중첩되지 않도록 형성되고,
    상기 장치는, 상기 개별 레이저 광원들로부터 방출되는 상기 레이저 방사선(3)들이 상기 작업 평면(9)에서 선형의 종방향(X)으로 실질적으로 상호 간에 나란히 배열되어 함께 상기 레이저 방사선(14)의 선형 세기 분포(11)를 형성하도록 형성되고, 상기 선형 세기 분포(11)의 길이를 증가시키기 위해, 상기 페룰들을 위한 상기 브래킷들(2) 중 복수의 브래킷이 상기 선형의 종방향으로 상호 간에 연결될 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 레이저 광원들은 2.0 미만의 빔 품질 계수(M2)를 갖는 레이저 방사선(3)을 생성할 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 장치는, 상기 작업 평면(9) 상의 상기 선형 세기 분포(11)가 10을 상회하는 길이 대 폭의 비율을 갖도록, 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 개별 레이저 방사선들(3)의 상기 세기 분포들의 측면 에지들(10a)만이 상기 선형의 종방향(X)으로 중첩되는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 광학 수단은 시준 및/또는 이미징 렌즈 수단(4, 8)을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 광학 수단은 가우스 분포를 탑-햇 분포(top-hat distribution)로 변환할 수 있는 하나 이상의 변환 소자(6)를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 장치는 복수의 변환 소자(6)를 포함하며, 이들 변환 소자 중에서 각각 하나의 변환 소자는, 제 1 레이저 광원으로부터 방출되는 상기 레이저 방사선(3)이 제 1 변환 소자(6)를 통과하여 진행되고 제 2 레이저 광원으로부터 방출되는 상기 레이저 방사선(3)은 제 2 변환 소자(6)를 통과하여 진행되도록, 상기 레이저 광원들 중 하나의 레이저 광원에 할당되는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 복수의 공통 브래킷(2)이 열 전도성인 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 광학 수단은 열 전도성으로 형성되는 하나 이상의 브래킷(5, 7)을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 페룰들의 상기 하나 이상의 브래킷(2) 및 상기 광학 수단의 상기 하나 이상의 브래킷(5, 7)은 상호 간에 연결되어 하나 이상의 모듈을 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 브래킷들(2, 5, 7)을 포함하는 복수의 모듈은, 생성될 상기 세기 분포(11)의 종방향(X)으로 모듈 형태로 상호 간에 연결될 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  12. 제 2 항에 있어서, 상기 레이저 광원들은 1.5 미만의 빔 품질 계수(M2)를 갖는 레이저 방사선(3)을 생성할 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 레이저 광원들은 1.3 미만의 빔 품질 계수(M2)를 갖는 레이저 방사선(3)을 생성할 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 레이저 광원들은 1.05의 빔 품질 계수(M2)를 갖는 레이저 방사선(3)을 생성할 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  15. 제 3 항에 있어서, 상기 장치는, 상기 작업 평면(9) 상의 상기 선형 세기 분포(11)가 20을 상회하는 길이 대 폭의 비율을 갖도록, 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 장치는, 상기 작업 평면(9) 상의 상기 선형 세기 분포(11)가 30을 상회하는 길이 대 폭의 비율을 갖도록, 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
  17. 제 6 항에 있어서, 상기 변환 소자(6)는 파월 렌즈(Powell lens)일 수 있거나, 또는 파월 렌즈를 포함할 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 방사선의 생성 장치.
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