KR102157476B1

KR102157476B1 - Heater and insulator assembly for vacuum effusion cell

Info

Publication number: KR102157476B1
Application number: KR1020180018605A
Authority: KR
Inventors: 박성동; 권영하; 문일권; 차수영
Original assignee: (주)알파플러스
Priority date: 2018-02-14
Filing date: 2018-02-14
Publication date: 2020-09-21
Also published as: WO2019160228A1; JP2021512217A; KR20190098536A; CN111713178A; JP7049466B2; CN111713178B

Abstract

본 발명은 조립이 용이하고, 조립 시간을 단축시킬 수 있으며, 그리고 열선의 단락(short circuit)을 방지할 수 있는 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 제공하는 것이 그 기술적 과제이다. 이를 위해, 본 발명의 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리는, 복수의 직선부와 복수의 벤딩부를 포함하고 상기 각각의 벤딩부의 양단에 상기 복수의 직선부 중 두 개의 직선부가 각각 연결되는 열선; 상기 각각의 벤딩부가 상기 두 개의 직선부와 함께 삽입되며 상기 두 개의 직선부가 서로 마주하게 놓이는 각각의 삽입 슬롯을 포함한 하나 이상의 제1 절연체; 및 상기 서로 마주하는 두 개의 직선부 사이를 이격시키는 하나 이상의 제2 절연체;를 포함한다.It is a technical problem of the present invention to provide a heater and an insulator assembly for a vacuum evaporation source that can be easily assembled, can shorten assembly time, and prevent a short circuit of a hot wire. To this end, the heater and insulator assembly for a vacuum evaporation source of the present invention includes: a heating wire including a plurality of straight portions and a plurality of bent portions, and two straight portions of the plurality of straight portions are connected to both ends of each of the bending portions; At least one first insulator including respective insertion slots in which each of the bent portions is inserted together with the two straight portions and the two straight portions face each other; And one or more second insulators spaced apart between the two straight portions facing each other.

Description

진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리{Heater and insulator assembly for vacuum effusion cell}Heater and insulator assembly for vacuum effusion cell}

본 발명은 웨이퍼나 기판 상에 박막을 형성하기 위해 사용되는 진공 증발원에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum evaporation source used to form a thin film on a wafer or substrate.

일반적으로, 진공 증발원은, 고 진공의 챔버 내에 배치된 기판상에 소정의 박막을 형성하기 위하여 박막 형성용 물질을 가열하여 증발시키는 것으로, 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에 특정 물질로 이루어진 박막을 형성하거나, 대형 평판 디스플레이 장치의 제조 공정에서 유리 기판 등의 표면에 원하는 물질의 박막을 형성하는 데 사용되고 있다.In general, a vacuum evaporation source heats and evaporates a thin film forming material to form a predetermined thin film on a substrate disposed in a high vacuum chamber, and forms a thin film made of a specific material on the wafer surface in a semiconductor manufacturing process. , It is used to form a thin film of a desired material on a surface of a glass substrate or the like in a manufacturing process of a large flat panel display device.

도 1은 기존의 진공 증발원을 개략적으로 나타낸 일부 절개 단면도이고, 도 2는 도 1의 진공 증발원에 사용된 히터 절연 모듈을 분리하여 나타낸 사시도이다.1 is a partially cut-away cross-sectional view schematically showing a conventional vacuum evaporation source, and FIG. 2 is a perspective view showing a separate heater insulation module used in the vacuum evaporation source of FIG. 1.

기존의 진공 증발원(10)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 케이스(11)와, 케이스의 내부 공간에 구비되며 박막 형성용 물질이 담기는 도가니(12)와, 도가니를 감싸는 형태로 구비되며 박막 형성용 물질을 증발시키기 위해 도가니를 가열하는 히터 및 절연체 어셈블리(13)와, 그리고 히터 및 절연체 어셈블리를 지지하며 히터 및 절연체 어셈블리의 열을 도가니로 반사시키는 열 반사판(14)을 포함한다. 특히, 히터 및 절연체 어셈블리(13)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 열선(13a)과, 그리고 열선의 직경 크기로 형성된 복수의 삽입공(H)을 가지는 절연체(13b)를 포함하여, 열선(13a)이 절연체(13b)의 첫 번째 삽입공(H1)에 끼워진 후 구부려 지고, 다시 절연체(13b)의 두 번째 삽입공(H2)에 끼워진 후 구부려지는 과정이 반복되면서 조립된다.The conventional vacuum evaporation source 10, as shown in FIG. 1, is provided in a case 11, a crucible 12 that is provided in the inner space of the case and contains a material for forming a thin film, and wraps the crucible. A heater and insulator assembly 13 for heating the crucible to evaporate the thin film forming material, and a heat reflector 14 for supporting the heater and insulator assembly and reflecting heat of the heater and insulator assembly to the crucible. In particular, the heater and insulator assembly 13, as shown in FIG. 2, includes a heating wire 13a, and an insulator 13b having a plurality of insertion holes H formed in a diameter size of the heating wire, (13a) is inserted into the first insertion hole (H1) of the insulator (13b) and then bent, and then again inserted into the second insertion hole (H2) of the insulator (13b), the process of bending is repeated and assembled.

하지만, 기존의 진공 증발원(10)용 히터 및 절연체 어셈블리(13)는, 그 조립을 위해 열선(13a)을 절연체(13b)의 삽입공(H)에 끼우고 구부리는 과정이 반복되어야 하므로 조립이 어렵고 조립 시간이 많이 소요되는 문제가 있다.However, in the existing heater and insulator assembly 13 for the vacuum evaporation source 10, the assembly of the heating wire 13a is inserted into the insertion hole H of the insulator 13b, and the process of bending it must be repeated. It is difficult and requires a lot of assembly time.

또한, 열선(13a)의 직경을 1mm 이상으로 크게 하면 절연체(13b)의 각각의 삽입공(H)에 끼우고 구부리는 작업이 상당히 어려운 문제가 있다.In addition, when the diameter of the heating wire 13a is increased to 1 mm or more, there is a problem that it is quite difficult to insert and bend each insert hole H of the insulator 13b.

본 발명의 기술적 과제는, 조립이 용이하고, 조립 시간을 단축시킬 수 있으며, 그리고 열선의 단락(short circuit)을 방지할 수 있는 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 제공하는 것이다.The technical object of the present invention is to provide a heater and an insulator assembly for a vacuum evaporation source that can be easily assembled, shortened an assembly time, and prevented a short circuit of a hot wire.

본 발명의 다른 기술적 과제는, 상대적으로 큰 직경 또는 두께의 열선에도 사용이 가능한 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 제공하는 것이다.Another technical problem of the present invention is to provide a heater and an insulator assembly for a vacuum evaporation source that can be used even for a heating wire having a relatively large diameter or thickness.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리는, 복수의 직선부와 복수의 벤딩부를 포함하고 상기 각각의 벤딩부의 양단에 상기 복수의 직선부 중 두 개의 직선부가 각각 연결되는 열선; 상기 각각의 벤딩부가 상기 두 개의 직선부와 함께 삽입되며 상기 두 개의 직선부가 서로 마주하게 놓이는 각각의 삽입 슬롯을 포함한 하나 이상의 제1 절연체; 및 상기 서로 마주하는 두 개의 직선부 사이를 이격시키는 하나 이상의 제2 절연체;를 포함한다.In order to achieve the above object, the heater and insulator assembly for a vacuum evaporation source according to an embodiment of the present invention includes a plurality of straight portions and a plurality of bent portions, and two straight lines of the plurality of straight portions are provided at both ends of each of the bending portions. A heating wire connected to each additional; At least one first insulator including respective insertion slots in which each of the bent portions is inserted together with the two straight portions and the two straight portions face each other; And one or more second insulators spaced apart between the two straight portions facing each other.

상기 복수의 벤딩부는, 상기 열선의 상부를 이루는 복수의 상부 벤딩부; 및 상기 열선의 하부를 이루는 복수의 하부 벤딩부;를 포함할 수 있고, 상기 하나 이상의 제1 절연체는, 상기 각각의 상부 벤딩부가 삽입되는 각각의 상부 삽입 슬롯을 가지는 환 형상의 제1 상부 절연체; 및 상기 각각의 하부 벤딩부가 삽입되는 각각의 하부 삽입 슬롯을 가지는 환 형상의 제1 하부 절연체;를 포함할 수 있다.The plurality of bending units may include a plurality of upper bending units forming an upper portion of the heating wire; And a plurality of lower bent portions forming a lower portion of the heating wire, wherein the at least one first insulator includes: a first upper insulator having an annular shape having respective upper insertion slots into which the respective upper bent portions are inserted; And a ring-shaped first lower insulator having respective lower insertion slots into which each of the lower bent portions is inserted.

상기 각각의 상부 벤딩부와 상기 각각의 하부 벤딩부는 서로 번갈아 위치될 수 있고, 상기 각각의 상부 삽입 슬롯과 상기 각각의 하부 삽입 슬롯은 서로에 대해 어긋나 위치되어 상기 각각의 상부 벤딩부와 상기 각각의 하부 벤딩부를 서로 어긋나게 수용할 수 있다.Each of the upper bent portions and the respective lower bent portions may be alternately positioned with each other, and the respective upper insertion slots and the respective lower insertion slots are positioned to be offset from each other, so that the respective upper bend portions and the respective lower bends The lower bent portions can be accommodated to be shifted from each other.

상기 복수의 상부 벤딩부는 제1 및 제2 상부 벤딩부를 포함할 수 있고, 상기 복수의 하부 벤딩부는 제1 및 제2 하부 벤딩부를 포함할 수 있고, 상기 제1 및 제2 상부 벤딩부 사이에는 상기 제1 하부 벤딩부가 놓일 수 있고, 상기 제1 및 제2 하부 벤딩부 사이에는 상기 제2 상부 벤딩부가 놓일 수 있다.The plurality of upper bent parts may include first and second upper bent parts, the plurality of lower bent parts may include first and second lower bent parts, and between the first and second upper bent parts, the The first lower bent portion may be placed, and the second upper bent portion may be placed between the first and second lower bent portions.

상기 두 개의 직선부는 제1 및 제2 직선부로 이루어질 수 있고, 상기 제1 직선부는 상기 제1 상부 벤딩부의 일단과 상기 제1 하부 벤딩부의 일단을 연결할 수 있고, 상기 제2 직선부는 상기 제1 상부 벤딩부의 타단과 상기 제2 하부 벤딩부의 일단을 연결할 수 있고, 상기 제1 직선부는 상기 복수의 상부 삽입 슬롯 중 하나의 상부 삽입 슬롯의 우측과 복수의 하부 삽입 슬롯 중 하나의 하부 삽입 슬롯의 좌측에 지지될 수 있다.The two straight portions may be formed of first and second straight portions, the first straight portion may connect one end of the first upper bending portion and one end of the first lower bending portion, and the second straight portion may be formed of the first upper bending portion. The other end of the bend part and one end of the second lower bend may be connected, and the first straight part is on the right side of one of the plurality of upper insertion slots and the left side of one of the plurality of lower insertion slots. Can be supported.

일 예로, 상기 각각의 제2 절연체는, 환 형상의 절연 몸체; 및 상기 절연 몸체의 내주면에 간격을 두고 돌출되는 복수의 절연 스페이서;를 포함할 수 있다.For example, each of the second insulators may include an annular insulating body; And a plurality of insulating spacers protruding from the inner peripheral surface of the insulating body at intervals.

다른 예로, 상기 각각의 제2 절연체는, 환 형상의 절연 몸체; 및 상기 절연 몸체의 외주면에 간격을 두고 돌출되는 복수의 절연 스페이서;를 포함할 수 있다.In another example, each of the second insulators may include an annular insulating body; And a plurality of insulating spacers protruding from the outer peripheral surface of the insulating body at intervals.

상기 하나 이상의 제2 절연체는, 상기 복수의 직선부 중 상기 각각의 상부 삽입 슬롯에 삽입되는 두 개의 직선부 사이를 이격시키는 제2 상부 절연체; 및 상기 복수의 직선부 중 상기 각각의 하부 삽입 슬롯에 삽입되는 두 개의 직선부 사이를 이격시키는 제2 하부 절연체;를 포함할 수 있다.The one or more second insulators may include: a second upper insulator for spaced apart between two straight portions inserted into the respective upper insertion slots among the plurality of straight portions; And a second lower insulator spaced apart between two straight portions inserted into each of the lower insertion slots among the plurality of straight portions.

일 예로, 상기 열선은 그 단면이 원형인 와이어 형상을 가질 수 있다.For example, the heating wire may have a wire shape having a circular cross section.

다른 예로, 상기 열선은 그 단면이 사각형인 밴드 형상을 가질 수 있다.As another example, the heating wire may have a band shape having a square cross section.

상술한 본 발명의 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리는, 상기 복수의 하부 벤딩부를 그 아래에서 받치는 절연 받침대를 더 포함할 수 있다.The heater and insulator assembly for a vacuum evaporation source according to the embodiment of the present invention described above may further include an insulating pedestal for supporting the plurality of lower bent portions thereunder.

이상에서와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리는 다음과 같은 효과를 가질 수 있다.As described above, the heater and insulator assembly for a vacuum evaporation source according to an embodiment of the present invention may have the following effects.

본 발명의 실시예에 의하면, 열선의 각각의 벤딩부가 이의 양단에 연결된 두 개의 직선부와 함께 제1 절연체의 각각의 삽입 슬롯에 삽입되며 이 삽입 슬롯에서 두 개의 직선부가 서로 마주하게 놓이고, 이렇게 서로 마주하게 놓이는 두 개의 직선부 사이를 제2 절연체가 이격시키는 기술구성을 제공하므로, 열선이 복수 번 절곡된 상태를 갖더라도 각각의 벤딩부를 각각의 삽입 슬롯에 한번에 삽입시킬 수 있어 조립이 용이하고 조립 시간을 단축시킬 수 있고, 벤딩부와 함께 삽입 슬롯에 삽입되어 서로 마주하게 되는 두 개의 직선부의 사이를 제1 절연체에 의해 이격시킬 수 있어 변형 등에 의해 서로 접하여 발생되는 열선의 단락(short circuit) 현상을 방지할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, each bent portion of the heating wire is inserted into each insertion slot of the first insulator together with two straight portions connected to both ends thereof, and the two straight portions are placed facing each other in the insertion slot. Since the second insulator provides a technical configuration in which the second insulator separates the two straight portions facing each other, even if the heating wire is bent multiple times, each bent part can be inserted into each insertion slot at once, so assembly is easy. The assembly time can be shortened, and the first insulator can separate the two straight portions that face each other by being inserted into the insertion slot together with the bent portion, so a short circuit of the hot wires caused by contact with each other due to deformation, etc. It can prevent the phenomenon.

도 1은 기존의 진공 증발원을 개략적으로 나타낸 일부 절개 단면도이다.
도 2는 도 1의 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리가 조립되는 과정을 나타낸 분해 사시도이다.
도 5는 도 3의 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리 중 제2 절연체를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 6은 제2 절연체의 변형례를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 개략적으로 나타낸 사시도이다.1 is a partially cut-away cross-sectional view schematically showing a conventional vacuum evaporation source.
FIG. 2 is a perspective view showing a heater and an insulator assembly for a vacuum evaporation source of FIG. 1.
3 is a perspective view schematically showing a heater and an insulator assembly for a vacuum evaporation source according to an embodiment of the present invention.
4 is an exploded perspective view illustrating a process of assembling the heater and the insulator assembly for the vacuum evaporation source of FIG. 3.
5 is a plan view schematically illustrating a second insulator of the heater and insulator assembly for a vacuum evaporation source of FIG. 3.
6 is a plan view schematically showing a modification example of a second insulator.
7 is a perspective view schematically showing a heater and an insulator assembly for a vacuum evaporation source according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art may easily implement the present invention. However, the present invention may be implemented in various different forms and is not limited to the embodiments described herein.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리가 조립되는 과정을 나타낸 분해 사시도이며, 그리고 도 5는 도 3의 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리 중 제2 절연체를 개략적으로 나타낸 평면도이다. 도 6은 제2 절연체의 변형례를 개략적으로 나타낸 평면도이다.3 is a perspective view schematically showing a vacuum evaporation source heater and insulator assembly according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an exploded perspective view showing a process of assembling the vacuum evaporation source heater and insulator assembly of FIG. 3, and FIG. 5 is a plan view schematically showing a second insulator of the heater and insulator assembly for a vacuum evaporation source of FIG. 3. 6 is a plan view schematically showing a modification example of a second insulator.

본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리(100)는, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 열선(110)과, 하나 이상의 제1 절연체(120)와, 하나 이상의 제2 절연체(130)를 포함한다. 이하, 도 3 내지 도 5를 계속 참조하여, 각 구성요소에 대해 상세히 설명한다.The heater and insulator assembly 100 for a vacuum evaporation source according to an embodiment of the present invention, as shown in Figs. 3 to 5, a heating wire 110, at least one first insulator 120, and at least one It includes 2 insulators 130. Hereinafter, each component will be described in detail with continued reference to FIGS. 3 to 5.

열선(110)은, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 복수의 벤딩부(111 및 112)와 복수의 직선부(113 및 114)를 가진다. 예를 들어, 복수의 벤딩부(111 및 112)는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 열선(110)의 상부를 이루는 복수의 상부 벤딩부(111)와, 그리고 열선(110)의 하부를 이루는 복수의 하부 벤딩부(112)를 포함할 수 있다. 복수의 직선부(113 및 114)는 상술한 복수의 벤딩부(111 또는 112)와 함께 단일 열선을 이루도록 각각의 벤딩부(111 또는 112)의 양단에 각각 연결되는 형태로 놓일 수 있다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 하나의 벤딩부(112)의 양단에는 서로 나란하게 놓이는 두 개의 직선부(113 및 114)가 연결되는 형태를 반복하면서 하나의 열선(110)을 이룰 수 있다.The heating wire 110 has a plurality of bending parts 111 and 112 and a plurality of straight parts 113 and 114 as shown in FIGS. 3 and 4. For example, the plurality of bending portions 111 and 112 are, as shown in FIGS. 3 and 4, a plurality of upper bending portions 111 forming an upper portion of the heating wire 110, and the heating wire 110. It may include a plurality of lower bent portions 112 forming a lower portion. The plurality of straight portions 113 and 114 may be placed in a form connected to both ends of each of the bending portions 111 or 112 so as to form a single heating wire together with the above-described plurality of bending portions 111 or 112. That is, as shown in FIG. 3, a single heating wire 110 may be formed by repeating a form in which two straight portions 113 and 114 placed in parallel with each other are connected at both ends of one bent part 112. .

특히, 각각의 상부 벤딩부(111)와 각각의 하부 벤딩부(112)는 서로 번갈아 위치될 수 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 상부 벤딩부(111)가 제1 및 제2 상부 벤딩부(111a)(111b)를 포함하고, 복수의 하부 벤딩부(112)가 제1 및 제2 하부 벤딩부(112a)(112b)를 포함할 경우, 제1 및 제2 상부 벤딩부(111a)(111b) 사이에는 제1 하부 벤딩부(112a)가 놓이고, 제1 및 제2 하부 벤딩부(112a)(112b) 사이에 제2 상부 벤딩부(111b)가 놓일 수 있다.In particular, each of the upper bent parts 111 and each of the lower bent parts 112 may be alternately positioned with each other. For example, as shown in FIG. 3, a plurality of upper bent parts 111 include first and second upper bent parts 111a and 111b, and a plurality of lower bent parts 112 are first And the second lower bent parts 112a and 112b, the first lower bent part 112a is disposed between the first and second upper bent parts 111a and 111b, and the first and second The second upper bent part 111b may be placed between the lower bent parts 112a and 112b.

나아가, 열선(110)은 그 단면이 원형인 와이어 형상(wire shape)을 가질 수 있다.Furthermore, the heating wire 110 may have a wire shape having a circular cross section.

하나 이상의 제1 절연체(120)는, 세라믹 등의 재질로 이루어져 열선(110)을 절연 가능하게 지지하는 것으로, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 각각의 벤딩부(111 또는 112)가 이의 양단에 연결된 두 개의 직선부(113 또는 114 참조)와 함께 삽입되는 각각의 삽입 슬롯(S)을 가진다. 따라서, 열선(110)의 각각의 벤딩부(111 또는 112)가 두 개의 직선부(113 또는 114 참조)와 함께 제1 절연체(120)의 각각의 삽입 슬롯(S)에 삽입되므로, 도 4에 도시된 바와 같이, 열선(110)이 복수 번 절곡된 상태를 갖더라도 각각의 벤딩부(111 또는 112)를 두 개의 직선부와 함께 각각의 삽입 슬롯(S)에 한번에 삽입시킬 수 있다.At least one first insulator 120 is made of a material such as ceramic to support the heating wire 110 so as to be insulated. As shown in FIGS. 3 and 4, each bent part 111 or 112 It has each insertion slot (S) inserted with two straight portions (see 113 or 114) connected to both ends. Therefore, since each bent portion 111 or 112 of the heating wire 110 is inserted into each insertion slot S of the first insulator 120 together with two straight portions (see 113 or 114), FIG. As shown, even if the heating wire 110 is bent a plurality of times, each bent portion 111 or 112 may be inserted into each insertion slot S together with two straight portions at once.

예를 들어, 하나 이상의 제1 절연체(120)는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 제1 상부 절연체(121)와 제1 하부 절연체(122)를 포함할 수 있다. 제1 상부 절연체(121)는 각각의 상부 벤딩부(111)가 삽입되는 각각의 상부 삽입 슬롯(S1)을 가질 수 있고, 제1 하부 절연체(122)는 각각의 하부 벤딩부(112)가 삽입되는 각각의 하부 삽입 슬롯(S2)을 가질 수 있다.For example, the one or more first insulators 120 may include a first upper insulator 121 and a first lower insulator 122 as shown in FIGS. 3 and 4. The first upper insulator 121 may have a respective upper insertion slot S1 into which each upper bent portion 111 is inserted, and the first lower insulator 122 is inserted into each lower bent portion 112 It may have each lower insertion slot (S2).

특히, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 각각의 상부 벤딩부(111)와 각각의 하부 벤딩부(112)는 서로 번갈아 위치될 경우, 각각의 상부 삽입 슬롯(S1)과 각각의 하부 삽입 슬롯(S2)은 서로에 대해 어긋나 위치되어 각각의 상부 벤딩부(111)와 각각의 하부 벤딩부(112)를 서로 어긋나게 수용할 수 있다. 따라서, 도 3에 도시된 바와 같이, 어느 하나의 상부 벤딩부(111a 참조)의 일단과 어느 하나의 하부 벤딩부(112a)의 일단을 연결하는 제1 직선부(113)가 서로 어긋나게 형성된 상부 삽입 슬롯(S1 참조)의 우측과 하부 삽입 슬롯(S2 참조)의 좌측에 지지될 수 있다.In particular, as shown in FIGS. 3 and 4, when each of the upper bent parts 111 and each of the lower bent parts 112 are alternately positioned with each other, each upper insertion slot S1 and each lower insertion The slots S2 are located offset from each other to accommodate each of the upper bent portions 111 and each of the lower bent portions 112 so as to be offset from each other. Accordingly, as shown in FIG. 3, the first straight portion 113 connecting one end of one upper bent portion (see 111a) and one end of one lower bend portion 112a is formed to be offset from each other. It may be supported on the right side of the slot (see S1) and on the left side of the lower insertion slot (see S2).

보다 구체적으로, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 상부 벤딩부(111)가 제1 및 제2 상부 벤딩부(111a)(111b)를 포함하고, 복수의 하부 벤딩부(112)가 제1 및 제2 하부 벤딩부(112a)(112b)를 포함하고, 제1 및 제2 상부 벤딩부(111a)(111b) 사이에는 제1 하부 벤딩부(112a)가 놓이고, 제1 및 제2 하부 벤딩부(112a)(112b) 사이에 제2 상부 벤딩부(111b)가 놓일 경우, 제1 상부 벤딩부(111a)의 일단은 제1 직선부(113)에 의해 제1 하부 벤딩부(112a)의 일단에 연결될 수 있다. 따라서, 제1 직선부(113)는 복수의 상부 삽입 슬롯(S1) 중 하나의 상부 삽입 슬롯(S1 참조)과 복수의 하부 삽입 슬롯(S2) 중 하나의 하부 삽입 슬롯(S2 참조)에 삽입되므로, 제1 직선부(113)가 상부 삽입 슬롯(S1 참조)의 우측과 하부 삽입 슬롯(S2 참조)의 좌측에서 좌우로 지지될 수 있다.More specifically, as shown in FIGS. 3 and 4, a plurality of upper bent parts 111 include first and second upper bent parts 111a and 111b, and a plurality of lower bent parts 112 Includes first and second lower bent portions 112a and 112b, and a first lower bent portion 112a is disposed between the first and second upper bent portions 111a and 111b, and When the second upper bent part 111b is placed between the second lower bent parts 112a and 112b, one end of the first upper bent part 111a is the first lower bent part by the first straight part 113 It can be connected to one end of (112a). Therefore, since the first straight portion 113 is inserted into one of the plurality of upper insertion slots (S1), one of the upper insertion slots (see S1) and one of the plurality of lower insertion slots (S2), the lower insertion slot (see S2) , The first straight portion 113 may be supported from the right side of the upper insertion slot (see S1) and the left side of the lower insertion slot (see S2).

나아가, 열선(110)이 원형의 단면을 한 와이어 형상을 가질 경우, 도 4에 도시된 바와 같이, 각각의 삽입 슬롯(S)의 폭(W1)은 열선(110)의 단면 직경(D) 보다 크고, 각각의 삽입 슬롯(S)의 길이(L1)는 각각의 벤딩부(111 또는 112)의 너비(G1) 보다 열선(110)의 열팽창계수를 감안한 만큼 크게 만들 수 있다.Furthermore, when the heating wire 110 has a wire shape having a circular cross section, as shown in FIG. 4, the width W1 of each insertion slot S is greater than the cross-sectional diameter D of the heating wire 110 It is large, and the length L1 of each insertion slot S may be made larger than the width G1 of each bent portion 111 or 112 by taking into account the coefficient of thermal expansion of the heating wire 110.

따라서, 각각의 삽입 슬롯(S)의 폭(W1)이 열선(110)의 지름(D) 보다 크므로, 열선(110)이 열 팽창되더라도 제1 절연체(120) 중 삽입 슬롯(S)이 형성된 부분이 파손되지 않고, 이와 함께 각각의 삽입 슬롯(S)의 길이(L1)가 각각의 벤딩부(111 또는 112)의 너비(G1) 보다 열선(110)의 열팽창계수를 고려한 크기만큼 크게 만들어져 있어 열선(110)이 열 팽창한 후 삽입 슬롯(S)의 길이 방향으로 구속되어 고정될 수 있다.Therefore, since the width (W1) of each insertion slot (S) is larger than the diameter (D) of the heating wire 110, the insertion slot (S) of the first insulator 120 is formed even if the heating wire 110 is thermally expanded. The part is not damaged, and the length (L1) of each insertion slot (S) is made larger than the width (G1) of each bent part 111 or 112 by a size that takes into account the coefficient of thermal expansion of the heating wire 110. After the heating wire 110 is thermally expanded, it may be constrained and fixed in the longitudinal direction of the insertion slot S.

하나 이상의 제2 절연체(130)는, 세라믹 등의 재질로 이루어져 상술한 제1 절연체(120)와 함께 열선(110)을 절연 가능하게 지지함과 더불어, 열선(110) 중 각각의 삽입 슬롯(S)에서 서로 마주하게 놓이는 두 개의 직선부(도 3의 113 또는 114 참조)가 열 등에 의해 변형되더라도 서로 접촉되지 못하도록 하는 구성요소이다.The at least one second insulator 130 is made of a material such as ceramic and supports the heating wire 110 together with the above-described first insulator 120 so as to be insulated, and each insertion slot (S) of the heating wire 110 ) Is a component that prevents contact with each other even if two straight portions (see 113 or 114 in FIG. 3) facing each other are deformed by heat or the like.

일 예로, 제2 절연체(130)은, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 환 형상의 절연 몸체(130a)와, 절연 몸체(130a)의 내주면에 간격을 두고 돌출되는 복수의 절연 스페이서(130b)를 포함할 수 있다. 따라서, 열선(110) 중 각각의 직선부(113 또는 114 참조)는 각각의 절연 스페이서(130b)에 의해 절연됨과 동시에 이격된 상태로 놓이게 되므로, 각각의 직선부(113 또는 114 참조)가 열 등에 의해 변형되더라도 서로 접촉되지 않아 열선(110)의 단락(short circuit) 현상을 방지할 수 있다. 특히, 제2 절연체(130)을 열선(110)에 조립하는 방법으로는, 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)를 절연 몸체(130a)의 중심 방향으로 누른 후 절연 몸체(130a)가 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)를 감싸도록 하고 나서, 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)를 절연 몸체(130a)의 반경 방향으로 이동시키면 직선부(113 및 114 참조)가 각각의 절연 스페이서(130b) 사이의 공간으로 삽입될 수 있다. 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)는 자체 탄성을 가질 수 있어 내측으로 누른 후 다시 외측으로 원 위치시키는 것이 용이할 수 있다.As an example, the second insulator 130 may include an annular insulating body 130a and a plurality of insulating spacers protruding from the inner circumferential surface of the insulating body 130a at intervals, as shown in FIGS. 130b) may be included. Therefore, each straight portion (see 113 or 114) of the heating wire 110 is insulated by each insulating spacer 130b and is placed in a spaced state, so that each straight portion (see 113 or 114) is Even if they are deformed, they are not in contact with each other, so that a short circuit phenomenon of the hot wires 110 can be prevented. In particular, as a method of assembling the second insulator 130 to the heating wire 110, after pressing the straight portion (see 113 and 114) of the heating wire 110 in the direction of the center of the insulating body 130a, the insulating body 130a After wrapping the straight portion (see 113 and 114) of the heating wire 110, and moving the straight portion (see 113 and 114) of the heating wire 110 in the radial direction of the insulating body (130a), the straight portion 113 and 114) may be inserted into the space between each of the insulating spacers 130b. Since the straight portions 113 and 114 of the heating wire 110 may have their own elasticity, it may be easy to press them inward and then place them back to the outside.

다른 예로, 제2 절연체(230)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 환 형상의 절연 몸체(230a)와, 절연 몸체(230a)의 외주면에 간격을 두고 돌출되는 복수의 절연 스페이서(230b)를 포함할 수 있다. 따라서, 열선(110) 중 각각의 직선부(113 또는 114 참조)는 각각의 절연 스페이서(230b)에 의해 절연됨과 동시에 이격된 상태로 놓이게 되므로, 각각의 직선부(113 또는 114 참조)가 열 등에 의해 변형되더라도 서로 접촉되지 않아 열선(110)의 단락(short circuit) 현상을 방지할 수 있다. 특히, 제2 절연체(230)을 열선(110)에 조립하는 방법으로는, 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)를 절연 몸체(230a)의 외측을 향하는 반경 방향으로 당긴 후 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)가 절연 몸체(230a)를 감싸도록 하고 나서, 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)를 절연 몸체(230a)의 중심 방향으로 이동시키면 직선부(113 및 114 참조)가 각각의 절연 스페이서(230b) 사이의 공간으로 삽입될 수 있다. 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)는 자체 탄성을 가질 수 있어 외측으로 당긴 후 다시 내측으로 원 위치시키는 것이 용이할 수 있다.As another example, the second insulator 230 includes an annular insulating body 230a and a plurality of insulating spacers 230b protruding from the outer circumferential surface of the insulating body 230a at intervals, as shown in FIG. 6. Can include. Therefore, each straight portion (see 113 or 114) of the heating wire 110 is insulated by each insulating spacer 230b and is placed in a spaced state, so that each straight portion (see 113 or 114) is Even if they are deformed, they are not in contact with each other, so that a short circuit phenomenon of the hot wires 110 can be prevented. In particular, as a method of assembling the second insulator 230 to the heating wire 110, after pulling the straight portions (see 113 and 114) of the heating wire 110 in a radial direction toward the outside of the insulating body 230a, the heating wire ( After making the straight portion (see 113 and 114) of 110) surround the insulating body 230a, moving the straight portion (see 113 and 114) of the heating wire 110 in the direction of the center of the insulating body 230a (See 113 and 114) may be inserted into the space between each of the insulating spacers 230b. Since the straight portions 113 and 114 of the heating wire 110 may have their own elasticity, it may be easy to pull outward and then return to the original position inward.

이러한 하나 이상의 제2 절연체(130)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 상부 절연체(131)와 제2 하부 절연체(132)를 포함할 수 있다. 제2 상부 절연체(131)는, 제1 상부 절연체(121)에 인접될 수 있으며 각각의 상부 삽입 슬롯(S1)에 삽입되는 두 개의 직선부(113 또는 114 참조) 사이를 이격시킬 수 있다. 제2 하부 절연체(132)는, 제1 하부 절연체(122)에 인접될 수 있으며 각각의 하부 삽입 슬롯(S2)에 삽입되는 두 개의 직선부(113 또는 114 참조) 사이를 이격시킬 수 있다.One or more of these second insulators 130 may include a second upper insulator 131 and a second lower insulator 132 as shown in FIG. 3. The second upper insulator 131 may be adjacent to the first upper insulator 121 and may be spaced apart between two straight portions (see 113 or 114) inserted into each of the upper insertion slots S1. The second lower insulator 132 may be adjacent to the first lower insulator 122 and may be spaced apart between two straight portions (see 113 or 114) inserted into each lower insertion slot S2.

특히, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 절연체(130)가 열선(110의 직선부(113, 114 등)를 따라 흘러 내리지 않도록 제2 절연체(130)는 제1 절연체(120) 위에 지지되어 놓을 수 있다.In particular, as shown in Figs. 3 and 4, the second insulator 130 is the first insulator 120 so that the second insulator 130 does not flow down along the straight portions 113 and 114 of the heating wire 110. It can be supported on top.

이와 더불어, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리(100)는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 하부 벤딩부(112)를 그 아래에서 받치는 절연 받침대(140)를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 절연 받침대(140)는 세라믹 등의 재질로 이루어질 수 있다.In addition, the heater and insulator assembly 100 for a vacuum evaporation source according to an embodiment of the present invention, as shown in Figs. 3 and 4, an insulating pedestal supporting a plurality of lower bent parts 112 thereunder ( 140) may be further included. For example, the insulating pedestal 140 may be made of a material such as ceramic.

이하, 도 7을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리(300)에 대해 설명한다.Hereinafter, a heater and an insulator assembly 300 for a vacuum evaporation source according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 7.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 개략적으로 나타낸 사시도이다.7 is a perspective view schematically showing a heater and an insulator assembly for a vacuum evaporation source according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리(300)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 열선(310)의 형상을 제외하고는 상술한 본 발명의 일 실시예와 동일하므로 이하에서는 열선(310)의 형상 위주로 설명한다. 또한, 아래의 삽입 슬롯(S)의 폭(W2)과 길이(L1), 열선(310)의 두께(T), 벤딩부의 너비(G2)를 자세히 보이기 위해 편의상, 제1 절연체(120)를 제2 절연체(130) 위에 놓이는 것으로 도시하였지만, 상술한 본 발명의 일 실시예에 언급한 바와 같이 제2 절연체(130)가 흘러 내리지 않도록 제2 절연체(130)는 제1 절연체(120) 위에 지지되어 놓이는 것이 바람직할 것이다.The heater and insulator assembly 300 for a vacuum evaporation source according to another embodiment of the present invention is the same as the embodiment of the present invention described above, except for the shape of the heating wire 310, as shown in FIG. In the following, the shape of the heating wire 310 will be mainly described. In addition, for convenience, the first insulator 120 was prepared to show in detail the width (W2) and length (L1) of the lower insertion slot (S), the thickness (T) of the heating wire 310, and the width (G2) of the bending part. 2 Although shown to be placed on the insulator 130, the second insulator 130 is supported on the first insulator 120 so that the second insulator 130 does not flow down, as mentioned in the embodiment of the present invention. It would be desirable to be laid.

열선(310)은 그 단면이 사각형인 밴드 형상(band shape)(다른 말로, 띠 형상)을 가질 수 있다.The heating wire 310 may have a band shape (in other words, a band shape) having a square cross section.

이 경우, 각각의 삽입 슬롯(S)의 폭(W2)은 열선(310)의 두께(T) 보다 크고, 각각의 삽입 슬롯(S)의 길이(L1)는 각각의 벤딩부의 너비(G2) 보다 열선(210)의 열팽창계수를 감안한 크기만큼 클 수 있다.In this case, the width (W2) of each insertion slot (S) is greater than the thickness (T) of the heating wire 310, and the length (L1) of each insertion slot (S) is less than the width (G2) of each bending portion It may be as large as the size in consideration of the coefficient of thermal expansion of the heating wire 210.

따라서, 각각의 삽입 슬롯(S)의 폭(W2)이 열선(210)의 두께(T) 보다 크므로, 밴드 형상의 열선(310)이 열 팽창되더라도 제1 절연체(120) 중 삽입 슬롯(S)이 형성된 부분이 파손되지 않고, 이와 함께 각각의 삽입 슬롯(S)의 길이(L2)가 각각의 벤딩부(311 또는 312)의 너비(G2) 보다 열선(310)의 열팽창계수를 고려한 크기만큼 크게 만들어져 있어 열선(310)의 팽창한 후 삽입 슬롯(S)의 길이 방향으로 구속되어 고정될 수 있다.Therefore, since the width W2 of each insertion slot S is greater than the thickness T of the heating wire 210, even if the band-shaped heating wire 310 is thermally expanded, the insertion slot S of the first insulator 120 ) Is not damaged, and the length (L2) of each insertion slot (S) is larger than the width (G2) of each bent part 311 or 312 in consideration of the coefficient of thermal expansion of the heating wire 310 Since it is made large, after the heating wire 310 is expanded, it may be constrained and fixed in the longitudinal direction of the insertion slot S.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements by those skilled in the art using the basic concept of the present invention defined in the following claims are also present. It belongs to the scope of rights of

100, 200: 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리
110, 310: 열선 111, 311: 복수의 상부 벤딩부
111a: 제1 상부 벤딩부 111b: 제2 상부 벤딩부
112, 312: 복수의 하부 벤딩부 112a: 제1 하부 벤딩부
112b: 제2 하부 벤딩부 113, 114: 각각의 직선부
120: 하나 이상의 제1 절연체 121: 제1 상부 절연체
122: 제1 하부 절연체 130, 230: 하나 이상의 제2 절연체
130a, 230a: 절연 몸체 130b, 230b: 복수의 절연 스페이서
131: 제2 상부 절연체 132: 제2 상부 절연체
140: 절연 받침대 S: 복수의 삽입 슬롯
S1: 복수의 상부 삽입 슬롯 S2: 복수의 하부 삽입 슬롯
W1, W2: 삽입 슬롯의 폭 L1, L2: 삽입 슬롯의 길이
D: 외이어형 열선의 직경 T: 밴드형 열선의 두께
G1, G2: 벤딩부의 너비100, 200: heater and insulator assembly for vacuum evaporation source
110, 310: heating wire 111, 311: a plurality of upper bending parts
111a: first upper bent part 111b: second upper bent part
112, 312: a plurality of lower bending portions 112a: first lower bending portions
112b: second lower bent portions 113, 114: respective straight portions
120: at least one first insulator 121: first upper insulator
122: first lower insulator 130, 230: one or more second insulators
130a, 230a: insulating body 130b, 230b: multiple insulating spacers
131: second upper insulator 132: second upper insulator
140: insulation bracket S: multiple insertion slots
S1: a plurality of upper insertion slots S2: a plurality of lower insertion slots
W1, W2: width of insertion slot L1, L2: length of insertion slot
D: Diameter of outer-ear type heating wire T: Thickness of band-type heating wire
G1, G2: width of the bend

Claims

진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리로,
복수의 직선부와 복수의 벤딩부를 포함하고 상기 각각의 벤딩부의 양단에 상기 복수의 직선부 중 두 개의 직선부가 각각 연결되는 열선;
상기 각각의 벤딩부가 상기 두 개의 직선부와 함께 삽입되며 상기 두 개의 직선부가 서로 마주하게 놓이는 각각의 삽입 슬롯을 포함한 하나 이상의 제1 절연체; 및
상기 서로 마주하는 두 개의 직선부 사이를 이격시키는 하나 이상의 제2 절연체;
를 포함하는
진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.Heater and insulator assembly for vacuum evaporation source,
A heating wire including a plurality of straight portions and a plurality of bent portions, and two straight portions of the plurality of straight portions are connected to both ends of each of the bending portions;
At least one first insulator including respective insertion slots in which each of the bent portions is inserted together with the two straight portions and the two straight portions face each other; And
One or more second insulators spaced apart between the two straight portions facing each other;
Including
Heater and insulator assembly for vacuum evaporation source.

제1항에서,
상기 복수의 벤딩부는,
상기 열선의 상부를 이루는 복수의 상부 벤딩부; 및
상기 열선의 하부를 이루는 복수의 하부 벤딩부;를 포함하고,
상기 하나 이상의 제1 절연체는,
상기 각각의 상부 벤딩부가 삽입되는 각각의 상부 삽입 슬롯을 가지는 환 형상의 제1 상부 절연체; 및
상기 각각의 하부 벤딩부가 삽입되는 각각의 하부 삽입 슬롯을 가지는 환 형상의 제1 하부 절연체;
를 포함하는
진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.In claim 1,
The plurality of bending parts,
A plurality of upper bending portions forming an upper portion of the heating wire; And
Including; a plurality of lower bending portions forming the lower portion of the heating wire,
The at least one first insulator,
An annular first upper insulator having an upper insertion slot into which each of the upper bent portions is inserted; And
A first lower insulator having an annular shape having respective lower insertion slots into which the respective lower bent portions are inserted;
Including
Heater and insulator assembly for vacuum evaporation source.

제2항에서,
상기 각각의 상부 벤딩부와 상기 각각의 하부 벤딩부는 서로 번갈아 위치되고,
상기 각각의 상부 삽입 슬롯과 상기 각각의 하부 삽입 슬롯은 서로에 대해 어긋나 위치되어 상기 각각의 상부 벤딩부와 상기 각각의 하부 벤딩부를 서로 어긋나게 수용하는
진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.In paragraph 2,
Each of the upper bending portions and the respective lower bending portions are alternately positioned with each other,
Each of the upper insertion slots and the respective lower insertion slots are positioned to be offset from each other to accommodate the respective upper bent portions and the respective lower bent portions to be offset from each other.
Heater and insulator assembly for vacuum evaporation source.

제3항에서,
상기 복수의 상부 벤딩부는,
제1 및 제2 상부 벤딩부를 포함하고,
상기 복수의 하부 벤딩부는,
제1 및 제2 하부 벤딩부를 포함하고,
상기 제1 및 제2 상부 벤딩부 사이에는 상기 제1 하부 벤딩부가 놓이고,
상기 제1 및 제2 하부 벤딩부 사이에는 상기 제2 상부 벤딩부가 놓이는
진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.In paragraph 3,
The plurality of upper bending portions,
Including first and second upper bends,
The plurality of lower bending portions,
Including first and second lower bends,
The first lower bend is placed between the first and second upper bends,
The second upper bend is placed between the first and second lower bends.
Heater and insulator assembly for vacuum evaporation source.

제4항에서,
상기 두 개의 직선부는
제1 및 제2 직선부로 이루어지고,
상기 제1 직선부는 상기 제1 상부 벤딩부의 일단과 상기 제1 하부 벤딩부의 일단을 연결하고,
상기 제2 직선부는 상기 제1 상부 벤딩부의 타단과 상기 제2 하부 벤딩부의 일단을 연결하고,
상기 제1 직선부는 상기 복수의 상부 삽입 슬롯 중 하나의 상부 삽입 슬롯의 우측과 복수의 하부 삽입 슬롯 중 하나의 하부 삽입 슬롯의 좌측에 지지되는
진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.In claim 4,
The two straight parts
Consisting of first and second straight portions,
The first straight portion connects one end of the first upper bending portion and one end of the first lower bending portion,
The second straight portion connects the other end of the first upper bending portion and one end of the second lower bending portion,
The first straight portion is supported on a right side of one upper insertion slot among the plurality of upper insertion slots and a left side of one lower insertion slot among a plurality of lower insertion slots.
Heater and insulator assembly for vacuum evaporation source.

제1항에서,
상기 각각의 제2 절연체는,
환 형상의 절연 몸체; 및
상기 절연 몸체의 내주면에 간격을 두고 돌출되는 복수의 절연 스페이서;
를 포함하는
진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.In claim 1,
Each of the second insulators,
An annular insulating body; And
A plurality of insulating spacers protruding from the inner peripheral surface of the insulating body at intervals;
Including
Heater and insulator assembly for vacuum evaporation source.

제1항에서,
상기 각각의 제2 절연체는,
환 형상의 절연 몸체; 및
상기 절연 몸체의 외주면에 간격을 두고 돌출되는 복수의 절연 스페이서;
를 포함하는
진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.In claim 1,
Each of the second insulators,
An annular insulating body; And
A plurality of insulating spacers protruding from the outer peripheral surface of the insulating body at intervals;
Including
Heater and insulator assembly for vacuum evaporation source.

제2항에서,
상기 하나 이상의 제2 절연체는,
상기 복수의 직선부 중 상기 각각의 상부 삽입 슬롯에 삽입되는 두 개의 직선부 사이를 이격시키는 제2 상부 절연체; 및
상기 복수의 직선부 중 상기 각각의 하부 삽입 슬롯에 삽입되는 두 개의 직선부 사이를 이격시키는 제2 하부 절연체;
를 포함하는
진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.In paragraph 2,
The at least one second insulator,
A second upper insulator spaced apart between two straight portions inserted into the respective upper insertion slots among the plurality of straight portions; And
A second lower insulator spaced apart between two straight portions inserted into each of the lower insertion slots among the plurality of straight portions;
Including
Heater and insulator assembly for vacuum evaporation source.

제1항에서,
상기 열선은 그 단면이 원형인 와이어 형상을 가지는
진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.In claim 1,
The heating wire has a wire shape with a circular cross section.
Heater and insulator assembly for vacuum evaporation source.

제1항에서,
상기 열선은 그 단면이 사각형인 밴드 형상을 가지는
진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.In claim 1,
The heating wire has a band shape with a square cross section.
Heater and insulator assembly for vacuum evaporation source.

제2항에서,
상기 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리는,
상기 복수의 하부 벤딩부를 그 아래에서 받치는 절연 받침대
를 더 포함하는
진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.In paragraph 2,
The heater and insulator assembly for the vacuum evaporation source,
Insulation pedestal for supporting the plurality of lower bends below
Further comprising
Heater and insulator assembly for vacuum evaporation source.