KR102150047B1

KR102150047B1 - 플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조장치

Info

Publication number: KR102150047B1
Application number: KR1020150080685A
Authority: KR
Inventors: 이건재; 박대용; 최인성; 박정환; 이현수; 최민호
Original assignee: 한국과학기술원; 코오롱인더스트리 주식회사
Priority date: 2015-06-08
Filing date: 2015-06-08
Publication date: 2020-09-01
Also published as: KR20160144195A

Abstract

본 발명은 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치에 관한 것으로서, 본 발명에 의하면, 기판층과 상기 기판층에 적층된 금속층을 구비하는 그래핀 성장판이 수용되는 내부 공간을 제공하는 반응 챔버; 및 상기 금속층을 향해 빛을 조사하는 광 조사부를 포함하며, 상기 광 조사부는 상기 금속층으로 조사되는 빛을 생성하는 플래시 램프와, 상기 금속층으로 조사되는 플래시 램프의 빛이 통과하는 관통 구멍이 형성되고 상기 금속층과 대향하도록 위치하는 덮개부를 구비하며, 상기 관통 구멍은 상기 관통 구멍을 통과하는 빛 전체가 상기 금속층의 특정 영역을 조사하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치가 제공된다.

Description

플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조장치 {MANUFACTURING APPARATUS FOR GRAPHENE USING FLASH LAMP}

본 발명은 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 플래시 램프를 이용하여 대면적의 그래핀을 경제적으로 제조할 수 있는 장치에 관한 것이다.

그래핀(graphene)은 탄소원자가 2차원(2D) 격자 내로 채워진 평면 단일층 구조를 의미하며, 이것은 모든 다른 차원구조의 흑연(graphite) 물질의 기본 구조를 이룬다. 즉, 상기 그래핀은 0차원 구조인 풀러린(fullerene), 1차원 구조인 나노튜브 또는 3차원 구조로 적층된 흑연의 기본 구조가 될 수 있다. 2004년 Novoselev 등은 SiO₂/Si 기판의 상부 상에서 프리-스탠딩 그래핀 단일층을 수득하였다고 보고하였으며, 이것은 기계적인 미세 분할법에 의하여 실험적으로 발견되었다.

최근 많은 연구그룹들이 그래핀이 갖는 허니콤(벌집) 형태의 결정 구조, 두 개의 상호침투하는 삼각 형태의 하위 격자 구조, 및 하나의 원자 크기에 해당하는 두께 등에 의하여 그래핀이 특이한 물리적 특성(예를 들면 제로 밴드갭)을 보이는 점에 주목한다. 또한 그래핀은 특이한 전하 운송 특성을 갖는데, 이로 인하여 그래핀은 종래에는 관찰되지 않았던 독특한 현상을 보여준다. 예를 들면, 반정수 양자 홀 효과 및 바이폴라 초전류 트랜지스터 효과 등이 그 예이며, 이 또한 상기 설명한 그래핀의 특유한 구조에 기인하는 것으로 여겨진다.

이러한 그래핀의 공정 처리와 응용에 있어서 그래핀의 응집 방지가 매우 중요하다. 즉, 하나의 원자 크기의 두께를 갖는 박편(시트)형태의 그래핀은 상호간의 표면 에너지에 기인하여 응집하려는 특성을 보이며, 이는 그래핀의 직접 제조, 특히 친수성 용매에서의 제조를 매우 어렵게 한다. 따라서, 현재 대부분의 연구그룹들은 변형된 Hummer법에 의하여 그래핀 산화물(graphine oxide, GO)을 먼저 제조한 후, 이를 다시 환원시키는, 비교적 복잡한 공정에 의하여 그래핀을 제조하고 있다(종래기술 1). 산화 공정에 의하여 제조된 그래핀 산화물 이외에, 또 다른 종래기술로서 N-메틸-피롤리돈, γ-부티로락톤 등과 같은 유기 용매에서의 흑연을 박리시키고, 이에 따라 얻어진 그래핀을 분산시키는 유기용매-기반 그래핀 제조방법이 개시되고 있다 (종래기술 2). 즉, 상기 유기용매법은 그래핀-그래핀 시트간의 상호 에너지와 유사한 수준의 그래핀-유기용매간의 상호 에너지를 이용하여, 그래핀간의 응집을 방지하는 기술이다. 하지만 종래 기술 1, 2에서 얻어지는 그래핀 크기는 나노미터에서 마이크로미터 수준에 불과하다. 따라서, 종래 기술 1, 2는 대면적의 그래핀을 제조하기에는 부적합하다는 문제가 있다.

또 다른 방식의 그래핀 제조방법은 테이프 등에 의하여 흑연으로부터 그래핀 시트를 물리적으로 박리시키고, 이를 다시 실리콘 기판상에서 반복, 적층시키는 기계적 미세분할법이다(종래기술 3). 하지만, 상기 종래기술 3에서 얻어지는 그래핀의 크기는 수십에서 수백 마이크론 단위에 불과하므로, 이 역시 대면적의 그래핀 필름을 제조하기에는 부적합하다는 문제가 있다. 최근에 보고된 화학기상증착(chemical vapor deposition)에 의한 대면적 그래핀 제조 방법은 복잡한 공정 및 고가의 장치가 필요하다는 단점을 가지고 있다. 결국, 현재 개시된 종래 기술은 상당한 시간을 요하거나 경제적으로 대면적 그래핀 필름을 제조하기에는 부적합하다는 한계를 가지고 있다.

상술한 바와 같은 종래기술의 한계를 극복하고 경제적인 방식으로 대면적 그래핀을 제조하기 위한 그래핀 제조장치로서 대한민국 공개특허공보 공개번호 10-2012-0053489에는 반응 가스가 채워진 챔버 내에서 기판 상에 적층된 촉매 금속층으로 플래쉬 램프의 빛을 조사하여 기판 상에서 그래핀을 성장시키는 장치가 개시되어 있다(종래기술 4). 하지만, 종래기술 4의 경우 그래핀이 기판의 가장자리에서는 잘 형성되는 반면에, 기판의 중앙 부분에서는 잘 형성되지 않는다는 문제가 있다. 이를 종래기술 4에 의한 그래핀 제조 과정에서 기판의 상태가 개략적으로 도시한 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 종래기술 4의 그래핀 제조장치에서는 플래시 램프의 빛이 일점쇄선의 화살표로 표시된 바와 같이 기판(10) 위에 적층된 촉매 금속층(11)의 영역 전체에 조사된다. 기판(10)은 열전도율이 매우 낮기 때문에, 촉매 금속층(11)의 열에너지는 실선의 화살표로 표시된 바와 가장자리 쪽으로 빠르게 확산되어서, 가장자리 부분이 상대적으로 고온을 형성하게 된다. 그에 따라 가장자리 부분(A)에서 그래핀이 잘 형성되고, 중앙 부분에서는 그래핀이 잘 형성되지 않게 된다.

본 발명의 목적은 위에서 설명한 바와 같이 플래시 램프를 이용한 종래의 그래핀 제조 장치의 문제점을 극복하여 기판의 중앙 부분에서 그래핀이 성장하도록 하는 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치를 제공하는 것이다.

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면,

기판층과 상기 기판층에 적층된 금속층을 구비하는 그래핀 성장판이 수용되는 내부 공간을 제공하는 반응 챔버; 및 상기 금속층을 향해 빛을 조사하는 광 조사부를 포함하며, 상기 광 조사부는 상기 금속층으로 조사되는 빛을 생성하는 플래시 램프와, 상기 금속층으로 조사되는 플래시 램프의 빛이 통과하는 관통 구멍이 형성되고 상기 금속층과 대향하도록 위치하는 덮개부를 구비하며, 상기 관통 구멍은 상기 관통 구멍을 통과하는 빛 전체가 상기 금속층의 특정 영역을 조사하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치가 제공된다.

상기 특정 영역은 상기 관통 구멍을 통해 빛이 조사되는 영역이며, 상기 금속층 내부에 존재할 수 있다.

상기 관통 구멍은 상기 금속층의 크기보다 작으며, 상기 금속층의 가운데 부분에 위치할 수 있다.

상기 관통 구멍의 크기는 조리개 방식으로 조절될 수 있다.

상기 덮개부는 상기 금속층과의 거리가 변하도록 위치가 조절될 수 있다.

상기 그래핀 제조장치는 상기 금속층의 크기를 측정하는 측정부와, 상기 측정부로부터 입력된 상기 금속층의 크기 데이터를 이용하여 상기 관통 구멍의 크기 또는 덮개부의 위치를 자동으로 조절하는 제어부를 더 포함할 수 있다.

상기 광 조사부는 상기 반응 챔버의 내부 공간과 분리되어서 설치되며, 상기 반응 챔버는 상기 금속층과 대향하고 상기 관통 구멍을 통과한 빛을 통과시키는 투광창 부재를 더 구비할 수 있다.

상기 광 조사부는 상기 플래시 램프의 빛을 상기 관통 구멍 쪽으로 반사시키는 반사 부재를 더 구비할 수 있다.

상기 플래시 램프는 다수 개일 수 있다.

상기 그래핀 제조장치는 상기 금속층의 중심이 상기 관통 구멍의 중심과 겹쳐지게 위치하도록 상기 기판을 위치시키는 기판 정렬부를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 의하면 앞서서 기재한 본 발명의 목적을 모두 달성할 수 있다. 구체적으로는, 플래시 램프의 빛이 통과하는 관통 구멍에 의하여 플래시 램프의 빛이 금속층의 가운데 영역에만 조사되므로 가운데 영역에서 열이 유지되어서 금속층의 가운데 부분에서 그래핀이 안정적으로 성장하게 된다.

도 1은 종래의 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치에 의한 그래핀 제조 과정에서 기판의 상태를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치의 구조를 개략적으로 도시한 측단면도이다.
도 3은 도 2의 기판 부재의 평면도로서, 플래시 램프의 빛이 조사되는 영역을 함께 표시한 것이다.
도 4는 도 2의 기판 부재의 측면도로서, 그래핀이 성장하는 상태를 도시한 것이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예의 구성 및 작용을 상세히 설명한다.

도 2에는 본 발명의 일 실시예에 따른 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치의 개략적인 구조가 측단면도로서 도시되어 있다. 도2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치(100)는 탄소 함유 기체를 포함하는 반응 가스로 채워지고 열분해된 반응 가스의 탄소가 적층되어서 그래핀이 성장하는 그래핀 성장판(P)이 안치되는 반응 공간(111)을 제공하는 반응 챔버(110)와, 반응 가스의 열분해를 위하여 그래핀 성장판(P)으로 플래시 램프(170)의 빛을 조사하는 광 조사부(160)를 포함한다.

반응 챔버(110)는 탄소 함유 기체를 포함하는 반응 가스로 채워지고 그래핀이 성장하는 그래핀 성장판(P)이 안치되는 반응 공간(111)을 제공한다. 반응 가스는 탄소 함유 기체와 수소를 포함한다. 본 실시예에서 탄소 함유 기체는 메탄(CH₄)인 것으로 설명한다. 반응 가스는 그래핀 성장판(P) 상에서 분해되어서 그래핀으로 성장한다. 그래핀 성장판(P)는 기판층(S)과, 기판층(S)의 상면에 적층되어서 반응 가스의 그래파이트화를 위한 촉매로 기능하는 금속층(M)을 구비한다. 본 실시예에서 기판층(S)은 실리콘산화물이고, 금속층(M)은 니켈인 것으로 설명한다. 반응 챔버(110)는 반응 공간(111)으로 기체가 유입되는 유입부(112)와, 반응 공간(111)의 기체가 외부로 배출되는 배출부(113)를 구비한다. 유입부(112)는 반응 공간(111)으로 반응 가스를 공급하기 위해 사용된다. 배출부(113)는 그래핀 제조 공정 과정에서 생성되는 잔류 가스를 반응 공간(111) 밖으로 배출하거나, 반응 공간(111)으로 반응 가스를 유입시키기 전에 반응 공간(111)을 진공 상태로 만들기 위해 사용된다. 반응 챔버(110)는 반응 공간(111)을 외부와 밀폐시키는 외벽의 일부를 형성하고 외부의 빛을 반응 공간(111) 내로 통과시키는 투광창 부재(115)를 더 구비한다. 투광창 부재(115)는 그래핀 성장판(P)이 반응 공간(111)에 안치된 상태에서 그래핀 성장판(P)의 금속층(M)과 인접하여 대향한다. 투광창 부재(115)를 통해 플래시 램프(170)의 빛이 통과하여 그래핀 성장판(P)의 금속층(M)으로 조사된다.

광 조사부(160)는 플래시 램프(170)와, 플래시 램프(170)의 빛이 통과하는 관통 구멍(181)이 형성되는 덮개부(180)와, 플래시 램프의 빛을 관통 구멍(181) 쪽으로 반사시키는 반사 부재(190)와, 플래시 램프(170)를 내부에 안전하게 수용하는 하우징(199)을 구비한다.

플래시 램프(170)는 그래핀 성장판(P)이 반응 챔버(110)의 반응 공간(111)에 안치된 상태에서 그래핀 성장판(P)의 금속층(M)으로 조사되는 빛을 생성한다. 플래시 램프(170)는 하우징(199)의 내부에 설치된다. 본 실시예에서는 플래시 램프(170)가 하나인 것으로 설명하지만, 이와는 달리 다수 개가 설치되어서 사용될 수도 있다.

덮개부(180)는 투광창 부재(115)를 사이에 두고 그래핀 성장판(P)의 금속층(M)과 대향하도록 위치한다. 덮개부(180)를 사이에 두고 플래시 램프(170)와 반응 챔버(110)의 반응 공간(111)에 안치된 상태의 그래핀 성장판(P)이 위치하게 된다. 덮개부(180)에는 플래시 램프(170)의 빛이 통과하는 관통 구멍(181)이 형성된다. 본 실시예에서 관통 구멍(181)은 원형인 것으로 설명하는데, 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 관통 구멍(181)은 반응 챔버(110)의 투광창 부재(115) 상에 위치한다. 플래시 램프(170)의 빛은 관통 구멍(181)과 투광창 부재(115)를 차례대로 통과하여 반응 공간(111)에 안치된 상태의 그래핀 성장판(P)의 금속층(M)으로 조사된다. 본 실시예에서 그래핀 성장판(P)이 반응 공간(111)에 안치된 상태란 금속층(M)의 중심(도 3의 O)이 관통 구멍(181)의 중심과 겹치도록 그래핀 성장판(P)이 위치하는 상태를 의미한다. 그에 따라, 그래핀 성장판(P)이 반응 공간(111)에 안치된 상태에서 금속층(M)으로 조사되는 플래시 램프(170)의 빛은 금속층(M)의 중심(O)에 위치하게 된다. 관통 구멍(181)의 크기에 따라서 금속층(M)에서 플래시 램프(170)의 빛에 노출되는 영역이 결정되는데, 관통 구멍(181)은 도 3에 도시된 바와 같이 금속층(M)에서 플래시 램프(170)의 빛에 노출되는 영역(B, 일점 쇄선 내부의 영역)이 금속층(M)의 가운데 부분에만 존재하도록 형성된다. 즉, 관통 구멍(181)을 통과하는 플래시 램프(170)의 빛 전체가 금속층(M)의 특정 영역을 조사하게 된다. 상기 금속층(M)의 특정 영역은 관통 구멍(181)을 통해 빛이 조사되는 영역이며, 금속층(M)의 내부에 존재해야 한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 금속층(M)은 플래시 램프(170)의 빛에 노출되는 원형의 노출 영역(B)과, 플래시 램프(170)의 빛에 노출되지 않는 비노출 영역(C)으로 분리된다. 비노출 영역(C)은 노출 영역(B)의 바깥 테두리 전체를 에워싸도록 형성된다. 관통 구멍(181)의 형태가 원형인 본 실시예의 경우 관통 구멍의 크기는 금속층(M)에서 플래시 램프(170)의 빛에 노출되는 영역(B)의 반경(R)이 금속층(M)의 중심(O)과 금속층(M)의 에지 사이의 최단 거리(r)의 50% 내지 80%가 되도록 정해지는 것이 바람직하다. 금속층(M)에서 플래시 램프(170)의 빛에 노출되는 영역의 반경(R)이 금속층(M)의 중심과 금속층(M)의 에지 사이의 최단 거리(r)의 50%보다 작으면 대면적의 그래핀 제조에 비효율적이며, 금속층(M)에서 플래시 램프(170)의 빛에 노출되는 영역의 반경(R)이 금속층(M)의 중심과 금속층(M)의 에지 사이의 최단 거리(r)의 80%보다 크면 금속층(M)의 열이 금속층(M)의 에지로 빠르게 전달되어서 에지 부분에 상대적으로 고온이 형성된 가능성이 높다. 관통 구멍(181)의 원형 외에 다른 다양한 형태가 가능한데, 관통 구멍은 빛이 금속층의 가장지리 부분과 접촉하지 않는 상태에서 금속층 면적의 90%에 해당하는 영역에 빛을 투과하도록 형성되는 것이 바람직하다.

본 실시예에서는 반응 공간(111)을 기준으로 관통 구멍(181)이 투광창 부재(115)의 바깥쪽에 위치되는 것으로 설명하지만, 이와는 관통 구멍(181)이 투광창 부재(115)의 안쪽에 위치할 수도 있으며, 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것이다. 즉, 반응 챔버(110)에 관통 구멍이 형성되고, 그 관통 구멍 위에 투광창 부재가 결합되는 형태로 구성될 수도 있는 것이다.

반사 부재(190)는 하우징(199) 내에 설치되어서 플래시 램프(170)의 빛을 관통 구멍(181) 쪽으로 반사시킨다. 본 실시예에서는 하우징(199) 내에 반사 부재(190)가 별도로 설치되는 것으로 설명하지만, 이와는 달리 하우징(199)의 내면이 반사 부재(190)의 역할을 하도록 형성될 수도 있다.

하우징(199)는 플래시 램프(170)와 반사 부재(190)를 내부에 안전하게 수용하며 반응 챔버(110)에 고정된다.

이제, 도 2 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 제조장치(100)를 그 작용 중심으로 상세하게 설명한다.

먼저, 반응 챔버(110)의 반응 공간(111)에 그래핀 성장판(P)이 안치된다. 다음, 유입부(112)가 폐쇄된 상태에서 배출부(113)에 의해 반응 공간(111) 내의 기체가 배출되어서 반응 공간(111)을 진공으로 만든다. 다음, 배출부(113)가 폐쇄된 상태에서 유입부(112)를 통해 반응 가스가 반응 공간(111)으로 유입된다. 다음, 플래시 램프(170)가 작동하여 플래시 램프(170)의 빛이 그래핀 성장판(P)의 금속층(M)으로 조사된다. 플래시 램프(170)의 빛이 통과하는 관통 구멍(181)에 의하여 금속층(M)에는 도 3에 도시된 바와 같이 가운데 부분에만 빛에 노출되는 노출 영역(B)이 형성되고 노출 영역(B)에 대응하여 열이 인가된다. 그에 따라, 노출 영역(B)과 접촉하는 반응 가스가 분해되어서 탄소가 금속층(M) 상에 적층되고, 도 4에 도시된 바와 같이 그래핀(G)이 중심부로부터 서서히 반경방향 바깥으로 확장되면서 형성된다.

도면에는 도시되지 않았으나, 그래핀 제조장치(100)는 노출 영역(도 3의 B)의 크기를 조절할 수 있는 조절 수단을 더 구비할 수 있다. 노출 영역의 크기를 조절하는 수단은 관통 구멍(170)의 크기를 조절하는 조리개 장치이거나, 관통 구멍(170)과 금속층(M) 사이의 거리가 변하도록 덮개부(180)의 위치를 조절하는 이동동 장치일 수 있다. 그에 따라, 다양한 크기의 그래핀 성장판(P)에 대응하여 노출 영역(B)의 크기를 적절하게 변경시킬 수 있다. 이에 더하여, 도면에는 도시되지 않았으나, 그래핀 제조장치(100)는 금속층의 크기를 측정하는 측정부와, 측정부로부터 입력된 금속층의 크기 데이터에 대응하여 조리개 장치나 덮개부 이동 장치로 제어신호를 전달하는 제어부를 더 포함할 수 있다.

도면에는 도시되지 않았으나, 그래핀 제조장치(100)는 그래핀 성장판(P)이 안치 상태에 정확하게 위치하도록 그래핀 성장판(P)을 정렬시키는 기판 정렬부를 더 포함할 수 있다.

이상 실시예를 통해 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 실시예는 본 발명의 취지 및 범위를 벗어나지 않고 수정되거나 변경될 수 있으며, 본 기술분야의 통상의 기술자는 이러한 수정과 변경도 본 발명에 속하는 것임을 알 수 있을 것이다.

100 : 그래핀 제조장치 110 : 반응 챔버
112 : 유입부 113 : 배출부
115 : 투광창 부재 160 : 광 조사부
170 : 플래시 램프 180 : 덮개부
181 : 관통 구멍 190 : 반사 부재

Claims

기판층과 상기 기판층에 적층된 금속층을 구비하는 그래핀 성장판이 수용되는 내부 공간을 제공하는 반응 챔버; 및
상기 금속층을 향해 빛을 조사하는 광 조사부를 포함하며,
상기 광 조사부는 상기 금속층으로 조사되는 빛을 생성하는 플래시 램프와, 상기 금속층으로 조사되는 플래시 램프의 빛이 통과하는 관통 구멍이 형성되고 상기 금속층과 대향하도록 위치하는 덮개부를 구비하며,
상기 관통 구멍은 상기 관통 구멍을 통과하는 빛 전체가 상기 금속층의 특정 영역을 조사하도록 형성되며,
상기 관통 구멍은 빛이 상기 금속층의 가장자리 부분과 접촉하지 않는 상태에서 상기 금속층 면적의 90%에 해당하는 영역에 빛을 투과하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치.
청구항 1에 있어서,
상기 특정 영역은 상기 관통 구멍을 통해 빛이 조사되는 영역이며, 상기 금속층 내부에 존재하는 것을 특징으로 하는 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치.
청구항 1에 있어서,
상기 관통 구멍은 상기 금속층의 크기보다 작으며, 상기 금속층의 가운데 부분에 위치하는 것을 특징으로 하는 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치.
청구항 1에 있어서,
상기 관통 구멍의 크기는 조리개 방식으로 조절가능한 것을 특징으로 하는 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치.
청구항 1에 있어서,
상기 덮개부는 상기 금속층과의 거리가 변하도록 위치가 조절되는 것을 특징으로 하는 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치.
청구항 4 또는 청구항 5에 있어서,
상기 금속층의 크기를 측정하는 측정부와,
상기 측정부로부터 입력된 상기 금속층의 크기 데이터를 이용하여 상기 관통 구멍의 크기 또는 덮개부의 위치를 자동으로 조절하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치.
청구항 1에 있어서,
상기 광 조사부는 상기 반응 챔버의 내부 공간과 분리되어서 설치되며,
상기 반응 챔버는 상기 금속층과 대향하고 상기 관통 구멍을 통과한 빛을 통과시키는 투광창 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치.
청구항 1에 있어서,
상기 광 조사부는 상기 플래시 램프의 빛을 상기 관통 구멍 쪽으로 반사시키는 반사 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치.
청구항 1에 있어서,
상기 플래시 램프는 다수 개인 것을 특징으로 하는 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치.
청구항 1에 있어서,
상기 금속층의 중심이 상기 관통 구멍의 중심과 겹쳐지게 위치하도록 상기 기판을 위치시키는 기판 정렬부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 램프를 이용한 그래핀 제조장치.