KR102088155B1 - 진공 시스템에서 마스크 디바이스를 핸들링하는 방법들, 마스크 핸들링 장치, 및 진공 시스템 - Google Patents

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Abstract

기판 상으로의 마스킹된 증착을 위해 구성된 마스크 디바이스를 핸들링하는 방법이 설명된다. 방법은, 진공 시스템(100) 내로 마스크 디바이스(10)를 로딩(Y1)하는 단계; 진공 시스템에서 마스크 캐리어(15)에 마스크 디바이스(10)를 부착(Y3)하는 단계; 및 진공 시스템(100)에서 운송 경로를 따라 비-수평 배향으로 마스크 디바이스(10)를 홀딩하는 마스크 캐리어(15)를 운송하는 단계를 포함한다. 추가적인 마스크 핸들링 방법은, 진공 시스템(100)에서 운송 경로를 따라 비-수평 배향(V)으로 마스크 디바이스(10)를 홀딩하는 마스크 캐리어(15)를 운송하는 단계; 진공 시스템(100)에서 마스크 캐리어(15)로부터 마스크 디바이스(10)를 분리(X1)하는 단계; 및 진공 시스템(100)으로부터 마스크 디바이스(10)를 언로딩(X3)하는 단계를 포함한다. 추가적인 양상에 따르면, 마스크 디바이스를 핸들링하기 위한 마스크 핸들링 조립체(20)뿐만 아니라, 적어도 하나의 마스크 핸들링 조립체를 갖는 진공 시스템이 설명된다.

Description

진공 시스템에서 마스크 디바이스를 핸들링하는 방법들, 마스크 핸들링 장치, 및 진공 시스템
[0001] 본 개시내용의 실시예들은 진공 하에서 마스크 디바이스를 핸들링(handling)하는 방법들에 관한 것이고, 특히, 진공 시스템에서 기판 상으로의 마스킹된 증착을 위해 구성된 마스크 디바이스를 핸들링하는 방법들에 관한 것이다. 추가적인 실시예들은 진공 시스템에서 마스크 디바이스를 핸들링하도록 구성된 마스크 핸들링 조립체에 관한 것이다. 더 구체적으로는, 진공 하에서 기판 상으로의 마스킹된 증착을 위해 구성된 마스크 디바이스들을 핸들링하도록 구성된 마스크 핸들링 조립체가 설명된다. 추가적인 실시예들은 진공 시스템에서 마스크 디바이스들을 핸들링하도록 구성된 적어도 하나의 마스크 핸들링 조립체를 갖는 진공 시스템에 관한 것이다.
[0002] 유기 재료들을 사용하는 광-전자 디바이스들은 다수의 이유들로 점점 더 대중적이게 되고 있다. 그러한 디바이스들을 제조하는데 사용되는 재료들 중 다수는 비교적 저렴하고, 그에 따라, 유기 광-전자 디바이스들은 무기 디바이스들에 비해 비용 이점들을 가질 가능성이 있다. 유기 재료들의 고유 특성들, 이를테면 유기 재료들의 가요성(flexibility)은, 이를테면 가요성 또는 비가요성 기판들 상의 증착을 위한 애플리케이션들에 대해 유리할 수 있다. 유기 광-전자 디바이스들의 예들은 유기 발광 디바이스(OLED)들, 유기 포토트랜지스터들, 유기 광전지(photovoltaic cell)들, 및 유기 광검출기들을 포함한다.
[0003] OLED들에 대해, 유기 재료들은 종래의 재료들에 비해 성능 이점들을 가질 수 있다. 예컨대, 유기 발광 층(emissive layer)이 방출하는 광의 파장은 적절한 도펀트들로 쉽게 튜닝될 수 있다. OLED들은 디바이스 양단에 전압이 인가되는 경우에 광을 방출하는 유기 박막들을 사용한다. OLED들은 평판 디스플레이들, 조명, 및 백라이팅(backlighting)과 같은 애플리케이션들에서 사용하는데 있어서 점점 더 관심을 끄는 기술이 되고 있다.
[0004] 재료들, 특히 유기 재료들은 전형적으로, 진공 시스템에서 부기압(sub-atmospheric pressure) 하에 기판 상에 증착된다. 증착 동안에, 마스크 디바이스가 기판의 전방에 배열될 수 있고, 여기서, 마스크 디바이스는, 예컨대 증발에 의해 기판 상에 증착될 재료 패턴에 대응하는 개구 패턴을 정의하는 적어도 하나의 개구 또는 복수의 개구들을 가질 수 있다. 전형적으로, 기판은 증착 동안에 마스크 디바이스의 후방에 배열되고, 마스크 디바이스에 대하여 정렬된다. 예컨대, 마스크 캐리어는 진공 시스템의 진공 시스템의 증착 챔버 내로 마스크 디바이스를 운송하기 위해 사용될 수 있고, 기판 캐리어는 마스크 디바이스의 후방에 기판을 배열하도록 증착 챔버 내로 기판을 운송하기 위해 사용될 수 있다.
[0005] 예컨대, 사용된 마스크 디바이스들의 세정, 마스크 교환, 또는 유지보수를 위해, 규칙적인 시간 간격들로 진공 시스템으로부터 사용된 마스크 디바이스들을 제거하는 것은 유익할 수 있다. 추가로, 예컨대, 시스템에 세정된 또는 사용되지 않은 마스크들을 제공하기 위해 또는 마스크 교환을 위해, 규칙적인 시간 간격들로 진공 시스템 내로 사용될 마스크 디바이스들을 로딩하는 것은 유익할 수 있다. 그러나, 마스크 교환은 시간-소모적이고, 시스템의 유휴 시간들을 초래할 수 있으며, 이는 소유 비용을 증가시킨다.
[0006] 그에 따라, 진공 시스템에서의 신속하고 효율적인 마스크 핸들링을 위한 방법 및 장치에 대한 필요성이 존재한다. 특히, 기판들 상으로의 마스킹된 증착을 위해 구성된 진공 시스템에서 마스크 운송 및 마스크 교환을 단순화하고 가속하는 것은 유익할 것이다.
[0007] 상기된 바를 고려하면, 마스크 디바이스들을 핸들링하는 방법들, 마스크 핸들링 조립체, 뿐만 아니라, 적어도 하나의 마스크 핸들링 조립체를 갖는 진공 시스템이 제공된다.
[0008] 본 개시내용의 양상에 따르면, 기판 상으로의 마스킹된 증착을 위해 구성된 마스크 디바이스를 핸들링하는 방법이 제공된다. 방법은, 진공 시스템 내로 마스크 디바이스를 로딩하는 단계; 진공 시스템에서 마스크 캐리어에 마스크 디바이스를 부착하는 단계; 및 진공 시스템에서 운송 경로를 따라 비-수평 배향으로 마스크 디바이스를 홀딩하는 마스크 캐리어를 운송하는 단계를 포함한다.
[0009] 본 개시내용의 추가적인 양상에 따르면, 기판 상으로의 마스킹된 증착을 위해 구성된 마스크 디바이스를 핸들링하는 방법이 제공된다. 방법은, 진공 시스템에서 운송 경로를 따라 비-수평 배향으로 마스크 디바이스를 홀딩하는 마스크 캐리어를 운송하는 단계; 진공 시스템에서 마스크 캐리어로부터 마스크 디바이스를 분리하는 단계; 및 진공 시스템으로부터 마스크 디바이스를 언로딩하는 단계를 포함한다.
[0010] 본 개시내용의 추가적인 양상에 따르면, 진공 시스템에서 마스크 디바이스를 핸들링하기 위한 마스크 핸들링 조립체가 제공된다. 마스크 핸들링 조립체는, 마스크 디바이스를 홀딩하도록 구성된 마스크 홀딩 부분; 마스크 홀딩 부분의 이동을 위해 구성된 제1 액추에이터; 및 마스크 홀딩 부분으로부터 마스크 캐리어로 그리고/또는 그 반대로 비-수평 배향으로 마스크 디바이스를 인계(handing over)하도록 구성된 인계 메커니즘을 포함한다.
[0011] 본 개시내용의 추가적인 양상에 따르면, 기판 상에 재료를 증착하기 위한 진공 시스템이 제공된다. 진공 시스템은, 마스크 핸들링 챔버; 로드 락 챔버 ― 상기 마스크 핸들링 챔버와 상기 로드 락 챔버 사이에 폐쇄가능한 개구가 제공됨 ―; 및 마스크 핸들링 조립체를 포함하고, 여기서, 마스크 핸들링 조립체의 제1 액추에이터는 폐쇄가능한 개구를 통해 마스크 핸들링 챔버와 로드 락 챔버 사이에서 마스크 핸들링 조립체의 마스크 홀딩 부분을 이동시키도록 구성된다. 마스크 핸들링 조립체는 마스크 홀딩 부분으로부터 마스크 캐리어로 그리고/또는 그 반대로 비-수평 배향으로 마스크 디바이스를 인계하도록 구성된 인계 메커니즘을 더 포함한다. 인계 메커니즘 또는 "전달 메커니즘"은 마스크 디바이스의 자기 부착 및 분리를 위해 구성된 메커니즘일 수 있다.
[0012] 본 개시내용의 추가적인 양상에 따르면, 기판 상에 재료를 증착하기 위한 진공 시스템이 제공된다. 진공 시스템은, 마스크 핸들링 챔버; 적어도 하나의 증착 챔버; 및 마스크 핸들링 챔버와 적어도 하나의 증착 챔버 사이에서 비-수평 배향으로, 사용될 마스크 디바이스들 및 사용된 마스크 디바이스들을 운송하도록 구성된 마스크 운송 시스템을 포함하고, 여기서, 마스크 핸들링 챔버는, (i) 사용될 마스크 디바이스들 및 사용된 마스크 디바이스를 핸들링하도록 구성된, 본원에서 설명되는 바와 같은 마스크 핸들링 조립체, 또는 (ii) 사용될 마스크 디바이스들을 핸들링하도록 구성된 제1 마스크 핸들링 조립체를 갖는 제1 마스크 핸들링 영역, 및 사용된 마스크 디바이스들을 핸들링하도록 구성된 제2 마스크 핸들링 조립체를 갖는 제2 마스크 핸들링 영역 중 하나를 포함한다.
[0013] 본 개시내용의 추가적인 양상에 따르면, 진공 시스템에서 마스크 디바이스들을 핸들링하는 방법이 설명된다. 방법은, 마스크 핸들링 챔버의 제1 마스크 핸들링 영역에 사용될 마스크 디바이스를 제공하는 단계; 특히, 사용될 마스크 디바이스가 비-수평 배향으로 마스크 캐리어에 의해 홀딩되는 동안에, 제1 마스크 핸들링 영역으로부터 진공 시스템의 적어도 하나의 증착 챔버로 사용될 마스크 디바이스를 운송하는 단계; 적어도 하나의 증착 챔버에서 기판 상으로의 마스킹된 증착을 위해, 사용될 마스크 디바이스를 사용하여, 사용된 마스크 디바이스를 제공하는 단계; 특히, 사용된 마스크 디바이스가 비-수평 배향으로 마스크 캐리어에 의해 홀딩되는 동안에, 증착 챔버로부터 마스크 핸들링 챔버의 제2 마스크 핸들링 영역으로 사용된 마스크 디바이스를 운송하는 단계; 및 제2 마스크 핸들링 영역에서 사용된 마스크 디바이스를 핸들링하는 단계를 포함한다.
[0014] 본 개시내용의 추가적인 양상들, 이점들, 및 특징들은 상세한 설명 및 첨부 도면들로부터 명백하다.
[0015] 본 개시내용의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있다. 첨부 도면들은 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이고, 아래에서 설명된다. 전형적인 실시예들이 도면들에서 도시되고, 후속하는 상세한 설명에서 상세히 설명된다.
[0016] 도 1은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 마스크 핸들링 방법의 후속 스테이지들 (a), (b), (c)의 개략적인 예시이다.
[0017] 도 2는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 마스크 핸들링 방법의 후속 스테이지들 (a), (b), (c)의 개략적인 예시이다.
[0018] 도 3은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 마스크 핸들링 조립체를 이용하는 마스크 핸들링 방법의 후속 스테이지들 (a), (b), (c), (d)의 개략적인 예시이다.
[0019] 도 4는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 진공 시스템의 개략적인 단면도이다.
[0020] 도 5는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 마스크 핸들링의 방법을 예시하는 흐름도이다.
[0021] 도 6은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 마스크 핸들링의 방법을 예시하는 흐름도이다.
[0022] 도 7은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 진공 시스템의 개략적인 단면도이다.
[0023] 도 8은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 진공 시스템의 개략적인 평면도이다.
[0024] 도 9는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 진공 시스템의 개략적인 평면도이다.
[0025] 도 10은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 진공 시스템의 개략적인 평면도이다.
[0026] 도 11은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 진공 시스템의 개략적인 평면도이다.
[0027] 도 12는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 마스크 핸들링의 방법을 예시하는 흐름도이다.
[0028] 이제, 다양한 실시예들이 상세히 참조될 것이고, 그 다양한 실시예들의 하나 또는 그 초과의 예들이 도면들에서 예시된다. 각각의 예는 설명으로서 제공되고, 제한으로서 의도되지 않는다. 예컨대, 일 실시예의 부분으로서 예시 또는 설명되는 특징들은 더 추가적인 실시예를 생성하기 위해 임의의 다른 실시예와 함께 또는 임의의 다른 실시예에 대해 사용될 수 있다. 본 개시내용은 그러한 변형들 및 변화들을 포함하는 것으로 의도된다.
[0029] 도면들의 다음의 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 또는 유사한 컴포넌트들을 지칭한다. 일반적으로, 개별적인 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 달리 명시되지 않는 한, 일 실시예의 부분 또는 양상의 설명은 다른 실시예의 대응하는 부분 또는 양상에 마찬가지로 적용된다.
[0030] 도 1은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 마스크 디바이스(10)를 핸들링하는 방법의 후속 스테이지들 (a), (b), (c)를 개략적으로 예시한다. 마스크 디바이스(10)는 기판 상으로의 마스킹된 증착을 위해 구성된다. 특히, 마스크 디바이스(10)는 마스크 디바이스에 의해 정의된 재료 패턴으로 코팅될 기판의 전방에 배열되도록 구성된다. 예컨대, 마스크 디바이스(10)는 마스킹된 증발 프로세스를 위해 구성될 수 있고, 여기서, 재료 패턴이 증발에 의해 기판 상에 형성된다. 몇몇 실시예들에서, 증발된 재료는 유기 화합물들을 포함할 수 있다. 예컨대, OLED 디바이스가 제조될 수 있다.
[0031] 몇몇 실시예들에서, 마스크 디바이스(10)는 마스크 및 마스크 지지부를 포함할 수 있다. 마스크 지지부는, 전형적으로 정교한(delicate) 컴포넌트인 마스크를 지지 및 홀딩하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 마스크 지지부는, 마스크를 둘러싸고 프레임의 형상을 갖는 마스크 프레임일 수 있다. 마스크는, 예컨대 용접에 의해 마스크 프레임에 영구적으로 고정될 수 있거나, 또는 마스크는 마스크 프레임에 해제가능하게 고정될 수 있다. 마스크의 둘레 에지는 마스크 프레임에 고정될 수 있다.
[0032] 마스크는, 패턴으로 형성되고 마스크 증착 프로세스에 의해 기판 상에 대응 재료 패턴을 증착하도록 구성된 복수의 개구들을 포함할 수 있다. 증착 동안에, 마스크는 기판의 전방에 근접한 거리로 배열될 수 있거나, 또는 기판의 전방 표면과 직접적으로 접촉할 수 있다. 예컨대, 마스크는 복수의 개구들, 예컨대 100,000개의 개구들 또는 그 초과의 개구들을 갖는 FMM(fine metal mask)일 수 있다. 예컨대, 유기 픽셀들의 패턴이 기판 상에 증착될 수 있다. 다른 타입들의 마스크들, 예컨대 에지 배제 마스크(edge exclusion mask)들이 가능하다.
[0033] 몇몇 실시예들에서, 마스크 디바이스(10)는 금속으로, 예컨대 작은 열 팽창 계수를 갖는 금속, 이를테면 인바(invar)로 적어도 부분적으로 제조될 수 있다. 마스크는 증착 동안에 마스크가 기판 쪽으로 자기적으로 끌어당겨질 수 있도록 자기 재료를 포함할 수 있다. 대안적으로 또는 부가적으로, 마스크 프레임은 마스크 디바이스가 자기력들을 통해 마스크 캐리어로 끌어당겨질 수 있도록 자기 재료를 포함할 수 있다.
[0034] 마스크 디바이스(10)는 0.5 m2 또는 그 초과, 구체적으로는 1 m2 또는 그 초과의 면적을 가질 수 있다. 예컨대, 마스크 디바이스의 높이는 0.5 m 또는 그 초과, 구체적으로는 1 m 또는 그 초과일 수 있고, 그리고/또는 마스크 디바이스의 폭은 0.5 m 또는 그 초과, 구체적으로는 1 m 또는 그 초과일 수 있다. 마스크 디바이스의 두께는 1 cm 또는 그 미만일 수 있고, 여기서, 마스크 프레임은 마스크보다 더 두꺼울 수 있다.
[0035] 몇몇 실시예들에서, 마스크 디바이스(10)는 진공 시스템에서, 예컨대 진공 시스템(100)의 2개 또는 그 초과의 진공 챔버들 사이에서 운송될 수 있다. 예컨대, 마스크 디바이스(10)는 제1 진공 챔버, 예컨대 마스크 핸들링 챔버(105)에서 진공 시스템에 진입할 수 있고, 진공 시스템 내에서 제2 진공 챔버, 예컨대 증착 챔버 쪽으로 운송될 수 있다. 하나 또는 그 초과의 진공 챔버들, 예컨대 전환(transition) 챔버들 또는 라우팅(routing) 챔버들이 제1 진공 챔버와 제2 진공 챔버 사이에 배열될 수 있다.
[0036] 마스크 디바이스(10)는 진공 시스템(100)에서의 운송 동안에 마스크 캐리어(15)에 의해 홀딩될 수 있다. 예컨대, 마스크 디바이스(10)를 홀딩하는 마스크 캐리어(15)는 진공 시스템(100)에서 운송 경로를 따라, 예컨대 제1 진공 챔버로부터 제2 진공 챔버로 운송될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 마스크 캐리어(15)는 진공 시스템을 통해 마스크 트랙들을 따라 가이딩될(guided) 수 있다. 예컨대, 마스크 캐리어(15)는 마스크 트랙들을 따라 가이딩되도록 구성된 가이딩 부분을 포함할 수 있다.
[0037] 몇몇 실시예들에서, 마스크 캐리어(15)는 자기 부상 시스템을 포함할 수 있는 마스크 운송 시스템에 의해 운송된다. 예컨대, 자기 부상 시스템은 마스크 캐리어(15)의 중량의 적어도 일부가 자기 부상 시스템에 의해 지탱될 수 있도록 제공될 수 있다. 이어서, 마스크 캐리어(15)는 진공 시스템을 통해 마스크 트랙들을 따라 본질적으로 비접촉으로 가이딩될 수 있다. 마스크 트랙들을 따라 마스크 캐리어를 이동시키기 위한 구동부가 제공될 수 있다.
[0038] 마스크 캐리어(15)는 운송 동안에 그리고/또는 증착 동안에 비-수평 배향(V)으로 마스크 디바이스(10)를 홀딩할 수 있다. 예컨대, 마스크 디바이스(10)는 운송 동안에 그리고/또는 증착 동안에 본질적인 수직 배향으로 마스크 캐리어(15)에 의해 홀딩될 수 있다.
[0039] 본원에서 사용되는 바와 같은 "본질적인 수직 배향"은 마스크 디바이스(10)의 배향으로서 이해될 수 있고, 여기서, 마스크 디바이스(10)의 주 표면과 중력 벡터 사이의 각도는 + 10° 내지 - 10°, 구체적으로는 0° 내지 - 5°이다. 몇몇 실시예들에서, 마스크의 배향은 운송 동안에 그리고/또는 증착 동안에 (정확하게) 수직이 아니라, 예컨대 0° 내지 - 5°의 경사각으로, 수직 축에 대하여 약간 경사질 수 있다. 음의 각도는 마스크 디바이스가 하방으로 경사진 마스크 디바이스의 배향을 지칭한다. 증착 동안의 중력 벡터로부터의 마스크(및 기판) 배향의 편차는 유익할 수 있고, 더 안정적인 증착 프로세스가 결과로 발생될 수 있거나, 또는 하향 배향은 증착 동안에 기판 상의 입자들을 감소시키는데 적합할 수 있다. 그러나, 운송 동안의 그리고/또는 증착 동안의 마스크 디바이스(10)의 정확한 수직 배향(+/- 1°)이 또한 가능하다.
[0040] 운송 동안의 그리고/또는 증착 동안의 마스크 디바이스와 중력 벡터 사이의 더 큰 각도가 또한 가능하다. 0° 내지 +/- 80°의 각도는 본원에서 사용되는 바와 같은 "마스크 디바이스의 비-수평 배향"으로서 이해될 수 있다. 비-수평 배향으로 마스크 디바이스를 운송하는 것은 공간을 절약할 수 있고, 더 작은 진공 챔버들을 가능하게 할 수 있다.
[0041] 마스크 캐리어(15)의 마스크 홀딩 표면은 마스크 디바이스의 운송 동안에 적어도 일시적으로 본질적으로 수직으로 배향될 수 있다. 본질적인 수직 배향으로 대면적 마스크를 홀딩하는 것은 어려운데, 이는 마스크가 마스크의 중량으로 인해 휘어질 수 있고, 그리고/또는 불충분한 그립력(grip force)의 경우에 마스크가 마스크 지지 표면으로부터 아래로 미끄러질 수 있고, 그리고/또는 마스크가 증착 동안에 마스크의 후방에 배열될 수 있는 기판에 대하여 이동할 수 있기 때문이다.
[0042] 도 1의 스테이지 (a)에서, 진공 챔버의 벽들을 표시하는 직사각형으로서 단면도로 진공 시스템(100)이 개략적으로 도시된다. 진공 시스템(100)은 마스크 캐리어들 및/또는 기판 캐리어들을 위한 연결 통로들에 의해 서로 연결될 수 있는 복수의 진공 챔버들을 포함할 수 있다. 마스크 캐리어들을 가이딩하기 위한 마스크 트랙들이 진공 시스템(100)의 2개 또는 그 초과의 진공 챔버들 사이에서 연장될 수 있고, 그리고/또는 기판 캐리어들을 가이딩하기 위한 기판 트랙들이 진공 시스템(100)의 2개 또는 그 초과의 진공 챔버들 사이에서 연장될 수 있다.
[0043] 진공 시스템(100)에 부기압이 제공될 수 있다. 예컨대, 진공 시스템(100)의 내측 볼륨은 100 mbar 또는 그 미만의 압력, 구체적으로는 10 mbar 또는 그 미만의 압력, 더 구체적으로는 1 mbar 또는 그 미만의 압력, 또는 심지어 더 작은 압력에 이르기까지 펌핑될 수 있다. 특히, 진공 시스템의 증착 챔버는 증착 동안에 10 mbar 또는 그 미만의 낮은 절대 압력으로 제공될 수 있다. 마스크 핸들링 챔버(105)는 10 mbar 또는 그 미만의 절대 압력으로 제공될 수 있다. 본원에서 설명되는 실시예들에서, 마스크 디바이스(10)는 진공 시스템(100)에서, 특히 마스크 핸들링 챔버(105)에서 진공 하에 핸들링될 수 있다.
[0044] 도 1의 스테이지 (a)에서 도시된 바와 같이, 진공 시스템(100)에 마스크 디바이스(10)가 제공되고, 마스크 디바이스(10)는 비-수평 배향(V), 특히 본질적인 수직 배향으로 마스크 캐리어(15)에 의해 홀딩된다. 마스크 디바이스는, 마스크 캐리어(15)에 홀딩되는 동안에, 진공 시스템(100)의 진공 챔버들 사이에서 운송될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 마스크 디바이스(10)는, 예컨대 세정 또는 교환을 위해, 진공 시스템으로부터 언로딩될 사용된 마스크 디바이스일 수 있다. 예컨대, 마스크 디바이스는 증착 챔버에서 기판 상으로의 증착을 위해 사용되었을 수 있고, 운송 경로를 따라 증착 챔버로부터 마스크 핸들링 챔버로 운송될 수 있다.
[0045] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 마스크 디바이스(10)는 진공 하의 진공 시스템(100), 특히 진공배기된 마스크 핸들링 챔버에서 마스크 캐리어(15)로부터 분리(X1)된다. 마스크 캐리어(15)로부터의 마스크 디바이스(10)의 분리(X1)는 도 1의 스테이지 (b)에서 개략적으로 도시된다.
[0046] 마스크 홀딩 부분(21)을 갖는 마스크 핸들링 조립체(20)가 진공 하에서 마스크 캐리어(15)로부터 마스크 디바이스(10)를 분리하기 위해 제공될 수 있다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 로봇 암과 같은 로봇 디바이스를 포함할 수 있다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 진공 시스템(100)의 진공 챔버, 예컨대 마스크 핸들링 챔버(105)에 배열될 수 있다.
[0047] 몇몇 실시예들에서, 마스크 핸들링 조립체(20)는 마스크 디바이스(10)와 마스크 캐리어(15) 사이의 기계적인 연결을 연결해제하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 마스크 핸들링 조립체(20)는, 진공 하에서, 스크루 연결을 풀도록, 또는 클램핑 연결을 해제하도록, 또는 마스크 디바이스(10)와 마스크 캐리어(15) 사이의 다른 기계적인 연결을 해제하도록 구성된 로봇 디바이스를 포함할 수 있다.
[0048] 몇몇 실시예들에서, 마스크 핸들링 조립체(20)는 마스크 디바이스(10)와 마스크 캐리어(15) 사이의 정전기 연결을 해제하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 운송 동안에, 마스크 디바이스는 정전 척킹 디바이스에 의해 생성되는 정전기력에 의해 마스크 캐리어에 홀딩될 수 있다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 정전기력을 비활성화하도록 그리고/또는 자신의 그립력으로 마스크 디바이스를 그립핑하도록 구성될 수 있다.
[0049] 몇몇 실시예들에서, 마스크 핸들링 조립체(20)는 마스크 디바이스(10)와 마스크 캐리어(15) 사이의 자기 연결을 해제하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 운송 동안에, 마스크 디바이스는 마스크 캐리어의 자기 척킹 디바이스에 의해 생성되는 자기력에 의해 마스크 캐리어에 홀딩될 수 있다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 자기력을 비활성화하도록 그리고/또는 자신의 그립력으로 마스크 디바이스를 그립핑하도록 구성될 수 있다.
[0050] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 마스크 핸들링 조립체(20)는 마스크 캐리어(15)로부터 마스크 핸들링 조립체(20)의 마스크 홀딩 부분(21)으로 그리고/또는 그 반대로 마스크 디바이스(10)를 인계하도록 구성된 인계 메커니즘을 포함할 수 있다. 마스크 핸들링 조립체(20)의 마스크 홀딩 부분(21)은 그립력, 예컨대 기계력, 정전기력, 및 자기력 중 적어도 하나에 의해 마스크 디바이스를 홀딩할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 마스크 핸들링 조립체(20)는 마스크 핸들링 조립체(20)의 마스크 홀딩 부분(21) 쪽으로 마스크 디바이스를 척킹하도록 구성된 자기 척을 포함할 수 있다.
[0051] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 마스크 디바이스(10)는, 마스크 디바이스(10)가 비-수평 배향(V), 특히 본질적인 수직 배향으로 마스크 캐리어(15)에 의해 홀딩되는 동안에, 마스크 캐리어(15)로부터 분리된다. 예컨대, 마스크 디바이스(10)는 마스크 디바이스(10)가 본질적인 수직 배향으로 있는 동안에 마스크 캐리어(15)로부터 마스크 핸들링 조립체(20)의 마스크 홀딩 부분(21)으로 인계된다. 그에 따라, 마스크 캐리어들의 배향은 운송 및 마스크 분리 동안에 본질적으로 일정하게 유지될 수 있다.
[0052] 마스크 캐리어(15)로부터 마스크 디바이스(10)를 분리한 후에, 마스크 디바이스(10)는 진공 시스템(100)으로부터 언로딩(X3)될 수 있다.
[0053] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 진공 시스템으로부터의 마스크 디바이스의 언로딩 및/또는 로딩 동안의 마스크 디바이스의 배향은 마스크 캐리어 상에 있는 동안의 마스크 디바이스의 배향과 상이하다.
[0054] 예컨대, 도 1의 스테이지 (c)에서 개략적으로 도시된 바와 같이, 언로딩은 진공 시스템(100)의 벽을 통해 연장될 수 있는 마스크 언로딩 통로를 따라 진공 시스템(100) 밖으로 마스크 디바이스(10)를 이동시키는 것을 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 마스크 디바이스(10)는 마스크 핸들링 챔버(105)의 측벽(103)에 제공된 폐쇄가능한 개구(102)를 통해 이동될 수 있다. 마스크 디바이스(10)는 로드 락 챔버를 통해 진공 시스템으로부터 언로딩(X3)될 수 있다. 로드 락 챔버를 통해 진공 챔버로부터 마스크 디바이스(10)를 언로딩(X3)하는 것은 유익할 수 있는데, 이는 마스크 핸들링 챔버(105) 또는 전체 진공 시스템을 플러딩(flood)할 필요가 없을 수 있기 때문이다. 대신에, 로드 락 챔버의 플로딩으로 충분할 수 있다.
[0055] 마스크 디바이스(10)는 진공 시스템(100)에서 마스크 캐리어(15)로부터 분리(X1)된다. 그에 따라, 마스크 디바이스(10)만이 진공 시스템(100) 밖으로 꺼내지고, 반면에 마스크 캐리어(15)는 진공 시스템(100)에 남아 있을 수 있다. 예컨대, 마스크 캐리어(15)는 진공 시스템 내부의 캐리어 저장소에 저장될 수 있거나, 또는 새로운 마스크 디바이스가 증착을 위해 사용되도록 마스크 캐리어(15)에 부착될 수 있다.
[0056] 마스크 핸들링의 통상적인 방법들은 마스크 캐리어들에 부착된 마스크 디바이스들과 함께 진공 시스템으로부터 마스크 캐리어들을 제거하는 것을 포함한다. 이어서, 마스크 디바이스들은 진공 시스템 외부에서 마스크 캐리어들로부터 분리될 수 있다. 그러나, 마스크 캐리어들은 전형적으로, 크고 무거운 캐리어 바디들을 갖고, 그에 따라, 진공 시스템으로부터의 마스크 디바이스들이 부착된 마스크 캐리어들의 제거는 시간-소모적일 수 있고, 큰 로드 락 챔버들에 의존할 수 있다. 추가로, 대규모 및 고가의 리프팅 디바이스들이 로드 락 챔버 밖으로 마스크 캐리어들을 운송하기 위해 사용될 수 있다.
[0057] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 마스크 디바이스(10)는 진공 시스템(100)에서 마스크 캐리어(15)로부터 분리되고, 마스크 디바이스(10)는, 더 긴 시간 기간 동안 진공 시스템에서 유지될 수 있는 마스크 캐리어(15) 없이, 진공 시스템(100) 밖으로 이동된다.
[0058] 진공 시스템(100)으로부터 마스크 디바이스를 언로딩(X3)하는 것은 진공 챔버, 예컨대 마스크 핸들링 챔버(105)의 폐쇄가능한 개구(102)를 통해 로드 락 챔버(도 1에서 도시되지 않음) 내로 마스크 디바이스(10)를 이동시키는 것을 포함할 수 있다. 폐쇄가능한 개구(102)는 마스크 디바이스가 로드 락 챔버에 배열될 때 폐쇄될 수 있고, 로드 락 챔버는 제1 진공 챔버가 부기압 하에서 유지될 수 있으면서 플러딩될 수 있다. 그 후에, 마스크 디바이스(10)는, 예컨대 리프팅 디바이스에 의해, 로드 락 챔버 밖으로 꺼내질 수 있다.
[0059] 몇몇 실시예들에서, 마스크 디바이스(10)는 마스크 디바이스(10)가 비-수평 배향(V)과 상이한 제2 배향(H)으로 있는 동안에 마스크 핸들링 챔버(105) 밖으로 이동된다. 몇몇 실시예들에서, 제2 배향(H)은 본질적인 수평 배향일 수 있다. 예컨대, 마스크 디바이스(10)는 마스크 디바이스가 본질적인 수평 배향으로 있는 동안에 폐쇄가능한 개구(102)를 통해 마스크 핸들링 챔버(105) 밖으로 병진이동될 수 있다.
[0060] 본원에서 사용되는 바와 같은 "본질적인 수평 배향"은, 마스크 디바이스의 주 표면과 수평 평면 사이의 각도가 30° 또는 그 미만, 구체적으로는 20° 또는 그 미만, 더 구체적으로는 10° 또는 그 미만이거나, 또는 마스크 디바이스가 정확하게 수평으로(+/- 1°) 배열된 배향으로서 이해될 수 있다.
[0061] 본질적인 수평 배향으로 마스크 핸들링 챔버(105) 밖으로 마스크 디바이스를 이동시키는 것은 유익할 수 있는데, 이는, 마스크 핸들링 챔버(105) 밖으로 마스크 디바이스를 이동시키기 위해, 마스크 핸들링 챔버(105)의 측벽(103) 내의 비교적 작은 개구로 충분할 수 있기 때문이다. 예컨대, 마스크 핸들링 챔버(105)의 측벽 내의 폐쇄가능한 개구(102)는 직사각형 개구 또는 슬릿 개구일 수 있다.
[0062] 도 1의 스테이지 (c)에서 개략적으로 도시된 바와 같이, 마스크 디바이스(10)는, 마스크 디바이스(10)가 본질적인 수평 배향으로 배열되는 동안에, 수평 경로일 수 있는 본질적인 선형 운송 경로를 따라 마스크 핸들링 챔버(105) 밖으로 이동될 수 있다. 예컨대, 마스크 핸들링 조립체(20)는 측벽(103) 내의 폐쇄가능한 개구(102)를 통한 마스크 홀딩 부분(21)의 이동, 특히 병진 이동을 위해 구성될 수 있다.
[0063] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 마스크 디바이스(10)는, 마스크 디바이스(10)가 진공 시스템(100)으로부터 언로딩되기 전에, 비-수평 배향(V)으로부터 제2 배향(H)으로 회전(X2)될 수 있다. 예컨대, 마스크 디바이스는 본질적인 수직 배향으로 마스크 캐리어(15)로부터 분리(X1)될 수 있고, 그 후에, 본질적인 수직 배향으로부터 제2 배향(H)으로 회전(X2)될 수 있고, 그 후에, 마스크 디바이스가 제2 배향(H)으로 있는 동안에 진공 시스템으로부터 언로딩(X3)될 수 있다. 마스크 교환이 가속될 수 있다.
[0064] 마스크 디바이스의 "회전"은 마스크 디바이스의 임의의 종류의 스윙잉(swinging) 또는 피벗팅(pivoting)을 포함한다. 예컨대, 마스크 디바이스는 비-수평 배향과 제2 배향 사이의 호를 통해 스윙될 수 있다. 특히, "회전"이라는 용어는 마스크 디바이스를 통해 연장되는 회전 축을 암시하지 않는다. 대신에, 회전의 축은 마스크 디바이스로부터 떨어져 있을 수 있고, 마스크 핸들링 조립체, 예컨대 로봇 암 또는 스윙 모듈의 피벗 포인트에 대응할 수 있다. 특히, 마스크 디바이스는 본질적인 수평 축을 중심으로 위 또는 아래로 스윙될 수 있다.
[0065] 본원에서 사용되는 바와 같은 "디바이스의 회전"은 제1 배향으로부터 제1 배향과 상이한 제2 배향으로의 디바이스의 이동으로서 이해될 수 있다.
[0066] 마스크 핸들링 조립체(20)는, 마스크 캐리어(15)로부터 마스크 디바이스(10)를 분리하고, 비-수평 배향으로부터 제2 배향으로 분리된 마스크 디바이스를 회전시킬 뿐만 아니라, 마스크 핸들링 챔버(105) 밖으로, 예컨대 로드 락 챔버 내로 회전된 마스크 디바이스를 이동시키도록 구성될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 마스크 핸들링 조립체(20)는, 마스크 디바이스를 그립핑하고, 회전 축을 중심으로 그립핑된 마스크 디바이스를 회전시키고(또는 스윙시키고), 마스크 핸들링 챔버(105) 밖으로 회전된 마스크 디바이스를 선형으로 병진 이동시키도록 구성된 로봇 디바이스, 이를테면 로봇 암을 포함한다.
[0067] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 진공 시스템으로부터 사용된 마스크 디바이스들을 언로딩하는 것이 가속될 수 있고, 마스크 핸들링이 단순화될 수 있다. 특히, 진공 시스템 밖으로 무거운 마스크 캐리어들을 리프팅하기 위한 큰 리프팅 디바이스들이 덜 빈번하게 사용될 수 있다. 대신에, 가벼운 마스크 디바이스들이 진공 시스템 내부에서 로봇 디바이스에 의해 마스크 캐리어들로부터 자동으로 분리될 수 있고, 분리된 마스크 디바이스들은 로드 락 챔버로부터 마스크 디바이스들을 리프팅하도록 구성될 수 있는 리프팅 디바이스와 같은 더 작은 운송 디바이스를 이용하여 진공 시스템으로부터 꺼내질 수 있다.
[0068] 도 2는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 마스크 디바이스(10)를 핸들링하는 방법의 후속 스테이지들 (a), (b), (c)를 개략적으로 예시한다. 도 1은 마스크 캐리어로부터 마스크 디바이스의 분리하는 것에 관한 것이다. 도 2는 진공 시스템에서 마스크 캐리어에 마스크 디바이스를 부착하는 것에 관한 것이다. 그에 따라, 도 2의 스테이지들 (a), (b), (c)는 도 1의 스테이지들 (a), (b), (c)에 대하여 본질적으로 반대일 수 있다. 도 1에서 도시된 진공 시스템 및 진공 시스템에 제공된 컴포넌트들의 세부사항들은 도 2에서 도시된 바와 같은 각각의 컴포넌트들과 유사할 수 있고, 그에 따라, 위의 설명들에 대한 참조가 이루어질 수 있으며, 그 설명들은 여기에서 반복되지 않는다.
[0069] 도 2의 마스크 부착 방법과 도 1의 마스크 분리 방법이 조합될 수 있다는 것이 명백할 것이다. 특히, 먼저, 진공 시스템에서 마스크 캐리어 상에 마스크 디바이스를 제공하기 위해 마스크 디바이스가 도 2의 방법에 따라 핸들링될 수 있고, 그 후에, 사용 후에 마스크 캐리어로부터 마스크 디바이스를 분리하기 위해 그리고 예컨대 세정을 위해 진공 시스템으로부터 마스크 디바이스를 언로딩하기 위해 마스크 디바이스가 도 1의 방법에 따라 핸들링될 수 있다.
[0070] 도 2의 스테이지 (a)에서, 마스크 디바이스(10)가 진공 시스템(100) 내로 로딩(Y1)된다. 도 2의 스테이지 (b)에서, 마스크 디바이스(10)는 진공 하에서 마스크 캐리어(15)에 부착(Y3)된다. 도 2의 스테이지 (c)에서, 마스크 디바이스(10)는 비-수평 배향(V)으로 마스크 캐리어(15)에 의해 홀딩된다. 그 후에, 비-수평 배향(V)으로 마스크 디바이스(10)를 홀딩하는 마스크 캐리어(15)는 진공 시스템(100)에서 운송 경로를 따라, 예컨대 제1 진공 챔버, 이를테면 마스크 핸들링 챔버(105)로부터 제2 진공 챔버, 이를테면 증착 챔버로 운송될 수 있다.
[0071] 도 1의 스테이지 (a)에서 개략적으로 도시된 바와 같이, 진공 시스템(100) 내로 마스크 디바이스(10)를 로딩(Y1)하는 것은, 마스크 캐리어(15) 없이, 진공 시스템(100)의 마스크 핸들링 챔버(105) 내로 마스크 디바이스(10)를 로딩하는 것을 포함할 수 있다. 대신에, 마스크 캐리어(15)는 마스크 디바이스를 부착하기 위한 포지션으로 진공 시스템(100), 예컨대 마스크 핸들링 챔버(105)에 이미 배열될 수 있다. 규칙적인 시간 간격들로 마스크 디바이스들(10)을 세정하고 그리고/또는 교환하는 것은 유익할 수 있고, 이는 진공 시스템 외부에서 행해질 수 있다. 다른 한편으로, 마스크 캐리어들(15)은 더 긴 시간 기간들 동안 진공 시스템(100)에서 유지될 수 있다.
[0072] 도 1의 스테이지 (a)에서 도시된 바와 같이, 진공 시스템(100) 내로 마스크 디바이스(10)를 로딩(Y1)하는 것은 진공 챔버의 측벽(103) 내의 폐쇄가능한 개구(102)를 통해 진공 시스템의 진공 챔버 내로 마스크 디바이스(10)를 이동시키는 것을 포함할 수 있다. 마스크 디바이스(10)는 로드 락 챔버(도 2에서 도시되지 않음)를 통해 진공 챔버 내로 이동될 수 있다. 특히, 몇몇 실시예들에서, 마스크 디바이스(10)는 폐쇄가능한 개구(102)를 통해 로드 락 챔버로부터 마스크 핸들링 챔버 내로 병진 이동될 수 있다.
[0073] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 마스크 핸들링 조립체(20)는, 예컨대 로드 락 챔버로부터 마스크 핸들링 챔버 내로 마스크 디바이스(10)를 이동시키기 위해 제공될 수 있다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 마스크 핸들링 챔버(105)와 로드 락 챔버 사이에서 이동되도록 구성된, 마스크 홀딩 부분(21)을 갖는 로봇 디바이스, 이를테면 로봇 암을 포함할 수 있다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 도 1의 마스크 핸들링 조립체일 수 있다. 다시 말하면, 단일 마스크 핸들링 조립체가 마스크 디바이스들을 마스크 캐리어들에 부착하는 것 및 마스크 캐리어들로부터 분리하는 것 둘 모두를 행하도록 구성될 수 있다. 대안적으로, 2개의 마스크 핸들링 조립체들, 예컨대, 도 1의 스테이지들을 수행하기 위한 제1 마스크 핸들링 조립체 및 도 2의 스테이지들을 수행하기 위한 제2 마스크 핸들링 조립체가 제공될 수 있다.
[0074] 몇몇 실시예들에서, 마스크 디바이스(10)는, 마스크 디바이스(10)가 제2 배향(H), 예컨대 본질적인 수평 배향으로 있는 동안에, 마스크 핸들링 챔버(105) 내로 이동된다.
[0075] 도 2의 스테이지 (b)에서 개략적으로 도시된 바와 같이, 마스크 디바이스(10)는, 마스크 캐리어(15)에 마스크 디바이스(10)를 부착(Y3)하기 전에, 제2 배향(H)으로부터 비-수평 배향(V)으로 회전(Y2)될 수 있다. 특히, 마스크 디바이스는 본질적인 수평 배향으로 마스크 핸들링 챔버(105) 내로 이동되고, 본질적인 수직 배향으로 마스크 핸들링 조립체에 의해 회전되고, 본질적인 수직 배향으로 마스크 캐리어(15)에 부착된다.
[0076] 몇몇 실시예들에서, 마스크 핸들링 조립체(20)는 마스크 핸들링 챔버(105)에 배열된다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 본질적인 수평 배향 및/또는 본질적인 수직 배향으로 마스크 디바이스(10)를 홀딩하도록 구성된 마스크 홀딩 부분(21)을 포함할 수 있다. 마스크 핸들링 조립체(20)는, 본질적인 수평 방향으로 마스크 핸들링 챔버 내로 마스크 디바이스를 이동시키고, 예컨대 본질적인 수평 배향으로부터 본질적인 수직 배향으로 마스크 디바이스를 회전시키도록 구성될 수 있다. 추가로, 마스크 핸들링 조립체(20)는 마스크 핸들링 조립체(20)의 마스크 홀딩 부분(21)으로부터 마스크 캐리어(15)로 마스크 디바이스(10)를 인계하도록 구성될 수 있다. 특히, 마스크 디바이스(10)는, 예컨대 자기력에 의해 마스크 디바이스를 홀딩하도록 구성된 로봇 암을 포함할 수 있는 마스크 핸들링 조립체(20)에 의해, 병진이동될 수 있고, 회전될 수 있고, 부착될 수 있다(그리고/또는 분리될 수 있다).
[0077] 도 2의 스테이지(a)에서, 마스크 디바이스(10)는 복수의 마스크 디바이스들을 저장하도록 구성된 마스크 매거진(mask magazine) 또는 다른 저장 디바이스로부터 마스크 핸들링 챔버(105)의 측벽(103)에 제공된 폐쇄가능한 개구(102)를 통해 이동될 수 있다. 예컨대, 마스크 매거진은 로드 락 챔버에 배열될 수 있고, 마스크 핸들링 조립체의 마스크 홀딩 부분은 개구를 통해 마스크 매거진 내로 이동할 수 있다.
[0078] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 마스크 디바이스(10)는 자기력에 의해 마스크 캐리어(15)에 홀딩될 수 있다. 특히, 마스크 캐리어(15)는 비-수평 배향(V)으로 마스크 캐리어(15)에 마스크 디바이스(10)를 홀딩하도록 구성된 하나 또는 그 초과의 전자석들 및/또는 영구 자석들을 포함할 수 있다.
[0079] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 비교적 가벼운 마스크 디바이스들이 주변 환경으로부터 진공 시스템 내로 로딩될 수 있고, 마스크 디바이스들이 진공 시스템에서 마스크 캐리어들에 신속하게 부착될 수 있다. 그에 따라, 마스크 핸들링이 가속될 수 있고, 시스템의 유휴 시간들이 감소될 수 있다.
[0080] 특히, 마스크 디바이스들의 마스크 프레임들은 진공 시스템에서 직접적으로 마스크 캐리어들로부터 분해될 수 있다. 그에 따라, 마스크 디바이스만이, 예컨대 오버헤드 운송 차량(overhead transport vehicle)들에 의해 진공 시스템 외부에서 운송될 것이다. 마스크 캐리어들은 마스크 디바이스들보다 훨씬 더 긴 시간 동안 진공 시스템에서 유지될 수 있는 실드 세그먼트들과 함께 진공하에 유지될 것이다. 진공 시스템 외부에서 핸들링되어야만 하는 마스크 당 최대 중량이 급격하게 감소되는데, 예컨대, 약 300 kg 또는 그 초과의 마스크 캐리어로부터, 마스크 캐리어가 없는 마스크 디바이스에 대한 150 kg 또는 그 미만으로 감소된다. 그에 따라, 전형적인 오버헤드 운송 차량들은 훨씬 더 적은 수의 마스크 캐리어들 대신에 7개 또는 그 초과의 마스크 디바이스들을 쉽게 운송할 수 있다. 마스크 교환이 가속될 수 있고, 오버헤드 운송 시스템들의 수, 마스크 캐리어들의 수, 및/또는 마스크 스토커(mask stocker)들의 수가 감소될 수 있다. 그에 따라, 또한, 비용들이 감소될 수 있고, 공간 요건들이 개선될 수 있다. 예컨대 마스크 캐리어들 상에 탑재된 실드들과 함께, 마스크 캐리어들은 더 긴 시간 동안 진공 하에서 유지될 수 있고, 그에 따라, 유지보수 노력이 상당히 감소된다. 마스크 캐리어들은 실드들이 세정 또는 교환되어야 하는 경우에 분위기로 배출될 수 있다. 그에 따라, 마스크 캐리어들의 총 수가 감소될 수 있다.
[0081] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 마스크 디바이스들 및/또는 기판들은 본질적인 수직 배향으로 진공 시스템에서 운송된다. 수직 운송의 개념은 마스크 디바이스들 및/또는 기판들이 본질적인 수평 배향으로 운송 및 프로세싱되는 개념과 비교하여 더 큰 기판 사이즈들의 핸들링을 가능하게 한다. 본질적인 수직 배향으로의 마스크 디바이스들 및/또는 기판들의 운송은 마스크 디바이스들 및/또는 기판들을 각각의 캐리어들에 탑재함으로써 가능하게 될 수 있다. 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 마스크 캐리어들에 또는 마스크 캐리어들로부터 마스크 디바이스들을 부착 또는 분리하는 것은 대기 조건들 하에서 실시되는 것이 아니라 진공 시스템 내부에서 실시된다. 그에 따라, 진공 시스템 외부에서 핸들링되어야 하는 중량이 감소될 수 있다.
[0082] 도 3은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 마스크 디바이스(10)를 핸들링하는 방법의 후속 스테이지들 (a), (b), (c), (d)의 개략적인 예시이다. 도 3의 방법은 도 1의 방법과 유사하고, 그에 따라, 위의 설명들이 참조될 수 있으며, 그 설명들은 여기에서 반복되지 않는다.
[0083] 도 3은 진공 시스템(200)으로부터의 마스크 디바이스의 언로딩에 관한 것이다. 도 3의 스테이지들이 진공 시스템 내로 마스크 디바이스를 로딩하기 위해 반대의 시퀀스로 수행될 수 있다는 것이 명백할 것이다.
[0084] 도 3의 스테이지 (a)는 복수의 진공 챔버들을 포함하는 진공 시스템(200)을 도시한다. 진공 챔버들 중 하나는 마스크 핸들링 챔버(105)이다. 본원에서 사용되는 바와 같은 "진공 챔버"(또한 "진공 모듈"이라고 지칭됨)는 부기압으로 제공될 수 있는 진공 시스템 내의 특정한 영역으로서 이해될 수 있다. 전형적으로, 그러나 필수적이지는 않게, 2개의 인접한 진공 챔버들 또는 진공 모듈들 사이의 통로는, 인접한 진공 챔버를 플러딩하지 않으면서, 하나의 진공 챔버의 서비스 또는 유지보수를 위해 폐쇄될 수 있다.
[0085] 마스크 디바이스(10)를 핸들링하기 위한 마스크 핸들링 조립체(20)가 마스크 핸들링 챔버(105)에 배열된다. 로드 락 챔버(101)와 같은 추가적인 진공 챔버가 마스크 핸들링 챔버(105) 근처에 배열될 수 있다. 폐쇄가능한 개구(102)가 마스크 핸들링 챔버(105)와 로드 락 챔버(101) 사이의 측벽(103)에 제공될 수 있다.
[0086] 진공 시스템(200)을 통해 마스크 캐리어(15)를 가이딩하기 위한 마스크 트랙(31)이 마스크 핸들링 챔버(105)에 제공될 수 있다. 마스크 트랙(31)은 마스크 핸들링 챔버(105)로부터 하나 또는 그 초과의 증착 챔버들 쪽으로 연장될 수 있다. 마스크 디바이스를 홀딩하는 마스크 캐리어(15)는 마스크 트랙(31)을 따라 마스크 핸들링 챔버(105)와 추가적인 진공 챔버들, 예컨대 하나 또는 그 초과의 증착 챔버들 사이에서 운송될 수 있다.
[0087] 마스크 트랙(31)을 따라 마스크 캐리어를 운송하기 위한 마스크 운송 시스템이 제공될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 마스크 운송 시스템은 위로부터 자기력들에 의해 마스크 캐리어(15)의 중량의 적어도 일부를 홀딩하도록 구성된 자기 부상 시스템(35)을 포함한다.
[0088] 도 3의 스테이지 (a)에서, 비-수평 배향(V)으로 마스크 캐리어(15)에 의해 홀딩된 마스크 디바이스(10)가 마스크 핸들링 챔버(105)에 제공된다. 마스크 디바이스(10)는 증착 챔버에서의 마스킹된 증착을 위해 사용되었던 사용된 마스크 디바이스일 수 있다. 사용된 마스크 디바이스는 마스크 캐리어(15)로부터 분리될 것이고, 예컨대 세정, 수리, 유지보수, 교환, 서비싱, 또는 품질 체크를 위해 진공 시스템(200)으로부터 언로딩될 것이다.
[0089] 마스크 캐리어(15)는 마스크 트랙(31)을 따라 마스크 핸들링 챔버(105) 내로 마스크 디바이스(10)를 운반할 수 있고, 여기서, 마스크 캐리어(15)는 도 1의 스테이지 (a)에서 도시된 분리를 위한 포지션에서 정지될 수 있다. 예컨대 로봇 암을 포함하는 마스크 핸들링 조립체(20)는 마스크 캐리어(15)로부터 마스크 핸들링 조립체(20)의 마스크 홀딩 부분(21)으로의 인계를 위해 구성될 수 있다. 도 3의 스테이지 (a)에서 개략적으로 도시된 바와 같이, 마스크 홀딩 부분(21)은 마스크 디바이스(10) 쪽으로 이동할 수 있고, 마스크 디바이스(10)는 마스크 캐리어로부터 분리될 수 있고, 마스크 홀딩 부분(21)에 의해 캡처될 수 있다.
[0090] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 기판 캐리어들의 운송을 위해 구성된 하나 또는 그 초과의 기판 트랙들(32)이 또한, 마스크 핸들링 챔버(105)에 제공될 수 있다. 하나 또는 그 초과의 기판 트랙들(32)은 마스크 트랙들(31)과 마스크 핸들링 조립체(20) 사이에 적어도 부분적으로 배열될 수 있다. 기판 캐리어들에 의해 홀딩된 기판들은 기판 트랙들(32)을 따라 마스크 핸들링 챔버(105)를 통해 가이딩될 수 있다. 이러한 경우에, 마스크 캐리어(15)로부터의 마스크 디바이스(10)의 분리는, 마스크 트랙(31)과 마스크 핸들링 조립체(20) 사이에서 기판 트랙(32) 상에 기판 캐리어가 배열되지 않은 경우에 가능할 수 있다. 마스크 디바이스(10)의 수직 치수는 마스크 디바이스(10)가 하나 또는 그 초과의 기판 트랙들(32)에 걸쳐 마스크 핸들링 조립체(20)에 의해 이동될 수 있도록 이루어질 수 있다.
[0091] 예컨대, 마스크 홀딩 부분(21)은 상측 및 하측 기판 트랙들 사이의 공간을 통해, 분리될 마스크 디바이스(10)가 배열될 수 있는 기판 트랙들의 다른 측에 도달하도록 구성될 수 있다. 마스크 디바이스(10)의 수직 치수는 상측 및 하측 기판 트랙들 사이에서 가이딩될 기판 캐리어의 수직 치수보다 더 작을 수 있고, 그에 따라, 마스크 디바이스(10)가 상측 및 하측 기판 트랙들 사이의 공간을 통해 피팅되고, 시스템으로부터 언로딩되도록 기판 트랙들에 걸쳐 이동될 수 있다.
[0092] 마스크 디바이스(10)는 마스크 캐리어(15)의 자기 척에 의해 생성될 수 있는 자기력에 의해 마스크 캐리어(15)에 홀딩될 수 있다. 자기 척은 하나 또는 그 초과의 영구 자석들 및/또는 하나 또는 그 초과의 전자석들을 포함할 수 있다. 마스크 캐리어(15)오루? 마스크 디바이스(10)를 분리하는 것은 마스크 캐리어(15)의 자기 척에 의해 생성되는 자기장을 변화시키는 것을 포함할 수 있다. 예컨대, 하나 또는 그 초과의 자석들에 의해 생성되는 자기장은 변화될 수 있거나, 감소될 수 있거나, 반대로 될 수 있거나, 또는 비활성화될 수 있다.
[0093] 대안적으로 또는 부가적으로, 마스크 캐리어(15)로부터 마스크 디바이스(10)를 분리하는 것은 마스크 캐리어로부터 마스크 디바이스를 해제하기 위해 마스크 캐리어(15)의 적어도 하나의 영구 자석의 극성을 반전시키는 것을 포함할 수 있다. 예컨대, 적어도 하나의 영구 자석의 자기장은, 예컨대, 적어도 하나의 영구 자석을 둘러싸는 코일을 통해 전자기장을 유도함으로써 반전될 수 있다.
[0094] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 마스크 핸들링 조립체(20)는, 마스크 핸들링 조립체(20)가 마스크 디바이스(10)를 분리 또는 부착하기 위한 포지션에 있는 경우에, 전류 및/또는 전기 신호를 마스크 캐리어(15)에 공급한다. 예컨대, 마스크 디바이스(10)를 분리 또는 부착하기 위한 포지션에서, 마스크 홀딩 부분(21) 상의 제1 노출된 전기 접촉부들은 마스크 캐리어(15) 상의 제2 노출된 전기 접촉부들과 접촉하게 될 수 있다. 예컨대, 이어서, 마스크 캐리어가 분리 또는 부착하기 위한 포지션에 있는 경우에, 전력 공급부의 출력 단자가 제1 및 제2 노출된 전기 접촉부들을 통해 마스크 캐리어의 전자석에 전기적으로 연결될 수 있다. 이는 전력 공급부가 마스크 캐리어에 부착되지 않을 수 있는 이점을 갖는다. 대신에, 전력 공급부는, 예컨대 진공 시스템의 외부의 고정 컴포넌트로서 또는 마스크 핸들링 조립체(20)의 컴포넌트로서 제공될 수 있다. 전류 및/또는 전기 신호는 마스크 캐리어로부터/에 마스크 디바이스를 분리하거나 또는 부착하기 위해 사용될 수 있다.
[0095] 마스크 핸들링 조립체가 마스크 캐리어에/로부터 마스크 디바이스를 부착하고 그리고/또는 분리하기 위해 사용될 수 있다는 것이 명백할 것이다. 예컨대, 마스크 캐리어에 마스크 디바이스를 부착하는 것은 마스크 핸들링 조립체를 통해 마스크 캐리어의 척킹 디바이스에 전류 및/또는 전기 신호를 제공하는 것을 포함할 수 있다. 예컨대, 마스크 캐리어의 적어도 하나의 영구 자석의 극성이 마스크 캐리어에 마스크 디바이스를 클램핑하기 위해 반전될 수 있다. 적어도 하나의 영구 자석의 극성은 전자기 임펄스를 제공하기 위해 전류를 일시적으로 전자석에 공급함으로써 반전될 수 있다. 마스크 캐리어의 노출된 전기 접촉부들은 마스크 캐리어에 마스크 디바이스를 부착하기 위한 포지션에서 전류 공급을 위해 사용될 수 있다.
[0096] 도 3의 스테이지 (b)에서 도시된 바와 같이, 이어서, 분리된 마스크 디바이스(10)는 비-수평 배향(V)으로부터 제2 배향, 예컨대 본질적인 수평 배향으로 회전 또는 스윙될 수 있다. 예컨대, 마스크 핸들링 조립체는 회전 축을 중심으로 마스크 홀딩 부분(21)을 회전시키거나 또는 스윙하도록 구성된 제2 액추에이터를 가질 수 있다.
[0097] 도 3의 스테이지 (c)에서 도시된 바와 같이, 이어서, 마스크 디바이스(10)는, 마스크 핸들링 챔버(105)의 측벽(103) 내의 폐쇄가능한 개구(102)를 통해 추가적인 진공 챔버, 예컨대 로드 락 챔버(101) 내로 마스크 디바이스(10)를 이동시킴으로써, 진공 시스템으로부터 언로딩될 수 있다.
[0098] 복수의 마스크 디바이스들(12)을 저장하기 위한 마스크 매거진(201)이 로드 락 챔버(101)에 제공될 수 있다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 사용된 마스크 디바이스를 마스크 매거진(201)의 슬롯 내로 이동시키도록, 그리고/또는 사용될 마스크 디바이스를 마스크 매거진의 슬롯으로부터 이동시키도록 구성될 수 있다. 사용된 마스크 디바이스는, 마스크 홀딩 부분이 마스크 매거진(201)의 빈 슬롯 내에 삽입된 경우에, 마스크 핸들링 조립체(20)의 마스크 홀딩 부분(21)으로부터 마스크 디바이스를 해제함으로써, 마스크 매거진(201)의 슬롯 내에 넣어질 수 있다. 사용될 마스크 디바이스는, 사용될 마스크 디바이스가 저장된 마스크 매거진(201)의 슬롯 내에 마스크 홀딩 부분이 삽입된 경우에, 마스크 핸들링 조립체의 마스크 홀딩 부분(21)으로 마스크 디바이스를 끌어당김으로써, 마스크 매거진(201)의 슬롯으로부터 취해질 수 있다. 마스크 디바이스들은 마스크 매거진(201)에 일시적으로 저장될 수 있다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 마스크 매거진(201)의 슬롯들 내로의 그리고 마스크 매거진(201)의 슬롯들로부터의 마스크 디바이스들의 선형 이동을 위해 구성될 수 있다.
[0099] 몇몇 실시예들에서, 마스크 매거진(201)은 복수의 마스크 디바이스들(12)을 저장하기 위한 복수의 슬롯들(203)을 포함할 수 있다. 복수의 슬롯들(203)은 본질적으로 수평으로 배향될 수 있다. 그에 따라, 마스크 디바이스(10)는, 예컨대 선형 이동에 의해, 본질적인 수평 방향으로 슬롯들 중 하나 내로 그리고 슬롯들 중 하나 밖으로 이동될 수 있다.
[00100] 이는, 수평 방향으로의 마스크 홀딩 부분의 선형 이동 후에, 마스크 매거진(또는 마스크 카세트 시스템)에 차곡 차곡 마스크 디바이스들을 쉽게 스택킹할 수 있게 한다. 수평으로 스택킹된 마스크 디바이스들의 일시적인 저장 및 운송을 위한 마스크 카세트 시스템들의 사용은 신속하고 효율적일 수 있다.
[00101] 몇몇 실시예들에서, 마스크 매거진(201)은 슬롯들의 이동을 위해 구성된 시프팅 메커니즘(205)을 포함할 수 있다. 예컨대, 점유된 슬롯은 폐쇄가능한 개구(102)의 후방의 포지션으로부터 멀어지도록 이동될 수 있고, 빈 슬롯은 폐쇄가능한 개구(102)의 후방의 포지션으로 이동될 수 있고, 그에 따라, 마스크 핸들링 조립체(20)가 빈 슬롯 내로 마스크 디바이스를 삽입할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 마스크 매거진은 수직 방향으로 이동가능할 수 있는 복수의 스택킹된 슬롯들을 포함한다. 그에 따라, 복수의 스택킹된 슬롯들은 사용된 마스크 디바이스들로 차례로 채워질 수 있다. 대안적으로 또는 부가적으로, 사용될 마스크 디바이스들은 복수의 스택킹된 슬롯들로부터 차례로 취해질 수 있다.
[00102] 도 3의 스테이지 (c)에서, 마스크 디바이스(10)는 폐쇄가능한 개구(102)를 통해 마스크 매거진(201)의 빈 슬롯 내로 마스크 핸들링 조립체(200)에 의해 넣어진다. 도 3의 스테이지 (d)에서 도시된 바와 같이, 이어서, 시프팅 메커니즘(205)은, 추가적인 마스크 디바이스의 삽입을 위해 새로운 빈 슬롯이 포지셔닝되도록, 예컨대 수직 방향으로 마스크 매거진(201)을 이동시킬 수 있다.
[00103] 마스크 매거진(201)이 미리 결정된 수의 사용된 마스크 디바이스들로 채워지면, 마스크 매거진(201)은, 도 3의 스테이지 (d)에서 화살표(208)에 의해 표시된 바와 같이, 로드 락 챔버(101)로부터 대기 환경으로 언로딩될 수 있다. 예컨대, 마스크 매거진(201)은 리프팅 디바이스에 의해 로드 락 챔버(101)의 개구를 통해 리프팅될 수 있다. 대안적으로 또는 부가적으로, 사용될 마스크 디바이스들로 채워진 마스크 매거진(201)은 리프팅 디바이스에 의해 로드 락 챔버(101) 내로 개구를 통해 이동될 수 있다.
[00104] 개구는 로드 락 챔버(101)가 부기압으로 제공될 수 있도록 덮개(202)로 폐쇄가능할 수 있다. 도 3의 스테이지 (d)에서 개략적으로 도시된 바와 같이, 로드 락 챔버 내로의 마스크 매거진(201)의 삽입 및/또는 제거를 위해, 로드 락 챔버(101)가 플러딩될 수 있고, 덮개(202)가 개방될 수 있다.
[00105] 도 3에서 도시된 마스크 핸들링 조립체(20)는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 마스크 핸들링 조립체의 예이다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 진공 시스템에서 마스크 디바이스를 핸들링하도록 구성되고, 그리고 마스크 디바이스를 홀딩하도록 구성된 마스크 홀딩 부분(21), 마스크 디바이스를 홀딩할 수 있는 마스크 홀딩 부분(21)을 이동시키도록 구성된 제1 액추에이터, 및 마스크 캐리어(15)로부터 마스크 홀딩 부분(21)으로 그리고/또는 마스크 홀딩 부분(21)으로부터 마스크 캐리어(15)로 비-수평 배향(V)으로 마스크 디바이스(10)를 인계하도록 구성된 인계 메커니즘을 포함한다.
[00106] 본원에서 사용되는 바와 같은 "마스크 디바이스의 핸들링"은, 마스크 캐리어에 마스크 디바이스를 부착하는 것, 마스크 캐리어로부터 마스크 디바이스를 분리하는 것, 진공 시스템 내로 또는 진공 시스템으로부터 마스크 디바이스를 로딩하거나 또는 언로딩하는 것, 마스크 디바이스를 이동시키거나, 병진 이동시키거나, 또는 회전시키는 것 중 적어도 하나 또는 그 초과로서 이해될 수 있다.
[00107] 제1 액추에이터는, 특히 마스크 핸들링 챔버(105)와 제2 진공 챔버, 예컨대 로드 락 챔버(101) 사이의 마스크 홀딩 부분(21)의 병진 이동을 위해 구성될 수 있다. 예컨대, 마스크 디바이스를 홀딩할 수 있는 마스크 홀딩 부분(21)은 본질적인 수평 방향을 따라 마스크 핸들링 챔버와 제2 진공 챔버 사이에서 선형으로 이동할 수 있다.
[00108] 마스크 핸들링 조립체(20)는 추가로, 마스크 디바이스를 그립핑하도록, 예컨대, 마스크 캐리어로부터 마스크 디바이를 인계하도록, 그리고 로드 락 챔버에 배열될 수 있는 마스크 매거진에 마스크 디바이스를 비축하도록 구성될 수 있다.
[00109] 마스크 핸들링 조립체(20)는, 예컨대 자기력에 의해 마스크 홀딩 부분(21)에 마스크 디바이스를 홀딩하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 하나 또는 그 초과의 자석들, 이를테면 전자석들 및/또는 영구 자석들이 마스크 홀딩 부분(21) 쪽으로 마스크 디바이스의 마스크 프레임을 끌어당기기 위해 마스크 홀딩 부분(21)에 통합될 수 있다.
[00110] 몇몇 실시예들에서, 마스크 핸들링 조립체는, 비-수평 배향, 예컨대 본질적인 수직 배향과 제2 배향, 예컨대 본질적인 수평 배향 사이의 마스크 홀딩 부분(21)의 회전 이동을 위해 구성된 제2 액추에이터를 포함한다.
[00111] 몇몇 실시예들에서, 인계 메커니즘은, 예컨대, 마스크 홀딩 부분(21)으로부터 마스크 캐리어(15)로 마스크 디바이스를 인계하기 위해, 마스크 캐리어(15)로의 마스크 디바이스(10)의 부착을 트리거링하도록 구성된다. 대안적으로 또는 부가적으로, 인계 메커니즘은, 예컨대, 마스크 캐리어(15)로부터 마스크 홀딩 부분(21)으로 마스크 디바이스를 인계하기 위해, 마스크 캐리어(15)로부터의 마스크 디바이스(10)의 분리를 트리거링하도록 구성된다.
[00112] 몇몇 실시예들에서, 인계 메커니즘은 마스크 캐리어(15)에 제공된 적어도 하나의 영구 자석의 극성을 반전시키도록 구성될 수 있다. 극성의 상기 반전은 마스크 캐리어 쪽으로 마스크 디바이스를 끌어당길 수 있거나, 또는 마스크 캐리어로부터 마스크 디바이스를 해제할 수 있다.
[00113] 도 4는 기판 상으로의 재료의 마스킹된 증착을 위한 진공 시스템(300)의 개략도이다. 진공 시스템(300)은 본원에서 설명되는 방법들 중 임의의 방법에 따라 동작되는데 적합할 수 있다.
[00114] 진공 시스템(300)은 마스크 핸들링 챔버(105), 로드 락 챔버(301), 및 본원에서 설명되는 실시예들 중 임의의 실시예에 따른 마스크 핸들링 조립체(20)를 포함하며, 여기서, 마스크 핸들링 챔버(105)와 로드 락 챔버(301) 사이에 폐쇄가능한 개구(102)가 제공된다.
[00115] 마스크 핸들링 조립체(20)는, 폐쇄가능한 개구(102)를 통해, 로드 락 챔버(301)로부터 마스크 핸들링 챔버(105)로 그리고/또는 그 반대로 마스크 홀딩 부분(21)을 이동시키도록 구성된 제1 액추에이터를 포함한다.
[00116] 몇몇 실시예들에서, 마스크 핸들링 조립체(20)는, 마스크 캐리어들로부터 사용된 마스크 디바이스들을 분리하도록, 그리고 예컨대, 마스크 핸들링 챔버(105)로부터, 마스크 매거진(201) 또는 다른 마스크 저장소가 제공될 수 있는 로드 락 챔버(301) 내로 분리된 마스크 디바이스들을 이동시킴으로써, 진공 시스템(300)으로부터 사용된 마스크 디바이스들을 언로딩하도록 구성된다.
[00117] 몇몇 실시예들에서, 마스크 핸들링 조립체(20)는 또한, 로드 락 챔버로부터, 예컨대 마스크 매거진 또는 다른 마스크 저장소로부터 마스크 핸들링 챔버 내로 마스크 디바이스들을 이동시키도록, 그리고 사용될 마스크 디바이스들을 마스크 캐리어들에 부착하도록 구성될 수 있다.
[00118] 대안적으로, 제2 마스크 핸들링 조립체(320)가 제공될 수 있다. 제2 마스크 핸들링 조립체(32)는, 예컨대, 사용될 마스크 디바이스들(310)을 제2 로드 락 챔버(302)로부터 마스크 핸들링 챔버(105) 내로 이동시킴으로써, 사용될 마스크 디바이스들(310)을 진공 시스템(300) 내로 로딩하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 제2 마스크 핸들링 조립체(320)는 제2 로드 락 챔버(302)에 제공된 제2 마스크 매거진(341)으로부터 사용될 마스크 디바이스들(310)을 취할 수 있다. 제2 마스크 핸들링 조립체(320)는 마스크 핸들링 챔버(105)에서 마스크 캐리어들에 사용될 마스크 디바이스들(310)을 부착하도록 구성될 수 있다.
[00119] 도 4는 2개의 마스크 핸들링 조립체들, 즉 마스크 핸들링 조립체920) 및 제2 마스크 핸들링 조립체(320)를 포함하는 진공 시스템(300)을 도시한다. 마스크 핸들링 조립체(20) 및 제2 마스크 핸들링 조립체는 진공 챔버의 상이한 영역들, 예컨대 마스크 핸들링 챔버(105)에 배열될 수 있다.
[00120] 마스크 핸들링 조립체(20)는 마스크 캐리어들로부터 사용된 마스크 디바이스들을 분리하도록 구성되고, 제2 마스크 핸들링 조립체(320)는 마스크 캐리어들에 사용될 마스크 디바이스들을 부착하도록 구성된다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 마스크 핸들링 챔버(105)로부터 사용된 마스크 디바이스들을 이동시키도록 구성될 수 있고, 제2 마스크 핸들링 조립체(320)는 마스크 핸들링 챔버(105) 내로 사용될 마스크 디바이스들을 이동시키도록 구성될 수 있다.
[00121] 본 개시내용에서 적절하게, "사용된 마스크 디바이스"라는 용어가 "제1 마스크 디바이스"라는 용어로 대체될 수 있고, "사용될 마스크 디바이스"라는 용어가 "제2 마스크 디바이스"라는 용어로 대체될 수 있다는 것이 유의되어야 한다.
[00122] 특히, 사용될 마스크 디바이스들 및 사용된 마스크 디바이스들은 개별적으로 핸들링될 수 있다. 사용된 마스크 디바이스들은, 마스크 핸들링 조립체(20)가 배열될 수 있는 마스크 핸들링 챔버의 제1 마스크 핸들링 영역에서 핸들링될 수 있고, 사용될 마스크 디바이스들은, 제2 마스크 핸들링 조립체(320)가 배열될 수 있는 마스크 핸들링 챔버의 제2 마스크 핸들링 영역에서 핸들링될 수 있다. 마스크 디바이스들의 개별적인 핸들링은, 예컨대, 사용된 마스크 디바이스들 가까이 가게 되는 것에 의한 세정된 마스크 디바이스드르이 오염을 감소시키거나 또는 피하는데 유용할 수 있다.
[00123] 도 5는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 마스크 핸들링의 방법을 예시하는 흐름도이다. 박스(510)에서, 마스크 디바이스가 진공 시스템 내로 로딩된다. 진공 시스템에 마스크 디바이스를 로딩하는 것은 로드 락 챔버로부터 마스크 핸들링 챔버 내로 마스크 캐리어 없이 마스크 디바이스를 이동시키는 것을 포함할 수있다. 예컨대, 로봇 디바이스와 같은 마스크 핸들링 조립체가 마스크 핸들링 챔버 내로 마스크 디바이스를 이동시키도록 구성될 수 있다. 마스크 디바이스는, 마스크 디바이스가 본질적으로 수평으로 배향될 수 있는 동안에, 수평 방향으로 마스크 핸들링 챔버 내로 병진 이동될 수 있다.
[00124] 박스(520)에서, 마스크 디바이스는 비-수평 배향, 특히 본질적인 수직 배향으로 회전된다. 예컨대, 로봇 디바이스와 같은 마스크 핸들링 조립체는 마스크 디바이스를 회전시키도록 구성될 수 있다.
[00125] 박스(530)에서, 마스크 디바이스는, 특히 마스크 디바이스가 비-수평 배향으로 있는 동안에, 진공 시스템에서 마스크 캐리어에 부착된다.
[00126] 박스(540)에서, 비-수평 배향으로 마스크 디바이스를 홀딩하는 마스크 캐리어는 진공 시스템에서 운송 경로를 따라, 예컨대 마스크 핸들링 챔버로부터 증착 챔버로 운송된다.
[00127] 도 6은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 마스크 핸들링의 방법을 예시하는 흐름도이다. 도 6의 마스크 핸들링 방법은 도 5의 마스크 핸들링 방법에 이어질 수 있다.
[00128] 박스(610)에서, 비-수평 배향으로 마스크 디바이스를 홀딩하는 마스크 캐리어가 지공 시스템에서 운송 경로를 따라, 예컨대 증착 챔버로부터 마스크 핸들링 챔버로 운송된다.
[00129] 박스(620)에서, 마스크 디바이스는, 특히 마스크 디바이스가 비-수평 배향으로 있는 동안에, 진공 시스템에서 마스크 캐리어로부터 분리된다.
[00130] 박스(630)에서, 마스크 디바이스는 비-수평 배향으로부터 제2 배향, 특히 본질적인 수평 배향으로 회전된다. 예컨대, 로봇 디바이스와 같은 마스크 핸들링 조립체는 마스크 디바이스를 회전시키도록 구성될 수 있다.
[00131] 박스(640)에서, 마스크 디바이스는, 특히 마스크 핸들링 챔버로부터 로드 락 챔버 내로 마스크 캐리어 없이 마스크 디바이스를 이동시킴으로써, 진공 시스템으로부터 언로딩된다. 예컨대, 로봇 디바이스와 같은 마스크 핸들링 조립체는 마스크 핸들링 챔버 밖으로, 그리고 로드 락 챔버에 제공된 마스크 매거진 내로 마스크 디바이스를 이동시키도록 구성될 수 있다.
[00132] 이어서, 언로딩된 마스크 디바이스는 진공 시스템 외부에서 세정 또는 서비스될 수 있다.
[00133] 본원에서 설명되는 다른 양상에 따르면, 기판 상으로의 마스킹된 증착을 위한 진공 시스템(400)이 제공된다.
[00134] 도 7은 진공 시스템(400)의 개략적인 단면도이고, 도 8은 진공 시스템(400)의 평면도이다. 도 7의 진공 시스템(400)은 도 4에서 도시된 진공 시스템(300)과 유사할 수 있고, 그에 따라, 위의 설명들이 참조될 수 있으며, 그 설명들은 여기에서 반복되지 않는다. 진공 시스템은, 예컨대 증발에 의해 기판 상에 하나 또는 그 초과의 재료들을 증착하도록 구성될 수 있다.
[00135] 진공 시스템(400)은 마스크 핸들링 챔버(405), 적어도 하나의 증착 챔버(도 7 및 도 8에서 도시되지 않음), 및 비-수평 배향(V)으로 마스크 핸들링 챔버(405)와 적어도 하나의 증착 챔버 사이에서 마스크 디바이스들을 운송하도록 구성된 마스크 운송 시스템을 포함한다.
[00136] 마스크 핸들링 챔버(405)는 사용될 마스크 디바이스들(411)을 핸들링하도록 구성된 제1 마스크 핸들링 조립체(421)를 갖는 제1 마스크 핸들링 영역, 및 사용된 마스크 디바이스들(412)을 핸들링하도록 구성된 제2 마스크 핸들링 조립체(422)를 갖는 제2 마스크 핸들링 영역(402)을 포함한다.
[00137] 본원에서 사용되는 바와 같은 "사용될 마스크 디바이스들"은, 기판 상으로의 마스킹된 증착을 위해 사용되도록 적어도 하나의 증착 챔버 내로 운송될 마스크 디바이스들로서 이해될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 사용될 마스크 디바이스는 새로운 마스크 디바이스, 세정된 마스크 디바이스, 또는 서비스 또는 유지보수를 받은 마스크 디바이스일 수 있다.
[00138] 본원에서 사용되는 바와 같은 "사용된 마스크 디바이스들"은 증착 챔버에서의 마스킹된 증착을 위해 사용된 마스크 디바이스들로서 이해될 수 있다. 사용된 마스크 디바이스들은, 예컨대 세정 또는 유지보수를 위해 증착 챔버 밖으로 운송될 것이다. 예컨대, 사용된 마스크 디바이스들은, 대기압 하의 세정을 위해 진공 시스템으로부터 언로딩될 것이다. 하나 또는 그 초과의 기판들 상으로의 마스킹된 증착을 위해 마스크 디바이스를 사용함으로써, 사용될 마스크 디바이스는 사용된 마스크 디바이스가 된다. 전형적으로, 마스크 디바이스는 10개 또는 그 초과의 기판들 상으로의 마스킹된 증착을 위해 사용되고, 그 후에, 마스크 디바이스는 세정될 수 있다. 세정 후에, 마스크 디바이스는 마스킹된 증착을 위해 사용되도록 진공 시스템 내로 다시 로딩될 수 있다.
[00139] 제2 마스크 핸들링 영역(402) 및 제1 마스크 핸들링 영역(401)은, 서로 인접할 수 있거나 또는 서로 이격될 수 있는 마스크 핸들링 챔버(405)의 상이한 섹션들에 대응할 수 있다. 예컨대, 제1 마스크 핸들링 영역(401) 및 제2 마스크 핸들링 영역(402)은 마스크 핸들링 챔버의 반대편 부분들일 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 제1 마스크 핸들링 영역(401) 및 제2 마스크 핸들링 영역(402)은 마스크 캐리어들(415)의 운송을 위해 구성된 운송 경로들의 반대편 측들에 위치된다. 예컨대, 도 7에서 개략적으로 도시된 바와 같이, 제1 마스크 핸들링 영역(401)은 제1 및 제2 마스크 트랙들의 제1 측에 위치될 수 있고, 제2 마스크 핸들링 영역(402)은 제1 및 제2 마스크 트랙들의 반대편 측에 위치될 수 있다.
[00140] 본원에서 설명되는 몇몇 실시예들에 따르면, 사용될 마스크 디바이스들(411)은, 사용된 마스크 디바이스들(412)과 개별적으로, 핸들링될 수 있고, 예컨대, 부착, 분리, 로딩, 언로딩, 저장, 이동, 회전, 및/또는 병진 이동될 수 있다. 세정된 마스크 디바이스들의 오염이 감소 또는 방지될 수 있다.
[00141] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 제1 마스크 핸들링 영역(401)으로 연장되는 마스크 로딩 통로, 및 제2 마스크 핸들링 영역(402)으로 연장되는 마스크 언로딩 통로가 제공될 수 있다. 마스크 로딩 통로는 마스크 언로딩 통로로부터 이격될 수 있다. 예컨대, 마스크 로딩 통로 및 마스크 언로딩 통로는 마스크 캐리어들(415)의 운송을 위해 구성된 운송 경로들의 반대편 측들에 제공될 수 있다. 특히, 도 7에서 개략적으로 도시된 바와 같이, 마스크 로딩 통로 및 마스크 언로딩 통로는 마스크 핸들링 챔버(405)의 반대편 측들에 배열될 수 있다.
[00142] 마스크 로딩 통로는 제1 마스크 핸들링 영역(401)으로 연장될 수 있고, 예컨대 제1 로드 락 챔버(403)를 통해 진공 시스템(400) 내로 사용될 마스크 디바이스들(411)을 로딩하도록 구성될 수 있다. 마스크 언로딩 통로는 제2 마스크 핸들링 영역(402)으로부터 연장될 수 있고, 예컨대 제2 로드 락 챔버(404)를 통해 진공 시스템(400)으로부터 사용된 마스크 디바이스들(412)을 언로딩하도록 구성될 수 있다.
[00143] 몇몇 실시예들에서, 마스크 로딩 통로는 제1 로드 락 챔버(403)를 통해 제1 마스크 핸들링 영역(401) 내로 연장된다. 제1 폐쇄가능한 개구가 제1 마스크 핸들링 영역(401)과 제1 로드 락 챔버(403) 사이에 제공될 수 있다.
[00144] 몇몇 실시예들에서, 마스크 언로딩 통로는 제2 로드 락 챔버(404)를 통해 제2 마스크 핸들링 영역(402)으로부터 연장된다. 제2 폐쇄가능한 개구가 제2 마스크 핸들링 영역(402)과 제2 로드 락 챔버(404) 사이에 제공될 수 있다.
[00145] 제1 로드 락 챔버(403) 및 제2 로드 락 챔버(404)는 마스크 핸들링 챔버(405)의 2개의 반대편 측들에서 마스크 핸들링 챔버(405) 근처에 제공될 수 있다. 예컨대, 도 7에서 개략적으로 도시된 바와 같이, 제1 로드 락 챔버(403)는 마스크 핸들링 챔버(405)의 제1 측에 배열될 수 있고, 제2 로드 락 챔버(404)는 제1 측과 반대인 마스크 핸들링 챔버(405)의 제2 측에 배열될 수 있다. 특히, 제1 로드 락 챔버(403) 및 제2 로드 락 챔버(404)는 마스크 핸들링 챔버(405)를 통해 마스크 캐리어들을 가이딩하도록 구성된 마스크 트랙들의 반대편 측들에 배열될 수 있다.
[00146] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 제1 마스크 핸들링 조립체(421)는 마스크 캐리어들(415)에 사용될 마스크 디바이스들(411)을 부착하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 제1 마스크 핸들링 조립체는 도 2에서 도시된 마스크 핸들링 조립체(20)와 유사할 수 있고, 그에 따라, 위의 설명들이 참조될 수 있으며, 그 설명들은 여기에서 반복되지 않는다.
[00147] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 제2 마스크 핸들링 조립체(422)는 마스크 캐리어들(415)로부터 사용된 마스크 디바이스들(412)을 분리하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 제2 마스크 핸들링 조립체(422)는 도 1에서 도시된 마스크 핸들링 조립체(20)와 유사할 수 있고, 그에 따라, 위의 설명들이 참조될 수 있으며, 그 설명들은 여기에서 반복되지 않는다.
[00148] 진공 시스템의 상이한 영역들에서 마스크 디바이스들을 핸들링하기 위해 제1 마스크 핸들링 조립체(421) 및 제2 마스크 핸들링 조립체(422)를 제공함으로써, 진공 시스템 내의 마스크 트래픽이 단순화될 수 있고, 마스크 핸들링이 가속될 수 있다. 특히, 마스크 핸들링 챔버 내의 상이한 영역들이 사용된 마스크 디바이스들 및 사용될 마스크 디바이스들을 핸들링하기 위해 제공될 수 있다. 이는 진공 시스템 내의 마스크 트래픽의 복잡성을 감소시킬 수 있다.
[00149] 진공 시스템 내의 마스크 트래픽의 복잡성은, 사용될 마스크 디바이스들(411)을 홀딩하는 마스크 캐리어들(415)을 제1 마스크 핸들링 영역(401)으로부터 적어도 하나의 증착 챔버 쪽으로 가이딩하기 위한 제1 마스크 트랙(431)을 포함하고, 그리고/또는 사용된 마스크 디바이스들(412)을 홀딩하는 마스크 캐리어들(415)을 적어도 하나의 증착 챔버로부터 제2 마스크 핸들링 영역(402)으로 가이딩하기 위한 제2 마스크 트랙(432)을 포함하는 마스크 운송 시스템을 제공함으로써, 더 감소될 수 있다.
[00150] 제1 마스크 핸들링 영역에서의 사용될 마스크 디바이스들 및 제2 마스크 핸들링 영역에서의 사용된 마스크 디바이스들을 위한 상이한 마스크 트랙들을 제공함으로써, 제1 마스크 핸들링 조립체(421) 및 제2 마스크 핸들링 조립체(422)는 독립적으로 동작될 수 있다. 예컨대, 제1 마스크 트랙(431) 상에 배열된 마스크 캐리어에 마스크 디바이스가 부착될 수 있고, 예컨대 동시에 또는 후속하여, 제2 마스크 트랙(432) 상에 배열된 추가적인 마스크 캐리어로부터 추가적인 마스크 디바이스가 분리될 수 있다. 마스크 디바이스들은 더 신속하게 그리고 더 유연하게 핸들링될 수 있다.
[00151] 본원에서 설명되는 다른 실시에들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 마스크 운송 시스템은 마스크 핸들링 챔버(405) 내에서 제2 마스크 트랙(432)으로부터 제1 마스크 트랙(431)으로 그리고/또는 그 반대로 마스크 캐리어들(415)을 병진 이동시키도록 구성된 병진이동 메커니즘(450)을 더 포함할 수 있다. 그에 따라, 마스크 캐리어는 제2 마스크 핸들링 영역(402)으로부터 제1 마스크 핸들링 영역(401) 내로 직접적으로 병진 이동될 수 있다. 빈 마스크 캐리어의 직접적인 이송은, 제2 마스크 핸들링 영역에서 사용된 마스크 디바이스가 마스크 캐리어(415)로부터 분리되었고, 제1 마스크 핸들링 영역(401)에서 새로운 마스크 디바이스가 마스크 캐리어에 부착될 것인 경우에 유용할 수 있다. 그에 따라, 추가적인 마스크 디바이스를 운송하기 위해 빈 마스크 캐리어가 사용될 수 있다. 마스크 캐리어들을 위한 운송 경로 길이들이 감소될 수 있고, 진공 시스템 내의 마스크 트래픽이 가속될 수 있다.
[00152] 병진이동 메커니즘은 마스크 핸들링 챔버(405)에서 제1 마스크 트랙(431)과 제2 마스크 트랙(432) 사이에서 마스크 캐리어를 병진 이동시키도록 구성된 메커니즘으로서 이해될 수 있다. 예컨대, 마스크 캐리어는 제1 및 제2 마스크 트랙들의 방향들을 횡단할 수 있거나 또는 그 방향들에 수직일 수 있는 방향으로 제1 마스크 트랙(431)과 제2 마스크 트랙(432) 사이에서 선형으로 이동될 수 있다.
[00153] 예컨대, 병진이동 메커니즘(450)은 제1 마스크 트랙과 제2 마스크 트랙 사이에서 마스크 캐리어를 병진 이동시키도록 구성된 캐리어 가이드 및 구동부를 포함할 수 있다. 마스크 트랙들은 마스크 핸들링 챔버를 통해 본질적으로 서로 평행하게 이어질 수 있다. 병진이동 메커니즘은 마스크 트랙들의 방향에 수직으로 마스크 캐리어를 이동시킬 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 병진이동 메커니즘(450)은 마스크 트랙들 사이에서 마스크 캐리어를 병진 이동시키도록 구성된 자기 부상 디바이스를 포함한다.
[00154] 그에 따라, 몇몇 실시예들에서, 마스크 캐리어들을 위한 적어도 하나의 루프 운송 경로가 제공될 수 있다. 즉, 도 8에서 표시된 바와 같이, 사용될 마스크 디바이스가 제1 마스크 핸들링 영역(401)에서 마스크 캐리어에 부착될 수 있고, 마스크 캐리어가 제1 마스크 트랙(431)을 따라 적어도 하나의 증착 챔버(도 8에서 도시되지 않음) 쪽으로 운송될 수 있고, 마스크 캐리어가 제2 마스크 트랙(432)을 따라 마스크 핸들링 챔버로 제2 마스크 핸들링 영역(402) 내로 되돌아 운송될 수 있으며, 사용된 마스크 디바이스가 제2 마스크 핸들링 영역(402)에서 마스크 캐리어로부터 분리될 수 있다. 그 후에, 몇몇 실시예들에서, (빈) 마스크 캐리어가 마스크 핸들링 챔버 내에서 병진이동 메커니즘(450)을 이용하여 제1 마스크 핸들링 영역 내로 직접적으로 병진 이동될 수 있고, 제1 마스크 핸들링 영역에서, 사용될 추가적인 마스크 디바이스가 마스크 캐리어에 부착될 수 있다. 마스크 트래픽이 단순화될 수 있고, 마스크 캐리어들 사이의 캐리어 잼들 또는 간섭이 감소될 수 있다.
[00155] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 제1 마스크 트랙(431)은 마스크 핸들링 챔버(405)를 통해 제2 마스크 트랙(432)에 본질적으로 평행하게 연장된다. 도 7 및 도 8에서 개략적으로 도시된 바와 같이, 제1 마스크 핸들링 영역(401)은 제1 마스크 트랙(431)의 외측에 배열될 수 있고, 제2 마스크 핸들링 영역(402)은 제2 마스크 트랙(432)의 외측에 배열될 수 있다. 특히, 제1 마스크 핸들링 장치 및 제2 마스크 핸들링 장치는 마스크 핸들링 챔버(405)의 반대편 부분들에 제공될 수 있고, 그에 따라, 제1 마스크 핸들링 장치는 제1 마스크 트랙(431)을 따라 운송되는 마스크 디바이스들을 핸들링할 수 있고, 제2 마스크 핸들링 장치는 제2 마스크 트랙(432)을 따라 운송되는 마스크 디바이스들을 핸들링할 수 있다. 예컨대, 제1 마스크 트랙(431)은 부착 포지션을 포함할 수 있다. 마스크 캐리어는 도 8에서 도시된 부착 포지션에서 정지되고, 마스크 캐리어가 부착 포지션에서 유지되는 동안에, 마스크 디바이스가 마스크 캐리어에 부착된다. 제2 마스크 트랙(432)은 분리 포지션을 포함할 수 있다. 마스크 캐리어는 도 8에서 도시된 분리 포지션에서 정지되고, 마스크 캐리어가 분리 포지션에서 유지되는 동안에, 마스크 디바이스가 마스크 캐리어로부터 분리된다.
[00156] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 진공 시스템9400)은 진공 시스템에서 기판 운송 경로를 따라 기판들을 운송하도록 구성된 기판 운송 시스템을 더 포함할 수 있다. 특히, 기판 운송 경로는 마스크 핸들링 챔버(405)를 통해 또는 마스크 핸들링 조립체를 지나서 연장될 수 있다. 기판은 기판 운송 경로를 따라 마스크 핸들링 챔버(405)를 통해, 예컨대, 마스크 핸들링 챔버의 제1 측에 배열된 제1 증착 챔버로부터 마스크 핸들링 챔버의 제2 측에 배열된 제2 증착 챔버로 운송될 수 있다.
[00157] 마스크 핸들링 챔버(405)는 주 운송 방향(예컨대, 도 9에서 상-하 방향)으로 연장되는 진공 시스템(400)의 주 운송 경로(Z)에 제공될 수 있다. 기판 캐리어들을 운송하기 위한 기판 트랙들 및 마스크 캐리어들을 운송하기 위한 마스크 트랙들은 진공 시스템(400)의 주 운송 방향으로 마스크 핸들링 챔버를 통해 이어질 수 있다. 기판들은, 예컨대, 2개 또는 그 초과의 증착 챔버들이 마스크 주 운송 경로(Z)의 상이한 측들에 배열되는 경우에, 재료 스택으로 코팅되기 위해 하나 또는 그 초과의 횟수들로 마스크 핸들링 챔버(405)를 통해 운송될 수 있다.
[00158] 진공 시스템의 주 운송 경로(Z) 내에 마스크 핸들링 챔버(405)를 삽입함으로써, 마스크 핸들링 챔버는 2개 또는 그 초과의 증착 챔버들, 구체적으로는 3개 또는 그 초과의 증착 챔버들, 더 구체적으로는 4개 또는 그 초과의 증착 챔버들에서 사용되는 마스크 디바이스들의 핸들링을 위해 사용될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 마스크 핸들링 챔버로부터 마스크 디바이스들이 공급되는 적어도 2개의 증착 챔버들이 마스크 핸들링 챔버의 상이한 측들에 배열된다. 대안적으로 또는 부가적으로, 마스크 핸들링 챔버로부터 마스크 디바이스들이 공급되는 적어도 2개의 증착 챔버들이 마스크 핸들링 챔버의 동일한 측에 배열된다. 후자의 경우에, 마스크 디바이스들을 정확한 증착 챔버 내로 라우팅하기 위해 라우팅 모듈이 제공될 수 있다. 마스크 트래픽의 이러한 개념은 도 9를 참조하여 아래에서 더 상세히 설명될 것이다.
[00159] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 진공 시스템의 주 운송 경로(Z)는, 제1 마스크 트랙(431), 제2 마스크 트랙(432), 제1 기판 트랙(433), 및 제2 기판 트랙(434)을 포함하는 4개 또는 그 초과의 트랙들을 포함한다. 추가적인 트랙들이 제공될 수 있다. 트랙들은 진공 시스템의 주 운송 방향으로 서로 평행하게 연장될 수 있다. 제1 기판 트랙(433) 및 제2 기판 트랙(434)은 외측 트랙들로서 제공될 수 있고, 제1 마스크 트랙(431) 및 제2 마스크 트랙(432)은 기판 트랙들 사이에 배열된 내측 트랙들로서 제공될 수 있다. 다른 어레인지먼트들이 가능하다.
[00160] 몇몇 실시예들에서, 주 운송 경로(Z)의 상기 4개 또는 그 초과의 트랙들은, 마스크 핸들링 챔버(405)를 통해, 예컨대 본질적으로 서로 평행하게 연장될 수 있다. 4개의 트랙들이 도 7에서 단면도로 개략적으로 도시된다. 제1 마스크 핸들링 조립체(421)는 마스크 부착 포지션에서 제1 마스크 트랙(431) 상의 마스크 캐리어에 의해 홀딩된 마스크 디바이스를 핸들링하도록 구성될 수 있다. 제2 마스크 핸들링 조립체(422)는 마스크 분리 포지션에서 제2 마스크 트랙(432) 상의 마스크 캐리어에 의해 홀딩된 마스크 디바이스를 핸들링하도록 구성될 수 있다.
[00161] 도 7에서, 기판 캐리어(416)가 마스크 캐리어(415)와 제2 마스크 핸들링 조립체(422) 사이에서 제2 기판 트랙(434) 상에 배열된다. 기판 캐리어(416)가 도시된 포지션으로부터 멀어지도록 이동한 경우에, 제2 마스크 핸들링 조립체(422)는 마스크 캐리어로부터 마스크 디바이스를 분리할 수 있고, 제2 기판 트랙(434)에 걸쳐 마스크 디바이스를 이동시킬 수 있다. 유사하게, 제1 마스크 핸들링 조립체(421)는 마스크 디바이스를 분리시키고 그리고/또는 제1 기판 트랙(433)에 걸쳐 이동시키도록 구성될 수 있다.
[00162] 진공 시스템(400)의 제1 마스크 핸들링 영역(401)에서의 사용될 마스크 디바이스들의 핸들링은 도 2에서 도시된 진공 시스템(100)에서의 마스크 핸들링과 유사할 수 있거나 또는 동일할 수 있고, 그에 따라, 위의 설명들이 참조될 수 있으며, 그 설명들은 여기에서 반복되지 않는다.
[00163] 유사하게, 진공 시스템(400)의 제2 마스크 핸들링 영역(402)에서의 사용된 마스크 디바이스들의 핸들링은 도 1에서 도시된 진공 시스템(100) 또는 도 3에서 도시된 진공 시스템(200)에서의 마스크 핸들링과 유사할 수 있거나 또는 동일할 수 있고, 그에 따라, 위의 설명들이 참조될 수 있으며, 그 설명들은 여기에서 반복되지 않는다.
[00164] 도 9는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 진공 시스템(500)의 평면도이다. 진공 시스템(500)의 마스크 핸들링 챔버(405)는 도 7에서 도시된 진공 시스템(400)의 마스크 핸들링 챔버와 유사할 수 있거나 또는 동일할 수 있고, 그에 따라, 위의 설명들이 참조될 수 있으며, 그 설명들은 여기에서 반복되지 않는다.
[00165] 진공 시스템(500)은 마스크 핸들링 챔버(405), 적어도 하나의 증착 챔버(406), 및 제2 증착 챔버(407)를 포함한다. 적어도 하나의 증착 챔버(406) 및 제2 증착 챔버(407)는 마스크 핸들링 챔버(405)의 동일한 측, 예컨대 도 9에서의 하부 측에 배열될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 추가적인 증착 챔버들이 마스크 핸들링 챔버(405)의 다른 측, 예컨대 도 9에서의 상부 측에 배열될 수 있다.
[00166] 제1 기판 트랙 및 제2 기판 트랙은, 적절하게, 기판 캐리어들에 의해 홀딩된 기판들이 증착 챔버들 중 임의의 증착 챔버들 사이에서 운송될 수 있도록, 마스크 핸들링 챔버(405)를 통해 연장될 수 있다.
[00167] 다른 실시예들에서, 예컨대 도 11의 실시예에서, 기판 트랙들이 마스크 핸들링 챔버(405)를 통해 연장되지 않을 수 있다. 예컨대, 도 11의 실시예에서, 마스크 핸들링 챔버(405)는 진공 시스템의 주 운송 경로(Z)의 측에 배열될 수 있다. 마스크 캐리어들(415)은 주 운송 경로(Z)로부터 회전 모듈을 통해 마스크 핸들링 챔버(405) 내로 라우팅될 수 있다.
[00168] 도 11의 마스크 핸들링 챔버(405)는 도 4에서 도시된 마스크 핸들링 챔버에 본질적으로 대응할 수 있다. 그러나, 기판 트랙들이 제1 및 제2 마스크 핸들링 조립체들 근처에 배열되지 않을 수 있다. 주 운송 경로(Z)를 따르는 마스크 및 기판 트래픽은, 시스템의 주 운송 경로(Z)를 따라 연장되는 주 마스크 트랙들로부터 이격된 포지션들에서 마스크들을 핸들링함으로써, 가속될 수 있다. 예컨대, 마스크 캐리어들로부터 마스크 디바이스들을 분해하고 조립하기 위한 측면 마스크 트랙들이 제공될 수 있다.
[00169] 도 11의 예시적인 실시에에서, 진공 시스템의 주 운송 경로(Z)의 주 마스크 트랙들을 횡단하여, 특히 그 주 마스크 트랙들에 수직으로 연장될 수 있는 2개의 측면 마스크 트랙들이 마스크 핸들링 챔버(405)에 제공될 수 있다. 사용될 마스크들(411)을 핸들링하기 위한 제1 마스크 핸들링 영역(401)은 제1 마스크 트랙 근처에 배열될 수 있고, 사용된 마스크 디바이스들(412)을 핸들링하기 위한 제2 마스크 핸들링 영역(402)은 제2 마스크 트랙 근처에 배열될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 마스크 핸들링 챔버는 마스크 캐리어들(415)을 회전시키도록 구성된 회전 챔버 바로 근처에 배열될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 추가적인 증착 챔버(602)가 라우팅 챔버의 반대편 측에 배열될 수 있다.
[00170] 몇몇 실시예들에서, 사용될 마스크들(411)을 핸들링하기 위한 제1 마스크 핸들링 영역(401)이 회전 챔버의 제1 측에 배열될 수 있고, 사용된 마스크 디바이스들(412)을 핸들링하기 위한 제2 마스크 핸들링 영역(402)이 회전 챔버의 제2 측, 예컨대 제1 측 반대편에 배열될 수 있다는 것이 유의되어야 한다. 예컨대, 제1 마스크 핸들링 영역 및 제2 마스크 핸들링 영역은 주 운송 경로(Z)의 2개의 반대편 측들에 배열될 수 있다. 제1 마스크 핸들링 조립체가 제1 마스크 핸들링 영역에 배열될 수 있고, 제2 마스크 핸들링 조립체가 제1 마스크 핸들링 영역으로부터의 거리에서의 제2 마스크 핸들링 영역에 배열될 수 있다. 제1 측면 마스크 트랙은, 예컨대 제1 주 마스크 트랙에 수직으로 제1 증착 영역 내로 연장될 수 있고, 제2 측면 마스크 트랙은, 예컨대 제2 주 마스크 트랙에 수직으로 제2 증착 영역 내로 연장될 수 있다.
[00171] 특히, 마스크 핸들링 챔버(또는 "마스크 핸들링 모듈")는 마스크 핸들링 챔버의 일체형 부분으로서 회전 챔버를 포함할 수 있다. 다시 말하면, 제1 마스크 핸들링 영역(401), 제2 마스크 핸들링 영역(402), 및 제1 마스크 핸들링 영역(401)과 제2 마스크 핸들링 영역(402) 사이에 배열된 임의의 진공 전환 챔버, 예컨대 회전 챔버 또는 라우팅 챔버가, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 마스크 핸들링 챔버(또는 "마스크 핸들링 모듈")를 구성할 수 있다. 예컨대, 마스크 핸들링 챔버는 서로 바로 옆에 배열된 여러 서브-챔버들을 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 진공 시스템의 주 운송 경로(Z)는, 적어도, 마스크 핸들링 모듈의 하나의 서브-챔버를 통해 연장될 수 있다.
[00172] 몇몇 실시예들에서, 예컨대 도 11에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 추가적인 증착 챔버(601)가 마스크 핸들링 챔버(405)에 대하여 진공 시스템의 주 운송 경로(Z)의 반대편 측에 배열될 수 있다. 추가로, 라우팅 모듈이 추가적인 증착 챔버(601)와 마스크 핸들링 챔버(405) 사이에 배열될 수 있다.
[00173] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 진공 시스템(500)은, 마스크 핸들링 챔버(405), 적어도 하나의 증착 챔버(406), 및 제2 증착 챔버(407) 사이에 배열된 라우팅 챔버(408)를 더 포함할 수 있다(예컨대, 도 9 참조). 라우팅 챔버(408)는, 마스크 핸들링 챔버(405)와 적어도 하나의 증착 챔버(406) 사이뿐만 아니라, 마스크 핸들링 챔버(405)와 제2 증착 챔버(407) 사이에서, 사용될 마스크 디바이스들(411) 및 사용된 마스크 디바이스들(412)을 라우팅하도록 구성된 라우팅 디바이스(409), 예컨대 회전 디바이스를 포함할 수 있다. 예컨대, 적어도 하나의 증착 챔버(406) 및 제2 증착 챔버(407)의 배향은 진공 시스템의 주 운송 경로(Z)에 대하여 수직일 수 있고, 그에 따라, 마스크 캐리어들 및 기판 캐리어들은 주 운송 경로(Z)와 증착 챔버들 사이의 교차점에서 대략 본질적인 수직 회전으로 회전될 것이다. 마스크 캐리어들 및/또는 기판 캐리어들은 라우팅 챔버(408)에서 회전될 수 있다.
[00174] 몇몇 실시예들에서, 추가적인 증착 챔버들, 전환 챔버들, 및/또는 라우팅 챔버들이 마스크 핸들링 챔버(405)의 다른 측, 예컨대 도 9에서의 상부 측에 제공될 수 있다. 마스크 핸들링 챔버(405)는 사용될 마스크 디바이스들을 상기 증착 챔버들 각각에 공급하도록, 그리고 상기 증착 챔버들 각각으로부터 사용된 마스크 디바이스들을 핸들링하도록 구성될 수 있다. 진공 시스템 내의 마스크 트래픽의 복잡성이 감소될 수 있고, 마스크 교환이 가속될 수 있다.
[00175] 몇몇 실시예들에서, 기판 상으로의 재료의 마스킹된 증착을 위해 적어도 하나의 증착 챔버(406)에 증발 소스(501)가 제공될 수 있다. 그러나, 본 개시내용은 증발 소스를 갖는 진공 시스템들로 제한되지 않는다. 예컨대, 화학 기상 증착(CVD) 시스템들, 물리 기상 증착(PVD) 시스템들, 예컨대 스퍼터 시스템들, 및/또는 증발 시스템들이 증착 챔버에서, 예컨대 디스플레이 애플리케이션들을 위한 기판들, 예컨대 얇은 유리 기판들을 코팅하기 위해 개발되었다. 전형적인 진공 시스템들에서, 기판들은 기판 캐리어들에 의해 홀딩될 수 있고, 기판 캐리어들은 기판 운송 시스템에 의해 진공 챔버를 통해 운송될 수 있다. 기판 캐리어들은, 기판들의 주 표면들의 적어도 일부가 코팅 디바이스들, 예컨대 스퍼터 디바이스 또는 증발 소스 쪽으로 노추로디도록, 기판 운송 시스템에 의해 이동될 수 있다. 기판들의 주 표면들은, 미리 결정된 속도로 기판을 지나서 이동할 수 있는 증발 소스(501)의 전방에 기판들이 포지셔닝될 수 있는 동안에, 얇은 코팅 층으로 코팅될 수 있다. 대안적으로, 기판은 미리 결정된 속도로 코팅 디바이스를 지나서 운송될 수 있다.
[00176] 기판은 비가요성 기판, 예컨대, 웨이퍼, 사파이어 등과 같은 투명 결정의 슬라이스들, 유리 기판, 또는 세라믹 플레이트일 수 있다. 그러나, 본 개시내용은 이에 제한되지 않고, 기판이라는 용어는 또한, 가요성 기판들, 이를테면 웹 또는 포일, 예컨대 금속 포일 또는 플라스틱 포일을 포함할 수 있다.
[00177] 몇몇 실시예들에서, 기판은 대면적 기판일 수 있다. 대면적 기판은 0.5 m2 또는 그 초과의 표면적을 가질 수 있다. 구체적으로, 대면적 기판은 디스플레이 제조를 위해 사용될 수 있고, 유리 또는 플라스틱 기판일 수 있다. 예컨대, 본원에서 설명되는 바와 같은 기판들은, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 등을 위해 전형적으로 사용되는 기판들을 포함할 것이다. 예컨대, 대면적 기판은 1 m2 또는 그 초과의 면적을 갖는 주 표면을 가질 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 대면적 기판은, 약 0.67 m2 기판들(0.73 x 0.92 m)에 대응하는 GEN 4.5일 수 있거나, 약 1.4 m2 기판들(1.1 m x 1.3 m)에 대응하는 GEN 5일 수 있거나, 또는 그보다 더 클 수 있다. 대면적 기판은 추가로, 약 4.29 m2 기판들(1.95 m x 2.2 m)에 대응하는 GEN 7.5, 약 5.7 m2 기판들(2.2 m x 2.5 m)에 대응하는 GEN 8.5, 또는 심지어, 약 8.7 m2 기판들(2.85 m x 3.05 m)에 대응하는 GEN 10일 수 있다. GEN 11 및 GEN 12와 같은 한층 더 큰 세대들 및 대응하는 기판 면적들이 유사하게 구현될 수 있다. 몇몇 구현들에서, 수 cm2, 예컨대 2 cm x 4 cm에 이르는 표면적들 및/또는 다양한 개별적인 형상들을 갖는 더 작은 사이즈의 기판들의 어레이가 단일 기판 지지부 상에 포지셔닝될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 마스크 디바이스들은 증착 동안에 기판들과의 완전한 중첩을 제공하기 위해 기판들보다 더 클 수 있다.
[00178] 몇몇 구현들에서, 기판의 주 표면에 수직인 방향의 기판의 두께는 1 mm 또는 그 미만, 예컨대 0.1 mm 내지 1 mm, 구체적으로는 0.3 mm 내지 0.6 mm, 예컨대 0.5 mm일 수 있다. 한층 더 얇은 기판들이 가능하다.
[00179] 도 10은 본원에서 설명되는 몇몇 실시예들에 따른, 기판 상으로의 재료의 마스킹된 증착을 위한 진공 시스템(600)의 개략적인 평면도이다. 진공 시스템(600)은 마스크 핸들링 챔버(105), 적어도 하나의 증착 챔버(406), 및 마스크 핸들링 챔버(105)와 적어도 하나의 증착 챔버(406) 사이에서 비-수평 배향으로 마스크 디바이스들(10)을 운송하도록 구성된 마스크 운송 시스템을 포함한다. 본원에서 사용되는 바와 같은 "마스크 핸들링 챔버"라는 용어는, 마스크 디바이스들이 핸들링되는 진공 시스템의 특정한 섹션을 지칭할 수 있고, 여러 서브-챔버들을 포함할 수 있다.
[00180] 도 10에서 개략적으로 도시된 바와 같이, 본원에서 설명되는 실시예들 중 임의의 실시예에 따른 마스크 핸들링 조립체(20)는 마스크 핸들링 챔버(105)에 배열된다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 사용될 마스크 디바이스들을 핸들링하도록, 그리고 사용된 마스크 디바이스들을 핸들링하도록 구성될 수 있다. 마스크 디바이스들을 핸들링하는 것은, 마스크 핸들링 챔버 내로 마스크 디바이스들을 이동시키는 것, 마스크 디바이스들을 회전시키는 것, 마스크 디바이스들을 병진 이동시키는 것, 마스크 캐리어들에 마스크 디바이스들을 부착하는 것, 마스크 디바이스들로부터 마스크 캐리어들을 분리하는 것, 및/또는 진공 챔버 밖으로 마스크 디바이스들을 이동시키는 것 중 적어도 하나 또는 그 초과를 포함할 수 있다.
[00181] 진공 시스템(600)은 적어도 하나의 로드 락 챔버(101)를 더 포함할 수 있다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 로드 락 챔버(101)와 마스크 핸들링 챔버(105) 사이에서 마스크 디바이스들을 이동시키도록 구성될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 마스크 스토커 디바이스 또는 마스크 카세트와 같은 적어도 하나의 마스크 매거진이 로드 락 챔버(101)에 제공될 수 있다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 마스크 디바이스들을 마스크 스토커로부터, 그리고 마스크 핸들링 챔버로부터 마스크 스토커 디바이스 내로 이동시키도록 구성될 수 있다.
[00182] 몇몇 실시예들에서, 2개 또는 그 초과의 로드 락 챔버들, 예컨대, 사용될 마스크 디바이스들을 위한 제1 마스크 매거진을 갖는 제1 로드 락 챔버, 및 사용된 마스크 디바이스들을 위한 제2 마스크 매거진을 갖는 제2 로드 락 챔버가 제공될 수 있다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 제1 및 제2 로드 락 챔버들 둘 모두로부터 그리고 제1 및 제2 로드 락 챔버들 둘 모두 내로 마스크 디바이스들을 이동시키도록 구성될 수 있다.
[00183] 진공 시스템(600)은 도 2에서 도시된 진공 시스템(200)과 유사할 수 있고, 그에 따라, 위의 설명들이 참조될 수 있으며, 그 설명들은 여기에서 반복되지 않는다.
[00184] 주 운송 방향을 따라 진공 시스템(600)을 통해 마스크 캐리어(15)를 가이딩하기 위한 마스크 트랙(31)이 마스크 핸들링 조립체(20)를 지나서 연장될 수 있다. 마스크 핸들링 조립체(20)는, 마스크 디바이스(10)가 마스크 핸들링 조립체(20)의 마스크 홀딩 부분(21)으로부터, 마스크 부착 포지션에서 마스크 트랙(31) 상에 포지셔닝된 마스크 캐리어(15)로 인계될 수 있도록 포지셔닝될 수 있다. 추가로, 마스크 디바이스(10)는 마스크 캐리어(15)로부터 마스크 핸들링 조립체(20)의 마스크 홀딩 부분(21)으로 인계될 수 있다.
[00185] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 마스크 핸들링 조립체(20)는 로드 락 챔버(101)로부터 마스크 핸들링 챔버(105) 내로 마스크 디바이스(10)를 이동시키도록, 그리고 마스크 디바이스가 비-수평 배향으로 있는 동안에 진공 하에서 마스크 캐리어(15)에 마스크 디바이스를 부착하도록 구성된다. 추가로, 마스크 핸들링 조립체(20)는, 마스크 디바이스가 비-수평 배향으로 있는 동안에 진공 하에서 마스크 캐리어(15)로부터 마스크 디바이스를 분리하도록, 그리고 마스크 핸들링 챔버(105)로부터 로드 락 챔버(101) 내로 또는 추가적인 로드 락 챔버 내로 마스크 디바이스를 이동시키도록 구성된다.
[00186] 마스크 디바이스(10)가 부착된 마스크 캐리어(15)는 진공 시스템(600)의 주 운송 경로(Z)를 따르는 마스크 트랙(31)을 따라 증착 챔버 쪽으로, 예컨대 적어도 하나의 증착 챔버(406) 쪽으로, 또는 제2 증착 챔버(407) 쪽으로 운송될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 추가적인 진공 챔버, 예컨대 전환 챔버 또는 라우팅 챔버(408) 중 적어도 하나가 마스크 핸들링 챔버(105)와 증착 챔버 사이에 배열될 수 있다. 라우팅 챔버(408)에서, 마스크 캐리어는 증착 챔버 쪽으로 회전될 수 있다. 증착 챔버에서, 마스크 디바이스(10)는 기판 상으로의 마스킹된 증착을 위해 사용될 수 있다. 그 후에, 마스크 캐리어는, 증착 챔버로부터, 예컨대, 주 운송 경로(Z)를 따르는 마스크 트랙(31)을 따라 마스크 핸들링 챔버(105) 내로 되돌아 운송될 수 있다.
[00187] 마스크 캐리어가 마스크 핸들링 조립체(20) 바로 옆의 마스크 분리 포지션에 도달한 경우에, 마스크 디바이스는 마스크 핸들링 조립체(20)에 의해 마스크 캐리어로부터 분리될 수 있고, 진공 시스템으로부터 언로딩될 수 있다.
[00188] 몇몇 실시예들에서, 기판 트랙(32)은, 예컨대 마스크 트랙(31)과 마스크 핸들링 조립체(20) 사이에서 마스크 트랙(31)에 평행하게 연장될 수 있다. 이러한 경우에, 마스크 핸들링 조립체(20)의 마스크 홀딩 부분은, 마스크 홀딩 부분(21)에 마스크 디바이스(10)를 끌어당기기 위해, 기판 트랙(32)에 걸쳐 이동가능할 수 있다.
[00189] 사용될 마스크 디바이스들 및 사용된 마스크 디바이스들 둘 모두를 핸들링하는 단일 마스크 핸들링 조립체를 제공함으로써, 공간 요건들 및 비용들이 감소될 수 있다.
[00190] 몇몇 실시예들에서, 진공 시스템(600)의 주 운송 경로(Z)는 4개의 트랙들, 즉, 기판 트랙들일 수 있는 2개의 외측 트랙들 및 마스크 트랙들일 수 있는 2개의 내측 트랙들, 또는 그 반대인 기판 트랙들 및 마스크 트랙들을 포함할 수 있다. 마스크 핸들링 조립체(20)는 미리 결정된 수의 증착 챔버들(예컨대, 도 10에서의 4개의 증착 챔버들)에 마스크 디바이스들을 공급하도록 구성될 수 있다. 마스크 캐리어들을 위한 운송 거리들을 감소시키기 위해, 마스크 핸들링 챔버(105)는 적어도 2개의 증착 챔버들 사이의 중간 섹션에서 주 운송 경로(Z) 근처에 배열될 수 있다. 그에 따라, 마스크 캐리어들은 주 운송 경로(Z)의 방향들 둘 모두(예컨대, 도 10에서의 상방 및 하방)로 마스크 핸들링 챔버로부터 이동될 수 있다.
[00191] 기판 캐리어들은 마스크 트랙들 상에서 운송되는 마스크 캐리어들과 독립적으로 기판 트랙들을 따라 운송될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 기판 캐리어들은 하나의 방향으로만, 예컨대, 증착 챔버(603)로부터 적어도 하나의 증착 챔버(406) 쪽으로 기판 트랙(32)을 따라 운송된다. 특히, 코팅될 기판들은 주 운송 경로(Z)의 제1 측에서 진공 시스템(600)에 진입할 수 있고, 코팅된 기판들은 주 운송 경로(Z)의 반대편 측에서 진공 시스템(600)으로부터 언로딩될 수 있다. 제2 기판 트랙은 빈 기판 캐리어들을 위한 리턴 트랙으로서 사용될 수 있다. 다른 실시예들에서, 기판 캐리어들은, 적절하게, 양 방향들로 기판 트랙(32) 상에서 운송될 수 있다.
[00192] 몇몇 실시예들에서, 적어도 하나의 라우팅 챔버는 동시에 적어도 하나의 마스크 캐리어 및 적어도 하나의 기판 캐리어를 회전시키도록 구성될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 적어도 하나의 라우팅 챔버는 동시에 2개의 마스크 캐리어들 및 2개의 기판 캐리어들을 회전시키도록 구성될 수 있다. 그에 따라, 새로운 마스크 디바이스가 증착 챔버들 중 하나에 제공될 것인 경우에, 새로운 마스크 디바이스는 코팅될 기판과 함께 회전될 수 있고, 그 후에, 새로운 마스크 디바이스 및 코팅될 기판은 적어도 하나의 라우팅 챔버로부터 동시에(synchronously) 또는 후속하여 증착 챔버 내로 운송될 수 있다. 마스크 교환이 가속될 수 있고, 프로세싱 시간이 감소될 수 있다.
[00193] 마스크 핸들링 조립체(20)는 본원에서 설명되는 실시예들 중 임의의 실시예에 따라, 로봇 디바이스, 특히 로봇 암을 포함할 수 있다. 로봇 디바이스는 진공 시스템의 주 운송 경로(Z)를 따라 연장될 수 있는 마스크 트랙(31)으로부터 1 m 또는 그 미만, 구체적으로는 1.5 m 또는 그 미만의 거리로 배열될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 기판들이 주 운송 경로(Z)의 전방 단부 및/또는 후방 단부에서 진공 시스템 내로 로딩될 수 있고, 진공 시스템으로부터 언로딩될 수 있는 반면에, 마스크 핸들링 조립체(20)는 주 운송 경로(Z)의 측에 제공될 수 있고, 그에 따라, 마스크 디바이스들이 주 운송 경로(Z)의 중앙 부분에서 진공 시스템 내로 로딩될 수 있고, 그리고/또는 진공 시스템으로부터 언로딩될 수 있다.
[00194] 본 개시내용의 추가적인 양상에 따르면, 진공 시스템을 통해 마스크 디바이스를 운송하기 위한 마스크 캐리어가 설명되고, 여기서, 마스크 캐리어는 마스크 캐리어의 2개의 마스크 홀딩 측들 중 어느 하나에서 마스크 디바이스를 지탱할 수 있다. 그러한 마스크 캐리어는 더 유연한 방식으로 사용될 수 있는데, 이는 마스크 디바이스가 마스크 캐리어의 어느 하나의 측에 부착될 수 있고, 마스크 부착 전에 캐리어를 터닝하거나 또는 회전시킬 필요가 없기 때문이다.
[00195] 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 마스크 캐리어는, 제1 마스크 홀딩 측 및 제1 마스크 홀딩 측 반대편의 제2 마스크 홀딩 측을 갖는 캐리어 바디, 비-수평 배향으로 제1 마스크 홀딩 측에 마스크 디바이스를 홀딩하고 비-수평 배향으로 제2 마스크 홀딩 측에 마스크 디바이스를 홀딩하도록 구성된 마스크 홀딩 메커니즘, 및 마스크 트랙을 따라 가이딩되도록 구성된 가이드 부분을 포함할 수 있다.
[00196] 예컨대, 마스크 캐리어는 캐리어 바디의 하부 부분에서 마스크 트랙을 따라 가이딩될 제1 가이드 부분, 및/또는 캐리어 바디의 상부 부분에서 자기 부상 시스템에 의해 운반될 제2 가이드 부분을 포함할 수 있다.
[00197] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 마스크 홀딩 메커니즘은 제1 마스크 홀등 측에 제공된 제1 연결 디바이스, 및 제2 마스크 홀딩 측에 제공된 제2 연결 디바이스를 포함할 수 있다. 제1 연결 디바이스 및/또는 제2 연결 디바이스는 각각의 마스크 홀딩 측에 마스크 디바이스를 부착하도록 구성된 복수의 스크루들, 볼트들, 클램프들, 및 핀들 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예컨대, 각각, 복수의 스크루들 또는 클램프들을 통해, 제1 마스크 디바이스는 제1 마스크 홀딩 측에 부착될 수 있고, 제2 마스크 디바이스는 제2 마스크 홀딩 측에 부착될 수 있다.
[00198] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 마스크 홀딩 메커니즘은, 제1 마스크 홀딩 측 쪽으로 마스크 디바이스를 끌어당기도록 그리고/또는 제2 마스크 홀딩 측 쪽으로 마스크 디바이스를 끌어당기도록 구성된 복수의 자석들을 포함할 수 있다. 예컨대, 하나의 자기 척이 마스크 캐리어의 어느 하나의 측에 제공될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 마스크 캐리어의 캐리어 바디는, 캐리어 바디에 고정될 수 있거나 또는 캐리어 바디에 통합될 수 있는 하나 또는 그 초과의 전자석들 및/또는 영구 자석들을 포함할 수 있다.
[00199] 특히, 마스크 캐리어의 캐리어 바디는 반전가능한 극성을 갖는 하나 또는 그 초과의 영구 자석ㄷ르을 포함할 수 있다. 예컨대, 하나 또는 그 초과의 영구 자석들의 극성은 전기 임펄스를 통해 반전될 수 있다. 마스크 디바이스는 제1 방향으로 하나 또는 그 초과의 영구 자석들의 극성을 반전시킴으로써 마스크 캐리어에 부착될 수 있고, 그리고/또는 마스크 디바이스는 제2 방향으로 하나 또는 그 초과의 영구 자석들의 극성을 반전시킴으로써 마스크 캐리어로부터 분리될 수 있다.
[00200] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에서, 마스크 캐리어는 제1 마스크 홀딩 측과 제2 마스크 홀딩 측 사이에서 연장되는 대칭의 수직 평면에 대하여 본질적으로 대칭적으로 형성된다. 어느 하나의 측에서 마스크 디바이스를 운송하기 위해 대칭 마스크 캐리어가 사용될 수 있다. 예컨대, 제2 마스크 핸들링 조립체(422)를 통해 제1 마스크 홀딩 측으로부터 사용된 마스크 디바이스를 분리한 후에, 마스크 캐리어는 병진이동 메커니즘(450)을 통해 제1 마스크 핸들링 영역으로 병진 이동될 수 있고, 사용될 마스크 디바이스는 제1 마스크 핸들링 조립체(421)를 통해 마스크 캐리어의 제2 마스크 홀딩 측에 부착될 수 있다. 그에 따라, 마스크 캐리어들의 유연성이 증가될 수 있고, 진공 시스템에서의 마스크 캐리어들의 운송 거리들이 감소될 수 있다.
[00201] 본원에서 설명되는 다른 양상에 따르면, 진공 시스템에서 마스크 디바이스들을 핸들링하는 방법이 설명된다.
[00202] 도 12는 예시적인 마스크 핸들링 방법을 예시하는 흐름도이다. 박스(910)에서, 사용될 마스크 디바이스가 마스크 핸들링 챔버의 제1 마스크 핸들링 영역에 제공된다. 예컨대, 사용될 마스크 디바이스(411)는 마스크 로딩 통로를 통해 마스크 핸들링 챔버(405)의 제1 마스크 핸들링 영역(401) 내로 로딩된다. 사용될 마스크 디바이스(411)는 선택적으로, 제1 마스크 핸들링 영역(401)에서 마스크 캐리어(415)에 부착될 수 있다. 부착 전에, 사용될 마스크 디바이스(411)는 선택적으로, 비-수평 배향으로 회전될 수 있고, 사용될 마스크 디바이스는 비-수평 배향으로 마스크 캐리어(415)에 부착될 수 있다.
[00203] 박스(920)에서, 사용될 마스크 디바이스는, 특히, 사용될 마스크 디바이스가 비-수평 배향으로 마스크 캐리어에 의해 홀딩되는 동안에, 제1 마스크 핸들링 영역으로부터 진공 시스템의 적어도 하나의 증착 챔버(406)로 운송된다. 예컨대, 도 9에서, 사용될 마스크 디바이스(411)는, 마스크 캐리어(415)에 의해 홀딩되어 있는 동안에, 제1 마스크 트랙(431)을 따라 제1 마스크 핸들링 영역(401)으로부터 적어도 하나의 증착 챔버(406) 쪽으로 운송될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 사용될 마스크 디바이스(411)는 적어도 하나의 전환 챔버 및/또는 라우팅 챔버(408)를 통해 운송될 수 있다.
[00204] 박스(930)에서, 사용될 마스크 디바이스(411)는 적어도 하나의 증착 챔버(406)에서 기판 상으로의 마스킹된 증착을 위해 사용되어, 사용된 마스크 디바이스를 제공할 수 있다. 예컨대, 사용될 마스크 디바이스(411)는 적어도 하나의 증착 챔버(406)에서 미리 결정된 포지션에 배열될 수 있고, 기판은 사용될 마스크 디바이스(411)의 후방에 포지셔닝될 수 있다. 재료 패턴이 기판의 표면 상으로 증발될 수 있다. 증착 동안에 증발된 재료가 마스크 디바이스의 전방 표면 상에 응축물을 형성할 수 있다. 그에 따라, 복수의 기판들 상으로의 마스킹된 증착 후에, 사용된 마스크 디바이스(412)를 세정하는 것이 유익할 수 있다.
[00205] 박스(940)에서, 사용된 마스크 디바이스(412)는, 특히, 사용된 마스크 디바이스가 비-수평 배향으로 마스크 캐리어에 의해 홀딩되는 동안에, 적어도 하나의 증착 챔버(406)로부터 마스크 핸들링 챔버(405)의 제2 마스크 핸들링 영역(402)으로 운송될 수 있다. 예컨대, 도 10에서, 사용된 마스크 디바이스(412)는, 마스크 캐리어(415)에 의해 홀딩되어 있는 동안에, 제2 마스크 트랙(432)을 따라 적어도 하나의 증착 챔버(406)로부터 제2 마스크 핸들링 영역(402)으로 운송될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 사용된 마스크 디바이스(412)는 적어도 하나의 라우팅 챔버 및/또는 적어도 하나의 전환 챔버를 통해 운송될 수 있다.
[00206] 박스(950)에서, 사용된 마스크 디바이스(412)는 제2 마스크 핸들링 조립체(422)를 갖는 제2 마스크 핸들링 영역(402)에서 핸들링된다. 예컨대, 사용된 마스크 디바이스(412)는 마스크 캐리어(415)로부터 분리되고, 그리고/또는 마스크 매거진에 저장되고, 그리고/또는 예컨대 제2 로드 락 챔버(404)를 통해 진공 시스템 밖으로 사용된 마스크 디바이스를 이동시킴으로써 진공 시스템으로부터 언로딩된다.
[00207] 몇몇 실시예들에서, 박스(910)에서 사용될 마스크 디바이스(411)를 제공하는 것은, 예컨대 제1 로드 락 챔버(403)를 통해, 제1 마스크 핸들링 영역(401)에서 연장되는 마스크 로딩 통로를 따라 진공 시스템 내로 사용될 마스크 디바이스를 로딩하는 것을 포함할 수 있다. 예컨대, 마스크 디바이스는 제1 로드 락 챔버(403)에 배열된 마스크 매거진으로부터 제1 마스크 핸들링 조립체(421)에 의해 취해진다. 이어서, 제1 마스크 핸들링 조립체(421)는 마스크 핸들링 챔버 내로 마스크 디바이스를 이동시킬 수 있다.
[00208] 대안적으로 또는 부가적으로, 박스(950)에서, 제2 마스크 핸들링 영역(402)에서 사용된 마스크 디바이스(412)를 핸들링하는 것은 진공 시스템으로부터 마스크 언로딩 통로를 따라 사용된 마스크 디바이스를 언로딩하는 것을 포함할 수 있다. 마스크 언로딩 통로는 마스크 로딩 통로로부터 이격될 수 있다. 예컨대, 마스크 언로딩 통로 및 마스크 로딩 통로는 마스크 핸들링 챔버의 반대편 측들에 제공될 수 있다. 예컨대, 마스크 핸들링 조립체는 마스크 핸들링 챔버로부터, 제2 로드 락 챔버(404)에 배열된, 사용된 마스크들을 위한 제2 마스크 매거진 내로 마스크 디바이스를 이동시킬 수 있다.
[00209] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 사용될 마스크 디바이스(411)는, 박스(920)에서 사용될 마스크 디바이스(411)가 운송되기 전에, 제1 마스크 핸들링 조립체(421)에 의해 마스크 캐리어(415)의 마스크 홀딩 측에 부착될 수 있다. 대안적으로 또는 부가적으로, 사용된 마스크 디바이스(412)는, 제2 마스크 핸들링 영역 내로의 운송 후에, 제2 마스크 핸들링 영역(402)에서 제2 마스크 핸들링 조립체(422)에 의해 마스크 캐리어(415)의 마스크 홀딩 측으로부터 분리될 수 있다.
[00210] 선택적인 박스(960)에서, 마스크 캐리어(415)는, 마스크 캐리어로부터 사용된 마스크 디바이스(412)를 분리한 후에, 제2 마스크 핸들링 영역(402)으로부터 제1 마스크 핸들링 영역(401)으로 이송될 수 있다. 예컨대, 제1 마스크 핸들링 영역과 제2 마스크 핸들링 영역 사이에서의, 특히, 마스크 트랙들의 방향에 본질적으로 수직인 이송 방향으로의 마스크 캐리어들의 직접적인 운송을 위해, 병진이동 메커니즘(450)이 마스크 핸들링 챔버(405)에 제공될 수 있다.
[00211] 선택적인 박스(970)에서, 사용될 추가적인 마스크 디바이스가 제1 마스크 핸들링 영역에서 마스크 홀딩 측 반대편의 마스크 캐리어(415)의 제2 마스크 홀딩 측에 부착될 수 있다. 특히, 제2 마스크 핸들링 영역으로부터 제1 마스크 핸들링 영역에 마스크 캐리어(415)를 이송한 후에, 마스크 캐리어의 제2 마스크 홀딩 측은 제1 마스크 핸들링 조립체(421) 쪽으로 지향될 수 있고, 그에 다라, 제1 마스크 핸들링 조립체(421)가 제2 마스크 홀딩 측에 추가적인 마스크 디바이스를 부착할 수 있다. 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 어느 하나의 측에서 마스크 디바이스를 운반하도록 구성된 마스크 캐리어가 사용될 수 있다. 마스크 운송이 가속될 수 있다.
[00212] 전술한 바가 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이지만, 본 개시내용의 다른 및 추가적인 실시예들이 본 개시내용의 기본적인 범위로부터 벗어나지 않으면서 고안될 수 있고, 본 개시내용의 범위는 다음의 청구항들에 의해 결정된다.

Claims (26)

  1. 진공 시스템에서 마스크 디바이스를 핸들링(handling)하는 방법으로서,
    진공 시스템(100) 내로 마스크 디바이스(10)를 로딩(Y1)하는 단계;
    제2 배향(H)으로부터 비-수평 배향(V)으로 상기 마스크 디바이스(10)를 회전(Y2)시키는 단계;
    상기 진공 시스템(100)에서 마스크 캐리어(15)에 상기 마스크 디바이스(10)를 부착(Y3)하는 단계; 및
    상기 진공 시스템(100)에서 운송 경로를 따라 비-수평 배향으로 상기 마스크 캐리어(15) 및 상기 마스크 디바이스(10)를 운송하는 단계
    를 포함하는,
    마스크 디바이스를 핸들링하는 방법.
  2. 진공 시스템에서 마스크 디바이스를 핸들링하는 방법으로서,
    진공 시스템(100)에서 운송 경로를 따라 비-수평 배향(V)으로 마스크 디바이스(10)를 홀딩하는 마스크 캐리어(15)를 운송하는 단계;
    상기 진공 시스템(100)에서 상기 마스크 캐리어(15)로부터 상기 마스크 디바이스(10)를 분리(X1)하는 단계;
    상기 비-수평 배향(V)으로부터 제2 배향(H)으로 상기 마스크 디바이스(10)를 회전(X2)시키는 단계; 및
    상기 진공 시스템(100)으로부터 상기 마스크 디바이스(10)를 언로딩(X3)하는 단계
    를 포함하는,
    마스크 디바이스를 핸들링하는 방법.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 진공 시스템(100)에서 상기 마스크 캐리어(15)로부터 상기 마스크 디바이스(10)를 분리(X1)하는 단계; 및
    상기 진공 시스템(100)으로부터 상기 마스크 디바이스(10)를 언로딩(X3)하는 단계
    를 더 포함하는,
    마스크 디바이스를 핸들링하는 방법.
  4. 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 비-수평 배향(V)이 본질적인 수직 배향인 것과 상기 제2 배향(H)이 본질적인 수평 배향인 것 중 적어도 하나가 적용되는,
    마스크 디바이스를 핸들링하는 방법.
  5. 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진공 시스템 내로 상기 마스크 디바이스(10)를 로딩(Y1)하는 단계가, 로드 락 챔버(101)로부터 마스크 핸들링 챔버(105) 내로 폐쇄가능한 개구(102)를 통해 상기 마스크 디바이스(10)를 이동시키는 단계를 포함하는 것; 및
    상기 진공 시스템(100)으로부터 상기 마스크 디바이스(10)를 언로딩(X3)하는 단계가, 마스크 핸들링 챔버(105)로부터 로드 락 챔버(101) 내로 폐쇄가능한 개구(102)를 통해 상기 마스크 디바이스(10)를 이동시키는 단계를 포함하는 것
    중 적어도 하나가 적용되는,
    마스크 디바이스를 핸들링하는 방법.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 마스크 디바이스(10)는, 복수의 마스크 디바이스들(12)을 저장하도록 구성되고 상기 로드 락 챔버(101)에 배열된 마스크 매거진(mask magazine)(201) 내로 또는 상기 마스크 매거진(201)으로부터, 상기 마스크 핸들링 챔버(105)의 측벽(103) 내의 상기 폐쇄가능한 개구(102)를 통해 병진 이동되는,
    마스크 디바이스를 핸들링하는 방법.
  7. 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 마스크 디바이스(10)는 자기력에 의해 상기 마스크 캐리어(15)에 홀딩되는,
    마스크 디바이스를 핸들링하는 방법.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 마스크 캐리어(15)는 상기 비-수평 배향(V)으로 상기 마스크 캐리어(15)에 상기 마스크 디바이스(10)를 홀딩하도록 구성된 하나 또는 그 초과의 영구 자석들을 포함하는,
    마스크 디바이스를 핸들링하는 방법.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 마스크 캐리어(15)에 상기 마스크 디바이스(10)를 부착(Y3)하는 단계와 상기 마스크 캐리어(15)로부터 상기 마스크 디바이스(10)를 분리(X1)하는 단계 중 적어도 하나의 단계는, 상기 마스크 캐리어(15)의 적어도 하나의 영구 자석의 극성을 반전시키는 단계를 포함하는,
    마스크 디바이스를 핸들링하는 방법.
  10. 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 마스크 디바이스(10)는, 마스크 핸들링 조립체(20)에 의해, 부착되는 것, 분리되는 것, 이동되는 것, 병진 이동되는 것, 및 회전되는 것 중 적어도 하나가 이루어지는,
    마스크 디바이스를 핸들링하는 방법.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 마스크 디바이스(10)는, 자기력에 의해 상기 마스크 디바이스를 홀딩하도록 구성된 로봇 암에 의해, 부착되는 것, 분리되는 것, 이동되는 것, 병진 이동되는 것, 및 회전되는 것 중 적어도 하나가 이루어지는,
    마스크 디바이스를 핸들링하는 방법.
  12. 제10 항에 있어서,
    상기 마스크 핸들링 조립체(20)는, 상기 마스크 핸들링 조립체(20)가 상기 마스크 디바이스(10)를 분리하는 것과 상기 마스크 디바이스(10)를 부착하는 것 중 적어도 하나를 위한 포지션에 있는 경우에, 상기 마스크 캐리어(15)에 전류와 전기 신호 중 적어도 하나를 공급하는,
    마스크 디바이스를 핸들링하는 방법.
  13. 진공 시스템(100)에서 마스크 디바이스를 핸들링하기 위한 마스크 핸들링 조립체(20)로서,
    마스크 디바이스(10)를 홀딩하도록 구성된 마스크 홀딩 부분(21);
    상기 마스크 홀딩 부분(21)을 이동시키도록 구성된 제1 액추에이터;
    비-수평 배향(V)과 상기 비-수평 배향과 상이한 제2 배향(H) 사이에서 상기 마스크 홀딩 부분(21)의 회전 이동을 위해 구성된 제2 액추에이터; 및
    상기 마스크 홀딩 부분(21)과 마스크 캐리어(15) 사이에서 상기 비-수평 배향(V)으로 상기 마스크 디바이스(10)를 전달하도록 구성된 인계(handover) 메커니즘
    을 포함하는,
    마스크 핸들링 조립체.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 인계 메커니즘은 상기 마스크 캐리어(15)로의 상기 마스크 디바이스(10)의 부착과 상기 마스크 캐리어(15)로부터의 상기 마스크 디바이스(10)의 분리 중 적어도 하나를 개시하도록 구성되는,
    마스크 핸들링 조립체.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 인계 메커니즘은, 상기 마스크 캐리어(15)에 제공된 적어도 하나의 영구 자석의 극성을 반전시킴으로써, 상기 마스크 캐리어(15)로의 상기 마스크 디바이스(10)의 부착과 상기 마스크 캐리어(15)로부터의 상기 마스크 디바이스(10)의 분리 중 적어도 하나를 개시하도록 구성되는,
    마스크 핸들링 조립체.
  16. 기판 상에 재료를 증착하기 위한 진공 시스템(100, 300)으로서,
    마스크 핸들링 챔버(105);
    로드 락 챔버(101);
    상기 마스크 핸들링 챔버(105)와 상기 로드 락 챔버(101) 사이에 제공된 폐쇄가능한 개구(102); 및
    제13 항 내지 제15 항 중 어느 한 항에 기재된 마스크 핸들링 조립체(20)
    를 포함하며,
    상기 마스크 핸들링 조립체(20)의 제1 액추에이터는 상기 폐쇄가능한 개구(102)를 통해 상기 마스크 핸들링 챔버(105)와 상기 로드 락 챔버(101) 사이에서 상기 마스크 홀딩 부분(21)을 이동시키도록 구성되는,
    진공 시스템.
  17. 기판 상에 재료를 증착하기 위한 진공 시스템(400)으로서,
    마스크 핸들링 챔버(405), 적어도 하나의 증착 챔버(406), 및 상기 마스크 핸들링 챔버(405)와 상기 적어도 하나의 증착 챔버(406) 사이에서 비-수평 배향(V)으로, 사용될 마스크 디바이스들(411) 및 사용된 마스크 디바이스들(412)을 운송하도록 구성된 마스크 운송 시스템을 포함하며,
    상기 마스크 핸들링 챔버(405)는,
    상기 사용될 마스크 디바이스들(411)과 상기 사용된 마스크 디바이스들(412) 중 적어도 하나를 핸들링하도록 구성된, 제13 항 내지 제15 항 중 어느 한 항에 기재된 마스크 핸들링 조립체
    를 포함하는,
    진공 시스템.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 마스크 운송 시스템은,
    사용될 마스크 디바이스들(411)을 홀딩하는 마스크 캐리어들을 상기 마스크 핸들링 챔버(405)로부터 상기 적어도 하나의 증착 챔버(406) 쪽으로 가이딩(guiding)하기 위한 제1 마스크 트랙(431); 및
    사용된 마스크 디바이스들(412)을 홀딩하는 마스크 캐리어들을 상기 적어도 하나의 증착 챔버(406)로부터 상기 마스크 핸들링 챔버(405)로 가이딩하기 위한 제2 마스크 트랙(432)
    중 적어도 하나를 포함하는,
    진공 시스템.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 마스크 운송 시스템은, 상기 마스크 핸들링 챔버(405) 내에서 상기 제2 마스크 트랙(432)과 상기 제1 마스크 트랙(431) 사이에서 마스크 캐리어들(415)을 병진 이동시키도록 구성된 병진이동 메커니즘(450)을 더 포함하는,
    진공 시스템.
  20. 제17 항에 있어서,
    상기 진공 시스템에서 기판 운송 경로를 따라 기판들을 운송하도록 구성된 기판 운송 시스템을 더 포함하는,
    진공 시스템.
  21. 제20 항에 있어서,
    상기 기판 운송 경로는 상기 마스크 핸들링 챔버(405)를 통해 또는 상기 마스크 핸들링 챔버(405)를 지나서 연장되는,
    진공 시스템.
  22. 제17 항에 있어서,
    제2 증착 챔버(407); 및
    상기 마스크 핸들링 챔버(405), 상기 적어도 하나의 증착 챔버(406), 및 상기 제2 증착 챔버(407) 사이에 포지셔닝된 라우팅(routing) 챔버(408)
    를 더 포함하며,
    상기 라우팅 챔버(408)는,
    상기 마스크 핸들링 챔버와 상기 적어도 하나의 증착 챔버 사이에서, 그리고 상기 마스크 핸들링 챔버와 상기 제2 증착 챔버(407) 사이에서 상기 마스크 디바이스들을 라우팅하도록 구성된 라우팅 디바이스(409)
    를 포함하는,
    진공 시스템.
  23. 진공 시스템에서 마스크 디바이스들을 핸들링하는 방법으로서,
    마스크 핸들링 챔버의 제1 마스크 핸들링 영역(401)에 사용될 마스크 디바이스(411)를 제공하는 단계;
    상기 사용될 마스크 디바이스(411)를 비-수평 배향으로 회전시키는 단계;
    상기 제1 마스크 핸들링 영역으로부터 상기 진공 시스템의 적어도 하나의 증착 챔버(406)로 상기 사용될 마스크 디바이스를 운송하는 단계;
    상기 적어도 하나의 증착 챔버에서 기판 상으로의 마스킹된 증착을 위해, 상기 사용될 마스크 디바이스를 사용하여, 사용된 마스크 디바이스(412)를 제공하는 단계; 및
    상기 증착 챔버로부터 상기 마스크 핸들링 챔버의 제2 마스크 핸들링 영역(402)으로 상기 사용된 마스크 디바이스(412)를 운송하는 단계
    를 포함하는,
    마스크 디바이스들을 핸들링하는 방법.
  24. 제23 항에 있어서,
    상기 사용될 마스크 디바이스와 상기 사용된 마스크 디바이스 중 적어도 하나는 운송 동안에 비-수평 배향(V)으로 마스크 캐리어에 의해 홀딩되는,
    마스크 디바이스들을 핸들링하는 방법.
  25. 삭제
  26. 삭제
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