KR102073725B1 - Structure of power transmission for collecting particle - Google Patents

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Abstract

파티클 집진 동력전달 구조가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 공정 챔버에 배치되어 파티클을 집진하는 동력전달 구조로서, 제1 회전축과; 상기 제1 회전축에 결합되는 제1 기어와; 상기 제1 기어에 치합되는 제2 기어와; 상기 제2 기어가 결합되는 제2 회전축과; 상기 제1 기어 및 제2 기어에 인접하여 배치되어, 자력에 의해 상기 기어의 회전에 따라 발생하는 파티클을 집진하는 집진 마그넷을 포함하는, 파티클 집진 동력전달 구조가 제공된다.Disclosed is a particle dust collecting power transmission structure. According to an aspect of the invention, the power transmission structure is disposed in the process chamber to collect the particles, the first rotating shaft; A first gear coupled to the first rotation shaft; A second gear meshed with the first gear; A second rotation shaft to which the second gear is coupled; A particle dust collecting power transmission structure is provided, which is disposed adjacent to the first gear and the second gear, and includes a dust collecting magnet that collects particles generated by rotation of the gear by magnetic force.

Description

파티클 집진 동력전달 구조{Structure of power transmission for collecting particle}Structure of power transmission for collecting particle

본 발명은 파티클 집진 동력전달 구조에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 공정 챔버 내의 동력전달 과정에서 발생한 파티클을 발생과 동시에 집진하여 파티클에 의한 제품 불량을 방지할 수 있는 파티클 집진 동력전달 구조에 관한 것이다.
The present invention relates to a particle dust collection power transmission structure. More specifically, the present invention relates to a particle dust collection power transmission structure capable of collecting particles generated during a power transmission process in a process chamber at the same time to prevent product defects caused by particles.

최근 디스플레이 소자로 액정 표시 소자(Liquid Crystal Display, LCD), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel, PDP), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes, OLED) 등 평판 표시 소자(Flat Panel Display)가 널리 이용되고 있다.Recently, flat panel displays such as liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), and organic light emitting diodes (OLEDs) are widely used as display devices. have.

이러한 평판 표지 소자는 유리기판에 일정 패턴으로 금속박막이나 유기박막을 증착하는 증착공정 등의 일련의 공정을 진행하여 제조된다. The flat panel display device is manufactured by a series of processes such as a deposition process of depositing a metal thin film or an organic thin film on a glass substrate in a predetermined pattern.

특히, 유기 발광 소자의 경우, 유리기판에 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등의 유기 박막을 증착하여야 하는데, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 유리기판 상에 증착된다.In particular, in the case of an organic light emitting device, an organic thin film such as a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer and an electron injection layer must be deposited on a glass substrate, and the organic thin film is deposited on a glass substrate by vacuum thermal deposition. .

진공열증착방법은 진공챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 마스크(mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.In the vacuum thermal evaporation method, a substrate is disposed in a vacuum chamber, a mask having a predetermined pattern is aligned with the substrate, and heat is applied to the evaporation source containing the evaporation material to deposit evaporation material on the substrate. Is done in a way.

진공챔버와 같이 기판에 대한 공정이 진행되는 공정 챔버 내에는 기판에 대한 공정을 수행하기 위한 각종 기구물이 배치되며, 공정 챔버 외부에서 이러한 기구물에 동력을 전달하기 위하여 공정 챔버 내에는 서로 치합(齒合)되는 기어 등의 동력전달 기구가 배치된다.In the process chamber, such as a vacuum chamber, a process for processing a substrate is disposed, and various instruments for performing a process for the substrate are arranged. ), Power transmission mechanisms such as gears are arranged.

그러나, 동력전달 과정에서 기어의 회전에 따라 기어 간의 마찰로 인하여 기어의 파티클(particle)이 발생할 수 있고, 이러한 파티클에 의해 기판 공정 상에 결함을 유발하여 제품 불량이 발생할 우려가 있다.
However, particles of gears may occur due to friction between the gears as the gear rotates in the power transmission process, and the particles may cause defects in the substrate process, resulting in product defects.

본 발명은 공정 챔버 내의 동력전달 과정에서 발생한 파티클을 발생과 동시에 집진하여 파티클에 의한 제품 불량을 방지할 수 있는 파티클 집진 동력전달 구조를 제공하는 것이다.
The present invention is to provide a particle dust collection power transmission structure capable of collecting the particles generated during the power transmission process in the process chamber at the same time to prevent product defects caused by the particles.

본 발명의 일 측면에 따르면, 공정 챔버에 배치되어 파티클을 집진하는 동력전달 구조로서, 제1 회전축과; 상기 제1 회전축에 결합되는 제1 기어와; 상기 제1 기어에 치합되는 제2 기어와; 상기 제2 기어가 결합되는 제2 회전축과; 상기 제1 기어 및 제2 기어에 인접하여 배치되어, 자력에 의해 상기 기어의 회전에 따라 발생하는 파티클을 집진하는 집진 마그넷을 포함하는, 파티클 집진 동력전달 구조가 제공된다.According to an aspect of the invention, the power transmission structure is disposed in the process chamber to collect the particles, the first rotating shaft; A first gear coupled to the first rotation shaft; A second gear meshed with the first gear; A second rotation shaft to which the second gear is coupled; A particle dust collecting power transmission structure is provided, which is disposed adjacent to the first gear and the second gear, and includes a dust collecting magnet that collects particles generated by rotation of the gear by magnetic force.

상기 파티클 집진 동력전달 구조는, 상기 제1 회전축은 상기 공정 챔버를 관통하여 배치될 수 있으며, 상기 제1 회전축을 회전가능하게 지지하며 상기 공정 챔버에 결합되는 회전지지부와; 상기 제1 회전축이 관통하며, 상기 파티클이 상기 회전지지부로 유입되는 것을 방지하도록 상기 회전지지부에 결합되는 실링커버를 더 포함할 수 있다.The particle dust collecting power transmission structure, the first rotation axis may be disposed through the process chamber, the rotation support portion rotatably supporting the first rotation axis and coupled to the process chamber; The first rotating shaft may further include a sealing cover coupled to the rotating support to prevent the particles from flowing into the rotating support.

상기 회전지지부는, 상기 제1 회전축을 회전가능하게 지지하는 회전지지몸체와; 상기 회전지지몸체에서 외측으로 연장되며 상기 공정챔버에 결합되는 회전지지플랜지를 포함할 수 있으며, 이 경우, 상기 집진 마그넷은 상기 회전지지플랜지에 결합될 수 있다.The rotation support portion, and the rotation support body for rotatably supporting the first rotation axis; It may include a rotary support flange extending outward from the rotary support body and coupled to the process chamber, in this case, the dust collecting magnet may be coupled to the rotary support flange.

상기 제2 회전축은 상기 제1 회전축에 대해 횡방향으로 배치될 수 있으며, 상기 제1 기어는, 상기 제1 회전축에 결합되는 제1 베벨기어, 웜 기어, 제1 나사기어 중 어느 하나를 포함할 수 있으며, 상기 제2 기어는, 상기 제2 회전축에 결합되며, 상기 제1 베벨기어에 치합되는 제2 베벨기어, 상기 웜 기어에 치합되는 웜 휠 기어, 상기 제1 나사기어에 치합되는 제2 나사기어 중 어느 하나를 포함할 수 있다.The second rotating shaft may be disposed transverse to the first rotating shaft, and the first gear may include any one of a first bevel gear, a worm gear, and a first screw gear coupled to the first rotating shaft. The second gear may be coupled to the second rotating shaft, and may include a second bevel gear meshed with the first bevel gear, a worm wheel gear meshed with the worm gear, and a second mesh gear meshed with the first screw gear. It may include any one of the screw gear.

상기 제1 회전축은 상기 공정 챔버를 관통하여 배치될 수 있으며, 상기 제1 회전축을 회전가능하게 지지하며 상기 공정 챔버에 결합되는 회전지지부를 더 포함할 수 있으며, 이 경우, 상기 집진 마그넷은, 상기 회전지지부에 결합되며, 상기 제1 회전축이 관통하는 고리 형상의 집진 마그넷을 포함할 수 있다.The first rotation shaft may be disposed through the process chamber, and may further include a rotation support part rotatably supporting the first rotation shaft and coupled to the process chamber. In this case, the dust collecting magnet may include: It may be coupled to the rotation support, and may include a ring-shaped dust collecting magnet through which the first rotation shaft passes.

상기 고리 형상의 집진 마그넷은, 복수 개로 분절될 수 있다.The annular dust collecting magnet may be divided into a plurality of pieces.

상기 제1 기어 및 상기 제2 기어를 커버하는 밀폐하우징를 더 포함할 수 있다.
The apparatus may further include a sealed housing covering the first gear and the second gear.

본 발명의 실시예에 따르면, 공정 챔버 내의 동력전달 과정에서 발생한 파티클을 발생과 동시에 집진하여 파티클에 의한 제품 불량을 방지할 수 있다.
According to an embodiment of the present invention, particles generated during the power transmission process in the process chamber are collected and collected at the same time to prevent product defects caused by the particles.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 집진 동력전달 구조가 구비된 증착챔버를 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 집진 동력전달 구조의 일부를 도시한 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 집진 동력전달 구조의 사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 집진 동력전달 구조의 구성을 간략히 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 파티클 집진 동력전달 구조의 일부를 도시한 사시도.1 is a view showing a deposition chamber equipped with a particle dust collecting power transmission structure according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing a part of the particle dust collecting power transmission structure according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a perspective view of a particle dust collecting power transmission structure according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a simplified view showing the configuration of the particle dust collecting power transmission structure according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a perspective view showing a part of the particle dust collecting power transmission structure according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.As the invention allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the written description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, it should be understood to include all transformations, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In the following description of the present invention, if it is determined that the detailed description of the related known technology may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

이하, 본 발명에 따른 파티클 집진 동력전달 구조의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of a particle dust collecting power transmission structure according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in the following description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are given the same reference numerals and Duplicate explanations will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 집진 동력전달 구조가 구비된 증착챔버를 도시한 도면이다. 그리고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 집진 동력전달 구조의 일부를 도시한 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 집진 동력전달 구조의 사시도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 집진 동력전달 구조의 구성을 간략히 도시한 도면이다.1 is a view showing a deposition chamber equipped with a particle dust collecting power transmission structure according to an embodiment of the present invention. And, Figure 2 is a perspective view showing a part of the particle dust collecting power transmission structure according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a perspective view of the particle dust collecting power transmission structure according to an embodiment of the present invention, Figure 4 Brief Description of the Drawings The configuration of the particle collection power transmission structure according to an embodiment of the present invention is briefly shown.

도 1 내지 도 4에는, 동력전달 구조(12), 진공 챔버(14), 이송레일(16), 제1 회전축(18), 제1 기어(20), 제1 베벨기어(22), 제2 회전축(24), 제2 기어(26), 제2 베벨기어(28), 축지지부(30), 집진 마그넷(32), 회전지지부(34), 회전지지몸체(36), 회전지지플랜지(38), 베어링(40), 실링커버(42), 밀폐하우징(44)이 도시되어 있다.1 to 4, the power transmission structure 12, the vacuum chamber 14, the transfer rail 16, the first rotating shaft 18, the first gear 20, the first bevel gear 22, and the second Rotary shaft 24, second gear 26, second bevel gear 28, shaft support portion 30, dust collecting magnet 32, rotary support portion 34, rotary support body 36, rotary support flange 38 ), A bearing 40, a sealing cover 42, and a sealed housing 44 are shown.

본 실시예에 따른 파티클 집진 동력전달 구조(12)는, 공정 챔버에 배치되어 파티클을 집진하는 동력전달 구조(12)로서, 제1 회전축(18)과; 제1 회전축(18)에 결합되는 제1 기어(20)와; 제1 기어(20)에 치합되는 제2 기어(26)와; 제2 기어(26)가 결합되는 제2 회전축(24)과; 제1 기어(20) 및 제2 기어(26)에 인접하여 배치되어, 자력에 의해 기어의 회전에 따라 발생하는 파티클을 집진하는 집진 마그넷(32)을 포함한다.The particle dust collecting power transmission structure 12 according to the present embodiment includes a power transmission structure 12 disposed in a process chamber to collect particles, the first rotating shaft 18; A first gear 20 coupled to the first rotation shaft 18; A second gear 26 meshed with the first gear 20; A second rotating shaft 24 to which the second gear 26 is coupled; It is disposed adjacent to the first gear 20 and the second gear 26, and includes a dust collecting magnet 32 for collecting particles generated by the rotation of the gear by the magnetic force.

본 실시예에 따른 파티클 집진 동력전달 구조(12)는, 공정 챔버 내의 동력전달 과정에서 발생한 파티클을 발생과 동시에 집진하여 파티클에 의한 제품 불량을 방지할 수 있다.Particle dust collection power transmission structure 12 according to the present embodiment, it is possible to collect the particles generated during the power transmission process in the process chamber at the same time to prevent product defects by the particles.

공정 챔버는, 기판에 금속박막 또는 유기 박막을 증착하기 위한 증착 챔버 뿐만 아니라 기판에 대한 각종 공정이 진행되는 챔버를 포함하는 개념이다.The process chamber is a concept including a deposition chamber for depositing a metal thin film or an organic thin film on a substrate, as well as a chamber in which various processes are performed on the substrate.

이하에서는 내부가 진공상태를 유지한 상태에서 기판이 이송장치에 의해 이송되면서 기판에 대한 유기물 증착이 이루어지는 진공 챔버(14)를 중심으로 설명하기로 한다.Hereinafter, a description will be given with reference to the vacuum chamber 14 in which the organic material is deposited on the substrate while the substrate is transferred by the transfer apparatus while the inside thereof is maintained in a vacuum state.

진공 챔버(14)의 내부에는 기판의 양단을 지지하면서 기판을 이송하기 위한 이송레일(16)이 구비되어 있으며, 이러한 이송레일(16)에 본 실시예에 따른 파티클 집진 동력전달 구조(12)를 결합하여 진공 챔버(14)의 외측에서 동력을 전달하여 이송레일(16)이 기판을 이송하게 된다.Inside the vacuum chamber 14, a transfer rail 16 for transferring the substrate while supporting both ends of the substrate is provided, and the particle collection power transmission structure 12 according to the present embodiment is attached to the transfer rail 16. Coupled to transfer the power from the outside of the vacuum chamber 14, the transfer rail 16 to transfer the substrate.

제1 회전축(18)과 제2 회전축(24) 사이의 기어(20, 26)에 의해 동력이 전달이 일어나게 된다. 제1 회전축(18)에는 제1 기어(20)가 결합되고, 제2 회전축(24)에는 제2 기어(26)가 결합되며, 제1 기어(20)와 제2 기어(26)는 기어니가 서로 치합된다. 이에 따라 제1 회전축(18)과 제2 회전축(24) 사이에 동력이 전달될 수 있다.The transmission of power is caused by the gears 20, 26 between the first and second rotational shafts 18, 24. The first gear 20 is coupled to the first rotation shaft 18, the second gear 26 is coupled to the second rotation shaft 24, and the first gear 20 and the second gear 26 are gears. Are meshed with each other. Accordingly, power may be transmitted between the first rotary shaft 18 and the second rotary shaft 24.

본 실시예는 제1 회전축(18)에서 제2 회전축(24)으로 동력이 전달되고, 제2 회전축(24)에 전달된 동력은 이송레일(16)에 전달되어 기판을 이송하는 형태로서, 제1 회전축(18)은 진공 챔버(14)의 외측에서 회전력을 제공받게 되며 진공 챔버(14)의 내부에서 제2 회전축(24)으로 동력을 전달하게 된다.In this embodiment, the power is transmitted from the first rotary shaft 18 to the second rotary shaft 24, and the power transmitted to the second rotary shaft 24 is transferred to the transfer rail 16 to transfer the substrate. The first rotation shaft 18 receives a rotational force from the outside of the vacuum chamber 14 and transmits power to the second rotation shaft 24 inside the vacuum chamber 14.

제1 회전축(18)은 진공 챔버(14)를 관통하여 배치되며, 진공 챔버(14)의 외측에서 동력이 전달될 수 있다. 즉, 제1 회전축(18)의 일단은 진공 챔버(14)의 내부에 위치하고 타단은 진공 챔버(14)의 외부에 배치되어 제1 회전축(18)의 타단부에서 회전력이 입력되고 제1 회전축(18)의 일단에 회전력이 출력된다.The first rotation shaft 18 is disposed through the vacuum chamber 14, and power may be transmitted from the outside of the vacuum chamber 14. That is, one end of the first rotary shaft 18 is disposed inside the vacuum chamber 14 and the other end is disposed outside the vacuum chamber 14 so that a rotational force is input from the other end of the first rotary shaft 18 and the first rotary shaft ( The rotational force is output to one end of 18).

제1 기어(20)는 제1 회전축(18)의 단부에 결합되며, 후술할 마그넷을 포함하는 집진 마그넷(32)의 자력에 의해 제1 기어(20)에서 발생하는 파티클이 부착될 수 있도록 강자성체로 이루어질 수 있다. The first gear 20 is coupled to the end of the first rotating shaft 18, the ferromagnetic material so that the particles generated in the first gear 20 can be attached by the magnetic force of the dust collecting magnet 32 including a magnet to be described later It may be made of.

제2 기어(26)와 제1 기어(20)는 서로 기어니에 의해 치합되며 제1 기어(20)의 회전에 따라 제2 기어(26)도 회전하게 된다. 제2 기어(26) 또한 제2 기어(26)에서 발생하는 파티클이 집진 마그넷(32)에 부착될 수 있도록 강자성체로 이루어질 수 있다.The second gear 26 and the first gear 20 are meshed with each other by the gear teeth, and the second gear 26 also rotates in accordance with the rotation of the first gear 20. The second gear 26 may also be made of ferromagnetic material so that particles generated in the second gear 26 may be attached to the dust collecting magnet 32.

제1 기어(20) 및 제2 기어(26)는 강자성체로서 강철, 고강도 합금 등으로 제작되어 강한 토크를 전달할 수 있어야 한다. 세라믹, 스테인리스 스틸, 자석 등으로 이루어진 기어의 경우 재질이 물러 강한 토크를 전달할 수 없고, 특히 세라믹, 스테인리스 스틸의 경우 파티클 발생시 후술한 집진 마그넷(32)으로 파티클을 집진할 수 없다. The first gear 20 and the second gear 26 should be made of steel, high-strength alloy, etc. as a ferromagnetic material to be able to transmit a strong torque. In the case of a gear made of ceramic, stainless steel, magnet, etc., the material is not able to transfer strong torque, and in particular, in the case of ceramic or stainless steel, the particles cannot be collected by the dust collecting magnet 32 described later when the particles are generated.

제2 회전축(24)은 제1 회전축(18)의 일단 상부에 횡방향으로 배치되고, 제2 회전축(24)의 단부는 이송레일(16)에 연결된다.The second rotary shaft 24 is disposed transversely at one end of the first rotary shaft 18, and the end of the second rotary shaft 24 is connected to the transfer rail 16.

집진 마그넷(32)은, 마그넷을 포함하는 재질로 이루어지며, 제1 기어(20) 및 제2 기어(26)에 인접하여 배치되어, 자력에 의해 기어의 회전에 따라 발생하는 파티클을 집진한다. 제1 기어(20) 및 제2 기어(26)는 자력에 의해 부착될 수 있는 강자성체로 이루어지며, 제1 기어(20) 및 제2 기어(26)의 맞물림에 의해 동력이 전달될 때 기어간의 마찰로 인해 발생하는 파티클이 인접하여 배치된 집진 마그넷(32)에 부착된다. 이에 따라 진공 챔버(14) 내의 동력전달 과정에서 발생한 파티클을 발생과 동시에 집진하여 파티클에 의한 제품 불량을 방지할 수 있다.The dust collecting magnet 32 is made of a material including a magnet and is disposed adjacent to the first gear 20 and the second gear 26 to collect particles generated by the rotation of the gear by magnetic force. The first gear 20 and the second gear 26 are made of a ferromagnetic material that can be attached by magnetic force, and when the power is transmitted by the engagement of the first gear 20 and the second gear 26 between the gears. Particles generated due to friction are attached to dust collector magnets 32 disposed adjacent to each other. Accordingly, the particles generated during the power transfer process in the vacuum chamber 14 are collected and collected at the same time to prevent product defects caused by the particles.

이하 도 1 내지 도 4를 참조하여 각 구성에 대해 자세히 살펴 보기로 한다.Hereinafter, each configuration will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 4.

제1 회전축(18)은 진공 챔버(14)를 관통하여 배치되는데, 제1 회전축(18)을 진공 챔버(14)에 회전가능하게 결합하기 위해 회전지지부(34)를 구비할 수 있다.The first rotation shaft 18 is disposed through the vacuum chamber 14, and may include a rotation support part 34 to rotatably couple the first rotation shaft 18 to the vacuum chamber 14.

회전지지부(34)는 제1 회전축(18)을 회전가능하게 지지하며 진공 챔버(14)에 결합된다. 제1 회전축(18)은 회전지지부(34)를 관통하여 배치되고, 회전지지부(34)의 내부에는 베어링(40)이 배치되어 제1 회전축(18)이 회전지지부(34)에 대해 원활히 회전될 수 있도록 한다. The rotation support part 34 rotatably supports the first rotation shaft 18 and is coupled to the vacuum chamber 14. The first rotary shaft 18 is disposed through the rotary support 34, the bearing 40 is disposed inside the rotary support 34 so that the first rotary shaft 18 can be smoothly rotated with respect to the rotary support 34. To be able.

본 실시예에 따른 회전지지부(34)는, 제1 회전축(18)을 회전가능하게 지지하는 회전지지몸체(36)와, 회전지지몸체(36)에서 외측으로 연장되며 진공 챔버(14)에 결합되는 회전지지플랜지(38)로 구성된다. 회전지지몸체(36)의 내부에는 상술한 베어링(40)이 배치되어 제1 회전축(18)을 회전가능하게 지지하며, 회전지지플랜지(38)는 진공 챔버(14)에 볼트 등의 체결수단에 의해 결합된다. 이 경우, 집진 마그넷(32)은 회전지지플랜지(38)에 결합될 수 있다. 집진 마그넷(32)의 중앙에는 볼트홀이 형성될 수 있고, 볼트홀을 통하여 볼트를 체결하여 집진 마그넷(32)을 회전지지플랜지(38)에 결합할 수 있다. 집진 마그넷(32)을 회전지지부(34)에 결합함으로써 조립과 분리를 용이하게 할 수 있다.The rotation support part 34 according to the present embodiment includes a rotation support body 36 rotatably supporting the first rotation shaft 18, and extends outwardly from the rotation support body 36 and coupled to the vacuum chamber 14. Rotating support flange 38 is composed of. The above-described bearing 40 is disposed inside the rotation support body 36 to rotatably support the first rotation shaft 18, and the rotation support flange 38 is connected to the fastening means such as a bolt in the vacuum chamber 14. Are combined by. In this case, the dust collecting magnet 32 may be coupled to the rotary support flange 38. A bolt hole may be formed at the center of the dust collecting magnet 32, and the dust collecting magnet 32 may be coupled to the rotation support flange 38 by fastening the bolt through the bolt hole. By assembling the dust collecting magnet 32 to the rotary support 34 can be easily assembled and separated.

한편, 기어의 마찰에 의해 발생한 파티클은 집진 마그넷(32)에 대부분 부착되나 일부 파티클의 회전지지부(34) 내로 유입될 수 있으므로, 이를 방지하기 위해 회전지지부(34)에는 실링커버(42)가 결합될 수 있다. 실링커버(42)는 고리 형상으로서 제1 회전축(18)이 관통한 상태에서 회전지지부(34)에 결합된다. 제1 회전축(18)이 관통하는 관통부는 파티클이 회전지지부(34)로 유입될 수 없도록 제1 회전축(18)의 외주에 밀착된다.On the other hand, the particles generated by the friction of the gear is mostly attached to the dust collecting magnet 32, but may be introduced into the rotation support portion 34 of some particles, in order to prevent this, the sealing cover 42 is coupled to the rotation support portion 34 Can be. The sealing cover 42 is annularly coupled to the rotation support part 34 in a state where the first rotation shaft 18 penetrates. The through part through which the first rotation shaft 18 penetrates is in close contact with the outer circumference of the first rotation shaft 18 so that particles cannot enter the rotation support part 34.

제1 회전축(18)에 대해 제2 회전축(24)이 횡방향으로 배치되어 있기 때문에 제1 회전축(18)과 제2 회전축(24)의 동력전달을 위하여 제1 회전축(18)에는 제1 기어(20)로서 제1 베벨기어(22), 웜 기어, 제1 나사기어 중 어느 하나가 결합될 수 있으며, 제2 회전축(24)에는 이에 상응하여 제1 베벨기어(22)에 치합되는 제2 베벨기어(28), 웜 기어에 치합되는 웜 휠 기어, 제1 나사기어에 치합되는 제2 나사기어 중 어느 하나가 결합될 수 있다. Since the second rotary shaft 24 is disposed in the transverse direction with respect to the first rotary shaft 18, the first gear is provided on the first rotary shaft 18 for power transmission between the first rotary shaft 18 and the second rotary shaft 24. As the 20, any one of the first bevel gear 22, the worm gear, and the first screw gear may be coupled, and the second rotation shaft 24 corresponds to the second bevel gear 22 correspondingly. Bevel gear 28, any one of the worm wheel gear meshed with the worm gear, the second screw gear meshed with the first screw gear can be coupled.

본 실시예에서는, 제1 회전축(18)의 일단에 대해 제2 회전축(24)이 횡방향으로 배치되어 있기 때문에 제1 회전축(18)의 일단부에는 제1 기어(20)로서 제1 베벨기어(22)가 결합되고, 제2 회전축(24)에는 이에 상응하여 제1 베벨기어(22)에 치합되는 제2 베벨기어(28)가 결합된 형태를 제시한다.In the present embodiment, since the second rotating shaft 24 is disposed in the transverse direction with respect to one end of the first rotating shaft 18, the first bevel gear is formed as a first gear 20 at one end of the first rotating shaft 18. (22) is coupled, and the second rotating shaft (24) correspondingly coupled to the second bevel gear (28) is presented to form the combined form.

베벨기어는 서로 교차하는 두 축 간의 동력전달을 위한 것으로, 원후형의 몸체에 외주를 따라 기어니가 형성되어 있다. Bevel gears are for power transmission between two axes that intersect each other, and gears are formed along the outer circumference of the cylindrical body.

밀폐하우징(44)은 제1 기어(20) 및 이에 치합되는 제2 기어(26)를 커버하여, 증착과정에서 발생하는 증착물질 등이 제1 기어(20) 및 제2 기어(26)에 부착되는 것을 방지한다.The sealed housing 44 covers the first gear 20 and the second gear 26 meshed with the first gear 20 so that the deposition material generated during the deposition process is attached to the first gear 20 and the second gear 26. Prevent it.

도 1 및 도 3을 참조하면, 본 실시예에 있어서는 제2 베벨기어(28)를 사이에 두고 두 개의 축지지부(30)가 제2 회전축(24)을 지지하고 있고, 채널 형태의 밀폐하우징(44)의 내부에 축지지부(30)가 삽입되면서 밀폐하우징(44)의 양단이 축지지부(30)에 볼트 등의 체결수단에 의해 결합되어 제1 기어(20) 및 제2 기어(26)를 커버하고 있다.1 and 3, in the present embodiment, two shaft support portions 30 support the second rotation shaft 24 with the second bevel gear 28 interposed therebetween, and a channel-shaped sealed housing ( As the shaft support part 30 is inserted into the inside of the 44, both ends of the sealed housing 44 are coupled to the shaft support part 30 by fastening means such as bolts to connect the first gear 20 and the second gear 26. I cover it.

본 실시예에 따른 파티클 집진 동력전달 구조(12)의 작동 과정을 살펴 보면, 진공 챔버(14)의 외부에 위치하는 제1 회전축(18)의 타단부에 모터, 벨트 등의 회전력을 제공하는 동력부가 결합되어 회전력을 제공하면, 진공 챔버(14) 내부의 제1 회전축(18)의 일단에 결합되는 제1 베벨기어(22)가 회전하면서 그에 치합되는 제2 베벨기어(28)에 회전력을 전달하고 제2 베벨기어(28)의 회전력은 제2 회전축(24)을 통해 이송레일(16)로 제공한다. Looking at the operation of the particle dust collection power transmission structure 12 according to the present embodiment, the power for providing a rotational force of the motor, belt, etc. to the other end of the first rotary shaft 18 located outside the vacuum chamber 14 When the combination is provided to provide rotational force, the first bevel gear 22 coupled to one end of the first rotation shaft 18 in the vacuum chamber 14 rotates to transmit the rotational force to the second bevel gear 28 engaged with it. And the rotational force of the second bevel gear 28 is provided to the conveyance rail 16 through the second rotation shaft (24).

제1 베벨기어(22) 및 제2 베벨기어(28)의 회전에 따라 회전력을 전달하는 과정에서 기어 사이에 마찰이 발생하고 이에 따라 기어의 파티클이 발생하면, 파티클의 중력과 그 하단에 위치하는 집진 마그넷(32)의 자력에 의해 파티클이 집진 마그넷(32)으로 집진된다. 이 과정에서 일부 파티클이 회전지지부(34) 내로 유입될 수 있는데 이는 실링커버(42)에 의해 유입이 방지되며 실링커버(42) 상에 떨어진 파티클은 인접한 집진 마그넷(32)에 다시 집진이 이루어진다.When friction occurs between the gears in the process of transmitting the rotational force according to the rotation of the first bevel gear 22 and the second bevel gear 28 and accordingly generates particles of the gear, the gravity of the particles and the lower portion of the The particles are collected by the dust collecting magnet 32 by the magnetic force of the dust collecting magnet 32. In this process, some particles may be introduced into the rotation support part 34, which is prevented from being introduced by the sealing cover 42, and the particles dropped on the sealing cover 42 are collected again in the adjacent dust collecting magnet 32.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 파티클 집진 동력전달 구조(12)의 일부를 도시한 사시도이다. 도 5에는, 제1 회전축(18), 제1 베벨기어(22), 집진 마그넷(32'), 회전지지부(34), 회전지지몸체(36), 회전지지플랜지(38)가 도시되어 있다.5 is a perspective view showing a part of the particle dust collecting power transmission structure 12 according to another embodiment of the present invention. In FIG. 5, a first rotating shaft 18, a first bevel gear 22, a dust collecting magnet 32 ′, a rotating support part 34, a rotating support body 36, and a rotating support flange 38 are shown.

본 실시예에는 집진 마그넷(32)의 변형된 형태로서, 집진 마그넷(32')을 제1 회전축(18)이 관통하는 고리 형상로 제작하여, 집진 마그넷(32')을 회전지지플랜지(38) 상부에 결합한 형태이다. 이때 제1 회전축(18)이 관통하는 관통부는 제1 회전축(18)에 밀착되게 제작하여 파티클이 회전지지부(34)로 유입되는 것을 방지하면서 바로 집진 마그넷(32')으로 집진되도록 할 수 있다.In the present embodiment, as a deformed form of the dust collecting magnet 32, the dust collecting magnet 32 'is manufactured in a ring shape through which the first rotating shaft 18 passes, and the dust collecting magnet 32' is rotated by the support flange 38. It is a form combined to the upper part. In this case, the through part through which the first rotating shaft 18 penetrates may be manufactured to be in close contact with the first rotating shaft 18 to be directly collected by the dust collecting magnet 32 ′ while preventing particles from flowing into the rotating support part 34.

고리 형상의 집진 마그넷(32')은, 폐합된 고리 형태로 제작하는 것도 가능하나, 설치를 용이하게 하기 위하여 고리 형상의 집진 마그넷(32')을 복수 개로 분절된 형태를 취할 수 있다. 예를 들면, 도 5에 도시된 바와 같이, 반 고리 형태의 집진 마그넷(32') 두 개를 고리 형상을 갖도록 회전지지플랜지(38)에 배치하여 결합하는 것도 가능하다.The ring-shaped dust collecting magnet 32 'may be manufactured in the form of a closed ring, but may have a shape in which a plurality of ring-shaped dust collecting magnets 32' are segmented in order to facilitate installation. For example, as shown in Figure 5, it is also possible to combine the two semi-ring-shaped dust collecting magnets 32 'on the rotary support flange 38 to have a ring shape.

한편, 집진 마그넷(32')의 결합을 용이하게 하기 위하여, 회전지지플랜지(38)를 전자석 형태로 형성하거나, 회전지지플랜지(38) 상면에 전자석 형태의 플레이트를 배치하여 집진 마그넷(32')을 자력에 의해 결합하는 것도 가능하다. 이 경우, 집진 마그넷(32')의 분리는 전자석의 자력을 해제함으로써 분리가 용이하다.
On the other hand, in order to facilitate the coupling of the dust collecting magnet 32 ', the rotary support flange 38 is formed in the form of an electromagnet, or the electromagnet-shaped plate is disposed on the upper surface of the rotary support flange 38, the dust collecting magnet 32' It is also possible to combine by magnetic force. In this case, the dust collecting magnet 32 'is easily separated by releasing the magnetic force of the electromagnet.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the foregoing has been described with reference to specific embodiments of the present invention, those skilled in the art may vary the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be understood that modifications and changes can be made.

전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
Many embodiments other than the above-described embodiments are within the scope of the claims of the present invention.

12: 동력전달 구조 14: 진공 챔버
16: 이송레일 18: 제1 회전축
20: 제1 기어 22: 제1 베벨기어
24: 제2 회전축 26: 제2 기어
28: 제2 베벨기어 30: 축지지부
32, 32': 집진 마그넷 34: 회전지지부
36: 회전지지몸체 38: 회전지지플랜지
40: 베어링 42: 실링커버
44: 밀폐하우징12: power transmission structure 14: vacuum chamber
16: feed rail 18: first rotating shaft
20: first gear 22: first bevel gear
24: second rotating shaft 26: second gear
28: second bevel gear 30: shaft support
32, 32 ': Dust collecting magnet 34: Rotating support
36: rotating support body 38: rotating support flange
40: bearing 42: sealing cover
44: sealed housing

Claims (7)

공정 챔버에 배치되어 파티클을 집진하는 동력전달 구조로서,
상기 공정 챔버의 하단에서 상기 공정 챔버를 관통하여 배치되는 제1 회전축과;
상기 제1 회전축에 결합되는 제1 기어와;
상기 제1 기어에 치합되는 제2 기어와;
상기 제2 기어가 결합되는 제2 회전축과;
상기 제1 기어 및 제2 기어에 인접하여 배치되어, 자력에 의해 상기 기어의 회전에 따라 발생하는 파티클을 집진하는 집진 마그넷과;
상기 제1 회전축을 회전가능하게 지지하며 상기 공정 챔버에 결합되는 회전지지부와;
상기 제1 회전축이 관통하며, 상기 파티클이 상기 회전지지부로 유입되는 것을 방지하도록 상기 회전지지부에 결합되는 실링커버를 포함하며,
상기 회전지지부는,
상기 제1 회전축을 회전가능하게 지지하는 회전지지몸체와;
상기 회전지지몸체의 내부에 배치되어 상기 제1 회전축을 회전가능하게 지지하는 베어링과;
상기 회전지지몸체에서 외측으로 연장되며 상기 공정챔버에 결합되는 회전지지플랜지를 포함하며,
상기 실링커버는 상기 파티클이 상기 회전지지몸체 내부로 유입되는 것을 방지하도록 상기 회전지지플랜지 상단에 결합되고,
상기 집진 마그넷은 상기 회전지지플랜지에 결합되는 것을 특징으로 하는, 파티클 집진 동력전달 구조.
A power transmission structure disposed in a process chamber to collect particles,
A first rotating shaft disposed through the process chamber at a lower end of the process chamber;
A first gear coupled to the first rotation shaft;
A second gear meshed with the first gear;
A second rotation shaft to which the second gear is coupled;
A dust collecting magnet disposed adjacent to the first gear and the second gear and collecting dust generated by the rotation of the gear by magnetic force;
A rotation support part rotatably supporting the first rotation shaft and coupled to the process chamber;
And a sealing cover penetrating the first rotation shaft and coupled to the rotation support part to prevent the particle from flowing into the rotation support part.
The rotation support portion,
A rotation support body rotatably supporting the first rotation shaft;
A bearing disposed inside the rotatable support body to rotatably support the first rotational shaft;
A rotation support flange extending outward from the rotation support body and coupled to the process chamber;
The sealing cover is coupled to the top of the rotating support flange to prevent the particles from flowing into the rotating support body,
The dust collecting magnet is characterized in that coupled to the rotation support flange, the particle dust collecting power transmission structure.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제2 회전축은 상기 제1 회전축에 대해 횡방향으로 배치되며,
상기 제1 기어는,
상기 제1 회전축에 결합되는 제1 베벨기어, 웜 기어, 제1 나사기어 중 어느 하나를 포함하며,
상기 제2 기어는,
상기 제2 회전축에 결합되며, 상기 제1 베벨기어에 치합되는 제2 베벨기어, 상기 웜 기어에 치합되는 웜 휠 기어, 상기 제1 나사기어에 치합되는 제2 나사기어 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는, 파티클 집진 동력전달 구조.
The method of claim 1,
The second axis of rotation is disposed transverse to the first axis of rotation,
The first gear,
It includes any one of the first bevel gear, worm gear, first screw gear coupled to the first rotation shaft,
The second gear is,
A second bevel gear coupled to the second rotating shaft, the second bevel gear meshed with the first bevel gear, a worm wheel gear meshed with the worm gear, and a second screw gear meshed with the first screw gear. Particle dust collection power transmission structure characterized in that.
제1항이 있어서,
상기 집진 마그넷은,
상기 회전지지부에 결합되며, 상기 제1 회전축이 관통하는 고리 형상의 집진 마그넷을 포함하는 것을 특징으로 하는, 파티클 집진 동력전달 구조.
According to claim 1,
The dust collecting magnet,
Particle dust collection power transmission structure is coupled to the rotation support, characterized in that it comprises a ring-shaped dust collecting magnet through which the first rotating shaft passes.
제5항이 있어서,
상기 고리 형상의 집진 마그넷은, 복수 개로 분절되는 것을 특징으로 하는, 파티클 집진 동력전달 구조.
The method of claim 5,
Particle dust collecting power transmission structure, characterized in that the ring-shaped dust collecting magnet is divided into a plurality.
제1항에 있어서,
상기 제1 기어 및 상기 제2 기어를 커버하는 밀폐하우징를 더 포함하는, 파티클 집진 동력전달 구조.
The method of claim 1,
And a hermetic housing covering the first gear and the second gear.
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