KR102073410B1 - 반송 시스템 - Google Patents

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다이스케 오노
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명의 반송 시스템은, 궤도와, 복수의 천정 반송차와, 보관 장치와, 운용 모드에 따라 천정 반송차 및 로컬 대차의 동작을 제어하는 반송 컨트롤러를 구비한다. 보관 장치는, 보관부와, 장치 포트 및 보관부의 사이에서 FOUP를 이재할 수 있는 로컬 대차를 갖는다. 반송 컨트롤러는, 로컬 대차에 의한 장치 포트로부터 보관부로의 이재 동작을 금지하는 제1 모드, 천정 반송차에 의한 보관부로의 이재 동작 및 로컬 대차에 의한 보관부로부터 장치 포트로의 이재 동작을 금지하는 제2 모드, 그리고 로컬 대차에 의한 이재 동작을 제한하지 않는 제3 모드의 사이에서, 운용 모드를 전환할 수 있게 되어 있다.

Description

반송 시스템
[0001] 본 개시는, 반송(搬送) 시스템에 관한 것이다.
[0002] 예컨대 반도체 제조공장에 적용되는 반송 시스템으로서, 천정 반송차와, 천정 반송차의 주행로인 궤도와, 궤도와 반도체 처리 장치의 장치 포트의 사이에 설치된 보관부(버퍼)와, 장치 포트와 보관부의 사이에서 피(被)반송물을 주고받는 이재(移載) 기구(로컬 대차(台車))를 구비하는 반송 시스템이 알려져 있다(특허문헌 1 참조).
[0003] 상기 특허문헌 1에 기재된 반송 시스템에서는, 천정 반송차 및 이재 기구가 모두, 장치 포트 및 보관부의 쌍방(雙方)의 사이에서 피반송물을 주고받도록 구성되어 있다.
[0004] 일본 특허공개공보 제2013-153193호
[0005] 상술한 바와 같은 반송 시스템에는, 반도체 처리 장치의 가동률을 향상시킬 것이 요구되고 있다. 또, 상기 반송 시스템과 같이 천정 반송차 및 이재 기구의 양방을 운용하는 시스템에 있어서는, 반송 시스템의 상황에 따라 양자를 적절히 운용함으로써, 반도체 처리 장치의 가동률을 높일 수 있을 가능성이 있다.
[0006] 따라서, 본 개시의 일 형태는, 반송 시스템의 상황에 따라 장치의 가동률을 향상시킬 수 있는 반송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[0007] 본 개시의 일 형태와 관련되는 반송 시스템은, 궤도와, 궤도를 따라 주행하며, 피반송물을 반송하는 복수의 반송차와, 반송차가 피반송물을 주고받을 수 있는 보관부, 및 반송차가 피반송물을 주고받을 수 있는 장치 포트와 보관부의 사이에서 피반송물을 이재(移載)할 수 있는 이재 기구를 가지는 보관 장치와, 설정된 운용 모드에 따라 반송차 및 이재 기구의 동작을 제어하는 컨트롤러를 구비하며, 컨트롤러는, 이재 기구에 의한 장치 포트로부터 보관부로의 피반송물의 이재 동작을 금지하는 제1 모드, 반송차에 의한 보관부로의 피반송물의 이재 동작 및 이재 기구에 의한 보관부로부터 장치 포트로의 피반송물의 이재 동작을 금지하는 제2 모드, 그리고 이재 기구에 의한 장치 포트로부터 보관부로의 피반송물의 이재 동작 및 보관부로부터 장치 포트로의 피반송물의 이재 동작의 양방(兩方)을 허가하는 제3 모드의 사이에서, 운용 모드를 전환할 수 있게 되어 있다.
[0008] 상기 반송 시스템에서는, 컨트롤러는, 운용 모드로서, 이재 기구에 의해 가능한 이재 동작(즉, 장치 포트로부터 보관부로의 이재 동작, 및, 보관부로부터 장치 포트로의 이재 동작) 중의 일방(一方)을 제한하는 제1 모드 및 제2 모드, 그리고 이재 기구의 이재 동작을 제한하지 않는 제3 모드의 사이에서, 운용 모드를 전환할 수 있게 되어 있다. 운용 모드를 제1 모드로 설정함으로써, 장치 포트로의 피반송물의 공급을 우선시킬 수가 있다. 운용 모드를 제2 모드로 설정함으로써, 장치 포트로부터의 피반송물의 회수(보관부로의 퇴피)를 우선시킬 수가 있다. 운용 모드를 제3 모드로 설정함으로써, 피반송물의 공급 및 회수를 균형 있게 실행할 수가 있다. 따라서, 상기 반송 시스템에 의하면, 반송 시스템의 상황에 따라 컨트롤러의 운용 모드를 전환함으로써, 피반송물의 공급 및 회수의 우선도를 적절히 전환할 수 있어, 장치의 가동률을 향상시킬 수 있게 된다.
[0009] 상기 반송 시스템에서는, 보관부가, 반송차의 주행 방향에 있어서 장치 포트보다 상류 측에 설치되는 제1 보관부와, 반송차의 주행 방향에 있어서 장치 포트보다 하류 측에 설치되는 제2 보관부를 포함하고, 컨트롤러는, 반송차에 의한 제2 보관부로의 피반송물의 이재 동작을 금지하는 동시에, 이재 기구에 의한 장치 포트로부터 제1 보관부로의 피반송물의 이재 동작을 금지해도 된다. 이로써, 제1~ 제3 모드 중 어느 것에 있어서든, 반송차의 주행 방향에 있어서의 상류 측으로부터 하류 측으로의 일 방향으로 피반송물이 반송되는 구성을 실현할 수가 있다. 그 결과, 각 모드에 있어서 가능한 이재 동작의 범위에서, 1대의 반송차에 의해, 상류 측의 포트(제1 보관부 또는 장치 포트)로 피반송물을 공급하고, 하류 측의 포트(장치 포트 또는 제2 보관부)에 재치(載置)된 처리가 끝난 피반송물을 회수할 수 있게 된다. 따라서, 상기 반송 시스템에 의하면, 반송차의 운용 효율의 향상을 도모할 수도 있다.
[0010] 상기 반송 시스템에서는, 컨트롤러는, 보관 장치마다, 운용 모드를 전환할 수 있게 되어 있어도 된다. 이로써, 보관 장치마다의 상황에 따라, 보관 장치 단위로 적절히 운용 모드를 전환할 수가 있다.
[0011] 상기 반송 시스템에서는, 컨트롤러는, 운용 모드의 전환을 요구하는 조작을 접수하고, 해당 조작에 따라 운용 모드를 전환할 수 있게 되어 있어도 된다. 이로써, 작업자 등의 수동 조작에 의해, 운용 모드를 적절히 전환할 수가 있다.
[0012] 상기 반송 시스템에서는, 컨트롤러는, 반송 시스템의 가동 상황에 관한 가동 상황 정보를 정기적으로 취득하고, 가동 상황 정보 및 미리 정해진 전환 룰에 근거하여 운용 모드를 자동으로 전환하여도 된다. 이로써, 반송 시스템의 가동 상황에 따라 자동적으로 적절한 운용 모드로 전환할 수가 있다.
[0013] 상기 반송 시스템에서는, 컨트롤러는, 가동 상황 정보로서, 장치 포트에 있어서의 1개의 피반송물에 대한 처리 시간을 취득하고, 해당 처리 시간과 미리 정해진 문턱값에 근거하는 비교 연산을 실행하며, 해당 비교 연산의 결과에 근거하여, 장치 포트와의 사이에서 이재 기구에 의한 피반송물의 이재가 가능하게 되어 있는 보관 장치에 대응하는 운용 모드를 전환하여도 된다. 이러한 구성에 의하면, 장치 포트에 있어서의 1개의 피반송물에 대한 처리 시간(혹은 그 평균치 등)과 미리 정해진 문턱값을 비교하는 간단하고 쉬운 처리에 의해, 각 보관 장치의 운용 모드를 자동적이면서 또한 적절하게 전환할 수가 있다.
[0014] 상기 반송 시스템에서는, 컨트롤러는, 가동 상황 정보로서, 보관 장치를 포함하는 소정 범위의 영역에 있어서의 반송차의 가동 대수를 취득하고, 해당 가동 대수와 미리 정해진 문턱값에 근거하는 비교 연산을 실행하며, 해당 비교 연산의 결과에 근거하여, 보관 장치에 대응하는 운용 모드를 전환하여도 된다. 이러한 구성에 의하면, 보관 장치를 포함한 소정 범위의 영역에 있어서의 반송차의 가동 대수와 미리 정해진 문턱값을 비교하는 간단하고 쉬운 처리에 의해, 각 보관 장치의 운용 모드를 자동적으로 또한 적절하게 전환할 수가 있다.
[0015] 상기 반송 시스템에서는, 컨트롤러는, 가동 상황 정보로서, 보관 장치의 보관부 또는 해당 보관부와의 사이에서 이재 기구에 의한 피반송물의 이재가 가능하게 되어 있는 장치 포트로부터 처리가 끝난 피반송물을 회수하는 반송차의 배차 시간을 취득하고, 해당 배차 시간과 미리 정해진 문턱값에 근거하는 비교 연산을 실행하며, 해당 비교 연산의 결과에 근거하여, 보관 장치에 대응하는 운용 모드를 전환하여도 된다. 이러한 구성에 의하면, 처리가 끝난 피반송물을 회수하는 반송차의 배차 시간(혹은 그 평균치 등)과 미리 정해진 문턱값을 비교하는 간단하고 쉬운 처리에 의해, 각 보관 장치의 운용 모드를 자동적으로 또한 적절하게 전환할 수가 있다.
[0016] 본 개시의 일 형태에 의하면, 반송 시스템의 상황에 따라 장치의 가동률을 향상시킬 수 있는 반송 시스템을 제공할 수 있게 된다.
[0017] 도 1은, 본 개시의 일 실시형태의 반송 시스템의 주요부를 나타낸 도면이다.
도 2는, 도 1의 보관 장치 및 반도체 처리 장치의 평면도이다.
도 3은, 반송 시스템의 제어 구성을 나타낸 블록도이다.
도 4는, 제1 모드를 설명하기 위한 모식도이다.
도 5는, 제2 모드를 설명하기 위한 모식도이다.
도 6은, 제3 모드를 설명하기 위한 모식도이다.
[0018] 이하, 첨부 도면을 참조하면서 본 개시의 일 실시형태를 상세하게 설명한다. 또한, 도면의 설명에 있어서 동일하거나 또는 동등한 요소에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략하도록 한다.
[0019] 도 1 및 도 2를 이용하여, 본 실시형태의 반송 시스템(1)에 대해 설명한다. 반송 시스템(1)은, 복수의 반도체 처리장치(100)를 구비하는 반도체 제조공장 내에서, 복수의 반도체 웨이퍼가 수용된 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 반송하기 위한 시스템이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 시스템(1)은, 궤도(10)와, 복수의 천정 반송차(20)와, 각 반도체 처리장치(100)에 대응하도록 설치된 보관장치(30)를 구비한다. 도 1은, 반도체 제조공장 내에 존재하는 복수의 반도체 처리장치(100) 중의 1개의 반도체 처리장치(100)에 대응하는 보관장치(30)를 도시하고 있다.
[0020] 궤도(10)는, 반도체 제조공장의 천정 부근에 부설(敷設)되어 있다. 천정 반송차(20)는, OHT(Overhead Hoist Transfer)이다. 천정 반송차(20)는, 궤도(10)에 매달린 상태로 궤도(10)를 따라 일 방향으로 주행한다. 이하, 천정 반송차(20)의 주행 방향(A)에 있어서의 상류 측 및 하류 측을 「상류 측」 및 「하류 측」이라고 한다.
[0021] 천정 반송차(20)는, 복수의 반도체 웨이퍼가 수용된 FOUP(90)를 각 반도체 처리장치(100)의 장치 포트(101) 또는 후술하는 보관부(31)에 반송(공급)한다. 본 실시형태에서는 일례로서, 1개의 반도체 처리장치(100)에 대해서 2개의 장치 포트(101)가, 천정 반송차(20)의 주행 방향(A)을 따라 나란히 설치되어 있다. 반도체 처리장치(100)는, 장치 포트(101)에 재치된 FOUP(90)에 수용된 반도체 웨이퍼 등에 대해 소정의 가공 처리를 실행한다. 이후의 설명에 있어서는, FOUP(90)에 수용된 반도체 웨이퍼 등에 대한 처리를 가리켜, 단순히 FOUP(90)에 대한 처리라고 표현한다. 예컨대, 수용하는 반도체 웨이퍼 등에 대한 가공 처리가 실행된 후의 FOUP(90)를 가리켜, 처리가 끝난 FOUP(90) 등으로 표현한다. 처리가 끝난 FOUP(90)는, 천정 반송차(20)에 의해 회수되어, 예컨대 다음 공정의 처리를 행할 반도체 처리장치(100)의 장치 포트 등에 반송된다. 처리가 끝난 FOUP(90)는, 장치 포트(101)에 있어서 천정 반송차(20)에 회수되는 경우도 있고, 일단 보관부(31)에 퇴피된 후에 천정 반송차(20)에 회수되는 경우도 있다.
[0022] 천정 반송차(20)는, FOUP(90)의 플랜지부(91)를 파지(把持)할 수 있는 파지 기구(21)와, 파지 기구(21)가 접속된 벨트(22)를 감거나 풀어냄으로써 파지 기구(21)를 승강시킬 수 있는 승강 기구(23)를 갖는다. 천정 반송차(20)는, 파지 기구(21)를 승강 기구(23)에 의해 승강시킴으로써, 후술하는 보관부(31) 및 장치 포트(101)의 각각과의 사이에서, FOUP(90)를 주고받을 수 있게 되어 있다.
[0023] 보관장치(30)는, 일례로서 2개의 보관부(31)와, 로컬 대차(이재 기구; 32)와, 보관부(31) 및 로컬 대차(32)를 지지하는 지지 부재(33)를 구비한다. 지지 부재(33)는, 주면(主面)끼리 궤도(10)의 연신(延伸) 방향으로 대향하도록 지면(地面)에 세워 설치된 한 쌍의 측벽부(33a, 33a)와, 궤도(10)의 하방에 있어서 궤도(10)의 연신(延伸) 방향을 따라 연장되는 한 쌍의 레일 부재(33b, 33b)를 갖는다. 한 쌍의 레일 부재(33b, 33b)끼리는, 동일한 높이 위치에 있어서 궤도(10)의 연신 방향과 직교하는 방향으로 대향되어 있다. 각 레일 부재(33b)의 양단부는 각각, 한 쌍의 측벽부(33a, 33a)의 상면 단부(端部)에 지지되어 있다. 또한, 한 쌍의 레일 부재(33b, 33b)끼리의 간격은, 천정 반송차(20)에 의해 승강되는 FOUP(90)가 레일 부재(33b)와 간섭하지 않는 사이즈로 되어 있다.
[0024] 보관부(31)는, FOUP(90)를 재치할 수 있도록 수평방향으로 연장되는 판형상 부재이다. 2개의 보관부(31) 중 상류 측의 제1 보관부(31A)는, 2개의 장치 포트(101)보다 상류 측에 위치하도록, 상류 측의 측벽부(33a)의 하류 측 측면에 고정되어 있다. 한편, 2개의 보관부(31) 중 하류 측의 제2 보관부(31B)는, 2개의 장치 포트(101)보다 하류 측에 위치하도록, 하류 측의 측벽부(33a)의 상류 측 측면에 고정되어 있다.
[0025] 상류 측의 제1 보관부(31A)는, 장치 포트(101)에 빈 곳이 없는 경우(도 1의 예에서는, 2개의 장치 포트(101)에 FOUP(90)가 재치되어 있는 경우)에, 처리 대기 FOUP(90)를 대기시키는 대기 장소로서 기능한다. 제1 보관부(31A)에 처리 대기 FOUP(90)를 대기시켜 둠으로써, 장치 포트(101)에 빈 곳이 생겼을 경우에, 제1 보관부(31A)로부터 해당 장치 포트(101)로 처리 대기 FOUP(90)를 즉시 공급할 수가 있다.
[0026] 하류 측의 제2 보관부(31B)는, 반도체 처리장치(100)에 의한 처리가 완료된 처리가 끝난 FOUP(90)를 장치 포트(101)로부터 퇴피시키는 퇴피 장소로서 기능한다. 제2 보관부(31B)에 처리가 끝난 FOUP(90)를 퇴피시킴으로써, 처리가 끝난 FOUP(90)가 천정 반송차(20)에 의해 회수되지 않고 장치 포트(101) 상에 재치된 채가 되어, 해당 장치 포트(101)를 이용할 수 없는 상태 그대로가 되는 것을 해소할 수가 있다.
[0027] 로컬 대차(32)는, 차륜(車輪; W)이 부착된 대차부(32a)를 갖는다. 또, 로컬 대차(32)는, 천정 반송차(20)와 마찬가지로, FOUP(90)의 플랜지부(91)를 파지할 수 있는 파지 기구(32b)와, 파지 기구(32b)가 접속된 벨트(32c)를 감거나 풀어냄으로써 파지 기구(32b)를 승강시킬 수 있는 승강 기구(도시생략)를 갖는다. 로컬 대차(32)는, 대차부(32a)의 차륜(W)이 한 쌍의 레일 부재(33b, 33b) 상을 주행함으로써, 한 쌍의 레일 부재(33b, 33b)를 따라 이동할 수 있게 되어 있다. 또, 로컬 대차(32)는, 파지 기구(32b)를 승강 기구에 의해 승강시킴으로써, 보관부(31)와 장치 포트(101)의 사이에서, FOUP(90)를 이재할 수 있게 되어 있다.
[0028] 도 3에 나타낸 바와 같이, 반송 시스템(1)은, 제어 계통을 맡는 기능 요소로서, 반송 컨트롤러(41)와, 복수의 천정 반송차(20)에 공통되는 천정 반송차 컨트롤러(42)와, 보관장치(30)마다 설치된 보관 장치 컨트롤러(43)를 구비한다. 반송 컨트롤러(41), 천정 반송차 컨트롤러(42), 및 보관 장치 컨트롤러(43)의 각각은, 예컨대, 프로세서, 메모리, 스토리지, 및 통신 디바이스 등을 포함하는 컴퓨터 장치로서 구성된다. 각 컨트롤러에 있어서, 프로세서가, 메모리 등에 읽어들여진 소정의 소프트웨어(프로그램)를 실행하고, 메모리 및 스토리지에 있어서의 데이터의 판독 및 기입, 그리고 통신 디바이스에 의한 컨트롤러 사이에서의 통신을 제어함으로써, 후술하는 각 컨트롤러의 기능이 실현된다.
[0029] 반송 컨트롤러(41)는, 보관장치(30)마다(즉, 반도체 처리장치(100)마다) 설정된 운용 모드(자세하게는 후술함)에 따라 천정 반송차(20) 및 로컬 대차(32)의 동작을 제어하는 컨트롤러이다. 천정 반송차(20)의 동작을 제어할 경우, 반송 컨트롤러(41)는, 천정 반송차 컨트롤러(42)에 대해서, FOUP(90)의 반송 명령을 출력한다. 또, 로컬 대차(32)의 동작을 제어할 경우, 반송 컨트롤러(41)는, 해당 로컬 대차(32)를 포함한 보관장치(30)를 제어하는 보관 장치 컨트롤러(43)에 대해서, FOUP(90)의 반송 명령을 출력한다.
[0030] 반송 명령이란, 반송 대상인 FOUP(90)를 어느 출발지(반송원(搬送元))로부터 어느 목적지(반송처)까지 반송할 것을 지시하는 정보이다. 구체적으로는, 반송 명령은, 반송 대상인 FOUP(90)를 식별하는 정보(ID)와, 반송 대상인 FOUP(90)를 싣는 지점(장치 포트 및 보관부 등)을 특정하는 정보(From 지점)와, 반송 대상인 FOUP(90)를 내리는 지점(장치 포트 및 보관부 등)을 특정하는 정보(To 지점)를 서로 관련지은 정보이다.
[0031] 반송 컨트롤러(41)는, 반송 명령의 From 지점과 To 지점의 조합에 근거하여, 적절한 컨트롤러에 반송 명령을 출력한다. 구체적으로는, From 지점과 To 지점의 조합이 동일한 보관장치(30) 내의 로컬 대차(32)에 의해 이재 가능한 조합인 경우, 반송 컨트롤러(41)는, 해당 보관장치(30)에 대응하는 보관 장치 컨트롤러(43)에 반송 명령을 출력한다. 한편, From 지점과 To 지점의 조합이 동일한 보관장치(30) 내의 로컬 대차(32)에 의해 이재 가능한 조합이 아닌 경우(예컨대 다른 반도체 처리장치(100) 간의 반송인 경우), 반송 컨트롤러(41)는, 천정 반송차 컨트롤러(42)에 반송 명령을 출력한다.
[0032] 반송 컨트롤러(41)에 의해 출력되는 반송 명령은, 상위 컨트롤러(40)로부터의 반송 요구에 근거하여 생성된다. 상위 컨트롤러(40)는, 반도체 제조공장 전체의 상황을 감시함으로써, 각 반도체 처리장치(100)의 장치 포트(101) 및 보관부(31)가 비어있는 상황을 파악하고 있다. 또, 상위 컨트롤러(40)는, 각 FOUP(90)의 처리 상황도 파악하고 있다. 상위 컨트롤러(40)는, 반송 컨트롤러(41), 천정 반송차 컨트롤러(42), 및 보관 장치 컨트롤러(43)와 마찬가지로, 예컨대, 프로세서, 메모리, 스토리지, 및 통신 디바이스 등을 포함하는 컴퓨터 장치로서 구성된다.
[0033] 상위 컨트롤러(40)는, 예컨대 반도체 처리장치(100)의 장치 포트(101) 또는 제1 보관부(31A)에 빈 곳이 생겼음을 검지하면, 새로운 FOUP(90)를 내릴 것(공급)을 지시하는 반송 요구를 반송 컨트롤러(41)에 출력한다.
[0034] 또, 상위 컨트롤러(40)는, 예컨대 반도체 처리장치(100)의 장치 포트(101) 상에 처리가 끝난 FOUP(90)가 생겼음(즉, 장치 포트(101) 상에 재치된 FOUP(90)에 대한 반도체 처리장치(100)의 처리가 완료되었음)을 검지하면, 해당 처리가 끝난 FOUP(90)를 실을 것(회수)을 지시하는 반송 요구를 반송 컨트롤러(41)에 출력한다.
[0035] 반송 컨트롤러(41)는, 상기 예시한 것과 같은 상위 컨트롤러(40)로부터의 반송 요구를 수신하면, 해당 반송 요구에 근거하여, 어느 FOUP(90)를 어디에서 어디로 반송할지를 결정하여, 상술한 반송 명령을 생성한다. 예컨대, 반송 컨트롤러(41)는, 미리 프로그램된 룰에 근거하여, 상위 컨트롤러(40)로부터 수신한 공급 요구(공급을 요구하는 반송 요구) 및 회수 요구(회수를 요구하는 반송 요구)의 매칭(matching)을 도모함으로써, From 지점 및 To 지점이 지정된 반송 명령을 생성한다. 반송 컨트롤러(41)는, 이와 같이 하여 생성된 반송 명령을 천정 반송차 컨트롤러(42) 또는 보관 장치 컨트롤러(43)에 출력한다.
[0036] 천정 반송차 컨트롤러(42)는, 복수의 천정 반송차(20)의 주행 동작을 제어하는 단일의 컨트롤러이며, 반송 컨트롤러(41)로부터의 반송 명령(ID, From 지점, To 지점)을 수신하면, 해당 반송 명령을 특정한 천정 반송차(20)에 할당한다. 구체적으로는, 천정 반송차 컨트롤러(42)는, 반송 명령으로 나타내어지는 FOUP(90)의 반송 처리를 실행시킬 천정 반송차(20)를 미리 정해진 할당 룰에 근거하여 결정한다. 그리고, 천정 반송차 컨트롤러(42)는, 결정된 천정 반송차(20)에 대해서, FOUP(90)의 반송 처리를 실행하도록 제어 신호를 송신한다. 예컨대, 천정 반송차 컨트롤러(42)는, 현 시점에서 반송 명령이 할당되어 있지 않은 천정 반송차(20) 중 할당 대상인 반송 명령의 From 지점에 가장 가까운 위치에 존재하는 천정 반송차(20)에, 해당 할당 대상인 반송 명령을 할당한다. 또, 천정 반송차 컨트롤러(42)는, 다른 반송 명령을 실행하는 중인 천정 반송차(20)라 하더라도, 할당 대상인 반송 명령의 From 지점으로부터 소정 범위 내의 지점을 To 지점으로 하여 FOUP(90)를 반송하는 중인 천정 반송차(20)에 대해서, 「할당 대상인 반송 명령을 현재 실행 중인 반송 명령 후에 실행할 것」을 지시하는 반송 명령(반송 명령 예약)으로서 할당할 수도 있다.
[0037] 반송 명령이 할당된 천정 반송차(20)는, 해당 반송 명령에 근거하는 반송 처리를 행하도록 주행 동작을 개시한다. 단, 상술한 반송 명령 예약이 할당된 천정 반송차(20)는, 현재 실행 중인 반송 명령에 근거하는 반송 처리를 완료한 후에, 반송 명령 예약에 근거하는 반송 처리를 행하도록 주행 동작을 개시한다. 구체적으로는, 천정 반송차(20)는, From 지점을 향해 주행을 개시하여, From 지점에 도착하면, 반송 명령의 ID에 의해 특정되는 FOUP(90)를 싣는다. 그 후, 천정 반송차(20)는, To 지점으로 나타내어지는 위치를 향해 주행을 개시하고, To 지점으로 나타내어지는 위치에 도착하면, 싣고 있는 FOUP(90)를 내린다. 이러한 일련의 동작에 의해, 반송 명령의 ID에 의해 특정되는 FOUP(90)가, From 지점으로부터 To 지점까지 반송된다.
[0038] 보관 장치 컨트롤러(43)는, 반송 컨트롤러(41)로부터의 반송 명령(ID, From 지점, To 지점)을 수신하면, 제어 대상인 보관장치(30)의 로컬 대차(32)에 대해서, 반송 명령에 근거하는 반송 처리를 실행하도록 제어 신호를 송신한다. 이로써, 로컬 대차(32)는, 상술한 반송 명령이 할당된 천정 반송차(20)와 마찬가지로, 반송 명령에 근거하는 반송 처리를 행하도록 주행 동작을 개시한다. 구체적으로는, 로컬 대차(32)는, From 지점을 향해 주행을 개시하고, From 지점에 도착하면, 반송 명령의 ID에 의해 특정되는 FOUP(90)를 싣는다. 그 후, 로컬 대차(32)는, To 지점으로 나타내어지는 위치를 향해 주행을 개시하고, To 지점으로 나타내어지는 위치에 도착하면, 싣고 있는 FOUP(90)를 내린다.
[0039] 또한, 보관 장치 컨트롤러(43)는, 도시되지 않은 센서 등에 의해 제어 대상인 보관장치(30)의 보관부(31)가 비어 있는 상황을 감시하여, 감시 결과를 순차적으로 반송 컨트롤러(41)에 송신한다. 이로써, 반송 컨트롤러(41)는, 각 보관장치(30)의 보관부(31)가 비어 있는 상황을 파악할 수가 있다.
[0040] 다음으로, 반송 컨트롤러(41)가 보관장치(30)마다 설정된 운용 모드에 따른 반송 명령을 출력하는 구성에 대해 설명한다. 보관장치(30)마다 설정된 운용 모드는, 반송 컨트롤러(41)가 참조할 수 있는 설정 모드 기억부(41a)에 기억되어 있다. 보관장치(30)마다 설정 가능한 운용 모드로서, 제1 모드~제3 모드의 3개 모드가 준비되어 있다. 이하, 우선, 본 실시형태에 있어서 각 모드에 공통되는 제어에 대해 설명한 후에, 도 4~도 6을 이용하여, 각 모드에 대해 설명한다.
[0041] (전체 모드 공통의 제어)
반송 컨트롤러(41)는, 각 반도체 처리장치(100)에 대응하여 설치된 장치 포트(101), 제1 보관부(31A), 및 제2 보관부(31B)에 대해, 천정 반송차(20)에 의한 제2 보관부(31B)로의 FOUP(90)의 이재 동작을 금지하는 동시에, 로컬 대차(32)에 의한 장치 포트(101)로부터 제1 보관부(31A)로의 FOUP(90)의 이재 동작을 금지한다. 즉, 반송 컨트롤러(41)는, 하류 측으로부터 상류 측으로 거슬러 올라가는 방향으로의 FOUP(90)의 이재(및 이러한 하류 측으로부터 상류 측으로의 FOUP(90)의 이재를 행할 필요가 있게 하는 이재 동작)를 지시하는 반송 명령을, 천정 반송차 컨트롤러(42) 및 보관 장치 컨트롤러(43)에 출력하지 않는다.
[0042] 이로써, 상류 측으로부터 하류 측으로의 일 방향으로 FOUP(90)가 이재되는 구성을 실현할 수 있다. 그 결과, 후술하는 각 모드에 있어서 가능한 이재 동작의 범위에서, 1대의 천정 반송차(20)에 의해, 상류 측의 포트(제1 보관부(31A) 또는 장치 포트(101))로 FOUP(90)를 공급하고, 하류 측의 포트(장치 포트(101) 또는 제2 보관부(31B))에 재치된 처리가 끝난 FOUP(90)를 회수할 수 있게 된다. 따라서, 반송 컨트롤러(41)가 위에서 설명한 바와 같이 반송 명령의 출력을 제한함으로써, 천정 반송차(20)의 운용 효율의 향상을 도모할 수도 있다.
[0043] (제1 모드)
도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 모드는, 로컬 대차(32)에 의해 가능한 이재 동작(즉, 장치 포트(101)로부터 보관부(31)로의 이재 동작, 및 보관부(31)로부터 장치 포트(101)로의 이재 동작) 중, 장치 포트(101)로부터 보관부(31)로의 FOUP(90)의 이재 동작을 금지하는 모드이다. 구체적으로는, 반송 컨트롤러(41)는, 제1 모드가 운용 모드로서 설정된 보관장치(30)를 제어하는 보관 장치 컨트롤러(43)에 대해서, 장치 포트(101)로부터 제2 보관부(31B)로의 FOUP(90)의 이재를 지시하는 반송 명령(즉, From 지점이 장치 포트(101)이며, To 지점이 제2 보관부(31B)인 반송 명령)을 출력하지 않는다. 보다 구체적으로는, 반송 컨트롤러(41)는, 예컨대, 상위 컨트롤러(40)로부터, 장치 포트(101)에 재치된 처리가 끝난 FOUP(90)의 회수 요구, 및, 제2 보관부(31B)로의 FOUP(90)의 공급 요구를 받았다 하더라도, 장치 포트(101)에 재치된 처리가 끝난 FOUP(90)의 제2 보관부(31B)로의 이재를 지시하는 반송 명령을 보관 장치 컨트롤러(43)에 출력하지 않는다.
[0044] 제1 모드에 의하면, 로컬 대차(32)는, 오로지 제1 보관부(31A)로부터 장치 포트(101)로의 FOUP(90)의 공급을 실행하게 된다. 이로써, 로컬 대차(32)가 장치 포트(101)로부터 제2 보관부(31B)로의 이재 동작을 함께 실행하는 경우에 비해, 빈 포트가 된 장치 포트(101)로의 FOUP(90)의 공급 효율을 높일 수가 있다. 따라서, 예컨대 장치 포트(101)에서의 처리 시간이 짧고 또한 처리가 끝난 FOUP(90)의 회수 효율이 양호한 경우 등에, 제1 모드를 설정함으로써, 장치 포트(101)로의 FOUP(90)의 공급을 원활히 행할 수 있어, 반도체 처리장치(100)의 가동률을 향상시킬 수가 있다.
[0045] 여기서, 처리가 끝난 FOUP(90)의 회수 효율이 양호한 경우란, 예컨대, 반도체 처리장치(100)가 천정 반송차(20)의 가동 대수가 많은 영역에 존재하고 있어, FOUP(90)의 회수를 행하기 위한 천정 반송차(20)를 비교적 단시간에 배차할 수 있는 경우이다. FOUP(90)의 회수를 행하는 천정 반송차(20)의 배차는, 예컨대 이하와 같이 하여 이루어진다. 즉, 우선 상위 컨트롤러(40)가 처리가 끝난 FOUP(90)의 회수를 지시하는 회수 요구를 반송 컨트롤러(41)에 출력한다. 계속해서, 반송 컨트롤러(41)가 해당 회수 요구에 근거하여 생성한 반송 명령을 천정 반송차 컨트롤러(42)에 출력한다. 계속해서, 천정 반송차 컨트롤러(42)가 해당 반송 명령을 하나의 천정 반송차(20)에 할당한다. 이때, 현 시점에서 반송 명령이 할당되지 않은 천정 반송차(20)가 존재하지 않을 경우, 천정 반송차 컨트롤러(42)는, 예컨대, 현 시점에서 할당되어 있는 반송 명령에 근거하는 반송 처리를 완료하고 프리(free)가 된 천정 반송차(20)가 나타날 때까지 대기한다. 혹은, 천정 반송차 컨트롤러(42)는, 다른 반송 명령을 실행하는 중인 천정 반송차(20)에 대해서, 할당 대상인 반송 명령을 다음의 반송 명령으로서 예약한다. 이러한 경우, 처리가 끝난 FOUP(90)가 회수될 때까지 시간이 걸리는 경우가 있다. 한편, 예컨대 천정 반송차(20)의 가동 대수가 많은 경우, 반송 명령이 할당되지 않은 천정 반송차(20)가 나타나기 쉬우며, 이러한 천정 반송차(20)에 반송 명령이 할당됨으로써, 처리가 끝난 FOUP(90)의 회수가 비교적 단시간에 행해질 것을 기대할 수가 있다.
[0046] (제2 모드)
도 5에 나타낸 바와 같이, 제2 모드는, 제1 모드와는 반대로, 로컬 대차(32)에 의해 가능한 이재 동작 중, 보관부(31)로부터 장치 포트(101)로의 FOUP(90)의 이재 동작을 금지하는 모드이다. 구체적으로는, 반송 컨트롤러(41)는, 제2 모드가 운용 모드로서 설정된 보관장치(30)를 제어하는 보관 장치 컨트롤러(43)에 대해서, 제1 보관부(31A)로부터 장치 포트(101)로의 FOUP(90)의 이재를 지시하는 반송 명령(즉, From 지점이 제1 보관부(31A)이며, To 지점이 장치 포트(101)인 반송 명령)을 출력하지 않는다. 또, 상기의 로컬 대차(32)의 이재 동작의 제한에 의해, 제1 보관부(31A)에 재치된 FOUP(90)는 로컬 대차(32)에 의해 이재되지 않게 된다. 따라서, 반송 컨트롤러(41)는, 천정 반송차(20)에 의한 제1 보관부(31A)로의 FOUP(90)의 이재를 지시하는 반송 명령(즉, To 지점이 제1 보관부(31A)인 반송 명령)에 대해서도 출력하지 않는다. 즉, 반송 컨트롤러(41)는, 예컨대, 상위 컨트롤러(40)로부터, 제1 보관부(31A)에 대한 FOUP(90)의 공급 요구를 받았다 하더라도, 해당 공급 요구에 근거하는 반송 명령(To 지점이 제1 보관부(31A)인 반송 명령)을 천정 반송차 컨트롤러(42)에 출력하지 않는다.
[0047] 제2 모드에 의하면, 로컬 대차(32)는, 오로지 장치 포트(101)로부터 제2 보관부(31B)로의 FOUP(90)의 퇴피(장치 포트(101)로부터의 FOUP(90)의 회수)를 실행하게 된다. 이로써, 로컬 대차(32)가 제1 보관부(31A)로부터 장치 포트(101)로의 이재 동작을 함께 실행하는 경우에 비해, 장치 포트(101)로부터의 처리가 끝난 FOUP(90)의 회수 효율을 높일 수가 있다. 따라서, 예컨대 처리가 끝난 FOUP(90)의 회수 효율이 불량한 경우 등에, 제2 모드를 설정함으로써, 장치 포트(101)로부터의 FOUP(90)의 회수를 원활히 행할 수가 있다. 이로써, 빈 포트가 된 장치 포트(101)에 대해서 미(未)처리의 FOUP(90)를 이재할 수 있게 되어, 반도체 처리장치(100)의 가동률을 향상시킬 수가 있다. 또한, 처리가 끝난 FOUP(90)의 회수 효율이 불량한 경우의 예로서는, 예컨대, 반도체 처리장치(100)가 천정 반송차(20)의 가동 대수가 적은 영역에 존재하고 있어, FOUP(90)의 회수를 행하기 위한 천정 반송차(20)를 단시간에 배차할 수 없는 경우 등을 들 수 있다.
[0048] (제3 모드)
도 6에 나타낸 바와 같이, 제3 모드는, 로컬 대차(32)에 의해 가능한 이재 동작을 제1 모드 또는 제2 모드와 같이 제한하지 않는 모드이다. 즉, 제3 모드는, 로컬 대차(32)에 의한 장치 포트(101)로부터 제2 보관부(31B)로의 FOUP(90)의 이재 동작 및 제1 보관부(31A)로부터 장치 포트(101)로의 FOUP(90)의 이재 동작의 양방을 허가하는 모드이다. 구체적으로는, 반송 컨트롤러(41)는, 제3 모드가 운용 모드로서 설정된 보관장치(30)를 제어하는 보관 장치 컨트롤러(43)에 대해서, 제1 보관부(31A)로부터 장치 포트(101)로의 이재를 지시하는 반송 명령을 출력할 수 있는 동시에, 장치 포트(101)로부터 제2 보관부(31B)로의 이재를 지시하는 반송 명령을 출력할 수가 있다. 즉, 제3 모드에서는, 로컬 대차(32)는, 제1 보관부(31A)로부터 장치 포트(101)로의 FOUP(90)의 공급 및 장치 포트(101)로부터 제2 보관부(31B)로의 FOUP(90)의 회수의 양방을 실행할 수 있게 된다. 따라서, 제3 모드는, FOUP(90)의 공급 및 FOUP(90)의 회수 중 어느 일방을 우선시킬 필요가 없이, 양자를 균형 있게 실행하고자 하는 상황에 적합한 모드라 할 수 있다.
[0049] 반송 컨트롤러(41)는, 운용 모드의 전환을 요구하는 조작을 접수하고, 해당 조작에 따라 운용 모드를 전환할 수 있게 되어 있다. 예컨대, 도 3에 나타낸 바와 같이 반송 컨트롤러(41)와 통신 가능하게 접속된 관리 단말(T)을 통해, 보관장치(30)마다의 운용 모드의 수동 전환(예컨대 제1 모드로부터 제2 모드로의 설정 변경 등)을 할 수 있게 되어 있다. 구체적으로는, 작업자는, 관리 단말(T) 상에 표시된 운용 모드의 설정 화면을 보면서, 키보드 등의 입력 디바이스를 이용한 입력 조작을 행함으로써, 보관장치(30)마다의 운용 모드의 설정을 변경할 수 있게 되어 있다. 이러한 작업자 조작이 이루어지면, 설정 모드 기억부(41a)에 기억되어 있는 보관장치(30)마다 설정된 운용 모드 중, 전환 대상인 보관장치(30)의 운용 모드가, 작업자 조작에 의해 지정된 모드(상술한 제1~제3 모드 중 어느 것)로 변경된다. 그 결과, 반송 컨트롤러(41)는, 운용 모드가 전환된 보관장치(30)에 대해, 변경 후의 운용 모드에 근거하여 반송 명령을 출력하게 된다.
[0050] 예컨대, 작업자는, 어느 반도체 처리장치(100)에 대해, 처리가 끝난 FOUP(90)가 장시간 장치 포트(101) 상에 방치되는 경향이 강해졌다고 느꼈을 경우, 해당 반도체 처리장치(100)에 대응하는 보관장치(30)의 운용 모드를 제2 모드로 설정함으로써, 장치 포트(101)로부터의 FOUP(90)의 회수 효율을 높일 수가 있다. 한편, 작업자는, 어느 반도체 처리장치(100)에 대해, 장치 포트(101)가 비어 있는 상태인 시간이 길어졌다고 느꼈을 경우, 해당 반도체 처리장치(100)에 대응하는 보관장치(30)의 운용 모드를 제1 모드로 설정함으로써, 장치 포트(101)로의 FOUP(90)의 공급 효율을 높일 수가 있다.
[0051] 또, 반송 컨트롤러(41)는, 반송 시스템(1)의 가동 상황에 관한 가동 상황 정보를 정기적으로 취득하고, 가동 상황 정보 및 미리 정해진 전환 룰에 근거하여 운용 모드를 자동으로 전환하도록 구성되어도 된다. 가동 상황 정보로서는, 예컨대, 각 보관장치(30)에 대응하는 반도체 처리장치(100)의 하나의 FOUP(90)에 대한 평균 처리 시간(사이클 시간), 각 반도체 처리장치(100)의 주변 영역에 있어서의 천정 반송차(20)의 가동 대수, 각 반도체 처리장치(100)에 있어서 장치 포트(101) 상의 처리가 끝난 FOUP(90)를 회수하는 천정 반송차(20)가 배차될 때까지의 평균 배차 시간 등을 들 수 있다. 반송 컨트롤러(41)가 이러한 가동 상황 정보를 취득하는 방법은 특별히 한정되지 않지만, 반송 컨트롤러(41)는, 예컨대 상위 컨트롤러(40)나 천정 반송차 컨트롤러(42) 등과의 사이의 통신에 의해 가동 상황 정보를 취득할 수가 있다. 이하, 가동 상황 정보와 전환 룰의 구체적인 예(제1 예~제3 예)에 대해 설명한다.
[0052] (제1 예)
반도체 처리장치(100)의 하나의 FOUP(90)에 대한 처리 시간(즉, 반도체 처리장치(100)의 장치 포트(101)에 있어서의 1개의 FOUP(90)에 대한 처리 시간)이 짧은 경우, 장치 포트(101) 상에 처리가 끝난 FOUP(90)가 발생하는 빈도가 높아진다. 이 때문에, 장치 포트(101)에 대한 미처리 FOUP(90)의 공급보다, 장치 포트(101)로부터의 처리가 끝난 FOUP(90)의 회수를 우선하는 편이 반도체 처리장치(100)의 가동률을 향상시킬 수 있을 가능성이 있다. 따라서, 이러한 경우에는, 운용 모드를 제2 모드로 설정하는 것이 바람직하다고 할 수 있다. 따라서, 반송 컨트롤러(41)는, 반도체 처리장치(100)마다, 반도체 처리장치(100)의 각 FOUP(90)에 대한 처리 시간을 정기적으로 취득하여, 해당 처리 시간의 평균(평균 처리 시간)이 미리 정해진 문턱값(d1)보다 작을 경우, 해당 반도체 처리장치(100)에 대응하는 보관장치(30)의 운용 모드를 제2 모드로 전환한다.
[0053] 한편, 반도체 처리장치(100)의 처리 시간이 긴 경우, 장치 포트(101) 상에 처리가 끝난 FOUP(90)가 발생하는 빈도가 낮아지기만 하여, 빈 포트가 생겼을 경우에 즉시 반도체 처리장치(100)에 미처리 FOUP(90)를 공급하는 것이, 반도체 처리장치(100)의 가동률을 향상시키기 위해 특히 중요해진다. 즉, 장치 포트(101)로부터의 처리가 끝난 FOUP(90)의 회수보다, 장치 포트(101)로의 미처리 FOUP(90)의 공급을 우선하는 것이 반도체 처리장치(100)의 가동률을 향상시킬 수 있을 가능성이 있다. 따라서, 이러한 경우에는, 운용 모드를 제1 모드로 설정하는 것이 바람직하다고 할 수 있다. 따라서, 반송 컨트롤러(41)는, 반도체 처리장치(100)의 평균 처리 시간이 미리 정해진 문턱값(d2; d2＞d1)보다 큰 경우, 해당 반도체 처리장치(100)에 대응하는 보관장치(30)의 운용 모드를 제1 모드로 전환한다.
[0054] 또, 반송 컨트롤러(41)는, 반도체 처리장치(100)의 평균 처리 시간이 상술한 문턱값(d1)과 문턱값(d2)의 사이에 드는 경우에는, FOUP(90)의 공급 및 회수를 균형 있게 행하도록, 해당 반도체 처리장치(100)에 대응하는 보관장치(30)의 운용 모드를 제3 모드로 전환한다.
[0055] 이상 설명한 제1 예에서는, 반도체 처리장치(100)의 평균 처리 시간이 가동 상황 정보에 해당하고, 해당 평균 처리 시간과 문턱값(d1, d2)의 비교 연산의 결과에 근거하여 제1~ 제3 모드 중 어느 것을 설정하는 상술한 룰이 전환 룰에 해당한다. 또한, 상술한 제1 예에 있어서, 평균 처리 시간 대신에, 임의로 선택된 1개의 FOUP(90)에 대한 처리 시간이 이용되어도 된다. 또, 평균 처리 시간 이외의 대표치(예컨대 처리 시간의 중앙치 등)가 이용되어도 된다.
[0056] (제2 예)
반도체 처리장치(100)의 주변 영역(즉, 해당 반도체 처리장치(100)에 대응하여 설치되는 보관장치(30)를 포함하는 소정 범위의 영역)에 있어서의 천정 반송차(20)의 가동 대수가 충분히 많은 경우, 상술한 이유에 의해, 장치 포트(101) 상의 처리가 끝난 FOUP(90)를 회수하는 천정 반송차(20)를 단시간에 배차할 수 있을 가능성이 높아진다. 이러한 경우, 장치 포트(101)로부터의 처리가 끝난 FOUP(90)의 회수보다, 장치 포트(101)로의 미처리 FOUP(90)의 공급을 우선하는 편이 반도체 처리장치(100)의 가동률을 향상할 수 있을 가능성이 있다. 따라서, 이러한 경우에는, 운용 모드를 제1 모드로 설정하는 것이 바람직하다고 할 수 있다. 이에, 반송 컨트롤러(41)는, 반도체 처리장치(100)마다, 반도체 처리장치(100)의 주변 영역의 천정 반송차(20)의 가동 대수를 정기적으로 취득하여, 해당 가동 대수가 미리 정해진 문턱값(d3)보다 큰 경우, 해당 반도체 처리장치(100)에 대응하는 보관장치(30)의 운용 모드를 제1 모드로 전환한다.
[0057] 한편, 반도체 처리장치(100)의 주변 영역에 있어서의 천정 반송차(20)의 가동 대수가 적은 경우, 장치 포트(101) 상의 처리가 끝난 FOUP(90)가 좀처럼 회수되지 않는 상황이 생길 수 있다. 이러한 경우, 장치 포트(101)로의 미처리 FOUP(90)의 공급보다, 장치 포트(101)로부터의 처리가 끝난 FOUP(90)의 회수를 우선하는 것이 반도체 처리장치(100)의 가동률을 향상시킬 수 있을 가능성이 있다. 따라서, 이러한 경우에는, 운용 모드를 제2 모드로 설정하는 것이 바람직하다고 할 수 있다. 이에, 반송 컨트롤러(41)는, 반도체 처리장치(100)의 주변 영역의 천정 반송차(20)의 가동 대수가 미리 정해진 문턱값(d4; d4＜d3)보다 작은 경우, 해당 반도체 처리장치(100)에 대응하는 보관장치(30)의 운용 모드를 제2 모드로 전환한다.
[0058] 또, 반송 컨트롤러(41)는, 반도체 처리장치(100)의 주변 영역의 천정 반송차(20)의 가동 대수가 상술한 문턱값(d3)과 문턱값(d4)의 사이에 드는 경우에는, FOUP(90)의 공급 및 회수를 균형 있게 행하도록, 해당 반도체 처리장치(100)에 대응하는 보관장치(30)의 운용 모드를 제3 모드로 전환한다.
[0059] 이상 설명한 제2 예에서는, 반도체 처리장치(100)의 주변 영역에 있어서의 천정 반송차(20)의 가동 대수가 가동 상황 정보에 해당하고, 해당 가동 대수와 문턱값(d3, d4)의 비교 연산의 결과에 근거하여 제1~ 제3 모드 중 어느 것을 설정하는 상술한 룰이 전환 룰에 해당한다.
[0060] (제3 예)
상술한 제2 예는, 반도체 처리장치(100)의 주변 영역에 있어서의 천정 반송차(20)의 가동 대수로부터 FOUP(90)를 회수하는 천정 반송차(20)를 단시간에 배차할 수 있는지 여부를 추정하고, 그 추정 결과에 근거하여 모드의 전환을 행한다. 이에 대해, 제3 예는, 장치 포트(101) 또는 제2 보관부(31B)에 재치된 처리가 끝난 FOUP(90)를 회수하는 천정 반송차(20)의 실제의 배차 시간을 측정하고, 그 평균(평균 배차 시간)에 근거하여 모드의 전환을 행한다. 또한, FOUP(90)를 회수하는 천정 반송차(20)의 배차 시간이란, FOUP(90)의 회수를 지시하는 반송 명령을 받은 천정 반송차 컨트롤러(42)가 천정 반송차(20)에 대한 반송 명령의 할당을 실시하고 나서, 해당 반송 명령이 할당된 천정 반송차(20)가 FOUP(90)를 회수하기 위해 회수 지점(From 지점)에 도착할 때까지의 시간이다. 예컨대, 반송 컨트롤러(41)는, 천정 반송차 컨트롤러(42)에 의해 측정된 배차 시간을 취득함으로써, 각 반도체 처리장치(100)에 있어서의 평균 배차 시간을 산출할 수가 있다.
[0061] 상술한 제2 예에서 기술한 바와 같이, 평균 배차 시간이 짧은 경우에는, 장치 포트(101)로부터의 처리가 끝난 FOUP(90)의 회수보다, 장치 포트(101)로의 미처리 FOUP(90)의 공급을 우선하는 편이 반도체 처리장치(100)의 가동률을 향상시킬 수 있을 가능성이 있다. 한편, 평균 배차 시간이 긴 경우에는, 장치 포트(101)에 대한 미처리 FOUP(90)의 공급보다, 장치 포트(101)로부터의 처리가 끝난 FOUP(90)의 회수를 우선하는 편이 반도체 처리장치(100)의 가동률을 향상시킬 수 있을 가능성이 있다. 이에, 반송 컨트롤러(41)는, 반도체 처리장치(100)마다, 반도체 처리장치(100)에 있어서의 평균 배차 시간을 산출하여, 해당 평균 배차 시간이 미리 정해진 문턱값(d5)보다 작은 경우, 해당 반도체 처리장치(100)에 대응하는 보관장치(30)의 운용 모드를 제1 모드로 전환한다. 한편, 반송 컨트롤러(41)는, 반도체 처리장치(100)에 있어서의 평균 배차 시간이 미리 정해진 문턱값(d6; d6＞d5)보다 큰 경우, 해당 반도체 처리장치(100)에 대응하는 보관장치(30)의 운용 모드를 제2 모드로 전환한다. 또, 반송 컨트롤러(41)는, 반도체 처리장치(100)에 있어서의 평균 배차 시간이 상술한 문턱값(d5)과 문턱값(d6)의 사이에 드는 경우에는, FOUP(90)의 공급 및 회수를 균형 있게 행하도록, 해당 반도체 처리장치(100)에 대응하는 보관장치(30)의 운용 모드를 제3 모드로 전환한다.
[0062] 이상 설명한 제3 예에서는, 반도체 처리장치(100)에 있어서의 평균 배차 시간이 가동 상황 정보에 해당하고, 해당 평균 배차 시간과 문턱값(d5, d6)의 비교 연산의 결과에 근거하여 제1~ 제3 모드 중 어느 것을 설정하는 상술한 룰이 전환 룰에 해당한다. 또한, 상술한 제3 예에 있어서, 평균 배차 시간 대신에, 임의로 선택된 처리가 끝난 FOUP(90)에 대한 배차 시간이 이용되어도 된다. 또, 평균 배차 시간 이외의 대표치(예컨대 배차 시간의 중앙치 등)가 이용되어도 된다.
[0063] 상기 제1~제3 예에 나타낸 바와 같이, 반송 컨트롤러(41)가 가동 상황 정보 및 미리 정해진 전환 룰에 근거하여 운용 모드를 자동으로 전환하는 구성에 의하면, 반송 시스템(1)의 가동 상황에 따라 자동으로 적절한 운용 모드로 전환할 수가 있다. 또, 가동 상황 정보와 미리 정해진 문턱값을 비교하는 간단하고 쉬운 처리에 의해, 각 보관장치(30)의 운용 모드를 자동적이면서 또한 적절하게 전환할 수가 있다. 또한, 제1~제3 예는 일례이며, 반송 컨트롤러(41)는, 상기 예시된 것 이외의 가동 상황 정보 및 전환 룰에 근거하여 운용 모드를 전환하여도 된다.
[0064] 이상 설명한 바와 같이, 반송 시스템(1)에서는, 반송 컨트롤러(41)는 운용 모드로서, 로컬 대차(32)에 의해 가능한 이재 동작(즉, 장치 포트(101)로부터 보관부(31)로의 이재 동작, 및, 보관부(31)로부터 장치 포트(101)로의 이재 동작) 중의 일방(一方)을 제한하는 제1 모드 및 제2 모드와, 로컬 대차(32)의 이재 동작을 제한하지 않는 제3 모드의 사이에서, 운용 모드를 전환할 수 있게 되어 있다. 반송 시스템(1)에서는, 운용 모드를 제1 모드로 설정함으로써, 장치 포트(101)로의 FOUP(90)의 공급을 우선시킬 수가 있다. 또, 운용 모드를 제2 모드로 설정함으로써, 장치 포트(101)로부터의 FOUP(90)의 회수(제2 보관부(31B)로의 퇴피)를 우선시킬 수가 있다. 또, 운용 모드를 제3 모드로 설정함으로써, FOUP(90)의 공급 및 회수를 균형 있게 실행할 수가 있다. 따라서, 반송 시스템(1)에 의하면, 반송 시스템(1)의 상황에 따라 반송 컨트롤러(41)의 운용 모드를 전환함으로써, FOUP(90)의 공급 및 회수의 우선도를 적절히 전환할 수 있어, 반도체 처리장치(100)의 가동률을 향상시킬 수 있게 된다.
[0065] 반송 시스템(1)에서는, 보관부(31)가, 천정 반송차(20)의 주행 방향(A)에 있어서 장치 포트(101)보다 상류 측에 설치되는 제1 보관부(31A)와, 천정 반송차(20)의 주행 방향(A)에 있어서 장치 포트(101)보다 하류 측에 설치되는 제2 보관부(31B)를 포함한다. 또, 반송 컨트롤러(41)는, 천정 반송차(20)에 의한 제2 보관부(31B)로의 FOUP(90)의 이재 동작을 금지하는 동시에, 로컬 대차(32)에 의한 장치 포트(101)로부터 제1 보관부(31A)로의 FOUP(90)의 이재 동작을 금지한다. 이로써, 제1~ 제3 모드 중 어느 것에 있어서든, 천정 반송차(20)의 주행 방향에 있어서의 상류 측으로부터 하류 측으로의 일 방향으로 FOUP(90)가 반송되는 구성을 실현할 수 있다. 그 결과, 각 모드에 있어서 가능한 이재 동작의 범위에서, 1대의 천정 반송차(20)에 의해, 상류 측의 포트(제1 보관부(31A) 또는 장치 포트(101))에 FOUP(90)를 공급하고, 하류 측의 포트(장치 포트(101) 또는 제2 보관부(31B))에 재치된 처리가 끝난 FOUP(90)를 회수할 수 있게 된다. 따라서, 반송 시스템(1)에 의하면, 천정 반송차(20)의 운용 효율의 향상을 도모할 수도 있다.
[0066] 반송 시스템(1)에서는, 반송 컨트롤러(41)는, 보관장치(30)마다, 운용 모드를 전환할 수 있게 되어 있다. 이로써, 보관장치(30)마다(즉, 반도체 처리장치(100)마다)의 상황에 따라서, 보관장치(30) 단위로 적절히 운용 모드를 전환할 수가 있다.
[0067] 반송 시스템(1)에서는, 반송 컨트롤러(41)는, 관리 단말(T)을 통해 작업자에 의한 운용 모드의 전환을 요구하는 조작을 접수하고, 해당 조작에 따라 운용 모드를 전환할 수 있게 되어 있다. 이로써, 작업자 등의 수동 조작에 의해, 운용 모드를 적시(適時)에 전환할 수가 있다.
[0068] 반송 시스템(1)에서는, 반송 컨트롤러(41)는, 반송 시스템(1)의 가동 상황에 관한 가동 상황 정보를 정기적으로 취득하고, 가동 상황 정보 및 미리 정해진 전환 룰에 근거하여 운용 모드를 자동으로 전환하도록 구성될 수 있다. 이로써, 반송 시스템(1)의 가동 상황에 따라 자동으로 적절한 운용 모드로 전환할 수가 있다.
[0069] 이상, 본 개시의 일 형태에 대해 설명하였으나, 본 개시는, 상기 형태로 한정되지 않는다. 예컨대, 도 1 및 도 2에 나타낸 보관장치(30)의 구성은 일례에 지나지 않으며, 보관부(31) 및 로컬 대차(32)의 배치 및 구성은 임의로 설계할 수가 있다. 또, 1개의 반도체 처리장치(100)에 설치되는 장치 포트(101)의 개수는 상기 실시형태에서 예시한 2개로 한정되지 않고, 1개인 경우나 3개 이상인 경우도 있다. 또, 1개의 보관장치(30)에 설치되는 보관부(31)의 개수도 2개로 한정되지 않으며, 1개인 경우나 3개 이상인 경우도 있다.
[0070] 또, 도 3에 나타낸 제어 구성은 일례이며, 각 컨트롤러의 제어 계통은, 반드시 도 3에 나타내는 계층 구조와 일치하지 않아도 된다. 예컨대, 보관장치(30)마다의 보관 장치 컨트롤러(43)는, 복수의 보관장치(30)에 공통되는 단일의 컨트롤러로서 구성되어도 된다. 마찬가지로, 반송 컨트롤러(41), 천정 반송차 컨트롤러(42), 및 보관 장치 컨트롤러(43)는, 단일의 컨트롤러로서 구성되어도 된다.
[0071] 또, 본 개시의 일 형태와 관련된 반송 시스템이 반송하는 피반송물은, 복수의 반도체 웨이퍼가 수용된 FOUP로 한정되지 않으며, 유리 웨이퍼, 레티클 등이 수용된 그 밖의 용기여도 된다. 또, 본 개시의 일 형태와 관련된 반송 시스템은, 반도체 제조공장으로 한정되지 않으며, 그 밖의 시설에도 적용 가능하다.
[0072] 1; 반송 시스템
10; 궤도
20; 천정 반송차
30; 보관 장치
31; 보관부
31A; 제1 보관부
31B; 제2 보관부
32; 로컬 대차(이재 기구)
41; 반송 컨트롤러
90; FOUP(피반송물)
101; 장치 포트

Claims (8)

  1. 궤도와,
    상기 궤도를 따라 주행하고, 피(被)반송물을 반송하는 복수의 반송차와,
    상기 반송차가 상기 피반송물을 주고 받을 수 있는 보관부, 및 상기 반송차가 상기 피반송물을 주고 받을 수 있는 장치 포트와 상기 보관부의 사이에서 상기 피반송물을 이재(移載)할 수 있는 이재 기구를 가지는 보관 장치와,
    설정된 운용 모드에 따라 상기 반송차 및 상기 이재 기구의 동작을 제어하는 컨트롤러를 구비하며,
    상기 컨트롤러는, 상기 이재 기구에 의한 상기 장치 포트로부터 상기 보관부로의 상기 피반송물의 이재 동작을 금지하는 제1 모드, 상기 반송차에 의한 상기 보관부로의 상기 피반송물의 이재 동작 및 상기 이재 기구에 의한 상기 보관부로부터 상기 장치 포트로의 상기 피반송물의 이재 동작을 금지하는 제2 모드, 그리고 상기 이재 기구에 의한 상기 장치 포트로부터 상기 보관부로의 상기 피반송물의 이재 동작 및 상기 보관부로부터 상기 장치 포트로의 상기 피반송물의 이재 동작의 양방(兩方)을 허가하는 제3 모드의 사이에서, 상기 운용 모드를 전환할 수 있게 되어 있는,
    반송 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 보관부가, 상기 반송차의 주행 방향에 있어서 상기 장치 포트보다 상류 측에 설치되는 제1 보관부와, 상기 반송차의 주행 방향에 있어서 상기 장치 포트보다 하류 측에 설치되는 제2 보관부를 포함하며,
    상기 컨트롤러는, 상기 반송차에 의한 상기 제2 보관부로의 상기 피반송물의 이재 동작을 금지하는 동시에, 상기 이재 기구에 의한 상기 장치 포트로부터 상기 제1 보관부로의 상기 피반송물의 이재 동작을 금지하는,
    반송 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 보관 장치마다, 상기 운용 모드를 전환할 수 있게 되어 있는,
    반송 시스템.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 운용 모드의 전환을 요구하는 조작을 접수하고, 해당 조작에 따라 상기 운용 모드를 전환할 수 있게 되어 있는,
    반송 시스템.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 반송 시스템의 가동 상황에 관한 가동 상황 정보를 정기적으로 취득하고, 상기 가동 상황 정보 및 미리 정해진 전환 룰에 근거하여 상기 운용 모드를 자동으로 전환하는,
    반송 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 가동 상황 정보로서, 상기 장치 포트에 있어서의 1개의 상기 피반송물에 대한 처리 시간을 취득하고, 해당 처리 시간과 미리 정해진 문턱값에 근거하는 비교 연산을 실행하며, 해당 비교 연산의 결과에 근거하여, 상기 장치 포트와의 사이에서 상기 이재 기구에 의한 상기 피반송물의 이재가 가능하게 되어 있는 상기 보관 장치에 대응하는 상기 운용 모드를 전환하는,
    반송 시스템.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 가동 상황 정보로서, 상기 보관 장치를 포함하는 소정 범위의 영역에 있어서의 상기 반송차의 가동 대수를 취득하고, 해당 가동 대수와 미리 정해진 문턱값에 근거하는 비교 연산을 실행하며, 해당 비교 연산의 결과에 근거하여, 상기 보관 장치에 대응하는 상기 운용 모드를 전환하는,
    반송 시스템.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 가동 상황 정보로서, 상기 보관 장치의 상기 보관부 또는 해당 보관부와의 사이에서 상기 이재 기구에 의한 상기 피반송물의 이재가 가능하게 되어 있는 상기 장치 포트로부터 처리가 끝난 상기 피반송물을 회수하는 상기 반송차의 배차 시간을 취득하고, 해당 배차 시간과 미리 정해진 문턱값에 근거하는 비교 연산을 실행하며, 해당 비교 연산의 결과에 근거하여, 상기 보관 장치에 대응하는 상기 운용 모드를 전환하는,
    반송 시스템.
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