KR102045008B1

KR102045008B1 - Plasma generating device

Info

Publication number: KR102045008B1
Application number: KR1020180007196A
Authority: KR
Inventors: 조성권; 이대훈; 김관태; 송영훈
Original assignee: 한국기계연구원
Priority date: 2018-01-19
Filing date: 2018-01-19
Publication date: 2019-11-14
Also published as: KR20190088735A

Abstract

본 발명의 목적은 회전 아크를 이용하여 대유량의 반응물을 처리하는 플라즈마 발생장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생장치는, 일측으로 반응물을 유입하여 처리 후, 다른 일측으로 배출하도록 내부통로를 형성하며 전기적으로 접지되는 접지전극, 상기 접지전극의 내부에 전기적으로 절연되어 상기 접지전극의 내면과 나란하게 배치되며 구동전압이 인가되는 전압전극, 및 상기 전압전극과의 사이에 방전갭을 형성하여 상기 접지전극에 연결되어 상기 통로로 공급되는 반응물에 플라즈마 방전을 유도하며, 상기 전압전극과 함께 상기 내부통로의 횡단면적을 설정된 범위 이하로 차지하는 점화부재를 포함한다.It is an object of the present invention to provide a plasma generating apparatus for treating a large flow rate of a reactant using a rotating arc. Plasma generator according to an embodiment of the present invention, the ground electrode which is electrically grounded by forming an internal passage so as to discharge the reactant to one side and discharge to the other side after the treatment, is electrically insulated inside the ground electrode A discharge electrode is disposed between the ground electrode and a voltage electrode to which a driving voltage is applied, and a discharge gap is formed between the ground electrode to induce plasma discharge to a reactant connected to the ground electrode and supplied to the passage; And an ignition member that occupies the cross-sectional area of the inner passage with a voltage electrode below a set range.

Description

플라즈마 발생장치 {PLASMA GENERATING DEVICE}Plasma Generator {PLASMA GENERATING DEVICE}

본 발명은 플라즈마 발생장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 회전 아크를 이용하여 대유량의 반응물을 처리하는 플라즈마 발생장치에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma generator, and more particularly, to a plasma generator for treating a large flow rate of a reactant using a rotating arc.

플라즈마 발생장치는 회전 아크를 이용하도록 외부의 접지전극, 및 접지전극의 내부에 배치되는 원뿔형(cone 형태) 고전압 전극을 포함하고 있다. 접지전극과 고전압 전극은 서로의 사이에 설정되는 통로로 처리 대상의 반응물을 경유시킨다. 플라즈마 발생장치는 접지전극과 고전압 전극의 간격이 가장 좁은 방전갭에서 플라즈마를 발생시키고, 회전 유동장을 형성시켜 접지전극의 개방측(즉 하류 방향)으로 이동시킨다.The plasma generator includes an external ground electrode and a cone-shaped high voltage electrode disposed inside the ground electrode to use a rotating arc. The ground electrode and the high voltage electrode pass through a reactant to be treated in a passage formed between each other. The plasma generator generates a plasma at a discharge gap having the narrowest gap between the ground electrode and the high voltage electrode, and forms a rotating flow field to move to the open side (ie, the downstream direction) of the ground electrode.

회전 아크의 플라즈마 발생장치에서, 고전압 전극은 원뿔형(cone)으로 형성되어, 초기 플라즈마 발생을 위한 방전갭을 형성하는 위치를 구비한다. 방전갭은 접지전극과 고전압 전극 사이에서 내부통로의 원주 방향으로 설정되며, 내부통로의 좁은 횡단면적으로 인하여, 대유량의 반응물 기체가 흐를 경우, 고전압 전극의 단부에서 높은 압력 강하를 발생시킨다.In a plasma generator of a rotating arc, the high voltage electrode is formed into a cone, and has a position to form a discharge gap for initial plasma generation. The discharge gap is set in the circumferential direction of the inner passage between the ground electrode and the high voltage electrode, and due to the narrow cross-sectional area of the inner passage, when a large flow rate of reactant gas flows, a high pressure drop is generated at the end of the high voltage electrode.

또한, 원뿔형(cone) 고전압 전극은 플라즈마 발생을 위하여 고전압 전력을 사용하므로 손상된다. 이로 인하여, 고전압 전극과 접지전극의 형상이 지속적으로 유지되지 못하게 되고, 이로 인하여, 플라즈마 발생장치의 수명이 끝나게 된다. 다시 말해서, 고전압 전극의 교체가 필요하게 된다. 즉, 고출력 플라즈마 발생 조건에서 장시간 운전이 어려워진다.In addition, cone high voltage electrodes are damaged because they use high voltage power for plasma generation. As a result, the shapes of the high voltage electrode and the ground electrode cannot be maintained continuously, thereby ending the life of the plasma generator. In other words, the high voltage electrode needs to be replaced. In other words, it becomes difficult to operate for a long time under high output plasma generation conditions.

본 발명의 목적은 회전 아크를 이용하여 대유량의 반응물을 처리하는 플라즈마 발생장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 목적은 고출력 플라즈마를 발생하는 조건 하에서도 손상된 전극을 보충하여 장시간 운전을 가능하게 하는 플라즈마 발생장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a plasma generating apparatus for treating a large flow rate of a reactant using a rotating arc. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a plasma generating apparatus that makes up for a long time operation by replenishing a damaged electrode even under a condition of generating a high output plasma.

본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생장치는, 일측으로 반응물을 유입하여 처리 후, 다른 일측으로 배출하도록 내부통로를 형성하며 전기적으로 접지되는 접지전극, 상기 접지전극의 내부에 전기적으로 절연되어 상기 접지전극의 내면과 나란하게 배치되며 구동전압이 인가되는 전압전극, 및 상기 전압전극과의 사이에 방전갭을 형성하고 상기 접지전극에 연결되어 상기 내부통로로 공급되는 반응물에 플라즈마 방전을 유도하며, 상기 전압전극과 함께 상기 내부통로의 횡단면적을 설정된 범위 이하로 차지하는 점화부재를 포함한다.Plasma generator according to an embodiment of the present invention, the ground electrode which is electrically grounded by forming an internal passage so as to discharge the reactant to one side and discharge to the other side after the treatment, is electrically insulated inside the ground electrode Disposed parallel to the inner surface of the ground electrode and forming a discharge gap between the voltage electrode to which a driving voltage is applied, and the voltage electrode and inducing plasma discharge to a reactant connected to the ground electrode and supplied to the inner passage; And an ignition member that occupies the cross-sectional area of the inner passage together with the voltage electrode in a predetermined range or less.

상기 점화부재는 상기 전압전극의 길이 방향에 대하여 양측에서 최대 거리를 유지하고, 상기 길이 방향의 양측 사이의 설정된 위치에서 최소 간격의 상기 방전갭을 형성할 수 있다.The ignition member may maintain the maximum distance from both sides with respect to the longitudinal direction of the voltage electrode, and form the discharge gap of the minimum interval at a set position between both sides of the longitudinal direction.

상기 점화부재는 상기 내부통로의 횡단면적 감소를 최소화 하기 위하여, 상기 접지전극에서 상기 전압전극을 향하여 볼록한 곡선의 고리로 형성될 수 있다.The ignition member may be formed as a ring of convex curve from the ground electrode toward the voltage electrode in order to minimize the reduction of the cross-sectional area of the inner passage.

상기 전압전극은 상기 접지전극의 중심에 배치되고, 상기 반응물을 유입하는 유입구는 상기 접지전극의 내면에 원주 방향의 접선 방향으로 연결될 수 있다.The voltage electrode may be disposed at the center of the ground electrode, and the inlet for introducing the reactant may be connected to the inner surface of the ground electrode in a tangential direction in the circumferential direction.

상기 접지전극은 원통관으로 형성되고, 상기 전압전극은 상기 원통관의 중심에 배치되고 환봉으로 형성될 수 있다.The ground electrode may be formed of a cylindrical tube, and the voltage electrode may be disposed at the center of the cylindrical tube and formed of a round bar.

상기 점화부재는 상기 환봉의 길이 방향에 대하여 양측에서 최대 거리를 유지하고, 상기 길이 방향의 양측 사이에서 설정된 위치로 가면서 점진적으로 감소되며, 상기 설정된 위치에서 최소 간격의 상기 방전갭을 형성할 수 있다.The ignition member maintains a maximum distance from both sides with respect to the longitudinal direction of the round bar, and gradually decreases while going to a set position between both sides of the longitudinal direction, and may form the discharge gap of the minimum interval at the set position. .

상기 점화부재는 상기 내부통로의 횡단면적 감소를 최소화 하기 위하여, 상기 원통관에서 상기 환봉을 향하여 볼록한 곡선의 고리로 형성될 수 있다.The ignition member may be formed as a ring of convex curve from the cylindrical tube toward the round bar in order to minimize the reduction of the cross-sectional area of the inner passage.

상기 환봉은 상기 원통관의 중심에 배치되고, 상기 반응물을 유입하는 유입구는 상기 원통관의 내면에 원주 방향의 접선 방향으로 연결될 수 있다.The round bar is disposed in the center of the cylindrical tube, the inlet for introducing the reactant may be connected in a tangential direction in the circumferential direction to the inner surface of the cylindrical tube.

상기 접지전극은 길이 방향 일측에서 개방되고 다른 일측에서 밀폐부재로 폐쇄되며, 상기 전압전극은 상기 밀폐부재에 전기 절연부재를 개재하여 관통 설치될 수 있다.The ground electrode is opened at one side in the longitudinal direction and closed by a sealing member at the other side, and the voltage electrode may be installed through the sealing member through an electrical insulating member.

본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생장치는, 상기 전기 절연부재의 외측에서 상기 전압전극에 연결되어 상기 전압전극을 길이 방향으로 이동시키는 액츄에이터를 더 포함할 수 있다.The plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention may further include an actuator connected to the voltage electrode on the outside of the electrical insulation member to move the voltage electrode in a longitudinal direction.

상기 밀폐부재는 상기 전기 절연부재의 외측에 구비되어 냉각수를 순환시키는 냉각 유로를 더 포함할 수 있다.The sealing member may further include a cooling passage provided outside the electrical insulating member to circulate the cooling water.

본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생장치는, 내부통로를 형성하고 처리 방향으로 신장 형성되는 접지전극, 상기 내부통로에 상기 처리 방향으로 이격 배치되는 복수의 전압전극들, 및 복수의 전압전극들 각각과 상기 접지전극의 마주하는 사이에 방전갭들을 각각 형성하여, 상기 접지전극에 연결되어 상기 내부통로로 공급되는 반응물에 플라즈마 방전을 유도하며, 상기 전압전극들과 함께 상기 내부통로의 횡단면적을 설정된 범위 이하로 차지하는 복수의 점화부재들을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, a plasma generating apparatus includes: a ground electrode forming an inner passage and extending in a processing direction, a plurality of voltage electrodes spaced apart in the processing direction from the inner passage, and a plurality of voltage electrodes Discharge gaps are formed between the respective ground electrodes and the ground electrodes, respectively, to induce plasma discharge to the reactant supplied to the inner passage and connected to the ground electrode, and the cross-sectional area of the inner passage is formed together with the voltage electrodes. It includes a plurality of ignition members occupying less than the set range.

반응물을 상기 전압전극들 각 측으로 유입하도록 반응물을 각각 유입하는 복수의 유입구들은, 상기 전압전극들에 대응하도록 상기 접지전극에 설정된 간격으로 배치 및 형성될 수 있다.A plurality of inlets for introducing a reactant into each of the voltage electrodes may be disposed and formed at intervals set in the ground electrode to correspond to the voltage electrodes.

상기 복수의 점화부재들은 상기 복수의 전압전극들에 각각 대응하도록 상기 접지전극의 내면에 설정된 간격으로 배치 및 형성될 수 있다.The plurality of ignition members may be arranged and formed at intervals set on the inner surface of the ground electrode to correspond to the plurality of voltage electrodes, respectively.

반응물을 유입하여 상기 전압전극들을 따라 순차적으로 경유시키도록 반응물을 유입하는 유입구는, 상기 전압전극들 중 일측 전압전극에 대응하여 하나로 형성될 수 있다.An inlet for introducing a reactant to sequentially pass through the reactants and sequentially pass along the voltage electrodes may be formed as one corresponding to one of the voltage electrodes.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예는 점화부재가 접지전극으로 형성되는 내부통로의 횡단면적을 설정된 범위 이하로 차지하면서, 접지전극에 연결되는 점화부재와 전압전극 사이에서 플라즈마 방전을 유도하므로 회전 아크를 이용하여 대유량의 반응물을 처리할 수 있게 된다.As described above, in one embodiment of the present invention, while the ignition member occupies the cross-sectional area of the inner passage formed by the ground electrode to be less than the set range, it induces plasma discharge between the ignition member and the voltage electrode connected to the ground electrode. It is possible to treat a large flow of reactant using.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 단면도이다.
도 2는 도 1의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 제3실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 단면도이다.
도 5는 도 4의 일부를 확대한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제5실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a plasma generating apparatus according to a first embodiment of the present invention.
2 is a plan view of FIG. 1.
3 is a plan view of a plasma generating apparatus according to a second embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of a plasma generator according to a third embodiment of the present invention.
5 is an enlarged cross-sectional view of a portion of FIG. 4.
6 is a cross-sectional view of a plasma generator according to a fourth embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view of a plasma generating apparatus according to a fifth embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. In the drawings, parts irrelevant to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and like reference numerals designate like elements throughout the specification.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 단면도이고, 도 2는 도 1의 평면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 제1실시예의 플라즈마 발생장치(1)는 일측으로 반응물 기체를 유입하여 내부에서 플라즈마 처리한 후, 다른 개방측으로 배출하도록 접지전극(10), 전압전극(20) 및 점화부재(30)를 포함한다.1 is a cross-sectional view of a plasma generating apparatus according to a first embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view of FIG. 1 and 2, the plasma generator 1 according to the first embodiment introduces a reactant gas to one side and performs plasma processing therein, and then discharges the ground electrode 10 and the voltage electrode 20 to discharge to the other open side. And an ignition member 30.

접지전극(10)은 반응물이 유동되는 내부통로(11)를 형성하며, 플라즈마 방전을 위하여 전기적으로 접지된다. 전압전극(20)은 접지전극(10)의 내부에 접지전극(10)의 내면과 나란하게 배치되며, 플라즈마 방전을 위하여 접지전극(10)과 전기적으로 절연된다. 전압전극(20)에는 플라즈마 방전을 위한 구동전압(HV)이 인가된다.The ground electrode 10 forms an inner passage 11 through which reactants flow and is electrically grounded for plasma discharge. The voltage electrode 20 is disposed in parallel with the inner surface of the ground electrode 10 in the ground electrode 10 and is electrically insulated from the ground electrode 10 for plasma discharge. The driving voltage HV for plasma discharge is applied to the voltage electrode 20.

점화부재(30)는 마주하는 전압전극(20)과의 사이에 방전갭(G)을 형성하여, 접지전극(10)에 연결된다. 따라서 점화부재(30)는 전기적으로 접지되어, 구동전압(HV) 인가시, 전압전극(20)과의 사이에서 내부통로(11)로 공급되는 반응물에 플라즈마 방전을 유도한다.The ignition member 30 forms a discharge gap G between the facing voltage electrode 20 and is connected to the ground electrode 10. Therefore, the ignition member 30 is electrically grounded, and when the driving voltage HV is applied, induces plasma discharge to the reactant supplied to the internal passage 11 between the voltage electrode 20.

점화부재(30)는 전압전극(20)과 함께 내부통로(11)의 횡단면적을 설정된 범위 이하로 차지한다. 즉 전압전극(20)과 점화부재(30)는 내부통로(11)에서 원활한 플라즈마 방전을 유도하고, 플라즈마의 회전 유동장을 형성하는 데 방해되지 않는 범위 내에서 내부통로(11)의 횡단면적을 최소로 차지하도록 형성된다.The ignition member 30 occupies the cross-sectional area of the inner passage 11 together with the voltage electrode 20 to be within the set range. That is, the voltage electrode 20 and the ignition member 30 induce a smooth plasma discharge in the inner passage 11 and minimize the cross-sectional area of the inner passage 11 within a range that does not prevent the formation of a rotating flow field of the plasma. Is formed to occupy.

점화부재(30)는 전압전극(20)의 길이 방향에 대하여 그 양측에서, 전압전극(20)과 최대 거리(L)를 유지하고, 길이 방향의 양측 사이의 설정된 위치에서 전압전극(20)과 최소 간격, 즉 방전갭(G)을 형성한다. 방전갭(G)에서 플라즈마 아크가 유도된다.The ignition member 30 maintains the maximum distance L with the voltage electrode 20 at both sides with respect to the longitudinal direction of the voltage electrode 20, and the voltage electrode 20 at the set position between both sides in the longitudinal direction. The minimum gap, that is, the discharge gap G is formed. In the discharge gap G, a plasma arc is induced.

점화부재(30)는 전압전극(20)과의 방전갭(G)을 형성하면서 내부통로(11)의 횡단면적 감소를 최소화 한다. 이를 위하여, 점화부재(30)는 접지전극(10)에서 전압전극(20)을 향하여 볼록한 곡선의 고리로 형성된다. The ignition member 30 minimizes the reduction of the cross-sectional area of the inner passage 11 while forming the discharge gap G with the voltage electrode 20. To this end, the ignition member 30 is formed as a ring of convex curve from the ground electrode 10 toward the voltage electrode 20.

또한, 고리의 내부 공간(31)은 내부통로(11)에서 회전하는 반응물을 통과시키므로 반응물의 회전 유동장을 방해하지 않게 된다. 즉 점화부재(30)는 전압전극(20)과 방전갭(G)을 형성하면서 유동장 면적을 크게 확보할 수 있게 한다.In addition, the inner space 31 of the ring passes through the reactants rotating in the inner passage 11 so as not to disturb the rotating flow field of the reactants. That is, the ignition member 30 can secure a large flow field area while forming the discharge electrode G with the voltage electrode 20.

전압전극(20)은 접지전극(10)의 중심에 배치되고, 반응물을 유입하는 유입구(12)는 접지전극(10)의 내면에 원주 방향의 접선 방향으로 연결된다. 따라서 유입되는 반응물은 유입구(12)에서 내부통로(11)의 접선 방향을 따라 접지전극(10)의 내면을 따라 내부통로(11)에 회전력을 제공한다. 즉 내부통로(11)에서 반응물의 회전 유동장이 효과적으로 형성될 수 있다.The voltage electrode 20 is disposed at the center of the ground electrode 10, and the inlet 12 for introducing a reactant is connected to the inner surface of the ground electrode 10 in a tangential direction in the circumferential direction. Therefore, the reactant flowing in provides the rotational force to the inner passage 11 along the inner surface of the ground electrode 10 along the tangential direction of the inner passage 11 at the inlet 12. That is, the rotating flow field of the reactant in the inner passage 11 can be effectively formed.

이를 위하여, 접지전극(10)은 길이 방향의 일측에서 개방되고 다른 일측에서 밀폐부재(40)로 폐쇄된다. 전압전극(20)은 밀폐부재(40)에 전기 절연부재(41)를 개재하여 설치된다. 유입구(12)는 밀폐부재(40) 측에서 접지전극(10)에 연결된다. 따라서 유입구(12)로 유입되는 반응물은 밀폐부재(40) 측에서 반응물의 회전 유동장을 시작하여, 방전갭(G)을 경유하여 개방 측으로 진행된다.To this end, the ground electrode 10 is opened on one side in the longitudinal direction and closed by the sealing member 40 on the other side. The voltage electrode 20 is installed on the sealing member 40 via the electrical insulating member 41. The inlet 12 is connected to the ground electrode 10 at the sealing member 40 side. Therefore, the reactant flowing into the inlet 12 starts the rotating flow field of the reactant on the sealing member 40 side, and proceeds to the open side via the discharge gap G.

보다 구체적으로 설명하면, 접지전극(10)은 원통관으로 형성되고, 전압전극(20)은 원통관의 중심에 배치되는 환봉으로 형성될 수 있다. 따라서 내부통로(11)에서 반응물의 회전 유동장이 효과적으로 형성될 수 있다.In more detail, the ground electrode 10 may be formed as a cylindrical tube, and the voltage electrode 20 may be formed as a round bar disposed at the center of the cylindrical tube. Therefore, the rotating flow field of the reactant in the inner passage 11 can be effectively formed.

점화부재(30)는 환봉의 길이 방향에 대하여 양측에서 최대 거리(L)를 유지하고, 길이 방향의 양측 사이에서 설정된 위치로 가면서 점진적으로 감소되며, 설정된 위치에서 최소 간격의 방전갭(G)을 형성한다.The ignition member 30 maintains the maximum distance (L) from both sides with respect to the longitudinal direction of the round bar, and gradually decreases while going to the set position between both sides of the longitudinal direction, and the discharge gap (G) of the minimum interval at the set position. Form.

점화부재(30)는 내부통로(11)의 횡단면적 감소를 최소화 한다. 이를 위하여, 점화부재(30)는 원통관에서 환봉을 향하여 볼록한 곡선의 고리로 형성된다. 또한 고리의 내부 공간(31)은 내부통로(11)에서 회전하는 반응물을 통과시키므로 반응물의 회전 유동장을 방해하지 않게 된다.The ignition member 30 minimizes the reduction of the cross sectional area of the inner passage 11. To this end, the ignition member 30 is formed of a convex curved ring toward the round bar in the cylindrical tube. In addition, since the inner space 31 of the ring passes through the reactants rotating in the inner passage 11, the inner space 31 of the ring does not disturb the rotating flow field of the reactants.

즉 점화부재(30)가 구비되어 전압전극(20)과의 방전갭(G)을 형성하면서 내부통로(11)에 배치됨에도 불구하고, 내부통로(11)에서 반응물의 회전 유동장의 방해가 최소화 된다.That is, although the ignition member 30 is disposed and formed in the inner passage 11 while forming the discharge gap G with the voltage electrode 20, the disturbance of the rotating flow field of the reactant in the inner passage 11 is minimized. .

환봉은 원통관의 중심에 배치되고, 반응물을 유입하는 유입구(12)는 원통관의 내주면에 원주 방향의 접선 방향으로 연결된다. 따라서 유입되는 반응물은 유입구(12)에서 내부통로(11)의 접선 방향을 따라 원통관의 내면을 따라 내부통로(11)에 회전력을 제공한다. 즉 내부통로(11)에서 반응물의 회전 유동장이 효과적으로 형성될 수 있다.The round bar is disposed in the center of the cylindrical tube, the inlet 12 for introducing the reactant is connected in the tangential direction of the circumferential direction to the inner peripheral surface of the cylindrical tube. Therefore, the reactant flowing in provides a rotational force to the inner passage 11 along the inner surface of the cylindrical tube along the tangential direction of the inner passage 11 at the inlet 12. That is, the rotating flow field of the reactant in the inner passage 11 can be effectively formed.

이와 같이, 전압전극(20)이 환봉으로 형성되고, 점화부재(30)가 전압전극(20)의 측방에서 고리로 형성되고 위치하여 플라즈마 방전을 유도한다. 따라서 전압전극(20)은 형상에 제한되지 않고 자유롭게 선택될 수 있으며, 점화부재(30)의 고리 형태는 플라즈마 발생장치(1)의 형태에 따라서 플라즈마 점화의 유도 위치 및 방전갭(G)의 조절을 용이하게 한다.As such, the voltage electrode 20 is formed of a round bar, and the ignition member 30 is formed and positioned in a ring on the side of the voltage electrode 20 to induce plasma discharge. Accordingly, the voltage electrode 20 can be freely selected without being limited to the shape, and the ring shape of the ignition member 30 is controlled according to the shape of the plasma generator 1 and the induction position of the plasma ignition and the discharge gap G. To facilitate.

또한, 전압전극(20)의 환봉 및 점화부재(30)의 고리 형태는 내부통로(11)에서 반응물 기체의 유동 단면적을 개선하므로 반응물 기체가 전압전극(20)을 경유할 때, 간격의 변화에 따른 압력 강하를 크게 줄일 수 있다. 즉 제1실시예는 대용량의 반응물의 처리에 적합하다.In addition, the annular bar of the voltage electrode 20 and the annular shape of the ignition member 30 improve the flow cross-sectional area of the reactant gas in the inner passage 11, so that when the reactant gas passes through the voltage electrode 20, The pressure drop accordingly can be greatly reduced. That is, the first embodiment is suitable for the treatment of a large amount of reactants.

도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 평면도이다. 도 3을 참조하면, 제2실시예의 플라즈마 발생장치(2)는 점화부재(230)를 내부통로(211)에 복수로 구비한다.3 is a plan view of a plasma generating apparatus according to a second embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, the plasma generator 2 of the second embodiment includes a plurality of ignition members 230 in the inner passage 211.

즉 점화부재(230)는 접지전극(10)과 전압전극(20) 사이에서 접지전극(10)의 원주 방향을 따라 이격 배치되어 접지전극(10)과 전압전극(20) 사이의 원주 방향에 대한 복수의 위치에서 플라즈마 방전을 유도한다.That is, the ignition member 230 is spaced apart along the circumferential direction of the ground electrode 10 between the ground electrode 10 and the voltage electrode 20 to the circumferential direction between the ground electrode 10 and the voltage electrode 20. Induces plasma discharge at a plurality of locations.

따라서 접지전극(10)과 전압전극(20) 사이에서 플라즈마 방전이 더 확실하게 유도될 수 있고, 회전 유동하는 반응물이 더 효과적으로 처리될 수 있다.Therefore, the plasma discharge can be induced more reliably between the ground electrode 10 and the voltage electrode 20, and the reactant flowing in rotation can be processed more effectively.

도 4는 본 발명의 제3실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 단면도이고, 도 5는 도 4의 일부를 확대한 단면도이다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 제3실시예의 플라즈마 발생장치(3)에서, 접지전극(310)은 길이 방향의 일측에서 밀폐부재(340)로 폐쇄되고, 다른 일측에서 개방된다.4 is a cross-sectional view of a plasma generator according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a portion of FIG. 4. 4 and 5, in the plasma generator 3 of the third embodiment, the ground electrode 310 is closed by the sealing member 340 on one side in the longitudinal direction and opened on the other side.

전압전극(320)은 밀폐부재(340)에 전기 절연부재(341)를 개재하여 슬라이드 가능하도록 관통 설치된다. 전기 절연부재(341)와 전압전극(320) 사이에 실링(342)이 개재된다. 실링(342)는 전압전극(320)와 전기 절연부재(341) 사이로 반응물 및 플라즈마 회전 유동장의 역류를 방지한다.The voltage electrode 320 is installed through the sealing member 340 so as to be slidable through the electrical insulating member 341. A sealing 342 is interposed between the electrical insulation member 341 and the voltage electrode 320. The sealing 342 prevents backflow of the reactant and the plasma rotating flow field between the voltage electrode 320 and the electrical insulation member 341.

전압전극(320)은 전기 절연부재(341)의 외측에서 액츄에이터(50)에 연결된다. 액츄에이터(50)는 전압전극(320)에 연결되어, 접지전극(10)의 내부에서 전압전극(320)을 길이 방향으로 슬라이딩 이동시킬 수 있다.The voltage electrode 320 is connected to the actuator 50 at the outside of the electrical insulation member 341. The actuator 50 is connected to the voltage electrode 320 to slide the voltage electrode 320 in the longitudinal direction inside the ground electrode 10.

액츄에이터(50)의 작동에 따라 전압전극(320)은 점화부재(30)와의 관계가 변경된다. 즉 고출력 플라즈마 발생시, 전압전극(320)은 고전압에 의하여 손상될 수 있는데, 점화부재(30)에 이르지 않은 여분의 길이는 손상된 부분을 보충할 수 있게 된다.According to the operation of the actuator 50, the relationship between the ignition member 30 and the voltage electrode 320 is changed. That is, when a high output plasma is generated, the voltage electrode 320 may be damaged by a high voltage, and the extra length not reaching the ignition member 30 may compensate for the damaged portion.

플라즈마 발생장치(3)에서 발생된 플라즈마는 반응물의 회전 유동장에 의하여 전압전극(320)의 단부에서 회전하며 유동장을 형성한다. 고출력 플라즈마의 경우, 전압전극(320)에 집중된 플라즈마 열에 의하여 전압전극(320)에 손상이 발생된다.The plasma generated by the plasma generator 3 rotates at the end of the voltage electrode 320 by the rotating flow field of the reactant to form a flow field. In the case of the high output plasma, damage is caused to the voltage electrode 320 by the plasma heat concentrated on the voltage electrode 320.

이때, 액츄에이터(50)의 구동에 따라 플라즈마 발생 부분의 반대편, 즉 밀폐부재(340) 측에서 접지전극(310)의 내부로 전압전극(320)이 슬라이딩 방식으로 유입된다. 전압전극(320)에서 손상된 부분이 점화부재(30)를 경유하여 개방측에 배치된다. At this time, as the actuator 50 is driven, the voltage electrode 320 flows into the ground electrode 310 from the opposite side of the plasma generating portion, that is, the sealing member 340. The damaged portion of the voltage electrode 320 is disposed on the open side via the ignition member 30.

따라서 전압전극(320)에서 점화부재(30)에 마주하는 부분에는 손상되지 않는 부분이 위치하여 마주하면서 플라즈마 방전을 유도하게 된다. 즉 전압전극(320)은 플라즈마 발생장치(3)를 정지 및 분해하지 않고도 손상된 만큼 보충되어, 플라즈마 발생장치(3)를 지속적으로 구동될 수 있게 한다.Therefore, an intact portion of the voltage electrode 320 facing the ignition member 30 is positioned to induce plasma discharge while facing each other. That is, the voltage electrode 320 is replenished as much as it is damaged without stopping and disassembling the plasma generator 3, so that the plasma generator 3 can be continuously driven.

예를 들면, 액츄에이터(50)의 후진 구동시, 전압전극(320)의 단부가 점화부재(30)에 마주하여 플라즈마 방전을 유도하여 손상된다. 이 경우, 액츄에이터(50)를 전진시키면 전압전극(320)에서 손상된 단부가 점화부재(30)를 벗어나고 손상되지 않는 부분이 점화부재(30)를 마주하여 플라즈마 방전을 새롭게 유도할 수 있다. 즉 플라즈마는 일정한 위치에서 지속적으로 형성될 수 있다.For example, in the reverse driving of the actuator 50, an end portion of the voltage electrode 320 faces the ignition member 30 and is damaged by inducing plasma discharge. In this case, when the actuator 50 is advanced, a damaged end portion of the voltage electrode 320 may leave the ignition member 30 and an undamaged portion may face the ignition member 30 to newly induce plasma discharge. That is, the plasma may be continuously formed at a predetermined position.

이와 같이, 전압전극(320)에서 여분의 길이는 전압전극(320)의 손상된 부분을 보충할 수 있다. 따라서 안정적인 플라즈마 발생 위치가 확보될 수 있고, 반응물에 대한 플라즈마 화학 반응이 안정적으로 유지될 수 있다. 전압전극(320)의 여분 길이는 플라즈마 발생장치(3)의 장시간 운전을 고려하여 설정되므로 원하는 운용 시간을 확보할 수 있게 한다.As such, the extra length of the voltage electrode 320 may compensate for the damaged portion of the voltage electrode 320. Therefore, a stable plasma generation position can be secured, and the plasma chemical reaction with respect to the reactant can be stably maintained. Since the extra length of the voltage electrode 320 is set in consideration of the long time operation of the plasma generator 3, it is possible to ensure a desired operating time.

또한, 밀폐부재(340)는 전기 절연부재(341)의 외측에 구비되어 냉각수를 순환시키는 냉각 유로(343)를 더 포함한다. 냉각수는 냉각 유로(343)에 공급되어 밀폐부재(340)와 전압전극(320) 및 이들 사이에 구비되는 실링(342)을 냉각시켜, 플라즈마 발생장치(3)의 장시간 운전을 가능케 한다.In addition, the sealing member 340 further includes a cooling passage 343 provided outside the electrical insulating member 341 to circulate the cooling water. Cooling water is supplied to the cooling flow path 343 to cool the sealing member 340 and the voltage electrode 320 and the sealing 342 provided therebetween, thereby enabling the plasma generator 3 to operate for a long time.

도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 단면도이다. 도 6을 참조하면, 제4실시예에 따른 플라즈마 발생장치(4)는 제1실시예의 플라즈마 발생장치(1)를 일방향으로 연결하여, 반응물을 분기하여 공급하는 구조로 형성된다.6 is a cross-sectional view of a plasma generator according to a fourth embodiment of the present invention. Referring to FIG. 6, the plasma generating apparatus 4 according to the fourth exemplary embodiment is formed in a structure in which the plasma generating apparatus 1 of the first exemplary embodiment is connected in one direction to branch and supply a reactant.

플라즈마 발생장치(4)에서, 접지전극(410)은 내부통로(411)를 형성하고 반응물이 유동되는 처리 방향으로 신장 형성된다. 복수의 전압전극들(20)은 내부통로(411)에 처리 방향으로 이격 배치된다.In the plasma generator 4, the ground electrode 410 forms an inner passage 411 and extends in the processing direction in which the reactants flow. The plurality of voltage electrodes 20 are spaced apart from each other in the processing direction on the inner passage 411.

일례로써, 복수의 전압전극들(20)은 밀폐부재(40) 및 전기 절연부재(441)를 개재하여 접지전극(410)에 설치된다. 전기 절연부재(441)는 내부통로(411)의 횡단면적 감소를 최소화 할 수 있게 형성된다.For example, the plurality of voltage electrodes 20 may be installed at the ground electrode 410 via the sealing member 40 and the electrical insulating member 441. The electrical insulation member 441 is formed to minimize the cross-sectional area reduction of the inner passage 411.

전압전극(20) 손상은 플라즈마 발생에 대한 소요 전력이 증가할수록 커지며, 손상 정도는 소요 전력에 지수형태로 증가한다. 이러한 특징은 곧 전압전극들(20)이 1/n로 소요 전력 부담을 분담할 경우, 고전압 손상을 크게 줄일 수 있다.The damage of the voltage electrode 20 increases as power required for plasma generation increases, and the degree of damage increases exponentially with the power required. This feature can significantly reduce high voltage damage when the voltage electrodes 20 share the required power burden at 1 / n.

예를 들면, 전압전극들(20)이 직렬로 연결될 수 있다. 일례로써, 전압전극들(20) 중 단일 전압전극(20)에서 필요한 소모 전력이 10kW이고, n개의 전압전극들(20)을 직렬로 구성하므로 각 전압전극들(20)에서 소모되는 전력을 10/n kW로 줄일 수 있다. 이 경우, 각 전압전극들(20)에서 손상되는 정도가 감소되고, 이로 인하여, 플라즈마 발생장치(4)의 장시간 운전이 가능하게 된다.For example, the voltage electrodes 20 may be connected in series. For example, since the power consumption required for the single voltage electrode 20 of the voltage electrodes 20 is 10 kW, and the n voltage electrodes 20 are configured in series, the power consumed by each voltage electrode 20 is 10. Can be reduced to / n kW. In this case, the degree of damage in each of the voltage electrodes 20 is reduced, thereby enabling the plasma generator 4 to operate for a long time.

복수의 점화부재들(30)은 복수의 전압전극들(20) 각각과 접지전극(410)의 마주하는 사이에서 방전갭들(G)을 각각 형성하여, 접지전극(410)에 연결되어 내부통로(411)로 각각 공급되는 반응물에 플라즈마 방전을 유도하며, 전압전극들(20)과 함께 내부통로(411)의 횡단면적을 설정된 범위 이하로 차지한다.The plurality of ignition members 30 form discharge gaps G between each of the plurality of voltage electrodes 20 and the ground electrode 410, respectively, and are connected to the ground electrode 410 to be connected to an internal passage. Plasma discharge is induced to the reactants respectively supplied to the 411 and occupies the cross-sectional area of the inner passage 411 together with the voltage electrodes 20 to be within the set range.

복수의 유입구들(412)은 반응물을 전압전극들(420) 각 측으로 유입하도록 반응물을 유입하고, 전압전극들(420)에 대응하도록 접지전극(410)에 설정된 간격으로 배치 및 형성된다.The plurality of inlets 412 inject the reactants to introduce the reactants into each side of the voltage electrodes 420, and are disposed and formed at intervals set at the ground electrodes 410 to correspond to the voltage electrodes 420.

점화부재들(30)은 복수의 전압전극들(420)에 각각 대응하도록 접지전극(410)의 내면에 설정된 간격으로 배치 및 형성된다.The ignition members 30 are disposed and formed at set intervals on the inner surface of the ground electrode 410 so as to correspond to the plurality of voltage electrodes 420, respectively.

따라서 복수의 유입구(412)로 유입되는 반응물 기체는 전압전극들(420)과 점화부재들(430) 사이에서 플라즈마 처리된다. 밀폐부재(40) 측에 인접한 유입구(412)로 공급되는 반응물일수록 전압전극들(420)과 점화부재들(430) 사이를 순차적으로 더 여러 번 경유하면서 반복적으로 플라즈마 처리될 수 있다.Therefore, the reactant gas flowing into the plurality of inlets 412 is plasma-processed between the voltage electrodes 420 and the ignition members 430. The reactant supplied to the inlet 412 adjacent to the sealing member 40 may be repeatedly plasma treated while passing through the voltage electrodes 420 and the ignition members 430 in sequence.

도 7은 도 1의 플라즈마 발생장치를 적용한 본 발명의 제5실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 단면도이다. 도 7을 참조하면, 제5실시예에 따른 플라즈마 발생장치(5)는 제1실시예의 플라즈마 발생장치(1)를 일방향으로 연결하여, 반응물을 단일 공급하는 구조로 형성된다.7 is a cross-sectional view of a plasma generator according to a fifth embodiment of the present invention to which the plasma generator of FIG. 1 is applied. Referring to FIG. 7, the plasma generator 5 according to the fifth embodiment is formed in a structure in which the plasma generator 1 of the first embodiment is connected in one direction to supply a single reactant.

플라즈마 발생장치(5)에서, 접지전극(510)은 내부통로(511)를 형성하고 반응물이 유동되는 처리 방향으로 신장 형성된다. 복수의 전압전극들(520)은 내부통로(511)에 처리 방향으로 이격 배치된다.In the plasma generating apparatus 5, the ground electrode 510 is formed to extend in the processing direction in which the inner passage 511 is formed and the reactants flow. The plurality of voltage electrodes 520 are spaced apart from each other in the processing direction on the inner passage 511.

유입구(512)는 반응물을 전압전극들(520)을 따라 순차적으로 경유하도록 반응물을 유입하고, 전압전극들(520) 중 일측 전압전극에 대응하여 하나로 형성된다.The inlet 512 introduces the reactants to sequentially pass the reactants along the voltage electrodes 520 and is formed as one corresponding to one of the voltage electrodes 520.

따라서 하나의 유입구(512)로 유입되는 반응물 기체는 전압전극들(520)과 점화부재들(530) 사이에서 플라즈마 처리된다. 유입구(512)로 공급되는 반응물은 전압전극들(520)과 점화부재들(530) 사이를 순차적으로 경유하면서 반복적으로 플라즈마 처리된다.Therefore, the reactant gas flowing into one inlet 512 is plasma treated between the voltage electrodes 520 and the ignition members 530. The reactant supplied to the inlet 512 is repeatedly plasma treated while sequentially passing between the voltage electrodes 520 and the ignition members 530.

한편, 도시하지 않았으나, 플라즈마 발생장치에서 접지전극은 원통으로 형성되어 원통의 일측을 유입구로 하고 다른 일측을 출구로 할 수 있다. 이 경우, 유입구 측에 스월 배인(swirl vane)이 구비된다. 스월 배인은 내부통로로 유입되는 반응물에 회전력을 제공하여, 내부통로에서 반응물의 회전 유동장을 효과적으로 형성할 수 있다.On the other hand, although not shown, in the plasma generating apparatus, the ground electrode may be formed as a cylinder so that one side of the cylinder may be an inlet and the other side may be an outlet. In this case, a swirl vane is provided on the inlet side. The swirl vane provides rotational force to the reactants flowing into the inner passage, thereby effectively forming a rotating flow field of the reactants in the inner passage.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이들에 한정되는 것이 아니고 청구범위와 발명의 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it belongs to the scope of the invention.

1, 2, 3, 4, 5: 플라즈마 발생장치 10, 310, 410, 510: 접지전극
11, 211, 411, 511: 내부통로 12, 412, 512: 유입구
20, 320, 420, 520: 전압전극 30, 230, 430, 530: 점화부재
31: 내부 공간 40, 340: 밀폐부재
41, 341, 441: 전기 절연부재 50: 액츄에이터
342: 실링 343: 냉각 유로
G: 방전갭 L: 최대 거리1, 2, 3, 4, 5: plasma generator 10, 310, 410, 510: ground electrode
11, 211, 411, 511: internal passage 12, 412, 512: inlet
20, 320, 420, 520: voltage electrodes 30, 230, 430, 530: ignition member
31: internal space 40, 340: sealing member
41, 341, 441: electrical insulation member 50: actuator
342: sealing 343: cooling flow path
G: discharge gap L: maximum distance

Claims

일측으로 반응물을 유입하여 처리 후, 다른 일측으로 배출하도록 내부통로를 형성하며 전기적으로 접지되는 접지전극:
상기 접지전극의 내부에 전기적으로 절연되어 상기 접지전극의 내면과 나란하게 배치되며 구동전압이 인가되는 전압전극: 및
상기 전압전극과의 사이에 방전갭을 형성하고 상기 접지전극에 연결되어 상기 내부통로로 공급되는 반응물에 플라즈마 방전을 유도하며, 상기 전압전극과 함께 상기 내부통로의 횡단면적을 설정된 범위 이하로 차지하는 점화부재
를 포함하며,
상기 점화부재는
상기 내부통로의 횡단면적 감소를 최소화하기 위하여,
상기 접지전극에서 상기 전압전극을 향하여 볼록한 고리로 형성되는 플라즈마 발생장치.Grounding electrode which is electrically grounded by forming an inner passage to inject reactants to one side and to discharge to the other side after treatment.
A voltage electrode electrically insulated in the ground electrode and disposed in parallel with an inner surface of the ground electrode and to which a driving voltage is applied; and
An ignition which forms a discharge gap between the voltage electrode and is connected to the ground electrode to induce plasma discharge to a reactant supplied to the inner passage, and occupies a cross sectional area of the inner passage with the voltage electrode below a predetermined range. absence
Including;
The ignition member is
In order to minimize the reduction of the cross-sectional area of the inner passage,
And a convex ring formed from the ground electrode toward the voltage electrode.

제1항에 있어서,
상기 점화부재는
상기 전압전극의 길이 방향에 대하여 양측에서 최대 거리를 유지하고,
상기 길이 방향의 양측 사이의 설정된 위치에서 최소 간격의 상기 방전갭을 형성하는
플라즈마 발생장치.The method of claim 1,
The ignition member is
Maintain a maximum distance from both sides with respect to the longitudinal direction of the voltage electrode,
Forming the discharge gap of the minimum interval at a set position between both sides of the longitudinal direction
Plasma generator.

제2항에 있어서,
상기 고리는 곡선으로 형성되는
플라즈마 발생장치.The method of claim 2,
The ring is formed in a curve
Plasma generator.

제1항에 있어서,
상기 전압전극은
상기 접지전극의 중심에 배치되고,
상기 반응물을 유입하는 유입구는
상기 접지전극의 내면에 원주 방향의 접선 방향으로 연결되는
플라즈마 발생장치.The method of claim 1,
The voltage electrode
Disposed at the center of the ground electrode,
Inlet for introducing the reactant is
It is connected to the inner surface of the ground electrode in the tangential direction of the circumferential direction
Plasma generator.

제1항에 있어서,
상기 접지전극은 원통관으로 형성되고,
상기 전압전극은 상기 원통관의 중심에 배치되고 환봉으로 형성되는
플라즈마 발생장치.The method of claim 1,
The ground electrode is formed of a cylindrical tube,
The voltage electrode is disposed in the center of the cylindrical tube and formed of a round bar
Plasma generator.

제5항에 있어서,
상기 점화부재는
상기 환봉의 길이 방향에 대하여 양측에서 최대 거리를 유지하고,
상기 길이 방향의 양측 사이에서 설정된 위치로 가면서 점진적으로 감소되며,
상기 설정된 위치에서 최소 간격의 상기 방전갭을 형성하는
플라즈마 발생장치.The method of claim 5,
The ignition member is
Maintain a maximum distance on both sides with respect to the longitudinal direction of the round bar,
It is gradually reduced while going to a set position between both sides of the longitudinal direction,
Forming the discharge gap of the minimum spacing at the set position;
Plasma generator.

제6항에 있어서,
상기 점화부재는
상기 내부통로의 횡단면적 감소를 최소화 하기 위하여,
상기 원통관에서 상기 환봉을 향하여 볼록한 곡선의 고리로 형성되는
플라즈마 발생장치.The method of claim 6,
The ignition member is
In order to minimize the reduction of the cross-sectional area of the inner passage,
In the cylindrical tube is formed of a convex curved ring toward the round bar
Plasma generator.

제5항에 있어서,
상기 환봉은
상기 원통관의 중심에 배치되고,
상기 반응물을 유입하는 유입구는
상기 원통관의 내면에 원주 방향의 접선 방향으로 연결되는
플라즈마 발생장치.The method of claim 5,
The round bar is
Disposed in the center of the cylindrical tube,
Inlet for introducing the reactant is
It is connected to the inner surface of the cylindrical tube in the tangential direction of the circumferential direction
Plasma generator.

제1항에 있어서,
상기 접지전극은
길이 방향 일측에서 개방되고 다른 일측에서 밀폐부재로 폐쇄되며,
상기 전압전극은
상기 밀폐부재에 전기 절연부재를 개재하여 관통 설치되는
플라즈마 발생장치.The method of claim 1,
The ground electrode is
Open on one side in the longitudinal direction and closed on the other side by a sealing member,
The voltage electrode
Is installed through the sealing member through the electrical insulation member
Plasma generator.

제9항에 있어서,
상기 전기 절연부재의 외측에서 상기 전압전극에 연결되어,
상기 전압전극을 길이 방향으로 이동시키는 액츄에이터
를 더 포함하는 플라즈마 발생장치.The method of claim 9,
Connected to the voltage electrode at an outer side of the electrical insulation member,
Actuator for moving the voltage electrode in the longitudinal direction
Plasma generator further comprising.

제10항에 있어서,
상기 밀폐부재는
상기 전기 절연부재의 외측에 구비되어 냉각수를 순환시키는 냉각 유로
를 더 포함하는 플라즈마 발생장치.The method of claim 10,
The sealing member
Cooling flow path provided on the outside of the electrical insulation member for circulating the cooling water
Plasma generator further comprising.

내부통로를 형성하고 처리 방향으로 신장 형성되는 접지전극:
상기 내부통로에 상기 처리 방향으로 이격 배치되는 복수의 전압전극들: 및
복수의 전압전극들 각각과 상기 접지전극의 마주하는 사이에 방전갭들을 각각 형성하여, 상기 접지전극에 연결되어 상기 내부통로로 공급되는 반응물에 플라즈마 방전을 유도하며, 상기 전압전극들과 함께 상기 내부통로의 횡단면적을 설정된 범위 이하로 차지하는 복수의 점화부재들
을 포함하며,
상기 복수의 점화부재들은
상기 내부통로의 횡단면적 감소를 최소화하기 위하여,
상기 복수의 접지전극들에서 상기 전압전극을 향하여 각각 볼록한 고리로 형성되는 플라즈마 발생장치.A ground electrode which forms an inner passage and extends in the processing direction:
A plurality of voltage electrodes spaced apart in the processing direction in the inner passage: and
Discharge gaps are formed between each of the plurality of voltage electrodes and the ground electrode, respectively, to induce a plasma discharge to a reactant connected to the ground electrode and supplied to the inner passage, and the inner portion together with the voltage electrodes. A plurality of ignition members occupying the cross sectional area of the passage below the set range
Including;
The plurality of ignition members
In order to minimize the reduction of the cross-sectional area of the inner passage,
And a convex ring formed from the plurality of ground electrodes toward the voltage electrode.

제12항에 있어서,
반응물을 상기 전압전극들 각 측으로 유입하도록 반응물을 각각 유입하는 복수의 유입구들은
상기 전압전극들에 대응하도록 상기 접지전극에 설정된 간격으로 배치 및 형성되는
플라즈마 발생장치.The method of claim 12,
A plurality of inlets for respectively introducing a reactant to introduce a reactant to each side of the voltage electrodes
It is disposed and formed at intervals set in the ground electrode to correspond to the voltage electrodes
Plasma generator.

제13항에 있어서,
상기 복수의 점화부재들은
상기 복수의 전압전극들에 각각 대응하도록 상기 접지전극의 내면에 설정된 간격으로 배치 및 형성되는
플라즈마 발생장치.The method of claim 13,
The plurality of ignition members
It is arranged and formed at an interval set on the inner surface of the ground electrode to correspond to the plurality of voltage electrodes, respectively
Plasma generator.

제12항에 있어서,
반응물을 유입하여 상기 전압전극들을 따라 순차적으로 경유시키도록 반응물을 유입하는 유입구는
상기 전압전극들 중 일측 전압전극에 대응하여 하나로 형성되는
플라즈마 발생장치.The method of claim 12,
The inlet for introducing the reactants to sequentially pass through the reactants along the voltage electrodes
One of the voltage electrodes is formed to correspond to one of the voltage electrodes
Plasma generator.