KR102038986B1 - 유리 적층체, 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널, 디스플레이 장치, 유리 적층체의 제조 방법 및 디스플레이 패널의 제조 방법 - Google Patents

유리 적층체, 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널, 디스플레이 장치, 유리 적층체의 제조 방법 및 디스플레이 패널의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

유리 적층체, 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널, 디스플레이 장치, 유리 적층체의 제조 방법 및 디스플레이 패널의 제조 방법이 제공된다. 상기 유리 적층체는 캐리어 유리 기판, 상기 캐리어 유리 기판 상에 적층되고, 주상형 결정립 구조(columnar grain structure)를 갖는 물질로 이루어지는 중간층, 및 상기 중간층 상에 적층되는 박막 유리 기판을 포함한다.

Description

유리 적층체, 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널, 디스플레이 장치, 유리 적층체의 제조 방법 및 디스플레이 패널의 제조 방법{Glass laminate, display panel on carrier glass substrate, display device, method of manufacturing glass laminate, and method for manufacturing display panel}
본 발명은 유리 적층체(glass laminate), 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널, 디스플레이 장치, 유리 적층체의 제조 방법, 및 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것이다.
구조적 및 기능적 물질로서 유리에 대한 관심은 점점 커지고 있다. 구체적으로, 박막 유리 기판은 투명하고, 열 팽창 계수가 작고, 열 저항성이 높으며, 플렉서블하다는 특징들로 인하여 플렉서블 디스플레이 장치의 기판으로 사용하고자 시도되고 있다. 그러나, 박막 유리 기판(thin glass substrate)은 플렉서블한 특징으로 인하여 단독으로 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 공정에 사용되기 어렵고, 다른 경성(rigid) 캐리어 유리 기판 상에 박막 유리 기판을 부착한 후, 플렉서블 디스플레이 장치를 형성하여야 한다.
박막 유리 기판을 캐리어 유리 기판 상에 적층하면, 두 유리 기판 사이에 버블이 생길 수 있고, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 과정 중에 높은 온도에 노출될 경우 두 유리 기판이 영구적으로 접합될 수 있다. 접합된 두 유리 기판을 분리하는 것은 불가능하다. 또한, 박막 유리 기판과 캐리어 유리 기판 간에 열 팽창 계수가 상이할 경우, 온도 변화에 노출되면 스트레스가 응축하여 박막 유리 기판에 크랙을 유발할 수 있다.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 박막 유리 기판을 캐리어 유리 기판 상에 적층하고, 또 다시 이를 손상 없이 분리할 수 있는 유리 적층체를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 상기 유리 적층체를 이용한 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널 및 디스플레이 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 상기 유리 적층체의 제조 방법, 및 디스플레이 패널의 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다양한 양상들에 따른 유리 적층체는 캐리어 유리 기판, 상기 캐리어 유리 기판 상에 적층되고, 주상형 결정립 구조(columnar grain structure)를 갖는 물질로 이루어지는 중간층 및 상기 중간층 상에 적층되는 박막 유리 기판을 포함한다.
상기 유리 적층체의 일 특징에 따르면, 상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질은 상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질이 적층된 상기 캐리어 유리 기판의 면에 수직한 방향의 결정 성장 방향을 가질 수 있다. 또한, 상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질은 응고(solidification)시에 어느 한 방향으로 성장하는 특성을 가질 수 있다.
상기 유리 적층체의 다른 특징에 따르면, 상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질은 붕소 산화물, 실리콘 질화물, 실리콘 탄화물, 및 붕소 질화물로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나의 물질을 포함할 수 있다. 또한, 상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질은 비정질 붕소 산화물일 수 있다.
상기 유리 적층체의 또 다른 특징에 따르면, 상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질은 350℃ 이상의 온도에서 연화(softening)될 수 있다.
상기 유리 적층체의 또 다른 특징에 따르면, 상기 박막 유리 기판은 100nm 내지 500nm 사이의 두께를 가질 수 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다양한 양상들에 따른 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널은 상기 유리 적층체, 상기 유리 적층체의 박막 유리 기판 상에 형성되는 디스플레이 소자층, 및 상기 디스플레이 소자층을 덮는 봉지층을 포함한다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다양한 양상들에 따른 디스플레이 장치는 상기 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널에서 캐리어 유리 기판을 제거함으로써 얻어지는 디스플레이 패널, 및 상기 디스플레이 패널을 보호하는 하우징을 포함한다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다양한 양상들에 따른 유리 적층체의 제조 방법에 따르면, 캐리어 유리 기판 상에 주상형 결정립 구조(columnar grain structure)를 갖는 물질로 이루어지는 중간층이 형성된다. 상기 중간층 상에 박막 유리 기판이 적층된다.
상기 유리 적층체의 제조 방법의 일 특징에 따르면, 상기 중간층을 형성하는 단계에서, 상기 캐리어 유리 기판 상에 액체 상태의 물질이 도포될 수 있다. 또한, 상기 액체 상태의 물질을 응고(solidification)시켜, 상기 캐리어 유리 기판 상에 상기 주상형 결정립 구조(columnar grain structure)를 갖는 물질이 형성될 수 있다.
상기 유리 적층체의 제조 방법의 다른 특징에 따르면, 상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질은 상기 액체 상태의 물질을 응고시키는 동안 상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질이 적층된 상기 캐리어 유리 기판의 면에 수직한 방향으로 성장될 수 있다.
상기 유리 적층체의 제조 방법의 다른 특징에 따르면, 상기 캐리어 유리 기판 상에 액체 상태의 물질을 도포하는 단계에서, 상기 액체 상태의 물질은 상기 캐리어 유리 기판 상에 스핀 코팅 방식으로 도포될 수 있다.
상기 유리 적층체의 제조 방법의 다른 특징에 따르면, 상기 중간층을 형성하는 단계에서, 상기 주상형 결정립 구조(columnar grain structure)를 갖는 물질은 물리적 기상 증착 또는 화학적 기상 증착에 의해 상기 캐리어 유리 기판 상에 형성될 수 있다.
상기 유리 적층체의 제조 방법의 다른 특징에 따르면, 상기 중간층 상에 박막 유리 기판을 적층하는 단계에서, 상기 주상형 결정립 구조(columnar grain structure)를 갖는 물질은 연화될 수 있다. 또한, 연화된 주상형 결정립 구조(columnar grain structure)를 갖는 물질을 갖는 상기 중간층 상에 상기 박막 유리 기판이 부착될 수 있다.
상기 유리 적층체의 제조 방법의 다른 특징에 따르면, 상기 중간층을 형성하는 단계에서, 상기 캐리어 유리 기판 상에 붕산(H3BO3)을 포함하는 붕산 용액이 도포될 수 있다. 상기 캐리어 유리 기판을 170℃의 온도에 노출시켜 상기 캐리어 유리 기판 상에 메타붕산(HBO2)이 형성될 수 있다. 상기 캐리어 유리 기판을 300℃ 이상의 온도에 노출시켜, 상기 캐리어 유리 기판 상에 붕소 산화물(B2O3)이 형성될 수 있다. 상기 캐리어 유리 기판을 450℃의 온도에 노출시켜, 상기 붕소 산화물이 용융될 수 있다. 상기 캐리어 유리 기판을 냉각시켜, 상기 캐리어 유리 기판 상에 주상형 결정립 구조를 갖는 붕소 산화물 물질이 형성될 수 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다양한 양상들에 따른 디스플레이 패널의 제조 방법에 따르면, 상기 유리 적층체의 제조 방법이 수행된다. 상기 유리 적층체의 박막 유리 기판 상에 디스플레이 소자층이 형성된다. 상기 디스플레이 소자층 상에 봉지층이 형성된다.
상기 디스플레이 패널의 제조 방법의 일 특징에 따르면, 상기 유리 적층체의 캐리어 유리 기판이 제거될 수 있다. 또한, 상기 유리 적층체의 캐리어 유리 기판을 제거하는 단계에서, 상기 유리 적층체의 주상형 결정립 구조(columnar grain structure)를 갖는 물질로 이루어지는 중간층이 경화될 수 있다. 경화된 상기 중간층으로부터 상기 디스플레이 소자층이 형성된 상기 박막 유리 기판이 분리될 수 있다.
본 발명의 유리 적층체 및 이의 제조 방법에 따르면, 캐리어 유리 기판과 박막 유리 기판 사이에 주상형 결정립 구조를 갖는 물질을 중간층으로 사용함으로써, 캐리어 유리 기판과 박막 유리 기판 사이의 영구적인 접합을 방지할 수 있으며, 열 팽창의 차이로 인한 박막 유리 기판의 크랙을 방지할 수 있다. 또한, 박막 유리 기판을 손상 없이 캐리어 유리 기판으로부터 분리할 수 있다. 또한, 캐리어 유리 기판 상에 박막 유리 기판이 부착될 때, 캐리어 유리 기판과 박막 유리 기판 사이에 버블이 발생하지 않을 수 있다.
본 발명의 디스플레이 장치용 패널 및 디스플레이 장치에 따르면, 산소와 수분의 침투 차단성이 높은 박막 유리 기판을 기판으로 채용함으로써 플렉서블한 성질을 유지하면서도 내구성 높은 장치의 제조가 가능하다.
도 1은 본 발명적 특징의 다양한 실시예들에 따른 유리 적층체를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 2는 도 1의 유리 적층체의 단면을 개념적으로 나타낸 도면이다.
도 3a 및 도 3b는 캐리어 유리 기판과 박막 유리 기판의 열 팽창 계수 차이로 인하여 캐리어 유리 기판과 박막 유리 기판의 상대적 위치가 달라지는 것을 개념적으로 나타낸 유리 적층체의 단면도들이다.
도 4는 본 발명적 특징의 다양한 실시예들에 따른 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널을 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명적 특징의 다양한 실시예들에 따라 유리 적층체를 이용하여 제조된 플렉서블 디스플레이 패널을 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 6은 본 발명적 특징의 다양한 실시예들에 따라 유리 적층체를 이용하여 제조된 플렉서블 디스플레이 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들을 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 본 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. 아래에 제시되는 실시예들은 여러 다른 형태로 변형될 수 있고, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
첨부된 도면들을 설명하면서 유사한 구성요소에 대해 유사한 참조 부호를 사용한다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확한 이해를 돕기 위하여 실제보다 확대하거나 축소하여 도시될 수 있다.
본 명세서에서 사용된 용어는 오로지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것이며, 본 발명을 한정하려는 의도로 사용된 것이 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백히 다른 경우를 제외하고는 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 나열된 특징들의 존재를 특정하는 것이지, 하나 이상의 다른 특징들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 본 명세서에서, 용어 "및/또는"은 열거된 특징들 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합들을 포함하기 위해 사용된다. 본 명세서에서, "제1", "제2" 등의 용어가 다양한 특징들을 설명하기 위하여 하나의 특징을 다른 특징과 구별하기 위한 의도로만 사용되며, 이러한 특징들은 이들 용어에 의해 한정되지 않는다. 아래의 설명에서 제1 특징이 제2 특징과 연결, 결합 또는 접속된다고 기재되는 경우, 이는 제1 특징과 제2 특징 사이에 제3 특징이 개재될 수 있다는 것을 배제하지 않는다. 또한, 제1 요소가 제2 요소 상에 배치된다고 기재될 때, 제3 요소가 제1 요소와 제2 요소 사이에 개재되는 것을 배제하지 않는다. 다만, 제1 요소가 제2 요소 상에 직접 배치된다고 기재될 때에는, 제3 요소가 제1 요소와 제2 요소 사이에 개재되는 것을 배제한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명적 특징의 다양한 실시예들에 따른 유리 적층체를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 1을 참조하면, 유리 적층체(100)는 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30), 및 이들 사이의 중간층(20)을 포함한다.
캐리어 유리 기판(10)은 박막 유리 기판(30)을 지지할 수 있는 경성(rigid) 기판일 수 있다. 박막 유리 기판(30)은 얇은 두께로 인하여 플렉서블한 특성을 가지며, 이러한 특성으로 인하여 단독으로 제조 공정에 사용되기 어렵다. 박막 유리 기판(30) 상에 반도체 소자나 디스플레이 소자를 형성하기 위해서는 캐리어 유리 기판(10) 상에 부착되어야 하며, 제조 공정이 끝난 후에는 캐리어 유리 기판(10)으로부터 박막 유리 기판(30)은 분리되어야 한다.
캐리어 유리 기판(10)은 제조 라인에서 사용될 수 있는 두께를 가질 수 있다. 캐리어 유리 기판(10)의 두께는 박막 유리 기판(30)을 지지하고, 박막 유리 기판(30)의 강도를 보강하기 위하여 박막 유리 기판(30)보다 두꺼울 수 있다.
캐리어 유리 기판(10)의 열 팽창 계수는 박막 유리 기판(30)과 실질적으로 동일할 수 있다. 이 경우, 유리 적층체(100)에 열 공정이 가해질 경우 휨이 발생하지 않을 수 있다. 그러나, 캐리어 유리 기판(10)의 열 팽창 계수는 특별히 제한되지 않으며, 박막 유리 기판(30)의 열 팽창 계수와 상이할 수도 있다.
캐리어 유리 기판(10)의 물질은 박막 유리 기판(30)의 물질과 동일할 수 있다. 이 경우, 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30)의 열 팽창 계수가 동일할 수 있다. 그러나, 캐리어 유리 기판(10)의 물질은 특별히 제한되지 않으며, 박막 유리 기판(30)의 물질과 상이할 수도 있다. 예컨대, 캐리어 유리 기판(10)은 알칼리 유리, 예컨대 알칼리 금속 산화물을 함유하는 소다석회 유리이거나, 무알칼리 유리일 수도 있다.
캐리어 유리 기판(10)의 형상, 크기 등은 특별히 제한되지 않는다.
박막 유리 기판(30)은 반도체 소자나 디스플레이 소자, 특히 플렉서블 디스플레이 소자를 형성하기 위한 베이스 기판일 수 있다. 박막 유리 기판(30)은 투명하고, 열 저항성, 구부림성을 가질 수 있으며, 작은 열 팽창 계수를 가질 수 있다.
박막 유리 기판(30)은 얇은 두께, 예컨대, 100nm 내지 500nm 사이의 두께를 가질 수 있다. 또한, 박막 유리 기판(30)은 실리콘 질화물을 포함하는 경우, 약 300nm의 두께를 가질 수 있다. 박막 유리 기판(30)은 100nm 이하의 두께를 가질 수도 있다. 박막 유리 기판(30)은 얇은 두께로 인하여 플렉서블한 특성을 가질 수 있다. 예컨대, 박막 유리 기판(30)은 구부러지거나 둘둘 감길 수도 있다.
박막 유리 기판(30)은 캐리어 유리 기판(10) 상에 부착된 후, 제조 공정을 거칠 수 있으며, 열 공정을 포함하는 제조 공정이 끝난 후 캐리어 유리 기판(10)으로부터 박리될 수 있다.
박막 유리 기판(30)의 열 팽창 계수는 특별히 제한되지 않는다. 그러나, 박막 유리 기판(30)을 포함하는 장치의 내구성 및 신뢰성을 위해 박막 유리 기판(30)의 열 팽창 계수는 낮을 수 있다. 예컨대, 박막 유리 기판(30)은 100℃의 온도 차에 0.1%이하로 변형될 수 있다.
박막 유리 기판(30)의 물질은 특별히 제한되지 않는다. 예컨대, 박막 유리 기판(10)은 알칼리 유리이거나 무알칼리 유리일 수 있다.
캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30)을 제조하는 방법은 특별히 제한되지 않는다. 예컨대, 유리 원료를 용융하여 마련한 용융 유리를 플로트법, 퓨전법, 인상법, 슬롯 다운드로우법, 리드로우법 등의 방법을 이용하여 판상으로 성형함으로써, 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30)이 제조될 수 있다.
캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30)의 표면은 연마 처리될 수 있다. 또한, 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30)의 표면은 탈이온수를 이용하여 세정될 수 있으며, 수동으로 세정되거나 자동 세정 장비를 이용하여 세정될 수도 있다.
중간층(20)은 주상형 결정립 구조를 갖는 물질(21)을 포함할 수 있다.
중간층(20)은 캐리어 유리 기판(10)에 고정될 수 있으며, 박막 유리 기판(30)에 대해서는 접착력을 갖되, 용이하게 박리될 수 있다. 즉, 중간층(20)은 박막 유리 기판(30)이 박리될 때, 박막 유리 기판(30)에 손상을 입히지 않고 용이하게 박리할 수 있을 정도의 접착력으로 접착될 수 있다. 이로 인하여, 박막 유리 기판(30)이 박리되더라도 박막 유리 기판(30)은 손상되지 않을 뿐만 아니라, 박막 유리 기판(30)에 잔류물이 부착되지도 않을 수 있다.
중간층(20)은 연화(softening) 상태와 경화(hardening) 상태를 가질 수 있다. 중간층(20)이 연화 상태인 경우, 박막 유리 기판(30)은 중간층(20)에 강한 접착력으로 접착될 수 있다. 중간층(20)이 경화 상태인 경우, 박막 유리 기판(30)은 중간층(20)에 약한 접착력으로 접착되어 용이하게 박리될 수 있다.
중간층(20)의 두께는 특별히 제한되지 않는다. 예컨대, 중간층(20)은 수십 마이크로미터 이하의 두께를 가질 수 있다.
물질(21)은 액체 상태에서 고체 상태로 응고(solidification)될 때, 어느 한 방향으로 성장하는 특성을 가질 수 있다. 예컨대, 물질(21)은 캐리어 유리 기판(10)에 수직한 방향의 결정 성장 방향을 갖는 결정 구조를 가질 수 있다. 물질(21)의 결정 구조는 어느 한 방향으로 긴 형상을 가질 수 있다. 물질(21)의 결정 구조의 길이 방향은 캐리어 유리 기판(10)에 수직한 방향일 수 있다.
물질(21)은 붕소 산화물, 실리콘 질화물(특히, 베타-실리콘 질화물(β-Si3N4), 실리콘 탄화물, 및 붕소 질화물로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나의 물질을 포함할 수 있다. 예컨대, 물질(21)은 비정질 붕소 산화물일 수 있다. 붕소 산화물을 포함하는 물질(21)은 붕산 용액으로부터 형성될 수 있다.
물질(21)은 스퍼터링 방법과 같은 물리적 기상 증착 방법에 의해 캐리어 유리 기판(10) 상에 형성될 수 있다. 다른 예에 따르면, 물질(21)은 화학적 기상 증착 방법에 의해 캐리어 유리 기판(10) 상에 형성될 수도 있다.
또한, 물질(21)은 액체 상태의 물질로부터 형성될 수 있다. 우선, 액체 상태의 물질은 예컨대 스핀 코팅 방식으로 캐리어 유리 기판(10) 상에 도포될 수 있다. 도포된 액체 상태의 물질은 응고 과정을 통해 고체 상태의 주상형 결정립 구조를 갖는 물질(21)로 변형될 수 있다. 응고 과정 동안, 물질(21)은 캐리어 유리 기판(10)에 수직한 방향으로 결정 구조를 이루면서 성장될 수 있다. 그에 따라 주상형 결정립 구조를 갖는 물질(21)을 포함하는 중간층(20)이 캐리어 유리 기판(10) 상에 형성될 수 있다.
중간층(20)은 연화될 수 있다. 예컨대, 캐리어 유리 기판(10)을 높은 온도에 노출할 경우, 중간층(20)의 물질(21)은 연화 또는 용융될 수 있다. 물질(21)은 연화될 경우, 점착성을 갖게 될 수 있으며, 박막 유리 기판(30)은 물질(21)의 점착성을 이용하여 중간층(20) 상에 접착될 수 있다. 중간층(20)은 예컨대, 냉각에 의해 경화될 수도 있으며, 중간층(20)이 경화되면, 박막 유리 기판(30)은 중간층(20)으로부터 쉽게 박리될 수 있다.
상술한 바와 같이, 물질(21)은 비정질 붕소 산화물일 수 있다. 붕소 산화물(B2O3)은 액상으로부터 성장될 경우, 주상형 구조를 가질 수 있으며, 높은 온도가 가해질 경우 완전히 용융되기 전에 연화되는 과정을 거칠 수 있다.
캐리어 유리 기판(10) 상에 붕소 산화물 층을 형성하는 것은 붕산(H3BO3)을 이용하여 달성할 수 있다. 붕산을 예컨대 상온의 물에 소정의 용해도로 용해시켜 붕산 용액이 만들어질 수 있다. 예컨대, 상기 용해도는 약 4.72 g/100㎖일 수 있다. 붕산 용액은 붕산이 물에 포화된 붕산 포화 용액일 수도 있다.
붕산 용액은 캐리어 유리 기판(10) 상에 코팅될 수 있다. 예컨대, 스핀 코팅 방식으로 붕산 용액이 캐리어 유리 기판(10) 상에 도포될 수 있다. 붕산 용액으로 코팅된 캐리어 유리 기판(10)은 높은 온도로 예컨대, 약 460℃ 이하의 온도로 가열될 수 있다.
캐리어 유리 기판(10)이 가열되면, 약 170℃ 이하의 온도에서, 붕산(H3BO3)은 다음의 화학식과 같이 메타붕산(HBO2)과 물(H2O)로 분리될 수 있다.
H3BO3 → HBO2 + H2O
또한, 약 300℃ 이상의 온도에서, 메타붕산(HBO2)은 다음의 화학식과 같이 붕소 산화물(B2O3)과 물(H2O)로 분리될 수 있다.
2 HBO2 → B2O3 + H2O
생성된 붕소 산화물(B2O3)은 약 450℃ 이하의 온도에서 용융될 수 있다. 이후, 냉각 단계에서 주상형 결정립 구조를 갖는 붕소 산화물 층이 캐리어 유리 기판(10) 상에 형성될 수 있다.
캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30) 사이에 중간층(20)이 위치함으로써, 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30)이 높은 온도, 예컨대, 약 300℃ 이상의 온도에서 영구적으로 접합하는 것을 방지할 수 있다. 뿐만 아니라, 다른 결정 구조를 갖는 무기 물질 또는 유기 물질으로 이루어진 층을 이용하여 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30)이 접착되는 경우에는 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30) 간의 열 팽창 계수의 차이로 인한 크랙이 발생할 수 있지만, 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30) 사이에 주상형 구조를 갖는 물질(21)을 포함하는 중간층(20)이 위치함으로써, 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30) 간의 열 팽창 계수가 다르더라도 스트레스가 완화될 수 있기 때문에 크랙이 발생하지 않을 수 있다.
또한, 박막 유리 기판(30)이 캐리어 유리 기판(10) 상에 적층될 때, 박막 유리 기판(30)과 캐리어 유리 기판(10) 사이에 버블이 발생할 수 있다. 버블의 양과 크기는 박막 유리 기판(30)과 캐리어 유리 기판(10)의 적층 상태 및 표면 상태에 의해 좌우될 수 있다. 본 발명에 따라, 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30) 사이에 주상형 구조를 갖는 물질(21)을 포함하는 중간층(20)이 개재됨으로써, 버블이 발생하는 것이 방지될 수 있다.
일반적으로, 유리 표면은 -OH 기들을 포함한다. 적층된 2개의 유리들이 높은 온도, 예컨대 약 300℃ 이상의 온도로 열 처리되는 경우, 상기 2개의 유리들의 표면에서 -OH 기들이 서로 반응할 수 있다. 그 결과, -OH 기들 간에 강력한 화학적 결합이 이루어지고, 상기 2개의 유리들이 영구적으로 접합될 수 있다.
뿐만 아니라, 환경 조건에 따라 유리의 성분들이 산화 또는 환원될 수 있다. 적층된 2개의 유리들에 높은 열이 가해지면, 유리 수식체(network modifier) 및 구조적 활성 요소들이 인접한 다른 유리를 향하여 확산하게 된다. 즉, 높은 온도의 열 처리는 유리의 내부에 포함된 금속 양이온들(예컨대, Mg2 +, Ca2 +, 및 Fe2 +)이 유리의 표면을 향하여 확산하게 한다. 이러한 금속 양이온들이 확산은 유리의 성질에 직접적인 영향을 미친다. 구체적으로, 금속 양이온의 이동은 반응 확산을 초래할 수 있다.
반응 확산은 상 경계들에서 진행하는 화학적 반응들과 함께 새로운 상들이 형성되고 성장되게 하는 원인일 수 있다. 결과적으로 상기 2개의 유리들은 영구적으로 접합될 수 있다.
본 발명에 따라, 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30) 사이에 중간층(20)이 개재됨으로써, 캐리어 유리 기판(10)의 표면의 -OH기들과 박막 유리 기판(30)의 표면의 -OH기들은 서로 분리되고, 높은 온도가 가해지더라도 서로 반응할 수 없다. 뿐만 아니라, 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30) 간의 반응 확산도 중간층(20)에 의해 감소되거나 제거될 수 있다.
도 2는 도 1의 유리 적층체의 단면을 개념적으로 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 캐리어 유리 기판(10), 중간층(20), 및 박막 유리 기판(30)이 적층된 유리 적층체(100)가 도시된다.
중간층(20)은 주상형 결정립 구조를 갖는 결정(22)들을 포함할 수 있다. 도 2에서 결정(22)들은 캐리어 유리 기판(10)에 수직한 방향으로 긴 타원 형상을 갖는 것으로 도시되어 있지만, 이는 개념적으로 도시한 것일 뿐이다. 실제로 결정(22)들은 타원 형상을 갖지 않을 수 있다. 결정(22)들은 육각 기둥 형상을 갖거나, 사각 기둥 형상을 가질 수 있다. 그 외에도, 결정(22)들은 원기둥 형상을 가질 수 있다. 결정(22)들의 형상은 특별히 제한되지 않는다. 다만, 결정(22)들은 주상형 결정립 구조를 가질 수 있으며, 일 방향으로 성장할 수 있다. 또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 캐리어 유리 기판(10)에 수직한 방향으로 더 긴 치수를 가질 수 있다.
도 3a 및 도 3b는 캐리어 유리 기판과 박막 유리 기판의 열 팽창 계수 차이로 인하여 캐리어 유리 기판과 박막 유리 기판의 상대적 위치가 달라지는 것을 개념적으로 나타낸 유리 적층체의 단면도들이다.
구체적으로, 캐리어 유리 기판(10)이 박막 유리 기판(30)보다 더 많이 팽창한 경우, 도 3a는 도 1의 유리 적층체(10)의 좌측 부분을 도시한 것이고, 도 3b는 도 1의 유리 적층체(10)의 우측 부분을 도시한 것일 수 있다. 반대로, 박막 유리 기판(30)이 캐리어 유리 기판(10)보다 더 많이 팽창한 경우, 도 3a는 도 1의 유리 적층체(10)의 우측 부분을 도시한 것이고, 도 3b는 도 1의 유리 적층체(10)의 좌측 부분을 도시한 것일 수 있다.
도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 결정(22)들은 주상형 결정 구조를 갖기 때문에, 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30)의 상대적 위치에 따라 좌우로 기울어질 수 있다. 그 결과, 중간층(22)은 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30)의 열 팽창 계수 차이로 인한 스트레스를 흡수할 수 있다. 따라서, 상대적으로 약한 박막 유리 기판(30)에 크랙이 발생하는 것이 방지될 수 있다.
즉, 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30)이 다르게 팽창/수축될 때, 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30) 사이에 위치한 주상형 구조를 갖는 결정(22)들은 앞뒤로 이동할 수 있다. 이러한 방식으로 각각의 유리 기판들(10, 30)은 다른 유리 기판의 움직임에 관계없이 팽창 또는 수축할 수 있다. 따라서, 열 팽창 계수의 차이로 인한 스트레스의 생성이 제거되거나 최대로 억제될 수 있다.
주상형 구조를 갖는 결정(22)들의 이동 가능성을 최대로 제공하기 위해, 높은 온도, 예컨대, 350℃ 이상의 온도에서 이러한 주상형 구조를 갖는 결정(22)들이 연화 또는 용융될 수 있다. 주상형 구조를 갖는 결정(22)들이 연화될 경우, 결정(22)들은 점착성이 생길 수 있으며, 중간층(20)은 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30)을 서로 고정시킬 수 있다. 결정(22)들이 냉각될 경우, 결정(22)들은 경화될 수 있으며, 이 경우, 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30)은 용이하게 분리될 수 있다.
도 4는 본 발명적 특징의 다양한 실시예들에 따른 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널을 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 4를 참조하면, 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30)이 적층된 유리 적층체(100)와 디스플레이 소자층(210)을 포함하는 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널(200)이 도시된다.
도 4에 도시된 유리 적층체(100)는 도 1에 도시된 유리 적층체(100)와 실질적으로 동일할 수 있으며, 여기에서 반복하여 설명하지 않는다.
캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널(200)은 유리 적층체(100)의 박막 유리 기판(30) 상에 형성된 디스플레이 소자층(210)을 포함한다. 디스플레이 소자층(210)은 액정 디스플레이(LCD), 유기 발광 디스플레이(OLED) 등과 같은 디스플레이 장치를 구성하는 박막 트랜지스터(TFT) 어레이, 발광층, 보호층, 배선층, 반도체 층, 컬러 필터, 액정, 투명 전극, 및/또는 각종 회로 패턴들을 포함한다.
예컨대, 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널(200)이 유기 발광 디스플레이(OLED) 장치를 제조하기 위한 OLED 패널일 경우, 디스플레이 소자층(210)은 박막 유리 기판(30) 상의 TFT 어레이 및 발광층을 포함할 수 있다. 상기 발광층은 유기 발광층일 수 있으며, 유기 발광층의 상부 및 하부에 화소 전극 및 대향 전극이 배치될 수 있다. 상기 화소 전극 또는 대향 전극은 TFT 어레이에 연결될 수 있다. 디스플레이 소자층(210)은 상기 TFT 어레이 및 발광층을 구동하기 위한 구동 회로 및 배선 패턴을 포함할 수 있다.
캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널(200)의 제조 방법은 유리 적층체(100)를 형성하는 공정 및 유리 적층체(100)의 박막 유리 기판(30) 상에 디스플레이 소자층(210)을 형성하는 공정을 포함할 수 있다.
유리 적층체(100)를 형성하는 공정은 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(30)을 준비하는 공정, 캐리어 유리 기판(10) 상에 중간층(20)을 형성하는 공정, 및 중간층(20) 상에 박막 유리 기판(30)을 적층하는 공정을 포함할 수 있다.
구체적으로, 유리 적층체(100)를 형성하기 위해, 캐리어 유리 기판(10) 및 박막 유리 기판(30)은 탈이온수로 세정될 수 있다. 캐리어 유리 기판(10)과 박막 유리 기판(300은 수동으로 세정되거나, 자동 세정 장비를 이용하여 세정될 수 있다.
유리 기판들(10 및 30)을 세정한 후에, 유리 기판들(10 및 30)은 약 50℃의 온도로 조절된 퍼니스를 사용하여 건조될 수 있다. 아래에서 중간층(20)은 주상형 결정립 구조를 갖는 붕소 산화물을 포함하는 것으로 가정하여 설명한다.
유리 기판들(10 및 30)이 건조될 때, 캐리어 유리 기판(10) 상에 붕산 용액이 코팅될 수 있다. 이를 위해, 붕산을 탈이온수에 포화되게 용해함으로써, 붕산 포화 용액을 제조한 후, 붕산 포화 용액을 스핀 코팅 방식을 사용하여 캐리어 기판 상에 도포할 수 있다. 붕산 용액으로 코팅된 캐리어 유리 기판(10)은 예컨대 약 1시간 동안, 예컨대 약 450℃로 조절된 퍼니스에 로딩될 수 있다. 캐리어 유리 기판(10) 상에 도피된 붕산 용액은 퍼니스 안에서 용융 상태의 붕소 산화물로 변형된다.
열 처리 후에, 용융 상태의 붕소 산화물이 형성된 캐리어 유리 기판(10)은 퍼니스에서 꺼내지고, 냉각되면 용융 상태의 붕소 산화물은 주상형 결정립 구조를 갖는 붕소 산화물로 변형되면서, 캐리어 유리 기판(10) 상에 중간층(20)이 형성된다. 그 후, 중간층(20) 상에 박막 유리 기판(30)이 적층된다.
유리 적층체(100)의 박막 유리 기판(30) 상에 디스플레이 소자층(210)을 형성하는 공정은 높은 온도, 예컨대, 350℃ 내지 450℃의 온도의 열 처리 공정을 포함할 수 있다.
디스플레이 소자층(210)은 특별히 제한되지 않으며, 예컨대, 유기 발광 디스플레이(OLED) 장치의 TFT 어레이 및 화소 전극, 홀 주입층, 홀 수송층, 유기 발광층, 전자 수송층, 전자 주입층, 대향 전극, 박막 봉지층 등을 포함하거나, 액정 디스플레이 장치의 TFT 어레이, 컬러 필터, 액정층 등을 포함할 수 있다.
예를 들어, 디스플레이 장치로서 OLED 장치를 제조하고자 하는 경우, 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널(200)의 제조 방법은 박막 유리 기판(30) 상에 TFT 어레이를 형성하는 공정, 상기 TFT 어레이에 연결된 화소 전극을 형성하는 공정, 상기 화소 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 공정, 대향 전극을 형성하는 공정, 봉지층을 형성하는 공정을 포함할 수 있다.
또한, 디스플레이 장치로서 TFT-LCD 장치를 제조하고자 하는 경우, 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널(200)의 제조 방법은 박막 유리 기판(30) 상에 TFT 어레이를 형성하는 공정, 다른 유리 기판 상에 컬러 필터를 형성하는 공정, TFT 어레이가 형성된 박막 유리 기판(30)과 상기 컬러 필터가 형성된 다른 유리 기판을 서로 접합하는 공정, 액정 주입 공정, 주입구 밀봉 공정 등을 포함할 수 있다.
도 5는 본 발명적 특징의 다양한 실시예들에 따라 유리 적층체를 이용하여 제조된 플렉서블 디스플레이 패널을 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 5를 참조하면, 플렉서블 디스플레이 패널(300)은 박막 유리 기판(30), 디스플레이 소자층(211) 및 박막 봉지층(220)을 포함할 수 있다.
박막 유리 기판(30)은 도 1의 유리 적층체(100)의 박막 유리 기판(30)과 실질적으로 동일하므로, 반복하여 설명하지 않는다.
디스플레이 소자층(211)은 도 3의 디스플레이 소자층(210)과 박막 봉지층이 빠져있다는 점을 제외하고는 도 3의 디스플레이 소자층(210)과 실질적으로 동일하므로, 박막 봉지층(220)에 대해서만 설명한다.
디스플레이 소자층(211)은 유기 발광 디스플레이 패널의 디스플레이 소자층일 수 있다. 디스플레이 소자층(211)과 박막 봉지층(220)은 도 3의 디스플레이 소자층(210)에 대응할 수 있다.
캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널(200)의 디스플레이 소자층(211)은 플렉서블한 박막 봉지층(220)에 의해 덮일 수 있다.
디스플레이 소자층(211) 내의 유기 발광층은 외부의 수분이나 산소에 의해 쉽게 열화될 수 있다. 따라서 이러한 디스플레이 소자층(211)을 보호하기 위해 디스플레이 소자층(211)를 밀봉해야 하며, 박막 봉지층(220)은 디스플레이 소자층(211)을 밀봉하는 수단으로서 복수의 무기막들 및 복수의 유기막들을 교대로 적층한 구조를 가질 수 있다. 박막 봉지층(220)은 복수의 무기막들과 적어도 하나의 유기막들이 교대로 적층된 구조를 가질 수도 있다. 박막 봉지층(220)의 최하층 또는 최상층이 유기막일 수도 있다.
무기막들은 알루미늄 산화물, 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물로 형성될 수 있으며, 무기막들 각각이 복수의 무기 절연층들의 적층 구조를 포함할 수도 있다. 무기막들은 외부의 수분 및/또는 산소 등이 유기 발광층에 침투하는 것을 억제하는 기능을 수행할 수 있다. 유기막들은 고분자 유기 화합물로 형성될 수 있다. 유기막들은 무기막들의 내부 스트레스를 완화하거나, 무기막들의 결함을 보완하고 평탄화하는 기능을 수행할 수 있다.
유리 적층체(100)의 박막 유리 기판(30) 상에 디스플레이 소자층(211) 및 박막 봉지층(220)을 형성한 후, 유리 적층체(100)의 중간층(20)의 경화될 수 있다. 그 후, 캐리어 유리 기판(10)은 디스플레이 소자층(211) 및 박막 봉지층(220)이 형성된 박막 유리 기판(30)과 분리될 수 있다. 중간층(20)은 캐리어 유리 기판(10)에 접착되어 박막 유리 기판(30)으로부터 완전히 분리될 수 있다. 박막 유리 기판(30)에는 중간층(20)의 잔류물이 남지 않을 수 있다.
디스플레이 소자층(211) 및 박막 봉지층(220)이 형성된 박막 유리 기판(30)은 플렉서블 디스플레이 패널(300)을 구성할 수 있다.
도 6은 본 발명적 특징의 다양한 실시예들에 따라 유리 적층체를 이용하여 제조된 플렉서블 디스플레이 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 6을 참조하면, 플렉서블 디스플레이 장치(400)는 도 5의 플렉서블 디스플레이 패널(500) 및 하우징(401)을 포함할 수 있다.
하우징(401)은 디스플레이 패널(500)을 보호하기 위해 디스플레이 패널(500)의 측면 및/또는 배면을 덮을 수 있다. 하우징(401)은 플렉서블한 특성을 갖는 물질로 이루어질 수 있으며, 도 6에 도시된 바와 같이 플렉서블 디스플레이 장치(400)는 감기거나 구부러질 수 있다.
본 명세서에서는 본 발명을 한정된 실시예를 중심으로 설명하였으나, 본 발명의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능하다. 또한 설명되지는 않았으나, 균등한 수단도 또한 본 발명에 그대로 결합되는 것이라 할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 캐리어 유리 기판
20: 중간층
30: 박막 유리 기판
100: 유리 적층체
200: 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널
210: 디스플레이 소자층
220: 박막 봉지층
300: 플렉서블 디스플레이 패널
400: 플렉서블 디스플레이 장치

Claims (19)

  1. 캐리어 유리 기판;
    상기 캐리어 유리 기판 상에 적층되고, 주상형 결정립 구조(columnar grain structure)를 갖는 물질로 이루어지는 중간층; 및
    상기 중간층 상에 적층되는 박막 유리 기판을 포함하는 유리 적층체(glass laminate).
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질은 상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질이 적층된 상기 캐리어 유리 기판의 면에 수직한 방향의 결정 성장 방향을 갖는 것을 특징으로 하는 유리 적층체.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질은 응고(solidification)시에 어느 한 방향으로 성장하는 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 유리 적층체.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질은 붕소 산화물, 실리콘 질화물, 실리콘 탄화물, 및 붕소 질화물로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 적층체.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질은 비정질 붕소 산화물인 것을 특징으로 하는 유리 적층체.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질은 350℃ 이상의 온도에서 연화(softening)되는 것을 특징으로 하는 유리 적층체.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 박막 유리 기판은 100nm 내지 500nm 사이의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 유리 적층체.
  8. 제1 항 내지 제7항 중 어느 한 항의 유리 적층체;
    상기 유리 적층체의 박막 유리 기판 상에 형성되는 디스플레이 소자층; 및
    상기 디스플레이 소자층을 덮는 봉지층을 포함하는 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널.
  9. 제8 항의 캐리어 유리 기판 상의 디스플레이 패널에서 캐리어 유리 기판을 제거함으로써 얻어지는 디스플레이 패널; 및
    상기 디스플레이 패널을 보호하는 하우징을 포함하는 디스플레이 장치.
  10. 캐리어 유리 기판 상에 주상형 결정립 구조(columnar grain structure)를 갖는 물질로 이루어지는 중간층을 형성하는 단계; 및
    상기 중간층 상에 박막 유리 기판을 적층하는 단계를 포함하는 유리 적층체의 제조 방법.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 중간층을 형성하는 단계는,
    상기 캐리어 유리 기판 상에 액체 상태의 물질을 도포하는 단계; 및
    상기 액체 상태의 물질을 응고(solidification)시켜, 상기 캐리어 유리 기판 상에 상기 주상형 결정립 구조(columnar grain structure)를 갖는 물질을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 적층체의 제조 방법.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질은 상기 액체 상태의 물질을 응고시키는 동안 상기 주상형 결정립 구조를 갖는 물질이 적층된 상기 캐리어 유리 기판의 면에 수직한 방향으로 성장되는 것을 특징으로 하는 유리 적층체의 제조 방법.
  13. 제11 항에 있어서,
    상기 캐리어 유리 기판 상에 액체 상태의 물질을 도포하는 단계에서, 상기 액체 상태의 물질은 상기 캐리어 유리 기판 상에 스핀 코팅 방식으로 도포되는 것을 특징으로 하는 유리 적층체의 제조 방법.
  14. 제10 항에 있어서,
    상기 중간층을 형성하는 단계에서, 상기 주상형 결정립 구조(columnar grain structure)를 갖는 물질은 물리적 기상 증착 또는 화학적 기상 증착에 의해 상기 캐리어 유리 기판 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 적층체의 제조 방법.
  15. 제10 항에 있어서,
    상기 중간층 상에 박막 유리 기판을 적층하는 단계는,
    상기 주상형 결정립 구조(columnar grain structure)를 갖는 물질을 연화시키는 단계; 및
    연화된 주상형 결정립 구조(columnar grain structure)를 갖는 물질을 갖는 상기 중간층 상에 상기 박막 유리 기판을 부착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 적층체의 제조 방법.
  16. 제10 항에 있어서,
    상기 중간층을 형성하는 단계는,
    상기 캐리어 유리 기판 상에 붕산(H3BO3)을 포함하는 붕산 용액을 도포하는 단계;
    상기 캐리어 유리 기판을 170℃의 온도에 노출시켜 상기 캐리어 유리 기판 상에 메타붕산(HBO2)을 형성하는 단계;
    상기 캐리어 유리 기판을 300℃ 이상의 온도에 노출시켜, 상기 캐리어 유리 기판 상에 붕소 산화물(B2O3)을 형성하는 단계;
    상기 캐리어 유리 기판을 450℃의 온도에 노출시켜, 상기 붕소 산화물을 용융시키는 단계; 및
    상기 캐리어 유리 기판을 냉각시켜, 상기 캐리어 유리 기판 상에 주상형 결정립 구조를 갖는 붕소 산화물 물질을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 적층체의 제조 방법.
  17. 제10 항 내지 제16항 중 어느 하나 항의 유리 적층체의 제조 방법을 수행하는 단계;
    상기 유리 적층체의 박막 유리 기판 상에 디스플레이 소자층을 형성하는 단계;
    상기 디스플레이 소자층 상에 봉지층을 형성하는 단계를 포함하는 디스플레이 패널의 제조 방법.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 유리 적층체의 캐리어 유리 기판을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 제조 방법.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 유리 적층체의 캐리어 유리 기판을 제거하는 단계는,
    상기 유리 적층체의 주상형 결정립 구조(columnar grain structure)를 갖는 물질로 이루어지는 중간층을 경화시키는 단계; 및
    경화된 상기 중간층으로부터 상기 디스플레이 소자층이 형성된 상기 박막 유리 기판을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 제조 방법.
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