KR102032413B1 - Method for preparation of graphene composites - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유기 금속 전구체를 열플라즈마로 처리하는 단계를 포함하는 그래핀 복합체의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 그래핀 복합체의 제조방법은 기존 대비 더욱 짧은 시간 안에, 간단한 공정을 통해 합성하는 방법으로, 생산 효율이 높고 경제성이 우수한 효과가 있다. 또한, 본 발명에 따른 제조방법으로 제조된 그래핀 복합체는 금속 탄화물 또는 금속 산화물 또는 금속 산화물 및 금속 탄화물이 그래핀 상에 형성되어 이차 전지의 전극 재료로서 사용될 수 있다. 나아가, 3 단계 공정으로 수행되는 본 발명의 제조방법으로 제조된 그래핀 복합체는 수 층의 그래핀 위에 수 nm의 금속 산화물 입자가 균일하게 분포되어 표면적을 극대화시킬 수 있으며, 이에 따라 이차 전지의 전극 재료로서 우수한 성능을 발휘할 수 있는 효과가 있다.The present invention provides a method for producing a graphene composite comprising the step of treating the organic metal precursor with thermal plasma. Graphene composite manufacturing method according to the present invention in a shorter time than the conventional method, by the synthesis method through a simple process, has a high production efficiency and excellent economic efficiency. In addition, the graphene composite prepared by the manufacturing method according to the present invention may be used as an electrode material of a secondary battery by forming a metal carbide or a metal oxide or a metal oxide and a metal carbide on the graphene. Furthermore, the graphene composite prepared by the manufacturing method of the present invention, which is performed in a three step process, may uniformly distribute several nm of metal oxide particles on the graphene of several layers, thereby maximizing the surface area, and thus, the electrode of the secondary battery. There is an effect which can exhibit the outstanding performance as a material.
Description
본 발명은 그래핀 복합체의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for producing a graphene composite.
금속 산화물은 구조적으로 안정하여 리튬 이온의 삽입/탈리가 거듭되어도 부피 변화가 거의 없기 때문에, 이를 전극 물질로 사용하였을 경우 더욱 안전한 배터리를 구성할 수 있다. 또한, 이 경우 높은 방전속도에서도 안정적인 충/방전이 가능하다는 이점을 가진다. Since the metal oxide is structurally stable and there is almost no volume change even after repeated insertion / desorption of lithium ions, it is possible to construct a safer battery when used as an electrode material. In addition, in this case, there is an advantage that stable charging / discharging is possible even at a high discharge rate.
또한, 그래핀은 2차원 탄소 물질로서 높은 전기 및 열전도도를 가지며 그 기계적 물성 또한 우수하기 때문에 다양한 분야에서 활용되고 있으며, 리튬 삽입/탈리가 가능하므로 배터리의 전극재로 사용할 수 있다. In addition, since graphene is a two-dimensional carbon material having high electrical and thermal conductivity and excellent mechanical properties, graphene is used in various fields, and can be used as an electrode material of a battery because lithium can be inserted / desorbed.
이러한 두 물질의 복합체는 각 물질의 이점을 동시에 지닐 뿐 아니라, 나아가 더 나은 물리적, 화학적 특성을 가질 수 있게 하므로 이러한 하이브리드 물질에 대한 연구는 최근 들어 매우 활발하게 진행되고 있다. Since the complex of these two materials not only has the advantages of each material at the same time, but also has better physical and chemical properties, research on such hybrid materials has been very active in recent years.
하지만, 기존의 합성 방법은 주로 습식법으로, 유기 용매를 사용하는 과정에서 다양한 오염 물질들이 발생할 우려가 있으며, 오랜 시간이 소요될 뿐 아니라 복잡한 공정을 필요로 한다는 데에 그 한계점이 있다. However, the existing synthetic method is mainly a wet method, there is a fear that a variety of contaminants occur in the process of using an organic solvent, it takes a long time and has a limitation in that it requires a complex process.
이에, 본 발명자들은 건식법을 사용하여 그래핀 복합체를 제조하는 방법에 대하여 연구하던 중, 플라즈마를 이용한 금속 탄화물, 금속 산화물 또는 금속 산화물 및 금속 탄화물이 담지된 그래핀의 제조방법을 개발하였으며, 기존 대비 더욱 짧은 시간 안에, 간단한 공정을 통해 그래핀 복합체를 합성할 수 있어 생산 효율을 높임으로써 경제적일 뿐만 아니라, 합성된 물질은 수 층의 그래핀 위에 수 nm의 입자가 균일하게 분포되어 표면적을 극대화시킬 수 있음을 발견하고, 본 발명을 완성하였다.Accordingly, the present inventors developed a method of preparing graphene on which metal carbide, metal oxide or metal oxide and metal carbide are supported using plasma, while studying a method of manufacturing a graphene composite using a dry method. In a shorter time, the graphene composite can be synthesized through a simple process, which is more economical by increasing production efficiency, and the synthesized material has a uniform distribution of several nm particles on several layers of graphene to maximize the surface area. It has been found that the present invention has been completed.
본 발명의 목적은 건식법을 사용하여 그래핀 복합체를 제조하는 방법을 제공하는 데 있다.An object of the present invention to provide a method for producing a graphene composite using a dry method.
본 발명의 다른 목적은 기존 대비 더욱 짧은 시간 안에, 간단한 공정을 통해 그래핀 복합체를 제조하는 방법을 제공하는 데 있다.Another object of the present invention to provide a method for producing a graphene composite through a simple process in a shorter time than the conventional.
본 발명의 또 다른 목적은 순도 높은 금속 산화물이 담지된 그래핀을 제조하는 방법을 제공하는 데 있다.Still another object of the present invention is to provide a method for producing graphene loaded with a high purity metal oxide.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은In order to achieve the above object, the present invention
유기 금속 전구체를 열플라즈마로 처리하는 단계를 포함하는 그래핀 복합체의 제조방법을 제공한다.It provides a method for producing a graphene composite comprising the step of treating the organic metal precursor with thermal plasma.
또한, 본 발명은In addition, the present invention
유기 금속 전구체를 열플라즈마로 처리하는 단계; 및Treating the organic metal precursor with thermal plasma; And
상기 단계에서 처리된 반응물을 열처리하는 단계를 포함하는 그래핀 복합체의 제조방법을 제공한다.It provides a method for producing a graphene composite comprising the step of heat-treating the reactants treated in the step.
나아가, 본 발명은Furthermore, the present invention
유기 금속 전구체를 열플라즈마로 처리하는 단계;Treating the organic metal precursor with thermal plasma;
상기 단계에서 처리된 반응물을 유전체 장벽 플라즈마로 처리하는 단계; 및Treating the reactant treated in the step with a dielectric barrier plasma; And
상기 단계에서 처리된 반응물을 열처리하는 단계를 포함하는 그래핀 복합체의 제조방법을 제공한다.It provides a method for producing a graphene composite comprising the step of heat-treating the reactants treated in the step.
본 발명에 따른 그래핀 복합체의 제조방법은 기존 대비 더욱 짧은 시간 안에, 간단한 공정을 통해 합성하는 방법으로, 생산 효율이 높고 경제성이 우수한 효과가 있다. 또한, 본 발명에 따른 제조방법으로 제조된 그래핀 복합체는 금속 탄화물 또는 금속 산화물 또는 금속 산화물 및 금속 탄화물이 그래핀 상에 형성되어 이차 전지의 전극 재료로서 사용될 수 있다. 나아가, 3 단계 공정으로 수행되는 본 발명의 제조방법으로 제조된 그래핀 복합체는 수 층의 그래핀 위에 수 nm의 금속 산화물 입자가 균일하게 분포되어 표면적을 극대화시킬 수 있으며, 이에 따라 이차 전지의 전극 재료로서 우수한 성능을 발휘할 수 있는 효과가 있다.Graphene composite manufacturing method according to the present invention in a shorter time than the conventional method, by the synthesis method through a simple process, has a high production efficiency and excellent economic efficiency. In addition, the graphene composite prepared by the manufacturing method according to the present invention may be used as an electrode material of a secondary battery by forming a metal carbide or a metal oxide or a metal oxide and a metal carbide on the graphene. Furthermore, the graphene composite prepared by the manufacturing method of the present invention, which is performed in a three step process, may uniformly distribute several nm of metal oxide particles on the graphene of several layers, thereby maximizing the surface area, and thus, the electrode of the secondary battery. There is an effect which can exhibit the outstanding performance as a material.
도 1은 열플라즈마로 처리하는 단계를 수행할 수 있는 열플라즈마 장치의 일례를 나타낸 모식도이고;
도 2는 실시예에 따른 금속 산화물이 담지된 그래핀의 제조방법의 일례를 도시한 흐름도이고;
도 3은 실시예 2의 단계에 따른 반응물을 X-선 회절 분석법(XRD)으로 분석한 그래프이고;
도 4는 실시예 3의 단계에 따른 반응물을 X-선 회절 분석법(XRD)으로 분석한 그래프이고;
도 5는 실시예 2의 단계에 따른 반응물을 투과 전자 현미경(TEM)으로 분석한 사진이고;
도 6은 실시예 3의 단계에 따른 반응물을 투과 전자 현미경(TEM)으로 분석한 사진이다.1 is a schematic diagram showing an example of a thermal plasma apparatus capable of performing the step of treating with thermal plasma;
2 is a flowchart illustrating an example of a method of manufacturing graphene loaded with a metal oxide according to an embodiment;
3 is a graph of an X-ray diffraction analysis (XRD) of the reactants according to the step of Example 2;
FIG. 4 is a graph analyzing the reactants according to the step of Example 3 by X-ray diffraction analysis (XRD); FIG.
5 is a photograph analyzed by a transmission electron microscope (TEM) of the reaction according to the step of Example 2;
6 is a photograph analyzed by a transmission electron microscope (TEM) of the reactant according to the step of Example 3.
본 발명은The present invention
유기 금속 전구체를 열플라즈마로 처리하는 단계를 포함하는 그래핀 복합체의 제조방법을 제공한다.It provides a method for producing a graphene composite comprising the step of treating the organic metal precursor with thermal plasma.
이하, 본 발명에 따른 그래핀 복합체의 제조방법에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the method for producing a graphene composite according to the present invention will be described in detail.
본 발명에서는 그래핀 복합체를 제조하는 데 있어서, 원료 물질로 유기 금속 전구체를 사용하고, 상기 원료 물질을 열플라즈마로 처리함으로써 금속 탄화물이 담지된 그래핀인 그래핀 복합체를 제조할 수 있다.In the present invention, in preparing a graphene composite, an organic metal precursor may be used as a raw material, and the raw material may be treated with thermal plasma to prepare a graphene composite, which is graphene on which metal carbide is supported.
이때, 상기 유기 금속 전구체는 유기 금속 화합물로서 이해될 수 있으며, 금속과 탄소의 화학 결합을 포함하는 화합물을 의미할 수 있다. 상기 금속은 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 탄탈륨(Ta), 루세늄(Ru), 이리듐(Ir), 하프늄(Hf), 텅스텐(W), 백금(Pt), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 금(Au), 은(Ag), 지르코늄(Zr), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo), 니오비움(Nb), 크로뮴(Cr), 아연(Zn), 주석(Sn), 인듐(In) 등일 수 있다.In this case, the organometallic precursor may be understood as an organometallic compound, and may mean a compound including a chemical bond of metal and carbon. The metal is titanium (Ti), aluminum (Al), copper (Cu), tantalum (Ta), ruthenium (Ru), iridium (Ir), hafnium (Hf), tungsten (W), platinum (Pt), nickel (Ni), palladium (Pd), gold (Au), silver (Ag), zirconium (Zr), cobalt (Co), molybdenum (Mo), niobium (Nb), chromium (Cr), zinc (Zn), Tin (Sn), indium (In), or the like.
더욱 구체적인 일례로, 상기 유기 금속 전구체는 탄소수 3개 이상을 포함하는 알킬기를 포함할 수 있고, 탄소수 3개 내지 5개인 알킬기를 포함할 수 있다. 또한, 상기 유기 금속 전구체는 티타늄이소프로폭사이드 (Titanium isoprooxide), 안티모니이소프로폭사이드(Antimony isopropoxide), 게르마늄이소프로폭사이드(Germanium isopropoxide) 및 테트라이소프로폭실란(Tetraisopropoxysilane) 등일 수 있다. 만약, 상기 유기 금속 전구체의 탄소수가 부족한 경우에는 그래핀이 원활하게 형성되지 않는 문제가 있으며, 과량인 경우에는 긴 알킬 체인에 의해 입자간 응집이 발생하는 문제가 있다.In more specific example, the organometallic precursor may include an alkyl group containing 3 or more carbon atoms, it may include an alkyl group having 3 to 5 carbon atoms. Further, the organometallic precursor may be titanium isoprooxide, antimony isopropoxide, germanium isopropoxide, tetraisopropoxysilane, or the like. If the carbon number of the organometallic precursor is insufficient, there is a problem in that graphene is not formed smoothly, and in the case of an excess, there is a problem in that aggregation between particles is caused by a long alkyl chain.
나아가, 상기 유기 금속 전구체는 기화된 상태로 열플라즈마 처리될 수 있다. 상기 유기 금속 전구체는 해당 전구체의 기화점 또는 그 이하의 온도에서 기화시켜 캐리어 가스와 함께 열플라즈마 장치로 공급되어 열플라즈마 처리될 수 있다. 상기 캐리어 가스는 불활성 가스일 수 있다.Furthermore, the organometallic precursor may be thermally plasma treated in a vaporized state. The organometallic precursor may be vaporized at a temperature of the vaporization point of the precursor or lower and supplied to a thermal plasma apparatus together with a carrier gas to be thermally plasma treated. The carrier gas may be an inert gas.
또한, 상기 열플라즈마는 도 1의 모식도로 나타낸 열플라즈마 장치에 플라즈마 발생가스를 공급하여 발생시키는 것일 수 있다. 상기 열플라즈마 장치는 비이송식 열플라즈마 장치일 수 있으며, 상기 열플라즈마 장치는 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 토치(Plasma torch, 1); 상기 플라즈마 토치의 일측으로 구비되어 장치로 전원을 공급하는 직류 전원 공급 장치(DC Power Supply,2); 원료 물질인 유기 금속 전구체가 공급되어 반응하는 반응관(Reaction tube,3) 및 반응 챔버(4); 상기 플라즈마 토치의 일측으로 구비되어 열플라즈마를 발생시키기 위한 플라즈마 발생가스를 플라즈마 토치로 공급하는 발생가스 공급장치(5); 상기 플라즈마 토치 일측에 구비되어 상기 반응관 내로 원료 물질을 공급하기 위한 캐리어 가스 공급장치(6); 및 상기 캐리어 가스 공급장치와 연결되어 원료 물질을 기화시켜 저장하는 기화기(7)를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the thermal plasma may be generated by supplying a plasma generating gas to the thermal plasma device shown in the schematic diagram of FIG. The thermal plasma device may be a non-transportable thermal plasma device, and the thermal plasma device may include a plasma torch (1) for generating a plasma; A DC power supply (2) provided as one side of the plasma torch to supply power to the apparatus; A
상기 단계를 수행할 때, 상기 기화기와 플라즈마 토치가 연결되는 라인을 가열할 수 있다. 상기 가열을 통해 기화된 전구체의 응축을 방지할 수 있다.When performing the step, it is possible to heat the line connecting the vaporizer and the plasma torch. The heating may prevent condensation of the vaporized precursor.
상기 플라즈마 발생가스는 아르곤, 질소 및 아르곤과 질소의 혼합가스 등일 수 있다. 특히, 아르곤은 8족 원소로써 비교적 적은 에너지에 의해서도 전자의 방출이 용이하며 비활성 기체로 화학반응에 거의 영향이 없으므로 열플라즈마의 발생에 가장 널리 사용되는 가스물질이다. 상기 아르곤이 발생가스로 사용될 경우, 아르곤은 다른 반응가스와 반응하지 않아 부산물을 배출하지 않으며, 약 10,000K의 초고온 플라즈마 제트류를 발생시킬 수 있다. 또한, 질소(N 2 )가 발생가스로 사용될 경우, 상기 질소와 같은 이원자 분자는 해리, 재결합, 탈리의 과정에 의해 재결합 과정에서 원료분말의 기화를 위한 열을 발생시킬 수 있다. The plasma generating gas may be argon, nitrogen, and a mixed gas of argon and nitrogen. Particularly, argon is a group 8 element, which is easy to emit electrons with relatively little energy, and is an inert gas, and thus has little effect on chemical reactions, and thus argon is the most widely used gas material for generating thermal plasma. When the argon is used as a generating gas, argon does not react with other reaction gases and thus does not emit byproducts, and may generate about 10,000 K of ultra high temperature plasma jets. In addition, when nitrogen (N 2) is used as the generating gas, the diatomic molecules such as nitrogen may generate heat for vaporization of the raw material powder in the recombination process by the process of dissociation, recombination and desorption.
또한, 상기 열플라즈마는 10 V 이상의 공급전력, 10 V 내지 100 V의 공급전력에서 발생할 수 있다. In addition, the thermal plasma may occur at a supply power of 10 V or more and a power supply of 10 V to 100 V.
상기 단계가 수행된 유기 금속 전구체는 열플라즈마의 높은 온도로 인해 분해된 뒤 빠르게 냉각되는데, 열플라즈마의 급격한 온도구배로 인해 입자의 성장이 거의 이루어지지 않으므로 수 nm 크기의 금속 탄화물이 담지된 그래핀이 제조될 수 있다.The organometallic precursor in which the step is performed is decomposed due to the high temperature of the thermal plasma, and then rapidly cooled. Since the growth of the particles is hardly achieved due to the rapid temperature gradient of the thermal plasma, graphene containing several nm size of metal carbide is supported. Can be prepared.
또한, 상기 단계를 통해 형성된 그래핀 복합체에서 금속 탄화물은 유기 금속 전구체의 금속에서 유래되는 금속의 탄화물이고, 유기 금속 전구체의 유기물로부터 그래핀이 형성될 수 있다. In addition, the metal carbide in the graphene composite formed through the above step is a carbide of a metal derived from the metal of the organic metal precursor, and graphene may be formed from the organic material of the organic metal precursor.
또한, 본 발명은In addition, the present invention
유기 금속 전구체를 열플라즈마로 처리하는 단계; 및Treating the organic metal precursor with thermal plasma; And
상기 단계에서 처리된 반응물을 열처리하는 단계를 포함하는 그래핀 복합체의 제조방법을 제공한다.It provides a method for producing a graphene composite comprising the step of heat-treating the reactants treated in the step.
이하, 본 발명에 따른 그래핀 복합체의 제조방법에 대하여 각 단계별로 상세히 설명한다.Hereinafter, the method for producing a graphene composite according to the present invention will be described in detail for each step.
먼저, 본 발명에 따른 그래핀 복합체의 제조방법에 있어서, 첫 번째 단계는 유기 금속 전구체를 열플라즈마로 처리하는 단계이다.First, in the method for producing a graphene composite according to the present invention, the first step is a step of treating the organic metal precursor with thermal plasma.
본 발명에서는 그래핀 복합체를 제조하는 데 있어서, 원료 물질로 유기 금속 전구체를 사용하고, 상기 원료 물질을 열플라즈마로 처리하여 1차적으로 반응물을 형성한다.In the present invention, in the preparation of the graphene composite, an organometallic precursor is used as a raw material, and the raw material is treated with thermal plasma to firstly form a reactant.
이때, 상기 유기 금속 전구체는 유기 금속 화합물로서 이해될 수 있으며, 금속과 탄소의 화학 결합을 포함하는 화합물을 의미할 수 있다. 상기 금속은 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 탄탈륨(Ta), 루세늄(Ru), 이리듐(Ir), 하프늄(Hf), 텅스텐(W), 백금(Pt), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 금(Au), 은(Ag), 지르코늄(Zr), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo), 니오비움(Nb), 크로뮴(Cr), 아연(Zn), 주석(Sn), 인듐(In) 등일 수 있다.In this case, the organometallic precursor may be understood as an organometallic compound, and may mean a compound including a chemical bond of metal and carbon. The metal is titanium (Ti), aluminum (Al), copper (Cu), tantalum (Ta), ruthenium (Ru), iridium (Ir), hafnium (Hf), tungsten (W), platinum (Pt), nickel (Ni), palladium (Pd), gold (Au), silver (Ag), zirconium (Zr), cobalt (Co), molybdenum (Mo), niobium (Nb), chromium (Cr), zinc (Zn), Tin (Sn), indium (In), or the like.
더욱 구체적인 일례로, 상기 유기 금속 전구체는 탄소수 3개 이상을 포함하는 알킬기를 포함할 수 있고, 탄소수 3개 내지 5개인 알킬기를 포함할 수 있다. 또한, 티타늄이소프로폭사이드 (Titanium isoprooxide), 안티모니이소프로폭사이드(Antimony isopropoxide), 게르마늄이소프로폭사이드(Germanium isopropoxide) 및 테트라이소프로폭실란(Tetraisopropoxysilane) 등일 수 있다. 만약, 상기 유기 금속 전구체의 탄소수가 부족한 경우에는 그래핀이 원활하게 형성되지 않는 문제가 있으며, 과량인 경우에는 긴 알킬 체인에 의해 입자간 응집이 발생하는 문제가 있다.In more specific example, the organometallic precursor may include an alkyl group containing 3 or more carbon atoms, it may include an alkyl group having 3 to 5 carbon atoms. It may also be titanium isoprooxide, antimony isopropoxide, germanium isopropoxide, tetraisopropoxysilane, or the like. If the carbon number of the organometallic precursor is insufficient, there is a problem in that graphene is not formed smoothly, and in the case of an excess, there is a problem in that aggregation between particles is caused by a long alkyl chain.
나아가, 상기 유기 금속 전구체는 기화된 상태로 열플라즈마 처리될 수 있다. 상기 유기 금속 전구체는 해당 전구체의 기화점 또는 그 이하의 온도에서 기화시켜 캐리어 가스와 함께 열플라즈마 장치로 공급되어 열플라즈마 처리될 수 있다. 상기 캐리어 가스는 불활성 가스일 수 있다.Furthermore, the organometallic precursor may be thermally plasma treated in a vaporized state. The organometallic precursor may be vaporized at a temperature of the vaporization point of the precursor or lower and supplied to a thermal plasma apparatus together with a carrier gas to be thermally plasma treated. The carrier gas may be an inert gas.
또한, 상기 열플라즈마는 도 1의 모식도로 나타낸 열플라즈마 장치에 플라즈마 발생가스를 공급하여 발생시키는 것일 수 있다. 상기 열플라즈마 장치는 비이송식 열플라즈마 장치일 수 있으며, 상기 열플라즈마 장치는 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 토치(Plasma torch, 1); 상기 플라즈마 토치의 일측으로 구비되어 장치로 전원을 공급하는 직류 전원 공급 장치(DC Power Supply, 2); 원료 물질인 유기 금속 전구체가 공급되어 반응하는 반응관(Reaction tube, 3) 및 반응 챔버(4); 상기 플라즈마 토치의 일측으로 구비되어 열플라즈마를 발생시키기 위한 플라즈마 발생가스를 플라즈마 토치로 공급하는 발생가스 공급장치(5); 상기 플라즈마 토치 일측에 구비되어 상기 반응관 내로 원료 물질을 공급하기 위한 캐리어 가스 공급장치(6); 및 상기 캐리어 가스 공급장치와 연결되어 원료 물질을 기화시켜 저장하는 기화기(7)를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the thermal plasma may be generated by supplying a plasma generating gas to the thermal plasma device shown in the schematic diagram of FIG. The thermal plasma device may be a non-transportable thermal plasma device, and the thermal plasma device may include a plasma torch (1) for generating a plasma; A DC power supply (2) provided as one side of the plasma torch to supply power to the apparatus; A
상기 열플라즈마 처리를 수행할 때, 상기 기화기와 플라즈마 토치가 연결되는 라인을 가열할 수 있다. 상기 가열을 통해 기화된 전구체의 응축을 방지할 수 있다.When performing the thermal plasma treatment, the line connecting the vaporizer and the plasma torch may be heated. The heating may prevent condensation of the vaporized precursor.
상기 플라즈마 발생가스는 아르곤, 질소 및 아르곤과 질소의 혼합가스 등일 수 있다. 특히, 아르곤은 8족 원소로써 비교적 적은 에너지에 의해서도 전자의 방출이 용이하며 비활성 기체로 화학반응에 거의 영향이 없으므로 열플라즈마의 발생에 가장 널리 사용되는 가스물질이다. 상기 아르곤이 발생가스로 사용될 경우, 아르곤은 다른 반응가스와 반응하지 않아 부산물을 배출하지 않으며, 약 10,000K의 초고온 플라즈마 제트류를 발생시킬 수 있다. 또한, 질소(N 2 )가 발생가스로 사용될 경우, 상기 질소와 같은 이원자 분자는 해리, 재결합, 탈리의 과정에 의해 재결합 과정에서 원료분말의 기화를 위한 열을 발생시킬 수 있다. The plasma generating gas may be argon, nitrogen, and a mixed gas of argon and nitrogen. Particularly, argon is a group 8 element, which is easy to emit electrons with relatively little energy, and is an inert gas, and thus has little effect on chemical reactions, and thus argon is the most widely used gas material for generating thermal plasma. When the argon is used as a generating gas, argon does not react with other reaction gases and thus does not emit byproducts, and may generate about 10,000 K of ultra high temperature plasma jets. In addition, when nitrogen (N 2) is used as the generating gas, the diatomic molecules such as nitrogen may generate heat for vaporization of the raw material powder in the recombination process by the process of dissociation, recombination and desorption.
또한, 상기 열플라즈마는 10 V 이상의 공급전력, 10 V 내지 100 V의 공급전력에서 발생할 수 있다. In addition, the thermal plasma may occur at a supply power of 10 V or more and a power supply of 10 V to 100 V.
상기 열플라즈마 처리가 수행된 유기 금속 전구체는 열플라즈마의 높은 온도로 인해 분해된 뒤 빠르게 냉각되는데, 열플라즈마의 급격한 온도구배로 인해 입자의 성장이 거의 이루어지지 않으므로 수 nm 크기의 금속 탄화물이 담지된 그래핀이 제조될 수 있다.The organometallic precursor subjected to the thermal plasma treatment decomposes due to the high temperature of the thermal plasma and then rapidly cools. Since the growth of the particles is almost impossible due to the rapid temperature gradient of the thermal plasma, the metal carbide of several nm size is supported. Graphene can be prepared.
다음으로, 본 발명에 따른 금속 산화물이 담지된 그래핀의 제조방법에 있어서, 두 번째 단계는 상기 첫 번째 단계에서 처리된 반응물을 열처리하는 단계이다.Next, in the method for producing a metal oxide loaded graphene according to the present invention, the second step is to heat-treat the reactants treated in the first step.
상기 두 번째 단계에서는 상기 첫 번째 단계에서 처리된 반응물을 최종적으로 금속 산화물이 담지된 그래핀으로 제조하기 위하여 열처리한다. 상기 첫 번째 단계의 열플라즈마 처리를 수행하고 난 후 유기 금속 전구체는 금속 탄화물을 포함하는 그래핀을 형성하게 되는데, 최종 열처리를 통해 금속 산화물이 담지된 그래핀 복합체를 형성할 수 있다.In the second step, the reactant treated in the first step is heat-treated in order to produce finally the graphene loaded with the metal oxide. After performing the thermal plasma treatment of the first step, the organometallic precursor forms graphene including metal carbide, and the graphene composite on which the metal oxide is supported may be formed through the final heat treatment.
이때, 상기 열처리는 250℃ 내지 500℃의 온도에서 수행될 수 있고, 300℃ 내지 450℃에서 수행될 수 있으며, 300℃ 내지 400℃에서 수행될 수 있다. 만약, 상기 열처리가 상기 온도 범위를 벗어나는 경우 단계 1에서 생성된 생성물 중 금속 탄화물의 산화가 제대로 이루어지지 않거나, 금속 산화물의 크기가 비대해지는 문제가 있다.In this case, the heat treatment may be performed at a temperature of 250 ℃ to 500 ℃, may be performed at 300 ℃ to 450 ℃, may be performed at 300 ℃ to 400 ℃. If the heat treatment is out of the temperature range, there is a problem that the oxidation of the metal carbide in the product produced in step 1 is not performed properly or the size of the metal oxide is enlarged.
또한, 상기 열처리는 30분 내지 4시간 동안 수행할 수 있으며, 1시간 내지 3시간 동안 수행할 수 있고, 90분 내지 150분 동안 수행할 수 있다.In addition, the heat treatment may be performed for 30 minutes to 4 hours, may be performed for 1 hour to 3 hours, may be performed for 90 minutes to 150 minutes.
또한, 본 발명은In addition, the present invention
유기 금속 전구체를 열플라즈마로 처리하는 단계;Treating the organic metal precursor with thermal plasma;
상기 단계에서 처리된 반응물을 유전체 장벽 플라즈마로 처리하는 단계; 및Treating the reactant treated in the step with a dielectric barrier plasma; And
상기 단계에서 처리된 반응물을 열처리하는 단계를 포함하는 그래핀 복합체의 제조방법을 제공한다.It provides a method for producing a graphene composite comprising the step of heat-treating the reactants treated in the step.
이때, 도 2에 본 발명에 따른 그래핀 복합체의 제조방법의 일례를 흐름도로 나타내었으며,At this time, an example of a method for producing a graphene composite according to the present invention is shown in FIG.
이하, 본 발명에 따른 그래핀 복합체의 제조방법에 대하여 각 단계별로 상세히 설명한다.Hereinafter, the method for producing a graphene composite according to the present invention will be described in detail for each step.
먼저, 본 발명에 따른 그래핀 복합체의 제조방법에 있어서, 첫 번째 단계는 유기 금속 전구체를 열플라즈마로 처리하는 단계이다.First, in the method for producing a graphene composite according to the present invention, the first step is a step of treating the organic metal precursor with thermal plasma.
상기 첫 번째 단계는 전술한 첫 번째 단계 및 두 번째 단계를 통해 그래핀 복합체를 제조하는 방법의 첫 번째 단계와 동일하게 수행할 수 있다.The first step may be performed in the same manner as the first step of the method for producing a graphene composite through the first and second steps described above.
다음으로, 본 발명에 따른 그래핀 복합체의 제조방법에 있어서, 두 번째 단계는 상기 첫 번째 단계에서 처리된 반응물을 유전체 장벽 플라즈마로 처리하는 단계이다. Next, in the method for producing a graphene composite according to the present invention, the second step is to treat the reactant treated in the first step with a dielectric barrier plasma.
상기 두 번째 단계는 전술한 첫 번째 단계 및 두 번째 단계를 통해 그래핀 복합체를 제조하는 방법에 추가적으로 수행되는 단계로 상세히 설명한다.The second step will be described in detail as a step performed in addition to the method for producing a graphene composite through the first step and the second step described above.
상기 단계는 그래핀 복합체의 제조에 있어서, 형성되는 금속 산화물의 순도를 더욱 높일 수 있는 방법으로서 제시된다. 상기 첫 번째 단계인 열플라즈마 처리를 수행하고 난 후, 생성된 반응물은 금속 탄화물을 포함하는 그래핀이며, 금속 탄화물 표면에 일부 불필요한 그래핀, 즉 금속 탄화물을 금속 산화물로 변형시키는데 방해되는 그래핀이 형성되어 있을 수 있다. 이때, 상기 두 번째 단계인 유전체 장벽 플라즈마 처리를 수행함으로써 불필요한 그래핀을 제거할 수 있다.The step is presented as a method to further increase the purity of the metal oxide formed in the production of the graphene composite. After performing the first step, the thermal plasma treatment, the resulting reactants are graphene containing metal carbides, and some of the unwanted graphene on the surface of the metal carbides, i.e., graphenes that interfere with the transformation of metal carbides into metal oxides, It may be formed. In this case, unnecessary graphene may be removed by performing the dielectric barrier plasma treatment as the second step.
구체적으로, 상기 유전체 장벽 플라즈마는, 유전체 반응관; 상기 유전체 반응관 내부에 위치하고, 금속 선 외주면에 절연체 층이 형성된 제1 전극; 및 상기 유전체 반응관 외부에 감겨있으며, 금속 선 외주면에 절연체 층이 형성된 제2 전극을 포함하는 유전체 장벽 플라즈마 발생 장치의 제1 전극 및 제2 전극에 전압을 인가하여 발생시킬 수 있다.Specifically, the dielectric barrier plasma may include a dielectric reaction tube; A first electrode disposed inside the dielectric reaction tube and having an insulator layer formed on an outer circumferential surface of the metal wire; And a second electrode wound around the outside of the dielectric reaction tube and having an insulator layer formed on an outer circumferential surface of the metal line, by applying a voltage to the first electrode and the second electrode of the dielectric barrier plasma generator.
이때, 상기 제1 전극 및 제2 전극에 인가하는 전압은 5 kV 내지 30 kV일 수 있으며, 7 kV 내지 15 kV일 수 있다.In this case, the voltage applied to the first electrode and the second electrode may be 5 kV to 30 kV, and may be 7 kV to 15 kV.
또한, 상기 유전체 장벽 플라즈마로 처리하는 시간은 10초 내지 30분일 수 있으며, 30초 내지 10분일 수 있고, 1분 내지 5분일 수 있다.In addition, the treatment time with the dielectric barrier plasma may be 10 seconds to 30 minutes, 30 seconds to 10 minutes, and 1 minute to 5 minutes.
나아가, 상기 유전체 장벽 플라즈마 처리는 아르곤, 질소 및 산소로 등의 기체 분위기에서 수행될 수 있다.Further, the dielectric barrier plasma treatment may be performed in a gas atmosphere such as argon, nitrogen, and oxygen furnaces.
다음으로, 본 발명에 따른 그래핀 복합체의 제조방법에 있어서, 세 번째 단계는 상기 두 번째 단계인 유전체 장벽 플라즈마 처리에서 처리된 반응물을 열처리하는 단계이다.Next, in the method for producing a graphene composite according to the present invention, the third step is to heat-treat the reactant treated in the second step, the dielectric barrier plasma treatment.
상기 세 번째 단계는 전술한 첫 번째 단계 및 두 번째 단계를 통해 그래핀 복합체를 제조하는 방법의 두 번째 단계와 동일하게 수행할 수 있다.The third step may be performed in the same manner as the second step of the method for producing a graphene composite through the first step and the second step described above.
나아가, 본 발명은 Furthermore, the present invention
상기 제조방법으로 제조된 금속 탄화물, 금속 탄화물 또는 금속 산화물 및 금속 산화물이 담지된 그래핀을 제공한다.It provides a metal carbide, metal carbide or metal oxide prepared by the above production method and graphene on which the metal oxide is supported.
본 발명에 따른 제조방법으로 제조된 그래핀 복합체는 수 층의 그래핀 상에 수 nm의 금속 산화물 입자가 균일하게 분포하고 있다. 이에 따라, 이차 전지의 전극 물질로서 활용될 수 있고, 우수한 성능을 발휘할 수 있다.In the graphene composite prepared by the manufacturing method according to the present invention, several nm of metal oxide particles are uniformly distributed on the graphene of several layers. Accordingly, it can be utilized as an electrode material of a secondary battery and can exhibit excellent performance.
이하, 하기 실시예 및 실험예에 의하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by the following Examples and Experimental Examples.
단, 하기 실시예 및 실험예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐 발명의 범위가 실시예 및 실험예에 의해 한정되는 것은 아니다.However, the following Examples and Experimental Examples are only illustrative of the present invention and the scope of the invention is not limited by the Examples and Experimental Examples.
<실시예 1><Example 1>
기 금속 전구체로, 티타늄 이소프로폭사이드를 사용하였으며, 이 전구체를 200℃의 온도에서 기화시켜 열플라즈마 반응기 안으로 주입하며, 이때, 캐리어 가스로는 아르곤을 분당 1 L의 유속으로 공급하였다.Titanium isopropoxide was used as the base metal precursor, and the precursor was vaporized at a temperature of 200 ° C. and injected into a thermal plasma reactor, in which argon was supplied at a flow rate of 1 L per minute as a carrier gas.
플라즈마 발생가스로는 아르곤을 분당 15 L의 유속으로 공급하여 열플라즈마를 발생시켰으며, 전류와 전압은 각각 300 A 및 30 V로 유지하여 열플라즈마 처리를 수행하여 금속 탄화물이 담지된 그래핀 복합체를 제조하였다.As a plasma generating gas, argon was supplied at a flow rate of 15 L per minute to generate thermal plasma. The current and voltage were maintained at 300 A and 30 V, respectively, and thermal plasma treatment was performed to prepare graphene composites containing metal carbide. It was.
<실시예 2><Example 2>
단계 1: 유기 금속 전구체로, 티타늄 이소프로폭사이드를 사용하였으며, 이 전구체를 200℃의 온도에서 기화시켜 열플라즈마 반응기 안으로 주입하며, 이때, 캐리어 가스로는 아르곤을 분당 1 L의 유속으로 공급하였다.Step 1: As an organometallic precursor, titanium isopropoxide was used, which was vaporized at a temperature of 200 ° C. and injected into a thermal plasma reactor, in which argon was supplied at a flow rate of 1 L per minute as a carrier gas.
플라즈마 발생가스로는 아르곤을 분당 15 L의 유속으로 공급하여 열플라즈마를 발생시켰으며, 전류와 전압은 각각 300 A 및 30 V로 유지하여 열플라즈마 처리를 수행하였다.As the plasma generating gas, argon was supplied at a flow rate of 15 L per minute to generate thermal plasma, and thermal plasma treatment was performed by maintaining current and voltage at 300 A and 30 V, respectively.
단계 2: 상기 단계 1에서 형성된 반응물을 대기 분위기 하 370℃의 온도에서 2시간 동안 열처리하여 금속 산화물이 담지된 그래핀 복합체를 제조하였다.Step 2: The reactant formed in Step 1 was heat-treated at a temperature of 370 ° C. for 2 hours in an air atmosphere to prepare a graphene composite having metal oxide.
<실시예 2><Example 2>
단계 1: 유기 금속 전구체로, 티타늄 이소프로폭사이드를 사용하였으며, 이 전구체를 200℃의 온도에서 기화시켜 열플라즈마 반응기 안으로 주입하며, 이때, 캐리어 가스로는 아르곤을 분당 1 L의 유속으로 공급하였다.Step 1: As an organometallic precursor, titanium isopropoxide was used, which was vaporized at a temperature of 200 ° C. and injected into a thermal plasma reactor, in which argon was supplied at a flow rate of 1 L per minute as a carrier gas.
플라즈마 발생가스로는 아르곤을 분당 15 L의 유속으로 공급하여 열플라즈마를 발생시켰으며, 전류와 전압은 각각 300 A 및 30 V로 유지하여 열플라즈마 처리를 수행하였다.As the plasma generating gas, argon was supplied at a flow rate of 15 L per minute to generate thermal plasma, and thermal plasma treatment was performed by maintaining current and voltage at 300 A and 30 V, respectively.
단계 2: 상기 단계 1에서 형성된 반응물을 아르곤 및 산소 분위기 하에서 유전체 장벽 플라즈마로 1분 동안 처리하였다. 이때, 각 가스의 유량은 분당 1 L이고, 주파수는 10 kHz, 전압은 10 kV로 유지하였다.Step 2: The reactants formed in step 1 were treated with dielectric barrier plasma for 1 minute under argon and oxygen atmosphere. At this time, the flow rate of each gas was 1 L per minute, the frequency was 10 kHz, and the voltage was maintained at 10 kV.
단계 3: 상기 단계 2에서 형성된 반응물을 대기 분위기 하 370℃의 온도에서 2시간 동안 열처리하여 금속 산화물이 담지된 그래핀 복합체를 제조하였다.Step 3: The reaction product formed in
<실험예 1> X-선 회절 분석(XRD)Experimental Example 1 X-ray Diffraction Analysis (XRD)
본 발명에 따른 제조방법으로 제조된 그래핀 복합체의 모폴로지를 확인하기 위하여, 상기 실시예 2(도 3의 (II))과 상기 실시예 2의 단계 1만 수행된 경우(도 3의 (I)), 상기 실시예 3(도 4의 (a))와 상기 실시예 3의 단계 1만 수행된 경우(도 4의 (b))를 X-선 회절 분석(XRD)을 통해 분석하였으며, 그 결과를 도 3 및 도 4에 나타내었다.In order to confirm the morphology of the graphene composite prepared by the manufacturing method according to the present invention, when only Example 1 (Fig. 3 (II)) and step 1 of Example 2 was performed (Fig. 3 (I)) ), When only Example 3 (FIG. 4 (a)) and Step 1 of Example 3 (FIG. 4 (b)) were analyzed by X-ray diffraction analysis (XRD), and the results were obtained. 3 and 4 are shown.
도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 실시예 2에서 열처리(단계 2)를 수행하지 않은 경우 티타늄 카바이드(TiC)를 확인할 수 있으며, 이를 통해 금속 탄화물이 담지된 그래핀을 제조하였음을 확인할 수 있다. 또한, 실시예 2에서 제조된 금속 산화물이 담지된 그래핀은 티타늄 옥사이드(TiO2)가 형성되었음을 확인할 수 있다.As shown in FIG. 3, when the heat treatment (step 2) is not performed in Example 2, titanium carbide (TiC) may be confirmed, and thus, graphene on which metal carbide is supported may be prepared. In addition, the graphene on which the metal oxide prepared in Example 2 is supported may confirm that titanium oxide (TiO 2 ) is formed.
나아가, 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 실시예 3에서 3단계 공정을 통해 제조된 금속 산화물이 담지된 그래핀은 더욱 순도 높은 티타늄 옥사이드(TiO2)가 형성되었음을 확인할 수 있다.Furthermore, as shown in FIG. 4, it can be seen that the graphene loaded with the metal oxide prepared through the three-step process in Example 3 was formed with higher purity titanium oxide (TiO 2 ).
<실험예 2> 투과 전자 현미경(TEM) 분석Experimental Example 2 Transmission Electron Microscopy (TEM) Analysis
본 발명에 따른 제조방법으로 제조된 금속 산화물이 담지된 그래핀의 모폴로지를 확인하기 위하여, 상기 실시예 2(도 5의 (b))과 상기 실시예 2의 단계 1만 수행된 경우(도 5의 (a)), 상기 실시예 3(도 6의 (b))와 상기 실시예 3의 단계 1만 수행된 경우(도 6의 (a))를 투과 전자 현미경(TEM)을 통해 분석하였으며, 그 결과를 도 5 및 도 6에 나타내었다.In order to confirm the morphology of the graphene loaded with the metal oxide prepared by the manufacturing method according to the present invention, only Example 1 (Fig. 5 (b)) and step 1 of Example 2 was performed (Fig. 5 (A)), when only Example 3 (Fig. 6 (b)) and step 1 of Example 3 (Fig. 6 (a)) was performed by transmission electron microscopy (TEM), The results are shown in FIGS. 5 and 6.
도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 실시예 2 및 실시예 3을 통해 합성된 금속 산화물이 담지된 그래핀은 수 층의 그래핀 상에 수 nm의 금속 산화물 입자가 균일하게 분포하고 있음을 확인할 수 있다.As shown in FIGS. 5 and 6, it is confirmed that the graphene loaded with the metal oxide synthesized through Examples 2 and 3 has a uniform distribution of several nm of metal oxide particles on several layers of graphene. Can be.
Claims (15)
상기 금속 산화물 또는 금속 탄화물은 상기 유기 금속 전구체의 금속 부분으로부터 유래되고, 상기 그래핀은 상기 유기 금속 전구체의 유기 부분으로부터 유래되는 그래핀 복합체의 제조방법.
The method for producing a graphene composite, characterized in that the graphene carrying at least one selected from the group consisting of metal oxides and metal carbides by treating the organic metal precursor with a thermal plasma,
Wherein said metal oxide or metal carbide is derived from a metal portion of said organometallic precursor and said graphene is derived from an organic portion of said organometallic precursor.
상기 유기 금속 전구체는 기화된 상태인 것을 특징으로 하는 그래핀 복합체의 제조방법.
The method of claim 1,
The organometallic precursor is a method for producing a graphene composite, characterized in that the vaporized state.
상기 유기 금속 전구체는 티타늄이소프로폭사이드(Titanium isoprooxide), 안티모니이소프로폭사이드(Antimony isopropoxide), 게르마늄이소프로폭사이드(Germanium isopropoxide) 및 테트라이소프로폭실란(Tetraisopropoxysilane)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상인 그래핀 복합체의 제조방법.
The method of claim 1,
The organometallic precursor is selected from the group consisting of titanium isoprooxide, antimony isopropoxide, germanium isopropoxide, and tetraisopropoxysilane. Method for producing at least one graphene composite.
상기 열플라즈마는 열플라즈마 장치에 플라즈마 발생가스를 공급하여 발생시키는 것을 특징으로 하는 그래핀 복합체의 제조방법.
The method of claim 1,
The thermal plasma is a graphene composite manufacturing method, characterized in that generated by supplying a plasma generating gas to the thermal plasma device.
상기 플라즈마 발생가스는 아르곤, 질소 및 아르곤과 질소의 혼합가스로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종인 그래핀 복합체의 제조방법.
The method of claim 5,
The plasma generating gas is argon, nitrogen and a method for producing a graphene composite is one kind selected from the group consisting of argon and nitrogen mixed gas.
상기 그래핀 복합체의 제조방법은
상기 유기 금속 전구체를 열플라즈마로 처리하는 단계; 및
상기 열플라즈마 처리된 반응물을 열처리하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 복합체의 제조방법.
The method of claim 1,
The graphene composite manufacturing method
Treating the organometallic precursor with thermal plasma; And
Heat treating the thermal plasma treated reactant;
Graphene composite manufacturing method comprising a.
상기 그래핀 복합체는 금속 산화물 또는 금속 산화물 및 금속 탄화물이 담지된 그래핀인 것을 특징으로 하는 그래핀 복합체의 제조방법.
The method of claim 8,
The graphene composite is a graphene composite, characterized in that the graphene is supported on the metal oxide or metal oxide and metal carbide.
상기 열처리는 250℃ 내지 500℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 그래핀 복합체의 제조방법.
The method of claim 8,
The heat treatment is a method for producing a graphene composite, characterized in that carried out at a temperature of 250 ℃ to 500 ℃.
상기 그래핀 복합체의 제조방법은
상기 유기 금속 전구체를 열플라즈마로 처리하는 단계;
상기 열플라즈마 처리된 반응물을 유전체 장벽 플라즈마로 처리하는 단계; 및
상기 유전체 장벽 플라즈마로 처리된 반응물을 열처리하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 복합체의 제조방법.
The method of claim 1,
The graphene composite manufacturing method
Treating the organometallic precursor with thermal plasma;
Treating the thermal plasma treated reactant with a dielectric barrier plasma; And
Heat treating the reactant treated with the dielectric barrier plasma;
Graphene composite manufacturing method comprising a.
상기 그래핀 복합체는 금속 산화물 또는 금속 산화물 및 금속 탄화물이 담지된 그래핀인 것을 특징으로 하는 그래핀 복합체의 제조방법.
The method of claim 11,
The graphene composite is a graphene composite, characterized in that the graphene is supported on the metal oxide or metal oxide and metal carbide.
상기 유전체 장벽 플라즈마는,
유전체 반응관; 상기 유전체 반응관 내부에 위치하고, 금속 선 외주면에 절연체 층이 형성된 제1 전극; 및 상기 유전체 반응관 외부에 감겨있으며, 금속 선 외주면에 절연체 층이 형성된 제2 전극을 포함하는 유전체 장벽 플라즈마 발생 장치의 제1 전극 및 제2 전극에 전압을 인가하여 발생시키는 것을 특징으로 하는 그래핀 복합체의 제조방법.
The method of claim 11,
The dielectric barrier plasma,
Dielectric reaction tubes; A first electrode disposed inside the dielectric reaction tube and having an insulator layer formed on an outer circumferential surface of the metal wire; And a second electrode wound around the outside of the dielectric reaction tube, the second electrode having an insulator layer formed on an outer circumferential surface of the metal line, and generated by applying a voltage to the first electrode and the second electrode of the dielectric barrier plasma generator. Method for preparing a composite.
상기 제1 전극 및 제2 전극에 인가하는 전압은 5 kV 내지 30 kV인 그래핀 복합체의 제조방법.
The method of claim 13,
The voltage applied to the first electrode and the second electrode is a method for producing a graphene composite of 5 kV to 30 kV.
상기 유전체 장벽 플라즈마로 처리하는 단계는 아르곤, 질소 및 산소로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 기체 분위기에서 수행되는 것을 특징으로 하는 그래핀 복합체의 제조방법.The method of claim 11,
The method of claim 1, wherein the treating with the dielectric barrier plasma is performed in at least one gas atmosphere selected from the group consisting of argon, nitrogen, and oxygen.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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