KR102029876B1 - Light emitting device and light emitting device package - Google Patents

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KR102029876B1 KR1020190091558A KR20190091558A KR102029876B1 KR 102029876 B1 KR102029876 B1 KR 102029876B1 KR 1020190091558 A KR1020190091558 A KR 1020190091558A KR 20190091558 A KR20190091558 A KR 20190091558A KR 102029876 B1 KR102029876 B1 KR 102029876B1
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Abstract

실시예에 따른 발광소자는 제1도전형 반도체층, 발광층 및 제2도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물; 상기 발광 구조물의 둘레를 따라 배치되며, 비발광층 및 제2더미층을 포함하는 더미 구조물; 상기 제1도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1전극; 상기 제2도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제2전극; 상기 제1전극으로부터 연장되며 상기 더미 구조물과 수직으로 오버랩되는 제1연결 전극; 일부는 상기 제2도전형 반도체층 상에 형성되고 다른 일부는 상기 더미 구조물과 수직으로 오버랩되는 적어도 하나 이상의 제2연결 전극; 및 상기 발광 구조물의 측면과 상기 더미 구조물의 측면 상에 배치되는 보호층을 포함하고, 상기 보호층은 상기 발광 구조물의 외측면, 상기 발광 구조물의 외측면에 대향하는 상기 더미 구조물의 제1측면, 상기 발광 구조물의 외측면과 상기 더미 구조물의 제1측면 사이의 바닥면에 형성되는 제1보호층; 및 상기 더미 구조물의 제1측면에 대응되는 제1측면을 포함하고, 상기 보호층은 상기 더미 구조물의 제2측면에 형성되는 제2보호층을 포함할 수 있다.The light emitting device according to the embodiment includes a light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, a light emitting layer and a second conductive semiconductor layer; A dummy structure disposed along a circumference of the light emitting structure and including a non-light emitting layer and a second dummy layer; A first electrode electrically connected to the first conductive semiconductor layer; A second electrode electrically connected to the second conductive semiconductor layer; A first connection electrode extending from the first electrode and vertically overlapping the dummy structure; At least one second connection electrode partially formed on the second conductive semiconductor layer and partially overlapping the dummy structure; And a protective layer disposed on the side of the light emitting structure and the side of the dummy structure, wherein the protective layer is an outer side surface of the light emitting structure, a first side surface of the dummy structure opposite to the outer side surface of the light emitting structure, A first protective layer formed on a bottom surface between the outer side surface of the light emitting structure and the first side surface of the dummy structure; And a first side surface corresponding to the first side surface of the dummy structure, and the protective layer may include a second protective layer formed on the second side surface of the dummy structure.

Description

발광 소자 및 발광 소자 패키지{Light emitting device and light emitting device package}Light emitting device and light emitting device package

실시예는 발광 소자에 관한 것이다.An embodiment relates to a light emitting device.

실시예는 발광 소자 패키지에 관한 것이다.Embodiments relate to a light emitting device package.

발광 소자 또는 발광 소자를 포함하는 발광 소자 패키지에 대한 연구가 활발하게 진행 중이다.Research on a light emitting device or a light emitting device package including the light emitting device is actively underway.

발광 소자는 예컨대 반도체 물질로 형성되어 전기 에너지를 빛으로 변환하여 주는 반도체 발광 소자 또는 반도체 발광 다이오드이다. The light emitting device is, for example, a semiconductor light emitting device or a semiconductor light emitting diode which is formed of a semiconductor material and converts electrical energy into light.

반도체 발광 소자는 형광등, 백열등 등 기존의 광원에 비해 저소비전력, 반영구적인 수명, 빠른 응답속도, 안전성, 환경친화성의 장점을 가진다. 이에 기존의 광원을 반도체 발광 소자로 대체하기 위한 많은 연구가 진행되고 있다. Semiconductor light emitting devices have the advantages of low power consumption, semi-permanent life, fast response speed, safety and environmental friendliness compared to conventional light sources such as fluorescent and incandescent lamps. Accordingly, many researches are being conducted to replace the existing light source with a semiconductor light emitting device.

반도체 발광 소자는 실내외에서 사용되는 각종 램프, 액정표시장치, 전광판, 가로등 등의 조명 장치의 광원으로서 사용이 증가되고 있는 추세이다.BACKGROUND OF THE INVENTION Semiconductor light emitting devices have been increasingly used as light sources for lighting devices such as various lamps, liquid crystal display devices, electronic signs, and street lamps that are used indoors and outdoors.

실시예는 정전기로부터 안전하게 보호할 수 있는 발광 소자를 제공한다.The embodiment provides a light emitting device that can safely protect from static electricity.

실시예는 정전기 방출 능력을 극대화할 수 있는 발광 소자를 제공한다.The embodiment provides a light emitting device capable of maximizing the ability to discharge static electricity.

실시예는 발광 소자를 포함하는 발광 소자 패키지를 제공한다.An embodiment provides a light emitting device package including a light emitting device.

실시예는 제1도전형 반도체층, 발광층 및 제2도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물; 상기 발광 구조물의 둘레를 따라 배치되며, 비발광층 및 제2더미층을 포함하는 더미 구조물; 상기 제1도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1전극; 상기 제2도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제2전극; 상기 제1전극으로부터 연장되며 상기 더미 구조물과 수직으로 오버랩되는 제1연결 전극; 일부는 상기 제2도전형 반도체층 상에 형성되고 다른 일부는 상기 더미 구조물과 수직으로 오버랩되는 적어도 하나 이상의 제2연결 전극; 및 상기 발광 구조물의 측면과 상기 더미 구조물의 측면 상에 배치되는 보호층을 포함하고, 상기 보호층은 상기 발광 구조물의 외측면, 상기 발광 구조물의 외측면에 대향하는 상기 더미 구조물의 제1측면, 상기 발광 구조물의 외측면과 상기 더미 구조물의 제1측면 사이의 바닥면에 형성되는 제1보호층; 및 상기 더미 구조물의 제1측면에 대응되는 제2측면을 포함하고, 상기 보호층은 상기 더미 구조물의 제2측면에 형성되는 제2보호층을 포함하고, 상기 더미 구조물의 제2측면은 상기 더미 구조물의 최외곽 측면인 발광 소자를 포함할 수 있다.Embodiments include a light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, a light emitting layer, and a second conductive semiconductor layer; A dummy structure disposed along a circumference of the light emitting structure and including a non-light emitting layer and a second dummy layer; A first electrode electrically connected to the first conductive semiconductor layer; A second electrode electrically connected to the second conductive semiconductor layer; A first connection electrode extending from the first electrode and vertically overlapping the dummy structure; At least one second connection electrode partially formed on the second conductive semiconductor layer and partially overlapping the dummy structure; And a protective layer disposed on the side of the light emitting structure and the side of the dummy structure, wherein the protective layer is an outer side surface of the light emitting structure, a first side surface of the dummy structure opposite to the outer side surface of the light emitting structure, A first protective layer formed on a bottom surface between the outer side surface of the light emitting structure and the first side surface of the dummy structure; And a second side surface corresponding to the first side surface of the dummy structure, wherein the protective layer includes a second protective layer formed on the second side surface of the dummy structure, and the second side surface of the dummy structure is the dummy body. It may include a light emitting device that is the outermost side of the structure.

실시예는 제1 및 제2 연결 전극이 와이어를 대체하여 줄 수 있으므로, 와이어로 인한 광 효율 저하, 와이어 단선으로 인한 제품 불량 및 와이어의 선저항에 의한 전원 공급 한계를 해소할 수 있다.In the embodiment, since the first and second connection electrodes can replace the wires, the light efficiency deterioration due to the wire, the product defect due to the wire breakage, and the power supply limitation due to the wire resistance of the wire can be solved.

실시예는 더미 구조물이 상기 발광 구조물의 둘레를 따라 형성되어 상기 더미 구조물의 사이즈가 극대화될 수 있으므로, 정전기의 방출 능력이 현저하게 향상될 수 있다. According to the embodiment, since the dummy structure may be formed along the circumference of the light emitting structure, the size of the dummy structure may be maximized, and thus the discharge ability of the static electricity may be significantly improved.

도 1은 제1 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1의 발광 소자를 A-A' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 3은 도 1의 발광 소자를 B-B' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 4는 제1 실시예에 따른 발광 소자의 등가 회로를 나타낸 도면이다.
도 5는 발광 구조물로부터 광을 생성하는 모습을 도시한 도면이다.
도 6은 더미 구조물로 정전기를 패스시키는 모습을 도시한 도면이다.
도 7 내지 도 10은 제1 실시예에 따른 발광 소자의 제조 방법을 도시한 도면이다.
도 11은 제2 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 12는 제3 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 13은 제4 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 14는 실시예에 따른 발광 소자 패키지를 도시한 단면도이다.
1 is a plan view of a light emitting device according to a first embodiment.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the light emitting device of FIG. 1 taken along line AA ′. FIG.
3 is a cross-sectional view of the light emitting device of FIG. 1 taken along the line BB ′.
4 is a diagram illustrating an equivalent circuit of the light emitting device according to the first embodiment.
5 is a view illustrating a state in which light is generated from a light emitting structure.
6 is a view showing a state of passing static electricity to the dummy structure.
7 to 10 illustrate a method of manufacturing the light emitting device according to the first embodiment.
11 is a sectional view showing a light emitting device according to the second embodiment.
12 is a sectional view showing a light emitting device according to the third embodiment.
13 is a sectional view showing a light emitting device according to the fourth embodiment.
14 is a cross-sectional view showing a light emitting device package according to the embodiment.

발명에 따른 실시 예의 설명에 있어서, 각 구성 요소의 " 상(위) 또는 하(아래)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)는 두개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되거나 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 배치되어 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 “상(위) 또는 하(아래)”으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In the description of the embodiment according to the invention, in the case where it is described as being formed on the "top" or "bottom" of each component, the top (bottom) or the bottom (bottom) is the two components are mutually It includes both direct contact or one or more other components disposed between and formed between the two components. In addition, when expressed as "up (up) or down (down)" may include the meaning of the down direction as well as the up direction based on one component.

도 1은 제1 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 평면도이다.1 is a plan view of a light emitting device according to a first embodiment.

도 1을 참조하면, 제1 실시예에 따른 발광 소자는 발광 구조물(13)과 더미 구조물(21)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the light emitting device according to the first embodiment may include a light emitting structure 13 and a dummy structure 21.

상기 더미 구조물(21)은 정전기를 외부로 방출시켜 상기 발광 소자를 보호하여 주는 보호 소자일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The dummy structure 21 may be a protection device that protects the light emitting device by emitting static electricity to the outside, but is not limited thereto.

상기 발광 소자는 발광 영역과 비 발광 영역을 포함할 수 있다. 상기 발광 구조물(13)은 상기 발광 영역에 형성되고, 상기 더미 구조물(21)은 상기 비 발광 영역에 형성될 수 있다.The light emitting device may include a light emitting area and a non-light emitting area. The light emitting structure 13 may be formed in the light emitting area, and the dummy structure 21 may be formed in the non-light emitting area.

상기 비 발광 영역은 상기 발광 영역의 둘레를 따라 정의될 수 있다. The non-light emitting area may be defined along a circumference of the light emitting area.

상기 발광 구조물(13)은 광을 생성할 수 있다. 상기 발광 구조물(13)은 자외선 광, 적외선 광, 적색 광, 녹색 광 및 청색 광 중 적어도 하나 이상의 광을 생성할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The light emitting structure 13 may generate light. The light emitting structure 13 may generate at least one or more of ultraviolet light, infrared light, red light, green light, and blue light, but is not limited thereto.

도면에는 하나의 발광 구조물(13)이 도시되고 있지만, 제1 실시예는 이에 한정하지 않고 다수의 발광 구조물이 형성될 수도 있다.Although one light emitting structure 13 is shown in the drawing, the first embodiment is not limited thereto, and a plurality of light emitting structures may be formed.

상기 더미 구조물(21)은 상기 발광 구조물(13)의 둘레를 따라 형성될 수 있다. The dummy structure 21 may be formed along the circumference of the light emitting structure 13.

상기 더미 구조물(21)은 상기 발광 구조물(13)의 둘레를 따라 페루프 형상으로 형성될 수 있다.The dummy structure 21 may be formed in a Peruvian shape along the circumference of the light emitting structure 13.

도시되지 않았지만, 상기 더미 구조물(21)은 상기 발광 구조물(13)의 둘레를 따라 오픈 형상으로 형성될 수 있다. 상기 더미 구조물(21)은 일 영역에서 서로 이격된 오픈 구조를 가질 수 있다. Although not shown, the dummy structure 21 may be formed in an open shape along the circumference of the light emitting structure 13. The dummy structure 21 may have an open structure spaced apart from each other in one region.

상기 발광 구조물(13)은 상기 더미 구조물(21)과 물리적으로 이격되도록 형성될 수 있다. The light emitting structure 13 may be formed to be physically spaced apart from the dummy structure 21.

상기 더미 구조물(21)은 광을 생성하지 않는다. The dummy structure 21 does not generate light.

상기 더미 구조물(21)은 상기 발광 구조물(13)에서 생성된 광이 측 방향으로 진행하는 것을 차단하는 역할을 할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 상기 더미 구조물(21)에 의해 상기 광이 반사되어 전방으로 진행되도록 하여 광 효율을 향상시킬 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The dummy structure 21 may serve to block the light generated by the light emitting structure 13 from traveling in the lateral direction, but is not limited thereto. The light efficiency may be improved by reflecting the light toward the front by the dummy structure 21, but the present invention is not limited thereto.

상기 더미 구조물(21)의 상면은 상기 발광 구조물(13)의 상면과 동일한 높이를 갖거나 약간 더 낮은 높이를 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.An upper surface of the dummy structure 21 may have the same height as the upper surface of the light emitting structure 13 or a slightly lower height, but is not limited thereto.

상기 더미 구조물(21)은 상기 발광 구조물(13)과 동일한 층수를 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The dummy structure 21 may have the same number of layers as the light emitting structure 13, but is not limited thereto.

도 2는 도 1의 발광 소자를 A-A' 라인을 따라 절단한 단면도이고, 도 3은 도 1의 발광 소자를 B-B' 라인을 따라 절단한 단면도이다.2 is a cross-sectional view of the light emitting device of FIG. 1 taken along the line AA ′, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the light emitting device of FIG. 1 taken along the line BB ′.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 발광 구조물(13)과 상기 더미 구조물(21)은 기판(1) 상에 형성될 수 있다.2 and 3, the light emitting structure 13 and the dummy structure 21 may be formed on the substrate 1.

상기 기판(1)은 상기 발광 구조물(13)을 용이하게 성장시켜 주는 역할을 하지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The substrate 1 serves to easily grow the light emitting structure 13, but is not limited thereto.

상기 발광 구조물(13)과 상기 더미 구조물(21)을 안정적으로 성장시키기 위해서 상기 기판(1)은 상기 발광 구조물(13)과 더미 구조물(21)과의 격자 상수가 가급적 작은 차이를 갖는 물질로 형성될 수 있다.In order to stably grow the light emitting structure 13 and the dummy structure 21, the substrate 1 is formed of a material having a small difference in lattice constant between the light emitting structure 13 and the dummy structure 21. Can be.

상기 기판(1)은 사파이어(Al2O3), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP 및 Ge로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나로 형성될 수 있다.The substrate 1 may be formed of at least one selected from the group consisting of sapphire (Al 2 O 3 ), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, and Ge.

상기 기판(1) 상에 버퍼층(3)과 비 도전형 반도체층(5)이 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 상기 버퍼층(3)과 상기 비 도전형 반도체층(5)은 필수적인 구성 요소는 아닐 수 있으며, 제조업체에 따라 선택적으로 사용될 수 있다.The buffer layer 3 and the non-conductive semiconductor layer 5 may be formed on the substrate 1, but the embodiment is not limited thereto. The buffer layer 3 and the non-conductive semiconductor layer 5 may not be essential components, and may be selectively used depending on the manufacturer.

상기 버퍼층(3)은 상기 기판(1)과 상기 발광 구조물(13) 및 상기 더미 구조물(21) 사이의 격자 상수 차이를 완화하여 주는 역할을 할 수 있다.The buffer layer 3 may serve to alleviate the lattice constant difference between the substrate 1, the light emitting structure 13, and the dummy structure 21.

상기 버퍼층(3)은 II-VI족 또는 III-V족 화합물 반도체 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 버퍼층(3)은 AlN 또는 AlGaN을 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The buffer layer 3 may be formed of a II-VI or III-V compound semiconductor material. For example, the buffer layer 3 may include AlN or AlGaN, but is not limited thereto.

상기 비 도전형 반도체층(5)은 전위(dislocation)나 격자 결함 등을 차단하든지, 상기 발광 구조물(13)과 상기 더미 구조물(21)의 막질을 향상시키든지, 응력(strain)을 제어하여 상기 발광 구조물(13)과 상기 더미 구조물(21)에 과도한 응력이 걸리지 않도록 하며 기판(1)이 응력에 의해 깨지는 것을 방지할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The non-conductive semiconductor layer 5 controls dislocations, lattice defects, or the like, or improves the quality of the light emitting structure 13 and the dummy structure 21, or by controlling stress. The light emitting structure 13 and the dummy structure 21 may be prevented from being subjected to excessive stress, and the substrate 1 may be prevented from being broken by stress, but the present invention is not limited thereto.

상기 비 도전형 반도체층(5)은 도펀트를 포함하지 않는다. 상기 비 도전형 반도체층(5)은 도펀트를 포함하지 않기 때문에 거의 전류가 흐르지 않을 수 있다. 상기 비 도전형 반도체층(5)은 II-VI족 또는 III-V족 화합물 반도체 재질로 형성될 수 있다. 상기 비 도전형 반도체층(5)은 예컨대 GaN 또는 AlGaN일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The non-conductive semiconductor layer 5 does not contain a dopant. Since the non-conductive semiconductor layer 5 does not include a dopant, almost no current may flow. The non-conductive semiconductor layer 5 may be formed of a II-VI or III-V compound semiconductor material. The non-conductive semiconductor layer 5 may be, for example, GaN or AlGaN, but is not limited thereto.

상기 기판(1), 상기 버퍼층(3) 및 상기 비 도전형 반도체층(5) 중 어느 하나의 층 상에 발광 구조물(13)과 더미 구조물(21)이 형성될 수 있다. The light emitting structure 13 and the dummy structure 21 may be formed on any one of the substrate 1, the buffer layer 3, and the non-conductive semiconductor layer 5.

상기 발광 구조물(13)과 상기 더미 구조물(21)은 동일한 층수를 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The light emitting structure 13 and the dummy structure 21 may have the same number of layers, but are not limited thereto.

상기 더미 구조물(21)은 제1 더미층(15), 비 발광층(17) 및 제2 더미층(19)을 포함할 수 있다. 상기 비 발광층(17)은 상기 제1 더미층(15) 상에 형성되고, 상기 제2 더미층(19)은 상기 비 발광층(17) 상에 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The dummy structure 21 may include a first dummy layer 15, a non-light emitting layer 17, and a second dummy layer 19. The non-emission layer 17 may be formed on the first dummy layer 15, and the second dummy layer 19 may be formed on the non-emission layer 17, but embodiments are not limited thereto.

상기 발광 구조물(13)은 제1 도전형 반도체층(7), 발광층(9) 및 제2 도전형 반도체층(11)을 포함할 수 있다. 상기 발광층(9)은 상기 제1 도전형 반도체층(7) 상에 형성되고, 상기 제2 도전형 반도체층(11)은 상기 발광층(9) 상에 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The light emitting structure 13 may include a first conductive semiconductor layer 7, a light emitting layer 9, and a second conductive semiconductor layer 11. The emission layer 9 may be formed on the first conductivity type semiconductor layer 7, and the second conductivity type semiconductor layer 11 may be formed on the emission layer 9, but is not limited thereto.

상기 제1 도전형 반도체층(7)과 상기 제1 더미층(15)은 동일한 화합물 반도체 재질로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The first conductive semiconductor layer 7 and the first dummy layer 15 may be formed of the same compound semiconductor material, but are not limited thereto.

상기 발광층(9)은 상기 비 발광층(17)과 동일한 화합물 반도체 재질로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The light emitting layer 9 may be formed of the same compound semiconductor material as the non-light emitting layer 17, but is not limited thereto.

상기 제2 도전형 반도체층(11)은 상기 제2 더미층(19)과 동일한 화합물 반도체 재질로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The second conductive semiconductor layer 11 may be formed of the same compound semiconductor material as the second dummy layer 19, but is not limited thereto.

상기 발광 구조물(13)과 상기 더미 구조물(21)은 반도체층은 II-VI족 또는 III-V족 화합물 반도체 재질로 형성될 수 있다.The light emitting structure 13 and the dummy structure 21 may have a semiconductor layer formed of a II-VI or III-V compound semiconductor material.

상기 제1 도전형 반도체층(7)과 상기 제1 더미층(15)은 예를 들어, n형 도펀트를 포함하는 n형 반도체층일 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(7)과 상기 제1 더미층(15)은 InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재질, 예를 들어 InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN 및 AlInN로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있으며, Si, Ge, Sn 등의 n형 도펀트가 도핑될 수 있다. The first conductive semiconductor layer 7 and the first dummy layer 15 may be, for example, an n-type semiconductor layer including an n-type dopant. The first conductive semiconductor layer 7 and the first dummy layer 15 may be formed of In x Al y Ga 1-xy N (0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1, 0 ≦ x + y ≦ 1). A semiconductor material having a compositional formula of, for example, may include at least one selected from the group consisting of InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN, and AlInN, and may be doped with an n-type dopant such as Si, Ge, Sn, or the like. have.

상기 발광층(9)과 상기 비 발광층(17)은 다중 양자 우물 구조(MQW), 양자점 구조 또는 양자선 구조 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 상기 발광층(9)과 상기 비 발광층(17)은 우물층과 장벽층의 주기로 반복 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 발광층(9)과 상기 비 발광층(17)은 InGaN/GaN의 주기, InGaN/AlGaN의 주기, InGaN/InGaN의 주기 등으로 형성될 수 있다. 상기 장벽층의 밴드갭은 상기 우물층의 밴드갭보다 크게 형성될 수 있다.The light emitting layer 9 and the non-light emitting layer 17 may include any one of a multi quantum well structure (MQW), a quantum dot structure, or a quantum line structure. The light emitting layer 9 and the non-light emitting layer 17 may be repeatedly formed in a cycle of a well layer and a barrier layer. For example, the light emitting layer 9 and the non-light emitting layer 17 may be formed of a period of InGaN / GaN, a period of InGaN / AlGaN, a period of InGaN / InGaN, or the like. The band gap of the barrier layer may be larger than the band gap of the well layer.

상기 발광층(9)은 상기 제1 도전형 반도체층(7)을 통해서 주입되는 제1 캐리어, 예컨대 전자와 상기 제2 도전형 반도체층(11)을 통해서 주입되는 제2 캐리어, 예컨대 정공이 서로 결합되어, 상기 발광층(9)의 형성 물질에 따른 에너지 밴드(Energy Band)의 밴드갭(Band Gap)에 상응하는 파장을 갖는 광을 생성할 수 있다. The emission layer 9 has a first carrier, for example, electrons injected through the first conductivity type semiconductor layer 7, and a second carrier, for example, holes injected through the second conductivity type semiconductor layer 11, coupled to each other. As a result, light having a wavelength corresponding to a band gap of an energy band according to a material for forming the emission layer 9 may be generated.

상기 제2 도전형 반도체층(11)과 상기 제2 더미층(19)은 예를 들어, p형 도펀트를 포함하는 p형 반도체층일 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(11)과 상기 제2 더미층(19)은 InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재질, 예를 들어 InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN 및 AlInN로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있으며, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등의 p형 도펀트가 도핑될 수 있다.The second conductive semiconductor layer 11 and the second dummy layer 19 may be, for example, a p-type semiconductor layer including a p-type dopant. The second conductivity type semiconductor layer 11 and the second dummy layer 19 may be formed of In x Al y Ga 1-xy N (0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1, 0 ≦ x + y ≦ 1). A semiconductor material having a compositional formula of, for example, may include at least one selected from the group consisting of InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN and AlInN, p-type dopants, such as Mg, Zn, Ca, Sr, Ba May be doped.

상기 발광 구조물(13)에서, 상기 제1 도전형 반도체층(7)의 일 영역 상에 제1 전극(35)이 형성되고, 상기 제2 도전형 반도체층(11)의 일 영역 상에 제2 전극(37)이 형성될 수 있다. In the light emitting structure 13, a first electrode 35 is formed on one region of the first conductive semiconductor layer 7, and a second electrode is formed on one region of the second conductive semiconductor layer 11. An electrode 37 may be formed.

상기 제1 전극(35)과 상기 제2 전극(37)은 일 영역에 국부적으로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The first electrode 35 and the second electrode 37 may be locally formed in one region, but are not limited thereto.

상기 제1 전극(35)은 반구 형상으로 형성되고, 상기 제2 전극(37)은 원 형상으로 형성되지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The first electrode 35 is formed in a hemispherical shape, and the second electrode 37 is formed in a circular shape, but is not limited thereto.

상기 제2 전극(37)이 상기 제2 도전형 반도체층(11)의 일 영역 상에 국부적으로 형성되는 경우, 상기 제1 및 제2 전극(35, 37)으로 전원이 인가될 때, 상기 제1 전극(35)과 상기 제2 전극(37) 사이의 최단 경로를 통해 주로 전류가 흐르게 되어 상기 발광층(9)의 특정 영역에만 집중적으로 광이 생성되므로, 균일한 광 생성이 어렵게 된다.When the second electrode 37 is locally formed on one region of the second conductivity type semiconductor layer 11, when power is applied to the first and second electrodes 35 and 37, the second electrode 37 is formed. Since current flows mainly through the shortest path between the first electrode 35 and the second electrode 37, light is concentrated only in a specific region of the light emitting layer 9, thereby making it difficult to generate uniform light.

따라서, 상기 제2 전극(37)이 형성되기 전에 상기 제2 도전형 반도체층(11) 상에 투명 도전층(23)이 형성되고, 상기 투명 도전층(23)의 일 영역 상에 제2 전극(37)이 형성될 수 있다. 이러한 경우, 상기 제2 전극(37)의 전류가 상기 투명 도전층(23)에 의해 상기 제2 도전형 반도체층(11)의 전 영역으로 퍼지게 되어, 궁극적으로 상기 발광층(9)의 전 영역에서 균일하게 광이 생성될 수 있다. Accordingly, before the second electrode 37 is formed, the transparent conductive layer 23 is formed on the second conductive semiconductor layer 11, and the second electrode is formed on one region of the transparent conductive layer 23. (37) can be formed. In this case, the current of the second electrode 37 is spread by the transparent conductive layer 23 to the entire area of the second conductive semiconductor layer 11, and ultimately, in the entire area of the light emitting layer 9. Light may be generated uniformly.

상기 투명 도전층(23)은 광을 투과시키는 우수한 투광성과 전기적 전도도를 갖는 도전성 물질로 형성되는데, 예컨대 ITO, IZO(In-ZnO), GZO(Ga-ZnO), AZO(Al-ZnO), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au 및 Ni/IrOx/Au/ITO로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.The transparent conductive layer 23 is formed of a conductive material having excellent light transmittance and electrical conductivity, for example, ITO, IZO (In-ZnO), GZO (Ga-ZnO), AZO (Al-ZnO), AGZO (Al-Ga ZnO), IGZO (In-Ga ZnO), IrOx, RuOx, RuOx / ITO, Ni / IrOx / Au, and Ni / IrOx / Au / ITO.

상기 제2 전극(37)으로부터 분기된 다수의 전극 라인이 형성될 수 있다. 이러한 경우, 상기 전극 라인이 전류를 퍼지게 하는 역할을 하므로, 상기 투명 도전층(23)이 형성되지 않을 수도 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.A plurality of electrode lines branched from the second electrode 37 may be formed. In this case, since the electrode line serves to spread the current, the transparent conductive layer 23 may not be formed, but is not limited thereto.

상기 더미 구조물(21)의 상면은 상기 발광 구조물(13)의 발광층(9)보다 더 높은 위치에 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.An upper surface of the dummy structure 21 may be formed at a position higher than the light emitting layer 9 of the light emitting structure 13, but is not limited thereto.

제1 연결 전극(31)은 상기 제1 전극(35)으로부터 연장되어 형성될 수 있다. 상기 제1 연결 전극(31)은 상기 더미 구조물(21)의 측면을 경유하여 상기 제2 더미층(19)의 일부 영역 상에 형성될 수 있다. 다시 말해, 상기 제1 연결 전극(31)은 일측은 상기 제1 전극(35)으로부터 연장되고 타측은 상기 제2 더미층(19)에 접할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The first connection electrode 31 may be formed to extend from the first electrode 35. The first connection electrode 31 may be formed on a portion of the second dummy layer 19 via the side surface of the dummy structure 21. In other words, one side of the first connection electrode 31 may extend from the first electrode 35 and the other side may contact the second dummy layer 19, but the embodiment is not limited thereto.

상기 제1 전극(35)과 상기 제1 연결 전극(31)은 불투명한 금속 재질을 포함하는데, 예컨대 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 백금(Pt), 금(Au), 텅스텐(W), 구리(Cu) 및 몰리브덴(Mo)으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 하나 또는 이들의 합금을 포함할 수 있지만, 이에 한정하지 않는다.The first electrode 35 and the first connection electrode 31 include an opaque metal material, for example, aluminum (Al), titanium (Ti), chromium (Cr), nickel (Ni), and platinum (Pt). , Gold (Au), tungsten (W), copper (Cu) and molybdenum (Mo) may include one or an alloy thereof, but is not limited thereto.

제2 연결 전극(33)은 상기 투명 도전층(23)과 상기 1 더미층을 전기적으로 연결시킬 수 있다.The second connection electrode 33 may electrically connect the transparent conductive layer 23 and the first dummy layer.

상기 제2 연결 전극(33)은 일측이 상기 투명 도전층(23)의 일부 영역 상에 형성되고 타측이 상기 제1 더미층(15)의 일부 영역 상에 형성될 수 있다.One side of the second connection electrode 33 may be formed on a portion of the transparent conductive layer 23, and the other side of the second connection electrode 33 may be formed on a portion of the first dummy layer 15.

구체적으로, 상기 제2 연결 전극(33)은 상기 투명 도전층(23)의 일부 영역으로부터 상기 발광 구조물(13)의 외측면, 상기 발광 구조물(13)의 외측면과 상기 더미 구조물(21)의 제1 측면 사이의 바닥면 및 상기 더미 구조물(21)의 제1 측면, 상면 및 상기 제1 측면의 반대면인 제2 측면을 경유하여 상기 제1 더미층(15) 상에 형성될 수 있다. Specifically, the second connection electrode 33 is formed on the outer surface of the light emitting structure 13, the outer surface of the light emitting structure 13, and the dummy structure 21 from a portion of the transparent conductive layer 23. The first dummy layer 15 may be formed on the first dummy layer 15 via a bottom surface between the first side surfaces and a second side surface opposite to the first side surface, the top surface, and the first side surface of the dummy structure 21.

상기 제1 측면은 내측면이고 상기 제2 측면은 외측면일 수 있다.The first side may be an inner side and the second side may be an outer side.

상기 제2 연결 전극(33)은 패턴 형상으로 형성되고, 일자형으로 길게 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The second connection electrode 33 may be formed in a pattern shape and may be formed to have a straight shape, but is not limited thereto.

도시되지 않았지만, 상기 제2 연결 전극(33)의 제1 끝단 영역과 제2 끝단 영역은 각각 상기 투명 도전층(23) 및 제1 더미층(15)과의 접촉 면적을 증가시키기 위해 패드 형상을 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. Although not shown, the first end region and the second end region of the second connection electrode 33 each have a pad shape to increase the contact area with the transparent conductive layer 23 and the first dummy layer 15. Although it may have, it is not limited to this.

도면에는 2개의 제2 연결 전극(33)이 도시되고 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. Two second connection electrodes 33 are shown in the figure, but the embodiment is not limited thereto.

예를 들어, 상기 발광 구조물(13)의 우측에 2개의 제2 연결 전극(33)이 형성되고, 상기 발광 구조물(13)의 좌측에 2개의 제2 연결 전극(33)이 형성될 수 있다. For example, two second connection electrodes 33 may be formed on the right side of the light emitting structure 13, and two second connection electrodes 33 may be formed on the left side of the light emitting structure 13.

예를 들어, 상기 발광 구조물(13)의 상측에 2개의 제2 연결 전극(33)이 형성되고, 상기 발광 구조물(13)의 하측에 2개의 제2 연결 전극(33)이 형성될 수 있다. For example, two second connection electrodes 33 may be formed above the light emitting structure 13, and two second connection electrodes 33 may be formed below the light emitting structure 13.

예를 들어, 상기 발광 구조물(13)의 4 모서리 측에 4개의 제2 연결 전극(33)이 형성될 수 있다.For example, four second connection electrodes 33 may be formed at four corners of the light emitting structure 13.

상기 제2 연결 전극(33)은 상기 제2 전극(37)과 동일한 금속 물질로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The second connection electrode 33 may be formed of the same metal material as the second electrode 37, but is not limited thereto.

예를 들어, 상기 제2 전극(37)과 상기 제2 연결 전극(33)은 불투명한 금속 재질을 포함하는데, 예컨대 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 백금(Pt), 금(Au), 텅스텐(W), 구리(Cu) 및 몰리브덴(Mo)으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 하나 또는 이들의 합금을 포함할 수 있지만, 이에 한정하지 않는다.For example, the second electrode 37 and the second connection electrode 33 include an opaque metal material, for example, aluminum (Al), titanium (Ti), chromium (Cr), nickel (Ni), It may include, but is not limited to, one or an alloy thereof selected from the group consisting of platinum (Pt), gold (Au), tungsten (W), copper (Cu), and molybdenum (Mo).

상기 제2 연결 전극(33)은 상기 제2 전극(37)과 상이한 물질로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 제2 연결 전극(33)은 투명한 도전 물질일 수 있다. 상기 투명한 도전 물질로는 광을 투과시키는 우수한 투광성과 전기적 전도도를 갖는 도전성 물질로 형성되는데, 예컨대 ITO, IZO(In-ZnO), GZO(Ga-ZnO), AZO(Al-ZnO), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au 및 Ni/IrOx/Au/ITO로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나가 사용될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The second connection electrode 33 may be formed of a material different from that of the second electrode 37. For example, the second connection electrode 33 may be a transparent conductive material. The transparent conductive material is formed of a conductive material having excellent light transmittance and electrical conductivity, for example, ITO, IZO (In-ZnO), GZO (Ga-ZnO), AZO (Al-ZnO), AGZO (Al At least one selected from the group consisting of -Ga ZnO), IGZO (In-Ga ZnO), IrOx, RuOx, RuOx / ITO, Ni / IrOx / Au, and Ni / IrOx / Au / ITO may be used, but not limited thereto. Do not.

상기 제2 연결 전극(33)이 투명한 도전 물질로 형성되는 경우, 상기 발광 구조물(13)의 광이 상기 제2 연결 전극(33)에 의해 투과되므로, 상기 발광 구조물(13)의 광 효율이 저하되지 않는다. When the second connection electrode 33 is formed of a transparent conductive material, since the light of the light emitting structure 13 is transmitted by the second connection electrode 33, the light efficiency of the light emitting structure 13 is lowered. It doesn't work.

상기 투명 도전층(23)이 형성되지 않는 경우, 상기 제2 연결 전극(33)의 일측은 상기 제2 도전형 반도체층(11)과 연결되든지 또는 상기 제2 도전형 반도체층(11)을 경유하여 상기 제2 전극(37)과 연결될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.When the transparent conductive layer 23 is not formed, one side of the second connection electrode 33 is connected to the second conductive semiconductor layer 11 or via the second conductive semiconductor layer 11. It may be connected to the second electrode 37, but is not limited thereto.

상기 발광 구조물(13)과 상기 더미 구조물(21)의 측면이 노출되는 경우, 외부의 이물질 등에 의해 상기 발광 구조물(13)과 상기 더미 구조물(21)의 각 층 간이 전기적으로 쇼트될 수 있다.When the side surfaces of the light emitting structure 13 and the dummy structure 21 are exposed, the light emitting structure 13 and the layers of the dummy structure 21 may be electrically shorted by foreign matters.

예컨대, 상기 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)과 제2 도전형 반도체층(11)이 전기적으로 쇼트되는 경우, 상기 발광 구조물(13)은 광이 생성되지 않을 수 있다. For example, when the first conductive semiconductor layer 7 and the second conductive semiconductor layer 11 of the light emitting structure 13 are electrically shorted, the light emitting structure 13 may not generate light.

따라서, 상기 발광 구조물(13)과 상기 더미 구조물(21)의 적어도 측면 상에 보호층이 형성될 수 있다. Therefore, a protective layer may be formed on at least side surfaces of the light emitting structure 13 and the dummy structure 21.

상기 보호층은 제1 내지 제4 보호층(25, 27, 29, 30)을 포함할 수 있다. 상기 제1 내지 제4 보호층(25, 27, 29, 30)은 서로로부터 연장된 일체형일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The protective layer may include first to fourth protective layers 25, 27, 29, and 30. The first to fourth protective layers 25, 27, 29, and 30 may be integrally extending from each other, but are not limited thereto.

상기 제1 내지 제4 보호층(25, 27, 29, 30)은 투명한 절연 물질로 형성될 수 있다. 상기 제1 내지 제4 보호층(25, 27, 29, 30)은 예를 들어, SiO2, SiOx, SiOxNy, Si3N4, TiO2 및 Al2O3로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 하나를 포함할 수 있지만, 이에 대해 한정하지는 않는다. The first to fourth protective layers 25, 27, 29, and 30 may be formed of a transparent insulating material. The first to fourth protective layers 25, 27, 29, and 30 are, for example, selected from the group consisting of SiO 2 , SiO x , SiO x N y , Si 3 N 4 , TiO 2 and Al 2 O 3 . One may include, but is not limited to this.

상기 제1 내지 제4 보호층(25, 27, 29, 30)이 개별적으로 형성될 수 있다. 이러한 경우, 상기 제1 내지 제4 보호층(25, 27, 29, 30)은 서로 상이한 절연 물질로 형성될 수도 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The first to fourth protective layers 25, 27, 29, and 30 may be formed separately. In this case, the first to fourth protective layers 25, 27, 29, and 30 may be formed of different insulating materials, but are not limited thereto.

상기 제1 보호층(25)은 상기 발광 구조물(13)의 외측면, 상기 외측면과 대향하는 상기 더미 구조물(21)의 제1 측면 및 상기 발광 구조물(13)의 외측면과 상기 더미 구조물(21)의 제1 측면 사이의 바닥면 상에 형성될 수 있다.The first protective layer 25 may include an outer side surface of the light emitting structure 13, a first side surface of the dummy structure 21 facing the outer side surface, an outer side surface of the light emitting structure 13, and the dummy structure ( 21 may be formed on the bottom surface between the first side of the 21).

상기 발광 구조물(13)의 외측면과 상기 더미 구조물(21)의 제1 측면 사이의 바닥면에서 상기 제1 전극(35)에 대응하는 제1 도전형 반도체층(7) 상에는 상기 제1 보호층(25)이 형성되지 않는다. 따라서, 상기 제1 전극(35)은 직접 상기 제1 도전형 반도체층(7)과 접할 수 있다.The first passivation layer on the first conductive type semiconductor layer 7 corresponding to the first electrode 35 at the bottom surface between the outer surface of the light emitting structure 13 and the first side surface of the dummy structure 21. 25 is not formed. Therefore, the first electrode 35 may directly contact the first conductivity type semiconductor layer 7.

상기 발광 구조물(13)의 외측면 상에 제1 보호층(25)이 형성되어 있다 하더라도, 상기 제1 보호층(25)의 두께가 얇은 경우 상기 발광 구조물(13)의 발광층(9)과 상기 제1 전극(35)이 전기적으로 쇼트될 수도 있다. 따라서, 상기 발광 구조물(13)의 발광층(9)과 상기 제1 전극(35) 사이의 간격을 안전하게 유지하기 위해, 상기 제1 전극(35)의 상면은 상기 발광 구조물(13)의 발광층(9)보다 낮은 위치에 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.Although the first passivation layer 25 is formed on the outer surface of the light emitting structure 13, when the thickness of the first passivation layer 25 is thin, the light emitting layer 9 of the light emitting structure 13 and the The first electrode 35 may be electrically shorted. Therefore, in order to safely maintain a gap between the light emitting layer 9 of the light emitting structure 13 and the first electrode 35, the upper surface of the first electrode 35 may have a light emitting layer 9 of the light emitting structure 13. It may be formed at a position lower than), but is not limited thereto.

상기 제1 보호층(25)의 일부 영역은 상기 투명 도전층(23)과 부분적으로 중첩되고, 또 다른 영역은 제2 더미층(19)과 부분적으로 중첩될 수 있다. 상기 제1 보호층(25)에 의해 상기 발광 구조물(13)의 외측면이 보호되고, 상기 더미 구조물(21)의 제1 측면이 보호될 수 있다.A portion of the first passivation layer 25 may partially overlap the transparent conductive layer 23, and another portion may partially overlap the second dummy layer 19. The outer surface of the light emitting structure 13 may be protected by the first protective layer 25, and the first side surface of the dummy structure 21 may be protected.

상기 제2 보호층(27)은 상기 더미 구조물(21)의 제2 측면 상에 형성될 수 있다. 상기 제2 보호층(27)의 일부 영역은 상기 제2 더미층(19)과 부분적으로 중첩될 수 있다. 상기 제2 보호층(27)의 또 다른 영역은 상기 제1 더미층(15)과 부분적으로 또는 전체적으로 중첩될 수 있다. 상기 제2 보호층(27)에 의해 상기 더미 구조물(21)의 제2 측면이 보호될 수 있다.The second protective layer 27 may be formed on the second side surface of the dummy structure 21. Some regions of the second passivation layer 27 may partially overlap the second dummy layer 19. Another region of the second passivation layer 27 may partially or entirely overlap the first dummy layer 15. The second side surface of the dummy structure 21 may be protected by the second protective layer 27.

상기 제3 보호층(29)은 상기 제1 보호층(25)과 상기 제2 보호층(27) 사이에 형성될 수 있다. 상기 제3 보호층(29)은 상기 제2 연결 전극(33)이 상기 제2 더미층(19)과 접하지 않도록 하여 줄 수 있다. 즉, 상기 제3 보호층(29)은 상기 제2 더미층(19)의 일부 영역 상에 형성되고, 상기 제3 보호층(29) 상에 제2 연결 전극(33)이 형성될 수 있다. 즉, 상기 제2 더미층(19)과 상기 제2 연결 전극(33) 사이에 제3 보호층(29)이 형성되므로, 상기 제3 보호층(29)에 의해 상기 제2 연결 전극(33)과 상기 제2 더미층(19) 사이의 전기적인 쇼트가 방지될 수 있다. The third passivation layer 29 may be formed between the first passivation layer 25 and the second passivation layer 27. The third protective layer 29 may prevent the second connection electrode 33 from contacting the second dummy layer 19. That is, the third passivation layer 29 may be formed on a portion of the second dummy layer 19, and the second connection electrode 33 may be formed on the third passivation layer 29. That is, since the third passivation layer 29 is formed between the second dummy layer 19 and the second connection electrode 33, the second connection electrode 33 is formed by the third passivation layer 29. And electrical short between the second dummy layer 19 can be prevented.

상기 제3 보호층(29)은 상기 제2 더미층(19)을 가로질러 형성될 수 있다. 즉, 상기 제3 보호층(29)은 일측이 상기 제1 보호층(25)으로부터 연장되고 타측이 상기 제2 보호층(27)으로부터 연장되며 상기 제2 더미층(19)을 가로질러 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2 연결 전극(33)은 상기 제1 내지 제3 보호층(25, 27, 29) 상에 형성될 수 있다. The third protective layer 29 may be formed to cross the second dummy layer 19. That is, the third protective layer 29 extends from one side of the first protective layer 25 and the other side extends from the second protective layer 27 and is formed to cross the second dummy layer 19. Can be. Accordingly, the second connection electrode 33 may be formed on the first to third protective layers 25, 27, and 29.

상기 제2 연결 전극(33)과 상기 제2 더미층(19) 사이의 전기적인 쇼트를 완전하게 차단하기 위해 상기 제3 보호층(29)의 폭(w1)은 적어도 상기 제2 연결 전극(33)의 폭(w2)보다 클 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The width w1 of the third protective layer 29 is at least the second connection electrode 33 to completely block the electrical short between the second connection electrode 33 and the second dummy layer 19. May be larger than the width w2, but the present invention is not limited thereto.

상기 발광 구조물(13)과 상기 더미 구조물(21)은 물리적으로 이격될 수 있다. 상기 발광 구조물(13)과 상기 더미 구조물(21) 사이는 제1 및 제2 리세스(140, 150)에 의해 전기적으로 절연되거나 물리적으로 분리될 수 있다. 상기 제1 리세스(140)는 상기 제2 리세스(150)에 연결되고, 상기 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)의 외측면의 제1 일부 영역과 상기 더미 구조물(21)의 제1 더미층(15)의 내측면의 제1 영역을 분리시키는 역할을 하 수 있다. 상기 제2 리세스(150)는 상기 발광 구조물(13)의 제2 도전형 반도체층(11)의 외측면, 발광층(9)의 외측면 및 제1 도전형 반도체층(7)의 외측면의 제2 영역과 상기 더미 구조물(21)의 제2 더미층(19)의 내측면, 비 발광층(17)의 내측면 및 제1 더미층(15)의 내측면의 제2 영역을 분리시키는 역할을 할 수 있다.The light emitting structure 13 and the dummy structure 21 may be physically spaced apart. The light emitting structure 13 and the dummy structure 21 may be electrically insulated or physically separated by the first and second recesses 140 and 150. The first recess 140 is connected to the second recess 150, and the first partial region and the dummy structure of the outer surface of the first conductivity-type semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13 are formed. 21 may serve to separate the first region of the inner surface of the first dummy layer 15. The second recess 150 may be formed on the outer surface of the second conductive semiconductor layer 11 of the light emitting structure 13, the outer surface of the light emitting layer 9, and the outer surface of the first conductive semiconductor layer 7. It serves to separate the second region from the inner side of the second dummy layer 19 of the dummy structure 21, the inner side of the non-light emitting layer 17 and the inner side of the first dummy layer 15. can do.

상기 제1 리세스(140)의 폭(t1)은 상기 제2 리세스(150)의 폭(t2)과 동일하거나 클 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The width t1 of the first recess 140 may be equal to or larger than the width t2 of the second recess 150, but is not limited thereto.

예컨대, 상기 제1 리세스(140)의 폭(t1)은 100nm 내지 200nm일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 100nm는 현재의 미세 패턴 공정의 한계를 나타내는 것으로서, 추후 기술 향상으로 더욱 작은 폭의 미세 패턴 공정이 가능하면 그 하한값까지 제1 실시예에 포함될 수 있을 것이다. For example, the width t1 of the first recess 140 may be 100 nm to 200 nm, but is not limited thereto. 100 nm represents a limitation of the current fine pattern process, and if the fine pattern process of a smaller width is possible due to further technical improvement, the lower limit thereof may be included in the first embodiment.

예컨대, 상기 제2 리세스(150)의 폭(t2)은 80㎛ 내지 100㎛일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. For example, the width t2 of the second recess 150 may be 80 μm to 100 μm, but the embodiment is not limited thereto.

100㎛보다 클수록, 상기 발광 구조물(13)의 사이즈가 작아지므로, 상기 제2 리세스(150)의 폭(t2)은 100㎛이하인 것이 바람직하다.Since the size of the light emitting structure 13 is smaller than 100 μm, the width t2 of the second recess 150 is preferably 100 μm or less.

상기 더미 구조물(21)의 폭(t3)은 5㎛ 내지 20㎛일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 20㎛보다 클수록 제1 실시예에 따른 발광 소자의 사이즈가 증가되는 문제가 있고, 5㎛보다 작을수록 정전기를 방출 능력이 저하되는 문제가 있다.The width t3 of the dummy structure 21 may be 5 μm to 20 μm, but is not limited thereto. There is a problem in that the size of the light emitting device according to the first embodiment increases as the size larger than 20 μm, and the ability to discharge static electricity decreases as the size smaller than 5 μm.

상기 제1 보호층(25)은 상기 제2 리세스(150)에 형성될 수 있다. 상기 제1 보호층(25)은 상기 제2 리세스(150)에 완전하게 채워질 수도 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 즉, 상기 제1 보호층(25)의 상면은 상기 발광 구조물(13)의 제2 도전형 반도체층(11) 또는 상기 더미 구조물(21)의 제2 더미층(19)의 상면과 실질적으로 동일한 높이를 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The first passivation layer 25 may be formed in the second recess 150. The first passivation layer 25 may be completely filled in the second recess 150, but is not limited thereto. That is, the upper surface of the first protective layer 25 is substantially the same as the upper surface of the second conductive semiconductor layer 11 of the light emitting structure 13 or the second dummy layer 19 of the dummy structure 21. It may have a height, but is not limited thereto.

상기 제4 보호층(30)은 상기 제1 리세스(140)에 형성될 수 있다. 상기 제4 보호층(30)에 의해 상기 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)과 상기 더미 구조물(21)의 제1 더미층(15)이 전기적으로 절연될 수 있다. The fourth passivation layer 30 may be formed in the first recess 140. The first conductive semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13 and the first dummy layer 15 of the dummy structure 21 may be electrically insulated by the fourth protective layer 30.

제1 실시예에 따른 발광 소자에 따르면, 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 제1 전극(35)과 상기 제1 연결 전극(31)에 의해 상기 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)과 상기 더미 구조물(21)의 제2 더미층(19)이 전기적으로 연결되고, 제2 연결 전극(33)에 의해 상기 발광 구조물(13)의 투명 도전층(23)과 상기 더미 구조물(21)의 제1 더미층(15)이 전기적으로 연결될 수 있다. 아울러, 제2 전극(37)이 상기 투명 도전층(23) 상에 형성될 수 있다.According to the light emitting device according to the first embodiment, as shown in FIG. 4, the first conductivity type semiconductor layer of the light emitting structure 13 is formed by the first electrode 35 and the first connection electrode 31. 7 and the second dummy layer 19 of the dummy structure 21 are electrically connected to each other, and the transparent conductive layer 23 and the dummy structure of the light emitting structure 13 are connected by the second connection electrode 33. The first dummy layer 15 of 21 may be electrically connected. In addition, a second electrode 37 may be formed on the transparent conductive layer 23.

이러한 구조에서, 제1 와이어(미도시)가 상기 제1 전극(35)에 본딩되고, 제2 와이어(미도시)가 상기 제2 전극(37)에 본딩될 수 있다. In this structure, a first wire (not shown) may be bonded to the first electrode 35, and a second wire (not shown) may be bonded to the second electrode 37.

도 5에 도시한 바와 같이, 상기 제1 및 제2 와이어를 통해 전원이 인가되는 경우, 예컨대 제1 와이어로 부(-)의 전압이 인가되고 제2 와이어로 정(+)의 전압이 인가되는 경우, 상기 제1 및 제2 전극(35, 37)으로 인가된 전원에 의해 상기 발광 구조물(13)에서 광이 생성될 수 있다. As shown in FIG. 5, when power is applied through the first and second wires, for example, a negative voltage is applied to the first wire and a positive voltage is applied to the second wire. In this case, light may be generated in the light emitting structure 13 by power applied to the first and second electrodes 35 and 37.

부(-)의 전압은 상기 제1 연결 전극(31)을 통해 상기 더미 구조물(21)의 제2 더미층(19)으로 인가되고 정(-)의 전압은 상기 제2 연결 전극(33)을 통해 상기 더미 구조물(21)의 제1 더미층(15)으로 인가될 수 있다. 이러한 경우, 상기 더미 구조물(21)에는 어떠한 전류도 흐르지 않게 되어 광이 생성되지 않게 된다.A negative voltage is applied to the second dummy layer 19 of the dummy structure 21 through the first connection electrode 31, and a positive voltage is applied to the second connection electrode 33. It may be applied to the first dummy layer 15 of the dummy structure 21 through. In this case, no current flows to the dummy structure 21 so that light is not generated.

도 6에 도시한 바와 같이, 예컨대, 더미 구조물(21)의 제2 더미층(19)으로 정전기가 유입되는 경우, 정전기는 상기 더미 구조물(21)의 제2 더미층(19) 및 비 발광층(17)을 경유하여 제1 더미층(15)으로 방출될 수 있다. As shown in FIG. 6, for example, when static electricity flows into the second dummy layer 19 of the dummy structure 21, the static electricity may be stored in the second dummy layer 19 and the non-light emitting layer of the dummy structure 21. It may be emitted to the first dummy layer 15 via 17).

만일 정전기가 발광 구조물(13)의 투명 도전층(23)으로 유입되는 경우, 다수의 제2 연결 전극(33)을 경유하여 상기 더미 구조물(21)의 제1 더미층(15)으로 신속히 방출될 수 있다. If static electricity flows into the transparent conductive layer 23 of the light emitting structure 13, the static electricity may be rapidly released to the first dummy layer 15 of the dummy structure 21 via the plurality of second connection electrodes 33. Can be.

제1 실시예에 따른 발광 소자에서는 더미 구조물(21)이 상기 발광 구조물(13)의 둘레를 따라 형성되어 상기 더미 구조물(21)의 사이즈가 극대화될 수 있으므로, 정전기의 방출 능력이 현저하게 향상될 수 있다. In the light emitting device according to the first embodiment, since the dummy structure 21 may be formed along the circumference of the light emitting structure 13, the size of the dummy structure 21 may be maximized, and thus the ability to discharge static electricity may be remarkably improved. Can be.

도 7 내지 도 10은 제1 실시예에 따른 발광 소자의 제조 방법을 도시한 도면이다.7 to 10 illustrate a method of manufacturing the light emitting device according to the first embodiment.

도 7에 도시한 바와 같이, 기판(1) 상에 버퍼층(3) 및 비 도전형 반도체층(5) 중 적어도 하나 이상이 형성될 수 있다. 이에 반해, 상기 버퍼층(3)과 비 도전형층은 형성되지 않을 수도 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.As illustrated in FIG. 7, at least one of the buffer layer 3 and the non-conductive semiconductor layer 5 may be formed on the substrate 1. In contrast, the buffer layer 3 and the non-conductive layer may not be formed, but the embodiment is not limited thereto.

상기 기판(1), 상기 버퍼층(3) 및 상기 비 도전형 반도체층(5) 중 하나의 층 상에 제1 내지 제3 화합물 반도체층(110, 120, 130)이 형성될 수 있다. First to third compound semiconductor layers 110, 120, and 130 may be formed on one of the substrate 1, the buffer layer 3, and the non-conductive semiconductor layer 5.

상기 제1 화합물 반도체층(110)은 예를 들어, n형 도펀트를 포함하는 n형 반도체층일 수 있다. 상기 제1 화합물 반도체층(110)은 InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재질, 예를 들어 InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN 및 AlInN로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있으며, Si, Ge, Sn 등의 n형 도펀트가 도핑될 수 있다. The first compound semiconductor layer 110 may be, for example, an n-type semiconductor layer including an n-type dopant. The first compound semiconductor layer 110 is a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1-xy N (0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1, 0 ≦ x + y ≦ 1), for example It may include at least one selected from the group consisting of InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN, and AlInN, and may be doped with an n-type dopant such as Si, Ge, Sn, or the like.

상기 제2 화합물 반도체층(120)은 다중 양자 우물 구조(MQW), 양자점 구조 또는 양자선 구조 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 상기 제2 화합물 반도체층(120)은 우물층과 장벽층의 주기로 반복 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 화합물 반도체층(120)은 InGaN/GaN의 주기, InGaN/AlGaN의 주기, InGaN/InGaN의 주기 등으로 형성될 수 있다. 상기 장벽층의 밴드갭은 상기 우물층의 밴드갭보다 크게 형성될 수 있다.The second compound semiconductor layer 120 may include any one of a multi quantum well structure (MQW), a quantum dot structure, or a quantum line structure. The second compound semiconductor layer 120 may be repeatedly formed at a cycle of the well layer and the barrier layer. For example, the second compound semiconductor layer 120 may be formed by a period of InGaN / GaN, a period of InGaN / AlGaN, a period of InGaN / InGaN, and the like. The band gap of the barrier layer may be larger than the band gap of the well layer.

상기 제3 화합물 반도체층(130)은 예를 들어, p형 도펀트를 포함하는 p형 반도체층일 수 있다. 상기 제3 화합물 반도체층(130)은 InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재질, 예를 들어 InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN 및 AlInN로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있으며, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등의 p형 도펀트가 도핑될 수 있다.The third compound semiconductor layer 130 may be, for example, a p-type semiconductor layer including a p-type dopant. The third compound semiconductor layer 130 is a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1-xy N (0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1, 0 ≦ x + y ≦ 1), for example It may include at least one selected from the group consisting of InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN, and AlInN, and may be doped with p-type dopants such as Mg, Zn, Ca, Sr, and Ba.

상기 버퍼층(3), 상기 비 도전형 반도체층(5) 및 상기 제1 내지 제3 화합물 반도체층(110, 120, 130)은 II-VI족 또는 III-V족 화합물 반도체 재질로 형성될 수 있다. The buffer layer 3, the non-conductive semiconductor layer 5, and the first to third compound semiconductor layers 110, 120, and 130 may be formed of a II-VI or III-V compound semiconductor material. .

도 8에 도시한 바와 같이, 상기 제1 내지 제3 화합물 반도체층(110, 120, 130)을 식각하여 제1 및 제2 리세스(140, 150)가 형성될 수 있다. 상기 제1 및 제2 리스세에 의해 발광 구조물(13)과 더미 구조물(21)이 정의될 수 있다. As illustrated in FIG. 8, first and second recesses 140 and 150 may be formed by etching the first to third compound semiconductor layers 110, 120, and 130. The light emitting structure 13 and the dummy structure 21 may be defined by the first and second leases.

상기 발과 구조물과 상기 더미 구조물(21)은 상기 제1 내지 제3 화합물 반도체층(110, 120, 130)으로부터 형성될 수 있다. The foot structure and the dummy structure 21 may be formed from the first to third compound semiconductor layers 110, 120, and 130.

상기 발광 구조물(13)은 상기 제1 화합물 반도체층(110)으로부터 형성된 제1 도전형 반도체층(7), 상기 제2 화합물 반도체층(120)으로부터 형성된 발광층(9) 및 상기 제3 화합물 반도체층(130)으로부터 형성된 제2 도전형 반도체층(11)을 포함할 수 있다.The light emitting structure 13 may include a first conductive semiconductor layer 7 formed from the first compound semiconductor layer 110, a light emitting layer 9 formed from the second compound semiconductor layer 120, and the third compound semiconductor layer. It may include a second conductivity-type semiconductor layer 11 formed from (130).

상기 더미 구조물(21)은 상기 제1 화합물 반도체층(110)으로부터 형성된 제1 더미층(15), 상기 제2 화합물 반도체층(120)으로부터 형성된 비 발광층(17) 및 상기 제3 화합물 반도체층(130)으로부터 형성된 제2 더미층(19)을 포함할 수 있다. The dummy structure 21 may include a first dummy layer 15 formed from the first compound semiconductor layer 110, a non-light emitting layer 17 formed from the second compound semiconductor layer 120, and the third compound semiconductor layer ( And a second dummy layer 19 formed from 130.

제1 식각 공정을 수행하여 제2 리세스(150)가 형성되고, 이어서 제2 식각 공정을 수행하여 제1 리세스(140)가 형성될 수 있다. The second recess 150 may be formed by performing a first etching process, and then the first recess 140 may be formed by performing a second etching process.

이와 반대로, 제1 리세스(140)가 형성된 후, 제2 리세스(150)가 형성될 수도 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.On the contrary, after the first recess 140 is formed, the second recess 150 may be formed, but is not limited thereto.

상기 제2 리세스(150)의 폭(t2)은 상기 제1 리세스(140)의 폭(t1)과 같거나 클 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The width t2 of the second recess 150 may be equal to or larger than the width t1 of the first recess 140, but is not limited thereto.

제1 및 제2 리세스(140, 150)가 형성된 후, 상기 발광 구조물(13)의 제2 도전형 반도체층(11) 상에 투명 도전층(23)이 형성될 수 있다. After the first and second recesses 140 and 150 are formed, the transparent conductive layer 23 may be formed on the second conductive semiconductor layer 11 of the light emitting structure 13.

이와 반대로, 상기 투명 도전층(23)이 먼저 형성된 후, 상기 제1 및 제2 리세스(140, 150)가 형성될 수도 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.On the contrary, the first and second recesses 140 and 150 may be formed after the transparent conductive layer 23 is formed first, but the present invention is not limited thereto.

도 9에 도시한 바와 같이, 상기 제1 및 제2 리세스(140, 150) 및 상기 더미 구조물(21)의 둘레 영역에 제1 내지 제4 보호층(25, 27, 29, 30)이 형성될 수 있다.As shown in FIG. 9, first to fourth passivation layers 25, 27, 29, and 30 are formed in circumferential regions of the first and second recesses 140 and 150 and the dummy structure 21. Can be.

예컨대, 상기 제1 보호층(25)은 상기 제2 리세스(150)의 내측면, 즉 상기 발광 구조물(13)의 외측면, 상기 더미 구조물(21)의 내측면 그리고 상기 발광 구조물(13)과 상기 더미 구조물(21) 사이의 바닥면에 형성될 수 있다. 상기 바닥면은 상기 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)의 상면 그리고 상기 더미 구조물(21)의 제1 더미층(15)의 상면일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. For example, the first passivation layer 25 may have an inner side surface of the second recess 150, that is, an outer side surface of the light emitting structure 13, an inner side surface of the dummy structure 21, and the light emitting structure 13. And a bottom surface between the dummy structure 21. The bottom surface may be an upper surface of the first conductive semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13 and an upper surface of the first dummy layer 15 of the dummy structure 21, but is not limited thereto.

상기 제2 보호층(27)은 상기 더미 구조물(21)의 외측면에 형성될 수 있다.The second protective layer 27 may be formed on an outer surface of the dummy structure 21.

상기 제3 보호층(29)은 상기 제1 및 제2 보호층(25, 27) 사이에서 상기 더미 구조물(21)의 제2 더미층(19) 상에 형성될 수 있다. The third protective layer 29 may be formed on the second dummy layer 19 of the dummy structure 21 between the first and second protective layers 25 and 27.

상기 제4 보호층(30)은 상기 제1 리세스(140)에 형성될 수 있다. 상기 제4 보호층(30)에 의해 상기 더미 구조물(21)과 상기 발광 구조물(13)이 전기적으로 절연되고 물리적으로 이격될 수 있다. The fourth passivation layer 30 may be formed in the first recess 140. The dummy structure 21 and the light emitting structure 13 may be electrically insulated and physically spaced apart from each other by the fourth protective layer 30.

도 10에 도시한 바와 같이, 상기 발광 구조물(13) 상에 제1 및 제2 전극(35, 37)이 형성되고, 상기 발광 구조물(13)과 상기 더미 구조물(21) 사이에 제1 및 제2 연결 전극(33)이 형성될 수 있다.As shown in FIG. 10, first and second electrodes 35 and 37 are formed on the light emitting structure 13, and the first and second electrodes are disposed between the light emitting structure 13 and the dummy structure 21. 2 connection electrode 33 may be formed.

상기 제1 전극(35)은 상기 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7) 상에 형성되고, 상기 제2 전극(37)은 상기 발광 구조물(13)의 제2 도전형 반도체층(11) 상에 형성될 수 있다.The first electrode 35 is formed on the first conductive semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13, and the second electrode 37 is the second conductive semiconductor layer of the light emitting structure 13. (11) can be formed.

상기 제1 연결 전극(31)은 상기 제1 전극(35)으로부터 연장되어 상기 더미 구조물(21)의 제2 더미층(19) 상에 형성되고, 상기 제2 연결 전극(33)은 상기 발광 구조물(13)의 투명 도전층(23) 상에 형성되고 상기 더미 구조물(21)의 제1 더미층(15) 상에 형성되며, 상기 상기 발광 구조물(13)의 외측면, 상기 더미 구조물(21)의 내측면, 외측면 및 상면 그리고 상기 발광 구조물(13)과 상기 더미 구조물(21) 사이의 바닥면 상에 형성될 수 있다. The first connection electrode 31 extends from the first electrode 35 to be formed on the second dummy layer 19 of the dummy structure 21, and the second connection electrode 33 is the light emitting structure. It is formed on the transparent conductive layer 23 of (13) and formed on the first dummy layer 15 of the dummy structure 21, the outer surface of the light emitting structure 13, the dummy structure 21 The inner surface, the outer surface and the upper surface of the and may be formed on the bottom surface between the light emitting structure 13 and the dummy structure (21).

도 11은 제2 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.11 is a sectional view showing a light emitting device according to the second embodiment.

제2 실시예는 제4 보호층(30)이 형성되는 제1 리세스(140)가 버퍼층(3)과 비 도전형 반도체층(5)을 분리시키는 것을 제외하고는 제1 실시예와 동일하다. 제2 실시예에서 설명되지 않은 구성 요소들에 대해서는 제1 실시예로부터 용이하게 이해될 수 있다.The second embodiment is the same as the first embodiment except that the first recess 140 in which the fourth protective layer 30 is formed separates the buffer layer 3 from the non-conductive semiconductor layer 5. . Components not described in the second embodiment can be easily understood from the first embodiment.

도 11을 참조하면, 제2 실시예에 따른 발광 소자에서, 제1 및 제2 리세스(140, 150)가 형성될 수 있다. Referring to FIG. 11, in the light emitting device according to the second embodiment, first and second recesses 140 and 150 may be formed.

상기 제1 리세스(140)는 상기 제2 리세스(150)에 연결될 수 있다. The first recess 140 may be connected to the second recess 150.

상기 제1 리세스(140)는 상기 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)과 상기 더미 구조물(21)의 제1 더미층(15)을 분리시킬 뿐만 아니라 상기 버퍼층(3)과 상기 비 도전형 반도체층(5)을 분리시키는 역할을 할 수 있다. The first recess 140 not only separates the first conductive semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13 from the first dummy layer 15 of the dummy structure 21, but also the buffer layer 3. And the non-conductive semiconductor layer 5.

상기 제2 리세스(150)에 의해 상기 발광 구조물(13)의 제2 도전형 반도체층(11), 발광층(9) 및 제1 도전형 반도체층(7)의 외측면이 노출되고 상기 더미 구조물(21)의 제2 더미층(19), 비 발광층(17) 및 제1 더미층(15)의 내측면이 노출될 수 있다. The second recess 150 exposes the outer surfaces of the second conductive semiconductor layer 11, the light emitting layer 9, and the first conductive semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13, and exposes the dummy structure. Inner surfaces of the second dummy layer 19, the non-light emitting layer 17, and the first dummy layer 15 of 21 may be exposed.

상기 제1 리세스(140)에 의해 상기 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)의 외측면, 상기 더미 구조물(21)의 제1 더미층(15)의 내측면, 상기 비 도전형 반도체층(5)의 내측면, 상기 버퍼층(3)의 내측면 그리고 상기 기판(1)의 상면이 노출될 수 있다.The outer surface of the first conductive semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13, the inner surface of the first dummy layer 15 of the dummy structure 21, and the ratio by the first recess 140. An inner surface of the conductive semiconductor layer 5, an inner surface of the buffer layer 3, and an upper surface of the substrate 1 may be exposed.

상기 제2 리세스(150)의 폭은 상기 제1 리세스(140)의 폭과 같거나 클 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The width of the second recess 150 may be equal to or larger than the width of the first recess 140, but is not limited thereto.

제4 보호층(30)은 제1 리세스(140)에 형성될 수 있다. 상기 제4 보호층(30)은 상기 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)의 외측면, 상기 더미 구조물(21)의 제1 더미층(15)의 내측면, 상기 비 도전형 반도체층(5)의 내측면, 상기 버퍼층(3)의 내측면 그리고 상기 기판(1)의 상면에 접할 수 있다.The fourth passivation layer 30 may be formed in the first recess 140. The fourth passivation layer 30 is formed on an outer surface of the first conductive semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13, an inner surface of the first dummy layer 15 of the dummy structure 21, and the non-conductive surface. The inner surface of the type semiconductor layer 5, the inner surface of the buffer layer 3, and the upper surface of the substrate 1 may be in contact with each other.

제2 실시예에와 같이 제1 리세스(140)가 형성되고, 상기 제1 리세스(140)에 제4 보호층(30)이 형성됨으로써, 혹시라도 버퍼층(3)이나 비 도전형 반도체층(5)에 의한 발광 구조물(13)과 더미 구조물(21) 사이의 전기적인 쇼트를 방지할 수 있다. As in the second embodiment, the first recess 140 is formed, and the fourth protective layer 30 is formed in the first recess 140, thereby allowing the buffer layer 3 or the non-conductive semiconductor layer. Electrical short between the light emitting structure 13 and the dummy structure 21 by (5) can be prevented.

도 12는 제3 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.12 is a sectional view showing a light emitting device according to the third embodiment.

제3 실시예는 제2 리세스(150)만 형성되고, 제1 전극(35)의 측면이 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)의 측면과 접하고 상기 제1 전극(35)의 배면이 상기 비 도전형 반도체층(5)의 상면에 접하는 것을 제외하고는 제1 실시예와 동일하다. 제3 실시예에서 설명되지 않은 구성 요소들에 대해서는 제1 실시예로부터 용이하게 이해될 수 있다.In the third embodiment, only the second recess 150 is formed, and the side of the first electrode 35 is in contact with the side of the first conductivity-type semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13 and the first electrode 35 is formed. ) Is the same as that of the first embodiment except that the back surface is in contact with the top surface of the non-conductive semiconductor layer 5. Components not described in the third embodiment can be easily understood from the first embodiment.

도 12를 참조하면, 제3 실시예에 따른 발광 소자에서, 동일한 폭을 갖는 리세스(150)가 형성될 수 있다. 상기 리세스(150)에 의해 상기 비 도전형 반도체층(5)의 상면이 노출될 수 있다.Referring to FIG. 12, in the light emitting device according to the third embodiment, recesses 150 having the same width may be formed. An upper surface of the non-conductive semiconductor layer 5 may be exposed by the recess 150.

제1 보호층(25)이 발광 구조물(13)의 외측면과 더미 구조물(21)의 내측면에 형성될 수 있다. 상기 발광 구조물(13)의 외측면에 형성된 제1 보호층(25)에 의해 상기 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)의 측면의 일부 영역이 노출될 수 있다. 즉, 상기 제1 보호층(25)은 상기 발광 구조물(13)의 제2 도전형 반도체층(11)의 상면의 일부 영역으로부터 상기 제2 도전형 반도체층(11)의 측면 및 상기 발광층(9)의 측면을 경유하여 상기 제1 도전형 반도체층(7)의 일부 영역까지 형성될 수 있다. The first passivation layer 25 may be formed on the outer surface of the light emitting structure 13 and the inner surface of the dummy structure 21. A portion of the side surface of the first conductive semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13 may be exposed by the first protective layer 25 formed on the outer surface of the light emitting structure 13. That is, the first passivation layer 25 may have a side surface of the second conductive semiconductor layer 11 and the light emitting layer 9 from a portion of the upper surface of the second conductive semiconductor layer 11 of the light emitting structure 13. Up to a portion of the first conductivity type semiconductor layer 7 may be formed via a side surface of the substrate.

제1 전극(35)은 상기 제1 보호층(25)에 의해 노출된 상기 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)의 측면 및 상기 비 도전형 반도체층(5)의 상면에 접하도록 형성될 수 있다. The first electrode 35 is disposed on the side surface of the first conductive semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13 and the top surface of the non-conductive semiconductor layer 5 exposed by the first protective layer 25. It may be formed to contact.

제3 실시예에 따른 발광 소자는 하나의 리세스(150)만 형성하면 되므로, 제조 공정이 단순해질 수 있다.Since the light emitting device according to the third embodiment only needs to form one recess 150, the manufacturing process may be simplified.

도 13은 제4 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.13 is a sectional view showing a light emitting device according to the fourth embodiment.

제4 실시예는 제1 전극(35)이 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)의 상면과 측면에 접하는 것을 제외하고는 제1 실시예와 동일하다. 제4 실시예에서 설명되지 않은 구성 요소들에 대해서는 제1 실시예로부터 용이하게 이해될 수 있다.The fourth embodiment is the same as the first embodiment except that the first electrode 35 is in contact with the top and side surfaces of the first conductivity-type semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13. Components not described in the fourth embodiment can be easily understood from the first embodiment.

도 13을 참조하면, 제4 실시예에 따른 발광 소자에서, 제1 및 제2 리세스(140, 150)가 형성될 수 있다. Referring to FIG. 13, in the light emitting device according to the fourth embodiment, first and second recesses 140 and 150 may be formed.

상기 제2 리세스(150)는 적어도 상기 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)의 측면의 일부 영역과 상면을 노출시킬 수 있다.The second recess 150 may expose at least a portion of the side surface and the upper surface of the first conductive semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13.

상기 제1 리세스(140)는 상기 제2 리세스(150)에 연결되고, 상기 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)과 상기 더미 구조물(21)의 제1 더미층(15)을 분리시키는 역할을 할 수 있다.The first recess 140 is connected to the second recess 150, and the first conductive semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13 and the first dummy layer of the dummy structure 21 ( 15) can serve to separate.

제1 전극(35)은 상기 제2 리세스(150)에 형성될 수 있다. 상기 제1 전극(35)은 상기 제2 리세스(150) 내에 상기 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)의 측면의 일부 영역과 상면과 접하도록 형성될 수 있다.The first electrode 35 may be formed in the second recess 150. The first electrode 35 may be formed to contact a portion of the side surface of the first conductive semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13 and the upper surface in the second recess 150.

제4 실시예에 따른 발광 소자는 상기 발광 구조물(13)의 제1 도전형 반도체층(7)의 상면과 측면에 접하는 제1 전극(35)이 구비되어, 제1 전극(35)과 상기 제1 도전형 반도체층(7)의 접촉 면적을 증가시켜 전원이 보다 원할하게 제1 도전형 반도체층(7)으로 공급되고 제1 전극(35)의 부착력을 강화하여 제1 전극(35)이 제1 도전형 반도체층(7)으로부터 떨어지는(peel off) 것을 방지할 수 있다. The light emitting device according to the fourth embodiment includes a first electrode 35 which is in contact with the top and side surfaces of the first conductivity-type semiconductor layer 7 of the light emitting structure 13. By increasing the contact area of the first conductive semiconductor layer 7, the power is more smoothly supplied to the first conductive semiconductor layer 7, and the adhesive force of the first electrode 35 is strengthened so that the first electrode 35 is formed. Peeling off from the single conductive semiconductor layer 7 can be prevented.

도 14는 실시예에 따른 발광 소자 패키지를 도시한 단면도이다.14 is a cross-sectional view showing a light emitting device package according to the embodiment.

도 14를 참조하면, 실시예에 따른 발광 소자 패키지는 몸체(101)와, 상기 몸체(101)에 설치된 제1 리드 전극(103) 및 제2 리드 전극(105)과, 상기 몸체(101)에 설치되어 상기 제1 리드 전극(103) 및 제2 리드 전극(105)으로부터 전원을 공급받는 제1 실시예 및 제2 실시예들에 따른 발광 소자(200)와, 상기 발광 소자(200)를 포위하는 몰딩 부재(113)를 포함한다.Referring to FIG. 14, the light emitting device package according to the embodiment may include a body 101, a first lead electrode 103 and a second lead electrode 105 installed on the body 101, and the body 101. A light emitting device 200 according to the first and second embodiments, which is installed and supplied with power from the first lead electrode 103 and the second lead electrode 105, and surrounds the light emitting device 200. The molding member 113 is included.

상기 발광 소자(200)는 제1 내지 제4 실시예에 따른 발광 소자 중 하나일 수 있다.The light emitting device 200 may be one of the light emitting devices according to the first to fourth embodiments.

상기 몸체(101)는 실리콘 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있으며, 상기 발광 소자(200)의 주위에 경사면이 형성될 수 있다.The body 101 may include a silicon material, a synthetic resin material, or a metal material, and an inclined surface may be formed around the light emitting device 200.

상기 제1 리드 전극(103) 및 제2 리드 전극(105)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 발광 소자(200)에 전원을 제공한다.The first lead electrode 103 and the second lead electrode 105 are electrically separated from each other, and provide power to the light emitting device 200.

또한, 상기 제1 및 제2 리드 전극(103, 105)은 상기 발광 소자(200)에서 발생된 빛을 반사시켜 광 효율을 증가시킬 수 있으며, 상기 발광 소자(200)에서 발생된 열을 외부로 배출시키는 역할을 할 수도 있다.In addition, the first and second lead electrodes 103 and 105 may increase light efficiency by reflecting the light generated from the light emitting device 200, and heat generated from the light emitting device 200 to the outside. It can also play a role.

상기 발광 소자(200)는 상기 제1 리드 전극(103), 제2 리드 전극(105) 및 상기 몸체(101) 중 어느 하나 위에 설치될 수 있으며, 와이어 방식, 다이 본딩 방식 등에 의해 상기 제1 및 제2 리드 전극(103, 105)에 전기적으로 연결될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다.The light emitting device 200 may be installed on any one of the first lead electrode 103, the second lead electrode 105, and the body 101. It may be electrically connected to the second lead electrodes 103 and 105, but is not limited thereto.

실시예에서는 한 개의 와이어(109)를 통해 발광 소자(200)를 상기 제1 및 제2 리드 전극(103, 105) 중 하나의 리드 전극에 전기적으로 연결시키는 것이 예시되어 있으나, 이에 한정하지 않고 2개의 와이어를 이용하여 발광 소자(200)를 상기 제1 및 제2 리드 전극(103, 15)에 전기적으로 연결시킬 수도 있으며, 와이어를 사용하지 않고 발광 소자(200)를 상기 제1 및 제2 리드 전극(103, 105)에 전기적으로 연결시킬 수도 있다.In the embodiment, it is illustrated that the light emitting device 200 is electrically connected to one of the first and second lead electrodes 103 and 105 through one wire 109, but is not limited thereto. The light emitting device 200 may be electrically connected to the first and second lead electrodes 103 and 15 using two wires, and the light emitting device 200 may be connected to the first and second leads without using a wire. It may be electrically connected to the electrodes 103 and 105.

상기 몰딩 부재(113)는 상기 발광 소자(200)를 포위하여 상기 발광 소자(200)를 보호할 수 있다. 또한, 상기 몰딩 부재(113)에는 형광체가 포함되어 상기 발광 소자(200)에서 방출된 광의 파장을 변화시킬 수 있다.The molding member 113 may surround the light emitting device 200 to protect the light emitting device 200. In addition, the molding member 113 may include a phosphor to change the wavelength of light emitted from the light emitting device 200.

실시예에 따른 발광 소자 패키지(200)는 COB(Chip On Board) 타입을 포함하며, 상기 몸체(101)의 상면은 평평하고, 상기 몸체(101)에는 복수의 발광 소자가 설치될 수도 있다.The light emitting device package 200 according to the embodiment includes a chip on board (COB) type, the upper surface of the body 101 is flat, a plurality of light emitting devices may be installed on the body 101.

실시예에 따른 발광 소자나 발광 소자 패키지는 라이트 유닛에 적용될 수 있다. 상기 라이트 유닛은 표시 장치와 조명 장치, 예컨대 조명등, 신호등, 차량 전조등, 전광판, 지시등과 같은 유닛에 적용될 수 있다.The light emitting device or the light emitting device package according to the embodiment may be applied to the light unit. The light unit may be applied to a unit such as a display device and a lighting device, for example, a lighting lamp, a traffic light, a vehicle headlight, an electric sign, an indicator lamp.

1: 기판
3: 버퍼층
5: 비 도전형 반도체층
7: 제1 도전형 반도체층
9: 발광층
11: 제2 도전형 반도체층
13: 발광 구조물
15: 제1 더미층
17: 비 발광층
19: 제2 더미층
21: 더미 구조물
23: 투명 도전층
25, 27, 29, 30: 보호층
31: 제1 연결 전극
33: 제2 연결 전극
35: 제1 전극
37: 제2 전극
110, 120, 130: 화합물 반도체층
140, 150: 리세스
1: substrate
3: buffer layer
5: non-conductive semiconductor layer
7: first conductive semiconductor layer
9: light emitting layer
11: second conductivity type semiconductor layer
13: light emitting structure
15: first dummy layer
17: non-emitting layer
19: second dummy layer
21: dummy structure
23: transparent conductive layer
25, 27, 29, 30: protective layer
31: first connection electrode
33: second connection electrode
35: first electrode
37: second electrode
110, 120, 130: compound semiconductor layer
140, 150: recess

Claims (13)

제1도전형 반도체층, 발광층 및 제2도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물;
상기 발광 구조물의 둘레를 따라 배치되며, 비발광층 및 제2더미층을 포함하는 더미 구조물;
상기 제1도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1전극;
상기 제2도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제2전극;
상기 제1전극으로부터 연장되며 상기 더미 구조물과 수직으로 오버랩되는 제1연결 전극;
일부는 상기 제2도전형 반도체층 상에 형성되고 다른 일부는 상기 더미 구조물과 수직으로 오버랩되는 적어도 하나 이상의 제2연결 전극; 및
상기 발광 구조물의 측면과 상기 더미 구조물의 측면 상에 배치되는 보호층을 포함하고,
상기 보호층은 상기 발광 구조물의 외측면, 상기 발광 구조물의 외측면에 대향하는 상기 더미 구조물의 제1측면, 상기 발광 구조물의 외측면과 상기 더미 구조물의 제1측면 사이의 바닥면에 형성되는 제1보호층; 및
상기 더미 구조물의 제1측면에 대응되는 제2측면을 포함하고,
상기 보호층은 상기 더미 구조물의 제2측면에 형성되는 제2보호층을 포함하고,
상기 더미 구조물의 제2측면은 상기 더미 구조물의 최외곽 측면인 발광 소자.
A light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, a light emitting layer, and a second conductive semiconductor layer;
A dummy structure disposed along a circumference of the light emitting structure and including a non-light emitting layer and a second dummy layer;
A first electrode electrically connected to the first conductive semiconductor layer;
A second electrode electrically connected to the second conductive semiconductor layer;
A first connection electrode extending from the first electrode and vertically overlapping the dummy structure;
At least one second connection electrode partially formed on the second conductive semiconductor layer and partially overlapping the dummy structure; And
A protective layer disposed on a side of the light emitting structure and a side of the dummy structure,
The protective layer is formed on an outer side surface of the light emitting structure, a first side surface of the dummy structure facing the outer side surface of the light emitting structure, a bottom surface between the outer side surface of the light emitting structure and the first side surface of the dummy structure. 1 protective layer; And
And a second side surface corresponding to the first side surface of the dummy structure,
The protective layer includes a second protective layer formed on the second side of the dummy structure,
The second side surface of the dummy structure is the light emitting device outermost side of the dummy structure.
제1항에 있어서,
상기 제1 전극은 상기 제1 도전형 반도체층의 일 영역 상에 배치되고,
상기 제1 연결 전극은 상기 더미 구조물의 측면을 따라 배치되어 상기 제2더미층의 상면 일부와 접촉하는 발광 소자.
The method of claim 1,
The first electrode is disposed on one region of the first conductivity type semiconductor layer,
The first connection electrode is disposed along a side of the dummy structure to contact a portion of the upper surface of the second dummy layer.
제1항에 있어서,
상기 보호층은 상기 더미 구조물의 상면에 형성되는 제3보호층을 포함하는 발광 소자.
The method of claim 1,
The protective layer includes a third protective layer formed on the upper surface of the dummy structure.
제3항에 있어서,
상기 제1보호층 내지 상기 제3보호층은 서로로부터 연장된 일체형인 발광 소자.
The method of claim 3, wherein
The first protective layer to the third protective layer is an integrated light emitting device extending from each other.
제1항에 있어서,
상기 보호층은 투명한 절연물질인 발광 소자.
The method of claim 1,
The protective layer is a light emitting device that is a transparent insulating material.
제5항에 있어서,
상기 보호층은 SiO2, SiOx, SiOxNy, Si3N4, TiO2 및 Al2O3로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 하나를 포함하는 발광 소자.
The method of claim 5,
The protective layer is a light emitting device comprising one selected from the group consisting of SiO 2 , SiO x , SiO x N y , Si 3 N 4 , TiO 2 and Al 2 O 3 .
제1항에 있어서,
상기 제2보호층의 일부 영역은 상기 제2더미층과 부분적으로 중첩되는 발광 소자.
The method of claim 1,
A portion of the second protective layer partially overlaps the second dummy layer.
제7항에 있어서,
상기 더미 구조물은 제1더미층, 상기 제1더미층 상에 배치되는 상기 비발광층, 상기 비발광층 상에 배치되는 상기 제2더미층을 포함하고,
상기 제2보호층의 또 다른 영역은 상기 제1더미층과 부분적으로 중첩되는 발광 소자.
The method of claim 7, wherein
The dummy structure includes a first dummy layer, the non-emitting layer disposed on the first dummy layer, and the second dummy layer disposed on the non-emitting layer,
And another region of the second protective layer partially overlaps the first dummy layer.
제3항에 있어서,
상기 제3보호층은 상기 제1보호층과 상기 제2보호층 사이에 형성되는 발광 소자.
The method of claim 3, wherein
The third protective layer is a light emitting device formed between the first protective layer and the second protective layer.
제9항에 있어서,
상기 제3보호층의 일측이 상기 제1보호층으로부터 연장되고 타측이 상기 제2보호층으로부터 연장되며,
상기 제3보호층은 상기 제2더미층을 가로질러 형성되는 발광 소자.
The method of claim 9,
One side of the third protective layer extends from the first protective layer and the other side extends from the second protective layer,
And the third protective layer is formed across the second dummy layer.
제10항에 있어서,
상기 제3보호층의 폭은 적어도 상기 제2연결 전극의 폭보다 큰 발광 소자.
The method of claim 10,
The width of the third protective layer is at least larger than the width of the second connection electrode.
제1항에 있어서,
상기 발광 소자는 중앙에 상기 발광 구조물이 배치되고, 상기 더미 구조물은 상기 발광 구조물의 최외곽에서 상기 발광 구조물을 둘러싸며 배치되는 발광 소자.
The method of claim 1,
The light emitting device is the light emitting device is disposed in the center, the dummy structure is a light emitting device disposed surrounding the light emitting structure at the outermost of the light emitting structure.
제12항에 있어서,
상기 더미 구조물의 제2측면은 상기 발광 소자의 제2더미층 중 최외곽 측면인 발광 소자.
The method of claim 12,
The second side surface of the dummy structure is a light emitting device is the outermost side of the second dummy layer of the light emitting device.
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