KR102027116B1 - Non―contact adsorption device of flexible material - Google Patents

Non―contact adsorption device of flexible material Download PDF

Info

Publication number
KR102027116B1
KR102027116B1 KR1020180039259A KR20180039259A KR102027116B1 KR 102027116 B1 KR102027116 B1 KR 102027116B1 KR 1020180039259 A KR1020180039259 A KR 1020180039259A KR 20180039259 A KR20180039259 A KR 20180039259A KR 102027116 B1 KR102027116 B1 KR 102027116B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
flexible material
air
porous
air supply
adsorption pad
Prior art date
Application number
KR1020180039259A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이준호
진의신
김민수
Original Assignee
주식회사 필옵틱스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 필옵틱스 filed Critical 주식회사 필옵틱스
Priority to KR1020180039259A priority Critical patent/KR102027116B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102027116B1 publication Critical patent/KR102027116B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H5/00Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines
    • B65H5/08Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines by grippers, e.g. suction grippers
    • B65H5/14Details of grippers; Actuating-mechanisms therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2406/00Means using fluid
    • B65H2406/30Suction means
    • B65H2406/34Suction grippers
    • B65H2406/343Details of sucking member

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)

Abstract

The present invention relates to a non-contact adsorption device for a flexible material. According to an embodiment of the present invention, the non-contact adsorption device for a flexible material includes: a main body including an upper body, a lower body, a side wall, and a porous adsorption pad; a vacuum generation unit generating a vacuum degree which is set by a chamber space of the main body and forming a negative pressure on the lower surface of the porous adsorption pad through the multiple adsorption holes, wherein the vacuum generating unit adsorbs a flexible material installed on the lower side of the porous adsorption pad upwards; and an air supply unit supplying air through the upper body and enabling the air supplied from the upper body to flow to the lower body through a flow path separated from a chamber space of the main body. The lower body of the main body is horizontally arranged to be vertically spaced from the upper body, and the side wall seals the inner chamber space by connecting the upper body and the lower body. The porous adsorption pad is installed on the lower side of the lower body and has the multiple adsorption holes. The air supply unit evenly sprays the air toward the upper surface of the flexible material by enabling the air flowing to the lower body to pass through the porous adsorption pad. The air supply unit also pushes the flexible material adsorbed upwards toward the lower side of the porous adsorption pad by air pressure and maintains predetermined intervals between the porous adsorption pad and the flexible material while maintaining a horizontal posture of the flexible material.

Description

플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치{NON―CONTACT ADSORPTION DEVICE OF FLEXIBLE MATERIAL}Non-contact adsorption device for flexible material {NON-CONTACT ADSORPTION DEVICE OF FLEXIBLE MATERIAL}

본 발명은 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a non-contact adsorption device for a flexible material.

플렉시블 디스플레이는 최근 들어 학계와 산업계 모두로부터 관심을 받고 있는 차세대 디스플레이라고 할 수 있다. Flexible displays are the next generation of displays that have attracted attention from both academia and industry.

플렉시블 디스플레이는 현재 가장 널리 사용되는 평면 디스플레이에서 한 단계 진보한 차세대 디스플레이의 형태로서 기존 평면 디스플레이 개발에 적용된 기술 패러다임과는 다른 새로운 개념의 기술 패러다임이 요구된다. Flexible display is a form of next-generation display that is one step forward from the most widely used flat panel display and requires a new paradigm of technology that is different from the technology paradigm applied to the development of existing flat panel displays.

특히, 플렉시블 디스플레이를 구성하는 다양한 종류의 소재 중 기능성 필름과 같은 플렉시블 소재는 플렉시블 디스플레이의 성공적인 구현 및 개발을 위해서 필요한 핵심 소재라 할 수 있다. In particular, a flexible material such as a functional film among the various kinds of materials constituting the flexible display may be a core material required for successful implementation and development of the flexible display.

예컨대, 유리기판이 아닌 얇고 쉽게 휘어질 수 있는 필름이나 윌로우 글라스(willow glass) 등과 같은 플렉시블 소재를 이용함으로써 플렉시블 디스플레이 기술을 구현해 낼 수 있다. For example, a flexible display technology may be realized by using a flexible material such as a thin and easily bent film or willow glass, rather than a glass substrate.

그런데 이러한 플렉시블 소재의 경우 자체의 유연한 특성에 따라 쉽게 휘어지게 되고, 소재의 운반 및 정렬 시 평탄한 자세를 유지시키기에 어려움이 있어, 플렉시블 디스플레이 제품의 제작 시 불량 발생의 우려가 따른다. However, such a flexible material is easily bent according to its own flexible characteristics, and there is a difficulty in maintaining a flat posture during transportation and alignment of the material, resulting in the occurrence of defects when manufacturing the flexible display product.

본 발명과 관련된 종래의 기술로서, 대한민국 등록특허공보 제10-1666801호(2016.10.24. 공고일)에는 플렉시블 디스플레이용 필름 부착장치가 개시된다. 이에 개시된 플렉시블 디스플레이용 필름 부착장치에는 플렉시블 기판을 비접촉 흡착하도록 공기를 분사하는 구성이 개시된다. As a related art of the present invention, Korean Patent Publication No. 10-1666801 (2016.10.24. Date of publication) discloses a film attaching device for a flexible display. The apparatus for attaching a film for flexible displays disclosed herein discloses a configuration in which air is sprayed to non-contactly adsorb a flexible substrate.

또한, 본 발명과 관련된 종래의 기술로서, 대한민국 등록특허공보 제10-1276038호(2013.06.20. 공고일)에는 비접촉 반송 장치에 관하여 개시된다. 다만, 이에 개시된 종래의 비접촉 반송 장치는 대상물을 균일하게 부양시키기 위해 다수의 배기 홀을 통해 공기를 배출하는 구성이 개시된다. In addition, as a conventional technology related to the present invention, Korean Patent Publication No. 10-1276038 (June 20, 2013. Publication date) is disclosed with respect to the non-contact conveying device. However, the conventional non-contact conveying apparatus disclosed herein discloses a configuration for discharging air through a plurality of exhaust holes to uniformly support an object.

다만, 상기의 종래의 기술에 따르면, 플렉시블 소재의 국부적인 휨을 억제하도록 플렉시블 소재와 장치 간의 이격거리를 일정하게 유지시키면서 이와 함께 플레시블 소재를 장치에 비접촉 방식으로 흡착시키는 동작을 정밀하게 제어하기에는 어려움이 있었다. However, according to the prior art, it is difficult to precisely control the operation of adsorbing the flexible material to the device in a non-contact manner while maintaining a constant distance between the flexible material and the device so as to suppress local bending of the flexible material. There was this.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 플렉시블 소재의 유연성을 고려하여 플렉시블 소재의 국부적인 휨을 억제하고 비접촉 흡착 시 평탄한 자세를 유지시켜, 플렉시블 소재의 운반, 정렬, 가공 중에 불량을 줄일 수 있는 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention is to solve the above problems, in consideration of the flexibility of the flexible material to suppress the local bending of the flexible material and to maintain a flat posture during non-contact adsorption, it is possible to reduce the defects during the transport, alignment, processing of the flexible material It is an object to provide a non-contact adsorption device for a flexible material.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects and advantages of the present invention, which are not mentioned above, can be understood by the following description, and more clearly by the embodiments of the present invention. Also, it will be readily appreciated that the objects and advantages of the present invention may be realized by the means and combinations thereof indicated in the claims.

상기의 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치는 상부몸체와, 상부몸체와 상하로 간격을 두고 수평 배치되는 하부몸체와, 상부몸체와 하부몸체 사이를 연결하여 내부의 챔버공간을 밀폐 형성하는 측벽과, 하부몸체의 하측에 구비되며 다수의 흡착 홀을 갖는 다공흡착패드를 포함하는 본체, 본체의 챔버공간을 통해 설정된 진공도를 발생시키며, 다수의 흡착 홀을 통해 다공흡착패드의 하부 면에 부압을 형성하여, 다공흡착패드의 하측에 위치한 플렉시블 소재를 상향 흡착시키는 진공 발생부, 및 상부몸체를 통해 에어를 공급하며, 상부몸체로부터 공급된 에어를 본체의 챔버공간과 격리된 유로를 통해 하부몸체까지 유동시키며, 하부몸체까지 유동된 에어를 다공흡착패드를 통과시켜 플렉시블 소재의 상부 면을 향해 균일하게 분사시키고, 다공흡착패드의 하측을 항해 상향 흡착되는 플렉시블 소재를 에어 압력으로 밀어내어, 플렉시블 소재의 수평 자세를 유지시키면서 플렉시블 소재와 상기 다공흡착패드 간의 설정된 이격거리를 유지시키는 에어 공급부를 포함한다. In order to achieve the above object, the non-contact adsorption device for a flexible material according to an embodiment of the present invention, the upper body, the lower body which is horizontally arranged at intervals up and down the upper body, and connects between the upper body and the lower body The main body including a side wall and a lower side of the lower body to form a sealed interior chamber space, and a porous adsorption pad having a plurality of adsorption holes, generating a vacuum degree set through the chamber space of the body, A negative pressure is formed on the lower surface of the porous adsorption pad through the vacuum generating unit for adsorbing the flexible material located on the lower side of the porous adsorption pad upwardly, and the air is supplied through the upper body, and the air supplied from the upper body is supplied to the chamber of the main body. It flows up to the lower body through the flow path separated from the space, and the air flowed up to the lower body passes through the porous adsorption pad. It is sprayed toward the surface uniformly, and pushes the flexible material which is sailed upwardly adsorbed to the lower side of the porous adsorption pad with air pressure to maintain the set separation distance between the flexible material and the porous adsorption pad while maintaining the horizontal posture of the flexible material. It includes an air supply.

본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 소재용 비접촉 흡착장치에서, 상기 다공흡착패드는, 상기 하부몸체의 하측에서 일정 크기의 수평공간을 두고서 상기 하부몸체와 나란히 수평 배치되며, 상기 다수의 흡착 홀은, 상기 다공흡착패드의 전체 면적을 통해 일정한 간격을 두고 균일하게 분포될 수 있다. In the non-contact adsorption device for a flexible material according to an embodiment of the present invention, the porous adsorption pad is disposed horizontally in parallel with the lower body with a horizontal space of a predetermined size under the lower body, and the plurality of adsorption holes are It may be uniformly distributed at regular intervals through the entire area of the porous adsorption pad.

또한, 상기 다공흡착패드는, 수평 방향으로 조립 가능한 다수 개의 분할된 형태로 제공되며, 상기 다수 개의 분할된 다공흡착패드 각각은, 상기 플렉시블 소재의 종류 및 크기에 따라 개별적으로 분리 및 교체가 가능하며, 상기 다수 개의 분할된 다공흡착패드 전체가 수평 방향으로 정 위치 연결될 때 상기 하부몸체의 하부 면에 대응하는 크기 및 형상을 가질 수 있다. In addition, the porous adsorption pad is provided in a plurality of divided forms that can be assembled in a horizontal direction, and each of the plurality of divided porous adsorption pads can be separately separated and replaced according to the type and size of the flexible material. The plurality of divided porous adsorption pads may have a size and a shape corresponding to the lower surface of the lower body when the entire plurality of divided porous adsorption pads are connected in a horizontal position.

또한, 상기 다공흡착패드는, 상하 방향 두께가 일정하며 하부 면이 평탄하게 형성된 판상의 다공질 세라믹 소재를 이용하며, 상기 다공질 세라믹 소재는, 설정된 크기의 기공 분포율을 가질 수 있다. 예를 들어, 기공 분포율은 1cm2당 2um 사이즈의 기공 분표율이 40%일 수 있는데, 이는 플렉시블 소재의 특성과 종류, 그리고 무게 등에 따라 기공 사이즈와 형태는 변경될 수 있다. In addition, the porous adsorption pad uses a plate-shaped porous ceramic material having a constant vertical thickness and having a flat lower surface, and the porous ceramic material may have a pore distribution ratio of a predetermined size. For example, the pore distribution ratio may be 40% pore fractionation ratio of 2um per 1 cm 2 , which may be changed according to the characteristics, type, and weight of the flexible material.

또한, 상기 다공흡착패드는, 상하 방향 두께가 일정하며 하부 면이 평탄하게 형성된 판상의 소재로서, 상기 판상의 소재를 상하 방향으로 관통하는 다수의 미세 홀을 균일하게 분포시키도록 가공될 수 있다. In addition, the porous adsorption pad is a plate-shaped material having a constant vertical thickness and a flat bottom surface, and may be processed to uniformly distribute a plurality of fine holes penetrating the plate-shaped material in the vertical direction.

또한, 상기 진공 발생부는, 상기 상부몸체의 상부에 설치되되, 상기 본체의 챔버공간까지 연통 가능한 구조로 설치되어 상기 챔버공간을 통해 설정된 진공도를 발생시키며, 상기 챔버공간은, 상기 상부몸체, 상기 하부몸체, 및 상기 측벽의 연결에 의해 상기 본체의 내부에 마련된 공간으로서, 상기 챔버공간의 전 영역을 통해 상기 챔버공간을 이루는 상하 높이는 일정한 크기로 유지될 수 있다. In addition, the vacuum generating unit is installed on the upper portion of the upper body, the structure is installed to communicate with the chamber space of the main body to generate a set degree of vacuum through the chamber space, the chamber space, the upper body, the lower A space provided inside the main body by the connection of the body and the side wall, and the vertical height of the chamber space through the entire area of the chamber space can be maintained at a constant size.

또한, 상기 에어 공급부는, 상기 상부몸체의 상부에 체결 가능하게 형성되는 직사각형의 보강 플레이트; 상기 보강 플레이트를 상하로 관통하며 상기 상부몸체를 통과하도록 돌출 배치된 다수의 에어 공급 피팅부; 상기 다수의 에어 공급 피팅부 각각의 출구를 가로 막도록 상기 상부몸체의 하부 면에 깔때기 형상으로 취부되며, 상기 다수의 에어 공급 피팅부 각각을 통해 도입된 에어를 1차적으로 수용하는 에어 수용부; 및 상기 하부몸체의 상부 면에 하부가 개방된 덕트 구조로 결합되며, 상기 에어 수용부로부터 에어를 공급받아 내측의 매니폴드 내부유로를 통해 에어를 유동시키며, 상기 하부몸체의 수직관통유로를 통해 상기 하부몸체와 상기 다공흡착패드 사이의 수평공간으로 공급시키는 에어 공급 매니폴드;를 포함한다. The air supply unit may further include a rectangular reinforcement plate formed to be fastened to an upper portion of the upper body; A plurality of air supply fittings penetrating the reinforcing plate vertically and protrudingly arranged to pass through the upper body; An air receiving portion mounted in a funnel shape on a lower surface of the upper body so as to block an outlet of each of the plurality of air supply fittings, and primarily receiving air introduced through each of the plurality of air supply fittings; And a lower duct structure coupled to an upper surface of the lower body, receiving air from the air receiving portion, flowing air through an inner manifold inner channel, and through the vertical through channel of the lower body. It includes; air supply manifold for supplying a horizontal space between the lower body and the porous suction pad.

또한, 상기 에어 공급 매니폴드에 의해서, 상기 하부몸체와 상기 다공흡착패드 사이로 에어가 공급되는 상기 수평공간의 높이는 전 영역을 통해 일정한 크기를 가질 수 있다. In addition, the height of the horizontal space in which air is supplied between the lower body and the porous suction pad by the air supply manifold may have a predetermined size throughout the entire area.

또한, 상기 에어 공급부는, 상기 에어 수용부의 출구 측에 하향 돌출된 수축관을 둘러 감싸 연결되는 제1 연결부와, 상기 제1 연결부의 반대편에 위치하며 상기 에어 공급 매니폴드의 입구 측에 상향 돌출된 매니폴드 연결포트에 착탈 고정되는 제2 연결부를 구비하며, 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부 사이에서 상기 챔버공간과 격리되어 수평 방향으로 에어가 유동하는 내부 유로를 제공하는 에어 공급 라인;을 더 포함한다. In addition, the air supply unit, the first connecting portion is wrapped around the contraction tube protruding downward on the outlet side of the air receiving portion, and is located on the opposite side of the first connecting portion and protrudes upward on the inlet side of the air supply manifold An air supply line having a second connection part detachably fixed to the manifold connection port and providing an internal flow path in which air flows in a horizontal direction between the first connection part and the second connection part, and isolated from the chamber space; Include.

또한, 상기 본체의 테두리 각 변을 통해 적어도 2개가 구비되며, 상기 본체의 외측으로 돌출하여 상기 플렉시블 소재를 정렬하는 소재 얼라인부;를 더 포함한다. In addition, at least two are provided through each side of the edge of the main body, protruding to the outside of the main body to align the flexible material; further includes a.

본 발명에 의하면, 플렉시블 소재의 유연성을 고려하여 플렉시블 소재의 국부적인 휨을 억제하고 비접촉 흡착 시 평탄한 자세를 유지시켜, 플렉시블 소재의 운반, 정렬, 가공 중에 불량을 줄일 수 있다. According to the present invention, in consideration of the flexibility of the flexible material to suppress the local bending of the flexible material and to maintain a flat posture during non-contact adsorption, it is possible to reduce the defects during the transport, alignment, processing of the flexible material.

특히, 본 발명에 의하면 다음과 같은 점에서 종래의 기술과 대비하여 유리한 기술적인 효과가 있다. In particular, according to the present invention has the advantageous technical effect compared to the prior art in the following points.

첫째, 본 발명에 의하면 기존의 글라스 비접촉 흡착 장치와 달리 플렉시블 소재의 적용에 따라 본체의 하단 플레이트를 통해 다수의 진공 홀(vacuum hole)이 일정한 간격을 두고 배열되어, 플렉시블 소재의 전체 면적을 통해 균일한 흡착력을 제공할 수 있다. First, according to the present invention, unlike the conventional glass non-contact adsorption apparatus, a plurality of vacuum holes are arranged at regular intervals through the bottom plate of the main body according to the application of the flexible material, thereby uniforming the entire area of the flexible material. It can provide one attraction force.

둘째, 본 발명에 의하면 본체의 하단 플레이트로서 다공질 소재를 이용하거나 또는 소재 자체에 다수의 미세 홀을 가공하여 본체 내부에 구성된 에어 공급 매니폴드를 통해 공급된 에어가 하단 플레이트를 관통하여 플렉시블 소재의 전체 면적을 통해 균일하게 토출될 수 있다. 그 결과, 플렉시블 소재는 본체의 하단 플레이트로부터 설정된 이격거리를 유지하며 비접촉되는 동시에 설정 크기의 진공에 의해 본체의 하단 플레이트의 하부에 흡착되어, 플렉시블 소재의 상부 면을 흡착하여 바닥으로부터 일정 높이 이상으로 부상시켜 운반 및 정렬할 수 있는 장점이 있다. Secondly, according to the present invention, the air supplied through the air supply manifold configured inside the main body by using a porous material as the bottom plate of the main body or by processing a plurality of fine holes in the main material itself passes through the lower plate to form the entire flexible material. It can be evenly discharged through the area. As a result, the flexible material is adsorbed to the lower part of the lower plate of the main body by the vacuum of the set size while maintaining the set separation distance from the lower plate of the main body, adsorbs the upper surface of the flexible material to a certain height or more from the bottom There is an advantage to be able to float and align.

셋째, 본 발명에 의하면 진공도와 에어 양을 신속하고 정확하게 컨트롤하여 플레시블 소재의 비접촉 간격과 흡착력을 손쉽게 제어할 수 있으며, 플렉시블 소재의 종류에 따라 소재 특성에 맞게 손쉽게 장치의 동작 조건을 제어할 수 있는 장점이 있다. Third, according to the present invention, it is possible to easily control the non-contact gap and the adsorption force of the flexible material by controlling the vacuum degree and the air amount quickly and accurately, and can easily control the operating conditions of the device according to the material characteristics according to the type of flexible material. There is an advantage.

넷째, 본 발명에 의하면 본체의 하단 플레이트를 다수 개의 분할 흡착 패드로 구성함으로써, 소재의 종류 및 크기에 따라 흡착 패드의 종류 및 크기를 손쉽게 변경할 수 있는 장점이 있다. Fourth, according to the present invention by configuring the bottom plate of the main body with a plurality of split adsorption pads, there is an advantage that can easily change the type and size of the adsorption pad according to the type and size of the material.

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.In addition to the effects described above, the specific effects of the present invention will be described together with the following description of specifics for carrying out the invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치를 상부에서 바라본 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치를 하부에서 바라본 사시도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ 영역을 확대 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치의 비접촉 흡착 작용을 설명하기 위해 도시한 개념도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치에서 에어 공급 피팅부와 에어 공급 매니폴드 사이를 연결하는 배관 구성을 간략히 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치에서 에어 공급 피팅부와 에어 공급 매니폴드 사이를 연결하는 배관 구성을 간략히 도시한 부분사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치에 이용되는 다공질 소재의 기공을 확대한 사진이다.
1 is a perspective view from above of a non-contact adsorption device for a flexible material according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view of the non-contact adsorption device for a flexible material according to an embodiment of the present invention from the bottom.
3 is an enlarged view illustrating region III of FIG. 2.
4 is a conceptual diagram illustrating a non-contact adsorption action of the non-contact adsorption device for a flexible material according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a view schematically illustrating a pipe configuration connecting an air supply fitting part and an air supply manifold in a non-contact adsorption device for a flexible material according to an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a partial perspective view briefly illustrating a pipe configuration connecting an air supply fitting part and an air supply manifold in a non-contact adsorption device for a flexible material according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is an enlarged photograph of the pores of the porous material used in the non-contact adsorption device for a flexible material according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다. 또한, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.In order to clearly describe the present invention, parts irrelevant to the description are omitted, and like reference numerals designate like elements throughout the specification. In addition, some embodiments of the invention will be described in detail with reference to exemplary drawings. In adding reference numerals to components of each drawing, the same components may have the same reference numerals as much as possible even though they are shown in different drawings. In addition, in describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related well-known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description may be omitted.

본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질, 차례, 순서 또는 개수 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 다른 구성 요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성 요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In describing the components of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) can be used. These terms are only to distinguish the components from other components, and the terms are not limited in nature, order, order or number of the components. If a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, that component may be directly connected to or connected to that other component, but between components It is to be understood that the elements may be "interposed" or each component may be "connected", "coupled" or "connected" through other components.

또한, 본 발명을 구현함에 있어서 설명의 편의를 위하여 구성요소를 세분화하여 설명할 수 있으나, 이들 구성요소가 하나의 장치 또는 모듈 내에 구현될 수도 있고, 혹은 하나의 구성요소가 다수의 장치 또는 모듈들에 나뉘어져서 구현될 수도 있다.In addition, in the implementation of the present invention may be described by subdividing the components for convenience of description, these components may be implemented in one device or module, or one component is a plurality of devices or modules It can also be implemented separately.

도면에서, 도 1과 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치를 상, 하부에서 바라본 모습을 나타낸 사시도이다. 1 and 2 are perspective views showing the state of the non-contact adsorption device for a flexible material according to an embodiment of the present invention from the top and bottom.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치(1000)는 본체(100), 진공 발생부(200), 그리고 에어 공급부(300)를 포함한다. 1 and 2, the non-contact adsorption apparatus 1000 for a flexible material according to an embodiment of the present invention includes a main body 100, a vacuum generating unit 200, and an air supply unit 300.

본체(100)는 상부몸체(110), 하부몸체(130), 측벽(150), 그리고 다공흡착패드(170)를 포함한다. The main body 100 includes an upper body 110, a lower body 130, a side wall 150, and a porous adsorption pad 170.

본체(100)는 상부몸체(110)와, 상부몸체(110)와 상하로 간격을 두고 수평 배치되는 하부몸체(150)를 포함하는데, 이때 상부몸체(110)와 하부몸체(150) 사이에 형성된 상하 간격을 통해 진공도가 발생되는 챔버공간(120, 도 5 참조)을 확보할 수 있다.The main body 100 includes an upper body 110 and a lower body 150 which is horizontally arranged at an interval with the upper body 110, and is formed between the upper body 110 and the lower body 150. The chamber space 120 (see FIG. 5) in which the degree of vacuum is generated may be secured through the vertical gap.

측벽(130)은 수평 방향으로 서로 간격을 두고 배치된 상부몸체(110)의 테두리와 하부몸체(150)의 테두리를 따라 수직 방향으로 연결되는 벽체를 말한다.The side wall 130 refers to a wall connected in the vertical direction along the edge of the upper body 110 and the lower body 150 disposed at intervals from each other in the horizontal direction.

측벽(130)은 상부몸체(110)와 하부몸체(150) 각각의 테두리를 막아 형성되며, 이를 통해 본체(100)의 내부 공간, 즉 챔버공간(120, 도 5 참조)을 외부로부터 밀폐시킬 수 있다.  The side wall 130 is formed by blocking the edge of each of the upper body 110 and the lower body 150, through which the inner space of the body 100, that is, the chamber space 120 (see FIG. 5) can be sealed from the outside. have.

그리고, 본체(100)는 다공흡착패드(170)를 포함한다. 다공흡착패드(170)는 하부몸체(150)의 하측에 연결되어 후술할 진공 발생부(200)에 의해 발생된 진공도를 이용하여 플렉시블 소재(S, 도 4 참조)를 흡착하는 역할을 담당한다.The body 100 includes a porous adsorption pad 170. The porous adsorption pad 170 is connected to the lower side of the lower body 150 and serves to adsorb the flexible material S (see FIG. 4) using the degree of vacuum generated by the vacuum generator 200 to be described later.

이를 위해, 다공흡착패드(170)에는 다수의 흡착 홀(190, 도 3 참조)이 구비될 수 있는데, 다공흡착패드(170)의 하부 면에 부압을 형성하여 플렉시블 소재(S, 도 4 참조)를 바닥으로부터 일정 높이 이상으로 상향 흡착시킬 수 있다. To this end, the porous adsorption pad 170 may be provided with a plurality of adsorption holes 190 (refer to FIG. 3), and by forming a negative pressure on the lower surface of the porous adsorption pad 170, a flexible material (S, see FIG. 4). Can be adsorbed upwards from the bottom to above a certain height.

다공흡착패드(170)는 하부몸체(150)의 하측에서 하부몸체(150)와 나란히 수평으로 배치될 수 있다. The porous adsorption pad 170 may be disposed in parallel with the lower body 150 at the lower side of the lower body 150.

예를 들어, 다공흡착패드(170)는 수평 방향으로 조립 가능한 다수 개의 분할된 형태(1701, 1702, 1703, 도 2 참조)로 제공될 수 있다. 다수 개의 분할된 다공흡착패드(170: 1701, 1702, 1703) 각각은 플렉시블 소재(S, 도 4 참조)의 종류 및 크기에 따라 각각 개별적으로 분리되거나 교체 사용이 가능하다. For example, the porous adsorption pad 170 may be provided in a plurality of divided forms 1701, 1702, 1703 (see FIG. 2) that may be assembled in a horizontal direction. Each of the plurality of divided porous adsorption pads 170: 1701, 1702, and 1703 may be individually separated or replaced depending on the type and size of the flexible material S (see FIG. 4).

그리고 이들 다수 개의 분할된 다공흡착패드(170: 1701, 1702, 1703)는 전체가 수평 방향으로 정 위치 연결될 때 하부몸체(150)의 하부 면에 대응하는 크기 및 형상을 가질 수 있다. In addition, the plurality of divided porous adsorption pads 170: 1701, 1702, and 1703 may have a size and a shape corresponding to the lower surface of the lower body 150 when the entirety of the plurality of divided porous adsorption pads 170 is connected in the horizontal position.

진공 발생부(200)는 본체(100)의 내부 공간, 즉 챔버공간(120, 도 5 참조)을 통해 설정된 진공도를 발생시킨다.The vacuum generator 200 generates a vacuum degree set through the internal space of the main body 100, that is, the chamber space 120 (see FIG. 5).

예컨대, 진공 발생부(200)는 도 1에 도시된 바와 같이 하나의 본체(100)를 통해 6개가 설치될 수 있는데, 이의 개수 및 설치 위치는 플렉시블 소재의 크기 및 무게 등에 따라 조금씩 변경될 수 있다. For example, six vacuum generating units 200 may be installed through one body 100 as shown in FIG. 1, and the number and installation positions thereof may be changed little by little depending on the size and weight of the flexible material. .

진공 발생부(200)는 팬(Fan) 또는 진공 펌프(Vacuum Pump) 또는 진공 이젝터(Vacuum Ejector) 등의 관용의 진공 발생 장치를 이용할 수 있는데, 특정 방식을 제한적으로 이용할 필요는 없다. 따라서, 플렉시블 소재의 면적, 무게, 재질적 특성에 맞게 선택하여 이용할 수 있다. The vacuum generator 200 may use a conventional vacuum generator such as a fan, a vacuum pump, or a vacuum ejector, but there is no need to limit the specific method. Therefore, it can be selected and used according to the area, weight, material properties of the flexible material.

진공 발생부(200)는 다수의 흡착 홀(190, 도 3 참조)을 통해서 다공흡착패드(170)의 하부 면에 부압을 형성하며, 이를 통해 다공흡착패드(170)의 하측에 위치하는 플렉시블 소재(S, 도 4 참조)는 상부 방향으로 흡착될 수 있다. The vacuum generator 200 forms a negative pressure on the lower surface of the porous adsorption pad 170 through a plurality of adsorption holes 190 (see FIG. 3), and through this, a flexible material positioned below the porous adsorption pad 170. (S, see FIG. 4) can be adsorbed in the upward direction.

에어 공급부(300)는 다공흡착패드(170)의 하측을 항해 상향 흡착되는 플렉시블 소재(S, 도 4 참조)를 에어 압력으로 하향으로 밀어내어, 플렉시블 소재(S, 도 4 참조)가 비접촉 방식으로 흡착 가능하게 해주는 역할을 담당한다.The air supply unit 300 pushes the flexible material (S, see FIG. 4) downwardly adsorbed on the lower side of the porous adsorption pad 170 downward to air pressure, so that the flexible material (S, see FIG. 4) is in a non-contact manner. It plays a role to make adsorption possible.

에어 공급부(300)는 다공흡착패드(170)의 하측을 항해 상향 흡착되는 플렉시블 소재(S, 도 4 참조)의 상부 면에 대해 균일하게 에어를 토출시켜 플렉시블 소재(S, 도 4 참조)의 수평을 유지시켜 휘어지는 것을 방지할 수 있다. The air supply unit 300 uniformly discharges air to the upper surface of the flexible material S (see FIG. 4) that is sailed upwardly adsorbed to the lower side of the porous adsorption pad 170 to horizontally the flexible material S (see FIG. 4). Can be prevented from bending.

또한, 에어 공급부(300)는 플렉시블 소재(S, 도 4 참조)가 다공흡착패드(170)의 하부 면에 접촉되는 것을 방지함은 물론, 플렉시블 소재(S, 도 4 참조)와 다공흡착패드(170)의 사이의 설정된 이격거리를 유지시켜준다.In addition, the air supply unit 300 prevents the flexible material S (see FIG. 4) from contacting the lower surface of the porous adsorption pad 170, as well as the flexible material S (see FIG. 4) and the porous adsorption pad ( 170 to maintain the set separation distance between.

구체적으로 설명하면, 에어 공급부(300)는 도 1에 도시된 바와 같이 진공 발생부(200)에 인접하여 9개가 상부몸체(110)를 통해 설치 가능한데, 외관을 통해서는 다수 개의 에어 공급 피팅부(310, 도 4 참조)만이 외부로 노출된다. 다만, 이러한 에어 공급 피팅부(310, 도 4 참조)의 설치 위치 및 개수에 한정될 필요는 없으며, 설치 위치 및 개수는 조금씩 변경되어 이용될 수 있다.Specifically, as shown in FIG. 1, nine air supply units 300 may be installed through the upper body 110 adjacent to the vacuum generating unit 200. 310, see FIG. 4) only to the outside. However, the installation position and the number of the air supply fitting part 310 (refer to FIG. 4) need not be limited, and the installation position and the number may be changed little by little.

이와 같이, 에어 공급부(300)는 상부몸체(110)를 통해 에어를 공급하도록 구성될 수 있다. 상부몸체(110)를 통해 공급된 에어는 본체(100) 내부에서 챔버공간(120, 도 5 참조)과 격리된 전용 유로를 따라 하부몸체(150)까지 유동될 수 있다. 그리고 하부몸체(150)까지 유동된 에어는 전술한 다공흡착패드(170)를 통과한다. 이와 같이 구성됨에 따라, 다공흡착패드(170)를 통과한 에어는 플렉시블 소재(S, 도 4 참조)의 상부 면을 향해 균일하게 분사된다. 그 결과, 다공흡착패드(170)의 하측을 항해 상향 흡착되는 플렉시블 소재(S, 도 4 참조)를 에어 압력으로 하향으로 밀어낼 수 있다. As such, the air supply unit 300 may be configured to supply air through the upper body 110. The air supplied through the upper body 110 may flow to the lower body 150 along a dedicated flow path isolated from the chamber space 120 (refer to FIG. 5) inside the body 100. And the air flows to the lower body 150 passes through the above-mentioned porous adsorption pad 170. As such, the air passing through the porous adsorption pad 170 is uniformly sprayed toward the upper surface of the flexible material (S, see FIG. 4). As a result, the flexible material S (refer to FIG. 4) which is sailed upwardly adsorbed on the lower side of the porous adsorption pad 170 can be pushed downward by air pressure.

도 3은 도 2의 Ⅲ 영역을 확대 도시한 도면이다. 도 3을 참조하면, 본체(100)는 상부몸체(110), 측벽(130), 그리고 하부몸체(150)를 포함하여 구성되고, 다공흡착패드(170)는 하부몸체9150)의 하측에서 나란히 수평 배치된다.3 is an enlarged view illustrating region III of FIG. 2. Referring to FIG. 3, the main body 100 includes an upper body 110, a side wall 130, and a lower body 150, and the porous adsorption pads 170 are horizontally arranged side by side under the lower body 9150. Is placed.

이때, 다공흡착패드(170)에는 다수의 흡착 홀(190)이 형성되는데, 다수의 흡착 홀(190)은 다공흡착패드(170)의 전체 면적을 통해 일정한 간격을 두고 균일하게 분포될 수 있다.In this case, a plurality of adsorption holes 190 are formed in the porous adsorption pad 170, and the plurality of adsorption holes 190 may be uniformly distributed at regular intervals through the entire area of the porous adsorption pad 170.

즉, 다수의 흡착 홀(190)은 도 3을 통해 확인 가능하듯이 가로 및 세로 방향으로 일정한 간격을 두고 하나씩 형성되어 국부적으로 휘어지는 특성이 강한 플렉시블 소재(S, 도 4 참조)를 흡착하는 경우에도 국부적인 휘어짐을 방지할 수 있다.That is, the plurality of adsorption holes 190 are formed one by one at regular intervals in the horizontal and vertical directions as can be seen through FIG. 3 even when absorbing a flexible material (S, see FIG. 4) having strong local bending characteristics. Local warping can be prevented.

한편, 이러한 다공흡착패드(170)는 상하 방향 두께가 일정하며 하부 면이 평탄하게 형성된 판상의 다공질 세라믹 소재를 이용할 수 있다. Meanwhile, the porous adsorption pad 170 may use a plate-shaped porous ceramic material having a constant vertical thickness and having a flat lower surface.

도 7을 참조하면, 다공흡착패드(170)로 이용 가능한 다공질 세라믹 소재에 관한 일 예를 사진으로 보여준다. 도시된 다공질 세라믹 소재로 이루어진 다공흡착패드(170)의 경우 설정된 크기의 기공 분포율을 갖는 것이 중요하다.Referring to FIG. 7, an example of a porous ceramic material that can be used as the porous adsorption pad 170 is shown in a photograph. In the case of the porous adsorption pad 170 made of the illustrated porous ceramic material, it is important to have a pore distribution ratio of a set size.

이때, 다공질 세라믹 소재의 기공은 상향 흡착 중인 플렉시블 소재를 아래로 밀어내어 다공흡착패드(170)에 플렉시블 소재가 접촉하는 것을 방지해 줄 수 있다.In this case, the pores of the porous ceramic material may prevent the flexible material from coming into contact with the porous adsorption pad 170 by pushing down the flexible material being absorbed upward.

예를 들어, 기공 분포율은 1cm2당 2um 사이즈의 기공 분표율이 40%을 가질 수 있다. 다만, 이러한 한정 내용은 플렉시블 소재의 특성과 종류, 그리고 무게 등에 따라 변경 가능하다. For example, the pore distribution ratio is the ratio of pore bunpyo 2um size per 1cm 2 may have a 40%. However, these limitations can be changed depending on the characteristics, type, and weight of the flexible material.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면 다공흡착패드(170)는 상하 방향 두께가 일정하며 하부 면이 평탄하게 형성된 다공질이 아닌 일반적인 판상의 소재를 이용할 수 있다. In addition, according to another embodiment of the present invention, the porous adsorption pad 170 may use a general plate-shaped material, which is not porous, having a constant vertical thickness and having a flat lower surface.

다만, 이 경우에는 준비된 판상의 소재를 정밀 가공하여, 상하 방향으로 관통하는 다수의 미세 홀을 균일하게 분포시켜야 한다. 그리고 이와 같이 정밀 가공된 다수의 미세 홀을 통해 다공흡착패드(170)를 관통하여 에어가 균일하게 분사될 수 있다. In this case, however, the prepared plate-shaped material should be precisely processed to uniformly distribute a plurality of fine holes penetrating in the vertical direction. In addition, the air may be uniformly injected through the porous adsorption pad 170 through the plurality of minute holes that are precisely processed.

다음으로, 본체(100), 진공 발생부(200), 에어 공급부(300) 간의 결합구조를 통해 플렉시블 소재(S, 도 4 참조)가 다공흡착패드(170)의 하측에서 휨 변형 없이 안정적인 수평 자세를 유지하며 흡착되는 작용을 설명하기로 한다. Next, through the coupling structure between the main body 100, the vacuum generating unit 200, the air supply unit 300, the flexible material (S, see Figure 4) is a stable horizontal posture without bending deformation in the lower side of the porous adsorption pad 170 It will be described to maintain the adsorption action.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치의 비접촉 흡착 작용을 설명하기 위해 도시한 개념도이다. 그리고 도 5는 에어 공급 라인을 간략히 도시한 도면이고, 도 6은 에어 공급 피팅부, 에어 공급 라인, 에어 공급 매니폴드 간의 결합 구조를 간략히 도시한 도면이다.4 is a conceptual diagram illustrating a non-contact adsorption action of the non-contact adsorption device for a flexible material according to an embodiment of the present invention. 5 is a view schematically illustrating an air supply line, and FIG. 6 is a view schematically illustrating a coupling structure between an air supply fitting part, an air supply line, and an air supply manifold.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 진공 발생부(200)는 상부몸체(110)의 상부에 설치될 수 있다. 4 to 6, the vacuum generating unit 200 may be installed on the upper portion of the upper body 110.

진공 발생부(200)는 상부몸체(110)의 상부에서 본체(100)의 내부공간, 즉 챔버공간(120, 도 5 참조)까지 연통 가능한 구조로 이루어질 수 있으며, 챔버공간(120, 도 5 참조)을 통해 설정된 진공도를 발생시킬 수 있다. The vacuum generating unit 200 may have a structure that can communicate from the upper portion of the upper body 110 to the internal space of the main body 100, that is, the chamber space 120 (see FIG. 5), and refer to the chamber space 120, FIG. 5. ) Can set the degree of vacuum.

도시된 V는 진공(Vacuum) 기류 방향을 화살표로 나타낸 것이다. The V shown is indicated by an arrow in the direction of the vacuum air flow.

이때, 챔버공간(120, 도 5 참조)은 상부몸체(110), 하부몸체(150), 측벽(130)의 연결에 의해 본체(100)의 내부에서 밀폐 형성된 공간을 말하는데, 이 챔버공간(120, 도 5 참조)의 전 영역을 통해 챔버공간(120, 도 5 참조)을 형성하는 상하 높이(즉, 상부몸체(110)와 하부몸체(150) 사이의 높이를 말함)는 일정한 크기로 유지될 수 있다. In this case, the chamber space 120 (refer to FIG. 5) refers to a space formed in the interior of the main body 100 by the connection of the upper body 110, the lower body 150, and the side walls 130, and the chamber space 120. 5, the upper and lower heights (that is, the height between the upper body 110 and the lower body 150) forming the chamber space 120 (refer to FIG. 5) through the entire region of FIG. 5 may be maintained at a constant size. Can be.

에어 공급부(300)는 보강 플레이트(301, 도 6 참조), 다수의 에어 공급 피팅부(310), 에어 수용부(320), 에어 공급 라인(330, 도 5 및 도 6 참조), 그리고 에어 공급 매니폴드(370)를 포함한다.The air supply unit 300 includes a reinforcing plate 301 (see FIG. 6), a plurality of air supply fittings 310, an air receiving unit 320, an air supply line 330 (see FIGS. 5 and 6), and an air supply Manifold 370.

보강 플레이트(301, 도 6 참조)는 상부몸체(110)의 상부에 체결 가능하게 형성되는 판상의 부재로서, 상부몸체(110)와 동일한 소재로 제작 가능한데 에어 공급 피팅부(310)를 정 위치로 설치하기 위해 상부몸체(110)에 체결될 수 있다.The reinforcement plate 301 (refer to FIG. 6) is a plate-shaped member formed to be fastened to an upper portion of the upper body 110, and may be made of the same material as that of the upper body 110. It can be fastened to the upper body 110 for installation.

다만, 에어 공급 피팅부(310)를 통해 안정적으로 에어를 공급하기 위해서 보강 플레이트(301, 도 6 참조)는 필요한 구조적 강성을 갖는 재질로 이루어지는 것이 좋다.However, in order to stably supply air through the air supply fitting part 310, the reinforcing plate 301 (see FIG. 6) may be made of a material having the necessary structural rigidity.

에어 공급 피팅부(310)는 보강 플레이트(301, 도 6 참조)를 상하로 관통하며 상부몸체(110)를 통과하도록 하향 돌출 배치될 수 있다.The air supply fitting part 310 may protrude downward to penetrate the reinforcing plate 301 (see FIG. 6) up and down and pass through the upper body 110.

에어 공급 피팅부(310)는 2개가 한 쌍을 이루어 후술할 에어 공급 라인(330)과 연결되어 최종적으로는 에어 공급 매니폴드(370)와 연통 가능한 구조로 이루어질 수 있다. The air supply fitting part 310 may be connected to the air supply line 330 which will be described below in pairs of two, and finally may have a structure in communication with the air supply manifold 370.

예를 들어, 도 7을 참조하면 2개의 에어 공급 피팅부(3101, 3102)가 한 쌍을 이루어 하나의 에어 공급 라인(330)과 연결되며, 최종적으로는 하나의 에어 공급 매니폴드(370)와 연결되어 필요한 양의 에어를 원활하게 공급할 수 있다. For example, referring to FIG. 7, two air supply fitting parts 3101 and 3102 are connected to one air supply line 330 in a pair, and finally, one air supply manifold 370 It can be connected to supply the required amount of air smoothly.

에어 수용부(320)는 한 쌍의 에어 공급 피팅부(310: 3101, 3102) 각각의 출구를 가로 막는 형태로 상부몸체(110)의 하부 면에 깔때기 형상으로 취부되며, 이들 에어 공급 피팅부(310: 3101, 3102)를 통해 도입된 에어를 1차적으로 수용한다.The air receiver 320 is mounted in a funnel shape on the lower surface of the upper body 110 in such a manner as to block the outlet of each of the pair of air supply fittings 310 (3101 and 3102), and these air supply fittings ( 310: primaryly receives the air introduced through 3101, 3102.

도 4 및 도 5를 참조하면, 에어 수용부(320)는 아래로 갈수록 단면크기 축소되는 호퍼(Hopper) 형상을 가질 수 있는데, 그 출구 측에는 단면크기가 대폭 축소된 수축관(321)이 소정 길이를 갖도록 하향 돌출된다. 그리고 이 수축관(321)은 후술될 에어 공급 라인(330)의 입구 측과 연결된다. 4 and 5, the air receiving portion 320 may have a hopper (Hopper) shape that is reduced in cross-sectional size toward the bottom, the outlet side of the shrinkage tube 321 greatly reduced in cross-sectional size is a predetermined length It protrudes downward to have a. The contract tube 321 is connected to the inlet side of the air supply line 330 to be described later.

에어 공급 매니폴드(370)는 하부몸체(150)의 상부 면에 하부가 개방된 사각 관 형상의 덕트 구조로 결합된다. The air supply manifold 370 is coupled to the upper surface of the lower body 150 in a square tube-shaped duct structure with the lower opening.

에어 공급 매니폴드(370)는 에어 수용부(320)로부터 에어를 공급받아 내측의 매니폴드 내부유로(372, 도 5 참조)를 통해 에어를 유동시킬 수 있다. The air supply manifold 370 may receive air from the air receiver 320 to flow air through the inner manifold internal passage 372 (see FIG. 5).

그리고 매니폴드 내부유로(372, 도 5 참조)를 통해 유동된 에어는 하부몸체(150)의 수직관통유로(155, 도 5 참조)를 통해 하부몸체(150)와 다공흡착패드(170) 사이에 마련된 수평공간(180) 내부에 채워질 수 있다. In addition, the air flowed through the manifold internal passage 372 (see FIG. 5) is connected between the lower body 150 and the porous adsorption pad 170 through the vertical through passage 155 (see FIG. 5) of the lower body 150. It may be filled in the horizontal space 180 provided.

수평공간(180) 내부에 채워진 에어는 다공흡착패드(170)의 기공을 통해 다공흡착패드(170)의 하부 면을 거쳐 플렉시블 소재(S)의 상부 면으로 균일하게 분사된다. 이로써, 플렉시블 소재(S)는 전 영역을 통해 국부적인 휘어짐 없이 다공흡착패드(170)로부터 일정한 이격거리(g, 도 5 참조)를 유지하며 비접촉 방식으로 흡착될 수 있다. Air filled in the horizontal space 180 is uniformly injected to the upper surface of the flexible material (S) through the lower surface of the porous adsorption pad 170 through the pores of the porous adsorption pad (170). As a result, the flexible material S may be adsorbed in a non-contact manner while maintaining a predetermined distance (g, see FIG. 5) from the porous adsorption pad 170 without local bending over the entire area.

이와 같이, 수평공간(180)은 다공흡착패드(170)를 통해 플렉시블 소재(S)의 상부 면으로 분사시키기 위한 에어의 일정량을 충진 보관하는 챔버와 같은 기능을 제공할 수 있다.As such, the horizontal space 180 may provide a function such as a chamber to fill and store a predetermined amount of air for spraying to the upper surface of the flexible material S through the porous adsorption pad 170.

따라서, 에어 공급 매니폴드(370)에 의해 하부몸체(150)와 다공흡착패드(170) 사이로 에어가 공급되는 수평공간(180)의 높이는 본체(100)의 전 영역을 통해 일정한 크기를 갖는 것이 좋다. 수평공간(180)의 높이가 일정해야만 에어의 균일한 분사가 가능하며, 이로써 플렉시블 소재(S)는 안정적으로 수평을 유지하며 비접촉 흡착될 수 있으며, 국부적인 휨 변형이 방지될 수 있다. Therefore, the height of the horizontal space 180 in which air is supplied between the lower body 150 and the porous adsorption pad 170 by the air supply manifold 370 may have a predetermined size through the entire area of the main body 100. . Even if the height of the horizontal space 180 is constant, uniform spraying of air is possible, whereby the flexible material (S) can be stably maintained horizontally and can be adsorbed without contact, and local bending deformation can be prevented.

이에 더하여, 에어 공급부(300)는 에어 공급 라인(330)을 더 포함할 수 있다. In addition, the air supply unit 300 may further include an air supply line 330.

에어 공급 라인(330)은 상부몸체(110)로부터 공급된 에어를 하부몸체(120)까지 유동시키기 위해, 본체(100)의 챔버공간(120, 도 5 참조)과 격리된 에어 공급 유로를 제공한다. The air supply line 330 provides an air supply flow path that is isolated from the chamber space 120 (see FIG. 5) of the main body 100 to flow the air supplied from the upper body 110 to the lower body 120. .

구체적인 예로서, 에어 공급 라인(330)은 에어 수용부(320)의 출구 측에 하향 돌출된 수축관(321)을 둘러 감싸 연결되는 제1 연결부(331)와, 제1 연결부(331)의 반대편에 위치하며 에어 공급 매니폴드의 입구 측에 상향 돌출된 매니폴드 연결포트(371)에 착탈 고정되는 제2 연결부(333)를 구비한다. 그리고 에어 공급 라인(330)은 제1 연결부(331)와 제2 연결부(333) 사이에서 챔버공간(120, 도 5 참조)과 격리되어 수평 방향으로 에어가 유동하는 내부 유로(332)를 제공한다. 그리고 별도로 도시하진 않았으나 이들 내부 유로에는 공급되는 에어 중에 포함된 먼지 또는 이물질 등을 걸러주는 필터 부재 등이 더 구비될 수도 있다. As a specific example, the air supply line 330 is opposite to the first connection part 331 and the first connection part 331 which are wrapped around the contraction tube 321 protruding downward from the outlet side of the air receiving part 320. And a second connection portion 333 detachably fixed to the manifold connection port 371 protruding upward from the inlet side of the air supply manifold. The air supply line 330 is isolated from the chamber space 120 (see FIG. 5) between the first connection part 331 and the second connection part 333 to provide an internal flow path 332 through which air flows in the horizontal direction. . Although not shown separately, the inner flow path may further include a filter member for filtering dust or foreign matter contained in the supplied air.

이와 같이 구성됨에 따라, 에어 공급 라인(330), 에어 공급 매니폴드(370)를 거쳐 다공흡착패드(170)의 하측으로 균일하게 분사되는 에어는 다공흡착패드(170) 쪽으로 발생된 부압(P1)에 의해 상향 흡착되는 플렉시블 소재(S, 도 4 참조)를 에어 압력(P2)을 이용하여 설정 이격거리(g)에 맞게 밀어낼 수 있다. As such, the air uniformly injected to the lower side of the porous adsorption pad 170 via the air supply line 330 and the air supply manifold 370 is negative pressure P1 generated toward the porous adsorption pad 170. The flexible material S (refer to FIG. 4) upwardly adsorbed may be pushed out according to the set separation distance g using the air pressure P2.

한편, 하부몸체(150)를 통해 에어가 다공흡착패드(170)의 상부로 공급되는 수직관통유로(155)는 다수 개가 형성되는데, 이들 다수 개의 수직관통유로(155)의 형성 간격(W2)은 흡착 홀(190)의 형성 간격(W1)에 비해 넓게 형성될 수 있다. On the other hand, a plurality of vertical through-flow passage 155 through which the air is supplied to the upper portion of the porous adsorption pad 170 through the lower body 150 is formed, the formation interval (W2) of the plurality of vertical through-flow passage 155 is It may be formed wider than the formation interval (W1) of the suction hole 190.

상술한 바와 같이, 본 발명의 구성 및 작용에 따르면, 플렉시블 소재의 유연성을 고려하여 플렉시블 소재의 국부적인 휨을 억제하고 비접촉 흡착 시 평탄한 자세를 유지시켜, 플렉시블 소재의 운반, 정렬, 가공 중에 불량을 줄일 수 있다. As described above, according to the configuration and operation of the present invention, in consideration of the flexibility of the flexible material to suppress the local bending of the flexible material and to maintain a flat posture during non-contact adsorption, to reduce defects during the transport, alignment, and processing of the flexible material Can be.

구체적으로는, 기존의 글라스 비접촉 흡착 장치와 달리 플렉시블 소재의 적용에 따라 본체의 하단 플레이트를 통해 다수의 진공 홀(vacuum hole)이 일정한 간격을 두고 배열되어, 플렉시블 소재의 전체 면적을 통해 균일한 흡착력을 제공할 수 있다. Specifically, unlike conventional glass non-contact adsorption apparatus, a plurality of vacuum holes are arranged at regular intervals through the bottom plate of the main body according to the application of the flexible material, and uniform adsorption force is provided through the entire area of the flexible material. Can be provided.

나아가, 본체의 하단 플레이트로서 다공질 소재를 이용하거나 또는 소재 자체에 다수의 미세 홀을 가공하여 본체 내부에 구성된 에어 공급 매니폴드를 통해 공급된 에어가 하단 플레이트를 관통하여 플렉시블 소재의 전체 면적을 통해 균일하게 토출될 수 있다. 그 결과, 플렉시블 소재는 본체의 하단 플레이트로부터 설정된 이격거리를 유지하며 비접촉되는 동시에 설정 크기의 진공에 의해 본체의 하단 플레이트의 하부에 흡착되어, 플렉시블 소재의 상부 면을 흡착하여 바닥으로부터 일정 높이 이상으로 부상시켜 운반 및 정렬할 수 있다. Furthermore, by using a porous material as the bottom plate of the main body or by processing a plurality of fine holes in the material itself, the air supplied through the air supply manifold configured inside the main body passes through the bottom plate and uniforms through the entire area of the flexible material. Can be discharged. As a result, the flexible material is adsorbed to the lower part of the lower plate of the main body by the vacuum of the set size while maintaining the set separation distance from the lower plate of the main body, adsorbs the upper surface of the flexible material to a certain height or more from the bottom Can be floated and transported and aligned.

더 나아가, 진공도와 에어 양을 신속하고 정확하게 컨트롤하여 플레시블 소재의 비접촉 간격과 흡착력을 손쉽게 제어할 수 있으며, 플렉시블 소재의 종류에 따라 소재 특성에 맞게 손쉽게 장치의 동작 조건을 제어할 수 있다. Furthermore, by controlling the degree of vacuum and air quickly and accurately, it is possible to easily control the non-contact spacing and adsorption force of the flexible material, and the operating conditions of the device can be easily controlled according to the material characteristics according to the type of flexible material.

그리고 본체의 하단 플레이트를 다수 개의 분할 흡착 패드로 구성함으로써, 소재의 종류 및 크기에 따라 흡착 패드의 종류 및 크기를 손쉽게 변경할 수 있다.And by configuring the bottom plate of the main body with a plurality of split adsorption pads, it is possible to easily change the type and size of the adsorption pad according to the type and size of the material.

이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다. 아울러 앞서 본 발명의 실시예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.As described above, the present invention has been described with reference to the drawings, but the present invention is not limited to the embodiments and drawings disclosed herein, and various modifications may be made by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention. It is obvious that modifications can be made. In addition, even if the above described embodiments of the present invention while not explicitly described and described the effect of the effect of the configuration of the present invention, it is obvious that the effect predictable by the configuration is also to be recognized.

S: 소재(또는 플렉시블 소재)
100: 본체
110: 상부몸체
120: 챔버공간
130: 측벽
150: 하부몸체
155: 수직관통유로
170(1701,1702,1703): 다공흡착패드
180: 수평공간
190: 흡착 홀
200: 진공 발생부
300: 에어 공급부
301: 보강 플레이트
310(3101, 3102): 에어 공급 피팅부
320: 에어 수용부
321: 수축관
330: 에어 공급 라인
331: 제1 수직 연결부
333: 제2 수직 연결부
370: 에어 공급 매니폴드
371: 매니폴드 연결포트
372: 매니폴드 내부유로
400: 소재 얼라인부
1000: 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치
S: material (or flexible material)
100: main body
110: upper body
120: chamber space
130: sidewall
150: lower body
155: vertical through flow path
170 (1701,1702,1703): Porous adsorption pad
180: horizontal space
190: adsorption hole
200: vacuum generator
300: air supply
301: reinforcement plate
310 (3101, 3102): air supply fitting
320: air receiver
321: contraction tube
330: air supply line
331: first vertical connecting portion
333: second vertical connection
370: air supply manifold
371: manifold connection port
372: internal manifold flow path
400: material alignment
1000: non-contact adsorption device for flexible materials

Claims (10)

상부몸체와, 상기 상부몸체와 상하로 간격을 두고 수평 배치되는 하부몸체와, 상기 상부몸체와 상기 하부몸체 사이를 연결하여 내부의 챔버공간을 밀폐 형성하는 측벽과, 상기 하부몸체의 하측에 구비되며 다수의 흡착 홀을 갖는 다공흡착패드를 포함하는 본체;
상기 본체의 챔버공간을 통해 설정된 진공도를 발생시키며, 상기 다수의 흡착 홀을 통해 상기 다공흡착패드의 하부 면에 부압을 형성하여, 상기 다공흡착패드의 하측에 위치한 플렉시블 소재를 상향 흡착시키는 진공 발생부; 및
상기 상부몸체를 통해 에어를 공급하며, 상기 상부몸체로부터 공급된 에어를 상기 본체의 챔버공간과 격리된 유로를 통해 상기 하부몸체까지 유동시키며, 상기 하부몸체까지 유동된 에어를 상기 다공흡착패드를 통과시켜 상기 플렉시블 소재의 상부 면을 향해 균일하게 분사시키고, 상기 다공흡착패드의 하측을 항해 상향 흡착되는 상기 플렉시블 소재를 에어 압력으로 밀어내어, 상기 플렉시블 소재의 수평 자세를 유지시키면서 상기 플렉시블 소재와 상기 다공흡착패드 간의 설정된 이격거리를 유지시키는 에어 공급부;를 포함하며,
상기 다공흡착패드는, 상기 하부몸체의 하측에서 일정 크기의 수평공간을 두고서 상기 하부몸체와 나란히 수평 배치되며,
상기 진공 발생부는, 상기 상부몸체의 상부에 설치되되, 상기 본체의 챔버공간까지 연통 가능한 구조로 설치되어 상기 챔버공간을 통해 설정된 진공도를 발생시키며,
상기 에어 공급부는, 상기 상부몸체의 상부에 체결 가능하게 형성되는 직사각형의 보강 플레이트;
상기 보강 플레이트를 상하로 관통하며 상기 상부몸체를 통과하도록 돌출 배치된 다수의 에어 공급 피팅부;
상기 다수의 에어 공급 피팅부 각각의 출구를 가로 막도록 상기 상부몸체의 하부 면에 깔때기 형상으로 취부되며, 상기 다수의 에어 공급 피팅부 각각을 통해 도입된 에어를 1차적으로 수용하는 에어 수용부; 및
상기 하부몸체의 상부 면에 하부가 개방된 덕트 구조로 결합되며, 상기 에어 수용부로부터 에어를 공급받아 내측의 매니폴드 내부유로를 통해 에어를 유동시키며, 상기 하부몸체의 수직관통유로를 통해 상기 하부몸체와 상기 다공흡착패드 사이의 수평공간으로 공급시키는 에어 공급 매니폴드;를 포함하는 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치.
An upper body, a lower body horizontally disposed at intervals up and down with the upper body, a side wall connecting the upper body and the lower body to form a sealed chamber space therein, and a lower side of the lower body. A main body including a porous adsorption pad having a plurality of adsorption holes;
The vacuum generating unit generates a vacuum degree set through the chamber space of the main body, and forms a negative pressure on the lower surface of the porous adsorption pad through the plurality of adsorption holes, and upwardly adsorbs the flexible material located below the porous adsorption pad. ; And
The air is supplied through the upper body, the air supplied from the upper body flows to the lower body through a flow path isolated from the chamber space of the main body, and the air flowed to the lower body passes through the porous adsorption pad. And uniformly sprayed toward the upper surface of the flexible material, and pushes the lower side of the porous adsorption pad under the air upward pressure to the flexible material to be sailed upward, while maintaining the horizontal posture of the flexible material and the porous material. And an air supply unit for maintaining a set separation distance between the suction pads.
The porous adsorption pad is horizontally arranged side by side with the lower body with a horizontal space of a predetermined size from the lower side of the lower body,
The vacuum generating unit is installed on the upper portion of the upper body, is installed in a structure that can communicate with the chamber space of the main body to generate a set degree of vacuum through the chamber space,
The air supply unit, the rectangular reinforcement plate is formed to be fastened to the upper portion of the upper body;
A plurality of air supply fittings penetrating the reinforcing plate vertically and protrudingly arranged to pass through the upper body;
An air receiving portion mounted in a funnel shape on a lower surface of the upper body so as to block an outlet of each of the plurality of air supply fittings, and primarily receiving air introduced through each of the plurality of air supply fittings; And
The lower surface is coupled to the upper duct structure of the lower body, the air is supplied from the air receiving portion to flow air through the inner manifold internal flow path, the lower through the vertical through the flow path of the lower body Non-contact adsorption device for a flexible material comprising a; air supply manifold for supplying a horizontal space between the body and the porous adsorption pad.
제1항에 있어서,
상기 다수의 흡착 홀은,
상기 다공흡착패드의 전체 면적을 통해 일정한 간격을 두고 균일하게 분포되는 것을 특징으로 하는
플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치.
The method of claim 1,
The plurality of adsorption holes,
Characterized in that uniformly distributed at regular intervals over the entire area of the porous adsorption pad
Non-contact adsorption device for flexible material.
제1항에 있어서,
상기 다공흡착패드는,
수평 방향으로 조립 가능한 다수 개의 분할된 형태로 제공되며,
상기 다수 개의 분할된 다공흡착패드 각각은,
상기 플렉시블 소재의 종류 및 크기에 따라 개별적으로 분리 및 교체가 가능하며,
상기 다수 개의 분할된 다공흡착패드 전체가 수평 방향으로 정 위치 연결될 때 상기 하부몸체의 하부 면에 대응하는 크기 및 형상을 갖는 것을 특징으로 하는
플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치.
The method of claim 1,
The porous adsorption pad,
It is available in multiple divided forms that can be assembled in the horizontal direction.
Each of the plurality of divided porous adsorption pads,
It can be separated and replaced individually according to the type and size of the flexible material,
The plurality of divided porous adsorption pads have a size and shape corresponding to the lower surface of the lower body when the entire position is connected in the horizontal direction
Non-contact adsorption device for flexible material.
제3항에 있어서,
상기 다공흡착패드는,
상하 방향 두께가 일정하며 하부 면이 평탄하게 형성된 판상의 다공질 세라믹 소재를 이용하며,
상기 다공질 세라믹 소재는,
설정된 크기의 기공 분포율을 갖는 것을 특징으로 하는
플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치.
The method of claim 3,
The porous adsorption pad,
It uses a plate-shaped porous ceramic material having a constant vertical thickness and having a flat lower surface.
The porous ceramic material,
Characterized in that it has a pore distribution ratio of a set size
Non-contact adsorption device for flexible material.
제3항에 있어서,
상기 다공흡착패드는,
상하 방향 두께가 일정하며 하부 면이 평탄하게 형성된 판상의 소재로서, 상기 판상의 소재를 상하 방향으로 관통하는 다수의 미세 홀을 균일하게 분포시키도록 가공되는 것을 특징으로 하는
플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치.
The method of claim 3,
The porous adsorption pad,
A plate-shaped material having a constant vertical thickness and having a flat lower surface, and is processed to uniformly distribute a plurality of fine holes penetrating the plate-like material in the vertical direction.
Non-contact adsorption device for flexible material.
제1항에 있어서,
상기 챔버공간은,
상기 상부몸체, 상기 하부몸체, 및 상기 측벽의 연결에 의해 상기 본체의 내부에 마련된 공간으로서, 상기 챔버공간의 전 영역을 통해 상기 챔버공간을 이루는 상하 높이는 일정한 크기로 유지되는 것을 특징으로 하는
플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치.
The method of claim 1,
The chamber space,
A space provided inside the main body by the connection of the upper body, the lower body, and the side wall, characterized in that the vertical height of the chamber space through the entire area of the chamber space is maintained at a constant size
Non-contact adsorption device for flexible material.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 에어 공급 매니폴드에 의해서, 상기 하부몸체와 상기 다공흡착패드 사이로 에어가 공급되는 상기 수평공간의 높이는 전 영역을 통해 일정한 크기를 갖는 것을 특징으로 하는
플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치.
The method of claim 1,
The height of the horizontal space in which air is supplied between the lower body and the porous suction pad by the air supply manifold has a constant size throughout the entire area.
Non-contact adsorption device for flexible material.
제1항에 있어서,
상기 에어 공급부는,
상기 에어 수용부의 출구 측에 하향 돌출된 수축관을 둘러 감싸 연결되는 제1 연결부와, 상기 제1 연결부의 반대편에 위치하며 상기 에어 공급 매니폴드의 입구 측에 상향 돌출된 매니폴드 연결포트에 착탈 고정되는 제2 연결부를 구비하며, 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부 사이에서 상기 챔버공간과 격리되어 수평 방향으로 에어가 유동하는 내부 유로를 제공하는 에어 공급 라인;
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치.
The method of claim 1,
The air supply unit,
A first connection part surrounding the contraction tube projecting downwardly on the outlet side of the air receiving part and connected to the first connection part; An air supply line provided between the first connection part and the second connection part, the air supply line being separated from the chamber space and providing an internal flow path in which air flows in a horizontal direction;
Non-contact adsorption device for a flexible material, characterized in that it further comprises.
제1항에 있어서,
상기 본체의 테두리 각 변을 통해 적어도 2개가 구비되며, 상기 본체의 외측으로 돌출하여 상기 플렉시블 소재를 정렬하는 소재 얼라인부;
를 더 포함하는 플렉시블 소재용 비접촉 흡착 장치.
The method of claim 1,
At least two provided through each side of the edge of the main body, the material alignment unit for protruding to the outside of the main body to align the flexible material;
Non-contact adsorption device for a flexible material further comprising.
KR1020180039259A 2018-04-04 2018-04-04 Non―contact adsorption device of flexible material KR102027116B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180039259A KR102027116B1 (en) 2018-04-04 2018-04-04 Non―contact adsorption device of flexible material

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180039259A KR102027116B1 (en) 2018-04-04 2018-04-04 Non―contact adsorption device of flexible material

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102027116B1 true KR102027116B1 (en) 2019-10-01

Family

ID=68208004

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180039259A KR102027116B1 (en) 2018-04-04 2018-04-04 Non―contact adsorption device of flexible material

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102027116B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110109798A (en) * 2010-03-31 2011-10-06 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 Coating apparatus
KR101158267B1 (en) * 2009-10-26 2012-06-19 주식회사 나래나노텍 A Floating Plate Being Used for A Substrate-Floating Unit, and A Substrate-Floating Unit, A Substrate-Transferring Device and A Coating Apparatus Having the Same
KR101433516B1 (en) * 2013-03-22 2014-08-27 (주)에스티아이 Apparatus and Method for transferring substrate and tray to transfer the substrate
KR101460235B1 (en) * 2013-12-11 2014-11-10 강창수 separation distance keeping type transport device for flexible plate

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101158267B1 (en) * 2009-10-26 2012-06-19 주식회사 나래나노텍 A Floating Plate Being Used for A Substrate-Floating Unit, and A Substrate-Floating Unit, A Substrate-Transferring Device and A Coating Apparatus Having the Same
KR20110109798A (en) * 2010-03-31 2011-10-06 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 Coating apparatus
KR101433516B1 (en) * 2013-03-22 2014-08-27 (주)에스티아이 Apparatus and Method for transferring substrate and tray to transfer the substrate
KR101460235B1 (en) * 2013-12-11 2014-11-10 강창수 separation distance keeping type transport device for flexible plate

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7931755B2 (en) Method for removing deposit from substrate and method for drying substrate, as well as apparatus for removing deposit from substrate and apparatus for drying substrate using these methods
KR20170125837A (en) Gas floating work support device and non-contact work support method
CN102054664B (en) Substrate processing apparatus
TW200808635A (en) Air cushion unit and production method of the same
JP3995617B2 (en) Air levitation device
JP4183525B2 (en) Thin plate support device
JP2009073646A (en) Floating method and floating unit
CN106521620A (en) Substrate processing apparatus
KR102027116B1 (en) Non―contact adsorption device of flexible material
CN1891647B (en) Plate glass transferring device
JP5369178B2 (en) ALD reactor connection configuration
KR20170016276A (en) Substrate levitation and transportation device
CN108543640B (en) Liquid discharge device
CN101447445B (en) Workpiece supporting device
JP5221508B2 (en) Substrate processing equipment
JP2008041989A (en) Air table for transferring sheet material, and apparatus for transferring the sheet material
KR101507351B1 (en) Cleaning apparatus for vehicle for transfering wafer and cleaning system having the same
KR20200053853A (en) Hopper and device for transferring of powder having the same
CN205873293U (en) Sectional type vacuum adsorption plate
TW201900505A (en) Funnel device
CN208531677U (en) A kind of air bearing transition apparatus and liquid crystal display conveying device
RU2017105188A (en) GAS CLEANING BLOCK FOR ELECTROLYZES GAS CLEANING WITH A GAS CLEANING MODULE CONTAINING A HOSE AND REACTOR FILTER
JP2006049493A (en) Substrate conveying module, apparatus and method of conveying substrate using the same
KR100857525B1 (en) Suction device of minute particles
KR20090129420A (en) Nozzle, dry cleaner, dry cleaner system

Legal Events

Date Code Title Description
GRNT Written decision to grant