KR101978600B1 - 포획 템플릿을 가지는 미세 탐침 전극 소자 제조방법 - Google Patents

포획 템플릿을 가지는 미세 탐침 전극 소자 제조방법 Download PDF

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Abstract

세포나 조직과 같은 측정 대상물을 탐침과 근접한 위치에 포집할 수 있는 포획 템플릿을 가지는 미세 탐침 전극 소자가 개시된다. 포획 템플릿은 하나 이상의 탐침의 팁 단부각각의 둘레에 각각 제공되는 하나 이상의 홀을 가진다. 하나 이상의 홀들에 세포나 조직과 같은 측정 대상물이 수용되어 탐침의 팁 단부와 근접한 위치에 놓여질 수 있다. 포획 템플릿의 하나 이상의 홀은 탐침 팁 단부에 전해도금으로 구리볼을 형성하고 구리볼들을 매몰시키도록 PDMS층을 형성한 후 구리볼을 선택적으로 제거하여 형성할 수 있다. 포토리소그래피나 식각 공정을 이용하지 않고 매우 정렬성이 높은 포획 템플릿을 형성할 수 있다.

Description

포획 템플릿을 가지는 미세 탐침 전극 소자 제조방법{METHOD FOR MANUFACTURING MICRO PROBE ELECTRODE DEVICE WITH TEMPLATE}
본 발명은 미세 탐침 전극 분야에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 탐침들의 주변에 포획을 위한 홀을 제공하는 포획 템플릿을 가지는 미세 탐침 전극 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
미세 탐침 전극 소자는 생물학, 의학, 화학, 분야의 다양한 종류의 응용에 이용되고 있다. 미세 탐침 전극 소자는 탐침 어레이를 포함하며, 전기영동 및 유전 전기영동 현상을 이용하여 유로 내에 주입되는 물질의 분류 및 분석을 하는데 이용되거나 미생물 연료 전지 등에 이용된다.
도 1은 미세 탐침 전극 소자를 도시한 도면이다. 미세 탐침 전극 소자는 기판 상에 형성된 탐침 어레이를 포함한다. 탐침 어레이는 베이스에 형성된 기둥 몸체와, 기둥 몸체의 표면에 형성된 도전층, 및 도전층 표면에 형성된 절연층을 포함한다. 기둥 몸체의 팁 단부 부위 상의 절연층 일부가 제거되어 전극의 팁 단부를 노출한다.
위와 같은 탐침 어레이는 유체 내의 세포나 조직과 같은 측정 대상물이 탐침 전극의 노출된 팁 단부에 접촉이 이루어질 때 얻어지는 생체신호를 외부 회로에 전달하는 역할을 수행한다.
따라서 세포나 조직과 같은 측정 대상물이 각 탐침의 팁 단부에 접촉할 가능성을 높일 필요가 있다.
미국특허출원 US20050253606A1
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 감안한 것으로서, 검사 대상물을 탐침의 팁 단부 주변에 포획할 수 있는 미세 탐침 전극 소자를 제공한다.
본 발명은 상술한 개선된 미세 탐침 전극 소자를 제조하는 방법을 제공한다.
본 발명은 미세 탐침 전극 소자를 제공하며, 이는: 하나 이상의 탐침; 및 상기 하나 이상의 탐침의 팁 단부(tip end) 각각의 둘레에 각각 제공되는 하나 이상의 홀을 가지는 포획 템플릿;을 포함한다.
상기 하나 이상의 탐침은 베이스 상에 형성된 탐침 어레이일 수 있고, 상기 포획 템플릿은 상기 베이스 상에 상기 탐침의 길이방향의 소정 두께로 배치될 수 있다.
상기 포획 템플릿은 고분자로 이루어질 수 있고, 바람직하게는 투명 고분자인 PDMS가 적용될 수 있다.
상기 하나 이상의 홀은 위쪽으로 개방된 반구형 또는 절두 구형(truncated sphere)일 수 있다.
본 발명은 미세 탐침 전극 소자의 제조방법을 제공하며, 이는: 하나 이상의 탐침이 형성된 베이스를 준비하는 단계; 상기 하나 이상의 탐침의 팁 단부 각각을 둘러싸는 하나 이상의 커버체를 형성하는 단계; 상기 하나 이상의 탐침을 포함하는 상기 베이스 상 전면 위에 상기 하나 이상의 탐침과 상기 하나 이상의 커버체를 매몰시키면서 상기 커버체의 상부의 일부를 노출하는 템플릿을 위한 층을 형성하는 단계; 및 상기 커버체를 제거하여 상기 하나 이상의 탐침의 팁 단부 각각을 둘러싸는 하나 이상의 홀을 제공하는 템플릿을 형성하는 단계;를 포함한다.
상기 하나 이상의 탐침은 상기 베이스 상에 복수개가 배치된 탐침 어레이일 수 있다.
상기 하나 이상의 커버체는 구리 전해도금으로 형성할 수 있다.
상기 포획 템플릿은 PDMS로 형성할 수 있다.
상기 하나 이상의 커버체의 제거는 습식각을 이용할 수 있다.
상기 하나 이상의 탐침은 기둥 본체와 상기 기둥 본체의 외면에 형성된 도전층과 상기 팁 단부를 제외한 상기 도전층의 외면에 형성된 절연층을 포함하는 것일 수 있다.
본 발명에 따르면, 수 내지 수십 마이크로 크기의 세포나 조직과 같은 측정 대상물을 전극의 탐침 주변에 포집할 수 있는 포획 템플릿을 가지는 미세 탐침 전극 소자가 제공된다. 포획 템플릿은 각 탐침의 팁 단부를 각기 둘러싸는 홀들을 가지며, 측정 대상물이 홀 내에 위치함으로써 탐침과의 접촉 가능성을 높이게 된다. 포획 템플릿은 전해도금으로 형성되는 구리볼과 같은 커버체를 탐침의 팁 단부에 형성하고 적합한 두께의 PDMS층을 형성한 후, 커버체를 선택적으로 제거함으로써 홀들을 가지도록 형성된다. 이러한 과정은 포토리소그래피와 식각을 이용하는 기존의 방법 보다 높은 정렬도를 가지는 템플릿을 형성할 수 있도록 한다. 나아가, 투명한 고분자로 형성되는 템플릿은 세포나 조직 등의 광학적인 측정과 분석에 유리하다. 또한 제작된 마이크로 탐침 전극을 패치 클램프 전극 형태로 적용할 수 있기 때문에 기존의 패치 클램프를 이용한 전극이 가지는 단일 세포 측정의 국한성을 극복할 수 있다. 이러한 본 발명의 미세 탐침 전극 소자는 여러 유체 채널, 바이오 센서, 마이크로 엑츄에이터 등과 일체화되어 다양한 응용분야에 적용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 미세 탐침 전극 소자에 포함되는 탐침 어레이를 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 탐침 어레이에 대한 전자 현미경 사진이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미세 탐침 전극 소자를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 4 내지 도 8은 본 발명의 미세 탐침 전극 소자의 제조방법을 설명하기 위해 도시한 단면도이다.
도 9는 본 발명의 제조방법의 과정 중 탐침들의 팁 탄부에 전해도금으로 형성된 커버체를 보여주는 전자 현미경 사진이다.
도 10은 본 발명의 제조방법의 과정 중 탐침들과 커버체를 덮도록 PDMS로 형성된 템플릿을 위한 층을 보여주는 전자 현미경 사진이다.
도 11은 본 발명의 제조방법의 과정 중 템플릿을 위한 층의 일부를 제거하여 커버체의 상부 일부가 드러난 것을 보여주는 전자 현미경 사진이다.
도 12는 본 발명의 제조방법의 과정 중, 커버체인 구리볼을 제거함으로써 형성된 각각의 탐침 팁 단부를 둘러싸는 홀을 가지는 템플릿을 보여주는 전자 현미경 사진이다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 발명은 세포나 조직과 같은 측정 대상물을 탐침의 팁 단부의 주변에 포획할 수 있는 포획 템플릿을 가지는 미세 탐침 전극 소자를 제공한다. 몇몇 실시예에서 본 발명의 탐침은 어레이로 제공될 수 있고, 포획 템플릿은 각각의 탐침의 팁 단부를 둘러싸는 홀을 제공한다. 각 탐침은 마이크로 사이즈의 기둥 몸체와 그 표면에 형성된 도전층을 포함할 수 있다. 도전층은 예를 들어 ITO가 적용될 수 있다. 도전층의 표면에는 SiO2와 같은 절연층이 배치될 수 있고, 탐침의 단부에는 절연층이 제거되어 도전층인 팁 단부(tip end)를 노출한다. 본 발명의 미세 탐침 전극 소자는 상술한 바와 같이 팁 단부의 둘레에 측정 대상물을 포획하기 위한 홀을 제공하는 템플릿을 포함한다. 이러한 템플릿을 여기서는 '포획 템플릿' 또는 '포집 템플릿'이라고 칭할 수 있다. 포획 템플릿에 의해 각 탐침의 팁 단부의 둘레에 제공되는 홀은 세포나 조직과 같은 측정 대상물을 수용하여 팁 단부와 밀접한 위치에 있도록 함으로써 접촉 가능성을 높인다. 템플릿은 예를 들어 PDMS와 같은 투명 고분자가 적용될 수 있으며, 투명한 템플릿은 세포나 조직의 광학적인 측정 및 분석에 유리할 수 있다. 본 발명의 바람직한 실시예에서 포획 홀은 각 탐침의 팁 단부에 커버체를 형성하고 고분자층을 일정 두께로 형성하여 커버체의 상부 부위를 부분적으로 노출한 후, 커버체를 선택적으로 제거하여 형성할 수 있다. 바람직한 실시예에서 커버체는 뾰족한 팁 단부에 전해도금으로 형성되는 구리볼이며, 따라서 도전층으로 채용되는 ITO 상에서 도금의 핵생성이 이루어져서 구형에 가까운 형태의 구리볼이 형성될 수 있고, 이하에서는 구리볼로 형성되는 커버체를 구형으로 간주한다.
몇몇 실시예에서, 탐침 어레이는 도 1에 도시한 바와 같이 베이스 상에 어레이로 배치된다. 도 1은 본 발명의 미세 탐침 전극 소자에 채용될 수 있는 탐침 어레이(좌측)과 탐침의 단면도(우측)을 나타낸다. 도 2는 도 1의 탐침 어레이에 대한 전자현미경 사진이며, 우측은 개별 탐침을 확대하여 보여주는 전자 현미경 사진이다. 탐침 어레이는 다양한 공지의 방식으로 형성될 수 있다. 예를 들어 탐침 어레이를 형성하는 하나의 예는 실리콘 기판을 딥 에칭(deep etching)하여 대략적인 기둥 형상들을 형성한 후 그들을 RIE하는 것을 포함할 수 있다. RIE에 의해 단부가 뾰족한 기둥이 형성되며, 기둥의 표면에 도전층과 절연층을 순차로 형성한다. 이후, 탐침의 뾰족한 부위 상의 절연막을 부분적으로 제거하여 팁 단부인 ITO 도전층을 노출한다. 이 내용은 본 발명의 발명자의 다른 출원 PCT/KR2012/002084에 개시되었으며 참조로서 여기에 통합한다. 그러나, 본 발명에 적용되는 탐침의 제조 방법 상술한 발명자의 국제출원의 방법에 한정되지 않는다.
본 발명의 바람직한 실시예에서 템플릿의 제조를 위해 팁 단부를 가리는 커버체를 이용한다. 커버체는 예를 들어 전해도금으로 형성되는 구리볼일 수 있으며, 각 탐침의 팁 단부의 둘레에 형성된다. 이후, PDMS로 템플릿을 위한 층을 형성한다. 템플릿을 위한 층은 각 구리볼들의 상단 부위를 노출하는 두께를 가진다. 이를 위해, 하나의 실시예에서는 베이스 상에 템플릿을 위한 층을 구리볼들을 매립하는 충분한 두께로 형성한 다음, 구리볼들의 상단 부위를 노출하도록 상기 템플릿을 위한 층의 상부 일부를 제거하여 최종적인 템플릿을 위한 층을 완성할 수 있다. 예를 들어 선택적인 습식각을 통해 구리볼들을 제거함으로써 구리볼들이 있던 자리에 홀들이 생성된다. 생성된 홀들은 각 탐침들의 팁 단부의 둘레에 형성되며, 이러한 홀들을 가지는 템플릿을 포획 템플릿으로 칭한다.
포획 템플릿이 팁 단부의 둘레에 제공하는 홀은 템플릿을 위한 층 밖으로 노출된 상단 부위를 빼고는 구리볼의 형상과 유사할 것이다. 예를 들어 커버체가 구형의 구리볼이라면, 홀들은 구형, 반구형, 절두된 구형(truncated sphere) 또는 반구형 보다 작은 보울(bowl)의 내면 형상을 가질 수 있다. 그러나, 본 발명에서 홀을 형성하기 위한 구리볼의 형상은 이에 한정되지 않는다.
이와 같이, 포획 템플릿의 제조에서 전해 도금으로 구리볼을 이용하기 때문에, 복잡한 포토리소그래피 및 에칭 공정을 추가적으로 수행하지 않아도 된다. 미세구조의 템플릿을 포토리소그래피와 에칭을 이용하여 형성할 경우, 템플릿과 날카로운 탐침의 정렬에 어려움이 있어서 정렬 오차가 발생하는 반면에, 본 발명과 같이 전해 도금으로 형성되는 구리볼을 이용하면 매우 높은 정렬 상태를 용이하게 얻을 수 있다.
이러한 본 발명의 미세 탐침 전극 소자는 수 내지 수십 마이크로 사이즈의 세포나 조직을 포집하여 생체신호를 측정하는 분야에 바람직하게 이용할 수 있고, 또한 인공세포 성장 및 분석이 필요한 분야에 적용할 수 있다. 제작된 마이크로 탐침 전극의 형태를 패치 클램프 전극 형태로 적용할 수 있기 때문에, 기존의 패치 클램프를 이용한 단일 세포에 국한된 측정을 벗어나 어레이 형태에서 동시 다발적인 전기화학적 및 광학적 분석과 측정을 용이하게 수행할 수 있다. 나아가, 본 발명의 소자는 다양한 유체 채널, 바이오 센서, 마이크로 엑츄에이터 등과 일체화하여 다양한 응용 분야에 적용할 수 있다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미세 탐침 전극 소자를 개략적으로 도시한 단면도이다.
본 발명의 미세 탐침 전극 소자는 베이스(10) 상에 형성된 하나 이상의 탐침(11)을 포함한다. 하나 이상의 탐침(11)은 도시한 바람직한 실시예에서 복수개가 배열된 탐침 어레이일 수 있다. 탐침 어레이는 위에서 설명한 바와 같은 방법으로 베이스(기판, 10)에 형성할 수 있다. 베이스(10)는 예를 들어 실리콘 기판일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
탐침 어레이의 각 탐침(11)은 상단부(팁 단부(113))가 뾰족한 형태인 기둥 몸체(111)와, 기둥 몸체(111)의 표면에 형성된 도전층(115)과, 도전층(115) 표면에 형성된 절연층(117)을 포함한다. 절연층(117)은 팁 단부(113)를 노출하도록 부분적으로 제거되어 전극을 노출한다. 도전층(115)은 예를 들어 ITO일 수 있고, 절연층(117)은 SiO2일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 미세 탐침 전극 소자는 또한 포획 템플릿(13)을 포함한다. 포획 템플릿(13)은 각 탐침(11)의 팁 단부(113) 둘레에 홀(131)을 제공한다. 템플릿(13)은 예를 들어 투명 고분자인 PDMS가 적용될 수 있다. 템플릿(13)이 투명 재질일 경우, 세포나 조직 등의 광학적인 측정에 유리하다. 템플릿(13)은 베이스(10) 상에 형성될 수 있지만, 도전층(115)과 절연층(117)이 베이스(10) 상에 있기 때문에, 실질적으로 절연층(117) 상에 형성된다고 볼 수 있다.
포획 템플릿(13)이 제공하는 홀(131)들은 탐침(11)의 팁 단부(113)를 둘러싸는 형태로 형성된다. 각 홀(131)들은 반구형, 구형, 절두된 구형, 보울의 내면 등과 같은 형상을 가질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 각 홀(131)들은 실질적으로 구리볼이 제거된 자리에 형성되기 때문에, 도시한 실시예에서 구리볼의 형상과 유사한 구형을 가질 수 있지만, 구리볼의 형상이 구형이 아닌 다른 형상일 경우에는 그 형상과 유사한 형상일 것이다.
포획 템플릿(13)이 팁 단부(113)의 둘레에 제공하는 각 홀(131)들에는 세포나 조직과 같은 측정 대상물이 포집(수용)되어, 전극의 팁 단부(113)에 밀접한 위치에 놓임으로써 팁 단부(113)와의 접촉 가능성을 높인다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미세 탐침 전극 소자의 제조방법에 대하여 상세하게 설명한다.
도 4 내지 도 8은 본 발명의 미세 탐침 전극 소자의 제조방법을 설명하기 위해 도시한 단면도이다.
도 4에서와 같이, 먼저 탐침 어레이를 준비한다. 복수개의 탐침(11)이 배열된 탐침 어레이는 위에서 설명한 바와 같이 공지의 방법을 이용하여 베이스(10) 상에 형성될 수 있다. 상술한 바와 같이, 베이스(10)는 실리콘 기판일 수 있고, 그 위에 형성된 도전층(115)과 팁 단부(113)를 노출하면서 도전층(115)을 피복하는 절연층(117)을 포함할 수 있다. 이러한 구조는 절연층(117)을 형성한 후에 RIE 등과 같은 에칭 공정을 통해 팁 단부(113)를 노출시킴으로써 얻어질 수 있다. 여기서 각 탐침(11)들의 높이는 약 45㎛일 수 있다.
이어, 전해 도금을 이용하여 각 탐침(11)의 팁 단부(113)를 둘러싸는 커버체(20)를 형성한다(도 5). 커버체(20)는 예를 들어 전해도금으로 형성되는 구리볼과 같은 구형일 수 있다. 구리볼의 커버체(20)의 형성은 황산구리 용액을 이용하여 구리 전기도금을 행하여 구현될 수 있다. 도전층(115)을 ITO로 형성한 경우에는 노출된 뾰족한 부위의 ITO 부위에서 핵생성이 이루어지면서 대략 구형의 구리볼이 형성될 수 있다. 이때는 일정한 전류 하에서 공정 시간을 조절하여 성장하는 구리볼의 지름을 결정할 수 있으며, 대략 8분 30초 정도 진행하여 11㎛의 지름을 얻을 수 있었다. 도 9는 각 탐침의 팁 단부를 둘러싸도록 형성된 구리볼을 보여주는 전자현미경 사진이다.
다시 제조방법의 설명으로 돌아와서 도 6을 참조한다. 하나 이상의 탐침(11)을 포함하는 베이스(10) 상 전면 위에(over) 템플릿을 위한 층(13')를 형성한다. 템플릿을 위한 층(13')은 투명 고분자인 PDMS일 수 있다. 템플릿을 위한 층(13')은 도 6에 도시한 바와 같이 하나 이상의 탐침(11)과 커버체(20)를 완전히 매몰시키는 두께로 형성될 수 있다. 템플릿을 위한 층(13')의 형성은 예를 들어 PDMS : 경화제를 10 : 1의 비율로 가지는 용액을 일정한 RPM의 회전으로 코팅한 후 약 80℃에서 약 6시간 정도의 열처리를 진행함으로써 구현될 수 있다. 도 10은 템플릿을 위한 층(13')을 투명 고분자인 PDMS로 형성한 상태를 보여주는 전자 현미경 사진이다.
이어, 도 7과 같이, 습식 식각을 통해 커버체(20)의 상부 일부가 드러나도록 템플릿을 위한 층(13')의 일부를 제거한다. 여기서의 템플릿을 위한 층(13')의 제거는 예를 들어 TBAF : NMP = 1 : 3 용액을 이용하여 상온(25 ℃)에서 3분 동안 습식 식각 진행하고, O2 : CF4 = 1 : 3 (13 sccm : 37 sccm)가스를 이용한 공정을 20분 동안 건식 식각 진행하여 수행할 수 있다. 이렇게 해서 커버체(20)인 구리볼의 상부 부위 일부가 템플릿을 위한 층(13')의 외부로 노출된 상태를 도 11이 보여준다.
다르게는 템플릿을 위한 층(13') 자체를 도 7과 같이 커버체(20)의 상부 일부가 드러나는 정도의 두께로 형성할 수도 있고, 그 경우 템플릿을 위한 층(13')의 상부 두께를 제거하는 과정이 생략될 수 있다.
도 8과 같이 커버체(20)를 선택적으로 제거한다. 커버체(20)인 구리볼은 예를 들어 구리에 대한 식각 용액을 이용하여 습식 식각으로 제거될 수 있다.
구리볼인 커버체(20)가 제거되면, 템플릿(13)의 제조가 완성된다. 템플릿(13)은 구리볼이 제거된 자리에 형성된 홀(131)들을 가지게 되며, 이러한 홀(131)들은 팁 단부(113)의 둘레에 배치된다. 도시한 실시예에서 홀(131)들은 커버체(20)가 구리볼 형상의 구형이기 때문에 대략 반구체나 절두된 구형일 것이다. 도 12는 커버체(20)인 구리볼이 제거되어 포획 템플릿(13)이 형성된 것을 보여주는 전자 현미경 사진이다.
이러한 홀(131) 내부에 세포나 조직과 같은 미세 측정 대상물들이 수용 또는 포집될 수 있고, 포집된 측정 대상물은 노출된 전극인 팁 단부(113)와 접촉할 가능성이 매우 높아진다.
이상, 본 발명의 상세한 설명에서는 커버체적인 실시예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다 할 것이다.
10: 베이스, 11: 탐침, 13: 템플릿, 13'; 템플릿을 위한 층, 111: 기둥,
113: 팁 단부, 115: 도전층, 117: 절연층, 131: 홀

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  6. 미세 탐침 전극 소자의 제조방법으로서:
    하나 이상의 탐침이 형성된 베이스를 준비하는 단계;
    상기 하나 이상의 탐침의 팁 단부 각각을 둘러싸는 하나 이상의 커버체를 형성하는 단계;
    상기 하나 이상의 탐침을 포함하는 상기 베이스 상 전면 위에 상기 하나 이상의 탐침과 상기 하나 이상의 커버체를 매몰시키면서 상기 커버체의 상부의 일부를 노출하는 템플릿을 위한 층을 형성하는 단계; 및
    상기 커버체를 제거하여 상기 하나 이상의 탐침의 팁 단부 각각을 둘러싸는 하나 이상의 홀을 제공하는 템플릿을 형성하는 단계;를 포함하는, 미세 탐침 전극 소자의 제조방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 하나 이상의 탐침은 상기 베이스 상에 복수개가 배치된 탐침 어레이인, 미세 탐침 전극 소자의 제조방법.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 하나 이상의 커버체는 구리 전해도금으로 형성하는 것인, 미세 탐침 전극 소자의 제조방법.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 템플릿은 PDMS로 형성하는 것인, 미세 탐침 전극 소자의 제조방법.
  10. 청구항 6에 있어서,
    상기 하나 이상의 커버체의 제거는 습식각을 이용하는 것인, 미세 탐침 전극 소자의 제조방법.
  11. 청구항 6에 있어서,
    상기 하나 이상의 탐침은 기둥 본체와 상기 기둥 본체의 외면에 형성된 도전층과 상기 팁 단부를 제외한 상기 도전층의 외면에 형성된 절연층을 포함하는 것인, 미세 탐침 전극 소자의 제조방법.
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