KR101937349B1 - Apparatus for Supplying Droplet Formation and Apparatus for Droplet Formation having the same - Google Patents

Apparatus for Supplying Droplet Formation and Apparatus for Droplet Formation having the same Download PDF

Info

Publication number
KR101937349B1
KR101937349B1 KR1020160140978A KR20160140978A KR101937349B1 KR 101937349 B1 KR101937349 B1 KR 101937349B1 KR 1020160140978 A KR1020160140978 A KR 1020160140978A KR 20160140978 A KR20160140978 A KR 20160140978A KR 101937349 B1 KR101937349 B1 KR 101937349B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pressure
chemical liquid
unit
sensor
connection line
Prior art date
Application number
KR1020160140978A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20180046118A (en
Inventor
김준욱
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020160140978A priority Critical patent/KR101937349B1/en
Priority to CN201710997130.0A priority patent/CN108001045B/en
Publication of KR20180046118A publication Critical patent/KR20180046118A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101937349B1 publication Critical patent/KR101937349B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B41J2/17503—Ink cartridges
    • B41J2/17513—Inner structure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
    • B41J2/14153—Structures including a sensor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B41J2/17596—Ink pumps, ink valves

Abstract

약액 토출 장치는 기판을 향하여 약액을 토출하기 위한 잉크젯 헤드; 상기 잉크젯 헤드로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하는 레저버; 및 압력 제공을 통하여 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 약액을 공급하기 위한 약액 공급부를 포함한다. 상기 약액 공급부는 상기 압력을 형성하도록 구비되는 압력 형성부와, 상기 압력 형성부와 상기 레저버 사이를 연결하는 연결 라인과, 상기 연결 라인에서의 현재 압력을 센싱하는 센서부와, 상기 연결 라인에서의 현재 압력을 설정 압력으로 조정하는 압력 조정부와, 상기 압력 조정부 이외의 환경에는 영향을 받지 않도록 상기 센서부를 외부 환경과 차단시키는 차단부와, 상기 잉크젯 헤드의 노즐 단부에 잔류하는 약액에 대한 매니스커스가 유지되도록 상기 센서부로부터 센싱되는 상기 현재 압력이 상기 설정 압력으로 조정되게 상기 압력 조정부를 제어하는 제어부;를 포함한다.The chemical liquid ejection apparatus includes an inkjet head for ejecting a chemical liquid toward a substrate; A reservoir for storing the chemical liquid to be supplied to the inkjet head; And a chemical liquid supply part for supplying the chemical liquid from the reservoir to the ink jet head through pressure supply. A pressure sensor for detecting a pressure in the connection line; a sensor for sensing a current pressure in the connection line; a pressure sensor for sensing a pressure in the connection line; A blocking unit for blocking the sensor unit from the external environment so as not to be influenced by the environment other than the pressure adjusting unit; And a control unit for controlling the pressure adjusting unit so that the current pressure sensed by the sensor unit is adjusted to the set pressure.

Description

약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치{Apparatus for Supplying Droplet Formation and Apparatus for Droplet Formation having the same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chemical liquid supply apparatus and a chemical liquid supply apparatus including the chemical liquid supply apparatus.

본 발명은 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 압력 제공을 통하여 레저버로부터 잉크젯 헤드로 약액을 공급하기 위한 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chemical liquid supply apparatus and a chemical liquid discharge apparatus including the same, and more particularly, to a chemical liquid supply apparatus for supplying a chemical liquid from a reservoir to an ink jet head through pressure supply and a chemical liquid discharge apparatus including the same .

액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판(투명 기판) 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포할 경우, 또는 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 컬러 필터를 도포할 경우 등에 대해서는 잉크젯 헤드를 구비하는 인쇄 장치, 즉 약액 토출 장치를 사용하고 있다.In the case of forming an alignment film on a substrate (transparent substrate) for manufacturing a liquid crystal display device or the like, applying UV ink, or applying a color filter on a substrate for manufacturing an organic EL display device or the like, A chemical liquid ejecting apparatus is used.

상기 약액 토출 장치는 압력 제공을 통하여 레저버로부터 잉크젯 헤드로 약액을 공급하는 구조를 갖는다. 특히, 상기 레저버로 양압이 제공될 경우에는 상기 잉크젯 헤드로 약액의 공급이 이루어지고, 상기 레저버로 음압이 제공될 경우에는 상기 잉크젯 헤드로 약액의 공급이 중단되는 것이다.The chemical liquid ejecting apparatus has a structure for supplying the chemical liquid from the reservoir to the ink jet head through the provision of the pressure. Particularly, when positive pressure is applied to the reservoir, the chemical liquid is supplied to the ink jet head, and when negative pressure is supplied to the reservoir, the supply of the chemical liquid to the ink jet head is stopped.

여기서, 상기 레저버로 음압을 제공하여 상기 잉크젯 헤드로 상기 약액의 공급이 중단될 경우 상기 잉크젯 헤드의 노즐 단부에서의 상기 약액은 메니스커스(meniscus)를 양호하게 유지해야 한다. 상기 잉크젯 헤드의 노즐 단부에서 상기 약액이 메니스커스를 유지하지 못할 경우에는 미토출이 발생하거나 약액이 토출되어도 주변에 얼룩지는 현상 등이 발생할 수 있다.Here, when the supply of the chemical liquid to the inkjet head is stopped by providing negative pressure to the reservoir, the chemical liquid at the nozzle end of the inkjet head must maintain a good meniscus. If the chemical liquid does not maintain the meniscus at the nozzle end of the inkjet head, unexistent ejection may occur, or even if the chemical liquid is ejected, it may stain the periphery.

이에, 상기 레저버로 압력을 제공하는 연결 라인에 압력 조정부 및 센서를 배치하여 상기 압력을 관리하고 있다.A pressure adjusting unit and a sensor are disposed on a connection line for supplying pressure to the reservoir to manage the pressure.

그러나 상기 압력 조정부, 및 상기 센서가 배치되는 영역에서의 외부 환경의 영향으로 인하여 상기 압력의 센싱시 헌팅(hunting)이 빈번하게 발생하여 정확한 센싱을 수행할 수 없다. 이와 같이, 상기 압력의 센싱을 정확하게 수행하지 못할 경우 상기 연결 라인에서의 압력 또한 정확하게 관리하지 못하는 상황이 발생하고, 그 결과 상기 잉크젯 헤드의 노즐 단부에서의 상기 약액의 메니스커스를 유지하지 못하는 상황까지 발생하고 있다.However, due to the influence of the external environment in the region where the pressure adjusting unit and the sensor are disposed, hunting frequently occurs when sensing the pressure, so that accurate sensing can not be performed. When the sensing of the pressure can not be accurately performed, the pressure in the connection line can not be accurately managed. As a result, a situation in which the meniscus of the chemical liquid at the nozzle end of the inkjet head can not be maintained .

본 발명은 일 목적은 레저버와 연결되는 연결 라인에서의 압력 센싱시 외부 환경에 영향을 받지 않는 약액 공급 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a chemical liquid supply device which is not affected by an external environment when pressure sensing is performed on a connection line connected to a reservoir.

본 발명은 다른 목적은 언급한 약액 공급 장치를 포함하는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a chemical liquid discharging apparatus including the above-mentioned chemical liquid supplying apparatus.

언급한 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는 압력 제공을 통하여 레저버(reservoir)로부터 잉크젯 헤드로 약액을 공급하기 위한 약액 공급 장치에 있어서, 상기 압력을 형성하도록 구비되는 압력 형성부; 상기 압력 형성부와 상기 레저버 사이를 연결하는 연결 라인; 상기 연결 라인에서의 현재 압력을 센싱하는 센서부; 상기 연결 라인에서의 현재 압력을 설정 압력으로 조정하는 압력 조정부; 상기 센서부를 외부 환경과 차단시키는 차단부; 및 상기 잉크젯 헤드의 노즐 단부에 잔류하는 약액에 대한 매니스커스가 유지되도록 상기 센서부로부터 센싱되는 상기 현재 압력이 상기 설정 압력으로 조정되게 상기 압력 조정부를 제어하는 제어부;를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a chemical liquid supply apparatus for supplying a chemical liquid from a reservoir to an ink jet head through pressure supply, the chemical liquid supply apparatus comprising: ; A connection line connecting the pressure forming unit and the reservoir; A sensor unit for sensing a current pressure in the connection line; A pressure adjusting unit for adjusting a current pressure in the connection line to a set pressure; A blocking unit for blocking the sensor unit from external environment; And a control unit controlling the pressure adjusting unit so that the current pressure sensed by the sensor unit is adjusted to the set pressure so that a maniscus for the chemical liquid remaining at the nozzle end of the inkjet head is maintained.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 센서부는 센서 보드에 일체 구조를 갖도록 배치되고, 상기 차단부는 상기 센서 보드를 외부 환경과 차단하도록 구비될 수 있다.In the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention, the sensor unit may be arranged to have an integrated structure with the sensor board, and the blocking unit may be provided to block the sensor board from the external environment.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 차단부는 상기 센서부를 외부 환경과 차단시키는 공간을 제공하는 박스부; 및 상기 박스부를 실링 처리하는 실링부로 이루어질 수 있다.In the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention, the blocking portion may include a box portion for providing a space for blocking the sensor portion from the external environment; And a sealing part sealing the box part.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 실링부는 실리콘 실링으로 이루어질 수 있다.In the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention, the sealing portion may be formed of a silicone seal.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 압력 조정부는 서보 밸브(servo valve)를 포함할 수 있다.In the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention, the pressure regulating unit may include a servo valve.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 연결 라인의 일부, 상기 압력 조정부, 상기 센서부, 및 상기 차단부가 외부 환경과 차단되게 상기 연결 라인의 일부, 상기 압력 조정부, 상기 센서부, 및 상기 차단부를 수용하는 공간을 제공하는 챔버를 더 포함할 수 있다.In the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention, a part of the connection line, the pressure adjusting unit, the sensor unit, and the blocking unit may be connected to a part of the connection line, And a chamber for providing a space for accommodating the blocking portion.

언급한 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도출 장치에서, 기판을 향하여 약액을 토출하기 위한 잉크젯 헤드; 상기 잉크젯 헤드로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하는 레저버; 및 압력 제공을 통하여 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 약액을 공급하기 위한 약액 공급부를 포함하고, 상기 약액 공급부는 상기 압력을 형성하도록 구비되는 압력 형성부와, 상기 압력 형성부와 상기 레저버 사이를 연결하는 연결 라인과, 상기 연결 라인에서의 현재 압력을 센싱하는 센서부와, 상기 연결 라인에서의 현재 압력을 설정 압력으로 조정하는 압력 조정부와, 상기 센서부를 외부 환경과 차단시키는 차단부와, 상기 잉크젯 헤드의 노즐 단부에 잔류하는 약액에 대한 매니스커스가 유지되도록 상기 센서부로부터 센싱되는 상기 현재 압력이 상기 설정 압력으로 조정되게 상기 압력 조정부를 제어하는 제어부;를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided an apparatus for extracting a chemical liquid, comprising: an ink jet head for discharging a chemical liquid toward a substrate; A reservoir for storing the chemical liquid to be supplied to the inkjet head; And a chemical liquid supply unit for supplying the chemical liquid from the reservoir to the ink jet head through a pressure providing unit, wherein the chemical liquid supply unit includes a pressure forming unit provided to form the pressure, A sensor for sensing a current pressure in the connection line, a pressure adjusting unit for adjusting a current pressure in the connection line to a preset pressure, a blocking unit for blocking the sensor unit from the external environment, And a control unit for controlling the pressure adjusting unit so that the current pressure sensed by the sensor unit is adjusted to the set pressure so that a maniscus for the chemical liquid remaining on the nozzle end of the inkjet head is maintained.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치에서, 상기 센서부는 센서 보드에 일체 구조를 갖도록 배치되고, 상기 차단부는 상기 센서 보드를 외부 환경과 차단하도록 구비될 수 있다.In the chemical liquid ejection apparatus according to an embodiment of the present invention, the sensor unit may be disposed to have an integrated structure with the sensor board, and the blocking unit may be provided to block the sensor board from the external environment.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치에서, 상기 차단부는 상기 센서부를 외부 환경과 차단시키는 공간을 제공하는 박스부; 및 상기 박스부를 실링 처리하는 실링부로 이루어질 수 있다.In the chemical liquid ejection apparatus according to an embodiment of the present invention, the blocking portion may include a box portion for providing a space for blocking the sensor portion from the external environment; And a sealing part sealing the box part.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치에서, 상기 연결 라인의 일부, 상기 압력 조정부, 상기 센서부, 및 상기 차단부가 외부 환경과 차단되게 상기 연결 라인의 일부, 상기 압력 조정부, 상기 센서부, 및 상기 차단부를 수용하는 공간을 제공하는 챔버를 더 포함할 수 있다.In the chemical liquid discharging apparatus according to an embodiment of the present invention, a part of the connection line, the pressure adjusting unit, the sensor unit, and the blocking unit may be connected to a part of the connection line, And a chamber for providing a space for accommodating the blocking portion.

본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치에 따르면 레저버와 연결되는 연결 라인에서의 압력 센싱시 외부 환경에 영향을 받지 않도록 차단부를 구비할 수 있다. 즉, 상기 차단부를 구비하여 상기 연결 라인에서의 압력을 센싱하기 위한 센서부를 외부 환경으로부터 차단시키는 것이다.According to the liquid medicament supplying device and the medicament liquid discharging device of the present invention, it is possible to provide a blocking part so as not to be influenced by the external environment when pressure sensing is performed on the connection line connected to the reservoir. That is, the sensor unit for sensing the pressure in the connection line is provided to block the sensor unit from the external environment.

이와 같이, 본 발명에서는 상기 센서부 주위를 외부 환경으로 인한 영향을 사전에 차단할 수 있기 때문에 상기 연결 라인에서의 압력의 센싱시 헌팅 발생을 현저하게 줄일 수 있다.As described above, in the present invention, since the influence of the external environment around the sensor unit can be blocked in advance, hunting occurrence can be remarkably reduced when sensing the pressure in the connection line.

이에, 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치를 사용할 경우 상기 연결 라인에서의 압력을 정확하게 센싱하고 조정할 수 있기 때문에 잉크젯 헤드의 노즐 단부에서의 약액의 메니스커스를 보다 안정적으로 유지할 수 있다.Accordingly, when the chemical liquid supply device and the chemical liquid discharge device of the present invention are used, the pressure in the connection line can be accurately sensed and adjusted, and therefore the meniscus of the chemical liquid at the nozzle end of the ink jet head can be more stably maintained.

따라서 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치는 상기 잉크젯 헤드의 노즐 단부에서의 약액의 메니스커스를 보다 안정적으로 유지할 수 있기 때문에 보다 정확한 약액의 토출을 달성할 수 있다.Therefore, the liquid medicament supplying device and the medicament liquid discharging device of the present invention can more stably maintain the meniscus of the liquid medicament at the nozzle end of the ink-jet head, thereby achieving more accurate liquid medicament dispensing.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 약액 토출 장치의 잉크젯 헤드에 구비되는 노즐 단부에서의 메니스커스 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 1의 약액 공급 장치의 센서부 및 차단부를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 종래의 약액 공급 장치를 사용하여 연결 라인에서의 압력을 센싱한 결과를 나타내는 그래프이다.
도 5는 도 1의 약액 공급 장치를 사용하여 연결 라인에서의 압력을 센싱한 결과를 나타내는 그래프이다.1 is a view schematically showing a chemical liquid supply apparatus and a chemical liquid discharge apparatus including the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a view for explaining a meniscus state at the nozzle end of the ink jet head of the chemical liquid ejecting apparatus of Fig. 1;
3 is a view for explaining a sensor part and a blocking part of the chemical liquid supply device of FIG.
4 is a graph showing a result of sensing a pressure in a connection line using a conventional chemical liquid supply apparatus.
5 is a graph showing a result of sensing the pressure in the connection line using the chemical liquid supply apparatus of FIG.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치를 설명하기로 한다.Hereinafter, a chemical liquid supply apparatus and a chemical liquid discharge apparatus including the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.1 is a view schematically showing a chemical liquid supply apparatus and a chemical liquid discharge apparatus including the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치(100)는 액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포하거나, 또는 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 컬러 필터를 도포하는데 사용할 수 있다.1, a chemical liquid ejection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention is formed by forming an alignment film, UV ink, or an organic EL display device on a substrate for manufacturing a liquid crystal display device or the like Lt; RTI ID = 0.0 > color filters. ≪ / RTI >

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치(100)는 기판을 향하여 약액을 토출하기 위한 잉크젯 헤드(30), 상기 잉크젯 헤드(30)로 공급하기 위한 약액을 저장하는 레저버(40), 압력 제공을 통하여 상기 레저버(40)부터 상기 잉크젯 헤드(30)로 약액을 공급하기 위한 약액 공급부(10) 등을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 약액 공급부(10)는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치와 동일한 것으로 이해할 수 있다.The chemical liquid ejection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes an inkjet head 30 for ejecting a chemical liquid toward a substrate, a reservoir 40 for storing a chemical liquid to be supplied to the inkjet head 30, A chemical liquid supply unit 10 for supplying a chemical liquid from the reservoir 40 to the ink jet head 30 through provision of the chemical liquid supply unit 10, and the like. Here, it is understood that the chemical liquid supply unit 10 is the same as the chemical liquid supply apparatus according to the embodiment of the present invention.

도시하지는 않았지만, 상기 약액 토출 장치(100)는 상기 레저버(40)로 약액을 공급하기 위한 캐니스터(canister)를 포함할 수 있다. 상기 캐니스터는 상기 약액을 저장하는 저장 탱크 등과 같은 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 캐니스터가 언급한 바와 같이 저장 탱크 등과 같은 구조로 구비되기 때문에 별도 장소에 배치되도록 구비될 수 있다.Although not shown, the chemical liquid dispensing apparatus 100 may include a canister for supplying the chemical liquid to the reservoir 40. The canister may have a structure such as a storage tank for storing the chemical liquid. As the canister is constructed as a storage tank or the like as mentioned above, it can be disposed in a separate place.

상기 잉크젯 헤드(30)에는 기판을 향하여 약액을 토출할 수 있는 노즐이 구비될 수 있다. 특히, 상기 노즐은 상기 잉크젯 헤드(30)의 저면(노즐면)에 구비될 수 있다. 또한, 상기 잉크젯 헤드(30)에는 노즐이 복수개가 구비될 수 있는데, 본 발명에서는 128개 또는 256개의 노즐이 구비될 수 있다. 이때, 상기 노즐은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있고, ㎍ 단위의 양으로 약액을 토출할 수 있도록 구비될 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(30)에서의 상기 노즐에는 상기 노즐에 대응하는 수만큼의 압전 소자(도시되지 않음)가 구비될 수 있고, 이에 상기 압전 소자의 동작에 의해 상기 노즐을 통하여 약액을 토출시킬 수 있다. 상기 노즐이 128개 구비될 경우에는 상기 압전 소자 또한 128개가 구비되고, 상기 노즐이 256개 구비될 경우에는 상기 압전 소자 또한 256개가 구비되는 것이다. 그리고 상기 노즐로부터 토출되는 약액량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.The ink jet head 30 may be provided with a nozzle capable of ejecting a chemical liquid toward the substrate. In particular, the nozzles may be provided on the bottom surface (nozzle surface) of the ink jet head 30. The inkjet head 30 may include a plurality of nozzles. In the present invention, 128 or 256 nozzles may be provided. At this time, the nozzles may be arranged in a row at intervals of a predetermined pitch, and may be provided so as to discharge the chemical liquid in an amount of ㎍ unit. The nozzles in the inkjet head 30 may be provided with piezoelectric elements (not shown) corresponding to the number of nozzles, and the chemical liquid may be discharged through the nozzles by the operation of the piezoelectric elements . When 128 nozzles are provided, 128 piezoelectric elements are provided, and when 256 nozzles are provided, 256 piezoelectric elements are also provided. And the amount of the weak liquid discharged from the nozzles can be independently controlled by controlling the voltage applied to the piezoelectric elements.

상기 레저버(40)는 상기 잉크젯 헤드(30)로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하는 것으로써, 상기 잉크젯 헤드(30)와 연결되도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 잉크젯 헤드(30) 및 상기 레저버(40)는 일체형 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 잉크젯 헤드(30)가 상기 레저버(40)의 하부에 배치되는 일체형 구조를 갖도록 구비될 수 있다.The reservoir 40 may be connected to the ink jet head 30 by storing the chemical liquid to be supplied to the ink jet head 30. In particular, the ink jet head 30 and the reservoir 40 may have an integral structure. The ink jet head 30 may be disposed below the reservoir 40 to have an integral structure.

언급한 바와 같이 상기 약액 공급부(100)는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치인 것으로써 압력 형성부(11), 연결 라인(13, 13a), 압력 조정부(15), 센서부(17), 차단부(19), 제어부(도시되지 않음) 등을 포함할 수 있다. 또한, 상기 약액 공급부(100)는 챔버(21) 등을 더 포함할 수 있다.As described above, the chemical liquid supply unit 100 is a chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention and includes a pressure forming unit 11, connection lines 13 and 13a, a pressure adjusting unit 15, a sensor unit 17 A blocking unit 19, a control unit (not shown), and the like. In addition, the chemical liquid supply unit 100 may further include a chamber 21 and the like.

상기 압력 형성부(11)는 레저버(40)로 제공하기 위한 압력을 형성하는 것으로써, 양압 및 음압을 형성하도록 구비될 수 있다. 상기 압력 형성부(11)는 상기 레저버(40)로부터 상기 잉크젯 헤드(30)로 상기 약액을 공급할 경우에는 양압을 제공하도록 조정되도록 구비될 수 있고, 상기 잉크젯 헤드(30)로 상기 약액의 공급을 중단할 경우에는 음압을 제공하도록 조정되도록 구비될 수 있다. 상기 압력 형성부(11)는 양압을 제공하는 부재와 음압을 제공하는 부재를 단일 부재로 구비하거나 또는 별도 부재 각각으로 구비할 수 있다.The pressure forming portion 11 may be formed to form a pressure for providing the regerver (40), thereby forming a positive pressure and a negative pressure. The pressure forming unit 11 may be provided to regulate the positive pressure when the chemical liquid is supplied to the ink jet head 30 from the reservoir 40. In order to supply the chemical liquid to the ink jet head 30, It may be provided so as to be adjusted to provide a negative pressure. The pressure forming portion 11 may include a member for providing a positive pressure and a member for providing a negative pressure as a single member or a separate member.

상기 연결 라인(13, 13a)은 상기 압력 형성부(11)와 상기 레저버(40) 사이를 연결하도록 구비된다. 따라서 상기 연결 라인(13, 13a)을 통하여 상기 압력 형성부(11)에서 형성한 압력을 상기 레저버(40)로 제공할 수 있는 것이다.The connection lines 13 and 13a are provided so as to connect the pressure forming part 11 and the reservoir 40. Therefore, the pressure formed by the pressure forming unit 11 can be supplied to the reservoir 40 through the connection lines 13 and 13a.

이에, 본 발명에서는 상기 압력 형성부(11)에서 형성한 압력을 상기 연결 라인(13, 13a)을 통하여 상기 레저버(40)가 제공받아 상기 잉크젯 헤드(30)로 상기 약액을 공급하거나 상기 잉크젯 헤드(30)로 상기 약액의 공급을 중단시킬 수 있는 것이다.In the present invention, the reservoir 40 receives the pressure formed by the pressure forming unit 11 through the connection lines 13 and 13a, supplies the chemical liquid to the inkjet head 30, The supply of the chemical liquid to the head 30 can be stopped.

도 2는 도 1의 약액 토출 장치의 잉크젯 헤드에 구비되는 노즐 단부에서의 메니스커스 상태를 설명하기 위한 도면이다.Fig. 2 is a view for explaining a meniscus state at the nozzle end of the ink jet head of the chemical liquid ejecting apparatus of Fig. 1;

도 2를 참조하면, 상기 잉크젯 헤드(30)로 상기 약액의 공급을 중단할 경우 상기 잉크젯 헤드(30)의 노즐(33) 단부에 잔류하는 상기 약액은 메니스커스 상태(35)를 유지해야만 한다. 즉, 상기 약액을 토출하지 않는 대기 상태에서는 상기 노즐(33) 단부에서의 상기 약액이 메니스커스 상태(35)를 유지해야 하는 것이다.Referring to FIG. 2, when the supply of the chemical liquid to the inkjet head 30 is stopped, the chemical liquid remaining on the end of the nozzle 33 of the inkjet head 30 must maintain the meniscus state 35 . That is, in the standby state in which the chemical liquid is not discharged, the chemical liquid at the end of the nozzle 33 must maintain the meniscus state (35).

만약 상기 노즐(33) 단부에서의 상기 약액이 메니스커스 상태(35)를 유지하지 못할 경우에는 상기 잉크젯 헤드(30)의 노즐면으로 상기 약액이 흘러내리거나 또는 유막을 형성할 수 있고, 그 결과 상기 잉크젯 헤드(30)의 노즐(33)을 통하여 토출되는 약액에 대한 토출 타점의 이상이 발생하거나 약액이 토출되지 않는 상황이 발생할 수도 있다.If the chemical liquid at the end of the nozzle 33 can not maintain the meniscus state 35, the chemical liquid may flow down to the nozzle surface of the ink jet head 30 or may form an oil film, As a result, there may occur an abnormality in the ejection spots for the chemical liquid ejected through the nozzle 33 of the inkjet head 30 or a situation in which the chemical liquid is not ejected.

다시 도 1을 참조하면, 본 발명에서는 상기 센서부(17), 상기 압력 조정부(15), 및 상기 제어부를 구비하여 상기 레저버(40)에 제공되는 압력을 보다 철저하게 관리하고 있다. 특히, 상기 레저버(40)에 제공되는 음압을 보다 철저하게 관리하고 있는 것이다.Referring again to FIG. 1, the present invention includes the sensor unit 17, the pressure adjusting unit 15, and the control unit to more thoroughly manage the pressure supplied to the reservoir 40. In particular, the sound pressure provided to the reservoir 40 is more thoroughly managed.

상기 센서부(17)는 상기 연결 라인(13a)에서의 현재 압력을 센싱하도록 구비된다. 상기 압력 조정부(15)는 상기 연결 라인(13a)에서의 현재 압력을 설정 압력으로 조정하도록 구비된다. 그리고 상기 제어부는 상기 센서부(17)로부터 센싱되는 상기 현재 압력이 상기 설정 압력으로 조정되게 상기 압력 조정부(15)를 제어하도록 구비된다.The sensor unit 17 is provided to sense a current pressure in the connection line 13a. The pressure adjusting unit 15 is provided to adjust the current pressure in the connection line 13a to a set pressure. The controller controls the pressure adjusting unit 15 to adjust the current pressure sensed by the sensor unit 17 to the set pressure.

이에, 상기 제어부는 상기 센서부(17)로부터 센싱되는 상기 연결 라인(13a)에서의 현재 압력을 전달받고, 상기 현재 압력이 설정 압력과 다를 경우 상기 압력 조정부(15)를 제어한다. 그러면 상기 압력 조정부(15)는 상기 연결 라인(13a)에서의 현재 압력을 설정 압력으로 조정하는 것이다.The control unit receives the current pressure from the connection line 13a sensed by the sensor unit 17 and controls the pressure adjusting unit 15 when the current pressure is different from the preset pressure. Then, the pressure adjusting unit 15 adjusts the current pressure in the connection line 13a to the set pressure.

여기서, 상기 압력 조정부(15)는 상기 제어부로부터 전달되는 기계적 신호 또는 전기적 신호에 의해 상기 압력을 조정할 수 있는 서보 밸브(servo valve)를 포함할 수 있다.Here, the pressure adjusting unit 15 may include a servo valve capable of adjusting the pressure by a mechanical signal or an electrical signal transmitted from the controller.

이와 같이, 본 발명에서는 상기 센서부(17), 상기 압력 조정부(15), 및 상기 제어부를 구비함으로써 상기 레저버(40)로 제공되는 현재 압력을 설정 압력으로 이루어질 수 있게 한다. 따라서 본 발명에서는 상기 잉크젯 헤드(30)의 노즐 단부에 잔류하는 약액에 대한 매니스커스 상태를 보다 안정적으로 유지할 수 있다.Thus, in the present invention, the sensor unit 17, the pressure adjusting unit 15, and the control unit are provided, so that the current pressure supplied to the reservoir 40 can be set to a set pressure. Accordingly, the present invention can more stably maintain the state of the meniscus with respect to the chemical liquid remaining on the nozzle end of the ink jet head 30. [

그리고 외부 환경 등의 영향으로 인하여 상기 센서부(17)를 사용한 상기 연결 라인(13a)에서의 현재 압력 센싱시 헌팅이 발생할 수 있다. 특히, 상기 헌팅 폭이 클수록 정확한 센싱값을 수득하지 못하는 결과를 초래하여 상기 연결 라인(13a)에서의 현재 압력을 설정 압력으로 조정하지 못하는 상황이 발생한다. 이와 같이, 상기 연결 라인(13a)에서의 현재 압력을 설정 압력으로 조정하지 못할 경우, 특히 음압을 설정 압력으로 조정하지 못할 경우에는 상기 잉크젯 헤드(30)의 노즐 단부에 잔류하는 약액에 대한 매니스커스 상태가 깨지는 상황이 발생한다.Hunting may occur at the time of the current pressure sensing in the connection line 13a using the sensor unit 17 due to the influence of external environment or the like. In particular, as the hunting width increases, the accurate sensing value is not obtained, and the current pressure in the connection line 13a can not be adjusted to the set pressure. When the current pressure in the connection line 13a can not be adjusted to the set pressure, particularly when the negative pressure can not be adjusted to the set pressure, the operation of the ink remaining in the nozzle end of the ink jet head 30 A situation in which the curse state is broken occurs.

이에, 상기 센서부(17)를 사용한 상기 연결 라인(13a)에서의 현재 압력 센싱시 외부 환경으로 인한 헌팅 발생을 최소화할 필요가 있다.Therefore, it is necessary to minimize the occurrence of hunting due to the external environment at the time of the current pressure sensing in the connection line 13a using the sensor unit 17.

따라서 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치(10) 및 이를 포함하는 약액 토출 장치(100)에서는 상기 차단부(19)를 구비할 수 있다.Therefore, the chemical liquid supply apparatus 10 and the chemical liquid dispensing apparatus 100 including the chemical liquid supply apparatus 10 according to an embodiment of the present invention may include the cutoff unit 19.

상기 차단부(19)는 상기 센서부(17)를 외부 환경과 차단시키도록 구비될 수 있는 것으로써, 센싱을 위한 연결 라인(13a)과 구조를 제외한 다른 영역을 완전하게 차단시킬 수 있도록 구비될 수 있다.The blocking unit 19 may be provided to block the sensor unit 17 from the external environment. The blocking unit 19 may be provided so as to completely block the connection line 13a for sensing and other areas except the structure .

도 3은 도 1의 약액 공급 장치의 센서부 및 차단부를 설명하기 위한 도면이다.3 is a view for explaining a sensor part and a blocking part of the chemical liquid supply device of FIG.

도 3을 참조하면, 상기 센서부(17)가 다이아프램(diaphragm)으로 이루어질 경우 상기 연결 라인(13a)과 연결되는 부분을 제외한 나머지 부분을 외부 환경으로부터 완전하게 차단되도록 차단부(19)를 구비할 수 있다.Referring to FIG. 3, when the sensor unit 17 is a diaphragm, a restricting portion 19 is provided so as to completely block the remaining portion except for the portion connected to the connection line 13a from the external environment. can do.

또한, 상기 센서부(17)가 센서 보드에 일체 구조를 갖도록 배치될 경우 상기 차단부(19)는 상기 센서 보드를 외부 환경과 차단하도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 차단부(19)는 상기 센서부(17)를 외부 환경과 차단시키는 공간을 제공하는 박스부, 및 상기 박스부를 실링 처리하는 실링부로 이루어질 수 있다. 이때, 상기 실링부는 주로 실리콘 실링으로 이루어질 수 있다.In addition, when the sensor unit 17 is disposed so as to have an integrated structure with the sensor board, the blocking unit 19 may be provided to block the sensor board from the external environment. In particular, the blocking portion 19 may include a box portion for providing a space for blocking the sensor portion 17 from the external environment, and a sealing portion for sealing the box portion. At this time, the sealing portion may be mainly composed of a silicon sealing.

이와 같이, 본 발명에서는 상기 차단부(19)를 구비함으로써 상기 레저버(40)와 연결되는 연결 라인(13a)에서의 압력 센싱시 외부 환경에 영향을 받지 않는다. 따라서 상기 연결 라인(13a)에서의 압력의 센싱시 헌팅 발생으로 인하여 센싱값의 오류를 현저하게 줄일 수 있다.Thus, in the present invention, since the blocking portion 19 is provided, the pressure sensing in the connection line 13a connected to the reservoir 40 is not affected by the external environment. Therefore, an error of the sensing value can be remarkably reduced due to occurrence of hunting when sensing the pressure in the connection line 13a.

그러므로 본 발명의 약액 공급 장치(10) 및 약액 토출 장치(100)를 사용할 경우 상기 연결 라인(13a)에서의 압력을 정확하게 센싱하고 조정할 수 있기 때문에 상기 잉크젯 헤드(30)의 노즐 단부에서의 약액의 메니스커스 상태를 보다 안정적으로 유지할 수 있다.Therefore, when the chemical liquid supply device 10 and the chemical liquid discharging device 100 of the present invention are used, the pressure in the connection line 13a can be accurately sensed and adjusted. Therefore, The meniscus state can be maintained more stably.

또한, 상기 챔버(21)는 상기 연결 라인(13a)의 일부, 상기 압력 조정부(15), 상기 센서부(17), 및 상기 차단부(19)가 외부 환경과 차단되게 상기 연결 라인(13a)의 일부, 상기 압력 조정부(15), 상기 센서부(17), 및 상기 차단부(19)를 수용하는 공간을 제공할 수 있다.The chamber 21 is connected to the connection line 13a so that a portion of the connection line 13a, the pressure adjusting unit 15, the sensor unit 17, The pressure regulating portion 15, the sensor portion 17, and the blocking portion 19, as shown in FIG.

이와 같이, 본 발명에서는 상기 챔버(21)를 구비함으로써 외부 환경으로부터 이중 구조를 갖도록 차단할 수 있는 것이다.As described above, according to the present invention, the chamber 21 can be provided so as to have a double structure from the external environment.

도 4는 종래의 약액 공급 장치를 사용하여 연결 라인에서의 압력을 센싱한 결과를 나타내는 그래프이고, 도 5는 도 1의 약액 공급 장치를 사용하여 연결 라인에서의 압력을 센싱한 결과를 나타내는 그래프이다.FIG. 4 is a graph showing the result of sensing the pressure in the connection line using the conventional chemical liquid supply apparatus, and FIG. 5 is a graph showing the result of sensing the pressure in the connection line using the chemical liquid supply apparatus of FIG. 1 .

도 4 및 도 5를 참조하면, 도 4는 상기 차단부(19)가 구비되지 않은 약액 공급 장치(10)를 사용하여 연결 라인(13a)에서의 현재 압력을 센싱한 결과이고, 도 5는 상기 차단부(19)를 구비하는 약액 공급 장치(10)를 사용하여 연결 라인(13a)에서의 현재 압력을 센싱한 결과이다.4 and 5, FIG. 4 is a result of sensing the current pressure in the connection line 13a by using the chemical liquid supply device 10 not provided with the blocking part 19, Is a result of sensing the current pressure in the connection line 13a by using the chemical liquid supply device 10 having the blocking portion 19. [

센싱 결과, 도 4에서와 같이 종래의 약액 공급 장치를 사용할 경우에는 외부 환경의 영향을 받기 때문에 헌팅 폭이 약 30Pa가 발생하는 것을 확인할 수 있었고, 도 5에서와 같이 본 발명의 약액 공급 장치를 사용할 경우에는 외부 환경에 영향을 받지 않기 때문에 헌팅 폭이 약 10pa가 발생하는 것을 확인할 수 있엇다.As shown in FIG. 4, when the conventional chemical liquid supply device is used, the hunting width is about 30 Pa due to the influence of the external environment. As shown in FIG. 5, when the chemical liquid supply device of the present invention is used In this case, it is confirmed that the hunting width is about 10pa because it is not affected by the external environment.

이에, 본 발명에서와 같이 상기 차단부(19)를 구비할 경우 상기 레저버(40)로 제공되는 연결 라인(13a)에서의 현재 압력을 보다 정확하게 센싱할 수 있고, 설정 압력으로 조정할 수 있기 때문에 상기 잉크젯 헤드(30)의 노즐 단부에서의 약액의 메니스커스 상태를 보다 안정적으로 유지할 수 있을 것이다.Therefore, in the present invention, when the blocking unit 19 is provided, the current pressure in the connection line 13a provided to the reservoir 40 can be more accurately sensed and adjusted to the set pressure The meniscus state of the chemical liquid at the nozzle end of the ink jet head 30 can be more stably maintained.

따라서 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치는 상기 잉크젯 헤드의 노즐 단부에서의 약액의 메니스커스를 보다 안정적으로 유지할 수 있기 때문에 보다 정확한 약액의 토출을 달성할 수 있다.Therefore, the liquid medicament supplying device and the medicament liquid discharging device of the present invention can more stably maintain the meniscus of the liquid medicament at the nozzle end of the ink-jet head, thereby achieving more accurate liquid medicament dispensing.

이와 같이 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치를 사용할 경우 보다 정확한 약액 토출을 달성할 수 있기 때문에 약액 토출에 대한 불량을 최소화할 수 있고, 그 결과 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.As described above, when the chemical liquid supply apparatus and the chemical liquid discharge apparatus of the present invention are used, more accurate chemical liquid discharge can be achieved, so that defects in chemical liquid discharge can be minimized, and as a result, improvement in process reliability can be expected.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

10 : 약액 공급부, 약액 공급 장치
11 : 압력 형성부 13, 13a : 연결 라인
15 : 압력 조정부 17 : 센서부
19 : 차단부 21 : 챔버
30 : 잉크젯 헤드 33 : 노즐
35 : 메니스커스 상태 40 : 레저버
100 : 약액 토출 장치10: chemical liquid supply unit, chemical liquid supply unit
11: pressure forming portion 13, 13a: connection line
15: pressure adjusting section 17: sensor section
19: breaking portion 21: chamber
30: ink jet head 33: nozzle
35: Meniscus state 40: Leisure
100: chemical liquid dispensing device

Claims (10)

압력 제공을 통하여 레저버(reservoir)로부터 잉크젯 헤드로 약액을 공급하기 위한 약액 공급 장치에 있어서,
상기 압력을 형성하도록 구비되는 압력 형성부;
상기 압력 형성부와 상기 레저버 사이를 연결하는 연결 라인;
상기 연결 라인에서의 현재 압력을 센싱하는 센서부;
상기 연결 라인에서의 현재 압력을 설정 압력으로 조정하는 압력 조정부;
상기 센서부를 외부 환경과 차단시키는 차단부; 및
상기 잉크젯 헤드의 노즐 단부에 잔류하는 약액에 대한 매니스커스가 유지되도록 상기 센서부로부터 센싱되는 상기 현재 압력이 상기 설정 압력으로 조정되게 상기 압력 조정부를 제어하는 제어부;를 포함하고,
상기 센서부는 센서 보드에 일체 구조를 갖도록 배치되고, 상기 차단부는 상기 센서 보드를 외부 환경과 차단하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.A chemical liquid supply apparatus for supplying a chemical liquid from a reservoir to an ink jet head through a pressure supply,
A pressure forming part provided to form the pressure;
A connection line connecting the pressure forming unit and the reservoir;
A sensor unit for sensing a current pressure in the connection line;
A pressure adjusting unit for adjusting a current pressure in the connection line to a set pressure;
A blocking unit for blocking the sensor unit from external environment; And
And a control unit controlling the pressure adjusting unit so that the current pressure sensed by the sensor unit is adjusted to the set pressure so as to maintain a maniscus for the chemical liquid remaining at the nozzle end of the inkjet head,
Wherein the sensor unit is disposed on the sensor board so as to have an integral structure, and the blocking unit is configured to block the sensor board from the external environment. 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 차단부는 상기 센서부를 외부 환경과 차단시키는 공간을 제공하는 박스부; 및 상기 박스부를 실링 처리하는 실링부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method according to claim 1,
Wherein the shielding portion comprises a box portion for providing a space for shielding the sensor portion from the external environment; And a sealing portion sealing the box portion. 제3 항에 있어서,
상기 실링부는 실리콘 실링으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method of claim 3,
Wherein the sealing portion is made of a silicone seal. 제1 항에 있어서,
상기 압력 조정부는 서보 밸브(servo valve)를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method according to claim 1,
Wherein the pressure adjusting unit includes a servo valve. 제1 항에 있어서,
상기 연결 라인의 일부, 상기 압력 조정부, 상기 센서부, 및 상기 차단부가 외부 환경과 차단되게 상기 연결 라인의 일부, 상기 압력 조정부, 상기 센서부, 및 상기 차단부를 수용하는 공간을 제공하는 챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method according to claim 1,
A chamber for providing a space for accommodating a part of the connection line, the pressure adjusting part, the sensor part, and the blocking part such that a part of the connection line, the pressure adjusting part, the sensor part, Wherein the chemical liquid supply device comprises: 기판을 향하여 약액을 토출하기 위한 잉크젯 헤드;
상기 잉크젯 헤드로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하는 레저버; 및
압력 제공을 통하여 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 약액을 공급하기 위한 약액 공급부를 포함하고,
상기 약액 공급부는,
상기 압력을 형성하도록 구비되는 압력 형성부와, 상기 압력 형성부와 상기 레저버 사이를 연결하는 연결 라인과, 상기 연결 라인에서의 현재 압력을 센싱하는 센서부와, 상기 연결 라인에서의 현재 압력을 설정 압력으로 조정하는 압력 조정부와, 상기 압력 조정부 이외의 환경에는 영향을 받지 않도록 상기 센서부를 외부 환경과 차단시키는 차단부와, 상기 잉크젯 헤드의 노즐 단부에 잔류하는 약액에 대한 매니스커스가 유지되도록 상기 센서부로부터 센싱되는 상기 현재 압력이 상기 설정 압력으로 조정되게 상기 압력 조정부를 제어하는 제어부;를 포함하고, 상기 센서부는 센서 보드에 일체 구조를 갖도록 배치되고, 상기 차단부는 상기 센서 보드를 외부 환경과 차단하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.An inkjet head for ejecting a chemical liquid toward the substrate;
A reservoir for storing the chemical liquid to be supplied to the inkjet head; And
And a chemical liquid supply unit for supplying the chemical liquid from the reservoir to the ink jet head through pressure supply,
The chemical-
A sensor for sensing a current pressure in the connection line; a sensor for sensing a current pressure in the connection line; A blocking unit for blocking the sensor unit from the external environment so as not to be influenced by the environment other than the pressure adjusting unit; and a control unit for controlling the operation of the ink jet head in such a manner that the meniscus for the chemical liquid remaining on the nozzle end of the ink- And a control unit for controlling the pressure adjusting unit so that the current pressure sensed by the sensor unit is adjusted to the set pressure. The sensor unit is disposed to have an integrated structure with the sensor board, Wherein the chemical liquid ejecting apparatus comprises: 삭제delete 제7 항에 있어서,
상기 차단부는 상기 센서부를 외부 환경과 차단시키는 공간을 제공하는 박스부; 및 상기 박스부를 실링 처리하는 실링부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the shielding portion comprises a box portion for providing a space for shielding the sensor portion from the external environment; And a sealing portion sealing the box portion. 제7 항에 있어서,
상기 연결 라인의 일부, 상기 압력 조정부, 상기 센서부, 및 상기 차단부가 외부 환경과 차단되게 상기 연결 라인의 일부, 상기 압력 조정부, 상기 센서부, 및 상기 차단부를 수용하는 공간을 제공하는 챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.8. The method of claim 7,
A chamber for providing a space for accommodating a part of the connection line, the pressure adjusting part, the sensor part, and the blocking part such that a part of the connection line, the pressure adjusting part, the sensor part, Wherein the chemical liquid discharging device comprises:
KR1020160140978A 2016-10-27 2016-10-27 Apparatus for Supplying Droplet Formation and Apparatus for Droplet Formation having the same KR101937349B1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160140978A KR101937349B1 (en) 2016-10-27 2016-10-27 Apparatus for Supplying Droplet Formation and Apparatus for Droplet Formation having the same
CN201710997130.0A CN108001045B (en) 2016-10-27 2017-10-23 Medical fluid feeding mechanism and medical fluid device for discharging fixed including medical fluid feeding mechanism

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160140978A KR101937349B1 (en) 2016-10-27 2016-10-27 Apparatus for Supplying Droplet Formation and Apparatus for Droplet Formation having the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180046118A KR20180046118A (en) 2018-05-08
KR101937349B1 true KR101937349B1 (en) 2019-01-10

Family

ID=62051022

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160140978A KR101937349B1 (en) 2016-10-27 2016-10-27 Apparatus for Supplying Droplet Formation and Apparatus for Droplet Formation having the same

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101937349B1 (en)
CN (1) CN108001045B (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102221258B1 (en) * 2018-09-27 2021-03-02 세메스 주식회사 Apparatus for Dispensing Chemical
KR20200051084A (en) * 2018-11-02 2020-05-13 세메스 주식회사 Assembly for Supplying Liquid Chemical
US10518551B1 (en) * 2018-12-11 2019-12-31 Xerox Corporation System and method for attenuating the drying of ink from a printhead
KR20200077889A (en) * 2018-12-21 2020-07-01 세메스 주식회사 Printing Apparatus and Printing Method
KR102232035B1 (en) * 2019-06-11 2021-03-25 세메스 주식회사 Method for managing droplet supplying apparatus
KR20230017515A (en) 2021-07-28 2023-02-06 세메스 주식회사 Unit for supplying substrate treating liquid and apparatus for treating substrate including the same

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013173240A (en) * 2012-02-23 2013-09-05 Canon Inc Liquid storage container and device capable of mounting the same
JP2015074125A (en) * 2013-10-07 2015-04-20 株式会社ミマキエンジニアリング Supply channel shut-off device and supply channel shut-off control method

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9910313D0 (en) * 1999-05-05 1999-06-30 Cambridge Consultants Fluid-pressure controlled ink pressure regulator
EP1932671A1 (en) * 2006-12-11 2008-06-18 Agfa Graphics N.V. Shuttle mounted pressure control device for injet printer
US20110164080A1 (en) * 2008-10-14 2011-07-07 Hewlett-Packard Development Company, Lp. Fluid-jet dispensing device
JP6362109B2 (en) * 2013-10-04 2018-07-25 キヤノン株式会社 Imprint apparatus and component manufacturing method
CN204903073U (en) * 2015-06-04 2015-12-23 上海好芯电子科技有限公司 Pressure sensor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013173240A (en) * 2012-02-23 2013-09-05 Canon Inc Liquid storage container and device capable of mounting the same
JP2015074125A (en) * 2013-10-07 2015-04-20 株式会社ミマキエンジニアリング Supply channel shut-off device and supply channel shut-off control method

Also Published As

Publication number Publication date
CN108001045A (en) 2018-05-08
KR20180046118A (en) 2018-05-08
CN108001045B (en) 2019-07-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101937349B1 (en) Apparatus for Supplying Droplet Formation and Apparatus for Droplet Formation having the same
KR101701904B1 (en) Apparatus and Method for Inspecting Droplet, Apparatus and Method for Droplet Formation having the same
JP4869373B2 (en) Liquid circulation unit, liquid circulation device, droplet spray coating device, and method for forming coated body
JP7095243B2 (en) Control method of liquid discharge device and liquid discharge device
CN111559173B (en) Liquid ejecting apparatus
JP2007275795A (en) Functional liquid supply device and liquid droplet discharge device, method for manufacturing electrooptical apparatus, electrooptical apparatus, and electronic apparatus
KR20180051861A (en) Apparatus for Supplying Droplet Formation and Apparatus for Droplet Formation having the same
KR20190084922A (en) Appatratus for Droplet Formation
CN111645425B (en) Ink jet printing apparatus and bubble discharge method thereof
CN110947578B (en) Chemical liquid supply device
US10981393B2 (en) Liquid ejecting apparatus and maintenance method thereof
KR101657530B1 (en) Apparatus and Method for Droplet Formation
JP6897186B2 (en) Inkjet recording device
KR102291011B1 (en) Liquid drop ejecting apparatus having structure for preventing fume inflow
KR102261260B1 (en) pressure controller for meniscus pressure of ink-jet nozzle
KR102533210B1 (en) Apparatus for Droplet Formation
KR20200087448A (en) pressure controller for meniscus pressure of ink-jet nozzle
JP2007278701A (en) Liquid storage vessel for liquid weighing apparatus, and liquid weighing apparatus with the same
CN111347792B (en) Printing apparatus and printing method
JP5644162B2 (en) Droplet discharge device, liquid supply method, and liquid supply device
KR20170128924A (en) Apparatus for Droplet Formation
JP7255220B2 (en) liquid injector
KR102191837B1 (en) Pressure controller for ink-jet printer
KR102153183B1 (en) pressure controller for meniscus pressure of ink-jet nozzle
KR20170001010A (en) Assembly for measuring droplet discharge volume and Apparatus having the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right