JP5644162B2 - Droplet discharge device, liquid supply method, and liquid supply device - Google Patents

Droplet discharge device, liquid supply method, and liquid supply device Download PDF

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Description

本発明は、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドに液状体を供給する液状体供給方法、及び液滴吐出ヘッドに液状体を供給する液状体供給装置に関する。   The present invention relates to a droplet discharge device including a droplet discharge head that discharges a liquid as droplets, a liquid supply method for supplying a liquid to the droplet discharge head, and a liquid for supplying a liquid to the droplet discharge head. The present invention relates to a body supply device.

従来から、液状体を液滴として吐出し、任意の位置に着弾させることによって、所定の量の液状体を所定の位置に精度よく配置する液滴吐出装置が知られている。所定の量の液状体を所定の位置に精度よく配置するためには、吐出量や吐出方向が正確であることが必要である。しかし、液状体の中に異物が存在することに起因して液滴の飛行曲がりなどが発生し、着弾位置不良が発生する場合があった。   2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a droplet discharge device that accurately disposes a predetermined amount of a liquid material at a predetermined position by discharging the liquid material as droplets and landing at a predetermined position. In order to accurately dispose a predetermined amount of liquid material at a predetermined position, it is necessary that the discharge amount and the discharge direction are accurate. However, due to the presence of foreign matter in the liquid material, the flight of the droplets may occur and landing position defects may occur.

特許文献１には、ノズル本体における内部空間の先端に設けられたオリフィスから有機ＥＬ材料などの液体を基板に吐出するノズルを備えた（有機ＥＬ）塗布装置において、ノズル本体における有機ＥＬ材料を流通させるための流路として機能している内部空間にフィルタを配設した塗布装置及び有機ＥＬ塗布装置が開示されている。当該塗布装置及び有機ＥＬ塗布装置は、内部空間に配設されたフィルタによって異物やゲル化溶質などを捕集して、オリフィスに達するのを阻止することで、異物などによるオリフィスの目詰まりを確実に防止することによって、ノズル目詰まりを抑制して液体を安定して吐出するとともに、装置の稼働率を高めるとしている。
特許文献２には、インクを収容するインク瓶と、インクを吐出して記録を行うプリントヘッドと、インク瓶からプリントヘッドにインクを供給する印字用インク供給路と、インク供給路の途中に設けられ、第１のフィルタを含む第１のろ過装置と、印字用インク供給路とは別途に設けられ、インク瓶からプリントヘッドを繋ぐパージ用インク流路と、パージ用インク流路に設けられ、第２のフィルタを含む第２のろ過装置とを具備して、異物がフィルタの二次側へ流出することを極力回避し得るインクジェット記録装置が開示されている。 In Patent Document 1, an organic EL material in a nozzle body is distributed in an (organic EL) coating apparatus having a nozzle that discharges a liquid such as an organic EL material to a substrate from an orifice provided at the tip of an internal space in the nozzle body. A coating apparatus and an organic EL coating apparatus in which a filter is disposed in an internal space functioning as a flow path for the purpose are disclosed. The coating device and the organic EL coating device collect foreign matters and gelled solutes with a filter disposed in the internal space and prevent them from reaching the orifice, thereby reliably blocking the orifice due to foreign matters. By preventing this, the nozzle clogging is suppressed and the liquid is stably discharged, and the operating rate of the apparatus is increased.
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-228561 provides an ink bottle that contains ink, a print head that discharges ink to perform recording, a printing ink supply path that supplies ink from the ink bottle to the print head, and an intermediate part of the ink supply path. The first filtration device including the first filter and the printing ink supply path are provided separately, the purge ink flow path connecting the print head from the ink bottle, and the purge ink flow path, An ink jet recording apparatus that includes a second filtering device including a second filter and that can prevent foreign matter from flowing out to the secondary side of the filter is disclosed.

特開２００４−４１９４３号公報JP 2004-41943 A 特開２００９−６７２９号公報JP 2009-6729 A

しかしながら、特許文献１に開示された装置は、吐出ノズル孔（オリフィス）ごとにフィルタを設けており、多数の吐出ノズル孔を有する吐出ヘッドに適用するとヘッドが非常に複雑になるという課題があった。特許文献１に開示された装置は、多数の微小な吐出ノズル孔を有する吐出ヘッドに適用することは物理的にほとんど不可能である。特許文献２に開示された装置は、インク供給路が２系統必要であり、供給路が複雑になるという課題があった。
表示装置のカラーフィルター（光学フィルター）を構成するカラーフィルター膜（光学フィルター膜）や有機ＥＬ装置の有機ＥＬ膜のような機能膜を形成するための機能液においては、機能液の成分に由来する、固形の異物とゲル状の異物との２種類の異物が生成される場合がある。ゲル状異物は、変形することによって、ゲル状異物自体の外径より小さいフィルターの孔も通過することができるため除去が困難である。特許文献１及び特許文献２に開示された異物除去のための装置は、そのようなゲル状異物の特性に注目してなされたものではなく、ゲル状異物の特性に対応するものではないため、ゲル状異物の除去は必ずしも充分には実施できない可能性が高いという課題もあった。 However, the apparatus disclosed in Patent Document 1 has a filter for each discharge nozzle hole (orifice), and there is a problem that the head becomes very complicated when applied to a discharge head having a large number of discharge nozzle holes. . The apparatus disclosed in Patent Literature 1 is physically almost impossible to apply to an ejection head having a large number of minute ejection nozzle holes. The apparatus disclosed in Patent Document 2 has a problem that two ink supply paths are necessary and the supply paths become complicated.
In a functional liquid for forming a functional film such as a color filter film (optical filter film) constituting a color filter (optical filter) of a display device or an organic EL film of an organic EL device, it is derived from components of the functional liquid. In some cases, two types of foreign matter are generated, a solid foreign matter and a gel-like foreign matter. The gel-like foreign matter is difficult to remove because it can pass through a filter hole smaller than the outer diameter of the gel-like foreign matter itself by deformation. The apparatus for removing foreign substances disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2 is not made by paying attention to the characteristics of such gel-like foreign substances, and does not correspond to the characteristics of gel-like foreign substances. There was also a problem that there is a high possibility that the removal of the gel-like foreign matter is not always sufficiently performed.

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出装置は、液状体を液滴として吐出し、前記液滴を描画対象物上に着弾させることによって前記描画対象物上に前記液状体を配置する液滴吐出装置であって、前記液滴を吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドを保持するヘッド保持手段と、前記ヘッド保持手段と前記描画対象物とを相対移動させる相対移動手段と、前記吐出ヘッドに前記液状体を供給する液状体供給手段と、を備え、前記液状体供給手段は、前記吐出ヘッドに向けて前記液状体を流動させる供給路の途中に、前記ヘッド保持手段と一体に移動可能に配設された濾過フィルターと、前記供給路における前記濾過フィルターの下流側に配設された第二フィルターとを備える液状体濾過手段を備え、前記濾過フィルターにおける前記液状体が通過する部分の断面積に比べて、前記第二フィルターにおける前記液状体が通過する部分の断面積が小さいことを特徴とする。 Application Example 1 A droplet discharge device according to this application example discharges a liquid material as a droplet, and places the liquid material on the drawing target by landing the droplet on the drawing target. A droplet discharge apparatus, wherein the discharge head discharges the droplet, a head holding unit that holds the discharge head, a relative movement unit that relatively moves the head holding unit and the drawing object, and the discharge Liquid supply means for supplying the liquid to the head, and the liquid supply means moves integrally with the head holding means in the middle of a supply path for flowing the liquid toward the ejection head. comprising a filtration filter which is arranged to be, the liquid material filtering means and a second filter disposed on the downstream side of the filtration filter in the supply path, the liquid material in the filtration filter is Compared to the cross-sectional area of the portion over which, and wherein the cross-sectional area of the portion where the liquid material in the second filter passes is small.

本適用例にかかる液滴吐出装置によれば、液状体濾過手段が備える濾過フィルターがヘッド保持手段と一体に移動可能に配設されている。したがって、液状体濾過手段の濾過フィルターはヘッド保持手段に保持された吐出ヘッドと一体に移動する位置に配設されている。すなわち、濾過フィルターは吐出ヘッドの近くに位置していることから、濾過フィルターから吐出ヘッドに至る供給路の長さを短くすることができる。本発明の発明者らは、液状体が貯留されている間に液状体の成分に由来する異物が生成される場合があることを見いだした。液状体が貯留されている間に異物が生成されることから、液状体が液滴吐出装置の流路に在る間にも異物が生成される可能性がある。濾過フィルターから吐出ヘッドに至る供給路の長さを短くすることで、濾過フィルターによって濾過されて異物が除去された液状体に、再度異物が発生する可能性を小さくすることができる。
また、この液滴吐出装置によれば、濾過フィルターの下流側に配設されている第二フィルターによって、濾過フィルターで濾過された液状体をさらに濾過して、液状体に含まれる異物をより確実に除去することができる。特に、濾過フィルター自体から脱離する異物が存在する場合には有効である。
なお、濾過フィルターはヘッド保持手段と一体に移動可能であるため、吐出ヘッドの位置が固定であってヘッド保持手段の位置が固定の場合には、濾過フィルターの位置も固定である。 According to the droplet discharge device according to this application example, the filtration filter included in the liquid material filtering unit is disposed so as to be movable integrally with the head holding unit. Therefore, the filtration filter of the liquid material filtering means is disposed at a position that moves integrally with the ejection head held by the head holding means. That is, since the filtration filter is located near the ejection head, the length of the supply path from the filtration filter to the ejection head can be shortened. The inventors of the present invention have found that foreign substances derived from the components of the liquid material may be generated while the liquid material is stored. Since the foreign matter is generated while the liquid is stored, the foreign matter may be generated while the liquid is in the flow path of the droplet discharge device. By shortening the length of the supply path from the filtration filter to the discharge head, it is possible to reduce the possibility that foreign matter is generated again in the liquid material that has been filtered by the filtration filter and from which foreign matter has been removed.
Further, according to this droplet discharge device, the liquid material filtered by the filtration filter is further filtered by the second filter disposed on the downstream side of the filtration filter, so that the foreign matters contained in the liquid material can be more reliably detected. Can be removed. This is particularly effective when there is a foreign substance that is detached from the filtration filter itself.
Since the filtration filter can move integrally with the head holding means, when the position of the ejection head is fixed and the position of the head holding means is fixed, the position of the filtration filter is also fixed.

［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出装置は、前記濾過フィルターは、濾過精度が０．５μｍ以上、１０μｍ以下であり、前記液状体が前記濾過フィルターを通過する流速が０．０５（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）以上、１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）以下であることが好ましい。 Application Example 2 In the droplet discharge device according to the application example, the filtration filter has a filtration accuracy of 0.5 μm or more and 10 μm or less, and a flow rate of the liquid passing through the filtration filter is 0.05 ( mL / min · cm 2 ) or more and 1.0 (mL / min · cm 2 ) or less is preferable.

この液滴吐出装置によれば、濾過精度が０．５μｍ以上であることで、液状体の成分に影響を与えることなく液状体を濾過することができる。濾過精度が１０μｍ以下であることで、当該液状体における多くの固形の異物を濾過することができることが、本発明の発明者らによって確認されている。また、濾過精度が１０μｍ以下であり、液状体が濾過フィルターを通過する流速が０．０５（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）以上、１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）以下であることで、当該液状体におけるゲル状異物を濾過することができることが、本発明の発明者らによって確認されている。 According to this droplet discharge device, since the filtration accuracy is 0.5 μm or more, the liquid material can be filtered without affecting the components of the liquid material. The inventors of the present invention have confirmed that many solid foreign substances in the liquid can be filtered when the filtration accuracy is 10 μm or less. The filtration accuracy is 10 μm or less, and the flow rate of the liquid passing through the filtration filter is 0.05 (mL / min · cm 2 ) or more and 1.0 (mL / min · cm 2 ) or less. It has been confirmed by the inventors of the present invention that gel-like foreign matters in the liquid can be filtered.

［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出装置は、前記液状体を貯留して、水頭差によって前記吐出ヘッドに前記液状体を供給する水頭圧力タンクをさらに備え、前記濾過フィルターは、前記供給路における前記水頭圧力タンクから前記吐出ヘッドに至る途中に配設されていることが好ましい。   Application Example 3 The droplet discharge device according to the above application example further includes a water head pressure tank that stores the liquid material and supplies the liquid material to the discharge head by a water head difference, and the filtration filter includes: It is preferable that the supply path is disposed on the way from the water head pressure tank to the discharge head.

この液滴吐出装置によれば、水頭圧力タンクと吐出ヘッドとの間に濾過フィルターが配設されている。水頭圧力タンクにおいて発生した異物を濾過フィルターによって濾過して、水頭圧力タンクにおいて発生した異物が吐出ヘッドに至ることを抑制することができる。   According to this droplet discharge device, the filtration filter is disposed between the water head pressure tank and the discharge head. The foreign matter generated in the water head pressure tank can be filtered by the filtration filter, and the foreign matter generated in the water head pressure tank can be prevented from reaching the discharge head.

［適用例４］上記適用例にかかる液滴吐出装置は、前記液状体供給手段は、前記吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズルにおける前記液状体の液圧を所定の値に維持する圧力制御手段をさらに備え、前記濾過フィルターは、前記供給路における前記圧力制御手段の上流側に配設されていることが好ましい。   Application Example 4 In the liquid droplet ejection apparatus according to the application example, the liquid material supply unit includes a pressure control unit that maintains a liquid pressure of the liquid material at a liquid droplet ejection nozzle included in the ejection head at a predetermined value. Furthermore, it is preferable that the filtration filter is disposed upstream of the pressure control means in the supply path.

この液滴吐出装置によれば、濾過フィルターは、供給路における圧力制御手段の上流側に配設されている。圧力制御手段は、圧力制御手段の位置にある液状体の液圧を調整することで、吐出ヘッドの液滴吐出ノズルにおける液状体の圧力を所定の値に維持する。このため、圧力制御手段の位置にある液状体の液圧と液滴吐出ノズルにおける液状体の液圧との関係が一定であることが好ましい。液状体が濾過フィルターを通過する際には圧力損出があり、濾過フィルターの一次側の液圧に対して二次側の液圧が変動する可能性がある。濾過フィルターを圧力制御手段の上流側に配設することで、圧力制御手段と液滴吐出ノズルとの間に濾過フィルターが介在することに起因して圧力制御手段による液滴吐出ノズルにおける液圧の調整が影響を受けることを防止することができる。   According to this droplet discharge device, the filtration filter is disposed on the upstream side of the pressure control means in the supply path. The pressure control means maintains the pressure of the liquid material at the droplet discharge nozzle of the discharge head at a predetermined value by adjusting the liquid pressure of the liquid material at the position of the pressure control means. For this reason, it is preferable that the relationship between the liquid pressure of the liquid at the position of the pressure control means and the liquid pressure of the liquid at the droplet discharge nozzle is constant. When the liquid passes through the filtration filter, there is a pressure loss, and the fluid pressure on the secondary side may vary with respect to the fluid pressure on the primary side of the filtration filter. By disposing the filtration filter on the upstream side of the pressure control means, the liquid pressure in the droplet discharge nozzle by the pressure control means is reduced due to the presence of the filtration filter between the pressure control means and the droplet discharge nozzle. It is possible to prevent the adjustment from being affected.

［適用例５］上記適用例にかかる液滴吐出装置は、前記液状体濾過手段は、前記液状体を流入させる流入口が重力加速度方向において前記濾過フィルターより下側に配設されており、前記液状体を流出させる流出口が重力加速度方向において前記濾過フィルターより上側に配設されていることが好ましい。 Application Example 5 In the liquid droplet ejection device according to the application example, the liquid material filtering unit includes an inlet for flowing the liquid material disposed below the filtration filter in the gravitational acceleration direction. It is preferable that the outflow port through which the liquid material flows out is disposed above the filtration filter in the direction of gravitational acceleration.

この液滴吐出装置によれば、液状体濾過手段に液状体を流入させる流入口が濾過フィルターより下側に配設されている。これにより、濾過フィルターに捕らえられた異物が重力によって濾過フィルターから剥がれ易くすることができる。異物が濾過フィルターから剥がれることで、異物が濾過フィルターに付着して濾過フィルターの目詰まりが生ずることを抑制することができる。また、液状体濾過手段から液状体を流出させる流出口が濾過フィルターより上側に配設されている。これにより、気泡を流出口から排出し易くすることができる。気泡が排出されることによって、気泡が濾過フィルターに付いていることで、液状体の流動が妨げられることを抑制することができる。   According to this droplet discharge device, the inflow port through which the liquid material flows into the liquid material filtering means is disposed below the filter. Thereby, the foreign material caught by the filtration filter can be easily peeled off from the filtration filter by gravity. It can suppress that a foreign material adheres to a filtration filter and a clogging of a filtration filter arises because a foreign material peels from a filtration filter. Further, an outlet for allowing the liquid material to flow out from the liquid material filtering means is disposed above the filter. Thereby, it is possible to easily discharge the bubbles from the outlet. By discharging the bubbles, the bubbles are attached to the filtration filter, so that the flow of the liquid material can be prevented from being hindered.

［適用例６］上記適用例にかかる液滴吐出装置は、前記濾過フィルターの一次側における前記液状体の圧力を調整する液圧調整手段をさらに備えることが好ましい。 Application Example 6 It is preferable that the droplet discharge device according to the application example further includes a fluid pressure adjusting unit that adjusts the pressure of the liquid material on the primary side of the filtration filter.

この液滴吐出装置によれば、液圧調整手段を用いて液状体や当該液状体におけるゲル状異物の特性に応じて濾過フィルターにかかる液圧を調整することによって、液状体が濾過フィルターを通過する流速を、ゲル状異物が濾過フィルターを透過する可能性が小さく、吐出ヘッドからの液状体の吐出量を充分送出可能な、適切な流速に調整することができる。   According to this droplet discharge device, the liquid passes through the filter by adjusting the liquid pressure applied to the filter according to the characteristics of the liquid and the gel-like foreign matter in the liquid using the liquid pressure adjusting means. The flow rate of the liquid can be adjusted to an appropriate flow rate at which the possibility that the gel-like foreign substance permeates the filtration filter is small and the discharge amount of the liquid material from the discharge head can be sufficiently delivered.

［適用例７］本適用例にかかる液状体供給方法は、液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドを保持するヘッド保持手段と、前記ヘッド保持手段と描画対象物とを相対移動させる相対移動手段とを備え、前記液滴を吐出し、当該液滴を前記描画対象物上に着弾させることによって前記描画対象物上に前記液状体を配置する液滴吐出装置における、前記吐出ヘッドに前記液状体を供給する液状体供給方法であって、前記吐出ヘッドに向けて前記液状体が流動させられる前記液状体の供給路の途中に前記ヘッド保持手段と一体に移動可能配設された濾過フィルターによって前記液状体を濾過する液状体濾過工程と、前記供給路における前記濾過フィルターの下流側に配設されている第二フィルターによって、前記液状体濾過工程において濾過された前記液状体を再度濾過する二次濾過工程とを有し、前記濾過フィルターにおける前記液状体が通過する部分の断面積に比べて、前記第二フィルターにおける前記液状体が通過する部分の断面積が小さいことを特徴とする。 Application Example 7 A liquid material supply method according to this application example includes a discharge head that discharges a liquid material as droplets, a head holding unit that holds the discharge head, and a relative relationship between the head holding unit and the drawing object. Relative movement means for moving the liquid droplets, and discharging the liquid droplets and landing the liquid droplets on the drawing object, thereby disposing the liquid material on the drawing object. A liquid material supplying method for supplying the liquid material to a head, wherein the liquid material is supplied to the head in a middle of the liquid material supply path through which the liquid material flows toward the ejection head. The liquid material filtering step of filtering the liquid material with a filtered filter, and the second material filter disposed downstream of the filtration filter in the supply path. Compared to the cross-sectional area of the filtered the liquid material to have a secondary filtration step again filtered, the portion where the liquid material in the filtration filter passes at the portion where the liquid material in the second filter passes The cross-sectional area of is small .

本適用例にかかる液状体供給方法によれば、液状体濾過工程において用いる濾過フィルターが、ヘッド保持手段と一体に移動可能に配設されている。したがって、濾過フィルターはヘッド保持手段に保持された吐出ヘッドと一体に移動する位置に配設されている。すなわち、濾過フィルターは吐出ヘッドの近くに位置していることから、濾過フィルターから吐出ヘッドに至る供給路の長さを短くすることができる。本発明の発明者らは、液状体が貯留されている間に液状体の成分に由来する異物が生成される場合があることを見いだした。液状体が貯留されている間に異物が生成されることから、液状体が液滴吐出装置の流路に在る間にも異物が生成される可能性がある。濾過フィルターから吐出ヘッドに至る供給路の長さを短くすることで、濾過フィルターによって濾過されて異物が除去された液状体に、再度異物が発生する可能性を小さくすることができる。
また、この液状体供給方法によれば、二次濾過工程において、濾過フィルターの下流側に配設されている第二フィルターによって、濾過フィルターで濾過された液状体をさらに濾過することで、液状体に含まれる異物をより確実に除去することができる。特に、濾過フィルター自体から脱離する異物が存在する場合には有効である。
なお、濾過フィルターはヘッド保持手段と一体に移動可能であるため、吐出ヘッドの位置が固定であってヘッド保持手段の位置が固定の場合には、濾過フィルターの位置も固定である。 According to the liquid supply method according to this application example, the filtration filter used in the liquid filtration step is disposed so as to be movable integrally with the head holding means. Therefore, the filtration filter is disposed at a position that moves integrally with the ejection head held by the head holding means. That is, since the filtration filter is located near the ejection head, the length of the supply path from the filtration filter to the ejection head can be shortened. The inventors of the present invention have found that foreign substances derived from the components of the liquid material may be generated while the liquid material is stored. Since the foreign matter is generated while the liquid is stored, the foreign matter may be generated while the liquid is in the flow path of the droplet discharge device. By shortening the length of the supply path from the filtration filter to the discharge head, it is possible to reduce the possibility that foreign matter is generated again in the liquid material that has been filtered by the filtration filter and from which foreign matter has been removed.
Further, according to this liquid material supply method, in the secondary filtration step, the liquid material filtered by the filtration filter is further filtered by the second filter disposed on the downstream side of the filtration filter. It is possible to more reliably remove foreign substances contained in the. This is particularly effective when there is a foreign substance that is detached from the filtration filter itself.
Since the filtration filter can move integrally with the head holding means, when the position of the ejection head is fixed and the position of the head holding means is fixed, the position of the filtration filter is also fixed.

［適用例８］上記適用例にかかる液状体供給方法は、前記濾過フィルターが、濾過精度が０．５μｍ以上、１０μｍ以下であり、前記液状体濾過工程において前記液状体が前記濾過フィルターを通過する流速が０．０５（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ２）以上、１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ２）以下であることが好ましい。 Application Example 8 In the liquid material supply method according to the application example, the filtration filter has a filtration accuracy of 0.5 μm or more and 10 μm or less, and the liquid material passes through the filtration filter in the liquid material filtration step. The flow rate is preferably 0.05 (mL / min · cm 2 ) or more and 1.0 (mL / min · cm 2 ) or less.

この液状体供給方法によれば、濾過精度が０．５μｍ以上であることで、液状体の成分に影響を与えることなく液状体を濾過することができる。濾過精度が１０μｍ以下であることで、当該液状体における多くの固形の異物を濾過することができることが、本発明の発明者らによって確認されている。また、濾過精度が１０μｍ以下であり、液状体が濾過フィルターを通過する流速が０．０５（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）以上、１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）以下であることで、当該液状体におけるゲル状異物を濾過することができることが、本発明の発明者らによって確認されている。 According to this liquid supply method, when the filtration accuracy is 0.5 μm or more, the liquid can be filtered without affecting the components of the liquid. The inventors of the present invention have confirmed that many solid foreign substances in the liquid can be filtered when the filtration accuracy is 10 μm or less. The filtration accuracy is 10 μm or less, and the flow rate of the liquid passing through the filtration filter is 0.05 (mL / min · cm 2 ) or more and 1.0 (mL / min · cm 2 ) or less. It has been confirmed by the inventors of the present invention that gel-like foreign matters in the liquid can be filtered.

［適用例９］上記適用例にかかる液状体供給方法は、前記液状体を貯留する貯留部から水頭差によって前記吐出ヘッドに前記液状体を供給する水頭差供給工程を含み、前記濾過フィルターは、前記供給路における前記水頭差供給工程において前記液状体が流動する部分に配設されていることが好ましい。 [Application Example 9 ] The liquid material supply method according to the application example includes a water head difference supplying step of supplying the liquid material to the discharge head by a water head difference from a storage unit that stores the liquid material, and the filtration filter includes: It is preferable that the liquid body is disposed in a portion where the liquid material flows in the water head difference supplying step in the supply path.

この液状体供給方法によれば、水頭差供給工程において液状体が流動する部分に濾過フィルターが配設されている。したがって、水頭差によって吐出ヘッドに液状体を供給する貯留部と吐出ヘッドとの間に濾過フィルターが配設されている。これにより、貯留部において発生した異物を濾過フィルターによって濾過して、貯留部において発生した異物が吐出ヘッドに至ることを抑制することができる。   According to this liquid material supply method, the filtration filter is disposed in the portion where the liquid material flows in the water head difference supplying step. Therefore, a filtration filter is disposed between the storage portion that supplies the liquid material to the discharge head due to a water head difference and the discharge head. Thereby, the foreign material generated in the storage unit can be filtered by the filtration filter, and the foreign material generated in the storage unit can be prevented from reaching the ejection head.

［適用例１０］上記適用例にかかる液状体供給方法は、前記吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズルにおける前記液状体の液圧を所定の値に維持する圧力制御手段によって液滴吐出ノズルにおける前記液状体の圧力を制御する圧力制御工程をさらに有し、前記濾過フィルターは、前記供給路における前記圧力制御手段の上流側に配設されていることが好ましい。 Application Example 10 In the liquid material supply method according to the above application example, the liquid material in the droplet discharge nozzle is controlled by a pressure control unit that maintains the liquid pressure of the liquid material in the droplet discharge nozzle included in the discharge head at a predetermined value. It is preferable that the method further includes a pressure control step for controlling body pressure, and the filtration filter is disposed on the upstream side of the pressure control means in the supply path.

この液状体供給方法によれば、濾過フィルターは、供給路における圧力制御手段の上流側に配設されている。圧力制御手段は、圧力制御手段の位置にある液状体の液圧を調整することで、吐出ヘッドの液滴吐出ノズルにおける液状体の圧力を所定の値に維持する。このため、圧力制御手段の位置にある液状体の液圧と液滴吐出ノズルにおける液状体の液圧との関係が一定であることが好ましい。液状体が濾過フィルターを通過する際には圧力損出があり、濾過フィルターの一次側の液圧に対して二次側の液圧が変動する可能性がある。濾過フィルターを圧力制御手段の上流側に配設することで、圧力制御手段と液滴吐出ノズルとの間に濾過フィルターが介在することに起因して圧力制御手段による液滴吐出ノズルにおける液圧の調整が影響を受けることを防止することができる。   According to this liquid supply method, the filtration filter is disposed on the upstream side of the pressure control means in the supply path. The pressure control means maintains the pressure of the liquid material at the droplet discharge nozzle of the discharge head at a predetermined value by adjusting the liquid pressure of the liquid material at the position of the pressure control means. For this reason, it is preferable that the relationship between the liquid pressure of the liquid at the position of the pressure control means and the liquid pressure of the liquid at the droplet discharge nozzle is constant. When the liquid passes through the filtration filter, there is a pressure loss, and the fluid pressure on the secondary side may vary with respect to the fluid pressure on the primary side of the filtration filter. By disposing the filtration filter on the upstream side of the pressure control means, the liquid pressure in the droplet discharge nozzle by the pressure control means is reduced due to the presence of the filtration filter between the pressure control means and the droplet discharge nozzle. It is possible to prevent the adjustment from being affected.

［適用例１１］上記適用例にかかる液状体供給方法は、前記液状体濾過工程において、前記濾過フィルターを備える液状体濾過手段に、重力加速度方向において前記濾過フィルターの下側に配設されている流入口から前記液状体を流入させ、重力加速度方向において前記濾過フィルターの上側に配設されている流出口から前記液状体を流出させることが好ましい。 Application Example 11 The liquid material supply method according to the application example described above is disposed in the liquid material filtering unit including the filtration filter below the filtration filter in the gravitational acceleration direction in the liquid material filtration step. It is preferable that the liquid material is introduced from an inflow port, and the liquid material is flowed out from an outflow port disposed on the upper side of the filtration filter in the direction of gravitational acceleration.

この液状体供給方法によれば、液状体濾過工程において液状体濾過手段に液状体を流入させる流入口が濾過フィルターより下側に配設されている。これにより、濾過フィルターに捕らえられた異物が重力によって濾過フィルターから剥がれ易くすることができる。異物が濾過フィルターから剥がれることで、異物が濾過フィルターに付着して濾過フィルターの目詰まりが生ずることを抑制することができる。また、液状体濾過工程において液状体濾過手段から液状体を流出させる流出口が濾過フィルターより上側に配設されている。これにより、気泡を流出口から排出し易くすることができる。気泡が排出されることによって、気泡が濾過フィルターに付いていることで、液状体の流動が妨げられることを抑制することができる。   According to this liquid material supplying method, the inlet for allowing the liquid material to flow into the liquid material filtering means in the liquid material filtering step is disposed below the filtration filter. Thereby, the foreign material caught by the filtration filter can be easily peeled off from the filtration filter by gravity. It can suppress that a foreign material adheres to a filtration filter and a clogging of a filtration filter arises because a foreign material peels from a filtration filter. Further, an outlet for allowing the liquid material to flow out from the liquid material filtering means in the liquid material filtering step is disposed above the filtration filter. Thereby, it is possible to easily discharge the bubbles from the outlet. By discharging the bubbles, the bubbles are attached to the filtration filter, so that the flow of the liquid material can be prevented from being hindered.

［適用例１２］上記適用例にかかる液状体供給方法は、前記濾過フィルターの一次側における前記液状体の圧力を調整する液圧調整工程をさらに有することが好ましい。 Application Example 12 It is preferable that the liquid supply method according to the application example further includes a hydraulic pressure adjusting step of adjusting the pressure of the liquid on the primary side of the filtration filter.

この液状体供給方法によれば、液圧調整工程において液状体や当該液状体におけるゲル状異物の特性に応じて濾過フィルターにかかる液圧を調整することによって、液状体が濾過フィルターを通過する流速を、ゲル状異物が濾過フィルターを透過する可能性が小さく、吐出ヘッドからの液状体の吐出量を充分送出可能な、適切な流速に調整することができる。   According to this liquid supply method, the flow rate at which the liquid passes through the filtration filter by adjusting the liquid pressure applied to the filtration filter in accordance with the characteristics of the liquid and the gel-like foreign matter in the liquid in the liquid pressure adjusting step. Thus, it is possible to adjust the flow rate to an appropriate flow rate with which the possibility that gel-like foreign matter permeates the filtration filter is small and the discharge amount of the liquid material from the discharge head can be sufficiently delivered.

［適用例１３］本適用例にかかる液状体供給装置は、液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドを保持するヘッド保持手段と、前記ヘッド保持手段と描画対象物とを相対移動させる相対移動手段とを備え、前記液滴を吐出し、当該液滴を前記描画対象物上に着弾させることによって前記描画対象物上に前記液状体を配置する液滴吐出装置における、前記吐出ヘッドに前記液状体を供給する液状体供給装置であって、前記吐出ヘッドに向けて前記液状体を流動させる供給路の途中に、前記ヘッド保持手段と一体に移動可能に配設された濾過フィルターと、前記供給路における前記濾過フィルターの下流側に配設された第二フィルターとを備える液状体濾過手段を備え、前記濾過フィルターにおける前記液状体が通過する部分の断面積に比べて、前記第二フィルターにおける前記液状体が通過する部分の断面積が小さいことを特徴とする。 Application Example 13 A liquid material supply apparatus according to this application example has a discharge head that discharges a liquid material as droplets, a head holding unit that holds the discharge head, and a relative relationship between the head holding unit and the drawing object. Relative movement means for moving the liquid droplets, and discharging the liquid droplets and landing the liquid droplets on the drawing object, thereby disposing the liquid material on the drawing object. A liquid material supply device for supplying the liquid material to a head, wherein the filter is disposed in the middle of a supply path for flowing the liquid material toward the ejection head so as to be movable integrally with the head holding means. And a liquid filter means comprising a second filter disposed on the downstream side of the filtration filter in the supply path, and a portion of the filtration filter through which the liquid passes. Compared with the cross-sectional area, the cross-sectional area of the portion through which the liquid material passes in the second filter is small .

本適用例にかかる液状体供給装置によれば、液状体濾過手段が備える濾過フィルターがヘッド保持手段と一体に移動可能に配設されている。したがって、液状体濾過手段の濾過フィルターはヘッド保持手段に保持された吐出ヘッドと一体に移動する位置に配設されている。すなわち、濾過フィルターは吐出ヘッドの近くに位置していることから、濾過フィルターから吐出ヘッドに至る供給路の長さを短くすることができる。本発明の発明者らは、液状体が貯留されている間に液状体の成分に由来する異物が生成される場合があることを見いだした。液状体が貯留されている間に異物が生成されることから、液状体が液滴吐出装置の流路に在る間にも異物が生成される可能性がある。濾過フィルターから吐出ヘッドに至る供給路の長さを短くすることで、濾過フィルターによって濾過されて異物が除去された液状体に、再度異物が発生する可能性を小さくすることができる。
また、この液状体供給装置によれば、濾過フィルターの下流側に配設されている第二フィルターによって、濾過フィルターで濾過された液状体をさらに濾過して、液状体に含まれる異物をより確実に除去することができる。特に、濾過フィルター自体から脱離する異物が存在する場合には有効である。
なお、濾過フィルターはヘッド保持手段と一体に移動可能であるため、吐出ヘッドの位置が固定であってヘッド保持手段の位置が固定の場合には、濾過フィルターの位置も固定である。 According to the liquid material supply apparatus according to this application example, the filtration filter provided in the liquid material filtering means is disposed so as to be movable integrally with the head holding means. Therefore, the filtration filter of the liquid material filtering means is disposed at a position that moves integrally with the ejection head held by the head holding means. That is, since the filtration filter is located near the ejection head, the length of the supply path from the filtration filter to the ejection head can be shortened. The inventors of the present invention have found that foreign substances derived from the components of the liquid material may be generated while the liquid material is stored. Since the foreign matter is generated while the liquid is stored, the foreign matter may be generated while the liquid is in the flow path of the droplet discharge device. By shortening the length of the supply path from the filtration filter to the discharge head, it is possible to reduce the possibility that foreign matter is generated again in the liquid material that has been filtered by the filtration filter and from which foreign matter has been removed.
Further, according to the liquid material supply apparatus, the liquid material filtered by the filtration filter is further filtered by the second filter disposed on the downstream side of the filtration filter, so that foreign matters contained in the liquid material can be more reliably removed. Can be removed. This is particularly effective when there is a foreign substance that is detached from the filtration filter itself.
Since the filtration filter can move integrally with the head holding means, when the position of the ejection head is fixed and the position of the head holding means is fixed, the position of the filtration filter is also fixed.

［適用例１４］上記適用例にかかる液状体供給装置は、前記濾過フィルターが、濾過精度が０．５μｍ以上、１０μｍ以下であり、前記液状体が前記濾過フィルターを通過する流速が０．０５（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ２）以上、１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ２）以下であることが好ましい。 Application Example 14 In the liquid material supply device according to the application example, the filtration filter has a filtration accuracy of 0.5 μm or more and 10 μm or less, and a flow rate of the liquid passing through the filtration filter is 0.05 ( mL / min · cm 2) or more and 1.0 (mL / min · cm 2 ) or less.

この液状体供給装置によれば、濾過精度が０．５μｍ以上であることで、液状体の成分に影響を与えることなく液状体を濾過することができる。濾過精度が１０μｍ以下であることで、当該液状体における多くの固形の異物を濾過することができることが、本発明の発明者らによって確認されている。また、濾過精度が１０μｍ以下であり、液状体が濾過フィルターを通過する流速が０．０５（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）以上、１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）以下であることで、当該液状体におけるゲル状異物を濾過することができることが、本発明の発明者らによって確認されている。 According to this liquid material supply apparatus, since the filtration accuracy is 0.5 μm or more, the liquid material can be filtered without affecting the components of the liquid material. The inventors of the present invention have confirmed that many solid foreign substances in the liquid can be filtered when the filtration accuracy is 10 μm or less. The filtration accuracy is 10 μm or less, and the flow rate of the liquid passing through the filtration filter is 0.05 (mL / min · cm 2 ) or more and 1.0 (mL / min · cm 2 ) or less. It has been confirmed by the inventors of the present invention that gel-like foreign matters in the liquid can be filtered.

［適用例１５］上記適用例にかかる液状体供給装置は、前記液状体を貯留して、水頭差によって前記吐出ヘッドに前記液状体を供給する水頭圧力タンクをさらに備え、前記濾過フィルターは、前記供給路における前記水頭圧力タンクから前記吐出ヘッドに至る途中に配設されていることが好ましい。 Application Example 15 The liquid material supply apparatus according to the application example further includes a water head pressure tank that stores the liquid material and supplies the liquid material to the discharge head by a water head difference, and the filtration filter includes the filter It is preferable that the supply path is disposed on the way from the water head pressure tank to the discharge head.

この液状体供給装置によれば、水頭圧力タンクと吐出ヘッドとの間に濾過フィルターが配設されている。水頭圧力タンクにおいて発生した異物を濾過フィルターによって濾過して、水頭圧力タンクにおいて発生した異物が吐出ヘッドに至ることを抑制することができる。   According to this liquid supply apparatus, the filtration filter is disposed between the water head pressure tank and the discharge head. The foreign matter generated in the water head pressure tank can be filtered by the filtration filter, and the foreign matter generated in the water head pressure tank can be prevented from reaching the discharge head.

［適用例１６］上記適用例にかかる液状体供給装置は、前記吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズルにおける前記液状体の液圧を所定の値に維持する圧力制御手段をさらに備え、前記濾過フィルターは、前記供給路における前記圧力制御手段の上流側に配設されていることが好ましい。 Application Example 16 The liquid material supply apparatus according to the application example further includes pressure control means for maintaining the liquid pressure of the liquid material at a droplet discharge nozzle included in the discharge head at a predetermined value, and the filtration filter includes: Preferably, the supply path is disposed upstream of the pressure control means.

この液状体供給装置によれば、濾過フィルターは、供給路における圧力制御手段の上流側に配設されている。圧力制御手段は、圧力制御手段の位置にある液状体の液圧を調整することで、吐出ヘッドの液滴吐出ノズルにおける液状体の圧力を所定の値に維持する。このため、圧力制御手段の位置にある液状体の液圧と液滴吐出ノズルにおける液状体の液圧との関係が一定であることが好ましい。液状体が濾過フィルターを通過する際には圧力損出があり、濾過フィルターの一次側の液圧に対して二次側の液圧が変動する可能性がある。濾過フィルターを圧力制御手段の上流側に配設することで、圧力制御手段と液滴吐出ノズルとの間に濾過フィルターが介在することに起因して圧力制御手段による液滴吐出ノズルにおける液圧の調整が影響を受けることを防止することができる。   According to this liquid supply apparatus, the filtration filter is disposed on the upstream side of the pressure control means in the supply path. The pressure control means maintains the pressure of the liquid material at the droplet discharge nozzle of the discharge head at a predetermined value by adjusting the liquid pressure of the liquid material at the position of the pressure control means. For this reason, it is preferable that the relationship between the liquid pressure of the liquid at the position of the pressure control means and the liquid pressure of the liquid at the droplet discharge nozzle is constant. When the liquid passes through the filtration filter, there is a pressure loss, and the fluid pressure on the secondary side may vary with respect to the fluid pressure on the primary side of the filtration filter. By disposing the filtration filter on the upstream side of the pressure control means, the liquid pressure in the droplet discharge nozzle by the pressure control means is reduced due to the presence of the filtration filter between the pressure control means and the droplet discharge nozzle. It is possible to prevent the adjustment from being affected.

［適用例１７］上記適用例にかかる液状体供給装置は、前記液状体濾過手段は、前記液状体を流入させる流入口が重力加速度方向において前記濾過フィルターより下側に配設されており、前記液状体を流出させる流出口が重力加速度方向において前記濾過フィルターより上側に配設されていることが好ましい。 Application Example 17 In the liquid material supply device according to the application example, the liquid material filtering unit includes an inflow port into which the liquid material flows in disposed below the filtration filter in a gravitational acceleration direction. It is preferable that the outflow port through which the liquid material flows out is disposed above the filtration filter in the direction of gravitational acceleration.

この液状体供給装置によれば、液状体濾過手段に液状体を流入させる流入口が濾過フィルターより下側に配設されている。これにより、濾過フィルターに捕らえられた異物が重力によって濾過フィルターから剥がれ易くすることができる。異物が濾過フィルターから剥がれることで、異物が濾過フィルターに付着して濾過フィルターの目詰まりが生ずることを抑制することができる。また、液状体濾過手段から液状体を流出させる流出口が濾過フィルターより上側に配設されている。これにより、気泡を流出口から排出し易くすることができる。気泡が排出されることによって、気泡が濾過フィルターに付いていることで、液状体の流動が妨げられることを抑制することができる。   According to this liquid material supply apparatus, the inlet for allowing the liquid material to flow into the liquid material filtering means is disposed below the filter. Thereby, the foreign material caught by the filtration filter can be easily peeled off from the filtration filter by gravity. It can suppress that a foreign material adheres to a filtration filter and a clogging of a filtration filter arises because a foreign material peels from a filtration filter. Further, an outlet for allowing the liquid material to flow out from the liquid material filtering means is disposed above the filter. Thereby, it is possible to easily discharge the bubbles from the outlet. By discharging the bubbles, the bubbles are attached to the filtration filter, so that the flow of the liquid material can be prevented from being hindered.

［適用例１８］上記適用例にかかる液状体供給装置は、前記濾過フィルターの一次側における前記液状体の圧力を調整する液圧調整手段をさらに備えることが好ましい。 Application Example 18 It is preferable that the liquid material supply device according to the application example further includes a fluid pressure adjusting unit that adjusts the pressure of the liquid material on the primary side of the filtration filter.

この液状体供給装置によれば、液圧調整手段を用いて液状体や当該液状体におけるゲル状異物の特性に応じて濾過フィルターにかかる液圧を調整することによって、液状体が濾過フィルターを通過する流速を、ゲル状異物が濾過フィルターを透過する可能性が小さく、吐出ヘッドからの液状体の吐出量を充分送出可能な、適切な流速に調整することができる。   According to this liquid supply apparatus, the liquid passes through the filtration filter by adjusting the liquid pressure applied to the filtration filter according to the characteristics of the liquid and the gel-like foreign matter in the liquid using the liquid pressure adjusting means. The flow rate of the liquid can be adjusted to an appropriate flow rate at which the possibility that the gel-like foreign substance permeates the filtration filter is small and the discharge amount of the liquid material from the discharge head can be sufficiently delivered.

液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。FIG. 3 is an external perspective view showing a schematic configuration of a droplet discharge device. （ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図。FIG. 3A is an external perspective view showing a schematic configuration of a droplet discharge head. (B) is a perspective sectional view showing the structure of a droplet discharge head. FIG. 6C is a cross-sectional view showing the structure of the discharge nozzle portion of the droplet discharge head. 機能液供給部の構成を示す模式図。The schematic diagram which shows the structure of a functional liquid supply part. （ａ）は、液晶表示パネルについて、各構成要素とともに対向基板側から見た平面図。（ｂ）は、（ａ）にＡ−Ａで示した断面における断面形状を示す概略断面図。(A) is the top view which looked at the liquid crystal display panel from the counter substrate side with each component. (B) is a schematic sectional drawing which shows the cross-sectional shape in the cross section shown by AA in (a). （ａ）は、マザー対向基板として形成される対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。(A) is a top view which shows typically the planar structure of the opposing substrate formed as a mother opposing substrate. (B) is a top view which shows typically the planar structure of a mother opposing substrate. ３色カラーフィルターの色要素膜の配列例を示す模式平面図。FIG. 3 is a schematic plan view showing an example of the arrangement of color element films of a three-color filter. （ａ）は、第一フィルターを通過する流速と濾過結果との関係を示す図。（ｂ）は、第一フィルターの濾過精度と濾過結果との関係を示す図。(A) is a figure which shows the relationship between the flow rate which passes a 1st filter, and the filtration result. (B) is a figure which shows the relationship between the filtration accuracy of a 1st filter, and a filtration result. 中継タンクの上流と下流とにおける異物の数の測定値を示す図。The figure which shows the measured value of the number of the foreign materials in the upstream and downstream of a relay tank.

以下、液滴吐出装置、液状体供給方法、及び液状体供給装置について、図面を参照して説明する。本実施形態は、デバイスの一例である液晶表示装置のカラーフィルターを製造する工程において、機能膜の一例である色要素膜を形成する工程で用いられる液滴吐出装置における機能液の供給装置及び供給方法を例に説明する。   Hereinafter, a droplet discharge device, a liquid supply method, and a liquid supply device will be described with reference to the drawings. The present embodiment provides a functional liquid supply device and supply in a droplet discharge device used in a process of forming a color element film, which is an example of a functional film, in a process of manufacturing a color filter of a liquid crystal display device, which is an example of a device. The method will be described as an example.

＜液滴吐出法＞
最初に、カラーフィルターなどの形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。 <Droplet ejection method>
First, a droplet discharge method used for forming a color filter or the like will be described. Examples of the discharge technique of the droplet discharge method include a charge control method, a pressure vibration method, an electromechanical conversion method, an electrothermal conversion method, and an electrostatic suction method. In the charge control method, a charge is applied to a material with a charging electrode, and the flight direction of the material is controlled with a deflection electrode to be discharged from a discharge nozzle. In addition, the pressure vibration method is a method in which an ultra-high pressure of about 30 kg / cm 2 is applied to the material to discharge the material to the tip side of the discharge nozzle. When no control voltage is applied, the material moves straight and the discharge nozzle When a control voltage is applied, electrostatic repulsion occurs between the materials, and the materials are scattered and are not discharged from the discharge nozzle. The electromechanical conversion method utilizes the property that a piezoelectric element (piezoelectric element) is deformed by receiving a pulse-like electric signal. The piezoelectric element is deformed through a flexible substance in a space where material is stored. Pressure is applied, and the material is extruded from this space and discharged from the discharge nozzle.

また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒーターにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状材料に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えないなどの利点を有する。本実施形態では、液状材料選択の自由度の高さ、及び液滴の制御性の良さの点から上記ピエゾ方式を用いる。   In the electrothermal conversion method, a material is rapidly vaporized by a heater provided in a space in which the material is stored to generate bubbles, and the material in the space is discharged by the pressure of the bubbles. In the electrostatic attraction method, a minute pressure is applied to a space in which a material is stored, a meniscus of material is formed on the discharge nozzle, and an electrostatic attractive force is applied in this state before the material is drawn out. In addition to this, techniques such as a system that uses a change in the viscosity of a fluid due to an electric field and a system that uses a discharge spark are also applicable. The droplet discharge method has an advantage that the use of the material is less wasteful and a desired amount of the material can be accurately disposed at a desired position. Among these, the piezo method has an advantage that it does not affect the composition of the material because it does not apply heat to the liquid material. In the present embodiment, the above piezo method is used from the viewpoint of the high degree of freedom in selecting the liquid material and the good controllability of the droplets.

＜液滴吐出装置＞
次に、機能液供給部４（図３参照）を用いて液滴吐出ヘッド２０（図２参照）に機能液４０（図３参照）を供給する液滴吐出装置１について説明する。最初に、液滴吐出装置１の構成の全般について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。機能液供給部４が、液状体供給手段、又は液状体供給装置に相当する。機能液４０が、液状体に相当する。 <Droplet ejection device>
Next, the droplet discharge apparatus 1 that supplies the functional liquid 40 (see FIG. 3) to the droplet discharge head 20 (see FIG. 2) using the functional liquid supply unit 4 (see FIG. 3) will be described. First, the overall configuration of the droplet discharge device 1 will be described with reference to FIG. FIG. 1 is an external perspective view showing a schematic configuration of a droplet discharge device. The functional liquid supply unit 4 corresponds to a liquid material supply unit or a liquid material supply device. The functional liquid 40 corresponds to a liquid material.

図１に示すように、液滴吐出装置１は、機能液４０を液滴として吐出するインクジェット方式の液滴吐出ヘッド２０を有するヘッド機構部２と、液滴吐出ヘッド２０から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台３３を有するワーク機構部３と、液滴吐出ヘッド２０への機能液４０の供給を行う機能液供給部４と、液滴吐出ヘッド２０の保守を行うメンテナンス装置部５と、を備えている。また、これら各機構部等を総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。液滴吐出ヘッド２０が、吐出ヘッドに相当する。   As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 1 includes a head mechanism unit 2 having an inkjet droplet discharge head 20 that discharges a functional liquid 40 as droplets, and droplets discharged from the droplet discharge head 20. The work mechanism unit 3 having the work mounting table 33 on which the work W to be discharged is placed, the functional liquid supply unit 4 for supplying the functional liquid 40 to the liquid droplet discharge head 20, and the liquid droplet discharge head 20. And a maintenance device unit 5 for performing maintenance. In addition, a discharge device control unit 6 is provided for comprehensively controlling these mechanism units. The droplet discharge device 1 further includes a plurality of support legs 8 installed on the floor and a surface plate 9 installed on the upper side of the support legs 8. The droplet discharge head 20 corresponds to the discharge head.

定盤９の上面には、ワーク機構部３が配設されている。ワーク機構部３は、定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在している。ワーク機構部３の上方には、定盤９に固定された２本の支持柱で支持されているヘッド機構部２が、配設されている。ヘッド機構部２は、ワーク機構部３と略直交する方向（Ｙ軸方向）に延在している。定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド２０に連通する供給管を有する機能液供給部４の機能液タンク４１などが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱の近傍には、メンテナンス装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に延在して配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。   On the upper surface of the surface plate 9, the work mechanism unit 3 is disposed. The work mechanism unit 3 extends in the longitudinal direction (X-axis direction) of the surface plate 9. Above the work mechanism unit 3, the head mechanism unit 2 supported by two support columns fixed to the surface plate 9 is disposed. The head mechanism unit 2 extends in a direction (Y-axis direction) substantially orthogonal to the work mechanism unit 3. A functional liquid tank 41 of the functional liquid supply unit 4 having a supply pipe that communicates with the droplet discharge head 20 of the head mechanism unit 2 is disposed beside the surface plate 9. In the vicinity of one support column of the head mechanism unit 2, a maintenance device unit 5 is arranged along with the work mechanism unit 3 so as to extend in the X-axis direction. Further, the discharge device controller 6 is accommodated below the surface plate 9.

ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を支持するヘッドキャリッジ２２と、ヘッドキャリッジ２２をＹ軸方向に移動させるＹ軸走査機構２８と有し、ヘッドキャリッジ２２をＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド２０をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。ヘッドキャリッジ２２の上面には、機能液供給部４の中継タンク４３が固定されている。
ワーク機構部３は、ワーク載置台３３と、ワーク載置台３３をＸ軸方向に移動させるＸ軸走査機構３８と有し、ワーク載置台３３をＸ軸方向に移動させることで、ワーク載置台３３に載置されたワークＷを、Ｘ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
ヘッドキャリッジ２２がヘッド保持手段に相当する。Ｙ軸走査機構２８とＸ軸走査機構３８とが、相対移動手段に相当する。 The head mechanism unit 2 includes a head unit 21 having a droplet discharge head 20, a head carriage 22 that supports the head unit 21, and a Y-axis scanning mechanism 28 that moves the head carriage 22 in the Y-axis direction. By moving 22 in the Y-axis direction, the droplet discharge head 20 is freely moved in the Y-axis direction. Moreover, it holds at the moved position. A relay tank 43 of the functional liquid supply unit 4 is fixed on the upper surface of the head carriage 22.
The workpiece mechanism unit 3 includes a workpiece mounting table 33 and an X-axis scanning mechanism 38 that moves the workpiece mounting table 33 in the X-axis direction. The workpiece mounting table 33 is moved by moving the workpiece mounting table 33 in the X-axis direction. The workpiece W placed on the head is freely moved in the X-axis direction. Moreover, it holds at the moved position.
The head carriage 22 corresponds to a head holding unit. The Y-axis scanning mechanism 28 and the X-axis scanning mechanism 38 correspond to relative movement means.

液滴吐出ヘッド２０を、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動させて停止させ、下方にあるワークＷのＸ軸方向の移動に同調させて、機能液４０を液滴として吐出させる。Ｘ軸方向に移動させるワークＷと、Ｙ軸方向に移動させる液滴吐出ヘッド２０とを相対的に制御することにより、ワークＷ上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する描画などを行うことが可能である。   The droplet discharge head 20 is moved to the discharge position in the Y-axis direction and stopped, and the functional liquid 40 is discharged as droplets in synchronization with the movement of the workpiece W below in the X-axis direction. By relatively controlling the workpiece W moved in the X-axis direction and the droplet discharge head 20 moved in the Y-axis direction, droplets are landed at an arbitrary position on the workpiece W, thereby making a desired drawing. Etc. can be performed.

＜液滴吐出ヘッド＞
次に、液滴吐出ヘッド２０について、図２を参照して説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図であり、図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図である。 <Droplet ejection head>
Next, the droplet discharge head 20 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of the droplet discharge head. 2A is an external perspective view showing a schematic configuration of the droplet discharge head, FIG. 2B is a perspective sectional view showing the structure of the droplet discharge head, and FIG. It is sectional drawing which shows the structure of the part of the discharge nozzle of a droplet discharge head.

図２（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド２０は、接続針２６ａを２個有する液体導入部２６と、液体導入部２６に連なるポンプ部２７と、ポンプ部２７に連なるノズル基板２５と、を備えている。液体導入部２６のそれぞれの接続針２６ａには、それぞれ配管接続部材９６（図３参照）が接続されて、当該配管接続部材９６を介して機能液供給部４の供給管４６（図３参照）が接続され、供給管４６（機能液供給部４）から機能液４０が供給される。   As shown in FIG. 2A, the droplet discharge head 20 includes a liquid introduction unit 26 having two connection needles 26 a, a pump unit 27 that is connected to the liquid introduction unit 26, and a nozzle substrate 25 that is connected to the pump unit 27. And. A pipe connection member 96 (see FIG. 3) is connected to each connection needle 26a of the liquid introduction part 26, and the supply pipe 46 (see FIG. 3) of the functional liquid supply part 4 through the pipe connection member 96. Are connected, and the functional liquid 40 is supplied from the supply pipe 46 (functional liquid supply unit 4).

ノズル基板２５には、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａが２列形成されている。吐出ノズル２４から液状体を液滴として吐出し、対向する位置にあるワークＷなどに着弾させることで、当該位置に液状体を配置する。ノズル列２４Ａは、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態で、図１に示したＹ軸方向に延在している。ノズル列２４Ａにおいて吐出ノズル２４は等間隔のノズルピッチで並んでおり、２列のノズル列２４Ａ間で、吐出ノズル２４の位置がＹ軸方向に半ノズルピッチずれている。したがって、液滴吐出ヘッド２０としては、Ｙ軸方向に半ノズルピッチ間隔で液状体の液滴を配置することができる。   In the nozzle substrate 25, two rows of nozzle rows 24A in which a large number of discharge nozzles 24 are arranged in a substantially straight line are formed. The liquid material is discharged as droplets from the discharge nozzle 24 and landed on the workpiece W or the like at the opposite position, thereby arranging the liquid material at the position. The nozzle row 24 </ b> A extends in the Y-axis direction shown in FIG. 1 in a state where the droplet discharge head 20 is mounted on the droplet discharge apparatus 1. In the nozzle row 24A, the discharge nozzles 24 are arranged at equal nozzle pitches, and the position of the discharge nozzle 24 is shifted by a half nozzle pitch in the Y-axis direction between the two nozzle rows 24A. Therefore, as the droplet discharge head 20, liquid droplets can be arranged at half nozzle pitch intervals in the Y-axis direction.

図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５にポンプ部２７を構成する圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液体導入部２６から振動板５２の液供給孔５３を経由して供給される機能液４０が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動板５２と、ノズル基板２５と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形成されている。振動板５２と、ノズル基板２５と、２個のヘッド隔壁５７とによって囲まれた空間が圧力室５８である。 As shown in FIGS. 2B and 2C, in the liquid droplet ejection head 20, the pressure chamber plate 51 constituting the pump unit 27 is laminated on the nozzle substrate 25, and the vibration plate 52 is disposed on the pressure chamber plate 51. Are stacked.
The pressure chamber plate 51 is formed with a liquid pool 55 that is always filled with the functional liquid 40 supplied from the liquid introduction part 26 via the liquid supply hole 53 of the vibration plate 52. The liquid pool 55 is a space surrounded by the diaphragm 52, the nozzle substrate 25, and the wall of the pressure chamber plate 51. Further, the pressure chamber plate 51 is formed with a pressure chamber 58 partitioned by a plurality of head partition walls 57. A space surrounded by the diaphragm 52, the nozzle substrate 25, and the two head partition walls 57 is a pressure chamber 58.

圧力室５８は吐出ノズル２４のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と吐出ノズル２４の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置する供給口５６を介して、液たまり５５から機能液４０が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力室５８と吐出ノズル２４と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル２４がノズル列２４Ａを形成している。図２（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル２４を含むノズル列２４Ａに対して液たまり５５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル２４がもう１列のノズル列２４Ａを形成しており、対応するヘッド隔壁５７と圧力室５８と供給口５６との組が、１列に並んでいる。   The pressure chambers 58 are provided corresponding to the respective discharge nozzles 24, and the number of the pressure chambers 58 and the number of the discharge nozzles 24 are the same. The functional liquid 40 is supplied from the liquid pool 55 to the pressure chamber 58 via the supply port 56 positioned between the two head partition walls 57. A set of the head partition wall 57, the pressure chamber 58, the discharge nozzle 24, and the supply port 56 is arranged in a line along the liquid pool 55, and the discharge nozzles 24 arranged in a line form a nozzle line 24A. . Although not shown in FIG. 2B, the discharge nozzles 24 arranged in one row are arranged in a substantially symmetrical position with respect to the liquid pool 55 with respect to the nozzle row 24A including the discharge nozzle 24 shown in the figure. A nozzle row 24A is formed, and a set of corresponding head partition wall 57, pressure chamber 58, and supply port 56 is arranged in a row.

振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定されている。圧電素子５９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド２０全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図２（ｂ）又は（ｃ）における振動板５２の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液４０が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室５８内に充填されていた機能液４０に圧力が加わり、当該圧力室５８に連通して形成された吐出ノズル２４から機能液４０が液滴となって吐出される。 One end of each piezoelectric element 59 is fixed to the portion of the diaphragm 52 that constitutes the pressure chamber 58. The other end of the piezoelectric element 59 is fixed to a base (not shown) that supports the entire droplet discharge head 20 via a fixing plate (not shown).
The piezoelectric element 59 has an active portion in which an electrode layer and a piezoelectric material are laminated. By applying a driving voltage to the electrode layer, the active portion is in the longitudinal direction (the diaphragm 52 in FIG. 2B or FIG. 2C). Shrink in the thickness direction). By contracting the active portion, the diaphragm 52 to which one end of the piezoelectric element 59 is fixed receives a force that is pulled to the side opposite to the pressure chamber 58. When the diaphragm 52 is pulled to the opposite side of the pressure chamber 58, the diaphragm 52 is bent to the opposite side of the pressure chamber 58. Thereby, since the volume of the pressure chamber 58 increases, the functional liquid 40 is supplied from the liquid pool 55 to the pressure chamber 58 through the supply port 56. Next, when the driving voltage applied to the electrode layer is released, the active portion returns to the original length, and the piezoelectric element 59 presses the diaphragm 52. When the diaphragm 52 is pressed, it returns to the pressure chamber 58 side. As a result, the volume of the pressure chamber 58 suddenly returns to the original, that is, the volume that has been increased is reduced, so that pressure is applied to the functional liquid 40 filled in the pressure chamber 58, and the pressure chamber 58 communicates with the pressure chamber 58. The functional liquid 40 is discharged as droplets from the discharge nozzle 24 formed in this manner.

＜機能液供給部＞
次に、機能液供給部４の構成について、図３を参照してより詳細に説明する。図３は、機能液供給部の構成を示す模式図である。図３に示すように、機能液供給部４は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３と、第一濾過器７０と第二濾過器８０と、圧力調整弁９０と、配管接続部材９６と、これらのタンクなどの間及び液滴吐出ヘッド２０を連通して機能液４０を機能液タンク４１から液滴吐出ヘッド２０へ供給する供給管４６と、を備えている。また、圧力付与装置６０と、機能液タンク圧力管６４と、サブタンク圧力管６５とを備えている。 <Functional liquid supply unit>
Next, the configuration of the functional liquid supply unit 4 will be described in more detail with reference to FIG. FIG. 3 is a schematic diagram illustrating the configuration of the functional liquid supply unit. As shown in FIG. 3, the functional liquid supply unit 4 includes a functional liquid tank 41, a sub tank 42, a relay tank 43, a first filter 70, a second filter 80, a pressure adjustment valve 90, and piping connection. A member 96 and a supply pipe 46 for supplying the functional liquid 40 from the functional liquid tank 41 to the liquid droplet ejection head 20 through communication between the tanks and the like and the liquid droplet ejection head 20 are provided. Further, a pressure applying device 60, a functional liquid tank pressure pipe 64, and a sub tank pressure pipe 65 are provided.

圧力付与装置６０は、図３に点線で示したように吐出装置制御部６と電気的に接続されている。機能液４０は、機能液タンク４１から供給管４６１（供給管４６）を介してサブタンク４２へ至り、サブタンク４２から供給管４６２（供給管４６）を介して中継タンク４３に至る。さらに、中継タンク４３から供給管４６３（供給管４６）を経由して第一濾過器７０に至り、第一濾過器７０から供給管４６４（供給管４６）を経由して第二濾過器８０に至り、第二濾過器８０から供給管４６５（供給管４６）を経由して圧力調整弁９０に至り、圧力調整弁９０から供給管４６６（供給管４６）を経由して液滴吐出ヘッド２０に供給される。   The pressure applying device 60 is electrically connected to the discharge device control unit 6 as indicated by a dotted line in FIG. The functional liquid 40 reaches the sub tank 42 from the functional liquid tank 41 via the supply pipe 461 (supply pipe 46), and reaches the relay tank 43 from the sub tank 42 via the supply pipe 462 (supply pipe 46). Further, the relay tank 43 leads to the first filter 70 via the supply pipe 463 (supply pipe 46), and from the first filter 70 to the second filter 80 via the supply pipe 464 (supply pipe 46). From the second filter 80 to the pressure adjustment valve 90 via the supply pipe 465 (supply pipe 46), and from the pressure adjustment valve 90 to the droplet discharge head 20 via the supply pipe 466 (supply pipe 46). Supplied.

機能液タンク４１は液滴吐出ヘッド２０に機能液４０を供給するための供給元であって、機能液４０を貯留する貯留部４１ａと貯留栓４１ｂとを有している。貯留栓４１ｂは、貯留部４１ａの開口に嵌合自在であって、嵌合することで、貯留部４１ａの内部を外部と遮断する。貯留栓４１ｂには、圧力付与装置６０に結合されている機能液タンク圧力管６４の一端と、サブタンク４２に連通する供給管４６１の一端とが固定されている。貯留栓４１ｂが貯留部４１ａの開口に嵌合することで、機能液タンク圧力管６４の一端と、供給管４６１の一端とが貯留部４１ａに結合される。圧力付与装置６０が機能液タンク圧力管６４を介して貯留部４１ａの内部の圧力を調整することで、供給管４６１を介して、機能液４０をサブタンク４２へ送出する。機能液タンク４１への機能液４０の補充や新たな機能液４０の充填は、貯留部４１ａに機能液４０を直接補充又は充填することで実行してもよいし、貯留部４１ａを機能液４０が充填された別の貯留部４１ａと交換することで実行してもよい。   The functional liquid tank 41 is a supply source for supplying the functional liquid 40 to the droplet discharge head 20, and includes a storage portion 41 a that stores the functional liquid 40 and a storage plug 41 b. The storage plug 41b can be fitted into the opening of the storage unit 41a, and shuts off the inside of the storage unit 41a from the outside by fitting. One end of a functional liquid tank pressure pipe 64 coupled to the pressure applying device 60 and one end of a supply pipe 461 communicating with the sub tank 42 are fixed to the storage plug 41b. By fitting the storage plug 41b into the opening of the storage part 41a, one end of the functional liquid tank pressure pipe 64 and one end of the supply pipe 461 are coupled to the storage part 41a. The pressure applying device 60 adjusts the pressure inside the reservoir 41 a via the functional liquid tank pressure pipe 64, thereby sending the functional liquid 40 to the sub tank 42 via the supply pipe 461. The replenishment of the functional liquid 40 into the functional liquid tank 41 and the filling of the new functional liquid 40 may be performed by directly replenishing or filling the functional liquid 40 into the storage section 41a, or the storage section 41a may be replaced with the functional liquid 40. It may be executed by exchanging it with another storage part 41a filled with.

サブタンク４２は、サブタンク圧力管６５を介して圧力付与装置６０と結合されており、機能液タンク４１に連通する供給管４６１の一端と、一端が中継タンク４３に結合された供給管４６２の一端とが結合されている。サブタンク４２は、圧力付与装置６０により、内部の圧力が制御されており、液滴吐出ヘッド２０の駆動に応じて機能液４０を中継タンク４３に供給する。サブタンク４２内に機能液４０が存在する状態であれば、機能液タンク４１がなくても機能液４０を中継タンク４３に供給することが可能であり、液滴吐出ヘッド２０への機能液４０の供給を継続すると共に機能液タンク４１を外したり交換したりすることが可能である。   The sub tank 42 is connected to the pressure applying device 60 via the sub tank pressure pipe 65, and one end of the supply pipe 461 communicating with the functional liquid tank 41 and one end of the supply pipe 462 having one end connected to the relay tank 43. Are combined. The sub tank 42 has its internal pressure controlled by the pressure applying device 60, and supplies the functional liquid 40 to the relay tank 43 in accordance with the driving of the droplet discharge head 20. If the functional liquid 40 exists in the sub tank 42, the functional liquid 40 can be supplied to the relay tank 43 without the functional liquid tank 41, and the functional liquid 40 can be supplied to the droplet discharge head 20. It is possible to continue supply and to remove or replace the functional liquid tank 41.

なお、サブタンク４２は、貯留する機能液４０の液面上にステンレスなどの金属板、フッ素系樹脂などのいわゆる落し蓋を設置し、液面と大気とが直接接触する面積を減らすように構成することが好ましい。また、機能液タンク４１においても、サブタンク４２と同様のタンク構成として、サブタンク４２に機能液４０を供給する前に、機能液タンク４１での機能液４０と大気との接触を防止することが好ましい。これにより、機能液４０への気泡の混入、機能液４０の変質を抑制することが可能である。   The sub-tank 42 is configured so that a metal plate such as stainless steel or a so-called dropping lid such as a fluorine resin is installed on the liquid surface of the functional liquid 40 to be stored so as to reduce an area where the liquid surface and the air are in direct contact. Is preferred. Also, in the functional liquid tank 41, it is preferable to prevent the contact between the functional liquid 40 and the atmosphere in the functional liquid tank 41 before supplying the functional liquid 40 to the sub tank 42 as a tank configuration similar to the sub tank 42. . Thereby, it is possible to suppress mixing of bubbles into the functional liquid 40 and alteration of the functional liquid 40.

サブタンク４２から送出された機能液４０は、供給管４６２を介して中継タンク４３に至り、中継タンク４３に一時貯留される。中継タンク４３に一時貯留されている機能液４０の液位を所定の位置に維持することで、当該液位と吐出ノズル２４との水頭差を適切な値に維持して、吐出ノズル２４における機能液４０の液圧を適切な値に維持する。液滴吐出ヘッド２０における機能液４０の吐出量に応じて、サブタンク４２から中継タンク４３に、中継タンク４３から液滴吐出ヘッド２０に供給された量と略同量の機能液４０を供給することで、中継タンク４３に貯留されている機能液４０の液位を所定の位置に維持する。吐出ノズル２４における機能液４０の液圧を適切な値に維持することで、吐出ノズル２４からの機能液４０の液だれが抑制されると共に、機能液４０の吐出量が設計上意図したものとなる。中継タンク４３が、水頭圧力タンク又は液状体を貯留する貯留部に相当する。本実施形態では省略したが、機能液４０に、上述したように気泡が混入したり、大気が溶解したりすることによって吐出特性が損なわれる場合には、混入した気泡や溶解した気体を抜くための脱気装置が用いられる。脱気装置は、サブタンク４２と中継タンク４３との間に配設することが好ましい。   The functional liquid 40 delivered from the sub tank 42 reaches the relay tank 43 via the supply pipe 462 and is temporarily stored in the relay tank 43. By maintaining the liquid level of the functional liquid 40 temporarily stored in the relay tank 43 at a predetermined position, the water head difference between the liquid level and the discharge nozzle 24 is maintained at an appropriate value. The hydraulic pressure of the liquid 40 is maintained at an appropriate value. According to the discharge amount of the functional liquid 40 in the droplet discharge head 20, the functional liquid 40 is supplied from the sub tank 42 to the relay tank 43 and substantially the same amount as that supplied from the relay tank 43 to the droplet discharge head 20. Thus, the liquid level of the functional liquid 40 stored in the relay tank 43 is maintained at a predetermined position. By maintaining the hydraulic pressure of the functional liquid 40 at the discharge nozzle 24 at an appropriate value, dripping of the functional liquid 40 from the discharge nozzle 24 is suppressed, and the discharge amount of the functional liquid 40 is designed as intended. Become. The relay tank 43 corresponds to a water head pressure tank or a storage part that stores a liquid material. Although omitted in the present embodiment, in the case where the discharge characteristics are impaired by bubbles mixed in the functional liquid 40 as described above or the atmosphere is dissolved as described above, the mixed bubbles and dissolved gas are removed. The deaeration device is used. The deaeration device is preferably disposed between the sub tank 42 and the relay tank 43.

吐出ノズル２４における機能液４０の液圧の適切な値は、機能液４０の粘性などの特性によって異なる値となる。吐出ノズル２４における機能液４０の液圧の適切な値に対応する中継タンク４３に貯留されている機能液４０の液位も異なる液位となる。したがって、中継タンク４３における機能液４０の液位は、機能液４０の特性に応じて適宜設定することが好ましい。設定された中継タンク４３における機能液４０の液位を維持するように、圧力付与装置６０を駆動して、サブタンク４２から中継タンク４３に機能液４０を供給する。   An appropriate value of the hydraulic pressure of the functional liquid 40 in the discharge nozzle 24 varies depending on characteristics such as the viscosity of the functional liquid 40. The liquid level of the functional liquid 40 stored in the relay tank 43 corresponding to an appropriate value of the liquid pressure of the functional liquid 40 in the discharge nozzle 24 also becomes a different liquid level. Therefore, the liquid level of the functional liquid 40 in the relay tank 43 is preferably set as appropriate according to the characteristics of the functional liquid 40. The pressure applying device 60 is driven so as to maintain the set level of the functional liquid 40 in the relay tank 43, and the functional liquid 40 is supplied from the sub tank 42 to the relay tank 43.

中継タンク４３から送出された機能液４０は、供給管４６３を介して第一濾過器７０に送られる。
第一濾過器７０は、濾過タンク７１と、第一フィルター７４とを備えている。濾過タンク７１は、略円柱形状の外形を有し、中に略円柱形状の空間である濾過流路７８が形成されている。第一濾過器７０は、濾過タンク７１が上述したヘッドキャリッジ２２に固定されることで、ヘッドキャリッジ２２に保持されている。
濾過タンク７１がヘッドキャリッジ２２に固定された状態で、濾過タンク７１の重力加速度方向の下側には、濾過流路７８から濾過タンク７１の外部に連通する流入口７６が形成されている。濾過タンク７１がヘッドキャリッジ２２に固定された状態で、濾過タンク７１の重力加速度方向の上側には、濾過流路７８から濾過タンク７１の外部に連通する流出口７７が形成されている。流入口７６は、濾過タンク７１に接続された供給管４６３の流路と連通している。流出口７７は、濾過タンク７１に接続された供給管４６４の流路と連通している。 The functional liquid 40 sent from the relay tank 43 is sent to the first filter 70 through the supply pipe 463.
The first filter 70 includes a filtration tank 71 and a first filter 74. The filtration tank 71 has a substantially cylindrical outer shape, and a filtration flow path 78 that is a substantially cylindrical space is formed therein. The first filter 70 is held by the head carriage 22 by fixing the filtration tank 71 to the head carriage 22 described above.
In the state where the filtration tank 71 is fixed to the head carriage 22, an inflow port 76 that communicates from the filtration flow path 78 to the outside of the filtration tank 71 is formed on the lower side of the filtration tank 71 in the gravitational acceleration direction. In the state where the filtration tank 71 is fixed to the head carriage 22, an outlet 77 that communicates from the filtration flow path 78 to the outside of the filtration tank 71 is formed above the filtration tank 71 in the gravitational acceleration direction. The inflow port 76 communicates with the flow path of the supply pipe 463 connected to the filtration tank 71. The outlet 77 communicates with the flow path of the supply pipe 464 connected to the filtration tank 71.

第一フィルター７４は、濾過材７３と保持部材７２とを備えている。第一フィルター７４は、例えば濾過材７３が略円筒形状を有するカプセル型フィルターである。第一フィルター７４を構成する濾過材７３は、蛇腹状に折られた濾過材素材を折れ線の方向が円筒の軸方向となるように略円筒形状にした、いわゆるプリーツ加工をしたものである。濾過材７３は、略円筒形状の内径に勘合した保持部材７２の保持部７２ａによって略円筒形状が維持されている。円筒形状の一端は、保持部材７２の端板７２ｂによって覆われて、塞がれている。円筒形状のもう一端は、保持部材７２の端板７２ｃによって覆われており、濾過材７３の端面が中心に穴が形成された略円板形状を有する端板７２ｃによって塞がれると共に、濾過材７３の円筒の穴は、端板７２ｃの穴に連通している濾過材７３は、端板７２ｃの穴が流出口７７に連通する状態で、濾過タンク７１に固定されている。これにより、濾過タンク７１の濾過流路７８は、第一フィルター７４によって２つの部分に分けられている。二分された濾過流路７８の流入口７６と連通する側を、一次側流路７８ａと表記し、流出口７７と連通する側を、二次側流路７８ｂと表記する。
流入口７６から流入した機能液４０は、一次側流路７８ａから濾過材７３を透過してのみ、二次側流路７８ｂに流入可能であり、濾過材７３を透過することで濾過される。濾過された機能液４０は、流出口７７から送出される。
第一濾過器７０が、濾過手段に相当する。第一フィルター７４が、濾過フィルターに相当する。
第一フィルター７４は、濾過タンク７１に固定されており、濾過タンク７１が上述したヘッドキャリッジ２２に固定されることで、ヘッドキャリッジ２２と一体に移動可能である。 The first filter 74 includes a filtering material 73 and a holding member 72. The first filter 74 is, for example, a capsule filter in which the filter medium 73 has a substantially cylindrical shape. The filter medium 73 constituting the first filter 74 is a so-called pleated process in which a filter medium material folded in a bellows shape is formed into a substantially cylindrical shape so that the direction of the broken line is the axial direction of the cylinder. The filter medium 73 is maintained in a substantially cylindrical shape by the holding portion 72a of the holding member 72 fitted into the substantially cylindrical inner diameter. One end of the cylindrical shape is covered and closed by an end plate 72b of the holding member 72. The other end of the cylindrical shape is covered with an end plate 72c of the holding member 72, and the end surface of the filter material 73 is closed by an end plate 72c having a substantially disc shape with a hole formed in the center. The cylindrical hole 73 is in communication with the hole of the end plate 72 c and the filter medium 73 is fixed to the filtration tank 71 with the hole of the end plate 72 c in communication with the outlet 77. Thereby, the filtration flow path 78 of the filtration tank 71 is divided into two parts by the first filter 74. The side of the divided filtration channel 78 that communicates with the inlet 76 is referred to as a primary channel 78a, and the side that communicates with the outlet 77 is referred to as a secondary channel 78b.
The functional liquid 40 that has flowed in from the inflow port 76 can flow into the secondary side flow path 78 b only through the filter medium 73 from the primary flow path 78 a, and is filtered by passing through the filter medium 73. The filtered functional liquid 40 is sent out from the outlet 77.
The first filter 70 corresponds to the filtering means. The first filter 74 corresponds to a filtration filter.
The first filter 74 is fixed to the filtration tank 71, and can be moved integrally with the head carriage 22 by fixing the filtration tank 71 to the head carriage 22 described above.

流出口７７から送出された機能液４０は、流出口７７が連通する供給管４６４を通って、供給管４６４のもう一端が接続された第二濾過器８０に送られる。
第二濾過器８０は、濾過タンク８１と、第二フィルター８４とを備えている。濾過タンク８１は、略円柱形状の外形を有し、中に略円柱形状の空間である濾過流路８８が形成されている。第二濾過器８０は、濾過タンク８１が上述したヘッドキャリッジ２２に固定されることで、ヘッドキャリッジ２２に保持されている。濾過タンク８１がヘッドキャリッジ２２に固定された状態で、濾過タンク８１の重力加速度方向の下側には、濾過流路８８から濾過タンク８１の外部に連通する流入口８６が形成されている。濾過タンク８１がヘッドキャリッジ２２に固定された状態で、濾過タンク８１の重力加速度方向の上側には、濾過流路８８から濾過タンク８１の外部に連通する流出口８７が形成されている。流入口８６は、濾過タンク８１に接続された供給管４６４の流路と連通している。流出口８７は、圧力調整弁９０に接続された供給管４６５の流路と連通している。 The functional liquid 40 delivered from the outlet 77 passes through the supply pipe 464 with which the outlet 77 communicates, and is sent to the second filter 80 to which the other end of the supply pipe 464 is connected.
The second filter 80 includes a filtration tank 81 and a second filter 84. The filtration tank 81 has a substantially cylindrical outer shape, and a filtration flow path 88 that is a substantially cylindrical space is formed therein. The second filter 80 is held by the head carriage 22 by the filtration tank 81 being fixed to the head carriage 22 described above. In the state where the filtration tank 81 is fixed to the head carriage 22, an inflow port 86 that communicates from the filtration flow path 88 to the outside of the filtration tank 81 is formed below the filtration tank 81 in the gravitational acceleration direction. In the state where the filtration tank 81 is fixed to the head carriage 22, an outlet 87 that communicates from the filtration flow path 88 to the outside of the filtration tank 81 is formed above the filtration tank 81 in the gravitational acceleration direction. The inflow port 86 communicates with the flow path of the supply pipe 464 connected to the filtration tank 81. The outlet 87 communicates with the flow path of the supply pipe 465 connected to the pressure regulating valve 90.

第二フィルター８４は、例えば、濾過材が略円板形状を有するディスク型フィルターである。第二フィルター８４は、略円板形状の外周が図示省略した保持部材を介して、略円柱形状の空間を形成する濾過タンク８１の内壁に固定されている。これにより、濾過タンク８１の濾過流路８８は、第二フィルター８４によって２つの部分に分けられている。二分された濾過流路８８の流入口８６と連通する側を、一次側流路８８ａと表記し、流出口８７と連通する側を、二次側流路８８ｂと表記する。
流入口８６から流入した機能液４０は、一次側流路８８ａから第二フィルター８４を透過してのみ、二次側流路８８ｂに流入可能であり、第二フィルター８４を透過することで濾過される。濾過された機能液４０は、流出口８７から送出される。 The second filter 84 is, for example, a disk type filter in which the filter medium has a substantially disk shape. The second filter 84 is fixed to the inner wall of the filtration tank 81 that forms a substantially cylindrical space via a holding member whose outer periphery having a substantially disk shape is not shown. Thereby, the filtration flow path 88 of the filtration tank 81 is divided into two parts by the second filter 84. The side of the bisected filtration channel 88 that communicates with the inlet 86 is referred to as a primary channel 88a, and the side that communicates with the outlet 87 is referred to as a secondary channel 88b.
The functional liquid 40 flowing in from the inflow port 86 can flow into the secondary side flow path 88b only through the second filter 84 from the primary side flow path 88a, and is filtered by passing through the second filter 84. The The filtered functional liquid 40 is sent out from the outlet 87.

流出口８７から送出された機能液４０は、流出口８７が連通する供給管４６５を通って、供給管４６５のもう一端が接続された圧力調整弁９０に送られる。図３では図示省略したが、供給管４６５は途中で分岐しており、１個の濾過タンク８１に対して、供給管４６５を介して、複数の圧力調整弁９０が接続されている。圧力調整弁９０には、供給管４６６及び配管接続部材９６を介して液滴吐出ヘッド２０の接続針２６ａが接続されている。
供給管４６３と、供給管４６４と、供給管４６５とが、供給路に相当する。 The functional liquid 40 delivered from the outlet 87 passes through the supply pipe 465 that communicates with the outlet 87 and is sent to the pressure regulating valve 90 to which the other end of the supply pipe 465 is connected. Although not shown in FIG. 3, the supply pipe 465 is branched in the middle, and a plurality of pressure regulating valves 90 are connected to one filtration tank 81 via the supply pipe 465. A connection needle 26 a of the droplet discharge head 20 is connected to the pressure adjustment valve 90 via a supply pipe 466 and a pipe connection member 96.
The supply pipe 463, the supply pipe 464, and the supply pipe 465 correspond to the supply path.

圧力調整弁９０は、例えば大気圧を利用して、流入した機能液４０の液圧を一定の液圧に調整して出力するため、液滴吐出ヘッド２０に供給される機能液４０の液圧が一定の液圧に調整される。
圧力調整弁９０は、ユニットプレート９４に立設された調整弁支持枠９１に固定されて、ヘッドユニット２１を構成するユニットプレート９４に固定されている。ユニットプレート９４には、ヘッド保持部材９２を介して液滴吐出ヘッド２０が固定されている。ユニットプレート９４がヘッドキャリッジ２２に保持されることによって、ヘッドユニット２１がヘッドキャリッジ２２に保持されている。
圧力調整弁９０が、圧力制御手段に相当する。 The pressure adjusting valve 90 adjusts and outputs the fluid pressure of the functional liquid 40 that has flowed into the fluid pressure, for example, using atmospheric pressure, so that the fluid pressure of the functional liquid 40 supplied to the droplet discharge head 20 is output. Is adjusted to a constant hydraulic pressure.
The pressure adjustment valve 90 is fixed to an adjustment valve support frame 91 erected on the unit plate 94, and is fixed to the unit plate 94 constituting the head unit 21. The droplet discharge head 20 is fixed to the unit plate 94 via a head holding member 92. By holding the unit plate 94 on the head carriage 22, the head unit 21 is held on the head carriage 22.
The pressure adjustment valve 90 corresponds to a pressure control unit.

圧力調整弁９０から送出された機能液４０は、供給管４６６及び配管接続部材９６を介して、接続針２６ａから液滴吐出ヘッド２０に供給される。   The functional liquid 40 delivered from the pressure adjustment valve 90 is supplied to the droplet discharge head 20 from the connection needle 26a via the supply pipe 466 and the pipe connection member 96.

機能液４０は、機能液タンク４１からサブタンク４２に送出され、圧力付与装置６０によって圧力が加えられ、サブタンク４２から中継タンク４３に圧送され、中継タンク４３に一時貯留される。中継タンク４３から液滴吐出ヘッド２０へは、中継タンク４３における機能液４０の液位と液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル２４の位置とのいわゆる水頭差によって、機能液４０が送られる。機能液４０は、第一濾過器７０及び第二濾過器８０を通過することで、異物が除去される。圧力調整弁９０において、機能液４０の液圧が一定の液圧に調整されることで、液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル２４の位置における機能液４０の液圧が適切な液圧に調整される。   The functional liquid 40 is sent from the functional liquid tank 41 to the sub tank 42, pressure is applied by the pressure applying device 60, the pressure is fed from the sub tank 42 to the relay tank 43, and is temporarily stored in the relay tank 43. The functional liquid 40 is sent from the relay tank 43 to the droplet discharge head 20 by a so-called water head difference between the liquid level of the functional liquid 40 in the relay tank 43 and the position of the discharge nozzle 24 of the droplet discharge head 20. The functional liquid 40 passes through the first filter 70 and the second filter 80 to remove foreign matters. In the pressure adjusting valve 90, the hydraulic pressure of the functional liquid 40 is adjusted to a constant hydraulic pressure, so that the hydraulic pressure of the functional liquid 40 at the position of the discharge nozzle 24 of the droplet discharge head 20 is adjusted to an appropriate hydraulic pressure. The

＜液晶表示パネルの構成＞
次に、上述した液滴吐出装置１を用いて機能液４０のような機能液を配置して製造されるデバイスの一例である液晶表示装置を構成する液晶表示パネルの対向基板（カラーフィルター基板）について説明する。最初に、液晶表示パネルについて説明する。図４は、液晶表示パネルの構造を示す概略図である。図４（ａ）は、液晶表示パネルについて、各構成要素とともに対向基板側から見た平面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）にＡ−Ａで示した断面における断面形状を示す概略断面図である。 <Configuration of LCD panel>
Next, a counter substrate (color filter substrate) of a liquid crystal display panel constituting a liquid crystal display device which is an example of a device manufactured by arranging a functional liquid such as the functional liquid 40 using the above-described droplet discharge device 1 Will be described. First, a liquid crystal display panel will be described. FIG. 4 is a schematic view showing the structure of the liquid crystal display panel. FIG. 4A is a plan view of the liquid crystal display panel as viewed from the counter substrate side together with each component, and FIG. 4B is a cross-sectional shape in the cross section indicated by AA in FIG. It is a schematic sectional drawing which shows.

図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、液晶表示パネル１１０は、素子基板１０１と、対向基板１０２と、シール材１０４によって接着された素子基板１０１と対向基板１０２との隙間に充填された液晶１０８とを備えている。素子基板１０１は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子１０３及び画素電極１０６ｂを有しており、対向基板１０２は、対向電極１０６ａ及びカラーフィルター１０５を有している。素子基板１０１は対向基板１０２より一回り大きく額縁状に張り出した状態となっている。   As shown in FIGS. 4A and 4B, the liquid crystal display panel 110 is filled in a gap between the element substrate 101, the counter substrate 102, and the element substrate 101 and the counter substrate 102 bonded by the sealant 104. Liquid crystal 108. The element substrate 101 includes a TFT (Thin Film Transistor) element 103 and a pixel electrode 106b, and the counter substrate 102 includes a counter electrode 106a and a color filter 105. The element substrate 101 protrudes in a frame shape that is slightly larger than the counter substrate 102.

素子基板１０１は、厚さおよそ１．２ｍｍの石英ガラス基板を用いており、その表面には画素を構成する画素電極１０６ｂと、画素電極１０６ｂに接続されたＴＦＴ素子１０３が形成されている。対向基板１０２は、厚みがおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板１０２ａを用いており、共通電極としての対向電極１０６ａが設けられている。また、対向基板１０２には、画素電極１０６ｂと対向する位置に色要素膜１１５（図６参照）が形成されたカラーフィルター１０５が設けられている。色要素膜１１５は、有色透明な膜であって、カラーフィルター１０５において、透過する光の色を変えるフィルター膜である。   As the element substrate 101, a quartz glass substrate having a thickness of about 1.2 mm is used, and a pixel electrode 106b constituting a pixel and a TFT element 103 connected to the pixel electrode 106b are formed on the surface thereof. The counter substrate 102 uses a glass substrate 102a made of transparent quartz glass having a thickness of approximately 1.0 mm, and is provided with a counter electrode 106a as a common electrode. The counter substrate 102 is provided with a color filter 105 in which a color element film 115 (see FIG. 6) is formed at a position facing the pixel electrode 106b. The color element film 115 is a colored transparent film, and is a filter film that changes the color of light transmitted through the color filter 105.

＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板１０２Ａについて、図５を参照して説明する。図５は、マザー対向基板の構造を模式的に示す平面図である。図５（ａ）は、マザー対向基板として形成される対向基板の平面構造を模式的に示す平面図であり、図５（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図である。
対向基板１０２は、分割されてガラス基板１０２ａとなるマザー対向基板１０２Ａの上に上述したカラーフィルター１０５などを形成した後、マザー対向基板１０２Ａを個別の対向基板１０２（ガラス基板１０２ａ）に分割して形成される。なお、本実施形態においては、マザー対向基板１０２Ａの上にカラーフィルター１０５などを形成したものや、カラーフィルター１０５などを形成する途中の状態のものも、マザー対向基板１０２Ａと表記する。 <Mother counter substrate>
Next, the mother counter substrate 102A will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a plan view schematically showing the structure of the mother counter substrate. FIG. 5A is a plan view schematically showing the planar structure of the counter substrate formed as the mother counter substrate, and FIG. 5B is a plan view schematically showing the planar structure of the mother counter substrate. is there.
The counter substrate 102 is divided into the glass counter substrate 102A to form the above-described color filter 105 on the mother counter substrate 102A, and then the mother counter substrate 102A is divided into individual counter substrates 102 (glass substrates 102a). It is formed. In the present embodiment, a substrate in which the color filter 105 or the like is formed on the mother counter substrate 102A or a state in the middle of forming the color filter 105 or the like is also referred to as a mother counter substrate 102A.

図５（ａ）に示すように、対向基板１０２は、ガラス基板１０２ａの周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、カラーフィルター１０５が形成されている。カラーフィルター１０５は、方形状のガラス基板１０２ａの表面に複数の色要素膜領域１１２をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該色要素膜領域１１２に色要素膜１１５を形成することによって形成されている。   As shown in FIG. 5A, the counter substrate 102 has a color filter 105 formed in a portion excluding a slight frame region around the glass substrate 102a. The color filter 105 forms a plurality of color element film regions 112 in a dot pattern shape, in the present embodiment in the form of a dot matrix, on the surface of a rectangular glass substrate 102 a, and a color element film 115 is formed in the color element film region 112. It is formed by forming.

図５（ｂ）に示すように、マザー対向基板１０２Ａには、対向基板１０２のカラーフィルター１０５が、分割されてガラス基板１０２ａとなる部分のそれぞれに形成されている。   As shown in FIG. 5B, in the mother counter substrate 102A, the color filter 105 of the counter substrate 102 is formed on each of the portions to be divided into glass substrates 102a.

＜カラーフィルター＞
次に、対向基板１０２に形成されているカラーフィルター１０５及びカラーフィルター１０５における色要素膜１１５（赤色色要素膜１１５Ｒ、緑色色要素膜１１５Ｇ、及び青色色要素膜１１５Ｂ）の配列について、図６を参照して説明する。図６は、３色カラーフィルターの色要素膜の配列例を示す模式平面図である。 <Color filter>
Next, FIG. 6 shows an arrangement of the color filter 105 and the color element film 115 (the red color element film 115R, the green color element film 115G, and the blue color element film 115B) in the color filter 105 formed on the counter substrate 102. The description will be given with reference. FIG. 6 is a schematic plan view illustrating an arrangement example of the color element films of the three-color filter.

図６に示すように、色要素膜１１５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁１１６によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状の色要素膜領域１１２を色材で埋めることによって形成される。例えば、色要素膜１１５を構成する色材を含む機能液を色要素膜領域１１２に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を固化させることで、色要素膜領域１１２を埋める膜状の色要素膜１１５を形成する。   As shown in FIG. 6, the color element film 115 is composed of a plurality of, for example, square color elements which are partitioned by partition walls 116 formed in a lattice pattern by a resin material having no translucency and arranged in a dot matrix. The film region 112 is formed by filling with a color material. For example, a film that fills the color element film region 112 by filling the color element film region 112 with a functional liquid that includes the color material constituting the color element film 115 and evaporating the solvent of the functional liquid to solidify the functional liquid. A color element film 115 is formed.

３色カラーフィルターにおける赤色色要素膜１１５Ｒ、緑色色要素膜１１５Ｇ、及び青色色要素膜１１５Ｂの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。ストライプ配列は、図６（ａ）に示したように、マトリクスの縦列が全て同色の赤色色要素膜１１５Ｒ、緑色色要素膜１１５Ｇ、又は青色色要素膜１１５Ｂになる配列である。モザイク配列は、図６（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとに色要素膜１１５を１個分だけ色をずらした配列で、３色フィルターの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つの色要素膜１１５が３色となる配列である。デルタ配列は、図６（ｃ）に示したように、色要素膜１１５の配置を段違いにし、３色フィルターの場合、任意の隣接する３つの色要素膜１１５が異なる色となる配色である。   As an arrangement of the red color element film 115R, the green color element film 115G, and the blue color element film 115B in the three-color filter, for example, a stripe arrangement, a mosaic arrangement, a delta arrangement, and the like are known. As shown in FIG. 6A, the stripe arrangement is an arrangement in which all the columns of the matrix become the same color red element film 115R, green element film 115G, or blue element film 115B. As shown in FIG. 6B, the mosaic arrangement is an arrangement in which the color element film 115 is shifted by one color for each row in the horizontal direction. In the case of a three-color filter, the mosaic arrangement is arranged on vertical and horizontal straight lines. Arbitrary three color element films 115 are arranged in three colors. As shown in FIG. 6C, the delta arrangement is a color arrangement in which the arrangement of the color element films 115 is different, and in the case of a three-color filter, any three adjacent color element films 115 have different colors.

図６（ａ）、（ｂ）、又は（ｃ）に示した３色フィルターにおいて、色要素膜１１５は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成された赤色色要素膜１１５Ｒ、緑色色要素膜１１５Ｇ、及び青色色要素膜１１５Ｂを各１個ずつ含む色要素膜１１５の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルター（以降、「絵素フィルター１１４」と表記する。）を形成している。１個の絵素フィルター１１４内の赤色色要素膜１１５Ｒ、緑色色要素膜１１５Ｇ、及び青色色要素膜１１５Ｂのいずれか１個又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、さらに、通過させる光の光量を調整することによりフルカラー表示を行う。   In the three-color filter shown in FIGS. 6A, 6B, or 6C, each of the color element films 115 is any one of R (red), G (green), and B (blue). It is formed of one color material. A filter of a picture element that is a minimum unit constituting an image in a set of color element films 115 each including a red color element film 115R, a green color element film 115G, and a blue color element film 115B formed adjacent to each other. (Hereinafter referred to as “picture element filter 114”). By selectively allowing light to pass through any one of or a combination of the red color element film 115R, the green color element film 115G, and the blue color element film 115B in one picture element filter 114, the light passes further. Full color display is performed by adjusting the amount of light to be generated.

正確な色調を実現するためには、複数の色要素膜１１５におけるそれぞれの膜厚のばらつきが小さいことが必要であり、それぞれの色要素膜１１５における膜厚の部分的な違いが小さいことが必要である。複数の色要素膜１１５におけるそれぞれの膜厚のばらつきを小さくするために、各色要素膜領域１１２に配置する機能液の量が正確であることが好ましい。それぞれの色要素膜１１５における膜厚の部分的な違いを小さくするために、それぞれの色要素膜領域１１２における機能液の配置位置（機能液の液滴の着弾位置）が正確であることが好ましい。   In order to realize an accurate color tone, it is necessary that variations in the thickness of each of the plurality of color element films 115 are small, and a partial difference in film thickness in each of the color element films 115 is required to be small. It is. In order to reduce the variation in the thickness of each of the plurality of color element films 115, it is preferable that the amount of the functional liquid disposed in each color element film region 112 is accurate. In order to reduce a partial difference in film thickness in each color element film 115, it is preferable that the arrangement position of the functional liquid (the landing position of the liquid droplet of the functional liquid) in each color element film region 112 is accurate. .

＜濾過特性＞
次に、第一濾過器７０と第二濾過器８０とによる濾過特性について、図７を参照して説明する。図７は、第一濾過器及び第二濾過器による濾過結果を示す図である。図７（ａ）は、第一フィルターを通過する流速と濾過結果との関係を示す図であり、図７（ｂ）は、第一フィルターの濾過精度と濾過結果との関係を示す図である。 <Filtration properties>
Next, the filtration characteristics of the first filter 70 and the second filter 80 will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a diagram showing the results of filtration by the first filter and the second filter. FIG. 7A is a diagram showing the relationship between the flow rate passing through the first filter and the filtration result, and FIG. 7B is a diagram showing the relationship between the filtration accuracy of the first filter and the filtration result. .

図７（ａ）は、赤色色要素膜１１５Ｒ、緑色色要素膜１１５Ｇ、又は青色色要素膜１１５Ｂを形成するために液滴吐出装置１を用いて配置する機能液４０である赤色用機能液、緑色用機能液、又は青色用機能液が含んでいた異物の数を示している。第一濾過器７０の第一フィルター７４の濾過精度は５μｍであり、第二濾過器８０の第二フィルター８４の濾過精度は３μｍである。異物の数は機能液５ｍｌあたりの数である。赤色用機能液、緑色用機能液、及び青色用機能液は、液滴吐出ヘッド２０に供給される直前の位置で採取した。   FIG. 7A shows a functional liquid for red, which is a functional liquid 40 disposed using the droplet discharge device 1 to form the red color element film 115R, the green color element film 115G, or the blue color element film 115B. The number of foreign substances contained in the green functional liquid or the blue functional liquid is shown. The filtration accuracy of the first filter 74 of the first filter 70 is 5 μm, and the filtration accuracy of the second filter 84 of the second filter 80 is 3 μm. The number of foreign matters is the number per 5 ml of functional liquid. The red functional liquid, the green functional liquid, and the blue functional liquid were collected at a position immediately before being supplied to the droplet discharge head 20.

図７（ａ）に示すように、赤色用機能液は、第一濾過器７０及び第二濾過器８０がない状態では、６０個の異物が存在し、流速０．０５（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）では異物は存在せず、流速０．５（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）では１個の異物が残存し、流速１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）では３個の異物が残存し、流速２．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）では１２個の異物が残存していた。すなわち、流速１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）以下では、９５％以上の異物が除去されている。
緑色用機能液は、第一濾過器７０及び第二濾過器８０がない状態では、１２０個の異物が存在し、流速０．０５（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）では３個の異物が残存し、流速０．５（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）では５個の異物が残存し、流速１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）では８個の異物が残存し、流速２．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）では６０個の異物が残存していた。すなわち、流速１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）以下では、９３％以上の異物が除去されている。
青色用機能液は、第一濾過器７０及び第二濾過器８０がない状態では、９０個の異物が存在し、流速０．０５（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）では２個の異物が残存し、流速０．５（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）では３個の異物が残存し、流速１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）では４個の異物が残存し、流速２．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）では２０個の異物が残存していた。すなわち、流速１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）以下では、９５％以上の異物が除去されている。 As shown in FIG. 7 (a), the functional liquid for red has 60 foreign substances in the state without the first filter 70 and the second filter 80, and has a flow rate of 0.05 (mL / min · cm). 2 ) No foreign matter exists, one foreign matter remains at a flow rate of 0.5 (mL / min · cm 2 ), and three foreign matters remain at a flow rate of 1.0 (mL / min · cm 2 ). 12 foreign substances remained at a flow rate of 2.0 (mL / min · cm 2 ). That is, at a flow rate of 1.0 (mL / min · cm 2 ) or less, 95% or more of foreign matter is removed.
The functional liquid for green has 120 foreign matters in the absence of the first filter 70 and the second filter 80, and three foreign matters remain at a flow rate of 0.05 (mL / min · cm 2 ). 5 foreign substances remain at a flow rate of 0.5 (mL / min · cm 2 ), 8 foreign substances remain at a flow rate of 1.0 (mL / min · cm 2 ), and a flow rate of 2.0 (mL / min / cm 2 ). In the case of min · cm 2 ), 60 foreign substances remained. That is, at a flow rate of 1.0 (mL / min · cm 2 ) or less, 93% or more of foreign matters are removed.
In the state where the first filter 70 and the second filter 80 are not present, the blue functional liquid has 90 foreign matters, and two foreign matters remain at a flow rate of 0.05 (mL / min · cm 2 ). , 3 foreign substances remain at a flow rate of 0.5 (mL / min · cm 2 ), 4 foreign substances remain at a flow rate of 1.0 (mL / min · cm 2 ), and a flow rate of 2.0 (mL / min / cm 2 ). In the case of min · cm 2 ), 20 foreign substances remained. That is, at a flow rate of 1.0 (mL / min · cm 2 ) or less, 95% or more of foreign matter is removed.

第一濾過器７０及び第二濾過器８０を用いることで、機能液を濾過して異物の多くを除去することができる。流速１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）以下では、残存する異物の数が数個以下であり、充分な異物除去効果が認められる。
本実施形態の液滴吐出装置１において第一フィルター７４及び第二フィルター８４を通過する機能液の速度が最大になるのは、液滴吐出ヘッド２０の保守のために機能液を流動させる場合であり、この場合の流速は０．８（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）程度である。したがって、この場合も流速は１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）以下であり、第一フィルター７４及び第二フィルター８４を用いることで、充分な異物除去効果を得ることが可能である。 By using the first filter 70 and the second filter 80, it is possible to filter the functional liquid and remove most of the foreign matters. When the flow rate is 1.0 (mL / min · cm 2 ) or less, the number of remaining foreign matters is several or less, and a sufficient foreign matter removing effect is recognized.
The speed of the functional liquid passing through the first filter 74 and the second filter 84 in the liquid droplet ejection apparatus 1 of the present embodiment is maximized when the functional liquid is flowed for maintenance of the liquid droplet ejection head 20. In this case, the flow rate is about 0.8 (mL / min · cm 2 ). Accordingly, in this case as well, the flow rate is 1.0 (mL / min · cm 2 ) or less, and by using the first filter 74 and the second filter 84, a sufficient foreign matter removing effect can be obtained.

なお、第一フィルター７４における機能液４０が通過する部分の断面積にくらべて、第二フィルター８４における機能液４０が通過する部分の断面積が小さいため、第二フィルター８４を通過する機能液４０の速度は、図７（ａ）に示した第一フィルター７４を通過する機能液４０の速度より大きい。このため、ゲル状異物の濾過については、第二フィルター８４の寄与は小さいと考えられる。第一フィルター７４によって、ゲル状異物及び大きさが５μｍ以上の固形異物が捕捉され、第二フィルター８４によって、大きさが５μｍ未満で第一フィルター７４によって捕捉されなかった大きさが３μｍ以上の固形異物、及び第一フィルター７４から脱落した固形異物が捕捉されている。   Since the cross-sectional area of the portion of the second filter 84 through which the functional liquid 40 passes is smaller than the cross-sectional area of the portion of the first filter 74 through which the functional liquid 40 passes, the functional liquid 40 that passes through the second filter 84. Is higher than the speed of the functional liquid 40 passing through the first filter 74 shown in FIG. For this reason, it is thought that the contribution of the second filter 84 is small for the filtration of the gel-like foreign matter. The first filter 74 captures gel-like foreign matters and solid foreign matters having a size of 5 μm or more, and the second filter 84 provides solids having a size of less than 5 μm and not captured by the first filter 74 of 3 μm or more. Foreign matters and solid foreign matters dropped from the first filter 74 are captured.

図７（ｂ）は、第一フィルター７４及び第二フィルター８４の濾過精度ごとの緑色用機能液が含んでいた異物の数を示している。第一濾過器７０の第一フィルター７４の濾過精度は０．５から１５μｍであり、第二濾過器８０の第二フィルター８４の濾過精度も０．５から１５μｍである。異物の数は機能液５ｍｌあたりの数である。緑色用機能液は、液滴吐出ヘッド２０に供給される直前の位置で採取した。濾過精度が０．５μｍ未満のフィルターを用いると、機能液の通液に支障をきたす場合があるため、濾過精度の最小値を０．５μｍとした。第一フィルター７４を透過する緑色用機能液の流速は、１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ2）である。 FIG. 7B shows the number of foreign matters contained in the green functional liquid for each filtration accuracy of the first filter 74 and the second filter 84. The filtration accuracy of the first filter 74 of the first filter 70 is 0.5 to 15 μm, and the filtration accuracy of the second filter 84 of the second filter 80 is also 0.5 to 15 μm. The number of foreign matters is the number per 5 ml of functional liquid. The green functional liquid was collected at a position immediately before being supplied to the droplet discharge head 20. When a filter with a filtration accuracy of less than 0.5 μm is used, there is a possibility that the functional fluid may be passed. Therefore, the minimum value of the filtration accuracy is set to 0.5 μm. The flow rate of the green functional fluid that passes through the first filter 74 is 1.0 (mL / min · cm 2 ).

図７（ｂ）に示すように、第一濾過器７０及び第二濾過器８０がない状態では、１２０個の異物が存在していた。
第一フィルター７４の濾過精度が０．５μｍ、第二フィルター８４の濾過精度が０．５μｍの場合、２個の異物が残存していた。第一フィルター７４の濾過精度が３μｍ、第二フィルター８４の濾過精度が１μｍの場合、４個の異物が残存し、濾過精度が５μｍと３μｍとの場合、８個の異物が残存し、濾過精度が１０ｍと５μｍとの場合、１５個の異物が残存した。第一フィルター７４の濾過精度が１５μｍ、第二フィルター８４の濾過精度も１５μｍの場合、７０個の異物が残存していた。
第一フィルター７４の濾過精度が５μｍ以下の場合には、９３％以上の異物が除去されている。第一フィルター７４の濾過精度が１０μｍの場合には、約８８％の異物が除去されている。濾過精度が１５μｍの場合には、除去できた異物の割合が、約４２％に減少している。 As shown in FIG. 7B, in the state where the first filter 70 and the second filter 80 are not present, 120 foreign substances existed.
When the filtration accuracy of the first filter 74 was 0.5 μm and the filtration accuracy of the second filter 84 was 0.5 μm, two foreign matters remained. When the filtration accuracy of the first filter 74 is 3 μm and the filtration accuracy of the second filter 84 is 1 μm, four foreign matters remain. When the filtration accuracy is 5 μm and 3 μm, eight foreign matters remain, and the filtration accuracy In the case of 10 m and 5 μm, 15 foreign matters remained. When the filtration accuracy of the first filter 74 was 15 μm and the filtration accuracy of the second filter 84 was 15 μm, 70 foreign matters remained.
When the filtration accuracy of the first filter 74 is 5 μm or less, 93% or more of foreign matters are removed. When the filtration accuracy of the first filter 74 is 10 μm, about 88% of foreign matter is removed. When the filtration accuracy is 15 μm, the proportion of foreign matters that can be removed is reduced to about 42%.

＜異物数の変化＞
次に、異物の変化（増加）が確認された例について、図８を参照して説明する。図８は、中継タンクの上流と下流とにおける異物の数の測定値を示す図である。図８は、赤色用機能液、緑色用機能液、又は青色用機能液が含んでいた異物の数を示している。異物の数は機能液５ｍｌあたりの数である。「中継タンク上流」は、赤色用機能液、緑色用機能液、又は青色用機能液が中継タンク４３に流入する前に供給管４６２から抜き取られた機能液４０であることを示しており、「中継タンク下流」は、赤色用機能液、緑色用機能液、又は青色用機能液が中継タンク４３から送出された後に供給管４６３から抜き取られた機能液４０であることを示している。
図８に示すように、赤色用機能液における異物の数は、中継タンク４３の上流における１５個から、下流では６０個に増加している。同様に、緑色用機能液における異物の数は、８０個から１２０個に、青色用機能液における異物の数は、３０個から９０個に、それぞれ増加している。増加した異物は、ほとんどがゲル状異物である。 <Change in the number of foreign objects>
Next, an example in which a change (increase) in foreign matter is confirmed will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a diagram illustrating measured values of the number of foreign matters upstream and downstream of the relay tank. FIG. 8 shows the number of foreign substances contained in the red functional liquid, the green functional liquid, or the blue functional liquid. The number of foreign matters is the number per 5 ml of functional liquid. “Intermediate tank upstream” indicates that the functional liquid for red, green, or blue is extracted from the supply pipe 462 before flowing into the relay tank 43. The “relay tank downstream” indicates that the red functional liquid, the green functional liquid, or the blue functional liquid is the functional liquid 40 extracted from the supply pipe 463 after being delivered from the relay tank 43.
As shown in FIG. 8, the number of foreign substances in the red functional liquid is increased from 15 upstream of the relay tank 43 to 60 downstream. Similarly, the number of foreign matters in the green functional fluid is increased from 80 to 120, and the number of foreign matters in the blue functional fluid is increased from 30 to 90. The increased foreign matter is mostly a gel-like foreign matter.

以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）機能液供給部４は、第一濾過器７０と第二濾過器８０とを備えている。第一濾過器７０と第二濾過器８０とで液滴吐出ヘッド２０に供給される機能液４０を濾過することによって、濾過を実施する前の機能液４０に含まれる異物の数に対して、液滴吐出ヘッド２０に到達する異物の数を減少させることができる。 Hereinafter, the effect by embodiment is described. According to the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1) The functional liquid supply unit 4 includes a first filter 70 and a second filter 80. By filtering the functional liquid 40 supplied to the droplet discharge head 20 with the first filter 70 and the second filter 80, the number of foreign matters contained in the functional liquid 40 before the filtration is performed. The number of foreign matters that reach the droplet discharge head 20 can be reduced.

（２）機能液４０は、機能液タンク４１からサブタンク４２に送出され、圧力付与装置６０によって圧力が加えられ、サブタンク４２から中継タンク４３に圧送される。圧送することで、機能液タンク４１に対して移動して位置が変動する中継タンク４３に確実に機能液４０を送ることができる。また、中継タンク４３における機能液４０の減少具合に応じて任意の量を送出して、中継タンク４３における液位を調整することができる。中継タンク４３における液位を調整することによって、液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル２４の位置における機能液４０の液圧や、第一濾過器７０又は第二濾過器８０の第一フィルター７４又は第二フィルター８４を通過させるための圧力を調整することができる。   (2) The functional liquid 40 is sent from the functional liquid tank 41 to the sub tank 42, is pressurized by the pressure applying device 60, and is pumped from the sub tank 42 to the relay tank 43. By pressure-feeding, the functional liquid 40 can be reliably sent to the relay tank 43 that moves relative to the functional liquid tank 41 and changes its position. Further, the liquid level in the relay tank 43 can be adjusted by sending an arbitrary amount in accordance with the decrease in the functional liquid 40 in the relay tank 43. By adjusting the liquid level in the relay tank 43, the liquid pressure of the functional liquid 40 at the position of the discharge nozzle 24 of the droplet discharge head 20, the first filter 74 of the first filter 70 or the second filter 80, or the first filter 74. The pressure for passing through the second filter 84 can be adjusted.

（３）中継タンク４３から液滴吐出ヘッド２０へは、水頭差を利用して機能液４０が送出される。液滴吐出ヘッド２０から機能液４０が吐出されると吐出ノズル２４の位置における機能液４０の液圧が減少し、中継タンク４３における機能液４０との水頭差が大きくなるため、中継タンク４３から液滴吐出ヘッド２０に機能液４０が送出される。これにより、液滴吐出ヘッド２０において機能液４０を吐出することによって機能液４０が減少することに即対応して、中継タンク４３から液滴吐出ヘッド２０に機能液４０を送出することができる。   (3) The functional liquid 40 is sent from the relay tank 43 to the droplet discharge head 20 by utilizing the water head difference. When the functional liquid 40 is discharged from the droplet discharge head 20, the hydraulic pressure of the functional liquid 40 at the position of the discharge nozzle 24 decreases and the water head difference from the functional liquid 40 in the relay tank 43 increases. The functional liquid 40 is delivered to the droplet discharge head 20. As a result, the functional liquid 40 can be delivered from the relay tank 43 to the liquid droplet ejection head 20 in response to the decrease in the functional liquid 40 by discharging the functional liquid 40 from the liquid droplet ejection head 20.

（４）機能液供給部４は圧力調整弁９０を備えている。圧力調整弁９０を用いることで、液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル２４の位置における機能液４０の液圧を確実に調整することができる。   (4) The functional liquid supply unit 4 includes a pressure adjustment valve 90. By using the pressure adjustment valve 90, the liquid pressure of the functional liquid 40 at the position of the discharge nozzle 24 of the droplet discharge head 20 can be reliably adjusted.

（５）第一濾過器７０及び第二濾過器８０は、圧力調整弁９０の上流に配置されている。これにより、第一濾過器７０及び第二濾過器８０において生ずる圧力損失によって圧力調整弁９０によって調整された液圧が変動することを抑制することができる。   (5) The first filter 70 and the second filter 80 are disposed upstream of the pressure regulating valve 90. Thereby, it can suppress that the hydraulic pressure adjusted with the pressure regulating valve 90 fluctuates by the pressure loss which arises in the 1st filter 70 and the 2nd filter 80. FIG.

（６）第一濾過器７０及び第二濾過器８０は、中継タンク４３の下流に配置されている。中継タンク４３で増加する可能性がある異物を、第一濾過器７０及び第二濾過器８０で除去することができる。
第一濾過器７０及び第二濾過器８０が中継タンク４３の上流に配置された場合には、第一濾過器７０及び第二濾過器８０で濾過されて異物の数が減少した機能液４０が中継タンク４３に貯留されている間に、異物の数が増加する可能性がある。第一濾過器７０及び第二濾過器８０を中継タンク４３の下流に配置することで、当該可能性をなくすることができる。 (6) The first filter 70 and the second filter 80 are disposed downstream of the relay tank 43. Foreign substances that may increase in the relay tank 43 can be removed by the first filter 70 and the second filter 80.
When the first filter 70 and the second filter 80 are arranged upstream of the relay tank 43, the functional liquid 40 that has been filtered by the first filter 70 and the second filter 80 to reduce the number of foreign matters is obtained. There is a possibility that the number of foreign matters increases while being stored in the relay tank 43. By disposing the first filter 70 and the second filter 80 downstream of the relay tank 43, the possibility can be eliminated.

（７）第一濾過器７０及び第二濾過器８０は、中継タンク４３の下流に配置されている。このため、機能液４０は、第一濾過器７０又は第二濾過器８０の第一フィルター７４及び第二フィルター８４を、水頭差による圧力によって透過する。したがって、機能液４０は、大きな圧力をかけられることなく、すなわち、流速が速くなることなく、第一フィルター７４を透過する。これにより、機能液４０が高速で第一フィルター７４を透過することによってゲル状の異物が第一フィルター７４を透過する可能性を小さくすることができる。
また、第一濾過器７０及び第二濾過器８０が中継タンク４３の上流に配置される構成の場合には、中継タンク４３に向けて圧送される機能液４０が大きな圧力を受けて第一フィルター７４を透過させられる可能性が高い。中継タンク４３の下流に配置されることによって、中継タンク４３に向けて圧送される機能液４０が大きな圧力を受けて第一フィルター７４を透過させられることを防止することができる。 (7) The first filter 70 and the second filter 80 are disposed downstream of the relay tank 43. For this reason, the functional liquid 40 permeate | transmits the 1st filter 74 and the 2nd filter 84 of the 1st filter 70 or the 2nd filter 80 with the pressure by a water head difference. Therefore, the functional liquid 40 passes through the first filter 74 without applying a large pressure, that is, without increasing the flow rate. Thereby, the possibility that the gel-like foreign substance permeate | transmits the 1st filter 74 when the functional liquid 40 permeate | transmits the 1st filter 74 at high speed can be made small.
When the first filter 70 and the second filter 80 are arranged upstream of the relay tank 43, the functional liquid 40 pumped toward the relay tank 43 receives a large pressure and receives the first filter. 74 is likely to be transmitted. By disposing downstream of the relay tank 43, it is possible to prevent the functional liquid 40 pumped toward the relay tank 43 from receiving a large pressure and being transmitted through the first filter 74.

（８）第一濾過器７０の下流に第二濾過器８０が配設されている。これにより、第一フィルター７４からの脱離物のような第一濾過器７０において発生した異物が液滴吐出ヘッド２０に到達することを抑制することができる。   (8) A second filter 80 is disposed downstream of the first filter 70. Thereby, it is possible to suppress the foreign matter generated in the first filter 70 such as the desorbed material from the first filter 74 from reaching the droplet discharge head 20.

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。   As mentioned above, although preferred embodiment was described referring an accompanying drawing, suitable embodiment is not restricted to the said embodiment. The embodiment can of course be modified in various ways without departing from the scope, and can also be implemented as follows.

（変形例１）前記実施形態においては、液滴吐出装置１の機能液供給部４は圧力調整弁９０を備えており、圧力調整弁９０によって吐出ノズル２４における液圧を適切に維持していたが、液滴吐出装置又は液状体供給装置が圧力調整弁９０のような圧力制御手段を備えることは必須ではない。例えば、中継タンク４３における機能液４０の液位を適切に保つことで、水頭差による吐出ノズル２４における液圧を適切に維持するような構成であってもよい。   (Modification 1) In the above embodiment, the functional liquid supply unit 4 of the droplet discharge device 1 includes the pressure adjustment valve 90, and the pressure pressure in the discharge nozzle 24 is appropriately maintained by the pressure adjustment valve 90. However, it is not essential that the droplet discharge device or the liquid material supply device includes pressure control means such as the pressure adjustment valve 90. For example, the liquid pressure in the discharge nozzle 24 due to the water head difference may be appropriately maintained by appropriately maintaining the liquid level of the functional liquid 40 in the relay tank 43.

（変形例２）前記実施形態においては、液滴吐出装置１の機能液供給部４は中継タンク４３を備えており、中継タンク４３における機能液４０の液位を適切に保つことで、水頭差によって液滴吐出ヘッド２０に機能液４０を供給していた。また、第一フィルター７４及び第二フィルター８４を透過させるための機能液４０の液圧や、吐出ノズル２４における液圧を適切に維持していた。しかし、液滴吐出装置又は液状体供給装置が中継タンク４３のような水頭圧力タンクを備えることは必須ではない。例えば、圧力付与装置６０のような与圧手段を用いて液状体に適切な圧力を付与する構成であってもよい。圧力調整弁９０のような圧力制御手段によって吐出ノズルにおける液圧を適切に維持する構成であってもよい。   (Modification 2) In the above embodiment, the functional liquid supply unit 4 of the droplet discharge device 1 includes the relay tank 43, and by maintaining the liquid level of the functional liquid 40 in the relay tank 43 appropriately, the water head difference Thus, the functional liquid 40 was supplied to the droplet discharge head 20. Further, the hydraulic pressure of the functional liquid 40 for allowing the first filter 74 and the second filter 84 to pass through and the hydraulic pressure in the discharge nozzle 24 are appropriately maintained. However, it is not essential that the droplet discharge device or the liquid supply device includes a water head pressure tank such as the relay tank 43. For example, a configuration in which an appropriate pressure is applied to the liquid using a pressurizing unit such as the pressure applying device 60 may be used. A configuration in which the hydraulic pressure in the discharge nozzle is appropriately maintained by pressure control means such as the pressure regulating valve 90 may be employed.

（変形例３）前記実施形態においては、液滴吐出装置１の機能液供給部４は第一濾過器７０に加えて第二濾過器８０を備えていたが、液滴吐出装置又は液状体供給装置が第二濾過器８０の第二フィルター８４のような第二フィルターを備えることは必須ではない。液滴吐出装置又は液状体供給装置は１個の濾過フィルターを備える構成であってもよい。   (Modification 3) In the above embodiment, the functional liquid supply unit 4 of the droplet discharge device 1 includes the second filter 80 in addition to the first filter 70. However, the droplet discharge device or the liquid material supply is provided. It is not essential that the device comprises a second filter, such as the second filter 84 of the second filter 80. The droplet discharge device or the liquid material supply device may include a single filtration filter.

（変形例４）前記実施形態においては、第一フィルター７４はカプセル型フィルターであり、第二フィルター８４は、ディスク型フィルターであったが、液滴吐出装置又は液状体供給装置が備える濾過フィルターがカプセル型フィルターであることも、第二フィルターがディスク型フィルターであることも必須ではない。液滴吐出装置又は液状体供給装置が備える濾過フィルター及び第二フィルターは、カプセル型フィルターやディスク型フィルターなど、どのような形状のフィルターであってもよい。   (Modification 4) In the above embodiment, the first filter 74 is a capsule filter and the second filter 84 is a disk type filter. However, the filtration filter included in the droplet discharge device or the liquid material supply device is a filter. It is not essential that the filter is a capsule filter or the second filter is a disk filter. The filtration filter and the second filter provided in the droplet discharge device or the liquid material supply device may be any shape filter such as a capsule filter or a disk filter.

（変形例５）前記実施形態においては、第一フィルター７４はカプセル型フィルターであり、プリーツ加工を施したフィルターであったが、カプセル型フィルターがプリーツ加工を施したフィルターであることは必須ではない。カプセル型フィルターは、例えば、デプスタイプのフィルターであってもよい。   (Modification 5) In the above embodiment, the first filter 74 is a capsule-type filter and a pleated filter, but it is not essential that the capsule-type filter is a pleated filter. . The capsule filter may be, for example, a depth type filter.

（変形例６）前記実施形態においては、中継タンク４３はヘッドキャリッジ２２の上面に固定されていたが、中継タンク４３のような水頭圧力タンクが、ヘッドキャリッジ２２のようなヘッド保持手段に固定されていることは必須ではない。水頭圧力タンクを、ヘッド保持手段に対して水頭圧力タンクを昇降可能に支持する支持装置を設け、当該支持装置によって、水頭圧力タンクを昇降可能に支持する構成であってもよい。水頭圧力タンクを昇降させることによって、ヘッド保持手段に固定されている吐出ヘッドや濾過フィルターや第二フィルターに対する水頭圧力タンクの高さを変えることで、吐出ヘッドの液滴吐出ノズルにおける液状体の液圧を調整したり、濾過フィルターや第二フィルターの一次側の液圧を調整したりすることができる。この場合の水頭圧力タンクを昇降可能に支持する支持装置が、液圧調整手段に相当する。   (Modification 6) In the above embodiment, the relay tank 43 is fixed to the upper surface of the head carriage 22. However, a water head pressure tank such as the relay tank 43 is fixed to a head holding means such as the head carriage 22. It is not essential. A configuration may be provided in which a support device is provided that supports the head pressure tank so that the head pressure tank can be raised and lowered with respect to the head holding means, and the head pressure tank is supported by the support device so as to be raised and lowered. By raising and lowering the head pressure tank, the height of the head pressure tank relative to the discharge head, filtration filter and second filter fixed to the head holding means is changed, so that the liquid liquid in the droplet discharge nozzle of the discharge head The pressure can be adjusted, or the primary pressure of the filtration filter or the second filter can be adjusted. The support device that supports the head pressure tank in this case so as to be movable up and down corresponds to the hydraulic pressure adjusting means.

（変形例７）前記実施形態においては、Ｘ軸走査機構３８によってワーク載置台３３をＸ軸方向に移動させることでワークＷをＸ軸方向に移動し、Ｙ軸走査機構２８によって液滴吐出ヘッド２０をＹ軸方向に移動することで、ワークＷと液滴吐出ヘッド２０とを平面方向において相対移動させていた。描画対象物と吐出ヘッドとを相対移動させるために描画対象物と吐出ヘッドの両方を移動させることは必須ではない。描画対象物と吐出ヘッドのいずれか一方を平面方向に移動させることで、描画対象物と吐出ヘッドとを相対移動させる構成であってもよい。   (Modification 7) In the above embodiment, the workpiece W 33 is moved in the X-axis direction by moving the workpiece mounting table 33 in the X-axis direction by the X-axis scanning mechanism 38, and the droplet discharge head is moved by the Y-axis scanning mechanism 28. By moving 20 in the Y-axis direction, the workpiece W and the droplet discharge head 20 are relatively moved in the plane direction. It is not essential to move both the drawing object and the ejection head in order to move the drawing object and the ejection head relative to each other. A configuration may be adopted in which either the drawing object or the ejection head is moved in the plane direction to move the drawing object and the ejection head relative to each other.

（変形例８）前記実施形態においては、第一フィルター７４、及び第二フィルター８４を備える機能液供給部４が供給する機能液は、カラーフィルターを構成する色要素膜を形成するための機能液であった。しかし、前記実施形態において説明した液滴吐出装置１や機能液供給部４のような液滴吐出装置や液状体供給装置において異物の濾過を好適に実施することができる液状体は、カラーフィルターを構成する色要素膜を形成するための機能液に限らない。液状体は、液滴として吐出可能な液状体であればどのような液状体であっても、液状体を吐出ヘッドに供給する途中で、好適に異物を除去することができる。液状体に発生又は混入する異物にゲル状の異物が含まれるような液状体を扱う場合に特に有用である。   (Modification 8) In the embodiment, the functional liquid supplied by the functional liquid supply unit 4 including the first filter 74 and the second filter 84 is a functional liquid for forming a color element film constituting the color filter. Met. However, a liquid material that can suitably carry out the filtration of foreign matter in a droplet discharge device or liquid supply device such as the droplet discharge device 1 or functional liquid supply unit 4 described in the above embodiment is a color filter. It is not limited to a functional liquid for forming the constituent color element film. As long as the liquid material is a liquid material that can be ejected as droplets, foreign substances can be suitably removed while the liquid material is being supplied to the ejection head. This is particularly useful when handling a liquid material in which a gel-like foreign material is contained in the foreign material generated or mixed in the liquid material.

１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、３…ワーク機構部、４…機能液供給部、２０…液滴吐出ヘッド、２１…ヘッドユニット、２２…ヘッドキャリッジ、２４…吐出ノズル、２４Ａ…ノズル列、２８…Ｙ軸走査機構、３３…ワーク載置台、３８…Ｘ軸走査機構、４０…機能液、４１…機能液タンク、４３…中継タンク、４６…供給管、６０…圧力付与装置、７０…第一濾過器、７１…濾過タンク、７２…保持部材、７３…濾過材、７４…第一フィルター、７６…流入口、７７…流出口、７８ａ…一次側流路、７８ｂ…二次側流路、８０…第二濾過器、８１…濾過タンク、８４…第二フィルター、８６…流入口、８７…流出口、８８ａ…一次側流路、８８ｂ…二次側流路、９０…圧力調整弁、１０２…対向基板、１０２Ａ…マザー対向基板、１０４…シール材、１０５…カラーフィルター、１０８…液晶、１１０…液晶表示パネル、１１２…色要素膜領域、１１５…色要素膜、１１５Ｂ…青色色要素膜、１１５Ｇ…緑色色要素膜、１１５Ｒ…赤色色要素膜、１１６…隔壁、４６１，４６２，４６３，４６４，４６５，４６６…供給管。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge apparatus, 2 ... Head mechanism part, 3 ... Work mechanism part, 4 ... Functional liquid supply part, 20 ... Droplet discharge head, 21 ... Head unit, 22 ... Head carriage, 24 ... Discharge nozzle, 24A ... Nozzle array, 28 ... Y-axis scanning mechanism, 33 ... Work placement table, 38 ... X-axis scanning mechanism, 40 ... Functional liquid, 41 ... Functional liquid tank, 43 ... Relay tank, 46 ... Supply pipe, 60 ... Pressure applying device, DESCRIPTION OF SYMBOLS 70 ... 1st filter, 71 ... Filtration tank, 72 ... Holding member, 73 ... Filter material, 74 ... 1st filter, 76 ... Inlet, 77 ... Outlet, 78a ... Primary side flow path, 78b ... Secondary side Flow path, 80 ... second filter, 81 ... filtration tank, 84 ... second filter, 86 ... inlet, 87 ... outlet, 88a ... primary channel, 88b ... secondary channel, 90 ... pressure adjustment Valve, 102 ... counter substrate, 102A ... mother counter substrate, 04 ... Sealing material, 105 ... Color filter, 108 ... Liquid crystal, 110 ... Liquid crystal display panel, 112 ... Color element film region, 115 ... Color element film, 115B ... Blue color element film, 115G ... Green color element film, 115R ... Red Color element film, 116, partition walls, 461, 462, 463, 464, 465, 466, supply pipe.

Claims (18)

液状体を液滴として吐出し、前記液滴を描画対象物上に着弾させることによって前記描画対象物上に前記液状体を配置する液滴吐出装置であって、
前記液滴を吐出する吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドを保持するヘッド保持手段と、
前記ヘッド保持手段と前記描画対象物とを相対移動させる相対移動手段と、
前記吐出ヘッドに前記液状体を供給する液状体供給手段と、を備え、
前記液状体供給手段は、前記吐出ヘッドに向けて前記液状体を流動させる供給路の途中に、前記ヘッド保持手段と一体に移動可能に配設された濾過フィルターと、前記供給路における前記濾過フィルターの下流側に配設された第二フィルターとを備える液状体濾過手段を備え、
前記濾過フィルターにおける前記液状体が通過する部分の断面積に比べて、前記第二フィルターにおける前記液状体が通過する部分の断面積が小さいことを特徴とする液滴吐出装置。 A liquid droplet ejection device that ejects a liquid material as droplets and places the liquid material on the drawing object by landing the liquid droplet on the drawing object,
An ejection head for ejecting the droplets;
Head holding means for holding the ejection head;
Relative moving means for relatively moving the head holding means and the drawing object;
Liquid supply means for supplying the liquid to the discharge head,
The liquid material supply means includes a filtration filter disposed in the middle of a supply path for allowing the liquid material to flow toward the ejection head and movably integrated with the head holding means, and the filtration filter in the supply path. comprising a liquid material filtering means comprising a second filter which is disposed downstream of,
The droplet discharge device according to claim 1, wherein a cross-sectional area of a portion of the second filter through which the liquid material passes is smaller than a cross-sectional area of a portion of the filtration filter through which the liquid material passes . 前記濾過フィルターは、濾過精度が０．５μｍ以上、１０μｍ以下であり、前記液状体が前記濾過フィルターを通過する流速が０．０５（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ２）以上、１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ２）以下であることを特徴とする、請求項１に記載の液滴吐出装置。 The filtration filter has a filtration accuracy of 0.5 μm or more and 10 μm or less, and a flow rate of the liquid passing through the filtration filter is 0.05 (mL / min · cm 2 ) or more and 1.0 (mL / min). The droplet discharge device according to claim 1, wherein the droplet discharge device is equal to or less than cm 2 . 前記液状体を貯留して、水頭差によって前記吐出ヘッドに前記液状体を供給する水頭圧力タンクをさらに備え、
前記濾過フィルターは、前記供給路における前記水頭圧力タンクから前記吐出ヘッドに至る途中に配設されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。 A water head pressure tank for storing the liquid material and supplying the liquid material to the discharge head by a water head difference;
3. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the filtration filter is disposed on the way from the water head pressure tank to the discharge head in the supply path. 4. 前記液状体供給手段は、前記吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズルにおける前記液状体の液圧を所定の値に維持する圧力制御手段をさらに備え、
前記濾過フィルターは、前記供給路における前記圧力制御手段の上流側に配設されていることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。 The liquid supply means further includes pressure control means for maintaining the liquid pressure of the liquid in a droplet discharge nozzle provided in the discharge head at a predetermined value,
4. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the filtration filter is disposed on an upstream side of the pressure control unit in the supply path. 5. 前記液状体濾過手段は、前記液状体を流入させる流入口が重力加速度方向において前記濾過フィルターより下側に配設されており、前記液状体を流出させる流出口が重力加速度方向において前記濾過フィルターより上側に配設されていることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。 In the liquid material filtering means, an inflow port through which the liquid material flows is disposed below the filtration filter in the gravitational acceleration direction, and an outflow port through which the liquid material flows out from the filtration filter in the gravitational acceleration direction. The droplet discharge device according to any one of claims 1 to 4 , wherein the droplet discharge device is disposed on an upper side. 前記濾過フィルターの一次側における前記液状体の圧力を調整する液圧調整手段をさらに備えることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。 Wherein further comprising a fluid pressure adjusting means for adjusting the pressure of the liquid material in the primary side of the filtration filter, wherein the liquid droplet ejection apparatus according to any one of claims 1 to 5. 液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドを保持するヘッド保持手段と、前記ヘッド保持手段と描画対象物とを相対移動させる相対移動手段とを備え、前記液滴を吐出し、当該液滴を前記描画対象物上に着弾させることによって前記描画対象物上に前記液状体を配置する液滴吐出装置における、前記吐出ヘッドに前記液状体を供給する液状体供給方法であって、
前記吐出ヘッドに向けて前記液状体が流動させられる前記液状体の供給路の途中に前記ヘッド保持手段と一体に移動可能配設された濾過フィルターによって前記液状体を濾過する液状体濾過工程と、
前記供給路における前記濾過フィルターの下流側に配設されている第二フィルターによって、前記液状体濾過工程において濾過された前記液状体を再度濾過する二次濾過工程とを有し、
前記濾過フィルターにおける前記液状体が通過する部分の断面積に比べて、前記第二フィルターにおける前記液状体が通過する部分の断面積が小さいことを特徴とする液状体供給方法。 A discharge head that discharges the liquid as droplets, a head holding unit that holds the discharge head, and a relative movement unit that relatively moves the head holding unit and the drawing target, and discharges the droplets. A liquid material supply method for supplying the liquid material to the discharge head in a droplet discharge device that places the liquid material on the drawing object by landing the liquid droplet on the drawing object,
A liquid material filtration step of filtering the liquid material by a filtration filter arranged to be movable integrally with the head holding means in the middle of the liquid material supply path through which the liquid material is caused to flow toward the discharge head ;
Wherein the second filter disposed on the downstream side of the filtration filter, have a secondary filtering step of filtering the liquid material is filtered in the liquid material filtration step again in the supply path,
The liquid supply method , wherein a cross-sectional area of a portion of the second filter through which the liquid material passes is smaller than a cross-sectional area of a portion of the filtration filter through which the liquid material passes . 前記濾過フィルターは、濾過精度が０．５μｍ以上、１０μｍ以下であり、前記液状体濾過工程において前記液状体が前記濾過フィルターを通過する流速が０．０５（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ２）以上、１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ２）以下であることを特徴とする、請求項７に記載の液状体供給方法。 The filtration filter has a filtration accuracy of 0.5 μm or more and 10 μm or less, and a flow rate of the liquid passing through the filtration filter in the liquid filtration step is 0.05 (mL / min · cm 2 ) or more, 1 The liquid material supply method according to claim 7 , wherein the liquid material supply method is 0.0 (mL / min · cm 2 ) or less. 前記液状体を貯留する貯留部から水頭差によって前記吐出ヘッドに前記液状体を供給する水頭差供給工程を含み、前記濾過フィルターは、前記供給路における前記水頭差供給工程において前記液状体が流動する部分に配設されていることを特徴とする、請求項７又は８に記載の液状体供給方法。 A water head difference supplying step of supplying the liquid material to the discharge head by a water head difference from a storage section for storing the liquid material, and the liquid material flows in the filtration head in the water head difference supplying step in the supply path. The liquid material supply method according to claim 7 or 8 , wherein the liquid material supply method is arranged in a portion. 前記吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズルにおける前記液状体の液圧を所定の値に維持する圧力制御手段によって液滴吐出ノズルにおける前記液状体の圧力を制御する圧力制御工程をさらに有し、前記濾過フィルターは、前記供給路における前記圧力制御手段の上流側に配設されていることを特徴とする、請求項７乃至９のいずれか一項に記載の液状体供給方法。 A pressure control step of controlling the pressure of the liquid material in the droplet discharge nozzle by pressure control means for maintaining the liquid pressure of the liquid material in the droplet discharge nozzle provided in the discharge head at a predetermined value; The liquid material supply method according to any one of claims 7 to 9 , wherein the filter is disposed upstream of the pressure control means in the supply path. 前記液状体濾過工程において、前記濾過フィルターを備える液状体濾過手段に、重力加速度方向において前記濾過フィルターの下側に配設されている流入口から前記液状体を流入させ、重力加速度方向において前記濾過フィルターの上側に配設されている流出口から前記液状体を流出させることを特徴とする、請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の液状体供給方法。 In the liquid material filtering step, the liquid material is introduced into a liquid material filtering means including the filtration filter from an inlet disposed below the filtration filter in the gravitational acceleration direction, and the filtration is performed in the gravitational acceleration direction. The liquid material supply method according to any one of claims 7 to 10 , wherein the liquid material is caused to flow out from an outlet provided on an upper side of the filter. 前記濾過フィルターの一次側における前記液状体の圧力を調整する液圧調整工程をさらに有することを特徴とする、請求項７乃至１１のいずれか一項に記載の液状体供給方法。 The liquid supply method according to any one of claims 7 to 11 , further comprising a hydraulic pressure adjusting step of adjusting the pressure of the liquid on the primary side of the filtration filter. 液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドを保持するヘッド保持手段と、前記ヘッド保持手段と描画対象物とを相対移動させる相対移動手段とを備え、前記液滴を吐出し、当該液滴を前記描画対象物上に着弾させることによって前記描画対象物上に前記液状体を配置する液滴吐出装置における、前記吐出ヘッドに前記液状体を供給する液状体供給装置であって、
前記吐出ヘッドに向けて前記液状体を流動させる供給路の途中に、前記ヘッド保持手段と一体に移動可能に配設された濾過フィルターと、前記供給路における前記濾過フィルターの下流側に配設された第二フィルターとを備える液状体濾過手段を備え、
前記濾過フィルターにおける前記液状体が通過する部分の断面積に比べて、前記第二フィルターにおける前記液状体が通過する部分の断面積が小さいことを特徴とする液状体供給装置。 A discharge head that discharges the liquid as droplets, a head holding unit that holds the discharge head, and a relative movement unit that relatively moves the head holding unit and the drawing target, and discharges the droplets. A liquid material supply device for supplying the liquid material to the discharge head in a liquid droplet discharge device that disposes the liquid material on the drawing object by landing the liquid droplet on the drawing object,
In the middle of the supply path for allowing the liquid to flow toward the ejection head, a filtration filter is disposed so as to be movable integrally with the head holding means, and is disposed downstream of the filtration filter in the supply path. A liquid filtration means comprising a second filter ,
The liquid material supply apparatus according to claim 1, wherein a cross-sectional area of a portion of the second filter through which the liquid material passes is smaller than a cross-sectional area of a portion of the filtration filter through which the liquid material passes . 前記濾過フィルターは、濾過精度が０．５μｍ以上、１０μｍ以下であり、前記液状体が前記濾過フィルターを通過する流速が０．０５（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ２）以上、１．０（ｍＬ／ｍｉｎ・ｃｍ２）以下であることを特徴とする、請求項１３に記載の液状体供給装置。 The filtration filter has a filtration accuracy of 0.5 μm or more and 10 μm or less, and a flow rate of the liquid passing through the filtration filter is 0.05 (mL / min · cm 2 ) or more and 1.0 (mL / min). The liquid supply apparatus according to claim 13 , wherein the liquid supply apparatus is equal to or less than cm 2 . 前記液状体を貯留して、水頭差によって前記吐出ヘッドに前記液状体を供給する水頭圧力タンクをさらに備え、
前記濾過フィルターは、前記供給路における前記水頭圧力タンクから前記吐出ヘッドに至る途中に配設されていることを特徴とする、請求項１３又は１４に記載の液状体供給装置。 A water head pressure tank for storing the liquid material and supplying the liquid material to the discharge head by a water head difference;
The liquid supply device according to claim 13 or 14 , wherein the filtration filter is disposed on the way from the water head pressure tank to the discharge head in the supply path. 前記吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズルにおける前記液状体の液圧を所定の値に維持する圧力制御手段をさらに備え、
前記濾過フィルターは、前記供給路における前記圧力制御手段の上流側に配設されていることを特徴とする、請求項１３乃至１５のいずれか一項に記載の液状体供給装置。 Pressure control means for maintaining the liquid pressure of the liquid material in a droplet discharge nozzle provided in the discharge head at a predetermined value;
16. The liquid material supply apparatus according to claim 13 , wherein the filtration filter is disposed on an upstream side of the pressure control unit in the supply path. 17 . 前記液状体濾過手段は、前記液状体を流入させる流入口が重力加速度方向において前記濾過フィルターより下側に配設されており、前記液状体を流出させる流出口が重力加速度方向において前記濾過フィルターより上側に配設されていることを特徴とする、請求項１３乃至１６のいずれか一項に記載の液状体供給装置。 In the liquid material filtering means, an inflow port through which the liquid material flows is disposed below the filtration filter in the gravitational acceleration direction, and an outflow port through which the liquid material flows out from the filtration filter in the gravitational acceleration direction. The liquid material supply device according to any one of claims 13 to 16 , wherein the liquid material supply device is disposed on an upper side. 前記濾過フィルターの一次側における前記液状体の圧力を調整する液圧調整手段をさらに備えることを特徴とする、請求項１３乃至１７のいずれか一項に記載の液状体供給装置。 Wherein further comprising a fluid pressure adjusting means for adjusting the pressure of the liquid material in the primary side of the filtration filter, wherein the liquid supply apparatus according to any one of claims 13 to 17.
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JP3841303B2 (en) * 2004-03-30 2006-11-01 富士写真フイルム株式会社 Ink supply device for inkjet printer
JP2008000900A (en) * 2006-06-20 2008-01-10 Seiko Epson Corp Liquid object delivering head, method for manufacturing liquid object delivering head, and liquid object delivering apparatus
JP2009106881A (en) * 2007-10-31 2009-05-21 Seiko Epson Corp Filter, pressure regulating valve equipped with it and functional liquid feed mechanism, liquid drop dischage device, method for manufacturing electrooptical device and electrooptical equipment
JP5211946B2 (en) * 2008-09-02 2013-06-12 セイコーエプソン株式会社 Liquid supply device and liquid ejection device
JP4490497B2 (en) * 2008-10-17 2010-06-23 東芝テック株式会社 Inkjet recording device

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