KR101921344B1 - 청정실 세정 장치 - Google Patents

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폼텍 인터내셔널 컴퍼니, 리미티드
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Abstract

청정실 세정 디바이스가 둘 이상의 격실들을 가지는 복수-격실 컨테이너, 파괴가능한 밀봉부들의 파괴시에 세정 기구를 수용하는 적어도 하나의 격실 및 상기 세정 기구를 포화시킬 수 있는 액체를 수용하는 적어도 다른 격실과 함께 하나 이상의 파괴가능한 밀봉부들을 포함한다. 다른 청정실 세정 디바이스는 파괴가 불가능한/파손이 불가능한 외측 파우치, 액체를 수용하는 파괴가능한/파손가능한 내측 파우치, 및 세정 기구를 포함하고, 상기 세정 기구 및 상기 액체를 수용하는 내측 파우치 모두가 상기 외측 파우치 내에 수용된다.

Description

청정실 세정 장치{CLEANROOM CLEANING APPARATUS}
본원 발명은 하나 이상의 파괴가능한 밀봉부들을 가지는 복수-격실 컨테이너를 포함하는 청정실 세정 디바이스에 관한 것이다. 적어도 하나의 격실은 청정실을 세정하기 위해서 이용되는 세정 기구(implement)를 포함하고, 적어도 하나의 다른 격실이 액체를 포함하며 그에 따라 2개의 격실들 사이에 위치된 파괴가능한 밀봉부의 파괴시에 액체가 세정 기구를 습윤(wetting) 또는 포화시킬 수 있게 된다. 복수-격실 컨테이너는 2개 이상의 격실들 및 각각의 격실 사이에 위치된 파괴가능한 밀봉부를 구비한다. 본원 발명은 또한 파괴가 불가능한/파손이 불가능한(nonburstable) 외측 파우치, 액체를 수용하는 파괴가능/파손가능 내측 파우치, 그리고 세정 기구를 포함하는 청정실 세정 디바이스에 관한 것이고, 상기 내측 파우치와 세정 기구가 상기 외측 파우치 내에 수용된다.
청정실 내에서 이루어지는 진행중인 제조에 앞서서 또는 그러한 제조 중에 청정실 설비들을 세정하기 위해서 다양한 청정실 세정 제품들이 이용된다. 청정실 내에서 부가적인 오염을 생성하지 않도록, 몹(mop), 하드웨어[예를 들어, 몹 버킷(bucket), 링거(wringer), 핸들, 연장부, 및 스퀴지(squeegee)], 스펀지, 와이프(wipe), 스왑(swab), 및 세정 화학물질 및 용액과 같은 세정 제품이 특별하게 디자인되고 그리고 적절한 재료들로 구축된다.
몇 가지 다른 화학물질들이 청정실 내부에서의 여러 가지 세정 작업들을 위해서 이용된다. 이러한 화학물질은, 바닥, 벽, 매트, 커튼, 카운터, 작업자 장갑, 카트의 바퀴, 제품 공급부를 포함하는 내측 보호 백, 세정 생산 장비(cleaning production equipment), 및 제품을 비제한적으로 포함하는 청정실 설비 내의 모든 것을 적절하게 세정하기 위해서, 세정화 기구와 함께 이용된다. 이소프로필 알콜(IPA)이 세정을 위한 청정실들에서 주로 이용되는데, 이는 이소프로필 알콜이 매우 청정하고, 효과적으로 세정하며, 그리고 신속하게 증발하여 청정하고 건조한 표면을 남기기 때문이다. 세정을 위해서 이용되는 다른 화학물질은 생분해성(biodegradable)이고, 낮은 레벨의 트레이스 금속을 가지고, 그리고 높은 증발률을 가지는 낮은 이온성 세척제(low ionic detergents) 및 클리너를 포함한다. 전형적으로, 화학물질들은 필터링되고 쿼츠 및 갤런으로 패키지화된다. 일부 화학물질들은 또한 분무 병제품(spray bottle)으로 이용될 수 있을 것이다. 이어서, 화학물질들이 세정에 앞서서 청정실 내부의 세정 기구로 도포(apply)된다.
그러나, 화학물질을 청정실 내부의 세정 기구로 도포하는 것은 몇 가지 단점들을 가진다. 첫 번째로, 특정 화학물질 및 소독제(disinfectants)가 권장 희석 비율들을 가진다. 개별적인 작업자들뿐만 아니라 많은 수의 다른 작업자들이 화학물질들의 적절한 희석의 실시에 대한 책임을 가질 때, 소독제 용액의 적절한 농도를 달성하는데 있어서의 오류 위험이 높아진다. 두 번째로, 화학물질/소독제를 희석하기 위해서 그리고 화학물질/소독제를 세정 기구에 도포하기 위해서 작업자들을 이용할 때, 오염물질 도입 위험이 존재한다. 세 번째로, 화학물질들/소독제들의 컨테이너들을 저장하여야 하는데 따른 그리고 청정실 내부에서 컨테이너들로부터 화학물질들/소독제들을 분배하는데 있어서의 안전상의 위험이 존재한다.
미리 포화된 와이퍼들, 즉 미리 결정된 양의 용매가 이미 첨가된 용매 안전 컨테이너(solvent safe container) 내에 패키지화된 와이퍼들이 청정실 세정에서 이용될 수 있을 것이다. 그러나, 청정실에서의 사용을 위한 미리 포화된 와이퍼들 역시 단점들을 가진다. 건성으로 저장된 와이퍼들은 액체 내에 저장된 와이퍼들 보다 항상 더 청정할 것인데, 이는 액체가 와이퍼들의 섬유 구조물을 파괴(break down)할 것이기 때문이다. 이러한 품질저하는 IPA, 메탄올 및 소독제와 같은 액체나 용매에서 가장 심각하다. 또한, 소독제들은 희석됨에 따라 활동성을 상실하고 그리고 미리 포화된 와이퍼들은 이미 희석된 소독제들을 포함한다.
따라서, 기존 제품들 및 방법들에 대비하여, 유효성 및 효율 증대, 및 오염 감소를 초래하는 청정실 세정 기구 및 세정 화학물질들/소독제들을 제공하기 위한 개선된 방법 및 디바이스가 요구되고 있다.
본원 발명은 둘 이상의 격실들을 가지는 컨테이너, 파괴가능한 밀봉부(들)의 파괴 개방시에 격실들이 서로 소통되도록 각각의 격실 사이에 위치되는 파괴가능한 밀봉부, 제 1 격실 내에 수용된 하나 이상의 청정실 세정 기구, 및 액체 소독제, 액체 세정 용액, 및 제 2 격실 내에 수용된 물 중 적어도 하나를 포함하는 청정실 세정 디바이스에 관한 것이다. 세정 기구는, 비제한적으로, 몹, 스펀지 또는 스펀지들, 와이퍼 또는 복수의 와이퍼들, 및 스왑(swab) 또는 복수의 스왑들을 포함할 수 있을 것이다.
하나의 예시적인 실시예에서, 본원 발명의 청정실 세정 디바이스는 두 개의 격실들을 가지는 컨테이너, 상기 2개의 격실들 사이에 위치된 파괴가능한 밀봉부, 하나의 격실 내에 수용된 적어도 하나의 세정 기구, 및 다른 격실 내에 수용된 액체 소독제를 포함한다. 세정 기구는, 비제한적으로, 몹, 하나 이상의 스펀지들, 하나 이상의 와이퍼들, 또는 하나 이상의 스왑들을 포함할 수 있을 것이다. 세정 기구는 이하의 재료들 중 하나 이상을 포함할 수 있을 것이다: 부직(non woven) 재료, 미세섬유 재료, 직조된 마이크로섬유 재료, 편성된(knitted) 폴리에스터 재료, 폴리에스터 재료, 포옴(foam) 재료, 또는 이들의 임의의 조합. 액체 소독제는, 비제한적으로, 이하 중 임의의 하나를 포함할 수 있을 것이다: 100% 이소프로필 알콜(IPA), 70% IPA/30% 탈이온수(DI water), 70% IPA/30% 주입용 USP 물 또는 물, 7% IPA/93% 탈이온수, 100% 메탄올, 및 100% 에탄올. 작업자가 사용 직전에 액체 소독제로 세정 기구를 습윤시킬 수 있도록, 복수-격실 컨테이너가 디자인된다. 따라서, 본원 발명의 청정실 세정 제품은 소독제의 적절한 희석, 오염 감소, 및 세정 기구의 구조적 무결성(integrity)을 보장한다.
다른 예시적인 실시예에서, 본원 발명의 청정실 세정 디바이스는 3개의 격실들을 가지는 컨테이너, 상기 3개의 격실들의 각각의 사이에 위치된 파괴가능한 밀봉부, 제 1 격실 내에 수용된 적어도 하나의 세정 기구, 제 2 격실 내에 수용된 주입용 USP 물 또는 물 중 어느 하나, 및 제 3 격실 내에 수용된 액체 소독제 또는 액체 세정 용액을 포함한다. 세정 기구는, 비제한적으로, 몹, 하나 이상의 스펀지들, 하나 이상의 와이퍼들, 또는 하나 이상의 스왑들을 포함할 수 있을 것이다. 세정 기구는 이하의 재료들 중 하나 이상을 포함할 수 있을 것이다: 부직 재료, 미세섬유 재료, 직조된 마이크로섬유 재료, 편성된 폴리에스터 재료, 폴리에스터 재료, 포옴 재료, 또는 이들의 임의의 조합. 액체 소독제 또는 액체 세정 용액은, 비제한적으로, 이하 중 임의의 하나를 포함할 수 있을 것이다: 표백제(bleach), 페놀계 소독제, 과산화수소(H2O2), 4원계(quaternary) 아민계 소독제, 및 Spor KLENZ 멸균제(sterilant). 결과적인 희석 비율 즉, 물을 액체 소독제 또는 액체 세정 용액과 혼합할 때의 희석 비율이 소독 활동에 최적이 되도록 보장하기 위해서, 제 2 격실 내에 수용되는 물의 양이 정밀하게 측정된다.
또 다른 실시예에서, 본원 발명의 청정실 세정 디바이스는 파괴 불가능한 및 파손 불가능한 외측 파우치, 상기 외측 파우치 내에 수용된 적어도 하나의 세정 기구, 및 상기 외측 파우치 내에 수용된 적어도 하나의 파괴가능한 또는 파손가능한 내측 파우치를 포함한다. 내측 파우치는 액체 소독제, 액체 세정 용액, 및 물 중 하나 이상을 포함할 수 있는 적어도 하나의 액체를 포함한다. 또한, 내측 파우치는, 외측 파우치에 압력이 인가될 때 파손될 수 있거나 또는 파괴 개방될 수 있으며 그에 따라 내측 파우치 내의 액체를 외측 파우치의 내부로 방출하여 세정 기구를 포화시킬 수 있는, 재료를 포함한다. 그러한 재료의 하나의 예는 고분지형(high branched) 폴리머들을 포함하는 재료이다.
임의의 청정실 디바이스 실시예들에서 수용되는 액체 소독제 및 액체 세정 용액이 그 소독제 및 용액을 인용하는 전술한 예들 중에서 임의의 것을 포함할 수 있을 것이다. 또한, 청정실 디바이스의 여러 가지 실시예들에 포함되는 세정 기구들이 분류된(classified) 청정실들에서 이용되도록 구성될 수 있을 것이고, 그러한 분류된 청정실들은, 비제한적으로, ISO Class 4 청정실, ISO Class 5 청정실, 및 ISO Class 6 청정실 중 하나 이상을 포함한다.
본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 모든 예시적인 실시예들은 액체 소독제 또는 액체 세정 용액을 이용한 청정실 세정 기구의 "사용 시점에서의(point of use)" 포화를 가능하게 하며, 이는 1) 잠재적인 작업자 오염을 제한 또는 배제할 수 있고, 2) 소독제 용액 또는 세정 용액의 적절한 농도에 대한 정확도를 높일 수 있고, 그리고 3) 세정용 세정 기구의 구조적 무결성 및 세정 동안의 세정 기구로부터의 오염 감소를 보장할 수 있다.
도 1은 컨테이너의 내부 및 점선으로 도시된 격실들 사이의 예시적인 파괴가능한 밀봉부와 함께 본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 복수-격실 컨테이너 부분의 하나의 예시적인 실시예의 사시도이다.
도 2는 컨테이너의 내부 및 점선으로 도시된 격실들 사이의 파괴가능한 밀봉부의 부가적인 예시적 실시예와 함께 본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 복수-격실 컨테이너 부분의 다른 예시적인 실시예의 사시도이다.
도 3은, 2개의 격실들이 파괴가능한 밀봉부의 또 다른 실시예에 의해서 분리되는, 하나의 격실 내에 와이퍼들의 적층체(stack) 및 다른 격실 내에 액체 소독제 용액을 가지는 본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 예시적인 실시예의 사시도이다.
도 4는, 제 1 격실 내에 수용된 청정실 몹헤드(mophead), 제 2 격실에 수용된 주입용 USP 물 또는 물, 및 제 3 격실 내에 수용된 액체 소독제 또는 액체 세정 용액을 가지는 파괴가능한 밀봉부의 추가적인 실시예들에 의해서 분리된 3개의 독립적인 격실들을 가지는 본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 다른 예시적인 실시예의 사시도이다.
도 5는 제 1 격실 내의 비-침투성의 평면형 부재에 의해서 제 위치에 유지되는 복수의 스왑들 및 제 2 격실 내의 액체 소독제 용액을 가지는 본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 또 다른 예시적인 실시예의 단면도로서, 상기 2개의 격실들은 제 1 격실로부터 액체 소독제가 제 2 격실로 유입될 수 있게 허용하고 상기 비-침투성 평면형 부재 위에서 연장하는 스왑들을 포화시킬 수 있게 허용하는 파괴가능한 밀봉부에 의해서 분리된다. 제 1 및 제 2 격실들을 포함하는 컨테이너는 또한 스왑들이 액체 소독제로 포화된 후에 스왑들을 수용하는 제 2 격실이 액체 소독제를 수용하는 제 1 격실로부터 완전히 분리되도록 허용하는 상기 컨테이너 주위에 위치된 외측 천공선 및 파열선(tear line)을 포함할 수 있을 것이다.
도 6은 복수의 와이퍼들을 수용하는 제 1 격실, 주입용 USP 물 또는 물을 포함하는 제 2 격실, 및 액체 소독제 또는 액체 세정 용액을 수용하는 제 3 격실을 가지는 본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 또 다른 예시적인 실시예의 단면도이다. 상기 격실들은 파괴가능한 밀봉부들에 의해서 분리된다.
도 7은 몹, 와이퍼, 또는 스왑 등과 같은 세정 기구 및 액체를 수용하는 파괴가능한/파손가능한 내측 파우치가 모두 파괴가 불가능한/파손이 불가능한 파우치 내에 수용되는, 본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 또 다른 예시적인 실시예에 포함된 파괴가 불가능한/파손이 불가능한 외측 파우치의 평면도이다.
도 8은 도 7에 도시된 파괴가 불가능한/파손이 불가능한 외측 파우치 내에 위치된 액체를 수용하는 파괴가능한/파손가능한 내측 파우치의 예시적인 실시예의 사시도이다.
도 9는 액체를 수용하는 파괴가능한/파손가능한 내측 파우치가 파괴가 불가능한/파손이 불가능한 외측 파우치의 내부의 복수의 와이퍼들의 상단부에 배치되는, 복수의 와이퍼들 및 액체를 수용하는 파괴가능한/파손가능한 내측 파우치 모두를 수용하는 파괴가 불가능한/파손이 불가능한 외측 파우치를 포함하는 본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 또 다른 예시적인 실시예를 도시한 개략도이다.
도 10은, 예시적인 지시 세트들을 도시하는, 도 7 및 도 9에 도시된 본원 발명의 청정실 세정 디바이스와 같은 본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 외측부 상에 배치하기 위한 라벨의 예시적인 실시예이다.
본원 발명의 청정실 세정 디바이스는 일반적으로 2개 이상의 격실들을 가지는 컨테이너, 파괴가능한 밀봉부(들)의 파괴 개방시에 격실들이 서로 소통되도록 각각의 격실들 사이에 위치되는 파괴가능한 밀봉부, 제 1 격실 내에 수용된 하나 이상의 청정실 세정 기구, 및 액체 소독제, 액체 세정 용액, 및 제 2 격실 내에 수용된 물 중 적어도 하나를 포함한다. 다른 실시예에서, 본원 발명의 청정실 세정 디바이스가 파괴가능한 밀봉부들에 의해서 분리된 3개의 격실들을 가지는 컨테이너를 포함할 수 있을 것이며, 여기에서 하나의 격실이 청정실 세정 기구를 수용하고, 다른 격실은 주입용 USP 물 또는 물을 수용하고, 및 제 3 격실은 액체 소독제 또는 액체 세정 용액을 수용한다.
도 1은 본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 하나의 예시적인 실시예의 복수-격실 컨테이너(12) 부분의 사시도를 도시한다. 복수-격실 컨테이너(12)는 제 1 격실(14)과 제 2 격실(16) 사이에 위치된 파괴가능한 밀봉부(18)에 의해서 분리된 제 1 격실(14) 및 제 2 격실(16)을 구비한다. 파괴가능한 밀봉부(18)는 파열선들(20)을 가지는 액체 비-침투성 재료 또는 격막을 포함한다. (예를 들어, 컨테이너(12)를 압착(squeeze)하는 것, 컨테이너(12)를 비트는 것, 또는 컨테이너(12)로 압력을 인가하는 것에 의한 것과 같이) 압력이 액체 비-침투성 격막으로 인가될 때, 파열선들(20)이 개방되고 그리고 파괴가능한 밀봉부(18)가 개방되게 하며, 그에 따라 제 1 및 제 2 격실(14, 16)의 내용물들이 서로 소통하게 된다. 결과적으로, 제 1 또는 제 2 격실(14, 16) 중 하나 내에 수용된 액체가 다른 격실 내에 수용된 세정 기구를 습윤 또는 포화시킬 수 있다.
본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 다른 예시적인 실시예의 복수-격실 컨테이너(22) 부분의 사시도가 도 2에 도시되어 있다. 복수-격실 컨테이너(22)는 파괴가능한 밀봉부들에 의해서 각각이 서로 분리된 제 1 격실(24), 제 2 격실(26), 및 제 3 격실(27)을 가진다. 제 1 격실(24)과 제 2 격실(26)을 분리하는 파괴가능한 밀봉부(28)는 파열선들(30)을 가지는 액체 비-침투성 재료 또는 격막(29)을 포함한다. 압력이 액체 비-침투성 격막(29)으로 인가될 때, 파열선들(30)이 개방되고 그리고 파괴가능한 밀봉부(28)가 개방되게 하며, 그에 따라 제 1 및 제 2 격실(24, 26)의 내용물들이 서로 소통하게 된다. 유사하게, 제 2 격실(26)과 제 3 격실(27)을 분리하는 파괴가능한 밀봉부(32)는 파열선들(34)을 가지는 액체 비-침투성 재료 또는 격막(33)을 포함한다. 압력이 액체 비-침투성 격막(33)으로 인가될 때, 파열선들(34)이 개방되고 그리고 파괴가능한 밀봉부(32)가 개방되게 하며, 그에 따라 제 2 및 제 3 격실(26, 27)의 내용물들이 서로 소통하게 된다. 하나의 예시적인 실시예에서, 희석될 필요가 있는 액체 소독제 또는 세정 용액이 제 1 격실(24) 내에 수용될 수 있고, 액체 소독제 또는 세정 용액을 희석하기 위한 물이 제 2 격실(26) 내에 수용될 수 있고, 그리고 하나 이상의 세정 기구들이 제 3 격실(27) 내에 수용될 수 있을 것이다.
도면들이 직사각형의 복수-격실 컨테이너를 가지는 청정실 세정 디바이스의 예시적인 실시예들을 도시하지만, 본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 복수-격실 컨테이너는, 비제한적으로, 가요성의 비-침투성 재료로 이루어진 복수-격실 파우치 타입 구성을 포함하는, 임의 수의 구성들 및 형상들 및/또는 크기들을 포함할 수 있다는 것을 이해하여야 할 것이다. 복수-격실 컨테이너는, 컨테이너 내의 격실들을 분리하는 파괴가능한 밀봉부를 파괴하기 위한 하나 이상의 지점들에서, 작업자가 컨테이너를 압착하거나 비틀 수 있게 하는, 또는 컨테이너로 압력을 인가할 수 있게 하는 액체 침투방지(즉, 액체 비-침투성), 가요성 플라스틱 또는 폴리머 재료로 이루어질 수 있을 것이다.
파괴가능한 밀봉부들은 비-침투성 재료 또는 취약성 격막으로 압력이 인가될 때 개방되는 파열선들을 가지는 가요성 비-침투성 재료 또는 취약한 부재 등으로 이루어질 수 있을 것이다. 이는 파괴가능한 밀봉부가 개방되게 하며, 그에 따라 컨테이너 내의 분리된 격실들의 내용물들이 서로 소통하게 된다. 이러한 타입의 파괴가능한 밀봉부들의 예들이 종래 기술에서 공지되어 있고 그리고, 예를 들어, 미국 특허 제 4,949,857, 4,789,082, 4,938,390, 5,636,772 호, 및 미국 특허출원 제 2005/0155991 호에 제시되어 있다.
본원 발명의 청정실 세정 디바이스에 포함된 파괴가능한 밀봉부들은 또한, 이러한 방식들에서 밀봉부들을 파괴하기 위한 구조물들 또는 요소들을 복수-격실 컨테이너의 구조물이 포함하는 한, 천공될 수 있고, 당겨서 개방될 수 있고, 파괴될 수 있고, 또는 밸브 구조물을 통해서 개방될 수 있는 밀봉부들을 포함할 수 있을 것이다. 예를 들어, 도 3은 컨테이너(42)의 외부 표면으로부터 연장하는 당김 탭(49)을 가지는 파괴가능한 밀봉부(48)에 의해서 분리된 제 1 격실(44) 및 제 2 격실(46)을 가지는 복수-격실 컨테이너(42)를 포함하는 본원 발명의 청정실 세정 디바이스(40)의 다른 예시적인 실시예를 도시한다. 이러한 당김 탭(49)을 당기는 것은 파괴가능한 밀봉부(48)의 일부를 벗겨내는 결과를 초래하고, 그에 따라 제 1 격실(44)과 제 2 격실(46) 사이에 개구부를 생성한다. 컨테이너 상의 압력 또는 힘(예를 들어, 컨테이너의 압착 또는 비틀음)이 컨테이너 내에 수용된 파괴가능한 밀봉부들을 파괴하기 위해서 이용되지 않는 그러한 복수-격실 컨테이너들의 경우에, 재료들이 액체가 통과할 수 없도록 여전히 비-침투성이기만 하다면, 경질 플라스틱들 및 폴리머들과 같은 비-가요성 재료들을 포함하는 임의 수의 재료들로 컨테이너가 구성될 수 있을 것이다.
도 3에 도시된 예시적인 실시예에서, 복수의 와이퍼들(51)이 컨테이너(42)의 제 1 격실(44) 내에 수용되고 그리고 액체 소독제(53)가 컨테이너(42)의 제 2 격실(46) 내에 수용된다. 당김 탭(49)이 당겨질 때, 파괴가능한 밀봉부(48)가 벗겨져서 개구부를 초래하고, 상기 개구부를 통해서 액체 소독제(53)가 제 1 격실(46)로부터 제 2 격실(44)로 이동될 수 있고 그리고 와이퍼들(51)을 포화 또는 습윤시킬 수 있다.
세정을 위해서 포화된 와이퍼들에 접근하기 위해서, 복수-격실 컨테이너의 재료와 동일한 범위의(coextensive) 단부 탭들(55)이 컨테이너의 어느 한 단부에 포함될 수 있을 것이다. 이러한 단부 탭들(55)은 세정 기구를 수용하는 격실에 가장 가까운 컨테이너의 단부에 대부분 최적으로 배치되고 위치되며, 그에 따라 작업자 또는 사용자가 포화된 세정 기구를 컨테이너로부터 노출 및/또는 제거하기 위해서 단부 탭들(55)을 잡아 당김으로써 컨테이너의 일부를 용이하게 벗겨낼 수 있게 된다.
도 4는 본원 발명의 청정실 세정 디바이스(60)의 또 다른 예시적인 실시예의 사시도이다. 청정실 세정 디바이스(60)는 파괴가능한 밀봉부들에 의해서 서로로부터 각각 분리된 제 1 격실(64), 제 2 격실(66), 및 제 3 격실(67)을 가지는 복수-격실 컨테이너(62)를 포함한다. 제 1 격실(64)을 제 2 격실(66)로부터 분리하는 파괴가능한 밀봉부(68)는 파열선들(70)을 가지는 액체 비-투과성 격막(69)을 포함한다. 압력이 액체 비-투과성 격막(69)으로 인가될 때, 파열선들(70)이 개방되고 그리고 파괴가능한 밀봉부(68)를 개방시키며, 그에 따라 제 1 격실(64) 내에 수용된 액체 소독제(71)가 액체 소독제(71)를 희석하기 위한 탈이온수(73)를 수용하는 제 2 격실(66) 내로 유동될 수 있게 된다.
유사하게, 제 2 격실(66)을 제 3 격실(67)로부터 분리하는 파괴가능한 밀봉부(78)는 파열선들(80)을 가지는 액체 비-투과성 재료 또는 격막(79)을 포함한다. 압력이 액체 비-투과성 격막(79)으로 인가될 때, 파열선들(80)이 개방되고 그리고 파괴가능한 밀봉부(78)를 개방시키며, 그에 따라 탈이온수(73)으로 희석된 액체 소독제(71)가 제 3 격실(67) 내에 수용된 몹헤드(81)를 포화시키기 위해서 제 3 격실(67) 내로 유동될 수 있다. 단부 탭들(85)이 컨테이너(62)의 제 3 격실(67)의 단부에 위치되고 배치되며, 그에 따라 작업자 또는 사용자가 포화된 몹헤드(81)를 컨테이너(62)로부터 노출 및/또는 제거하기 위해서 컨테이너(62)의 일부를 용이하게 벗겨낼 수 있게 된다. 단부 탭들(85)에 부착된 컨테이너(62)의 단부가 다른 타입의 가요성 또는 변형가능한 재료를 포함할 수 있는 컨테이너(62)의 나머지로부터 벗겨질 수 있는 가요성의 또는 유연한(malleable) 재료로 이루어진 곳에서 컨테이너(62)가 다른 재료들로 이루어질 수 있을 것이다.
도 5는 본원 발명의 청정실 세정 디바이스(90)의 또 다른 예시적인 실시예의 단면도이다. 청정실 세정 디바이스(90)는 파괴가능한 밀봉부(98)에 의해서 분리된 제 1 격실(94) 및 제 2 격실(96)을 가지는 컨테이너(92)를 포함한다. 제 1 격실(95)은 비-투과성 평면형 부재(101)에 의해서 제 1 격실(95) 내의 제위치에서 유지되는 복수의 스왑들(99)을 수용한다. 파괴가능한 밀봉부(98)가 파괴되어 개방되고, 제 2 격실(96) 내에 수용된 액체 소독제(103)가 비-투과성 평면형 부재(101)의 위에서(또는 우측으로) 연장하는 제 1 격실(94)의 영역(104) 내로 유동하고, 그에 따라 비-투과성 평면형 부재(101)의 위에서(또는 우측으로) 연장하는 스왑들(99)의 부분을 포화시킨다. 컨테이너(92)는 컨테이너 주위에 위치된 외측 천공선 및/또는 파열선(미도시)을 가지는 재료로 이루어질 수 있고, 그러한 재료는, 이제 포화된 스왑들(99)을 수용하는 제 2 격실(96)이, 스왑들(99)이 소독제(103)로 포화된 후에, 액체 소독제(103)를 수용하는 제 1 격실(94)로부터 완전히 분리될 수 있게 허용한다. 이어서, 사용자는 세정에 필요한 바에 따라서 제 1 격실(94) 내에 수용된 비-투과성 평면형 부재(101)로부터 하나씩 포화된 스왑들(99)을 용이하게 제거할 수 있을 것이다.
본원 발명의 청정실 세정 디바이스(110)의 또 다른 예시적인 실시예의 단면도가 도 6에 도시되어 있다. 청정실 세정 디바이스(110)는 파괴가능한 밀봉부(118)에 의해서 각각 분리된 제 1 격실(114), 제 2 격실(116), 및 제 3 격실(117)을 가지는 컨테이너(112)를 포함한다. 제 1 격실(114)은 희석을 필요로 하는 액체 소독제 또는 액체 세정 용액(203)을 수용하고, 제 2 격실은 탈이온화된 또는 주입가능한 물(205)을 수용하고, 그리고 제 3 격실은 복수의 와이퍼들(207)을 수용한다. 파괴가능한 밀봉부(118)가 파괴되어 개방될 때, 액체 살균제 또는 액체 세정 용액(203)이 탈이온화된 또는 주입가능한 물(205)과 혼합되고, 이어서 결과적인 혼합물이 복수 와이퍼들(207)을 포화시킨다.
본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 하나의 장점은 그러한 디바이스가 청정실 세정 기구들에 대한 백 청정도(bag cleanliness)를 개선한다는 것이다. 예를 들어, 건식으로 저장된 청정실 와이퍼들은 액체 내에서 저장된 와이퍼들에 대비하여 항상 더 청정할 것이고 오염물질들을 덜 포함할 것인데, 이는 액체가 와이퍼들의 섬유 구조물을 파괴할 것이기 때문이다. 이러한 품질저하는 IPA, 메탄올, 및 소독제들과 같은 용매들의 경우에 가장 심각하다. 건성 와이퍼들의 청정도가 습식 와이퍼들 보다 2 또는 3자릿수(orders of magnitude) 만큼 개선되는 것은 일반적이지 않다.
도 7-11은 복수의 와이퍼들(211) 및 파괴가능한/파손가능한 내측 파우치(212) 모두를 수용하는 파괴가 불가능한/파손이 불가능한 외측 파우치(210)를 포함하는 본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 예시적인 실시예를 도시한다. 외측 파우치(210)는 (예를 들어, 와이퍼들을 위한 하나 이상의 적층체들과 같은) 와이퍼들(211) 및 하나 이상의 액체들(213)을 포함하는 파괴가능한/파손가능한 내측 파우치(212) 모두를 유지할 수 있다. 파괴가능한/파손가능한 내측 파우치(212)는 하나 이상의 다른 화학물질들 및/또는 용매들을 유지할 수 있다. 화학물질들 및/또는 용매들이, 비제한적으로, 알콜, 소독제, 세정제, 아세톤, 물, 및 기타 휘발성 액체를 포함할 수 있다. 이러한 본원 발명의 예시적인 실시예는 복수의 면을 가진다(multi-faceted). 특정 화학물질들은, 기질(substrate)들로 도입될 때, 기질들을 기본 화학물질들로 분해할 것이다. 이는 민감한 표면 상에서 오염 문제를 유발할 수 있는 섬유 및 입자를 유도한다. 또한, 화학물질들은 가요성 패키징에 유지하기가 어렵다. 본원 발명의 청정실 세정 디바이스(200)의 이러한 예시적인 실시예의 내측의 파괴가능한/파손가능한 내측 파우치(212)가 최대량의 시간 동안 화학물질들을 저장하도록 디자인된다. 청정실 세정 디바이스(200)의 예시적인 실시예의 디자인은 다른 청정실 세정 디바이스들 보다 훨씬 더 긴 유효 기한을 보장한다. 본원 발명의 청정실 세정 디바이스(200)의 이러한 예시적인 실시예는 또한 다른 청정실 세정 디바이스들 보다 더 편리하고 안전하다. 청정실 세정 디바이스(200)의 이러한 예시적인 실시예를 이용할 때, 최종 사용자는 화학물질들 자체에 직접적으로 노출되지 않을 것이고, 그 대신에 포화된 와이퍼들(211)을 외측 파괴가능한/파손가능한 파우치(210)로부터 제거될 때 포화된 와이퍼들(211)에 단지 노출될 것이다. 결과적으로, 액체 및/또는 화학물질의 유출 가능성이 감소되고 그리고, 심지어 누출이 발생하는 경우에도, 관련된 액체 및/또는 화학물질들의 부피는, 최종 사용자가 와이퍼들을 포화시키기 위해서 병입된 액체 및/또는 화학물질들을 이용하는 경우 보다, 상당히 더 적은 부피를 구성할 것이다.
도 7은 외측 파우치(210)를 개방하기 위한 천공선 또는 파열선(222) 및 밀봉된 단부들(220)을 가지는 파괴 불가능한/파손이 불가능한 외측 파우치(210)의 평면도를 도시한다. 청정실 세정 디바이스(200)의 이러한 예시적인 실시예에서, 세정 기구 및 액체를 수용하는 파괴가능한/파손가능한 내측 파우치가 모두 외측 파우치(210) 내에 수용된다. 도 8은 액체(213)가 내부에 수용된 파괴가능한/파손가능한 내측 파우치(212)의 예시적인 실시예의 사시도이다.
도 9는, 액체(213)를 수용하는 파괴가능한/파손가능한 내측 파우치(212)가 파괴가 불가능한/파손이 불가능한 외측 파우치(210)의 내부에 복수의 와이퍼들(211)의 상단부 상에 배치되는, 복수의 와이퍼들(211) 및 액체(213)를 수용하는 파괴가능한/파손가능한 내측 파우치(212) 모두를 수용하는 파괴가 불가능한/파손이 불가능한 외측 파우치(210)를 포함하는 본원 발명의 청정실 세정 디바이스(200)의 또 다른 예시적인 실시예를 도시한 개략도이다.
본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 다른 장점은 세정 기구들과 함께 이용되는 소독제들의 효율을 개선한다는 것이다. 소독제들은 희석됨에 따라 활성도를 상실한다. 본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 하나의 예시적인 실시예에 수용된 3개의 격실 컨테이너는, 실제로 사용하기에 앞서서 임의의 희석제들로부터 분리되어 소독제가 유지될 수 있게 하고, 그에 따라 소독제 성능을 보장한다.
도 10은, 청정실 세정 디바이스(200)를 이용하기 위한 예시적인 지시들의 세트를 포함하는, 도 7 및 9에 도시된 본원 발명의 청정실 세정 디바이스(200)와 같은 본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 외부에 배치되는 레이블(label)의 예시적인 실시예이다.
본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 또 다른 장점은 오염 가능성을 감소시키면서 소독제 용액의 적절한 농도를 달성하는데 있어서의 정확도가 높아진다는 것이다. 본원 발명의 청정실 세정 디바이스의 복수-격실 컨테이너의 독립된 격실들 내에 수용된 소독제 용액들 및 부가적인 희석제들의 양들은, 외부 작업자 조작을 필요로 하지 않고 제어된 분위기(복수-격실 컨테이너) 내에서 소독제 또는 세정 용액의 정확한 농도를 보장한다.
본원 발명의 청정실 세정 디바이스는, 현재 미리-포화되지 않은 제품들 및 옵션들과 함께 존재하는 오염 및 소독제 비활성 문제들이 없이, 현재 사용되는 미리-포화된 세정 기구들과 함께 존재하는 편의성, 안전성, 및 인간적인 요인(factor)의 장점들을 청정실 사용자들에게 제공한다.
본원 발명의 예시적인 실시예들이 예시적인 실시예들에 대한 구체적인 설명 및 도면들과 관련하여 전술되었다. 이러한 설명들은 전술한 실시예들을 직접적으로 설명하지만, 당업자는 본원에서 제시되고 설명된 특정 실시예들에 대한 변경들 및/또는 변형들을 인지할 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 본원 설명의 범위에 포함되는 임의의 그러한 변경들 또는 변화들이 또한 본원에 포함될 것이다. 특별한 언급이 없다면, 발명자들의 의도상, 상세한 설명 및 청구항들의 단어들 및 문구들이 당업자들에 대해서 일반적이고 통상적인 의미로 사용된 것이다. 본원의 출원시에 출원인이 알고 있던 본원 발명의 예시적인 실시예들 및 최적의 모드에 관한 전술한 설명이 묘사 및 설명의 목적을 위해서 제시되고 의도되었다. 본원 발명이 개시된 정확한 형태로 제한되거나 포괄적인 것으로 의도되지 않으며, 전술한 기술들에 비추어 볼 때 많은 변경들 및 변형들이 가능하다. 본원 발명의 원리들 및 그 실제적인 적용을 가장 잘 설명하기 위해서 그리고 당업자가 특별하게 의도된 용도에 적합하게 여러 가지 실시예들로 그리고 여러 가지 변경예들로 가장 잘 이용할 수 있게 하기 위해서, 예시적인 실시예들이 선택되고 설명되었다.

Claims (20)

  1. 청정실 세정 디바이스이며,
    파괴가 불가능한 및 파손이 불가능한 외측 파우치;
    상기 외측 파우치 내에 수용된 직조된 마이크로섬유 재료를 포함하는 복수의 와이퍼;
    상기 와이퍼 각각보다 치수가 크고, 상기 외측 파우치 내에 수용된 적어도 하나의 파괴가능한 또는 파손가능한 내측 파우치를 포함하고,
    상기 적어도 하나의 내측 파우치는 적어도 하나의 액체를 포함하며, 상기 와이퍼 각각의 단지 일부의 위에 위치되고, 상기 와이퍼 각각의 적어도 하나의 에지를 넘어 연장하는, 청정실 세정 디바이스.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 내측 파우치는, 상기 외측 파우치에 대해서 압력을 인가할 때 상기 적어도 하나의 파우치가 파손 또는 파괴되어 개방될 수 있게 하는 재료를 포함하는, 청정실 세정 디바이스.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 와이퍼는 ISO Class 4 청정실, ISO Class 5 청정실, 및 ISO Class 6 청정실 중 하나 이상에서 사용하도록 구성되는, 청정실 세정 디바이스.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 액체는 액체 소독제, 액체 세정 용액, 및 물 중 적어도 하나를 포함하는, 청정실 세정 디바이스.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 액체 소독제는 100% 이소프로필 알콜 용액, 70% 이소프로필 알콜 및 30% 탈이온수 용액, 70% 이소프로필 알콜 및 30% 주입가능한 물 용액, 7% 이소프로필 알콜 및 93% 탈이온수 용액, 100% 메탄올 용액, 또는 100% 에탄올 용액을 포함하는, 청정실 세정 디바이스.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 액체 소독제 및 액체 세정 용액 중 적어도 하나는 표백제, 페놀계 소독제, 과산화수소, 4원계 아민계 소독제, 및 Spor KLENZ 멸균제 중 하나 이상을 포함하는, 청정실 세정 디바이스.
  9. 삭제
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