KR101919808B1 - 열화상 감지 유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치 - Google Patents

열화상 감지 유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치는 베이스, 베이스의 상부에 구비되고, 검사대상물이 안착되며, 검사대상물이 수평한 평면상에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 글래스스테이지유닛, 글래스스테이지유닛의 이동경로 상부에 구비되고 검사대상물의 불량라인을 전기적신호를 통해 검출하는 프로브감지유닛, 글래스스테이지유닛의 이동경로 상부를 가로질러 배치되는 크로스프레임이 구비되는 제1겐트리유닛 및 크로스프레임을 따라 이동가능하게 구비되고, 검사대상물의 셀과 접촉하여 전류를 인가하며, 검사대상물의 불량라인을 따라 이동하며 온도를 감지하여 불량이 발생한 지점을 검출하는 열화상감지유닛을 포함한다.

Description

열화상 감지 유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치{MULTI TESTING APPARATUS FOR FLATPANEL DISPLAY HAVING THEMOVISION UNIT}
본 발명은 디스플레이패널에서 불량이 발생된 픽셀의 정확한 위치좌표를 획득하기 위한 다중 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전기적신호를 통한 검수로 불량이 발생된 라인을 특정하고, 불량이 발생된 라인의 온도를 계측함으로 정확한 불량픽셀의 위치좌표가 획득되는 다중 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 데이터를 시각적으로 표시하는 장치인 디스플레이패널은 가로 및 세로방향으로 미세하게 구분되어 형성되는 각각의 픽셀단위로 발광이 이뤄진다.
각각의 픽셀들의 발광현상이 모여 특정한 형태의 데이터를 관찰자에게 전달하도록 구성되는 것으로 다양한 표시장치의 발달과 함께, 단순 데이터의 표시를 넘어 표시된 데이터를 터치함으로 외부로부터의 데이터가 입력되도록 구현되기도 한다.
특정 데이터를 표시하기 위한 목적이나 정전용량의 변화를 감지하여 전기적 신호로서 변환하여 입력값을 수신하기 위한 목적의 디스플레이패널들은 기본적으로 수많은 픽셀들의 조합으로 구성된다는 공통점이 있다.
수많은 픽셀들이 조합되고 각기 유기적으로 작용되어 특정한 데이터를 영상으로서 표시하거나, 외부로부터의 전기적 신호를 입력받도록 구비되므로, 특정 픽셀에 발생된 불량은 디스플레이패널 전체의 상품성을 떨어트리게 되고, 일부 픽셀의 불량만으로도 전체 디스플레이패널이 폐기되어야 하는 경우가 발생되기도 한다.
이러한 디스플레이패널에 존재할 수 있는 라인 또는 픽셀의 불량을 검수하기 위해서 종래에는 디스플레이패널의 셀에 전기적 신호를 인가하여, 특정 라인 또는 특정 범위 내의 픽셀들에 불량이 발생하였는지를 검수하는 방법이 널리 실시되어 왔다.
하지만, 디스플레이패널 상에서 전기적 신호를 인가하는 부위를 변환하며 일일이 모든 픽셀들을 검수하는데에는 시간이 소모가 컸고, 경우에 따라 특정한 라인 또는 특정 면적범위 내의 불량픽셀이 존재함을 인지할 수는 있으나, 정확한 불량발생지점을 도출할 수 없는 경우가 빈번하게 발생 되었다.
불량픽셀의 정확한 위치 정보를 얻지 못하여, 단순한 리페어를 통해 양품으로 분류될 수 있는 디스플레이패널이 불량품으로 분류되어야 해 폐기되기도 하였고, 이에따른 경제적 손실 또한 적지 않았다.
따라서, 이와 같은 문제점들을 해결하기 위한 방법이 요구된다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, 불량픽셀이 포함된 라인을 도출하는 1차검수와, 1차검수를 통해 불량픽셀이 포함된 것으로 판정된 라인에 대한 온도 검출을 하는 2차검수를 통해서 단시간안에 불량픽셀의 정확한 위치정보를 획득할 수 있도록 한 다중 검사장치를 제공하기 위함이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치는 베이스, 베이스의 상부에 구비되고, 검사대상물이 안착되며, 검사대상물이 수평한 평면상에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 글래스스테이지유닛, 글래스스테이지유닛의 이동경로 상부에 구비되고 검사대상물의 불량라인을 전기적신호를 통해 검출하는 프로브감지유닛, 글래스스테이지유닛의 이동경로 상부를 가로질러 배치되는 크로스프레임이 구비되는 제1겐트리유닛 및 크로스프레임을 따라 이동가능하게 구비되고, 검사대상물의 셀과 접촉하여 전류를 인가하며, 검사대상물의 불량라인을 따라 이동하며 온도를 감지하여 불량이 발생한 지점을 검출하는 열화상감지유닛을 포함한다.
또는, 글래스스테이지유닛은 검사대상물이 상면에 안착되는 안착플레이트 및 베이스에 구비되고 안착플레이트를 지지하며 안착플레이트의 전후좌우 이동과 기울기의 조절 및 승강 이동이 가능하도록 구비되는 정렬구동부를 포함한다.
그리고, 안착플레이트는 상면에 돌출형성되고 다수 개가 구비되어 검사대상물의 측면을 고정하는 가이드부재를 포함한다.
또는, 프로브감지유닛은 베이스 상부에 구비되는 프로브플레이트, 검사대상물의 셀과 접촉하여 전기적신호를 통해 불량라인을 검출하는 프로브핀 및 프로브플레이트에 결합되어 프로브핀이 수평방향 전후좌우 이동 가능하도록 구비되는 프로브스테이지를 포함한다.
그리고, 프로브스테이지는 프로브핀과 인접한 위치에 구비되고, 프로브핀과 함께 이동되며, 검사대상물의 위치를 감지하는 제1정렬카메라 및 제1정렬카메라를 통해 감지된 검사대상물의 위치 정보를 통해 프로브핀의 이동을 제어하는 제어부를 포함한다.
또는, 프로브스테이지는 프로브핀의 기울기 조절 및 승강이동이 가능하도록 구비된다.
그리고, 열화상감지유닛은 검사대상물의 셀과 접촉하여 검사대상물의 불량라인에 전류를 인가하는 전류인가부재, 검사대상물의 불량라인을 따라 이동되며 온도를 측정하는 촬상부 및 전류인가부재 및 촬상부가 크로스프레임을 따라 이송될 수 있도록 구비되는 가로이송파트를 포함한다.
또는, 가로이송파트는 검사대상물의 셀과 전류인가부재의 위치를 감지하는 제2정렬카메라 및 제2정렬카메라를 통해 감지된 위치정보를 통해 가로이송파트의 이송을 제어하는 제어부를 포함한다.
그리고, 열화상감지유닛은 촬상부가 가로이송파트 상에서 미세정렬 되도록 구비되는 정렬파트 및 촬상부가 가로이송파트의 이송방향과 직교하는 방향으로 이동될 수 있도록 구비되는 라인이송파트를 포함한다.
또는, 검사대상물의 불량라인을 감지하는 제2원점카메라 및 제2원점카메라를 통해 감지된 위치정보를 통해 촬상부가 검사대상물의 불량라인을 따라 연직상부에서 이동될 수 있도록 정렬파트 및 라인이송파트의 이송을 제어하는 제어부를 포함한다.
그리고, 베이스는 검사대상물의 상부에 배치되어 검사대상물의 물리적 흠결을 감지할 수 있도록 구비되는 관찰카메라를 포함하는 제2겐트리유닛을 포함한다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치는 검사대상물인 디스플레이패널에 전기적신호를 통한 검수를 실시하여 불량픽셀이 포함된 특정라인에 대한 정보를 획득하고, 획득된 특정라인에 대한 온도감지를 통해 불량픽셀의 정확한 위치정보를 얻을 수 있는효과가 있다.
그리고, 전기적신호를 통한 검수와 열화상 카메라를 통해 특정된 라인의 온도를 계측하여 계측이 수행되므로 보다 빠른 검수가 수행될 수 있으며, 빠른 검수에도 높은 신뢰도를 기대할 수 있는 효과가 있다.
불량픽셀의 정확한 위치정보 획득은 리페어를 통해 디스플레이패널의 흠결을 해소할 수 있어 생산성을 높이는 효과 또한 얻게 된다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치의 프로브감지유닛을 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치의 프로브스테이지와 안착프레이트가 정렬되는 상태를 나타낸 개략도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치에 의해 불량라인을 검출하는 상태를 나타낸 상태도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치에서 열화상감지유닛을 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치에서 열화상감지유닛의 라인이송파트가 이동되는 상태를 나타낸 상태도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치를 통해 검사대상물의 특정된 라인을 검수하여 불량픽셀의 위치를 도출하는 과정을 나타낸 상태도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치를 통한 검수과정을 나타낸 흐름도이다.
이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.
본 발명에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치는 하기 되는 것과 같이 실시될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치 정면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치는 베이스(100), 베이스(100)의 상부에 구비되어 검사대사물(P)이 안착되고, 검사대사물(P)이 수평한 평면상에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 글래스스테이지유닛(200), 글래스스테이지유닛(200)의 이동경로 상부에 구비되어 검사대사물(P)의 불량라인을 전기적신호를 통해 검출하는 프로브감지유닛(300), 글래스스테이지유닛(200)의 이동경로 상부를 가로질러 배치되는 크로스프레임(520)이 구비되는 제1겐트리유닛(500) 및 크로스프레임(520)을 따라 이동가능하게 구비되고, 검사대사물(P)의 셀(C)과 접촉하여 전류를 인가하며, 검사대사물(P)의 불량라인을 따라 이동하며 온도를 감지하여 불량이 발생한 지점을 검출하는 열화상감지유닛(400)이 포함될 수 있다.
아래에서는 상기된 각각의 구성을 구체적으로 자세하게 설명한다.
베이스(100)는 바닥면과 접하여 넓게 형성되는 판상의 부재로서, 글래스스테이지유닛(200), 프로브감지유닛(300) 및 겐트리유닛(500)이 상부에 결합되어 지지될 수 있도록 구비된다.
베이스(100)는 판상의 부재로 한정되는 것은 아니고, 바닥면에 견고하게 지지될 수 있도록 프레임 형태로 구현될 수 있으며, 본 발명이 적용되는 실시예에 따라 다양한 형상으로 구현될 수 있다.
베이스(100)의 상면에는 일방향 및 이와 직교하는 방향으로의 레일이 구비될 수 있다.
글래스스테이지유닛(200)은 베이스(100)의 상면에 형성되는 레일을 따라 수평하게 전후좌우 이동이 가능하게 구비되고, 검사대사물(P)인 디스플레이패널이 상면에 안착되는 안착플레이트(210), 베이스(100)의 상부에서 결합되고 안착플레이트(210)를 하부에서 지탱하는 정렬구동부(220)로 구성될 수 있다.
안착플레이트(210)는 상면이 편평하게 형성되되, 적어도 하나 이상의 검사대사물(P)의 저면이 상면에 접하여 안착될 수 있도록 구비된다.
또한, 상면에는 적어도 하나 이상의 가이드부재(212)가 승강 가능하게 구비될 수 있고, 가이드부재(212)는 안착플레이트(210)의 상면에서 상부로 돌출 형성된다.
검사대사물(P)의 크기 및 개수에 따라 선택적으로 가이드부재(212)는 안착플레이트(210)의 내측으로 삽입될 수 있고, 검사대사물(P)의 측면에 형성되는 홈(g)이 가이드부재(212)와 대응되도록 맞춰져 특정된 위치에 배치될 수 있도록 기능하게 된다.
정렬구동부(220)는 안착플레이트(210)와 베이스9100)를 상호 연결하고, 안착플레이트(210)가 지탱될 수 있도록 구비되며, 안착플레이트(210)가 베이스(100)의 상부에서 수평한 면을 기준으로 진진, 후진 및 좌측과 우측으로의 이동이 가능하도록 형성된다.
또한, 안착플레이트(210)의 일부를 높이거나 낮출 수 있도록 구비되어 안착플레이트(210)가 수평을 유지할 수 있도록 구동될 수 있고, 안착플레이트(210)가 수평을 유지한 상태로 상승 또는 하강되도록 구비될 수 있다.
이러한 정렬구동부(220)의 작동은 다수 개의 모터구동을 통해 구현될 수 있고, 또는 유압을 통한 실린더의 작동을 통해 구현될 수도 있으며, 이는 본 발명이 적용되는 실시예에 따라 다양한 구동수단의 결합으로 구현될 수 있을 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치의 프로브감지유닛을 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치의 프로브스테이지와 안착프레이트가 정렬되는 상태를 나타낸 개략도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치에 의해 불량라인을 검출하는 상태를 나타낸 상태도이다.
프로브감지유닛(300)은도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 베이스의 상부에 배치되고, 이송되는 글래스스테이지유닛(200)이 하부로 통과될 수 있는 공간이 형성되도록 프로브플레이트(310)가 구비된다.
프로브플레이트(310)에는 프로브스테이지(320)가 결합되고, 프로브스테이지(320)의 하부에는 프로브핀(330) 및 제1정렬카메라(340)가 구비된다.
프로브스테이지(320)는 하부에 구비되는 프로브핀(330) 및 제1정렬카메라(340)가 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 수평한 상태를 유지할 수 있도록 기울기가 조절이 가능하게 구비되고, 또한, 프로브핀(330) 및 제1정렬카메라(340)가 동일한 간격을 유지하며 수평면상에서 전진, 후진 및 좌측과 우측으로의 이동이 가능하도록 작동된다.
프로브핀(330)은 도 5에 도시된 바와 같은 검사대사물(P)인 디스플레이패널의 가장자리에 형성되는 셀(C)과 접촉되어 전기적신호를 인가하도록 구비되고, 디스플레이패널의 셀(C)을 통해 인가인 전기적신호를 통해 특정라인 또는 특정범위의 불량여부를 계측할 수 있도록 하게 된다.
프로브핀(330)은 본 발명이 적용되는 실시예에 따라서 그 개수가 결정될 수 있고, 검사대사물(P)인 디스플레이패널의 크기 및 형태에 따라서 적절한 개수 및 크기로 구비되어 실시될 수 있을 것이다.
제1정렬카메라(340)는 프로브핀(330)과 인접하여 배치되고, 프로브핀(330)과 함께 이동이 되며 프로브핀(330)이 접촉될 디스플레이패널의 셀(C)의 위치를 감지하게 된다.
제1정렬카메라(340)를 통해 감지된 셀(C)의 위치정보는 제어부(미도시)로 전송되고, 제어부(미도시)는 입력된 셀(C)의 위치정보를 통해 프로브핀(330)이 정확한 위치에 배치될 수 있도록 프로브스테이지(320) 및/또는 정렬구동부(220)를 이송 및 정렬시키게 된다.
상술한 바와 같이, 프로브핀(330)은 위치를 옮겨가며 검사대사물(P)인 디스플레이패널의 셀(C)과 접촉되거나, 다수개의 프로브핀(330)이 다수개의 셀(C)과 접촉되는 방식으로 도 6에 개략적으로 도시된 바와 같이 디스플레이패널의 라인별 불량검사를 실시할 수 있으며, 불량이 포함된 라인이 검지될 경우 검지된 불량라인의 정보를 제어부(미도시)로 입력하게 된다.
그리고, 도시되진 않았으나 프로브핀(330)과 인접하여 제1원점카메라(미도시)가 더 구비될 수 있으며, 제1원점카메라는 프로브핀(330)과 디스플레이패널의 셀(C)이 적확하게 접합되도록 각각의 위치를 감지하게 된다.
제1겐트리유닛(500)은 베이스(100)의 양측에 각각 고정되어 상부로 연장 형성되는 지지프레임(510)과 각각의 지지프레임(510) 상단을 연결하는 크로스프레임(520)으로 구성된다.
크로스프레임(520)은 베이스(100)의 상부를 가로지르도록 배치되고, 크로스프레임(520)의 하부로 글래스스테이지유닛(200)이 이동될 수 있도록 공간이 형성되며, 글래스스테이지유닛(200)의 안착플레이트(210)보다 높은 위치에 구성된다.
이러한 구성은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같으며, 베이스(100)에 고정되는 지지프레임(510)과 지지프레임(510)의 상단에 결합되어 베이스(100)의 상부를 가로질러 배치되는 크로스프레임(520)이 구비되고, 크로스프레임(520)의 하부로 글래스스테이지유닛(200)이 전후좌우 이동이 가능한 공간이 형성된다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치에서 열화상감지유닛을 나타낸 사시도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치에서 열화상감지유닛의 라인이송파트가 이동되는 상태를 나타낸 상태도이다.
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치에 포함되는 열화상감지유닛(400)은 크로스프레임(520)을 따라서 이송 가능하게 구비되는 가로이송파트(410)가 구비된다.
그리고, 가로이송파트(410)와 결합되고 가로이송파트(410) 상에서 가로이송파트(410)의 이송방향과 동일한 방향으로 좌우 이동이 가능하도록 구비되는 정렬파트(420), 정렬파트(420)에 결합되고 정렬파트(410) 및 가로이송파트(410)의 이송방향과 직교하는 방향으로 이동될 수 있도록 구비되는 라인이송파트(430) 및 라인이송파트(430)에 결합되어 연직하방을 촬영할 수 있도록 구비되는 촬상부(432)가 포함될 수 있다.
가로이송파트(410)는 하부에 전류인가부재(412)가 구비되고, 전류인가부재(412)는 검사대사물(P)의 셀(C)과 접촉하여 검사대사물(P)의 특정라인 또는 특정범위에 전원이 인가되도록 구비된다.
본 발명의 일 실시예에서는 프로브감지유닛(300)을 통해 감지된 불량라인에 전원이 인가되도록 전류인가부재(412)가 이동하게 된다.
전류인가부재(412)와 인접한 위치에는 적어도 하나 이상의 제2정렬카메라(414)가 배치되며, 제2정렬카메라(414)는 검사대사물(P)의 셀(C)과 전류인가부재(412)의 위치를 감지하여 상호간의 위치정보를 제어부(미도시)로 입력하고, 제어부(미도시)는 프로브감지유닛(300)을 통해 감지되었던 불량라인의 정보 및 제2정렬카메라(414)를 통해 입력된 위치정보를 토대로 가로이송파트(410) 및/또는 정렬구동부(220)를 제어하여 검사대사물(P)의 불량라인과 연결된 셀(C)과 전류인가부재(412)가 서로 정확한 위치에서 접촉될 수 있도록 한다.
정렬파트(420)는 가로이송파트(410)에 결합되되, 가로이송파트(410)의 이송방향 즉, 크로스프레임(520)의 길이방향으로 이동 가능하도록 구비된다.
정렬파트(420)에는 라인이송파트(430)가 결합되고, 라인이송파트(430)에는 촬상부(432) 및 제2원점카메라(434)가 결합될 수 있다.
따라서, 라인이송파트(430)는 정렬파트(420)의 이동에 종속되어 이동하게 되고, 라인이송파트(430)에 결합된 촬상부(432) 및 제2원점카메라(434) 또한 라인이송파트(430)의 움직임에 종속되어 이동하게 되며, 라인이송파트(430)는 정렬파트(420)를 기준으로 크로스프레임(520)의 길이방향과 직교하는 방향으로 도 7에 도시된 바와 같이 일정한 구간을 왕복하며 이동될 수 있도록 구비된다.
정렬파트(420) 및 라인이송파트(430)의 이동 또한 제어부(미도시)에 의해 제어가 된다.
상세하게는, 전류인가부재(412)가 검사대사물(P)의 셀(C)과 접촉하여 검사대사물(P)의 불량라인에 전원이 인가된 상태에서 전원이 인가된 검사대사물(P)의 불량라인의 연직상부에 촬상부(432)가 배치되도록 제2원점카메라(434)를 통해 수집되는 위치정보가 제어부(미도시)로 입력되고, 제어부(미도시)는 입력된 정보를 통해 정렬파느(420)를 미세 정렬하게 된다.
이때, 제어부(미도시)를 통해 촬상부(432)가 검사대사물(P)의 불량라인 연직상부에 배치되도록 정렬되는 것은 정렬파트(420)의 미세 정렬만으로 한정되는 것은 아니고, 본 발명이 적용되는 실시예에 따라서 정렬구동부(220)의 구동을 통해서도 구현될 수 있다.
상술한 바와 같은 정렬과정을 통해 촬상부(432)가 불량라인의 연직상부에 배치되었다면, 제어부(미도시)는 촬상부(432)를 작동시킴과 아울러 라인이송파트(430)를 구동시켜 검사대사물(P)의 전원이 인가된 불량라인을 따라 촬상부(432)가 이동되며 검사를 수행할 수 있도록 한다.
촬상부(432)는 촬상물의 온도에 따라 각기 다른 색으로 표현하여 시각적으로 온도를 확인할 수 있도록 한 열화상 카메라나 적외선 영상을 촬영함으로 온도를 계측할 수 있는 적외선 카메라(thmographic devices)와 같은 열감지 기능을 지닌 카메라로 구현되 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치를 통해 검사대사물(P)의 특정된 라인을 검수하여 불량픽셀의 위치를 도출하는 과정을 나타낸 상태도이다.
도 8에 도시된 바와 같이 검사대사물(P)인 디스플레이패널은 평면상에 가로 및 세로로 구획된 수 많은 픽셀이 존재하고, 각각의 가로 및 세로라인에 전기적 신호를 인가할 수 있는 셀(C)이 가장자리에 형성된다.
또한, 가장자리 측면에는 홈(g)이 구비되어 상술하였던 안착플레이트(210)의 가이드부재(212)와 대응되어 맞춰짐으로 고정될 수 있다.
라인이송파트(434)를 통해 도 8에 도시된 바와 같이 불량라인을 이동하며 촬상부(432)가 온도를 감지하게 되고, 그래프를 통해 표시된 바와 같이 비정상 온도영역이 불량이 발생된 픽셀의 위치로 확정할 수 있게 된다.
이러한 불량픽셀(defective pixel)의 위치정보 획득은 불량이 발생된 위치의 픽셀을 리페어 하는 작업이 보다 신속하고 정확하게 수행될 수 있게 한다.
상술하였던 구성에 추가적으로 제2겐트리유닛(600)이 추가적으로 포함될 수 있다.
제2겐트리유닛(600)은 관찰카메라(610)가 구비될 수 있으며, 관찰카메라(610)는 특정위치에 고정되거나, 특정 방향으로 이송될 수 있도록 구비되어 안착플레이트(210)에 안착되어 이송되는 검사대사물(P)에 물리적인 결함을 감지하도록 구비될 수 있다.
상기와 같은 구성에 근거하여 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치의 작동을 설명한다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치를 통한 검수과정을 나타낸 흐름도이다.
먼저 검사대사물(P)인 디스플레이패널의 불량을 검수함에 있어, 본 발명의 일 실시에에서는 크게 불량라인을 검출하는 단계와 검출된 불량라인상에서 불량픽셀을 검출하는 단계로 나뉘어 지고, 불량라인의 검출은 프로브감지유닛(300)을 통해 수행되며, 불량픽셀의 검출은 열화상감지유닛(400)을 통해 수행된다.
그 과정을 하나의 예로서 단계를 들어 설명하면 아래와 같다.
글래스스테이지유닛 및 프로브스테이지 정렬단계(S10)는 글래스스테이지유닛(200)의 안착플레이트(210)에 검사대사물(P)이 안착된 상태로 글래스스테이지유닛(200)이 프로브플레이트(310)의 하부로 이동되고, 제1정렬카메라(340)와 제2원점카메라(350)를 통해 감지된 위치정보를 통해 정렬구동부(220) 및 프로브스테이지(320)가 상호 위치가 조절되도록 이동되는 단계이다.
글래스스테이지유닛 및 프로브스테이지 정렬단계(S10)를 통해 검사대사물(P)의 셀(C)과 프로브핀(330)의 상호 접촉이 용이하도록 정렬이 되었다면 프로브접촉 및 검수단계(S20)를 통해 접지가 되고, 프로브핀(330)으로부터 셀(C)로 인가되는 전기적신호를 통해 라인단위로 불량이 발생하였는지를 판단하게 된다.
불량라인이 검출되었다면, 글래스스테이지유닛 및 가로이송파트이송단계(S30)를 통해 불량라인의 검수가 수행되고, 이때, 제어부(미도시)에 입력되었던 프로브핀(330)의 위치정보에 따라 가로이송파트(410)가 미리 이동하여 정렬시간을 단축할 수 있다.
글래스스테이지유닛(200)이 제1겐트리유닛(500)의 하부로 이송되고, 전류인가부재(412)와 검사대사물(P)의 불량라인과 연결된 셀(C)이 상하 마주보도록 정렬이 수행되며, 제2정렬카메라(414)를 통해 서로간의 위치가 감지되어 제어부(미도시)를 통해 정확한 위치에 각각이 배치되도록 한다.
불량라인 전류 인가단계(S40)에서는 검사대사물(P)의 불량라인과 연결된 셀(C)과 전류인가부재(412)가 접촉하여 전류가 인가되도록 하는 단계이다.
불량라인에 전류가 인가되어 온도변화가 발생되면 정렬라인 정렬 및 촬영단계(S50)를 통해 촬상부(432)의 온도를 감지하기 위한 촬영이 진행되며, 이때, 제2원점카메라(434)에 의해 감지된 검사대사물(P)의 위치정가 이용되어, 정확하게 촬상부(432)가 불량라인의 연직상부에서 길이방향으로 이송되며 온도를 계측할 수 있도록 한다.
불량위치획득단계(S60)는 급격한 온도변화 또는 이상온도를 나타내는 지점을 위치좌표로 변환하여 제어부(미도시)로 입력하고, 그 지점을 불량픽셀의 위치정보로 활용하게 된다.
이후 불량픽셀의 위치정보를 리페어공정등으로 송출하여 정확하게 불량이 발생된 픽셀만을 리페어 할 수 있도록 하는 등의 사후조치를 취할 수 있게 된다.
또 다른 예로서, 프로브접촉 및 검수단계(S20)를 통해 불량라인이 검출되지 않은 경우에는 열화상감지유닛(400)의 하부로 이송되는 글래스스테이지유닛(200)의 임의의 라인 또는 특정 범위를 촬상부(432)를 통해 온도를 감지함으로 이중 검수가 수행될 수 있도록 구현될 수도 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
P: 검사대상물 C: 셀
g: 홈
100: 베이스
200: 글래스스테이지유닛 210: 안착플레이트
212: 가이드부재 220: 정렬구동부
300: 프로브감지유닛 310: 프로브플레이트
320: 프로브스테이지 330: 프로브핀
340: 제1정렬카메라
400: 열화상감지유닛 410: 가로이송파트
412: 전류인가부재 414: 제2정렬카메라
420: 정렬파트 430: 라인이송파트
432: 촬상부 434: 제2원점카메라
500: 제1겐트리유닛 510: 지지프레임
520: 크로스프레임
600: 제2겐트리유닛 610: 관찰카메라

Claims (11)

  1. 베이스;
    상기 베이스의 상부에 구비되고, 검사대상물이 안착되며, 상기 검사대상물이 수평한 평면상에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 글래스스테이지유닛;
    상기 글래스스테이지유닛의 이동경로 상부에 구비되고 상기 검사대상물의 불량라인을 전기적신호를 통해 검출하는 프로브감지유닛;
    상기 글래스스테이지유닛의 이동경로 상부를 가로질러 배치되는 크로스프레임이 구비되는 제1겐트리유닛; 및
    상기 크로스프레임을 따라 이동가능하게 구비되고, 상기 검사대상물의 셀과 접촉하여 전류를 인가하며, 상기 프로브감지유닛을 통해 불량라인의 검출 시 상기 검사대상물의 불량라인을 따라 이동하며 온도를 감지하여 불량이 발생한 불량픽셀의 위치를 검출하고, 상기 프로브감지유닛을 통해 불량라인의 미검출 시 상기 검사대상물의 임의로 선택된 라인을 따라 이동하며 온도를 감지하는 열화상감지유닛;
    을 포함하는 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 글래스스테이지유닛은,
    상기 검사대상물이 상면에 안착되는 안착플레이트; 및
    상기 베이스에 구비되고 상기 안착플레이트를 지지하며 상기 안착플레이트의 전후좌우 이동과 기울기의 조절 및 승강 이동이 가능하도록 구비되는 정렬구동부;
    를 포함하는 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 안착플레이트는,
    상면에 돌출형성되고 다수 개가 구비되어 상기 검사대상물의 측면을 고정하는 가이드부재;
    를 포함하는 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 프로브감지유닛은,
    상기 베이스 상부에 구비되는 프로브플레이트;
    상기 검사대상물의 셀과 접촉하여 전기적신호를 통해 불량라인을 검출하는 프로브핀; 및
    상기 프로브플레이트에 결합되어 상기 프로브핀이 수평방향 전후좌우 이동 가능하도록 구비되는 프로브스테이지;
    를 포함하는 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 프로브스테이지는,
    상기 프로브핀과 인접한 위치에 구비되고, 상기 프로브핀과 함께 이동되며, 상기 검사대상물의 위치를 감지하는 제1정렬카메라; 및
    상기 제1정렬카메라를 통해 감지된 검사대상물의 위치 정보를 통해 상기 프로브핀의 이동을 제어하는 제어부;
    를 포함하는 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 프로브스테이지는,
    상기 프로브핀의 기울기 조절 및 승강이동이 가능하도록 구비되는 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 열화상감지유닛은,
    상기 검사대상물의 셀과 접촉하여 상기 검사대상물의 불량라인에 전류를 인가하는 전류인가부재;
    상기 검사대상물의 불량라인을 따라 이동되며 온도를 측정하는 촬상부; 및
    상기 전류인가부재 및 상기 촬상부가 상기 크로스프레임을 따라 이송될 수 있도록 구비되는 가로이송파트;
    를 포함하는 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 가로이송파트는,
    상기 검사대상물의 셀과 상기 전류인가부재의 위치를 감지하는 제2정렬카메라; 및
    상기 제2정렬카메라를 통해 감지된 위치정보를 통해 상기 가로이송파트의 이송을 제어하는 제어부;
    를 포함하는 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 열화상감지유닛은,
    상기 촬상부가 상기 가로이송파트 상에서 미세정렬 되도록 구비되는 정렬파트; 및
    상기 촬상부가 상기 가로이송파트의 이송방향과 직교하는 방향으로 이동될 수 있도록 구비되는 라인이송파트;
    를 포함하는 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 검사대상물의 불량라인을 감지하는 제2원점카메라; 및
    상기 제2원점카메라를 통해 감지된 위치정보를 통해 상기 촬상부가 상기 검사대상물의 불량라인을 따라 연직상부에서 이동될 수 있도록 상기 정렬파트 및 상기 라인이송파트의 이송을 제어하는 제어부;
    를 포함하는 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 베이스는,
    상기 검사대상물의 상부에 배치되어 상기 검사대상물의 물리적 흠결을 감지할 수 있도록 구비되는 관찰카메라를 포함하는 제2겐트리유닛;
    을 포함하는 열화상 감지유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치.

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