KR101912807B1 - 플렉서블 디스플레이장치 제조방법 및 플렉서블 디스플레이장치 - Google Patents

플렉서블 디스플레이장치 제조방법 및 플렉서블 디스플레이장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 캐리어기판 상에 희생층을 형성하는 단계, 레이저 빔이 통과하는 것을 차단하기 위한 차단층을 형성하는 단계, 플렉서블 기판을 형성하는 단계; 상기 플렉서블 기판 상에 화상 구현을 위한 표시소자를 형성하는 단계; 및 레이저 빔을 조사하여 상기 플렉서블 기판으로부터 상기 캐리어기판을 분리하는 단계를 포함하는 플렉서블 디스플레이장치 제조방법 및 플렉서블 디스플레이장치에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 플렉서블 기판으로부터 캐리어기판을 분리하는 과정에서 레이저 빔이 표시소자에까지 도달하는 것을 차단함으로써, 표시소자가 레이저 빔에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 플렉서블 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.

Description

플렉서블 디스플레이장치 제조방법 및 플렉서블 디스플레이장치{Method for Manufacturing Flexible Display Device and Flexible Display Device using the same}
본 발명은 유연성(Flexibility)을 갖는 디스플레이장치를 제조하기 위한 플렉서블 디스플레이장치 제조방법 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이장치에 관한 것이다.
최근 급속하게 발전하고 있는 반도체 기술에 힘입어, 디스플레이장치의 화면 크기는 증가하고 그 무게는 경량화되는 등 디스플레이장치의 성능이 개선됨에 따라 디스플레이장치의 수요가 폭발적으로 늘어나고 있다.
이러한 디스플레이장치에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD), 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Display, OLED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, PDP), 전기영동표시장치(Electrophoretic Display, EPD) 등이 있다.
최근에는 기존의 유연성(Flexibility)이 없는 유리기판을 대신하여 플라스틱 등과 같이 유연성이 있는 재료를 사용하여 종이처럼 휘어져도 표시 성능을 그대로 유지할 수 있는 플렉서블 기판을 이용한 디스플레이장치가 급부상하고 있다.
그러나, 이러한 플렉서블 디스플레이장치를 제조하는데 있어서, 플렉서블 기판이 휘어지는 특성 때문에 유리기판을 처리 대상으로 하는 종래의 디스플레이장치 제조 장비에 적용하기 어려운 문제가 있다. 일례로, 트랙(Track) 장비나 로봇(Robot)에 의한 기판 반송시 로봇 암에 플렉서블 기판을 위치시키게 되면 심하게 휘어져 로봇 암 사이로 빠져나가게 되는 등의 어려움이 있다. 따라서, 플렉서블 기판을 이용하는 디스플레이장치 제조공정은, 플렉서블 기판 자체만으로 플렉서블 기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT) 등을 형성하는 어레이 공정 등을 수행하기에 한계가 있는 문제가 있다.
이러한 문제를 해결하기 위해 플렉서블 기판을 유리기판과 같이 단단한 재질로 형성된 캐리어기판(Carrier Substrate)에 부착한 상태로 제조 공정을 수행한 후에, 플렉서블 기판으로부터 캐리어기판을 분리하는 방안이 제안되었다.
도 1은 종래 기술에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조공정에 있어서 플렉서블 기판으로부터 캐리어기판을 분리하는 공정이 수행되는 상태를 나타낸 개략적인 측단면도이다.
도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조공정은, 플렉서블 기판(100)으로부터 캐리어기판(200)을 분리하는 분리공정을 포함한다. 이러한 분리공정은 플렉서블 기판(100)에 캐리어기판(200)이 부착된 상태에서 플렉서블 기판(100) 상에 박막트랜지스터 어레이, 표시소자(110) 등을 형성하는 공정을 수행한 후에 이루어질 수 있다. 상기 분리공정을 수행하기 위해, 캐리어기판(200) 상에는 희생층(210)이 형성된다. 희생층(210)은 캐리어기판(200)과 플렉서블 기판(100) 사이에 위치되게 캐리어기판(200) 상에 형성된다.
상기 분리공정은 레이저 빔(Laser Beam)(L)이 캐리어기판(200)을 통과하여 희생층(210)에 도달하도록 레이저 빔을 캐리어기판(200) 쪽으로 조사함으로써 이루어진다. 희생층(210)은 레이저 빔이 갖는 에너지에 의해 변형되어 플렉서블 기판(100)으로부터 분리된다. 이에 따라, 캐리어기판(200)은 플렉서블 기판(100)으로부터 분리된다.
이러한 종래 기술에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조공정은 다음과 같은 문제가 있다.
첫째, 종래 기술에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조공정은 플렉서블 기판(100)으로부터 캐리어기판(200)을 분리하기 위한 레이저 빔(L)이 플렉서블 기판(100) 상에 형성된 박막트랜지스터 어레이, 표시소자(110)에까지 도달할 위험이 있는 문제가 있다. 레이저 빔이 박막트랜지스터 어레이, 표시소자(100)에까지 도달하게 되면, 박막트랜지스터 어레이, 표시소자(100)가 손상됨에 따라 얼룩 형태의 불량이 발생하는 등 플렉서블 디스플레이장치의 품질을 저하시키는 문제가 있다.
둘째, 레이저 빔(L)의 세기를 줄이면 상술한 같은 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있으나, 레이저 빔(L)의 세기를 낮춤에 따라 희생층(210)을 변형시키는데 걸리는 시간이 증가하게 된다. 따라서, 종래 기술에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조공정은 플렉서블 기판(100)으로부터 캐리어기판(200)을 분리하는데 걸리는 시간이 증가하게 되고, 이에 따라 플렉서블 디스플레이장치에 대한 제조 수율을 저하시키는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 향상된 품질을 갖는 플렉서블 디스플레이장치를 제조할 수 있으면서도, 플렉서블 디스플레이장치를 제조하는데 걸리는 시간이 증가하는 것을 방지할 수 있는 플렉서블 디스플레이장치 제조방법 및 플렉서블 디스플레이장치를 제공하는 것이다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 캐리어기판 상에 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층 상에 레이저 빔이 통과하는 것을 차단하기 위한 차단층을 형성하는 단계; 상기 차단층 상에 플렉서블 기판을 형성하는 단계; 상기 플렉서블 기판 상에 화상 구현을 위한 표시소자를 형성하는 단계; 및 상기 차단층과 상기 희생층을 분리하기 위한 레이저 빔을 조사하여 상기 플렉서블 기판으로부터 상기 캐리어기판을 분리하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 캐리어기판 상에 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층 상에 플렉서블 기판을 형성하는 단계; 상기 플렉서블 기판 상에 레이저 빔이 통과하는 것을 차단하기 위한 차단층을 형성하는 단계; 상기 차단층 상에 화상 구현을 위한 표시소자를 형성하는 단계; 및 상기 희생층과 상기 플렉서블 기판을 분리하기 위한 레이저 빔을 조사하여 상기 플렉서블 기판으로부터 상기 캐리어기판을 분리하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치는 화상 구현을 위한 표시소자; 상기 표시소자가 형성된 플렉서블 기판; 및 상기 플렉서블 기판으로부터 캐리어기판을 분리하기 위한 레이저 빔이 통과하는 것을 차단하는 차단층을 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 이룰 수 있다.
본 발명은 플렉서블 기판으로부터 캐리어기판을 분리하는 과정에서 레이저 빔이 표시소자에까지 도달하는 것을 차단함으로써, 표시소자가 레이저 빔에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 플렉서블 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 표시소자가 레이저 빔에 의해 손상되는 것을 방지하면서 강한 세기를 갖는 레이저 빔을 이용하여 플렉서블 기판으로부터 캐리어기판을 분리할 수 있으므로, 플렉서블 디스플레이장치에 대한 제조 수율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조공정에 있어서 플렉서블 기판으로부터 캐리어기판을 분리하는 공정이 수행되는 상태를 나타낸 개략적인 측단면도
도 2는 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법의 개략적인 순서도
도 3 내지 도 10은 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법에 의해 플렉서블 디스플레이장치가 제조되는 과정을 나타낸 개략적인 측단면도
도 11은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법의 개략적인 순서도
도 12는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법에 의해 제조된 플렉서블 디스플레이장치의 개략적인 측단면도
이하에서는 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서 어떤 구조물이 다른 구조물 "상에" 또는 "아래에" 형성된다고 기재된 경우, 이러한 기재는 이 구조물들이 서로 접촉되어 있는 경우는 물론이고, 이들 구조물 사이에 제3의 구조물이 개재되어 있는 경우까지 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
도 2는 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법의 개략적인 순서도, 도 3 내지 도 10은 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법에 의해 플렉서블 디스플레이장치가 제조되는 과정을 나타낸 개략적인 측단면도, 도 11은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법의 개략적인 순서도, 도 12는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법에 의해 제조된 플렉서블 디스플레이장치의 개략적인 측단면도이다. 도 8은 도 7의 A부분을 확대하여 나타낸 개략적인 확대도이다.
도 2 및 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 플렉서블 디스플레이장치(1, 도 3에 도시됨)를 제조하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 레이저 빔(Laser Beam)(L, 도 3에 도시됨)을 이용하여 플렉서블 기판(2, 도 3에 도시됨)으로부터 캐리어기판(10, 도 3에 도시됨)을 분리함으로써, 플렉서블 디스플레이장치(1)를 제조할 수 있다. 상기 플렉서블 기판(2) 상에는 화상 구현을 위한 표시소자(3, 도 3에 도시됨)가 형성되어 있다. 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 레이저 빔(L)이 통과하는 것을 차단하기 위한 차단층(4, 도 3에 도시됨)을 형성함으로써, 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하기 위한 레이저 빔(L)이 상기 표시소자(3)에까지 도달하는 것을 차단할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 다음과 같은 작용효과를 얻을 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하는 과정에서 레이저 빔(L)이 상기 표시소자(3)에까지 도달하는 것을 차단함으로써, 상기 표시소자(3)가 레이저 빔(L)에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 플렉서블 디스플레이장치(1)에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 상기 차단층(4)에 의해 레이저 빔(L)이 상기 표시소자(3)에까지 도달하는 것이 차단될 수 있으므로, 종래 기술과 비교할 때 더 강한 세기를 갖는 레이저 빔(L)을 이용하여 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 플렉서블 디스플레이장치(1)에 대한 제조 수율을 향상시킬 수 있다.
셋째, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하기 위한 레이저 빔(L)의 세기, 종류 등을 선정함에 있어서 상기 표시소자(3)에 대한 손상 위험을 고려하지 않아도 되므로, 레이저 빔(L)의 세기, 종류 등을 선정하는 것에 대한 다양성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 다양한 사양을 갖는 플렉서블 디스플레이장치(1)를 제조하는데 범용적으로 이용될 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조방법이 갖는 구성에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다. 도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조방법은 다음과 같은 구성을 포함한다.
우선, 희생층(20)을 형성한다(S10). 이러한 공정(S10)은 상기 캐리어기판(10) 상에 상기 희생층(20)을 형성함으로써 이루어질 수 있다. 상기 캐리어기판(10)은 상기 플렉서블 기판(2) 상에 상기 표시소자(3) 등을 형성하기 위한 공정이 원활하게 이루어질 수 있도록 상기 플렉서블 기판(2)을 지지할 수 있는 단단한 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 캐리어기판(10)은 유리기판, 메탈기판 등일 수 있다. 상기 희생층(20)은 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)이 분리될 수 있도록 레이저 빔(L)이 갖는 에너지에 의해 변형되는 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 희생층(20)은 비결정성 실리콘(Amorphous Silicon)을 이용하여 형성될 수 있다.
도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 희생층(20)을 형성하는 공정(S10)은, 상기 캐리어기판(10) 상에 부착층(21)을 형성한 후, 상기 부착층(21) 상에 상기 희생층(20)을 형성함으로써 이루어질 수도 있다. 상기 부착층(21)은 상기 캐리어기판(10)과 상기 희생층(20) 간의 접합력을 향상시킬 수 있다. 예컨대, 상기 부착층(21)은 산화 실리콘(SiO2), 질화 실리콘(SiNx) 등의 무기 절연물질을 상기 캐리어기판(10) 전면(全面)에 증착함으로써 형성될 수 있다.
다음, 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이 상기 차단층(4)을 형성한다(S20). 이러한 공정(S20)은 상기 희생층(4) 상에 상기 차단층(4)을 형성함으로써 이루어질 수 있다. 상기 차단층(4)은 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하기 위한 레이저 빔(L)이 통과하는 것을 차단할 수 있는 재질로 형성될 수 있다. 상기 차단층(4)은 레이저 빔(L)을 반사시킴으로써, 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하기 위한 레이저 빔(L)이 통과하는 것을 차단할 수 있다. 상기 차단층(4)은 레이저 빔(L)을 흡수함으로써, 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하기 위한 레이저 빔(L)이 통과하는 것을 차단할 수도 있다. 즉, 상기 차단층(4)은 고반사 특성과 저투과 특성 중에서 적어도 하나를 갖는 재료를 이용하여 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 차단층(4)은 레이저 빔(L)을 반사시킬 수 있는 재료로, 알루미늄(Al), 네오디뮴(Nd) 및 몰리브덴(Mo)을 포함하는 합금(AlNd/Mo)으로 형성될 수 있다. 상기 차단층(4)을 형성하는 공정(S20)은, 고반사 특성과 저투과 특성 중에서 적어도 하나를 갖는 금속 물질, 유기 물질, 또는 무기 물질을 상기 희생층(4) 전면(全面)에 증착함으로써 이루어질 수 있다.
상기 차단층(4)을 형성하는 공정(S20)은, 상기 차단층(4)이 500Å ~ 2,500Å의 두께를 갖도록 상기 차단층(4)을 형성함으로써 이루어질 수 있다. 상기 차단층(4)이 500Å 미만의 두께를 갖도록 형성된 경우, 상기 차단층(4)은 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하기 위한 레이저 빔(L)이 통과하는 것을 차단하기 어려운 문제가 있다. 상기 차단층(4)이 2,500Å 초과의 두께를 갖도록 형성된 경우, 상기 차단층(4)을 형성하는데 드는 재료비가 증가하는 문제가 있다. 또한, 상기 차단층(4)의 두께만큼 플렉서블 디스플레장치(1)의 두께가 두꺼워지므로, 박형화된 플렉서블 디스플레이장치(1)를 제조하는데 한계가 있는 문제가 있다. 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 상기 차단층(4)이 500Å ~ 2,500Å의 두께를 갖도록 상기 차단층(4)을 형성함으로써, 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하기 위한 레이저 빔(L)이 통과하는 것을 차단할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 차단층(4)을 형성하는데 드는 재료비를 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 향상된 품질을 갖는 플렉서블 디스플레이장치(1)를 제조할 수 있고, 플렉서블 디스플레이장치(1)에 대한 제조 단가를 낮추는데 기여할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 상기 차단층(4)이 500Å ~ 2,500Å의 두께를 갖도록 상기 차단층(4)을 형성함으로써, 박형화된 플렉서블 디스플레이장치(1)를 제조할 수 있다.
도 2 및 도 5를 참고하면, 상기 차단층(4)을 형성하는 공정(S20)은, 제1점착층(5, 도 5에 도시됨)을 형성하는 공정을 더 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 차단층(4)을 형성하는 공정(S20)은, 상기 희생층(20) 상에 상기 제1점착층(5)을 형성한 후, 상기 제1점착층(5) 상에 상기 차단층(4)을 형성함으로써 이루어질 수 있다. 상기 제1점착층(5)은 상기 희생층(20)과 상기 차단층(4) 간의 접합력을 향상시킬 수 있다. 예컨대, 상기 제1점착층(5)은 산화 실리콘(SiO2), 질화 실리콘(SiNx) 등의 무기 절연물질을 상기 희생층(20) 전면(全面)에 증착함으로써 형성될 수 있다.
다음, 도 2 및 도 6에 도시된 바와 같이 상기 플렉서블 기판(2)을 형성한다(S30). 이러한 공정(S30)은, 상기 차단층(4) 상에 상기 플렉서블 기판(2)을 형성함으로써 이루어질 수 있다. 상기 플렉서블 기판(2)은 고분자 물질을 이용하여 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 플렉서블 기판(2)은 폴리이미드(Polyimid)로 형성될 수 있다. 상기 플렉서블 기판(2)을 형성하는 공정(S30)은, 상기 차단층(4) 상에 폴리이미드 물질을 도포한 후, 폴리이미드 물질을 경화시킴으로써 이루어질 수 있다. 폴리이미드 물질은 슬릿 코팅(Slit Coating), 스핀 코팅(Spin Coating), 또는 바 코팅(Bar Coating) 기법을 이용하여 상기 차단층(4) 전면(全面)에 도포될 수 있다. 상기 차단층(4) 상에 도포된 폴리이미드 물질은 오븐(Oven), 퍼니스(Furnace) 등과 같은 열 경화장치를 이용하여 경화될 수 있다.
도 2, 도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 차단층(4)을 형성하는 공정(S20)은, 제2점착층(6, 도 5에 도시됨)을 형성하는 공정을 더 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 차단층(4)을 형성하는 공정(S20)은, 상기 희생층(20) 상에 상기 차단층(4)을 형성한 후, 상기 차단층(4) 상에 상기 제2점착층(6)을 형성함으로써 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 플렉서블 기판(2)을 형성하는 공정(30)은, 상기 제2점착층(6) 상에 상기 플렉서블 기판(2)을 형성함으로써 이루어질 수 있다. 상기 제2점착층(6)은 상기 차단층(4)과 상기 플렉서블 기판(2) 간의 접합력을 향상시킬 수 있다. 예컨대, 상기 제2점착층(6)은 산화 실리콘(SiO2), 질화 실리콘(SiNx) 등의 무기 절연물질을 상기 차단층(4) 전면(全面)에 증착함으로써 형성될 수 있다. 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은, 상기 제1점착층(5)을 형성하는 공정과 상기 제2점착층(6)을 형성하는 공정 중에서 어느 하나를 선택적으로 포함하거나, 상기 제1점착층(5)을 형성하는 공정과 상기 제2점착층(6)을 형성하는 공정 모두를 포함할 수도 있다.
다음, 도 2 및 도 7에 도시된 바와 같이 상기 표시소자(3)를 형성한다(S40). 이러한 공정(S40)은 상기 플렉서블 기판(2) 상에 상기 표시소자(3)를 형성함으로써 이루어질 수 있다. 상기 표시소자(3)는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT) 어레이층(31) 및 표시층(32)을 포함한다. 상기 박막트랜지스터 어레이층(31)은 각 화소 영역을 정의하는 게이트라인과 데이터라인, 및 각 화소 영역 내에 형성된 박막트랜지스터 등을 포함할 수 있다. 상기 표시층(32)은 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법에 의해 제조되는 플렉서블 디스플레이장치(1)의 종류에 따라 서로 다른 구성을 포함할 수 있다. 예컨대, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법이 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD)를 제조하기 위한 것인 경우, 상기 표시층(32)은 액정(Liquid Crystal) 등을 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법이 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Display, OLED)를 제조하기 위한 것인 경우, 상기 표시층(32)은 형광성 유기화합물 등을 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법이 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, PDP)을 제조하기 위한 것인 경우, 상기 표시층(32)은 불활성기체 등을 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법이 전기영동표시장치(Electrophoretic Display, EPD)를 제조하기 위한 것인 경우, 상기 표시층(32)은 전기영동분산액 등을 포함할 수 있다.
도 2, 도 7 및 도 8을 참고하면, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법이 전기영동표시장치를 제조하기 위한 것인 경우, 상기 표시소자(3)를 형성하는 공정(S40)은 상기 플렉서블 기판(2) 상에 전기영동층(32)을 형성하는 공정을 포함할 수 있다. 상기 전기영동층(32)을 형성하는 공정은, 상기 플렉서블 기판(2) 상에 전기영동필름(321, 도 8에 도시됨)을 부착함으로써 이루어질 수 있다. 상기 전기영동필름(321)은 복수개의 마이크로캡슐(Microcapsule, 3211)을 포함한다. 상기 마이크로캡슐(3211)은 그 안에 전기영동분산액을 갖는다. 전기영동분산액은, 유전용매(3211a), 상기 유전용매(3211a) 내에 분산되어 있는 복수개의 제1대전입자(3211b), 및 상기 유전용매(3211a) 내에 분산되어 있는 복수개의 제2대전입자(3211c)를 포함한다. 상기 제1대전입자(3211b)와 상기 제2대전입자(3211c)는 전계가 인가되면 쿨롱력에 의해 상기 유전용매(3211a) 내에서 이동함으로써 화상을 표시할 수 있다. 상기 제1대전입자(3211b)와 상기 제2대전입자(3211c)는 서로 다른 극성을 갖도록 대전되어 있다. 예컨대, 상기 제1대전입자(3211b)가 음(-)으로 대전된 것이면, 상기 제2대전입자(3211c)는 양(+)으로 대전된 것일 수 있다. 상기 제1대전입자(3211b)와 상기 제2대전입자(3211c)는 서로 다른 색채를 갖도록 형성될 수도 있다. 예컨대, 상기 제1대전입자(3211b)가 화이트(White) 색채를 가지면, 상기 제2대전입자(3211c)는 블랙(Black) 색채를 가질 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 전기영동분산액은 블랙 색채를 갖는 제2대전입자(3211c)를 대신하여 흑색 염료를 포함하는 유전용매(3211a)를 포함하도록 구성될 수도 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 상기 전기영동필름(321)은 점착시트(3212), 상기 마이크로캡슐(3211)들, 공통전극(3213) 및 베이스필름(3214)이 순차적으로 적층된 구조로 형성될 수 있다. 상기 마이크로캡슐(3211)들은 상기 공통전극(3213)과 상기 점착시트(3212) 사이에 위치된다. 상기 베이스필름(3214)은 상기 공통전극(3213) 상에 형성되고, 유리 또는 플라스틱으로 형성될 수 있다. 상기 공통전극(3213)은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide)로 형성될 수 있다. 상기 베이스필름(3214)과 상기 공통전극(3213)은 화상 표시를 위해 투명하게 형성될 수 있다. 상기 점착시트(3212)는 상기 박막트랜지스터 어레이층(31)에 부착될 수 있다. 상기 전기영동필름(321)은 FPL(Front-plane Laminate)일 수 있다. 도시되지는 않았지만, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 마이크로컵(Microcup) 방식의 전기영동필름(321)을 이용할 수도 있다.
도 2 및 도 7을 참고하면, 상기 표시소자(3)를 형성하는 공정(S40)은, 버퍼층(7)을 형성하는 공정을 더 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 표시소자(3)를 형성하는 공정(S40)은, 상기 플렉서블 기판(2) 상에 상기 버퍼층(7)을 형성한 후, 상기 버퍼층(7) 상에 상기 표시소자(3)를 형성함으로써 이루어질 수 있다. 상기 버퍼층(7)은 산화 실리콘(SiO2) 또는 질화 실리콘(SiNx) 등의 무기 절연물질을 상기 플렉서블 기판(2) 전면(全面)에 증착함으로써 형성될 수 있다. 상기 버퍼층(7)은 상기 플렉서블 기판(2)과 상기 표시소자(3) 간의 접합력을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 버퍼층(7)은 상기 플렉서블 기판(2)을 형성하기 위한 고분자 물질이 고온에 노출될 때 발생할 수 있는 유기 가스 또는 미세 유기 입자의 방출을 방지할 수 있다. 상기 버퍼층(7)은 산화 실리콘(SiO2) 또는 질화 실리콘(SiNx) 중 어느 하나만을 갖는 단일층 구조로 형성되거나, 산화 실리콘(SiO2)과 질화 실리콘(SiNx) 모두를 갖는 산화 실리콘/질화 실리콘 또는 질화실리콘/산화 실리콘의 이중층 구조로 형성될 수 있다.
다음, 도 2, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 레이저 빔(L)을 조사하여 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리한다(S50). 이러한 공정(S50)은 레이저장치(미도시)로부터 방출된 레이저 빔(L)이 상기 캐리어기판(10)을 통과하여 상기 희생층(20)에 조사됨으로써 이루어질 수 있다. 상기 희생층(20)은 레이저 빔(L)이 갖는 에너지에 의해 변형되어 상기 차단층(4)으로부터 분리된다. 예컨대, 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하는 공정(S50)은, 상기 희생층(20)에 레이저 빔(L)을 조사하여 a-Si:H의 반응을 유도하고, 해당 반응에서 발생한 수소(H)에 의해 상기 희생층(20)과 상기 차단층(4)이 분리됨으로써 이루어질 수 있다. 상기 희생층(20)과 상기 차단층(4)이 분리됨에 따라, 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)이 분리된다. 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)이 분리됨으로써, 플렉서블 디스플레이장치(1)가 제조될 수 있다. 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 분리된 캐리어기판(10) 상에는 상기 희생층(20)이 형성되어 있다. 상기 캐리어기판(10)이 분리된 플렉서블 기판(2) 아래에는 상기 차단층(4)이 형성되어 있다.
도 2 및 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하는 공정(S50)이 수행될 때, 상기 차단층(4)은 레이저 빔(L)이 통과하는 것을 차단함으로써 레이저 빔(L)이 상기 표시소자(3)에까지 도달하는 것을 방지할 수 있다. 도 9에 도시된 바와 같이 상기 차단층(4)은 레이저 빔(L)을 반사시킴으로써, 레이저 빔(L)이 상기 표시소자(3)에까지 도달하는 것을 차단할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 상기 표시소자(3)가 레이저 빔(L)에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 플렉서블 디스플레이장치(1)에 대한 품질을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 종래 기술과 비교할 때 더 강한 세기를 갖는 레이저 빔(L)을 이용하여 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리할 수 있으므로, 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하는데 걸리는 시간을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 플렉서블 디스플레이장치(1)에 대한 제조 수율을 향상시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 차단층(4)은 레이저 빔(L)을 흡수함으로써, 레이저 빔(L)이 상기 표시소자(3)에까지 도달하는 것을 차단할 수도 있다.
도 2 및 도 7을 참고하면, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법에 있어서, 상기 차단층(4)을 형성하는 공정(S20)은 상기 박막트랜지스터 어레이층(31)이 갖는 게이트라인을 형성하기 위한 물질과 동일한 물질로 상기 차단층(4)을 형성함으로써 이루어질 수 있다. 예컨대, 상기 게이트라인과 상기 차단층(4)은 알루미늄(Al), 네오디뮴(Nd) 및 몰리브덴(Mo)을 포함하는 합금(AlNd/Mo)으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 상기 게이트라인을 형성하기 위한 장치를 이용하여 상기 차단층(4)을 형성하는 것이 가능하므로, 플렉서블 디스플레이장치(1)를 제조하기 위한 공정비용을 줄일 수 있다.
도 11 및 도 12를 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은, 상기 차단층(4)을 형성하는 공정(S20)이 상기 플렉서블 기판(2)을 형성하는 공정(S30)과 상기 표시소자(3)를 형성하는 공정(S40) 사이에 수행될 수 있다. 이에 따라, 상기 차단층(4)은 상기 플렉서블 기판(2)과 상기 표시소자(30) 사이에 위치되게 형성될 수 있다. 본 발명의 변형된 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다. 본 발명의 변형된 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 상술한 실시예와 대략 일치하게 구성되므로, 이하에서는 차이점이 있는 부분만 설명하기로 한다.
우선, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 플렉서블 기판(2)을 형성하는 공정(S30)은, 상기 희생층(20) 상에 상기 플렉서블 기판(2)을 형성함으로써 이루어질 수 있다. 상기 희생층(20)은 상기 캐리어기판(10) 상에 형성된 것이다.
다음, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 차단층(4)을 형성하는 공정(S20)은, 상기 플렉서블 기판(2) 상에 상기 차단층(4)을 형성함으로써 이루어질 수 있다. 상기 차단층(4)을 형성하는 공정(S20)은, 상기 플렉서블 기판(2) 상에 상기 제1점착층(5, 도 5에 도시됨)을 형성한 후, 상기 제1점착층(5) 상에 상기 차단층(4)을 형성함으로써 이루어질 수도 있다. 상기 차단층(4)을 형성하는 공정(S20)은, 상기 차단층(4) 상에 상기 제2점착층(6, 도 5에 도시됨)을 형성하는 공정을 포함할 수도 있다. 본 발명의 변형된 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은, 상기 제1점착층(5, 도 5에 도시됨)을 형성하는 공정과 상기 제2점착층(6, 도 5에 도시됨)을 형성하는 공정 중에서 어느 하나를 선택적으로 포함하거나, 상기 제1점착층(5, 도 5에 도시됨)을 형성하는 공정과 상기 제2점착층(6, 도 5에 도시됨)을 형성하는 공정 모두를 포함할 수도 있다.
다음, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 표시소자(3)를 형성하는 공정(S40)은, 상기 차단층(4) 상에 상기 표시소자(3)를 형성함으로써 이루어질 수 있다. 상기 표시소자(3)를 형성하는 공정(S40)은, 상기 차단층(4) 상에 상기 버퍼층(7, 도 7에 도시됨)을 형성한 후, 상기 버퍼층(7) 상에 상기 표시소자(3)를 형성함으로써 이루어질 수도 있다. 본 발명의 변형된 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은, 상기 제2점착층(6, 도 5에 도시됨)을 대신하여 상기 차단층(4) 상에 상기 버퍼층(7, 도 7에 도시됨)을 형성할 수도 있다.
다음, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 레이저 빔(L)을 조사하여 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하는 공정(S50)은, 레이저장치로부터 방출된 레이저 빔(L)이 상기 캐리어기판(10)을 통과하여 상기 희생층(20)에 조사되어 상기 희생층(20)과 상기 플렉서블 기판(2)을 분리함으로써 이루어질 수 있다. 상기 희생층(20)과 상기 플렉서블 기판(2)이 분리됨에 따라, 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)이 분리된다. 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)이 분리됨으로써, 플렉서블 디스플레이장치(1)가 제조될 수 있다. 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 분리된 캐리어기판(10) 상에는 상기 희생층(20)이 형성되어 있다. 상기 캐리어기판(10)이 분리된 플렉서블 기판(2) 상에는 상기 차단층(4)이 형성되어 있다. 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하는 공정(S50)이 수행될 때, 상기 차단층(4)은 상기 플렉서블 기판(2)과 상기 박막트랜지스터 어레이층(31) 사이에 위치되어 레이저 빔(L)이 상기 박막트랜지스터 어레이층(31)에까지 도달하는 것을 차단할 수 있다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 상기 표시소자(3)가 레이저 빔(L)에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 플렉서블 디스플레이장치(1)에 대한 품질을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 종래 기술과 비교할 때 더 강한 세기를 갖는 레이저 빔(L)을 이용하여 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리할 수 있으므로, 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하는데 걸리는 시간을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치 제조방법은 플렉서블 디스플레이장치(1)에 대한 제조 수율을 향상시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치(1)는 상술한 플렉서블 디스플레이장치 제조방법을 이용하여 제조될 수 있다.
도 10 및 도 12를 참고하면, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치(1)는 상기 플렉서블 기판(2), 상기 표시소자(3) 및 상기 차단층(4)을 포함한다.
상기 플렉서블 기판(2)은 유연성(Flexibility)을 갖는 재질로 형성된다. 예컨대, 상기 플렉서블 기판(2)은 폴리이미드로 형성될 수 있다. 상기 플렉서블 기판(2)은 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있다.
상기 표시소자(3)는 화상 구현을 위한 것이다. 상기 표시소자(3)는 상기 플렉서블 기판(2) 상에 형성된다. 상기 표시소자(3)는 상기 박막트랜지스터 어레이층(31) 및 상기 표시층(32)을 포함한다. 상기 박막트랜지스터 어레이층(31)은 각 화소 영역을 정의하는 게이트라인과 데이터라인, 및 각 화소 영역 내에 형성된 박막트랜지스터 등을 포함할 수 있다. 상기 표시층(32)은 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치(1)의 종류에 따라 서로 다른 구성을 포함할 수 있다. 예컨대, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치(1)가 액정표시장치(LCD)인 경우, 상기 표시층(32)은 액정(Liquid Crystal) 등을 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치(1)가 유기전계발광표시장치(OLED)인 경우, 상기 표시층(32)은 형광성 유기화합물 등을 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치(1)가 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)인 경우, 상기 표시층(32)은 불활성기체 등을 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치(1)가 전기영동표시장치(EPD)인 경우, 상기 표시층(32)은 전기영동분산액 등을 갖는 전기영동층(32)을 포함할 수 있다. 상기 전기영동층(32)은 전기영동현상을 이용하여 화상을 구현할 수 있다.
상기 차단층(4)은 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하기 위한 레이저 빔(L)이 통과하는 것을 차단한다. 상기 표시소자(3)는 상기 플렉서블 기판(2)이 상기 캐리어기판(10) 상에 형성된 상태에서 상기 플렉서블 기판(2) 상에 형성된다. 이에 따라, 상기 플렉서블 기판(2) 상에 상기 표시소자(3)를 형성하기 위한 공정이 원활하게 이루어질 수 있다. 상기 캐리어기판(10)은 상기 플렉서블 기판(2) 상에 상기 표시소자(3)가 형성된 후, 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 분리된다. 상기 차단층(4)은 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하기 위한 레이저 빔(L)이 통과하는 것을 차단함으로써, 레이저 빔(L)이 상기 표시소자(3)에까지 도달하는 것을 방지한다. 따라서, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치(1)는 상기 표시소자(3)가 레이저 빔(L)에 의해 손상되는 것이 방지됨으로써, 얼룩 형태의 불량이 발생하지 않는 향상된 품질의 화상을 표시할 수 있다.
도 10을 참고하면, 상기 차단층(4)은 상기 플렉서블 기판(2)을 기준으로 상기 표시소자(3) 반대편에 위치되게 형성될 수 있다. 즉, 상기 차단층(4)은 상기 플렉서블 기판(2) 아래에 위치되게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 플렉서블 기판(2)으로부터 상기 캐리어기판(10)을 분리하기 위한 레이저 빔(L)은, 상기 차단층(4)에 의해 상기 플렉서블 기판(2)에까지 도달하는 것이 차단된다.
도 12를 참고하면, 상기 차단층(4)은 상기 플렉서블 기판(2)과 상기 표시소자(3) 사이에 위치되게 형성될 수 있다. 즉, 상기 차단층(4)은 상기 플렉서블 기판(2) 상에 위치되게 형성될 수 있다. 상기 차단층(4)은 상기 박막트랜지스터 어레이층(31) 아래에 위치되게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 플렉서블 기판(2)을 통과한 레이저 빔(L)은, 상기 차단층(4)에 의해 상기 박막트랜지스터 어레이층(31)에까지 도달하는 것이 차단된다.
본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치(1)는 상기 차단층(4) 아래에 형성된 제1점착층(5, 도 5에 도시됨)을 포함할 수도 있다. 도 12에 도시된 바와 같이 상기 차단층(4)이 상기 플렉서블 기판(2) 상에 형성된 경우, 상기 제1점착층(5, 도 5에 도시됨)은 상기 차단층(4)과 상기 플렉서블 기판(2) 간의 접합력을 향상시킬 수 있다.
도 10 및 도 12를 참고하면, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치(1)는 상기 차단층(4) 상에 형성된 제2점착층(6, 도 5에 도시됨)을 포함할 수도 있다. 도 10에 도시된 바와 같이 상기 차단층(4)이 상기 플렉서블 기판(2) 아래에 형성된 경우, 상기 제2점착층(6, 도 5에 도시됨)은 상기 차단층(4)과 상기 플렉서블 기판(2) 간의 접합력을 향상시킬 수 있다. 도 12에 도시된 바와 같이 상기 차단층(4)이 상기 플렉서블 기판(2) 상에 형성된 경우, 상기 제2점착층(6, 도 5에 도시됨)은 상기 차단층(4)과 상기 표시소자(3) 간의 접합력을 향상시킬 수 있다.
도 10 및 도 12를 참고하면, 상기 차단층(4)은 상기 박막트랜지스터 어레이층(31)이 갖는 게이트라인을 형성하기 위한 물질과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 게이트라인과 상기 차단층(4)은 알루미늄(Al), 네오디뮴(Nd) 및 몰리브덴(Mo)을 포함하는 합금(AlNd/Mo)으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치(1)는 상기 게이트라인을 형성하기 위한 장치를 이용하여 상기 차단층(4)을 형성하는 것이 가능하므로, 공정비용을 줄임으로써 제조단가를 낮출 수 있다.
도 10 및 도 12를 참고하면, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이장치(1)는 상기 플렉서블 기판(2) 상에 형성된 버퍼층(7, 도 7에 도시됨)을 포함할 수도 있다. 상기 버퍼층(7)은 상기 플렉서블 기판(2)과 상기 표시소자(3) 간의 접합력을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 버퍼층(7)은 상기 플렉서블 기판(2)을 형성하기 위한 고분자 물질이 고온에 노출될 때 발생할 수 있는 유기 가스 또는 미세 유기 입자의 방출을 방지할 수 있다. 상기 버퍼층(7)은 산화 실리콘(SiO2) 또는 질화 실리콘(SiNx) 중 어느 하나만을 갖는 단일층 구조로 형성되거나, 산화 실리콘(SiO2)과 질화 실리콘(SiNx) 모두를 갖는 산화 실리콘/질화 실리콘 또는 질화실리콘/산화 실리콘의 이중층 구조로 형성될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
1 : 플렉서블 디스플레이장치 2 : 플렉서블 기판 3 : 표시소자
4 : 차단층 5 : 제1점착층 6 : 제2점착층 7 : 버퍼층
10 : 캐리어기판 20 : 희생층

Claims (10)

  1. 캐리어기판 상에 부착층을 형성하는 단계;
    상기 부착층 상에 비결정성 실리콘으로 형성되고, 수소를 방출하여 기판의 분리를 일으킬 수 있는 희생층을 형성하는 단계;
    상기 희생층 상에 레이저 빔이 통과하는 것을 차단하기 위한 차단층을 형성하는 단계;
    상기 차단층 상에 플렉서블 기판을 형성하는 단계;
    상기 플렉서블 기판 상에 화상 구현을 위한 표시소자를 형성하는 단계; 및
    상기 차단층과 상기 희생층을 분리하기 위한 레이저 빔을 조사하여 상기 플렉서블 기판으로부터 상기 캐리어기판을 분리하는 단계를 포함하고,
    상기 차단층은 알루미늄(Al), 네오디뮴(Nd) 및 몰리브덴(Mo)을 포함하는 합금(AlNd/Mo)으로 형성되는 플렉서블 디스플레이장치 제조방법.
  2. 캐리어기판 상에 부착층을 형성하는 단계;
    상기 부착층 상에 비결정성 실리콘으로 형성되고 수소를 방출하여 기판의 분리를 일으킬 수 있는 희생층을 형성하는 단계;
    상기 희생층 상에 플렉서블 기판을 형성하는 단계;
    상기 플렉서블 기판 상에 레이저 빔이 통과하는 것을 차단하기 위한 차단층을 형성하는 단계;
    상기 차단층 상에 화상 구현을 위한 표시소자를 형성하는 단계; 및
    상기 희생층과 상기 플렉서블 기판을 분리하기 위한 레이저 빔을 조사하여 상기 플렉서블 기판으로부터 상기 캐리어기판을 분리하는 단계를 포함하고,
    상기 차단층은 알루미늄(Al), 네오디뮴(Nd) 및 몰리브덴(Mo)을 포함하는 합금(AlNd/Mo)으로 형성되는 플렉서블 디스플레이장치 제조방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 차단층을 형성하는 단계는,
    제1점착층을 형성하는 단계; 및
    상기 제1점착층 상에 상기 차단층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이장치 제조방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 차단층을 형성하는 단계는, 상기 차단층 상에 제2점착층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이장치 제조방법.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 표시소자를 형성하는 단계는, 전기영동현상을 이용하여 화상을 구현하는 전기영동층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이장치 제조방법.
  6. 화상 구현을 위한 표시소자;
    상기 표시소자가 형성된 플렉서블 기판; 및
    상기 플렉서블 기판으로부터 캐리어기판을 분리하기 위한 레이저 빔이 통과하는 것을 차단하는 차단층을 포함하고,
    상기 차단층은 알루미늄(Al), 네오디뮴(Nd) 및 몰리브덴(Mo)을 포함하는 합금(AlNd/Mo)으로 형성되는 플렉서블 디스플레이장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 차단층은 상기 플렉서블 기판을 기준으로 상기 표시소자 반대편에 위치되게 상기 플렉서블 기판 아래에 형성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 차단층은 상기 플렉서블 기판과 상기 표시소자 사이에 위치되게 상기 플렉서블 기판 상에 형성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 표시소자는 전기영동현상을 이용하여 화상을 구현하는 전기영동층을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이장치.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 표시소자는 상기 플렉서블 기판 상에 형성된 게이트라인을 포함하고,
    상기 차단층은 상기 게이트라인을 형성하기 위한 물질과 동일한 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이장치.
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