KR101901351B1 - 투습 방지용 보호필름 부착장치 및 그 방법 - Google Patents
투습 방지용 보호필름 부착장치 및 그 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101901351B1 KR101901351B1 KR1020110119205A KR20110119205A KR101901351B1 KR 101901351 B1 KR101901351 B1 KR 101901351B1 KR 1020110119205 A KR1020110119205 A KR 1020110119205A KR 20110119205 A KR20110119205 A KR 20110119205A KR 101901351 B1 KR101901351 B1 KR 101901351B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- protective film
- substrate
- attaching
- roller
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
본 발명의 일 실시예에서는, 다수의 OLED가 형성된 기판을 지지하는 로딩 스테이지와, 상기 OLED별로 보호필름을 부착하되, 상기 보호필름을 상기 기판에 대해 경사지게 상기 OLED 상에 위치시킨 상태로 상기 보호필름을 공급해서 상기 보호필름을 상기 기판에 부착하는 부착 유닛을 포함하는 투습 방지용 보호필름 부착장치를 제공한다.
Description
본 발명은 OLED(Organic light emitting diodes)에 수분침투 방지용으로 사용되는 보호필름을 OLED에 부착하는 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보간의 연결 매체인 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 따라, 유기발광 표시소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED), 액정표시 패널(Liquid Crystal Display Panel: LCD), 전기영동표시장치(Electro Phoretic Display; EPD) 및 플라즈마 표시패널(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 디스플레이의 사용이 증가하고 있다.
이중 유기발광 다이오드는 천연색 구현이 가능해 요즘 디스플레이로 각광을 받고 있으며, 유기발광 다이오드는 핸드폰과 같은 소형 통신기기에서 점차 자리를 확대화가고 있는 추세이다. 유기발광 다이오드는 응답속도가 1ms 이하로서 고속의 응답속도를 가지며, 소비 전력이 낮고 자발광하기 때문에, 천연색을 구현할 수 있는 장점이 있다. 또한, 시야각에 문제가 없어서 장치의 크기에 상관없이 영상을 표시하는 디스플레이로써 적합하고, 저온 제작, 기존의 반도체 공정 기술을 바탕으로 제조 공정이 간단하므로 향후 차세대 평판 표시소자로 주목받고 있다.
유기발광 다이오드는 산소, 수분에 취약하기 때문에, 신뢰성 확보를 위해서 인캡슐레이션(encapsulation)을 위해 게터(getter)와 유리기판을 사용해 왔는데, 요즘들어 박형화 및 휘어지는 기판의 대두로 유리기판을 대신해서 보호필름으로 인캡슐레이션을 하고 있다.
이하, 도1을 가지고 종전 보호필름을 OLED에 부착하는 과정을 설명하면 다음과 같다.
도 1에서 예시하는 바처럼, 종전 방식은 금속지그(11)를 이용해서 전사용 기판(21)에 보호필름(PF)을 패턴별로 위치시킨 후에, 이를 OLED에 전달하는 방식으로 이뤄진다.
금속지그(11)는 형태 유지를 위해서 일반적으로 강성의 금속으로 만들어져 있다. 이 금속지그(11)는 보호필름(PF)이 위치하는 다수의 패턴홀(11a)이 형성돼 있다. 주지하는 바처럼, OLED는 하나의 대면적 기판(MG)에 다수개가 형성되고, 보호필름(PF)이 각각의 OLED에 부착된 후 기판(MG)을 절단해 만들어진다.
금속지그(11)는 전사용 기판(21)과 결합되고, 금속지그(11)에 마련된 패턴홀(11a)에 보호필름(PF)을 위치시킨다. 이때 보호필름(PF)은 접착제가 발라져 있는 접착면이 위를 향하도록 위치한다. 접착제는 일반적으로 열경화성 에폭시 수지가 사용된다.
이후, 다수의 OLED가 형성돼 있는 기판(MG)을 금속지그(11) 위에 위치시킨다. 이때, OLED 각각이 보호필름(PF) 각각과 마주할 수 있게 얼라인시켜서 기판(MG)을 금속지그(11) 위에 올려 놓는다. 이처럼 위치시킨 상태에서, 분위기 온도를 섭씨70도로 유지해 접착제를 녹여 보호필름(PF)을 OLED에 부착하고, 분위기를 진공상태로 유지해 보호필름(PF)과 OLED사이가 완전히 밀착되도록 한다. 이후, 분위기 온도를 섭씨 100도로 올려 접착제를 열경화시켜 보호필름(PF)을 OLED에 영구적으로 부착시킨다.
이처럼, 종전의 보호필름 부착 방식은 진공 분위기에서 보호필름을 OLED에 부착하기 때문에, 진공 설비가 필요하다. 또한, 접착제를 경화시키는 과정이 필요하기 때문에, 오븐 설비 역시 필요하다. 나아가, 보호필름과 OLED 사이를 진공 상태로 유지한 채 부착하기 때문에 둘 사이에서 공기가 완전히 빠지지 않은 경우에는 에어 버블이 발생해 보호필름이 OLED에 제대로 부착되지 못하는 불량이 발생하는 등의 문제가 발생한다. 또한, 상술한 종전 방식은 수작업을 통해서 기판과 금속지그를 맞추고 이를 오븐과 진공설비에서 각각 작업이 이뤄져야 하기 때문에, 대량 생산을 위한 인라인형 설비에 적용해 사용할 수가 없어 작업 수율이 떨어지는 문제가 있다.
본 발명은 이 같은 배경에서 창안된 것으로, 상술한 문제점들을 해결해 쉽사리 보호필름을 OLED에 부착할 수 있는 장치 및 그 방법을 제공하는데 있다. 이때, 보호필름과 OLED 사이에 에어버블이 발생하지 않도록 하며, 인라인형 설비에서도 쉽게 적용 사용 가능한 장치 및 그 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에서는, 다수의 OLED가 형성된 기판을 지지하는 로딩 스테이지와, 상기 OLED별로 보호필름을 부착하되, 상기 보호필름을 상기 기판에 대해 경사지게 상기 OLED 상에 위치시킨 상태로 상기 보호필름을 공급해서 상기 보호필름을 상기 기판에 부착하는 부착 유닛을 포함하는 투습 방지용 보호필름 부착장치를 제공한다.
상기 부착 유닛은, 상기 보호필름을 수납하는 포켓과, 상기 포켓 위에 배치되는 롤러를 포함하는 포켓부를 포함하고, 상기 포켓부는 상기 보호필름의 끝 부분을 상기 롤러와 마주하게 위치시킨 상태로 상기 보호필름을 상기 기판에 공급할 수 있다.
상기 포켓부는 포켓의 하단에 상기 보호필름을 상기 롤러와 마주하게 위로 밀어 올리는 이젝터를 더 포함할 수 있다.
상기 포켓은 상기 포켓의 바닥면을 기 설정된 온도 이상으로 상승시키는 가열부를 더 포함할 수 있다.
상기 포켓은 상기 보호필름이 상기 기판에 부착되는 동안 상기 보호필름을 진공 흡착할 수 있다.
상기 부착 유닛은 상기 포켓부의 배면에 회전 가능하게 연결돼 상기 포켓부를 상기 기판을 향해 회전시켜 상기 보호필름이 기판에 대해 경사진 상태를 유지시키는 실린더부를 더 포함할 수 있다.
상기 로딩 스테이지는 상기 부착 유닛보다 아래에 위치해서 상기 보호필름을 상기 기판에 경사진 상태로 공급하기 쉽게 구성될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에서는 (a) 회전 가능하게 프레임에 고정된 포켓부에 보호필름을 진공 흡착시키는 단계와, (b) 상기 보호필름에 마련된 열경화성 에폭시 수지로 이뤄진 접착제를 예열하는 단계와, (c) 다수의 OLED가 형성된 기판에 상기 보호필름을 상기 기판에 대해 경사지게 상기 OLED 상에 위치시킨 상태로 상기 보호필름을 공급하는 단계와, (d) 상기 보호필름이 경사진 상태에서 상기 보호필름을 상기 기판에 부착하는 단계를 포함하는 투습 방지용 보호필름의 부착방법을 개시한다.
상기 (c) 단계는, 상기 포켓부 위에 마련된 롤러와 마주하게 상기 보호필름의 끝부분을 밀어 올린 후, 상기 포켓부를 상기 기판을 향해 회전시켜 상기 롤러로 상기 보호필름의 끝 부분을 가압해서 상기 기판에 상기 보호필름을 부착하기 시작할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는, 회전 가능하게 구성된 포켓에 보호필름을 수납한 상태에서 상기 보호필름을 예열해 접착제를 젤화시키고, 이 상태에서 상기 보호필름을 기판에 경사지게 공급해서 부착하기 때문에, 기판과 보호필름 사이에 에어 버블(air buble)이 생기는 종전 문제를 해결할 수가 있다. 또한, 본 발명은 이처럼 구성해, 진공 설비나, 오븐과 같은 별도의 작업 공간에서 작업이 일어나지 않도록 구성함으로써 인라인형 설비에서도 쉽게 적용해 사용할 수가 있다.
도 1은 종전 방식으로 보호필름을 OLED에 부착하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 투습 방지용 보호필름 부착장치를 보여주는 도면이다.
도 3은 도 2의 측면 모습을 보여주는 도면이다.
도 4는 로딩 스테이지의 개략적인 단면을 보여주는 도면이다.
도 5는 포켓부 중 포켓의 구성을 중심으로 보여주는 도면이다.
도 6은 롤러와 포켓의 배치 관계를 모식적으로 보여주는 도면이다
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 부착장치의 동작 과정을 설명하는 흐름도이다.
도 8은 롤러와 보호필름의 배치 관계를 설명하는 도면이다.
도 9는 보호필름이 기판에 경사지게 부착되기 시작하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 10은 보호필름이 기판에 경사진 채 기판에 부착되는 모습을 보여주는 도면이다.
도 11은 인라인형 설비에 일실시예의 부착 장치가 적용된 모습을 예시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 투습 방지용 보호필름 부착장치를 보여주는 도면이다.
도 3은 도 2의 측면 모습을 보여주는 도면이다.
도 4는 로딩 스테이지의 개략적인 단면을 보여주는 도면이다.
도 5는 포켓부 중 포켓의 구성을 중심으로 보여주는 도면이다.
도 6은 롤러와 포켓의 배치 관계를 모식적으로 보여주는 도면이다
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 부착장치의 동작 과정을 설명하는 흐름도이다.
도 8은 롤러와 보호필름의 배치 관계를 설명하는 도면이다.
도 9는 보호필름이 기판에 경사지게 부착되기 시작하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 10은 보호필름이 기판에 경사진 채 기판에 부착되는 모습을 보여주는 도면이다.
도 11은 인라인형 설비에 일실시예의 부착 장치가 적용된 모습을 예시하는 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 실질적으로 동일한 구성요소들을 의미한다. 이하의 설명에서, 본 발명과 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그 상세한 설명을 생략한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 투습 방지용 보호필름 부착장치(이하, 부착장치)를 보여주는 도면이고, 도 3은 이의 측면 모습을 보여주는 도면이다.
도 2 및 도 3에서, 본 실시예의 부착장치는 크게 기판 고정용 로딩 스테이지(100)와, 필름 부착유닛(200)으로 구성된다.
로딩 스테이지(100)는 기판(MG)에 보호필름(PF)이 부착되는 동안에 기판을 로딩(loading) 하고 있다. 도 4는 로딩 스테이지(100)의 개략적인 단면을 보여주는데, 이 로딩 스테이지(100)는 진공홀(100a)을 포함해서 구성될 수 있다. 진공홀(100a)은 진공 시스템에 연결되어 있으며, 로딩 스테이지(100)에 기판(MG)이 로딩되는 순간부터 동작해 진공압을 이용해 기판(MG)을 작업동안 로딩 스테이지(100)에 고정하게 된다. 이 같은 로딩 스테이지(100)는 로봇(미도시)에 체결되어 있을 수 있으며, 로봇은 컨트롤러(미도시)의 제어에 따라 로딩 스테이지(100)를 XZ평면을 따른 평면 운동 및 Y축을 중심으로 한 회전이 가능하도록 구성되어 있다. 이 같은 구성에 의해, 컨트롤러는 로딩 스테이지(100)의 동작을 제어해서 보호필름(PF)이 OLED에 정위치에서 부착될 수 있도록 한다.
한편, 로딩 스테이지(100)는 필름 부착유닛(100)보다 아래에 위치한다. 이처럼, 로딩 스테이지(100)가 로딩 유닛(100)보다 아래에 위치하기 때문에, 후술한 바처럼 보호필름(PF)이 기판(MG)에 대해 소정 각도로 기울어진 채 공급될 수가 있다.
필름 부착유닛(100)은 포켓부(110), 실린더부(120), 구동부(130)를 포함해서 구성된다.
포켓부(110)는 대략 직육면체의 플레이트 형상을 가지고 있으며, 한쪽 면에 보호필름(PF)이 수납되는 포켓(111)이 마련돼 있다. 포켓부(110)의 양쪽 끝은 프레임(BD)에 회전 가능하게 구속되어 있다. 이에 따라서, 포켓부(110)는 힌지를 중심으로 시계방향 또는 반시계 방향으로 회전을 할 수 있다. 이처럼 구성되는 포켓부(110)는 포켓(111) 위에 마련된 롤러(113)를 포함해서 구성된다.
도 5는 포켓부(110) 중 포켓(111)의 구성을 중심으로 보여주는 도면이다. 도 5에서 예시하는 바처럼, 포켓(111)은 보호필름(PF)을 수납할 수 있도록 포켓부(110)에 단턱지게 구성되어 있다. 포켓(111)의 아래쪽에는 보호필름(PF)을 밀어 올리는 이젝터(eajector)(115)가 구성되어 있다. 이 이젝터(115)는 에어압으로 동작해서 포켓(111)을 향해 위쪽으로 돌출되도록 구성된다.
포켓(111)은 바닥면(111a)에 마련된 진공홀(111b)를 포함해서 구성될 수 있다. 진공홀(111b)은 진공 시스템에 연결되어 있으며, 포켓(111)에 보호필름(PF)이 수납되면 동작해서 진공압을 이용해 보호필름(PF)을 포켓(111)에 수납한다. 또한, 포켓(111)은 바닥면(111a)에 마련된 가열부(미도시)를 더 포함해서 구성될 수 있다. 일 예에서, 이 같은 가열부는 전기에 의해 히팅되는 열선으로 구성될 수 있다. 가열부는 포켓(111)의 바닥면을 가열해서 보호필름(PF)을 소정 이상의 온도로 가열한다.
한편, 롤러(113)는 포켓(111) 위에 위치하게 설치되어 있다. 이 롤러(113)는 마운팅(119)에 회전 가능하게 고정되어 있고, 마운팅(119)은 일부가 포켓부(110) 위로 돌출된 채 포켓부(110)의 배면에 고정되어 있다. 따라서, 롤러(113)는 마운팅(119)에 의해서 포켓(111) 위에 고정된 상태로, 회전할 수 있도록 구성된다.
도 6은 롤러(113)와 포켓(111)의 배치 관계를 모식적으로 보여주는 도면이다. 도 6에서 예시하는 바처럼, 롤러(113)의 너비(w1)는 포켓(111)의 너비(w2)보다 넓다. 또한, 롤러(113)는 포켓부(110)의 중심선(0)을 기준으로 더 포켓(111)보다 더 앞에 위치한다.
이에 따라, 이젝터(115)의 동작에 위해, 보호필름(PF)이 포켓(111) 위로 돌출되었을 때, 롤러(113)로 보호필름(PF)을 기판(MG)에 쉽게 부착할 수가 있다. 이에 대해서는 이하의 동작 설명을 통해서 보다 자세히 설명한다.
한편, 포켓부(110)는 포켓(111)이 형성돼 있는 곳으로 설치된 쇼버(SH)를 더 포함해서 구성될 수 있다. 이 쇼버(SH)는 포켓부(110)가 힌지를 축으로 회전했을 때, 프레임(BD)과 충돌해 전해지는 충격을 완화시켜 포켓(111)에 수납된 보호필름(PF)이 충격으로 인해 떨어지는 것을 방지한다.
실린더부(120)는 상술한 포켓부(110)를 힌지를 축으로 회전 운동시킨다. 이 실린더부(120)은 한 쌍으로 이뤄진 실린더로 구성될 수 있으며, 프레임(BD)에 고정되어 있다. 실린더(120)의 한 쪽 끝은 포켓부(110)의 배면에 회전 가능하게 연결돼 있다. 이에 따라, 포켓부(110)는 실린더부(120)의 동작에 의해 접었다 펴졌다하는 동작이 이뤄진다.
구동부(130)는 서보 모터로 구성될 수 있고, 실린더부(120)와 포켓부(110)가 설치된 프레임(BD)을 레일(RA)을 따라 전후 운동시킨다. 여기서, 레일(RA)은 기판(MG)을 로딩하는 로딩 스테이지(100) 사이에 위치하고 있다. 이에 따라, 구동부(130)의 동작에 의해, 포켓부(110)는 기판(MG) 위에서 움직여 질 수가 있다.
이하, 도 7을 참조로, 위처럼 구성된 부착장치의 동작 과정을 자세히 설명한다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 부착장치의 동작 과정을 설명하는 흐름도이다.
S11 단계에서, 포켓부(110)에 접착제가 발라진 면이 바깥을 향하도록 보호필름(PF)을 로딩한다. 이때, 진공 시스템이 동작해 포켓(111)에 마련된 진공홀(111b)을 통해 진공압이 포켓(111)에 전달돼 보호필름(PF)이 포켓(111)에 로딩된다.
S12 단계에서, 포켓(111)에 마련된 가열부를 동작시켜서 보호필름(PF)을 섭씨 70도(°C)의 온도로 가열한다. 이에 따라, 열경화성 에폭시 수지로 이뤄진 보호필름(PF)의 접착제가 녹아 젤 상태로 변한다.
S13 단계에서, 포켓(111)에 마련된 이젝터(115)가 동작해서 보호필름(PF)의 일부를 밀어 올려 보호필름(PF)의 끝 부분이 롤러(113)와 마주하게 위치시킨다. 도 8에서 예시하는 바처럼, 보호필름(PF)이 포켓(111)에 수납된 상태에서는 롤러(113)와 마주하지 않는다. 하지만, 이젝터(115)가 동작하게 되면, 이젝터(115)는 보호필름(PF)을 소정 거리(d)만큼 위로 밀어 올리게 된다. 이에 따라, 포켓(111)에 수납된 보호필름(PF)(도 8 중 점선)은 롤러(113)와 마주하는 위치까지 포켓(111) 밖으로 돌출한다. 이때, 보호필름(PF)은 진공압으로 구속돼 있기 때문에, 일부가 포켓(111) 밖으로 돌출되더라도 포켓(111)에서 분리되지는 않는다.
S14 단계에서, 보호필름(PF)의 일부가 포켓(111) 밖으로 돌출된 후에, 실린더부(120)가 동작해 포켓부(110)를 로딩 스테이지(100) 위에 위치한 기판(MG)을 향해 접는다. 도 9에서 예시하는 바처럼, 포켓부(110)가 힌지 축을 중심으로 회전하게 되면, 보호필름(PF)은 기판(MG)에 대해 소정 각도로 기울어진 채 보호필름(PF)의 끝이 기판(MG)과 접촉하게 된다. 로딩 스테이지(100)가 포켓부(110)의 힌지축보다 아래에 위치하기 때문에, 보호필름(PF)이 경사진 상태로 기판(MG)과 접촉할 수가 있다.
S15 단계에서, 이처럼 보호필름(PF)이 기판(MG)에 대해 기울어진 상태를 유지하면서 구동부(120)가 동작해 레일(RA)을 따라 프레임(BD)을 화살표 방향으로 움직인다. 이에 따라, 프레임(BD)에 구비된 포켓부(110) 역시 화살표 방향으로 움직이게 된다. 그럼, 포켓부(110) 선단에 마련된 롤러(113)가 보호필름(PF)을 기판(MG)에 가압하면서 부착하게 되므로, 기판(MG)과 보호필름(PF) 사이에 에어 버블이 생기는 것을 최소로 줄일 수 있다. 한편, 보호필름(PF)이 기판(MG)에 잘 부착될 수 있도록 롤러(113)는 가열부를 더 포함해서 구성될 수 있다. 가열부는 상술한 열선으로 구성될 수 있으며, 부착 과정 동안에 롤러(113)를 접착제가 젤화되는 온도인 섭씨 70도의 온도로 유지시켜, 보호필름(PF)이 기판(MG)에 잘 부착될 수 있도록 한다.
한편, 상술한 실시예에서는 로딩 스테이지(100)는 고정된 채, 로딩 유닛(200)이 움직여 동작하는 것으로 설명했으나, 인라인형 설비에 본 발명을 적용하는 경우에는 반대로 로딩 스테이지(100)가 이동하고, 로딩 유닛(200) 고정된 상태로 구성되는 것이 더 바람직하다.
도 11에서 예시하는 바처럼, 인라인형 설비에서는 컨베이어 형식으로 배치된 롤러(R)에 의해 화살표 방향으로 기판(MG)이 이송되면서 작업이 이뤄진다. 기판(MG)은 로딩 스테이지(100)에 의해 고정된 채 롤러(R)에 의해 현 공정으로 이송되고, 상술한 바와 같이 동작하는 로딩 유닛(200)에 의해 기판(MG)이 이송되면서 기판(MG)에 보호필름(PF)이 부착될 수 있다. 보호필름(PF)이 부착된 후에, 기판(MG)은 로딩 스테이지(100)에 로딩된 채 이송되는데, 이때 이송 라인 상에 히팅부(300)가 더 설치될 수가 있다. 히팅부(300)는 보호필름(PF)의 접착제를 섭씨 100도 이상으로 가열해 보호필름(PF)을 기판(MG)에 영구적으로 부착하게 된다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
Claims (9)
- 다수의 OLED가 형성된 기판을 지지하는 로딩 스테이지와,
상기 OLED별로 보호필름을 부착하되, 상기 보호필름을 수납하는 포켓과, 상기 포켓 위에 배치되는 롤러를 포함하는 포켓부를 포함하여 상기 보호필름을 상기 기판에 대해 경사지게 상기 OLED 상에 위치시킨 상태로 상기 보호필름을 공급해서 상기 보호필름을 상기 기판에 부착하는 부착 유닛,
을 포함하는 투습 방지용 보호필름 부착장치. - 제1항에 있어서,
상기 포켓부는 상기 보호필름의 끝 부분을 상기 롤러와 마주하게 위치시킨 상태로 상기 보호필름을 상기 기판에 공급하는 투습 방지용 보호필름 부착장치. - 제2항에 있어서,
상기 포켓의 하단에 상기 보호필름을 상기 롤러와 마주하게 위로 밀어 올리는 이젝터를 더 포함하는 투습 방지용 보호필름 부착장치. - 제2항에 있어서,
상기 포켓은 상기 포켓의 바닥면을 기 설정된 온도 이상으로 상승시키는 가열부를 더 포함하는 투습 방지용 보호필름 부착장치. - 제2항에 있어서,
상기 포켓은 상기 보호필름이 상기 기판에 부착되는 동안 상기 보호필름을 진공 흡착하는 투습 방지용 보호필름 부착장치. - 제2항에 있어서,
상기 포켓부의 배면에 회전 가능하게 연결돼 상기 포켓부를 상기 기판을 향해 회전시켜 상기 보호필름이 기판에 대해 경사진 상태를 유지시키는 실린더부를 더 포함하는 투습 방지용 보호필름 부착장치. - 제1항에 있어서,
상기 로딩 스테이지는 상기 부착 유닛보다 아래에 위치하는 투습 방지용 보호필름 부착장치. - (a) 회전 가능하게 프레임에 고정된 포켓부에 보호필름을 진공 흡착시키는 단계와,
(b) 상기 보호필름에 마련된 열경화성 에폭시 수지로 이뤄진 접착제를 예열하는 단계와,
(c) 다수의 OLED가 형성된 기판에 상기 보호필름을 상기 기판에 대해 경사지게 상기 OLED 상에 위치시킨 상태로 상기 보호필름을 공급하는 단계와,
(d) 상기 보호필름이 경사진 상태에서 상기 보호필름을 상기 기판에 부착하는 단계
를 포함하는 투습 방지용 보호필름의 부착방법. - 제8항에 있어서,
상기 (c) 단계는, 상기 포켓부 위에 마련된 롤러와 마주하게 상기 보호필름의 끝부분을 밀어 올린 후, 상기 포켓부를 상기 기판을 향해 회전시켜 상기 롤러로 상기 보호필름의 끝 부분을 가압해서 상기 기판에 상기 보호필름을 부착하기 시작하는 투습 방지용 보호필름의 부착방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110119205A KR101901351B1 (ko) | 2011-11-15 | 2011-11-15 | 투습 방지용 보호필름 부착장치 및 그 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110119205A KR101901351B1 (ko) | 2011-11-15 | 2011-11-15 | 투습 방지용 보호필름 부착장치 및 그 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20130053351A KR20130053351A (ko) | 2013-05-23 |
KR101901351B1 true KR101901351B1 (ko) | 2018-09-21 |
Family
ID=48662618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020110119205A KR101901351B1 (ko) | 2011-11-15 | 2011-11-15 | 투습 방지용 보호필름 부착장치 및 그 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101901351B1 (ko) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102116035B1 (ko) * | 2013-09-13 | 2020-05-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 제조 방법 |
KR101353511B1 (ko) * | 2013-10-14 | 2014-01-23 | 테라셈 주식회사 | 반도체 패키지용 보호필름 부착장치 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003311842A (ja) * | 2002-04-25 | 2003-11-06 | Gunze Ltd | タッチパネル、フィルム貼付け装置及びその方法 |
-
2011
- 2011-11-15 KR KR1020110119205A patent/KR101901351B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003311842A (ja) * | 2002-04-25 | 2003-11-06 | Gunze Ltd | タッチパネル、フィルム貼付け装置及びその方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130053351A (ko) | 2013-05-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11061438B2 (en) | Flexible display panel, manufacturing method thereof and display device | |
US8951085B2 (en) | Method of fabricating flexible display device | |
US9147859B2 (en) | Organic light emitting display device and method for manufacturing the same | |
KR101931336B1 (ko) | 평판 표시장치의 보호필름 부착용 전사필름 및 전사필름을 이용한 평판 표시장치의 제조 방법 | |
TWI326562B (en) | Double-sided electroluminescent display device and method of making same | |
KR101633118B1 (ko) | 유기발광소자의 실링방법 | |
KR102154606B1 (ko) | 플렉서블 유기발광다이오드 표시소자 및 제조방법 | |
CN106654062B (zh) | 分离偏光片与柔性oled显示面板的方法 | |
KR101901351B1 (ko) | 투습 방지용 보호필름 부착장치 및 그 방법 | |
JP2007086504A (ja) | 自発光ユニット、および自発光ユニットの製造方法 | |
CN110246880A (zh) | 显示面板的制备方法及显示面板 | |
US20210343975A1 (en) | Display panel and method of manufacturing the same | |
KR101668285B1 (ko) | 투명전광판 제조용 엘이디 칩 마운팅 장치 | |
TW201442219A (zh) | 用於顯示裝置之組件設備 | |
KR102009889B1 (ko) | 표시장치 및 그 제조방법 | |
KR20150067609A (ko) | 플렉시블 표시 장치 및 이의 제조 방법 | |
JP2007273400A (ja) | 光デバイスの製造方法、および光デバイス | |
CN103137899A (zh) | 制造平板显示器的密封装置 | |
KR101739136B1 (ko) | 유기전계발광 표시장치 제조 방법 및 그 방법에 의한 유기전계발광 표시장치 | |
JP4736602B2 (ja) | 有機el素子の封止方法及び封止装置 | |
CN110640684B (zh) | 拆解设备及拆解方法 | |
US9013101B2 (en) | Display apparatus and method of manufacturing the same | |
KR101430670B1 (ko) | 기능성 필름 부착 시스템 | |
KR101658438B1 (ko) | 유기전계발광 소자용 기판 합착장치 | |
JP2006163110A (ja) | 回路基板、電気光学装置、電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |