KR101898122B1 - 진공 소자 및 진공 브레이징을 포함하는 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 한 측면에 따른 진공 소자는, 진공 상태를 이루는 내부 공간 둘레에 배치된 제 1 접합면을 갖는 제 1 모재; 상기 제 1 접합면과 대면하여 접합되는 제 2 접합면을 가지는 제 2 모재; 상기 제 1 접합면과 제 2 접합면 사이에서 상기 내부 공간을 외부 공간에 대하여 밀봉하며 페이스트 용가재가 용융 및 응고되어 형성된 접합재 층; 및, 상기 제 1 접합면을 구성하는 평면 중 일부분에 상기 평면보다 낮게 형성되고, 고체 용가재가 용융된 상태로 고여 응고된 잔류물을 수용하는 잔류물 수용부;를 포함하여 구성된다.

Description

진공 소자 및 진공 브레이징을 포함하는 그 제조 방법 {Vacuum Device and Manufacturing Process Of The Same Which Comprises Vacuum Brazing}

본 발명은 진공 소자 및 이를 제조하는 공정에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는, 페이스트 필러를 이용한 진공 브레이징 공정 및 상기 공정이 적용된 진공 소자에 관한 것이다.

진공 소자는 일반적으로 전극을 이루는 금속 소재와 절연 하우징 또는 스페이서 등을 이루는 세라믹 소재를 포함한다. 글라스, 사파이어 등의 절연성 기판을 포함하기도 한다. 진공 소자의 소형화 및 신뢰성 향상을 위해서는 기판, 하우징 등의 비금속 소재와 금속 소재의 접합부에서 높은 진공 내압이 확보되도록 하는 기술이 매우 중요하다.

진공 소자 제작에는 진공 브레이징이 적용되어 왔다. 브레이징(Brazing)은 모재의 손상 없이 용가재만을 녹여서 접합할 수 있다는 장점이 있어 널리 사용되는 접합 기술이고, 진공 브레이징은 진공 챔버 내에서 브레이징 공정을 진행하는 것으로, 진공 소자 내부를 원하는 진공도로 형성하면서 브레이징 접합을 통해 기밀성을 확보할 수 있어 유용하다.

그런데, 세라믹 소재와 금속 소재의 접합부와 같이 이종 소재의 접합 부위에서 기밀성을 확보하는 것은 간단하지 않다. 이 경우 세라믹 소재의 표면을 메탈라이징(Metalizing) 처리해야 금속 소재와 브레이징 접합할 수 있다. 예를 들어, 알루미나 세라믹(Alumina ceramic) 소재를 금속 소재와 브레이징 접합하려면, 먼저 알루미나 세라믹 소재의 표면에 몰리브덴(Mo)-망간(Mn) 층을 형성하고 그 위에 다시 니켈(Ni) 도금하는 방식으로 메탈라이징 공정을 진행해야 한다. 더구나, 사파이어(Sapphire) 기판과 같이 메탈라이징 자체가 어려운 소재의 브레이징 접합은 현실적으로 불가능에 가깝다.

최근 세라믹 소재를 메탈라이징 하지 않고도 금속 소재와의 브레이징 접합을 가능하게 하는 활성 용가재(Active Brazing Filler)가 개발되고 있다. 그러나 시판된 고체상의 활성 용가재의 경우 밀봉 성능이 좋지 않아 진공 브레이징에는 부적합하다. 업계에서 밀봉 성능이 어느 정도 검증된 활성 용가재는 대부분 페이스트(Paste) 상으로 제공되는데, 이 또한 진공 브레이징에 적용하기에는 어려움이 있다. 예컨대, 진공 브레이징 준비 단계에서 진공 소자의 몸체를 이루는 제 1 모재와 커버를 이루는 제 2 모재 사이에 페이스트 상의 용가재를 도포하고 이들을 포개어 두면, 높은 점도의 액체 같은 용가재가 상기 두 모재 사이의 공기 통로를 차단하여 더이상 소자 내부의 진공도를 높일 수 없게 되기 때문이다.

본 발명은 진공 소자를 제조함에 있어서, 이종 소재의 진공 브레이징 접합 시에 페이스트 상의 용가재를 활용하여 밀봉 성능을 확보하면서도 소자 내부의 진공도를 높일 수 있는 제조 방법 및 그에 적합한 진공 소자의 구조를 제시하는 데에 그 목적이 있다.

전술한 과제의 해결을 위하여, 본 발명의 한 측면에 따른 진공 소자는, 진공 상태를 이루는 내부 공간 둘레에 배치된 제 1 접합면을 갖는 제 1 모재; 상기 제 1 접합면과 대면하여 접합되는 제 2 접합면을 가지는 제 2 모재; 상기 제 1 접합면과 제 2 접합면 사이에서 상기 내부 공간을 외부 공간에 대하여 밀봉하며 페이스트 용가재가 용융 및 응고되어 형성된 접합재 층; 및, 상기 제 1 접합면을 구성하는 평면 중 일부분에 상기 평면보다 낮게 형성되고, 고체 용가재가 용융된 상태로 고여 응고된 잔류물을 수용하는 잔류물 수용부;를 포함하여 구성된다.

상기 잔류물 수용부는 상기 제 1 접합면에서 상기 페이스트 용가재가 도포되는 부분을 중심으로 상기 내부 공간의 반대쪽에 배치될 수 있다.

상기 잔류물 수용부의 용적은 상기 고체 용가재의 부피 이상으로 형성되어, 상기 잔류물이 상기 제 1 접합면으로 넘치지 않도록 형성될 수 있다.

상기 잔류물 수용부는 상기 제 1 접합면을 따라 둘 이상 배치될 수 있다.

상기 제 1 모재와 상기 제 2 모재 중 어느 하나는 금속 소재로 이루어지고, 나머지 하나는 세라믹 또는 사파이어 소재로 이루어진 것일 수 있다.

상기 진공 소자에 있어서, 상기 제 1 모재는 금속 소재로 이루어지고, 상기 제 2 모재는 사파이어 기판을 포함하며, 상기 내부 공간에 배치된 전자 방출원을 더 포함할 수 있다.

한편, 본 발명의 한 측면에 따른 진공 소자의 제조 방법은, 내부 공간 둘레에 배치된 제 1 접합면을 가지는 제 1 모재와, 상기 제 1 접합면과 대면하여 접합되는 제 2 접합면을 가지는 제 2 모재를 준비하는 모재 준비 단계; 상기 제 1 접합면에 상기 내부 공간의 둘레를 둘러싸도록 페이스트 용가재를 도포하고, 상기 제 1 접합면의 적어도 한 부분에 상기 페이스트 용가재가 도포된 높이보다 높게 상기 제 2 접합면을 지지하도록 고체 용가재를 배치하여, 상기 내부 공간으로부터 외부로 공기가 빠져나갈 틈을 형성하는 브레이징 준비 단계; 및, 진공 챔버 내에서 진공도를 높인 상태로 상기 고체 용가재 및 상기 페이스트 용가재의 융점 이상의 온도까지 가열하여 상기 내부 공간이 밀봉된 상태로 냉각하는 진공 접합 단계; 를 포함하여 구성된다.

상기 고체 용가재는 그 융점 온도가 상기 페이스트 용가재의 융점 온도보다 낮은 것일 수 있다.

상기 제 1 모재는 상기 제 1 접합면의 적어도 한 부분에 상기 제 1 접합면을 구성하는 평면보다 낮게, 용융된 고체 용가재를 수용하도록 형성된 잔류물 수용부를 포함하도록 형성될 수 있다.

상기 제 1 모재는 금속 소재로 이루어지고, 상기 제 2 모재는 사파이어 기판을 포함하여 형성될 수 있다.

본 발명에 따르면, 밀봉 성능과 높은 진공도가 확보된 진공 소자 및 이를 효과적으로 제조할 수 있는 제조 방법이 제공된다. 좀 더 구체적으로 본 발명은 밀봉 성능이 담보된 페이스트 상의 용가재를 이용하여 세라믹 또는 사파이어와 금속 같은 이종 소재를 메탈라이징 없이도 진공 브레이징 접합할 수 있도록 함으로서, 제조 공정의 효율성과 소자 성능의 신뢰성를 향상시키는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진공 소자의 접합부를 보인다.
도 2는 상기 도 1의 Ⅱ-Ⅱ' 단면을 보인다.
도 3은 상기 도 1의 접합부의 진공 브레이징 접합 과정을 보인다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 진공 소자의 접합부 일부분을 보인다.
도 5는 상기 도 4에서 고체 용가재 용융 전후의 V-Ⅴ' 단면을 보인다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 진공 소자의 접합부를 보인다.
도 7은 본 발명의 실시에 적용 가능한 고체 용가재의 다양한 예를 보인다.
도 8은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 진공 소자의 접합부를 보인다.
도 9는 본 발명이 적용된 전자 방출원(진공 소자)에 대한 진공도 테스트 결과를 보인다.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예를 설명한다. 실시예를 통해 본 발명의 기술적 사상이 좀 더 명확하게 이해될 수 있을 것이다. 또한, 본 발명은 이하에 설명된 실시예에 한정되는 것이 아니라 그 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 형태로 변형될 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진공 소자의 접합부를 보인다. 도 2는 상기 도 1의 Ⅱ-Ⅱ' 단면을 보인다.

본 도면은 한 실시예에 따른 진공 소자의 일부분을 도시한다. 본 실시예에 따른 진공 소자는 하우징 또는 전극 등의 기능을 하는 구조물로서 내부 공간(110)의 적어도 일부분을 형성하는 제 1 모재(11)와, 구조적으로 커버로서의 기능을 하는 제 2 모재(21)를 구비한다. 좀 더 구체적인 예로서, 상기 제 1 모재(11)는 상기 내부 공간(110)의 상부로 열린 개구부의 둘레를 둘러싸는 형태로 형성된 금속 전극 부재일 수 있다. 상기 제 1 모재(11)의 상부에는 평면으로 이루어진 제 1 접합면(111)이 형성된다. 상기 제 2 모재(21)는 세라믹, 반도체 소재 등 비금속 소재로 이루어진 것일 수 있으며, 예컨대 사파이어 기판일 수도 있다. 제 2 모재(21)의 바닥면에서 그 외곽에 가까운 부분이 상기 제 1 접합면(111)과 대면하여 접합되는 제 2 접합면(211)을 이룬다. 도시된 실시예는 본 발명의 주된 구성요소들이 눈에 잘 띄도록 제 1 접합면(111)이 상기 제 1 모재(11)의 상단에 위치한 것이나, 상기 제 1 접합면(111)의 위치는 이에 한정되지 않으며 상단면 내측으로 단차를 두어 배치되는 것과 같이 다른 형태로 변형될 수도 있다.

본 발명에 따른 진공 소자의 제조 과정 중, 상기 제 1 모재(11)와 제 2 모재(21)를 서로 접합하여 밀봉하기 위한 준비 단계에서, 제 1 접합면(111) 위에는 상기 내부 공간(110)의 개구부 둘레를 둘러싸도록 페이스트 용가재(31)를 도포한다. 여기서 상기 페이스트 용가재(31)는 사파이어 기판을 메탈라이징 없이 금속 소재와 브레이징 접합할 수 있는 활성 용가재(Active Brazing Filler)로서 밀봉 성능이 확인된 페이스트 상의 용가재일 수 있다.

한편, 상기 제 1 접합면(111)을 구성하는 평면의 일부분에는 고체 용가재(32)가 배치된다. 상기 고체 용가재(32)는 전술한 바와 같이 도포된 페이스트 용가재(31)보다 상기 평면으로부터 높은 위치에서 상기 제 2 접합면(211), 즉 사파이어 기판의 바닥면을 지지할 수 있도록 돌출되게 배치된다. 상기 고체 용가재(32)는 상기 제 1 접합면(111) 일측에 마련된 잔류물 수용부(112)에 배치될 수 있다. 상기 잔류물 수용부(112)는 상기 제 1 접합면(111)을 구성하는 평면 중 일부분에 상기 평면보다 낮게 형성되고, 그 모양 및 용적의 측면에서 상기 고체 용가재(32)가 용융된 상태로 고인 잔류물을 수용할 수 있는 정도로 형성된다.

도 3은 상기 도 1의 접합부의 진공 브레이징 접합 과정을 보인다.

상기 진공 브레이징 접합 과정은, 내부 공간(110) 둘레에 배치된 제 1 접합면을 가지는 제 1 모재(11)와, 상기 제 1 접합면과 대면하여 접합되는 제 2 접합면을 가지는 제 2 모재(21)를 준비하는 모재 준비 단계; 상기 제 1 접합면에 상기 내부 공간(110)의 둘레를 둘러싸도록 페이스트 용가재(31)를 도포하고, 상기 제 1 접합면의 적어도 한 부분에 상기 페이스트 용가재(31)가 도포된 높이보다 높게 상기 제 2 접합면을 지지하도록 고체 용가재(32)를 배치하여, 상기 내부 공간(110)으로부터 외부로 공기가 빠져나갈 틈을 형성하는 브레이징 준비 단계; 및, 진공 챔버 내에서 진공도를 높인 상태로 상기 고체 용가재(32) 및 상기 페이스트 용가재(31)의 융점 이상의 온도까지 가열하여 상기 내부 공간(110)이 밀봉된 상태로 냉각하는 진공 접합 단계; 를 포함하여 구성된다.

본 도면에서 (a)는 상기 모재 준비 단계 및, 상기 브레이징 준비 단계가 완료된 상태로, 진공 챔버 내에서 상기 내부 공간(110) 내의 공기를 상기 제 1 및 제 2 모재(11, 21) 외부로 배출(Av)하여 진공도를 높이는 과정을 보인다. 이때, 전술한 바와 같이 고체 용가재(32)가 상기 제 2 모재(21)의 적어도 일부분은 상기 페이스트 용가재(31)가 도포된 높이보다 높게 들어올린 상태로 지지하기 때문에, 상기 페이스트 용가재(31)가 높은 점도의 액체에 가까운 상태임에도 불구하고 상기 두 모재(11, 21) 사이에 공기가 소통할 수 있는 틈이 형성되는 것이다. 이로 인해 상기 내부 공간(110)을 진공 소자에 요구되는 수준의 높은 진공도로 만들 수 있다.

본 도면에서 (b)는 진공 챔버 내에서 진공도를 충분히 높인 상태로 내부의 온도를 고체 용가재의 융점에 도달한 모습을 보인다. 상기 고체 용가재는 그 융점 온도가 상기 페이스트 용가재(31)의 융점 온도보다 낮은 것이 바람직하다. 먼저 고체 용가재의 융점 온도에 도달하면, 상기 고체 용가재는 용융되어 전술한 잔류물 수용부 내에 고이고(32M 참조), 이때 제 2 모재(21)의 들려있던 부분이 내려와 상기 페이스트 용가재(31)와 접촉하게 된다.

도면에서 (c)는 진공 챔버 내의 온도를 페이스트 용가재의 융점 온도 이상으로 높였다가 냉각함으로써, 상기 페이스트 용가재가 상기 두 모재(11, 21) 사이에서 용융되었다가 다시 응고되며 접합재 층(31M)을 이룬 모습을 보인다.

한편, 여기에 도시되지는 않았으나 본 발명에 따른 진공 브레이징 접합 진행 시에는 위의 (a) 내지 (c)에 도시된 과정을 상기 제 2 모재(21)의 상부에 무게추를 올린 상태로 진행할 수 있다. 이를 통해 밀봉 성능을 향상시킬 수 있다.

도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 소자의 접합부 일부분을 보인다.

본 도면은 제 1 모재(110)에서 잔류물 수용부(112) 및 고체 용가재(32)의 형상을 좀 더 구체적으로 예시하는 것으로서, 각 구성요소들에 관한 사항은 전술한 실시예의 경우와 동일하다. 상기 잔류물 수용부(112)는 오목한 홈 형태로 형성되어 상기 고체 용가재(32)가 용융되었을 때 이를 수용함은 물론, 고체 용가재(32)가 용융되기 전까지 쓰러지지 않도록 지지하는 기능을 겸하도록 형성될 수 있다. 또한, 상기 고체 용가재(32)는 안정적으로 세워질 수 있도록 원뿔형 등으로 형성된 것일 수 있다.

도 5는 상기 도 4에서 고체 용가재 용융 전후의 V-Ⅴ' 단면을 보인다.

(a)는 고체 용가재(32)가 용융되기 전의 상태로서 전술한 바와 같다. (b)는 상기 고체 용가재가 용융되어 잔류물 수용부(112) 내에 고인 상태(32M)를 보인다. 편의상 이를 잔류물(32M)이라 부르기로 한다. 이때, 잔류물(32M)의 높이는 제 1 접합면(111)과 같거나 더 낮은 것이 바람직하다. 제 1 접합면(111)으로 넘쳐 페이스트 용가재(31)와 섞이면서 밀봉 성능이 저하되는 것을 방지하기 위함이다.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 진공 소자의 접합부를 보인다.

본 도면은 전술한 제 1 모재(11)와 페이스트 용가재(31) 및 고체 용가재(32)를 제 1 접합면(111) 위에서 바라본 모습인데, 본 실시예와 같이, 전술한 잔류물 수용부(112)와 고체 용가재(32)는 상기 제 1 접합면(111)을 따라 다수의 위치에 배치될 수 있다. 이 경우 다수의 고체 용가재(32)가 제 2 모재를 전체적으로 들어올려 내부 공간으로부터 공기가 쉽게 빠져나갈 수 있도록 충분한 틈이 확보될 수 있다.

도 7은 본 발명의 실시에 적용 가능한 고체 용가재의 다양한 예를 보인다.

고체 용가재는, 전술한 바와 같이, 그 상단부가 도포된 페이스트 용가재의 높이보다 높게 세워져서 제 2 모재의 하중을 지지할 수 있는 형태와 크기 및 강성을 가지는 것이면 그 형태에 특별한 제약은 없다. 예를 들면, 원기둥형 고체 용가재(32a), 각기둥형 고체 용가재(32b), 원뿔형 고체 용가재(32c), 또는 원추형 고체 용가재(32d) 등 다양한 모양의 고체 용가재가 적용될 수 있다. 다만, 자세의 안정성이나 구조적 강성의 측면에서 원뿔형이나 원추형 등이 유리할 수 있다.

한편, 도 1 내지 도 6을 참조하여 전술한 실시예들은 공통적으로 잔류물 수용부와 고체 용가재가 페이스트 용가재 도포 위치보다 바깥쪽에, 다시 말해 도포된 페이스트 용가재를 중심으로 내부 공간의 반대쪽에 위치한 경우에 해당한다. 이러한 배치는 진공 소자의 내부 공간에 불필요한 잔류물이 남지 않도록 한다는 점에 이점이 있다. 그러나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.

도 8은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 진공 소자의 접합부를 보인다.

(a)는 잔류물 수용부(112)와 고체 용가재(32)가 도포된 페이스트 용가재(31)보다 안쪽에 배치된 경우를 나타낸다. 고체 용가재의 잔류물이 진공 소자의 내부 공간에 노출되어도 문제되지 않는 경우도 있을 수 있고, 페이스트 용가재(31)가 용융되면서 제 1 접합면(111)을 모두 적셔 상기 잔류물 수용부(112) 상부 둘레를 둘러싸면서 접합재 층을 형성하면 내부 공간에 대해 상기 고체 용가재 잔류물이 노출되지 않도록 할 수도 있다.

(b)는 잔류물 수용부(112)와 고체 용가재(32)를 가운데에 두고 외측 페이스트 용가재(311)와 내측 페이스트 용가재(312)가 도포된 형태의 배치를 나타낸다. 이 경우에도 고체 용가재 잔류물이 내부 공간에 노출되는 것을 방지할 수 있다.

한편, (c)는 막대형 고체 용가재(32L)가 도포된 페이스트 용가재(31)를 받침으로 삼아 지렛대 같은 형태로 배치된 모습을 보인다. 페이스트 용가재(31)의 점성이 높으므로 막대형 고체 용가재(32L)의 일부가 그 위에 살짝 묻히듯이 얹어진 채로 제 2 모재의 하중을 지지할 수도 있다.

도 9는 본 발명이 적용된 전자 방출원(진공 소자)에 대한 진공도 테스트 결과를 보인다.

진공 소자가 완성된 후에 그 내부의 진공도를 직접 측정할 수 있는 방법은 알려져있지 않으나, 간접적으로 전자 방출원을 갖는 진공 소자를 제조하고, 그 전자 방출 특성을 3~4회 정도 반복적으로 관찰함으로써 내부 공간의 진공도를 확인할 수 있다. 진공도가 충분히 높은 경우에는 전자 방출원이 에이징 된 후로는 방출 전류의 저하가 거의 나타나지 않지만, 진공도가 낮으면 내부 공간에 남아있는 기체의 영향으로 방출 반복 횟수에 따라 방출 전류가 낮아지는 양상을 보이기 때문이다.

본 그래프에 보이는 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 소자는 2회차 및 3회차 전자 방출시에 거의 동일한 방출 전류값을 보임으로써 충분히 높은 진공도가 확보되었음을 확인할 수 있다.

11: 제 1 모재
110: 내부 공간 112: 고체 용가재 수용부
21: 제 2 모재 31: 페이스트 용가재
32: 고체 용가재

Claims (10)

1. 진공 상태를 이루는 내부 공간 둘레에 배치된 제 1 접합면을 갖는 제 1 모재;
   상기 제 1 접합면과 대면하여 접합되는 제 2 접합면을 가지는 제 2 모재;
   상기 제 1 접합면과 제 2 접합면 사이에서 상기 내부 공간을 외부 공간에 대하여 밀봉하며 페이스트 용가재가 용융 및 응고되어 형성된 접합재 층; 및,
   상기 제 1 접합면을 구성하는 평면 중 일부분에 상기 평면보다 낮게 형성되고, 고체 용가재가 용융된 상태로 고여 응고된 잔류물을 수용하는 잔류물 수용부;를 포함하고,
   상기 제 1 모재와 상기 제 2 모재 중 어느 하나는 금속 소재이고, 나머지 하나는 세라믹 또는 사파이어 소재인,
   진공 소자.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 잔류물 수용부는 상기 제 1 접합면에서 상기 페이스트 용가재가 도포되는 부분을 중심으로 상기 내부 공간의 반대쪽에 배치된,
   진공 소자.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 잔류물 수용부의 용적은 상기 고체 용가재의 부피 이상으로 형성되어, 상기 잔류물이 상기 제 1 접합면으로 넘치지 않도록 형성된,
   진공 소자.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 잔류물 수용부는 상기 제 1 접합면을 따라 둘 이상 배치된,
   진공 소자.
5. 삭제
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 1 모재는 금속 소재로 이루어지고,
   상기 제 2 모재는 사파이어 기판을 포함하며,
   상기 내부 공간에 배치된 전자 방출원을 더 포함하는,
   진공 소자.
7. 내부 공간 둘레에 배치된 제 1 접합면을 가지는 제 1 모재와, 상기 제 1 접합면과 대면하여 접합되는 제 2 접합면을 가지는 제 2 모재를 준비하는 모재 준비 단계;
   상기 제 1 접합면에 상기 내부 공간의 둘레를 둘러싸도록 페이스트 용가재를 도포하고, 상기 제 1 접합면의 적어도 한 부분에 상기 페이스트 용가재가 도포된 높이보다 높게 상기 제 2 접합면을 지지하도록 고체 용가재를 배치하여, 상기 내부 공간으로부터 외부로 공기가 빠져나갈 틈을 형성하는 브레이징 준비 단계; 및,
   진공 챔버 내에서 진공도를 높인 상태로 상기 고체 용가재 및 상기 페이스트 용가재의 융점 이상의 온도까지 가열하여 상기 내부 공간이 밀봉된 상태로 냉각하는 진공 접합 단계; 를 포함하고,
   상기 모재 준비 단계에서, 상기 제 1 모재와 상기 제 2 모재 중 어느 하나는 금속 소재이고, 나머지 하나는 세라믹 또는 사파이어 소재인,
   진공 소자의 제조 방법.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 고체 용가재는 그 융점 온도가 상기 페이스트 용가재의 융점 온도보다 낮은,
   진공 소자의 제조 방법.
9. 제 7 항에 있어서,
   상기 제 1 모재는 상기 제 1 접합면의 적어도 한 부분에 상기 제 1 접합면을 구성하는 평면보다 낮게, 용융된 고체 용가재를 수용하도록 형성된 잔류물 수용부를 포함하도록 형성된,
   진공 소자의 제조 방법.
10. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 모재는 금속 소재로 이루어지고,
    상기 제 2 모재는 사파이어 기판을 포함하는,
    진공 소자의 제조 방법.

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