KR101870163B1 - Apparatus for Transferring Substrate - Google Patents
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Abstract
본 발명은 베이스부재; 기판을 이송하기 위해 상기 베이스부재에 회전 가능하게 결합되는 제1암기구; 기판을 이송하기 위해 상기 제1암기구에 회전 가능하게 결합되는 제2암기구; 상기 제1암기구 또는 상기 제2암기구가 회전함에 따라 함께 회전하는 제1감지부재; 상기 제1감지부재를 감지하기 위한 제1센서; 및 상기 제1암기구와 상기 제2암기구 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하기 위해 상기 제1암기구와 상기 제2암기구가 서로 중첩되는 중첩위치에서 상기 제1센서가 상기 제1감지부재를 감지하는지 여부를 확인하는 제어부를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 기판을 이송하기 위한 암유닛에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인함으로써, 암유닛이 틀어짐이 발생한 상태로 계속하여 이동함에 따라 주변에 위치한 기구물, 작업자 등과 충돌하게 되는 것을 방지할 수 있다. The present invention relates to a semiconductor device, A first arm mechanism rotatably coupled to the base member for transferring the substrate; A second arm mechanism rotatably coupled to the first arm mechanism for transferring the substrate; A first sensing member rotating together with the first arm mechanism or the second arm mechanism as they rotate; A first sensor for sensing the first sensing member; And at least one of the first sensor and the second sensor is disposed at an overlapping position where the first arm mechanism and the second arm mechanism are overlapped with each other to check whether or not a deviation occurs with respect to at least one of the first arm mechanism and the second arm mechanism, And a control unit for confirming whether or not to sense the sensing member,
According to the present invention, it is possible to prevent the arm unit from colliding with an apparatus, a worker, or the like located around the arm unit as the arm unit continues to move in a state in which the arm unit is deformed.
Description
본 발명은 전자부품을 제조하는데 이용되는 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus for transferring a substrate used for manufacturing an electronic part.
디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송할 수 있다.Display devices, solar cells, semiconductor devices, etc. (hereinafter referred to as "electronic components") are manufactured through various processes. Such a manufacturing process is performed using a substrate for manufacturing the electronic component. For example, the manufacturing process may include a deposition process for depositing a thin film of a conductor, a semiconductor, a dielectric material or the like on a substrate, an etching process for forming a deposited thin film in a predetermined pattern, and the like. These manufacturing processes are performed in a process chamber that performs the process. The substrate transfer apparatus can transfer the substrate between the process chambers.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치에 대한 작동 상태를 나타낸 개략적인 평면도이다.1 is a schematic plan view showing an operation state of a substrate transfer apparatus according to the prior art.
도 1 및 도 2를 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(10)는 베이스부재(11), 상기 베이스부재(11)에 결합된 제1암기구(12), 상기 제2암기구(13)에 결합된 제2암기구(13), 및 기판을 지지하기 위한 지지기구(14)를 포함한다.1 and 2, a conventional
상기 베이스부재(11)는 상기 제1암기구(12)를 지지함으로써, 상기 제2암기구(13), 상기 지지기구(14) 및 상기 지지기구(14)에 지지된 기판(100)을 지지한다.The
상기 제1암기구(12)는 상기 베이스부재(11)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(12)는 상기 베이스부재(11)에 결합된 부분을 회전축으로 하여 회전할 수 있다. 상기 제1암기구(12)에는 상기 제2암기구(13)가 결합된다.The first arm mechanism (12) is rotatably coupled to the base member (11). The
상기 제2암기구(13)는 상기 제1암기구(12)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제2암기구(13)는 상기 제1암기구(12)에 결합된 부분을 회전축으로 하여 회전할 수 있다. 상기 제2암기구(13)에는 상기 지지기구(14)가 결합된다.The second arm mechanism (13) is rotatably coupled to the first arm mechanism (12). The second arm mechanism (13) can rotate with a portion coupled to the first arm mechanism (12) as a rotation axis. The support mechanism (14) is coupled to the second arm mechanism (13).
상기 지지기구(14)는 기판(100)의 밑면을 지지한다. 상기 지지기구(14)는 상기 제2암기구(13)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 지지기구(14)는 상기 제2암기구(13)에 결합된 부분을 회전축으로 하여 회전할 수 있다.The
도시되지 않았지만, 상기 베이스부재(11)에는 상기 제1암기구(12), 상기 제2암기구(13) 및 상기 지지기구(14)를 이동시키기 위한 동력원(미도시)이 설치된다. 상기 제1암기구(12), 상기 제2암기구(13) 및 상기 지지기구(14)에는 각각 풀리(미도시)들이 설치된다. 상기 동력원은 벨트(미도시)들을 통해 상기 풀리들과 연결된다. 이에 따라, 상기 동력원이 상기 제1암기구(12)를 회전시키면, 이에 연동하여 상기 제2암기구(13)와 상기 지지기구(14)가 각각의 회전축을 중심으로 회전한다. 따라서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 지지기구(14)에 지지된 기판(100)을 직선으로 이동시킴으로써, 해당 기판(100)을 상기 공정챔버들 간에 이송할 수 있다.Although not shown, the
여기서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 풀리에 감겨진 벨트에 대한 슬립 발생, 벨트 끊어짐 등이 발생하면, 상기 제1암기구(12), 상기 제2암기구(13) 및 상기 지지기구(14) 중에서 적어도 하나에 대해 틀어짐이 발생할 수 있다. 예컨대, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 제1암기구(12), 상기 제2암기구(13) 및 상기 지지기구(14)가 틀어진 상태로 접혀질 수 있다. 이 상태에서, 상기 제1암기구(12), 상기 제2암기구(13) 및 상기 지지기구(14)가 펼쳐지도록 이동하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1암기구(12), 상기 제2암기구(13) 및 상기 지지기구(14)가 공정챔버 등과 같이 주변에 위치한 기구물, 작업자 등과 충돌할 위험이 있는 문제가 있다. 따라서, 상기 제1암기구(12), 상기 제2암기구(13) 및 상기 지지기구(14)에 대해 틀어짐이 발생하였는지 여부를 확인하기 위한 기술의 개발이 필요하다.When the slip of the belt wound on the pulley, the breakage of the belt, or the like occurs, the
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 암기구에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인함으로써 암기구가 정상적으로 구동되는지 여부를 확인할 수 있는 기판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a substrate transfer device capable of verifying whether or not a rock mechanism is normally operated by detecting whether a rock mechanism is caused to be distorted.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to solve the above-described problems, the present invention can include the following configuration.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 베이스부재; 기판을 이송하기 위해 상기 베이스부재에 회전 가능하게 결합되는 제1암기구; 기판을 이송하기 위해 상기 제1암기구에 회전 가능하게 결합되는 제2암기구; 상기 제1암기구가 회전함에 따라 함께 회전하는 제1감지부재; 상기 제1감지부재를 감지하기 위해 상기 제2암기구에 설치된 제1센서; 및 상기 제1암기구와 상기 제2암기구 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하기 위해 상기 제1암기구와 상기 제2암기구가 서로 중첩되는 중첩위치에서 상기 제1센서가 상기 제1감지부재를 감지하는지 여부를 확인하는 제어부를 포함할 수 있다.A substrate transfer apparatus according to the present invention comprises: a base member; A first arm mechanism rotatably coupled to the base member for transferring the substrate; A second arm mechanism rotatably coupled to the first arm mechanism for transferring the substrate; A first sensing member rotated together with the first arm mechanism being rotated; A first sensor mounted on the second arm mechanism for sensing the first sensing member; And at least one of the first sensor and the second sensor is disposed at an overlapping position where the first arm mechanism and the second arm mechanism are overlapped with each other to check whether or not a deviation occurs with respect to at least one of the first arm mechanism and the second arm mechanism, And a control unit for confirming whether or not the sensing member is sensed.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 베이스부재; 기판을 이송하기 위해 상기 베이스부재에 회전 가능하게 결합되는 제1암기구; 기판을 이송하기 위해 상기 제1암기구에 회전 가능하게 결합되는 제2암기구; 상기 제2암기구가 회전함에 따라 함께 회전하는 제1감지부재; 상기 제1감지부재를 감지하기 위해 상기 제1암기구에 설치된 제1센서; 및 상기 제1암기구와 상기 제2암기구 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하기 위해 상기 제1암기구와 상기 제2암기구가 서로 중첩되는 중첩위치에서 상기 제1센서가 상기 제1감지부재를 감지하는지 여부를 확인하는 제어부를 포함할 수 있다.A substrate transfer apparatus according to the present invention comprises: a base member; A first arm mechanism rotatably coupled to the base member for transferring the substrate; A second arm mechanism rotatably coupled to the first arm mechanism for transferring the substrate; A first sensing member that rotates together with the second arm mechanism being rotated; A first sensor provided on the first arm mechanism for sensing the first sensing member; And at least one of the first sensor and the second sensor is disposed at an overlapping position where the first arm mechanism and the second arm mechanism are overlapped with each other to check whether or not a deviation occurs with respect to at least one of the first arm mechanism and the second arm mechanism, And a control unit for confirming whether or not the sensing member is sensed.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention, the following effects can be obtained.
본 발명은 기판을 이송하기 위한 암유닛에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인함으로써, 암유닛이 틀어짐이 발생한 상태로 계속하여 이동함에 따라 주변에 위치한 기구물, 작업자 등과 충돌하게 되는 것을 방지할 수 있다.The present invention can prevent the arm unit from colliding with an apparatus, a worker, or the like located around the arm unit, as the arm unit continues to move in a state in which the arm unit is deformed.
본 발명은 기판을 이송하기 위한 암유닛이 주변에 위치한 기구물, 작업자 등과 충돌함에 따라 물적손해, 인적손해 등이 발생하는 것을 방지함으로써, 전자제품을 제조하기 위한 공정비용이 증가하는 것을 방지할 수 있다.Industrial Applicability The present invention can prevent an increase in the process cost for manufacturing an electronic product by preventing the occurrence of physical damage and personal injury due to collision with an apparatus, a worker, or the like located around the arm unit for transferring the substrate .
본 발명은 기판을 이송하기 위한 암유닛이 주변에 위치한 기구물, 작업자 등과 충돌하기 이전에 암유닛에 대한 틀어짐 발생 여부를 미리 확인함으로써, 틀어짐이 발생한 암유닛을 정상적으로 구동시키기 위한 작업에 걸리는 시간을 줄일 수 있다.The present invention can reduce the time required for a normal operation of the arm unit in which a distortion has occurred by checking beforehand whether or not a distortion occurs with respect to the arm unit before the arm unit for transferring the substrate collides with an apparatus, .
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치에 대한 작동 상태를 나타낸 개략적인 평면도
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 대한 개략적인 블록도
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 사시도
도 4는 본 발명에 따른 기판 이송장치에서 암유닛이 중첩위치에 위치된 경우를 나타낸 개략적인 측면도
도 5는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 대한 작동 상태를 나타낸 개략적인 평면도
도 6은 본 발명에 따른 이동기구를 설명하기 위한 개념적인 측면도
도 7은 본 발명에 따른 기판 이송장치에 있어서 지지기구가 전진위치에 위치된 상태를 나타낸 개략적인 평면도
도 8은 본 발명에 따른 기판 이송장치에 있어서 지지기구가 후퇴위치에 위치된 상태를 나타낸 개략적인 평면도1 is a schematic plan view showing an operation state of a substrate transfer apparatus according to the prior art;
2 is a schematic block diagram of a substrate transfer apparatus according to the present invention;
3 is a schematic perspective view of a substrate transfer apparatus according to the present invention.
4 is a schematic side view showing a case where the arm unit is positioned at the overlapping position in the substrate transfer apparatus according to the present invention
5 is a schematic plan view showing an operation state of the substrate transfer apparatus according to the present invention.
6 is a conceptual side view for explaining a moving mechanism according to the present invention
7 is a schematic plan view showing a state in which the support mechanism is positioned at the advancing position in the substrate transfer apparatus according to the present invention.
8 is a schematic plan view showing a state in which the support mechanism is positioned at the retreat position in the substrate transfer apparatus according to the present invention.
이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 기판(100)을 이송하기 위한 것이다. 상기 기판(100)은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판(100)에 대한 증착공정, 식각공정 등의 제조공정을 수행하는 공정챔버들 간에 상기 기판(100)을 이송할 수 있다.Referring to Figs. 2 to 4, the
본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 베이스부재(2), 상기 베이스부재(2)에 이동 가능하게 결합되는 암유닛(3), 상기 암유닛(3)에 대한 틀어짐 발생 여부를 감지하기 위한 감지유닛(4) 및 상기 감지유닛(4)이 감지한 감지정보를 이용하여 상기 암유닛(3)에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하기 위한 제어부(5)를 포함한다.A
상기 암유닛(3)은 상기 기판(100)을 이송하기 위해 상기 베이스부재(2)에 회전 가능하게 결합되는 제1암기구(31) 및 상기 제1암기구(31)에 회전 가능하게 결합되는 제2암기구(32)를 포함한다. 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 베이스부재(2)를 기준으로 양방향으로 이동함으로써, 상기 기판(100)을 이송할 수 있다. 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)는 도 4에 도시된 바와 같이 서로 중첩되는 중첩위치에 위치될 수 있다. 상기 중첩위치에서 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)는 수직방향(Z축 방향)으로 동일선 상에 위치할 수 있다.The
상기 감지유닛(4)은 상기 제1암기구(31) 또는 상기 제2암기구(32)가 회전함에 따라 함께 회전하는 제1감지부재(41, 도 4에 도시됨) 및 상기 제1감지부재(41)를 감지하기 위한 제1센서(42, 도 4에 도시됨)를 포함한다. 상기 제1센서(42)는 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 상기 중첩위치에 위치될 때, 상기 제1감지부재(41)를 감지할 수 있다.The
상기 제어부(5)는 상기 제1센서(42)가 상기 제1감지부재(41)를 감지하는지 여부를 확인함으로써, 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32) 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 이동함에 따라 상기 중첩위치에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제1센서(42)가 상기 제1감지부재(41)를 감지하면 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 정상적으로 구동하는 상태임을 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 이동함에 따라 상기 중첩위치에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제1센서(42)가 상기 제1감지부재(41)를 감지하지 못하면 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생한 상태임을 확인할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 다음과 같은 작용효과를 도모할 수 있다.The
첫째, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32) 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인함으로써, 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 틀어짐이 발생한 상태로 계속하여 이동함에 따라 주변에 위치한 기구물, 작업자 등과 충돌하게 되는 것을 방지할 수 있다. First, the
둘째, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 기구물, 작업자 등과 충돌함에 따라 상기 기판(100), 상기 암유닛(3), 기구물 등이 손상되는 것을 방지함으로써, 전자제품을 제조하기 위한 공정비용이 증가하는 것을 방지할 수 있다.Secondly, the
셋째, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 기구물, 작업자 등과 충돌하기 이전에 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32) 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 미리 확인함으로써, 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)를 정상적으로 구동시키기 위한 작업에 걸리는 시간을 줄일 수 있다.Thirdly, the
이하에서는 상기 베이스부재(2), 상기 암유닛(3), 상기 감지유닛(4) 및 상기 제어부(5)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 베이스부재(2)는 상기 암유닛(3)을 지지한다. 상기 암유닛(3)은 상기 베이스부재(2)를 기준으로 양방향으로 이동함으로써, 상기 기판(100)을 이송할 수 있다. 상기 기판(100)은 유리(Glass) 기판, 금속(Metal) 기판, 폴리이미드(Polyimide) 기판, 플라스틱(Plastic) 기판 등일 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)가 전자부품을 제조하기 위한 공정챔버(미도시)들이 구비된 설비에 적용되는 경우, 상기 암유닛(3)은 상기 공정챔버에 상기 기판(100)을 로딩하는 작업, 상기 공정챔버로부터 상기 기판(100)을 언로딩하는 작업, 및 상기 공정챔버들 간에 상기 기판(100)을 이송하는 작업 등을 수행할 수 있다.2 to 4, the
도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 베이스부재(2)가 결합되는 제1승강기구(20), 상기 제1승강기구(20)를 승강(昇降)시키기 위한 제2승강기구(30), 상기 제2승강기구(30)를 회전시키기 위한 회전기구(40), 및 상기 회전기구(40)를 이동시키기 위한 주행기구(50)를 포함할 수 있다.3, the
상기 제1승강기구(20)는 상기 베이스부재(2)를 승강시킬 수 있다. 상기 베이스부재(2)는 상기 제1승강기구(20)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 제1승강기구(20)는 상기 베이스부재(2)를 승강시킴으로써, 상기 암유닛(3)을 승강시킬 수 있다. 상기 공정챔버에 복수개의 기판(100)이 상하로 적층되어 수용되는 경우, 상기 제1승강기구(20)는 상기 베이스부재(2)를 승강시킴으로써 상기 암유닛(3)이 상기 공정챔버에 상기 기판(100)을 적층되게 로딩하는 작업 및 상기 공정챔버로부터 적층된 기판(100)들 중에서 어느 하나를 언로딩하는 작업을 수행하도록 할 수 있다.The first elevating
상기 제2승강기구(30)는 상기 제1승강기구(20)를 승강시킬 수 있다. 상기 제1승강기구(20)는 상기 제2승강기구(30)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 제2승강기구(30)가 상기 제1승강기구(20)를 승강시킴에 따라, 상기 베이스부재(2) 및 상기 암유닛(3)이 승강할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1승강기구(20)가 승강하는 수직방향(Z축 방향)으로 더 큰 높이를 갖도록 형성된 공정챔버에 대해 상기 기판(100)을 로딩하는 작업과 상기 기판(100)을 언로딩하는 작업을 수행할 수 있다.The second elevating
상기 회전기구(40)는 상기 제2승강기구(30)를 회전시킬 수 있다. 상기 제2승강기구(30)는 상기 회전기구(40)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 회전기구(40)가 상기 제2승강기구(30)를 회전시킴에 따라, 상기 제1승강기구(20), 상기 베이스부재(2) 및 상기 암유닛(3)이 회전할 수 있다. 이에 따라, 상기 암유닛(3)은 상기 기판(100)을 로딩하는 작업과 상기 기판(100)을 언로딩하는 작업을 수행할 공정챔버를 향하도록 회전할 수 있다.The rotation mechanism (40) can rotate the second elevating mechanism (30). The second elevating
상기 주행기구(50)는 상기 회전기구(40)를 이동시킬 수 있다. 상기 주행기구(50)는 주행레일(60)을 따라 주행 방향(X축 방향)으로 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 공정챔버들은 상기 주행 방향(X축 방향)에 수직한 양측에서 상기 주행 방향(X축 방향)을 따라 배치될 수 있다. 상기 주행기구(50)가 상기 주행레일(60)을 따라 이동함에 따라, 상기 회전기구(40), 상기 제2승강기구(30), 상기 제1승강기구(20), 상기 베이스부재(2) 및 상기 암유닛(3)이 상기 주행 방향(X축 방향)으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 암유닛(3)은 상기 공정챔버들 중에서 상기 기판(100)을 로딩하는 작업과 상기 기판(100)을 언로딩하는 작업을 수행할 공정챔버로 이동할 수 있다. 상기 주행레일(60)은 상기 주행기구(50)가 상기 주행 방향(X축 방향)으로 직선 이동하도록 안내할 수 있다. 상기 주행레일(60)은 LM 가이드일 수 있다.The traveling mechanism (50) can move the rotating mechanism (40). The traveling mechanism (50) can move in the traveling direction (X-axis direction) along the traveling rail (60). In this case, the process chambers may be arranged along the traveling direction (X-axis direction) on both sides perpendicular to the traveling direction (X-axis direction). As the traveling
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 암유닛(3)은 상기 베이스부재(2)에 결합된다. 상기 암유닛(3)은 상기 베이스부재(2)를 기준으로 이동함으로써, 상기 기판(100)을 이송할 수 있다. 상기 암유닛(3)은 상기 제1암기구(31) 및 상기 제2암기구(32)를 포함한다.Referring to Figs. 2 to 5, the
상기 제1암기구(31)는 상기 베이스부재(2)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(31)는 상기 베이스부재(2)에 결합된 부분을 회전축으로 하여 회전할 수 있다. 상기 제1암기구(31)는 상기 베이스부재(2) 상측에 위치되게 상기 베이스부재(2)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1암기구(31)는 상기 베이스부재(2) 하측에 위치되게 상기 베이스부재(2)에 결합될 수도 있다. 상기 제1암기구(31)는 전체적으로 양측이 라운드 처리된 사각판형으로 형성될 수 있다.The first arm mechanism (31) is rotatably coupled to the base member (2). The first arm mechanism (31) can rotate with a portion coupled to the base member (2) as a rotation axis. The
상기 제2암기구(32)는 상기 제1암기구(31)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제2암기구(32)는 상기 제1암기구(31)에 결합된 부분을 회전축으로 하여 회전할 수 있다. 상기 제1암기구(31)는 일단(311)이 상기 베이스부재(2)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제2암기구(32)는 상기 제1암기구(31)의 타단(312)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 암유닛(3)이 상기 베이스부재(2)를 기준으로 이동할 때, 상기 제2암기구(32)는 상기 제1암기구(31)가 회전하는 방향에 대해 반대되는 방향으로 회전한다. 예컨대, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제1암기구(31)가 상기 베이스부재(2)를 기준으로 반시계방향으로 회전하면, 상기 제2암기구(32)는 상기 제1암기구(31)를 기준으로 시계방향으로 회전할 수 있다. 상기 제1암기구(31)가 상기 베이스부재(2)를 기준으로 시계방향으로 회전하면, 상기 제2암기구(32)는 상기 제1암기구(31)를 기준으로 반시계방향으로 회전할 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제2암기구(32)는 상기 제1암기구(31) 상측에 위치되게 상기 제1암기구(31)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2암기구(32)는 상기 제1암기구(31) 하측에 위치되게 상기 제1암기구(31)에 결합될 수도 있다.The second arm mechanism (32) is rotatably coupled to the first arm mechanism (31). The second arm mechanism (32) can rotate with a portion coupled to the first arm mechanism (31) as a rotation axis. One end (311) of the first arm mechanism (31) is rotatably coupled to the base member (2). The second arm mechanism (32) is rotatably coupled to the other end (312) of the first arm mechanism (31). When the
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 암유닛(3)은 상기 기판(100)을 지지하기 위한 지지기구(33)를 포함할 수 있다.2 to 5, the
상기 지지기구(33)는 상기 제2암기구(32)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 지지기구(33)는 상기 제2암기구(32)에 결합된 부분을 회전축으로 하여 회전할 수 있다. 상기 제2암기구(32)는 일단(321)이 상기 제1암기구(31)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 지지기구(33)는 상기 제2암기구(32)의 타단(322)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 암유닛(3)이 상기 베이스부재(2)를 기준으로 이동할 때, 상기 지지기구(33)는 상기 제2암기구(32)가 회전하는 방향에 대해 반대되는 방향으로 회전한다. 예컨대, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제2암기구(32)가 상기 제1암기구(31)를 기준으로 시계방향으로 회전하면, 상기 지지기구(33)는 상기 제2암기구(31)를 기준으로 반시계방향으로 회전할 수 있다. 상기 제2암기구(32)가 상기 제1암기구(31)를 기준으로 반시계방향으로 회전하면, 상기 지지기구(33)는 상기 제2암기구(32)를 기준으로 시계방향으로 회전할 수 있다. 이에 따라, 상기 암유닛(3)이 상기 베이스부재(2)를 기준으로 이동할 때, 상기 지지기구(33)는 직선으로 이동함으로써 상기 기판(100)을 직선으로 이송할 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이 상기 지지기구(33)는 상기 제2암기구(32) 상측에 위치되게 상기 제2암기구(32)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 지지기구(33)는 상기 제2암기구(32) 하측에 위치되게 상기 제2암기구(32)에 결합될 수도 있다. 상기 기판(100)은 상기 지지기구(33)의 상측에 위치되게 상기 지지기구(33)에 지지된다.The support mechanism (33) is rotatably coupled to the second arm mechanism (32). The support mechanism (33) can rotate with a portion coupled to the second arm mechanism (32) as a rotation axis. One end (321) of the second arm mechanism (32) is rotatably coupled to the first arm mechanism (31). The support mechanism (33) is rotatably coupled to the other end (322) of the second arm mechanism (32). When the
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 감지유닛(4, 도 2에 도시됨)은 상기 암유닛(3)에 대한 틀어짐 발생 여부를 감지한다. 상기 감지유닛(4)은 상기 제1감지부재(41, 도 4에 도시됨) 및 상기 제1센서(42, 도 4에 도시됨)를 포함한다.2 to 5, the sensing unit 4 (shown in FIG. 2) detects whether or not a distortion occurs with respect to the
상기 제1감지부재(41)는 상기 제1암기구(31) 또는 상기 제2암기구(32)에 설치된다. 상기 제1감지부재(41)는 상기 중첩위치에서 상기 제1센서(42)와 마주보게 위치되도록 상기 제1암기구(31) 또는 상기 제2암기구(32)에 설치된다.The
상기 제1감지부재(41)가 상기 제1암기구(31)에 설치된 경우, 상기 제1감지부재(41)는 상기 제1암기구(31)가 회전함에 따라 함께 회전한다. 이 경우, 상기 제1감지부재(41)는 상기 제1암기구(31)에서 상기 제2암기구(32)를 향하는 일면에 위치되게 상기 제1암기구(31)에 설치된다. 상기 제1감지부재(41)는 상기 제1암기구(31)의 일단(311)보다 상기 제1암기구(31)의 타단(312)에 가까운 위치에 위치되게 상기 제1암기구(31)에 설치될 수 있다. 상기 제1암기구(31)의 일단(311)은 상기 베이스부재(2)에 회전 가능하게 결합된 부분이다. 상기 제1암기구(31)의 타단(312)은 상기 제2암기구(32)가 회전 가능하게 결합된 부분이다. 상기 제1감지부재(41)는 상기 제1암기구(31)로부터 상기 제2암기구(32) 쪽으로 돌출되게 상기 제1암기구(31)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1감지부재(41)는 상기 제1암기구(31)에 삽입되게 상기 제1암기구(31)에 결합될 수도 있다.When the
상기 제1감지부재(41)가 상기 제2암기구(32)에 설치된 경우, 상기 제1감지부재(41)는 상기 제2암기구(32)가 회전함에 따라 함께 회전한다. 이 경우, 상기 제1감지부재(41)는 상기 제2암기구(32)에서 상기 제1암기구(31)를 향하는 일면에 위치되게 상기 제2암기구(32)에 설치된다. 상기 제1감지부재(41)는 상기 제2암기구(32)의 타단(322)보다 상기 제2암기구(321)의 일단(321)에 가까운 위치에 위치되게 상기 제2암기구(32)에 설치될 수 있다. 상기 제2암기구(32)의 일단(321)은 상기 제1암기구(31)에 회전 가능하게 결합된 부분이다. 상기 제2암기구(32)의 타단(322)은 상기 지지기구(33)가 회전 가능하게 결합된 부분이다. 상기 제1감지부재(41)는 상기 제2암기구(32)로부터 상기 제1암기구(31) 쪽으로 돌출되게 상기 제2암기구(32)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1감지부재(41)는 상기 제2암기구(32)에 삽입되게 상기 제2암기구(32)에 결합될 수도 있다.When the
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 제1센서(42)는 상기 제1암기구(31) 또는 상기 제2암기구(32)에 설치된다. 상기 제1센서(42)는 상기 중첩위치에서 상기 제1감지부재(41)와 마주보게 위치되도록 상기 제1암기구(31) 또는 상기 제2암기구(32)에 설치된다.Referring to FIGS. 2 to 5, the
상기 제1센서(42)가 상기 제2암기구(32)에 설치되면, 상기 제1감지부재(41)는 상기 제1암기구(31)에 설치된다. 상기 제1센서(42)는 상기 제2암기구(32)가 회전함에 따라 함께 회전한다. 이 경우, 상기 제1센서(42)는 상기 제2암기구(32)에서 상기 제1암기구(31)를 향하는 일면에 위치되게 상기 제2암기구(32)에 설치된다. 상기 제1센서(42)는 상기 제2암기구(32)의 타단(322)보다 상기 제2암기구(321)의 일단(321)에 가까운 위치에 위치되게 상기 제2암기구(32)에 설치될 수 있다. 상기 제1센서(42)는 상기 제2암기구(32)로부터 상기 제1암기구(31) 쪽으로 돌출되게 상기 제2암기구(32)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1센서(42)는 상기 제2암기구(32)에 삽입되게 상기 제2암기구(32)에 결합될 수도 있다.When the
상기 제1센서(42)가 상기 제1암기구(31)에 설치되면, 상기 제1감지부재(41)는 상기 제2암기구(32)에 설치된다. 상기 제1센서(42)는 상기 제1암기구(31)가 회전함에 따라 함께 회전한다. 이 경우, 상기 제1센서(42)는 상기 제1암기구(31)에서 상기 제2암기구(32)를 향하는 일면에 위치되게 상기 제1암기구(31)에 설치된다. 상기 제1센서(42)는 상기 제1암기구(31)의 일단(311)보다 상기 제1암기구(31)의 타단(312)에 가까운 위치에 위치되게 상기 제1암기구(31)에 설치될 수 있다. 상기 제1센서(42)는 상기 제1암기구(31)로부터 상기 제2암기구(32) 쪽으로 돌출되게 상기 제1암기구(31)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1센서(42)는 상기 제1암기구(31)에 삽입되게 상기 제1암기구(31)에 결합될 수도 있다.When the
상기 제1센서(42)는 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 상기 중첩위치에 위치될 때, 상기 제1감지부재(41)를 감지할 수 있다. 상기 제1센서(42)는 광센서일 수 있다. 이 경우, 상기 제1감지부재(41)는 상기 제1센서(42)가 방출한 광을 반사하기 위한 반사판일 수 있다. 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 정상적으로 구동되어 상기 중첩위치에 위치되면, 상기 제1센서(42)에는 상기 제1감지부재(41)에 의해 반사된 광이 수광된다. 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생한 경우, 상기 제1센서(42)에는 광이 수광되지 못한다. 이에 따라, 상기 감지유닛(4, 도 2에 도시됨)은 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생하였는지 여부를 감지할 수 있다. 상기 제1센서(42)는 상기 제1감지부재(41)에 의해 반사된 광이 수광되면, 감지정보를 생성한 후 생성한 감지정보를 상기 제어부(5, 도 2에 도시됨)에 제공할 수 있다.The
상기 제1센서(42)는 근접센서일 수도 있다. 이 경우, 상기 제1감지부재(41)는 근접센서가 감지 가능한 금속 재질로 형성될 수 있다. 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 정상적으로 구동되어 상기 중첩위치에 위치되면, 상기 제1센서(42)는 상기 제1감지부재(41)가 소정 거리 이내로 근접함에 따라 상기 제1감지부재(41)를 감지한다. 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생한 경우, 상기 제1센서(42)는 상기 제1감지부재(41)를 감지하지 못한다. 이에 따라, 상기 감지유닛(4)은 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생하였는지 여부를 감지할 수 있다. 상기 제1센서(42)는 상기 제1감지부재(41)를 감지하면, 감지정보를 생성한 후 생성한 감지정보를 상기 제어부(5, 도 2에 도시됨)에 제공할 수 있다.The
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 제어부(5, 도 2에 도시됨)는 상기 제1센서(42)가 상기 제1감지부재(41)를 감지하는지 여부를 확인함으로써, 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32) 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 이동함에 따라 상기 중첩위치에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제1센서(42)가 상기 제1감지부재(41)를 감지하면 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 정상적으로 구동하는 상태임을 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 이동함에 따라 상기 중첩위치에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제1센서(42)가 상기 제1감지부재(41)를 감지하지 못하면 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생한 상태임을 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 상기 베이스부재(2)의 내부 또는 상기 암유닛(3)의 내부에 위치되게 설치될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제어부(5)는 상기 베이스부재(2)와 상기 암유닛(3)의 외부에 위치되게 설치될 수도 있다.2 to 5, the control unit 5 (shown in FIG. 2) confirms whether the
상기 제어부(5)는 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32) 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 검출하기 위한 검출유닛(51)을 포함할 수 있다. 상기 검출유닛(51)은 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 이동함에 따라 상기 중첩위치에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제1센서(42)로부터 상기 감지정보가 수신되면 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 정상적으로 구동하는 상태임을 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 이동함에 따라 상기 중첩위치에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제1센서(42)로부터 상기 감지정보가 수신되지 않으면 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생한 상태임을 확인할 수 있다. 상기 검출유닛(51)은 상기 제1센서(42)로부터 상기 감지정보가 수신되는지 여부에 따라, 상기 제1센서(42)가 상기 제1감지부재(41)를 감지하였는지 여부를 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 유선 통신과 무선 통신 중에서 적어도 하나를 이용하여 상기 제1센서(42)로부터 상기 감지정보를 수신할 수 있다.The
여기서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하기 위해 다음과 같은 감지유닛(4)과 제어부(5)를 포함할 수 있다.The
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 감지유닛(4, 도 2에 도시됨)은 상기 제2암기구(32) 또는 상기 지지기구(33)가 회전함에 따라 함께 회전하는 제2감지부재(43, 도 4에 도시됨) 및 상기 제2감지부재(43)를 감지하기 위한 제2센서(44, 도 4에 도시됨)를 포함할 수 있다.2 to 5, the sensing unit 4 (shown in FIG. 2) includes a second sensing member 43 (see FIG. 2) that rotates together with the
상기 제2감지부재(43)는 상기 제2암기구(32) 또는 상기 지지기구(33)에 설치된다. 상기 제2감지부재(43)는 상기 중첩위치에서 상기 제2센서(44)와 마주보게 위치되도록 상기 제2암기구(32) 또는 상기 지지기구(33)에 설치된다.The second sensing member (43) is installed in the second arm mechanism (32) or the support mechanism (33). The
상기 제2감지부재(43)가 상기 제2암기구(32)에 설치된 경우, 상기 제2감지부재(43)는 상기 제2암기구(32)가 회전함에 따라 함께 회전한다. 이 경우, 상기 제2감지부재(43)는 상기 제2암기구(32)에서 상기 지지기구(33)를 향하는 타면에 위치되게 상기 제2암기구(32)에 설치된다. 상기 제2감지부재(43)는 상기 제2암기구(32)의 일단(321)보다 상기 제2암기구(32)의 타단(322)에 가까운 위치에 위치되게 상기 제2암기구(32)에 설치될 수 있다. 상기 제2감지부재(43)는 상기 제2암기구(32)로부터 상기 지지기구(33) 쪽으로 돌출되게 상기 제2암기구(32)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2감지부재(43)는 상기 제2암기구(32)에 삽입되게 상기 제2암기구(32)에 결합될 수도 있다.When the
상기 제2감지부재(43)가 상기 지지기구(33)에 설치된 경우, 상기 제2감지부재(43)는 상기 지지기구(33)가 회전함에 따라 함께 회전한다. 이 경우, 상기 제2감지부재(43)는 상기 지지기구(33)에서 상기 제2암기구(32)를 향하는 일면에 위치되게 상기 지지기구(33)에 설치된다. 상기 제2감지부재(43)는 상기 지지기구(33)로부터 상기 제2암기구(32) 쪽으로 돌출되게 상기 지지기구(33)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2감지부재(43)는 상기 지지기구(33)에 삽입되게 상기 지지기구(33)에 결합될 수도 있다.When the
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 제2센서(44)는 상기 제2암기구(32) 또는 상기 지지기구(33)에 설치된다. 상기 제2센서(44)는 상기 중첩위치에서 상기 제2감지부재(43)와 마주보게 위치되도록 상기 제2암기구(32) 또는 상기 지지기구(33)에 설치된다.2 to 5, the
상기 제2센서(44)가 상기 지지기구(33)에 설치되면, 상기 제2감지부재(43)는 상기 제2암기구(32)에 설치된다. 상기 제2센서(44)는 상기 지지기구(33)가 회전함에 따라 함께 회전한다. 이 경우, 상기 제2센서(44)는 상기 지지기구(33)에서 상기 제2암기구(32)를 향하는 일면에 위치되게 상기 지지기구(33)에 설치된다. 상기 제2센서(44)는 상기 지지기구(33)로부터 상기 제2암기구(32) 쪽으로 돌출되게 상기 지지기구(33)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2센서(44)는 상기 지지기구(33)에 삽입되게 상기 지지기구(33)에 결합될 수도 있다.When the
상기 제2센서(44)가 상기 제2암기구(32)에 설치되면, 상기 제2감지부재(43)는 상기 지지기구(33)에 설치된다. 상기 제2센서(44)는 상기 제2암기구(32)가 회전함에 따라 함께 회전한다. 이 경우, 상기 제2센서(44)는 상기 제2암기구(32)에서 상기 지지기구(33)를 향하는 타면에 위치되게 상기 제2암기구(32)에 설치된다. 상기 제2센서(44)는 상기 제2암기구(32)의 일단(321)보다 상기 제2암기구(32)의 타단(322)에 가까운 위치에 위치되게 상기 제2암기구(32)에 설치될 수 있다. 상기 제2센서(44)는 상기 제2암기구(32)로부터 상기 지지기구(33) 쪽으로 돌출되게 상기 제2암기구(32)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2센서(44)는 상기 제2암기구(32)에 삽입되게 상기 제2암기구(32)에 결합될 수도 있다.When the
상기 제2센서(44)는 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 상기 중첩위치에 위치될 때, 상기 제2감지부재(43)를 감지할 수 있다. 상기 제2센서(44)는 광센서일 수 있다. 이 경우, 상기 제2감지부재(43)는 상기 제2센서(44)가 방출한 광을 반사하기 위한 반사판일 수 있다. 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 정상적으로 구동되어 상기 중첩위치에 위치되면, 상기 제2센서(44)에는 상기 제2감지부재(43)에 의해 반사된 광이 수광된다. 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생한 경우, 상기 제2센서(44)에는 광이 수광되지 못한다. 이에 따라, 상기 감지유닛(4, 도 2에 도시됨)은 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생하였는지 여부를 감지할 수 있다. 상기 제2센서(44)는 상기 제2감지부재(43)에 의해 반사된 광이 수광되면, 감지정보를 생성한 후 생성한 감지정보를 상기 제어부(5, 도 2에 도시됨)에 제공할 수 있다.The
상기 제2센서(44)는 근접센서일 수도 있다. 이 경우, 상기 제2감지부재(43)는 근접센서가 감지 가능한 금속 재질로 형성될 수 있다. 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 정상적으로 구동되어 상기 중첩위치에 위치되면, 상기 제2센서(44)는 상기 제2감지부재(43)가 소정 거리 이내로 근접함에 따라 상기 제2감지부재(43)를 감지한다. 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생한 경우, 상기 제2센서(44)는 상기 제2감지부재(43)를 감지하지 못한다. 이에 따라, 상기 감지유닛(4)은 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생하였는지 여부를 감지할 수 있다. 상기 제2센서(44)는 상기 제2감지부재(43)를 감지하면, 감지정보를 생성한 후 생성한 감지정보를 상기 제어부(5, 도 2에 도시됨)에 제공할 수 있다.The
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 제어부(5, 도 2에 도시됨)는 상기 제2센서(44)가 상기 제2감지부재(43)를 감지하는지 여부를 확인함으로써, 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 이동함에 따라 상기 중첩위치에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제2센서(44)가 상기 제2감지부재(43)를 감지하면 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 정상적으로 구동하는 상태임을 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 이동함에 따라 상기 중첩위치에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제2센서(44)가 상기 제2감지부재(43)를 감지하지 못하면 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생한 상태임을 확인할 수 있다.2 to 5, the control unit 5 (shown in FIG. 2) confirms whether or not the
상기 검출유닛(51)은 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 이동함에 따라 상기 중첩위치에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제2센서(44)로부터 상기 감지정보가 수신되면 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 정상적으로 구동하는 상태임을 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 이동함에 따라 상기 중첩위치에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제2센서(44)로부터 상기 감지정보가 수신되지 않으면 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생한 상태임을 확인할 수 있다. 상기 검출유닛(51)은 상기 제2센서(44)로부터 상기 감지정보가 수신되는지 여부에 따라, 상기 제2센서(44)가 상기 제2감지부재(43)를 감지하였는지 여부를 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 유선 통신과 무선 통신 중에서 적어도 하나를 이용하여 상기 제2센서(44)로부터 상기 감지정보를 수신할 수 있다.When the detection information is received from the
여기서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1암기구(31)에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하기 위해 다음과 같은 감지유닛(4)과 제어부(5)를 포함할 수 있다.Here, the
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 감지유닛(4, 도 2에 도시됨)은 상기 제1암기구(31)가 회전함에 따라 함께 회전하는 제3감지부재(45, 도 4에 도시됨) 및 상기 제3감지부재(45)를 감지하기 위한 제3센서(46, 도 4에 도시됨)를 포함할 수 있다.2 to 5, the sensing unit 4 (shown in FIG. 2) includes a third sensing member 45 (shown in FIG. 4) that rotates together as the
상기 제3감지부재(45)는 상기 제1암기구(31) 또는 상기 베이스부재(2)에 설치된다. 상기 제3감지부재(45)는 상기 중첩위치에서 상기 제3센서(46)와 마주보게 위치되도록 상기 제1암기구(31) 또는 상기 베이스부재(2)에 설치된다.The
상기 제3감지부재(45)가 상기 제1암기구(31)에 설치된 경우, 상기 제3감지부재(45)는 상기 제1암기구(31)가 회전함에 따라 함께 회전한다. 상기 제3감지부재(45)는 상기 제1암기구(31)의 타단(312)보다 상기 제1암기구(31)의 일단(311)에 가까운 위치에 위치되게 상기 제1암기구(31)에 설치될 수 있다. 상기 제3감지부재(45)는 상기 제1암기구(31)의 일단(311)으로부터 돌출되게 상기 제1암기구(31)에 결합될 수 있다. 상기 제3감지부재(45)는 상기 제1암기구(31)의 타단(312)에서 상기 제1암기구(31)의 일단(311)을 향하는 방향으로 돌출되게 상기 제1암기구(31)에 결합될 수 있다.When the
상기 제3감지부재(45)가 상기 베이스부재(2)에 설치된 경우, 상기 제3감지부재(45)는 상기 베이스부재(2)에서 상기 제1암기구(31)를 향하는 일면에 위치되게 상기 베이스부재(2)에 설치된다. 상기 제3감지부재(45)는 상기 베이스부재(2)로부터 상기 제1암기구(31) 쪽으로 돌출되게 상기 베이스부재(2)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제3감지부재(45)는 상기 베이스부재(2)에 삽입되게 상기 베이스부재(2)에 결합될 수도 있다.When the
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 제3센서(46, 도 4에 도시됨)는 상기 제1암기구(31) 또는 상기 베이스부재(2)에 설치된다. 상기 제3센서(46)는 상기 중첩위치에서 상기 제3감지부재(45)와 마주보게 위치되도록 상기 제1암기구(31) 또는 상기 베이스부재(2)에 설치된다.2 to 5, the third sensor 46 (shown in Fig. 4) is installed in the
상기 제3센서(46)가 상기 베이스부재(2)에 설치되면, 상기 제3감지부재(45)는 상기 제1암기구(31)에 설치된다. 이 경우, 상기 제3센서(46)는 상기 베이스부재(2)에서 상기 제1암기구(31)를 향하는 일면에 위치되게 상기 베이스부재(2)에 설치된다. 상기 제3센서(46)는 상기 베이스부재(2)로부터 상기 제1암기구(31) 쪽으로 돌출되게 상기 베이스부재(2)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제3센서(46)는 상기 베이스부재(2)에 삽입되게 상기 베이스부재(2)에 결합될 수도 있다.When the
상기 제3센서(46)가 상기 제1암기구(31)에 설치되면, 상기 제3감지부재(45)는 상기 베이스부재(2)에 설치된다. 상기 제3센서(46)는 상기 제1암기구(31)가 회전함에 따라 함께 회전한다. 상기 제3센서(46)는 상기 제1암기구(31)의 타단(312)보다 상기 제1암기구(31)의 일단(311)에 가까운 위치에 위치되게 상기 제1암기구(31)에 설치될 수 있다. 상기 제3센서(46)는 상기 제1암기구(31)의 일단(311)으로부터 돌출되게 상기 제1암기구(31)에 결합될 수 있다. 상기 제3센서(46)는 상기 제1암기구(31)의 타단(312)에서 상기 제1암기구(31)의 일단(311)을 향하는 방향으로 돌출되게 상기 제1암기구(31)에 결합될 수 있다.When the
상기 제3센서(46)는 상기 제1암기구(31)와 상기 베이스부재(2)가 상기 중첩위치에 위치될 때, 상기 제3감지부재(45)를 감지할 수 있다. 상기 제3센서(46)는 광센서일 수 있다. 이 경우, 상기 제3감지부재(45)는 상기 제3센서(46)가 방출한 광을 반사하기 위한 반사판일 수 있다. 상기 제1암기구(31)가 정상적으로 구동되어 상기 중첩위치에 위치되면, 상기 제3센서(46)에는 상기 제3감지부재(45)에 의해 반사된 광이 수광된다. 상기 제1암기구(31)에 틀어짐이 발생한 경우, 상기 제3센서(46)에는 광이 수광되지 못한다. 이에 따라, 상기 감지유닛(4, 도 2에 도시됨)은 상기 제1암기구(31)에 틀어짐이 발생하였는지 여부를 감지할 수 있다. 상기 제3센서(46)는 상기 제3감지부재(45)에 의해 반사된 광이 수광되면, 감지정보를 생성한 후 생성한 감지정보를 상기 제어부(5, 도 2에 도시됨)에 제공할 수 있다.The
상기 제3센서(46)는 근접센서일 수도 있다. 이 경우, 상기 제3감지부재(45)는 근접센서가 감지 가능한 금속 재질로 형성될 수 있다. 상기 제1암기구(31)가 정상적으로 구동되어 상기 중첩위치에 위치되면, 상기 제3센서(46)는 상기 제3감지부재(45)가 소정 거리 이내로 근접함에 따라 상기 제3감지부재(45)를 감지한다. 상기 제1암기구(31)에 틀어짐이 발생한 경우, 상기 제3센서(46)는 상기 제3감지부재(45)를 감지하지 못한다. 이에 따라, 상기 감지유닛(4)은 상기 제1암기구(31)에 틀어짐이 발생하였는지 여부를 감지할 수 있다. 상기 제3센서(46)는 상기 제3감지부재(45)를 감지하면, 감지정보를 생성한 후 생성한 감지정보를 상기 제어부(5, 도 2에 도시됨)에 제공할 수 있다.The
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 제어부(5, 도 2에 도시됨)는 상기 제3센서(46)가 상기 제3감지부재(45)를 감지하는지 여부를 확인함으로써, 상기 제1암기구(31)에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 상기 제1암기구(31)가 이동함에 따라 상기 중첩위치에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제3센서(46)가 상기 제3감지부재(45)를 감지하면 상기 제1암기구(31)가 정상적으로 구동하는 상태임을 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 상기 제1암기구(31)가 이동함에 따라 상기 중첩위치에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제3센서(46)가 상기 제3감지부재(45)를 감지하지 못하면 상기 제1암기구(31)에 틀어짐이 발생한 상태임을 확인할 수 있다.2 through 5, the control unit 5 (shown in FIG. 2) confirms whether the
상기 검출유닛(51)은 상기 제1암기구(31)가 이동함에 따라 상기 중첩위치에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제3센서(46)로부터 상기 감지정보가 수신되면 상기 제1암기구(31)가 정상적으로 구동하는 상태임을 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 상기 제1암기구(31)가 이동함에 따라 상기 중첩위치에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제3센서(46)로부터 상기 감지정보가 수신되지 않으면 상기 제1암기구(31)에 틀어짐이 발생한 상태임을 확인할 수 있다. 상기 검출유닛(51)은 상기 제3센서(46)로부터 상기 감지정보가 수신되는지 여부에 따라, 상기 제3센서(46)가 상기 제3감지부재(45)를 감지하였는지 여부를 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 유선 통신과 무선 통신 중에서 적어도 하나를 이용하여 상기 제3센서(46)로부터 상기 감지정보를 수신할 수 있다.When the detection information is received from the
도 2 내지 도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암유닛(3)을 이동시키기 위한 이동기구(6)를 포함할 수 있다.2 to 5, the
상기 이동기구(6)는 상기 베이스부재(2)를 기준으로 상기 암유닛(3)이 양방향으로 이동하도록 작동할 수 있다. 상기 이동기구(6)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 암유닛(3)이 상기 중첩위치에서 서로 중첩되게 위치되도록 상기 암유닛(3)을 이동시킬 수 있다. 상기 이동기구(6)는 도 5에 실선으로 도시된 바와 같이, 상기 중첩위치를 기준으로 상기 지지기구(33)가 제1방향(A 화살표 방향)으로 최대 거리로 이격되는 전진위치에 위치되도록 상기 암유닛(3)을 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 지지기구(33)는 상기 공정챔버 내부에 위치될 수 있다. 상기 이동기구(6)는 도 5에 점선으로 도시된 바와 같이, 상기 중첩위치를 기준으로 상기 지지기구(33)가 제2방향(B 화살표 방향)으로 최대 거리로 이격되는 후퇴위치에 위치되도록 상기 암유닛(3)을 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 지지기구(33)는 상기 공정챔버 외부에 위치될 수 있다. 상기 제2방향(B 화살표 방향)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)에 대해 반대되는 방향이다.The moving
상기 제어부(5, 도 2에 도시됨)는 상기 이동기구(6)를 제어하기 위한 제어유닛(52)을 포함할 수 있다. 상기 제어유닛(52)은 상기 검출유닛(51)이 틀어짐 발생을 검출하면, 상기 이동기구(6)를 정지시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제어유닛(52)은 상기 암유닛(3)에 틀어짐이 발생한 상태에서 상기 이동기구(6)가 계속하여 작동함에 따라 상기 암유닛(3)이 주변에 위치한 기구물, 작업자 등과 충돌하게 되는 것을 방지할 수 있다. 상기 검출유닛(51)은 상기 암유닛(3)에 대한 틀어짐 발생을 검출하면, 검출정보를 생성한 후 생성한 검출정보를 상기 제어유닛(52)에 제공할 수 있다. 상기 검출유닛(51)은 유선 통신과 무선 통신 중에서 적어도 하나를 이용하여 상기 검출정보를 상기 제어유닛(52)에 제공할 수 있다. 상기 검출유닛(51)은 상기 암유닛(3)이 이동함에 따라 상기 중첩위치에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제1센서(42), 상기 제2센서(44) 및 상기 제3센서(46) 중에서 적어도 하나로부터 감지정보가 수신되지 않으면, 상기 검출정보를 생성하여 상기 제어유닛(52)에 제공할 수 있다. 상기 제어유닛(52)은 상기 검출정보가 수신되면, 상기 이동기구(6)를 정지시킬 수 있다.The control unit 5 (shown in Fig. 2) may include a
도 2 내지 도 6을 참고하면, 상기 이동기구(6)는 구동력을 발생시키는 동력원(61, 도 6에 도시됨) 및 상기 구동력을 상기 암유닛(3)에 전달하기 위한 전달기구(62, 도 6에 도시됨)를 포함할 수 있다.2 to 6, the moving
상기 동력원(61)은 상기 암유닛(3)을 동작시키기 위한 구동력을 발생시킨다. 상기 암유닛(3)은 상기 동력원(61)으로부터 제공된 구동력을 이용하여 상기 공정챔버에 상기 기판(100)을 로딩하는 작업, 상기 공정챔버로부터 상기 기판(100)을 언로딩하는 작업, 상기 공정챔버들 간에 상기 기판(100)을 이송하는 작업을 수행하기 위해 동작할 수 있다. 상기 동력원(61)은 서보모터(Servo Motor)일 수 있다. 상기 동력원(61)은 상기 베이스부재(2) 내부에 위치되게 상기 베이스부재(2)에 설치될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 동력원(61)은 상기 제1암기구(31)의 내부 또는 상기 제2암기구(32)의 내부에 위치되게 설치될 수도 있다.The power source (61) generates a driving force for operating the arm unit (3). The
상기 전달기구(62)는 상기 동력원(61)으로부터 제공된 구동력을 상기 암유닛(3)에 전달한다. 상기 전달기구(62)는 복수개의 풀리 및 복수개의 벨트를 포함할 수 있다. 상기 제1암기구(31), 상기 제2암기구(32) 및 상기 지지기구(33)는 상기 전달기구(62)에 의해 서로 연동하여 회전할 수 있다. 상기 전달기구(62)는 제1풀리(621), 제1벨트(622), 제2풀리(623), 제2벨트(624), 제3풀리(625) 및 제3벨트(626)를 포함할 수 있다.The transmission mechanism (62) transmits the driving force provided from the power source (61) to the arm unit (3). The
상기 제1풀리(621)는 일측이 상기 베이스부재(2)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1풀리(621)의 타측에는 상기 제1암기구(31)가 결합된다. 상기 제1암기구(31)는 상기 제1풀리(621)가 회전함에 따라 함께 회전한다.One side of the
상기 제1벨트(622)는 상기 동력원(61)과 상기 제1풀리(621)에 감겨진다. 상기 제1벨트(622)는 상기 동력원(61)이 구동력을 발생시킴에 따라 이동하면서 상기 제1풀리(621)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 제1암기구(31)가 회전할 수 있다. 상기 제1암기구(31)는 상기 제1풀리(621)를 회전축으로 하여 회전할 수 있다.The
상기 제2풀리(623)는 일측이 상기 제1암기구(31)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제2풀리(623)의 타측에는 상기 제2암기구(32)가 결합된다. 상기 제2암기구(32)는 상기 제2풀리(623)가 회전함에 따라 회전한다. 상기 제2풀리(623)와 상기 제1풀리(621)는 상기 제1암기구(31) 내부에 서로 소정 거리 이격되게 설치된다.One side of the
상기 제2벨트(624)는 상기 제1풀리(621)와 상기 제2풀리(623)에 감겨진다. 상기 제2벨트(624)는 상기 제1풀리(621)가 회전함에 따라 이동하면서 상기 제2풀리(623)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 제2암기구(32)가 회전할 수 있다. 상기 제2암기구(32)는 상기 제2풀리(623)를 회전축으로 하여 회전할 수 있다.The
상기 제3풀리(625)는 일측이 상기 제2암기구(32)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제3풀리(625)의 타측에는 상기 지지기구(33)가 결합된다. 상기 지지기구(33)는 상기 제3풀리(625)가 회전함에 따라 회전한다. 상기 제3풀리(625)와 상기 제2풀리(623)는 상기 제2암기구(32) 내부에 서로 소정 거리 이격되게 설치된다.One side of the
상기 제3벨트(626)는 상기 제2풀리(623)와 상기 제3풀리(625)에 감겨진다. 상기 제3벨트(626)는 상기 제2풀리(623)가 회전함에 따라 이동하면서 상기 제3풀리(625)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 지지기구(33)가 회전할 수 있다. 상기 지지기구(33)는 상기 제3풀리(625)를 회전축으로 하여 회전할 수 있다.The
도 2 내지 도 6을 참고하면, 상기 제어부(5)는 상기 암유닛(3)의 위치데이터를 생성하는 엔코더(53)를 포함할 수 있다.2 to 6, the
상기 엔코더(53)는 상기 이동기구(6)가 작동한 작동정보로부터 상기 암유닛(3)의 위치데이터를 생성한다. 상기 엔코더(53)는 상기 벨트들이 정상적으로 작동한 경우, 상기 동력원(61, 도 6에 도시됨)이 발생시킨 구동력에 따라 상기 암유닛(3)의 위치데이터를 생성할 수 있다. 상기 엔코더(53)는 상기 동력원(61)이 상기 제1벨트(622, 도 6에 도시됨)를 회전시키는 속도, 상기 동력원(61)이 구동력을 발생시키는 시간 등으로부터 상기 암유닛(3)의 위치데이터를 생성할 수 있다. 상기 엔코더(53)는 생성한 위치데이터를 상기 검출유닛(51)에 제공할 수 있다.The
상기 검출유닛(51)은 상기 엔코더(53)로부터 제공된 위치데이터 및 상기 센서유닛(4, 도 2에 도시됨)으로부터 제공된 감지정보를 비교하여 상기 암유닛(3)에 대한 틀어짐 발생 여부를 검출할 수 있다.The
예컨대, 상기 검출유닛(51)은 상기 센서유닛(4)으로부터 상기 감지정보가 수신된 시점에, 상기 엔코더(53)로부터 상기 암유닛(3)이 상기 중첩위치에 있다는 위치데이터가 수신되면, 상기 암유닛(3)이 정상적으로 구동하는 상태임을 검출할 수 있다. 상기 검출유닛(51)은 상기 센서유닛(4)으로부터 상기 감지정보가 수신된 시점에, 상기 엔코더(53)로부터 상기 암유닛(3)이 상기 중첩위치에 외에 다른 위치에 있다는 위치데이터가 수신되면, 상기 암유닛(3)에 틀어짐이 발생한 상태임을 검출할 수 있다.For example, when the position data indicating that the
예컨대, 상기 검출유닛(51)은 상기 엔코더(53)로부터 상기 암유닛(3)이 상기 중첩위치에 있다는 위치데이터가 수신된 시점에, 상기 센서유닛(4)으로부터 상기 감지정보가 수신되면, 상기 암유닛(3)이 정상적으로 구동하는 상태임을 검출할 수도 있다. 상기 검출유닛(51)은 상기 엔코더(53)로부터 상기 암유닛(3)이 상기 중첩위치에 있다는 위치데이터가 수신된 시점에, 상기 센서유닛(4)으로부터 상기 감지정보가 수신되지 않으면, 상기 암유닛(3)에 틀어짐이 발생한 상태임을 검출할 수도 있다. 상기 검출유닛(51)은 상기 제1센서(42), 상기 제2센서(44) 및 상기 제3센서(46) 중에서 적어도 하나로부터 감지정보가 수신되지 않으면, 상기 암유닛(3)에 틀어짐이 발생한 상태임을 검출할 수도 있다. 상기 검출유닛(51)은 상기 제1센서(42), 상기 제2센서(44) 및 상기 제3센서(46) 중에서 감지정보가 수신되지 않은 구성을 확인함으로써, 상기 제1암기구(31), 상기 제2암기구(32) 및 상기 지지기구(33) 중에서 틀어짐이 발생한 구성을 검출할 수도 있다.For example, when the
도 2 내지 도 8을 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 중첩위치에서 상기 암유닛(3)에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하고, 상기 전진위치 또는 상기 후퇴위치에서 상기 암유닛(3)에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암유닛(3)에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하는 횟수를 늘림으로써, 상기 암유닛(3)에 틀어짐이 발생한 것을 확인할 때까지 걸리는 시간을 줄일 수 있다. 또한, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암유닛(3)에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하는 작업에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.2 to 8, the
이를 위해, 상기 제어부(5)는 상기 전진위치(도 7에 도시됨) 또는 상기 후퇴위치(도 8에 도시됨)에서 상기 제2센서(44, 도 7에 도시됨)가 상기 제2감지부재(43, 도 7에 도시됨)를 감지하는지 여부를 확인할 수 있다. 이에 따라, 상기 제어부(5)는 상기 전진위치 또는 상기 후퇴위치에서 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.To this end, the
상기 제2감지부재(43)는 상기 지지기구(33)가 회전함에 따라 함께 회전하도록 설치된다. 상기 제2감지부재(43)는 상기 지지기구(33)가 결합된 전달기구(62)에 결합될 수 있다. 상기 제2감지부재(43)는 상기 제3풀리(625, 도 6에 도시됨)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2감지부재(43)는 상기 지지기구(33)가 회전함에 따라 함께 회전할 수 있다. 상기 제2감지부재(43)는 상기 전달기구(62)로부터 돌출되게 상기 전달기구(62)에 결합될 수 있다. 따라서, 상기 제2감지부재(43)는 상기 지지기구(33)가 회전함에 따라 상기 전달기구(62)로부터 돌출된 방향이 변동될 수 있다. 상기 제2감지부재(43)는 상기 전진위치(도 7에 도시됨) 또는 상기 후퇴위치(도 8에 도시됨)에서 상기 제2센서(44) 위에 위치되게 상기 전달기구(62)에 결합될 수 있다.The
상기 제2센서(44)는 상기 제2암기구(32)에 설치된다. 상기 제2센서(44)는 상기 제2암기구(32)가 회전함에 따라 함께 회전한다. 이 경우, 상기 제2센서(44)는 상기 제2암기구(32)에서 상기 지지기구(33)를 향하는 타면에 위치되게 상기 제2암기구(32)에 설치된다. 상기 제2센서(44)는 상기 제2암기구(32)의 일단(321, 도 4에 도시됨)보다 상기 제2암기구(32)의 타단(322, 도 4에 도시됨)에 가까운 위치에 위치되게 상기 제2암기구(32)에 설치될 수 있다. 상기 제2센서(44)는 상기 제2암기구(32)로부터 상기 지지기구(33) 쪽으로 돌출되게 상기 제2암기구(32)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2센서(44)는 상기 제2암기구(32)에 삽입되게 상기 제2암기구(32)에 결합될 수도 있다.The second sensor (44) is installed in the second arm mechanism (32). The second sensor (44) rotates together as the second arm mechanism (32) rotates. In this case, the
상기 제2센서(44)는 상기 지지기구(33)가 상기 전진위치(도 7에 도시됨) 또는 상기 후퇴위치(도 8에 도시됨)에 위치될 때, 상기 제2감지부재(43)를 감지할 수 있다. 상기 제2센서(44)는 광센서일 수 있다. 이 경우, 상기 제2감지부재(43)는 상기 제2센서(44)가 방출한 광을 반사하기 위한 반사판일 수 있다. 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 정상적으로 구동되어 상기 지지기구(33)가 상기 전진위치(도 7에 도시됨) 또는 상기 후퇴위치(도 8에 도시됨)에 위치되면, 상기 제2센서(44)에는 상기 제2감지부재(43)에 의해 반사된 광이 수광된다. 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생한 경우, 상기 제2센서(44)에는 광이 수광되지 못한다. 이에 따라, 상기 감지유닛(4, 도 2에 도시됨)은 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생하였는지 여부를 감지할 수 있다. 상기 제2센서(44)는 상기 제2감지부재(43)에 의해 반사된 광이 수광되면, 감지정보를 생성한 후 생성한 감지정보를 상기 제어부(5, 도 2에 도시됨)에 제공할 수 있다.The
상기 제2센서(44)는 근접센서일 수도 있다. 이 경우, 상기 제2감지부재(43)는 근접센서가 감지 가능한 금속 재질로 형성될 수 있다. 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 정상적으로 구동되어 상기 지지기구(33)가 상기 전진위치(도 7에 도시됨) 또는 상기 후퇴위치(도 8에 도시됨)에 위치되면, 상기 제2센서(44)는 상기 제2감지부재(43)가 소정 거리 이내로 근접함에 따라 상기 제2감지부재(43)를 감지한다. 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생한 경우, 상기 제2센서(44)는 상기 제2감지부재(43)를 감지하지 못한다. 이에 따라, 상기 감지유닛(4)은 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생하였는지 여부를 감지할 수 있다. 상기 제2센서(44)는 상기 제2감지부재(43)를 감지하면, 감지정보를 생성한 후 생성한 감지정보를 상기 제어부(5, 도 2에 도시됨)에 제공할 수 있다.The
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 제어부(5, 도 2에 도시됨)는 상기 제2센서(44)가 상기 제2감지부재(43)를 감지하는지 여부를 확인함으로써, 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 이동함에 따라 상기 지지기구(33)가 상기 전진위치(도 7에 도시됨) 또는 상기 후퇴위치(도 8에 도시됨)에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제2센서(44)가 상기 제2감지부재(43)를 감지하면 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 정상적으로 구동하는 상태임을 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 이동함에 따라 상기 지지기구(33)가 상기 전진위치(도 7에 도시됨) 또는 상기 후퇴위치(도 8에 도시됨)에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제2센서(44)가 상기 제2감지부재(43)를 감지하지 못하면 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생한 상태임을 확인할 수 있다.2 to 5, the control unit 5 (shown in FIG. 2) confirms whether or not the
상기 검출유닛(51)은 상기 제2센서(44)로부터 상기 감지정보가 수신되는지 여부에 따라, 상기 제2센서(44)가 상기 제2감지부재(43)를 감지하였는지 여부를 확인할 수 있다. 상기 검출유닛(51)은 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 이동함에 따라 상기 지지기구(33)가 상기 전진위치(도 7에 도시됨) 또는 상기 후퇴위치(도 8에 도시됨)에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제2센서(44)로부터 상기 감지정보가 수신되면 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 정상적으로 구동하는 상태임을 확인할 수 있다. 상기 제어부(5)는 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33)가 이동함에 따라 상기 지지기구(33)가 상기 전진위치(도 7에 도시됨) 또는 상기 후퇴위치(도 8에 도시됨)에 위치되어야 하는 시점에, 상기 제2센서(44)로부터 상기 감지정보가 수신되지 않으면 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 틀어짐이 발생한 상태임을 확인할 수 있다. 상기 검출유닛(51)은 상기 엔코더(53, 도 2에 도시됨)로부터 제공된 위치데이터 및 상기 제2센서(44)로부터 제공된 감지정보를 비교함으로써, 상기 전진위치(도 7에 도시됨) 또는 상기 후퇴위치(도 8에 도시됨)에서 상기 제2암기구(32)와 상기 지지기구(33) 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 검출할 수도 있다.The
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of.
1 : 기판 이송장치 2 : 베이스부재 3 : 암유닛 4 : 센서유닛
5 : 제어부 6 : 이동기구 31 : 제1암기구 32 : 제2암기구
33 : 지지기구 41 : 제1감지부재 42 : 제1센서 43 : 제2감지부재
44 : 제2센서 45 : 제3감지부재 46 : 제3센서 51 : 검출유닛
52 : 제어유닛 53 : 엔코더 61 : 동력원 62 : 전달기구 100 : 기판1: substrate transfer device 2: base member 3: arm unit 4: sensor unit
5: control unit 6: moving mechanism 31: first arm mechanism 32: second arm mechanism
33: support mechanism 41: first sensing member 42: first sensor 43: second sensing member
44: second sensor 45: third sensing member 46: third sensor 51: detection unit
52: control unit 53: encoder 61: power source 62: transfer mechanism 100:
Claims (10)
기판을 이송하기 위해 상기 베이스부재에 회전 가능하게 결합되는 제1암기구;
기판을 이송하기 위해 상기 제1암기구에 회전 가능하게 결합되는 제2암기구;
상기 제1암기구가 회전함에 따라 함께 회전하는 제1감지부재;
상기 제1감지부재를 감지하기 위해 상기 제2암기구에 설치된 제1센서;
상기 제1암기구와 상기 제2암기구 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하기 위해 상기 제1암기구와 상기 제2암기구가 서로 중첩되는 중첩위치에서 상기 제1센서가 상기 제1감지부재를 감지하는지 여부를 확인하는 제어부;
상기 제2암기구에 회전 가능하게 결합되고, 기판을 지지하기 위한 지지기구;
상기 중첩위치, 상기 중첩위치를 기준으로 상기 지지기구가 제1방향으로 최대 거리로 이격되는 전진위치 및 상기 중첩위치를 기준으로 상기 지지기구가 상기 제1방향에 대해 반대되는 제2방향으로 최대 거리로 이격되는 후퇴위치 간에 상기 지지기구를 이동시키는 이동기구;
상기 지지기구가 회전함에 따라 함께 회전하는 제2감지부재; 및
상기 제2감지부재를 감지하기 위해 상기 제2암기구에 설치된 제2센서를 포함하고,
상기 제어부는 상기 제2암기구와 상기 지지기구 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하기 위해 상기 전진위치 또는 상기 후퇴위치에서 상기 제2센서가 상기 제2감지부재를 감지하는지 여부를 확인하는 기판 이송장치.A base member;
A first arm mechanism rotatably coupled to the base member for transferring the substrate;
A second arm mechanism rotatably coupled to the first arm mechanism for transferring the substrate;
A first sensing member rotated together with the first arm mechanism being rotated;
A first sensor mounted on the second arm mechanism for sensing the first sensing member;
Wherein at least one of the first sensor and the second sensor is located at an overlapping position where the first arm mechanism and the second arm mechanism overlap with each other to check whether a distortion occurs in at least one of the first arm mechanism and the second arm mechanism, A control unit for confirming whether or not the member is detected;
A support mechanism rotatably coupled to the second arm mechanism, for supporting the substrate;
Wherein the support mechanism has a forward position at which the support mechanism is spaced apart from the overlapping position by a maximum distance in the first direction and a maximum distance in the second direction in which the support mechanism is opposed to the first direction, A moving mechanism for moving the support mechanism between retreat positions spaced apart from each other;
A second sensing member that rotates together as the support mechanism rotates; And
And a second sensor provided on the second arm mechanism for sensing the second sensing member,
Wherein the control unit determines whether or not the second sensor senses the second sensing member at the forward position or the retracted position to check whether or not a distortion occurs with respect to at least one of the second arm mechanism and the support mechanism. Conveying device.
기판을 이송하기 위해 상기 베이스부재에 회전 가능하게 결합되는 제1암기구;
기판을 이송하기 위해 상기 제1암기구에 회전 가능하게 결합되는 제2암기구;
상기 제2암기구가 회전함에 따라 함께 회전하는 제1감지부재;
상기 제1감지부재를 감지하기 위해 상기 제1암기구에 설치된 제1센서;
상기 제1암기구와 상기 제2암기구 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하기 위해 상기 제1암기구와 상기 제2암기구가 서로 중첩되는 중첩위치에서 상기 제1센서가 상기 제1감지부재를 감지하는지 여부를 확인하는 제어부;
상기 제2암기구에 회전 가능하게 결합되고, 기판을 지지하기 위한 지지기구;
상기 중첩위치, 상기 중첩위치를 기준으로 상기 지지기구가 제1방향으로 최대 거리로 이격되는 전진위치 및 상기 중첩위치를 기준으로 상기 지지기구가 상기 제1방향에 대해 반대되는 제2방향으로 최대 거리로 이격되는 후퇴위치 간에 상기 지지기구를 이동시키는 이동기구;
상기 지지기구가 회전함에 따라 함께 회전하는 제2감지부재; 및
상기 제2감지부재를 감지하기 위해 상기 제2암기구에 설치된 제2센서를 포함하고,
상기 제어부는 상기 제2암기구와 상기 지지기구 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하기 위해 상기 전진위치 또는 상기 후퇴위치에서 상기 제2센서가 상기 제2감지부재를 감지하는지 여부를 확인하는 기판 이송장치.A base member;
A first arm mechanism rotatably coupled to the base member for transferring the substrate;
A second arm mechanism rotatably coupled to the first arm mechanism for transferring the substrate;
A first sensing member that rotates together with the second arm mechanism being rotated;
A first sensor provided on the first arm mechanism for sensing the first sensing member;
Wherein at least one of the first sensor and the second sensor is located at an overlapping position where the first arm mechanism and the second arm mechanism overlap with each other to check whether a distortion occurs in at least one of the first arm mechanism and the second arm mechanism, A control unit for confirming whether or not the member is detected;
A support mechanism rotatably coupled to the second arm mechanism, for supporting the substrate;
Wherein the support mechanism has a forward position at which the support mechanism is spaced apart from the overlapping position by a maximum distance in the first direction and a maximum distance in the second direction in which the support mechanism is opposed to the first direction, A moving mechanism for moving the support mechanism between retreat positions spaced apart from each other;
A second sensing member that rotates together as the support mechanism rotates; And
And a second sensor provided on the second arm mechanism for sensing the second sensing member,
Wherein the control unit determines whether or not the second sensor senses the second sensing member at the forward position or the retracted position to check whether or not a distortion occurs with respect to at least one of the second arm mechanism and the support mechanism. Conveying device.
상기 제어부는 상기 제2암기구와 상기 지지기구 중에서 적어도 하나에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하기 위해 상기 중첩위치에서 상기 제2센서가 상기 제2감지부재를 감지하는지 여부를 확인하는 기판 이송장치.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the control unit confirms whether or not the second sensor senses the second sensing member in the overlapping position to check whether or not a distortion occurs in at least one of the second arm mechanism and the support mechanism.
상기 제1암기구가 회전함에 따라 함께 회전하는 제3감지부재, 및 상기 제3감지부재를 감지하기 위해 상기 베이스부재에 설치된 제3센서를 포함하고,
상기 제어부는 상기 제1암기구에 대한 틀어짐 발생 여부를 확인하기 위해 상기 중첩위치에서 상기 제3센서가 상기 제3감지부재를 감지하는지 여부를 확인하는 기판 이송장치.3. The method according to claim 1 or 2,
A third sensing member which rotates together with the first arm mechanism being rotated and a third sensor provided on the base member for sensing the third sensing member,
Wherein the controller confirms whether or not the third sensor senses the third sensing member at the overlapping position to check whether the first arm mechanism is distorted.
상기 이동기구는 상기 제1암기구와 상기 제2암기구를 이동시키기 위해 작동하고;
상기 제어부는 상기 이동기구가 작동한 작동정보로부터 상기 제1암기구와 상기 제2암기구의 위치데이터를 생성하는 엔코더, 및 상기 위치데이터와 상기 제1센서가 상기 제1감지부재를 감지한 감지정보를 비교하여 틀어짐 발생 여부를 검출하는 검출유닛을 포함하는 기판 이송장치.3. The method according to claim 1 or 2,
The moving mechanism is operated to move the first arm mechanism and the second arm mechanism;
Wherein the control unit comprises: an encoder for generating position data of the first arm mechanism and the second arm mechanism from operation information on which the moving mechanism is operated; and an encoder for detecting the position data and the first sensor And a detection unit for comparing the information to detect whether or not a deviation occurs.
상기 이동기구는 상기 제1암기구와 상기 제2암기구를 이동시키고;
상기 제어부는 상기 제1센서로부터 감지정보가 수신되는지 여부에 따라 틀어짐 발생 여부를 검출하는 검출유닛, 및 상기 검출유닛이 틀어짐 발생을 검출하면 상기 이동기구를 정지시키는 제어유닛을 포함하는 기판 이송장치.3. The method according to claim 1 or 2,
The moving mechanism moves the first arm mechanism and the second arm mechanism;
Wherein the control unit comprises a detection unit for detecting whether or not a deviation occurs according to whether or not detection information is received from the first sensor, and a control unit for stopping the movement mechanism when the detection unit detects the occurrence of the error.
상기 이동기구는 상기 제2암기구에 회전 가능하게 결합된 전달기구를 포함하고;
상기 지지기구는 상기 전달기구가 회전함에 따라 함께 회전하도록 상기 전달기구에 결합되며;
상기 제2감지부재는 상기 전달기구로부터 돌출되게 상기 전달기구에 설치된 기판 이송장치.3. The method according to claim 1 or 2,
The moving mechanism includes a transmitting mechanism rotatably coupled to the second arm mechanism;
Wherein the support mechanism is coupled to the transmission mechanism such that the support mechanism rotates together as the transmission mechanism rotates;
And the second sensing member is provided in the transfer mechanism so as to protrude from the transfer mechanism.
상기 제2감지부재는 상기 후퇴위치에서 상기 제2센서 위에 위치되게 상기 전달기구에 결합되고,
상기 제2센서는 상기 제2감지부재를 감지하면 감지정보를 생성하며,
상기 제어부는 상기 후퇴위치에서 상기 제2센서로부터 감지정보가 수신되는지 여부에 따라 틀어짐 발생 여부를 검출하는 검출유닛을 포함하는 기판 이송장치.10. The method of claim 9,
The second sensing member is coupled to the transmission mechanism in a position above the second sensor in the retracted position,
The second sensor generates sensing information when sensing the second sensing member,
Wherein the control unit comprises a detection unit for detecting whether or not a deviation occurs depending on whether or not detection information is received from the second sensor at the retracted position.
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| KR1020110137728A KR101870163B1 (en) | 2011-12-19 | 2011-12-19 | Apparatus for Transferring Substrate |
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| KR1020110137728A KR101870163B1 (en) | 2011-12-19 | 2011-12-19 | Apparatus for Transferring Substrate |
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2011
- 2011-12-19 KR KR1020110137728A patent/KR101870163B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (1)
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Also Published As
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| KR20130070411A (en) | 2013-06-27 |
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Legal Events
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