KR101866545B1 - Plasma sterilizer grnerating active species using a plurality pole type electrodes and dielectric tubes - Google Patents

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Abstract

복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생산하는 플라즈마 살균기를 개시한다. 본 발명은 일면에 유전체가 형성되는 복 수개의 유전관을 구비하는 유전체부에서 발생된 산소 활성종(Reactive Oxygen Species:ROS) 또는 질소 활성종(Reactive Nitrogen Species: RNS)을 수증기에 접촉시켜 OH 라디칼, NO 라디칼, NO2 라디칼, H2O2, NO2 - 및 NO3 - 중 적어도 하나의 활성종을 생산할 수 있어 소독시간을 단축하고, 제조 비용을 절감할 수 있다. Disclosed is a plasma sterilizer which produces active species using a plurality of rod-shaped electrodes and a dielectric tube. The present invention relates to a method for manufacturing a semiconductor device, which comprises contacting a reactive oxygen species (ROS) or a reactive nitrogen species (RNS) generated in a dielectric portion having a plurality of dielectric tubes having a dielectric on one surface thereof with water vapor to form an OH radical , NO radicals, NO 2 radicals, H 2 O 2 , NO 2 - and NO 3 - can be produced, shortening the disinfecting time and reducing the manufacturing cost.

Description

복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생산하는 플라즈마 살균기{PLASMA STERILIZER GRNERATING ACTIVE SPECIES USING A PLURALITY POLE TYPE ELECTRODES AND DIELECTRIC TUBES}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma sterilizer for producing active species using a plurality of rod-shaped electrodes and a dielectric tube. 2. Description of the Related Art Plasma sterilizers,

본 발명은 복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생산하는 플라즈마 살균기에 관한 것이다. The present invention relates to a plasma sterilizer for producing active species using a plurality of bar-shaped electrodes and a dielectric tube.

플라즈마는 반도체 제조기술의 핵심기술로서 국내 산업에 오랫동안 기여해 왔다. 최근에는 플라즈마 기술을 의료산업, 미용산업, 식품산업 기술과 융합하여 적용범위를 넓히고 있다. 플라즈마를 이용한 각종 치료기기가 등장하고 있으며, 특히, 대기압 저온 플라즈마를 발생시켜 플라즈마 발생장치 주변에 많은 활성 라디칼을 생성함으로써 살균작용을 발휘하도록 한 각종 바이오 응용 기술이 나타나고 있다.Plasma has long contributed to the domestic industry as a key technology in semiconductor manufacturing technology. In recent years, plasma technology has been fused with the medical industry, the beauty industry, and the food industry. Various types of therapeutic apparatuses using plasma have been emerging. In particular, various bio-application technologies have been developed in which a low-temperature plasma at atmospheric pressure is generated to generate a large amount of active radicals in the vicinity of a plasma generating apparatus, thereby exhibiting sterilizing action.

구급차의 경우, 감염 위험이 있어, 내부를 지속적으로 살균소독하여야 할 필요가 있다. 그에 따라 인력을 동원하여 지속적으로 세정작업과 방역을 실시하고 있다. 오존 살균기, 이온 살균기, 자외선 살균기 등의 살균장치를 구급차 실내에 설치하고 있지만 실내 공기 정화 정도 효과를 얻을 수 있고, 구급차 실내 벽면 등에는 살균 효과가 미치지 못하여 여전히 인력을 동원한 세정작업이 실시되고 있다.In the case of an ambulance, there is a risk of infection and it is necessary to continuously sterilize the inside of the ambulance. Accordingly, the workforce is continuously used for cleaning and disinfection. Although the sterilizing device such as an ozone sterilizer, an ion sterilizer, and an ultraviolet sterilizer is installed in an ambulance room, the effect of indoor air purification can be obtained, and the sterilization effect on the wall of an ambulance room can not be obtained.

따라서, 종래에는 유전체 장벽 방전(DBD:DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE) 플라즈마 방전소스를 적용한 다용도 멸균소독기가 공개되었다. 이와 같은 플라즈마 방전 소스는 절연체 위와 아래에 전원전극과 접지전극을 배열하고 전원 전극 위에 쿨링팬(400)을 구비한다. 평판형 전원전극 하부에 절연체를 위치시키며 그 아래 선형 접지전극을 별도의 절연체로 감싸 밀착 배치하고 있다. 이러한 소스 구조는 두 전극 사이에서 방전되는 플라즈마 발생전압이 20kV로 매우 높기 때문에 방전 효율 및 활성종 발생효율이 낮다. 특히, 상기 공보는 살균 챔버 안에 피 살균체를 넣고 처리하므로 구급차또는 실내 벽면 같은 살균영역이 넓은 경우에는 부적합하다.Accordingly, in the past, a versatile sterilizer using a dielectric barrier discharge (DBD) plasma discharge source has been disclosed. The plasma discharge source includes a power supply electrode and a ground electrode arranged above and below the insulator and a cooling fan 400 on the power supply electrode. An insulator is placed under the plate-type power supply electrode, and the linear ground electrode under it is wrapped with a separate insulator to closely contact the insulator. Such a source structure has a low discharge efficiency and active species generation efficiency because the plasma generation voltage discharged between the two electrodes is as high as 20 kV. Particularly, the above publication is disadvantageous in the case where sterilization areas such as an ambulance or an indoor wall are wide because the sterilization chamber is disposed in the sterilization chamber.

즉, 구급차나 병실과 같은 곳 전체를 플라즈마 살균기를 이용하여 살균하고자 할 경우, 좀 더 방전 효율이 좋고 벽면 등의 원하는 곳까지 살균력을 미칠 수 있는 살균기 구성이 필요한 상황이다.That is, when sterilizing the whole area such as an ambulance or a hospital room using a plasma sterilizer, it is necessary to construct a sterilizer that has a better discharge efficiency and can achieve a sterilizing power to a desired place such as a wall.

또한, 종래기술들은 유리기판(도시되지 않음)을 유전체로 하며 그 상부에 금속전극을 메탈로 프린팅 혹은 스퍼터링방식으로 코팅한다. 또한 금속전극은 리소그래피 공정을 이용하여 패턴을 형성하여 필요한 부분 전극만을 남겨둬 제조하는 방식이다. 이와 같은 종래 기술은 금속전극에 1kV~20kV 고전압과 1kHz~30kHz 주파수를 갖는 고주파를 인가하여 방전을 발생시키는 유전체 장벽 방전(DBD:DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE)으로 구현되었다. In addition, in the prior art, a glass substrate (not shown) is used as a dielectric, and a metal electrode is coated thereon by metal printing or sputtering. Also, the metal electrode is manufactured by forming a pattern using a lithography process, leaving only the necessary partial electrode. Such a conventional technique is implemented with a dielectric barrier discharge (DBD) that generates a discharge by applying a high voltage of 1 kV to 20 kV and a high frequency of 1 kHz to 30 kHz to the metal electrode.

따라서, 종래의 플라즈마 살균기는 유전체 장벽 방전의 작은 공간에서 발생된 플라즈마를 대기중의 산소(O2)와 질소(N2)에 반응시켜 오존(O3) 위주의 산소 활성종(REACTIVE OXYGEN SPECISE:ROS) 또는 질소활성종(REACTIVE NITROGEN SPECIES:RNS)을 발생시켰다. 그러나 위와 같은 종래의 오존위주의 산소 활성종 및 질소활성종은 소독력이 약하고 특이한 냄새를 발생시키는 문제점을 갖고 있다. Therefore, the conventional plasma sterilizer is reacted with oxygen (O 2) and nitrogen (N 2) in the atmosphere for the plasma generated in a small area of the dielectric barrier discharge ozone (O 3) oxygen active species (REACTIVE OXYGEN SPECISE oriented: ROS) or reactive nitrogen species (RNS). However, the above-mentioned conventional oxygen-active species and nitrogen-active species based on ozone have a disadvantage of weak sterilizing power and generate a peculiar smell.

즉, 종래의 플라즈마 살균기는 리소그래피 공정을 포함하고 있어 복잡한 공정에 의하여 제조비용이 고가이고, 오존(O3) 위주의 활성종을 발생시킴에 따라 살균력이 약한 문제점이 있었다. That is, since the conventional plasma sterilizer includes a lithography process, the manufacturing cost is high due to complicated processes, and the sterilizing power is weak due to generation of active species mainly in ozone (O 3 ).

한국 특허등록공보 제10-1632158호(2016.06.14)Korean Patent Registration No. 10-1632158 (June 16, 2014) 한국 공개특허공보 제10-2010-0056858호(2010.05.28)Korean Patent Publication No. 10-2010-0056858 (May 28, 2010)

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 저렴한 비용으로서 보다 살균력이 높은 활성종을 생산할 수 있는 복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생산하는 플라즈마 살균기를 제공함에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a method for producing active species with high sterilization power, And a plasma sterilizer.

본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 하기와 같은 실시예를 포함할 수 있다. In order to accomplish the above object, the present invention may include the following embodiments.

본 발명의 실시예는, 유전체 장벽 방전(DBD:DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE) 플라즈마 방전소스를 이용한 복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생성하는 플라즈마 살균기에 있어서, 전원을 공급하는 전원부와, 외면에 유전체가 형성되는 복 수개의 유전관을 구비하는 유전체부와, 상기 유전관들에 고정되어 상기 전원부에 공급된 전원을 상기 유전체에 방전시켜 산소 활성종(Reactive Oxygen Species:ROS) 또는 질소 활성종(Reactive Nitrogen Species: RNS)을 생성하는 복 수개의 봉형 전극을 구비한 전극부와, 상기 전원부에서 전원이 공급되면 수증기를 발생시키는 수증기 발생부 및 상기 유전체부에서 발생된 플라즈마 활성종에 상기 수증기를 접촉시키는 팬을 포함하고, 상기 복 수개의 유전관은 일측과 타측이 개방된 중공형으로서 적은 직경을 갖는 유전관이 보다 큰 직경을 갖는 유전관의 내측에서 상기 팬에 의해 발생된 바람이 흘러갈 수 있도록 설정된 간격만큼 이격되고, 상기 수증기는 복 수개의 유전관중 가장 적은 직경을 갖는 제1유전관의 중공을 통하여 외부로 토출되고, 상기 산소 활성종(Reactive Oxygen Species:ROS) 또는 질소 활성종(Reactive Nitrogen Species: RNS)은 상기 제1유전관의 중공을 제외한 나머지 상기 유전관들 사이의 이격된 공간을 통하여 외부로 토출되어 수증기와 접촉되어 OH 라디칼, NO 라디칼, NO2 라디칼 중 적어도 하나의 활성종;을 생성하는 것을 특징으로 하는 복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생성하는 플라즈마 살균기를 제공할 수 있다. An embodiment of the present invention is a plasma sterilizer for generating active species by using a plurality of rod shaped electrodes and a dielectric tube using a dielectric discharge barrier (DBD) plasma discharge source. The plasma sterilizer includes a power supply unit for supplying power, A dielectric part having a plurality of dielectric tubes formed on an outer surface thereof and a dielectric part fixed to the dielectric tubes to discharge a power source supplied to the power source part to the dielectric body to generate reactive oxygen species (ROS) A plurality of rod-shaped electrodes for generating Reactive Nitrogen Species (RNS); a water vapor generating unit for generating water vapor when power is supplied from the power supply unit; and a water vapor generating unit for generating water vapor And the plurality of dielectric pipes are hollow and open at one side and the other side, And the water vapor is discharged to the outside through the hollow of the first dielectric pipe having the smallest diameter among the plurality of the plurality of dielectric pipes, And the reactive oxygen species (ROS) or the reactive nitrogen species (RNS) are discharged to the outside through the spaced spaces between the remaining dielectric pipes except the hollow of the first dielectric pipe And at least one active species selected from the group consisting of OH radicals, NO radicals, and NO 2 radicals is produced by contacting with water vapor to produce active species using multiple rod-shaped electrodes and a dielectric tube. have.

따라서, 본 발명은 복 수개의 봉형의 전극을 복 수개의 유전관 사이에서 설치함에 따라 리소그래피공정을 생략할 수 있어 제조비용이 절감되는 효과가 있다. Therefore, the present invention can eliminate the lithography process by providing a plurality of rod-shaped electrodes between a plurality of dielectric pipes, thereby reducing the manufacturing cost.

또한, 본 발명은 유전관들 사이에서 발생된 플라즈마에 의해 생산된 활성종을 수증기와 접촉시켜 보다 살균력이 높은 활성종을 발생시킬 수 있어 소독시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다. In addition, the present invention has the effect of shortening the disinfecting time since the active species produced by the plasma generated between the dielectric tubes can contact the water vapor to generate active species having higher sterilizing power.

도 1은 본 발명에 따른 복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생산하는 플라즈마 살균기를 도시한 블럭도이다.
도 2는 본 발명의 수증기 발생부를 간략 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생산하는 플라즈마 살균기를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생산하는 플라즈마 살균기를 도시한 평면도이다. FIG. 1 is a block diagram showing a plasma sterilizer for producing active species using a plurality of bar-shaped electrodes and a dielectric tube according to the present invention.
2 is a simplified view of the steam generator of the present invention.
3 is a cross-sectional view illustrating a plasma sterilizer for producing active species using a plurality of bar-shaped electrodes and a dielectric tube according to the present invention.
4 is a plan view showing a plasma sterilizer for producing active species using a plurality of bar-shaped electrodes and a dielectric tube according to the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있지만, 특정 실시예를 도면에 예시하여 상세하게 설명하고자 한다. While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail.

이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 서로 다른 방향으로 연장되는 구조물을 연결 및/또는 고정시키기 위한 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물중 어느 하나에 해당되는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the present invention is not intended to be limited to any particular embodiment and that all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the present invention for connecting and / or fixing structures extending in different directions Should be understood as being appropriate.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제 하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, the terms "comprises" or "having" and the like refer to the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

이하에서는 본 발명에 따른 복 수개의 봉형 전극 및 유전관을 이용하여 활성종을 생산하는 플라즈마 살균기의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a plasma sterilizer for producing active species using a plurality of bar-shaped electrodes and a dielectric tube according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생산하는 플라즈마 살균기를 간략 도시한 블럭도이다. 1 is a block diagram briefly showing a plasma sterilizer for producing active species using a plurality of bar-shaped electrodes and a dielectric tube according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명은 복 수개의 봉형 전극을 구비하는 전극부(200)와, 전극부(200)에서 출력된 전원에 의하여 플라즈마를 발생시키는 유전체부(600)와, 초음파 진동을 발생시켜 수증기를 발생시키는 수증기 발생부(300)와, 바람을 발생시키는 팬(400)과, 수증기 발생부(300) 및 팬(400)의 동작 여부와 주변환경을 감지하는 센서부(120)와, 전극부(200) 내지 팬(400)에 전원을 공급하는 전원부(500)와, 조작명령을 출력하는 스위치(110)와, 주변환경과 동작여부를 표시하는 디스플레이(130)와, 제어신호를 출력하는 제어부(100)를 포함한다. 1, the present invention includes an electrode unit 200 having a plurality of rod-like electrodes, a dielectric unit 600 generating plasma by a power source output from the electrode unit 200, A sensor unit 120 for detecting the operation of the water vapor generating unit 300 and the fan 400 and the surrounding environment, a water supply unit 300 for generating water vapor, a fan 400 for generating wind, A power supply unit 500 for supplying power to the electrode unit 200 to the fan 400, a switch 110 for outputting an operation command, a display 130 for indicating whether the environment is in operation or not, And a control unit (100).

전극부(200)는 봉형 전극으로서 기판(도시되지 않음)의 일면에 고정되는 유전체부(600) 사이에 설치되어 전원부(500)에서 공급된 전원을 유전체부에 출력한다. 이때 전극부(200)는 봉형상으로서 설정된 직경(예를 들면, 0.5mm~4mm)의 전도성 금속(예를 들면, Ti, W, Mo)으로 제조되는 복 수개의 전극들을 포함한다. The electrode unit 200 is provided as a bar-shaped electrode between the dielectric units 600 fixed to one surface of a substrate (not shown), and outputs power supplied from the power source unit 500 to the dielectric unit. At this time, the electrode unit 200 includes a plurality of electrodes made of a conductive metal (for example, Ti, W, Mo) having a diameter (for example, 0.5 mm to 4 mm) set as a bar shape.

복 수개의 전극들은 동일 전위를 갖도록 동일 범위의 직경(예를 들면, 0.1mm~3mm 중 선택된 어느 하나)을 갖는 금속선(도시되지 않음)으로 연결된다. 금속선(도시되지 않음)은 각 유전관의 외면에서 하나 또는 복 수개가 외면을 따라 연장되면서 각 극에 연결된다. 이때 금속선(도시되지 않음)은 전원부에 연결된 전선 또는 회로기판에 연결되어 전원부(500)에서 공급된 전원을 전극으로 출력한다. A plurality of electrodes are connected to a metal wire (not shown) having the same range of diameters (for example, any one selected from 0.1 mm to 3 mm) so as to have the same potential. A metal wire (not shown) is connected to each pole, one or more of which extends along the outer surface of the outer surface of each dielectric tube. At this time, a metal wire (not shown) is connected to a wire or a circuit board connected to the power supply unit and outputs the power supplied from the power supply unit 500 to the electrode.

즉, 본 발명의 전극부(200)는 종래와 달리 리소그래피 공정에 의한 패턴으로 형성되는 것이 아닌 봉형상의 전극으로 이루어진다. 구체적인 설명은 도 3 및 도 4를 참조하여 유전체부(600)와 함께 후술한다. That is, the electrode unit 200 of the present invention is formed of a bar-like electrode, not formed by a pattern by a lithography process, unlike the related art. A detailed description will be given later with the dielectric portion 600 with reference to FIGS. 3 and 4. FIG.

수증기 발생부(300)는 제어부(100)의 제어에 의해 수증기를 발생시킨다. 여기서 발생된 수증기는 유전체부(600)에서 발생된 플라즈마 활성종과 반응하여 보다 살균력이 높은 활성종을 생산한다. 수증기 발생부(300)는 도 2를 참조하여 설명한다. The water vapor generating unit 300 generates water vapor under the control of the controller 100. The generated water vapor reacts with the plasma active species generated in the dielectric unit 600 to produce active species having higher sterilizing power. The water vapor generator 300 will be described with reference to FIG.

도 2는 수증기 발생부를 간략도시한 도면이다. Fig. 2 is a view showing a steam generator in brief.

도 2를 참조하면, 수증기 발생부(300)는 일측에서 토출구(311)가 형성되고, 내측에 물이 수용되는 수용함체(310)와, 수용함체(310)의 내부에 고정되어 초음파 진동으로 수증기를 발생시키는 초음파 진동자(320)를 포함한다. Referring to FIG. 2, the water vapor generating unit 300 includes a water storage container 310 having a discharge port 311 formed therein at one side thereof and containing water therein, And an ultrasonic oscillator 320 for generating ultrasonic waves.

초음파 진동자(320)는 제어부(100)의 제어에 의하여 구동되어 수용함체(310)에 수용된 물에 초음파 진동을 발생시켜 수증기를 발생시킨다. 발생된 수증기는 수용함체(310)의 토출구(311)를 통하여 토출되어 팬(400)에 의해 유전체부(600)로 유입된다. The ultrasonic transducer 320 is driven under the control of the controller 100 to generate ultrasonic vibration in the water accommodated in the receiving container 310 to generate steam. The generated water vapor is discharged through the discharge port 311 of the accommodating housing 310 and flows into the dielectric part 600 by the fan 400.

팬(400)은 제어부(100)의 제어에 의하여 전원부(500)에서 전원이 공급되면 구동되어 유전체부(600)에서 발생된 플라즈마 활성종을 토출시키고, 수증기 발생부(300)에서 생성된 수증기(B)를 유전체부(600)로 유입시켜 플라즈마 활성종에 접촉시킨다. The fan 400 is driven when power is supplied from the power supply unit 500 under the control of the controller 100 to discharge the plasma active species generated in the dielectric unit 600 and to supply the water vapor generated in the steam generator 300 B are introduced into the dielectric portion 600 to be brought into contact with the plasma active species.

센서부(120)는 주변 온도를 감지하는 온도센서와, 습도를 감지하는 습도센서와, 수용함체(310)에 수용된 물의 높이 또는 양을 감지하는 높이 감지센서 또는 중량감지센서, 팬(400)과 수증기 발생부(300) 및/또는 전극부(200)의 이상 여부를 감지하기 위한 전압 또는 전류센서중 적어도 하나를 포함할 수 있다. The sensor unit 120 includes a temperature sensor for sensing the ambient temperature, a humidity sensor for sensing the humidity, a height sensor or a weight sensor for sensing the height or amount of water contained in the accommodating housing 310, a fan 400, Or a voltage or current sensor for detecting the abnormality of the water vapor generating unit 300 and / or the electrode unit 200.

디스플레이(130)는 제어부(100)의 제어에 따라서 주변의 온도와 습도, 팬(400)과 수증기 발생부(300) 및 전극부(200)의 이상 여부와, 물의 재충전을 안내하는 메세지를 출력할 수 있다. 여기서, 디스플레이(130)는 LCD 또는 LED로서 구현될 수 있다. The display 130 outputs a message informing the ambient temperature and humidity, the abnormality of the fan 400, the water vapor generating unit 300 and the electrode unit 200 and the recharging of water according to the control of the controller 100 . Here, the display 130 may be implemented as an LCD or an LED.

제어부(100)는 스위치(110)의 온 또는 오프 명령에 따라서 전극부(200)와 수증기 발생부(300)에 전원을 공급하도록 전원부(500)를 제어하고, 센서부(120)의 감지신호에 따라 디스플레이(130)에 관련 정보를 표시하도록 제어한다. The control unit 100 controls the power unit 500 to supply power to the electrode unit 200 and the water vapor generator 300 according to the ON or OFF command of the switch 110, And controls the display 130 to display related information.

유전체부(600)는 일면에 유전체가 형성되고, 내측에 중공을 이루는 복 수개의 유전관(610~630, 도 3 참조)을 포함하며, 각각의 유전관들은 서로 다른 직경으로 형성된다. 유전체부(600)에 대한 상세한 설명은 도 3과 도 4를 참조하여 전극부(200)와 연계된 구성 및 그 작용을 설명한다. The dielectric portion 600 includes a plurality of dielectric pipes 610 to 630 (see FIG. 3) hollowed on the inner surface thereof, and the dielectric pipes are formed to have different diameters. A detailed description of the dielectric portion 600 will be given in conjunction with the electrode portion 200 and the operation thereof with reference to FIGS. 3 and 4. FIG.

도 3은 본 발명에 따른 복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생산하는 플라즈마 살균기를 도시한 단면도, 도 4는 도 3의 평면도이다. FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a plasma sterilizer for producing active species using a plurality of bar-shaped electrodes and a dielectric tube according to the present invention, and FIG. 4 is a plan view of FIG.

도 3 및 도 4를 참조하면, 유전체부(600)는 서로 다른 직경을 갖는 복 수개의 유전관(610~630)으로서 외면에 유전체(611, 621, 631)가 도포되고, 내측에 중공이 형성된다. 여기서, 유전관(610~630)들은 직경이 작은 유전관이 직경이 큰 유전관의 내측에서 상호 이격되도록 고정된다. 3 and 4, the dielectric unit 600 includes a plurality of dielectric tubes 610 to 630 having different diameters, and the dielectric bodies 611, 621, and 631 are formed on the outer surfaces of the dielectric tubes 600, do. Here, the dielectric tubes 610 to 630 are fixed so that the dielectric tubes having small diameters are spaced apart from each other inside the dielectric tube having a large diameter.

여기서, 유전관(610~630)들 및 전극(210~230)들중 적어도 하나는 기판(도시되지 않음)에 의해 지지될 수 있다. 예를 들면, 기판(도시되지 않음)은 전원부(500)와 봉형 전극(210~230)들을 연결하는 인쇄회로기판(도시되지 않음)과, 유전관(610~630)들을 지지할 수 있는 유전체 기판(도시되지 않음)에서 선택된 어느 하나, 또는 두 개가 모두 조합되어 사용될 수 있다. Here, at least one of the dielectric pipes 610 to 630 and the electrodes 210 to 230 may be supported by a substrate (not shown). For example, a substrate (not shown) may include a printed circuit board (not shown) connecting the power source unit 500 and the rod-shaped electrodes 210 to 230, a dielectric substrate (Not shown), or both may be used in combination.

바람직하게로는 인쇄회로기판(도시되지 않음)과 유전체 기판(도시되지 않음)중 선택된 어느 하나에는 팬(400)에 의해 발생된 바람(C)과 수증기 발생부(300)에서 발생된 수증기(B)가 유전관(610~630)들 사이로 유입될 수 있도록 관통구가 형성될 수 있다. Preferably, at least one selected from a printed circuit board (not shown) and a dielectric substrate (not shown) includes wind C generated by the fan 400 and water vapor B generated from the water vapor generator 300 May be formed between the dielectric pipes 610 to 630. The through-

이때, 각각의 유전관(610~630)은 외면에 유전체(611, 621, 631)가 도포 및/또는 적층되어 전극부(200)에서 출력된 전원에 의해 방전되어 플라즈마 활성종(A)을 발생시킨다. At this time, the dielectric tubes 610 to 630 are coated and / or laminated on the outer surfaces of the dielectric tubes 610 to 630 and discharged by the power source output from the electrode unit 200 to generate the plasma active species A .

보다 구체적으로 설명하자면, 유전관(610, 620, 630)은 복 수개로서 외면에 유전체(Dielectric Material)가 형성되고, 직경이 작은 유전관(610, 620)이 큰 유전관(620, 630)의 내측으로 수용되고, 각 유전관(610, 620, 630)들 사이는 상호 이격되어 복 수개의 전극이 고정되어 플라즈마 활성종을 발생시키는 공간을 형성한다. More specifically, the dielectric tubes 610, 620, and 630 are formed as a plurality of dielectric materials on the outer surface, and the dielectric tubes 610 and 620 having a small diameter are formed on the outer surfaces of the large dielectric tubes 620 and 630 And the dielectric pipes 610, 620, and 630 are spaced apart from each other, and a plurality of electrodes are fixed to form a space for generating plasma active species.

예를 들면, 제1유전관(610)은 가장 작은 직경을 갖고 수증기 발생부(300)측을 향하는 일측이 개방되고, 출구를 이루는 타측이 개방되도록 중공을 이루어 기판(도시되지 않음)에 고정된다. 여기서, 제1유전관(610)의 외면은 제1유전체(611)가 형성되고, 상기 제1유전체(611)에 복 수개의 제1전극(210)이 고정된다. For example, the first dielectric pipe 610 has a smallest diameter and is fixed to a substrate (not shown) with one side open toward the steam generator 300 side and a hollow side open to the other side forming the outlet . Here, a first dielectric 611 is formed on an outer surface of the first dielectric tube 610, and a plurality of first electrodes 210 are fixed to the first dielectric 611.

또한 제1유전관(610)의 중공을 이루는 내면은 유전체가 형성되지 않는다. 따라서, 제1유전관(610)의 중공은 팬(400)에 의해 이동되는 수증기(B)를 외부로 토출시킨다. In addition, a dielectric is not formed on the hollow inner surface of the first dielectric pipe 610. Accordingly, the hollow of the first dielectric pipe 610 discharges the water vapor B moved by the fan 400 to the outside.

또한, 제2유전관(620)은 제1유전관(610)을 수용할 수 있도록 중심부가 중공을 이루고, 내면에서 제1유전관(610)에서 유전체가 형성된 외면과 이격되도록 기판(도시되지 않음)에 고정된다. 또한, 제2유전관(620)은 외면에서 제2유전체(621)가 형성된다. The second dielectric tube 620 has a central hollow portion for accommodating the first dielectric tube 610 and a second dielectric tube 620 formed on the inner surface of the first dielectric tube 610 so as to be spaced apart from the outer surface of the first dielectric tube 610, . In addition, the second dielectric tube 620 has a second dielectric 621 formed on its outer surface.

또한, 제3유전관(630)은 제1유전관(610)을 수용한 제2유전관(620)을 수용할 수 있도록 중공을 이루고, 중공을 이루는 내면이 제2유전관(620)에서 유전체가 형성된 외면과 이격될 수 있는 직경을 갖고 기판(도시되지 않음)에 고정된다. 또한, 제3유전관(630)은 외면에서 제3유전체(631)가 형성된다. The third dielectric tube 630 is hollow to receive the second dielectric tube 620 containing the first dielectric tube 610 and the inner surface of the second dielectric tube 620 is hollow, (Not shown) having a diameter that can be spaced apart from the outer surface formed with the second electrode. In addition, a third dielectric 631 is formed on the outer surface of the third dielectric tube 630.

전극부(200)는 상술한 바와 같이, 제1유전관(610)의 외면에 형성된 제1유전체(611)에 복 수개가 설치되는 제1전극(210)과, 제2유전관(620)의 외면에 설치되는 제2유전체(621)에 설치되는 복 수개의 제2전극과, 제3유전관(630)의 외면에 형성된 제3유전체(631)에 설치되는 복 수개의 제3전극(230)을 포함한다. The electrode unit 200 includes a first electrode 210 and a second electrode 210. The first electrode 210 has a first dielectric layer 611 formed on the outer surface of the first dielectric tube 610 and a second electrode A plurality of third electrodes 230 provided on a third dielectric 631 formed on the outer surface of the third dielectric tube 630 and a plurality of second electrodes provided on the second dielectric 621 disposed on the outer surface of the third dielectric tube 630, .

여기서, 복 수개의 제1전극(210)과 제2전극(220) 및 제3전극(230)은 제1유전관(610)의 중심점에서 동일 각을 이루도록 그 사이가 이격된 것을 특징으로 한다. 예를 들면, 제1전극(210)들은 첫번째 전극과 제1유전관(610)의 중심점과의 연장선과, 제1전극(210)의 두번째 전극과 제1유전관(610)의 중심점과의 연장선간의 각도가 a°(예를 들면, 22.5°)를 이루면, 나머지 제1전극(210)들간의 간격 역시 중심점과 동일각(a°)을 이루도록 이격되어 배치된다. 또한, 제2전극(220)과 제3전극 (230) 역시 제1전극(210)과 동일한 각도를 갖도록 이격되어 배치된다. The plurality of first electrodes 210, the second electrodes 220 and the third electrodes 230 are spaced apart from each other so as to form the same angle at the center of the first dielectric tube 610. For example, the first electrodes 210 may extend from the first electrode 210 to the center point of the first dielectric tube 610 and extend from the second electrode of the first electrode 210 to the center point of the first dielectric tube 610, The interval between the first electrodes 210 is also spaced apart from the center point by the same angle a °. The second electrode 220 and the third electrode 230 are also spaced apart from each other with the same angle as the first electrode 210.

즉, 각각의 전극(210~230)들은 중심점과 등각을 이룰 수 있도록 이격되어 배치된다. 이와 같은 등각(等角) 배치는 활성종이 전방위에 걸쳐 고르게 발생될 수 있도록 균일성을 유지하기 위함인다. That is, the respective electrodes 210 to 230 are spaced apart from each other so as to form an isosceles with the center point. Such conformal arrangement is intended to maintain uniformity so that the active paper can be evenly spread over the entire area.

즉, 제1유전관(610)의 제1전극(210)과, 제2유전관(620)의 제2전극(220)과, 제3유전관(630)의 제3전극(230)은 각각 중심점과 등각을 이루도록 이격 배치됨에 따라 상호 동일 선상에 배치된다.That is, the first electrode 210 of the first dielectric tube 610, the second electrode 220 of the second dielectric tube 620, and the third electrode 230 of the third dielectric tube 630 are And are arranged on the same line so as to be spaced apart from each other so as to form an isosceles angle with the center point.

제1유전관(610)과 제2유전관(620)은 제1유전관(610)의 중심점에서 등각을 이루는 간격으로 배치되는 복 수개의 제1전극(210)과 제2전극(220)에서 출력된 전원에 의하여 플라즈마 활성종을 방전시킨다. 이때 플라즈마 활성종(A)은 제1유전관(610)과 제2유전관(620) 사이의 이격된 공간에서 발생된다. The first dielectric tube 610 and the second dielectric tube 620 are formed of a plurality of first electrodes 210 and second electrodes 220 arranged at equal intervals at the center of the first dielectric tube 610 And the plasma active species is discharged by the output power source. At this time, the plasma active species (A) is generated in a spaced space between the first dielectric tube (610) and the second dielectric tube (620).

또한, 제2유전관(620)과 제3유전관(630)은 제1유전관(610)의 중심점에서 등각을 이루는 간격으로 정렬되는 복 수개의 제2전극(220)과 제3전극(230)에서 각각 출력된 전원에 의해 플라즈마 활성종(A)을 발생시킨다. 플라즈마 활성종(A)은 제2유전관(620)과 제3유전관(630) 사이의 이격된 공간에서 발생된다. The second dielectric tube 620 and the third dielectric tube 630 are connected to each other by a plurality of second electrodes 220 and third electrodes 230 arranged at equally spaced intervals from the center point of the first dielectric tube 610. [ ) Generates the plasma active species (A) by the respective power sources output from the plasma display panel. Plasma active species (A) are generated in a spaced space between the second dielectric tube (620) and the third dielectric tube (630).

즉, 본 발명에서 유전체부(600)는 상호 인접된 두 개의 유전관들중 적어도 하나에 유전체가 형성된 상호 인접된 두 개의 유전관들 사이에서 플라즈마 활성종(A)을 발생시킨다. 따라서, 플라즈마 활성종(A)은 제1유전관(610)과 제2유전관(620) 사이, 제2유전관(620)과 제3유전관(630) 사이의 이격된 공간에서 발생되어 팬(400)에 의해 외부로 토출된다. That is, in the present invention, the dielectric part 600 generates plasma active species (A) between two adjacent mutually adjacent dielectric tubes in which a dielectric is formed on at least one of the mutually adjacent two dielectric tubes. The plasma active species A is generated in the spaced space between the first dielectric tube 610 and the second dielectric tube 620 and between the second dielectric tube 620 and the third dielectric tube 630, (400).

이때, 플라즈마 활성종(A)은 산소 활성종(Reactive Oxygen Species:ROS) 또는 질소 활성종(Reactive Nitrogen Species: RNS)으로서, 소독력이 약하고 특이한 냄새를 발생하는 오존(O3)에 해당된다. At this time, the plasma active species (A) corresponds to ozone (O 3 ), which is a reactive oxygen species (ROS) or a reactive nitrogen species (RNS) and has weak disinfecting power and generates a peculiar smell.

수증기 발생부(300)에서 발생된 수증기(B)는 팬(400)에 의하여 외부로 토출되어 유전체부(600)에서 토출되는 플라즈마 활성종(A)과 접촉되면서 보다 살균력이 강한 활성종을 생산하게 된다. The water vapor B generated in the water vapor generating unit 300 is discharged to the outside by the fan 400 and is contacted with the plasma active species A discharged from the dielectric unit 600 to produce active species having higher sterilizing power do.

구체적으로 설명하자면, 수증기(B)는 유전체가 형성되지 않은 제1유전관(610)의 중공을 통하여 외부로 토출되어 제1유전관(610)과 제2유전관(620), 제2유전관(620)과 제3유전관(630) 사이에서 발생되어 팬(400)에 의해 외부로 토출된 플라즈마 활성종(A)과 접촉되어 보다 살균력이 강한 활성종을 생산한다. Specifically, the water vapor B is discharged to the outside through the hollow of the first dielectric pipe 610 where no dielectric is formed, and flows into the first dielectric pipe 610 and the second dielectric pipe 620, Is generated between the first dielectric tube 620 and the third dielectric tube 630 and is contacted with the plasma active species A discharged to the outside by the fan 400 to produce active species having higher sterilizing power.

이때, 수증기(B)와 플라즈마 활성종(A)이 접촉되면서 생산되는 활성종은 OH 라디칼, NO 라디칼, NO2 라디칼, H2O2, NO2 -, NO3 - 중 적어도 하나에 해당된다. At this time, the active species produced by the contact between the water vapor (B) and the plasma active species (A) is at least one of OH radical, NO radical, NO 2 radical, H 2 O 2 , NO 2 - , NO 3 - .

즉, 팬(400)에서 발생된 바람(C)은 각 유전관들 사이의 이격된 공간과, 유전체가 형성되지 않은 내면을 이루는 제1유전체(611)의 중공으로 흐르게 되어 각 유전관들 사이에서 발생된 플라즈마 활성종(A)과 수증기 발생부(300)에서 발생된 수증기(B)를 외부로 토출시켜 상호 접촉되도록 한다. That is, the wind C generated in the fan 400 flows into the hollow of the first dielectric 611 forming the inner surface of the dielectric without forming the dielectric, The generated plasma active species (A) and the water vapor (B) generated in the water vapor generating unit (300) are discharged to the outside to be brought into mutual contact.

여기서, 유전체부(600)와 전극부(200) 및 팬(400)은 하나의 하우징의 내측에 수용되고, 플라즈마 활성종(A) 및 수증기(B)는 하우징의 토출구를 통하여 외부로 토출되면서 상호 접촉되거나, 하우징의 내측에서 상호 접촉됨도 가능하다. 이와 같은 하우징의 설계는 일반적인 기구 설계에 해당됨에 따라 다양한 형태로서 실시 가능함에 따라 그 상세한 설명을 생략하였다. Here, the dielectric part 600, the electrode part 200 and the fan 400 are accommodated in one housing, and the plasma active species A and water vapor B are discharged to the outside through the discharge port of the housing, Or they may be in contact with each other inside the housing. Since the design of such a housing corresponds to a general mechanical design, it can be implemented in various forms, and a detailed description thereof is omitted.

또한, 유전체부(600)는 원형의 관형상으로 도면에 도시되었으나, 이에 한정되는 것이 아니며, 원형 외에 삼각형 이상의 다각형의 외면을 이루고 내부에 중공이 형성된 구조중에서 선택적으로 적용할 수 있다. In addition, although the dielectric unit 600 is shown in the form of a circular tube, it is not limited thereto, and the dielectric unit 600 may be selectively applied to a structure having a polygonal outer surface of triangle or more and hollows formed therein.

이하에서는 상기와 같은 구성을 통하여 달성될 수 있는 작용을 상세히 설명한다. Hereinafter, operations that can be achieved through the above-described configuration will be described in detail.

먼저, 제어부(100)는 사용자의 조작에 의해 스위치(110)가 온 되면, 전원부(500)에서 연결되는 전원라인을 개방하여 디스플레이(130)와, 전극부(200), 팬(400) 및 수증기 발생부(300)에 전원을 공급하도록 한다. When the switch 110 is turned on by a user's operation, the control unit 100 opens the power line connected to the power source unit 500 to display the display 130, the electrode unit 200, the fan 400, And supplies power to the generator 300.

아울러, 제어부(100)는 센서부(120)의 환경감지신호와 팬(400)과 전극부(200) 및 수증기 발생부(300)중 적어도 하나의 이상 여부와, 수용함체(310)에 수용된 물의 수량을 감지하여 이상 발생시에 디스플레이(130)를 통하여 표시한다. The control unit 100 determines whether at least one of the environmental sensing signal of the sensor unit 120 and the fan 400, the electrode unit 200 and the water vapor generating unit 300 is abnormal, And displays it on the display 130 when an error occurs.

여기서, 센서부(120)는 온도 및/또는 습도 센서를 구비하여 주변의 온도와 습도를 감지하여 제어부(100)에 출력할 수 있다. 따라서, 제어부(100)는 디스플레이(130)에 주변 온도와 습도중 적어도 하나를 표시하도록 제어할 수 있다. Here, the sensor unit 120 may include a temperature and / or humidity sensor to sense ambient temperature and humidity and output the detected temperature and humidity to the control unit 100. Accordingly, the controller 100 may control the display 130 to display at least one of the ambient temperature and the humidity.

또한, 센서부(120)는 전압 또는 전류센서를 구비하여 팬(400)과 전극부(200) 및 초음파 진동자(320)중 적어도 하나에 연결되는 전원라인에서 전압 또는 전류를 감지하여 제어부(100)에 출력한다. 제어부(100)는 센서부(120)의 감지신호를 수신하여 팬(400)과, 전극부(200) 및 초음파 진동자(320)의 동작 가능 여부를 판단하여 이상 발생시에 디스플레이(130)를 제어하여 이를 표시하도록 한다. The sensor unit 120 may include a voltage or current sensor to sense voltage or current in the power line connected to the fan 400 and at least one of the electrode unit 200 and the ultrasonic transducer 320, . The control unit 100 receives the sensing signal of the sensor unit 120 and determines whether the fan 400, the electrode unit 200 and the ultrasonic transducer 320 are operable, and controls the display unit 130 when an abnormality occurs Display this.

또한, 센서부(120)는 수용함체(310)에 수용된 물의 높이 또는 중량을 감지하여 제어부(100)에 출력한다. 제어부(100)는 설정된 기준과 비교하여 기준 수량 또는 높이에 미달될 경우에 디스플레이(130)에 물 충전을 요청하는 메세지를 출력하도록 제어할 수 있다. The sensor unit 120 senses the height or weight of the water contained in the accommodating housing 310 and outputs the sensed height or weight to the controller 100. The control unit 100 may control the display 130 to output a message for requesting the water to be charged when the reference water quantity or the height is lower than the set reference.

또한, 제어부(100)는 전원부(500)에서 전극부(200) 및 수증기 발생부(300)와 팬(400)에 연결되는 전원라인을 개방하여 각각 전원이 통전되도록 제어한다. The control unit 100 controls the power source unit 500 to open the power source line connected to the electrode unit 200 and the steam generator 300 and the fan 400 so that the power source is energized.

그러므로, 제1유전관(610)과 제2유전관(620) 및 제3유전관(630)은 각각의 외면에 고정된 제1전극(210)과 제2전극 및 제3전극(230)에서 전원이 출력됨에 따라 이격된 공간으로 플라즈마 활성종(A)을 생산한다. Therefore, the first dielectric tube 610, the second dielectric tube 620, and the third dielectric tube 630 are electrically connected to the first electrode 210, the second electrode, and the third electrode 230, As the power is outputted, the plasma active species (A) is produced in a spaced space.

이때, 플라즈마 활성종(A)은 팬(400)의 동작에 의해 제1유전관(610)과 제2유전관(620) 사이, 제2유전관(620)과 제3유전관(630) 사이의 이격된 공간을 통하여 외부로 토출된다. At this time, the plasma active species A is generated between the first dielectric tube 610 and the second dielectric tube 620 by the operation of the fan 400, between the second dielectric tube 620 and the third dielectric tube 630 And is discharged to the outside through the spaced-apart space.

아울러, 수증기 발생부(300)는 초음파 진동자(320)가 구동되면서 수증기(B)를 발생시키고, 발생된 수증기(B)는 팬(400)에 의하여 제1유전관(610)의 중공을 통하여 외부로 토출된다. The steam generator 300 generates the steam B while the ultrasonic vibrator 320 is driven and the generated steam B is discharged to the outside through the hollow of the first dielectric tube 610 by the fan 400. [ .

따라서, 제1유전관(610)의 중공을 통하여 토출되는 수증기(B)는 제1유전관(610)과 제2유전관(620) 사이와, 제2유전관(620)과 제3유전관(630) 사이로 각각 토출되는 플라즈마 활성종(A)과 접촉되면서, OH 라디컬등의 활성종을 생산하게 된다. 또한, 활성종은 복 수개의 전극들이 중심점과 동일한 각도를 갖는 위치에서 상호 이격됨에 따라 전방위에 걸쳐 균일하게 발생될 수 있다. The water vapor B discharged through the hollow of the first dielectric pipe 610 flows between the first oil pipe 610 and the second oil pipe 620 and between the second oil pipe 620 and the third oil pipe 620, (A) which are respectively discharged between the plasma activated species (A) and (B), thereby producing active species such as OH radicals. In addition, the active species can be uniformly generated over all directions as a number of electrodes are spaced apart from each other at positions having the same angle as the center point.

이와 같이, 본 발명은 종래의 플라즈마 살균기에서 생산되는 플라즈마 활성종(A)에 비하여 보다 높은 살균력을 갖는 활성종을 생산함에 따라 병원등과 같이 병원균등의 접촉과 전염이 용이한 장소에 적합하다. As such, the present invention produces active species having a higher sterilizing power than the plasma active species (A) produced by the conventional plasma sterilizer, and thus is suitable for places where contact and transmission of pathogenic bacteria are easy, such as hospitals.

또한, 본 발명은 상술한 바와 같이 봉형 전극을 유전체에 직접 고정시킴에 따라 종래의 플라즈마 살균기에서 사용되는 리소그래피공정으로 인한 전극 패턴을 형성하는 과정이 생략될 수 있어 제조 비용과 시간을 단축시킬 수 있다.In addition, since the rod-like electrode is directly fixed to the dielectric member as described above, the process of forming the electrode pattern due to the lithography process used in the conventional plasma sterilizer can be omitted, and the manufacturing cost and time can be shortened .

이상에서 설명된 본 발명의 복 수개의 봉형전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생산하는 플라즈마 살균기의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. The embodiments of the plasma sterilizer for producing active species using the plurality of rod-shaped electrodes and the dielectric tube of the present invention described above are merely illustrative, and those skilled in the art will appreciate that It will be appreciated that various modifications and equivalent embodiments are possible.

그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Therefore, it is to be understood that the present invention is not limited to the above-described embodiments. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims. It is also to be understood that the invention includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100 : 제어부 110 : 스위치
120 : 센서부 200 : 전극부
210 : 제1전극 220 : 제2전극
230 : 제3전극 300 : 수증기 발생부
310 : 수용함체 320 : 초음파 진동자
400 : 팬 500 : 전원부
600 : 유전체부 610 : 제1유전관
620 : 제2유전관 630 : 제3유전관
611, 621, 631 : 유전체
A : 플라즈마 활성종 B: 수증기
C : 바람100: control unit 110: switch
120: sensor part 200: electrode part
210: first electrode 220: second electrode
230: Third electrode 300: Water vapor generator
310: accommodating housing 320: ultrasonic vibrator
400: Fan 500: Power supply
600: dielectric portion 610: first dielectric tube
620: second oil pipe 630: third oil pipe
611, 621, 631: Dielectric
A: Plasma active species B: Water vapor
C: Wind

Claims (6)

유전체 장벽 방전(DBD:DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE) 플라즈마 방전소스를 이용한 복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생성하는 플라즈마 살균기에 있어서,
전원을 공급하는 전원부;
외면에 유전체가 형성되는 복 수개의 유전관을 구비하는 유전체부;
상기 유전관들에 고정되어 상기 전원부에 공급된 전원을 상기 유전체에 방전시켜 산소 활성종(Reactive Oxygen Species:ROS) 또는 질소 활성종(Reactive Nitrogen Species: RNS)을 생성하는 복 수개의 봉형 전극을 구비한 전극부;
상기 전원부에서 전원이 공급되면 수증기를 발생시키는 수증기 발생부; 및
상기 유전체부에서 발생된 플라즈마 활성종에 상기 수증기를 접촉시키는 팬;을 포함하고,
상기 복 수개의 유전관은
일측과 타측이 개방된 중공형으로서 적은 직경을 갖는 유전관이 보다 큰 직경을 갖는 유전관의 내측에서 상기 팬에 의해 발생된 바람이 흘러갈 수 있도록 설정된 간격만큼 이격되고,
상기 수증기는 복 수개의 유전관중 가장 적은 직경을 갖는 제1유전관의 중공을 통하여 외부로 토출되고,
상기 산소 활성종(Reactive Oxygen Species:ROS) 또는 질소 활성종(Reactive Nitrogen Species: RNS)은 상기 제1유전관의 중공을 제외한 나머지 상기 유전관들 사이의 이격된 공간을 통하여 외부로 토출되어 수증기와 접촉되어 OH 라디칼, NO 라디칼, NO2 라디칼 중 적어도 하나의 활성종;을 생성하는 것을 특징으로 하는 복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생성하는 플라즈마 살균기.
DISCHARGE DISCHARGE (DBD) A plasma sterilizer for generating active species by using a plurality of rod shaped electrodes and a dielectric tube using a plasma discharge source,
A power supply for supplying power;
A dielectric portion having a plurality of dielectric tubes with a dielectric formed on an outer surface thereof;
A plurality of rod-shaped electrodes fixed to the dielectric tubes and discharging a power supplied to the power supply unit to the dielectric to generate reactive oxygen species (ROS) or reactive nitrogen species (RNS) An electrode section;
A water vapor generating unit generating water vapor when power is supplied from the power supply unit; And
And a fan for bringing the steam into contact with the plasma active species generated in the dielectric portion,
The plurality of dielectric pipes
A hollow pipe having one side and the other side is opened, and a dielectric pipe having a small diameter is spaced apart by a predetermined interval so that wind generated by the fan can flow inside a dielectric pipe having a larger diameter,
The water vapor is discharged to the outside through the hollow of the first dielectric pipe having the smallest diameter among a plurality of dielectric pipes,
The Reactive Oxygen Species (ROS) or Reactive Nitrogen Species (RNS) are discharged to the outside through the spaced spaces between the dielectric pipes except for the hollow of the first dielectric pipe, Wherein at least one active species selected from the group consisting of OH radicals, NO radicals, and NO 2 radicals is produced by contacting a plurality of bar-type electrodes and a dielectric tube.
삭제delete 제1항에 있어서, 상기 봉형 전극은
Ti, W, Mo 중 적어도 하나로 제조되어 유전체가 형성된 상기 유전관들의 일면에서 복 수개가 상호 이격되도록 고정된 것을 특징으로 하는 복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생산하는 플라즈마 살균기.
The electrode assembly according to claim 1, wherein the rod-
Ti, W, and Mo, and the dielectric tube is fixed so that a plurality of the dielectric tubes are spaced apart from each other on one surface of the dielectric tube, wherein the dielectric tube is formed of at least one of Ti, W, and Mo.
제1항에 있어서, 주변 온도를 감지하는 온도센서와, 습도를 감지하는 습도센서와, 상기 수증기 발생부의 물의 높이를 감지하는 높이 감지센서와, 물의 중량을 감지하는 중량감지센서, 상기 팬과 수증기 발생부와, 전극부중 적어도 하나의 이상 여부를 감지하기 위한 전압센서 및 전류센서중 하나 이상을 구비한 센서부; 및
센서부의 감지신호에 따라 주변의 온도, 습도, 팬과 수증기 발생부 및 전극의 이상여부를 판단하여 디스플레이에 이를 표시하도록 제어하는 제어부;를 더 포함하고,
상기 수증기 발생부는
물을 수용하는 수용함체; 및
상기 전원부에서 공급된 전원에 의해 초음파 진동을 발생시켜 수증기를 발생시키는 초음파 진동자;를 포함하는 복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생산하는 플라즈마 살균기.
The apparatus of claim 1, further comprising: a temperature sensor for sensing an ambient temperature; a humidity sensor for sensing humidity; a height sensor for sensing a height of water in the steam generator; a weight sensor for sensing weight of water; A sensor unit having at least one of a generating unit and a voltage sensor and a current sensor for detecting whether or not at least one of the electrode units is abnormal; And
And a controller for controlling the temperature, the humidity, the fan, the steam generating unit, and the electrode in accordance with the sensing signal of the sensor unit, and displaying the result on the display,
The steam generator
An accommodation enclosure for containing water; And
And an ultrasonic vibrator for generating ultrasonic vibrations by the power supplied from the power supply unit to generate steam. The plasma sterilizer produces active species using a plurality of bar-shaped electrodes and a dielectric tube.
삭제delete 제1항에 있어서, 상기 복 수개의 전극들은
상기 유전관들의 외면에서 중심점과 동일한 각도를 갖도록 상호 이격된 것을 특징으로 하는 복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생산하는 플라즈마 살균기. The method of claim 1, wherein the plurality of electrodes
Wherein the plurality of rod-shaped electrodes and the dielectric tube are spaced apart from each other with an angle equal to a center point of the outer surface of the dielectric tubes.
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