KR101861052B1 - 아노다이징 장치용 미세기포 공급부 - Google Patents

Abstract

본 발명은 아노다이징 장치에 미세기포를 공급하기 위한 장치에 관한 것이다.
전해액을 수용하고 상기 전해액 내에 아노다이징 대상 소재를 침지한 상태에서 아노다이징을 수행하는 공간을 형성하는 배스부에 미세기포가 혼입된 전해액을 공급하기 위한 장치로서, 본 발명에 따르 미세기포 공급부는 외형을 형성하고, 중심축을 기준으로 방사상에 일정각도마다 상기 중심축 방향으로 관통되는 배출유로가 형성되고, 전해액 및 에어가 상기 배출유로 내로 유입되도록 유입유로가 형성되는 하우징; 상기 유로의 배출구측에 구비되는 미세기포 형성노즐; 상기 배출유로를 중심축 방향으로 왕복운동하는 복수의 피스톤; 상기 하우징 중심축 방향으로 구비되고, 외부 동력을 전달받아 회전하는 회전축; 및 상기 회전축에 상기 중심축에 대하여 경사진 상태로 고정되고, 상기 회전축과 함께 회전하여 상기 복수의 피스톤 각각을 순차적으로 왕복시키는 경사판;을 포함한다.

Description

아노다이징 장치용 미세기포 공급부{Micro-bubble supplier for anodizing apparatus}

본 발명은 아노다이징 장치에 미세기포를 공급하기 위한 장치에 관한 것이다.

알루미늄(Al) 소재는 치수 정밀도가 높고, 경량(經粮)인 주물 제작에 있어서는 철(Iron)에 비해 짧은 시간에 대량생산이 가능하다. 또한, 높은 주조성, 낮은 밀도, 높은 생산성, 낮은 수축율 및 상대적으로 높은 강도 등의 특성으로 인해 다양한 산업분야에서 폭넓게 사용된다.

알루미늄의 사용분야는 항공기, 철도 및 자동차 등의 수송용 장치 분야에서부터 전기, 전자, 일반기계 등에까지 다양하다. 구체적으로는 트랜스미션 하우징, 엔진실린더 및 블럭, 연료 측정 장치 등의 케이스류 및 복잡한 형상의 수송용 기기 부품에서 많이 사용된다. 또한, IT 산업의 발전과 함께 알루미늄은 휴대용 컴퓨터, 태블릿 PC 및 스마트 폰 등 휴대용 전자기기의 케이스에도 많이 사용되고 있다.

이러한 장점과 다양한 적용가능성에도 불구하고, 알루미늄은 그다지 가혹하지 않은 환경에서도 부식이 발생하여 기계적 성질이 저하되는 결과를 초래할 수 있기 때문에 내식성을 증대시키고 신뢰성을 보장할 수 있는 방안이 필요하다.

알루미늄의 단점을 개선하기 위한 방법으로는 알루미늄에 Mn, Mg, Si 및 Cr 등의 원소를 첨가하여 합금으로 사용하는 방법, 알루미늄 합금 표면에 인공적인 양극산화 피막을 생성시키는 아노다이징(Anodizing) 방법, 전기통전이 가능한 화성피막을 생성시키는 크로메이트 코팅(Chromate coating) 방법, 인산염 피막처리 방법 등이 있다. 이 중에서 아노다이징 방법은 알루미늄 합금 재료의 보호피막을 형성하는데 기능성이 높은 방법으로 고려할 수 있다.

아노다이징은 전해시 사용되는 전해질의 종류에 따라 수산법, 황산법, 크롬산법 등이 있다. 표면처리를 하고자 하는 알루미늄 소재를 양극(anode)으로 하고 직류 전원을 인가하여, 양극에서 발생하는 산소에 의하여 알루미늄의 표면이 산화되면서 산화 알루미늄(Al2O3) 피막이 생성되는데, 이 피막은 대단히 단단하고, 내식성이 크며, 직경이 매우 작은 다공성 조직으로 형성된다. 알루미늄의 순도가 높을수록 미려하고 광택 있는 피막을 얻을 수 있다.

그러나 상기와 같이 황산법 또는 크롬산법으로 아노다이징하는 경우에는 알루미늄 표면에 형성되는 산화피막층 내에 무수히 많은 미세한 기공(Pore)이 존재하는 다공질 구조가 생성되는 현상이 발생하며, 이러한 다공질 구조는 미관을 장식하기 위한 착색을 위해서는 유리한 점이 있으나, 기계적, 화학적, 전기적 특성이 취약하여 산업용에 사용되기 위한 제품에는 적합하지 못한 단점이 있다. 따라서 이러한 다공질 구조의 미세기공을 메워 주는실링 공정(sealing process)의 후처리 공정이 필수적으로 요구된다.

양극 둘레에서 전기 분해에 의해 발생된 산소가 대기로 전달되는 기포를 형성하기 때문에 금속체 상의 산화 기능은 낮아지고, 산소 기포 형성은 금속체 표면 상의 저항을 증가시키고 처리를 위해 더 높은 전압이 요구되어서 큰 전력이 필요하고 따라서 열 손실과 에너지 손실이 크게 된다.

이러한 문제들을 해결하기 위한 것으로서 일본 공개특허 소60-9600호에서는 0.001 내지 4 mm의 직경을 갖는 다수의 기포가 전해욕 내의 폭기(aeration) 장치에 의해 발생되어서 10 내지 200 Hz 주파수의 진동을 받고 상향 이동하게 되어서 양극 산화 공정의 효율이 개선되도록 하는 양극 산화 처리 방법에 대해 개시하고 있으며, 대한민국 등록특허 10-0382177호 "양극 산화 처리 방법 및 장치"에서는 더 나아가 처리욕을 진동시키는 기술이 제시된 바 있다.

그러나 기포의 크기가 커서 진동이 발생하거나, 위와 같이 진동이 발생하는 경우 산화막의 미세기공이 과도하게 크게 형성될 우려가 있다.

본 발명은 진동이 작으면서도 종래 초음파를 이용한 진동방식의 아노다이징 장치에 비하여 산화피막의 품질을 향상시킬 수 있는 아노다이징 장치를 제공한다.

전해액을 수용하고 상기 전해액 내에 아노다이징 대상 소재를 침지한 상태에서 아노다이징을 수행하는 공간을 형성하는 배스부에 미세기포가 혼입된 전해액을 공급하기 위한 장치로서, 본 발명에 따르 미세기포 공급부는 외형을 형성하고, 중심축을 기준으로 방사상에 일정각도마다 상기 중심축 방향으로 관통되는 배출유로가 형성되고, 전해액 및 에어가 상기 배출유로 내로 유입되도록 유입유로가 형성되는 하우징; 상기 유로의 배출구측에 구비되는 미세기포 형성노즐; 상기 배출유로를 중심축 방향으로 왕복운동하는 복수의 피스톤; 상기 하우징 중심축 방향으로 구비되고, 외부 동력을 전달받아 회전하는 회전축; 및 상기 회전축에 상기 중심축에 대하여 경사진 상태로 고정되고, 상기 회전축과 함께 회전하여 상기 복수의 피스톤 각각을 순차적으로 왕복시키는 경사판;을 포함한다.

또한 상기 미세기포 형성노즐은, 중공 형상으로 형성되어 상기 배출유로 내에 삽입되는 노즐 몸체부; 상기 노즐 몸체부의 내측에 고정되고, 상기 에어 및 상기 전해액의 유로를 제어하여 미세기포를 형성하는 유로 제어부; 및 상기 미세기포 형성노즐은 상기 유입 유로측에 모세관 현상을 이용하기 위한 다공성 부재;를 포함할 수 있다.

또한 상기 유로 제어부는, 상기 노즐 몸체부에 고정된 지점으로부터 상기 전해액의 흐름 방향의 역방향으로 직경이 감소하도록 돌출부가 형성되고, 상기 돌출부의 내측에는 상기 노즐 몸체부에 고정된 지점으로부터 중심축 방향으로 일정한 깊이의 공간으로 정의되는 기포 형성공간이 형성되며, 상기 노즐 몸체부 사이의 공간과 상기 기포 형성공간을 연통시키는 유로 전환구멍이 형성되되, 상기 유로 전환구멍은 상기 전해액과 공기의 흐름 방향과 반대가 되도록 상기 유로 제어부의 중심축에 대하여 경사지도록 형성될 수 있다.

또한 상기 유로 제어부는, 상기 돌출부 및 상기 노즐 몸체부 사이에 형성되는 제1 경로와, 상기 유로 전환구멍을 통하여 상기 기포 형성공간에 이르는 제2 경로와, 상기 기포 형성공간으로부터 상기 노즐 몸체부의 배출측에 이르는 제3 경로를 형성할 수 있다.

또한 상기 유로 제어부는 상기 제3 경로를 따라 형성되는 유로의 직경이 점차 증가되도록 형성될 수 있다.

또한 상기 유로 제어부는 상기 제2 경로를 통한 전해액 및 에어의 이동과 제3 경로를 통한 전해액 및 에어의 이동을 충돌시킴으로써 미세기포를 형성할 수 있다.

또한 상기 다공성부재에는 상기 유입 유로측에 상기 전해액의 흐름에 따라 회전하는 회전부가 더 구비될 수 있다.

본 발명에 따르면 별도의 진동을 유발하는 장치를 이용하지 않으면서도 미세기포를 특정 위치에서 펄스타입, 즉 특정 위치에서 미세기포의 공급 주기를 불연속적으로 함으로써 진동이 작으면서도 종래 초음파를 이용한 진동방식의 아노다이징 장치에 비하여 산화피막의 품질을 향상시킬 수 있는 아노다이징 장치를 제공한다.

또한 본 발명에 따르면 미세기포 형성노즐에 공급되는 전해액과 에어의 분리에 의한 미세기포 형성 효율을 일정하게 유지할 수 있도록 할 수 있다.

도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 아노다이징 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 3 내지 도 4는 각각 일 실시예에 따른 미세기포 공급부의 모습을 나타내는 사시도, 단면도 및 분해사시도이다.
도 6은 상기 미세기포 공급부 중 피스톤 관련 구성부들을 설명하기 위한 개략도이다.
도 7은 일 실시예에 따른 미세기포 형성노즐을 나타내는 단면도이다.
도 8은 다른 실시예에 따른 미세기포 형성노즐을 나타내는 단면도이다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 특별한 정의나 언급이 없는 경우에 본 설명에 사용하는 방향을 표시하는 용어는 도면에 표시된 상태를 기준으로 한다. 또한 각 실시예를 통하여 동일한 도면부호는 동일한 부재를 가리킨다. 한편, 도면상에서 표시되는 각 구성은 설명의 편의를 위하여 그 두께나 치수가 과장될 수 있으며, 실제로 해당 치수나 구성간의 비율로 구성되어야 함을 의미하지는 않는다.

도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 아노다이징 장치를 설명한다. 도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 아노다이징 장치를 설명하기 위한 개략도이다.

본 실시예에 따른 아노다이징 장치(10)는 도 1에 도시된 바와 같이 전해액을 수용하고 상기 전해액 내에 아노다이징 대상 소재를 침지한 상태에서 아노다이징을 수행하는 공간을 형성하는 배스부(20)와, 아노다이징 소재를 고정하는 지그(25)를 전해액에 침지되도록 지지하는 지지부(21)를 포함한다. 지그(25)는 고정부재(23)를 통하여 지지부에 거치된다.

도 2를 참조하여 설명하면, 배스부(20)의 저면에는 복수의 체크 밸브(29)들이 구비된다. 체크 밸브(29)들은 후술할 미세기포 공급부로부터 개별의 호스 또는 파이프 타입의 유로관을 통하여 미세기포가 혼입된 전해액이 배스부(20) 내로 유입되도록 한다.

체크 밸브(29)들은 배스부(20)의 내측 공간의 저면에 일정 간격으로 배열 및 구비된다. 후술할 미세기포 공급부는 체크밸브들에 순차적으로 미세기포를 공급함과 동시에 미세기포의 공급 주기를 제어하여 각 체크밸브를 통하여 불연속적으로 미세기포가 혼입된 전해액을 공급하도록 한다. 이 때 미세기포 공급부는 일정하게 배열된 체크밸브(29)들을 통하여 미세기포가 혼입된 전해액을 일정한 방향성을 갖고 공급되도록 제어할 수 있다.

아노다이징(Anodizing; 양극산화)은 금속이나 부품 등을 양극에 걸고 희석-산의 전해액에서 전해하면, 양극에서 발생하는 산소에 의해서 소지금속과 대단한 밀착력을 가진 산화피막(산화알미늄: Al2O3)이 형성된다. 양극산화라고 하는 것은 양극(Anode)과 산화(Oxidizing)의 합성어(Ano-dizing)이다. 또한, 전기도금에서 금속부품을 음극에 걸고 도금하는 것과는 차이가 있다. 양극산화의 가장 대표적인 소재는 알루미늄(Al)이고, 그 외에 마그네슘(Mg), 아연(Zn), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 하프늄(Hf), 니오븀(Nb) 등의 금속소재에도 아노다이징 처리를 하고 있다. 알루미늄 소재의 표면에 산화피막을 처리하는 아노다이징(Anodizing on Aluminum Alloys)은 알루미늄을 양극에서 전해하면 알루미늄 표면이 반은 침식이 되고, 반은 산화알루미늄 피막이 형성된다. 알루미늄 아노다이징(양극산화)은 다양한 전해(처리)액의 조성과 농도, 첨가제, 전해액의 온도, 전압, 전류 등에 따라 성질이 다른 피막을 형성시킬 수 있다.

본 실시예에에 따른 아노다이징 장치(10)는 설명의 편의를 위하여 이러한 전기 공급관련 장치들은 생략한다.

도 3 내지 도 8을 참조하여 일 실시예에 따른 미세기포 공급부를 설명한다. 도 3 내지 도 4는 각각 일 실시예에 따른 미세기포 공급부의 모습을 나타내는 사시도, 단면도 및 분해사시도이고, 도 6은 상기 미세기포 공급부 중 피스톤 관련 구성부들을 설명하기 위한 개략도이다. 또한 도 7은 일 실시예에 따른 미세기포 형성노즐을 나타내는 단면도이고, 도 8은 다른 실시예에 따른 미세기포 형성노즐을 나타내는 단면도이다.

본 실시예에 따른 미세기포 공급부(100)는 배스부에 미세기포가 혼입된 전해액을 공급하기 위한 장치이다. 본 실시예에 따른 미세기포 공급부(100)는 하우징(110), 회전축(111), 공급부(190), 피스톤(130), 미세기포 형성노즐(120)를 포함한다.

하우징(110)은 미세기포 공급부(100)의 외형을 형성하고, 또한 하우징(110)은 중심축을 기준으로 방사상에 일정각도마다 기통부(101)가 형성된다. 기통부(101)는 중심축 방향으로 하우징(110)을 관통한다. 유입유로(190)는 전해액 및 에어가 배출유로 내로 유입되도록 유로를 형성한다. 이 때 유입유로(190)를 통하여 유입되는 전해액 및 에어는 각각 별개의 관을 통하여 공급되는 것도 가능하나, 전처리를 통하여 전해액 및 에어를 미리 혼합하여 공급하는 것도 가능하다.

미세기포 형성노즐(120)은 기통부(101) 내에 구비되어 기통부(101)를 통하여 배출되는 전해액 및 에어를 혼합하여 미세기포를 형성한다. 피스톤(130)은 배출유로를 중심축 방향으로 왕복운동한다. 피스톤(130)은 유입유로(190)를 통하여 기통부(101) 측으로 유입되는 전해액 및 에어를 미세기포 형성노즐(120) 측으로 밀어내는 기능을 한다.

회전축(111)은 하우징(110)의 중심축 방향으로 관통하도록 구비되고, 외부 동력을 전달받아 회전한다. 회전축(111)의 중앙측에는 경사판(112)이 구비된다. 경사판(112)은 중심축에 대하여 경사진 상태로 회전축(111)에 고정되고, 회전축(111)과 함께 회전하여 복수의 피스톤(130) 각각을 순차적으로 왕복시킨다.

구체적으로 피스톤(130)은 도 6에 도시된 바와 같이 양 단부에 패킹부(131)가 형성되어 앞서 설명한 기통부(101)의 기밀을 형성한다. 패킹부(131)들의 사이를 연결하는 연결부(135)에는 일정 깊이 함몰된 형태의 단차부(1351)가 형성되어 상술한 경사판의 측부 모서리가 수용된다. 경사판(112)은 회전축(111)이 회전함에 따라 모서리 부분이 중심축 방향으로 오르내리게 된다. 이 때 경사판의 모서리가 단차부(1351)에 수용된 상태에서 피스톤(130)도 경사판(112)을 따라 기통부(101)를 왕복이동하게 된다. 한편, 경사판(112)이 회전함에 따라 각각의 피스톤(130)은 순차적으로 기통부(101)를 따라 전진 및 후퇴를 반복한다.

미세기포 형성노즐(120)은 도 7에 도시된 바와 같이 노즐 몸체부(120) 및 유로 제어부(121)를 포함한다.

노즐 몸체부(120)는 중공 형상으로 형성되어 배출유로 내에 삽입된다. 유로 제어부(121)는 노즐 몸체부(120)의 내측에 고정되어 에어 및 전해액의 유로를 제어함으로써 미세기포를 형성한다.

유로 제어부(121)는, 노즐 몸체부(120)에 고정된 지점(1211)으로부터 전해액의 흐름 방향, 즉 배출구(119) 측의 역방향으로 직경이 감소하도록 돌출부(1213)가 형성된다.

돌출부(1213)의 내측에는 노즐 몸체부(120)에 고정된 지점(1211)으로부터 중심축 방향으로 일정한 깊이의 공간으로 정의되는 기포 형성공간(1213)이 형성된다. 돌출부(1213)에는 돌출부(1213)의 외측의 고정지점(1211)에 인접한 지점으로부터 기포 형성공간(1213)를 연통시키는 유로 전환구멍(1212)이 형성된다. 유로 전환구멍(1212)은 배출구(119)측 방향의 반대 방향으로 유로를 형성한다. 즉, 유로 전환구멍(1212)은 전해액과 공기의 전체적인 흐름 방향을 반대가 되도록 유로 제어부(121)의 중심축에 대하여 경사지도록 형성될 수 있다.

유로 제어부(121)는 돌출부 및 상기 노즐 몸체부 사이에 형성되는 제1 경로(st1)와, 유로 전환구멍(1212)을 통하여 기포 형성공간(1213)에 이르는 제2 경로와, 기포 형성공간(1213)으로부터 배출구(119)에 이르는 제3 경로(st3)를 형성할 수 있다. 이 때 유로 제어부(121)는 제3 경로(st3)를 따라 형성되는 유로의 직경이 점차 증가되도록 형성될 수 있다. 전해액 및 에어는 제2 경로(1212)를 통하여 기포 형성공간(1213) 내로 유입되는 흐름과 기포 형성공간(1213) 내에 유입되어 있던 전해액 및 에어를 충돌시켜 기포를 형성시키고, 이러한 기포가 혼입된 전해액이 제3 경로(st3)를 통하여 이동하는 과정에서 압력이 증가됨으로써 기포가 미세화되도록 하게 된다.

한편, 돌출부(1213)에 인접하여 다공성 부재(123)를 구비한다. 유로 제어부(121)에 공급되는 전해액 및 에어는 유입 전 혼합되는 경우라도 분리가 됨으로써 중력 방향을 기준으로 하부에는 전해액이 위치하고, 전해액의 상부에는 분리된 에어가 위치할 수 있다. 이 경우 피스톤에 의하여 전해액과 에어가 유로 제어부(121) 측으로 공급되는 경우 일시적으로 전해액만 제1 경로(st1)를 통하여 공급되거나 에어만 제1 경로(st1)를 통하여 공급되는 현상이 발생함으로써 미세기포의 형성효율이 저하되는 문제가 발생할 수 있다. 다공성 부재(123)는 모세관 현상을 이용하여 에어 및 전해액의 분리현상을 방지하는 작용을 한다.

한편, 도 8에 도시된 바와 같이 다공성부재(123)에 인접한 상태로 회전부(124)를 구비한다. 회전부(124)는 전해액의 흐름에 따라 회전하면서 다공성부재(123)에 전해액과 에어가 분리된 상태가 아닌 일시적으로라도 혼합된 상태로 공급하는 작용을 한다.

이와 같이 미세기포 공급부는 복수의 피스톤의 작용으로 복수개의 유로관을 통해 미세기포가 혼입된 전해액을 배스부로 공급한다. 또한 경사판의 작용에 의하여 복수의 유로관에 순차적으로 미세기포가 혼입된 전해액을 공급함으로써 체크 밸브의 배열에 따라 일정한 방향성을 갖도록 미세기포가 공급될 수 있다. 한편, 피스톤이 후퇴하는 경우 미세기포의 공급이 중단됨으로써 미세기포의 공급이 불연속적으로 공급될 수 있다.

즉, 본 실시예에 따른 미세기포 공급부는 특정 위치에서 펄스식으로 미세기포를 공급할 수 있으며, 복수의 배열된 체크 밸브를 통하여 일정한 방향성을 갖도록 미세 기포를 공급할 수 있다. 펄스방식으로 미세기포를 공급하거나 일정한 방향성을 갖도록 공급하는 경우 진동은 없거나 매우 작은 강도로 발생하게 된다. 반면, 펄스식 및 방향성을 갖는 미세 기포를 공급함으로써 산화면에서 발생하는 산소를 필요에 따라 포획할 수 있도록 한다. 이러한 작용으로 인하여 별도의 진동을 발생시키는 장치가 없는 경우에도 단순히 기포만을 공급하는 아노다이징 장치에 비하여 산화피막의 품질을 향상시킬 수 있다.

이상 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상이 상술한 바람직한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 구체화된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범주에서 다양하게 구현될 수 있다.

29: 체크 밸브
100: 미세기포 공급부
112: 경사판
119: 배출구
120: 미세기포 형성노즐
130: 피스톤

Claims (7)

1. 전해액을 수용하고 상기 전해액 내에 아노다이징 대상 소재를 침지한 상태에서 아노다이징을 수행하는 공간을 형성하는 배스부에 미세기포가 혼입된 전해액을 공급하기 위한 장치로서,
   외형을 형성하고, 중심축을 기준으로 방사상에 일정각도마다 상기 중심축 방향으로 관통되는 배출유로가 형성되고, 전해액 및 에어가 상기 배출유로 내로 유입되도록 유입유로가 형성되는 하우징;
   상기 유로의 배출구측에 구비되는 미세기포 형성노즐;
   상기 배출유로를 중심축 방향으로 왕복운동하는 복수의 피스톤;
   상기 하우징 중심축 방향으로 구비되고, 외부 동력을 전달받아 회전하는 회전축; 및
   상기 회전축에 상기 중심축에 대하여 경사진 상태로 고정되고, 상기 회전축과 함께 회전하여 상기 복수의 피스톤 각각을 순차적으로 왕복시키는 경사판;을 포함하는 미세기포 공급부.
2. 제1항에 있어서,
   상기 미세기포 형성노즐은,
   중공 형상으로 형성되어 상기 배출유로 내에 삽입되는 노즐 몸체부;
   상기 노즐 몸체부의 내측에 고정되고, 상기 에어 및 상기 전해액의 유로를 제어하여 미세기포를 형성하는 유로 제어부; 및
   상기 미세기포 형성노즐은 상기 유입 유로측에 모세관 현상을 이용하기 위한 다공성 부재;를 포함하는 미세기포 공급부.
3. 제2항에 있어서,
   상기 유로 제어부는,
   상기 노즐 몸체부에 고정된 지점으로부터 상기 전해액의 흐름 방향의 역방향으로 직경이 감소하도록 돌출부가 형성되고,
   상기 돌출부의 내측에는 상기 노즐 몸체부에 고정된 지점으로부터 중심축 방향으로 일정한 깊이의 공간으로 정의되는 기포 형성공간이 형성되며,
   기 노즐 몸체부 사이의 공간과 상기 기포 형성공간을 연통시키는 유로 전환구멍이 형성되되, 상기 유로 전환구멍은 상기 전해액과 공기의 흐름 방향과 반대가 되도록 상기 유로 제어부의 중심축에 대하여 경사지도록 형성되는 미세기포 공급부.
4. 제3항에 있어서,
   상기 유로 제어부는, 상기 돌출부 및 상기 노즐 몸체부 사이에 형성되는 제1 경로와, 상기 유로 전환구멍을 통하여 상기 기포 형성공간에 이르는 제2 경로와, 상기 기포 형성공간으로부터 상기 노즐 몸체부의 배출측에 이르는 제3 경로를 형성하는 미세기포 공급부.
5. 제4항에 있어서,
   상기 유로 제어부는 상기 제3 경로를 따라 형성되는 유로의 직경이 점차 증가되도록 형성되는 미세기포 공급부.
6. 제5항에 있어서,
   상기 유로 제어부는 상기 제2 경로를 통한 전해액 및 에어의 이동과 제3 경로를 통한 전해액 및 에어의 이동을 충돌시킴으로써 미세기포를 형성하는 미세기포 공급부.
7. 제2항에 있어서,
   상기 다공성부재에는 상기 유입 유로측에 상기 전해액의 흐름에 따라 회전하는 회전부가 더 구비되는 미세기포 공급부.

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