KR101855082B1 - Knn계 단결정 시드 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
용융염을 이용한 열처리법으로 (K,Na)NbO3(이하, KNN)계 단결정 세라믹 제조용 시드를 제조하는 방법에 대하여 개시한다.
본 발명에 따른 KNN계 단결정 시드 제조 방법은 (a) (K0.5-x/2Na0.5-x/2-y□y/2Mx+y/2)Nb1-x/3+yO3, M은 Ba, Sr 또는 Ca, □는 metal vacancy, 0.01≤x≤0.02, 0.0≤y≤0.5) 파우더(KNMN 파우더) 또는 (1-x)(Na,K)NbO3-xM(Cu1/3Nb2/3)O3(여기서, 0.01≤x≤0.02, M은 Ba, Sr 또는 Ca) 파우더(KNN-MCuN 파우더)와 용융염을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계; (b) 상기 혼합물을 열처리하여, 용융된 용융염을 매개로 KNMN 파우더로부터 KNMN 단결정 시드를 형성하는 단계; 및 (c) 상기 (b) 단계의 결과물을 냉각한 후, 상기 용융염을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 KNN계 단결정 시드 제조 방법은 (a) (K0.5-x/2Na0.5-x/2-y□y/2Mx+y/2)Nb1-x/3+yO3, M은 Ba, Sr 또는 Ca, □는 metal vacancy, 0.01≤x≤0.02, 0.0≤y≤0.5) 파우더(KNMN 파우더) 또는 (1-x)(Na,K)NbO3-xM(Cu1/3Nb2/3)O3(여기서, 0.01≤x≤0.02, M은 Ba, Sr 또는 Ca) 파우더(KNN-MCuN 파우더)와 용융염을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계; (b) 상기 혼합물을 열처리하여, 용융된 용융염을 매개로 KNMN 파우더로부터 KNMN 단결정 시드를 형성하는 단계; 및 (c) 상기 (b) 단계의 결과물을 냉각한 후, 상기 용융염을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 무연 압전 세라믹의 일종인 (K,Na)NbO3(이하, KNN)계 세라믹 제조 기술에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 KNN계 단결정 시드(seed) 제조 방법에 관한 것이다.
압전 세라믹 재료는 우수한 압전 특성에 기인하여, 변압기, 액추에이터, 트랜스듀서, 센서, 레조네이터, 필터 등의 용도로 광범위하게 응용되고 있다.
압전 세라믹 재료로 가장 일반적인 것은 Pb(Zr,Ti)O3(이하, PZT)계 세라믹이다. 그러나, PZT계 세라믹은 우수한 압전 특성에도 불구하고 Pb 원소가 환경 문제를 유발하는 문제점을 가지고 있다. 이에, PZT계 세라믹을 대체하기 위한 무연(Pb-free) 압전 세라믹에 대한 많은 연구가 수행되고 있다.
특히, Pb를 포함한 위험한 물질이 포함된 전기 전자 장치의 사용 규제(RoHS) 방침을 EU에서 발표하고, 2006년 7월부터 사용을 금지하고 있다. 그러나, PZT계 세라믹의 경우, 대체할 수 있는 재료가 없어 대체 재료 개발 시까지 유보되어 있다.
무연 압전 세라믹들 중에서는 (K,Na)NbO3(이하, KNN)계 세라믹이 많은 주목을 받고 있다. 이는 KNN계 세라믹이 PZT계 세라믹에 비하여 낮은 압전 상수(d33)를 나타냄에도 불구하고, 압전 센서에서 요구되는 압전 전압 계수(piezoelectric voltage coefficient; g33)가 PZT와 유사하거나 높은 특성을 보이기 때문이다.
그러나, KNN 계열의 소재는 산업현장에서 압전 상수 및 센서용 압전 특성의 재현성이 낮아 상용화에 어려움이 있다. 따라서, 높은 센서용 압전 전압 계수를 보이는 고품질 재료인 단결정 제조 기술의 필요성이 대두되었다. 그러나, 단결정 재료는 제조 단가가 높은 단점이 있다. 그 결과, 대표적인 저가 공정인 일반 세라믹스 제조 공정으로 KNN 계열의 단결정 및 결정 배향 소재를 제조하는 기술이 요구된다.
하지만, KNN계 세라믹의 경우 단결정 시드를 제조하기 어려운 문제점이 있다. KNN계 단결정 시드를 제조하는 방법으로는 토포 케미컬(topochemical) 공정을 이용한 방법, 즉, Bi-Nb-O 계열의 판상 재료를 사용하여, 화학적으로 Bi 사이트를 Na나 K로 치환시켜 제조하는 방법이 사용되고 있다. 그러나 이러한 방법은 상용화가 어려운 단점이 있다.
한편, 용융염(molten salt)을 이용한 방법의 경우, 대상 소재를 용융염과 함께 열처리 하는 공정으로, 비교적 간단히 단결정 시드를 제조할 수 있어서 비교적 간단한 방법으로 단결정 시드를 제조하는 방법으로 상용화에 유리하다. SrTiO3, BaTiO3 등의 경우 이러한 용융염을 이용한 열처리 방법으로 단결정 시드가 쉽게 얻어질 수 있다. 그러나, KNN계 세라믹의 경우 종래에는 이 방법에 의한 단결정 시드를 제조하는 것이 어렵다고 알려져 있다.
본 발명의 목적은 KNN계 세라믹의 조성 조절을 통하여, 토포 케미컬 공정을 사용하지 않고, KNN계 파우더를 용융염과 함께 열처리하는 비교적 간단한 방법으로 KNN계 단결정 및 결정 배향 세라믹 제조용 시드를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 (K,Na)NbO3(이하, KNN)계 단결정 시드 제조 방법은 (a) (K0.5-x/2Na0.5-x/2-y□y/2Mx+y/2)Nb1-x/3+yO3, M은 Ba, Sr 또는 Ca, □는 metal vacancy, 0.01≤x≤0.02, 0.0≤y≤0.5) 파우더(이하, KNMN 파우더)와 용융염을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계; (b) 상기 혼합물을 열처리하여, 용융된 용융염을 매개로 KNMN 파우더로부터 KNMN 단결정 시드를 형성하는 단계; 및 (c) 상기 (b) 단계의 결과물을 냉각한 후, 상기 용융염을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 KNN계 단결정 시드 제조 방법은 (a) (1-x)(Na,K)NbO3-xM(Cu1/3Nb2/3)O3(여기서, 0.01≤x≤0.02, M은 Ba, Sr 또는 Ca) 파우더(이하, KNN-MCuN 파우더)와 용융염을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계; (b) 상기 혼합물을 열처리하여, 용융된 용융염을 매개로 KNN-MCuN 파우더로부터 KNN-MCuN 단결정 시드를 형성하는 단계; 및 (c) 상기 (b) 단계의 결과물을 냉각한 후, 상기 용융염을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 실시예들에서, 상기 KNMN 파우더 또는 KNN-MCuN 파우더는 하소된 파우더일 수 있다.
또한, 상기 실시예들에서, 상기 용융염은 혼합물 전체 중량의 10~70중량%로 포함될 수 있다.
또한, 상기 용융염은 수용성 물질일 수 있다. 예를 들어, 상기 용융염은 알칼리염일 수 있다. 용융염이 수용성 물질인 경우, 상기 용융염의 제거는 상기 열처리 후에 냉각된 용융염을 물에 용해시키는 방법으로 수행될 수 있다.
또한, 상기 실시예들에서, 상기 열처리는 800~1150℃에서 0.5~500시간동안 수행될 수 있다.
본 발명에 따른 KNN계 단결정 시드 제조 방법에 의하면, Na와는 다른 원자가를 갖는 원소의 치환을 통하여 단결정 성장이 잘 이루어지는 조성을 갖는 KNMN 파우더 또는 KNN-MCuN 파우더를 이용한 결과, 용융염을 이용한 열처리 방법으로 KNN계 단결정 시드가 쉽게 제조될 수 있었다.
제조된 KNN계 단결정 시드는 RTGG(Reactive Templated Grain Growth)법 또는 TGG(Templated Grain Growth)법 등을 이용한 KNN계 결정 배향 재료 제조 및 SSCG(Solid-State Single Crystal Growth)를 통한 KNN계 단결정 제조에 이용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 KNN계 단결정 시드 제조 방법을 개략적으로 나타내는 순서도이다.
도 2는 실시예 1에 따라 제조된 단결정 시드와 하소된 KNMN 파우더의 X-선 회절 분석 결과 및 광학현미경 사진을 나타낸 것이다.
도 3은 실시예 2에 따라 제조된 KNN-MCuN 단결정 시드의 SEM 사진을 나타낸 것이다.
도 4는 실시예 3에 따라 제조된 KNN-MCuN 단결정 시드의 SEM 사진을 나타낸 것이다.
도 2는 실시예 1에 따라 제조된 단결정 시드와 하소된 KNMN 파우더의 X-선 회절 분석 결과 및 광학현미경 사진을 나타낸 것이다.
도 3은 실시예 2에 따라 제조된 KNN-MCuN 단결정 시드의 SEM 사진을 나타낸 것이다.
도 4는 실시예 3에 따라 제조된 KNN-MCuN 단결정 시드의 SEM 사진을 나타낸 것이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 (K,Na)NbO3(이하, KNN)계 단결정 시드 제조 방법에 관하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 KNN계 단결정 시드 제조 방법을 개략적으로 나타내는 순서도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 KNN계 단결정 시드 제조 방법은 혼합 단계(S110), 열처리 단계(S120) 및 용융염 제거 단계(S130)를 포함한다.
우선, 혼합 단계(S110)에서는 KNN계 파우더와 용융염을 혼합한다. 여기서, KNN계 파우더와 용융염의 혼합이라 함은 KNN계 파우더와 용융염을 완전히 혼합하는 것 뿐만 아니라, KNN계 파우더층의 위 또는 아래에 용융염을 배치한 형태도 포함한다. 따라서, 혼합물은 KNN계 파우더와 용융염의 완전 혼합물 혹은 KNN계 파우더층의 위 또는 아래에 용융염이 배치된 것이 될 수 있다.
본 발명에서 KNN계 파우더는 (K0.5-x/2Na0.5-x/2-y□y/2Mx+y/2)Nb1-x/3+yO3, M은 Ba, Sr 또는 Ca, □는 metal vacancy, 0.01≤x≤0.02, 0.0≤y≤0.5) 파우더(이하, KNMN 파우더) 또는 (1-x)(Na,K)NbO3-xM(Cu1/3Nb2/3)O3(여기서, 0.01≤x≤0.02, M은 Ba, Sr 또는 Ca) 파우더(이하, KNN-MCuN 파우더)를 이용한다.
여기서, KNMN 조성에 있어서 x와 y 및 KNN-MCuN 조성에 있어서 x가 상기 제시된 범위보다 작을 경우, M 이온이 Na 이온 사이트에 치환되는 효과가 낮아서 충분한 단결정 성장이 이루어지기 어렵다. 반대로, x와 y가 이 범위보다 클 경우, M의 과잉 첨가로 인한 이차상 발생 등의 문제로 인해 압전 특성이 저하될 수 있다.
본 발명의 발명자들은 오랜 연구결과, Na 사이트를 예를 들어, Ca나 Ba와 같은 다른 원자가의 원소로 치환하면, 결정립 내부에서의 금속공공 발생으로 인하여, 단결정 성장이 가능하는 것을 알아내었으며, 그러한 조성으로 상기의 KNMN 혹은 KNN-MCuN을 제시할 수 있다.
예를 들어, KNMN의 경우, 첨가된 M 이온으로 인해, Na+ 이온 자리에 M2+ 이온이 치환되면서 금속공공이 형성된다. 그로 인해, 단결정 성장이 가능하게 된다. KNN-MCuN의 경우 상기의 M 원소와 더불어 액상의 형성을 촉진하기 위해 CuO와 같은 Cu 화합물이 추가된 것이다.
이러한 KNN계 파우더는 하소된 파우더 혹은 완전 소결된 파우더일 수 있으나, 후술하는 열처리 단계(S120)가 존재하는 것을 고려할 때, KNN 파우더는 소결 이전의 하소까지만 된 파우더가 될 수 있다. 하소는 예를 들어 700~950℃에서 0.5~20시간 정도 수행될 수 있다.
KNMN 파우더는 상기 KNMN 조성을 갖도록, K 함유 화합물, Na 함유 화합물, M 함유 화합물, Nb 함유 화합물을 포함하는 원료 파우더들을 밀링 등을 통하여 혼합하는 단계와, 혼합된 원료 파우더들을 하소하는 단계를 포함하는 방법으로 제조될 수 있다. K 함유 화합물은 예를 들어 K2CO3가 될 수 있고, Na 함유 화합물은 예를 들어 Na2CO3가 될 수 있고, M 함유 화합물은 MCO3가 될 수 있고, Nb 함유 화합물은 예를 들어 Nb2O5가 될 수 있다. K 함유 화합물, Na 함유 화합물 및 Nb 함유 화합물은 상기 제시된 화합물 이외에도 필요에 따라 다른 물질들이 이용될 수 있다.
그리고, 상기 KNN-MCuN 파우더는 상기 KNN-MCuN 조성을 갖도록, K 함유 화합물, Na 함유 화합물, M 함유 화합물, Cu 함유 화합물, Nb 함유 화합물을 포함하는 원료 파우더들을 밀링 등을 통하여 혼합하는 단계와, 혼합된 원료 파우더들을 하소하는 단계를 포함하는 방법으로 제조될 수 있다. K 함유 화합물은 예를 들어 K2CO3가 될 수 있고, Na 함유 화합물은 예를 들어 Na2CO3가 될 수 있고, M 함유 화합물은 MCO3가 될 수 있고, Nb 함유 화합물은 예를 들어 Nb2O5가 될 수 있으며, Cu 함유 화합물은 CuO가 될 수 있다.
한편, KNN계 세라믹의 경우, K 또는 Na의 적어도 일부가 Li로 치환되고, Nb가 Ta, Sb 등으로 치환되는 것과 같이, K, Na 및 Nb 중 적어도 하나가 다른 원소로 치환될 수 있다. 다만, KNMN 에 있어서, 금속 공공(□)은 원소(M)에 기인하여 후술하는 열처리시에 형성된다. KNN-MCuN에 있어서도, 금속 공공(□)이 원소(M)에 기인하여 열처리시에 형성된다.
용융염은 후술하는 열처리 단계(S120)에서 용융에 의해 액상을 형성할 수 있는 물질이다.
이러한 용융염은 수용성 물질일 수 있다. 예를 들어, 용융염은 KF, KCl 등과 같은 알칼리염일 수 있다. 이와 같이, 용융염이 수용성 물질인 경우, 상기 용융염의 제거는 열처리 후에 냉각된 용융염을 물에 용해시키는 방법으로 수행될 수 있다. 아울러, 알칼리염의 경우, 800℃ 또는 900℃ 이상의 온도에서 쉽게 액상을 형성할 수 있어, 본 발명에 보다 적합하다.
한편, 용융염은 혼합물 전체 중량의 10~70중량%로 포함될 수 있다. 용융염의 함량이 10중량% 미만일 경우, 액상 형성이 불충분하여 열처리 과정에서 충분히 큰 사이즈의 시드 형성이 어려워질 수 있다. 반대로, 용융염이 혼합물 전체 중량의 70중량%를 초과하는 경우, 혼합물 내 KNN계 파우더의 함량이 상대적으로 작아짐에 따라 생산성이 저하될 수 있다.
다음으로, 열처리 단계(S120)에서는 혼합물을 열처리하여, 용융된 용융염을 매개로 KNMN 파우더로부터 KNMN 단결정 시드를 형성한다.
이러한 용융염의 용융에 의해, 서로 인접한 KNN계 세라믹들 간에 액상을 따라 KNN계 성분들이 이동이 발생하여 KNN계 세라믹의 단결정 성장이 이루어지고, 그 결과 KNN계 단결정 시드가 형성된다.
열처리는 800~1150℃에서 0.5~500시간동안 수행될 수 있다. 열처리 온도가 800℃ 미만이거나 열처리 시간이 0.5시간 미만일 경우, 용융염의 액상 형성이 어려워지고 또한 결정 성장이 잘 이루어지지 않을 수 있다. 반대로, 열처리 온도가 1150℃를 초과하거나, 열처리 시간이 500시간을 초과할 경우, 열처리에 소요되는 에너지 증가에 대비하여 시드 성장이 크게 이루어지지 않아 효율적이지 못하다.
다음으로, 용융염 제거 단계(S130)에서는 열처리된 결과물을 냉각한 후, 상기 용융염을 제거한다.
용융염의 제거는 용융염만의 선택적인 반응에 의해 수행될 수 있다. 예를 들어 용융염이 알칼리염과 같은 수용성인 경우, 열처리된 결과물을 물에 세척하는 방법에 의해 수행될 수 있는데, 이 과정에서 수용성의 용융염만 물에 선택적으로 용해됨으로써 제거될 수 있다.
이상과 같이, 단결정 성장이 잘 이루어지는 KNMN 조성 또는 KNN-MCuN 조성의 KNN계 물질을 이용함으로써 용융염을 매개로 한 열처리법에 의하여 쉽게 KNN계 단결정 시드를 제조할 수 있다.
실시예
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 통해 본 발명의 구성 및 작용을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 다만, 이는 본 발명의 바람직한 예시로 제시된 것이며 어떠한 의미로도 이에 의해 본 발명이 제한되는 것으로 해석될 수는 없다.
여기에 기재되지 않은 내용은 이 기술 분야에서 숙련된 자이면 충분히 기술적으로 유추할 수 있는 것이므로 그 설명을 생략하기로 한다.
실시예 1
KNN계 파우더로서, 900℃에서 3시간동안 하소된 KNMN 파우더(여기서, KNMN은, K0.4925Na0.4925-x□x/2Ba0.015+x/2)Nb0.995+xO3)를 이용하였고, 용융염으로 KF를 이용하였다.
KNMN 파우더 70중량%와 KF 30중량%를 혼합한 후, 1080℃에서 8시간동안 열처리한 후, 열처리된 결과물을 실온까지 자연 냉각하였다. 이후, 증류수로 세척하여 KF가 증류수에 용해되도록 하는 방법으로 KF을 제거하였다.
도 2는 실시예 1에 따라 제조된 단결정 시드와 하소된 KNMN 파우더의 X-선 회절 분석 결과 및 광학현미경 사진을 나타낸 것이다.
도 2를 참조하면, 제조된 단결정 시드의 경우, 약 100㎛ 이상의 사이즈를 가지는 KNMN 단결정 시드가 잘 제조된 것을 볼 수 있다.
또한, 도 2의 X선 회절 분석 결과를 보면, KNMN 단결정 시드가 [001] 방향으로 성장되었음을 볼 수 있다.
실시예 2
KNN계 파우더로서, 900℃에서 3시간동안 하소된 0.985KNN-0.015MCuN (여기서, MCuN은 Ca(Cu1/3Nb2/3)O3)를 이용하였고, 용융염으로 KF를 이용하였다.
KNN-MCuN 파우더 70중량%와 KF 30중량%를 혼합한 후, 1080℃에서 8시간동안 열처리한 후, 열처리된 결과물을 실온까지 자연 냉각하였다. 이후, 증류수로 세척하여 KF가 증류수에 용해되도록 하는 방법으로 KF을 제거하였다.
도 3은 실시예 2에 따라 제조된 KNN-MCuN 단결정 시드의 SEM 사진을 나타낸 것이다.
도 3을 참조하면, 약 50㎛ 이상의 길이를 갖는 KNN-MCuN 단결정 시드가 잘 제조되었음을 볼 수 있다.
실시예 3
KNN계 파우더로서, 900℃에서 3시간동안 하소된 0.985KNN-0.015MCuN (여기서, MCuN은 Ca(Cu1/3Nb2/3)O3)를 이용하였고, 용융염으로 KCl을 이용하였다.
KNN-MCuN 파우더 70중량%와 KCl 30중량%를 혼합한 후, 1080℃에서 8시간동안 열처리한 후, 열처리된 결과물을 실온까지 자연 냉각하였다. 이후, 증류수로 세척하여 KCl이 증류수에 용해되도록 하는 방법으로 KCl을 제거하였다.
도 4는 실시예 3에 따라 제조된 KNN-MCuN 단결정 시드의 SEM 사진을 나타낸 것이다.
도 4를 참조하면, 약 50㎛ 이상의 길이를 갖는 KNN-MCuN 단결정 시드가 잘 제조되었음을 볼 수 있다.
이상에서는 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 기술자의 수준에서 다양한 변경이나 변형을 가할 수 있다. 이러한 변경과 변형은 본 발명이 제공하는 기술 사상의 범위를 벗어나지 않는 한 본 발명에 속한다고 할 수 있다. 따라서 본 발명의 권리범위는 이하에 기재되는 청구범위에 의해 판단되어야 할 것이다.
Claims (10)
- (a) (K0.5-x/2Na0.5-x/2-y□y/2Mx+y/2)Nb1-x/3+yO3, M은 Ba, Sr 또는 Ca, □는 metal vacancy, 0.01≤x≤0.02, 0.0≤y≤0.5) 파우더(이하, KNMN 파우더)와 용융염을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계;
(b) 상기 혼합물을 열처리하여, 용융된 용융염을 매개로 KNMN 파우더로부터 KNMN 단결정 시드를 형성하는 단계; 및
(c) 상기 (b) 단계의 결과물을 냉각한 후, 상기 용융염을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 (K,Na)NbO3(이하, KNN)계 단결정 시드 제조 방법.
- 제1항에 있어서,
상기 KNMN 파우더는
상기 KNMN 조성을 갖도록, K 함유 화합물, Na 함유 화합물, M 함유 화합물, Nb 함유 화합물을 포함하는 원료 파우더들을 혼합하는 단계와,
혼합된 원료 파우더들을 하소하는 단계를 포함하는 방법으로 제조되는 것을 특징으로 하는 KNN계 단결정 시드 제조 방법.
- (a) (1-x)(Na,K)NbO3-xM(Cu1/3Nb2/3)O3(여기서, 0.01≤x≤0.02, M은 Ba, Sr 또는 Ca) 파우더(이하, KNN-MCuN 파우더)와 용융염을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계;
(b) 상기 혼합물을 열처리하여, 용융된 용융염을 매개로 KNN-MCuN 파우더로부터 KNN-MCuN 단결정 시드를 형성하는 단계; 및
(c) 상기 (b) 단계의 결과물을 냉각한 후, 상기 용융염을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 KNN계 단결정 시드 제조 방법.
- 제3항에 있어서,
상기 KNN-MCuN 파우더는
상기 KNN-MCuN 조성을 갖도록, K 함유 화합물, Na 함유 화합물, M 함유 화합물, Cu 함유 화합물, Nb 함유 화합물을 포함하는 원료 파우더들을 혼합하는 단계와,
혼합된 원료 파우더들을 하소하는 단계를 포함하는 방법으로 제조되는 것을 특징으로 하는 KNN계 단결정 시드 제조 방법.
- 제1항 내지 제4항 중 한 항에 있어서,
상기 용융염은 혼합물 전체 중량의 10~70중량%로 포함되는 것을 특징으로 하는 KNN계 단결정 시드 제조 방법.
- 제1항 내지 제4항 중 한 항에 있어서,
상기 용융염은 수용성 물질인 것을 특징으로 하는 KNN계 단결정 시드 제조 방법.
- 제6항에 있어서,
상기 용융염은 알칼리염인 것을 특징으로 하는 KNN계 단결정 시드 제조 방법.
- 제6항에 있어서,
상기 용융염의 제거는 상기 열처리 후에 냉각된 용융염을 물에 용해시키는 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 KNN계 단결정 시드 제조 방법.
- 제1항 내지 제4항 중 한 항에 있어서,
상기 열처리는 800~1150℃에서 0.5~500시간동안 수행되는 것을 특징으로 하는 KNN계 단결정 시드 제조 방법.
- 제1항 내지 제4항 중 한 항에 있어서,
K, Na, 및 Nb 중 적어도 하나가 다른 원소로 치환되어 있고, 금속 공공(□)이 원소(M)에 기인하여 상기 열처리시에 형성되는 것을 특징으로 하는 KNN계 단결정 시드 제조 방법.
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WO2011146020A1 (en) | 2010-05-20 | 2011-11-24 | Agency For Science, Technology And Research | Method for preparing a lead-free piezoelectric thin film |
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