KR101848791B1 - 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구 - Google Patents

이종재질 덕트-댐퍼의 연결구 Download PDF

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KR101848791B1 KR1020170008724A KR20170008724A KR101848791B1 KR 101848791 B1 KR101848791 B1 KR 101848791B1 KR 1020170008724 A KR1020170008724 A KR 1020170008724A KR 20170008724 A KR20170008724 A KR 20170008724A KR 101848791 B1 KR101848791 B1 KR 101848791B1
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Abstract

본 발명은 반도체 제조 설비 분야 등에서 서로 연결되는 댐퍼와 덕트의 재질이 상이한 경우에도 그 연결부의 연결을 용이하게 하면서 기밀을 확실하게 확보할 수 있고, 고온 환경에서도 연결부에서 비틀어지거나 손상을 방지하고 유체 누출을 방지할 수 있는 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 재질이 다른 덕트와 댐퍼 간을 연결하는 덕트-댐퍼 연결구로서, 상기 덕트 또는 댐퍼 중 하나의 단부에서 외측으로 연장 형성되는 연장 플랜지부; 상기 덕트 또는 댐퍼 중 다른 하나의 단부에서 외측으로 연장되되 다단 절곡된 형태로 형성되는 절곡 플랜지부; 상기 절곡 플랜지부의 절곡부에 구비되며, 상기 덕트의 재질과 동일 재질로 이루어지는 밀봉 부재; 및 상기 밀봉 부재를 개재한 상태로 상기 연장 플랜지부와 절곡 플랜지부 간을 결합시키는 결합 수단;을 포함하는 덕트-댐퍼 연결구가 제공된다.

Description

이종재질 덕트-댐퍼의 연결구{DUCT-DAMPER CONNECTOR FOR DIFFERENT KIND MATERIALS}
본 발명은 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 설비 분야 등에서 서로 연결되는 댐퍼와 덕트의 재질이 상이한 경우에도 그 연결부의 연결을 용이하게 하면서 기밀을 확실하게 확보할 수 있고, 고온 환경에서도 연결부에서 비틀어지거나 손상을 방지하고 유체 누출을 방지할 수 있는 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 설비는 반도체 소자를 제조하기 위하여 다양한 종류의 가스가 사용되며, 반도체 설비는 가스를 이용하여 반도체 소자 공정을 진행하는 메인 설비 및 메인 설비로 가스를 제공하는 인렛 및 메인 설비로부터 사용된 폐가스를 배기하는 아웃렛을 포함한다.
특히, 반도체 설비 중 소정 공정에서는 유해 가스가 사용되기도 하며, 유해한 용액에서 증발된 가스가 발생하기도 하며, 반도체 제조 공정 중에 발생하는 유해가스를 공장밖에 설치된 정화장치로 배출하기 위해 메인덕트에 여러 개의 배기덕트를 연결하여 배기덕트를 통해 유해가스를 배출시킨다.
이러한 덕트는 통상적으로 내부식성을 갖는 플라스틱이 많이 사용되고 있었으나, 내구성과 안전성을 고려하여 최근 스테인레스 재질의 덕트가 주로 사용된다.
또한, 이러한 인렛 및/또는 아웃렛의 덕트에는 유입 유량 또는 배출 유량을 조절하는 댐퍼(damper)가 주로 사용되며, 이러한 댐퍼는 그 하우징이 제작성 및 경제성을 고려하여 FRP(fiber reinforced plastics) 재질로 이루어진다.
이러한 반도체 설비에 사용되는 댐퍼는 댐퍼로부터 유독성 가스가 누출되지 않는 구조를 필요로 한다.
한편, 상기한 덕트 및 댐퍼 연결을 위해서 사용되는 덕트-댐퍼 연결구는 통상적으로 플랜지가 형성된 관 형태로서 내부에 기밀을 위한 패킹(Top seal)을 삽입하고 다수개의 볼트를 체결하여 결속하게 된다.
이러한 종래 연결구는 FRP 재질의 댐퍼와 스테인레스 재질의 덕트와 같이 이종재질을 연결할 경우, 재질 특성상 기밀을 유지하기 위해서는 FRP 오버레이(Overlay)가 필요하나 이종 재질일 경우에는 불가능하므로 FRP 댐퍼가 아닌 테프론 코팅의 스테인레스 스틸 재질 댐퍼를 사용해왔다.
그러나 이러한 테프론 코팅의 스테인레스 재질의 댐퍼의 경우, 가격이 고가일 뿐만아니라 무거워 설치 및 작업 시 불편함이 있는 문제점이 있었다.
또한, 종래 덕트-댐퍼 연결구는 그 연결부에서 상대적으로 연성 재질의 댐퍼의 연결부에서 기밀성을 확실하게 확보하지 못하여 유해가스가 누출될 우려가 발생하는 문제점이 있었다.
(문헌 1) 대한민국 등록특허공보 제10-0927218호(2009.11.10. 등록) (문헌 2) 대한민국 등록특허공보 제10-0946728호(2010.03.03. 등록)
따라서, 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 반도체 제조 설비 분야 등에서 서로 연결되는 댐퍼와 덕트의 재질이 상이한 경우에도 그 연결부의 연결을 용이하게 하면서 기밀을 확실하게 확보할 수 있고, 고온 환경에서도 연결부에서 비틀어지거나 손상을 방지하여 유체의 누출을 차단할 수 있는 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 해결과제는 이상에서 언급한 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 본 발명의 목적들 및 다른 특징들을 달성하기 위한 본 발명의 일 관점에 따르면, 재질이 다른 덕트와 댐퍼 간을 연결하는 덕트-댐퍼 연결구로서, 상기 덕트 또는 댐퍼 중 하나의 단부에서 외측으로 연장 형성되는 연장 플랜지부; 상기 덕트 또는 댐퍼 중 다른 하나의 단부에서 외측으로 연장되되 다단 절곡된 형태로 형성되는 절곡 플랜지부; 상기 절곡 플랜지부의 절곡부에 구비되며, 상기 덕트의 재질과 동일 재질로 이루어지는 밀봉 부재; 및 상기 밀봉 부재를 개재한 상태로 상기 연장 플랜지부와 절곡 플랜지부 간을 결합시키는 결합 수단;을 포함하는 덕트-댐퍼 연결구가 제공된다.
본 발명에 있어서, 상기 덕트 및 밀봉 부재는 스테인레스 스틸 재질로 이루어지고, 상기 댐퍼는 FRP(fiber reinforced plastics) 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 상기 절곡 플랜지부는 상기 댐퍼 또는 덕트의 단부에서 외측으로 연장되는 제1 플랜지부, 및 상기 제1 플랜지부의 하면에서 외측으로 더 연장되는 연장부를 갖는 제2 플랜지부를 포함하고, 상기 밀봉 부재는 상기 절곡 플랜지부의 연장부 상에 구비되고, 상기 제1 플랜지부의 높이와 동일하게 이루어지는 링형 부재로 이루어질 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 결합수단은 상기 연장 플랜지부의 일면에 형성되는 제1 결합홈; 상기 밀봉 부재 일측 단부가 단차되어 형성되거나 일면에 형성되는 제2 결합홈; 및 상기 제1 결합홈과 제2 결합홈에 클램핑되어 상기 연장 플랜지부와 절곡 플랜지부를 결합시키기 위한 클램핑 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 클램핑 유닛은 대칭되게 형성되는 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재; 및 상기 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재에 형성되는 관통공에 나합되어 상기 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재를 조임 결합하기 위한 볼트 부재를 포함하고, 상기 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재는 각각 블록 형상으로 형성되고, 상기 상측 클램프 부재 및 하측 클램프 부재 각각의 단부에는 상기 제1 결합홈과 제2 결합홈에 걸림 결합되기 위한 록킹 돌출부가 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구에 의하면, 반도체 제조 설비 분야 등에서 서로 연결되는 댐퍼와 덕트의 재질이 상이한 경우에도 그 연결부의 연결이 용이하여 작업성 및 설치성을 향상시키고, 기밀성을 확실하게 확보할 수 있으며, 고온 환경에서도 연결부에서 비틀어지거나 손상을 방지하고 유체 누출을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구에서 각각 덕트와 댐퍼에 형성되는 연결구의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구를 구성하는 일부 구성요소들로서 도 2의 A-A로부터 바라본 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구를 구성하는 밀봉 부재를 나타내는 것으로, (a)는 평면도이고, (b)는 (a)의 A-A선에 따른 단면도이다.
본 발명의 추가적인 목적들, 특징들 및 장점들은 다음의 상세한 설명 및 첨부도면으로부터 보다 명료하게 이해될 수 있다.
본 발명의 상세한 설명에 앞서, 본 발명은 다양한 변경을 도모할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 아래에서 설명되고 도면에 도시된 예시들은 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도는 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 명세서에 기재된 "...부", "...유닛", "...모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구에 대하여 도 1 내지 도 4를 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구의 구성을 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구에서 각각 덕트와 댐퍼에 형성되는 연결구의 구성을 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구를 구성하는 일부 구성요소들로서 도 2의 A-A로부터 바라본 도면이며, 도 4는 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구를 구성하는 밀봉 부재를 나타내는 것으로, (a)는 평면도이고, (b)는 (a)의 A-A선에 따른 단면도이다.
본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구는 도 1 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 재질이 다른 덕트(10)와 댐퍼(20) 간을 연결하는 연결구로서, 상기 덕트(10)의 일단부에서 외측으로 연장되게 형성되는 연장 플랜지부(110); 상기 덕트에 대향하는 댐퍼(20)의 일단부에서 외측으로 연장되되 다단 절곡된 형태로 형성되는 절곡 플랜지부(210); 상기 절곡 플랜지부(210)의 절곡부에 구비되는 밀봉 부재(220); 및 상기 밀봉 부재(220)를 개재한 상태로 상기 연장 플랜지부(110)와 절곡 플랜지부(210) 간을 결합시키는 결합 수단을 포함한다.
미설명부호 30은 댐퍼에 구성되는 댐핑장치이다. 이러한 댐핑장치에 대해서는 본 발명의 설명의 간략화 및 명확화를 위하여 그에 대한 설명은 생략한다.
여기에서, 상기 연장 플랜지부(110)는 댐퍼 측에, 절곡 플랜지부(210)는 덕트 측에 형성될 수 있으며, 절곡 플랜지부(210)가 댐퍼 및 덕트 측에 모두 형성될 수 있다.
상기 연장 플랜지부(110)는 덕트(10)와 일체로 형성되는 것으로, 상기 덕트(10)는 스테인레스 스틸로 이루어진다. 여기에서, 상기 연장 플랜지부(110)에는 후술하는 결합 수단의 일 구성요소가 형성된다.
상기 절곡 플랜지부(210)는 2단 절곡 형태로 이루어질 수 있으며, 구체적으로 상기 댐퍼(20)의 일단부에서 외측으로 연장되는 제1 플랜지부(211), 및 상기 제1 플랜지부(211)의 하면에서 외측으로 더 연장되는 연장부(212)를 갖는 제2 플랜지부(213)를 포함한다.
다시 말해서, 상기 제1 플랜지부(211)는 댐퍼(10)의 외경보다 크고 상대적으로 제2 플랜지부(213)보다 작은 소경부이고, 상기 제2 플랜지부(213)는 상기 제1 플랜지부(211)보다 상대적으로 큰 대경부이며, 상기 제1 플랜지부(211)와 제2 플랜지부(231) 간에 차이가 있는 면이 연장부(212)를 형성한다.
계속해서, 상기 밀봉 부재(220)는 상기 절곡 플랜지부(210)의 연장부(212) 상에 구비되고, 높이는 상기 절곡 플랜지부(210)의 제1 플랜지부(211)의 높이와 동일하게 이루어지는 덕트와 동일 재질(예를 들면, 스테인레스 스틸)의 링형 부재로 이루어진다.
다음으로, 상기 결합수단은 상기 연장 플랜지부(110)의 일면에 형성되는 제1 결합홈(310)과, 상기 제1 플랜지부(211)에 대향하는 측에서 밀봉 부재(220) 상부 측이 단차되어 상기 제1 플랜지부(211)와 밀봉 부재(220) 사이에 형성되는 제2 결합홈(320), 및 상기 제1 및 제2 결합홈(310, 320)에 클램핑되어 덕트(10)와 댐퍼(20)의 연결 시에 기밀하게 연결시키기 위한 클램핑 유닛(330)을 포함한다.
상기 제2 결합홈(320)은 밀봉 부재(220)의 상부 일측 단이 일부 절개되어 이루어질 수 있으며, 제1 결합홈(310)과 같이 밀봉 부재(220)의 일면에 형성될 수 있다.
상기 클램핑 유닛(330)은 상측 클램프 부재(331)와, 상기 상측 클램프 부재(331)와 상응하게 형성되는 하측 클램프 부재(332), 및 상기 상측 클램프 부재(331)와 하측 클램프 부재(332)에 형성되는 관통공을 관통하여 연결하기 위한 볼트 부재(333)를 포함한다.
상기 상측 클램프 부재(331)와 하측 클램프 부재(332)는 각각 블록 형상으로 형성되고, 관통공의 내측에는 외주면에 나사산이 형성된 볼트 부재(333)와 체결되기 위한 나사홈이 형성된다.
상기 상측 클램프 부재(331)의 일측 단부에는 제2 결합홈(320)에 걸림 결합될 수 있는 상측 록킹 돌출부(334)가 형성되어 있고, 상기 상측 클램프 부재(331)와 분리되어 구성된 하측 클램프 부재(332)에는 상측 클램프 부재(331)와 반대편 상에 대칭하여 하측 록킹 돌출부(335)가 형성되어 있다.
상기 클램핑 유닛(330)의 상측 클램프 부재(331)의 상측 록킹 돌기(334)는 제1 플랜지부(211)와 밀봉부재(320) 사이에 형성된 제2 결합홈(320)에 걸려 결속되고, 하측 클램프 부재(332)의 하측 록킹 돌기(335)는 연장 플랜지부(110)에 형성된 제1 결합홈(310)에 걸려 결속된다.
이와 같이 구성되는 클램핑 유닛(330)은 상측 록킹 돌기(334)와 하측 록킹 돌기(335)가 각각 제2 결합홈(320)과 제1 결합홈(310)에 걸려 결속된 상태에서 볼트 부재(333)의 회전에 의한 조임으로 밀봉 부재(220)가 개재된 상태로 덕트(10)의 연장 플랜지부(110)와 와 댐퍼(20)의 절곡 플랜지부(210)는 기밀하게 결합된다.
여기에서, 상기 FRP 재질의 절곡 플랜지부(210)에는 스테인레스 스틸 재질의 밀봉 부재(220)가 개재되어 볼트 부재(333)로 조여 결합함으로써 FRP 재질의 절곡 플랜지부(210)의 손상은 방지될 수 있다.
또한, 본 발명은 기밀성을 높이기 위하여 연장 플랜지부(110)의 외연 및/또는 단부 측 상면과 절곡 플랜지부(210)의 외연(구체적으로, 제2 플랜지부(213)의 외연) 및/또는 단부 측 하면 중 적어도 하나에는 오링홈(미도시)이 형성되고, 상기 오링홈(미도시)에는 내열성의 실리콘 재질의 오링이 장착될 수 있으며, 이에 따라 클램핑 유닛(330)의 볼트 부재(333)를 조여 더욱 견고하고 기밀한 구조를 확보할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구는 반도체 제조 설비 분야 등에서 서로 연결되는 댐퍼와 덕트의 재질이 상이한 경우에도 그 연결부의 연결이 용이하여 작업성 및 설치성을 향상시키고, 기밀성을 확실하게 확보할 수 있으며, 고온 환경에서도 연결부에서 비틀어지거나 손상을 방지하고 유체 누출을 방지할 수 있는 이점이 있다.
본 명세서에서 설명되는 실시 예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서, 본 명세서에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 덕트
20: 댐퍼
110: 연장 플랜지부
210: 절곡 플랜지부
211: 제1 플랜지부
212: 연장부
213: 제2 플랜지부
220: 밀봉 부재
310: 제1 결합홈
320: 제2 결합홈
330: 클램핑 유닛
331: 상측 클램프 부재
332: 하측 클램프 부재
333: 볼트 부재
334: 상측 록킹 돌출부
335: 하측 록킹 돌출부

Claims (5)

  1. 재질이 다른 덕트와 댐퍼 간을 연결하는 덕트-댐퍼 연결구로서,
    상기 덕트 또는 댐퍼 중 하나의 단부에서 외측으로 연장 형성되는 연장 플랜지부;
    상기 덕트 또는 댐퍼 중 다른 하나의 단부에서 외측으로 연장되되 다단 절곡된 형태로 형성되는 절곡 플랜지부;
    상기 절곡 플랜지부의 절곡부에 구비되며, 상기 덕트의 재질과 동일 재질로 이루어지는 밀봉 부재; 및
    상기 밀봉 부재를 개재한 상태로 상기 연장 플랜지부와 절곡 플랜지부 간을 결합시키는 결합 수단;을 포함하고,
    상기 절곡 플랜지부는 상기 댐퍼 또는 덕트의 단부에서 외측으로 연장되는 제1 플랜지부, 및 상기 제1 플랜지부의 하면에서 외측으로 더 연장되는 연장부를 갖는 제2 플랜지부를 포함하고,
    상기 밀봉 부재는 상기 절곡 플랜지부의 연장부 상에 구비되고, 상기 제1 플랜지부의 높이와 동일하게 이루어지는 링형 부재로 이루어지는
    덕트-댐퍼 연결구.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 덕트 및 밀봉 부재는 스테인레스 스틸 재질로 이루어지고,
    상기 댐퍼는 FRP(fiber reinforced plastics) 재질로 이루어지는
    덕트-댐퍼 연결구.
  3. 삭제
  4. 제2항에 있어서,
    상기 결합수단은
    상기 연장 플랜지부의 일면에 형성되는 제1 결합홈;
    상기 밀봉 부재 일측 단부가 단차되어 형성되거나 일면에 형성되는 제2 결합홈; 및
    상기 제1 결합홈과 제2 결합홈에 클램핑되어 상기 연장 플랜지부와 절곡 플랜지부를 결합시키기 위한 클램핑 유닛을 포함하는
    덕트-댐퍼 연결구.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 클램핑 유닛은
    대칭되게 형성되는 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재; 및
    상기 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재에 형성되는 관통공에 나합되어 상기 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재를 조임 결합하기 위한 볼트 부재를 포함하고,
    상기 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재는 각각 블록 형상으로 형성되고, 상기 상측 클램프 부재 및 하측 클램프 부재 각각의 단부에는 상기 제1 결합홈과 제2 결합홈에 걸림 결합되기 위한 록킹 돌출부가 형성되는
    덕트-댐퍼 연결구.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS62160250U (ko) * 1986-04-01 1987-10-12
JPH09137996A (ja) * 1995-11-16 1997-05-27 Nikkei Kizai Kk ダンパ
KR101159146B1 (ko) * 2012-01-12 2012-06-22 주식회사 우진아이엔에스 고 밀폐성을 갖는 가스배관장치
KR20160024648A (ko) * 2014-08-26 2016-03-07 (주)세연아이텍 반도체 제조공장의 배관 덕트 연결 장치

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