KR101848791B1 - Duct-damper connector for different kind materials - Google Patents

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KR101848791B1
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윤수현
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Abstract

The present invention relates to a connector for a duct and a damper of heterogeneous materials, which can definitely secure the seal while easily connecting a connection part even when materials of a damper and a duct, which are connected to each other in a semiconductor manufacturing facility field, are different, can prevent distortion or damage of the connection part even under a high temperature environment, and can prevent leakage of a fluid. According to the present invention, the duct-damper connector which connects a duct and a damper of different materials comprises: an extension flange part extending outward from one end of the duct or damper; a bent flange part extending outward from the other end of the duct or damper, and formed in a multistage bent shape; a sealing member provided in a bent part of the bent flange part, and made of the same material as the duct; and a coupling means for coupling the extension flange part and the bent flange part with the sealing member interposed therebetween.

Description

이종재질 덕트-댐퍼의 연결구{DUCT-DAMPER CONNECTOR FOR DIFFERENT KIND MATERIALS}DUCT-DAMPER CONNECTOR FOR DIFFERENT KIND MATERIALS

본 발명은 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 설비 분야 등에서 서로 연결되는 댐퍼와 덕트의 재질이 상이한 경우에도 그 연결부의 연결을 용이하게 하면서 기밀을 확실하게 확보할 수 있고, 고온 환경에서도 연결부에서 비틀어지거나 손상을 방지하고 유체 누출을 방지할 수 있는 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구에 관한 것이다.More particularly, the present invention relates to a connecting member for connecting a duct to a damper, and more particularly, to a connecting member for connecting a damper and a damper, The present invention relates to a connecting member for a duct-damper of a heterogeneous material which can be twisted or damaged in a connecting portion even in a high-temperature environment and can prevent fluid leakage.

일반적으로, 반도체 설비는 반도체 소자를 제조하기 위하여 다양한 종류의 가스가 사용되며, 반도체 설비는 가스를 이용하여 반도체 소자 공정을 진행하는 메인 설비 및 메인 설비로 가스를 제공하는 인렛 및 메인 설비로부터 사용된 폐가스를 배기하는 아웃렛을 포함한다.2. Description of the Related Art [0002] In general, various types of gases are used for manufacturing a semiconductor device in semiconductor equipment. Semiconductor equipment is used for a main equipment for carrying out a semiconductor device process using gas and an inlet for supplying gas to a main equipment and a main equipment And an outlet for exhausting the waste gas.

특히, 반도체 설비 중 소정 공정에서는 유해 가스가 사용되기도 하며, 유해한 용액에서 증발된 가스가 발생하기도 하며, 반도체 제조 공정 중에 발생하는 유해가스를 공장밖에 설치된 정화장치로 배출하기 위해 메인덕트에 여러 개의 배기덕트를 연결하여 배기덕트를 통해 유해가스를 배출시킨다.Particularly, among the semiconductor facilities, noxious gas is used in a predetermined process, evaporated gas is generated in a harmful solution, and a plurality of exhaust gases are supplied to the main duct in order to discharge noxious gas generated during the semiconductor manufacturing process to a purification device installed outside the plant Connect the ducts to discharge the harmful gas through the exhaust duct.

이러한 덕트는 통상적으로 내부식성을 갖는 플라스틱이 많이 사용되고 있었으나, 내구성과 안전성을 고려하여 최근 스테인레스 재질의 덕트가 주로 사용된다.Generally, such a duct has been commonly used as a plastic having corrosion resistance, but a duct made of stainless steel is mainly used in consideration of durability and safety.

또한, 이러한 인렛 및/또는 아웃렛의 덕트에는 유입 유량 또는 배출 유량을 조절하는 댐퍼(damper)가 주로 사용되며, 이러한 댐퍼는 그 하우징이 제작성 및 경제성을 고려하여 FRP(fiber reinforced plastics) 재질로 이루어진다.A damper for controlling an inflow flow rate or a discharge flow rate is mainly used for the duct of the inlet and / or outlet. The damper is made of FRP (fiber reinforced plastics) in consideration of the preparation and economy of the housing. .

이러한 반도체 설비에 사용되는 댐퍼는 댐퍼로부터 유독성 가스가 누출되지 않는 구조를 필요로 한다.The damper used in such a semiconductor facility requires a structure that does not leak toxic gas from the damper.

한편, 상기한 덕트 및 댐퍼 연결을 위해서 사용되는 덕트-댐퍼 연결구는 통상적으로 플랜지가 형성된 관 형태로서 내부에 기밀을 위한 패킹(Top seal)을 삽입하고 다수개의 볼트를 체결하여 결속하게 된다.Meanwhile, the duct-damper connection port used for connecting the duct and the damper is generally a flange-shaped pipe, and a top seal for hermetic sealing is inserted therein, and a plurality of bolts are fastened together.

이러한 종래 연결구는 FRP 재질의 댐퍼와 스테인레스 재질의 덕트와 같이 이종재질을 연결할 경우, 재질 특성상 기밀을 유지하기 위해서는 FRP 오버레이(Overlay)가 필요하나 이종 재질일 경우에는 불가능하므로 FRP 댐퍼가 아닌 테프론 코팅의 스테인레스 스틸 재질 댐퍼를 사용해왔다.When connecting different kinds of materials such as FRP dampers and stainless steel ducts, it is necessary to use FRP overlay in order to maintain airtightness. However, it is not possible to use FRP dampers. Stainless steel material damper has been used.

그러나 이러한 테프론 코팅의 스테인레스 재질의 댐퍼의 경우, 가격이 고가일 뿐만아니라 무거워 설치 및 작업 시 불편함이 있는 문제점이 있었다.However, the stainless steel damper of the Teflon coating is not only expensive, but also has a problem of inconvenience in installation and operation.

또한, 종래 덕트-댐퍼 연결구는 그 연결부에서 상대적으로 연성 재질의 댐퍼의 연결부에서 기밀성을 확실하게 확보하지 못하여 유해가스가 누출될 우려가 발생하는 문제점이 있었다.In addition, the conventional duct-damper connector has a problem that leakage of the noxious gas occurs because the air-tightness can not be surely secured at the connecting portion of the damper of a relatively soft material at the connection portion thereof.

(문헌 1) 대한민국 등록특허공보 제10-0927218호(2009.11.10. 등록)(Document 1) Korean Patent Registration No. 10-0927218 (Registered on Nov. 10, 2009) (문헌 2) 대한민국 등록특허공보 제10-0946728호(2010.03.03. 등록)(Document 2) Korean Patent Registration No. 10-0946728 (registered on Mar. 3, 2010)

따라서, 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 반도체 제조 설비 분야 등에서 서로 연결되는 댐퍼와 덕트의 재질이 상이한 경우에도 그 연결부의 연결을 용이하게 하면서 기밀을 확실하게 확보할 수 있고, 고온 환경에서도 연결부에서 비틀어지거나 손상을 방지하여 유체의 누출을 차단할 수 있는 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide an air conditioner, The present invention also provides a connector for a duct of a different material which can prevent leakage of fluid by preventing the damper from being twisted or damaged at a connection portion.

본 발명의 해결과제는 이상에서 언급한 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide an apparatus and method for controlling the same.

상기 본 발명의 목적들 및 다른 특징들을 달성하기 위한 본 발명의 일 관점에 따르면, 재질이 다른 덕트와 댐퍼 간을 연결하는 덕트-댐퍼 연결구로서, 상기 덕트 또는 댐퍼 중 하나의 단부에서 외측으로 연장 형성되는 연장 플랜지부; 상기 덕트 또는 댐퍼 중 다른 하나의 단부에서 외측으로 연장되되 다단 절곡된 형태로 형성되는 절곡 플랜지부; 상기 절곡 플랜지부의 절곡부에 구비되며, 상기 덕트의 재질과 동일 재질로 이루어지는 밀봉 부재; 및 상기 밀봉 부재를 개재한 상태로 상기 연장 플랜지부와 절곡 플랜지부 간을 결합시키는 결합 수단;을 포함하는 덕트-댐퍼 연결구가 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a duct-damper connector for connecting ducts and dampers of different materials, the duct-damper connector comprising: An extension flange portion; A bending flange portion extending outwardly from the other end of the duct or damper and formed in a multi-step bent form; A sealing member provided on a bent portion of the bent flange portion and made of the same material as the material of the duct; And a coupling means for coupling the extension flange portion and the bending flange portion with the seal member interposed therebetween.

본 발명에 있어서, 상기 덕트 및 밀봉 부재는 스테인레스 스틸 재질로 이루어지고, 상기 댐퍼는 FRP(fiber reinforced plastics) 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the duct and the sealing member are made of stainless steel, and the damper is made of FRP (fiber reinforced plastics).

본 발명에 있어서, 상기 절곡 플랜지부는 상기 댐퍼 또는 덕트의 단부에서 외측으로 연장되는 제1 플랜지부, 및 상기 제1 플랜지부의 하면에서 외측으로 더 연장되는 연장부를 갖는 제2 플랜지부를 포함하고, 상기 밀봉 부재는 상기 절곡 플랜지부의 연장부 상에 구비되고, 상기 제1 플랜지부의 높이와 동일하게 이루어지는 링형 부재로 이루어질 수 있다.In the present invention, the bending flange portion includes a first flange portion extending outward from an end portion of the damper or the duct, and a second flange portion having an extension portion extending further outward from a lower surface of the first flange portion, The sealing member may be a ring-shaped member provided on an extension of the folding flange portion and having the same height as the first flange portion.

본 발명에 있어서, 상기 결합수단은 상기 연장 플랜지부의 일면에 형성되는 제1 결합홈; 상기 밀봉 부재 일측 단부가 단차되어 형성되거나 일면에 형성되는 제2 결합홈; 및 상기 제1 결합홈과 제2 결합홈에 클램핑되어 상기 연장 플랜지부와 절곡 플랜지부를 결합시키기 위한 클램핑 유닛을 포함할 수 있다.In the present invention, the engaging means may include a first engaging groove formed on one surface of the extending flange portion; A second coupling groove formed at one side of the one end of the sealing member in a stepped manner; And a clamping unit for clamping the first and second coupling grooves to engage the extension flange and the flange.

본 발명에 있어서, 상기 클램핑 유닛은 대칭되게 형성되는 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재; 및 상기 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재에 형성되는 관통공에 나합되어 상기 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재를 조임 결합하기 위한 볼트 부재를 포함하고, 상기 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재는 각각 블록 형상으로 형성되고, 상기 상측 클램프 부재 및 하측 클램프 부재 각각의 단부에는 상기 제1 결합홈과 제2 결합홈에 걸림 결합되기 위한 록킹 돌출부가 형성될 수 있다.In the present invention, the clamping unit may include an upper clamp member and a lower clamp member formed symmetrically; And a bolt member for fastening and coupling the upper clamp member and the lower clamp member to the upper clamp member and the lower clamp member, wherein the upper clamp member and the lower clamp member are formed into a block shape And a locking protrusion for engaging with the first and second coupling grooves may be formed at an end of each of the upper clamp member and the lower clamp member.

본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구에 의하면, 반도체 제조 설비 분야 등에서 서로 연결되는 댐퍼와 덕트의 재질이 상이한 경우에도 그 연결부의 연결이 용이하여 작업성 및 설치성을 향상시키고, 기밀성을 확실하게 확보할 수 있으며, 고온 환경에서도 연결부에서 비틀어지거나 손상을 방지하고 유체 누출을 방지할 수 있는 효과가 있다.According to the connection port of the different material duct-damper of the present invention, even when the material of the damper and the duct connected to each other in the field of semiconductor manufacturing equipment and the like are different, the connection of the connection portion is easy, and workability and installation property are improved, Therefore, it is possible to prevent twisting, damage, and fluid leakage in the connection portion even in a high temperature environment.

본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and other solutions not mentioned may be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

도 1은 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구에서 각각 덕트와 댐퍼에 형성되는 연결구의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구를 구성하는 일부 구성요소들로서 도 2의 A-A로부터 바라본 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구를 구성하는 밀봉 부재를 나타내는 것으로, (a)는 평면도이고, (b)는 (a)의 A-A선에 따른 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a view showing the construction of a connection port of a duct of a different material duct-damper according to the present invention. Fig.
FIG. 2 is a view showing a configuration of a connection port formed in a duct and a damper at a connection port of a heterogeneous material duct-damper according to the present invention.
FIG. 3 is a view showing a part of the connecting members of the duct-damper of the different material according to the present invention, as seen from AA of FIG.
FIG. 4 is a plan view of a sealing member constituting a connection port of a heterogeneous material duct-damper according to the present invention, and FIG. 4 (b) is a sectional view taken along line AA of FIG.

본 발명의 추가적인 목적들, 특징들 및 장점들은 다음의 상세한 설명 및 첨부도면으로부터 보다 명료하게 이해될 수 있다. Further objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the accompanying drawings.

본 발명의 상세한 설명에 앞서, 본 발명은 다양한 변경을 도모할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 아래에서 설명되고 도면에 도시된 예시들은 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Before describing the present invention in detail, it is to be understood that the present invention is capable of various modifications and various embodiments, and the examples described below and illustrated in the drawings are intended to limit the invention to specific embodiments It is to be understood that the invention includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, . On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도는 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, the terms "comprises" or "having" and the like refer to the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

또한, 명세서에 기재된 "...부", "...유닛", "...모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.Also, the terms " part, "" unit," " module, "and the like, which are described in the specification, refer to a unit for processing at least one function or operation, Software. ≪ / RTI >

또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.In the following description of the present invention with reference to the accompanying drawings, the same components are denoted by the same reference numerals regardless of the reference numerals, and redundant explanations thereof will be omitted. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구에 대하여 도 1 내지 도 4를 참조하여 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a connecting port of a heterogeneous material duct-damper according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 1 to FIG.

도 1은 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구의 구성을 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구에서 각각 덕트와 댐퍼에 형성되는 연결구의 구성을 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구를 구성하는 일부 구성요소들로서 도 2의 A-A로부터 바라본 도면이며, 도 4는 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구를 구성하는 밀봉 부재를 나타내는 것으로, (a)는 평면도이고, (b)는 (a)의 A-A선에 따른 단면도이다.FIG. 1 is a view showing the construction of a connecting port of a duct material and a damper according to the present invention, FIG. 2 is a view showing the configuration of a connecting port formed in a duct and a damper at a connecting port of a different material duct-damper according to the present invention FIG. 3 is a partial view of the connecting member of the different-material duct-damper according to the present invention, and is a view from AA of FIG. 2. FIG. 4 is a cross- (A) is a plan view, and (b) is a cross-sectional view taken along line AA in (a).

본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구는 도 1 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 재질이 다른 덕트(10)와 댐퍼(20) 간을 연결하는 연결구로서, 상기 덕트(10)의 일단부에서 외측으로 연장되게 형성되는 연장 플랜지부(110); 상기 덕트에 대향하는 댐퍼(20)의 일단부에서 외측으로 연장되되 다단 절곡된 형태로 형성되는 절곡 플랜지부(210); 상기 절곡 플랜지부(210)의 절곡부에 구비되는 밀봉 부재(220); 및 상기 밀봉 부재(220)를 개재한 상태로 상기 연장 플랜지부(110)와 절곡 플랜지부(210) 간을 결합시키는 결합 수단을 포함한다.As shown in FIGS. 1 to 4, the connecting port of the different material duct-damper according to the present invention is a connecting port for connecting between the duct 10 and the damper 20 having different materials. In the connecting end of the duct 10, An extension flange portion 110 formed to extend outwardly; A bending flange part (210) extending outward from one end of the damper (20) opposite to the duct, the bending flange part being formed in a multi - A sealing member 220 provided at a bent portion of the bending flange portion 210; And coupling means for coupling the extension flange portion 110 and the bending flange portion 210 with the sealing member 220 interposed therebetween.

미설명부호 30은 댐퍼에 구성되는 댐핑장치이다. 이러한 댐핑장치에 대해서는 본 발명의 설명의 간략화 및 명확화를 위하여 그에 대한 설명은 생략한다.Reference numeral 30 denotes a damping device constituted by a damper. For the sake of simplicity and clarity of description of the present invention, a description thereof will be omitted for such a damping device.

여기에서, 상기 연장 플랜지부(110)는 댐퍼 측에, 절곡 플랜지부(210)는 덕트 측에 형성될 수 있으며, 절곡 플랜지부(210)가 댐퍼 및 덕트 측에 모두 형성될 수 있다.Here, the extension flange portion 110 may be formed on the damper side, the bending flange portion 210 may be formed on the duct side, and the bending flange portion 210 may be formed on both the damper and the duct side.

상기 연장 플랜지부(110)는 덕트(10)와 일체로 형성되는 것으로, 상기 덕트(10)는 스테인레스 스틸로 이루어진다. 여기에서, 상기 연장 플랜지부(110)에는 후술하는 결합 수단의 일 구성요소가 형성된다.The extension flange 110 is formed integrally with the duct 10, and the duct 10 is made of stainless steel. Here, the extension flange portion 110 is formed with one component of a coupling means described later.

상기 절곡 플랜지부(210)는 2단 절곡 형태로 이루어질 수 있으며, 구체적으로 상기 댐퍼(20)의 일단부에서 외측으로 연장되는 제1 플랜지부(211), 및 상기 제1 플랜지부(211)의 하면에서 외측으로 더 연장되는 연장부(212)를 갖는 제2 플랜지부(213)를 포함한다.The bending flange portion 210 may have a two-step bent shape. Specifically, the bending flange portion 210 may include a first flange portion 211 extending outward from one end of the damper 20, And a second flange portion 213 having an extension 212 that extends outwardly from the bottom.

다시 말해서, 상기 제1 플랜지부(211)는 댐퍼(10)의 외경보다 크고 상대적으로 제2 플랜지부(213)보다 작은 소경부이고, 상기 제2 플랜지부(213)는 상기 제1 플랜지부(211)보다 상대적으로 큰 대경부이며, 상기 제1 플랜지부(211)와 제2 플랜지부(231) 간에 차이가 있는 면이 연장부(212)를 형성한다.In other words, the first flange portion 211 is a small diameter portion that is larger than the outer diameter of the damper 10 and relatively smaller than the second flange portion 213, and the second flange portion 213 has a smaller diameter than the first flange portion 213 211, and a surface that is different between the first flange portion 211 and the second flange portion 231 forms the extended portion 212. [0051]

계속해서, 상기 밀봉 부재(220)는 상기 절곡 플랜지부(210)의 연장부(212) 상에 구비되고, 높이는 상기 절곡 플랜지부(210)의 제1 플랜지부(211)의 높이와 동일하게 이루어지는 덕트와 동일 재질(예를 들면, 스테인레스 스틸)의 링형 부재로 이루어진다.The sealing member 220 is provided on the extension portion 212 of the bending flange portion 210 and has a height equal to the height of the first flange portion 211 of the bending flange portion 210 Like member of the same material as the duct (for example, stainless steel).

다음으로, 상기 결합수단은 상기 연장 플랜지부(110)의 일면에 형성되는 제1 결합홈(310)과, 상기 제1 플랜지부(211)에 대향하는 측에서 밀봉 부재(220) 상부 측이 단차되어 상기 제1 플랜지부(211)와 밀봉 부재(220) 사이에 형성되는 제2 결합홈(320), 및 상기 제1 및 제2 결합홈(310, 320)에 클램핑되어 덕트(10)와 댐퍼(20)의 연결 시에 기밀하게 연결시키기 위한 클램핑 유닛(330)을 포함한다.The engaging means includes a first engaging groove 310 formed on one surface of the extending flange 110 and a second engaging recess 310 formed on the upper side of the sealing member 220 on the side opposite to the first flange 211, A second coupling groove 320 formed between the first flange portion 211 and the sealing member 220 and a second coupling groove 320 which is clamped to the first coupling groove 310 and the second coupling groove 320, And a clamping unit (330) for hermetically connecting at the time of connection of the main body (20).

상기 제2 결합홈(320)은 밀봉 부재(220)의 상부 일측 단이 일부 절개되어 이루어질 수 있으며, 제1 결합홈(310)과 같이 밀봉 부재(220)의 일면에 형성될 수 있다.The second coupling groove 320 may be formed at one side of the upper end of the sealing member 220 and may be formed on one side of the sealing member 220 like the first coupling groove 310.

상기 클램핑 유닛(330)은 상측 클램프 부재(331)와, 상기 상측 클램프 부재(331)와 상응하게 형성되는 하측 클램프 부재(332), 및 상기 상측 클램프 부재(331)와 하측 클램프 부재(332)에 형성되는 관통공을 관통하여 연결하기 위한 볼트 부재(333)를 포함한다.The clamping unit 330 includes an upper clamp member 331, a lower clamp member 332 formed corresponding to the upper clamp member 331, and a lower clamp member 332 formed to correspond to the upper clamp member 331 and the lower clamp member 332 And a bolt member 333 for penetrating and connecting the through-hole to be formed.

상기 상측 클램프 부재(331)와 하측 클램프 부재(332)는 각각 블록 형상으로 형성되고, 관통공의 내측에는 외주면에 나사산이 형성된 볼트 부재(333)와 체결되기 위한 나사홈이 형성된다.The upper clamp member 331 and the lower clamp member 332 are each formed in a block shape and a screw groove for fastening with a bolt member 333 having a screw thread formed on the outer circumferential surface is formed inside the through hole.

상기 상측 클램프 부재(331)의 일측 단부에는 제2 결합홈(320)에 걸림 결합될 수 있는 상측 록킹 돌출부(334)가 형성되어 있고, 상기 상측 클램프 부재(331)와 분리되어 구성된 하측 클램프 부재(332)에는 상측 클램프 부재(331)와 반대편 상에 대칭하여 하측 록킹 돌출부(335)가 형성되어 있다.An upper locking protrusion 334 is formed at one end of the upper clamp member 331 and is engageable with the second coupling groove 320. The lower clamp member 331 is separated from the upper clamp member 331, 332 are formed with lower locking protrusions 335 symmetrically on the opposite side of the upper clamp member 331.

상기 클램핑 유닛(330)의 상측 클램프 부재(331)의 상측 록킹 돌기(334)는 제1 플랜지부(211)와 밀봉부재(320) 사이에 형성된 제2 결합홈(320)에 걸려 결속되고, 하측 클램프 부재(332)의 하측 록킹 돌기(335)는 연장 플랜지부(110)에 형성된 제1 결합홈(310)에 걸려 결속된다.The upper locking protrusion 334 of the upper clamp member 331 of the clamping unit 330 is engaged with the second coupling groove 320 formed between the first flange portion 211 and the sealing member 320, The lower locking protrusion 335 of the clamp member 332 is engaged with the first coupling groove 310 formed in the extension flange portion 110. [

이와 같이 구성되는 클램핑 유닛(330)은 상측 록킹 돌기(334)와 하측 록킹 돌기(335)가 각각 제2 결합홈(320)과 제1 결합홈(310)에 걸려 결속된 상태에서 볼트 부재(333)의 회전에 의한 조임으로 밀봉 부재(220)가 개재된 상태로 덕트(10)의 연장 플랜지부(110)와 와 댐퍼(20)의 절곡 플랜지부(210)는 기밀하게 결합된다.The clamping unit 330 having the above structure is configured such that the upper locking protrusion 334 and the lower locking protrusion 335 are engaged with the second coupling groove 320 and the first coupling groove 310, The extension flange portion 110 of the duct 10 and the bending flange portion 210 of the damper 20 are air-tightly coupled with each other with the sealing member 220 interposed therebetween.

여기에서, 상기 FRP 재질의 절곡 플랜지부(210)에는 스테인레스 스틸 재질의 밀봉 부재(220)가 개재되어 볼트 부재(333)로 조여 결합함으로써 FRP 재질의 절곡 플랜지부(210)의 손상은 방지될 수 있다.The flange 210 of the FRP material may be prevented from being damaged by interposing a sealing member 220 made of stainless steel to the flange 210 of the FRP material by tightening with the bolt member 333 have.

또한, 본 발명은 기밀성을 높이기 위하여 연장 플랜지부(110)의 외연 및/또는 단부 측 상면과 절곡 플랜지부(210)의 외연(구체적으로, 제2 플랜지부(213)의 외연) 및/또는 단부 측 하면 중 적어도 하나에는 오링홈(미도시)이 형성되고, 상기 오링홈(미도시)에는 내열성의 실리콘 재질의 오링이 장착될 수 있으며, 이에 따라 클램핑 유닛(330)의 볼트 부재(333)를 조여 더욱 견고하고 기밀한 구조를 확보할 수 있다.In order to improve airtightness, the present invention is characterized in that the outer edge of the extension flange portion 110 and / or the outer edge of the end flange portion 210 (specifically, the outer edge of the second flange portion 213) (Not shown) may be mounted on at least one of the side surfaces of the clamping unit 330 and the O-ring of heat-resistant silicone material may be mounted on the O-ring groove (not shown) It is possible to secure a more rigid and airtight structure.

상기한 바와 같은 본 발명에 따른 이종재질 덕트-댐퍼의 연결구는 반도체 제조 설비 분야 등에서 서로 연결되는 댐퍼와 덕트의 재질이 상이한 경우에도 그 연결부의 연결이 용이하여 작업성 및 설치성을 향상시키고, 기밀성을 확실하게 확보할 수 있으며, 고온 환경에서도 연결부에서 비틀어지거나 손상을 방지하고 유체 누출을 방지할 수 있는 이점이 있다.The connection port of the different material duct-damper according to the present invention as described above can be easily connected to each other even when the damper and the duct are connected to each other in the field of semiconductor manufacturing equipment, And it has an advantage that it can be prevented from being twisted or damaged at a connection portion even in a high temperature environment and fluid leakage can be prevented.

본 명세서에서 설명되는 실시 예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서, 본 명세서에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The embodiments and the accompanying drawings described in the present specification are merely illustrative of some of the technical ideas included in the present invention. Therefore, it is to be understood that the embodiments disclosed herein are not for purposes of limiting the technical idea of the present invention, but rather are not intended to limit the scope of the technical idea of the present invention. It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

10: 덕트
20: 댐퍼
110: 연장 플랜지부
210: 절곡 플랜지부
211: 제1 플랜지부
212: 연장부
213: 제2 플랜지부
220: 밀봉 부재
310: 제1 결합홈
320: 제2 결합홈
330: 클램핑 유닛
331: 상측 클램프 부재
332: 하측 클램프 부재
333: 볼트 부재
334: 상측 록킹 돌출부
335: 하측 록킹 돌출부10: Duct
20: Damper
110: Extension flange
210: Bending flange
211: first flange portion
212: Extension
213: a second flange portion
220: sealing member
310: first coupling groove
320: second coupling groove
330: Clamping unit
331: upper clamp member
332: Lower clamp member
333: Bolt member
334: Upper locking protrusion
335: Lower side locking protrusion

Claims (5)

재질이 다른 덕트와 댐퍼 간을 연결하는 덕트-댐퍼 연결구로서,
상기 덕트 또는 댐퍼 중 하나의 단부에서 외측으로 연장 형성되는 연장 플랜지부;
상기 덕트 또는 댐퍼 중 다른 하나의 단부에서 외측으로 연장되되 다단 절곡된 형태로 형성되는 절곡 플랜지부;
상기 절곡 플랜지부의 절곡부에 구비되며, 상기 덕트의 재질과 동일 재질로 이루어지는 밀봉 부재; 및
상기 밀봉 부재를 개재한 상태로 상기 연장 플랜지부와 절곡 플랜지부 간을 결합시키는 결합 수단;을 포함하고,
상기 절곡 플랜지부는 상기 댐퍼 또는 덕트의 단부에서 외측으로 연장되는 제1 플랜지부, 및 상기 제1 플랜지부의 하면에서 외측으로 더 연장되는 연장부를 갖는 제2 플랜지부를 포함하고,
상기 밀봉 부재는 상기 절곡 플랜지부의 연장부 상에 구비되고, 상기 제1 플랜지부의 높이와 동일하게 이루어지는 링형 부재로 이루어지는
덕트-댐퍼 연결구.
A duct-damper connection between ducts of different material and damper,
An extension flange extending outwardly from one end of the duct or damper;
A bending flange portion extending outwardly from the other end of the duct or damper and formed in a multi-step bent form;
A sealing member provided on a bent portion of the bent flange portion and made of the same material as the material of the duct; And
And engaging means for engaging the extending flange portion and the bent flange portion with the sealing member interposed therebetween,
The bending flange portion includes a first flange portion extending outwardly from an end of the damper or duct and a second flange portion having an extension extending further outward from a lower surface of the first flange portion,
Wherein the sealing member is provided on an extension of the bent flange portion and is made of a ring-like member having the same height as the first flange portion
Duct - Damper connector.
제1항에 있어서,
상기 덕트 및 밀봉 부재는 스테인레스 스틸 재질로 이루어지고,
상기 댐퍼는 FRP(fiber reinforced plastics) 재질로 이루어지는
덕트-댐퍼 연결구.
The method according to claim 1,
Wherein the duct and the sealing member are made of stainless steel,
The damper is made of FRP (fiber reinforced plastics)
Duct - Damper connector.
삭제delete 제2항에 있어서,
상기 결합수단은
상기 연장 플랜지부의 일면에 형성되는 제1 결합홈;
상기 밀봉 부재 일측 단부가 단차되어 형성되거나 일면에 형성되는 제2 결합홈; 및
상기 제1 결합홈과 제2 결합홈에 클램핑되어 상기 연장 플랜지부와 절곡 플랜지부를 결합시키기 위한 클램핑 유닛을 포함하는
덕트-댐퍼 연결구.
3. The method of claim 2,
The coupling means
A first coupling groove formed on one surface of the extension flange portion;
A second coupling groove formed at one side of the one end of the sealing member in a stepped manner; And
And a clamping unit clamped to the first and second coupling grooves for coupling the extension flange portion and the bending flange portion
Duct - Damper connector.
제4항에 있어서,
상기 클램핑 유닛은
대칭되게 형성되는 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재; 및
상기 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재에 형성되는 관통공에 나합되어 상기 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재를 조임 결합하기 위한 볼트 부재를 포함하고,
상기 상측 클램프 부재와 하측 클램프 부재는 각각 블록 형상으로 형성되고, 상기 상측 클램프 부재 및 하측 클램프 부재 각각의 단부에는 상기 제1 결합홈과 제2 결합홈에 걸림 결합되기 위한 록킹 돌출부가 형성되는
덕트-댐퍼 연결구.5. The method of claim 4,
The clamping unit
An upper clamp member and a lower clamp member symmetrically formed; And
And a bolt member for fastening the upper clamp member and the lower clamp member to the through clamp formed in the upper clamp member and the lower clamp member,
The upper clamp member and the lower clamp member are each formed in a block shape and a locking protrusion for engaging with the first and second coupling grooves is formed at an end of each of the upper clamp member and the lower clamp member
Duct - Damper connector.
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JPS62160250U (en) * 1986-04-01 1987-10-12
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