KR101812956B1 - Pitot sensors purge the system for - Google Patents

Pitot sensors purge the system for Download PDF

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KR101812956B1 KR1020160114830A KR20160114830A KR101812956B1 KR 101812956 B1 KR101812956 B1 KR 101812956B1 KR 1020160114830 A KR1020160114830 A KR 1020160114830A KR 20160114830 A KR20160114830 A KR 20160114830A KR 101812956 B1 KR101812956 B1 KR 101812956B1
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Abstract

The present invention relates to a purge system for a pitot tube sensor. More specifically, the purge system for a pitot tube sensor removes foreign substances in a purge tube installed on a Venturi pipe of a rapid discharge apparatus, measures a wind pressure, an air volume, and a temperature of a target moved through the purge tube, and comprises: an air supply unit to transfer compressed air; a branch valve to receive the compressed air from the air supply unit to allow the compressed air to branch; a distribution unit to receive the compressed air from the branch valve to transfer the compressed air to the Venturi pipe; a sensor unit installed in the purge tube to remove foreign substances arranged on an inner circumference and guide the target; a first control valve to receive the compressed air from the branch valve to transfer the compressed air to the sensor unit; a second control valve to receive the compressed air from the branch valve to transfer the compressed air to the sensor unit; and a measurement unit connected to the first and the second control valve to measure the wind pressure, the air volume, and the temperature of the target transferred via the sensor unit. A pitot tube having the sensor unit is installed on the Venturi pipe of the rapid discharge apparatus which rapidly discharges harmful gas, and the purge system is arranged on the rapid discharge apparatus to supply compressed air to the Venturi pipe to rapidly discharge harmful gas, supply compressed air to the sensor unit of the pitot tube to remove foreign substances arranged on an inner circumference of the pitot tube. and block compressed air from flowing backwards to enter the measurement unit by control of the first and the second control valve and transfer harmful gas of the pitot tube to the measurement unit to obtain a variety of information, a wind pressure, an air volume, and a temperature of the harmful gas.

Description

피토관 센서용 퍼지시스템 { Pitot sensors purge the system for }[0001] The present invention relates to a purging system for a pitot tube sensor,

본 발명은 피토관 센서용 퍼지시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 불순물이 포함된 유해가스를 급속배출시키는 급속배출장치의 벤츄리관에 센서부를 갖는 피토관을 설치하고, 급속배출장치에 퍼지시스템을 마련함으로서, 벤츄리관에 부식성가스 또는 점착성가스가 포함된 압축공기를 제공하여 유해가스를 급속배출시키고, 피토관의 센서부에 압축공기를 제공하여 피토관 내주연에 배치되는 이물질을 제거할 수 있게 되며, 제 1 제어밸브와 제 2 제어밸브의 제어에 의해 측정부로 압축공기가 역류하여 유입되는 것을 차단하면서 피토관의 유해가스를 측정부로 전달하여 유해가스의 각종정보 및 풍량, 풍속, 풍압 및 온도를 얻을 수 있도록 한 피토관 센서용 퍼지시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a purging system for a pitot tube sensor, and more particularly, to a pitot tube having a sensor part in a venturi pipe of a rapid discharge device for rapidly discharging noxious gas containing impurities and a purge system in a rapid discharge device , The compressed air containing corrosive gas or viscous gas is supplied to the venturi pipe to rapidly discharge the noxious gas and to provide the compressed air to the sensor unit of the pitot tube to remove the foreign matter disposed in the inner circumference of the pitot tube, By controlling the control valve and the second control valve, the compressed air is prevented from flowing backward to the measuring part, and the harmful gas of the pitot tube is transmitted to the measuring part to obtain various information of the noxious gas, wind speed, wind speed and temperature To a purge system for a Pitot tube sensor.

일반적으로 제조장치에서 발생되는 가스 등의 기체를 외부로 신속하게 배출시키기 위해 급속배출장치가 제조장치에 설치되어, 각종장비를 제조하는 과정에서 발생되는 오염된 가스를 신속하게 외부로 배출시키게 된다.Generally, a rapid discharge device is installed in a manufacturing apparatus to quickly discharge a gas such as a gas generated in a manufacturing apparatus to the outside, and the contaminated gas generated in the process of manufacturing various equipment is promptly discharged to the outside.

이러한 급속배출장치는 대한민국 출원번호 제10-2014-0130639호(발명의 명칭 : 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛)에서와 같이 벤츄리 관(venturi pipe) 구조로 이루어져 있어, 외부에서 압축공기를 주입되어 고속으로 분사됨으로서, 이젝팅 현상에 의해 오염된 가스가 급속배출장치의 내부로 분사되는 압축공기와 함께 신속하게 외부로 배출시키게 된다.Such a quick discharge device is constructed of a venturi pipe structure as in Korean Patent Application No. 10-2014-0130639 (entitled "Emission Adjustable Air Blower Unit"), As a result, the gas contaminated by the ejecting phenomenon is rapidly discharged to the outside together with the compressed air injected into the rapid discharge device.

그러나, 종래의 급속배출장치는 압축공기와 가스가 이동되어 배출되는 관로의 내주연에 이물질이나 먼지가 점차 쌓여 가스의 배출효율을 저하시키는 문제점이 있었다.However, in the conventional rapid discharge apparatus, foreign matter or dust gradually accumulates on the inner circumference of the pipeline through which the compressed air and the gas are transferred and discharged, thereby lowering the discharge efficiency of the gas.

또한, 급속배출장치는 오염된 가스를 신속하게 배출시키는 기능만 수행할 뿐 벤츄리 관으로 유입되는 공기나 오염된 기체의 압력이나 풍량 및 온도를 측정할 수 있도록 된 별도의 측정장치가 없어, 정확한 측정값을 얻기 어려운 문제점이 상존하게 된다.In addition, the rapid discharge device performs only the function of quickly discharging the contaminated gas, and there is no separate measuring device capable of measuring the pressure, air volume and temperature of the air or polluted gas introduced into the venturi tube, There is a problem that it is difficult to obtain a value.

전술한 발명은 본 발명이 속하는 기술분야의 배경기술을 의미하며, 종래 기술을 의미하는 것은 아니다.The above-mentioned invention means the background art of the technical field to which the present invention belongs, and does not mean the prior art.

본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로써, 본 발명의 목적은 유해가스를 급속배출시키는 급속배출장치의 벤츄리관에 센서부를 갖는 피토관을 설치하고, 급속배출장치에 퍼지시스템을 마련함으로서, 벤츄리관에 부식성가스 또는 점착성가스가 포함된 압축공기를 제공하여 유해가스를 급속배출시키고, 피토관의 센서부에 압축공기를 제공하여 피토관 내주연에 배치되는 이물질을 제거할 수 있게 되며, 제 1 제어밸브와 제 2 제어밸브의 제어에 의해 측정부로 압축공기가 역류하여 유입되는 것을 차단하면서 피토관의 유해가스를 측정부로 전달하여 유해가스의 각종정보 및 풍량, 풍속, 풍압 및 온도를 얻을 수 있도록 한 피토관 센서용 퍼지시스템를 제공하는데 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a pitot tube having a sensor part in a venturi pipe of a rapid discharge device for rapidly discharging noxious gas, The compressed air containing corrosive gas or viscous gas is supplied to the venturi pipe to rapidly discharge the noxious gas and to provide the compressed air to the sensor unit of the pitot tube to remove the foreign matter disposed in the pitot tube circumference, By controlling the first control valve and the second control valve, it is possible to prevent the backward flow of compressed air to the measuring part and to transmit the noxious gas of the pitot tube to the measuring part to obtain various information of the noxious gas, wind speed, wind speed, The present invention provides a purge system for a pitot tube sensor.

본 발명은 급속배출장치의 벤츄리관에 설치되는 퍼지관 내부의 이물질을 제거함과 아울러 퍼지관을 통해 이동되는 대상물의 풍압,풍량 및 온도를 측정하도록 된 퍼지시스템으로서, 압축공기를 전달하는 에어공급부와, 상기 에어공급부에서 압축공기를 전달받아 분기시키는 분기밸브와, 상기 분기밸브에서 압축공기를 전달받아 상기 벤추리관에 전달하는 분배부와, 상기 퍼지관에 설치되어 내주연에 배치된 이물질을 제거함과 아울러 상기 대상물 안내하는 센서부와, 상기 분기밸브에서 압축공기를 전달받아 상기 센서부에 전달하는 제 1 제어밸브와, 상기 분기밸브에서 압축공기를 전달받아 상기 센서부에 전달하는 제 2 제어밸브와, 상기 제 1 제어밸브 및 상기 제 2 제어밸브와 연결되어 상기 센서부를 통해 전달되는 상기 대상물의 풍압, 풍량 및 온도를 측정하는 측정부로 이루어진 것을 특징으로 한다.A purge system for removing foreign matter in a purge pipe installed in a venturi pipe of a rapid discharge device and measuring wind pressure, air volume and temperature of an object moving through a purge pipe, comprising: an air supply unit A distribution valve that receives compressed air from the branch valve and transmits the compressed air to the venturi pipe, a foreign matter disposed on the inner periphery of the purge pipe, A second control valve that receives compressed air from the branch valve and transmits the compressed air to the sensor unit, and a second control valve that receives compressed air from the branch valve and transmits the compressed air to the sensor unit, An air flow rate and an air flow rate of the object, which are connected to the first control valve and the second control valve and are transmitted through the sensor unit, It characterized in that the part made of the measurement to measure.

또한, 상기 피토관의 센서부는 관통된 관 구조로 형성되며, 일단이 상기 제 1 제어밸브와 연결되는 관본체와, 상기 관본체의 타단부 외주연에 형성되는 분출구들과, 상기 관본체의 일단에 분기되게 형성되고 상기 제 2 제어밸브와 연결되는 분기관으로 이루어진 것을 특징으로 한다.The sensor portion of the pitot tube may include a pipe body formed to have a through pipe structure and having one end connected to the first control valve and an outlet formed at the outer circumferential edge of the other end of the pipe body, And a branch pipe which is branched and connected to the second control valve.

또한, 상기 피토관은 상기 벤츄리관의 일단에 연통되게 설치되고, 상기 센서부의 단부가 상기 피토관의 유입구 방향으로 배치되어 유입되는 대상물의 일부가 상기 관본체를 통해 안내되도록 하는 것을 특징으로 한다.In addition, the pitot tube is installed to communicate with one end of the venturi tube, and the end of the sensor part is arranged in the direction of the inlet of the pitot tube so that a part of the object to be introduced is guided through the tube body.

또한, 상기 센서부로 압축공기를 분사하여 상기 피토관의 이물질을 제거시 압축공기가 상기 측정부로 유입되는 것을 방지하도록 상기 제 1 제어밸브와 상기 제 2 제어밸브가 상기 측정부로 유입되는 압축공기를 차단하고 상기 센서부로 압축공기를 전달함으로서, 압축공기의 압력에 의해 측정부의 기기가 파손되는 것을 방지하도록 된 것을 특징으로 한다.The first control valve and the second control valve block the compressed air flowing into the measurement unit to prevent the compressed air from flowing into the measurement unit when the foreign material of the pit pipe is sprayed by injecting the compressed air to the sensor unit By transmitting the compressed air to the sensor unit, it is possible to prevent the instrument of the measuring unit from being damaged by the pressure of the compressed air.

또한, 상기 측정부에는 상기 센서부를 통해 전달되는 상기 대상물의 풍압을 측정하는 압력센서와 온도를 측정하는 온도센서와 풍량을 측정하는 풍속센서가 마련된 것을 특징으로 한다.The measurement unit may further include a pressure sensor for measuring the wind pressure of the object, a temperature sensor for measuring the temperature, and an air velocity sensor for measuring the air flow rate, which are transmitted through the sensor unit.

본 발명인 피토관 센서용 퍼지시스템는 유해가스를 급속배출시키는 급속배출장치의 벤츄리관에 센서부를 갖는 피토관을 설치하고, 급속배출장치에 퍼지시스템을 마련함으로서, 벤츄리관에 부식성가스 또는 점착성가스가 포함된 압축공기를 제공하여 유해가스를 급속배출시키고, 피토관의 센서부에 압축공기를 제공하여 피토관 내주연에 배치되는 이물질을 제거할 수 있게 되며, 제 1 제어밸브와 제 2 제어밸브의 제어에 의해 측정부로 압축공기가 역류하여 유입되는 것을 차단하면서 피토관의 유해가스를 측정부로 전달하여 유해가스의 각종정보 및 풍량, 풍속, 풍압 및 온도를 얻을 수 있도록 한 효과가 있다.A purging system for a pitot tube sensor according to the present invention comprises a pitot tube having a sensor part in a venturi pipe of a rapid discharge device for rapidly discharging noxious gas and a purge system in a rapid discharge device to provide a venturi tube with a compression with corrosive gas or viscous gas The air is supplied to rapidly discharge the noxious gas and the compressed air is supplied to the sensor part of the pitot tube to remove the foreign substances disposed in the inner periphery of the pitot tube. By controlling the first control valve and the second control valve, It is possible to obtain various kinds of information of the noxious gas, wind speed, wind speed, wind pressure and temperature by transmitting the noxious gas of the pitot tube to the measuring part while blocking the inflow of the compressed air.

도 1은 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템을 나타낸 개념도이다.
도 2는 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템에 있어, 벤츄리관으로 압축공기가 전달되는 과정을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템에 있어, 센서부로 압축공기가 전달되는 과정을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템에 있어, 대상물이 센서부로 유입되어 측정부로 전달되는 과정을 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템에 있어, 피토관에 센서부가 설치된 상태를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템에 있어, 센서부로 압축공기가 전달되어 피토관에 이물질이 제거되는 과정을 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템에 있어, 피토관을 통해 이동하는 대상물이 센서부로 유입되어 측정부로 전달되는 과정을 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템의 다른 실시예를 나타낸 도면이다.
도 9은 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템에 있어, 전기신호와 에어의 이송방향을 나타낸 흐름도이다.1 is a conceptual diagram showing a purge system for a Pitot tube sensor according to the present invention.
2 is a view illustrating a process of delivering compressed air to a venturi pipe in a purging system for a pitot tube sensor according to the present invention.
3 is a view illustrating a process of delivering compressed air to a sensor unit in a purging system for a Pitot tube sensor according to the present invention.
FIG. 4 is a diagram illustrating a process in which an object is introduced into a sensor unit and transmitted to a measurement unit in the pitot tube sensor purge system according to the present invention.
FIG. 5 is a view showing a state in which a sensor unit is installed in a pitot tube in a purge system for a pitot tube sensor according to the present invention.
FIG. 6 is a diagram illustrating a process in which foreign matter is removed from a pitot tube by passing compressed air through a sensor unit in a pitot tube sensor purge system according to the present invention.
FIG. 7 is a diagram illustrating a process in which an object moving through a pitot tube flows into a sensor unit and is transmitted to a measurement unit in the pitot tube sensor purge system according to the present invention.
8 is a view showing another embodiment of the purge system for the Pitot tube sensor according to the present invention.
FIG. 9 is a flowchart showing a direction of transfer of an electric signal and air in a purging system for a pitot tube sensor according to the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, preferred embodiments of a purging system for a pitot tube sensor according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thicknesses of the lines and the sizes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation. In addition, the terms described below are defined in consideration of the functions of the present invention, which may vary depending on the intention or custom of the user, the operator. Therefore, definitions of these terms should be made based on the contents throughout this specification.

또한, 하기 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 단지 예시로 제시하는 것이며, 본 기술 사상을 통해 구현되는 다양한 실시예가 있을 수 있다.
In addition, the following embodiments are not intended to limit the scope of the present invention, but merely as an example, and various embodiments may be implemented through the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템을 나타낸 개념도이고, 도 2는 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템에 있어, 벤츄리관으로 압축공기가 전달되는 과정을 나타낸 도면이며, 도 3은 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템에 있어, 센서부로 압축공기가 전달되는 과정을 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템에 있어, 대상물이 센서부로 유입되어 측정부로 전달되는 과정을 나타낸 도면이며, 도 5는 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템에 있어, 피토관에 센서부가 설치된 상태를 나타낸 도면이고, 도 6은 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템에 있어, 센서부로 압축공기가 전달되어 피토관에 이물질이 제거되는 과정을 나타낸 도면이며, 도 7은 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템에 있어, 피토관을 통해 이동하는 대상물이 센서부로 유입되어 측정부로 전달되는 과정을 나타낸 도면이고, 도 8은 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템의 다른 실시예를 나타낸 도면이며, 도 9은 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템에 있어, 전기신호와 에어의 이송방향을 나타낸 흐름도이다.
FIG. 1 is a conceptual diagram showing a purge system for a Pitot tube sensor according to the present invention, FIG. 2 is a view illustrating a process of delivering compressed air to a venturi tube in a purge system for a Pitot tube sensor according to the present invention, FIG. 4 is a diagram illustrating a process of transmitting compressed air to a sensor unit in a purge system for a pitot tube sensor according to the present invention. FIG. FIG. 5 is a view showing a state in which a sensor unit is installed in a pitot tube in a pitot tube sensor purge system according to the present invention, and FIG. 6 is a diagram illustrating a pitot tube sensor purge system according to the present invention, FIG. 7 is a diagram illustrating a process of removing foreign matter from the pitot tube by transmitting the pitot tube sensor according to the present invention. In the pitot tube sensor purge system according to the present invention, FIG. 8 is a view showing another embodiment of a purging system for a pitot tube sensor according to the present invention. FIG. 9 is a view showing a pitot tube according to the present invention. FIG. 2 is a flow chart showing the direction of transfer of an electric signal and air in a sensor purge system. FIG.

도면에 도시된 바와 같이 본 발명인 피토관 센서용 퍼지시스템(10)(이하에서는 설명의 편의상 퍼지시스템라 명명함)는 급속배출장치의 벤츄리관(200)에 설치되는 퍼지관 내주연에 배치된 이물질을 제거함과 아울러 퍼지관을 통해 이동되는 오염된 가스 및 오염성분이 함유된 공기와 같은 대상물의 풍압,풍량 및 온도를 측정하도록 된 퍼지시스템(10)으로서, 이에 이와같은 퍼지시스템(10)은 에어공급부(20)와 분기밸브(30)와 분배부(40)와 센서부(50)와 제 1 제어밸브(60)와 제 2 제어밸브(70)와 측정부(80)로 이루어진다.
As shown in the drawing, a purge system 10 for a pitot tube sensor according to the present invention (hereinafter referred to as a purge system for the sake of convenience) comprises a foreign matter A purge system 10 adapted to measure the wind pressure, air volume and temperature of an object, such as polluted gas and air containing contaminants, which are moved through a purge pipe, A first control valve 60, a second control valve 70, and a measuring unit 80. The first control valve 60, the second control valve 70,

여기서, 상기 에어공급부(20)와 상기 분기밸브(30)와 상기 분배부(40)와 상기 센서부(50)와 상기 제 1 제어밸브(60)와 상기 제 2 제어밸브(70)와 상기 측정부(80)들은 도 1에서와 같이 상호 배관에 의해 연결되어, 상기 대상물 및 압축공기를 이동된다.
Here, the air supply unit 20, the branch valve 30, the distribution unit 40, the sensor unit 50, the first control valve 60, the second control valve 70, The portions 80 are connected by mutual piping as shown in Fig. 1, and the object and the compressed air are moved.

상기 에어공급부(20)는 압축공기를 상기 분기밸브(30)에 전달하는 것으로서, 이러한 에어공급부(20)는 압축공기를 공급하는 콤프레샤(compressor)이며, 상기 에어공급부는 상기 금속배출장치에 설치하거나, 외부에 배치하여 압축공기를 공급받도록 하는 것도 가능하다.The air supply unit 20 is for delivering compressed air to the branch valve 30. The air supply unit 20 is a compressor for supplying compressed air and the air supply unit is installed in the metal discharge unit So that the compressed air can be supplied.

이러한, 에어공급부(20)는 압축공기를 공급할 수 있는 것이면 콤프레샤 이외에 어느 것이 사용되어도 무방하다.
The air supply unit 20 may be any of those other than a compressor, as long as it can supply compressed air.

상기 분기밸브(30)는 상기 에어공급부(20)에서 압축공기를 전달받아 분기시키는 것으로서, 상기 콤프레샤의 압축공기를 선택적으로 상기 퍼지관 또는 상기 제 1 제어밸브(60) 및 상기 제 2 제어밸브(70)를 통해 상기 센서부(50)에 전달하게 된다.The branch valve 30 selectively receives the compressed air from the compressor through the purge pipe or the first control valve 60 and the second control valve 70 to the sensor unit 50.

이때, 상기 분기밸브(30)는 상기 제 1 제어밸브(60) 및 상기 제 2 제어밸브(70)로 압축공기를 전달할 경우 상기 벤츄리관(200)으로 압축공기가 전달되는 것을 차단하게 되고, 반대로 벤츄리관(200)으로 압축공기를 공급할 경우 상기 제 1 제어밸브(60) 및 상기 제 2 제어밸브(70)로 압축공기가 전달되는 것을 차단하게 된다.
At this time, when the compressed air is delivered to the first control valve 60 and the second control valve 70, the branch valve 30 blocks the compressed air from being transferred to the venturi pipe 200, When the compressed air is supplied to the venturi pipe 200, the compressed air is prevented from being transferred to the first control valve 60 and the second control valve 70.

상기 분배부(40)는 상기 분기밸브(30)에서 압축공기를 전달받아 상기 벤츄리관(200)에 전달하는 것으로서, 도 1에서와 같이 상기 분기밸브(30)에서 압축공기를 전달받아 벤추리관의 외면에 일정간격을 유지하며 압축공기를 공급하여, 벤츄리관(200)을 통해 이동되는 대상물의 이동속도를 증속시키게 된다.The distribution unit 40 receives the compressed air from the branch valve 30 and transfers the compressed air to the venturi pipe 200. The compressed air is received by the branch valve 30 as shown in FIG. The moving speed of the object to be moved through the venturi pipe 200 is increased by supplying compressed air while maintaining a constant interval on the outer surface.

상기와 같이 분배부(40)를 통해 압축공기를 벤츄리관(200)의 외면에 일정간격을 유지하며 방사상(환형)으로 공급시켜 이동되는 대상물을 베르누이의 원리에 의해 증속시키게 된다.As described above, compressed air is supplied radially (annularly) to the outer surface of the venturi tube 200 at a predetermined interval through the distributor 40, and the object to be moved is increased by the Bernoulli principle.

여기서, 상기 대상물은 오염된 가스 및 공기이며, 이물질이 포함되거나 독성물질이 함유된 가스 및 공기를 벤츄리관(200)을 통해 증속시켜 상기 대상물의 빠른 배출이 이루어지게 함으로서, 대상물을 발생한 장소를 빠르게 환기를 시킬 수 있게 된다.Here, the object is polluted gas and air, and gas and air containing foreign substances or containing toxic substances are accelerated through the venturi tube 200, so that the object is rapidly discharged, It becomes possible to ventilate.

즉, 도 2에서와 같이 에어공급부(20)에서 전달되는 압축공기가 화살표 방향을 따라 분배부(40) 및 벤츄리관(200)으로 공급되어, 벤츄리관(200)으로 유입되는 대상물을 빠르게 이동시켜 배출시키게 된다.
2, the compressed air delivered from the air supply unit 20 is supplied to the distribution unit 40 and the venturi pipe 200 along arrows to rapidly move an object flowing into the venturi pipe 200 .

상기 센서부(50)는 상기 벤츄리관(200)으로 유입되는 대상물이나 공기의 풍압, 풍량, 풍속 및 온도를 측정하고자, 대상물이나 공기가 유입되는 상기 벤추리관의 유입구에 나사체결 또는 용접되는 피토관(100)에 설치된다.In order to measure the wind pressure, the air flow rate, the wind speed and the temperature of the object or air flowing into the venturi pipe 200, the sensor unit 50 is connected to the inlet port of the venturi pipe through which the object or air flows, 100).

또한, 상기 센서부(50)는 퍼지관에 설치되어 내주연에 배치된 이물질을 제거함과 아울러 상기 대상물 및 공기를 상기 측정부(80)로 안내하여 상술한 바와 같이 풍압, 풍량, 풍속 및 온도를 측정하게 된다.Also, the sensor unit 50 is installed in the purge pipe to remove the foreign matter disposed on the inner circumference of the purge pipe, and guides the object and the air to the measurement unit 80 to measure the wind pressure, the wind speed, the wind speed, and the temperature .

이러한, 센서부(50)는 관통된 관 구조로 형성되며, 일단이 상기 제 1 제어밸브(60)와 연결되는 관본체(51)와, 상기 관본체(51)의 타단부 외주연에 형성되어 압축공기를 분사하여 상기 피토관(100)의 내주연에 배치되는 이물질을 제거하는 분출구(511)들과, 상기 관본체(51)의 일단에 분기되게 형성되고 상기 제 2 제어밸브(70)와 연결되는 분기관(52)으로 이루어진다.The sensor unit 50 is formed in a pipe structure having a through-hole and has a tube main body 51 having one end connected to the first control valve 60 and an outer circumferential outer periphery of the other end of the tube main body 51 A discharge port 511 for discharging foreign matter disposed on the inner circumference of the pit pipe 100 by injecting compressed air and a discharge port 511 branched from the pipe main body 51 and connected to the second control valve 70 And a branch pipe (52).

상기 분출구(511)들은 상기 관본체(51)의 타단부 외주연에 도 1에 도시된 바와 같이 환형으로 배치되게 형성되며, 상기 관본체(51)의 길이방향을 따라 환형으로 형성된 분출구(511)들이 일정간격을 유지하여 환형상으로 형성되도록 하는 것도 가능하다.1, the air outlets 511 are formed annularly on the outer circumferential edge of the other end of the tube body 51, and have an air outlet 511 formed annularly along the longitudinal direction of the tube body 51, It is also possible to form the annular shape with a predetermined interval.

또한, 상기 센서부(50)의 상기 관본체(51)는 상기 피토관(100)에 배치되어 피토관(100) 내주연에 배치되는 이물질에 상기 관본체(51)의 단부 및 상기 관본체(51)에 형성되는 분출구를 통해 압축공기를 분사하여 제거하도록 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 관본체(51)를 상기 피토관(100) 및 상기 벤츄리관(200)에 배치하여 상기 벤츄리관(200)의 내주연에 배치되는 이물질도 제거되도록 하는 것이 바람직하다.The tube main body 51 of the sensor unit 50 is connected to the end of the tube main body 51 and the tube main body 51 in a foreign matter disposed in the periphery of the pitot 100, The present invention is not limited thereto. The tube main body 51 may be disposed in the pitot tube 100 and the venturi tube 200 so that the venturi tube It is preferable that the foreign matter disposed on the inner periphery of the inner shell 200 is also removed.

상기 관본체(51)는 절곡되게 " ㄱ "자 형상으로 형성시켜, 끝단부가 상기 피토관의 내측 중앙에 배치되도록 하는 것이 바람직하다.It is preferable that the tube main body 51 is formed to have a "B" shape so as to be bent so that its end portion is disposed at the inner center of the pitot tube.

또한, 상기 관본체(51)의 끝단부로 갈수록 직경이 좁아지게 형성시켜 압축공기가 가속되어 분출되도록 하는 것도 가능하다.Further, the diameter of the tube body 51 may be reduced toward the end of the tube body 51, so that the compressed air may be accelerated and sprayed.

상기 분출구(511)는 상기 관본체(51)에 환형으로 배치되게 형성되는 것 이외에 상기 관본체(51)의 외면을 따라 스크류형태로 나선배열로 형성시켜 분출되는 압축공기가 소용돌이를 일으켜 이물질을 용이하게 탈거시키도록 하는 것도 가능하며, 상기 분출구(511)를 상기 관본체(51) 이외에 상기 분기관(52)에 형성시키는 것도 가능하다.
In addition to being formed annularly in the tube body 51, the air outlet 511 is formed in a spiral arrangement in the form of a screw along the outer surface of the tube body 51, so that compressed air ejected from the tube body 51 is vortexed, It is also possible to form the jet port 511 in the branch pipe 52 in addition to the pipe main body 51. [

여기서, 상기 피토관(100)은 상기 벤츄리관(200)의 일단에 연통되게 설치되고, 상기 센서부(50)의 단부가 상기 피토관(100)의 유입구 방향으로 배치되어 유입되는 대상물의 일부가 상기 관본체(51)를 통해 안내되도록 한다.
Here, the pitot tube 100 is installed to communicate with one end of the venturi tube 200, and an end portion of the sensor portion 50 is disposed in the direction of the inlet of the pitot 100, And is guided through the main body 51.

상기 제 1 제어밸브(60)는 상기 분기밸브(30)에서 압축공기를 전달받아 상기 센서부(50)에 전달하게 된고, 상기 제 2 제어밸브(70)는 상기 분기밸브(30)에서 압축공기를 전달받아 상기 센서부(50)에 전달하게 된다.The first control valve 60 receives the compressed air from the branch valve 30 and transmits the compressed air to the sensor unit 50. The second control valve 70 is connected to the branch valve 30 via the compressed air And transmits it to the sensor unit 50.

또한, 상기 제 1 제어밸브(60)와 상기 제 2 제어밸브(70)는 상기 센서부(50)에서 전달되는 대상물을 상기 측정부(80)로 전달하게 된다.The first control valve 60 and the second control valve 70 transmit the object transferred from the sensor unit 50 to the measurement unit 80.

이때, 상기 센서부(50)로 압축공기를 분사하여 상기 피토관(100)의 이물질을 제거시 압축공기가 상기 측정부(80)로 유입되는 것을 방지하도록 상기 제 1 제어밸브(60)와 상기 제 2 제어밸브(70)가 상기 측정부(80)로 유입되는 압축공기를 차단하고 상기 센서부(50)로 압축공기를 전달함으로서, 압축공기의 압력에 의해 측정부(80)의 기기가 파손되는 것을 방지하도록 된다.In order to prevent the compressed air from flowing into the measurement unit 80 when the foreign material of the pit pipe 100 is removed by spraying the compressed air to the sensor unit 50, 2 control valve 70 interrupts the compressed air flowing into the measuring unit 80 and delivers the compressed air to the sensor unit 50 so that the equipment of the measuring unit 80 is damaged by the pressure of the compressed air .

바람직하게는 센서부(50)에서 피토관(100)의 대상물이 측정부(80)로 전달시, 상기 제 1 제어밸브(60)와 상기 제 2 제어밸브(70)가 상기 분기밸브(30)와의 연결을 차단한 상태에서 상기 센서부(50)에서 상기 측정부(80)로 대상물이 전달되도록 하는 것이 바람직하다.
The first control valve 60 and the second control valve 70 are connected to the branch valve 30 when the object of the pitot tube 100 is transferred to the measuring unit 80 by the sensor unit 50. [ It is preferable that the object is transferred from the sensor unit 50 to the measurement unit 80 while the connection is blocked.

상기 측정부(80)는 상기 제 1 제어밸브(60) 및 상기 제 2 제어밸브(70)와 연결되어 상기 센서부(50)를 통해 전달되는 상기 대상물의 풍압, 풍량 및 온도를 측정하게 된다.The measuring unit 80 is connected to the first control valve 60 and the second control valve 70 to measure wind pressure, air volume, and temperature of the object conveyed through the sensor unit 50.

이때, 상기 측정부(80)에는 상기 센서부(50)를 통해 전달되는 상기 대상물의 풍압을 측정하는 압력센서와 온도를 측정하는 온도센서와 풍량을 측정하는 풍속센서가 마련되어, 상기 제 1 제어밸브(60), 상기 제 2 제어밸브(70)를 통해 상기 측정부(80)로 유입되는 대상물을 측정하게 된다.At this time, the measuring unit 80 is provided with a pressure sensor for measuring the wind pressure of the object, a temperature sensor for measuring the temperature, and an air velocity sensor for measuring the air volume, which are transmitted through the sensor unit 50, (60) and the second control valve (70) to measure the object flowing into the measurement unit (80).

또한, 상기 측정부(80)의 내부 또는 외면에는 상기 에어공급부(20), 상기 분기밸브(30), 상기 제 1 제어밸브(60), 상기 제 2 제어밸브(70) 및 상기 측정부(80)와 전기적으로 연결됨과 아울러 제어하도록 제어부를 더 마련하는 것이 바람직하다.The air supply unit 20, the branch valve 30, the first control valve 60, the second control valve 70, and the measurement unit 80 (not shown) are connected to the inside or the outside of the measurement unit 80, And a control unit for controlling the control unit.

상기 제어부는 상기 측정부(80) 이외에 상기 에어공급부(20), 상기 분기밸브(30), 상기 제 1 제어밸브(60), 상기 제 2 제어밸브(70) 및 상기 측정부(80)와 전기적으로 연결되어 제어할 수 있는 장소이면 어디에도 설치가능하다.The control unit may be electrically connected to the air supply unit 20, the branch valve 30, the first control valve 60, the second control valve 70, and the measurement unit 80 in addition to the measurement unit 80. [ And can be installed anywhere that can be controlled.

바람직하게는 상기 제어부는 디스플레이되고 사용자에 의해 조작되도록 상기 급속배출장치의 외면에 터치가능하게 설치하는 것이 바람직하다.
Preferably, the control unit is touchably mounted on an outer surface of the rapid discharge device so as to be displayed and operated by a user.

상기한 벤츄리관(200) 및 피토관(100)을 갖는 급속배출장치는 반도체를 생산하기 위해 발생되는 유해가스와 같은 대상물을 급속배기 및 측정하도록 반도체 생산하우징의 배기구에 설치하는 것이 바람직하며, 이와 다르게는 유해가스 및 유해물질이 함유된 공기가 발생하는 하우징구조를 갖는 장소이면 어디에도 설치가 가능하다.
It is preferable that the rapid discharge device having the venturi pipe 200 and the pitot tube 100 is installed in the exhaust port of the semiconductor production housing to rapidly exhaust and measure objects such as noxious gas generated for producing semiconductors, Can be installed in any place having a housing structure in which air containing harmful gases and harmful substances is generated.

여기서, 상기 피토관(100)의 내주연에는 유해물질을 자화시키도록 자성체(90)가 더 접착 또는 나사체결되며, 상기 자성체(90)는 3만가오스의 자력을 갖는 자성체가 사용되는 것이 바람직하며, 상기 자성체(90)는 상기 센서부(50)와 연결대에 의해 연결시키는 것이 바람직하다. 다르게는 상기 센서부(50)를 감싸면서 배치되어 상기 센서부로 유입되는 오염물질을 자화시키도록 하는 것도 가능하다.
Here, the magnetic substance 90 is further adhered or screwed to the inner circumference of the pit pipe 100 to magnetize harmful substances, and the magnetic substance 90 is preferably a magnetic substance having a magnetic force of 30,000 Gauss, The magnetic body 90 may be connected to the sensor unit 50 by a connecting rod. Alternatively, it is also possible to magnetize the contaminants introduced into the sensor unit while being disposed around the sensor unit 50.

이상 설명한 본 발명에 따른 피토관 센서용 퍼지시스템은, 유해가스를 급속배출시키는 급속배출장치의 벤츄리관에 센서부를 갖는 피토관을 설치하고, 급속배출장치에 퍼지시스템을 마련함으로서, 벤츄리관에 압축공기를 제공하여 유해가스를 급속배출시키고, 피토관의 센서부에 압축공기를 제공하여 피토관 내주연에 배치되는 이물질을 제거할 수 있게 되며, 제 1 제어밸브와 제 2 제어밸브의 제어에 의해 측정부로 압축공기가 역류하여 유입되는 것을 차단하면서 피토관의 유해가스를 측정부로 전달하여 유해가스의 각종정보 및 풍량, 풍속, 풍압 및 온도를 얻을 수 있도록 한 효과를 가질 수 있게 된다.
In the purge system for the Pitot tube sensor according to the present invention, a pitot tube having a sensor part is installed in a venturi tube of a rapid discharge device for rapidly discharging noxious gas, and a purge system is provided in a rapid discharge device. The first control valve and the second control valve control the first and second control valves so that the compressed air is supplied to the measurement section. The compressed air is supplied to the sensor section of the pitot tube, It is possible to obtain the various information of the noxious gas, the wind speed, the wind speed, the wind pressure and the temperature by transmitting the noxious gas of the pitot tube to the measuring part while blocking the back flow.

이상에서 설명된 본 발명의 일 실시 예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and equivalent arrangements may be made therein without departing from the scope of the present invention as defined by the appended claims and their equivalents. . Therefore, it is to be understood that the present invention is not limited to the above-described embodiments. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims. It is also to be understood that the invention includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

10 : 퍼지시스템
20 : 에어공급부
30 : 분기밸브
40 : 분배부
50 : 센서부
60 : 제 1 제어밸브
70 : 제 2 제어밸브
80 : 측정부
51 : 관본체
511 : 분출구
52 : 분기관
100 : 피토관
200 : 벤츄리관10: Purge system
20:
30: Branch valve
40:
50:
60: first control valve
70: Second control valve
80:
51: tube body
511: Outlet
52: Branch organization
100: Pitot tube
200: Venturi tube

Claims (6)

급속배출장치의 벤츄리관에 설치되는 퍼지관 내부의 이물질을 제거함과 아울러 퍼지관을 통해 이동되는 대상물의 풍압,풍량 및 온도를 측정하도록 된 퍼지시스템으로서,
압축공기를 전달하는 에어공급부와,
상기 에어공급부에서 압축공기를 전달받아 분기시키는 분기밸브와,
상기 분기밸브에서 압축공기를 전달받아 상기 벤츄리관에 전달하는 분배부와,
상기 퍼지관에 설치되어 내주연에 배치된 이물질을 제거함과 아울러 상기 대상물 안내하는 센서부와,
상기 분기밸브에서 압축공기를 전달받아 상기 센서부에 전달하는 제 1 제어밸브와,
상기 분기밸브에서 압축공기를 전달받아 상기 센서부에 전달하는 제 2 제어밸브와,
상기 제 1 제어밸브 및 상기 제 2 제어밸브와 연결되어 상기 센서부를 통해 전달되는 상기 대상물의 풍압, 풍량 및 온도를 측정하는 측정부로 이루어진 것을 특징으로 하는 피토관 센서용 퍼지시스템.
A purge system for removing foreign matters in a purge pipe installed in a venturi pipe of a rapid discharge device and measuring wind pressure, air volume and temperature of an object moving through a purge pipe,
An air supply unit for delivering compressed air,
A branch valve that receives compressed air from the air supply unit and branches the compressed air;
A distributor for receiving compressed air from the branch valve and delivering the compressed air to the venturi pipe,
A sensor unit installed on the purge pipe to remove foreign substances disposed on the inner circumference of the purge pipe and to guide the object,
A first control valve that receives compressed air from the branch valve and transmits the compressed air to the sensor unit,
A second control valve that receives compressed air from the branch valve and transfers the compressed air to the sensor unit,
And a measuring unit connected to the first control valve and the second control valve and measuring a wind pressure, an air flow rate, and a temperature of the object transmitted through the sensor unit.
제 1 항에 있어서,
상기 피토관의 센서부는 관통된 관 구조로 형성되며, 일단이 상기 제 1 제어밸브와 연결되는 관본체와,
상기 관본체의 타단부 외주연에 형성되는 분출구들과,
상기 관본체의 일단에 분기되게 형성되고 상기 제 2 제어밸브와 연결되는 분기관으로 이루어진 것을 특징으로 하는 피토관 센서용 퍼지시스템.
The method according to claim 1,
Wherein the sensor portion of the pitot tube is formed in a pipe structure having a through-hole, one end of which is connected to the first control valve,
An air outlet formed at the outer periphery of the other end of the tube main body,
And a branch pipe formed at one end of the pipe body and connected to the second control valve.
제 2 항에 있어서,
상기 피토관은 상기 벤츄리관의 일단에 연통되게 설치되고, 상기 센서부의 단부가 상기 피토관의 유입구 방향으로 배치되어 유입되는 대상물의 일부가 상기 관본체를 통해 안내되도록 하는 것을 특징으로 하는 피토관 센서용 퍼지시스템.
3. The method of claim 2,
Wherein the pitot tube is provided so as to communicate with one end of the venturi tube and the end of the sensor portion is disposed in the direction of the inlet of the pitot tube so that a part of the object to be introduced is guided through the tube body. .
제 1 항에 있어서,
상기 센서부로 압축공기를 분사하여 상기 피토관의 이물질을 제거시 압축공기가 상기 측정부로 유입되는 것을 방지하도록 상기 제 1 제어밸브와 상기 제 2 제어밸브가 상기 측정부로 유입되는 압축공기를 차단하고 상기 센서부로 압축공기를 전달함으로서, 압축공기의 압력에 의해 측정부의 기기가 파손되는 것을 방지하도록 된 것을 특징으로 하는 피토관 센서용 퍼지시스템.
The method according to claim 1,
The first control valve and the second control valve block the compressed air flowing into the measurement unit to prevent the compressed air from flowing into the measurement unit when the foreign material of the pitot tube is removed by injecting compressed air to the sensor unit, Wherein the purging system is configured to prevent the instrument of the measuring unit from being damaged by the pressure of the compressed air by transmitting the compressed air to the purging system.
제 1 항에 있어서,
상기 측정부에는 상기 센서부를 통해 전달되는 상기 대상물의 풍압을 측정하는 압력센서와 온도를 측정하는 온도센서와 풍량을 측정하는 풍속센서가 마련된 것을 특징으로 하는 피토관 센서용 퍼지시스템.
The method according to claim 1,
Wherein the measuring unit is provided with a pressure sensor for measuring the wind pressure of the object, a temperature sensor for measuring the temperature, and an air velocity sensor for measuring the air flow rate, which are transmitted through the sensor unit.
제 1 항에 있어서,
상기 피토관의 내주연에는 유해물질을 자화시키도록 자성체가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 피토관 센서용 퍼지시스템.The method according to claim 1,
Wherein a magnetic substance is further provided on the inner circumference of the pitot tube so as to magnetize harmful substances.
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CN112684106A (en) * 2020-12-07 2021-04-20 安徽普源分离机械制造有限公司 Centrifuge oxygen content detection nitrogen filling control system

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