KR101805821B1

KR101805821B1 - 홀딩 유닛 및 본딩 방법

Info

Publication number: KR101805821B1
Application number: KR1020160080034A
Authority: KR
Inventors: 아키노리 다시마
Original assignee: 히라따기꼬오 가부시키가이샤
Priority date: 2015-06-30
Filing date: 2016-06-27
Publication date: 2017-12-07
Also published as: KR20170003421A; CN106324871B; CN106324871A

Abstract

패널을 보다 확실하게 홀딩하면서 기포의 혼입을 방지하는 것이다.
서로 본딩되는 패널 중 일방의 패널을 홀딩하는 홀딩 유닛으로서, 복수의 급배기로를 구비한 지지 부재와, 상기 지지 부재에 지지되고, 패널에 접촉되는 접촉부를 포함하고, 상기 접촉부는 복수의 개구부와, 패널의 중앙부에 대응되는 위치에서 패널측으로 팽출 가능한 중간 영역을 포함하고, 상기 복수의 급배기로는 상기 복수의 개구부에 연통된 제1 급배기로와, 상기 중간 영역을 향해 개구되는 제2 급배기로를 포함하며, 상기 중간 영역은 상기 제2 급배기로 내부와 상기 접촉부의 주위 분위기간의 차압에 의해 상기 지지 부재로부터 팽출 가능하다.

Description

홀딩 유닛 및 본딩 방법{Holding unit and bonding method}

본 발명은 패널의 본딩 기술에 관한 것이다.

액정 패널과 커버 글래스와 같은 패널들을 서로 본딩하여 적층체를 제조하는 장치에서는, 본딩면에 기포가 혼입되면, 적층체의 품질에 영향을 주는 경우가 있다. 기포의 혼입을 저감하기 위해, 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2에는 일방의 패널을 휘게 하여 다른 일방의 패널에 접촉시키는 장치가 개시되어 있다. 이러한 장치에서는, 패널 사이의 기포를 주위로 밀어낼 수 있어, 기포의 혼입 방지에 일정한 효과가 있다.

[특허문헌 1] 일본공개특허 2012－124444호 공보 [특허문헌 2] 일본공개특허 2009－180911호 공보

패널을 휘게 하는 경우, 패널의 홀딩 부분 주변에는 굽힘이 발생하기 때문에, 패널이 홀딩 기구로부터 탈락될 가능성이 있다.

본 발명의 목적은, 패널을 보다 확실히 홀딩하면서 기포의 혼입을 방지하는데 있다.

본 발명에 의하면, 서로 본딩되는 패널 중 일방의 패널을 홀딩하는 홀딩 유닛으로서, 복수의 급배기로를 구비한 지지 부재와, 상기 지지 부재에 지지되고, 패널에 접촉되는 접촉부를 포함하고, 상기 접촉부는 복수의 개구부와, 패널의 중앙부에 대응되는 위치에서 패널측으로 팽출 가능한 중간 영역을 포함하고, 상기 복수의 급배기로는 상기 복수의 개구부에 연통된 제1 급배기로와, 상기 중간 영역을 향해 개구되는 제2 급배기로를 포함하고, 상기 중간 영역은 상기 제2 급배기로 내부와 상기 접촉부의 주위 분위기간의 차압(差壓)에 의해 상기 지지 부재로부터 팽출 가능한 것을 특징으로 하는 홀딩 유닛이 제공된다.

또한, 본 발명에 의하면, 서로 본딩되는 패널 중 일방의 패널을 홀딩하는 홀딩 유닛으로서, 복수의 급배기로를 구비한 지지 부재와, 상기 지지 부재에 지지되고, 패널에 접촉되는 시트 부재와, 상기 지지 부재와 상기 시트 부재 사이에 배치된 가동 부재를 포함하고, 상기 시트 부재는 복수의 개구부와, 패널의 중앙부에 대응되는 위치에서 패널측으로 팽출 가능한 중간 영역을 포함하고, 상기 가동 부재는 상기 중간 영역에 배치되고, 상기 복수의 급배기로는 상기 복수의 개구부에 연통된 제1 급배기로와, 상기 가동 부재를 향해 개구되는 제2 급배기로를 포함하고, 상기 가동 부재는 상기 제2 급배기로 내부와 상기 시트 부재의 주위 분위기간의 차압에 의해 상기 시트 부재측으로 변위 가능하고, 상기 가동 부재가 상기 시트 부재측으로 변위됨으로써, 상기 시트 부재의 상기 중간 영역이 팽출되는 것을 특징으로 하는 홀딩 유닛이 제공된다.

또한, 본 발명에 의하면, 제1 패널을 홀딩 유닛으로 홀딩하고, 제2 패널과 본딩하는 본딩 방법으로서, 상기 홀딩 유닛으로서, 복수의 급배기로를 구비한 지지 부재와, 상기 지지 부재에 지지되고, 패널에 접촉되는 접촉부를 포함하며, 상기 접촉부는 복수의 개구부와, 패널의 중앙부에 대응되는 위치에서 패널측으로 팽출 가능한 중간 영역을 포함하고, 상기 복수의 급배기로는 상기 복수의 개구부에 연통된 제1 급배기로와, 상기 중간 영역을 향해 개구되는 제2 급배기로를 포함하고, 상기 본딩 방법은 상기 제1 패널에서의 본딩면과 반대측의 면과, 상기 접촉부를 접촉시키는 공정과, 상기 제1 패널을 상기 제1 급배기로의 배기에 의해 상기 접촉부에 흡착하는 공정과, 상기 제2 급배기로 내부와 상기 접촉부의 주위 분위기간의 차압에 의해, 상기 지지 부재로부터 상기 중간 영역을 상기 제2 패널을 향해 볼록하게 팽출시키는 팽출 공정과, 볼록하게 팽출된 상기 중간 영역에 의해, 상기 제1 패널의 중앙부를 볼록하게 만곡시키는 공정과, 볼록하게 만곡된 상기 제1 패널의 중앙부를 상기 제2 패널에 접촉시키는 공정과, 상기 제1 패널 및 상기 제2 패널 중 적어도 어느 하나를 서로 근접하는 방향으로 이동시키고, 상기 제1 패널과 상기 제2 패널이 접촉하는 영역을, 이들 패널의 각 주연(周緣)부를 향해 확산시키는 공정과, 상기 제1 패널의 흡착을 해제하는 해제 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 본딩 방법이 제공된다.

또한, 본 발명에 의하면, 제1 패널을 홀딩 유닛으로 홀딩하고, 제2 패널과 본딩하는 본딩 방법으로서, 상기 홀딩 유닛은 복수의 급배기로를 구비한 지지 부재와, 상기 지지 부재에 지지되고, 패널에 접촉되는 시트 부재와, 상기 지지 부재와 상기 시트 부재 사이에 배치된 가동 부재를 포함하고, 상기 시트 부재는 복수의 개구부와, 패널의 중앙부에 대응되는 위치에서 패널측으로 팽출 가능한 중간 영역을 포함하며, 상기 복수의 급배기로는 상기 복수의 개구부에 연통된 제1 급배기로와, 상기 가동 부재를 향해 개구되는 제2 급배기로를 포함하고, 상기 본딩 방법은 상기 제1 패널에서의 본딩면과 반대측의 면과, 상기 시트 부재를 접촉시키는 공정과, 상기 제1 패널을 상기 제1 급배기로의 배기에 의해 상기 시트 부재에 흡착하는 공정과, 상기 제2 급배기로 내부와 상기 시트 부재의 주위 분위기간의 차압에 의해, 상기 가동 부재를 변위시키고, 상기 지지 부재로부터 상기 중간 영역을 상기 제2 패널을 향해 볼록하게 팽출시키는 팽출 공정과, 볼록하게 팽출된 상기 중간 영역에 의해 상기 제1 패널의 중앙부를 볼록하게 만곡시키는 공정과, 볼록하게 만곡된 상기 제1 패널의 중앙부를 상기 제2 패널에 접촉시키는 공정과, 상기 제1 패널 및 상기 제2 패널 중 적어도 어느 하나를 서로 근접하는 방향으로 이동시키고, 상기 제1 패널과 상기 제2 패널이 접촉하는 영역을, 이들 패널의 각 주연부를 향해 확산시키는 공정과, 상기 제1 패널의 흡착을 해제하는 해제 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 본딩 방법이 제공된다.

본 발명에 의하면, 패널을 보다 확실하게 홀딩하면서 기포의 혼입을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 본딩 장치의 설명도.
도 2의 (A) 및 (B)는 홀딩 유닛의 설명도.
도 3의 (A)는 접촉부의 접촉면의 설명도, (B)는 지지 부재의 지지면의 설명도, (C)는 시트 부재의 설명도.
도 4의 (A), (B), 및 (C)는 시트의 설명도.
도 5는 제어 유닛의 블록도.
도 6은 도 1의 본딩 장치의 동작 설명도.
도 7은 도 1의 본딩 장치의 동작 설명도.
도 8은 도 1의 본딩 장치의 동작 설명도.
도 9는 도 1의 본딩 장치의 동작 설명도.
도 10은 도 1의 본딩 장치의 동작 설명도.
도 11은 도 1의 본딩 장치의 동작 설명도.
도 12의 (A) 및 (B)는 홀딩 유닛의 다른 예의 설명도.
도 13의 (A)는 접촉부의 접촉면의 설명도, (B)는 지지 부재의 지지면의 설명도, (C) 및 (D)는 가동 부재의 사시도.
도 14의 (A) 및 (B)는 시트의 설명도.

＜제1 실시 형태＞　

＜장치의 개요＞　

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 본딩 장치(A)의 설명도이다. 본딩 장치(A)는, 2장의 패널을 본딩하여 적층체를 제조하는 장치이다. 본 실시 형태의 경우, 직사각형 패널과 직사각형 패널을 본딩한 적층체를 제조한다. 일방의 패널은, 예컨대 화상 표시 패널이고, 다른 일방의 패널은, 예컨대 커버 패널이며, 그 적층체는 화상 표시 장치를 구성한다. 화상 표시 패널로는, 예컨대 액정 표시 패널(예컨대, LCD)이고, 그 표시면측(본딩 과정에서는 상면(上面)이 됨)에 커버 패널(예컨대, 커버 글래스)이 본딩된다. 커버 패널은 광투과성을 갖는 패널이고, 예컨대 글래스판이나 수지판이다.

본딩되는 2장의 패널 중 적어도 하나에는, 접착층을 미리 형성해 두고, 이 접착층에 의해 2장의 패널을 본딩할 수 있다. 접착층은 접착제의 도포 등에 의한 피복층, 접착 시트, 접착 필름 등에 의해 형성할 수 있다.

본딩 장치(A)는 홀딩 유닛(1), 승강 테이블(2), 챔버 유닛(3), 베이스 테이블(4), 챔버 유닛(5), 이동탑재 유닛(6), 복수의 승강 기구(7), 및 급배기 유닛(8A~8C)을 포함한다.

＜홀딩 유닛＞　

도 1, 도 2의 (A), 도 2의 (B), 도 3의 (A)~도 3의 (C) 및 도 4의 (A)~도 4의 (C)를 참조하여 홀딩 유닛(1)을 설명한다. 도 2의 (A) 및 도 2의 (B)는 홀딩 유닛(1)의 설명도이고, 그 중앙에서의 단면도를 나타내고 있다. 도 2의 (A)는 접촉부(12)의 중간 영역(RM)이 팽출되지 않은 상태를 나타내고, 도 2의 (B)는 중간 영역(RM)이 팽출된 상태를 나타낸다. 도 3의 (A)는 접촉부(12)의 접촉면(CS)의 설명도이고, 홀딩 유닛(1)의 저면도이다. 도 3의 (B)는 지지 부재(11)의 지지면(111)의 설명도, 도 3의 (C)는 시트 부재(13)의 설명도이다. 도 4의 (A)는 시트 부재(14)를 구성하는 시트(141)의 설명도이고, 그 하면(시트(142)와 본딩되는 면)을 나타낸다. 도 4의 (B)는 시트 부재(14)를 구성하는 시트(142)의 설명도이고, 그 하면(접촉면(CS))을 나타낸다. 도 4의 (C)는 시트 부재(14)를 구성하는 시트(141)의 다른 예의 설명도이고, 그 상면(시트 부재(13)측의 면)을 나타낸다.

홀딩 유닛(1)은 서로 본딩되는 패널 중 일방의 패널을 홀딩한다. 홀딩 유닛(1)은 지지 부재(11)와 접촉부(12)를 구비한다. 지지 부재(11)는 홀딩 유닛(1)의 본체를 구성한다. 접촉부(12)는 홀딩되는 패널에 접촉되는 부분이고, 지지 부재(11)에 지지되어 있다.

지지 부재(11)에는 복수의 급배기로(PS1~PS3)가 형성되어 있다. 복수의 급배기로(PS1~PS3)는 모두 지지면(111)에 개구되어 있다. 지지면(111)은 그 길이 방향 양단부에 위치하는 수평인 한 쌍의 지지면(111a)과, 한 쌍의 지지면(111a) 사이에 위치하는 지지면(111b)을 구비한다. 한 쌍의 지지면(111a)과 지지면(111b)은 높이 방향으로 어긋난 위치에 단차지게 형성되어 있고, 지지면(111b)은 한 쌍의 지지면(111a)보다 상방으로 오목한 위치에 위치하고 있다. 즉, 지지면(111)에는 오목부(지지면(111b))가 형성되어 있고, 이 오목부에는 후술하는 시트 부재(13)가 고정된다.

본 실시 형태의 경우, 지지면(111)은 지지 부재(11)의 하면이다. 지지면(111)의 윤곽 형상(평면에서 본 형상)은, 예컨대, 홀딩되는 패널과 동일하거나 비슷한 형상으로 할 수 있다. 본 실시 형태의 경우, 지지면(111)은 사각형이다.

급배기로(PS1)는, 지지면(111)의 일변측(여기서는 일방(도 2의 (A) 및 도 2의 (B)에서는 좌측)의 지지면(111a))에서 개구되어 있다. 본 실시 형태에서는, 급배기로(PS1)의 개구수를 한 곳으로 하고 있지만, 급배기로(PS1)를 분기시켜 복수개소로 할 수도 있다. 개구수를 복수로 하는 경우, 지지면(111)의 일변을 따라 개구시킬 수도 있다.

급배기로(PS2)는 지지면(111)의 타변측(여기서는 다른 일방(도 2의 (A) 및 도 2의 (B)에서는 우측)의 지지면(111a))에서 개구되어 있다. 본 실시 형태에서는, 급배기로(PS2)의 개구수를 한 곳으로 하고 있지만, 급배기로(PS2)를 분기시켜 복수개소로 할 수도 있다. 개구수를 복수로 하는 경우, 지지면(111)의 타변을 따라 개구시킬 수도 있다.

급배기로(PS1)와 급배기로(PS2)는 서로 연통되고, 또한 급배기 유닛(8A)에 연통되어 있다. 급배기로(PS1, PS2)는 주로 패널의 흡착 홀딩을 위해 이용된다. 지지면(111)에 형성되는 급배기로(PS1, PS2)의 개구부의 수나 배치 형태는 홀딩하는 패널의 형상 등에 따라 적절한 설계가 가능하다.

급배기로(PS3)는 지지면(111)(여기서는 지지면(111b))에서 복수개소(여기서는 4곳)에서 개구되어 있다. 지지면(111)에서의 급배기로(PS3)의 개구부는 한 곳이어도 무방하다. 본 실시 형태의 경우, 급배기로(PS3)의 개구부는 지지면(111)의 중앙부(지지면(111b)의 중앙부)에 형성되어 있다. 본 실시 형태의 경우, 지지면(111)의 중앙부는 홀딩되는 패널의 중앙부에 대향하는 위치이다. 급배기로(PS3)는 급배기 유닛(8B)에 연통되어 있다.

본 실시 형태의 경우, 지지면(111b)에는 환상의 홈(112)이 형성되어 있다. 또한, 본 실시 형태의 경우, 지지면(111b)에는 복수의 홈(113)이 형성되어 있다. 복수의 홈(113)은 급배기로(PS3)의 개구부에 연속적으로 분기 형성되어 있고, 본 실시 형태의 경우, 메쉬상으로 연장되고, 홈(112)에 연속되어 있다. 홈(112)이나, 홈(113)의 기능에 대해서는 후술한다.

한쌍의 지지면(111a)에는, 복수의 장착공(114)이 형성되어 있다. 복수의 장착공(114)은 본 실시 형태의 경우, 나사공이고, 접촉부(12)를 구성하는 시트 부재(14)가 나사(12b)에 의해 한쌍의 지지면(111a)에 고정된다.

본 실시 형태의 경우, 접촉부(12)는 크게 나누면, 시트 부재(13)와 시트 부재(14)를 구비하고 있고, 이러한 시트 부재를 적층시켜 형성되어 있다. 시트 부재(13)는 시트 부재(14)와 지지 부재(11) 사이에 위치하고 있다. 환언하면, 시트 부재(13)는 지지 부재(11)측에 위치하고, 시트 부재(14)는 반대측(패널측)에 위치하고 있다. 또한 시트 부재(14)는 시트(141) 및 시트(142)의 적층체이다. 시트 부재(14)의 하면은 접촉면(CS)을 구성한다. 접촉면(CS)은 홀딩되는 패널에 접촉되는 면이다.

접촉부(12)는, 도 3의 (A)에 도시한 바와 같이 단부 영역(EA1, EA2)와, 중간 영역(RM)을 포함한다. 단부 영역(EA1, EA2)은 접촉부(12)의 양단부에 위치하고, 중간 영역(RM)은 단부 영역(EA1)과 단부 영역(EA2) 사이에 위치하고 있다. 중간 영역(RM)은 지지 부재(11)에 고정되지 않고, 패널측으로 팽출 가능한 영역이고, 단부 영역(EA1, EA2)은 지지 부재(11)에 나사(12b)로 고정된 고정 영역이며, 패널측으로 팽출 불가능한 영역이다. 본 실시 형태의 경우, 중간 영역(RM)은 시트 부재(13) 및 시트 부재(14)에 의해 구성되고, 단부 영역(EA1, EA2)은 시트 부재(14)만으로 구성되어 있다.

접촉면(CS) 중 단부 영역(EA1, EA2)은 패널의 점착 홀딩이 가능한 점착성을 가지고 있을 수도 있다. 이에 따라 패널의 홀딩력을 향상시킬 수 있다. 패널을 홀딩할 때, 단부 영역(EA1)이 패널의 일측 단부를, 단부 영역(EA2)이 패널의 타측 단부를 각각 점착하도록 단부 영역(EA1, EA2)의 위치가 설계되어도 무방하다. 중간 영역(RM)은 패널의 점착이 불가능한 비점착성을 가질 수도 있고, 패널의 점착 홀딩이 가능한 점착성을 가질 수도 있다. 중간 영역(RM)의 점착성은 단부 영역(EA1, EA2)의 점착성과 동일할 수도 있고, 또는 단부 영역(EA1, EA2)의 점착성보다 낮을 수도 있다.

패널의 홀딩력 향상이라는 점에서, 접촉면(CS)의 전면(全面), 즉 단부 영역(EA1, EA2) 및 중간 영역(RM)이 점착성을 갖는 것이 바람직하다. 본 실시 형태에서는, 접촉면(CS)의 전면이 점착성을 갖는 구성을 상정한다.

이어서, 도 3의 (A)에 도시한 바와 같이, 접촉면(CS)에는 복수의 개구부(12a)가 형성되어 있다. 복수의 개구부(12a)는 급배기로(PS1) 및 급배기로(PS2)와 연통되어 있고, 급배기 유닛(8A)의 가동에 의해, 개구부(12a) 근방에서의 접촉부(12) 하방의 공기가 급배기로(PS1) 및 급배기로(PS2) 내에 흡인된다. 본 실시 형태의 경우, 복수의 개구부(12a)는 중간 영역(RM)에 매트릭스형으로 분포하고 있는데, 단부 영역(EA1, EA2)에도 개구부(12a)를 마련할 수도 있다.

시트 부재(13)는 가요성(可撓性) 시트에 의해 형성되어 있다. 시트 부재(13)는 지지면(111b)과 동일한 면적을 가지고, 중앙부(131)를 제외한 그 주위 부분이 지지면(111b)에 전체적으로 고착되어 있다. 시트 부재(13)의 두께는, 본 실시 형태의 경우, 한쌍의 지지면(111a)과 지지면(111b)간의 높이차와 같고, 시트 부재(13)의 하면(시트 부재(14)측의 면)은 한쌍의 지지면(111a)과 동일면이다.

중앙부(131)는 그 윤곽이 환상의 홈(112)과 겹치는 가상적인 영역이고, 본 실시 형태의 경우, 원형의 영역이다. 중앙부(131)는 지지면(111b)으로부터 패널측으로 팽출 가능한 팽출부를 구성하고 있다. 중앙부(131)를 팽출부(131)라고 부르는 경우가 있다.

지지면(111) 상의 급배기로(PS3)의 개구부는 중간 영역(RM), 특히, 시트 부재(13)의 팽출부(131)를 향해 개구되어 있다. 팽출부(131)는 급배기로(PS3) 내부와 접촉부(12)의 주위 분위기간의 차압에 의해 지지 부재(11)로부터 팽출 가능하다. 지지면(111b)에 형성한 홈(112)과 홈(113)에 의해, 팽출부(131) 내의 기압이 균등해지는 것이 촉진되고, 팽출부(131)를 볼록하게 팽출시키는 것이 가능하다.

또한 홈(112)은 시트 부재(13)와 지지면(111b)과의 고착 영역 및 비고착 영역을 확정하는 경계홈이기도 하다. 시트 부재(13)를 접착제에 의해 지지면(111b)에 고착하는 경우, 접착제가 홈(112)에 의해 둘러싸인 영역 내로 밀려 나오면, 팽출부(131)가 지지면(111b)에 부분적으로 고착되어, 팽출을 방해할 우려가 있다. 홈(112)을 형성함으로써, 홈(112)에 의해 둘러싸인 영역 내로 밀려 나오려고 하는 접착제가 홈(112)으로 들어가고, 상기 영역 내로 밀려 나오는 것이 방지된다.

이어서, 시트 부재(14)에 대해 설명한다. 시트 부재(14)는 외형이 같은 시트(141)와 시트(142)를 적층하고, 서로 전체에 걸쳐 접착제 등으로 고착하여 형성되어 있다. 시트(141) 및 시트(142)는 모두 가요성을 가지고 있다.

시트(141)에는 시트(141)를 두께 방향으로 관통하는 개구부(141a, 141b)가 형성되어 있다. 개구부(141a)는 지지 부재(11)의 일방의 지지면(111a)에 개구된 급배기로(PS1)의 개구부와 겹치는 위치에 형성되어 있고, 급배기로(PS1)와 연통된다. 또한, 개구부(141b)는 지지 부재(11)의 일방의 지지면(111a)에 개구된 급배기로(PS2)의 개구부와 겹치는 위치에 형성되어 있고, 급배기로(PS2)와 연통된다.

또한, 시트(141)에는 복수의 홈(141c)이 형성되어 있다. 복수의 홈(141c)은 시트(141)의 하면(시트(142)측의 면)에 형성되어 있다. 본 실시 형태의 경우, 복수의 홈(141c)은 시트(141)의 길이 방향으로 연장되는 하나의 홈과, 이 홈과 교차하는 복수의 홈으로 구성되어 있고, 개구부(141a, 141b)에 연통되어 있다. 홈(141c)의 구성은 이에 한정되지 않고, 개구부(141a) 또는 개구부(141b)와 연통되기만 하면 된다.

시트(141)의 길이 방향의 양단부에는 복수의 장착공(141d)이 형성되어 있다. 복수의 장착공(141d)은 지지 부재(11)의 지지면(111a)에 형성된 복수의 장착공(114)과 겹치는 위치에 형성되고, 시트(141)를 두께 방향으로 관통한다.

시트(142)에는, 시트(142)를 두께 방향으로 관통하는 복수의 개구부(12a)가 형성되어 있다. 상술한 복수의 홈(141c)은 복수의 개구부(12a)와 겹치게 배치되어 있다. 시트(141)의 하면에 시트(142)를 겹침으로써, 시트(141)의 하면측에서 복수의 홈(141c)은 폐쇄 공간이 되어, 연통로가 형성된다. 이 연통로는 개구부(141a, 141b)를 통해 급배기로(PS1, PS2)와 복수의 개구부(12a)를 연통시킨다.

시트(142)의 길이 방향의 양단부에는, 복수의 장착공(142a)이 형성되어 있다. 복수의 장착공(142a)은 지지 부재(11)의 지지면(111a)에 형성된 복수의 장착공(114)과 겹치는 위치에 형성되고, 시트(142)를 두께 방향으로 관통한다.

시트 부재(14)는, 도 3의 (A)에 도시한 바와 같이, 단부 영역(EA1, EA2)에서 복수의 나사(12b)에 의해 지지 부재(11)에 고정된다. 시트 부재(14)의 중앙부인 중앙 영역(RM)은 지지 부재(11)에 고정되지 않고, 패널측으로 팽출 가능하게 되어 있다. 또한, 시트 부재(13)와 시트 부재(14)와의 접촉면은 서로 고착되지 않고, 단순히 겹쳐 있을 뿐이다.

도 2의 (B)는 중간 영역(RM)의 팽출예를 나타내고 있다. 동 도면의 예에서는, 급배기로(PS3)에 급기하고 있다. 이에 따라 팽출부(131)와 지지면(111b)과의 간극으로 가압된 공기가 공급되고, 접촉부(12)의 주위 분위기(외부 분위기)보다 이 간극 내의 기압이 높아진다. 그 결과, 팽출부(131)가 하방으로 볼록하게 팽출되고, 시트 부재(14)가 팽출부(131)에 의해 하부로 압압되고, 시트 부재(14)의 중간 영역(RM)이 하방으로 볼록하게 팽출되어 있다. 팽출부(131)에 의해, 중간 영역(RM)의 중심부에서 압압력을 강하게 함으로써, 시트 부재(14)의 중간 영역(RM)을 그 주연부로부터 중앙부에 걸쳐 비교적 완만하게 팽출시킬 수 있다. 시트 부재(13, 14)는 이러한 팽출이 가능한 범위에서의 가요성 혹은 신축성을 가진 재료 및 막두께의 시트재로 구성할 수 있다.

접촉면(CS)이 점착성을 갖는 구성인 경우, 시트(142)는, 예컨대 점착성을 갖도록 표면이 가공된 실리콘 고무 시트 등이고, 세정에 의해 반복적으로 점착성이 복원되는 것이어도 무방하다. 시트(141)는, 예컨대 플라스틱이다.

중간 영역(RM)을 보다 원활히 팽출시키기 위해 시트(141)에 복수의 홈을 형성할 수도 있다. 도 4의 (C)는 그 일예를 나타낸다. 동 도면의 예는, 시트(141)의 상측면(지지 부재(11)측의 면)을 나타내고 있고, 선 형상의 홈(141e)이 복수개 형성되어 있다. 각 홈(141e)은 시트(141)의 길이 방향과 교차하는 방향(여기서는 직교 방향)으로 연장되고, 또한 길이 방향으로 배열되어 있다. 팽출부(131)를 팽출시켰을 때, 시트(141)가 각 홈(141e)을 기점으로 하여 휘기 쉽게, 즉 절곡되기 쉽게 되어 있어, 시트(141)를 가요성이 낮은 재료로 구성하더라도, 시트 부재(14)의 중간 영역(RM)을 용이하게 팽출시킬 수 있다.

＜본딩 장치의 다른 구성＞　

도 1을 참조하여, 본딩 장치(A)의 다른 구성에 대해 설명한다. 승강 테이블(2)은 수평 자세로 배치된 판상의 부재이고, 복수의 승강 기구(7)에 의해 상하로 평행 이동된다. 승강 기구(7)는 베이스 테이블(4)에 지지된 지지 기둥(71)과 구동 기구(72)를 구비한다. 승강 기구(7)는, 예컨대 볼스크류 기구이며, 지지 기둥(71)의 일부에 형성된 볼스크류 기구 상을 구동 기구(72)가 이동한다. 구동 기구(72)는 볼 너트와 볼 너트를 회전시키는 모터 등의 구동원과 기어 장치 등의 동력 전달 기구를 구비한다. 구동 기구(72)는 승강 테이블(2)에 탑재되어 있고, 복수의 승강 기구(7)를 동기시켜 구동함으로써, 승강 테이블(2)을 수평 자세로 승강시킬 수 있다.

홀딩 유닛(1)은 승강 기구(21)를 통해 승강 테이블(2)에 지지되어 있다. 승강 기구(21)는 승강축(212)과, 승강축(212)을 승강하는 구동 기구(211)를 구비한다. 승강 기구(21)는, 예컨대 볼스크류 기구나 랙과 피니언 기구이다. 승강축(212)의 하단부에는 홀딩 유닛(1)이 고정되어 있다. 따라서, 승강 기구(21)의 구동에 의해 홀딩 유닛(1)을 승강시킬 수 있다.

승강 테이블(2)의 하면에는 챔버 유닛(3)이 고정되어 있다. 챔버 유닛(3)은 하방이 개방된 박스체이고, 그 내부 공간(31)에 홀딩 유닛(1)이 진퇴 가능하게 수용된다. 챔버 유닛(3)의 천정부에는 승강축(212)이 삽입 관통되는 관통공(32)이 형성되어 있고, 승강축(212) 및 관통공(32)을 둘러싸고 통형의 벨로즈(33)가 고정되어 있다. 벨로즈(33)는 그 상단이 챔버 유닛(3)에서의 내부 공간(31)을 향하는 하면에, 그 하단이 홀딩 유닛(1)에 접속된다. 이 벨로즈(33)에 의해 내부 공간(31)이 관통공(32), 즉 챔버 유닛(3)의 상측 공간과의 연통이 방지되고, 내부 공간(31)의 기밀성을 유지할 수 있다. 이에 따라, 내부 공간(31)의 기밀성을 유지한 상태로 홀딩 유닛(1)을 승강시킬 수 있다. 챔버 유닛(3)의 내부 공간(31)은 급배기 유닛(8C)과 연통되어 있다.

베이스 테이블(4) 상에는 복수의 지지 기둥(41)을 통해 챔버 유닛(5)이 지지되어 있다. 챔버 유닛(5)의 상면에는 패널이 놓이는 받침대(51)가 고정되어 있다. 받침대(51)는 홀딩 유닛(1)에 대향하도록 배치되어 있다.

챔버 유닛(5)의 상면 주연부에는 그 전 둘레에 걸쳐 실(seal)(52)이 마련되어 있다. 승강 기구(7)에 의해 승강 테이블(2)을 하강시키면 챔버 유닛(3)이 하강되고, 챔버 유닛(3)의 하면과 챔버 유닛(5)의 상면이 접촉한다. 더 정확하게는, 챔버 유닛(3)의 하면과 실(52)이 접촉하여 실(52)이 압축된다. 이에 따라 챔버 유닛(3)과 챔버 유닛(5)으로 둘러싸인 내부 공간(31)은 기밀 상태가 된다.

베이스 테이블(4)에는 이동탑재 유닛(6)이 탑재되어 있다. 이동탑재 유닛(6)은 외부와 받침대(51) 사이에서 패널의 주고받음을 행한다. 이동탑재 유닛(6)은 복수의 핀(61)과 복수의 핀(61)을 지지하는 지지 테이블(62)과, 지지 테이블(62)을 지지하는 승강 기구(63)를 구비한다. 각 핀(61)은 챔버 유닛(5)을 관통하여 형성된 핀공(5a)에 삽입통과되게 마련되어 있고, 지지 테이블(62)의 승강에 의해 받침대(51) 상으로 돌출, 퇴피가 가능하다. 도 1은 각 핀(61)이 받침대(51) 상에 돌출된 상태를 나타내고 있다. 승강 기구(63)는, 예컨대 에어 실린더나 전동 실린더 등이고, 지지 테이블(62)을 수평 자세로 승강한다. 지지 테이블(62)과 챔버 유닛(5)의 하면 사이에는, 통형의 벨로즈(53)가 고정되어 있다. 구체적으로, 벨로즈(53)의 상단이 챔버 유닛(5)의 하면에 접속되고, 벨로즈(53)의 하단이 지지 테이블(62)의 상면에 접속된다. 이 벨로즈(53)에 의해, 챔버 유닛(5)의 상측 공간이, 핀공(5a)을 통해 챔버 유닛(5)의 하부 공간과 연통하는 것이 방지된다. 그 결과, 챔버 유닛(5)의 상측 공간의 기밀성을 유지한 상태로 핀(61)을 승강시킬 수 있다.

급배기 유닛(8A~8C)은, 예컨대 펌프와 전자 제어 밸브로 구성된다. 급배기 유닛(8A)은 급배기로(PS1, PS2)의 급기, 배기, 폐색, 개방이 가능하다. 급배기 유닛(8B)는 급배기로(PS3)의 급기, 배기, 폐색, 개방이 가능하다. 급배기 유닛(8A)는 승강 기구(21)의 승강축(212) 내에 형성한 급배기로를 통해 급배기로(PS1, PS2)와 연통되어 있다. 마찬가지로 급배기 유닛(8B)은 승강 기구(21)의 승강축(212) 내에 형성한 급배기로를 통해 급배기로(PS3)와 연통되어 있다. 급배기 유닛(8C)은 내부 공간(31)의 급기, 배기, 폐색, 개방이 가능하다.

＜제어 유닛＞　

도 5는 본딩 장치(A)의 제어를 실시하는 제어 유닛(9)의 블록도이다. 제어 유닛(9)은 CPU 등의 처리부(91)와, RAM, ROM 등의 기억부(92)와, 외부 디바이스와 처리부(91)를 인터페이스하는 인터페이스부(93)를 포함한다. 인터페이스부(93)에는, 호스트 컴퓨터와의 통신을 실시하는 통신 인터페이스도 포함된다. 호스트 컴퓨터는, 예컨대 본딩 장치(A)가 배치된 제조 설비 전체를 제어하는 컴퓨터이다.

처리부(91)는 기억부(92)에 기억된 프로그램을 실행하고, 각종 센서(95)의 검출 결과나 상위 컴퓨터 등의 지시에 따라, 각종 액튜에이터(94)를 제어한다. 각종 센서(95)에는, 예컨대, 승강 기구(21)에 의해 승강되는 홀딩 유닛(1)의 위치를 검출하는 센서, 복수의 승강 기구(7)에 의해 승강되는 승강 테이블(2)의 위치를 검출하는 센서, 이동탑재 유닛(6)에 의해 승강되는 지지 테이블(62)의 위치를 검출하는 센서 등 각종 센서가 포함된다. 각종 액튜에이터(94)에는, 예컨대 급배기 유닛(8A~8C)의 구동원, 전자 제어 밸브, 승강 기구(21)의 구동원, 승강 기구(7)의 구동원, 구동 기구(63)의 구동원이 포함된다.

＜제어예＞　

처리부(91)의 제어예에 대해 도 6~도 11을 참조하여 설명한다. 여기서는 내부 공간(31)을 진공으로 하고, 내부 공간(31) 내에서 패널끼리 서로 본딩하는 예를 설명한다. 진공 중에서 패널끼리 본딩함으로써, 패널간의 기포의 혼입이 용이하게 방지된다.

도 6의 상태 ST1은 본딩 장치(A)에 본딩 대상이 되는 패널(P1)과 패널(P2)이 반입되는 상태를 나타내고 있다. 패널(P1)은, 예컨대 커버 패널이고, 패널(P2)는, 예컨대 화상 표시 패널이다. 패널(P2)의 상면에는 별도의 공정에 의해 미경화 접착층이 미리 형성되어 있다.

챔버 유닛(3)과 챔버 유닛(5)은 상하로 이격된 상태에 있다. 복수의 핀(61)은 받침대(51)로부터 돌출된 상태에 있고, 홀딩 유닛(1)의 접촉부(12)가 챔버 유닛(3)의 하면보다 약간 하방에 위치하고 있다.

패널(P2)은 반송 로봇(미도시)에 의해 본딩 장치(A)로 반입되고, 복수의 핀(61) 상에 놓인다. 패널(P1)은 반송 로봇(미도시)에 의해 접촉부(12) 바로 아래(直下)로 반입되고, 후술하는 순서로 홀딩 유닛(1)에 홀딩된다.

상태 ST2에서, 복수의 핀(61)을 하강시키고, 패널(P2)이 복수의 핀(61)으로부터 받침대(51) 상으로 이동탑재된다. 패널(P1)을 홀딩한 홀딩 유닛(1)을 승강 기구(21)에 의해 상승시켜 내부 공간(31) 내에 위치시킨다.

도 7의 상태 ST3에서 챔버 유닛(3)을 하강시키고, 챔버 유닛(3)의 하면을 챔버 유닛(5)의 상면에 접촉시켜 내부 공간(31)을 기밀하게 한다. 이 때, 패널(P1)과 패널(P2)은 상하로 이격되어 있다. 급배기 유닛(8C)의 구동에 의해 내부 공간(31) 내의 공기를 배기하여, 내부 공간(31)을 진공 상태로 한다.

내부 공간(31)을 진공 상태로 유지한 상태로 상태 ST4에서 패널(P1)을 홀딩한 홀딩 유닛(1)을 승강 기구(21)에 의해 패널(P2)측으로 하강시켜 패널(P1)과 패널(P2)을 본딩한다. 패널의 본딩을 진공 하에서 실시하기 때문에, 패널간의 기포의 혼입을 방지할 수 있다. 그 후, 급배기 유닛(8C)에 의해 내부 공간(31)을 대기 개방한다.

도 8의 상태 ST5에서 홀딩 유닛(1)을 승강 기구(21)에 의해 상승시켜, 패널(P1)로부터 홀딩 유닛(1)을 분리시킨다. 받침대(51) 상에는 본딩된 패널(P1)과 패널(P2)의 적층체(P3)가 놓인 상태가 된다. 상태 ST6에서 챔버 유닛(3)을 상승시키고, 내부 공간(31)이 밀폐 상태로부터 개방된다. 또한, 복수의 핀(61)을 상승시켜 받침대(51)로부터 적층체(P3)를 들어 올린다. 반송 로봇(미도시)이 적층체(P3)를 본딩 장치(A) 밖으로 반출하여 1단위의 처리를 종료한다.

도 9~도 11을 참조하여 홀딩 유닛(1)의 동작에 대해 설명한다. 우선, 도 6의 상태 ST1에서 홀딩 유닛(1)이 패널(P1)을 홀딩하는 동작을 설명한다. 도 9의 상태 ST101은 홀딩 유닛(1)의 바로 아래에 패널(P1)이 반입된 상태를 나타낸다. 패널(P1)은 반송 로봇의 핸드(H) 상에 놓여 있다.

상태 ST102에서 승강 기구(21)에 의해 홀딩 유닛(1)을 패널(P1) 상으로 하강시킨다. 팽출부(131)는 패널(P1)의 중앙부에 대향하는 위치에 위치하고 있다. 접촉부(12)를 패널(P1)의 상면에 접촉시킴으로써, 접촉부(12)가 패널(P1)에 점착된다. 이 점착과 함께, 급배기 유닛(8A)을 구동하고, 급배기로(PS1, PS2) 내의 공기를 배기하여, 흡인을 행한다. 이에 따라, 개구부(12a)로부터 공기가 흡인되고, 접촉부(12)에 패널(P1)이 흡착된다. 상태 ST103에서 승강 기구(21)에 의해 홀딩 유닛(1)을 상승시켜 도 6의 상태 ST2가 된다.

또한 접촉부(12)에 의해 패널(P1)을 점착시킴과 동시에, 홀딩 유닛(1)을 상승시키고, 이 상승을 행하면서 급배기 유닛(8A)에 의해 패널(P1)을 흡인, 흡착시킬 수도 있다. 이에 따라, 패널(P1)의 흡착 및 상승에 수반되는 택트 타임의 단축을 도모할 수 있다.

도 10의 상태 ST104는, 도 7의 상태 ST3에 대응되어 있고, 내부 공간(31)이 진공 상태가 된 상태이다. 패널(P1)은 홀딩 유닛(1)의 접촉부(12)에 흡착된 상태를 계속하고 있다. 상태 ST105에서, 급배기로(PS3) 내부와 접촉부(12)의 주위 분위기(내부 공간(31) 내의 분위기, 여기서는 진공)에 차압을 발생시키고, 팽출부(131)를 지지 부재(11)로부터 볼록하게 팽출시킨다. 이에 따라, 시트 부재(14)의 중간 영역(RM)이 지지 부재(11)로부터 볼록하게 팽출된다. 차압의 발생은 급배기 유닛(8B)에 의한 급배기로(PS3)의 대기 개방, 또는 급배기로(PS3)로의 가압된 공기(AUP)의 급기에 의해 행한다. 도 10의 예에서는, 알기 쉽게 급배기로(PS3)에 가압된 공기(AUP)를 급기하고 있는 화살표를 나타내고 있다. 여기서, 상태 ST105의 팽출 전에, 급배기 유닛(8B)에 의해 급배기로(PS3) 내의 공기를 배기하고, 팽출부(113)를 지지 부재(11)의 지지면(111b)에 흡착시켜 둘 수도 있다. 이에 따라, 갑작스러운 중간 영역(RM)의 팽출을 방지할 수 있다.

가압된 공기(AUP)의 급기에 의해, 시트 부재(14)의 중간 영역(RM)이 패널(P2)측으로 볼록하게 팽출하고, 시트 부재(14)의 중간 영역(RM)의 팽출을 따라 패널(P1)이 탄성적으로 만곡되어, 패널(P2)측으로 볼록하게 팽출된다. 여기서 말하는 "볼록하게 팽출"이란, 시트 부재(14)의 중간 영역(RM)이 패널(P2)측으로 볼록면 형상으로 만곡된다는 것이다.

이 때, 지지 부재(11)와 패널(P1) 사이에 접촉부(12)가 개재되어 있으므로, 접촉부(12)가 완충 부재가 되어, 패널(P1)의 만곡은 비교적 완만하게 된다. 즉, 패널(P1)에 직접 급기하여 만곡시키는 경우보다, 접촉부(12)가 개재됨으로써, 극단적인 휨의 발생을 용이하게 방지할 수 있다. 또한, 패널(P1)로의 가압은 기압차를 이용한 것이므로, 가압력이 패널(P1)의 특정 부분에 극단적으로 집중되지 않아 광범위하게 가압력을 분산시킬 수 있다. 따라서, 패널(P1)의 손상을 억제함과 아울러, 패널(P1)의 탈락을 방지할 수 있다. 또한 패널(P1)의 만곡을 용이하게 제어할 수 있다.

또한 본 실시 형태의 경우, 팽출부(131)에 의해, 시트 부재(14)의 중간 영역(RM)의 중심부에서 압압력을 강하게 함으로써, 시트 부재(14)의 중간 영역(RM)을, 그 주연부로부터 중앙부에 걸쳐 비교적 완만하게 팽출시킬 수 있다. 이 때문에, 패널(P1)도 그 주연부로부터 중앙부에 걸쳐 비교적 완만하게 만곡시킬 수 있어, 패널(P1)의 손상을 더욱 억제함과 동시에, 패널(P1)의 탈락을 방지할 수 있다.

또한, 시트 부재(14)를 시트(141)와 시트(142)의 2층 구조로 하고, 그 내부에 홈(141c)에 의한 개구부(12a)의 유통로를 형성하였기 때문에, 개구부(12a)를 임의의 위치에 형성할 수 있고, 시트 부재(14)의 중간 영역(RM)의 팽출 중에서 패널(P1)의 중앙부를 포함하는 복수의 위치에서의 흡착을 유지할 수 있다.

또한, 접촉면(CS)의 전면이 점착성을 가지므로, 접촉면(CS)의 전면에서 패널(P1)가 점착되기 때문에, 진공 하에서도 홀딩력의 확보가 용이하고, 또한 홀딩 유닛(1)에 대한 패널(P1)의 위치 어긋남이 방지된다. 위치 어긋남의 방지는 패널(P1)과 패널(P2)간의 본딩 위치의 정밀도 향상에 기여한다.

패널(P1)이 패널(P2)측에 볼록하게 팽출됨으로써, 패널(P1) 중앙부가 최초로 패널(P2)에 접촉한다. 후속 상태 ST106에서 승강 기구(21)에 의해 홀딩 유닛(1)을 하강시켜 패널(P1)과 패널(P2)을 전면적으로 접촉시킨다. 이에 따라, 본딩이 완료되고, 적층체(P3)가 얻어진다. 여기서, 패널(P1) 중앙부를 패널(P2)에 접촉시킨 후에 홀딩 유닛(1)을 하강시킴으로써, 패널(P1) 중앙부에서의 볼록한 팽출은 눌려서 되들어간다. 그 결과, 패널(P1)과 패널(P2)의 접촉은 중앙부만의 면접촉에서 전면적인 면접촉으로 방사상으로 확산된다. 이에 따라, 패널(P1)과 패널(P2) 사이에 기포가 혼입되었다 하더라도, 기포는 패널(P1) 및 패널(P2) 주변부로 밀려 나오면서, 패널(P1)과 패널(P2)간의 본딩이 행해진다. 본 실시 형태의 경우, 패널(P1, P2)의 본딩을 진공 하에서 행하기 때문에, 공기는 거의 존재하지 않지만, 기포의 혼입을 완전히 없애기는 곤란하다. 그러나, 만일 패널(P1)과 패널(P2) 사이에 기포가 혼입되었다 하더라도, 공기를 주변부로 밀어 내도록 패널(P1)과 패널(P2)간의 본딩을 행함으로써, 기포는 완전하게 패널(P1, P2)의 외측으로 밀려 나와 기포의 혼입이 없는 적층체(P3)를 얻을 수 있다.

패널(P1, P2)의 본딩이 완료된 후, 상기한 바와 같이, 내부 공간(31)이 대기 개방된다. 도 11의 상태 ST107에 도시한 바와 같이, 급배기로(PS1, PS2)의 배기를 종료하여 흡착을 해제한다. 급배기로(PS1, PS2)는 대기 개방해도 무방하다. 또한, 급배기로(PS3) 내로의 가압된 공기(AUP)의 공급이 정지된다. 이 때, 급배기로(PS3)를 대기 개방하도록 해도 되고, 또는 급배기로(PS3) 내로 가압된 공기(AUP)를 계속 급기할 수도 있다.

이어서, 홀딩 유닛(1)과 패널(P1)을 분리하는 동작으로 이행한다. 상태 ST108에서는, 급배기 유닛(8A)을 구동하고, 급배기로(PS1, PS2)에 가압된 공기(AUP)를 급기한다. 개구부(12a)로부터 가압된 공기(AUP)를 분출시키고, 접촉면(CS)으로부터 패널(P1)을 적극적으로 분리시킨다. 이와 같이 급배기로(PS1, PS2)는 패널(P1)의 흡착뿐만 아니라, 분리 촉진에도 이용할 수 있다. 급배기로(PS3)를 대기 개방시키고(또는 가압된 공기(AUP)를 급기하고), 또한 승강 기구(21)에 의해 홀딩 유닛(1)을 상승시킴과 아울러, 팽출부(113)의 팽출에 의해 중간 영역(RM)을 볼록하게 팽출시킨다. 이것도 접촉부(12)와 패널(P1)의 분리를 촉진하고, 패널(P1)과 패널(P2)의 적층체를 받침대(51)에 위치시켜 둘 수 있다. 상태 ST109에서는, 급배기로(PS1, PS2)로의 가압된 공기(AUP)의 급기 정지와, 급배기로(PS3)의 대기 개방(또는 가압된 공기(AUP)의 급기)을 정지한 상태를 나타낸다.

이상에 의해 패널(P1, P2)의 본딩이 완료된다. 또한 본 실시 형태에서는, 진공 하에서 패널(P1)과 패널(P2)간의 본딩을 행하였지만, 대기 분위기 하에서 행할 수도 있다. 이 경우, 내부 공간(31)의 형성 및 내부 공간(31)을 진공으로 하기 위한 구성은 불필요하다. 대기 분위기 하에서 본딩을 행하는 경우도, 급배기로(PS1, PS2)의 급배기는 진공 하에서 행하는 경우와 마찬가지이지만, 팽출부(113)의 팽출시에 급배기로(PS3)를 대기 개방시키는 것만으로는 팽출시킬 수 없다. 이 때문에, 이 때는 급배기로(PS3) 내로 가압된 공기(AUP)를 급기하여, 급배기로(PS3) 내부를 대기압보다 높게 할 필요가 있다.

＜제2 실시 형태＞　

제1 실시 형태에서는, 시트 부재(13)의 탄성 변형에 의해 중간 영역(RM)을 팽출시켰지만, 가동 부재의 변위에 의해 중간 영역(RM)을 팽출시키는 구성으로도 할 수 있다. 이하, 그 구성예를 설명한다.

도 12의 (A) 및 도 12의 (B)는 제1 실시 형태의 홀딩 유닛(1)을 대신하는 홀딩 유닛(1A)의 설명도이다. 이하의 설명 및 도면에서는, 홀딩 유닛(1A)의 구성 중 홀딩 유닛(1)과 동일한 구성 또는 마찬가지의 구성에 대해서는 동일한 부호를 부여한다. 이하의 설명에서는, 홀딩 유닛(1)과 홀딩 유닛(1A)의 차이점을 중심으로 설명하겠지만, 개략적으로 홀딩 유닛(1A)은 시트 부재(13) 대신에 가동 부재(15)가 마련되어 있다.

도 12의 (A) 및 도 12의 (B)는 홀딩 유닛(1A)의 중앙 및 가동 부재(15)를 지나는 절단선 상의 절단면에서의 단면도를 나타내고 있고, 도 12의 (A)는 접촉부(12)의 중간 영역(RM)이 팽출되지 않은 상태를 나타내고, 도 12의 (B)는 중간 영역(RM)이 팽출된 상태를 나타낸다. 도 13의 (A)는 접촉부(12)의 접촉면(CS)의 설명도이고, 홀딩 유닛(1A)의 저면도이다. 도 13의 (B)는 지지 부재(11)의 지지면(111)의 설명도이다. 도 13의 (C) 및 (D)는 가동 부재(15)의 사시도이고, 도 13의 (C)는 상측(승강축(212)측)에서 본 사시도이며, 도 13의 (D)는 하측(시트 부재(14)측)에서 본 사시도이다. 도 14의 (A)는 시트 부재(14)를 구성하는 시트(141)의 설명도이고, 그 하면(시트(142)과 본딩되는 면)을 나타낸다. 도 14의 (B)는 시트 부재(14)를 구성하는 시트(142)의 설명도이고, 그 하면(접촉면(CS))을 나타낸다.

홀딩 유닛(1A)는 지지 부재(11)와 접촉부(12)를 구비한다. 지지 부재(11)에는 복수의 급배기로(PS1~PS3)가 형성되어 있다. 복수의 급배기로(PS1~PS3)는 모두 지지면(111)에 개구되어 있다. 지지면(111)은 그 길이 방향 양단부에 위치하는 수평인 한 쌍의 지지면(111a)과, 한 쌍의 지지면(111a) 사이에 위치하는 지지면(111b)을 구비한다. 본 실시 형태의 경우, 한 쌍의 지지면(111a)과 지지면(111b)은 단차 없이 연속되어 있다.

지지면(111b)에는 중간 영역(RM)에 대응되는 위치에서 개구된 오목부(111c)가 형성되어 있고, 이 오목부(111c)에는 가동 부재(15)가 삽입된다. 오목부(111c)와 가동 부재(15)의 쌍은 1쌍이어도 무방하나, 본 실시 형태에서는 복수쌍(여기서는 16쌍) 마련되어 있다. 16쌍의 오목부(111c) 및 가동 부재(15)는 중간 영역(RM) 내에서 매트릭스형으로 배치되어 있고, 지지면(111b)의 길이 방향으로, 예컨대 4행, 가로 방향으로, 예컨대 4열 배치되어 있다.

오목부(111c)는 가동 부재(15)의 변위를 안내하는 안내공을 구성하고 있다. 본 실시 형태의 경우, 가동 부재(15)는 시트 부재(14)측에 지지면(111b)으로부터 돌출된 돌출 위치(도 12의 (B))와, 지지면(111b)보다 상방으로 인입시킨 비돌출 위치(도 12의 (A)) 사이에서 변위 가능하다. 오목부(111c)의 형상은 가동 부재(15)의 형상에 맞추어 형성되어 있고, 본 실시 형태의 경우, 원형 단면의 통형으로 형성되어 있다. 오목부(111c)는, 그 상측의 벽부에 형성된 오목부(111d)를 통해 급배기로(PS3)와 연통되어 있다.

가동 부재(15)는 전체적으로 원기둥 형상을 이루고 있고, 예컨대 알루미늄 등의 금속재료로 구성된다. 가동 부재(15)의 상면에는 오목부(15a)가 형성되고, 가동 부재(15)의 하면에는 압압면(15c)을 형성하고 있다. 압압면(15c)은 볼록하게 형성되어 있다. 가동 부재(15)의 측둘레면에는 전 둘레에 걸쳐 홈(15b)이 형성되어 있고, 이 환상의 홈(15b)에는 O링 등의 실링 부재(16)가 끼워맞추어진다. 실링 부재(16)는 오목부(111c)의 내주면과 가동 부재(15)의 측둘레면 사이에 개재되어, 급배기로(PS3)측 공간과 시트 부재(14)측 공간을 실링하여 공기 누설을 막고 있다.

본 실시 형태의 경우, 접촉부(12)는 상술한 가동 부재(15)와 시트 부재(14)를 구비하고 있다. 가동 부재(15)는 시트 부재(14)와 지지 부재(11) 사이에 위치하고 있고, 가동 부재(15)가 시트 부재(14)측에 변위(돌출)됨으로써 시트 부재(14)를 팽출시킬 수 있다.

접촉부(12)는, 도 13의 (A)에 도시한 바와 같이, 단부 영역(EA1, EA2)과 중간 영역(RM)을 포함한다. 중간 영역(RM)은 지지 부재(11)에 고정되지 않고, 패널측으로 팽출 가능한 영역이고, 단부 영역(EA1, EA2)은 지지 부재(11)에 나사(12b)로 고정된 고정 영역이며, 패널측으로 팽출 불가능한 영역이다. 본 실시 형태의 경우, 중간 영역(RM)에는 가동 부재(15)가 배치되고, 단부 영역(EA1, EA2)은 시트 부재(14)로만 구성되어 있다.

접촉면(CS) 중 단부 영역(EA1, EA2)은 패널의 점착 홀딩이 가능한 점착성을 가질 수도 있다. 이에 따라 패널 홀딩력을 향상시킬 수 있다. 패널을 홀딩할 때, 단부 영역(EA1)이 패널의 일방의 단부를, 단부 영역(EA2)이 패널의 다른 일방의 단부를 각각 점착하도록 단부 영역(EA1, EA2)이 구성되어, 소정의 위치에 배치된다. 중간 영역(RM)은 패널의 점착이 불가능한 비점착성을 가질 수도 있고, 패널의 점착 홀딩이 가능한 점착성을 가질 수도 있다. 중간 영역(RM)의 점착성은 단부 영역(EA1, EA2)의 점착성과 동일할 수도 있고, 또는 단부 영역(EA1, EA2)의 점착성보다 낮을 수도 있다.

패널의 홀딩력 향상이라는 점에서, 접촉면(CS)의 전면, 즉 단부 영역(EA1, EA2) 및 중간 영역(RM)이 점착성을 갖는 것이 바람직하다. 본 실시 형태에서는, 접촉면(CS)의 전면이 점착성을 갖는 구성을 상정한다.

도 13의 (A)에 도시한 바와 같이 접촉면(CS)에는 복수의 개구부(12a)가 형성되어 있다. 복수의 개구부(12a)는 후술하는 연통로(홈(141c) 및 개구부(141a, 141b)를 통해 급배기로(PS1) 및 급배기로(PS2)와 연통되어 있다. 따라서, 급배기 유닛(8A)의 가동에 의해, 개구부(12a) 근방에서의 접촉부(12) 하방의 공기가 개구부(12a)를 통해 급배기로(PS1) 및 급배기로(PS2) 내로 흡인된다. 본 실시 형태의 경우, 복수의 개구부(12a)는 중간 영역(RM)에 매트릭스형으로 분포되어 있는데, 단부 영역(EA1, EA2)에도 개구부(12a)를 마련할 수 있다.

이어서, 시트 부재(14)에 대해 설명한다. 시트 부재(14)는 제1 실시 형태와 동일하고, 외형이 동일한 시트(141)와 시트(142)를 적층하고, 서로 전체에 걸쳐 접착제 등으로 고착 형성되어 있다. 시트(141) 및 시트(142)는 모두 가요성을 가지고 있다.

시트(141)에는 시트(141)를 두께 방향으로 관통하는 개구부(141a, 141b)가 형성되어 있고, 개구부(141a)는 급배기로(PS1)와 연통된다. 또한, 개구부(141b)는, 지지 부재(11)의 다른 일방의 지지면(111a)에 개구된 급배기로(PS2)의 개구부와 겹치는 위치에 형성되어 있어, 급배기로(PS2)와 연통된다.

시트(141)에는 또한, 시트(141)의 하면(시트(142)측의 면)에 복수의 홈(141c)이 형성되어 있다. 본 실시 형태의 경우, 복수의 홈(141c)은 시트(141)의 폭 방향으로 연장되는 하나의 홈과, 이 홈과 교차하는 복수의 홈으로 구성된 생선뼈 모양 집합 홈이며, 개구부(141a, 141b)에 연통되어 있다.

시트(141)의 길이 방향의 양단부에는 지지면(111a)에 형성된 복수의 장착공(114)과 겹치는 위치에, 복수의 장착공(141d)이 형성되어 있다.

시트(142)에는, 시트(142)를 두께 방향으로 관통하는 복수의 개구부(12a)가 형성되어 있고, 상술한 복수의 홈(141c)과 복수의 개구부(12a)가 겹치게 배치되어 있다. 즉, 전술한 "복수의 개구부(12a)는 중간 영역(RM)에 매트릭스형으로 분포"는 이러한 복수의 홈(141c)을 따라, 또한 홈(141c)을 향해 복수의 개구부(12a)가 개구 형성된다는 것이다. 여기서, 복수의 개구부(12a)가 "복수의 홈(141c)을 따라, 또한 홈(141c)을 향해" 개구 형성되어 있다는 것은, 직선적이나 지그재그 모양의 규칙적인 배치나, 임의의 불규칙한 배치를 모두 포함한다. 시트(141)의 하면에 시트(142)를 겹침으로써, 시트(141)의 하면측에서 복수의 홈(141c)은 폐쇄 공간이 되어, 연통로가 형성된다. 이 연통로를 통해 개구부(141a, 141b)와 복수의 개구부(12a)가 연통된다.

시트(142)의 길이 방향 양단부에는 지지면(111a)에 형성된 복수의 장착공(114)과 겹치는 위치에 복수의 장착공(142a)이 형성되어 있다.

시트 부재(14)는, 도 13의 (A)에 도시한 바와 같이, 단부 영역(EA1, EA2)에서 복수의 나사(12b)로 지지 부재(11)에 고정된다. 시트 부재(14)의 중앙부인 중앙 영역(RM)은 지지 부재(11)에 고정되지 않고, 패널측으로 팽출 가능하게 되어 있다.

도 12의 (B)는 중간 영역(RM)의 팽출예를 나타내고 있다. 동 도면의 예에서는, 가압된 공기가 급배기로(PS3)로 급기된다. 이에 따라 오목부(111c)로 가압된 공기가 공급되고, 접촉부(12)의 주위 분위기(외부 분위기)보다 오목부(111d) 내부나 오목부(111c) 내의 오목부(15a) 내부의 기압이 높아진다. 그 결과, 가동 부재(15)가 오목부(111c)로부터 밀려 나와 시트 부재(14)측으로 돌출된다. 시트 부재(14)가 가동 부재(15)에 의해 하부로 압압되고, 시트 부재(14)의 중간 영역(RM)이 하방으로 볼록하게 팽출된다. 가동 부재(15)를 복수 마련함으로써, 시트 부재(14)의 중간 영역(RM)을 그 주연부로부터 중앙부에 걸쳐 비교적 완만하게 팽출시킬 수 있다. 시트 부재(14)는 이러한 팽출이 가능한 범위로의 가요성 혹은 신축성을 가진 재료 및 막두께의 시트재로 구성할 수 있다. 가동 부재(15)의 압압면은 볼록면 형상을 이루고 있으므로, 팽출에 의해 시트 부재(14)가 변형되었다 하더라도, 압압면의 적어도 일부가 반드시 시트 부재(14)에 접촉하기 때문에, 접촉 상태를 유지할 수 있다. 또한, 가동 부재(15)의 압압면과 시트 부재(14)가 접촉할 때, 일부에 과도한 압력이 가해져 시트 부재(14)가 파손되거나 할 우려가 없다. 그 결과, 반복 응력 부여시의 시트 부재(14)의 내구 수명이 향상된다. 도 4의 (C)에 예시한 바와 같이 중간 영역(RM)을 보다 원활히 팽출시키기 위해, 시트(141)에 복수의 홈을 형성할 수도 있다.

본 실시 형태의 경우, 각 오목부(111c)는 공통의 급배기로(PS3)에 연통되어 있으므로, 기압은 동일하다. 그러나, 오목부(111c)를 따라 다른 급배기로(PS3)에 연통하도록 하여, 오목부(111c)를 따라 기압이 달라지게 할 수도 있다. 이 경우, 예컨대, 중간 영역(RM)의 중앙측에 위치하는 오목부(111c) 내의 기압이, 중간 영역(RM)의 주연측에 위치하는 오목부(111c) 내의 기압보다 높아지도록, 다른 급배기로(PS3)에 기압차를 갖게 하여 급기하게 할 수도 있다.

중간 영역(RM)의 팽출을 종료시키고, 도 12의 (A) 상태로 되돌리는 경우, 오목부(111c) 내의 기압을 접촉부(12)의 주위 분위기(외부 분위기)와 동압으로 하면 된다. 시트 부재(14)가 원래의 형상으로 복귀하는 탄성력에 의해 가동 부재(15)가 압압되고, 비돌출 위치로 인입된다. 오목부(111c) 내의 기압을 접촉부(12)의 주위 분위기(외부 분위기)보다 감압해도 되고, 그 경우, 가동 부재(15)가 비돌출 위치로 복원되기 쉬워진다.

홀딩 유닛(1A)을 이용한 제어예(패널간의 본딩예)는, 도 6~도 11을 참조하여 설명한 홀딩 유닛(1)의 경우와 동일하다. 즉, 제1 실시 형태에서의 팽출부(113)의 팽출이 가동 부재(15)의 시트 부재(14)측으로의 돌출로 치환되는 것 뿐이다. 본 실시 형태의 경우, 가동 부재(15)의 돌출을 이용하여 중간 영역(RM)의 팽출을 행하기 때문에, 시트 부재(13)의 변형을 이용한 홀딩 유닛(1)보다 내구성 면에서 유리한 경우가 있다.

A　 본딩 장치
P1　 패널
P2　 패널
1 홀딩 유닛
11 지지 부재
12 접촉부
RM　 중간 영역
PS1~PS3 　급배기로

Claims

서로 본딩되는 패널 중 일방의 패널을 홀딩하는 홀딩 유닛으로서,
복수의 급배기로를 구비한 지지 부재와,
상기 지지 부재에 지지되고, 패널에 접촉되는 접촉부를 포함하고,
상기 접촉부는,　
복수의 개구부와,
패널의 중앙부에 대응되는 위치에서 패널측으로 팽출 가능한 중간 영역을 포함하고,
상기 복수의 급배기로는,　
상기 복수의 개구부에 연통된 제1 급배기로와,
제2 급배기로를 포함하고,
상기 접촉부는,　
패널을 흡착하는 제1 시트 부재와,
상기 제1 시트 부재와 상기 지지 부재 사이에 배치된 제2 시트 부재를 구비하고,
상기 제1 시트 부재는,　
상기 복수의 개구부와,
상기 복수의 개구부와 상기 제1 급배기로를 연통시키는 연통로를 가지며,
상기 제2 시트 부재는, 상기 중간 영역에 배치되고, 패널측으로 팽출 가능한 팽출부를 가지며,
상기 제2 급배기로는 상기 팽출부를 향해 개구되어 있으며,
상기 중간 영역은 상기 제2 급배기로 내부와 상기 접촉부의 주위 분위기간의 차압(差壓)에 의해 상기 팽출부가 패널측으로 팽출함으로써 상기 지지 부재로부터 팽출 가능한 것을 특징으로 하는 홀딩 유닛.
청구항 1에 있어서,
상기 지지 부재는 상기 접촉부를 지지하는 지지면을 포함하고,
상기 제1 급배기로 및 상기 제2 급배기로는 상기 지지면에 개구되어 있는 것을 특징으로 하는 홀딩 유닛.
삭제
청구항 1에 있어서,
상기 제1 시트 부재는, 패널의 중앙부에 대응되는 위치에 형성되고, 상기 연통로를 통해 상기 제1 급배기로와 연통하는 복수의 개구부를 구비하는 것을 특징으로 하는 홀딩 유닛.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 시트 부재는,　
상기 복수의 개구부가 형성된 제1 시트와,
상기 제1 시트에 적층된 제2 시트를 포함하고,
상기 제2 시트는 상기 제1 시트측의 면에, 상기 연통로를 형성하는 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 홀딩 유닛.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 시트 부재는,　
제1 단부와,
제2 단부와,
상기 제1 단부와 상기 제2 단부 사이에서 패널의 중앙부에 대응되는 중앙부를 포함하고,
상기 제1 시트 부재는 상기 제1 단부와 상기 제2 단부에서 상기 지지 부재에 고정되는 것을 특징으로 하는 홀딩 유닛.
삭제
삭제
삭제
삭제
서로 본딩되는 패널 중 일방의 패널을 홀딩하는 홀딩 유닛으로서,
복수의 급배기로를 구비한 지지 부재와,
상기 지지 부재에 지지되고, 패널에 접촉되는 시트 부재와,
상기 지지 부재와 상기 시트 부재 사이에 배치된 가동 부재를 포함하고,
상기 시트 부재는,　
복수의 개구부와,
패널의 중앙부에 대응되는 위치에서 패널측으로 팽출 가능한 중간 영역을 포함하며,
상기 가동 부재는 상기 중간 영역에 배치되고,
상기 복수의 급배기로는,　
상기 복수의 개구부에 연통된 제1 급배기로와,
상기 가동 부재를 향해 개구되는 제2 급배기로를 포함하고,
상기 가동 부재는 상기 제2 급배기로 내부와 상기 시트 부재의 주위 분위기간의 차압에 의해 상기 시트 부재측으로 변위 가능하고, 상기 가동 부재가 상기 시트 부재측으로 변위됨으로써, 상기 시트 부재의 상기 중간 영역이 팽출되는 것을 특징으로 하는 홀딩 유닛.
청구항 11에 있어서,
상기 시트 부재는,　
상기 복수의 개구부가 형성된 제1 시트와,
상기 제1 시트에 적층된 제2 시트를 포함하고,
상기 제2 시트는 상기 제1 시트측의 면에, 상기 제1 급배기로와 상기 복수의 개구부를 연통시키는 연통로를 형성하는 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 홀딩 유닛.
청구항 11에 있어서,
상기 시트 부재는,　
제1 단부와,
제2 단부와,
상기 제1 단부와 상기 제2 단부 사이에서 패널의 중앙부에 대응되는 중앙부를 포함하고,
상기 시트 부재는 상기 제1 단부와 상기 제2 단부에서 상기 지지 부재에 고정되는 것을 특징으로 하는 홀딩 유닛.
청구항 11에 있어서,
상기 지지 부재는 상기 시트 부재를 지지하는 지지면을 포함하고,
상기 지지면은 상기 중간 영역에 대응되는 위치에서 개구되고, 또한 상기 제2 급배기로와 연통된 오목부를 포함하며,
상기 가동 부재는 상기 오목부에 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 홀딩 유닛.
청구항 14에 있어서,
상기 가동 부재는 상기 지지면으로부터 돌출된 돌출 위치와, 비돌출 위치 사이에서, 상기 오목부의 깊이 방향으로 변위 가능하게 상기 오목부에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 홀딩 유닛.
청구항 14에 있어서,
상기 오목부와 상기 가동 부재를 복수쌍 구비하고,
각각의 상기 오목부에 상기 제2 급배기로가 연통되어 있는 것을 특징으로 하는 홀딩 유닛.
제1 패널을 홀딩 유닛으로 홀딩하고, 제2 패널과 본딩하는 본딩 방법으로서,
상기 홀딩 유닛은,　
복수의 급배기로를 구비한 지지 부재와,
상기 지지 부재에 지지되고, 패널에 접촉되는 접촉부를 포함하고,
상기 접촉부는,　
복수의 개구부와,
패널의 중앙부에 대응되는 위치에서 패널측으로 팽출 가능한 중간 영역을 포함하며,
상기 복수의 급배기로는,　
상기 복수의 개구부에 연통된 제1 급배기로와,
제2 급배기로를 포함하고,
상기 접촉부는,　
패널을 흡착하는 제1 시트 부재와,
상기 제1 시트 부재와 상기 지지 부재 사이에 배치된 제2 시트 부재를 구비하고,
상기 제1 시트 부재는,　
상기 복수의 개구부와,
상기 복수의 개구부와 상기 제1 급배기로를 연통시키는 연통로를 가지며,
상기 제2 시트 부재는, 상기 중간 영역에 배치되고, 패널측으로 팽출 가능한 팽출부를 가지며,
상기 제2 급배기로는 상기 팽출부를 향해 개구되어 있으며,
상기 본딩 방법은,　
상기 제1 패널에서의 본딩면과 반대측의 면과, 상기 접촉부를 접촉시키는 공정과,
상기 제1 패널을 상기 제1 급배기로의 배기에 의해 상기 접촉부에 흡착하는 공정과,
상기 제2 급배기로 내부와 상기 접촉부의 주위 분위기간의 차압에 의해, 상기 팽출부를 패널측으로 팽출시킴으로써 상기 지지 부재로부터 상기 중간 영역을 상기 제2 패널을 향해 볼록하게 팽출시키는 팽출 공정과,
볼록하게 팽출된 상기 중간 영역에 의해, 상기 제1 패널의 중앙부를 볼록하게 만곡시키는 공정과,
볼록하게 만곡된 상기 제1 패널의 중앙부를 상기 제2 패널에 접촉시키는 공정과,
상기 제1 패널 및 상기 제2 패널 중 적어도 어느 하나를 서로 근접하는 방향으로 이동시키고, 상기 제1 패널과 상기 제2 패널이 접촉하는 영역을, 이들 패널의 각 주연(周緣)부를 향해 확산시키는 공정과,
상기 제1 패널의 흡착을 해제하는 해제 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 본딩 방법.
청구항 17에 있어서,
상기 해제 공정 후에 상기 제1 급배기로 및 상기 제2 급배기로에 급기하는 것을 특징으로 하는 본딩 방법.
청구항 17에 있어서,
상기 해제 공정 후에, 상기 제2 급배기로 내부와 상기 접촉부의 주위 분위기간의 차압에 의해, 상기 팽출부를 패널측으로 팽출시킴으로써 상기 지지 부재로부터 상기 중간 영역을, 본딩 후의 상기 제1 패널 및 상기 제2 패널을 향해 볼록하게 팽출시키는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 본딩 방법.
삭제
제1 패널을 홀딩 유닛으로 홀딩하고, 제2 패널과 본딩하는 본딩 방법으로서,
상기 홀딩 유닛은,　
복수의 급배기로를 구비한 지지 부재와,
상기 지지 부재에 지지되고, 패널에 접촉되는 시트 부재와,
상기 지지 부재와 상기 시트 부재 사이에 배치된 가동 부재를 포함하고,
상기 시트 부재는,　
복수의 개구부와,
패널의 중앙부에 대응되는 위치에서 패널측으로 팽출 가능한 중간 영역을 포함하며,
상기 복수의 급배기로는,　
상기 복수의 개구부에 연통된 제1 급배기로와,
상기 가동 부재를 향해 개구되는 제2 급배기로를 포함하고,
상기 본딩 방법은,　
상기 제1 패널에서의 본딩면과 반대측의 면과, 상기 시트 부재를 접촉시키는 공정과,
상기 제1 패널을 상기 제1 급배기로의 배기에 의해 상기 시트 부재에 흡착하는 공정과,
상기 제2 급배기로 내부와 상기 시트 부재의 주위 분위기간의 차압에 의해, 상기 가동 부재를 변위시키고, 상기 지지 부재로부터 상기 중간 영역을 상기 제2 패널을 향해 볼록하게 팽출시키는 팽출 공정과,
볼록하게 팽출된 상기 중간 영역에 의해, 상기 제1 패널의 중앙부를 볼록하게 만곡시키는 공정과,
볼록하게 만곡된 상기 제1 패널의 중앙부를 상기 제2 패널에 접촉시키는 공정과,
상기 제1 패널 및 상기 제2 패널 중 적어도 어느 하나를 서로 근접하는 방향으로 이동시키고, 상기 제1 패널과 상기 제2 패널이 접촉하는 영역을, 이들 패널의 각 주연부를 향해 확산시키는 공정과,
상기 제1 패널의 흡착을 해제하는 해제 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 본딩 방법.
청구항 21에 있어서,
상기 해제 공정 후에 상기 제1 급배기로 및 상기 제2 급배기로에 급기하는 것을 특징으로 하는 본딩 방법.
청구항 21에 있어서,
상기 해제 공정 후에, 상기 제2 급배기로 내부와 상기 시트 부재의 주위 분위기간의 차압에 의해, 상기 가동 부재를 변위시키고, 상기 지지 부재로부터 상기 중간 영역을, 본딩 후의 상기 제1 패널 및 상기 제2 패널을 향해 볼록하게 팽출시키는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 본딩 방법.