JP2020100502A - ガラスフィルムの製造方法及び製造装置、並びにガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、図3に示すように、支持体1上にガラスフィルム2を積層して積層体3を形成する。
上述のようにガラスフィルム2を含む積層体3を形成した後、この積層体3に対して加熱を伴う電子デバイスの製造関連処理、具体的には、電子デバイス要素としての有機EL素子5の取付けを行う。これにより、図5に示すように、積層体3の一部をなすガラスフィルム2の支持体1とは反対側の表面2b上に有機EL素子5が形成される。そして、カバーガラス6を有機EL素子5上に載置して、カバーガラス6の周縁をガラスフィルム2に固定することで、有機EL素子5を封止する。これにより、有機ELパネル7に支持体1が固定された状態の支持体付き有機ELパネル8が形成される。
このようにして、支持体付き有機ELパネル8を形成(準備)した後、支持体付き有機ELパネル8を構成するガラスフィルム2から支持体1を剥離することで、支持体付き有機ELパネル8を、有機ELパネル7と支持体1とに分離する(図1を参照)。なお、図6以降においては、支持体付き有機ELパネル8に含まれる有機EL素子5及びカバーガラス6の図示を省略している。
本実施形態では、まず図6(a)に示すように、支持体1を下方に配置し、ガラスフィルム2を上方に配置した状態で、ガラスフィルム2のコーナー部4を支持体1から剥離して、コーナー部4と支持体1との間に剥離起点部9を形成する。ここで、剥離起点部9を形成するための手段は任意であるが、例えばナイフなどの剥離起点部形成部材10をガラスフィルム2のコーナー部4と支持体1との間に挿入することで、コーナー部4の直下に剥離起点部9を形成する(図6(b)を参照)。
(S6)第二剥離進展工程
上述のようにしてガラスフィルム2と支持体1との間に剥離起点部9を形成した後、剥離起点部9を所定の方向に進展させる。図7に、上記剥離を行うための剥離装置11の平面図を示す。また、図8に、図7に示す剥離装置11の要部断面図であって、支持体1の第一の辺1c(図7でいえば、縦方向に伸びる辺)に沿った仮想断面で切ったときの断面図を示す。図7及び図8に示すように、剥離装置11は、ガラスフィルム2を含む有機ELパネル7と支持体1のうち何れか一方のワークを保持する保持部材12と、他方のワークを吸着する複数の吸着パッド13と、吸着パッド13に取付けられたベローズ14と、ベローズ14に連結される排気室15と、排気室15に接続される排気用駆動部16とを有する。また、本実施形態では、剥離装置11は、ベローズ14を介して排気室15に接続された吸着パッド13の引き上げ対象(ここでは支持体1)に対する高さ位置を変更する高さ位置変更装置17をさらに有する。以下、各要素の詳細を説明する。
1c,1d 辺
2 ガラスフィルム
3 積層体
4 コーナー部
5 有機EL素子
6 カバーガラス
7 有機ELパネル
8 支持体付き有機ELパネル
9 剥離起点部
9’ 剥離領域
10 剥離起点部形成部材
11 剥離装置
12 保持部材
13(13a〜13i,13A〜13I) 吸着パッド
14(14a〜14i,14A〜14I) ベローズ
15 排気室
16 排気用駆動部
17 高さ位置変更装置
18 載置面
19 溝
20 吸引孔
21 吸引装置
22 切替え弁
23 取付け部
24 昇降駆動部
25 フィルム
31 支持体付き液晶パネル
32 液晶パネル
33 スペーサ
F 引き剥がし力
S1 積層体形成工程
S2 取付け工程
S3 分離工程
S4 剥離起点部形成工程
S5 第一剥離進展工程
S6 第二剥離進展工程
S7 剥離進展工程(対角線)
z0 初期収縮量
z1 減圧時収縮量
Claims (9)
- 製造関連処理が施されたガラスフィルムが、前記ガラスフィルムを支持する支持体上に積層された状態の積層体を準備する準備工程と、
前記支持体と前記ガラスフィルムのうち一方のワークを他方のワークから剥離して、前記準備した積層体を、前記支持体と前記ガラスフィルムとに分離する分離工程とを備えたガラスフィルムの製造方法において、
前記分離工程で、ベローズが取付けられた吸着パッドを使用し、減圧により前記吸着パッドで前記一方のワークを吸着すると共に前記ベローズを収縮させて、前記一方のワークに前記他方のワークからの引き剥がし力を付与することを特徴とする、ガラスフィルムの製造方法。 - 前記剥離進展方向に沿って複数の前記吸着パッドを配置し、
前記剥離進展後方側の吸着パッドで前記一方のワークを吸着して前記ベローズの収縮を開始した後、前記剥離進展後方側の吸着パッドと隣接する剥離進展前方側の吸着パッドで前記一方のワークを吸着して前記ベローズの収縮を開始する請求項1に記載のガラスフィルムの製造方法。 - 前記剥離進展後方側の吸着パッドに取付けられた前記ベローズの収縮により、前記剥離進展領域が少なくとも前記剥離進展前方側の吸着パッドの直下にまで到達したことを条件として、前記剥離進展前方側の吸着パッドによる前記一方のワークの吸着及び前記ベローズの収縮を開始する請求項2に記載のガラスフィルムの製造方法。
- 前記吸着パッドの前記一方のワークに対する高さ位置を変更可能な高さ位置変更装置を使用して、前記ベローズの減圧時の収縮量を調整する請求項1〜3の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
- 前記一方のワークは矩形状をなし、
前記分離工程は、前記一方のワークのコーナー部に剥離起点部を形成する剥離起点部形成工程と、
前記剥離起点部を、前記一方のワークの第一の辺に沿って進展させる第一剥離進展工程と、
前記第一の辺に沿って進展させた剥離進展領域を、前記第一の辺と直交する前記一方のワークの第二の辺に沿って進展させる第二剥離進展工程とを有する請求項1〜4の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。 - 前記第一剥離進展工程では、前記ベローズとして相対的に変形し易いベローズが取付けられた吸着パッドを使用し、前記第二剥離進展工程では、前記ベローズとして相対的に変形し難いベローズが取付けられた吸着パッドを使用する請求項5に記載のガラスフィルムの製造方法。
- 前記支持体は板状ガラスであって、前記積層体において、前記板状ガラスと前記ガラスフィルムとが直接密着している請求項1〜6の何れかに記載のガラスフィルムの製造方法。
- 前記ガラスフィルムが、前記ガラスフィルムを支持する支持体上に積層された状態の積層体の前記支持体と前記ガラスフィルムのうち一方のワークを他方のワークから剥離するための剥離装置を備えたガラスフィルムの製造装置において、
前記剥離装置は、前記一方のワークを吸着する吸着パッドを有する共に、前記吸着パッドにはベローズが取付けられており、
前記吸着パッドは、減圧により前記一方のワークを吸着すると共に前記ベローズを収縮させて、前記一方のワークに前記他方のワークからの引き剥がし力を付与するよう構成されていることを特徴とする、ガラスフィルムの製造装置。 - 電子デバイス要素が取付けられたガラスフィルムが、前記ガラスフィルムを支持する支持体上に積層された状態の積層体である支持体付き電子デバイスを準備する準備工程と、
前記支持体と前記ガラスフィルムのうち一方のワークを他方のワークから剥離して、前記準備した支持体付き電子デバイスを、前記ガラスフィルムを含む電子デバイスと前記支持体とに分離する分離工程とを備えた電子デバイスの製造方法において、
前記分離工程で、ベローズが取付けられた吸着パッドを使用し、減圧により前記吸着パッドで前記一方のワークを吸着すると共に、前記ベローズを収縮させて前記一方のワークに前記他方のワークからの引き剥がし力を付与することを特徴とする、電子デバイスの製造方法。
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