KR101780976B1 - A nonslip pad for robot arm - Google Patents

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KR101780976B1
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임병찬
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임병찬
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Abstract

본 발명은 패드 설치 본체와 미끄럼 방지 패드가 분리되어 구성되고, 로봇암에 고정된 상태로 설치되는 패드 설치 본체에 미끄럼 방지 패드를 단순한 동작에 의하여 설치하고 해체할 수 있는 넌슬립 패드에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 넌슬립 패드는, 로봇암의 표면에 결합되어 고정된 상태로 설치되는 패드 설치 본체; 상기 패드 설치 본체에 이격 간격이 조정가능하게 서로 마주보도록 설치되는 한 쌍의 패드 고정지그; 상기 패드 설치 본체와 상기 패드 고정지그 사이에 설치되며, 상기 패드 고정지그를 상기 패드 설치 본체의 중앙 방향으로 탄성력을 이용하여 가압하는 탄성 결합부; 상기 패드 설치 본체의 상부에 탈착가능하게 설치되며, 상기 로봇암에 의하여 이송되는 기판의 미끄럼을 방지하는 미끄럼 방지 패드; 상기 미끄럼 방지 패드의 하부에 고정되어 설치되며, 상기 탄성 결합부에 의하여 이격 간격이 최소화된 상태로 설치되는 한 쌍의 패드 고정지그 사이로 상기 패드 설치 본체의 측방에서 진입하여 상기 한 쌍의 패드 고정지그의 접촉면 형상과 맞물려서 상기 미끄럼 방지 패드를 상기 패드 설치 본체에 설치하는 설치구;를 포함한다. The present invention relates to a non-slip pad which is constructed by disposing a pad-installing main body and a non-slip pad, and installing and disassembling the non-slip pad on a pad-installing main body fixedly mounted on the robot arm, The non-slip pad according to the present invention comprises a pad mounting body coupled to a surface of a robot arm and installed in a fixed state; A pair of pad fixing jigs provided so as to face each other so as to be spaced apart from each other; An elastic coupling part provided between the pad mounting body and the pad fixing jig and pressing the pad fixing jig in the center direction of the pad mounting body using an elastic force; A slip prevention pad detachably installed on an upper portion of the pad installation main body and preventing slippage of the substrate transferred by the robot arm; And a pair of pad fixing jigs which are installed at a lower portion of the non-slip pad and are installed in a state in which the spacing distance is minimized by the elastic coupling portion, And a mounting hole for engaging with the contact surface shape of the pad mounting body to mount the non-slip pad on the pad mounting body.

Description

설치가 용이한 넌슬립 패드{A NONSLIP PAD FOR ROBOT ARM}{A NONSLIP PAD FOR ROBOT ARM}

본 발명은 넌슬립 패드에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 패드 설치 본체와 미끄럼 방지 패드가 분리되어 구성되고, 로봇암에 고정된 상태로 설치되는 패드 설치 본체에 미끄럼 방지 패드를 단순한 동작에 의하여 설치하고 해체할 수 있는 넌슬립 패드에 관한 것이다. The present invention relates to a non-slip pad, and more particularly, to a non-slip pad having a pad-installing main body and a non-slip pad separated from each other, It is about the slip pad that you can disassemble.

일반적으로, 반도체나 태양전지 모듈의 재료인 웨이퍼(W) 내지는 유리판을 이송하기 위해서는, 도 1 및 도 2에 서처럼 전방으로 연장된 다수 개의 핑거(F)를 가지는 로보트팔(A)을 사용하게 된다. Generally, in order to transfer a wafer W or a glass plate, which is a material of a semiconductor or a solar cell module, a robot arm A having a plurality of fingers F extending forward as shown in Figs. 1 and 2 is used do.

상기 핑거(F)의 상면에는 다수 개의 넌슬립 지지구(1)가 장착되어 웨이퍼(W)가 미끄러지지 않고 흠집 없이 지지할 수 있도록 구성된다. 상기 넌슬립 지지구(1)는 상기 핑거(F)에 체결되는 스크류축이 구성되고, 상기 스크류축의 상단에는 원판 형상의 바디가 연결되며, 상기 바디의 상면에는 고무재 등의 넌슬립 재질인 패드가 부착되어 구성되는 구조를 가진다.A plurality of non-slip grippers 1 are mounted on the upper surface of the finger F so that the wafers W can be slid and supported without scratches. The non-slip pawl 1 includes a screw shaft to be fastened to the finger F, and a disk-shaped body is connected to the upper end of the screw shaft. The upper surface of the body is provided with a pad As shown in Fig.

상기 바디의 측면에는 대향하는 평면이 형성되어 스패너로 회전시킬 수 있도록 구성된다. 따라서 탭홀이 형성된 로보트팔(A)의 핑거(F)에 스패너 내지는 드라이버를 사용하여 상기 넌슬립 지지구(1)를 장착할 수 있다.The side surface of the body is formed with a flat surface facing the body and can be rotated by a spanner. Therefore, the non-slip gripper 1 can be mounted on the finger F of the robot arm A having the tapped hole by using a spanner or a screwdriver.

그런데, 상기 패드(30)는 웨이퍼(W)와 자주 닿게 되면서 마모되어 4∼6개월 주기로 넌슬립 지지구(1)를 교체해주어야 하는데, 일반적으로 한 대의 로보트팔(A)에 160∼200여 개의 넌슬립 지지구(1)가 장착되므로 일일이 상기 바디(20)를 회전시켜서 넌슬립 지지구(1)를 분리한 후 새것으로 교체하는 작업은 시간이 많이 소요되고 번거로운 문제점이 있었다.The pad 30 is worn while frequently contacting with the wafer W so that the non-slip pile 1 should be replaced every 4 to 6 months. Generally, one pad of the robot arm A has 160 to 200 Since the slip gripper 1 is mounted on the body 1, the operation of rotating the body 20 to remove the slipper slipper 1 and replacing the slipper stopper 1 with a new one takes a lot of time and troublesome work.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 패드 설치 본체와 미끄럼 방지 패드가 분리되어 구성되고, 로봇암에 고정된 상태로 설치되는 패드 설치 본체에 미끄럼 방지 패드를 단순한 동작에 의하여 설치하고 해체할 수 있는 넌슬립 패드를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a pad mounting body in which a pad mounting body and a non-slip pad are separated from each other, Thereby providing a slip pad.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 넌슬립 패드는, 로봇암의 표면에 결합되어 고정된 상태로 설치되는 패드 설치 본체; 상기 패드 설치 본체에 이격 간격이 조정가능하게 서로 마주보도록 설치되는 한 쌍의 패드 고정지그; 상기 패드 설치 본체와 상기 패드 고정지그 사이에 설치되며, 상기 패드 고정지그를 상기 패드 설치 본체의 중앙 방향으로 탄성력을 이용하여 가압하는 탄성 결합부; 상기 패드 설치 본체의 상부에 탈착가능하게 설치되며, 상기 로봇암에 의하여 이송되는 기판의 미끄럼을 방지하는 미끄럼 방지 패드; 상기 미끄럼 방지 패드의 하부에 고정되어 설치되며, 상기 탄성 결합부에 의하여 이격 간격이 최소화된 상태로 설치되는 한 쌍의 패드 고정지그 사이로 상기 패드 설치 본체의 측방에서 진입하여 상기 한 쌍의 패드 고정지그의 접촉면 형상과 맞물려서 상기 미끄럼 방지 패드를 상기 패드 설치 본체에 설치하는 설치구;를 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a non-slip pad comprising: a pad mounting body coupled to a surface of a robot arm and fixed thereto; A pair of pad fixing jigs provided so as to face each other so as to be spaced apart from each other; An elastic coupling part provided between the pad mounting body and the pad fixing jig and pressing the pad fixing jig in the center direction of the pad mounting body using an elastic force; A slip prevention pad detachably installed on an upper portion of the pad installation main body and preventing slippage of the substrate transferred by the robot arm; And a pair of pad fixing jigs which are installed at a lower portion of the non-slip pad and are installed in a state in which the spacing distance is minimized by the elastic coupling portion, And a mounting hole for engaging with the contact surface shape of the pad mounting body to mount the non-slip pad on the pad mounting body.

그리고 본 발명에서 상기 패드 고정지그는, 상기 탄성 결합부 측으로 향하는 평면 형상의 후면; 상기 후면의 반대편으로 향하며, 중앙 부분이 볼록한 배부름 형상의 접촉면; 후면을 음각하여 형성되며, 상기 탄성 결합부가 삽입되어 결합하는 탄성 결합부 설치공;을 포함하는 것이 바람직하다. Further, in the present invention, the pad fixing jig may include: a planar rear surface facing the elastic coupling portion; A contact surface facing the opposite side of the rear surface, the contact surface having a convex shape with a central portion convex; And an elastic coupling portion mounting hole formed on the rear surface to engage with the elastic coupling portion.

또한 본 발명에서 상기 설치구는, 상기 미끄럼 방지 패드의 하면에 하측으로 돌출되어 형성되며, 중앙 부분이 오목한 땅콩 형상을 가지는 것이 바람직하다. In addition, in the present invention, it is preferable that the mounting hole is protruded downward from the lower surface of the non-slip pad, and the center has a concave peanut shape.

또한 본 발명에서 상기 미끄럼 방지 패드에는, 표면에 물결형 트래드 패턴이 형성되는 것이 바람직하다. In the present invention, it is preferable that a wavy tread pattern is formed on the surface of the non-slip pad.

본 발명의 넌슬립 패드에 따르면 패드 설치 본체와 미끄럼 방지 패드가 분리되어 구성되고, 로봇암에 고정된 상태로 설치되는 패드 설치 본체에 미끄럼 방지 패드를 단순한 동작에 의하여 설치하고 해체할 수 있는 장점이 있다. According to the non-slip pad of the present invention, the pad-installing main body and the non-slip pad are configured to be separated from each other, and the non-slip pad can be installed and disassembled in the pad- have.

도 1, 2는 일반적인 로봇암의 구조 및 동작을 도시하는 도면들이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 넌슬립 패드이 구성을 도시하는 분리 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 넌슬립 패드이 구성을 도시하는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 설치 본체의 구조를 도시하는 평면도이다.
도 6, 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 미끄럼 방지 패드 및 설치구의 구조를 도시하는 도면들이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 미끄럼 방지 패드의 표면 형상을 도시하는 도면이다.
1 and 2 are views showing the structure and operation of a general robot arm.
3 is an exploded perspective view showing a non-slip pad structure according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view showing a non-slip pad structure according to an embodiment of the present invention.
5 is a plan view showing a structure of a pad mounting body according to an embodiment of the present invention.
6 and 7 are views showing the structure of a non-slip pad and an installation tool according to an embodiment of the present invention.
8 is a view showing a surface shape of a non-slip pad according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, a specific embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 실시예에 따른 넌슬립 패드(100)는 도 3 내지 8에 도시된 바와 같이, 패드 설치본체(110), 패드 고정지그(120), 탄성 결합부(130), 미끄럼 방지 패드(140) 및 설치구(150)를 포함하여 구성될 수 있다. 3 to 8, the non-slip pad 100 according to the present embodiment includes a pad mounting body 110, a pad fixing jig 120, an elastic coupling portion 130, a non-slip pad 140, And may include an installation port 150.

먼저 상기 패드 설치본체(110)는 로봇암의 표면에 결합되어 고정된 상태로 설치되며, 상기 패드 고정지그(120) 및 탄성 결합부(130)의 설치 장소를 제공한다. 상기 패드 설치 본체(110)는 도 3, 5에 도시된 바와 같이, 전체적으로 평판 플레이트 형상을 가지며, 중앙에 패드 고정지그(120)가 설치되어 전후진할 수 있는 구동 공간(112)이 형성되고, 양측 가장자리에는 탄성 결합부(130)가 설치될 수 있는 설치판(114)이 형성된다. 이때 상기 구동 공간(112)의 높이는 상기 설치판(114)의 높이보다 낮게 형성되며, 상기 구동 공간(112)과 설치판(114)의 높이 차이는 상기 설치구(150)의 두께와 일치되는 것이 바람직하다. First, the pad mounting body 110 is fixedly coupled to the surface of the robot arm and provides a mounting place for the pad fixing jig 120 and the elastic coupling unit 130. 3 and 5, the pad mounting body 110 has a flat plate shape as a whole, a pad fixing jig 120 is installed at the center of the pad mounting body 110 to form a driving space 112 capable of moving forward and backward, And an attachment plate 114 on which elastic coupling portions 130 can be installed is formed on both side edges. At this time, the height of the driving space 112 is lower than the height of the mounting plate 114, and the height difference between the driving space 112 and the mounting plate 114 is equal to the thickness of the mounting hole 150 desirable.

다음으로 상기 패드 고정지그(120)는 도 3, 4에 도시된 바와 같이, 상기 패드 설치 본체(110)에 이격 간격이 조정가능하게 서로 마주보도록 설치되는 한 쌍의 패드 고정지그로 구성된다. 이 패그 고정 지그(120) 사이의 공간으로 상기 설치구(150)가 진입하면서 상기 미끄럼 방지 패드(140)가 상기 패드 설치본체(110)에 고정되는 것이다. 3 and 4, the pad fixing jig 120 includes a pair of pad fixing jigs which are installed to face each other so as to be spaced apart from the pad mounting body 110. The nonslip pad 140 is fixed to the pad mounting body 110 while the mounting hole 150 enters the space between the peg fixing jigs 120.

이를 위하여 본 실시예에서 상기 패드 고정지그(120)는 구체적으로 후면(121), 접촉면(122) 및 탄성결합부 설치공(123)을 포함하여 구성될 수 있다. 즉 상기 패드 고정지그(120)는 전체적으로 상기 구동 공간(112)에 삽입될 정도의 두께를 가지는 플레이트 형상을 가지되, 상기 탄성 결합부(130) 측으로 향하는 후면(121)은 평면 형상을 가진다. 그리고 상기 후면(121)의 반대편으로 향하며, 상기 설치구(150)와 접촉하는 접촉면(122)은 중앙 부분이 볼록한 배부름 형상을 가진다. 이러한 접촉면(122) 형상을 상기 설치구(150)의 형상과 대응되는 형상이다. For this purpose, the pad fixing jig 120 may include a rear surface 121, a contact surface 122, and an elastic coupling part mounting hole 123 in this embodiment. That is, the pad fixing jig 120 has a plate shape having a thickness enough to be inserted into the driving space 112 as a whole, and the rear surface 121 toward the elastic coupling part 130 has a planar shape. The contact surface 122, which is in contact with the mounting hole 150, has a convex shape having a convex central portion. The shape of the contact surface 122 corresponds to the shape of the mounting hole 150.

다음으로 상기 탄성결합부 설치공(123)은 도 3에 도시된 바와 같이, 후면(121)을 음각하여 형성되며, 상기 탄성 결합부(130)가 삽입되어 결합하는 공간이다. Next, as shown in FIG. 3, the elastic coupling portion installation hole 123 is formed in a recessed shape on the rear surface 121, and the elastic coupling portion 130 is inserted and coupled.

다음으로 상기 탄성 결합부(130)는 도 3, 4에 도시된 바와 같이, 상기 패드 설치 본체(110)와 상기 패드 고정지그(120) 사이에 설치되며, 상기 패드 고정지그(120)를 상기 패드 설치 본체(110)의 중앙 방향으로 탄성력을 이용하여 가압하는 구성요소이다. 따라서 상기 탄성 결합부(130)는 용수철 등 탄성력을 가진 소재로 이루어지며, 이 탄성 결합부(130)의 일단은 상기 설치판(114)에 형성되는 설치홈(116)에 삽입되고, 타단은 상기 패드 고정지그(120)의 탄성결합부 설치공(123)에 삽입되어 설치된다. 3 and 4, the elastic coupling part 130 is installed between the pad mounting body 110 and the pad fixing jig 120, and the pad fixing jig 120 is fixed to the pad 100. [ And presses the center of the installation body 110 by using an elastic force. One end of the elastic coupling part 130 is inserted into the mounting groove 116 formed in the mounting plate 114 and the other end of the elastic coupling part 130 is inserted into the mounting groove 116 formed in the mounting plate 114. The elastic coupling part 130 is formed of a material having elasticity, And is inserted and installed in the elastic coupling portion mounting hole 123 of the pad fixing jig 120. [

다음으로 상기 미끄럼 방지 패드(140)는 도 3, 4, 6에 도시된 바와 같이, 상기 패드 설치 본체(110)의 상부에 탈착가능하게 설치되며, 상기 로봇암에 의하여 이송되는 기판의 미끄럼을 방지하는 구성요소이다. 상기 미끄럼 방지 패드(140)는 상기 설치구(150) 상면에 설치되며, 별도의 형상유지 판넬(142)이 구비될 수도 있고, 이러한 형상 유지 판넬(142) 없이 상기 설치구(150) 상면에 직접 미끄럼 방지 패드(140)가 결합될 수도 있다. 일반적으로 이 미끄럼 방지 패드(140)는 마찰력이 우수하고 내열성 및 내화학성이 우수한 엔지니어링 플라스틱 등으로 구성될 수 있으며, 글래스 또는 웨이퍼 등이 직접 접촉하므로 그 상면은 매우 정교하게 가공 처리된다. As shown in FIGS. 3, 4 and 6, the non-slip pad 140 is detachably mounted on the upper portion of the pad mounting body 110, and prevents slippage of the substrate transferred by the robot arm Lt; / RTI > The non-slip pad 140 may be provided on the upper surface of the mounting hole 150 and may be provided with a separate shape holding panel 142 or directly on the upper surface of the mounting hole 150 without the shape holding panel 142. [ The anti-slip pad 140 may be engaged. In general, the non-slip pad 140 may be made of an engineering plastic having excellent frictional force and excellent heat resistance and chemical resistance. Since the glass or the wafer is directly contacted, the upper surface of the non-slip pad 140 is processed very finely.

한편 상기 미끄럼 방지 패드(140)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 표면에 물결형 트래드 패턴(144)이 형성되는 것이, 글래스 또는 웨이퍼 접촉 과정에서 미끄럼을 효과적으로 방지할 수 있어서 바람직하다. 8, it is preferable that the wavy tread pattern 144 is formed on the surface of the non-slip pad 140 because it can effectively prevent slippage during a glass or wafer contact process.

다음으로 상기 설치구(150)는 도 3, 4, 7에 도시된 바와 같이, 상기 미끄럼 방지 패드(140)의 하부에 고정되어 설치되며, 상기 탄성 결합부(130)에 의하여 이격 간격이 최소화된 상태로 설치되는 한 쌍의 패드 고정지그(120) 사이로 상기 패드 설치 본체(110)의 측방에서 진입하여 상기 한 쌍의 패드 고정지그(120)의 접촉면(122) 형상과 맞물려서 상기 미끄럼 방지 패드(140)를 상기 패드 설치 본체(110)에 설치하는 구성요소이다. 3, 4, and 7, the mounting member 150 is fixed to the lower portion of the non-slip pad 140. The elastic member 130 may be formed to have a minimum spacing distance The pad fixing jig 120 is inserted into the pad mounting jig 120 from the side of the pad mounting body 110 to be engaged with the shape of the contact surface 122 of the pair of pad fixing jig 120, Is installed in the pad mounting main body 110.

따라서 상기 설치구(150)는 상기 미끄럼 방지 패드(140)의 하부에 상기 패드 고정지그(120)와 유사한 두께를 가지도록 돌출되어 형성되며, 도 4, 7에 도시된 바와 같이, 중앙 부분(152)이 오목한 땅콩 형상을 가지는 것이, 상기 한 쌍의 패드 고정지그(120) 사이의 공간에 삽입되어 안정적으로 고정될 수 있어서 바람직하다. 4 and 7, the mounting portion 150 is formed at a lower portion of the non-slip pad 140 so as to have a thickness similar to that of the pad fixing jig 120, Is inserted into the space between the pair of pad fixing jigs 120 and can be stably fixed.

그리고 상기 설치구(150)의 양측 말단(154)도 도 4에 도시된 바와 같이, 부드러운 곡면으로 처리되는 것이, 상기 설치구(150)를 상기 패드 고정지그(120) 사이의 공간으로 밀어넣는 과정에서 용이하게 삽입될 수 있어서 바람직하다. As shown in FIG. 4, both end portions 154 of the mounting hole 150 are processed in a smooth curved surface. The process of pushing the mounting hole 150 into the space between the pad fixing jigs 120 So that it can be easily inserted into the apparatus.

이러한 설치구(150)를 가지는 미끄럼 방지 패드(140)는 단순하게 상기 패드 설치본체(110)의 측면에서 상기 설치구(150)를 상기 패드 고정지그(120) 사이의 공간으로 밀어넣는 동작에 의하여 설치되며, 분리할 때도 동일하게 측면에서 상기 미끄럼 방지 패드(140)와 설치구(150)를 밀어서 상기 설치구(150)를 상기 패드 고정지그(120) 사이의 공간에서 이탈시키는 간단한 동작에 의하여 분리된다. The non-slip pad 140 having the mounting hole 150 is formed by simply pushing the mounting hole 150 into the space between the pad fixing jigs 120 from the side surface of the pad mounting body 110 The pad fixing jig 120 is separated from the pad fixing jig 120 by a simple operation of pushing the non-slip pad 140 and the mounting hole 150 from the side surface, do.

100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 넌슬립 패드
110 : 패드 설치본체 120 : 패드 고정지그
130 : 탄성 결합부 140 : 미끄럼 방지 패드
150 : 설치구
100: Non-slip pad according to an embodiment of the present invention
110: pad mounting body 120: pad fixing jig
130: elastic coupling part 140: non-slip pad
150: Installation area

Claims (4)

로봇암의 표면에 결합되어 고정된 상태로 설치되는 패드 설치 본체;
상기 패드 설치 본체에 이격 간격이 조정가능하게 서로 마주보도록 설치되는 한 쌍의 패드 고정지그;
상기 패드 설치 본체와 상기 패드 고정지그 사이에 설치되며, 상기 패드 고정지그를 상기 패드 설치 본체의 중앙 방향으로 탄성력을 이용하여 가압하는 탄성 결합부;
상기 패드 설치 본체의 상부에 탈착가능하게 설치되며, 상기 로봇암에 의하여 이송되는 기판의 미끄럼을 방지하는 미끄럼 방지 패드;
상기 미끄럼 방지 패드의 하부에 고정되어 설치되며, 상기 탄성 결합부에 의하여 이격 간격이 최소화된 상태로 설치되는 한 쌍의 패드 고정지그 사이로 상기 패드 설치 본체의 측방에서 진입하여 상기 한 쌍의 패드 고정지그의 접촉면 형상과 맞물려서 상기 미끄럼 방지 패드를 상기 패드 설치 본체에 설치하는 설치구;를 포함하는 설치가 용이한 넌슬립 패드.
A pad mounting body coupled to the surface of the robot arm and fixed thereto;
A pair of pad fixing jigs provided so as to face each other so as to be spaced apart from each other;
An elastic coupling part provided between the pad mounting body and the pad fixing jig and pressing the pad fixing jig in the center direction of the pad mounting body using an elastic force;
A slip prevention pad detachably installed on an upper portion of the pad installation main body and preventing slippage of the substrate transferred by the robot arm;
And a pair of pad fixing jigs which are installed at a lower portion of the non-slip pad and are installed in a state in which the spacing distance is minimized by the elastic coupling portion, And an installation hole for engaging with the contact surface shape of the non-slip pad to install the non-slip pad on the pad mounting main body.
제1항에 있어서, 상기 패드 고정지그는,
상기 탄성 결합부 측으로 향하는 평면 형상의 후면;
상기 후면의 반대편으로 향하며, 중앙 부분이 볼록한 배부름 형상의 접촉면;
후면을 음각하여 형성되며, 상기 탄성 결합부가 삽입되어 결합하는 탄성 결합부 설치공;을 포함하는 설치가 용이한 넌슬립 패드.
The pad fixing jig according to claim 1,
A planar rear surface facing the elastic coupling portion;
A contact surface facing the opposite side of the rear surface, the contact surface having a convex shape with a central portion convex;
And an elastic coupling portion mounting hole formed on the rear surface to engage with and engage with the elastic coupling portion.
제2항에 있어서, 상기 설치구는,
상기 미끄럼 방지 패드의 하면에 하측으로 돌출되어 형성되며, 중앙 부분이 오목한 땅콩 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 설치가 용이한 넌슬립 패드.
The apparatus according to claim 2,
Wherein the non-slip pad is protruded downward from a bottom surface of the non-slip pad, and the central portion has a concave peanut shape.
제2항에 있어서, 상기 미끄럼 방지 패드는,
표면에 물결형 트래드 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 설치가 용이한 넌슬립 패드.
The apparatus of claim 2, wherein the anti-
And a wavy tread pattern is formed on the surface of the non-slip pad.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190007298A (en) * 2017-07-12 2019-01-22 주식회사 윌비에스엔티 Pad assembly of device for transporting substrate
KR20200024666A (en) * 2018-08-28 2020-03-09 주식회사 윌비에스엔티 Pad assembly of device for transporting substrate

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009005027A1 (en) 2007-06-29 2009-01-08 Ulvac, Inc. Substrate transfer robot and vacuum processing apparatus provided with the same
JP2011228587A (en) 2010-04-22 2011-11-10 Toppan Printing Co Ltd Pad for placing substrate and pad mechanism using the same
KR101356952B1 (en) 2012-12-26 2014-02-03 하이디스 테크놀로지 주식회사 Non slip pad for substrates transporting device
KR101658789B1 (en) 2008-08-08 2016-10-04 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 Magnetic pad for end-effectors

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009005027A1 (en) 2007-06-29 2009-01-08 Ulvac, Inc. Substrate transfer robot and vacuum processing apparatus provided with the same
KR101658789B1 (en) 2008-08-08 2016-10-04 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 Magnetic pad for end-effectors
JP2011228587A (en) 2010-04-22 2011-11-10 Toppan Printing Co Ltd Pad for placing substrate and pad mechanism using the same
KR101356952B1 (en) 2012-12-26 2014-02-03 하이디스 테크놀로지 주식회사 Non slip pad for substrates transporting device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190007298A (en) * 2017-07-12 2019-01-22 주식회사 윌비에스엔티 Pad assembly of device for transporting substrate
KR101981293B1 (en) * 2017-07-12 2019-05-22 주식회사 윌비에스엔티 Pad assembly of device for transporting substrate
KR20200024666A (en) * 2018-08-28 2020-03-09 주식회사 윌비에스엔티 Pad assembly of device for transporting substrate
KR102102266B1 (en) * 2018-08-28 2020-04-21 주식회사 윌비에스엔티 Pad assembly of device for transporting substrate

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