KR101611141B1 - 이동형 음압차폐장치 - Google Patents

이동형 음압차폐장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101611141B1
KR101611141B1 KR1020150159648A KR20150159648A KR101611141B1 KR 101611141 B1 KR101611141 B1 KR 101611141B1 KR 1020150159648 A KR1020150159648 A KR 1020150159648A KR 20150159648 A KR20150159648 A KR 20150159648A KR 101611141 B1 KR101611141 B1 KR 101611141B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
frame assembly
hinge
main frame
position guide
sub
Prior art date
Application number
KR1020150159648A
Other languages
English (en)
Inventor
이상호
Original Assignee
이상호
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이상호 filed Critical 이상호
Priority to KR1020150159648A priority Critical patent/KR101611141B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101611141B1 publication Critical patent/KR101611141B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/60—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation
    • H01L2021/60007—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation involving a soldering or an alloying process
    • H01L2021/60022—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation involving a soldering or an alloying process using bump connectors, e.g. for flip chip mounting
    • H01L2021/60097—Applying energy, e.g. for the soldering or alloying process
    • H01L2021/60172—Applying energy, e.g. for the soldering or alloying process using static pressure
    • H01L2021/60187—Isostatic pressure, e.g. degassing using vacuum or pressurised liquid

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Specific Sealing Or Ventilating Devices For Doors And Windows (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 설비라인(E1)(E2) 사이의 통로(Ea) 사이의 공간을 선택적으로 차폐하기 위한 이동형 음압차폐장치에 관한 것으로서, 통로(Ea)를 따라 이동할 수 있도록 캐스터(15)가 설치되는 이동프레임조립체(10)와; 이동프레임조립체(10)에 수직 방향으로 지지되는 것으로서, 출입을 위한 출입구(20a)가 형성된 메인프레임조립체(20)와; 메인프레임조립체(20)의 상부측에 설치된 것으로서, 출입구(20a)를 선택적으로 차폐하기 위한 스크린(32)이 롤형태로 감겨진 스크린롤(30)과; 메인프레임조립체(20)의 하부측에 설치된 것으로서, 스크린롤(30)에서 풀어진 스크린(32)을 위치고정하기 위한 스크린위치고정부(40);를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

이동형 음압차폐장치{Portable screen shield apparatus}
본 발명은 이동형 음압차폐장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 각종 반도체 설비라인의 통로를 선택적으로 차폐함으로써 해당 반도체 설비의 유지 보수시 발생되는 흄(fume)이 선택된 차폐영역에서 빠져나기지 않도록 할 수 있는 이동형 음압차폐장치에 관한 것이다.
일반적으로 각종 소자나 디스플레이 제조분야등에는 다양한 종류의 반도체 설비, 예를 들면 각종 진공챔버나 식각장치등이 운영되고 있으며, 반도체 설비들은 제한된 작업공간내에 통로를 이루여 상호 근접된 상태로 배치됨으로써 설비라인을 이루고 있다. 이러한 반도체 설비라인은 정기적 또는 비정기적으로 관리를 하여야 하며, 이를 위하여 작업자는 반도체 설비라인 사이의 통로를 출입하면서 해당 반도체 설비라인을 유지보수하거나, 해당 설비라인에 설치되는 화학물질이 충진된 캐니스터나 소모품을 주기적으로 교체하였다.
그런데 반도체 설비들에는 가스라인이 복잡하게 얽혀지거나, 다양한 화학물질이 충진된 캐니스터들이 내장되거나 연결된 구조이기 때문에, 특정 반도체 설비를 유지 보수하거나 오픈하는 과정에서 인체에 해로운 흄이 발생되었다. 이러한 흄은 각종 암을 유발할 수 있는 발암 물질이기 때문에 작업자는 마스크, 보호복 등의 보호 장비를 착용하여야 하였고, 또한 발생되는 흄은 반도체 설비라인 주변을 오염시키는 원인이 되었다.
이에 따라 반도체 설비라인를 유지보수할 때, 필요에 따라 해당 설비라인으로 이동하여 유지보수시 발생되는 흄을 제거하기 위한 이동식 배기장치에 대한 필요성이 요구되고 있다. 이와 관련된 선행기술이 특허공개번호 10-2013-0125740호에 반도체 제조장치용 이동식 배기장치란 명칭으로 개시되어 있다.
그런데 이동식 배기장치를 사용할 경우에도 배기장치에 의하여 형성되는 흡기압은 배기장치 근처에만 한정되어 형성되기 때문에, 결국 배기장치에서 상대적으로 멀리 떨어진 지점의 흄은 완전히 배기되지 못하고 주위 공간으로 분산된다라는 문제점이 있었다. 이에 따라 배기장치가 작동되는 통로 영역을 선택적으로 차폐하기 위한 기술에 대한 필요성이 커지고 있다.
본 발명은 상기와 같은 필요성을 충족하고자 창츨된 것으로서, 반도체 설비라인 사이의 통로 사이공간을 선택적으로 차폐함으로서, 배기장치를 가동할때 발생되는 흡기압이 차폐된 영역 내부에 형성되게 하여 설비라인 유지보수 과정에서 발생되는 흄을 효과적으로 배기할 수 있고, 더 나아가 이동형으로 구현되어 필요한 특정 영역을 선택적으로 차폐할 수 있는 이동형 음압차폐장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은, 반도체 설비라인 사이의 통로의 폭이나 높이가 다르더라도 범용적으로 적용할 수 있으며, 용이한 이동이 가능한 이동형 음압차폐장치를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 이동형 음압차폐장치는, 반도체 설비라인(E1)(E2) 사이의 통로(Ea) 사이의 공간을 선택적으로 차폐하기 위한 것으로서, 상기 통로(Ea)를 따라 이동할 수 있도록 캐스터(15)가 설치되는 이동프레임조립체(10); 상기 이동프레임조립체(10)에 수직 방향으로 지지되는 것으로서, 출입을 위한 출입구(20a)가 형성된 메인프레임조립체(20); 상기 메인프레임조립체(20)의 상부측에 설치된 것으로서, 상기 출입구(20a)를 선택적으로 차폐하기 위한 스크린(32)이 롤형태로 감겨진 스크린롤(30); 및 상기 메인프레임조립체(20)의 하부측에 설치된 것으로서, 상기 스크린롤(30)에서 풀어진 스크린(32)을 위치고정하기 위한 스크린위치고정부(40);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 메인프레임조립체(20)의 양측단에 제1위치가이드힌지(60)에 의하여 연결된 것으로서, 그 메인프레임조립체(20)의 양측으로 펼쳐지거나 포개어지는 메인측부날개(50)(50'); 및 상기 메인측부날개(50)(50')의 단부에 설치된 것으로서 상기 설비라인(E1)(E2)의 측벽과 밀착되는 패킹(55);을 더 포함한다.
본 발명에 있어서, 상기 제1위치가이드힌지(60)는, 상기 메인측부날개(50)(50') 및 메인프레임조립체(20) 중 어느 하나에 고정되는 제1힌지날개(61)와, 상기 메인측부날개(50)(50') 및 메인프레임조립체(20) 중 다른 하나에 고정되는 것으로서 상기 제1힌지날개(61)와 축결합되는 제2힌지날개(62)와, 상기 제1힌지날개(61)와 연결된 축에 형성된 위치가이드홈(63)과, 상기 제2힌지날개(62)에 설치된 것으로서 상기 위치가이드홈(63) 측으로 탄성적으로 돌출되는 위치가이드돌기(64)를 포함한다.
상기 메인프레임조립체(20)의 상부측에 힌지연결된 것으로서, 그 메인프레임조립체(20)가 상부측으로 펼쳐지거나 포개어지게 지지하는 서브프레임조립체(70)를 더 포함한다.
본 발명에 있어서, 상기 서브프레임조립체(70)의 양측단에 제2위치가이드힌지(90)에 의하여 연결된 것으로서, 그 서브프레임조립체(70)의 양측으로 펼쳐지거나 포개어지는 서브측부날개(80)(80'); 및 상기 서브측부날개(80)(80')의 단부에 설치된 것으로서 상기 설비라인(E1)(E2)의 측벽과 밀착되는 패킹(85);을 더 포함한다.
본 발명에 있어서, 상기 제2위치가이드힌지(90)는, 상기 서브측부날개(80)(80') 및 서브프레임조립체(70) 중 어느 하나에 고정되는 제1힌지날개(91)와, 상기 서브측부날개(80)(80') 및 서브프레임조립체(70) 중 다른 하나에 고정되는 것으로서 상기 제1힌지날개(91)와 축결합되는 제2힌지날개(92)와, 상기 제1힌지날개(91)와 연결된 축에 형성된 위치가이드홈(93)과, 상기 제2힌지날개(92)에 설치된 것으로서 상기 위치가이드홈(93) 측으로 탄성적으로 돌출되는 위치가이드돌기(94)를 포함한다.
본 발명에 있어서, 상기 이동프레임조립체(10)는, 상기 메인프레임조립체(20)의 하단 일측에 힌지연결되는 제1바닥프레임(11)과, 상기 제1바닥프레임(11)과 메인프레임조립체(20)의 일측 상부측을 비스듬하게 연결하는 제1지지프레임(12)과, 상기 메인프레임조립체(20)의 하단 타측에 힌지연결되는 제2바닥프레임(13)과, 상기 제2바닥프레임(13)과 상기 메인프레임조립체(20)의 타측 상부측을 비스듬하게 연결하는 제2지지프레임(14)을 포함한다.
본 발명에 따르면, 반도체 설비라인 사이의 통로 사이공간을 선택적으로 차폐함으로서, 배기장치를 가동할 경우 발생되는 흡기압이 차폐된 공간 내부에서만 한정되게 형성되도록 하여 설비라인 유지보수 과정에서 발생되는 흄을 효과적으로 배기할 수 있다.
또한 통로를 따라 이동할 수 있도록 이동형으로 구현되어, 필요한 특정 영역을 선택적으로 차폐할 수 있고, 반대로 특정 영역의 차폐를 용이하게 해제할 수 있다.
그리고 반도체 설비라인 사이의 통로의 폭이나 높이가 다르더라도, 측부 및 상부측으로 차폐면적을 가변시킬 수 있어 범용적인 적용이 가능하다.
도 1은 반도체 설비라인 사이의 통로 사이에 본 발명의 이동형 음압차폐장치가 설치된 예를 도시한 도면,
도 2는 도 1의 이동형 음압차폐장치의 정면도,
도 3은 도 2의 이동형 음압차폐장치를 후방측에서 본 사시도,
도 4는 도 2 및 도 3을 이루는 이동프레임조립체, 메인프레임조립체 및 서브프레임조립체를 구성하는 프레임을 발췌하여 도시한 사시도,
도 5는 도 2의 이동형 음압차폐장치에 있어서 출입구를 선택적으로 차폐하는 스크린롤의 구성을 설명하기 위한 도면,
도 6은 도 5의 메인프레임조립체 상부측에서 펼쳐지거나 포개어지는 서브프레임조립체를 설명하기 위한 도면,
도 7은 도 6의 이동형 음압차폐장치의 측면도,
도 8은 도 5의 이동형 음압차폐장치에 있어서, 메인프레임조립체 및 서브프레임조립체의 양측으로 펼쳐지거나 포개어지는 메인측부날개 및 서브측부날개를 설명하기 위한 도면,
도 9는 도 8의 메인프레임조립체 및 서브프레임조립체와, 메인측부날개 및 서브측부날개를 연결하는 제1,2위치가이드힌지의 구조를 설명하기 위한 도면,
도 10은 도 2 및 도 3의 이동프레임조립체의 구성을 설명하기 위한 도면.
이하, 본 발명에 따른 이동형 음압차폐장치를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 반도체 설비라인 사이의 통로 사이에 본 발명의 이동형 음압차폐장치가 설치된 예를 도시한 도면이다. 도 2는 도 1의 이동형 음압차폐장치의 정면도이고, 도 3은 도 2의 이동형 음압차폐장치를 후방측에서 본 사시도이며, 도 4는 도 2 및 도 3을 이루는 이동프레임조립체, 메인프레임조립체 및 서브프레임조립체를 구성하는 프레임을 발췌하여 도시한 사시도이며, 도 5는 도 2의 이동형 음압차폐장치에 있어서 출입구를 선택적으로 차폐하는 스크린롤의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 이동형 음압차폐장치는, 반도체 설비라인(E1)(E2) 사이의 통로(Ea) 사이의 공간을 선택적으로 차폐하기 위한 것이다. 이러한 이동형 음압차폐장치는, 통로(Ea)를 따라 이동할 수 있도록 캐스터(15)가 설치되는 이동프레임조립체(10)와; 이동프레임조립체(10)에 수직 방향으로 지지되는 것으로서, 출입을 위한 출입구(20a)가 형성된 메인프레임조립체(20)와; 메인프레임조립체(20)의 상부측에 설치된 것으로서, 출입구(20a)를 선택적으로 차폐하기 위한 스크린(32)이 롤형태로 감겨진 스크린롤(30)과; 메인프레임조립체(20)의 하부측에 설치된 것으로서, 스크린롤(30)에서 풀어진 스크린(32)을 위치고정하기 위한 스크린위치고정부(40)와; 메인프레임조립체(20)의 양측단에 제1위치가이드힌지(60)에 의하여 연결된 것으로서, 그 메인프레임조립체(20)의 양측으로 펼쳐지거나 포개어지는 메인측부날개(50)(50')와; 메인프레임조립체(20)의 상부측에 힌지연결된 것으로서, 그 메인프레임조립체(20)가 상부측으로 펼쳐지거나 포개어지게 지지하는 서브프레임조립체(70)와; 서브프레임조립체(70)의 양측단에 제2위치가이드힌지(90)에 의하여 연결된 것으로서, 그 서브프레임조립체(70)의 양측으로 펼쳐지거나 포개어지는 서브측부날개(80)(80');를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기한 이동프레임조립체(10), 메인프레임조립체(20) 및 서브프레임조립체(70)는, 단면이 사각형을 이루며 각각의 4면에 끼움홈(Fa)이 길게 형성된 프로파일(F)로 구성된다.
이동프레임조립체(10)의 하부측에는 캐스터(15)가 설치되어, 반도체 설비라인 통로(Ea)를 따라 이동할 수 있다.
메인프레임조립체(20)는, 이동프레임조립체(10)에 수직 방향으로 지지되는 것으로서, 반도체 설비라인 유지보수를 위한 작업자가 출입하는 출입구(20a)가 형성된다.
스크린롤(30)은, 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이, 메인프레임조립체(20)의 상부측에 설치되어 메인프레임조립체의 출입구(20a)를 선택적으로 차폐한다. 이러한 스크린롤(30)은, 메인프레임조립체(20)의 상부측에 설치된 롤몸체(31)와, 롤몸체(31)에서 풀어지거나 감겨지게 롤형태로 감겨진 스크린(32)과, 스크린(32)의 하단에 설치된 것으로서 스크린(32)을 좌우 방향으로 펼침과 동시에 스크린위치고정부(40)에 고정되는 스크린바아(33)를 포함한다.
롤몸체(31)는 메인프레임조립체의 출입구(20a) 상부측을 가로지르는 프레임에 고정된다.
스크린(32)은 투명한 비닐 형태로 되며, 정전기의 발생을 방지할 수 있도록 제전처리되어 있다.
스크린바아(33)에는 손잡이(33a)가 설치되어, 작업자는 손잡이(33a)를 잡고 스크린(32)을 하방으로 용이하게 펼칠 수 있다.
스크린위치고정부(40)는 메인프레임조립체(20)의 출입구(20a) 하부측에 설치되는 것으로서, 스크린롤(30)에서 풀어진 스크린(32)이 출입구(20a)를 폐쇄한 상태를 유지하도록 스크린바아(33)를 위치고정한다.
도 6은 도 5의 메인프레임조립체 상부측에서 펼쳐지거나 포개어지는 서브프레임조립체를 설명하기 위한 도면이고, 도 7은 도 6의 이동형 음압차폐장치의 측면도이며, 도 8은 도 5의 이동형 음압차폐장치에 있어서, 메인프레임조립체 및 서브프레임조립체의 양측으로 펼쳐지거나 포개어지는 메인측부날개 및 서브측부날개를 설명하기 위한 도면이고, 도 9는 도 8의 메인프레임조립체 및 서브프레임조립체와, 메인측부날개 및 서브측부날개를 연결하는 제1,2위치가이드힌지의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
메인측부날개(50)(50')는, 메인프레임조립체(20)의 양측단에 제1위치가이드힌지(60)에 의하여 연결되어 그 메인프레임조립체(20)의 양측으로 펼쳐지거나 포개어지진다.
메인측부날개(50)(50')의 단부에는 상기 설비라인(E1)(E2)의 측벽과 밀착되는 패킹(55)이 설치된다. 이러한 패킹(55)은 메인측부날개(50)50')가 설비라인(E1)(E2)의 측벽에 밀착되게 함으로써, 설비라인 유지보수를 위한 밀폐된 차폐공간을 형성할 수 있다.
제1위치가이드힌지(60)는 메인측부날개(50)(50')가 메인프레임조립체(20)에서 펼쳐진 상태에서 위치 고정시키는 스토퍼힌지이다. 이러한 제1위치가이드힌지(60)는, 메인측부날개(50)(50') 및 메인프레임조립체(20) 중 어느 하나에 고정되는 제1힌지날개(61)와, 메인측부날개(50)(50') 및 메인프레임조립체(20) 중 다른 하나에 고정되는 것으로서 제1힌지날개(61)와 축결합되는 제2힌지날개(62)와, 제1힌지날개(61)와 연결된 축에 형성된 위치가이드홈(63)과, 제2힌지날개(62)에 설치된 것으로서 상기 위치가이드홈(63) 측으로 탄성적으로 돌출되는 위치가이드돌기(64)를 포함한다. 본 실시예에서 제1힌지날개(61)는 메인측부날개(50)(50')에 고정되고, 제2힌지날개(62)는 메인프레임조립체(20)에 고정된 것으로 예시하고 있다.
제1위치가이드힌지(60)의 구조에 의하여, 메인측부날개(50)(50')가 메인프레임조립체(20)에서 완전히 펼쳐질 때, 위치가이드돌기(64)가 위치가이드홈(63)에 탄성적으로 끼어지면서, 외부에서 강제력이 인가되기 전에 메인측부날개(50)(50')가 메인프레임조립체(20) 측으로 접혀지지 않게 된다.
서브프레임조립체(70)는, 메인프레임조립체(20)의 상부측에 힌지연결된 것으로서 그 메인프레임조립체(20)가 상부측으로 펼쳐지거나 포개어지게 지지한다.
한편 서브프레임조립체(70)가 메인프레임조립체(20)의 상부측에 수직방향으로 펼쳐진 상태를 유지하기 위하여, 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이, 서브프레임조립체(70)와 메인프레임조립체(20) 사이에는 착탈브라켓(75)이 설치될 수 있다.
상술한 바와 같이, 메인프레임조립체(20) 및 서브프레임조립체(70)는 단면이 사각형을 이루며 각각의 4면에 끼움홈(Fa)이 길게 형성된 프로파일(F)로 구성되므로, 착탈브라켓(75)에 설치되는 다수의 볼트는 메인프레임조립체(20) 및 서브프레임조립체(70)를 구성하는 프로파일의 끼훔홈(Fa)에 동시에 끼어짐으로서, 서브프레임조립체(70)는 메인프레임조립체(20)의 상부측에 펼쳐진 상태로 위치고정될 수 있는 것이다. 그리고 도 7에 도시된 바와 같이, 서브프레임조립체(70)를 메인프레임조립체(20)에 대하여 포개어지도록 회동시킬 경우, 먼저 도 5에 도시된 바와 같이 착탈브라켓(75)을 서브프레임조립체(70)와 메인프레임조립체(20)로부터 분리시킨다.
서브측부날개(80)(80')는, 서브프레임조립체(70)의 양측단에 제2위치가이드힌지(90)에 의하여 연결된 것으로서, 그 서브프레임조립체(70)의 양측으로 펼쳐지거나 포개어진다.
서브측부날개(80)(80')의 단부에는 상기 설비라인(E1)(E2)의 측벽과 밀착되는 패킹(85)이 설치된다. 이러한 패킹(85)은 서브측부날개(80)(80')가 설비라인(E1)(E2)의 측벽에 밀착되게 함으로써, 설비라인 유지보수를 위한 밀폐된 차폐공간을 형성할 수 있다.
제2위치가이드힌지(90)는 서브측부날개(80)(80')가 서브프레임조립체(70)에서 펼쳐진 상태에서 위치 고정시키는 스토퍼힌지이다. 이러한 제2위치가이드힌지(90)는, 서브측부날개(80)(80') 및 서브프레임조립체(70) 중 어느 하나에 고정되는 제1힌지날개(91)와, 서브측부날개(80)(80') 및 서브프레임조립체(70) 중 다른 하나에 고정되는 것으로서 제1힌지날개(91)와 축결합되는 제2힌지날개(92)와, 제1힌지날개(91)와 연결된 축에 형성된 위치가이드홈(93)과, 제2힌지날개(92)에 설치된 것으로서 상기 위치가이드홈(93) 측으로 탄성적으로 돌출되는 위치가이드돌기(94)를 포함한다. 본 실시예에서 제1힌지날개(91)는 서브측부날개(80)(80')에 고정되고, 제2힌지날개(92)는 서브프레임조립체(70)에 고정된 것으로 예시하고 있다.
제2위치가이드힌지(90)의 구조에 의하여, 서브측부날개(80)(80')가 서브프레임조립체(70)에서 완전히 펼쳐질 때, 위치가이드돌기(94)가 위치가이이드홈(93)에 탄성적으로 끼어지면서, 외부에서 강제력이 인가되기 전에 서브측부날개(80)(80')가 서브프레임조립체(70) 측으로 접혀지지 않게 된다.
도 10은 도 2 및 도 3의 이동프레임조립체의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
이동프레임조립체(10)는, 메인프레임조립체(20)의 하단 일측에 힌지연결되는 제1바닥프레임(11)과, 제1바닥프레임(11)과 메인프레임조립체(20)의 일측 상부측을 비스듬하게 연결하는 제1지지프레임(12)과, 메인프레임조립체(20)의 하단 타측에 힌지연결되는 제2바닥프레임(13)과, 제2바닥프레임(13)과 상기 메인프레임조립체(20)의 타측 상부측을 비스듬하게 연결하는 제2지지프레임(14)을 포함한다. 이때 제1,2바닥프레임(11)(13) 각각에는 이동을 위한 상기 캐스터(15)가 설치되고, 더 나아가 제1,2바닥프레임(11)(13)의 하방으로 돌출되게 나사결합된 것으로서 그 제1,2바닥프레임(11)(13)의 이동을 방지하기 위한 레벨러(16)가 설치된다.
이와 같이, 본 발명에 따르면, 반도체 설비라인 사이의 통로 사이공간을 선택적으로 차폐함으로서, 배기장치를 가동할 경우 발생되는 흡기압이 차폐된 공간 내부에서만 한정되게 형성되도록 하여 설비라인 유지보수 과정에서 발생되는 흄을 효과적으로 배기할 수 있다.
또한 통로를 따라 이동할 수 있도록 이동형으로 구현되어, 필요한 특정 영역을 선택적으로 차폐할 수 있고, 반대로 특정 영역의 차폐를 용이하게 해제할 수 있다.
그리고 반도체 설비라인 사이의 통로의 폭이나 높이가 다르더라도, 측부 및 상부측으로 차폐면적을 가변시킬 수 있어 범용적인 적용이 가능하다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
10 ... 이동프레임조립체 11 ... 제1바닥프레임
12 ... 제1지지프레임 13 ... 제2바닥프레임
14 ... 제2지지프레임 15 ... 캐스터
16 ... 레벨러 20 ... 메인프레임조립체
20a ... 출입구 30 ... 스크린롤
31 ... 롤몸체 32 ... 스크린
33 ... 스크린바아 33a ... 손잡이
40 ... 스크린위치고정부 50, 50' ... 메인측부날개
55 ... 패킹 60 ... 제1위치가이드힌지
61 ... 제1힌지날개 62 ... 제2힌지날개
63 ... 위치가이드홈 64 ... 위치가이드돌기
70 ... 서브프레임조립체 80, 80' ... 서브측부날개
85 ... 패킹 90 ... 제2위치가이드힌지
91 ... 제1힌지날개 92 ... 제2힌지날개
93 ... 위치가이드홈 94 ... 위치가이드돌기

Claims (7)

  1. 반도체 설비라인(E1)(E2) 사이의 통로(Ea) 사이의 공간을 선택적으로 차폐하기 위한 것으로서,
    상기 통로(Ea)를 따라 이동할 수 있도록 캐스터(15)가 설치되는 이동프레임조립체(10);
    상기 이동프레임조립체(10)에 수직 방향으로 지지되는 것으로서, 출입을 위한 출입구(20a)가 형성된 메인프레임조립체(20);
    상기 메인프레임조립체(20)의 상부측에 설치된 것으로서, 상기 출입구(20a)를 선택적으로 차폐하기 위한 스크린(32)이 롤형태로 감겨진 스크린롤(30); 및
    상기 메인프레임조립체(20)의 하부측에 설치된 것으로서, 상기 스크린롤(30)에서 풀어진 스크린(32)을 위치고정하기 위한 스크린위치고정부(40);를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동형 음압차폐장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 메인프레임조립체(20)의 양측단에 제1위치가이드힌지(60)에 의하여 연결된 것으로서, 그 메인프레임조립체(20)의 양측으로 펼쳐지거나 포개어지는 메인측부날개(50)(50'); 및
    상기 메인측부날개(50)(50')의 단부에 설치된 것으로서 상기 설비라인(E1)(E2)의 측벽과 밀착되는 패킹(55);을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이동형 음압차폐장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1위치가이드힌지(60)는,
    상기 메인측부날개(50)(50') 및 메인프레임조립체(20) 중 어느 하나에 고정되는 제1힌지날개(61)와, 상기 메인측부날개(50)(50') 및 메인프레임조립체(20) 중 다른 하나에 고정되는 것으로서 상기 제1힌지날개(61)와 축결합되는 제2힌지날개(62)와, 상기 제1힌지날개(61)와 연결된 축에 형성된 위치가이드홈(63)과, 상기 제2힌지날개(62)에 설치된 것으로서 상기 위치가이드홈(63) 측으로 탄성적으로 돌출되는 위치가이드돌기(64)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동형 음압차폐장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 메인프레임조립체(20)의 상부측에 힌지연결된 것으로서, 그 메인프레임조립체(20)가 상부측으로 펼쳐지거나 포개어지게 지지하는 서브프레임조립체(70)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이동형 음압차폐장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 서브프레임조립체(70)의 양측단에 제2위치가이드힌지(90)에 의하여 연결된 것으로서, 그 서브프레임조립체(70)의 양측으로 펼쳐지거나 포개어지는 서브측부날개(80)(80'); 및
    상기 서브측부날개(80)(80')의 단부에 설치된 것으로서 상기 설비라인(E1)(E2)의 측벽과 밀착되는 패킹(85);을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이동형 음압차폐장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제2위치가이드힌지(90)는,
    상기 서브측부날개(80)(80') 및 서브프레임조립체(70) 중 어느 하나에 고정되는 제1힌지날개(91)와, 상기 서브측부날개(80)(80') 및 서브프레임조립체(70) 중 다른 하나에 고정되는 것으로서 상기 제1힌지날개(91)와 축결합되는 제2힌지날개(92)와, 상기 제1힌지날개(91)와 연결된 축에 형성된 위치가이드홈(93)과, 상기 제2힌지날개(92)에 설치된 것으로서 상기 위치가이드홈(93) 측으로 탄성적으로 돌출되는 위치가이드돌기(94)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동형 음압차폐장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 이동프레임조립체(10)는,
    상기 메인프레임조립체(20)의 하단 일측에 힌지연결되는 제1바닥프레임(11)과, 상기 제1바닥프레임(11)과 메인프레임조립체(20)의 일측 상부측을 비스듬하게 연결하는 제1지지프레임(12)과, 상기 메인프레임조립체(20)의 하단 타측에 힌지연결되는 제2바닥프레임(13)과, 상기 제2바닥프레임(13)과 상기 메인프레임조립체(20)의 타측 상부측을 비스듬하게 연결하는 제2지지프레임(14)을 포함하는 것을 특징으로 하는 이동형 음압차폐장치.
KR1020150159648A 2015-11-13 2015-11-13 이동형 음압차폐장치 KR101611141B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150159648A KR101611141B1 (ko) 2015-11-13 2015-11-13 이동형 음압차폐장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150159648A KR101611141B1 (ko) 2015-11-13 2015-11-13 이동형 음압차폐장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101611141B1 true KR101611141B1 (ko) 2016-04-08

Family

ID=55908182

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150159648A KR101611141B1 (ko) 2015-11-13 2015-11-13 이동형 음압차폐장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101611141B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005126952A (ja) 2003-10-22 2005-05-19 Bunka Shutter Co Ltd 開閉装置
KR200433814Y1 (ko) 2006-08-08 2006-12-20 박종하 크린룸의 이동식 칸막이
KR100734897B1 (ko) 2006-10-24 2007-07-03 이엔후레쉬 주식회사 이동식 간이 화장실
KR101490086B1 (ko) 2014-10-27 2015-02-04 이상호 장비보수용 이동식 밀폐배기시스템

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005126952A (ja) 2003-10-22 2005-05-19 Bunka Shutter Co Ltd 開閉装置
KR200433814Y1 (ko) 2006-08-08 2006-12-20 박종하 크린룸의 이동식 칸막이
KR100734897B1 (ko) 2006-10-24 2007-07-03 이엔후레쉬 주식회사 이동식 간이 화장실
KR101490086B1 (ko) 2014-10-27 2015-02-04 이상호 장비보수용 이동식 밀폐배기시스템

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPWO2011083841A1 (ja) 塗布方法および装置
KR102329564B1 (ko) 레이저로 공작물을 가공하는 레이저 가공 장치
KR101950650B1 (ko) 페인트 스프레이 방진막 장치
KR101574780B1 (ko) 도로 터널의 환기장치
JP6407034B2 (ja) 加熱処理装置
KR101611141B1 (ko) 이동형 음압차폐장치
JP2014215918A (ja) 移動機構及びラック収容構造
IT201800003131A1 (it) Apparecchiatura di marcatura laser perfezionata
JP5855436B2 (ja) ドラフトチャンバ
CN205341465U (zh) 玻璃基板生产线防尘罩
JP2007175583A (ja) ドラフトチャンバー
JP4114276B2 (ja) 養生囲い及びこの養生囲いを用いた解体工法
KR102503283B1 (ko) 클린룸용 작업대
CN210230959U (zh) 实验室通风柜
US11965279B2 (en) Shell structure of clothing treating device, and clothing treating device
KR101490086B1 (ko) 장비보수용 이동식 밀폐배기시스템
JP5943377B2 (ja) 虫侵入阻止機能付きシャッター機構
KR20170120249A (ko) 박무 방지형 흄후드
JP4377469B2 (ja) エアーカーテン付き低露点作業装置及びエアーカーテン付き低露点作業設備
KR101611151B1 (ko) 바닥매립형 배기장치
JP2008297056A (ja) 乗客コンベアの床板
JP2019219119A (ja) クリーンブース、クリーンブースセット、及びエアシャワーブース
JP2004339780A (ja) トンネル坑内の換気方法及び換気装置
KR102393028B1 (ko) 산소 화염 절단 시스템
CN111747274B (zh) 电梯的层站门以及电梯的排气方法

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190411

Year of fee payment: 4