KR101585684B1 - Industrial robot - Google Patents

Abstract

<과제> 큰 반송대상물이나 고가의 반송대상물의 반송에 적절한 산업용 로보트를 제공하는 것.

<해결 수단> 산업용 로보트는 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 핸드가 연결되는 암(arm)과, 암을 지지하는 지지부재와, 지지부재를 상하이동시키는 상하구동기구와, 상하구동기구를 제어하는 제어부(80)를 구비하고 있다. 상하구동기구는 상하구동기구를 정지시키기 위한 2개의 브레이크(brake) 기구(24)를 구비하고, 제어부(80)는 2개의 브레이크 기구(24)를 제어하는 브레이크 제어부(84)를 구비하고 있다. 브레이크 제어부(84)는 2개의 브레이크 기구(24)를 단계적으로 작동시킨다.

[PROBLEMS] To provide an industrial robot suitable for transporting a large transport object or an expensive transport object.

[MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] An industrial robot includes a hand on which a carrying object is mounted, an arm to which a hand is connected, a supporting member for supporting the arm, a vertical driving mechanism for vertically moving the supporting member, And a control unit 80 for controlling the control unit. The up-and-down driving mechanism includes two brake mechanisms 24 for stopping the up-and-down driving mechanism. The control section 80 includes a brake control section 84 for controlling the two brake mechanisms 24. The brake control unit 84 operates the two brake mechanisms 24 step by step.

Description

산업용 로보트{INDUSTRIAL ROBOT}INDUSTRIAL ROBOT

본 발명은 소정의 반송대상물을 반송하는 산업용 로보트에 관한 것이다.The present invention relates to an industrial robot for carrying a predetermined carrying object.

종래부터, 소정의 반송대상물을 반송하는 산업용 로보트가 널리 이용되고 있다. 이런 종류의 산업용 로보트로서, 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 핸드를 유지하는 암(arm)과, 암을 상하이동시키는 볼나사(ball screw)를 구비하는 산업용 로보트가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 이 특허문헌 1에 기재된 산업용 로보트에서는 볼나사에 1대의 모터가 연결되어 있고, 볼나사는 1대의 모터로 구동되고 있다.Background Art Conventionally, industrial robots that carry a predetermined carrying object are widely used. As such an industrial robot, there is known an industrial robot having a hand on which a carrying object is mounted, an arm for holding a hand, and a ball screw for moving the arm up and down For example, see Patent Document 1). In the industrial robot described in Patent Document 1, one motor is connected to the ball screw, and the ball screw is driven by one motor.

[특허문헌 1] 일본국 특개2006-102886호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-102886

액정 디스플레이용 유리기판 등과 같이, 산업용 로보트에 의해서 반송되는 반송대상물 중에는, 매년, 대형화하는 것이 있다. 또, 노광(露光)장치에서 사용되는 마스크와 같이, 산업용 로보트에 의해서 반송되는 반송대상물 중에는, 매년, 고액화하는 것도 있다.Some objects to be transported by industrial robots, such as glass substrates for liquid crystal displays, are made larger each year. In addition, some of the objects to be transported by the industrial robot, such as a mask used in an exposure apparatus, may be mass-filled every year.

그래서, 본 발명의 과제는 큰 반송대상물이나 고가의 반송대상물의 반송에 적합한 산업용 로보트를 제공하는 것이다.Therefore, an object of the present invention is to provide an industrial robot suitable for transporting a large transport object or an expensive transport object.

상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로보트는 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 핸드가 연결되는 암(arm)과, 암을 지지하는 지지부재를 구비함과 동시에, 지지부재를 상하이동시키는 상하구동기구 및/또는 지지부재를 수평방향으로 이동시키기 위한 수평구동기구 및/또는 상하방향을 축방향으로 하는 소정의 중심축을 중심으로 지지부재를 회전시키기 위한 회전구동기구와, 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구를 제어하는 제어부를 구비하고, 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구는 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구를 정지시키기 위한 복수의 브레이크(brake) 기구를 구비하며, 제어부는 복수의 브레이크 기구를 제어하는 브레이크 제어부를 구비하고, 브레이크 제어부는 복수의 브레이크 기구를 단계적으로 작동시키는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention comprises a hand on which a carrying object is mounted, an arm to which a hand is connected, and a supporting member for supporting the arm, A vertical drive mechanism for vertically moving the support member and / or a rotation drive mechanism for rotating the support member about a predetermined central axis in the vertical direction, Wherein the up-and-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / or the rotation driving mechanism includes a vertical driving mechanism and / or a horizontal driving mechanism and / or a rotation driving mechanism, And a plurality of brake mechanisms for stopping the drive mechanism, wherein the control section includes a brake control section for controlling the plurality of brake mechanisms, Is characterized in that a plurality of brake mechanisms are operated step by step.

본 발명의 산업용 로보트에서는 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구가 복수의 브레이크 기구를 구비하고 있다. 그 때문에, 예를 들면, 1개의 브레이크 기구가 파손되어도 다른 브레이크 기구에 의해서, 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구를 정지시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에서는 큰 반송대상물이나 고가의 반송대상물이라도 안전하게 반송하는 것이 가능하게 된다. 또, 본 발명에서는 브레이크 제어부가 복수의 브레이크 기구를 단계적으로 작동시키고 있다. 그 때문에, 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구가 복수의 브레이크 기구를 가지는 경우라도 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구에 발생하는 제동력을 단계적으로 크게 해 가는 것이 가능하게 된다. 따라서, 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구의 급제동을 방지하는 것이 가능하게 되며, 그 결과, 핸드로부터의 반송대상물의 낙하를 방지하는 것이 가능하게 된다.In the industrial robot of the present invention, the up-and-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / or the rotation driving mechanism are provided with a plurality of brake mechanisms. Therefore, even if one brake mechanism is broken, for example, the up-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / or the rotation driving mechanism can be stopped by another brake mechanism. Therefore, in the present invention, it is possible to transport even a large conveying object or an expensive conveying object safely. Further, in the present invention, the brake control section operates a plurality of brake mechanisms step by step. Therefore, even when the up-and-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / or the rotation driving mechanism has a plurality of brake mechanisms, the braking force generated in the up-and-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / It becomes possible to do. Therefore, sudden braking of the up-and-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / or the rotation driving mechanism can be prevented, and as a result, it is possible to prevent the carrying object from dropping from the hand.

본 발명에 있어서, 브레이크 제어부는 복수의 브레이크 기구의 각각의 작동개시 타이밍을 늦추는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구에 발생하는 제동력을 서서히 크게 하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구의 급제동을 확실히 방지하여, 핸드로부터의 반송대상물의 낙하를 확실히 방지하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, it is preferable that the brake control section delay the operation start timing of each of the plurality of brake mechanisms. With this configuration, it becomes possible to gradually increase the braking force generated in the up-and-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / or the rotation driving mechanism. Therefore, sudden braking of the up-and-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / or the rotation driving mechanism is surely prevented, and it is possible to reliably prevent the carrying object from falling off the hand.

본 발명에 있어서, 산업용 로보트는 복수의 브레이크 기구로서 복수의 상하 브레이크 기구를 가지는 상하구동기구를 구비하고, 제어부는 브레이크 제어부로서 복수의 상하 브레이크 기구를 제어하는 상하 브레이크 제어부를 구비하며, 상하 브레이크 제어부는 복수의 상하 브레이크 기구를 단계적으로 작동시키는 것이 바람직하다.In the present invention, the industrial robot includes an up-and-down driving mechanism having a plurality of braking mechanisms as a plurality of braking mechanisms, and the control unit includes a vertical brake control unit for controlling the plurality of vertical braking mechanisms as a brake control unit, It is preferable that the plurality of upper and lower brake mechanisms operate stepwise.

이와 같이 구성하면, 예를 들어, 1개의 상하 브레이크 기구가 파손되어도 다른 상하 브레이크 기구에 의해서, 상하구동기구를 정지시킬 수 있다. 즉, 지지부재를 정지시켜 핸드 및 암의 낙하를 방지할 수 있다. 따라서, 큰 반송대상물이나 고가의 반송대상물이라도 안전하게 반송할 수 있다. 또, 메인터넌스시에, 예를 들면, 1개의 상하 브레이크 기구를 떼어내는 경우라도 다른 상하 브레이크 기구로 지지부재를 소정 위치에 정지시키는 것이 가능하게 된다. 그 때문에, 상하구동기구의 메인터넌스가 용이하게 된다. 또한, 상하구동기구가 복수의 브레이크 기구를 가지는 경우라도 상하구동기구의 급제동을 방지하는 것이 가능하게 되기 때문에, 핸드로부터의 반송대상물의 낙하를 방지하는 것이 가능하게 된다.With this configuration, for example, even if one of the vertical braking mechanisms is broken, the up-and-down driving mechanism can be stopped by another vertical braking mechanism. That is, it is possible to stop the support member and prevent the hands and the arm from falling down. Therefore, even a large carrying object or an expensive carrying object can be safely transported. Further, at the time of maintenance, for example, even when one vertical braking mechanism is removed, it is possible to stop the support member at a predetermined position by using another vertical braking mechanism. Therefore, maintenance of the up-and-down driving mechanism is facilitated. Further, even when the up-and-down driving mechanism has a plurality of brake mechanisms, it is possible to prevent sudden braking of the up-and-down driving mechanism, thereby making it possible to prevent the carrying object from falling out of the hand.

본 발명에 있어서, 상하구동기구는, 예를 들면, 상하 브레이크 기구와 같은 수의 상하구동용 모터를 구비하고, 복수의 상하 브레이크 기구의 각각은 복수의 상하구동용 모터의 각각에 연결되어 있다. 이 경우에는 상하 브레이크 기구에 의해서 복수의 상하구동용 모터를 개별적이고 또한 확실하게 정지시키는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the up-down driving mechanism includes, for example, the same number of up-and-down driving motors as the up-and-down braking mechanism, and each of the plurality of up-and-down braking mechanisms is connected to each of the plurality of up and down driving motors. In this case, the up-and-down braking mechanism can individually and reliably stop the plurality of up-and-down driving motors.

본 발명에 있어서, 산업용 로보트는 복수의 상하구동용 모터의 각각의 회전속도를 검출하기 위한 복수의 속도검출기구를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 속도검출기구에 의해서 복수의 상하구동용 모터의 이상을 개별적으로 검출하는 것이 가능하게 된다. 즉, 복수의 속도검출기구에서 검출되는 회전속도에 큰 차이가 생기는지 아닌지를 검출함으로써, 복수의 상하구동용 모터의 이상을 개별적으로 검출하는 것이 가능하게 된다. 또, 1대라도 상하구동용 모터의 이상이 검출되었을 경우에는 상하 브레이크 기구에 의해서 상하구동기구를 정지시킬 수 있다. 따라서, 상하구동용 모터에 이상이 생겨도 지지부재를 안전하게 정지시킬 수 있다.In the present invention, the industrial robot preferably includes a plurality of speed detecting mechanisms for detecting the respective rotational speeds of the plurality of up-down driving motors. With this configuration, it is possible to individually detect the abnormality of the plurality of up-down driving motors by the speed detecting mechanism. In other words, by detecting whether or not there is a large difference in the rotational speeds detected by the plurality of speed detecting mechanisms, it becomes possible to individually detect the abnormality of the plurality of up-down driving motors. When an abnormality of the motor for up-down driving is detected even for one of them, the up-and-down driving mechanism can be stopped by the up-and-down braking mechanism. Therefore, even if an abnormality occurs in the motor for up-down driving, the supporting member can be safely stopped.

본 발명에 있어서, 상하구동기구는, 예를 들면, 복수의 상하 브레이크 기구가 연결되는 1대의 상하구동용 모터를 구비하고 있다. 이 경우에는 복수의 상하 브레이크 기구에 의한 큰 제동력으로 1개의 상하구동용 모터를 확실히 정지시키는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the up-and-down driving mechanism includes, for example, one up-and-down driving motor to which a plurality of up-and-down braking mechanisms are connected. In this case, it is possible to reliably stop one up-and-down drive motor with a large braking force by a plurality of up-and-down braking mechanisms.

본 발명에 있어서, 상하구동기구는 상하구동용 모터에 연결되어 지지부재를 상하이동시키는 볼나사와, 볼나사의 회전속도를 검출하기 위한 나사 측 속도검출기구와, 상하구동용 모터의 회전속도를 검출하기 위한 모터 측 속도검출기구를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 나사 측 속도검출기구와 모터 측 속도검출기구에 의해서 상하구동기구의 이상을 확실히 검출하는 것이 가능하게 된다. 즉, 모터 측 속도검출기구에서의 검출결과에 근거하여 산출되는 볼나사의 회전속도와, 나사 측 속도검출기구에서 검출되는 볼나사의 회전속도와의 차이로부터 상하구동기구의 이상을 확실하게 검출하는 것이 가능하게 된다. 또, 상하구동기구의 이상이 검출된 경우에는 상하 브레이크 기구에 의해서 상하구동기구를 정지시킬 수 있다. 따라서, 상하구동기구에 이상이 생겨도 지지부재를 안전하게 정지시킬 수 있 다.In the present invention, the up-and-down driving mechanism includes a ball screw that is connected to the up-down driving motor to move the supporting member up and down, a screw side speed detecting mechanism for detecting the rotating speed of the ball screw, Side speed detecting mechanism for detecting the motor-side speed. With this configuration, it is possible to reliably detect the abnormality of the up-and-down driving mechanism by the screw side speed detecting mechanism and the motor side speed detecting mechanism. Namely, the abnormality of the up-and-down driving mechanism is reliably detected from the difference between the rotational speed of the ball screw calculated on the basis of the detection result in the motor-side speed detecting mechanism and the rotational speed of the ball screw detected by the screw- Lt; / RTI &gt; When an abnormality of the up-down driving mechanism is detected, the up-down driving mechanism can be stopped by the up-and-down braking mechanism. Therefore, even if an abnormality occurs in the up-and-down driving mechanism, the supporting member can be safely stopped.

본 발명에 있어서, 산업용 로보트는 복수의 브레이크 기구로서 복수의 수평 브레이크 기구를 가지는 수평구동기구를 구비하고, 제어부는 브레이크 제어부로서 복수의 수평 브레이크 기구를 제어하는 수평 브레이크 제어부를 구비하며, 수평 브레이크 제어부는 복수의 수평 브레이크 기구를 단계적으로 작동시키는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 예를 들어, 1개의 수평 브레이크 기구가 파손되어도 다른 수평 브레이크 기구에 의해서 수평구동기구를 정지시킬 수 있다. 따라서, 큰 반송대상물이나 고가의 반송대상물이라도 안전하게 반송할 수 있다. 또, 수평구동기구가 복수의 브레이크 기구를 가지는 경우라도 수평구동기구의 급제동을 방지하는 것이 가능하게 되기 때문에, 핸드로부터의 반송대상물의 낙하를 방지하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the industrial robot includes a horizontal drive mechanism having a plurality of horizontal brake mechanisms as a plurality of brake mechanisms, and the control unit includes a horizontal brake control unit for controlling the plurality of horizontal brake mechanisms as a brake control unit, It is preferable to operate the plurality of horizontal braking mechanisms step by step. With this configuration, for example, even if one horizontal brake mechanism is broken, the horizontal driving mechanism can be stopped by another horizontal brake mechanism. Therefore, even a large carrying object or an expensive carrying object can be safely transported. Further, even when the horizontal drive mechanism has a plurality of brake mechanisms, it is possible to prevent sudden braking of the horizontal drive mechanism, thereby making it possible to prevent the object from being dropped from the hand.

본 발명에 있어서, 수평구동기구는, 예를 들어, 수평 브레이크 기구와 같은 수의 수평구동용 모터를 구비하고, 복수의 수평 브레이크 기구의 각각은 복수의 수평구동용 모터의 각각에 연결되어 있다. 이 경우에는 수평 브레이크 기구에 의해서 복수의 수평구동용 모터를 개별적이고 또한 확실하게 정지시키는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the horizontal drive mechanism includes, for example, the same number of horizontal drive motors as the horizontal brake mechanism, and each of the plurality of horizontal brake mechanisms is connected to each of the plurality of horizontal drive motors. In this case, a plurality of horizontal driving motors can be individually and reliably stopped by the horizontal brake mechanism.

이상과 같이, 본 발명에 관한 산업용 로보트에서는 큰 반송대상물이나 고가의 반송대상물을 적절히 반송하는 것이 가능하게 된다.As described above, in the industrial robot according to the present invention, it is possible to suitably carry a large conveying object or an expensive conveying object.

<발명을 실시하기 위한 바람직한 형태>BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION [

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 근거하여 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

[실시형태 1][Embodiment 1]

(산업용 로보트의 개략 구성)(Outline of industrial robot)

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 산업용 로보트(1)의 평면도이다. 도 2는 도 1의 E-E방향으로부터 산업용 로보트(1)를 나타내는 도이다. 도 3은 도 1의 F-F방향에서 산업용 로보트(1)를 나타내는 도이다.1 is a plan view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. Fig. 2 is a view showing the industrial robot 1 from the direction E-E in Fig. 3 is a view showing the industrial robot 1 in the direction of F-F in Fig.

실시형태 1에 관한 산업용 로보트(1)(이하, 「로보트(1)」로 한다.)는 반송대상물인 액정 디스플레이용 유리기판(2)(이하, 「기판(2)」으로 한다.)을 반송하기 위한 로보트이다. 본 형태의 로보트(1)는 특히 대형 기판(2)의 반송에 적절한 대형 로보트로서, 예를 들어, 1변이 약 3m의 대략 정방형(正方形) 모양의 기판(2)을 반송한다.The industrial robot 1 (hereinafter referred to as "robot 1") according to Embodiment 1 transports a glass substrate 2 for a liquid crystal display (hereinafter referred to as "substrate 2") as a carrying object . The robot 1 of this embodiment is a large robot suitable for transporting a large-size substrate 2, and for example, a substrate 2 of approximately square shape with one side of about 3 m is transported.

이 로보트(1)는, 도 1 ~ 도 3에 나타내는 바와 같이, 기판(2)이 탑재되는 2개의 핸드(3)와, 2개의 핸드(3)의 각각이 선단 측에 연결되는 2개의 암(4)과, 2개의 암(4)을 지지하는 본체부(5)와, 본체부(5)를 수평방향으로 이동가능하게 지지하는 베이스부재(6)를 구비하고 있다. 본체부(5)는 2개의 암(4)의 기단(基端) 측을 지지함과 동시에 상하이동가능한 지지부재(7)와, 지지부재(7)를 상하방향으로 이동가능하게 지지하기 위한 주상부재(8)와, 본체부(5)의 하단 부분을 구성함과 동시에 베이스부재(6)에 대해서 수평이동가능한 기대(基臺)(9)와, 주상부재(8)의 하단이 고정됨과 동시에 기대(9)에 대해서 선회(旋回)가능한 선회부재(10)를 구비하고 있 다.1 to 3, the robot 1 includes two hands 3 on which a substrate 2 is mounted, two arms 3 each having two hands 3, A main body portion 5 for supporting the two arms 4 and a base member 6 for supporting the main body portion 5 movably in the horizontal direction. The main body portion 5 includes a support member 7 which supports the base end side of the two arms 4 and is movable up and down and a columnar support member 7 for supporting the support member 7 movably in the up- A base 9 capable of horizontally moving with respect to the base member 6 and a lower end of the columnar member 8 being fixed to the base member 6 And a turning member 10 capable of turning with respect to the base 9.

상술한 바와 같이, 본 형태의 로보트(1)는 대형 로보트이다. 예를 들어, 로보트(1)의 높이는 약 7m이고, 지지부재(7)의 상하방향의 스트로크(이동량)는 약 5m이다. 또, 예를 들어, 핸드(3)의 수평방향의 스트로크는 약 5.5m이다.As described above, the robot 1 of the present embodiment is a large-sized robot. For example, the height of the robot 1 is about 7 m, and the vertical stroke (movement amount) of the support member 7 is about 5 m. In addition, for example, the horizontal stroke of the hand 3 is about 5.5 m.

핸드(3)는 기판(2)을 탑재하기 위한 복수의 손톱부(12)를 구비하고 있다. 핸드(3)의 기단은 암(4)의 선단에 회동가능하게 연결되어 있다. 암(4)은 2개의 관절부(13)를 가지고, 전체적으로 신축하도록 구성되어 있다. 또, 암(4)의 기단은 지지부재(7)에 고정되어 있다.The hand 3 is provided with a plurality of nail portions 12 for mounting the substrate 2 thereon. The base end of the hand 3 is rotatably connected to the distal end of the arm 4. The arm (4) has two joint portions (13) and is configured to extend and contract as a whole. In addition, the base end of the arm 4 is fixed to the support member 7.

본 형태에서는 2개의 핸드(3)와 2개의 암(4)이 상하방향과 겹쳐지도록 배치되어 있다. 즉, 본 형태의 로보트(1)는 더블 암 타입의 로보트이다. 또한, 로보트(1)는 1개의 핸드(3)와 1개의 암(4)을 구비하는 싱글 암 타입의 로보트라도 된다.In this embodiment, the two hands 3 and the two arms 4 are arranged so as to overlap with each other in the vertical direction. That is, the robot 1 of the present embodiment is a double arm type robot. Further, the robot 1 may be a single-arm type robot having one hand 3 and one arm 4.

또, 로보트(1)는 지지부재(7)를 상하이동시키는 상하구동기구(16)(도 4 참조)와, 본체부(5)를 수평방향으로 이동시키는 수평구동기구(17)(도 7 참조)와, 기대(9)에 대해서 선회부재(10)를 선회시키는 회전구동기구(18)(도 7 참조)를 구비하고 있다. 이하, 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18)의 구성 및 그 주변 부분의 구성을 설명한다.4) for vertically moving the support member 7 and a horizontal drive mechanism 17 (see Fig. 7) for moving the body portion 5 in the horizontal direction And a rotation drive mechanism 18 (see Fig. 7) for pivoting the pivoting member 10 with respect to the base 9. Hereinafter, the configurations of the up-and-down driving mechanism 16, the horizontal driving mechanism 17, and the rotary driving mechanism 18 and the configuration of the peripheral portion thereof will be described.

(상하구동기구 및 그 주변부의 구성)(Structure of Upper Driving Mechanism and its Peripheral Portion)

도 4는 도 1의 F-F방향에서 지지부재(7) 및 상하구동기구(16)를 나타내는 도이다. 도 5는 도 4의 G-G방향에서 지지부재(7), 주상부재(8) 및 상하구동기구(16) 를 나타내는 도이다. 도 6은 도 4의 H-H방향에서 상하구동기구(16)를 나타내는 도이다.Fig. 4 is a view showing the support member 7 and the up-and-down driving mechanism 16 in the direction of F-F in Fig. 5 is a view showing the supporting member 7, the columnar member 8 and the up-and-down driving mechanism 16 in the direction of G-G in Fig. 6 is a diagram showing the up-and-down driving mechanism 16 in the direction of H-H in Fig.

상하구동기구(16)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 주상부재(8)의 측방(도 5에서의 주상부재(8) 아래쪽)에 배치되어 있다. 이 상하구동기구(16)는 2대의 상하구동용 모터(20)와, 2대의 상하구동용 모터(20)의 각각에 연결되는 2개의 감속기(21)를 구비하고 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 1대의 상하구동용 모터(20), 2개의 감속기(21) 및 1대의 상하구동용 모터(20)가 위로부터 이 순번(順番)으로 지지부재(7)에 고정되어 있다.As shown in Fig. 5, the vertical drive mechanism 16 is disposed on the side of the columnar member 8 (below the columnar member 8 in Fig. 5). The up-and-down driving mechanism 16 includes two up-and-down driving motors 20 and two speed reducers 21 connected to the two up-and-down driving motors 20, respectively. 4, one up-down driving motor 20, two speed reducers 21 and one up-down driving motor 20 are fixed to the support member 7 in this order from the top have.

또, 상하구동기구(16)는 2개의 감속기(21)의 각각의 출력축에 고정되는 상하구동용 피니언(pinion)으로서의 2개의 피니언(작은 톱니바퀴)(22)과, 2개의 피니언(22)과 치합하는 상하구동용 랙(rack)으로서의 랙(23)을 구비하고 있다. 이 2개의 피니언(22)과 랙(23)에 의해서, 지지부재(7)는 상하방향으로 이동한다. 또한, 상하구동기구(16)는 상하구동기구(16)를 정지시키기 위한(즉, 지지부재(7)를 정지시키기 위한) 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 구비하고 있다.The up-and-down driving mechanism 16 includes two pinions (small toothed wheels) 22 as pinions for up-and-down driving fixed to respective output shafts of the two speed reducers 21, two pinions 22 And a rack 23 serving as a rack for up and down driving. By the two pinions 22 and the rack 23, the support member 7 moves in the vertical direction. The up-and-down driving mechanism 16 includes two up-and-down brake mechanisms 24 for stopping the up-down driving mechanism 16 (that is, for stopping the supporting member 7).

또, 로보트(1)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 지지부재(7)를 상하방향으로 안내하기 위한 가이드부(25)를 구비하고 있다. 가이드부(25)는 가이드 레일(26)과 가이드 레일(26)에 걸어 맞추는 가이드 블록(27)으로 구성되어 있다. 또한, 주상부재(8)는 상하방향을 길이방향으로 하는 가늘고 긴 대략 각주상(角柱狀)으로 형성되며, 지지부재(7)는 블록 모양으로 형성되어 있다.5, the robot 1 is provided with a guide portion 25 for guiding the support member 7 in the vertical direction. The guide portion 25 is constituted by a guide rail 26 and a guide block 27 which engages with the guide rail 26. In addition, the columnar member 8 is formed into a substantially square columnar shape having a long length in the vertical direction, and the support member 7 is formed in a block shape.

상하구동용 모터(20)는 상하구동용 모터(20)의 회전속도를 검출하기 위한 속 도검출기구(도시생략)를 구비하고 있다. 이 속도검출기구는, 예를 들어, 원판 모양으로 형성된 슬릿판과, 슬릿판을 끼운 상태로 대향 배치되는 발광소자 및 수광소자로 구성되어 있다.The up-down driving motor 20 is provided with a speed detecting mechanism (not shown) for detecting the rotating speed of the up-down driving motor 20. [ The speed detecting mechanism is constituted by, for example, a slit plate formed in a disk shape and a light emitting element and a light receiving element arranged opposite to each other with the slit plate sandwiched therebetween.

도 6에 나타내는 바와 같이, 상하구동용 모터(20)의 출력축에는 풀리(28)가 고정되어 있다. 또, 감속기(21)의 입력축에는 풀리(28)보다도 지름이 큰 풀리(29)가 고정되어 있다. 풀리(28, 29)에는 벨트(30)가 걸쳐져 있고, 상하방향으로 인접배치되는 상하구동용 모터(20)와 감속기(21)가 이 벨트(30)에 의해서 연결되어 있다.As shown in Fig. 6, a pulley 28 is fixed to the output shaft of the up-and-down driving motor 20. As shown in Fig. A pulley 29 having a larger diameter than the pulley 28 is fixed to the input shaft of the speed reducer 21. A belt 30 is wound on the pulleys 28 and 29 and the motor 30 for vertically driving the vertical drive motor 20 and the speed reducer 21 are connected by the belt 30.

랙(23)은 상하방향을 길이방향으로서 주상부재(8)에 고정되어 있다(도 5 참조). 상술한 바와 같이, 본 형태에서는 지지부재(7)의 상하방향의 스트로크가 길다. 즉, 랙(23)의 길이는 길다. 그 때문에, 본 형태에서는, 랙(23)은 복수의 랙편을 이어 맞추는 것으로 형성되어 있다. 또한, 1개의 랙편의 길이는 2개의 피니언(22)의 배치 피치보다 길게 되어 있다.The rack 23 is fixed to the columnar member 8 in the vertical direction as a longitudinal direction (see Fig. 5). As described above, in this embodiment, the vertical stroke of the support member 7 is long. That is, the length of the rack 23 is long. Therefore, in this embodiment, the rack 23 is formed by joining a plurality of pieces. In addition, the length of one rack piece is longer than the arrangement pitch of the two pinions 22.

상하 브레이크 기구(24)는, 도 6 등에 나타내는 바와 같이, 풀리(29)에 인접하도록 감속기(21)의 입력축에 장착되어 있다. 즉, 2개의 상하 브레이크 기구(24)의 각각은 풀리(28, 29) 및 벨트(30)를 통하여 2대의 상하구동용 모터(20)의 각각에 연결되어 있다.The upper and lower brake mechanism 24 is mounted on the input shaft of the speed reducer 21 so as to be adjacent to the pulley 29 as shown in Fig. That is, each of the two upper and lower brake mechanisms 24 is connected to each of the two upper and lower drive motors 20 through the pulleys 28, 29 and the belt 30.

이 상하 브레이크 기구(24)는 이른바 무여자(無勵磁) 작동형 브레이크이며, 코일이 수납되는 케이스체와, 케이스체에 고정되는 사이드 플레이트와, 케이스체에 대해서 축방향으로 이동가능하게 배치되는 아마츄어(amateur)와, 사이드 플레이트 와 아마츄어 사이에 배치됨과 동시에 감속기(21)의 입력축에 고정되는 브레이크 디스크와, 아마츄어를 브레이크 디스크로 향하여 가압하는 압축코일 스프링을 구비하고 있다. 상하 브레이크 기구(24)에서는 코일이 통전(通電) 상태가 되면, 아마츄어가 케이스체에 흡인(吸引)되어 브레이크 디스크가 해방된다. 또, 코일로의 통전이 정지되면, 압축코일 스프링의 가압력으로 아마츄어와 사이드 플레이트와의 사이에 브레이크 디스크가 끼워져 감속기(21)에 급격하게 브레이크가 걸린다. 또한, 1개의 상하 브레이크 기구(24)는 기판(2), 핸드(3), 암(4) 및 지지부재(7) 등을 포함한 상하방향으로 이동하는 부분을 충분히 정지시킬 수 있는 제동력을 가지고 있다.The upper and lower braking mechanism 24 is a so-called zero-excitation type brake, and includes a case body in which a coil is housed, a side plate fixed to the case body, A brake disk disposed between the side plate and the armature and fixed to the input shaft of the reduction gear 21 and a compression coil spring urging the armature toward the brake disk. In the upper and lower brake mechanism 24, when the coil is in the energized state, the armature is sucked into the case body to release the brake disc. When the energization to the coil is stopped, a brake disk is inserted between the armature and the side plate by the urging force of the compression coil spring, and the decelerator 21 is suddenly braked. The one vertical braking mechanism 24 has a braking force capable of sufficiently stopping the vertically moving portion including the substrate 2, the hand 3, the arm 4, the support member 7, and the like .

가이드 레일(26)은 상하방향을 길이방향으로서 주상부재(8)에 고정되어 있다(도 5 참조). 본 형태에서는 2개의 가이드 레일(26)이 주상부재(8)에 고정되어 있다. 구체적으로는 도 5의 좌우방향으로 평행한 2개의 주상부재(8)의 장착면의 각각에 가이드 레일(26)이 고정되어 있다. 또, 도 5의 아래쪽에 배치되는 가이드 레일(26)은 랙(23)에 인접하도록 고정되어 있다.The guide rails 26 are fixed to the columnar member 8 in the longitudinal direction in the vertical direction (see Fig. 5). In this embodiment, the two guide rails 26 are fixed to the columnar member 8. Concretely, the guide rails 26 are fixed to the respective mounting surfaces of the two columnar members 8 parallel to the left and right direction in Fig. Further, the guide rail 26 disposed at the lower side of Fig. 5 is fixed so as to be adjacent to the rack 23.

가이드 블록(27)은 지지부재(7)에 고정되어 있다. 구체적으로는 지지부재(7)의 암(4)의 고정면(도 5의 우단면)에 직교하는 면에 가이드 블록(27)이 고정되어 있고, 가이드 블록(27)은 도 5의 상하방향의 외측으로부터 가이드 레일(26)에 걸어 맞춰져 있다.The guide block 27 is fixed to the support member 7. Specifically, a guide block 27 is fixed to a surface of the support member 7 orthogonal to the fixing surface (the right end surface in FIG. 5) of the arm 4, And is engaged with the guide rail 26 from the outside.

또한, 본 형태에서는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 주상부재(8)에 커버부재(31)가 고정되어 있다. 이 커버부재(31)는 도 5의 상하방향에서 가이드 레일(26)을 가리도록 배치되어 있다.Further, in this embodiment, as shown in Fig. 5, the cover member 31 is fixed to the columnar member 8. As shown in Fig. The cover member 31 is disposed so as to cover the guide rail 26 in the vertical direction in Fig.

(수평구동기구 및 그 주변부의 구성)(Configuration of Horizontal Drive Mechanism and Its Surrounding Parts)

도 7은 도 2의 J부의 내부구성을 설명하기 위한 도이다. 도 8은 도 3의 K-K방향에서 수평구동기구(17) 등의 구성을 설명하기 위한 도이다. 도 9는 도 8의 L-L방향에서 수평구동기구(17)의 구성을 설명하기 위한 도이다.Fig. 7 is a diagram for explaining the internal configuration of a portion J in Fig. 2; 8 is a view for explaining the configuration of the horizontal drive mechanism 17 and the like in the direction of K-K in Fig. Fig. 9 is a diagram for explaining the configuration of the horizontal drive mechanism 17 in the L-L direction in Fig.

수평구동기구(17)는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 도 7에서의 기대(9)의 좌단 측에 배치되어 있다. 이 수평구동기구(17)는 2대의 수평구동용 모터(40)를 구비하고 있다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 2대의 수평구동용 모터(40)는 도 8의 좌우방향에서 인접하도록 배치되어 있다. 또, 2대의 수평구동용 모터(40)의 각각은 기대(9)에 고정된 2개의 브래킷(52)의 각각에 고정되어 있다. 2개의 브래킷(52)의 각각에는, 도 8, 도 9에 나타내는 바와 같이, 회전축(53)이 베어링(54)을 통하여 회전가능하게 유지되고 있다. 2개의 회전축(53)은 도 8의 좌우방향에서 인접하도록 배치되어 있다.As shown in Fig. 7, the horizontal drive mechanism 17 is disposed on the left end side of the base 9 in Fig. The horizontal driving mechanism 17 is provided with two horizontal driving motors 40. As shown in Fig. 8, the two horizontal driving motors 40 are arranged adjacent to each other in the right-left direction in Fig. Each of the two horizontal driving motors 40 is fixed to each of the two brackets 52 fixed to the base 9. 8 and 9, the rotating shaft 53 is rotatably supported by bearings 54 on each of the two brackets 52. As shown in Figs. The two rotary shafts 53 are arranged so as to be adjacent to each other in the left-right direction in Fig.

또, 수평구동기구(17)는 2개의 회전축(53)의 각각의 하단에 고정되는 수평구동용 피니언으로서의 2개의 피니언(42)과, 2개의 피니언(42)과 치합하는 수평구동용 랙으로서의 랙(43)을 구비하고 있다. 이 2개의 피니언(42)과 랙(43)에 의해서, 기대(9)는 수평방향으로 이동한다. 또한, 수평구동기구(17)는 수평구동기구(17)를 정지시키기 위한(즉, 기대(9)를 정지시키기 위한) 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 구비하고 있다.The horizontal driving mechanism 17 includes two pinions 42 serving as horizontal driving pins fixed to the lower ends of the two rotary shafts 53 and a rack 42 serving as a horizontal driving rack for mating with the two pinions 42. [ (43). By the two pinions 42 and the rack 43, the base 9 moves in the horizontal direction. The horizontal driving mechanism 17 also has two horizontal brake mechanisms 44 for stopping the horizontal driving mechanism 17 (i.e., for stopping the base 9).

또, 로보트(1)는 기대(9)를 수평방향으로 안내하기 위한 가이드부(45)를 구비하고 있다. 가이드부(45)는 가이드 레일(46)과 가이드 레일(46)에 걸어 맞추는 가이드 블록(47)으로 구성되어 있다. 또, 베이스부재(6)는 도 7, 도 8에 나타내는 바와 같이, 가늘고 긴 2개의 레일모양 부재(51)를 구비하고 있다. 이 레일모양 부재(51)는 도 7의 좌우방향에 소정의 간격을 둔 상태로 평행하게 배치되어 있다.Further, the robot 1 is provided with a guide portion 45 for guiding the base 9 in the horizontal direction. The guide portion 45 is composed of a guide rail 46 and a guide block 47 which engages with the guide rail 46. As shown in Figs. 7 and 8, the base member 6 is provided with two elongate rail-shaped members 51. The rail-shaped members 51 are arranged parallel to each other with a predetermined gap leftward and rightward in FIG.

수평구동용 모터(40)는 수평구동용 모터(40)의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구(도시생략)를 구비하고 있다. 이 속도검출기구는, 예를 들어, 원판 모양으로 형성된 슬릿판과, 슬릿판을 끼운 상태로 대향 배치되는 발광소자 및 수광소자로 구성되어 있다.The horizontal driving motor 40 is provided with a speed detecting mechanism (not shown) for detecting the rotational speed of the horizontal driving motor 40. [ The speed detecting mechanism is constituted by, for example, a slit plate formed in a disk shape and a light emitting element and a light receiving element arranged opposite to each other with the slit plate sandwiched therebetween.

도 9에 나타내는 바와 같이, 수평구동용 모터(40)의 출력축에는 풀리(48)가 고정되어 있다. 또, 회전축(53)의 상단 측에는 풀리(48)보다 지름이 큰 풀리(49)가 고정되어 있다. 풀리(48, 49)에는 벨트(50)가 걸쳐져 있고, 도 8의 상하방향에서 인접배치되는 수평구동용 모터(40)와 회전축(53)이 이 벨트(50)에 의해서 연결되어 있다.As shown in Fig. 9, a pulley 48 is fixed to the output shaft of the horizontal drive motor 40. As shown in Fig. A pulley 49 having a larger diameter than the pulley 48 is fixed to the upper end of the rotating shaft 53. A belt 50 is wound on the pulleys 48 and 49 and the horizontal drive motor 40 and the rotary shaft 53 disposed adjacent to each other in the vertical direction of Fig.

랙(43)은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 레일모양 부재(51)의 상면에 고정되어 있다. 본 형태에서는 기대(9)의 이동량이 크기 때문에, 랙(43)의 길이는 길다. 그 때문에, 랙(43)은 복수의 랙편을 이어 맞추는 것으로 형성되어 있다.The rack 43 is fixed to the upper surface of the rail-shaped member 51 as shown in Fig. In this embodiment, since the amount of movement of the base 9 is large, the length of the rack 43 is long. Therefore, the rack 43 is formed by joining a plurality of pieces.

수평 브레이크 기구(44)는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 풀리(48)에 인접하도록 수평구동용 모터(40)의 출력축에 장착되어 있다. 이 수평 브레이크 기구(44)는 상하 브레이크 기구(24)와 마찬가지로 이른바 무여자 작동형의 브레이크이며, 상하 브레이크 기구(24)와 동일하게 구성되어 있다. 즉, 수평 브레이크 기구(44)에서는, 코일이 통전 상태가 되면, 아마츄어가 케이스체에 흡인되어 브레이크 디스크 가 해방된다. 또, 코일로의 통전이 정지되면, 압축코일 스프링의 가압력으로 아마츄어와 사이드 플레이트와의 사이에 브레이크 디스크가 끼워져 수평구동용 모터(40)에 급격하게 브레이크가 걸린다.The horizontal brake mechanism 44 is mounted on the output shaft of the horizontal drive motor 40 so as to be adjacent to the pulley 48 as shown in Fig. The horizontal brake mechanism 44 is a so-called zero-excitation type brake similar to the vertical brake mechanism 24, and is constituted in the same manner as the vertical brake mechanism 24. That is, in the horizontal brake mechanism 44, when the coil is in the energized state, the armature is sucked into the case body to release the brake disc. When the energization to the coil is stopped, the brake disc is sandwiched between the armature and the side plate by the pressing force of the compression coil spring, so that the horizontal driving motor 40 is rapidly braked.

가이드 레일(46)은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 레일모양 부재(51)의 상면에 고정되어 있다. 본 형태에서는, 2개의 레일모양 부재(51)의 각각의 상면에 가이드 레일(46)이 고정되어 있다. 또, 도 8의 위쪽에 배치되는 가이드 레일(46)은 랙(43)에 인접하도록 고정되어 있다. 가이드 블록(47)은, 도 7에 나타내는 바와 같이, 도 7의 좌우방향에서의 기대(9)의 양단부에 고정되어 있다. 이 가이드 블록(47)은 위쪽으로부터 가이드 레일(46)에 걸어 맞춰져 있다.As shown in Fig. 8, the guide rail 46 is fixed to the upper surface of the rail-shaped member 51. As shown in Fig. In this embodiment, the guide rails 46 are fixed to the upper surfaces of the two rail-shaped members 51, respectively. Further, the guide rail 46 disposed at the upper side of Fig. 8 is fixed so as to be adjacent to the rack 43. Fig. As shown in Fig. 7, the guide block 47 is fixed to both ends of the base 9 in the left and right direction in Fig. The guide block 47 is engaged with the guide rail 46 from above.

(회전구동기구 및 그 주변부분의 구성)(Configuration of Rotary Drive Mechanism and its Surrounding Parts)

도 10은 도 1에 나타내는 선회부재(10)의 평면도이다. 도 11은 도 10의 M-M단면의 단면도이다.10 is a plan view of the pivoting member 10 shown in Fig. 11 is a cross-sectional view taken along line M-M of Fig.

회전구동기구(18)는, 도 10, 도 11에 나타내는 바와 같이, 선회부재(10)의 선회중심이 되는 중심축(CL)의 둘레에 배치되어 있다. 이 회전구동기구(18)는 2대의 회전구동용 모터(60)를 구비하고 있다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 2대의 회전구동용 모터(60)는 중심축(CL)에 대해서 점대칭으로 배치되며, 선회부재(10)의 중심부에 고정되어 있다. 또, 회전구동기구(18)는 선회부재(10)의 중심부에 고정되는 감속기(61)를 구비하고 있다. 또한, 회전구동기구(18)는 회전구동기구(18)를 정지시키기 위한(즉, 선회부재(10)를 정지시키기 위한) 1개의 회전 브레이크 기구(64)를 구비하고 있다. 또한, 선회부재(10)는 가늘고 긴 블록 모양의 부재이며, 일단 측(도 10의 좌단 측)에 주상부재(8)의 하단이 고정되어 있다.As shown in Figs. 10 and 11, the rotation drive mechanism 18 is disposed around the center axis CL, which is the center of rotation of the revolving member 10. The rotation driving mechanism 18 is provided with two rotation drive motors 60. As shown in Fig. 10, the two rotation drive motors 60 are arranged point-symmetrically with respect to the center axis CL and are fixed to the center of the revolving member 10. [ The rotary drive mechanism 18 is provided with a speed reducer 61 fixed to the center of the revolving member 10. The rotation drive mechanism 18 is provided with one rotary brake mechanism 64 for stopping the rotation drive mechanism 18 (i.e., for stopping the turning member 10). In addition, the revolving member 10 is an elongated block-shaped member, and the lower end of the columnar member 8 is fixed to one end side (left end side in Fig. 10).

회전구동용 모터(60)는 회전구동용 모터(60)의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구(도시생략)를 구비하고 있다. 이 속도검출기구는, 예를 들어, 원판 모양으로 형성된 슬릿판과, 슬릿판을 끼운 상태로 대향 배치되는 발광소자 및 수광소자로 구성되어 있다.The rotation drive motor 60 is provided with a speed detection mechanism (not shown) for detecting the rotation speed of the rotation drive motor 60. [ The speed detecting mechanism is constituted by, for example, a slit plate formed in a disk shape and a light emitting element and a light receiving element arranged opposite to each other with the slit plate sandwiched therebetween.

도 11에 나타내는 바와 같이, 회전구동용 모터(60)의 출력축에는 출력톱니바퀴(68)가 고정되어 있고, 2개의 출력톱니바퀴(68)가 감속기(61)의 입력톱니바퀴(69)와 치합하고 있다. 이 2개의 출력톱니바퀴(68)와 입력톱니바퀴(69)를 포함하는 감속기(61)에 의해서, 선회부재(10)는 기대(9)에 대해서 선회한다. 즉, 선회부재(10)의 중심부에는 감속기(61)의 출력 측이 고정되어 있고, 감속기(61)를 통하여 전달되는 회전구동용 모터(60)의 동력으로 선회부재(10)는 기대(9)에 대해서 선회한다.11, an output gear 68 is fixed to the output shaft of the rotation driving motor 60 and two output gears 68 are engaged with the input gear 69 of the speed reducer 61 It is summed up. By means of the speed reducer 61 including the two output gears 68 and the input gears 69, the revolving member 10 pivots about the base 9. That is, the output side of the speed reducer 61 is fixed to the center of the revolving member 10, and the revolving member 10 is driven by the power of the rotation driving motor 60 transmitted through the reducer 61, Lt; / RTI &gt;

회전 브레이크 기구(64)는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 선회부재(10)의 중심부에 베어링(74)을 통하여 회전가능하게 유지되는 회전축(73)의 상단에 고정되어 있다. 회전축(73)의 하단에는 감속기(61)의 입력톱니바퀴(69)와 치합하는 톱니바퀴(70)가 고정되어 있다. 또, 회전 브레이크 기구(64)는, 도 10에 나타내는 바와 같이, 중심축(CL)을 중심으로 회전구동용 모터(60)를 90°회전시킨 위치에 배치되어 있다.11, the rotary brake mechanism 64 is fixed to the upper end of a rotary shaft 73 which is rotatably held in the center of the revolving member 10 through a bearing 74. [ A gear wheel 70 meshing with the input gear 69 of the speed reducer 61 is fixed to the lower end of the rotary shaft 73. 10, the rotary braking mechanism 64 is disposed at a position where the rotary drive motor 60 is rotated about the central axis CL by 90 degrees.

이 회전 브레이크 기구(64)는 상하 브레이크 기구(24)와 마찬가지로 이른바 무여자 작동형의 브레이크이며, 상하 브레이크 기구(24)와 동일하게 구성되어 있 다. 즉, 회전 브레이크 기구(64)에서는 코일이 통전 상태가 되면, 아마츄어가 케이스체에 흡인되어 브레이크 디스크가 해방된다. 또, 코일로의 통전이 정지되면, 압축코일 스프링의 가압력으로 아마츄어와 사이드 플레이트 사이에 브레이크 디스크가 끼워져, 입력톱니바퀴(69)에 급격하게 브레이크가 걸린다.This rotary brake mechanism 64 is a so-called zero-excitation type brake similar to the vertical brake mechanism 24, and is constructed in the same manner as the vertical brake mechanism 24. That is, in the rotary brake mechanism 64, when the coil is in the energized state, the armature is sucked into the case body to release the brake disk. When the energization to the coil is stopped, the brake disk is inserted between the armature and the side plate by the urging force of the compression coil spring, and the input gear 69 is rapidly braked.

(제어부의 구성)(Configuration of control unit)

도 12는 도 1에 나타내는 산업용 로보트(1)의 제어부(80) 및 그 관련 부분의 블록도이다. 또한, 도 12에서는 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18)의 제어에 관련하는 제어부(80)의 구성이 도시되어 있다.12 is a block diagram of the control unit 80 of the industrial robot 1 shown in Fig. 1 and its related parts. 12, the configuration of the control section 80 relating to the control of the up-and-down driving mechanism 16, the horizontal driving mechanism 17, and the rotation driving mechanism 18 is shown.

제어부(80)는, 도 12에 나타내는 바와 같이, 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18)의 제어에 관련하는 구성으로서, 2대의 상하구동용 모터(20)를 제어하는 상하모터 제어부(81)와, 2대의 수평구동용 모터(40)를 제어하는 수평모터 제어부(82)와, 2대의 회전구동용 모터(60)를 제어하는 회전모터 제어부(83)와, 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 제어하는 상하 브레이크 제어부(84)와, 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 제어하는 수평 브레이크 제어부(85)와, 1개의 회전 브레이크 기구(64)를 제어하는 회전 브레이크 제어부(86)를 구비하고 있다. 또, 제어부(80)에는 제어지령부(87)가 접속되어 있다.12, the control unit 80 includes two up-and-down driving motors 20, which are related to the control of the up-down driving mechanism 16, the horizontal driving mechanism 17 and the rotation driving mechanism 18, A horizontal motor control unit 82 for controlling the two horizontal driving motors 40 and a rotary motor control unit 83 for controlling the two rotary driving motors 60, A vertical brake control section 84 for controlling the two vertical brake mechanisms 24, a horizontal brake control section 85 for controlling the two horizontal brake mechanisms 44, And a rotary brake control unit 86. [ A control command section 87 is connected to the control section 80. [

상하모터 제어부(81)는 2대의 상하구동용 모터(20) 중 한쪽의 상하구동용 모터(20)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하고, 다른 쪽의 상하구동용 모터(20)를 토크제어에 의해서 제어한다. 즉, 상하모터 제어부(81)는 한쪽의 상하구동용 모터(20)에 대해서는 이 상하구동용 모터(20)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하 여 피드백제어와, 이 상하구동용 모터(20)의 전력값을 제어하는 토크제어를 실시하며, 다른 쪽의 상하구동용 모터(20)에 대해서는 이 상하구동용 모터(20)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하는 피드백제어를 실시하지 않고, 이 상하구동용 모터(20)의 전류값을 제어하는 토크제어를 실시한다.The up / down motor control unit 81 controls one of the up / down driving motors 20 of the two up / down driving motors 20 by speed control and torque control, and the other up / down driving motor 20 is controlled by torque control . That is, the up-and-down motor control unit 81 performs feedback control for one of the up-and-down driving motors 20 based on the output from the speed detecting mechanism of the up-down driving motor 20, And the other one of the up and down driving motors 20 is not subjected to the feedback control based on the output from the speed detecting mechanism of the up and down driving motor 20, The torque control for controlling the current value of the up-down driving motor 20 is performed.

수평모터 제어부(82)는 2대의 수평구동용 모터(40) 중 한쪽의 수평구동용 모터(40)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어한다. 또, 수평모터 제어부(82)는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전에는, 한쪽의 수평구동용 모터(40)와 마찬가지로, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하지만, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전을 제외한 그 외의 시간에는, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)를 토크제어에 의해서 제어한다.The horizontal motor control unit 82 controls the horizontal driving motor 40 of one of the two horizontal driving motors 40 by speed control and torque control. Before the other horizontal driving motor 40 is stopped, the horizontal motor control section 82 controls the other horizontal driving motor 40 in the same manner as the one horizontal driving motor 40, But controls the other horizontal driving motor 40 by torque control at other times except before the other of the horizontal driving motors 40 is stopped.

즉, 수평모터 제어부(82)는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전을 제외한 그 외의 시간에는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)에 대해서, 이 수평구동용 모터(40)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하는 피드백제어를 실시하지 않고 토크제어를 실시한다. 또, 수평모터 제어부(82)는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전에는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)에 대해서, 이 수평구동용 모터(40)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하는 피드백 제어를 실시하여, 2개의 피니언(42)과 랙(43)과의 사이의 백래쉬가 없어지도록 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 회전속도를 제어한다.That is, the horizontal motor control unit 82 controls the horizontal driving motor 40 to drive the horizontal driving motor 40 at other times except before the other horizontal driving motor 40 is stopped. The torque control is performed without performing the feedback control based on the output from the speed detecting mechanism. Before the other of the horizontal driving motors 40 stops, the horizontal motor control unit 82 outputs the output from the speed detecting mechanism of the horizontal driving motor 40 to the other horizontal driving motor 40 And the rotational speed of the other horizontal driving motor 40 is controlled so that backlash between the two pinions 42 and the rack 43 is eliminated.

마찬가지로, 회전모터 제어부(83)는 2대의 회전구동용 모터(60) 중 한쪽의 회전구동용 모터(60)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어한다. 또, 회전모터 제 어부(83)는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전에는, 한쪽의 회전구동용 모터(60)와 마찬가지로, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)를 속도제어와 토크제어 의해서 제어하지만, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)를 토크제어에 의해서 제어한다.Likewise, the rotation motor control unit 83 controls the rotation drive motor 60 of one of the two rotation drive motors 60 by speed control and torque control. The rotation motor control unit 83 controls the other rotation drive motor 60 in the same manner as the one rotation drive motor 60 before the other rotation drive motor 60 stops, The other rotation drive motor 60 is controlled by torque control at other times except before the other rotation drive motor 60 is stopped.

즉, 회전모터 제어부(83)는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)에 대해서, 이 회전구동용 모터(60)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하는 피드백 제어를 실시하지 않고 토크제어를 실시한다. 또, 회전모터 제어부(83)는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전에는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)에 대해서, 이 회전구동용 모터(60)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하는 피드백 제어를 실시하여, 2개의 출력톱니바퀴(68)와 입력톱니바퀴(69)와의 사이의 백래쉬가 없어지도록 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 회전속도를 제어한다.That is, the rotation motor control unit 83 controls the other rotation drive motor 60 at a time other than before the rotation of the other rotation drive motor 60, The torque control is performed without performing the feedback control based on the output from the speed detecting mechanism. The rotation motor control section 83 controls the rotation drive motor 60 so that the output from the speed detection mechanism of the rotation drive motor 60 is output to the other rotation drive motor 60 before the other rotation drive motor 60 is stopped. So as to control the rotation speed of the other rotation drive motor 60 so that backlash between the two output gears 68 and the input gears 69 is eliminated.

상하 브레이크 제어부(84)는 제어지령부(87)로부터 지지부재(7)의 정지신호가 입력되면, 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 단계적으로 작동시킨다. 즉, 제어지령부(87)로부터 지지부재(7)의 정지신호가 입력되면, 상하 브레이크 제어부(84)는 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 작동개시 타이밍과 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 작동개시 타이밍이 바뀌도록(어긋나도록) 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 작동시킨다.When the stop signal of the support member 7 is inputted from the control command section 87, the vertical brake control section 84 operates the two vertical brake mechanisms 24 step by step. That is, when the stop signal of the support member 7 is input from the control command section 87, the vertical brake control section 84 controls the operation of the upper and lower braking mechanisms 24, The upper and lower braking mechanisms 24 are operated so that the operation start timing of the upper and lower brakes 24 is shifted (shifted).

구체적으로는, 상하 브레이크 제어부(84)는 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 작동개시 타이밍이 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 작동개시 타이밍보 다 늦도록 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 작동시킨다. 즉, 우선, 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)가 작동을 개시함과 동시에, 이 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)가 작동하고 있는 상태에서, 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(24)가 작동을 개시하도록 상하 브레이크 제어부(84)는 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 작동시킨다. 보다 구체적으로는, 상하 브레이크 제어부(84)는 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 코일로의 통전을 정지하는 타이밍(또는 코일로의 통전이 실제로 멈추는 타이밍)이 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 코일로의 통전을 정지하는 타이밍(또는 코일로의 통전이 실제로 멈추는 타이밍)보다 늦도록 2개의 상하 브레이크 기구(24)의 코일로의 통전을 정지한다.Specifically, the up-and-down braking control unit 84 controls the two up-and-down braking mechanisms 24 such that the operation start timing of the other up-down braking mechanism 24 is later than the operation start timing of one of the up-down braking mechanisms 24 . That is, first, one of the upper and lower braking mechanisms 24 starts to operate, while the other of the upper and lower braking mechanisms 24 is operating, The up-and-down brake control unit 84 operates the two up-and-down brake mechanisms 24. More specifically, the vertical brake control section 84 controls the vertical braking mechanism 24 such that the timing of stopping the energization of the other upper and lower brake mechanisms 24 (or the timing at which energization to the coil actually stops) The power supply to the coils of the two upper and lower brake mechanisms 24 is stopped so that the timing of stopping energization of the two upper and lower brake mechanisms 24 (or the timing at which energization to the coil actually stops) is stopped.

마찬가지로, 수평 브레이크 제어부(85)는 제어지령부(87)로부터 기대(9)의 정지신호가 입력되면, 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 단계적으로 작동시킨다. 즉, 제어지령부(87)로부터 기대(9)의 정지신호가 입력되면, 수평 브레이크 제어부(85)는 한쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 작동개시 타이밍과 다른 쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 작동개시 타이밍이 바뀌도록(어긋나도록) 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 작동시킨다.Similarly, when the stop signal of the base 9 is inputted from the control command section 87, the horizontal brake control section 85 operates the two horizontal brake mechanisms 44 step by step. That is, when the stop signal of the base 9 is input from the control command section 87, the horizontal brake control section 85 controls the operation timing of the one horizontal braking mechanism 44 and the operation start timing of the other horizontal braking mechanism 44 The two horizontal braking mechanisms 44 are operated so that the operation start timing is changed (shifted).

구체적으로는, 수평 브레이크 제어부(85)는 다른 쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 작동개시 타이밍이 한쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 작동개시 타이밍보다 늦도록 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 작동시킨다. 즉, 우선, 한쪽의 수평 브레이크 기구(44)가 작동을 개시함과 동시에, 이 한쪽의 수평 브레이크 기구(44)가 작동하고 있는 상태에서, 다른 쪽의 수평 브레이크 기구(44)가 작동을 개시하도록 수평 브레이크 제어부(85)는 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 작동시킨다. 보다 구체적으로는, 수평 브레이크 제어부(85)는 다른 쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 코일로의 통전을 정지하는 타이밍(또는 코일로의 통전이 실제로 멈추는 타이밍)이 한쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 코일로의 통전을 정지하는 타이밍(또는 코일로의 통전이 실제로 멈추는 타이밍)보다 늦도록 2개의 수평 브레이크 기구(44)의 코일로의 통전을 정지한다. 또한, 수평 브레이크 제어부(85)는 제어지령부(87)로부터 기대(9)의 정지신호가 입력되었을 때에 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 동시에 작동시켜도 된다.More specifically, the horizontal brake control section 85 operates the two horizontal brake mechanisms 44 such that the operation start timing of the other horizontal brake mechanism 44 is later than the operation start timing of the one horizontal brake mechanism 44 . That is, first, when one of the horizontal braking mechanisms 44 starts operating, while the other one of the horizontal braking mechanisms 44 is operating, the other horizontal braking mechanism 44 starts to operate The horizontal brake control section 85 actuates the two horizontal brake mechanisms 44. [ More specifically, the horizontal brake control unit 85 controls the horizontal braking mechanism 44 such that the timing of stopping the energization of the other horizontal braking mechanism 44 (or the timing at which energization to the coil actually stops) The energization of the coils of the two horizontal braking mechanisms 44 is stopped so that the timing of stopping energization of the coils of the two horizontal braking mechanisms 44 (or the timing at which energization to the coils actually stops). The horizontal brake control section 85 may simultaneously operate the two horizontal brake mechanisms 44 when the stop signal of the base 9 is input from the control command section 87. [

(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this embodiment)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는 상하구동기구(16)는 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 구비하고 있다. 그 때문에, 예를 들어, 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)가 파손되어도 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(24)에 의해서 상하구동기구(16)를 정지시킬 수 있다. 즉, 지지부재(7)를 정지시켜 핸드(3) 및 암(4)의 낙하를 방지할 수 있다. 따라서, 본 형태에서는 큰 기판(2)이라도 안전하게 반송할 수 있다. 또, 메인터넌스시에 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)를 떼어내는 경우라도 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(24)로 지지부재(7)를 소정 위치에 정지시킬 수 있다. 그 때문에, 상하구동기구(16)의 메인터넌스가 용이하게 된다.As described above, in the present embodiment, the up-and-down driving mechanism 16 is provided with two upper and lower brake mechanisms 24. [ Therefore, for example, even if one of the upper and lower brake mechanisms 24 is broken, the up-and-down driving mechanism 16 can be stopped by the other upper and lower braking mechanism 24. That is, the support member 7 can be stopped to prevent the hand 3 and the arm 4 from falling. Therefore, in this embodiment, even a large substrate 2 can be safely transported. Further, even when one of the vertical braking mechanisms 24 is removed during maintenance, the other vertical braking mechanism 24 can stop the support member 7 at a predetermined position. Therefore, maintenance of the up-and-down driving mechanism 16 is facilitated.

또, 본 형태에서는 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 단계적으로 작동시키고 있어 상하구동기구(16)에 발생하는 제동력을 단계적으로 크게 하고 있다. 그 때문에, 상하구동기구(16)의 급제동을 방지할 수 있다. 따라서, 상하구동기구(16)가 2 개의 상하 브레이크 기구(24)를 구비하고 있어도 지지부재(7)가 급정지하는 것에 기인하여 발생할 수 있는 핸드(3)로부터의 기판(2)의 낙하를 방지할 수 있다.In this embodiment, the two vertical braking mechanisms 24 are operated step by step, so that the braking force generated in the up-and-down driving mechanism 16 is increased stepwise. Therefore, sudden braking of the up-and-down driving mechanism 16 can be prevented. Therefore, even when the up-and-down driving mechanism 16 includes the two up-and-down brake mechanisms 24, it is possible to prevent the falling of the substrate 2 from the hand 3 which may occur due to the sudden stop of the supporting member 7 .

본 형태에서는 2개의 상하 브레이크 기구(24)의 각각이 풀리(28, 29)와 벨트(30)를 통하여 2대의 상하구동용 모터(20)의 각각에 연결되어 있다. 그 때문에, 상하 브레이크 기구(24)에 의해서, 2대의 상하구동용 모터(20)를 개별적이고 또한 확실하게 정지시킬 수 있다.In this embodiment, each of the two upper and lower brake mechanisms 24 is connected to each of the two upper and lower drive motors 20 through pulleys 28 and 29 and a belt 30. [ Therefore, the up-and-down braking mechanism 24 can stop the two vertical motors 20 individually and reliably.

본 형태에서는 2대의 상하구동용 모터(20)의 각각이 속도검출기구를 구비하고 있다. 그 때문에, 2개의 속도검출기구에서 검출되는 회전속도의 차이가 소정값 이상이 되어 있는지 아닌지를 검출함으로써, 상하구동용 모터(20)의 이상을 검출하는 것이 가능하게 된다. 또, 상하구동용 모터(20)의 이상이 검출된 경우에는 상하 브레이크 기구(24)에 의해서 상하구동기구(16)를 정지시킬 수 있다. 따라서, 상하구동용 모터(20)에 이상이 생겨도 지지부재(7)를 안전하게 정지시킬 수 있다.In this embodiment, each of the two vertical driving motors 20 is provided with a speed detecting mechanism. Therefore, it is possible to detect abnormality of the up-down driving motor 20 by detecting whether or not the difference between the rotational speeds detected by the two speed detecting mechanisms is equal to or larger than a predetermined value. Further, when an abnormality of the up-down driving motor 20 is detected, the up-and-down braking mechanism 24 can stop the up-and-down driving mechanism 16. Therefore, even if an abnormality occurs in the up-down driving motor 20, the supporting member 7 can be safely stopped.

본 형태에서는, 수평구동기구(17)는 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 구비하고 있다. 그 때문에, 예를 들어, 한쪽의 수평 브레이크 기구(44)가 파손되어도 다른 쪽의 수평 브레이크 기구(44)에 의해서 수평구동기구(17)를 정지시킬 수 있다. 즉, 본체부(5)를 정지시킬 수 있다. 따라서, 큰 기판(2)이라도 안전하게 반송할 수 있다. 또, 본 형태에서는 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 단계적으로 작동시키고 있어 수평구동기구(17)에 발생하는 제동력을 단계적으로 크게 하고 있다. 그 때문에, 수평구동기구(17)의 급제동을 방지할 수 있다. 따라서, 수평구동기구(17)가 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 구비하고 있어도 본체부(5)가 급정지하는 것에 기 인하여 발생할 수 있는 핸드(3)로부터의 기판(2)의 낙하를 방지할 수 있다.In this embodiment, the horizontal drive mechanism 17 is provided with two horizontal brake mechanisms 44. Therefore, for example, even if one of the horizontal brake mechanisms 44 is broken, the horizontal driving mechanism 17 can be stopped by the other horizontal brake mechanism 44. That is, the main body 5 can be stopped. Therefore, even a large substrate 2 can be safely transported. In this embodiment, the two horizontal brake mechanisms 44 are operated step by step, so that the braking force generated in the horizontal driving mechanism 17 is increased stepwise. Therefore, sudden braking of the horizontal drive mechanism 17 can be prevented. Therefore, even if the horizontal driving mechanism 17 has two horizontal brake mechanisms 44, it is possible to prevent the substrate 2 from falling from the hand 3, which may occur due to the sudden stop of the main body 5 .

본 형태에서는 2개의 수평 브레이크 기구(44)의 각각이 2대의 수평구동용 모터(40)의 각각의 출력축에 연결되어 있다. 그 때문에, 수평 브레이크 기구(40)에 의해서, 2대의 수평구동용 모터(40)를 개별적이고 또한 확실하게 정지시킬 수 있다.In this embodiment, each of the two horizontal braking mechanisms 44 is connected to the respective output shafts of the two horizontal driving motors 40. Therefore, the horizontal brake mechanism 40 can stop the two horizontal driving motors 40 individually and reliably.

[실시형태 2][Embodiment 2]

도 13은 본 발명의 실시형태 2에 관한 산업용 로보트(101)의 평면도이다. 도 14는 도 13의 N-N방향에서 산업용 로보트(101)를 나타내는 도이다. 도 15는 도 13의 P-P방향에서 산업용 로보트(101)를 나타내는 도이다. 도 16은 도 13에 나타내는 주상부재(108) 및 상하구동기구(116)의 구성을 설명하기 위한 도이다. 도 17은 도 16의 Q부의 확대도이다. 도 18은 도 16의 R-R방향에서 상하구동기구(116)를 나타내는 도이다.13 is a plan view of the industrial robot 101 according to the second embodiment of the present invention. Fig. 14 is a diagram showing the industrial robot 101 in the N-N direction in Fig. 15 is a view showing the industrial robot 101 in the P-P direction in Fig. Fig. 16 is a view for explaining the constructions of the columnar member 108 and the up-and-down driving mechanism 116 shown in Fig. 17 is an enlarged view of the portion Q in Fig. 18 is a diagram showing the up-and-down driving mechanism 116 in the R-R direction in Fig.

실시형태 2에 관한 산업용 로보트(101)(이하, 「로보트(101)」라고 한다.)는 노광장치에서 사용되는 고가의 마스크(102)를 반송하기 위한 로보트이다. 즉, 실시형태 1의 로보트(1)에 의해서 반송되는 반송대상물이 대형의 기판(2)인 것에 대해, 실시형태 2의 로보트(101)에 의해서 반송되는 반송대상물은 고가의 마스크(102)이다.An industrial robot 101 (hereinafter referred to as "robot 101") according to Embodiment 2 is a robot for transporting an expensive mask 102 used in an exposure apparatus. That is, while the object to be transported by the robot 1 according to the first embodiment is the large-size substrate 2, the object to be transported by the robot 101 according to the second embodiment is an expensive mask 102.

이 로보트(101)는, 도 13 ~ 도 15에 나타내는 바와 같이, 마스크(102)가 탑재되는 핸드(103)와, 핸드(103)이 연결되는 암(104)과, 암(104)을 지지하는 본체부(105)와, 본체부(105)를 수평방향으로 이동 가능하게 지지하는 베이스 부재(106) 를 구비하고 있다. 본체부(105)는 암(104)을 지지함과 동시에 상하이동 가능한 지지부재(107)와, 지지부재(107)를 상하방향으로 이동 가능하게 지지하기 위한 주상부재(108)와, 본체부(105)의 하단 부분을 구성함과 동시에 베이스 부재(106)에 대해서 수평이동 가능한 기대(109)와, 주상부재(108)의 하단이 고정됨과 동시에 기대(109)에 대해서 선회 가능한 선회부재(110)를 구비하고 있다. 또, 로보트(101)는 암(104)의 기울기를 조정하기 위한 기울기 조정기구(111)와, 지지부재(107)를 상하이동시키는 상하구동기구(116)(도 16 참조)를 구비하고 있다.13 to 15, the robot 101 includes a hand 103 on which a mask 102 is mounted, an arm 104 to which the hand 103 is connected, A body portion 105 and a base member 106 for supporting the body portion 105 movably in the horizontal direction. The main body portion 105 includes a support member 107 that supports the arm 104 and is movable up and down, a columnar member 108 for supporting the support member 107 so as to be movable up and down, 105 and a horizontal movable base 109 with respect to the base member 106 and a swivel member 110 capable of turning with respect to the base 109 while fixing the lower end of the columnar member 108, . The robot 101 is provided with a tilt adjusting mechanism 111 for adjusting the inclination of the arm 104 and a vertical driving mechanism 116 for moving the supporting member 107 up and down (see FIG. 16).

핸드(103)는 기판(2)을 탑재하기 위한 2개의 손톱부(112)를 구비하고 있다. 핸드(103)는 암(104)에 대해서 도 13의 좌우방향으로 상대이동 가능하게 되도록 암(104)에 유지되어 있다. 암(104)은 가늘고 긴 직방체 모양으로 형성되어 있고, 그 중심부분이 지지부재(107)에 지지되어 있다. 기울기 조정기구(111)는 암(104)과 지지부재(107)와의 연결 부분에 배치되어 있다. 이 기울기 조정기구(111)는 도 14의 좌우방향에 대한 암(104)의 기울기를 조정한다.The hand 103 is provided with two claw portions 112 for mounting the substrate 2 thereon. The hand 103 is held by the arm 104 so as to be movable relative to the arm 104 in the left and right direction in Fig. The arm 104 is formed in an elongated rectangular parallelepiped shape, and its central portion is supported by the support member 107. The tilt adjusting mechanism 111 is disposed at a connecting portion between the arm 104 and the support member 107. [ This tilt adjusting mechanism 111 adjusts the tilt of the arm 104 with respect to the left and right direction in Fig.

상하구동기구(116)는 1대의 상하구동용 모터(120)와, 상하구동용 모터(120)가 연결되는 1개의 볼나사(121)를 구비하고 있다. 도 16에 나타내는 바와 같이, 상하구동용 모터(120)는 주상부재(108)의 상단 측에 고정되어 있다. 또, 볼나사(121)는 상하방향을 길이방향으로 하여 주상부재(108)에 장착되어 있다. 구체적으로는 주상부재(108)의 상하 양단 측에 고정되는 2개의 베어링(122)에 볼나사(121)가 회전가능하게 지지되어 있다.The up-and-down driving mechanism 116 includes one up-down driving motor 120 and one ball screw 121 to which the up-down driving motor 120 is connected. As shown in Fig. 16, the up-and-down driving motor 120 is fixed to the upper end side of the columnar member 108. As shown in Fig. The ball screw 121 is mounted on the columnar member 108 in the vertical direction in the longitudinal direction. Specifically, a ball screw 121 is rotatably supported on two bearings 122 fixed to both upper and lower ends of the columnar member 108.

또, 상하구동기구(116)는 볼나사(121)에 나사 맞춤하여 상하이동하는 너트부 재(123)를 구비하고 있다. 너트부재(123)는 지지부재(107)에 고정되어 있다. 본 형태에서는 볼나사(121)와 너트부재(123)에 의해서 지지부재(107)는 상하방향으로 이동한다. 또한, 상하구동기구(116)는 상하구동기구(116)를 정지시키기 위한(즉, 지지부재(107)를 정지시키기 위한) 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 구비하고 있다. 또한, 상하구동기구(116)는 볼나사(121)를 중심으로 하는 너트부재(123)의 회전을 방지하기 위한 헛돌기 방지부(도시생략)를 구비하고 있다.The vertical drive mechanism 116 is provided with a nut member 123 which is screwed to the ball screw 121 and moves up and down. The nut member 123 is fixed to the support member 107. In this embodiment, the ball screw 121 and the nut member 123 move the support member 107 in the vertical direction. The up-and-down driving mechanism 116 includes two up-and-down braking mechanisms 124 for stopping the up-down driving mechanism 116 (that is, for stopping the supporting member 107). Further, the up-and-down driving mechanism 116 is provided with an anti-rotation preventing portion (not shown) for preventing rotation of the nut member 123 about the ball screw 121.

상하구동용 모터(120)는 상하구동용 모터(120)의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구(도시생략)를 구비하고 있다. 이 속도검출기구는, 예를 들어, 원판 모양으로 형성된 슬릿판과, 슬릿판을 끼운 상태로 대향 배치되는 발광소자 및 수광소자로 구성되어 있다. 또, 볼나사(121)의 하단 측에는 볼나사(121)의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구(131)가 장착되어 있다. 이 속도검출기구는, 예를 들어, 원판 모양으로 형성되어 볼나사(121)에 고정되는 슬릿판과, 슬릿판을 끼운 상태로 대향 배치되는 발광소자 및 수광소자로 구성되어 있다.The up-and-down driving motor 120 is provided with a speed detecting mechanism (not shown) for detecting the rotational speed of the up-down driving motor 120. The speed detecting mechanism is constituted by, for example, a slit plate formed in a disk shape and a light emitting element and a light receiving element arranged opposite to each other with the slit plate sandwiched therebetween. A speed detecting mechanism 131 for detecting the rotational speed of the ball screw 121 is mounted on the lower end side of the ball screw 121. This speed detecting mechanism is constituted by, for example, a slit plate formed in a disc shape and fixed to the ball screw 121, and a light emitting element and a light receiving element arranged opposite to each other with the slit plate interposed therebetween.

본 형태에서는, 상하구동용 모터(120)가 가지는 속도검출기구는 상하구동용 모터(120)의 회전속도를 검출하기 위한 모터 측 속도검출기구이다. 또, 볼나사(121)의 하단 측에 장착되어 있는 속도검출기구(131)는 볼나사(121)의 회전속도를 검출하기 위한 나사 측 속도검출기구이다.In this embodiment, the speed detecting mechanism of the up-down driving motor 120 is a motor-side speed detecting mechanism for detecting the rotating speed of the up-down driving motor 120. The speed detecting mechanism 131 mounted on the lower end side of the ball screw 121 is a screw side speed detecting mechanism for detecting the rotational speed of the ball screw 121.

도 17에 나타내는 바와 같이, 상하구동용 모터(120)의 출력축에는 풀리(128)가 고정되어 있다. 또, 볼나사(121)의 상단에는 풀리(128)보다 지름이 큰 풀리(129)가 고정되어 있다. 풀리(128, 129)에는 벨트(130)가 걸쳐져 있고, 상하구동 용 모터(120)와 볼나사(121)가 벨트(130)에 의해서 연결되어 있다.As shown in Fig. 17, a pulley 128 is fixed to the output shaft of the up-and-down driving motor 120. As shown in Fig. A pulley 129 having a larger diameter than the pulley 128 is fixed to an upper end of the ball screw 121. A belt 130 is wound on the pulleys 128 and 129 and a motor 130 and a ball screw 121 are connected to each other by a belt 130.

2개의 상하 브레이크 기구(124)는, 도 17에 나타내는 바와 같이, 풀리(129)에 인접하도록 볼나사(121)의 상단 측에 장착되어 있다. 즉, 2개의 상하 브레이크 기구(124)는 풀리(128, 129) 및 벨트(130)를 통하여 상하구동용 모터(120)에 연결되어 있다.The two upper and lower brake mechanisms 124 are mounted on the upper end of the ball screw 121 so as to be adjacent to the pulley 129 as shown in Fig. That is, the two upper and lower brake mechanisms 124 are connected to the up-and-down driving motor 120 through the pulleys 128, 129 and the belt 130.

상하 브레이크 기구(124)는 실시형태 1의 상하 브레이크 기구(24)와 동일하게 구성되어 있다. 즉, 상하 브레이크 기구(124)에서는 코일이 통전상태가 되면, 아마츄어가 케이스체에 흡인되어, 볼나사(121)에 고정되는 브레이크 디스크가 해방된다. 또, 코일로의 통전이 정지되면, 압축코일 스프링의 가압력으로 아마츄어와 사이드 플레이트 사이에 브레이크 디스크가 끼워져, 볼나사(121)에 급격하게 브레이크가 걸린다. 또한, 1개의 상하 브레이크 기구(124)는 마스크(102), 핸드(103), 암(104) 및 지지부재(107) 등을 포함한 상하방향으로 이동하는 부분을 충분히 정지시킬 수 있는 제동력을 가지고 있다.The vertical braking mechanism 124 is configured in the same manner as the vertical braking mechanism 24 of the first embodiment. That is, when the coil is in the energized state in the vertical braking mechanism 124, the armature is attracted to the case body, and the brake disk fixed to the ball screw 121 is released. When the energization to the coil is stopped, the brake disc is inserted between the armature and the side plate by the urging force of the compression coil spring, and the ball screw 121 is rapidly braked. The one vertical braking mechanism 124 has a braking force capable of sufficiently stopping a portion moving in the vertical direction including the mask 102, the hand 103, the arm 104 and the support member 107 .

실시형태 1의 로보트(1)와 마찬가지로, 본 형태의 로보트(101)는 제어부(도시생략)를 구비하고 있다. 이 제어부는 상하구동기구(116)의 제어에 관한 구성으로서, 상하구동용 모터(120)를 제어하는 상하모터 제어부와, 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 제어하는 상하 브레이크 제어부를 구비하고 있다.Like the robot 1 of the first embodiment, the robot 101 of this embodiment has a control unit (not shown). The control unit includes a vertical motor control unit for controlling the vertical driving motor 120 and a vertical brake control unit for controlling the two vertical brake mechanisms 124 as a constitution related to the control of the vertical driving mechanism 116. [

본 형태의 상하 브레이크 제어부는 실시형태 1의 상하 브레이크 제어부(84)와 마찬가지로, 제어지령부로부터 지지부재(107)의 정지신호가 입력되면, 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 단계적으로 작동시킨다. 즉, 제어지령부로부터 지지부 재(107)의 정지신호가 입력되면, 상하 브레이크 제어부는 한쪽의 상하 브레이크 기구(124)의 작동개시 타이밍과 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(124)의 작동개시 타이밍이 바뀌도록(어긋나도록) 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 작동시킨다.As in the case of the vertical brake control section 84 of the first embodiment, when the stop signal of the support member 107 is input from the control command section, the vertical brake control section of this embodiment operates the two vertical brake mechanisms 124 step by step. That is, when the stop signal of the support member 107 is input from the control command unit, the vertical brake control unit changes the operation start timing of one of the vertical braking mechanisms 124 and the operation start timing of the other vertical braking mechanism 124 And two upper and lower brake mechanisms 124 are operated so as to be shifted (shifted).

구체적으로는, 상하 브레이크 제어부는 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(124)의 작동개시 타이밍이 한쪽의 상하 브레이크 기구(124)의 작동개시 타이밍보다 늦도록 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 작동시킨다. 즉, 우선, 한쪽의 상하 브레이크 기구(124)가 작동을 개시함과 동시에, 이 한쪽의 상하 브레이크 기구(124)가 작동하고 있는 상태에서 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(124)가 작동을 개시하도록 상하 브레이크 제어부는 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 작동시킨다. 보다 구체적으로는, 상하 브레이크 제어부는 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(124)의 코일로의 통전을 정지하는 타이밍(또는 코일로의 통전이 실제로 멈추는 타이밍)이 한쪽의 상하 브레이크 기구(124)의 코일로의 통전을 정지하는 타이밍(또는 코일로의 통전이 실제로 멈추는 타이밍)보다 늦도록 2개의 상하 브레이크 기구(124)의 코일로의 통전을 정지한다.Specifically, the vertical brake control section operates the two vertical brake mechanisms 124 such that the operation start timing of the other vertical brake mechanism 124 is later than the operation start timing of one of the vertical brake mechanisms 124. That is, first, when one of the upper and lower brake mechanisms 124 starts to operate, while the other of the upper and lower brake mechanisms 124 is operating, The brake control section actuates the two upper and lower brake mechanisms 124. More specifically, the vertical brake control section controls the timing of stopping the energization of the other upper / lower braking mechanism 124 to the coils (or the timing at which energization to the coils are actually stopped) is controlled by the coil of one of the upper and lower braking mechanisms 124 The power supply to the coils of the two upper and lower brake mechanisms 124 is stopped so as to be later than the timing of stopping the energization of the upper and lower braking mechanisms 124 (or the timing at which energization to the coil actually stops).

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 상하구동기구(116)는 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 구비하고 있다. 그 때문에, 한쪽의 상하 브레이크 기구(124)가 파손되어도 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(124)에 의해서 상하구동기구(116)를 정지시킬 수 있고, 지지부재(107)를 정지시켜 핸드(103) 및 암(104)의 낙하를 방지할 수 있다. 따라서, 본 형태에서는 고가의 마스크(102)라도 안전하게 반송할 수 있다. 또, 메인터넌스시에 한쪽의 상하 브레이크 기구(124)를 떼어내는 경우라도 다 른 쪽의 상하 브레이크 기구(124)로 지지부재(107)를 소정 위치에 정지시킬 수 있기 때문에, 상하구동기구(116)의 메인터넌스가 용이하게 된다.As described above, in the present embodiment, the up-and-down driving mechanism 116 is provided with two up-and-down brake mechanisms 124. Therefore, even if one of the upper and lower brake mechanisms 124 is broken, the up-and-down driving mechanism 116 can be stopped by the other upper and lower braking mechanism 124 and the supporting member 107 can be stopped, It is possible to prevent the arm 104 from dropping. Therefore, in this embodiment, even an expensive mask 102 can be safely transported. Since the support member 107 can be stopped at a predetermined position by the vertical braking mechanism 124 on the other side even when one of the vertical braking mechanisms 124 is removed during maintenance, It becomes easy to perform maintenance.

또, 본 형태에서는 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 단계적으로 작동시키고 있어 상하구동기구(116)에 발생하는 제동력을 단계적으로 크게 하고 있다. 그 때문에, 상하구동기구(116)의 급제동을 방지할 수 있다. 따라서, 상하구동기구(116)가 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 구비하고 있어도 지지부재(107)가 급정지하는 것에 기인하여 발생할 수 있는 핸드(103)로부터의 마스크(102)의 낙하를 방지할 수 있다.In this embodiment, the two vertical braking mechanisms 124 are operated step by step, so that the braking force generated in the up-and-down driving mechanism 116 is increased stepwise. Therefore, sudden braking of the up-and-down driving mechanism 116 can be prevented. Therefore, even when the up-and-down driving mechanism 116 includes the two upper and lower brake mechanisms 124, it is possible to prevent the falling of the mask 102 from the hand 103, which may occur due to the sudden stopping of the support member 107 .

본 형태에서는, 상하구동기구(116)는 2개의 상하 브레이크 기구(124)가 연결되는 1대의 상하구동용 모터(120)를 구비하고 있다. 그 때문에, 2개의 상하 브레이크 기구(124)에 의한 큰 제동력으로 1개의 상하구동용 모터(120)를 확실히 정지시킬 수 있다.In this embodiment, the up-and-down driving mechanism 116 is provided with one up-and-down driving motor 120 to which two upper and lower brake mechanisms 124 are connected. Therefore, it is possible to reliably stop the one vertical driving motor 120 with a large braking force by the two vertical braking mechanisms 124.

본 형태에서는, 상하구동기구(116)는 상하구동용 모터(120)의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구와, 볼나사(121)의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구(131)을 구비하고 있다. 그 때문에, 상하구동용 모터(120)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하여 산출되는 볼나사(121)의 회전속도와, 속도검출기구(131)에서 검출되는 볼나사(121)의 회전속도와의 차이가 소정값 이상이 되어 있는지 아닌지를 검출함으로써, 상하구동기구(116)의 이상을 확실히 검출할 수 있다. 또, 상하구동기구(116)의 이상이 검출된 경우에는 상하 브레이크 기구(124)에 의해서 상하구동기구(116)를 정지시킬 수 있다. 따라서, 상하구동기구(116)에 이상이 생겨도 지지 부재(107)를 안전하게 정지시킬 수 있다.In this embodiment, the up-and-down driving mechanism 116 includes a speed detecting mechanism for detecting the rotational speed of the up-down driving motor 120 and a speed detecting mechanism 131 for detecting the rotational speed of the ball screw 121 . The rotational speed of the ball screw 121 calculated based on the output from the speed detecting mechanism of the up / down driving motor 120, the rotational speed of the ball screw 121 detected by the speed detecting mechanism 131 It is possible to reliably detect the abnormality of the up-and-down driving mechanism 116 by detecting whether or not the difference between the upper and lower driving mechanisms 116 is greater than or equal to a predetermined value. When the abnormality of the up-and-down driving mechanism 116 is detected, the up-and-down braking mechanism 124 can stop the up-and-down driving mechanism 116. Therefore, even if an abnormality occurs in the vertical driving mechanism 116, the supporting member 107 can be safely stopped.

[다른 실시형태][Other Embodiments]

상술한 형태는, 본 발명의 바람직한 형태의 일례이지만, 이것으로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 여러 가지 변형 실시가 가능하다.The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited thereto, and various modifications are possible without changing the gist of the present invention.

실시형태 1에서는, 상하 브레이크 기구(24)는 감속기(21)의 입력축에 장착되어 있다. 그 밖에도 예를 들어, 상하 브레이크 기구(24)는 상하구동용 모터(20)의 출력축이나 감속기(21)의 출력축에 장착되어도 된다. 또, 상하방향을 길이방향으로 하는 가늘고 긴 판상(板狀)의 브레이크판이 주상부재(8)에 고정됨과 동시에, 지지부재와 함께 상하이동하는 사이드 플레이트와 아마츄어가 이 브레이크판을 끼운 상태로 배치되는 것으로 상하 브레이크 기구가 구성되어도 된다. 즉, 상하 브레이크 기구는 상하구동용 모터(20)에 연결되어 있지 않아도 된다.In the first embodiment, the vertical braking mechanism 24 is mounted on the input shaft of the speed reducer 21. In addition, for example, the upper and lower brake mechanism 24 may be mounted on the output shaft of the up-down driving motor 20 or the output shaft of the speed reducer 21. [ In addition, an elongated plate-like brake plate having a longitudinal direction in the up-and-down direction is fixed to the columnar member 8, and a side plate and an armature that are moved up and down together with the support member are disposed so as to sandwich the brake plate The upper and lower brake mechanisms may be configured. That is, the vertical braking mechanism may not be connected to the motor for up-down driving 20.

마찬가지로, 실시형태 1에서는, 수평 브레이크 기구(44)는 수평구동용 모터(40)의 출력축에 장착되어 있지만, 수평 브레이크 기구(44)는 회전축(53)에 장착되어도 된다. 또, 수평방향을 길이방향으로 하는 가늘고 긴 판상의 브레이크판이 레일모양 부재(51)에 고정됨과 동시에, 기대(9)와 함께 수평이동하는 사이드 플레이트와 아마츄어가 이 브레이크판을 끼운 상태로 배치되는 것으로 수평 브레이크 기구가 구성되어도 된다. 즉, 수평 브레이크 기구는 수평구동용 모터(40)에 연결되어 있지 않아도 된다.Similarly, in Embodiment 1, although the horizontal brake mechanism 44 is mounted on the output shaft of the horizontal drive motor 40, the horizontal brake mechanism 44 may be mounted on the rotary shaft 53. [ In addition, a thin, long plate-like brake plate having a horizontal direction in the longitudinal direction is fixed to the rail-shaped member 51, and a side plate and an armature horizontally moving together with the base 9 are disposed in a state sandwiching the brake plate A horizontal brake mechanism may be configured. That is, the horizontal braking mechanism may not be connected to the horizontal driving motor 40.

또, 실시형태 2에서는, 상하 브레이크 기구(124)는 볼나사(121)의 상단 측에 장착되어 있지만, 상하 브레이크 기구(124)는 상하구동용 모터(120)의 출력축에 장착되어도 된다. 또, 상하방향을 길이방향으로 하는 가늘고 긴 판상의 브레이크판이 주상부재(108)에 고정됨과 동시에, 지지부재(107)와 함께 상하이동하는 사이드 플레이트와 아마츄어가 이 브레이크판을 끼운 상태로 배치되는 것으로 상하 브레이크 기구가 구성되어도 된다.In the second embodiment, the vertical braking mechanism 124 is mounted on the upper end side of the ball screw 121, but the vertical braking mechanism 124 may be mounted on the output shaft of the up / down driving motor 120. In addition, a thin, long plate-like brake plate having a longitudinal direction in the up-and-down direction is fixed to the columnar member 108, and a side plate and an armature that are moved up and down together with the support member 107 are disposed in a state sandwiching the brake plate A vertical braking mechanism may be constituted.

[0092](ref2009-20의[0091]대응)(Corresponding to ref.2009-20) [0092]

상술한 형태에서는, 상하구동기구(16, 116)는 2개의 상하 브레이크 기구(24, 124)를 구비하고 있다. 그 밖에도 예를 들어, 상하구동기구(16, 116)는 3개 이상의 상하 브레이크 기구(24, 124)를 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 상하 브레이크 제어부(84)는 3개 이상의 상하 브레이크 기구(24, 124)의 각각의 작동개시 타이밍이 어긋나도록 상하 브레이크 기구(24, 124)를 작동시켜도 된다. 즉, 상하 브레이크 제어부(84)는 3개 이상의 상하 브레이크 기구(24, 124)의 작동을 차례로 개시해도 된다. 또, 이 경우에는 3개 이상의 상하 브레이크 기구(24, 124)를 몇 개의 그룹으로 나눔과 동시에, 이 그룹마다의 작동개시 타이밍이 어긋나도록(그룹마다 차례로 작동이 개시되도록) 상하 브레이크 제어부(84)가 상하 브레이크 기구(24, 124)를 작동시켜도 된다.In the above-described embodiment, the up-and-down driving mechanism 16, 116 includes two upper and lower brake mechanisms 24, 124. In addition, for example, the up-and-down driving mechanism 16, 116 may be provided with three or more upper and lower braking mechanisms 24, 124. In this case, the vertical brake control section 84 may operate the vertical brake mechanisms 24 and 124 so that the operation start timing of each of the three or more vertical brake mechanisms 24 and 124 is shifted. That is, the vertical brake control section 84 may sequentially start the operation of the three or more vertical brake mechanisms 24, 124. In this case, three or more upper and lower brake mechanisms 24, 124 are divided into several groups, and the up-and-down brake control section 84 is controlled so that the operation start timing for each group is shifted (operations are sequentially started for each group) The upper and lower brake mechanisms 24 and 124 may be operated.

또한, 3개 이상의 상하 브레이크 기구(24, 124)의 각각의 작동개시 타이밍이 어긋나도록 상하 브레이크 제어부(84)가 상하 브레이크 기구(24, 124)를 작동시키는 경우에는 상하구동기구(16, 116)에 발생하는 제동력을 서서히 크게 할 수 있다. 그 때문에, 상하구동기구(16, 116)의 급제동을 확실히 방지하여, 핸드(3, 103)로부 터의 반송대상물의 낙하를 확실히 방지하는 것이 가능하게 된다.When the vertical brake control section 84 operates the vertical brake mechanisms 24 and 124 so that the operation start timing of each of the three or more vertical brake mechanisms 24 and 124 is shifted, It is possible to gradually increase the braking force. Therefore, sudden braking of the up-and-down driving mechanism (16, 116) can be reliably prevented, and it is possible to reliably prevent the carrying object from falling off the hands (3, 103).

마찬가지로, 수평구동기구(17)는 3개 이상의 수평 브레이크 기구(44)를 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 수평 브레이크 제어부(85)는 3개 이상의 수평 브레이크 기구(44)의 각각의 작동개시 타이밍이 어긋나도록 수평 브레이크 기구(44)를 작동시켜도 된다. 또, 이 경우에는 3개 이상의 수평 브레이크 기구(44)를 몇 개의 그룹으로 나눔과 동시에, 이 그룹마다의 작동개시 타이밍이 어긋나도록 수평 브레이크 제어부(85)가 수평 브레이크 기구(44)를 작동시켜도 된다.Similarly, the horizontal drive mechanism 17 may be provided with three or more horizontal brake mechanisms 44. In this case, the horizontal brake control section 85 may operate the horizontal brake mechanism 44 such that the operation start timing of each of the three or more horizontal brake mechanisms 44 is shifted. In this case, the horizontal brake controller 85 may operate the horizontal braking mechanism 44 such that the three or more horizontal brake mechanisms 44 are divided into several groups and the operation start timing for each group is shifted .

또, 실시형태 1에서는 상하구동기구(16) 또는 수평구동기구(17)의 한쪽이 2개의 브레이크 기구(24, 44)를 구비하고 있다면, 다른 쪽의 구동기구가 구비하는 브레이크 기구(24, 44)는 1개라도 된다.In the first embodiment, if one of the up-and-down driving mechanism 16 and the horizontal driving mechanism 17 is provided with the two brake mechanisms 24 and 44, the brake mechanisms 24 and 44 ) May be one.

실시형태 1에서는, 회전구동기구(18)는 1개의 회전 브레이크 기구(64)를 구비하고 있지만, 회전구동기구(18)는 복수의 회전 브레이크 기구(64)를 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 회전 브레이크 제어부(86)는 복수의 회전 브레이크 기구(64)의 각각의 작동개시 타이밍이 어긋나도록 회전 브레이크 기구(64)를 작동시켜도 된다. 또, 이 경우에는 복수의 회전 브레이크 기구(64)를 몇 개의 그룹으로 나눔과 동시에, 이 그룹마다의 작동개시 타이밍이 어긋나도록 회전 브레이크 제어부(86)가 회전 브레이크 기구(64)를 작동시켜도 된다.In the first embodiment, the rotary drive mechanism 18 is provided with one rotary brake mechanism 64, but the rotary drive mechanism 18 may be provided with a plurality of rotary brake mechanisms 64. In this case, the rotary brake control unit 86 may operate the rotary brake mechanism 64 such that the operation start timing of each of the plurality of rotary brake mechanisms 64 is shifted. In this case, the rotary brake control unit 86 may operate the rotary brake mechanism 64 such that the plurality of rotary brake mechanisms 64 are divided into several groups and the operation start timing for each group is shifted.

상술한 형태에서는, 상하 브레이크 기구(24, 124), 수평 브레이크 기구(44) 및 회전 브레이크 기구(64)는 이른바 무여자 작동형의 브레이크이다. 그 밖에도 예를 들어, 상하 브레이크 기구(24, 124), 수평 브레이크 기구(44) 및/또는 회전 브 레이크 기구(64)는 코일로의 통전시에 사이드 플레이트와 아마츄어에 의해서 브레이크 디스크가 껴워져 코일로의 통전이 정지되면, 압축코일 스프링의 가압력으로 브레이크 디스크가 해방되도록 구성된 브레이크라도 된다. 또, 상하 브레이크 기구(24, 124), 수평 브레이크 기구(44) 및/또는 회전 브레이크 기구(64)는 압축공기에 의해서 아마츄어가 작동하도록 구성된 공기제동기라도 된다.In the above-described embodiment, the vertical braking mechanisms 24 and 124, the horizontal braking mechanism 44, and the rotary braking mechanism 64 are so-called zero-excitation type brakes. In addition, the upper and lower brake mechanisms 24 and 124, the horizontal brake mechanism 44 and / or the rotary braking mechanism 64 may be configured such that the brake disk is loaded by the side plate and the armature in the passage of the coil, The brake may be configured such that the brake disk is released by the pressing force of the compression coil spring. The upper and lower brake mechanisms 24 and 124, the horizontal brake mechanism 44, and / or the rotary brake mechanism 64 may be pneumatic brakers configured to operate the armature by compressed air.

실시형태 1에서는, 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18)는 2대의 구동용 모터(20, 40, 60)를 구비하고 있다. 그 밖에도 예를 들어, 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및/또는 회전구동기구(18)는 3대 이상의 구동용 모터(20, 40, 60)를 구비하고 있어도 된다. 또, 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18)가 구비하는 구동용 모터(20, 40, 60)의 수는 1대라도 된다.In the first embodiment, the up-and-down driving mechanism 16, the horizontal driving mechanism 17, and the rotation driving mechanism 18 are provided with two driving motors 20, 40, and 60. In addition, for example, the up-and-down driving mechanism 16, the horizontal driving mechanism 17, and / or the rotation driving mechanism 18 may include three or more driving motors 20, 40 and 60. The number of driving motors 20, 40, 60 provided in the up-and-down driving mechanism 16, the horizontal driving mechanism 17, and the rotation driving mechanism 18 may be one.

실시형태 1에서는, 로보트(1)는 상하구동기구(16)와 수평구동기구(17)와 회전구동기구(18)를 구비하고 있다. 그 밖에도 예를 들어, 로보트(1)는 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18) 중에서 임의로 선택되는 2개 혹은 1개의 구동기구만을 구비하고 있어도 된다.In Embodiment 1, the robot 1 is provided with a vertical drive mechanism 16, a horizontal drive mechanism 17, and a rotary drive mechanism 18. In addition, for example, the robot 1 may be provided with only two or one driver section arbitrarily selected from among the up-and-down driving mechanism 16, the horizontal driving mechanism 17, and the rotary driving mechanism 18.

도 1은 본 발명의 실시형태 1에 관한 산업용 로보트의 평면도이다.1 is a plan view of an industrial robot according to Embodiment 1 of the present invention.

도 2는 도 1의 E-E방향에서 산업용 로보트를 나타내는 도이다.Fig. 2 is a view showing an industrial robot in the direction of E-E in Fig. 1. Fig.

도 3은 도 1의 F-F방향에서 산업용 로보트를 나타내는 도이다.3 is a view showing an industrial robot in the direction of F-F in Fig.

도 4는 도 1의 F-F방향에서 지지부재 및 상하구동기구를 나타내는 도이다.Fig. 4 is a view showing a support member and a vertical drive mechanism in the direction of F-F in Fig. 1;

도 5는 도 4의 G-G방향에서 지지부재, 주상부재 및 상하구동기구를 나타내는 도이다.5 is a view showing a support member, a columnar member and a vertical drive mechanism in the direction of G-G in Fig.

도 6은 도 4의 H-H방향에서 상하구동기구를 나타내는 도이다.Fig. 6 is a diagram showing a vertical drive mechanism in the direction of H-H in Fig. 4;

도 7은 도 2의 J부의 내부구성을 설명하기 위한 도이다.Fig. 7 is a diagram for explaining the internal configuration of a portion J in Fig. 2;

도 8은 도 3의 K-K방향에서 수평구동기구 등의 구성을 설명하기 위한 도이다.8 is a view for explaining a configuration of a horizontal drive mechanism or the like in the direction of K-K in Fig.

도 9는 도 8의 L-L방향에서 수평구동기구의 구성을 설명하기 위한 도이다.Fig. 9 is a view for explaining the configuration of the horizontal drive mechanism in the L-L direction in Fig. 8;

도 10은 도 1에 나타내는 선회부재의 평면도이다.10 is a plan view of the turning member shown in Fig.

도 11은 도 10의 M-M단면의 단면도이다.11 is a cross-sectional view taken along line M-M of Fig.

도 12는 도 1에 나타내는 산업용 로보트의 제어부 및 그 관련 부분의 블록도이다.Fig. 12 is a block diagram of a control unit of the industrial robot shown in Fig. 1 and its related parts.

도 13은 본 발명의 실시형태 2에 관한 산업용 로보트의 평면도이다.13 is a plan view of an industrial robot according to Embodiment 2 of the present invention.

도 14는 도 13의 N-N방향에서 산업용 로보트를 나타내는 도이다.14 is a view showing an industrial robot in the N-N direction in Fig.

도 15는 도 13의 P-P방향에서 산업용 로보트를 나타내는 도이다.15 is a view showing an industrial robot in the direction of P-P in Fig.

도 16은 도 13에 나타내는 주상부재 및 상하구동기구의 구성을 설명하기 위 한 도이다.Fig. 16 is a view for explaining the constitution of the columnar member and the up-and-down driving mechanism shown in Fig. 13;

도 17은 도 16의 Q부의 확대도이다.17 is an enlarged view of the portion Q in Fig.

도 18은 도 16의 R-R방향에서 상하구동기구를 나타내는 도이다.FIG. 18 is a diagram showing a vertical drive mechanism in the R-R direction in FIG. 16;

<부호의 설명><Description of Symbols>

1, 101 로보트(산업용 로보트)1, 101 Robot (industrial robot)

2 기판(반송대상물)2 substrate (transport object)

3, 103 핸드3, 103 hands

4, 104 암4, 104 cancer

7, 107 지지부재7, 107 supporting member

16, 116 상하구동기구16, 116 Up and down drive mechanism

17 수평구동기구17 Horizontal drive mechanism

18 회전구동기구18 rotation drive mechanism

20, 120 상하구동용 모터20, 120 Up and down drive motor

24, 124 상하 브레이크 기구(브레이크 기구)24, 124 Vertical braking mechanism (brake mechanism)

40 수평구동용 모터40 Horizontal drive motor

44 수평 브레이크 기구(브레이크 기구)44 Horizontal Brake Mechanism (Brake Mechanism)

80 제어부80 control unit

84 상하 브레이크 제어부(브레이크 제어부)84 Vertical Brake Control Unit (Brake Control Unit)

85 수평 브레이크 제어부(브레이크 제어부)85 Horizontal brake control (brake control)

102 마스크(반송대상물)102 mask (carrying object)

121 볼나사121 Ball Screw

131 속도검출기구(나사 측 속도검출기구)131 Speed detection mechanism (screw side speed detection mechanism)

CL 중심축CL center axis

Claims (10)

반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 상기 핸드가 연결되는 암(arm)과, 상기 암을 지지하는 지지부재를 구비함과 동시에,A hand on which a carrying object is mounted; an arm to which the hand is connected; and a support member for supporting the arm, 상기 지지부재를 상하이동시키는 상하구동기구와 상기 상하구동기구를 제어하는 제어부를 구비하고,A vertical drive mechanism for vertically moving the support member, and a control unit for controlling the vertical drive mechanism, 상기 상하구동기구는 상기 상하구동기구를 정지시키기 위한 복수의 브레이크(brake) 기구를 구비하며,Wherein the up-down driving mechanism includes a plurality of brake mechanisms for stopping the up-down driving mechanism, 상기 제어부는 복수의 상기 브레이크 기구를 제어하는 브레이크 제어부를 구비하고,Wherein the control section includes a brake control section for controlling the plurality of brake mechanisms, 상기 브레이크 제어부는 복수의 상기 브레이크 기구를 단계적으로 작동시키고,Wherein the brake control unit operates the plurality of brake mechanisms step by step, 상기 브레이크 제어부는 복수의 상기 브레이크 기구의 각각의 작동개시 타이밍을 늦추는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.Wherein the brake control unit slows down the operation start timing of each of the plurality of brake mechanisms. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 지지부재를 수평방향으로 이동시키기 위한 수평구동기구를 구비하고, 상기 제어부는 상기 수평구동기구를 제어하고, And a horizontal drive mechanism for moving the support member in a horizontal direction, wherein the control unit controls the horizontal drive mechanism, 상기 수평구동기구는 상기 수평구동기구를 정지시키기 위한 복수의 브레이크 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.Wherein the horizontal driving mechanism includes a plurality of brake mechanisms for stopping the horizontal driving mechanism. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상하방향을 축방향으로 하는 소정의 중심축을 중심으로 상기 지지부재를 회전시키기 위한 회전구동기구를 구비하고, 상기 제어부는 상기 회전구동기구를 제어하고, And a rotation drive mechanism for rotating the support member about a predetermined central axis whose axial direction is the vertical direction, wherein the control unit controls the rotation drive mechanism, 상기 회전구동기구는 상기 회전구동기구를 정지시키기 위한 복수의 브레이크 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.And the rotation drive mechanism includes a plurality of brake mechanisms for stopping the rotation drive mechanism. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 복수의 상기 브레이크 기구로서 복수의 상하 브레이크 기구를 가지는 상기 상하구동기구를 구비하고,And the up-and-down driving mechanism having a plurality of up-and-down braking mechanisms as a plurality of the braking mechanisms, 상기 제어부는 상기 브레이크 제어부로서 복수의 상기 상하 브레이크 기구를 제어하는 상하 브레이크 제어부를 구비하며,Wherein the control unit includes a vertical brake control unit for controlling the plurality of vertical braking mechanisms as the brake control unit, 상기 상하 브레이크 제어부는 복수의 상기 상하 브레이크 기구를 단계적으로 작동시키는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.Wherein the up-and-down braking control unit operates the plurality of up-and-down braking mechanisms in a stepwise manner. 청구항 4에 있어서,The method of claim 4, 상기 상하구동기구는 상기 상하 브레이크 기구와 같은 수의 상하구동용 모터를 구비하고,Wherein the up-down driving mechanism includes the same number of up-and-down driving motors as the up-and-down braking mechanism, 복수의 상기 상하 브레이크 기구의 각각은 복수의 상기 상하구동용 모터의 각각에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.Wherein each of the plurality of up-and-down braking mechanisms is connected to each of the plurality of up-down driving motors. 청구항 5에 있어서,The method of claim 5, 복수의 상기 상하구동용 모터의 각각의 회전속도를 검출하기 위한 복수의 속도검출기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.And a plurality of speed detecting mechanisms for detecting respective rotational speeds of the plurality of up / down driving motors. 청구항 4에 있어서,The method of claim 4, 상기 상하구동기구는 복수의 상기 상하 브레이크 기구가 연결되는 1대의 상하구동용 모터를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.Wherein the up-and-down driving mechanism includes one up-and-down driving motor to which a plurality of the up-and-down braking mechanisms are connected. 청구항 7에 있어서,The method of claim 7, 상기 상하구동기구는 상기 상하구동용 모터에 연결되어 상기 지지부재를 상하이동시키는 볼나사와, 상기 볼나사의 회전속도를 검출하기 위한 나사 측 속도검출기구와, 상기 상하구동용 모터의 회전속도를 검출하기 위한 모터 측 속도검출기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.Wherein the up-down driving mechanism includes a ball screw connected to the up-down driving motor to move the supporting member up and down, a screw side speed detecting mechanism for detecting a rotating speed of the ball screw, And a motor-side speed detecting mechanism for detecting the motor-side speed. 청구항 2에 있어서,The method of claim 2, 복수의 상기 브레이크 기구로서 복수의 수평 브레이크 기구를 가지는 상기 수평구동기구를 구비하고,And the horizontal drive mechanism having a plurality of horizontal brake mechanisms as the plurality of brake mechanisms, 상기 제어부는 상기 브레이크 제어부로서 복수의 상기 수평 브레이크 기구를 제어하는 수평 브레이크 제어부를 구비하며,Wherein the control unit includes a horizontal brake control unit for controlling the plurality of horizontal brake mechanisms as the brake control unit, 상기 수평 브레이크 제어부는 복수의 상기 수평 브레이크 기구를 단계적으로 작동시키는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.Wherein the horizontal brake control unit steps the plurality of horizontal brake mechanisms in a stepwise manner. 청구항 9에 있어서,The method of claim 9, 상기 수평구동기구는 상기 수평 브레이크 기구와 같은 수의 수평구동용 모터를 구비하고,Wherein the horizontal driving mechanism has the same number of horizontal driving motors as the horizontal brake mechanism, 복수의 상기 수평 브레이크 기구의 각각은 복수의 상기 수평구동용 모터의 각각에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.Wherein each of the plurality of horizontal braking mechanisms is connected to each of the plurality of horizontal driving motors.

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