KR101585684B1 - Industrial robot - Google Patents
Industrial robot Download PDFInfo
- Publication number
- KR101585684B1 KR101585684B1 KR1020090079128A KR20090079128A KR101585684B1 KR 101585684 B1 KR101585684 B1 KR 101585684B1 KR 1020090079128 A KR1020090079128 A KR 1020090079128A KR 20090079128 A KR20090079128 A KR 20090079128A KR 101585684 B1 KR101585684 B1 KR 101585684B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- horizontal
- brake
- mechanisms
- control unit
- braking
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0004—Braking devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/02—Sensing devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/12—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements electric
- B25J9/126—Rotary actuators
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
<과제> 큰 반송대상물이나 고가의 반송대상물의 반송에 적절한 산업용 로보트를 제공하는 것.
<해결 수단> 산업용 로보트는 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 핸드가 연결되는 암(arm)과, 암을 지지하는 지지부재와, 지지부재를 상하이동시키는 상하구동기구와, 상하구동기구를 제어하는 제어부(80)를 구비하고 있다. 상하구동기구는 상하구동기구를 정지시키기 위한 2개의 브레이크(brake) 기구(24)를 구비하고, 제어부(80)는 2개의 브레이크 기구(24)를 제어하는 브레이크 제어부(84)를 구비하고 있다. 브레이크 제어부(84)는 2개의 브레이크 기구(24)를 단계적으로 작동시킨다.
[PROBLEMS] To provide an industrial robot suitable for transporting a large transport object or an expensive transport object.
[MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] An industrial robot includes a hand on which a carrying object is mounted, an arm to which a hand is connected, a supporting member for supporting the arm, a vertical driving mechanism for vertically moving the supporting member, And a control unit 80 for controlling the control unit. The up-and-down driving mechanism includes two brake mechanisms 24 for stopping the up-and-down driving mechanism. The control section 80 includes a brake control section 84 for controlling the two brake mechanisms 24. The brake control unit 84 operates the two brake mechanisms 24 step by step.
Description
본 발명은 소정의 반송대상물을 반송하는 산업용 로보트에 관한 것이다.The present invention relates to an industrial robot for carrying a predetermined carrying object.
종래부터, 소정의 반송대상물을 반송하는 산업용 로보트가 널리 이용되고 있다. 이런 종류의 산업용 로보트로서, 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 핸드를 유지하는 암(arm)과, 암을 상하이동시키는 볼나사(ball screw)를 구비하는 산업용 로보트가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 이 특허문헌 1에 기재된 산업용 로보트에서는 볼나사에 1대의 모터가 연결되어 있고, 볼나사는 1대의 모터로 구동되고 있다.Background Art Conventionally, industrial robots that carry a predetermined carrying object are widely used. As such an industrial robot, there is known an industrial robot having a hand on which a carrying object is mounted, an arm for holding a hand, and a ball screw for moving the arm up and down For example, see Patent Document 1). In the industrial robot described in
[특허문헌 1] 일본국 특개2006-102886호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-102886
액정 디스플레이용 유리기판 등과 같이, 산업용 로보트에 의해서 반송되는 반송대상물 중에는, 매년, 대형화하는 것이 있다. 또, 노광(露光)장치에서 사용되는 마스크와 같이, 산업용 로보트에 의해서 반송되는 반송대상물 중에는, 매년, 고액화하는 것도 있다.Some objects to be transported by industrial robots, such as glass substrates for liquid crystal displays, are made larger each year. In addition, some of the objects to be transported by the industrial robot, such as a mask used in an exposure apparatus, may be mass-filled every year.
그래서, 본 발명의 과제는 큰 반송대상물이나 고가의 반송대상물의 반송에 적합한 산업용 로보트를 제공하는 것이다.Therefore, an object of the present invention is to provide an industrial robot suitable for transporting a large transport object or an expensive transport object.
상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로보트는 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 핸드가 연결되는 암(arm)과, 암을 지지하는 지지부재를 구비함과 동시에, 지지부재를 상하이동시키는 상하구동기구 및/또는 지지부재를 수평방향으로 이동시키기 위한 수평구동기구 및/또는 상하방향을 축방향으로 하는 소정의 중심축을 중심으로 지지부재를 회전시키기 위한 회전구동기구와, 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구를 제어하는 제어부를 구비하고, 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구는 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구를 정지시키기 위한 복수의 브레이크(brake) 기구를 구비하며, 제어부는 복수의 브레이크 기구를 제어하는 브레이크 제어부를 구비하고, 브레이크 제어부는 복수의 브레이크 기구를 단계적으로 작동시키는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention comprises a hand on which a carrying object is mounted, an arm to which a hand is connected, and a supporting member for supporting the arm, A vertical drive mechanism for vertically moving the support member and / or a rotation drive mechanism for rotating the support member about a predetermined central axis in the vertical direction, Wherein the up-and-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / or the rotation driving mechanism includes a vertical driving mechanism and / or a horizontal driving mechanism and / or a rotation driving mechanism, And a plurality of brake mechanisms for stopping the drive mechanism, wherein the control section includes a brake control section for controlling the plurality of brake mechanisms, Is characterized in that a plurality of brake mechanisms are operated step by step.
본 발명의 산업용 로보트에서는 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구가 복수의 브레이크 기구를 구비하고 있다. 그 때문에, 예를 들면, 1개의 브레이크 기구가 파손되어도 다른 브레이크 기구에 의해서, 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구를 정지시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에서는 큰 반송대상물이나 고가의 반송대상물이라도 안전하게 반송하는 것이 가능하게 된다. 또, 본 발명에서는 브레이크 제어부가 복수의 브레이크 기구를 단계적으로 작동시키고 있다. 그 때문에, 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구가 복수의 브레이크 기구를 가지는 경우라도 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구에 발생하는 제동력을 단계적으로 크게 해 가는 것이 가능하게 된다. 따라서, 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구의 급제동을 방지하는 것이 가능하게 되며, 그 결과, 핸드로부터의 반송대상물의 낙하를 방지하는 것이 가능하게 된다.In the industrial robot of the present invention, the up-and-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / or the rotation driving mechanism are provided with a plurality of brake mechanisms. Therefore, even if one brake mechanism is broken, for example, the up-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / or the rotation driving mechanism can be stopped by another brake mechanism. Therefore, in the present invention, it is possible to transport even a large conveying object or an expensive conveying object safely. Further, in the present invention, the brake control section operates a plurality of brake mechanisms step by step. Therefore, even when the up-and-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / or the rotation driving mechanism has a plurality of brake mechanisms, the braking force generated in the up-and-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / It becomes possible to do. Therefore, sudden braking of the up-and-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / or the rotation driving mechanism can be prevented, and as a result, it is possible to prevent the carrying object from dropping from the hand.
본 발명에 있어서, 브레이크 제어부는 복수의 브레이크 기구의 각각의 작동개시 타이밍을 늦추는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구에 발생하는 제동력을 서서히 크게 하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 상하구동기구 및/또는 수평구동기구 및/또는 회전구동기구의 급제동을 확실히 방지하여, 핸드로부터의 반송대상물의 낙하를 확실히 방지하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, it is preferable that the brake control section delay the operation start timing of each of the plurality of brake mechanisms. With this configuration, it becomes possible to gradually increase the braking force generated in the up-and-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / or the rotation driving mechanism. Therefore, sudden braking of the up-and-down driving mechanism and / or the horizontal driving mechanism and / or the rotation driving mechanism is surely prevented, and it is possible to reliably prevent the carrying object from falling off the hand.
본 발명에 있어서, 산업용 로보트는 복수의 브레이크 기구로서 복수의 상하 브레이크 기구를 가지는 상하구동기구를 구비하고, 제어부는 브레이크 제어부로서 복수의 상하 브레이크 기구를 제어하는 상하 브레이크 제어부를 구비하며, 상하 브레이크 제어부는 복수의 상하 브레이크 기구를 단계적으로 작동시키는 것이 바람직하다.In the present invention, the industrial robot includes an up-and-down driving mechanism having a plurality of braking mechanisms as a plurality of braking mechanisms, and the control unit includes a vertical brake control unit for controlling the plurality of vertical braking mechanisms as a brake control unit, It is preferable that the plurality of upper and lower brake mechanisms operate stepwise.
이와 같이 구성하면, 예를 들어, 1개의 상하 브레이크 기구가 파손되어도 다른 상하 브레이크 기구에 의해서, 상하구동기구를 정지시킬 수 있다. 즉, 지지부재를 정지시켜 핸드 및 암의 낙하를 방지할 수 있다. 따라서, 큰 반송대상물이나 고가의 반송대상물이라도 안전하게 반송할 수 있다. 또, 메인터넌스시에, 예를 들면, 1개의 상하 브레이크 기구를 떼어내는 경우라도 다른 상하 브레이크 기구로 지지부재를 소정 위치에 정지시키는 것이 가능하게 된다. 그 때문에, 상하구동기구의 메인터넌스가 용이하게 된다. 또한, 상하구동기구가 복수의 브레이크 기구를 가지는 경우라도 상하구동기구의 급제동을 방지하는 것이 가능하게 되기 때문에, 핸드로부터의 반송대상물의 낙하를 방지하는 것이 가능하게 된다.With this configuration, for example, even if one of the vertical braking mechanisms is broken, the up-and-down driving mechanism can be stopped by another vertical braking mechanism. That is, it is possible to stop the support member and prevent the hands and the arm from falling down. Therefore, even a large carrying object or an expensive carrying object can be safely transported. Further, at the time of maintenance, for example, even when one vertical braking mechanism is removed, it is possible to stop the support member at a predetermined position by using another vertical braking mechanism. Therefore, maintenance of the up-and-down driving mechanism is facilitated. Further, even when the up-and-down driving mechanism has a plurality of brake mechanisms, it is possible to prevent sudden braking of the up-and-down driving mechanism, thereby making it possible to prevent the carrying object from falling out of the hand.
본 발명에 있어서, 상하구동기구는, 예를 들면, 상하 브레이크 기구와 같은 수의 상하구동용 모터를 구비하고, 복수의 상하 브레이크 기구의 각각은 복수의 상하구동용 모터의 각각에 연결되어 있다. 이 경우에는 상하 브레이크 기구에 의해서 복수의 상하구동용 모터를 개별적이고 또한 확실하게 정지시키는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the up-down driving mechanism includes, for example, the same number of up-and-down driving motors as the up-and-down braking mechanism, and each of the plurality of up-and-down braking mechanisms is connected to each of the plurality of up and down driving motors. In this case, the up-and-down braking mechanism can individually and reliably stop the plurality of up-and-down driving motors.
본 발명에 있어서, 산업용 로보트는 복수의 상하구동용 모터의 각각의 회전속도를 검출하기 위한 복수의 속도검출기구를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 속도검출기구에 의해서 복수의 상하구동용 모터의 이상을 개별적으로 검출하는 것이 가능하게 된다. 즉, 복수의 속도검출기구에서 검출되는 회전속도에 큰 차이가 생기는지 아닌지를 검출함으로써, 복수의 상하구동용 모터의 이상을 개별적으로 검출하는 것이 가능하게 된다. 또, 1대라도 상하구동용 모터의 이상이 검출되었을 경우에는 상하 브레이크 기구에 의해서 상하구동기구를 정지시킬 수 있다. 따라서, 상하구동용 모터에 이상이 생겨도 지지부재를 안전하게 정지시킬 수 있다.In the present invention, the industrial robot preferably includes a plurality of speed detecting mechanisms for detecting the respective rotational speeds of the plurality of up-down driving motors. With this configuration, it is possible to individually detect the abnormality of the plurality of up-down driving motors by the speed detecting mechanism. In other words, by detecting whether or not there is a large difference in the rotational speeds detected by the plurality of speed detecting mechanisms, it becomes possible to individually detect the abnormality of the plurality of up-down driving motors. When an abnormality of the motor for up-down driving is detected even for one of them, the up-and-down driving mechanism can be stopped by the up-and-down braking mechanism. Therefore, even if an abnormality occurs in the motor for up-down driving, the supporting member can be safely stopped.
본 발명에 있어서, 상하구동기구는, 예를 들면, 복수의 상하 브레이크 기구가 연결되는 1대의 상하구동용 모터를 구비하고 있다. 이 경우에는 복수의 상하 브레이크 기구에 의한 큰 제동력으로 1개의 상하구동용 모터를 확실히 정지시키는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the up-and-down driving mechanism includes, for example, one up-and-down driving motor to which a plurality of up-and-down braking mechanisms are connected. In this case, it is possible to reliably stop one up-and-down drive motor with a large braking force by a plurality of up-and-down braking mechanisms.
본 발명에 있어서, 상하구동기구는 상하구동용 모터에 연결되어 지지부재를 상하이동시키는 볼나사와, 볼나사의 회전속도를 검출하기 위한 나사 측 속도검출기구와, 상하구동용 모터의 회전속도를 검출하기 위한 모터 측 속도검출기구를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 나사 측 속도검출기구와 모터 측 속도검출기구에 의해서 상하구동기구의 이상을 확실히 검출하는 것이 가능하게 된다. 즉, 모터 측 속도검출기구에서의 검출결과에 근거하여 산출되는 볼나사의 회전속도와, 나사 측 속도검출기구에서 검출되는 볼나사의 회전속도와의 차이로부터 상하구동기구의 이상을 확실하게 검출하는 것이 가능하게 된다. 또, 상하구동기구의 이상이 검출된 경우에는 상하 브레이크 기구에 의해서 상하구동기구를 정지시킬 수 있다. 따라서, 상하구동기구에 이상이 생겨도 지지부재를 안전하게 정지시킬 수 있 다.In the present invention, the up-and-down driving mechanism includes a ball screw that is connected to the up-down driving motor to move the supporting member up and down, a screw side speed detecting mechanism for detecting the rotating speed of the ball screw, Side speed detecting mechanism for detecting the motor-side speed. With this configuration, it is possible to reliably detect the abnormality of the up-and-down driving mechanism by the screw side speed detecting mechanism and the motor side speed detecting mechanism. Namely, the abnormality of the up-and-down driving mechanism is reliably detected from the difference between the rotational speed of the ball screw calculated on the basis of the detection result in the motor-side speed detecting mechanism and the rotational speed of the ball screw detected by the screw- Lt; / RTI > When an abnormality of the up-down driving mechanism is detected, the up-down driving mechanism can be stopped by the up-and-down braking mechanism. Therefore, even if an abnormality occurs in the up-and-down driving mechanism, the supporting member can be safely stopped.
본 발명에 있어서, 산업용 로보트는 복수의 브레이크 기구로서 복수의 수평 브레이크 기구를 가지는 수평구동기구를 구비하고, 제어부는 브레이크 제어부로서 복수의 수평 브레이크 기구를 제어하는 수평 브레이크 제어부를 구비하며, 수평 브레이크 제어부는 복수의 수평 브레이크 기구를 단계적으로 작동시키는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 예를 들어, 1개의 수평 브레이크 기구가 파손되어도 다른 수평 브레이크 기구에 의해서 수평구동기구를 정지시킬 수 있다. 따라서, 큰 반송대상물이나 고가의 반송대상물이라도 안전하게 반송할 수 있다. 또, 수평구동기구가 복수의 브레이크 기구를 가지는 경우라도 수평구동기구의 급제동을 방지하는 것이 가능하게 되기 때문에, 핸드로부터의 반송대상물의 낙하를 방지하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the industrial robot includes a horizontal drive mechanism having a plurality of horizontal brake mechanisms as a plurality of brake mechanisms, and the control unit includes a horizontal brake control unit for controlling the plurality of horizontal brake mechanisms as a brake control unit, It is preferable to operate the plurality of horizontal braking mechanisms step by step. With this configuration, for example, even if one horizontal brake mechanism is broken, the horizontal driving mechanism can be stopped by another horizontal brake mechanism. Therefore, even a large carrying object or an expensive carrying object can be safely transported. Further, even when the horizontal drive mechanism has a plurality of brake mechanisms, it is possible to prevent sudden braking of the horizontal drive mechanism, thereby making it possible to prevent the object from being dropped from the hand.
본 발명에 있어서, 수평구동기구는, 예를 들어, 수평 브레이크 기구와 같은 수의 수평구동용 모터를 구비하고, 복수의 수평 브레이크 기구의 각각은 복수의 수평구동용 모터의 각각에 연결되어 있다. 이 경우에는 수평 브레이크 기구에 의해서 복수의 수평구동용 모터를 개별적이고 또한 확실하게 정지시키는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the horizontal drive mechanism includes, for example, the same number of horizontal drive motors as the horizontal brake mechanism, and each of the plurality of horizontal brake mechanisms is connected to each of the plurality of horizontal drive motors. In this case, a plurality of horizontal driving motors can be individually and reliably stopped by the horizontal brake mechanism.
이상과 같이, 본 발명에 관한 산업용 로보트에서는 큰 반송대상물이나 고가의 반송대상물을 적절히 반송하는 것이 가능하게 된다.As described above, in the industrial robot according to the present invention, it is possible to suitably carry a large conveying object or an expensive conveying object.
<발명을 실시하기 위한 바람직한 형태>BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION [
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 근거하여 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[실시형태 1][Embodiment 1]
(산업용 로보트의 개략 구성)(Outline of industrial robot)
도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 산업용 로보트(1)의 평면도이다. 도 2는 도 1의 E-E방향으로부터 산업용 로보트(1)를 나타내는 도이다. 도 3은 도 1의 F-F방향에서 산업용 로보트(1)를 나타내는 도이다.1 is a plan view of an
실시형태 1에 관한 산업용 로보트(1)(이하, 「로보트(1)」로 한다.)는 반송대상물인 액정 디스플레이용 유리기판(2)(이하, 「기판(2)」으로 한다.)을 반송하기 위한 로보트이다. 본 형태의 로보트(1)는 특히 대형 기판(2)의 반송에 적절한 대형 로보트로서, 예를 들어, 1변이 약 3m의 대략 정방형(正方形) 모양의 기판(2)을 반송한다.The industrial robot 1 (hereinafter referred to as "
이 로보트(1)는, 도 1 ~ 도 3에 나타내는 바와 같이, 기판(2)이 탑재되는 2개의 핸드(3)와, 2개의 핸드(3)의 각각이 선단 측에 연결되는 2개의 암(4)과, 2개의 암(4)을 지지하는 본체부(5)와, 본체부(5)를 수평방향으로 이동가능하게 지지하는 베이스부재(6)를 구비하고 있다. 본체부(5)는 2개의 암(4)의 기단(基端) 측을 지지함과 동시에 상하이동가능한 지지부재(7)와, 지지부재(7)를 상하방향으로 이동가능하게 지지하기 위한 주상부재(8)와, 본체부(5)의 하단 부분을 구성함과 동시에 베이스부재(6)에 대해서 수평이동가능한 기대(基臺)(9)와, 주상부재(8)의 하단이 고정됨과 동시에 기대(9)에 대해서 선회(旋回)가능한 선회부재(10)를 구비하고 있 다.1 to 3, the
상술한 바와 같이, 본 형태의 로보트(1)는 대형 로보트이다. 예를 들어, 로보트(1)의 높이는 약 7m이고, 지지부재(7)의 상하방향의 스트로크(이동량)는 약 5m이다. 또, 예를 들어, 핸드(3)의 수평방향의 스트로크는 약 5.5m이다.As described above, the
핸드(3)는 기판(2)을 탑재하기 위한 복수의 손톱부(12)를 구비하고 있다. 핸드(3)의 기단은 암(4)의 선단에 회동가능하게 연결되어 있다. 암(4)은 2개의 관절부(13)를 가지고, 전체적으로 신축하도록 구성되어 있다. 또, 암(4)의 기단은 지지부재(7)에 고정되어 있다.The
본 형태에서는 2개의 핸드(3)와 2개의 암(4)이 상하방향과 겹쳐지도록 배치되어 있다. 즉, 본 형태의 로보트(1)는 더블 암 타입의 로보트이다. 또한, 로보트(1)는 1개의 핸드(3)와 1개의 암(4)을 구비하는 싱글 암 타입의 로보트라도 된다.In this embodiment, the two
또, 로보트(1)는 지지부재(7)를 상하이동시키는 상하구동기구(16)(도 4 참조)와, 본체부(5)를 수평방향으로 이동시키는 수평구동기구(17)(도 7 참조)와, 기대(9)에 대해서 선회부재(10)를 선회시키는 회전구동기구(18)(도 7 참조)를 구비하고 있다. 이하, 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18)의 구성 및 그 주변 부분의 구성을 설명한다.4) for vertically moving the
(상하구동기구 및 그 주변부의 구성)(Structure of Upper Driving Mechanism and its Peripheral Portion)
도 4는 도 1의 F-F방향에서 지지부재(7) 및 상하구동기구(16)를 나타내는 도이다. 도 5는 도 4의 G-G방향에서 지지부재(7), 주상부재(8) 및 상하구동기구(16) 를 나타내는 도이다. 도 6은 도 4의 H-H방향에서 상하구동기구(16)를 나타내는 도이다.Fig. 4 is a view showing the
상하구동기구(16)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 주상부재(8)의 측방(도 5에서의 주상부재(8) 아래쪽)에 배치되어 있다. 이 상하구동기구(16)는 2대의 상하구동용 모터(20)와, 2대의 상하구동용 모터(20)의 각각에 연결되는 2개의 감속기(21)를 구비하고 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 1대의 상하구동용 모터(20), 2개의 감속기(21) 및 1대의 상하구동용 모터(20)가 위로부터 이 순번(順番)으로 지지부재(7)에 고정되어 있다.As shown in Fig. 5, the
또, 상하구동기구(16)는 2개의 감속기(21)의 각각의 출력축에 고정되는 상하구동용 피니언(pinion)으로서의 2개의 피니언(작은 톱니바퀴)(22)과, 2개의 피니언(22)과 치합하는 상하구동용 랙(rack)으로서의 랙(23)을 구비하고 있다. 이 2개의 피니언(22)과 랙(23)에 의해서, 지지부재(7)는 상하방향으로 이동한다. 또한, 상하구동기구(16)는 상하구동기구(16)를 정지시키기 위한(즉, 지지부재(7)를 정지시키기 위한) 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 구비하고 있다.The up-and-down
또, 로보트(1)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 지지부재(7)를 상하방향으로 안내하기 위한 가이드부(25)를 구비하고 있다. 가이드부(25)는 가이드 레일(26)과 가이드 레일(26)에 걸어 맞추는 가이드 블록(27)으로 구성되어 있다. 또한, 주상부재(8)는 상하방향을 길이방향으로 하는 가늘고 긴 대략 각주상(角柱狀)으로 형성되며, 지지부재(7)는 블록 모양으로 형성되어 있다.5, the
상하구동용 모터(20)는 상하구동용 모터(20)의 회전속도를 검출하기 위한 속 도검출기구(도시생략)를 구비하고 있다. 이 속도검출기구는, 예를 들어, 원판 모양으로 형성된 슬릿판과, 슬릿판을 끼운 상태로 대향 배치되는 발광소자 및 수광소자로 구성되어 있다.The up-down driving
도 6에 나타내는 바와 같이, 상하구동용 모터(20)의 출력축에는 풀리(28)가 고정되어 있다. 또, 감속기(21)의 입력축에는 풀리(28)보다도 지름이 큰 풀리(29)가 고정되어 있다. 풀리(28, 29)에는 벨트(30)가 걸쳐져 있고, 상하방향으로 인접배치되는 상하구동용 모터(20)와 감속기(21)가 이 벨트(30)에 의해서 연결되어 있다.As shown in Fig. 6, a
랙(23)은 상하방향을 길이방향으로서 주상부재(8)에 고정되어 있다(도 5 참조). 상술한 바와 같이, 본 형태에서는 지지부재(7)의 상하방향의 스트로크가 길다. 즉, 랙(23)의 길이는 길다. 그 때문에, 본 형태에서는, 랙(23)은 복수의 랙편을 이어 맞추는 것으로 형성되어 있다. 또한, 1개의 랙편의 길이는 2개의 피니언(22)의 배치 피치보다 길게 되어 있다.The
상하 브레이크 기구(24)는, 도 6 등에 나타내는 바와 같이, 풀리(29)에 인접하도록 감속기(21)의 입력축에 장착되어 있다. 즉, 2개의 상하 브레이크 기구(24)의 각각은 풀리(28, 29) 및 벨트(30)를 통하여 2대의 상하구동용 모터(20)의 각각에 연결되어 있다.The upper and
이 상하 브레이크 기구(24)는 이른바 무여자(無勵磁) 작동형 브레이크이며, 코일이 수납되는 케이스체와, 케이스체에 고정되는 사이드 플레이트와, 케이스체에 대해서 축방향으로 이동가능하게 배치되는 아마츄어(amateur)와, 사이드 플레이트 와 아마츄어 사이에 배치됨과 동시에 감속기(21)의 입력축에 고정되는 브레이크 디스크와, 아마츄어를 브레이크 디스크로 향하여 가압하는 압축코일 스프링을 구비하고 있다. 상하 브레이크 기구(24)에서는 코일이 통전(通電) 상태가 되면, 아마츄어가 케이스체에 흡인(吸引)되어 브레이크 디스크가 해방된다. 또, 코일로의 통전이 정지되면, 압축코일 스프링의 가압력으로 아마츄어와 사이드 플레이트와의 사이에 브레이크 디스크가 끼워져 감속기(21)에 급격하게 브레이크가 걸린다. 또한, 1개의 상하 브레이크 기구(24)는 기판(2), 핸드(3), 암(4) 및 지지부재(7) 등을 포함한 상하방향으로 이동하는 부분을 충분히 정지시킬 수 있는 제동력을 가지고 있다.The upper and
가이드 레일(26)은 상하방향을 길이방향으로서 주상부재(8)에 고정되어 있다(도 5 참조). 본 형태에서는 2개의 가이드 레일(26)이 주상부재(8)에 고정되어 있다. 구체적으로는 도 5의 좌우방향으로 평행한 2개의 주상부재(8)의 장착면의 각각에 가이드 레일(26)이 고정되어 있다. 또, 도 5의 아래쪽에 배치되는 가이드 레일(26)은 랙(23)에 인접하도록 고정되어 있다.The guide rails 26 are fixed to the
가이드 블록(27)은 지지부재(7)에 고정되어 있다. 구체적으로는 지지부재(7)의 암(4)의 고정면(도 5의 우단면)에 직교하는 면에 가이드 블록(27)이 고정되어 있고, 가이드 블록(27)은 도 5의 상하방향의 외측으로부터 가이드 레일(26)에 걸어 맞춰져 있다.The
또한, 본 형태에서는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 주상부재(8)에 커버부재(31)가 고정되어 있다. 이 커버부재(31)는 도 5의 상하방향에서 가이드 레일(26)을 가리도록 배치되어 있다.Further, in this embodiment, as shown in Fig. 5, the
(수평구동기구 및 그 주변부의 구성)(Configuration of Horizontal Drive Mechanism and Its Surrounding Parts)
도 7은 도 2의 J부의 내부구성을 설명하기 위한 도이다. 도 8은 도 3의 K-K방향에서 수평구동기구(17) 등의 구성을 설명하기 위한 도이다. 도 9는 도 8의 L-L방향에서 수평구동기구(17)의 구성을 설명하기 위한 도이다.Fig. 7 is a diagram for explaining the internal configuration of a portion J in Fig. 2; 8 is a view for explaining the configuration of the
수평구동기구(17)는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 도 7에서의 기대(9)의 좌단 측에 배치되어 있다. 이 수평구동기구(17)는 2대의 수평구동용 모터(40)를 구비하고 있다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 2대의 수평구동용 모터(40)는 도 8의 좌우방향에서 인접하도록 배치되어 있다. 또, 2대의 수평구동용 모터(40)의 각각은 기대(9)에 고정된 2개의 브래킷(52)의 각각에 고정되어 있다. 2개의 브래킷(52)의 각각에는, 도 8, 도 9에 나타내는 바와 같이, 회전축(53)이 베어링(54)을 통하여 회전가능하게 유지되고 있다. 2개의 회전축(53)은 도 8의 좌우방향에서 인접하도록 배치되어 있다.As shown in Fig. 7, the
또, 수평구동기구(17)는 2개의 회전축(53)의 각각의 하단에 고정되는 수평구동용 피니언으로서의 2개의 피니언(42)과, 2개의 피니언(42)과 치합하는 수평구동용 랙으로서의 랙(43)을 구비하고 있다. 이 2개의 피니언(42)과 랙(43)에 의해서, 기대(9)는 수평방향으로 이동한다. 또한, 수평구동기구(17)는 수평구동기구(17)를 정지시키기 위한(즉, 기대(9)를 정지시키기 위한) 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 구비하고 있다.The
또, 로보트(1)는 기대(9)를 수평방향으로 안내하기 위한 가이드부(45)를 구비하고 있다. 가이드부(45)는 가이드 레일(46)과 가이드 레일(46)에 걸어 맞추는 가이드 블록(47)으로 구성되어 있다. 또, 베이스부재(6)는 도 7, 도 8에 나타내는 바와 같이, 가늘고 긴 2개의 레일모양 부재(51)를 구비하고 있다. 이 레일모양 부재(51)는 도 7의 좌우방향에 소정의 간격을 둔 상태로 평행하게 배치되어 있다.Further, the
수평구동용 모터(40)는 수평구동용 모터(40)의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구(도시생략)를 구비하고 있다. 이 속도검출기구는, 예를 들어, 원판 모양으로 형성된 슬릿판과, 슬릿판을 끼운 상태로 대향 배치되는 발광소자 및 수광소자로 구성되어 있다.The
도 9에 나타내는 바와 같이, 수평구동용 모터(40)의 출력축에는 풀리(48)가 고정되어 있다. 또, 회전축(53)의 상단 측에는 풀리(48)보다 지름이 큰 풀리(49)가 고정되어 있다. 풀리(48, 49)에는 벨트(50)가 걸쳐져 있고, 도 8의 상하방향에서 인접배치되는 수평구동용 모터(40)와 회전축(53)이 이 벨트(50)에 의해서 연결되어 있다.As shown in Fig. 9, a
랙(43)은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 레일모양 부재(51)의 상면에 고정되어 있다. 본 형태에서는 기대(9)의 이동량이 크기 때문에, 랙(43)의 길이는 길다. 그 때문에, 랙(43)은 복수의 랙편을 이어 맞추는 것으로 형성되어 있다.The
수평 브레이크 기구(44)는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 풀리(48)에 인접하도록 수평구동용 모터(40)의 출력축에 장착되어 있다. 이 수평 브레이크 기구(44)는 상하 브레이크 기구(24)와 마찬가지로 이른바 무여자 작동형의 브레이크이며, 상하 브레이크 기구(24)와 동일하게 구성되어 있다. 즉, 수평 브레이크 기구(44)에서는, 코일이 통전 상태가 되면, 아마츄어가 케이스체에 흡인되어 브레이크 디스크 가 해방된다. 또, 코일로의 통전이 정지되면, 압축코일 스프링의 가압력으로 아마츄어와 사이드 플레이트와의 사이에 브레이크 디스크가 끼워져 수평구동용 모터(40)에 급격하게 브레이크가 걸린다.The
가이드 레일(46)은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 레일모양 부재(51)의 상면에 고정되어 있다. 본 형태에서는, 2개의 레일모양 부재(51)의 각각의 상면에 가이드 레일(46)이 고정되어 있다. 또, 도 8의 위쪽에 배치되는 가이드 레일(46)은 랙(43)에 인접하도록 고정되어 있다. 가이드 블록(47)은, 도 7에 나타내는 바와 같이, 도 7의 좌우방향에서의 기대(9)의 양단부에 고정되어 있다. 이 가이드 블록(47)은 위쪽으로부터 가이드 레일(46)에 걸어 맞춰져 있다.As shown in Fig. 8, the
(회전구동기구 및 그 주변부분의 구성)(Configuration of Rotary Drive Mechanism and its Surrounding Parts)
도 10은 도 1에 나타내는 선회부재(10)의 평면도이다. 도 11은 도 10의 M-M단면의 단면도이다.10 is a plan view of the pivoting
회전구동기구(18)는, 도 10, 도 11에 나타내는 바와 같이, 선회부재(10)의 선회중심이 되는 중심축(CL)의 둘레에 배치되어 있다. 이 회전구동기구(18)는 2대의 회전구동용 모터(60)를 구비하고 있다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 2대의 회전구동용 모터(60)는 중심축(CL)에 대해서 점대칭으로 배치되며, 선회부재(10)의 중심부에 고정되어 있다. 또, 회전구동기구(18)는 선회부재(10)의 중심부에 고정되는 감속기(61)를 구비하고 있다. 또한, 회전구동기구(18)는 회전구동기구(18)를 정지시키기 위한(즉, 선회부재(10)를 정지시키기 위한) 1개의 회전 브레이크 기구(64)를 구비하고 있다. 또한, 선회부재(10)는 가늘고 긴 블록 모양의 부재이며, 일단 측(도 10의 좌단 측)에 주상부재(8)의 하단이 고정되어 있다.As shown in Figs. 10 and 11, the
회전구동용 모터(60)는 회전구동용 모터(60)의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구(도시생략)를 구비하고 있다. 이 속도검출기구는, 예를 들어, 원판 모양으로 형성된 슬릿판과, 슬릿판을 끼운 상태로 대향 배치되는 발광소자 및 수광소자로 구성되어 있다.The
도 11에 나타내는 바와 같이, 회전구동용 모터(60)의 출력축에는 출력톱니바퀴(68)가 고정되어 있고, 2개의 출력톱니바퀴(68)가 감속기(61)의 입력톱니바퀴(69)와 치합하고 있다. 이 2개의 출력톱니바퀴(68)와 입력톱니바퀴(69)를 포함하는 감속기(61)에 의해서, 선회부재(10)는 기대(9)에 대해서 선회한다. 즉, 선회부재(10)의 중심부에는 감속기(61)의 출력 측이 고정되어 있고, 감속기(61)를 통하여 전달되는 회전구동용 모터(60)의 동력으로 선회부재(10)는 기대(9)에 대해서 선회한다.11, an
회전 브레이크 기구(64)는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 선회부재(10)의 중심부에 베어링(74)을 통하여 회전가능하게 유지되는 회전축(73)의 상단에 고정되어 있다. 회전축(73)의 하단에는 감속기(61)의 입력톱니바퀴(69)와 치합하는 톱니바퀴(70)가 고정되어 있다. 또, 회전 브레이크 기구(64)는, 도 10에 나타내는 바와 같이, 중심축(CL)을 중심으로 회전구동용 모터(60)를 90°회전시킨 위치에 배치되어 있다.11, the
이 회전 브레이크 기구(64)는 상하 브레이크 기구(24)와 마찬가지로 이른바 무여자 작동형의 브레이크이며, 상하 브레이크 기구(24)와 동일하게 구성되어 있 다. 즉, 회전 브레이크 기구(64)에서는 코일이 통전 상태가 되면, 아마츄어가 케이스체에 흡인되어 브레이크 디스크가 해방된다. 또, 코일로의 통전이 정지되면, 압축코일 스프링의 가압력으로 아마츄어와 사이드 플레이트 사이에 브레이크 디스크가 끼워져, 입력톱니바퀴(69)에 급격하게 브레이크가 걸린다.This
(제어부의 구성)(Configuration of control unit)
도 12는 도 1에 나타내는 산업용 로보트(1)의 제어부(80) 및 그 관련 부분의 블록도이다. 또한, 도 12에서는 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18)의 제어에 관련하는 제어부(80)의 구성이 도시되어 있다.12 is a block diagram of the
제어부(80)는, 도 12에 나타내는 바와 같이, 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18)의 제어에 관련하는 구성으로서, 2대의 상하구동용 모터(20)를 제어하는 상하모터 제어부(81)와, 2대의 수평구동용 모터(40)를 제어하는 수평모터 제어부(82)와, 2대의 회전구동용 모터(60)를 제어하는 회전모터 제어부(83)와, 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 제어하는 상하 브레이크 제어부(84)와, 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 제어하는 수평 브레이크 제어부(85)와, 1개의 회전 브레이크 기구(64)를 제어하는 회전 브레이크 제어부(86)를 구비하고 있다. 또, 제어부(80)에는 제어지령부(87)가 접속되어 있다.12, the
상하모터 제어부(81)는 2대의 상하구동용 모터(20) 중 한쪽의 상하구동용 모터(20)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하고, 다른 쪽의 상하구동용 모터(20)를 토크제어에 의해서 제어한다. 즉, 상하모터 제어부(81)는 한쪽의 상하구동용 모터(20)에 대해서는 이 상하구동용 모터(20)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하 여 피드백제어와, 이 상하구동용 모터(20)의 전력값을 제어하는 토크제어를 실시하며, 다른 쪽의 상하구동용 모터(20)에 대해서는 이 상하구동용 모터(20)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하는 피드백제어를 실시하지 않고, 이 상하구동용 모터(20)의 전류값을 제어하는 토크제어를 실시한다.The up / down
수평모터 제어부(82)는 2대의 수평구동용 모터(40) 중 한쪽의 수평구동용 모터(40)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어한다. 또, 수평모터 제어부(82)는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전에는, 한쪽의 수평구동용 모터(40)와 마찬가지로, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하지만, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전을 제외한 그 외의 시간에는, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)를 토크제어에 의해서 제어한다.The horizontal
즉, 수평모터 제어부(82)는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전을 제외한 그 외의 시간에는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)에 대해서, 이 수평구동용 모터(40)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하는 피드백제어를 실시하지 않고 토크제어를 실시한다. 또, 수평모터 제어부(82)는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전에는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)에 대해서, 이 수평구동용 모터(40)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하는 피드백 제어를 실시하여, 2개의 피니언(42)과 랙(43)과의 사이의 백래쉬가 없어지도록 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 회전속도를 제어한다.That is, the horizontal
마찬가지로, 회전모터 제어부(83)는 2대의 회전구동용 모터(60) 중 한쪽의 회전구동용 모터(60)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어한다. 또, 회전모터 제 어부(83)는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전에는, 한쪽의 회전구동용 모터(60)와 마찬가지로, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)를 속도제어와 토크제어 의해서 제어하지만, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)를 토크제어에 의해서 제어한다.Likewise, the rotation
즉, 회전모터 제어부(83)는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)에 대해서, 이 회전구동용 모터(60)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하는 피드백 제어를 실시하지 않고 토크제어를 실시한다. 또, 회전모터 제어부(83)는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전에는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)에 대해서, 이 회전구동용 모터(60)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하는 피드백 제어를 실시하여, 2개의 출력톱니바퀴(68)와 입력톱니바퀴(69)와의 사이의 백래쉬가 없어지도록 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 회전속도를 제어한다.That is, the rotation
상하 브레이크 제어부(84)는 제어지령부(87)로부터 지지부재(7)의 정지신호가 입력되면, 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 단계적으로 작동시킨다. 즉, 제어지령부(87)로부터 지지부재(7)의 정지신호가 입력되면, 상하 브레이크 제어부(84)는 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 작동개시 타이밍과 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 작동개시 타이밍이 바뀌도록(어긋나도록) 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 작동시킨다.When the stop signal of the
구체적으로는, 상하 브레이크 제어부(84)는 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 작동개시 타이밍이 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 작동개시 타이밍보 다 늦도록 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 작동시킨다. 즉, 우선, 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)가 작동을 개시함과 동시에, 이 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)가 작동하고 있는 상태에서, 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(24)가 작동을 개시하도록 상하 브레이크 제어부(84)는 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 작동시킨다. 보다 구체적으로는, 상하 브레이크 제어부(84)는 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 코일로의 통전을 정지하는 타이밍(또는 코일로의 통전이 실제로 멈추는 타이밍)이 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 코일로의 통전을 정지하는 타이밍(또는 코일로의 통전이 실제로 멈추는 타이밍)보다 늦도록 2개의 상하 브레이크 기구(24)의 코일로의 통전을 정지한다.Specifically, the up-and-down
마찬가지로, 수평 브레이크 제어부(85)는 제어지령부(87)로부터 기대(9)의 정지신호가 입력되면, 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 단계적으로 작동시킨다. 즉, 제어지령부(87)로부터 기대(9)의 정지신호가 입력되면, 수평 브레이크 제어부(85)는 한쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 작동개시 타이밍과 다른 쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 작동개시 타이밍이 바뀌도록(어긋나도록) 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 작동시킨다.Similarly, when the stop signal of the
구체적으로는, 수평 브레이크 제어부(85)는 다른 쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 작동개시 타이밍이 한쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 작동개시 타이밍보다 늦도록 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 작동시킨다. 즉, 우선, 한쪽의 수평 브레이크 기구(44)가 작동을 개시함과 동시에, 이 한쪽의 수평 브레이크 기구(44)가 작동하고 있는 상태에서, 다른 쪽의 수평 브레이크 기구(44)가 작동을 개시하도록 수평 브레이크 제어부(85)는 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 작동시킨다. 보다 구체적으로는, 수평 브레이크 제어부(85)는 다른 쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 코일로의 통전을 정지하는 타이밍(또는 코일로의 통전이 실제로 멈추는 타이밍)이 한쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 코일로의 통전을 정지하는 타이밍(또는 코일로의 통전이 실제로 멈추는 타이밍)보다 늦도록 2개의 수평 브레이크 기구(44)의 코일로의 통전을 정지한다. 또한, 수평 브레이크 제어부(85)는 제어지령부(87)로부터 기대(9)의 정지신호가 입력되었을 때에 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 동시에 작동시켜도 된다.More specifically, the horizontal
(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this embodiment)
이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는 상하구동기구(16)는 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 구비하고 있다. 그 때문에, 예를 들어, 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)가 파손되어도 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(24)에 의해서 상하구동기구(16)를 정지시킬 수 있다. 즉, 지지부재(7)를 정지시켜 핸드(3) 및 암(4)의 낙하를 방지할 수 있다. 따라서, 본 형태에서는 큰 기판(2)이라도 안전하게 반송할 수 있다. 또, 메인터넌스시에 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)를 떼어내는 경우라도 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(24)로 지지부재(7)를 소정 위치에 정지시킬 수 있다. 그 때문에, 상하구동기구(16)의 메인터넌스가 용이하게 된다.As described above, in the present embodiment, the up-and-down
또, 본 형태에서는 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 단계적으로 작동시키고 있어 상하구동기구(16)에 발생하는 제동력을 단계적으로 크게 하고 있다. 그 때문에, 상하구동기구(16)의 급제동을 방지할 수 있다. 따라서, 상하구동기구(16)가 2 개의 상하 브레이크 기구(24)를 구비하고 있어도 지지부재(7)가 급정지하는 것에 기인하여 발생할 수 있는 핸드(3)로부터의 기판(2)의 낙하를 방지할 수 있다.In this embodiment, the two
본 형태에서는 2개의 상하 브레이크 기구(24)의 각각이 풀리(28, 29)와 벨트(30)를 통하여 2대의 상하구동용 모터(20)의 각각에 연결되어 있다. 그 때문에, 상하 브레이크 기구(24)에 의해서, 2대의 상하구동용 모터(20)를 개별적이고 또한 확실하게 정지시킬 수 있다.In this embodiment, each of the two upper and
본 형태에서는 2대의 상하구동용 모터(20)의 각각이 속도검출기구를 구비하고 있다. 그 때문에, 2개의 속도검출기구에서 검출되는 회전속도의 차이가 소정값 이상이 되어 있는지 아닌지를 검출함으로써, 상하구동용 모터(20)의 이상을 검출하는 것이 가능하게 된다. 또, 상하구동용 모터(20)의 이상이 검출된 경우에는 상하 브레이크 기구(24)에 의해서 상하구동기구(16)를 정지시킬 수 있다. 따라서, 상하구동용 모터(20)에 이상이 생겨도 지지부재(7)를 안전하게 정지시킬 수 있다.In this embodiment, each of the two
본 형태에서는, 수평구동기구(17)는 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 구비하고 있다. 그 때문에, 예를 들어, 한쪽의 수평 브레이크 기구(44)가 파손되어도 다른 쪽의 수평 브레이크 기구(44)에 의해서 수평구동기구(17)를 정지시킬 수 있다. 즉, 본체부(5)를 정지시킬 수 있다. 따라서, 큰 기판(2)이라도 안전하게 반송할 수 있다. 또, 본 형태에서는 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 단계적으로 작동시키고 있어 수평구동기구(17)에 발생하는 제동력을 단계적으로 크게 하고 있다. 그 때문에, 수평구동기구(17)의 급제동을 방지할 수 있다. 따라서, 수평구동기구(17)가 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 구비하고 있어도 본체부(5)가 급정지하는 것에 기 인하여 발생할 수 있는 핸드(3)로부터의 기판(2)의 낙하를 방지할 수 있다.In this embodiment, the
본 형태에서는 2개의 수평 브레이크 기구(44)의 각각이 2대의 수평구동용 모터(40)의 각각의 출력축에 연결되어 있다. 그 때문에, 수평 브레이크 기구(40)에 의해서, 2대의 수평구동용 모터(40)를 개별적이고 또한 확실하게 정지시킬 수 있다.In this embodiment, each of the two
[실시형태 2][Embodiment 2]
도 13은 본 발명의 실시형태 2에 관한 산업용 로보트(101)의 평면도이다. 도 14는 도 13의 N-N방향에서 산업용 로보트(101)를 나타내는 도이다. 도 15는 도 13의 P-P방향에서 산업용 로보트(101)를 나타내는 도이다. 도 16은 도 13에 나타내는 주상부재(108) 및 상하구동기구(116)의 구성을 설명하기 위한 도이다. 도 17은 도 16의 Q부의 확대도이다. 도 18은 도 16의 R-R방향에서 상하구동기구(116)를 나타내는 도이다.13 is a plan view of the
실시형태 2에 관한 산업용 로보트(101)(이하, 「로보트(101)」라고 한다.)는 노광장치에서 사용되는 고가의 마스크(102)를 반송하기 위한 로보트이다. 즉, 실시형태 1의 로보트(1)에 의해서 반송되는 반송대상물이 대형의 기판(2)인 것에 대해, 실시형태 2의 로보트(101)에 의해서 반송되는 반송대상물은 고가의 마스크(102)이다.An industrial robot 101 (hereinafter referred to as "
이 로보트(101)는, 도 13 ~ 도 15에 나타내는 바와 같이, 마스크(102)가 탑재되는 핸드(103)와, 핸드(103)이 연결되는 암(104)과, 암(104)을 지지하는 본체부(105)와, 본체부(105)를 수평방향으로 이동 가능하게 지지하는 베이스 부재(106) 를 구비하고 있다. 본체부(105)는 암(104)을 지지함과 동시에 상하이동 가능한 지지부재(107)와, 지지부재(107)를 상하방향으로 이동 가능하게 지지하기 위한 주상부재(108)와, 본체부(105)의 하단 부분을 구성함과 동시에 베이스 부재(106)에 대해서 수평이동 가능한 기대(109)와, 주상부재(108)의 하단이 고정됨과 동시에 기대(109)에 대해서 선회 가능한 선회부재(110)를 구비하고 있다. 또, 로보트(101)는 암(104)의 기울기를 조정하기 위한 기울기 조정기구(111)와, 지지부재(107)를 상하이동시키는 상하구동기구(116)(도 16 참조)를 구비하고 있다.13 to 15, the
핸드(103)는 기판(2)을 탑재하기 위한 2개의 손톱부(112)를 구비하고 있다. 핸드(103)는 암(104)에 대해서 도 13의 좌우방향으로 상대이동 가능하게 되도록 암(104)에 유지되어 있다. 암(104)은 가늘고 긴 직방체 모양으로 형성되어 있고, 그 중심부분이 지지부재(107)에 지지되어 있다. 기울기 조정기구(111)는 암(104)과 지지부재(107)와의 연결 부분에 배치되어 있다. 이 기울기 조정기구(111)는 도 14의 좌우방향에 대한 암(104)의 기울기를 조정한다.The
상하구동기구(116)는 1대의 상하구동용 모터(120)와, 상하구동용 모터(120)가 연결되는 1개의 볼나사(121)를 구비하고 있다. 도 16에 나타내는 바와 같이, 상하구동용 모터(120)는 주상부재(108)의 상단 측에 고정되어 있다. 또, 볼나사(121)는 상하방향을 길이방향으로 하여 주상부재(108)에 장착되어 있다. 구체적으로는 주상부재(108)의 상하 양단 측에 고정되는 2개의 베어링(122)에 볼나사(121)가 회전가능하게 지지되어 있다.The up-and-down
또, 상하구동기구(116)는 볼나사(121)에 나사 맞춤하여 상하이동하는 너트부 재(123)를 구비하고 있다. 너트부재(123)는 지지부재(107)에 고정되어 있다. 본 형태에서는 볼나사(121)와 너트부재(123)에 의해서 지지부재(107)는 상하방향으로 이동한다. 또한, 상하구동기구(116)는 상하구동기구(116)를 정지시키기 위한(즉, 지지부재(107)를 정지시키기 위한) 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 구비하고 있다. 또한, 상하구동기구(116)는 볼나사(121)를 중심으로 하는 너트부재(123)의 회전을 방지하기 위한 헛돌기 방지부(도시생략)를 구비하고 있다.The
상하구동용 모터(120)는 상하구동용 모터(120)의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구(도시생략)를 구비하고 있다. 이 속도검출기구는, 예를 들어, 원판 모양으로 형성된 슬릿판과, 슬릿판을 끼운 상태로 대향 배치되는 발광소자 및 수광소자로 구성되어 있다. 또, 볼나사(121)의 하단 측에는 볼나사(121)의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구(131)가 장착되어 있다. 이 속도검출기구는, 예를 들어, 원판 모양으로 형성되어 볼나사(121)에 고정되는 슬릿판과, 슬릿판을 끼운 상태로 대향 배치되는 발광소자 및 수광소자로 구성되어 있다.The up-and-down driving
본 형태에서는, 상하구동용 모터(120)가 가지는 속도검출기구는 상하구동용 모터(120)의 회전속도를 검출하기 위한 모터 측 속도검출기구이다. 또, 볼나사(121)의 하단 측에 장착되어 있는 속도검출기구(131)는 볼나사(121)의 회전속도를 검출하기 위한 나사 측 속도검출기구이다.In this embodiment, the speed detecting mechanism of the up-down driving
도 17에 나타내는 바와 같이, 상하구동용 모터(120)의 출력축에는 풀리(128)가 고정되어 있다. 또, 볼나사(121)의 상단에는 풀리(128)보다 지름이 큰 풀리(129)가 고정되어 있다. 풀리(128, 129)에는 벨트(130)가 걸쳐져 있고, 상하구동 용 모터(120)와 볼나사(121)가 벨트(130)에 의해서 연결되어 있다.As shown in Fig. 17, a
2개의 상하 브레이크 기구(124)는, 도 17에 나타내는 바와 같이, 풀리(129)에 인접하도록 볼나사(121)의 상단 측에 장착되어 있다. 즉, 2개의 상하 브레이크 기구(124)는 풀리(128, 129) 및 벨트(130)를 통하여 상하구동용 모터(120)에 연결되어 있다.The two upper and
상하 브레이크 기구(124)는 실시형태 1의 상하 브레이크 기구(24)와 동일하게 구성되어 있다. 즉, 상하 브레이크 기구(124)에서는 코일이 통전상태가 되면, 아마츄어가 케이스체에 흡인되어, 볼나사(121)에 고정되는 브레이크 디스크가 해방된다. 또, 코일로의 통전이 정지되면, 압축코일 스프링의 가압력으로 아마츄어와 사이드 플레이트 사이에 브레이크 디스크가 끼워져, 볼나사(121)에 급격하게 브레이크가 걸린다. 또한, 1개의 상하 브레이크 기구(124)는 마스크(102), 핸드(103), 암(104) 및 지지부재(107) 등을 포함한 상하방향으로 이동하는 부분을 충분히 정지시킬 수 있는 제동력을 가지고 있다.The
실시형태 1의 로보트(1)와 마찬가지로, 본 형태의 로보트(101)는 제어부(도시생략)를 구비하고 있다. 이 제어부는 상하구동기구(116)의 제어에 관한 구성으로서, 상하구동용 모터(120)를 제어하는 상하모터 제어부와, 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 제어하는 상하 브레이크 제어부를 구비하고 있다.Like the
본 형태의 상하 브레이크 제어부는 실시형태 1의 상하 브레이크 제어부(84)와 마찬가지로, 제어지령부로부터 지지부재(107)의 정지신호가 입력되면, 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 단계적으로 작동시킨다. 즉, 제어지령부로부터 지지부 재(107)의 정지신호가 입력되면, 상하 브레이크 제어부는 한쪽의 상하 브레이크 기구(124)의 작동개시 타이밍과 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(124)의 작동개시 타이밍이 바뀌도록(어긋나도록) 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 작동시킨다.As in the case of the vertical
구체적으로는, 상하 브레이크 제어부는 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(124)의 작동개시 타이밍이 한쪽의 상하 브레이크 기구(124)의 작동개시 타이밍보다 늦도록 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 작동시킨다. 즉, 우선, 한쪽의 상하 브레이크 기구(124)가 작동을 개시함과 동시에, 이 한쪽의 상하 브레이크 기구(124)가 작동하고 있는 상태에서 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(124)가 작동을 개시하도록 상하 브레이크 제어부는 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 작동시킨다. 보다 구체적으로는, 상하 브레이크 제어부는 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(124)의 코일로의 통전을 정지하는 타이밍(또는 코일로의 통전이 실제로 멈추는 타이밍)이 한쪽의 상하 브레이크 기구(124)의 코일로의 통전을 정지하는 타이밍(또는 코일로의 통전이 실제로 멈추는 타이밍)보다 늦도록 2개의 상하 브레이크 기구(124)의 코일로의 통전을 정지한다.Specifically, the vertical brake control section operates the two
이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 상하구동기구(116)는 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 구비하고 있다. 그 때문에, 한쪽의 상하 브레이크 기구(124)가 파손되어도 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(124)에 의해서 상하구동기구(116)를 정지시킬 수 있고, 지지부재(107)를 정지시켜 핸드(103) 및 암(104)의 낙하를 방지할 수 있다. 따라서, 본 형태에서는 고가의 마스크(102)라도 안전하게 반송할 수 있다. 또, 메인터넌스시에 한쪽의 상하 브레이크 기구(124)를 떼어내는 경우라도 다 른 쪽의 상하 브레이크 기구(124)로 지지부재(107)를 소정 위치에 정지시킬 수 있기 때문에, 상하구동기구(116)의 메인터넌스가 용이하게 된다.As described above, in the present embodiment, the up-and-down
또, 본 형태에서는 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 단계적으로 작동시키고 있어 상하구동기구(116)에 발생하는 제동력을 단계적으로 크게 하고 있다. 그 때문에, 상하구동기구(116)의 급제동을 방지할 수 있다. 따라서, 상하구동기구(116)가 2개의 상하 브레이크 기구(124)를 구비하고 있어도 지지부재(107)가 급정지하는 것에 기인하여 발생할 수 있는 핸드(103)로부터의 마스크(102)의 낙하를 방지할 수 있다.In this embodiment, the two
본 형태에서는, 상하구동기구(116)는 2개의 상하 브레이크 기구(124)가 연결되는 1대의 상하구동용 모터(120)를 구비하고 있다. 그 때문에, 2개의 상하 브레이크 기구(124)에 의한 큰 제동력으로 1개의 상하구동용 모터(120)를 확실히 정지시킬 수 있다.In this embodiment, the up-and-down
본 형태에서는, 상하구동기구(116)는 상하구동용 모터(120)의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구와, 볼나사(121)의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구(131)을 구비하고 있다. 그 때문에, 상하구동용 모터(120)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하여 산출되는 볼나사(121)의 회전속도와, 속도검출기구(131)에서 검출되는 볼나사(121)의 회전속도와의 차이가 소정값 이상이 되어 있는지 아닌지를 검출함으로써, 상하구동기구(116)의 이상을 확실히 검출할 수 있다. 또, 상하구동기구(116)의 이상이 검출된 경우에는 상하 브레이크 기구(124)에 의해서 상하구동기구(116)를 정지시킬 수 있다. 따라서, 상하구동기구(116)에 이상이 생겨도 지지 부재(107)를 안전하게 정지시킬 수 있다.In this embodiment, the up-and-down
[다른 실시형태][Other Embodiments]
상술한 형태는, 본 발명의 바람직한 형태의 일례이지만, 이것으로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 여러 가지 변형 실시가 가능하다.The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited thereto, and various modifications are possible without changing the gist of the present invention.
실시형태 1에서는, 상하 브레이크 기구(24)는 감속기(21)의 입력축에 장착되어 있다. 그 밖에도 예를 들어, 상하 브레이크 기구(24)는 상하구동용 모터(20)의 출력축이나 감속기(21)의 출력축에 장착되어도 된다. 또, 상하방향을 길이방향으로 하는 가늘고 긴 판상(板狀)의 브레이크판이 주상부재(8)에 고정됨과 동시에, 지지부재와 함께 상하이동하는 사이드 플레이트와 아마츄어가 이 브레이크판을 끼운 상태로 배치되는 것으로 상하 브레이크 기구가 구성되어도 된다. 즉, 상하 브레이크 기구는 상하구동용 모터(20)에 연결되어 있지 않아도 된다.In the first embodiment, the
마찬가지로, 실시형태 1에서는, 수평 브레이크 기구(44)는 수평구동용 모터(40)의 출력축에 장착되어 있지만, 수평 브레이크 기구(44)는 회전축(53)에 장착되어도 된다. 또, 수평방향을 길이방향으로 하는 가늘고 긴 판상의 브레이크판이 레일모양 부재(51)에 고정됨과 동시에, 기대(9)와 함께 수평이동하는 사이드 플레이트와 아마츄어가 이 브레이크판을 끼운 상태로 배치되는 것으로 수평 브레이크 기구가 구성되어도 된다. 즉, 수평 브레이크 기구는 수평구동용 모터(40)에 연결되어 있지 않아도 된다.Similarly, in
또, 실시형태 2에서는, 상하 브레이크 기구(124)는 볼나사(121)의 상단 측에 장착되어 있지만, 상하 브레이크 기구(124)는 상하구동용 모터(120)의 출력축에 장착되어도 된다. 또, 상하방향을 길이방향으로 하는 가늘고 긴 판상의 브레이크판이 주상부재(108)에 고정됨과 동시에, 지지부재(107)와 함께 상하이동하는 사이드 플레이트와 아마츄어가 이 브레이크판을 끼운 상태로 배치되는 것으로 상하 브레이크 기구가 구성되어도 된다.In the second embodiment, the
[0092](ref2009-20의[0091]대응)(Corresponding to ref.2009-20) [0092]
상술한 형태에서는, 상하구동기구(16, 116)는 2개의 상하 브레이크 기구(24, 124)를 구비하고 있다. 그 밖에도 예를 들어, 상하구동기구(16, 116)는 3개 이상의 상하 브레이크 기구(24, 124)를 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 상하 브레이크 제어부(84)는 3개 이상의 상하 브레이크 기구(24, 124)의 각각의 작동개시 타이밍이 어긋나도록 상하 브레이크 기구(24, 124)를 작동시켜도 된다. 즉, 상하 브레이크 제어부(84)는 3개 이상의 상하 브레이크 기구(24, 124)의 작동을 차례로 개시해도 된다. 또, 이 경우에는 3개 이상의 상하 브레이크 기구(24, 124)를 몇 개의 그룹으로 나눔과 동시에, 이 그룹마다의 작동개시 타이밍이 어긋나도록(그룹마다 차례로 작동이 개시되도록) 상하 브레이크 제어부(84)가 상하 브레이크 기구(24, 124)를 작동시켜도 된다.In the above-described embodiment, the up-and-down
또한, 3개 이상의 상하 브레이크 기구(24, 124)의 각각의 작동개시 타이밍이 어긋나도록 상하 브레이크 제어부(84)가 상하 브레이크 기구(24, 124)를 작동시키는 경우에는 상하구동기구(16, 116)에 발생하는 제동력을 서서히 크게 할 수 있다. 그 때문에, 상하구동기구(16, 116)의 급제동을 확실히 방지하여, 핸드(3, 103)로부 터의 반송대상물의 낙하를 확실히 방지하는 것이 가능하게 된다.When the vertical
마찬가지로, 수평구동기구(17)는 3개 이상의 수평 브레이크 기구(44)를 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 수평 브레이크 제어부(85)는 3개 이상의 수평 브레이크 기구(44)의 각각의 작동개시 타이밍이 어긋나도록 수평 브레이크 기구(44)를 작동시켜도 된다. 또, 이 경우에는 3개 이상의 수평 브레이크 기구(44)를 몇 개의 그룹으로 나눔과 동시에, 이 그룹마다의 작동개시 타이밍이 어긋나도록 수평 브레이크 제어부(85)가 수평 브레이크 기구(44)를 작동시켜도 된다.Similarly, the
또, 실시형태 1에서는 상하구동기구(16) 또는 수평구동기구(17)의 한쪽이 2개의 브레이크 기구(24, 44)를 구비하고 있다면, 다른 쪽의 구동기구가 구비하는 브레이크 기구(24, 44)는 1개라도 된다.In the first embodiment, if one of the up-and-down
실시형태 1에서는, 회전구동기구(18)는 1개의 회전 브레이크 기구(64)를 구비하고 있지만, 회전구동기구(18)는 복수의 회전 브레이크 기구(64)를 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 회전 브레이크 제어부(86)는 복수의 회전 브레이크 기구(64)의 각각의 작동개시 타이밍이 어긋나도록 회전 브레이크 기구(64)를 작동시켜도 된다. 또, 이 경우에는 복수의 회전 브레이크 기구(64)를 몇 개의 그룹으로 나눔과 동시에, 이 그룹마다의 작동개시 타이밍이 어긋나도록 회전 브레이크 제어부(86)가 회전 브레이크 기구(64)를 작동시켜도 된다.In the first embodiment, the
상술한 형태에서는, 상하 브레이크 기구(24, 124), 수평 브레이크 기구(44) 및 회전 브레이크 기구(64)는 이른바 무여자 작동형의 브레이크이다. 그 밖에도 예를 들어, 상하 브레이크 기구(24, 124), 수평 브레이크 기구(44) 및/또는 회전 브 레이크 기구(64)는 코일로의 통전시에 사이드 플레이트와 아마츄어에 의해서 브레이크 디스크가 껴워져 코일로의 통전이 정지되면, 압축코일 스프링의 가압력으로 브레이크 디스크가 해방되도록 구성된 브레이크라도 된다. 또, 상하 브레이크 기구(24, 124), 수평 브레이크 기구(44) 및/또는 회전 브레이크 기구(64)는 압축공기에 의해서 아마츄어가 작동하도록 구성된 공기제동기라도 된다.In the above-described embodiment, the
실시형태 1에서는, 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18)는 2대의 구동용 모터(20, 40, 60)를 구비하고 있다. 그 밖에도 예를 들어, 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및/또는 회전구동기구(18)는 3대 이상의 구동용 모터(20, 40, 60)를 구비하고 있어도 된다. 또, 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18)가 구비하는 구동용 모터(20, 40, 60)의 수는 1대라도 된다.In the first embodiment, the up-and-down
실시형태 1에서는, 로보트(1)는 상하구동기구(16)와 수평구동기구(17)와 회전구동기구(18)를 구비하고 있다. 그 밖에도 예를 들어, 로보트(1)는 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18) 중에서 임의로 선택되는 2개 혹은 1개의 구동기구만을 구비하고 있어도 된다.In
도 1은 본 발명의 실시형태 1에 관한 산업용 로보트의 평면도이다.1 is a plan view of an industrial robot according to
도 2는 도 1의 E-E방향에서 산업용 로보트를 나타내는 도이다.Fig. 2 is a view showing an industrial robot in the direction of E-E in Fig. 1. Fig.
도 3은 도 1의 F-F방향에서 산업용 로보트를 나타내는 도이다.3 is a view showing an industrial robot in the direction of F-F in Fig.
도 4는 도 1의 F-F방향에서 지지부재 및 상하구동기구를 나타내는 도이다.Fig. 4 is a view showing a support member and a vertical drive mechanism in the direction of F-F in Fig. 1;
도 5는 도 4의 G-G방향에서 지지부재, 주상부재 및 상하구동기구를 나타내는 도이다.5 is a view showing a support member, a columnar member and a vertical drive mechanism in the direction of G-G in Fig.
도 6은 도 4의 H-H방향에서 상하구동기구를 나타내는 도이다.Fig. 6 is a diagram showing a vertical drive mechanism in the direction of H-H in Fig. 4;
도 7은 도 2의 J부의 내부구성을 설명하기 위한 도이다.Fig. 7 is a diagram for explaining the internal configuration of a portion J in Fig. 2;
도 8은 도 3의 K-K방향에서 수평구동기구 등의 구성을 설명하기 위한 도이다.8 is a view for explaining a configuration of a horizontal drive mechanism or the like in the direction of K-K in Fig.
도 9는 도 8의 L-L방향에서 수평구동기구의 구성을 설명하기 위한 도이다.Fig. 9 is a view for explaining the configuration of the horizontal drive mechanism in the L-L direction in Fig. 8;
도 10은 도 1에 나타내는 선회부재의 평면도이다.10 is a plan view of the turning member shown in Fig.
도 11은 도 10의 M-M단면의 단면도이다.11 is a cross-sectional view taken along line M-M of Fig.
도 12는 도 1에 나타내는 산업용 로보트의 제어부 및 그 관련 부분의 블록도이다.Fig. 12 is a block diagram of a control unit of the industrial robot shown in Fig. 1 and its related parts.
도 13은 본 발명의 실시형태 2에 관한 산업용 로보트의 평면도이다.13 is a plan view of an industrial robot according to
도 14는 도 13의 N-N방향에서 산업용 로보트를 나타내는 도이다.14 is a view showing an industrial robot in the N-N direction in Fig.
도 15는 도 13의 P-P방향에서 산업용 로보트를 나타내는 도이다.15 is a view showing an industrial robot in the direction of P-P in Fig.
도 16은 도 13에 나타내는 주상부재 및 상하구동기구의 구성을 설명하기 위 한 도이다.Fig. 16 is a view for explaining the constitution of the columnar member and the up-and-down driving mechanism shown in Fig. 13;
도 17은 도 16의 Q부의 확대도이다.17 is an enlarged view of the portion Q in Fig.
도 18은 도 16의 R-R방향에서 상하구동기구를 나타내는 도이다.FIG. 18 is a diagram showing a vertical drive mechanism in the R-R direction in FIG. 16;
<부호의 설명><Description of Symbols>
1, 101 로보트(산업용 로보트)1, 101 Robot (industrial robot)
2 기판(반송대상물)2 substrate (transport object)
3, 103 핸드3, 103 hands
4, 104 암4, 104 cancer
7, 107 지지부재7, 107 supporting member
16, 116 상하구동기구16, 116 Up and down drive mechanism
17 수평구동기구17 Horizontal drive mechanism
18 회전구동기구18 rotation drive mechanism
20, 120 상하구동용 모터20, 120 Up and down drive motor
24, 124 상하 브레이크 기구(브레이크 기구)24, 124 Vertical braking mechanism (brake mechanism)
40 수평구동용 모터40 Horizontal drive motor
44 수평 브레이크 기구(브레이크 기구)44 Horizontal Brake Mechanism (Brake Mechanism)
80 제어부80 control unit
84 상하 브레이크 제어부(브레이크 제어부)84 Vertical Brake Control Unit (Brake Control Unit)
85 수평 브레이크 제어부(브레이크 제어부)85 Horizontal brake control (brake control)
102 마스크(반송대상물)102 mask (carrying object)
121 볼나사121 Ball Screw
131 속도검출기구(나사 측 속도검출기구)131 Speed detection mechanism (screw side speed detection mechanism)
CL 중심축CL center axis
Claims (10)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008216543A JP5280132B2 (en) | 2008-08-26 | 2008-08-26 | Industrial robot |
JPJP-P-2008-216543 | 2008-08-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100024908A KR20100024908A (en) | 2010-03-08 |
KR101585684B1 true KR101585684B1 (en) | 2016-01-14 |
Family
ID=42018104
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020090079128A KR101585684B1 (en) | 2008-08-26 | 2009-08-26 | Industrial robot |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5280132B2 (en) |
KR (1) | KR101585684B1 (en) |
CN (1) | CN101670579B (en) |
TW (1) | TWI480140B (en) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102985231B (en) * | 2010-07-14 | 2015-06-10 | 日本电产三协株式会社 | Industrial robot, method for controlling industrial robot, and method for teaching industrial robot |
CN102211332B (en) * | 2011-05-09 | 2013-04-17 | 南京工业大学 | Industrial robot |
JP5447451B2 (en) * | 2011-08-08 | 2014-03-19 | 株式会社安川電機 | robot |
WO2014024690A1 (en) * | 2012-08-09 | 2014-02-13 | 日本電産サンキョー株式会社 | Industrial robot |
JP6110636B2 (en) * | 2012-08-09 | 2017-04-05 | 日本電産サンキョー株式会社 | Industrial robot |
JP6295037B2 (en) * | 2013-08-08 | 2018-03-14 | 日本電産サンキョー株式会社 | Industrial robot |
JP7304226B2 (en) * | 2019-07-10 | 2023-07-06 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | INDUSTRIAL ROBOT AND CONTROL METHOD FOR INDUSTRIAL ROBOT |
JP2022104003A (en) * | 2020-12-28 | 2022-07-08 | 日本電産サンキョー株式会社 | Robot and control method of robot |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200290991Y1 (en) * | 2002-05-30 | 2002-10-04 | 주식회사 피에스티 | Single axis robot whose linear motion and rotation motion are possible |
KR100425364B1 (en) * | 2000-03-23 | 2004-03-30 | 가부시기가이샤 산교세이기 세이사꾸쇼 | Double arm type robot |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6334086A (en) * | 1986-07-28 | 1988-02-13 | 松下電器産業株式会社 | Industrial robot |
JPH04286587A (en) * | 1991-03-14 | 1992-10-12 | Mitsubishi Electric Corp | Linear motor type elevator control device |
JPH0688200U (en) * | 1992-12-25 | 1994-12-22 | 石川島播磨重工業株式会社 | Brake combined speed reducer |
JP3217892B2 (en) * | 1993-03-11 | 2001-10-15 | 株式会社日立製作所 | Brake device and manipulator device |
JP3217604B2 (en) * | 1993-08-20 | 2001-10-09 | 三菱電機株式会社 | Positioning device |
US5862730A (en) * | 1997-01-17 | 1999-01-26 | Premark Feg L.L.C. | Slicer with staged dynamic braking system |
JP2003025271A (en) * | 2001-07-16 | 2003-01-29 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | Robot control device |
JP3537416B2 (en) * | 2001-12-19 | 2004-06-14 | ファナック株式会社 | Servo control device |
JP4063781B2 (en) * | 2004-03-04 | 2008-03-19 | 株式会社ラインワークス | Transport device |
JP4544248B2 (en) * | 2004-03-30 | 2010-09-15 | 三菱電機株式会社 | Robot control device |
JP2006263894A (en) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corp | Device for releasing motor brake of articulated robot |
JP4581892B2 (en) * | 2005-07-27 | 2010-11-17 | 株式会社デンソーウェーブ | Robot controller |
JP5016302B2 (en) * | 2006-12-01 | 2012-09-05 | 日本電産サンキョー株式会社 | Arm drive device and industrial robot |
-
2008
- 2008-08-26 JP JP2008216543A patent/JP5280132B2/en active Active
-
2009
- 2009-08-25 TW TW098128552A patent/TWI480140B/en active
- 2009-08-25 CN CN200910171053.9A patent/CN101670579B/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-08-26 KR KR1020090079128A patent/KR101585684B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100425364B1 (en) * | 2000-03-23 | 2004-03-30 | 가부시기가이샤 산교세이기 세이사꾸쇼 | Double arm type robot |
KR200290991Y1 (en) * | 2002-05-30 | 2002-10-04 | 주식회사 피에스티 | Single axis robot whose linear motion and rotation motion are possible |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5280132B2 (en) | 2013-09-04 |
CN101670579A (en) | 2010-03-17 |
TW201026460A (en) | 2010-07-16 |
TWI480140B (en) | 2015-04-11 |
CN101670579B (en) | 2014-11-12 |
JP2010052055A (en) | 2010-03-11 |
KR20100024908A (en) | 2010-03-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101585684B1 (en) | Industrial robot | |
JP6173678B2 (en) | Industrial robot and control method for industrial robot | |
JP5200004B2 (en) | Adsorption pad, friction stir welding device, friction stir welding system | |
KR102115690B1 (en) | Substrate transfer robot and operation method | |
JP4629731B2 (en) | Work transfer system | |
EP1541311B1 (en) | Pasted base board cutting system and base board cutting method | |
KR101498300B1 (en) | Industrial Robot | |
KR102184615B1 (en) | Transport device | |
KR101498301B1 (en) | Industrial Robot | |
TW201336762A (en) | Transmission apparatus and transmission method of glass substrate | |
US20160288341A1 (en) | Robot system | |
US10857674B2 (en) | Robot system and robot | |
KR102067982B1 (en) | Apparatus for cutting substrate | |
JP5262810B2 (en) | Parallel mechanism | |
JP4694334B2 (en) | Screen printing device | |
JP2011228559A (en) | Workpiece carrying system | |
KR102067984B1 (en) | Apparatus for cutting substrate | |
KR101267323B1 (en) | Macro inspection device for lcd glass having 5 joint link mechanism set | |
WO2016021538A1 (en) | Friction stir welding device | |
KR102067985B1 (en) | Apparatus for cutting substrate | |
JP2022104003A (en) | Robot and control method of robot | |
JP5689646B2 (en) | Electronic component mounting equipment | |
US8991037B2 (en) | Workpiece positioning device and production system using it | |
WO2022070924A1 (en) | Industrial robot hand and industrial robot | |
CN207312005U (en) | B/L kludge coat peeling units |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181219 Year of fee payment: 4 |