KR101583606B1 - Standard Mechanical Interface Loader Apparatus and Driving Method of The Same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 SMIF 로더에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 자재를 다음공정으로 넘겨주는 과정에서 발생되는 파티클(미세먼지입자)을 흡입하여 레티클의 패턴불량을 최소화시킬 수 있는 SMIF 로더 장치 및 이의 구동방법에 관한 것이다.The present invention relates to a SMIF loader, and more particularly, to a SMIF loader device capable of minimizing pattern defects of a reticle by sucking particles (fine dust particles) generated in a process of transferring a semiconductor material to a next process, .
일반적인 로더장치는 반도체 제조 공정에서 반도체 재료인 레티클(Reticle) 등의 자재 반송과 관련된 자동화 장비로서, 세계 반도체 협회의 하나인 SEMI(Semiconductor Equipment and Meterials Interials International)에서 권고하는 표준안 중 SMIF(Standard Mechanical Interface) 시스템을 구성하는 장비에 포함된다.A general loader device is an automation equipment related to the transportation of materials such as reticles, which are semiconductor materials in the semiconductor manufacturing process. It is a standard mechanical interface (SMIF) standard recommended by SEMI (Semiconductor Equipment and Meterials Interials International) ) Included in the equipment that constitutes the system.
SMIF는 국부청정에 관한 것으로 웨이퍼 제조 공정 중 발생 가능한 공기 중의 미세 오염물질인 파티클(미세먼지입자)의 차단을 위해 밀폐된 저장 용기인 POD(레티클 저장 용기), 국부적인 공간만을 청정상태로 유지하는 공정장비간의 인터페이스를 위한 장치에 대해 최소한의 공통규격을 제안하고 있다.SMIF is concerned with local cleaning. It is a closed storage container (reticle storage container) for blocking particles (fine dust particles) that are possible in the air during wafer fabrication process. It keeps only the local space clean It proposes a minimum common standard for devices for interface between process equipment.
SMIF 시스템 중에서 본 발명의 로더장치는 파드에 수납된 웨이퍼, 레티클 등의 반도체 자재를 프로세스 챔버로 이송시켜주는 인터페이스 장치이다.Among the SMIF systems, the loader device of the present invention is an interface device for transferring semiconductor materials such as wafers, reticles, etc. housed in pads to a process chamber.
그러나, 종래의 SIMF 시스템의 경우, 공정과정에서 작업자 또는 기계적 결속으로 인하여 발생된 파티클(미세먼지입자)이 레티클 상에 부유됨에 따라 패턴불량이 발생되어왔다.However, in the case of the conventional SIMF system, a pattern defect has occurred as particles (fine dust particles) generated due to the operator or mechanical binding in the process are floating on the reticle.
이에, 본 발명에서는 반도체 자재를 다음공정으로 넘겨주는 과정에서 발생되는 파티클(미세먼지입자)을 흡입하여 패턴불량을 최소화시킬 수 있는 SMIF 로더 장치를 제시하고자 한다.Accordingly, the present invention proposes a SMIF loader device capable of minimizing pattern defects by sucking particles (fine dust particles) generated in a process of transferring a semiconductor material to a next process.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 레티클을 보관하는 파드를 SMIF 로더 장치에 결속한 후, 파드 내의 파드 플레이트를 하부방향으로 이송하는 데 필요한 과정에서 발생되는 파티클(미세먼지입자), 예컨대, 작업자 또는 외부에서 유입된 파티클(미세먼지입자), 기계적 결속으로 인한 파티클(미세먼지입자)을 자동으로 흡입하여 배출함으로써, 외부 또는 내부에서 유입된 파티클(미세먼지입자)로 인한 레티클의 패턴 불량을 최소화시킬 수 있는 SMIF 로더 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for separating particles from a particle (fine dust particle) generated in a process required for transferring a pad in a pad downward after binding a reticle holding pad to a SMIF loader device, (Fine dust particles) introduced from the outside or inside by automatically sucking and discharging the particles (fine dust particles) due to mechanical binding, thereby minimizing the pattern defects of the reticle due to the particles (fine dust particles) The present invention provides a SMIF loader apparatus having a plurality of SMIF loaders.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 SMIF 로더 장치는 상부면 주변부에 메쉬망이 구비된 몸체(100); 상기 몸체(100)의 상부와 탈거 및 장착되는 파드 커버(220) 및 표면에 레티클을 안착시켜 수용하는 파드 플레이트(210)로 구성되고, 상기 레티클을 보관/운반하는 파드(200); 상기 몸체(100) 내에 구비되며, 파드 커버(220)와 파드 플레이트(210)의 탈거 및 탈거된 상기 파드 플레이트(210)를 수직방향으로 이송시키는 승하강부재(300, 400); 및 상기 몸체(100) 내에 장착되며, 상기 몸체(100)의 상부면, 상기 몸체(100)와 상기 파드 커버(220)가 결속시에 발생된 파티클(미세먼지입자), 상기 승하강부재(300, 400)가 상기 몸체(100)의 저면부로 이송시에 기류변화로 인하여 외부에서 유입된 파티클(미세먼지입자)를 흡입하기 위한 흡입장치(500)를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a SMIF loader comprising: a body having a mesh net at a periphery of a top surface thereof; A
상기 몸체(100)는 상기 승하강부재(300, 400)가 상기 몸체(100)의 저면부로 이송시에 파드 존의 압과 상기 몸체의 내부압의 기압차로 인한 기류변화를 억제하도록 내부에 파티션(120)이 구비된 것을 특징으로 한다.The
상기 파드 플레이트(210)는 상부면에 상기 레티클의 표면과 이격되어 안착시키기 위한 적어도 하나 이상의 수용부재(211)가 돌출된 것을 특징으로 한다.The upper surface of the
상기 파드 플레이트(210)는 중앙 하부면에 상기 승하강부재(300, 400)와 결속되도록 서로 대향하는 2개의 래치키(212); 및 내부에 상기 파드 커버(220)와 결속되는 결속부재(213)가 구비된 것을 특징으로 한다.The
상기 승하강부재(300)는 중앙에 상기 파드 플레이트(210)의 하부면에 형성된 2개의 래치키와 결속되는 2개의 결속홈(311)을 구비하는 스테이지(310); 상기 몸체(100)의 내측면에 구비된 이동부재(320); 및 상기 이동부재(320)를 따라 이동되는 스테이지(310)를 기 설정된 회전각으로 회전시키는 회전구동부(330)를 포함하고, 상기 회전구동부(330)를 통해 파드 플레이트(210)는 상기 파드 커버(220)와 탈거 또는 장착되는 것을 특징으로 한다.The ascending / descending
상기 이동부재(320)는 예를 들면, 랙기어일 수도 있다.The shifting
상기 승하강부재(400)는 중앙에 상기 파드 플레이트(210)의 하부면에 형성된 2개의 래치키와 결속되는 2개의 결속홈(412)을 구비하는 스테이지(410); 상기 몸체(100)의 내측면에 구비된 이동부재(320); 및 상기 이동부재(320)를 따라 이동되는 스테이지(310)를 기 설정된 회전각으로 회전시키는 회전구동부(330)를 포함하고, 상기 스테이지(410)는 오목한 형상을 하고 오목한 형상의 중앙부에 진공홀(140)이 형성된 것을 특징으로 한다.The lifting and lowering
또 다른 실시예로서, 상기 승하강부재(400)는 중앙에 상기 파드 플레이트(210)의 하부면에 형성된 2개의 래치키와 결속되는 2개의 결속홈(412)을 구비하는 스테이지(410); 상기 몸체(100)의 내측면에 구비된 이동부재(320); 및 상기 이동부재(320)를 따라 이동되는 스테이지(310)를 기 설정된 회전각으로 회전시키는 회전구동부(330)를 포함하고, 상기 스테이지(410)는 절곡된 공간이 형성되며, 상기 절곡된 공간 내에는 파티클(미세먼지입자)을 흡입하기 위한 흡입망틀(411)이 구비된 것을 특징으로 한다.In another embodiment, the
상기 흡입망틀(411)은 복수 개의 미세홀(h)들이 형성되고, 상기 흡입망틀(411)의 하단부에 위치한 상기 스테이지(410)에 진공홀(140)이 형성된 것을 특징으로 한다.The
상기 흡입망틀(411)은 상기 파드 플레이트(210)와의 접촉에 따른 파티클(미세먼지입자) 발생을 억제하도록 파드 플레이트(210)의 접촉면적을 최소화시키도록 중앙부의 높이가 주변부의 높이보다 낮은 것을 특징으로 한다.The height of the center portion of the
상기 흡입장치(500)는 상기 몸체(100)의 저면부에 구비되어, 몸체 내로 유입되는 파티클(미세먼지입자)를 흡입하는 적어도 하나 이상의 흡입팬(510); 상기 메쉬망의 하단 일측인 상기 파티션(120)의 측면에 위치한 진공홀(140), 스테이지의 중앙부에 위치한 진공홀(140)로 흡입된 상기 파티클(미세먼지입자)을 상기 몸체(100)의 외부로 배출하는 진공펌프(520)를 포함하는 것을 특징으로 한다.The
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 SMIF 로더 장치의 구동방법은 작업자 또는 자동화된 무인반송대차(AGV : Automatic Guided Vehicle)를 이용하여 파드 커버와 파드 플레이트가 결합된 파드를 스테이지(310)와 몸체(100)에 결속시키는 파드 장착 단계(S110); 스테이지(310)를 기 설정된 각으로 회전시켜 파드 커버(220)와 결속된 파드 플레이트(210)를 탈거시키는 파드 플레이트 탈거단계(S120); 흡입장치(500)를 구동시켜, 몸체(100) 내의 유입된 파티클(미세먼지입자)을 흡입하는 흡입장치 구동단계(S130); 및 상기 흡입장치(500)가 구동된 상태에서 승하강부재(300)를 구동하여 레티클이 안착된 파드 플레이트(210)를 몸체(100)의 저면부로 이송시키는 이송단계(S140)를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of driving a SMIF loader device including a step of moving a pad, which is coupled to a pad cover and a pad plate, by an operator or an automated guided vehicle (AGV) 310) and the body (100); A step (S120) of removing the pad plate (200) by removing the pad plate (210) bound to the pad cover (220) by rotating the stage (310) at a predetermined angle; A suction device driving step (S130) for driving the suction device (500) to suck inflowing particles (fine dust particles) in the body (100); And a feeding step (S140) of driving the lifting and lowering member (300) in a state in which the suction device (500) is driven to transfer the reticle-mounted foam plate (210) to the bottom face of the body (100) .
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시 예에 따른 SMIF 로더 장치의 구동방법은 작업자 또는 자동화된 무인반송대차(AGV : Automatic Guided Vehicle)를 이용하여 파드 커버(220)와 파드 플레이트(210)가 결합된 파드(200)를 스테이지(410) 및 몸체(100)에 결속시키는 파드 장착 단계(S210); 스테이지(410)를 기 설정된 각으로 회전시켜 파드 커버(220)와 결속된 파드 플레이트(210)를 탈거시키는 파드 플레이트 탈거단계(S220); 흡입장치(500)를 구동시켜, 몸체(100) 내로 유입된 파티클(미세먼지입자)을 흡입하는 흡입장치 구동단계(S230); 및 상기 흡입장치(500)가 구동된 상태에서 승하강부재(300)를 구동시켜 레티클이 안착된 파드 플레이트(210)를 몸체(100)의 저면부로 이송시키는 이송단계(S240)를 포함하고, 상기 스테이지(410)는 절곡된 공간이 형성되며, 상기 절곡된 공간에 위치한 상기 흡입망틀(411)로 유입되는 파티클(미세먼지입자)을 흡입하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of driving a SMIF loader, comprising the steps of: (a) forming a pad cover (220) and a pad plate (210) by an operator or an automated guided vehicle (AGV) A pad mounting step S210 for bonding the combined
본 발명의 여러 실시 예에 따른 SMIF 로더 장치는 파드를 SMIF 로더 장치에 결속한 후, 파드 내의 파드 플레이트를 하부방향으로 이송하는 데 필요한 과정에서 발생되는 파티클(미세먼지입자)을 자동으로 흡입하여 배출함으로써, 외부 또는 내부에서 유입된 파티클(미세먼지입자)로 인한 레티클의 불량을 억제할 수 있다는 이점을 제공한다.The SMIF loader device according to various embodiments of the present invention automatically binds the particles (fine dust particles) generated during the process necessary to transfer the pad plate in the downward direction after binding the pad to the SMIF loader device, Thereby providing an advantage that the defects of the reticle due to particles (fine dust particles) introduced from the outside or the inside can be suppressed.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 SMIF 로더 장치를 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 SMIF 로더 장치를 나타낸 단면도이다.
도 3은 도 1의 SMIF 로더 장치의 구동방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 4는 도 2의 SMIF 로더 장치의 구동방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 5는 도 3의 S110을 나타낸 예시도이다.
도 6은 도 3의 S120을 나타낸 예시도이다.
도 7은 도 3의 S140을 나타낸 예시도이다.
도 8은 도 4의 S210을 나타낸 예시도이다.
도 9는 업타입 방식으로 파드 커버와 파드 플레이트가 탈거되는 과정을 나타낸 예시도이다.
도 10은 파드 로딩시에 몸체 내의 파티클(미세먼지입자) 진공홀 및 메쉬망을 통해 흡입되는 파티클(미세먼지입자)을 나타낸 예시도이다.
도 11은 파드 플레이트와 승하강부재가 결속시 발생된 파티클(미세먼지입자)이 흡입망틀 내로 흡입되는 상태를 나타낸 예시도이다.
도 12는 또 다른 실시예로서, 파드 플레이트와 승하강부재가 결속시 발생된 파티클(미세먼지입자)이 흡입망틀 없는 스테이지의 흡입홀로 흡입되는 상태를 나타낸 예시도이다.1 is a cross-sectional view of a SMIF loader apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view of a SMIF loader device according to another embodiment of the present invention.
3 is a flowchart for explaining a driving method of the SMIF loader apparatus of FIG.
4 is a flowchart for explaining a driving method of the SMIF loader apparatus of FIG.
5 is an exemplary view showing S110 in Fig.
6 is an exemplary view showing S120 of FIG.
7 is an exemplary view showing S140 in Fig.
8 is an exemplary view showing S210 of FIG.
FIG. 9 is an exemplary view showing a process of removing the pad cover and the pad plate in an up-type manner.
10 is an exemplary view showing particles (fine dust particles) in the body during the loading of the pads and particles (fine dust particles) sucked through the mesh net.
Fig. 11 is an exemplary view showing a state in which particles (fine dust particles) generated when the pad plate and the lifting member are engaged are sucked into the suction mantle. Fig.
FIG. 12 is an exemplary view showing a state in which particles (fine dust particles) generated when the pad plate and the lifting / lowering member are engaged with each other are sucked into a suction hole of a suction-stage-free stage.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예의 상세한 설명은 첨부된 도면들을 참조하여 설명할 것이다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a detailed description of preferred embodiments of the present invention will be given with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
본 발명의 개념에 따른 실시 예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서 또는 출원에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예를 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Embodiments in accordance with the concepts of the present invention can make various changes and have various forms, so that specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in this specification or application. It is to be understood, however, that it is not intended to limit the embodiments according to the concepts of the present invention to the particular forms of disclosure, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, . On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between. Other expressions that describe the relationship between components, such as "between" and "between" or "neighboring to" and "directly adjacent to" should be interpreted as well.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, the terms "comprises ",or" having ", or the like, specify that there is a stated feature, number, step, operation, , Steps, operations, components, parts, or combinations thereof, as a matter of principle.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 SMIF 로더 장치를 보다 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, the SMIF loader according to the embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
설명에 앞서 본 발명의 일 실시 예에서 설명되는 레티클(M)는 반도체 자재의 한 일례로 할 뿐, 본 발명의 기술사상이 이에 한정되지 않으며, 웨이퍼 또는 레티클과 같은 반도체 자재를 포함할 수 있음을 밝혀둔다.It is to be noted that the reticle M described in the embodiment of the present invention is not limited to the semiconductor material but may include a semiconductor material such as a wafer or a reticle I will reveal.
또한 본 발명의 설명되는 SMIF 로더 장치는 파드승하강부재가 하강하여 파드 플레이트와 파드 커버를 분리하는 다운타입(downtype) 방식을 설명하고 있으나, 파드승하강부재가 상승하여 파드 플레이트와 파드 커버를 분리하는 업타입(uptype)의 방식에도 적용될 수 있음을 물론이다. 아울러, 본 발명의 반출기능이 없는 SMIF 로더장치로 설명되지만, 반출기능을 갖는 SMIF 로더장치에 적용이 가능함은 물론이다.
Further, the SMIF loader device of the present invention describes a downtype type in which the pad lift-down member is lowered to separate the pad plate and the pad cover, but the pad lift-up member rises to separate the pad plate and the pad cover The present invention can also be applied to an up-type method. In addition, although the SMIF loader apparatus of the present invention is described as a SMIF loader apparatus without a carry-out function, it is needless to say that the present invention is applicable to an SMIF loader apparatus having a carry-out function.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 SMIF 로더 장치(1000)는 몸체(100), 승하강부재(300) 및 흡입장치(500)를 포함한다.1, the
상기 몸체(100)는 상부가 개방된 캐비넷형상으로 형성되고, 상부면의 외각영역에 메쉬망(130)이 구비된다.The
또한, 상기 몸체(100)의 내부에는 파티션(120)이 구비되며, 상기 파티션(120)은 승하강부재(300)를 통해 몸체(100)의 저면부로 이송시에 파드 존(예컨대, 몸체의 상부에 파드가 결속된 위치)과 몸체(100) 내의 압차를 줄여주기 위한 기능을 수행한다.The
상기 승하강부재(300)는 상기 몸체(100)의 내부에는 상기 파드(200)의 파드 플레이트(210)를 하부방향으로 이송시키는 기능을 수행한다.The raising and lowering
상기 흡입장치(500)는 상기 파드 플레이트(210)와 상기 파드 커버(220)가 탈거 또는 부착시 발생되는 파티클(미세먼지입자), 상기 파드 플레이트(210)가 상기 승하강부재(300)를 통해 상기 몸체(100)의 하부로 이송될 경우, 파드 커버(220) 내의 압과 몸체(100) 내부의 압에 따른 기류변화로 인하여 유입되는 파티클(미세먼지입자)을 흡입하는 기능을 수행한다.The
여기서, 상기 승하강부재(300) 및 상기 흡입장치(500)의 보다 상세한 설명은 아래에서 후술하도록 한다.Hereinafter, a more detailed description of the ascending / descending
한편, 본 발명에서 사용되는 파드(200)는 레티클(10)을 보관 및 운반하기 위한 용기로서, 파드 플레이트(210) 및 파드 커버(220)를 포함한다.Meanwhile, the
상기 파드 플레이트(210)는 레티클(10)를 안착시키는 기능을 수행하며, 상부면이 상기 레티클(10) 표면과 이격되어 안착시키기 위한 수용부재(211)가 적어도 하나 이상 돌출된 형상으로 구비될 수 있다.The
또한, 상기 파드 플레이트(210)의 중앙 하부면은 상기 승하강부재(400)와 결속되는 2개의 래치키(212)가 하부방향으로 돌출되도록 형성된다. 또한, 내부에는 상기 파드 커버(220)와 결속되는 결속부재(213)가 구비되며, 상기 결속부재(213)는 상기 파드 플레이트(210)의 측면에 돌출되도록 형성된다.The lower surface of the center of the
여기서, 상기 래치키(212)는 상기 결속부재(213)와 일체형으로 형성되며, 상기 래치키(212)의 회전에 따라 길이가 가변되도록 형성된다.The
다음으로, 상기 파드 커버(220)는 상기 몸체(100)의 상부와 탈거 또는 장착되며, 상기 파드 플레이트(210)를 덮는 기능을 수행한다.Next, the
다음으로, 상기 승하강부재(300)는 상기 파드 커버(220)와 결속된 파드 플레이트(210)를 탈거한 후, 상기 몸체(100)의 하부로 상기 파드 플레이트(210)를 이송시키는 기능을 수행한다.The raising and lowering
상기 승하강부재(300)는 스테이지(310), 이동부재(320) 및 회전구동부(330)를 포함한다.The ascending / descending
상기 스테이지(310)는 중앙에 상기 파드 플레이트(210)의 하부면에 형성된 2개의 래치키(212)와 결속되는 2개의 결속홈(311)이 구비되며, 또한, 상기 스테이지(310)는 상기 래치키(212)와 결속홈(311)의 장착유무를 감지하기 위한 파드 감지 센서(미도시)가 구비될 수도 있다.The
또한, 상기 스테이지(310)는 일 측면에 피니언 기어가 장착된 회전모터(미도시)가 구비되어, 상기 회전모터의 구동에 따라 회전되는 피니언 기어가 이동부재(320)의 길이방향으로 이동됨에 따라 높이 방향으로 이동할 수 있다.The
여기서 이동부재(320)는 랙기어일수도 있다.Here, the shifting
상기 이동부재(320)는 상기 몸체(100)의 내측면에 장착되어 스테이지(310)를 높이 방향으로 이송시키는 기능을 수행한다.The moving
다음으로, 상기 흡입장치(500)는 상기 몸체(100) 내에 장착되며, 상기 몸체(100)와 상기 파드 커버(220)가 결속시에 발생되는 파티클(미세먼지입자), 상기 승하강부재(300)를 통해 상기 몸체(100)의 저면부로 이송시에 파드 존(예컨대, 몸체의 상부에 파드가 결속된 위치)과 몸체(100) 내의 압차로 인한 기류변화로 인하여 스테이지(310)와 파드 플레이트(210) 사이의 공간 밖으로 방출되는 파티클(미세먼지입자)을 흡입하는 기능을 수행한다.The
보다 구체적으로 상기 흡입장치(500)는 적어도 하나 이상의 흡입팬(510)들 및 진공펌프(520)를 포함한다.More specifically, the
상기 흡입팬(510)은 상기 몸체(100)의 저면부에 구비되어, 몸체(100)의 내부로 인입되는 파티클(미세먼지입자)를 흡입하는 기능을 수행한다.The
상기 진공펌프(520)는 메쉬망의 하단 일측인 파티션(120)의 상부측면에 위치한 진공홀(140)로 진공흡입된 파티클(미세먼지입자)을 외부로 배출하는 기능을 수행한다.The
또한, 상기 진공펌프(520)는 스테이지(310)의 측면에 형성된 진공홀(140)을 통해 스테이지(310)의 이송과정 혹은 파드커버(220)의 결속 개방과정에서 생성되는 파티클을 흡입하여 외부로 배출하는 기능을 수행한다.The
또한, 상기 진공펌프(520)는 스테이지(310) 중앙에 위치한 진공홀(140)을 통해 스테이지(310)의 이송과정 혹은 파드커버(220)의 결속 개방과정에서 생성되는 파티클을 흡입하여 외부로 배출하는 기능을 수행한다.The
즉, 진공홀(140)은 다양한 위치에 복수개 형성되어 파티클을 제거하는 역할을 수행한다.That is, a plurality of vacuum holes 140 are formed at various positions to remove particles.
다음으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 SMIF 로더 장치(2000)는 몸체(100), 파드(200), 승하강부재(400) 및 흡입장치(500)를 포함한다.2, the
여기서, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 SMIF 로더 장치(2000)에 개시된 몸체(100), 파드(200) 및 흡입장치(500)의 경우, 제1 실시 예의 SMIF 로더 장치와 동일하므로 상세한 설명은 앞에서 상술한 설명으로 대신하고자 하며, 승하강부재(400)만을 언급하도록 한다.The
상기 승하강부재(400)는 스테이지(410), 이동부재(420) 및 회전구동부(430)를 포함한다.The ascending and descending
여기서, 이동부재(420)는 예를 들어 랙기어일수도 있다.Here, the shifting
도 8에 도시된 바와 같이, 상기 스테이지(410)는 절곡된 공간이 형성되며, 상기 절곡된 공간 내에는 상기 파드 플레이트(210)와 상기 스테이지(410) 사이의 공간으로 유입되는 파티클(미세먼지입자)을 흡입하기 위한 흡입망틀(411)이 구비된다.8, a folded space is formed in the
여기서, 상기 흡입망틀(411)은 복수 개의 미세홀(h)들이 형성된 망틀로서, 중앙부에 상기 파드 플레이트(210)의 하부면에 형성된 래치키(212)와 결속되는 결속홈(412)이 구비된다.The
또한, 상기 흡입망틀(411)은 상기 스테이지(410)의 내측면과 탈착가능하도록 걸이부재(미도시)가 형성된다. 이때, 흡입망틀(411)의 높이는 중앙부와 외곽부의 높이가 서로 다르며, 보다 바람직하게는 중앙부에서 외각으로 점차 높아지게 형성된다. 이는 흡입망틀(411)과 파드 플레이트(210)의 접촉면적을 최소화시켜, 흡입망틀(411)과 파드 플레이트(210)와의 접촉에 따른 파티클(미세먼지입자) 발생을 억제하기 위함일 수 있다. 또한, 흡입망틀(411)로 유입된 파티클(미세먼지입자)은 스테이지(410)의 중앙에 위치한 흡입홀(140)을 거쳐 흡입관(421)을 통해 배출되게 된다. 상기 흡입관(421)은 진공펌프(520)와 연결된다.A hook member (not shown) is formed on the
또 다른 실시예로서, 도 12를 참조하면, 스테이지(410)가 단순히 오목하게 형성되어 파드 플레이트(210)의 접촉면적을 최소화시키고, 파티클은 스테이지(410)의 중앙에 위치한 흡입홀(140)을 거쳐 흡입관(421)을 통해 배출되게 되도록 할 수도 있다.12, the
다음으로, 상기 렉기어(420)는 상기 몸체(100)의 내측면에 장착되어 스테이지(310)를 높이 방향으로 이송시키는 기능을 수행한다.Next, the
더불어, 본 발명에서 제시된 SMIF 로더 장치는 도 9와 같이, 업타입 방식으로 파드 커버와 파드 플레이트가 탈거될 수 있도록 구현이 가능하다는 것을 명시한다.In addition, the SMIF loader apparatus proposed in the present invention specifies that the pad cover and the pad plate can be removed in an up-type manner as shown in FIG.
이하에서는 도 1 및 도 2에 도시된 SMIF 로더 장치의 구동방법을 단계적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the driving method of the SMIF loader apparatus shown in FIGS. 1 and 2 will be described step by step.
먼저, 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 SMIF 로더 장치의 구동방법(S100)은 파드 장착 단계(S110), 파드 플레이트 탈거단계(S120), 흡입장치 구동단계(S130), 파드 플레이트 이송단계(S140)를 포함한다.3, a driving method S100 of the SMIF loader apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention includes a pad mounting step S110, a pad removal step S120, a suction device driving step S130, Plate transfer step (S140).
상기 파드 장착 단계(S110)는 작업자 또는 자동화된 무인반송대차(AGV : Automatic Guided Vehicle)등에 의해 파드 커버(220)와 파드 플레이트(210)가 결합된 파드(200)를 승하강부재의 스테이지(310)와 몸체(100)에 결속시키는 단계일 수 있다. 이때, 파드 플레이트(210)에 형성된 래치키(212)는 스테이지(310)에 형성된 결속홈(312)와 결합되는 단계일 수 있다.The step of mounting the pads (S110) may be carried out by a worker or an automated guided vehicle (AGV) or the like by inserting the
상기 파드 플레이트 탈거단계(S120)는 회전구동부(330)를 구동시켜, 스테이지(310)를 기 설정된 각으로 회전시켜 파드 커버(220)와 결속된 파드 플레이트(210)를 탈거시키는 단계일 수 있다.The step of removing the pad plate S120 may be a step of driving the
상기 흡입장치 구동단계(S130)는 진공펌프(520)를 구동시켜, 몸체 내의 파티클(미세먼지입자) 흡입관(110)을 기설정된 진공압으로 흡입시키는 단계로서, 흡입장치를 통해 파드와 몸체가 결속시 발생되는 파티클(미세먼지입자), 로딩과정에서 기류변화로 인하여 외부에서 유입되는 파티클(미세먼지입자)을 제거하는 단계일 수 있다.(도 10 참조)The suction device driving
상기 파드 플레이트 이송단계(S140)는 도 7을 참조하면, 상기 흡입장치(500)가 구동된 상태에서 승하강부재(300)를 통해 상기 파드 플레이트(210)가 몸체(100)의 저면부로 이송되는 단계일 수 있다.7, when the
도 4를 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 SMIF 로더 장치의 구동방법(S200)은 파드 장착 단계(S210), 파드 플레이트 탈거단계(S220), 흡입장치 구동단계(S230) 및 파드 플레이트 이송단계(S240)를 포함한다.Referring to FIG. 4, the driving method (S200) of the SMIF loader apparatus according to the second embodiment of the present invention includes a pad mounting step (S210), a pad plate removing step (S220), a suction device driving step And a transfer step S240.
상기 파드 장착 단계(S210)는 작업자 또는 자동화된 무인반송대차(AGV : Automatic Guided Vehicle)에 의해 파드 커버(220)와 파드 플레이트(210)가 결합된 파드(200)를 스테이지(410)와 몸체에 결속시키는 단계일 수 있다. 이때, 파드 플레이트(210)에 형성된 래치키(212)가 스테이지(410) 내에 장착된 흡입망틀(411)의 중앙부에 형성된 결속홈(412)과 결속되는 단계일 수 있다.In the step of mounting the pads (S210), the pads (200) to which the pads (220) and the pads (210) are coupled by an operator or an automated guided vehicle (AGV) Binding step. At this time, the
보다 상세하게는, 상기 스테이지(410)는 절곡된 공간을 갖도록 형성되며, 상기 절곡된 공간 내에는 상기 파드 플레이트(210)와 상기 스테이지(410) 사이의 공간으로 유입되는 파티클(미세먼지입자)을 흡입하기 위한 흡입망틀(411)이 구비된다.More specifically, the
여기서, 상기 흡입망틀(411)은 복수 개의 미세홀(h)들이 형성된 망틀로서, 중앙부에 상기 파드 플레이트(210)의 하부면에 형성된 래치키(212)와 결속되는 결속홈(412)이 구비된다.The
또한, 상기 흡입망틀(411)은 상기 스테이지(410)의 내측면과 탈착가능하도록 걸이부재(미도시)가 형성되며, 흡입망틀(411)의 높이는 중앙부와 외곽부의 높이가 서로 다르며, 보다 바람직하게는 중앙부에서 외각으로 점차 높아지게 형성되어 오목한 형상을 띈다. 이는 흡입망틀(411)과 파드 플레이트(210)의 접촉면적을 최소화시켜, 흡입망틀(411)과 파드 플레이트(210)와의 접촉에 따른 파티클(미세먼지입자) 생성을 억제하기 위함일 수 있다. 또한, 흡입망틀로 유입된 파티클(미세먼지입자)은 이동부재 내부에 구비된 흡입관으로 배출되게 된다.(도 11 참조)A hook member (not shown) is formed on the
다음으로, 상기 파드 플레이트 탈거단계(S220)는 구동부를 구동시켜, 스테이지(410)를 기 설정된 각으로 회전시켜 파드 커버(220)와 결속된 파드 플레이트(210)를 탈거시키는 단계일 수 있다.Next, the removing step (S220) may be a step of driving the driving unit to rotate the
상기 흡입장치 구동단계(S230)는 진공펌프 및 흡입팬을 구동시켜, 몸체(100) 내의 파티클(미세먼지입자) 흡입관을 기설정된 진공압으로 흡입시키는 단계일 수 있다.The suction device driving step S230 may be a step of driving the vacuum pump and the suction fan to suck the particle (fine dust particle) suction pipe in the
여기서, 상기 파티클(미세먼지입자) 흡입관은 몸체의 상부면에 형성된 흡입홀과 연결된 흡입관 및 이동부재 내에 구비된 흡입관을 나타낸다.Here, the particle (fine dust particle) suction pipe represents a suction pipe connected to the suction hole formed on the upper surface of the body, and a suction pipe provided in the moving member.
상기 파드 플레이트 이송단계(S240)는 상기 흡입장치가 구동된 상태에서 렉기어재를 구동하여 상기 파드 플레이트를 몸체(100)의 저면부로 이송시키는 단계일 수 있다.The step of feeding the FED plate may include feeding the FED plate to the bottom of the
따라서, 본 발명에서 제시된 SMIF 로더 장치는 파드를 SMIF 로더 장치에 결속한 후, 파드 내의 파드 플레이트를 하부방향으로 이송하는 데 필요한 과정에서 발생되는 파티클(미세먼지입자)을 자동으로 흡입하여 배출함으로써, 외부 또는 내부에서 유입된 파티클(미세먼지입자)로 인한 레티클의 패턴 불량을 억제할 수 있다는 이점을 제공한다.
Therefore, the SMIF loader device proposed in the present invention automatically attracts and discharges particles (fine dust particles) generated during a process required to transfer the pad plate in the downward direction after binding the pad to the SMIF loader device, It is possible to suppress the pattern defects of the reticle due to particles (fine dust particles) introduced from the outside or the inside.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 그리고, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다.The foregoing detailed description is illustrative of the present invention. It is also to be understood that the foregoing is illustrative and explanatory of preferred embodiments of the invention only, and that the invention may be used in various other combinations, modifications and environments. It is to be understood that changes and variations may be made without departing from the scope of the inventive concept disclosed herein, the disclosure of which is equally applicable to the disclosure, and / or the skill or knowledge of the art.
전술한 실시 예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는 데 당업 계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다.The foregoing embodiments are intended to illustrate the best mode contemplated for carrying out the invention and are not intended to limit the scope of the invention to those skilled in the art that are intended to encompass other embodiments of the invention, Various changes are possible.
따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.Accordingly, the foregoing description of the invention is not intended to limit the invention to the precise embodiments disclosed. It is also to be understood that the appended claims are intended to cover further embodiments.
1000, 2000: SMIF 로더 장치
100: 몸체 120: 파티션
130: 메쉬망 140: 진공홀
200: 파드 210: 파드 플레이트
211: 수용부재 212: 래치키
213: 결속부재 220; 파드 커버
300, 400: 승하강부재 310, 410: 스테이지
311: 결속홈 320, 420: 렉기어
330: 회전구동부 411: 흡입망틀
412: 결속홈 421: 파티클 흡입관
500: 흡입장치 520: 진공펌프
510: 흡입팬1000, 2000: SMIF loader device
100: body 120: partition
130
200: Fado 210: Fado plate
211: housing member 212: latch key
213: a binding
300, 400: ascending / descending
311:
330: Rotation drive part 411: Suction mantle
412: Bonding groove 421: Particle suction pipe
500: Suction device 520: Vacuum pump
510: Suction fan
Claims (10)
상기 몸체(100)의 상부와 탈거 및 장착되는 파드 커버(220) 및 표면에 레티클을 안착시켜 수용하는 파드 플레이트(210)로 구성되고, 상기 레티클을 보관/운반하는 파드(200);
상기 몸체(100) 내에 구비되며, 파드 커버(220)와 파드 플레이트(210)의 탈거 및 탈거된 상기 파드 플레이트(210)를 수직방향으로 이송시키는 승하강부재(300, 400); 및
상기 몸체(100) 내에 장착되며, 상기 몸체(100)의 상부면, 상기 몸체(100)와 상기 파드 커버(220)가 결속시에 발생된 파티클(미세먼지입자), 상기 승하강부재(300, 400)가 상기 몸체(100)의 저면부로 이송시에 기류변화로 인하여 외부에서 유입된 파티클(미세먼지입자)를 흡입하기 위한 흡입장치(500);를 포함하고,
상기 몸체(100)는,
상기 승하강부재(300, 400)가 상기 몸체(100)의 저면부로 이송시에 파드 존의 압과 상기 몸체의 내부압의 기압차로 인한 기류변화를 억제하도록 내부에 파티션(120)이 구비된 것을 특징으로 하는 SMIF 로더 장치.A body (100) having a mesh net at the periphery of the upper surface;
A pad 200 for storing / transporting the reticle, the pad cover 220 being detached and mounted on the upper portion of the body 100, and the pad plate 210 for receiving and holding the reticle on the surface thereof.
Descending members (300, 400) provided in the body (100) and vertically transporting the detached and detached fad plate (210) of the fad cover (220) and the fad plate (210); And
Particles (fine dust particles) generated when the body 100 and the pawl cover 220 are bound together, the lifting members 300 and 300, and the like are mounted on the body 100, And a suction device 500 for sucking particles (fine dust particles) introduced from the outside due to a change in the air flow when the dust particles 400 are transferred to the bottom portion of the body 100,
The body (100)
The partition 120 is provided inside the body 100 so as to suppress a change in airflow due to a pressure difference between the pressure of the pad zone and the internal pressure of the body when the lifting members 300 and 400 are transferred to the bottom surface of the body 100 Features a SMIF loader device.
상기 파드 플레이트(210)는,
중앙 하부면에 상기 승하강부재(300, 400)와 결속되도록 서로 대향하는 2개의 래치키(212); 및
내부에 상기 파드 커버(220)와 결속되는 결속부재(213)가 구비된 것을 특징으로 하는 SMIF 로더 장치.The method according to claim 1,
The fad plate 210 may be formed of,
Two latch keys 212 opposed to each other to engage with the lifting members 300 and 400 on a central lower surface thereof; And
And a binding member (213) coupled to the fade cover (220).
상기 승하강부재(300)는,
중앙에 상기 파드 플레이트(210)의 하부면에 형성된 2개의 래치키와 결속되는 2개의 결속홈(311)을 구비하는 스테이지(310);
상기 몸체(100)의 내측면에 구비된 렉기어(320); 및
상기 스테이지(310)를 기 설정된 회전각으로 회전시키는 회전구동부(330)를 포함하고,
상기 회전구동부(330)를 통해 파드 플레이트(210)는 상기 파드 커버(220)와 탈거 또는 장착되는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더 장치.The method according to claim 1,
The ascending / descending member (300)
A stage 310 having two coupling grooves 311 coupled to two latch keys formed on a lower surface of the pad plate 210 at the center;
A gear gear 320 provided on an inner surface of the body 100; And
And a rotation driving unit 330 for rotating the stage 310 at a predetermined rotation angle,
Wherein the pad cover (210) is detached or attached to the pad cover (220) through the rotation driving part (330).
상기 승하강부재(400)는 중앙에 상기 파드 플레이트(210)의 하부면에 형성된 2개의 래치키와 결속되는 2개의 결속홈(412)을 구비하는 스테이지(410);
상기 몸체(100)의 내측면에 구비된 이동부재(320); 및 상기 이동부재(320)를 따라 이동되는 스테이지(310)를 기 설정된 회전각으로 회전시키는 회전구동부(330)를 포함하고,
상기 스테이지(410)는 오목한 형상을 하고 오목한 형상의 중앙부에 진공홀(140)이 형성된 것을 특징으로 하는 SMIF 로더 장치.The method according to claim 1,
The lifting and lowering member 400 includes a stage 410 having two binding grooves 412 coupled to two latch keys formed on the lower surface of the pad plate 210 at the center thereof.
A moving member 320 provided on an inner surface of the body 100; And a rotation driving unit (330) for rotating the stage (310) moved along the moving member (320) at a predetermined rotation angle,
Wherein the stage (410) has a concave shape and a vacuum hole (140) is formed at the center of the concave shape.
상기 승하강부재(400)는 중앙에 상기 파드 플레이트(210)의 하부면에 형성된 2개의 래치키와 결속되는 2개의 결속홈(412)을 구비하는 스테이지(410);
상기 몸체(100)의 내측면에 구비된 이동부재(320); 및
상기 이동부재(320)를 따라 이동되는 스테이지(310)를 기 설정된 회전각으로 회전시키는 회전구동부(330)를 포함하고,
상기 스테이지(410)는 절곡된 공간이 형성되며, 상기 절곡된 공간 내에는 파티클(미세먼지입자)을 흡입하기 위한 흡입망틀(411)이 구비된 것을 특징으로 하는 SMIF 로더 장치. The method according to claim 1,
The lifting and lowering member 400 includes a stage 410 having two binding grooves 412 coupled to two latch keys formed on the lower surface of the pad plate 210 at the center thereof.
A moving member 320 provided on an inner surface of the body 100; And
And a rotation driving unit 330 for rotating the stage 310 moved along the moving member 320 at a predetermined rotation angle,
Wherein the stage (410) is formed with a folded space, and a suction mantle (411) for sucking particles (fine dust particles) is provided in the folded space.
상기 흡입망틀(411)은 복수 개의 미세홀(h)들이 형성되고,
상기 흡입망틀(411)의 하단부에 위치한 상기 스테이지(410)에 진공홀(140)이 형성된 것을 특징으로 하는 SMIF 로더 장치.8. The method of claim 7,
The suction mantle 411 is formed with a plurality of fine holes h,
Wherein a vacuum hole (140) is formed in the stage (410) at a lower end of the suction mantle (411).
상기 흡입망틀(411)은 상기 파드 플레이트(210)와의 접촉에 따른 파티클(미세먼지입자) 발생을 억제하도록 파드 플레이트(210)의 접촉면적을 최소화시키도록 중앙부의 높이가 주변부의 높이보다 낮은 것을 특징으로 하는 SMIF 로더 장치.9. The method of claim 8,
The height of the center portion of the suction mantle 411 is lower than the height of the peripheral portion of the suction mantle 411 in order to minimize the contact area of the foam plate 210 to suppress generation of particles (fine dust particles) SMIF loader device.
상기 흡입장치(500)는 상기 몸체(100)의 저면부에 구비되어, 몸체 내로 유입되는 파티클(미세먼지입자)를 흡입하는 적어도 하나 이상의 흡입팬(510);
상기 메쉬망의 하단 일측인 상기 파티션(120)의 측면에 위치한 진공홀(140) 및 상기 스테이지의 중앙부에 위치한 진공홀(140)로 흡입된 상기 파티클(미세먼지입자)을 상기 몸체(100)의 외부로 배출하는 진공펌프(520)를 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더 장치.8. The method according to claim 6 or 7,
The suction device 500 includes at least one suction fan 510 disposed at a bottom portion of the body 100 for sucking particles (fine dust particles) flowing into the body.
The particle (fine dust particles) sucked into the vacuum hole 140 located on the side of the partition 120 which is the lower end of the mesh network and the vacuum hole 140 located at the center of the stage, And a vacuum pump (520) for discharging the SMIF load to the outside.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020140133201A KR101583606B1 (en) | 2014-10-02 | 2014-10-02 | Standard Mechanical Interface Loader Apparatus and Driving Method of The Same |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08172120A (en) * | 1994-12-16 | 1996-07-02 | Hitachi Ltd | Manufacture of semiconductor device and carrier interface device |
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| KR100928479B1 (en) | 2007-12-04 | 2009-11-25 | (주)티이에스 | SMIF loader device |
-
2014
- 2014-10-02 KR KR1020140133201A patent/KR101583606B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (3)
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