KR101558548B1 - 자동 박편 연마 장치 - Google Patents

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한래희
성기성
김정찬
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한국지질자원연구원
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Abstract

자동 박편 연마 장치에 대해서 개시한다.
본 발명에 따른 자동 박편 연마 장치는, 하부에 위치하는 고정 스테이지; 고정 스테이지 상에 위치하고, 박편을 파지하기 위한 박편 홀더; 및 박편 홀더와 이격되고, 고정 스테이지의 상부에 위치하며, 박편 홀더에 배치된 박편을 연마하기 위한 연마 디스크가 부착된 척 어셈블리가 스핀들을 통해서 고정되는 연마 헤드부;를 포함하며, 연마 헤드부는, 박편의 두께를 측정하기 위한 두께 측정기와 박편의 경도를 측정하기 위한 경도 측정기를 더 포함하고 있다.
본 발명에 따른 자동 박편 연마 장치는 고정 스테이지 상에 위치하는 서로 평행하게 연장되는 레일을 더 포함할 수 있으며, 이때, 박편 홀더는 고정 스테이지 상의 레일에 이동 가능하게 고정되어 위치할 수 있다.

Description

자동 박편 연마 장치{AUTOMATIC SAMPLE PREPARATION APPARATUS}
본 발명은 박편 연마 장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 박편에 연마에 있어서, 내구성이 뛰어난 간단한 구조로 형성되며, 특히 연마가 종료될 때까지 사람이 대기할 필요가 없이 자동적으로 박편을 연마할 수 있는 자동 박편 연마 장치에 관한 것이다.
박편 연마는, 통상적으로, 각종 금속 시료, 반도체 소자, 시추공 등에서 획득한 코어 시료와 같은 지질학적 시료, 기타 플라스틱 등의 시료를 박편으로 연마하는 과정을 의미할 수 있다.
박편의 연마는 각종 시료의 광학적 특성 또는 결정 구조 등을 파악하기 위한 기반 기술로 사용될 수 있으며, 그 광학적 특성은 현미경, 예를 들면, 편광 현미경 등과 같은 광학 현미경, 및 SEM, TEM, AFM 등과 같은 전자 현미경 등을 통해서 파악될 수 있고, 기타 결정 구조 등은 적절한 물리 화학적 처리를 통해서 파악될 수 있음은 잘 알 것이다.
한편, 본 기술 분야에서는 특허 문헌 1에 개시된 장치와 유사한 연마 장치가 알려져 있다.
종래, 적당한 두께의 박편을 형성하기 전까지 작업자가 박편을 파지하고 있어야 하는 연마 장치의 경우, 연마가 종료되기 전까지 작업자가 자리를 지키고 있어야 하기 때문에 박편의 연마시에는 다른 작업을 할 수가 없었다.
또한, 일부 자동화된 연마 장치의 경우에는, 타이머가 장착되어 있어 연마에 소요되는 시간의 파악 또는 소정 시간까지의 연마 작업의 수행 등에 대해서는 용이하게 제어할 수 있었으나, 연마가 시작되기 전에 연마에 소요되는 시간을 미리 알 수는 없었다.
대한민국 공개실용신안공보 제20-2009-0001556호(2009년 02월 18일 공개, 발명의 명칭: "시편 연마용 그라인더 장치")
따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 박편의 연마가 종료되기 전까지 작업자가 자리를 지키지 않아도 되는 자동 박편 연마 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 발명의 바람직한 다른 실시예에 따르면, 박편의 연마가 시작되기 전에 연마 작업에 소요되는 시간을 예측하여 표시할 수 있는 자동 박편 연마 장치를 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제(들)로 제한되지 않으며, 본 발명의 기술 분야에 속하는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 언급되지 않은 또 다른 과제(들)에 대해서도 명확하게 이해할 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 자동 박편 연마 장치는, 하부에 위치하는 고정 스테이지; 상기 고정 스테이지 상에 위치하고, 박편을 파지하기 위한 박편 홀더; 및 상기 박편 홀더와 이격되고, 상기 고정 스테이지의 상부에 위치하며, 상기 박편 홀더에 배치된 상기 박편을 연마하기 위한 연마 디스크가 부착된 척 어셈블리가 스핀들을 통해서 고정되는 연마 헤드부;를 포함하며, 상기 연마 헤드부는, 상기 박편의 두께를 측정하기 위한 두께 측정기와 상기 박편의 경도를 측정하기 위한 경도 측정기를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기에서, 상기 박편의 형상은 원형 또는 사각형이며, 상기 박편 홀더의 형상은 상기 박편의 형상에 대응하여 원형 또는 사각형인 것이 바람직하다.
또한, 상기 박편 홀더는 상기 박편을 파지하기 위한 3 개 이상의 홀더 파지부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 박편 홀더는 가운데 부분이 오목하게 형성되며, 그 깊이는 상기 박편의 높이보다 작은 것이 바람직하다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른, 자동 박편 연마 장치는, 하부에 위치하는 고정 스테이지; 상기 고정 스테이지 상에 위치하고 서로 평행하게 연장되는 레일; 상기 고정 스테이지 상의 상기 레일에 이동 가능하게 고정되어 위치하고, 박편을 파지하기 위한 박편 홀더; 및 상기 박편 홀더와 이격되고 상기 고정 스테이지의 상부에 위치하며, 상기 박편 홀더에 배치된 상기 박편을 연마하기 위한 연마 디스크가 부착된 척 어셈블리가 스핀들을 통해서 고정되는 연마 헤드부;를 포함하며, 상기 연마 헤드부는, 상기 박편의 두께를 측정하기 위한 두께 측정기와 상기 박편의 경도를 측정하기 위한 경도 측정기를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 박편의 형상은 원형 또는 사각형이며, 상기 박편 홀더의 형상은 상기 박편의 형상에 대응하여 원형 또는 사각형인 것이 바람직하다.
또한, 상기 박편 홀더는 상기 박편을 파지하기 위한 3 개 이상의 홀더 파지부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 박편 홀더는 가운데 부분이 오목하게 형성되며, 그 깊이는 상기 박편의 높이보다 작은 것이 바람직하다.
또한, 상기 연마 헤드부는 상기 두께 측정기의 측정 결과와 상기 경도 측정기의 측정 결과를 표시하기 위한 디스플레이부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 연마 헤드부의 상기 디스플레이부는 총 연마 예상 시간, 또는 총 연마 소요 시간을 표시하기 위한 시간 표시부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 박편의 연마시 발열을 제어하기 위한 물 또는 오일(oil) 공급 수단, 또는 연마 가루를 공급하기 위한 공급 수단을 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 레일에 이동 가능하게 고정되어 위치하는 상기 박편 홀더는, 상기 박편의 두께 측정 또는 상기 박편의 경도 측정시에 좌우로 이동 가능한 것이 바람직하다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 첨부 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및/또는 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로도 구현될 수 있을 것이며, 단지 본 명세서에서 설명하는 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명의 기술 분야에 속하는 통상의 기술자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이라는 것을 알아야 한다.
명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭하며, 발명을 구성하는 각 구성 요소의 크기, 위치, 결합 관계 등은 설명의 명확성을 위하여 과장되어 기술되어 있을 수 있음을 잘 알아야 한다.
또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략될 수도 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 박편 연마시 작업자가 자리를 지키지 않아도 되므로 박편 연마에 불필요하게 소모되는 시간을 절약할 수 있다.
또한, 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따르면, 박편의 연마가 시작되기 전에 연마 작업에 소요되는 시간을 예측할 수 있으므로, 박편의 종료와 함께 다른 작업을 수행할 때 작업자의 편의를 증진시킬 수 있다.
도 1은, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 자동 박편 연마 장치에서의 박편의 연마 절차를 설명하는 개략 순서도.
도 2는, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 자동 박편 연마 장치의 측단면도.
도 3은, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 도 2의 자동 박편 연마 장치의 개략 평면도.
도 4는, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 두 가지 형상의 박편, 및 이 박편을 파지하는 두 가지 형상의 박편 홀더를 나타낸 개략도.
도 5는, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 도 1에 나타낸 자동 박편 연마 장치의 연마 헤드부에 형성한 디스플레이부의 상세도.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 대해서 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 자동 박편 연마 장치에서의 박편의 연마 절차를 설명하는 개략 순서도이다.
도 1에 따르면, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 자동 박편 연마 장치에서의 박편의 연마 절차는, 박편 제작 단계(S10), 박편 홀더에 박편을 부착하는 단계(S20), 연마 장치에 박편 홀더를 장착하는 단계(S30), 박편 경도 측정 단계(S40), 박편 두께 측정 단계(S50), 연마 속도 결정 단계(S60), 연마 시작 단계(S70), 연마 디스크 또는 연마 가루를 교체하는 단계(S80), 및 연마된 박편이 소정 두께인지를 확인하는 단계(S90)를 포함한다.
먼저, 박편 제작 단계(S10)는, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 자동 박편 연마 장치에서, 최종적으로 박편을 제작하기 전에 사용하는 일차 재료로서의 박편을 제작하는 단계이다.
본 단계에서의 박편은 최종 생성물, 즉 단계(S90, 후술함)에서 얻어지는 박편과는 달리 상당한 두께일 수도 있음을 알아야 한다.
또한, 본 발명에서 사용한 박편이라는 표현은 편의상 시료 또는 샘플을 의미하는 용도로서 박편이라고 표현하였을 뿐이며, 박편이라고 하더라도 연마가 시작되기 전의 박편은 두께가 두꺼울 수도 있음을 알아야 하며, 본 단계(S10)에서의 박편은 최종 생성물의 박편을 제작하기 위한 출발 물질의 의미로서 박편이라는 용어를 사용하였음을 이해하여야 할 것이다.
따라서, 최초의 박편은 연마가 진행되면서 최종적으로 박편이 형성되는 것임을 알아야 한다.
다음으로, 박편 홀더에 박편을 부착하는 단계(S20)는 직전 단계(S10)에서 얻어진 박편을 박편 홀더에 부착하는 단계이다.
박편 홀더에 박편을 부착하는 방법은 접착제 등을 사용하여 행해질 수도 있으며, 바람직하게는, 후술하는 홀더 파지부를 이용하여, 박편 홀더에 박편을 부착할 수도 있음을 알아야 한다.
다음으로, 연마 장치에 박편 홀더를 장착하는 단계(S30)는 연마 장치에 박편 홀더를 장착하는 단계로서, 단순히 연마 장치의 스테이지 상에 놓여질 수도 있고, 바람직하게는 후술하는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레일(265, 도 2 참조)에 이동 가능하게 고정되어 위치할 수도 있다.
다음으로, 박편 경도 측정 단계(S40)는, 연마 장치에 장착된 박편의 경도를 측정하는 단계이고, 또한 박편 두께 측정 단계(S50)는 연마 장치에 장착된 박편의 두께를 측정하는 단계이다.
이때, 박편 경도 측정 단계(S40) 및 박편 두께 측정 단계(S50)는 순차적으로 실행되지 않고 동시에 실행될 수도 있고, 반대의 순서대로 실행되어도 무방하다.
박편 경도 측정 단계(S40) 및 박편 두께 측정 단계(S50)는 연마 장치에 장착된 박편을 연마하여 박편으로 제작하기 전에 사전에 경도와 두께를 파악하기 위한 것으로, 후속하는 단계에서 사용하기 위한 기본 데이터를 수집하는 단계일 수 있다.
경도는 여러 가지 종류의 경도가 측정될 수 있으며, 예를 들면, HV, HB, HRB, HRC 등의 경도값을 측정할 수 있다.
이때, 작업자는 최종 박편의 두께를 입력할 수도 있고, 다르게는, 박편을 어느 정도로 연마해야 하는지에 대한 데이터를 입력할 수도 있음을 알아야 한다.
후자의 경우에는, 상당한 두께의 박편의 일정 부분만 연마로 제거함을 의미할 수 있다.
다음으로, 연마 속도 결정 단계(S60)는, 직전 단계에서 얻어진 기본 데이터에 바탕하여, 박편을 가장 최적의 조건으로 연마하기 위한 연마 속도를 결정하는 단계이다.
본 단계(S60)에서는, 200, 400, 600 등으로 표기되는 메쉬(mesh)로 분류되는 연마 디스크의 종류를 작업자에게 알려줄 수 있음을 알아야 한다.
즉, 경도가 높은 박편의 경우에는 메쉬수가 낮은 연마 디스크를 지정하고, 경도가 낮은, 예를 들면, 미고결 시료와 같은 매우 부드러운 박편의 경우에는 메쉬수가 높은 연마 디스크를 지정해 줄 수 있다.
한편, 이때의 연마 디스크는 내구성을 위해서 다이아몬드로 처리된 연마 디스크인 것이 바람직하다고 하겠다.
유사한 방식으로, 연마 디스크 대신에 연마 가루를 사용하는 경우에도 경도가 높은 박편은 메쉬수가 낮은 연마 가루를 공급하도록 하고, 경도가 낮은 박편은 메쉬수가 높은 연마 가루를 공급하도록 지정해 줄 수 있다.
다음으로, 연마 시작 단계(S70)는 문자 그대로의 의미로서 박편을 연마하기 시작하는 단계이다.
이때의 연마는 연마 디스크의 회전에 의한 연마도 가능하며, 다르게는, 후술하는 도 2 및 3에서와 같이, 박편 홀더가 레일 상에서 좌우로 왕복 이동하면서 연마하는 구성도 가능함을 알아야 한다.
다음으로, 연마 디스크 또는 연마 가루를 교체하는 단계(S80)는, 박편을 연마하면서, 주기적으로 박편의 두께 또는 경도를 측정하면서, 적절한 순간에 연마 디스크 또는 연마 가루를 교체하도록 하는 단계이다.
본 발명에서는 도시 및 설명의 편의를 위해서, 연마 헤드부가 하나 형성된 경우에 대해서 설명하고 있지만, 서로 다른 메쉬의 연마 디스크가 부착된 복수개의 연마 헤드부를 구비할 수도 있다.
따라서, 연마가 시작될 때는 메쉬수가 낮은 연마 디스크를 사용하고, 연마가 진행되면서 박편이 박편으로 되어가면서 필요에 따라서 더 높은 메쉬수의 연마 디스크를 교체하여 사용하도록 구성될 수 있다.
또한, 본 발명에서는 연마 가루 이외에도 박편의 연마시 발생하는 발열을 제어하기 위한 물 또는 오일(oil) 등을 공급하기 위한 공급 수단을 더 포함할 수 있다.
따라서, 연마 헤드부가 복수개 형성되는 것에 대응하여 연마 가루 등을 공급하기 위한 공급 수단 역시 복수개 형성될 수 있음을 알아야 한다.
마지막으로, 연마된 박편이 소정 두께인지를 확인하는 단계(S90)를 거칠 수 있다.
본 단계(S90)에서는, 박편을 지속적으로 연마하여 박편으로 형성한 경우, 작업자가 원하는 두께에 도달했는지, 또는 작업자가 원하는 양만큼 제거되었는지를 확인할 수 있다.
장치(200)의 구체적인 구성에 대해서는, 도 2, 도 3, 및 도 5를 참조하여 후술하기로 한다.
도 2는, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 자동 박편 연마 장치의 측단면도이고, 도 3은, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 도 2의 자동 박편 연마 장치의 개략 평면도이다.
도 2에 따르면, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 자동 박편 연마 장치(200)는 하부에 위치하는 고정 스테이지(250), 고정 스테이지(250) 상에 위치하고, 박편(270)을 파지하기 위한 박편 홀더(260), 및 박편 홀더(260)와 이격되고, 고정 스테이지(250)의 상부에 위치하며, 박편 홀더(260)에 배치된 박편(270)을 연마하기 위한 연마 디스크(218)가 부착된 척 어셈블리(214)가 스핀들(212)을 통해서 고정되는 연마 헤드부(210)를 포함하고 있다.
이때, 연마 헤드부(210)는, 박편(270)의 두께를 측정하기 위한 두께 측정기(220)와 박편의 경도를 측정하기 위한 경도 측정기(230)를 더 포함하고 있을 수 있다.
도 2에서 박편 홀더(260)는 박편(270)을 내부에 파지하기 때문에 가운데 부분이 오목하게 형성되며, 박편(270)이 연마되어 박편으로 되어감에 따라서 박편(270)의 높이가 낮아진다는 점을 감안하여 박편 홀더(260)의 깊이는 박편(270)의 높이보다 작도록 설정되어 있다.
도 2 및 도 3으로부터, 고정 스테이지(250) 상에는 서로 평행하게 연장되는 레일(265; 265, 267)이 위치한다.
이때, 박편 홀더(260)는 고정 스테이지(250) 상의 레일(265, 267)에 좌우로 이동 가능하게 고정되어 위치하고 있다.
박편 홀더(260)의 좌우 이동은 도 2에서 화살표(← 및 →)로 나타내었다.
박편 홀더(260)가 좌우로 이동 가능하게 고정되면, 박편(270)의 연마 시에, 필요에 따라 박편 홀더(260)의 위치를 이동시킬 수 있게 되고, 따라서 연마 디스크(218)의 회전에 의한 연마 이외에도, 작업자에 의한 수동 연마에서와 같이 박편(270)에 대한 좌우 방향으로의 이동에 의한 수평 연마도 가능하다는 효과를 기대할 수 있다.
다만, 이 경우에는 회전 연마를 염두에 둔 연마 디스크(218) 대신에, 예를 들면, 사포와 같은 연마 패드를, 연마 디스크(218) 자리에 부착하여 둘 수 있다.
또한, 고정 스테이지(250)의 하부에는 물이나 오일 등의 배수를 위한 드레인(252)이 더 형성되어 있는 것이 바람직하다. 드레인(252)으로 배출되는 물이나 오일은 재순환되어 재활용될 수 있음은 잘 알 것이다.
본 발명에서는 물이나 오일 이외에도, 연마 디스크(218)에 의한 고속 회전 연마 또는 연마 가루를 사용할 수도 있기 때문에, 연마 시에 발생하는 비산 먼지 등을 적절하게 제어하기 위한 별도의 환기 설비(미도시)를 갖추고 있으면 더욱 바람직하다.
다음으로, 연마 헤드부(210)에 대해서 설명하기로 한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연마 헤드부(210)는 그 하부에 박편(270)을 연마하기 위한 척 어셈블리(214)를 구비하고 있다.
이 척 어셈블리(214)는 척(216)의 하부에, 필요에 따라, 연마 디스크(218) 또는 연마 패드(미도시)가 부착될 수 있다.
본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 연마 헤드부(210)에 형성한 스핀들(212)을 회전시키거나 상승 또는 하강시키기 위한 모터(미도시)를 더 구비하고 있음을 잘 알 것이다.
연마 헤드부(210)에는, 후술하는 디스플레이부(280)가 더 형성될 수 있으며, 이 디스플레이부(280)에 대해서는 도 5를 참조하여 설명하기로 한다.
연마 헤드부(210)의 하부에는, 각각, 박편(270)의 두께를 측정하기 위한 두께 측정기(220)와 박편(270)의 경도를 측정하기 위한 경도 측정기(230)가 더 형성되어 있다.
두께 측정기(220)와 경도 측정기(230)는, 도 1을 참조하여 설명한 바와 같이, 연마 속도 결정 단계(S60)에서 연마 속도를 결정하는데 필요한 데이터를 수집하는데 사용될 수 있다.
두께 측정기(220)와 경도 측정기(230)에서 얻어진 두께 데이터와 경도 데이터에 기초하여, 박편(270)의 총 연마 소요 시간을 추정할 수 있다.
또한, 경도 측정기(230)에서의 경도 데이터에 기초하여, 경도가 높은 박편(270)의 경우에는 척 어셈블리(214)의 박편(270)으로의 접근 속도를 느리게 하고, 반대로 박편(270)의 경도가 낮은 경우에는 척 어셈블리(214)의 박편(270)으로의 접근 속도를 빠르게 할 수도 있다.
한편, 두께 측정기(220)와 경도 측정기(230)는 초음파 방식으로 동작하는 메커니즘을 채택하는 것이 바람직하며, 터치 봉(미도시)이 박편(270)까지 내려와서 박편 및 연마된 박편의 두께와 경도를 측정하는 메커니즘도 가능하지만, 이 경우에는, 자동 박편 연마 장치(200)의 내구성을 저해할 우려가 있기 때문에 바람직하지는 않다고 하겠다.
두께 측정기(220)와 경도 측정기(230)의 동작 메커니즘으로는 초음파 이외에도 레이저 방식도 가능하지만, 박편(270)에서 레이저가 비산하는 경우 사고의 우려가 있으므로, 하우징(미도시)으로 보호되는 경우가 아니라면 바람직하지 않다.
도 3으로부터, 레일(265, 267)은 한 쌍으로 형성되어 있는 것을 알 수 있다. 이와 같이, 레일(265, 267)을 한 쌍으로 형성하는 경우, 장치(200) 내의 시편 홀더(260)의 이동과 관련하여 바람직한 강성을 유지하는 효과를 기대할 수 있다.
한편, 도 2 및 도 3으로부터, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 박편 연마 장치(200)에는 물 또는 오일 공급 수단(240), 또는 연마 가루를 공급하기 위한 공급 수단(미도시)이 더 구비될 수 있다.
이때, 물 또는 오일 공급 수단(240)은 유연한 파이프로 구비되는 것이 바람직하다.
이를 위해서, 도면에는 도시하지 않은 물 공급 탱크 및 오일 공급 탱크가 더 설치될 수 있으며, 바람직하게는 물과 오일은 별도의 공급 수단(예를 들면, 도면 부호 240과 유사한 파이프)을 통해서 공급될 수 있다.
이때, 물 또는 오일 등을 공급하기 위한 펌프(미도시) 또는 모터(미도시)가 더 설치될 수 있다.
또한, 물 또는 오일은, 도 3에 나타낸 바와 같이, 시편 홀더(260) 내의 박편(도 3에서는 미도시)의 가운데, 중앙 부분으로 공급되는 것이 더욱 바람직하다.
도 4는, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 두 가지 형상의 박편, 및 이 박편을 파지하는 두 가지 형상의 박편 홀더를 나타낸 개략도이다.
도 4에 따르면, 박편(270)의 형상은 원형 또는 사각형일 수 있다. 박편(270)의 형상은 통상 사각형으로 준비될 수 있지만, 시추공 등에서 입수하는 시추 코어 등과 같은 경우에는 원형의 박편(270)이 보편적이다. 또한, 금속 봉재를 연마하는 경우에도 박편(270)은 원형으로 형성될 수 있음은 잘 알 것이다.
한편, 박편 홀더(260)의 형상은 박편(270)의 원형 또는 사각형의 형상에 대응하여 원형 또는 사각형으로 형성되는 것이 바람직하다. 이에 대해서 도 4에서 (a)와 (b)로 나누어서 도시하였다.
도 4에서 (a)의 경우에는 박편(270)이 원형인 경우를 나타내며, 박편 홀더(260) 내의 박편(270)을 고정하여 파지하기 위해서 적어도 세 군데에 홀더 파지부(262)가 형성되어 있음을 알 수 있다.
홀더 파지부(262)는 도시한 바와 같이 나사 형식으로 형성되는 것이 가장 바람직하며, 다르게는 스프링과 같은 탄성 수단의 반발력을 이용하여 박편(270)을 파지하는 구성도 가능하나, 파지력을 일의하게 제어할 수 없는 반발력이 박편(270)에 가해질 수 있어, 최악의 경우, 박편(270)이 파손될 우려가 있으므로 추천하지는 않는다.
한편, 도 4의 (b)에서는 박편(270)이 사각형인 경우에 대해서 나타내고 있으며, 도시한 바와 같이, 박편(270)은 대략 직사각형인 것으로 간주하면 바람직하다.
도 4에서 홀더 파지부(262, 264)는 박편(270)을 확실하게 파지하기 위해서 적어도 3 개 이상이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
마지막으로, 도 5를 참조하여, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 도 1에 나타낸 자동 박편 연마 장치의 연마 헤드부에 형성한 디스플레이부에 대해서 설명하기로 한다.
도 5로부터 알 수 있는 바와 같이, 연마 헤드부(210) 내의 디스플레이부(280)는, 두께 측정기(220)가 측정한 박편(270) 또는 상술한 바와 같이 연마되어 가면서 박편이 되는 도중의 박편의 두께(THICKNESS)의 측정 결과를 표시하기 위한 두께 표시부(222)와, 경도 측정기(230)가 측정한 박편(270) 또는 연마되어 가는 도중의 박편의 경도(HARDNESS)의 측정 결과를 표시하기 위한 경도 표시부(232)를 포함하고 있다.
이때, 두께의 측정 결과의 표시의 단위는 적어도 ㎛인 것이 바람직하며, 필요에 따라서 소수점 이하의 단위로도 표시될 수 있음을 알아야 한다.
또한, 경도 표시부(232)는 경도의 표시와 동시에 박편(270)의 총 연마 예상 시간, 또는 총 연마 소요 시간을 표시하기 위한 시간 표시부의 역할을 동시에 수행할 수 있다. 이를 위해서, 경도 표시부(232)의 아래에 경도 표시 선택 버튼(234) 또는 시간 표시 선택 버튼(236)이 더 형성될 수 있다.
경도 표시 선택 버튼(234)을 누르게 되면 경도 표시부(232)에 경도가 표시될 수 있으며, 시간 표시 선택 버튼(236)을 누르면 총 연마 예상 시간, 또는 총 연마 소요 시간이 토글 방식으로 표시될 수 있다. 여기에서 토글 방식이란, 한번 눌렀을 때는 총 연마 예상 시간이 표시되고, 다시 한번 더 눌렀을 때는 총 연마 소요 시간이 표시될 수 있음을 의미한다.
또한, 시간 표시 선택 버튼(236)을 눌렀을 때, 타이머 기능을 수행하도록 할 수도 있으나, 이는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 구현할 수 있다고 판단되어, 이에 대해서는 더 이상의 설명을 생략하기로 한다.
상술한 바와 같이, 두께 측정기(220)와 경도 측정기(230)는 초음파 방식으로 동작하는 것이 바람직하며, 이들 측정기(220, 230)의 동작 방식이 비접촉식이므로 내구성의 향상에 기여할 수 있음을 잘 알 것이다.
두께 측정기(220)와 경도 측정기(230)는 박편(270)의 두께와 경도를 실시간으로 측정할 수 있으며, 예를 들어, 상술한 바와 같이, 경도가 높은, 즉 박편(270)이 단단한 경우에는 스핀들(212)의 회전 속도를 느리게 또한 박편(270)으로의 스핀들(270)의 접근 속도를 느리게 할 수 있음은 잘 알 것이다.
또한, 두께 측정기(220)와 경도 측정기(230)의 측정 결과로부터, 박편(270)의 총 연마 예상 시간을 추정할 수 있음에 주목하여야 한다.
추정된 총 연마 예상 시간으로부터 척 어셈블리(214)의 회전 속도 또는 레일(265, 267) 상의 박편 홀더(260)의 좌우 방향 이동 속도가 정해질 수 있다.
또한, 추정된 총 연마 예상 시간 및 박편(270)의 두께의 측정 결과로부터, 언제 연마 디스크(218)를 교환해야 하는지, 언제 다른 연마 가루를 공급해야 하는지 등을 더 디스플레이(미도시)할 수도 있으며, 이를 통해서 작업자는 연마 작업에 필요한 자원을 미리 준비하는 등 연마 작업을 더욱 유연하게 수행할 수 있다.
더 나아가서, 디스플레이부(280)에는 척 어셈블리(214)의 회전 속도도 표시될 수 있으며, 이를 위해서, 경도 표시 선택 버튼(234) 또는 시간 표시 선택 버튼(236)과 유사한 별도의 버튼(미도시)을 추가적으로 설치할 수 있으며, 다르게는 디스플레이부(280)에 척 어셈블리(214)의 회전 속도를 상시적으로 표시하도록 할 수도 있다.
이와 동시에, 척 어셈블리(214)가 박편(270)을 연마할 때, 박편(270)을 누르는 힘, 즉 압력도 더 표시할 수 있다.
척 어셈블리(214)의 누르는 힘을 표시하는 이유는, 박편(270)의 경도가 낮은 경우, 예를 들면, 미고결 시료에 준하는 정도의 부드러운 박편(270)이라면 척 어셈블리(214)의 누르는 힘이 상당한 경우 박편(270)의 파손이 일어날 수 있기 때문이다.
이 경우에는, 작업자로 하여금 미리 주의를 요하도록 하는 것이 바람직하다고 하겠다.
다만, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 비접촉식 경도 측정기(230)가 설치되어 있기 때문에, 척 어셈블리(214)의 누르는 힘을 별도로 측정하는 것은 다분히 보조적인 수단임을 알아야 한다.
마지막으로, 레일(265, 267)에 이동 가능하게 고정되어 위치하는 박편 홀더(260)는, 박편(270)의 두께 측정 또는 박편(270)의 경도 측정시에 좌우로 이동할 수도 있다. 이는, 척 어셈블리(214)의 크기를 박편(270)의 크기보다 더 크게 형성하기 때문으로, 연마 헤드부(210)의 하부에 설치된 두께 측정기(220) 및/또는 경도 측정기(230)가 박편(270)의 두께 및/또는 경도를 측정할 때, 척 어셈블리(214)에 의해서 방해를 받기 때문이다.
박편(270, 또는 연마가 되어감에 따라서 박편)의 두께 및/또는 경도를 측정하기 위해서, 먼저 두께 측정시에는 레일(265, 267) 상의 박편 홀더(270)가 좌측으로 적절하게 이동한 다음 두께를 측정하고, 또한 경도 측정시에는 레일(265, 267) 상의 박편 홀더(270)가 좌측으로 적절하게 이동한 다음 경도를 측정할 수 있다.
한편, 이와 같이, 레일(265, 267) 상의 박편 홀더(270)가 좌우로 이동하게 되면, 연마 작업이 중간에서 끊기게 되므로 연속적인 연마 작업을 위해서, 도시하지는 않았지만, 두께 측정기(220) 및/또는 경도 측정기(230)가 연마 헤드부(210)의 외부에 좌우로 대각선 방향으로, 즉 '↘' 방향으로 입사하고, '↗' 방향으로 출사하는 구성으로도 구현할 수 있다.
이와 같이, '↘' 방향 입사, 및 '↗' 방향 출사의 구성은 본 발명의 두께 측정기(220) 및/또는 경도 측정기(230)가 초음파 방식으로 동작하는 것이기 때문에 가능한 구성임을 알아야 한다.
이상과 같이 한정된 실시예와 도면에 의해 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술 분야에 속하는 통상의 기술자라면 이상의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 잘 알 것이다. 따라서, 본 발명의 사상은 이상의 기재에 포함된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되고, 후술하는 특허청구범위에 의해서만 파악되어야 하며, 특허청구범위와 균등하거나 등가적인 변형은 모두 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
S10 : 박편 제작 단계
S20 : 박편 홀더에 박편을 부착하는 단계
S30 : 연마 장치에 박편 홀더를 장착하는 단계
S40 : 박편 경도 측정 단계
S50 : 박편 두께 측정 단계
S60 : 연마 속도 결정 단계
S70 : 연마 시작 단계
S80 : 연마 디스크 또는 연마 가루를 교체하는 단계
S90 : 연마된 박편이 소정 두께인지를 확인하는 단계
200 : 자동 박편 연마 장치
210 : 연마 헤드부 212 : 스핀들
214 : 척 어셈블리 218 : 연마 디스크
220 : 두께 측정기 222 : 두께 표시부
230 : 경도 측정기 232 : 경도 표시부
250 : 고정 스테이지 252 : 드레인
260 : 박편 홀더 265, 267 : 레일
270 : 박편 280 : 디스플레이부

Claims (12)

  1. 하부에 위치하는 고정 스테이지;
    상기 고정 스테이지 상에 위치하고, 박편을 파지하기 위한 박편 홀더; 및
    상기 박편 홀더와 이격되고, 상기 고정 스테이지의 상부에 위치하며, 상기 박편 홀더에 배치된 상기 박편을 연마하기 위한 연마 디스크가 부착된 척 어셈블리가 스핀들을 통해서 고정되고, 상기 박편의 두께를 측정하기 위한 두께 측정기와 상기 박편의 경도를 측정하기 위한 경도 측정기를 포함하는 연마 헤드부;
    를 포함하며,
    상기 두께 측정기와 경도 측정기는 초음파 방식으로 동작하며,
    상기 두께 측정기와 경도 측정기에서 얻어진 두께 데이터와 경도 데이터에 기초하여, 상기 박편의 총 연마 소요 시간을 추정하는 것을 특징으로 하는,
    자동 박편 연마 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 박편의 형상은 원형 또는 사각형이며,
    상기 박편 홀더의 형상은 상기 박편의 형상에 대응하여 원형 또는 사각형인 것을 특징으로 하는,
    자동 박편 연마 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 박편 홀더는 상기 박편을 파지하기 위한 3 개 이상의 홀더 파지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    자동 박편 연마 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 박편 홀더는 가운데 부분이 오목하게 형성되며, 그 깊이는 상기 박편의 높이보다 작은 것을 특징으로 하는,
    자동 박편 연마 장치.
  5. 하부에 위치하는 고정 스테이지;
    상기 고정 스테이지 상에 위치하고 서로 평행하게 연장되는 레일;
    상기 고정 스테이지 상의 상기 레일에 이동 가능하게 고정되어 위치하고, 박편을 파지하기 위한 박편 홀더; 및
    상기 박편 홀더와 이격되고, 상기 고정 스테이지의 상부에 위치하며, 상기 박편 홀더에 배치된 상기 박편을 연마하기 위한 연마 디스크가 부착된 척 어셈블리가 스핀들을 통해서 고정되고, 상기 박편의 두께를 측정하기 위한 두께 측정기와 상기 박편의 경도를 측정하기 위한 경도 측정기를 포함하는 연마 헤드부;
    를 포함하며,
    상기 두께 측정기와 경도 측정기는 초음파 방식으로 동작하며,
    상기 두께 측정기와 경도 측정기에서 얻어진 두께 데이터와 경도 데이터에 기초하여, 상기 박편의 총 연마 소요 시간을 추정하는 것을 특징으로 하는,
    자동 박편 연마 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 박편의 형상은 원형 또는 사각형이며,
    상기 박편 홀더의 형상은 상기 박편의 형상에 대응하여 원형 또는 사각형인 것을 특징으로 하는,
    자동 박편 연마 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 박편 홀더는 상기 박편을 파지하기 위한 3 개 이상의 홀더 파지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    자동 박편 연마 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 박편 홀더는 가운데 부분이 오목하게 형성되며, 그 깊이는 상기 박편의 높이보다 작은 것을 특징으로 하는,
    자동 박편 연마 장치.
  9. 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 연마 헤드부는 상기 두께 측정기의 측정 결과와 상기 경도 측정기의 측정 결과를 표시하기 위한 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    자동 박편 연마 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 연마 헤드부의 상기 디스플레이부는 총 연마 예상 시간, 또는 총 연마 소요 시간을 표시하기 위한 시간 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    자동 박편 연마 장치.
  11. 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 박편의 연마시 발열을 제어하기 위한 물 또는 오일(oil) 공급 수단, 또는 연마 가루를 공급하기 위한 공급 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    자동 박편 연마 장치.
  12. 제 5 항에 있어서,
    상기 레일에 이동 가능하게 고정되어 위치하는 상기 박편 홀더는, 상기 박편의 두께 측정 또는 상기 박편의 경도 측정시에 좌우로 이동 가능한 것을 특징으로 하는,
    자동 박편 연마 장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200138280A (ko) 2018-03-29 2020-12-09 도레이 카부시키가이샤 기체 취출 노즐 및 로, 그리고 가공 필름의 제조 방법

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3857200A (en) * 1973-03-15 1974-12-31 A & A Eng Co Digital readout method and apparatus
CS164188B1 (ko) * 1974-01-21 1975-11-07
US4498778A (en) * 1981-03-30 1985-02-12 Technical Arts Corporation High speed scanning method and apparatus
DE3402104C2 (de) * 1984-01-21 1986-07-17 Karl Heesemann Maschinenfabrik GmbH & Co KG, 4970 Bad Oeynhausen Bandschleifmaschine
US4741621A (en) * 1986-08-18 1988-05-03 Westinghouse Electric Corp. Geometric surface inspection system with dual overlap light stripe generator
DE3639329C1 (de) * 1986-11-18 1988-02-25 Heesemann Karl Masch Bandschleifmaschine
JPH02110309A (ja) * 1988-10-19 1990-04-23 Toshiba Mach Co Ltd 超音波厚さ計を用いた測定方法およびその測定装置
JP2731864B2 (ja) * 1989-09-05 1998-03-25 新日本製鐵株式会社 押込型硬度計
US5282382A (en) * 1991-09-16 1994-02-01 Champion International Corporation Roll hardness observation testing apparatus and process
JPH05220659A (ja) * 1992-02-07 1993-08-31 Hitachi Seiko Ltd 平面研削盤
JP3719324B2 (ja) * 1997-12-24 2005-11-24 豊田工機株式会社 冷風冷却を用いた機械加工方法
US6071177A (en) * 1999-03-30 2000-06-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Method and apparatus for determining end point in a polishing process
US6234871B1 (en) * 1999-10-26 2001-05-22 Seaman Corporation Method and apparatus for removing a thin coating from a fabric
JP4008176B2 (ja) * 2000-02-10 2007-11-14 独立行政法人科学技術振興機構 超微小押し込み試験装置
JP2002066883A (ja) * 2000-08-29 2002-03-05 Nippei Toyama Corp 半導体ウェーハの研削作業方法および研削補助装置
US6319093B1 (en) * 2001-02-06 2001-11-20 International Business Machines Corporation Chemical-mechanical polishing system and method for integrated spin dry-film thickness measurement
US7029596B2 (en) * 2002-12-02 2006-04-18 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Computer integrated manufacturing control system for oxide chemical mechanical polishing
ITTV20030091A1 (it) * 2003-06-20 2004-12-21 For El Base Di Davanzo Nadia & C S Nc Macchina automatica per la smerigliatura dei bordi delle lastre di vetro e procedimento automatico per la smerigliatura dei bordi delle lastre di vetro.
JP4229791B2 (ja) * 2003-09-19 2009-02-25 真 金子 内視鏡装置
US20050121141A1 (en) * 2003-11-13 2005-06-09 Manens Antoine P. Real time process control for a polishing process
JP2006291249A (ja) * 2005-04-06 2006-10-26 Ntn Corp 鋼製部材の製造設備、軸受用薄肉部材およびスラスト軸受
CN101426618B (zh) * 2006-04-19 2013-05-15 东洋橡胶工业株式会社 抛光垫的制造方法
JP2008232825A (ja) * 2007-03-20 2008-10-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波検査システム
KR200445210Y1 (ko) 2007-08-13 2009-07-07 이귀석 시편 연마용 그라인더 장치
JP2009050992A (ja) * 2007-08-29 2009-03-12 Fujitsu Ltd ラッピング装置及びラッピング方法
KR20090044323A (ko) 2007-10-31 2009-05-07 한국타이어 주식회사 타이어 시편 다중 연마장치
JP2010042536A (ja) * 2008-08-11 2010-02-25 Bridgestone Corp 更生タイヤの製造方法及び使用済みタイヤの研削装置
US8989890B2 (en) * 2008-11-07 2015-03-24 Applied Materials, Inc. GST film thickness monitoring
CN102725104B (zh) 2010-01-29 2015-07-01 小岛工程有限公司 使用碟形磨石的透镜球面的磨削加工方法
JP6145342B2 (ja) * 2013-07-12 2017-06-07 株式会社荏原製作所 膜厚測定装置、膜厚測定方法、および膜厚測定装置を備えた研磨装置
JP2016004903A (ja) * 2014-06-17 2016-01-12 株式会社東芝 研磨装置、研磨方法、及び半導体装置の製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200138280A (ko) 2018-03-29 2020-12-09 도레이 카부시키가이샤 기체 취출 노즐 및 로, 그리고 가공 필름의 제조 방법

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