이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.
이하의 설명에서 어떤 층이 다른 층의 위에 존재한다고 기술될 때, 이는 다른 층의 바로 위에 존재할 수도 있고, 그 사이에 제3의 층이 개재될 수도 있다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
본 명세서에서 제 1, 제 2 등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다. 이들 용어는 하나의 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 다른 영역, 층 또는 부분과 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제 1 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제 2 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 지칭할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다. 또한, 첨부된 도면들에서, 동일한 참조 부호는 동일한 구성 부재를 지칭한다.
본 명세서에서 사용되는, "금속 패턴층"은, 당해 기술 분야에서 사용되는 바와 같이, 도전성 트레이스(conductive trace), 리드(lead), 랜드(land) 또는 패드(pad) 등으로 지칭될 수도 있으며, 이들 용어에 의해 본 발명의 범위가 제한되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 칩-온-필름 패키지(100)를 도시하는 사시도이며, 도 2는 도 1의 선 A-A'를 따라 절취한 칩-온-필름 패키지(100)의 단면도이다. 설명의 편의를 위하여, 도 1에서는, 반도체 칩(80)과 절연성 필름 기판(10)을 분리하여 도시하였다. 또한, 도 1에서는 반도체 칩(80)과 절연성 필름 기판(10)을 접속시키기 위한 도전성 범프들(50) 및 몰딩 부재(90)를 생략하였다. 도전성 범프들(50) 및 몰딩 부재(90)는 도 2에 의해 완전히 개시된다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 칩-온-필름 패키지(100)는 절연성 필름 기판(10) 의 제 1 주면(11)의 칩 실장 영역(CA1) 상에 탑재되는 반도체 칩(80)을 포함한다. 필요에 따라, 절연성 필름 기판(10)의 제 1 주면(11) 상에는, 2 이상의 칩 실장 영역(CA1)이 제공되어, 복수의 반도체 칩들(80)이 탑재될 수도 있다. 반도체 칩(80)은 절연성 필름 기판(10) 상에 예를 들면, TAB(tab automated boding) 법에 의해 플립-칩 본딩될 수 있다.
반도체 칩(80)과 절연성 필름 기판(10)의 사이에는 이들 사이의 전기적 연결을 보호하기 위한 몰딩 부재(90)가 형성될 수 있다. 몰딩 부재(90)는 당해 기술 분야에 잘 알려진 바와 같이, 모세관 현상을 이용하여 형성된 에폭시 몰딩 컴파운드(Epoxy molding compound; EMC)일 수 있다.
반도체 칩(80)의 저면(80A)의 주변부(PA) 상에는 복수의 전극 패드들(81)이 형성될 수 있다. 복수의 전극 패드들(81)은 외부 회로(미도시)의 전력 제어 및 신호의 입/출력을 위한 단자들일 수 있다. 예를 들면, 전극 패드들(81)은, 입력부로서, 접지 패드(82a, 85a), 전원 패드(83a), 마이크로 프로세서와 같은 외부 회로로부터 입력되는 데이터 및 제어 신호를 입력 받기 위한 신호 입력 패드들(84a)를 포함할 수 있다. 또한, 전극 패드들(81)은, 출력부로서 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, 유기/무기 전계 발광 디스플레이 장치와 같은 디스플레이 장치, 프린터 또는 이미지 센서와 같은 감광 장치와 같은 외부 회로를 구동하기 위한 접지 패드(82b, 85b), 전원 패드(83b), 신호 출력 패드들(84b)을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 반도체 칩(80)의 주변부(PA) 상에는 패키지의 안정성과 방열성을 위하여 더미 패드(86)가 형성될 수도 있다. 상기 열거된 전극 패드들(81) 및 더미 패드(86)의 종류, 구성 및 기능은 예시적일 뿐, 본 발명의 실시예가 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 반도체 칩(80) 저면(80A)의 주변부(PA)뿐만 아니라, 주변부(PA)에 의해 한정되는 내부 영역(CA)에도 전극 패드 또는 더미 패드가 형성될 수 있음은 자명하다.
절연성 필름 기판(10)은 수지계 재료, 예를 들면, 폴리이미드 또는 폴리에스터 또는 공지의 다른 재료로 형성되어, 가요성(flexibility)을 가질 수 있다. 절연성 필름 기판(10)의 제 1 주면(11)과 2 주면(12) 상에는 제 1 및 제 2 금속 패턴층들(20A, 30A)이 배치된다. 제 1 및 제 2 금속 패턴층들(20A, 30A) 중 일부는 절연성 필름 기판(10)의 제 1 주면(11)과 제 2 주면(12) 사이를 관통하는 비아(40A)에 접속되어 전기적으로 연결될 수 있다.
제 1 및 제 2 금속 패턴층(20A, 30A)은 예를 들면 알루미늄 또는 구리 호일(foil)로 형성될 수 있다. 일부 실시예에서, 제 1 및 제 2 금속 패턴층(20A, 30A)의 표면은 주석(Sb), 금(Au), 니켈(Ni) 또는 납(Pb)으로 도금될 수도 있다. 제 1 및 제 2 금속 패턴층(20A, 30A)을 형성하기 위해, 먼저 당해 기술 분야에서 잘 알려진 바와 같이, 캐스팅(casting), 라미네이팅(laminating) 또는 전기 도금(electroplating) 방법에 의해 절연성 필름 기판(10) 상에 금속층을 형성할 수 있다. 이후, 상기 금속층을 패터닝함으로써 제 1 및 제 2 금속 패턴층(20A, 30A)을 형성될 수 있다.
비아들(40A)을 형성하기 위해서, 예를 들면, 먼저 절연성 필름 기판(10)의 제 1 주면(11)과 제 2 주면(12) 중 어느 하나, 예를 들면 제 1 주면(11) 상에 상기 금속층을 형성한다. 이후, 절연성 필름 기판(10)에 상기 금속층을 노출시키는 홀을 형성할 수 있다. 후속하여, 상기 홀을 도전 재료로 매립함으로써 상기 금속층에 전기적으로 접속된 비아(40A)를 형성될 수 있다. 상기 홀은 포토리소그래피 공정, 습식 또는 건식 식각, 스크린 프린트, 드릴 비트 또는 레이저 드릴링 공정을 이용하여 형성될 수 있다. 상기 홀을 매립하는 도전 재료는 상기 금속층과 동일한 재료, 예를 들면, 알루미늄 또는 구리일 수 있으며, 전해 또는 무전해 도금법에 의해 상기 홀을 매립할 수 있다.
이와 같이, 비아들(40A)을 형성한 후, 상기 금속층이 형성되지 않은 절연성 필름 기판(10)의 다른 주면, 예를 들면 제 2 주면(12) 상에 또 다른 금속층을 형성한다. 이후, 절연성 필름 기판(10)의 제 1 및 제 2 주면(11, 12) 상에 형성된 상기 금속층들에 대하여 포토리소그래피 및 식각 공정을 수행하여, 각각 제 1 및 제 2 금속 패턴층들(20A, 30A)을 형성할 수 있다. 제 1 및 제 2 주면(11, 12) 상에 형성된 상기 금속층들에 대한 패터닝 공정은 동시에 또는 순차대로 수행될 수 있다.
전술한 금속층들 및 비아들의 제조 방법과 그에 관한 공정 순서는 예시적일 뿐, 이들 방법과 순서에 본 발명의 실시예들이 제한되는 것은 아니다. 예를 들면, 먼저 절연성 필름 기판(10)에 비아(40A)를 형성하기 위한 홀을 형성한다. 이후, 라미네이팅 방법에 의해 금속층을 제 1 주면(11)에 코팅하고, 후속하여, 상기 홀을 매립하는 비아(40A)를 형성할 수 있다. 계속하여, 제 2 주면(12) 상에 금속층을 코팅하고, 상기 금속층들을 패터닝하여 제 1 및 제 2 금속 패턴층(20, 30)을 형성할 수도 있다. 상기 금속층들에 대한 패터닝 공정은 동시에 또는 순차대로 수행될 수 있다.
전술한 비아들(40A)은 반도체 칩(80)의 주변부(PA)와 중첩되는 절연성 필름 기판(10)의 접촉 영역(CA2)에 의해 한정되는 중심 영역(CA3)에 배치되는 제 1 비아(41)를 포함할 수 있다. 필요에 따라, 제 1 비아(41)는 복수 개로 형성될 수 있다. 이 경우, 비아(40A)를 형성하기 위한 충분한 공정 마진을 확보하기 위하여, 비아들(40a), 예를 들면, 제 1 비아들(41) 사이의 거리(L)는 제 1 금속 패턴층들(20)의 임계 치수, 예를 들면 25 ㎛ 보다 더 클 수 있다.
또한, 비아들(40A)은 칩 실장 영역(CA1)의 접촉 영역(CA2) 내에 배치되는 제 2 비아(42)를 포함할 수 있다. 제 2 비아(42)는, 참조에 의하여 본 명세서에 그 전부가 포함되고, 본 출원인에게 양도된 미국 출원 제11/362,882호에 개시되어 있다. 예를 들면, 제 2 비아(42)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 반도체 칩의 접지 패드(82a, 82b)에 중첩되도록 배치될 수 있다. 그러나, 이러한 구성은 예시일 뿐, 제 2 비아(42)는, 반도체 칩(80)의 전원 패드(82a, 83b) 또는 신호 입/출력 패드(84a, 84b) 중 적어도 어느 하나에 중첩되도록 배치될 수도 있다. 또한, 비아들(40A)은 반도체 칩(80)의 더미 패드(86)에 중첩되도록 배치된 제 3 비아(43)를 포함할 수도 있다.
통상적으로, 절연성 필름 기판(10)의 중심 영역(CA3)은 배선을 위하여 사용되지 않는다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 절연성 필름 기판(10)에 형성된 비아들(40A)을 통해 제 2 주면(12) 상에 형성된 제 2 금속 패턴층들(30A)은 다양한 기능을 가질 수 있다. 예를 들면, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 절연성 필름 기판(10)의 제 2 주면(12) 상에 형성된 제 2 금속 패턴층들(30A)은 해당 비아(41 ~ 43)에 접속되어, 반도체 칩(80)의 접지 패드(82a, 85a), 전원 패드(83a) 또는 신호 입력 패드(84a)에 각각 연결되어, 접지층(31A, 34A), 전원층(32A) 또는 재배선층(33A)으로서 기능할 수 있다. 일부 실시예에서는, 반도체 칩(80)의 더미 패드(86)가 도전성 범프(50)에 의해 제 3 비아(43)에 본딩될 수 있다. 이 경우, 제 3 비아(43)에 연결된 제 2 금속 패턴층(30A), 예를 들면, 접지층(34A)은 방열층으로서도 기능할 수 있다.
절연성 필름 기판(10)의 제 1 주면(11) 상에 형성된 제 1 금속 패턴층들(20A)은, 절연성 필름 기판(10)의 칩 실장 영역(CA1)의 외부로부터 중심 영역(CA3)으로 연장된 하나 이상의 제 1 배선 패턴층들(21)을 포함할 수 있다. 제 1 배선 패턴층들(21)의 일 단부(21a)는 해당 제 1 비아들(41)에 각각 접속될 수 있다. 제 1 배선 패턴층들(21)은 접촉 영역(CA2) 상에서 도전성 범프(50)에 의해 해당 전극 패드들, 예를 들면, 접지 패드(82a)와 전원 패드(83a)에 각각 본딩될 수 있다. 제 1 배선 패턴층들(21) 중 일부는 절연성 필름 기판(10)의 측단부로 연장된 외부 회로 접속용 리드(21b)를 포함할 수 있다. 외부 회로 접속용 리드(21b)는 후술하는 바와 같이, 인쇄회로기판, 디스플레이 패널, 프린터 헤드 또는 이미지 센서와 같은 외부 회로에 접속된다.
제 1 금속 패턴층들(20A)은, 절연성 필름 기판(10)의 칩 실장 영역(CA1)의 외부로부터 접촉 영역(CA2)으로 연장된 제 2 배선 패턴층(22)을 포함할 수도 있다. 접촉 영역(CA2) 상에 배치되는 제 2 배선 패턴층(22)의 일 단부(22a)는 도전성 범프(50)에 의해 반도체 칩(80)의 해당 전극 패드(81)에, 예를 들면, 신호 입력 패드(84a)에 본딩될 수 있다. 제 2 배선 패턴층(22)도 절연성 필름 기판(10)의 측단부로 연장된 외부 회로 접속용 리드(22b)를 포함할 수 있다.
일부 실시예에서는, 제 2 배선 패턴층(22)의 일 단부(22a)의 하부에 전술한 제 2 비아(42)가 배치될 수 있다. 이 경우, 제 2 배선 패턴층(22)은 제 2 비아(42)를 통하여 절연성 필름 기판(10)의 제 2 주면(12) 상에 형성된 제 2 금속 패턴층(30A), 예를 들면, 접지층(34A)과 전기적으로 연결될 수 있다. 이에 관하여는, 본 출원인에게 양도된 미국 출원 제11/362,882호에 개시된 사항을 참조할 수 있다.
일부 실시예에서, 제 1 금속 패턴층들(20A) 중 일부는 칩 실장 영역(CA1) 내에 형성된 제 3 배선 패턴층(23)을 포함할 수도 있다. 제 3 배선 패턴층(23)은 칩 실장 영역(CA1)의 접촉 영역(CA2)으로부터 중심 영역(CA3)으로 연장되어 제 1 비아(41)에 접속될 수 있다. 해당 제 1 비아(41)에 접속된 제 3 배선 패턴층(23)은 제 2 금속 패턴층들(30A) 중 어느 하나, 예를 들면, 전원층(33A)에 연결될 수 있다. 제 3 배선 패턴층(23)은 도전성 범프(50)를 통하여, 반도체 칩(80)의 해당 전극 패드(81), 예를 들면 전원 패드(83a)에 본딩될 수 있다. 이 경우, 전원층(33A)은 제 2 주면(12)의 측단부로 연장된 외부 회로 접속용 리드(30b)를 포함할 수도 있다.
일부 실시예에서, 제 1 금속 패턴층들(20A)은 칩-온-필름 패키지(100)에 접 속되는 외부 회로들 사이를 서로 연결하기 위한 제 4 배선 패턴층(24)을 가질 수도 있다. 또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 절연성 필름 기판(10) 상에는 전압 또는 전류의 조절을 위한 저항(R) 또는 캐패시터(C)와 같은 수동 회로가 탑재될 수 있다. 또한, 절연성 필름 기판(10) 상에 2 이상의 반도체 칩이 탑재되거나, 수동 회로가 형성된 경우, 칩 실장 영역(CA1)의 외부에 이들 사이의 전기적 연결을 위한 또 다른 배선 패턴층이 형성될 수도 있음은 자명하다.
도 3a 내지 도 3h는 도 1 및 2에 도시된 칩-온-필름 패키지(100)의 제 2 금속 패턴층(30A)에 관한 다양한 실시예들을 개략적으로 도시하는 평면도이다. 설명의 편의를 위하여, 도 3a 내지 도 3h에서는, 절연성 필름 기판(10)의 제 2 주면(12) 중 칩 실장 영역(CA1)과 중첩되는 일부 영역만을 도시하였다. 도 3a 내지 도 3h에 도시된 제 2 금속 패턴층들(30a ~ 30f)은 도 1 및 도 2를 참조하여 상술한 비아들(40A) 중 적어도 어느 하나에 의해 해당 제 1 금속 패턴층(20A)에 연결된다. 제 2 금속 패턴층(30a ~ 30f)의 특징들에 관하여는, 본 출원인에게 양도된 미국 출원 제11/362,882호에 개시된 사항을 참조할 수 있다.
예를 들면, 도 3a에 도시된 바와 같이, 제 2 금속 패턴층(30a)은, 칩 실장 영역(CA1)의 전부에 중첩되도록 확장된 크기를 가질 수 있다. 제 2 금속 패턴층(30a)은 제 1 비아(41)에 의해 제 1 배선 패턴층(21)에 접속되어, 반도체 칩(80)의 해당 전극 패드(81), 예를 들면, 접지 패드(82a)에 전기적으로 연결될 수 있다. 이 경우, 제 2 금속 패턴층(30a)은 접지층으로서 기능할 수 있다. 반도체 칩(80)의 하부에 배치되는 제 2 금속 패턴층(30a)은 반도체 칩(80)으로부터 발생되는 전 자기파를 중심으로 끌어 당겨 전기적인 안정성과 전자파에 의한 간섭을 감소시키는 효과를 가질 수 있다.
일부 실시예에서는, 반도체 칩(80)의 더미 패드(86)가 제 3 비아(43)를 통하여 접지층(30a)에 연결됨으로써, 접지층(30a)은 방열층으로도 기능할 수 있다. 선택적으로, 제 2 금속 패턴층(30a)은 제 3 비아(43)에 의해 반도체 칩(80)의 더미 패드(86)에만 연결될 수 있으며, 이 경우, 제 2 금속 패턴층(30a)은 방열층으로서 기능한다.
통상적으로 칩-온-필름 패키지는 절연성 필름 기판과 몰딩 부재 사이의 열팽창 계수(coefficients of thermal expansion; CTE)의 차이에 의해 초래되는 열 응력으로 인하여 휘어짐(warpage)과 같은 결함이 발생할 수 있다. 이러한 결함으로 인하여 비교적 낮은 전력으로 구동되는 반도체 칩에만 칩-온-필름 패키지 기술이 제한적으로 적용되는 경향이 있다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 방열층으로서 제 2 금속 패턴층(30a)이 제공되어, 비교적 높은 구동 전압을 갖는 칩-온-필름 패키지에 있어서, 동작시 발생할 수 있는 휘어짐 결함을 억제하거나 개선할 수 있게 된다.
도 3b를 참조하면, 제 2 금속 패턴층(30b)은 칩-온-패키지에서 발생하는 열 응력을 고려하여 틈(clearance, d)을 가지면서 서로 연결된 2 개의 플레이트 형태를 가질 수도 있다. 상기 2 개의 플레이트는 도시된 바와 같이 서로 동심 형태로 제공될 수 있다. 다른 실시예에서는, 도 3c에 도시된 바와 같이, 제 2 금속 패턴층(30c)은 홀(h)을 포함하는 메시 형태를 가질 수도 있다. 본 발명자들은, 도 3b 및 도 3c에 도시된 바와 같이 틈 또는 홀을 갖는 제 2 금속 패턴층(30b, 30c)이 칩-온-필름 패키지가 동작할 때 발생되는 열 응력을 완화시키는 데에 효과적임을 확인하였다.
도 3d를 참조하면, 제 2 금속 패턴층(30d)은, 도 1 및 도 2를 참조하여 상술한 바와 같이, 2 이상의 금속 패턴층(30d1, 30d2)을 포함할 수도 있다. 반도체 칩(80)이 로직 회로, 구동 회로, 통신 회로 등 2 이상의 회로가 복합된 시스템 온 칩인 경우 2 이상의 접지가 필요할 수 있다. 이 경우, 제 1 및 제 2 금속 패턴층들(30d1, 30d2)은 비아들(41, 42)에 각각 접속되어, 반도체 칩(80)의 접지 패드들(82a, 85a)에 전기적으로 연결될 수 있다. 도시하지는 아니하였으나, 금속 패턴층(30d1, 30d2)은 서로 다른 전위를 갖는 전원층일 수도 있으며, 또는, 어느 하나는 전원층이고 다른 하나는 접지층일 수도 있다.
일부 실시예에서, 제 2 금속 패턴층들(30d) 중 적어도 어느 하나(30d2)는 절연성 필름 기판(10)의 제 2 주면(12) 상에서 측단부로 더 연장된 배선 패턴(30da)을 가질 수 있다. 연장된 배선 패턴(30da)는 절연성 필름 기판(10)의 제 2 주면(12) 상에 형성된 외부 회로 접속용 리드(도 1의 30b 참조)를 포함할 수 있다. 제 2 금속 패턴층들(30d1, 30d2)은 도 3b 및 도 3c를 참조하여 상술한 바와 같이, 틈이나 홀을 가질 수 있다.
도 3e에 도시한 바와 같이, 제 2 금속 패턴층(30e)은 접지층(30e1, 30e4) 이외에 반도체 칩(80)의 구동 전압에 따라 서로 다른 전위를 갖는 전원층(30e2, 30e3)을 더 포함할 수도 있다. 전원층들(30e2, 30e3)은 예를 들면, 제 2 비아들(42)에 각각 연결되어 제 2 배선 패턴층(도 1의 22)에 전기적으로 연결될 수 있다. 도 3d를 참조하여 상술한 바와 같이, 제 2 금속 패턴층들(30e) 중 적어도 어느 하나(30e1, 30e2)는 절연성 필름 기판(10)의 측단부로 더 연장된 배선 패턴(30ea)을 가질 수 있다. 연장된 배선 패턴(30ea)은 절연성 필름 기판(10)의 제 2 주면(12) 상에 형성된 외부 회로 접속용 리드(도 1의 30b 참조)를 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 제 2 금속 패턴층들(30e) 중 어느 하나(31e1)는 후술되는 제 4 비아(44)에 의해 제 1 금속 패턴층(20A)에 전기적으로 연결될 수도 있다. 이 경우, 제 2 금속 패턴층(30e1)은 이에 접속된 제 2 비아(42) 및 제 4 비아(44)에 공유되어, 회로를 서로 연결해주는 재배선층으로서 기능할 수도 있다. 제 2 금속 패턴층들(30e) 중 적어도 어느 하나는 도 3b 및 도 3c를 참조하여 상술한 바와 같이, 틈 또는 홀을 가질 수 있다.
도 3f 내지 도 3h를 참조하면, 접지층들(30f1, 30f3; 30g1, 30g3; 30h1, 30h3)과 전원층들(30f2, 30f4; 30g2, 30g4; 30h2, 30h4)은 반도체 칩(80)의 전극 패드들(81)의 위치와 EMI 차단 특성을 고려하여, 다양한 형상으로 배치될 수 있다. 예를 들면, 도 3f에 도시된 바와 같이, 접지층들(30f1, 30f3)은, 전원층들(30f2, 30f4)을 전부 둘러싸는 형상을 가질 수 있다. 다른 실시예로서, 전원층들(30f2, 30f4)이 접지층들(30f1, 30f3)을 둘러싸는 형상을 가질 수도 있다. 또한, 도 3g에 도시된 바와 같이, 접지층들(30g1, 30g3)은 전원층들(30g2, 30g4)의 일부를 둘러싸는 형상을 가질 수도 있다. 그 반대일 수도 있다. 또는, 도 3h에 도시된 바와 같이, 접지층들(30h1, 30h3)과 전원층들(30h2, 30h4)은 각각 손가락(finger) 형태로 형성되어 서로 둘러싸는 형상을 가질 수도 있다.
도 3a 내지 도 3h를 참조하여 상술한 실시예들은 예시적일 뿐, 이에 본 발명의 실시예가 제한되는 것은 아니다. 또한, 제 2 금속 패턴층(30a ~ 30f)에 관하여 개시된 실시예들은 어느 하나의 특징이 선택되어 실시될 수도 있으며, 서로 다른 특징이 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 반도체 칩(80)의 전극 패드들(81)의 위치, EMI 특성, 열 응력의 개선 및 구동 전압, 반도체 칩의 종류 등을 고려하여, 제 2 금속 패턴층(30a ~ 30f)은, 본 발명의 범위 내에서, 그 개수와 형상이 다양하게 변형되어 실시될 수 있음은 자명하다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 칩-온-필름 패키지(200)를 도시하는 사시도이며, 도 5는 도 4의 선 B-B'를 따라 절취한 칩-온-필름 패키지(200)의 단면도이며, 도 6은 도 4의 선 C-C'를 따라 절취한 칩-온-필름 패키지(200)의 단면도이다. 도 4 내지 도 6에서, 도 1 및 도 2의 동일한 참조 부호를 갖는 구성 부재는 도 1 및 도 2의 해당 구성 부재와 동일하므로, 이에 관하여는 도 1 및 도 2를 참조할 수 있다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 칩-온-패키지 필름(200)은, 절연성 필름 기판(10)의 제 1 주면(11) 상에 형성되는 제 1 금속 패턴층(20B)과 제 2 주면(12) 상에 형성되는 제 2 금속 패턴층(30B)을 서로 전기적으로 연결하기 위하여, 칩 실장 영역(CA1)의 외부에 형성된 제 4 비아(44a, 44b)를 포함할 수 있다. 제 4 비아(44a, 44b)는 필요에 따라 복수 개로 형성될 수 있다. 이 경우, 제 4 비아들(44a, 44b) 사이의 거리는, 전술한 바와 같이, 충분한 공정 마진을 확보하기 위 하여 제 1 금속 패턴층들(20B)의 임계 치수보다 더 클 수 있다. 일부 실시예에서, 칩-온-필름 패키지(200)는 도 1 및 도 2를 참조하여 상술한 바와 같이, 전술한 제 1 내지 제 3 비아(41 ~ 43) 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수도 있다.
제 4 비아(44a, 44b)는 절연성 필름 기판(10)의 제 1 주면(11) 상에 형성된 제 5 배선 패턴층(25)에 접속될 수 있다. 제 5 배선 패턴층(25)은 절연성 필름 기판(10)의 측단부로 연장된 외부 회로 접속용 리드(25b)를 포함할 수 있다. 제 4 비아(44a, 44b)에 의해 각각 접속되는 제 2 금속 패턴층들(31B, 35B)은 다른 비아, 예를 들면 제 2 비아(42) 또는 다른 제 4 비아(44b)에 접속될 수 있다.
제 2 금속 패턴층(31B, 35B)이 접속된 전극 패드(81)의 기능에 따라, 제 2 금속 패턴층들(31B, 35B)은 접지층, 전원층, 재배선층으로서 기능할 수 있다. 예를 들면, 제 2 금속 패턴층(31B)은 제 2 비아(42)에 의해 반도체 칩(80)의 접지 패드(82a)에 연결되어 접지층으로서 기능할 수 있다. 또한, 제 2 금속 패턴층(31B)은 제 3 비아(43)에 의해 반도체 칩(80)의 더미 패드에 접속될 수 있으며, 이 경우, 제 2 금속 패턴층(31B)은 방열층으로서 기능할 수도 있다. 다른 제 2 금속 패턴층(35B)은 제 4 비아들(44b)에 의해 공유되어 재배선층으로서 기능할 수 있다. 이 경우, 제 5 금속 배선 패턴층(25)와 제 2 금속 패턴층(35B)는 반도체 칩(80)의 신호 출력 패드(84b)에 접속되어 신호 전달을 위한 배선층으로서 기능할 수 있다.
도시된 실시예에서, 제 2 금속 패턴층들(30B)은, 도 3a 내지 도 3h를 참조하여 상술한 바와 같이, 반도체 칩(80)의 전극 패드들(81)의 위치, 열 응력의 개선 및 구동 전압, 반도체 칩의 종류 등에 따라, 그 수와 형태가 다양하게 변형되어 실 시될 수 있다.
전술한 다양한 실시예에 따른 칩-온-필름 패키지는 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, 유기/무기 전계 발광 디스플레이 장치와 같은 디스플레이 장치는 물론, 프린터 또는 이미지 센서와 같은 감광 장치에도 사용될 수 있다. 이하에서는, 칩-온-필름 패키지가 사용되는 대표적인 장치 어셈블리인 액정 디스플레이 장치에 관하여 상술한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 칩-온-필름 패키지(300A, 300B)를 포함하는 디스플레이 장치 어셈블리(1000)를 도시하는 사시도이다. 도 6을 참조하면, 인쇄회로기판(400)과 액정 디스플레이 패널(500) 사이에는 전술한 복수의 칩-온-필름 패키지(300A, 300B)가 접속될 수 있다.
액정 디스플레이 패널(500)은 당해 기술 분야에 잘 알려진 바와 같이, 복수의 게이트 라인(501)과 복수의 데이터 라인(502)이 형성된 하부 기판(510)과 공통 전극(미도시)이 형성된 상부 기판(520)을 포함할 수 있다. 액정층(미도시)은 하부 기판(510)과 상부 기판(520) 사이에 배치되어, 광스위치 역할을 한다. 게이트 칩-온-필름 패키지(300A)는 게이트 라인들(501)에 연결되고, 데이터 칩-온-필름 패키지(300B)는 데이터 라인들(502)에 연결된다. 인쇄회로기판(400) 상에는 게이트 칩-온-필름 패키지(300A)와 데이터 칩-온-필름 패키지(300B)에 전원과 신호를 동시에 인가할 수 있는 하나 이상의 구동 회로 칩(410)이 실장될 수 있다.
칩-온-필름 패키지(300A, 300B)에 있어서, 외부 접속용 리드(20b, 도 1의 21b, 22b 참조)가 절연성 필름 기판의 제 1 주면(11)에만 형성된 경우, 칩-온-필름 패키지(300A, 300B)는 외부 접속용 리드와 액정 디스플레이 패널(500)의 게이트 라인들(501) 및 데이터 라인들(502) 사이에 배치되는 이방 도전성 필름(anisotropic conductive film; 600)에 의해 디스플레이 패널(500)에 접속될 수 있다. 마찬가지로, 인쇄회로기판(400)과 칩-온-필름 패키지(300A, 300B)도 칩-온-필름 패키지(300A, 300B)의 외부 접속용 리드(20b)와 인쇄회로기판(400)의 리드들(411) 사이에 배치되는 이방 도전성 필름(600)에 의해 서로 접속될 수 있다
그러나, 본 발명은 이에 제한되지 않으며, 액정 디스플레이 패널(500) 및/또는 인쇄회로기판(400)과 같은 외부 회로에 칩-온-필름 패키지(300A, 300B)를 접속시키기 위하여, 이방 도전성 페이스트와 같은 다른 공지의 접속 방법이 이용될 수 있다. 또는, 액정 디스플레이 패널(500) 및/또는 인쇄회로기판(400)은 칩-온-필름 패키지((300A, 300B))에 접속되기 위한 연결부로서, 복수의 단자 핀들을 갖는 커넥터를 포함할 수 있다. 예를 들면, 절연성 필름 기판(10)의 제 2 주면(12)의 측단부에도 외부 접속용 리드(도 1 및 도 4의 30b 참조)가 형성되어, 제 1 및 제 2 주면(11, 12)에 모두 외부 접속용 리드(20b 및 30b)가 형성된 경우에는, 외부 접속용 리드가 배치된 상기 절연성 필름 기판의 측단부가 삽입되면서 이들 외부 접속용 리드(20b 및 30b)에 접촉하는 복수의 단자 핀들을 포함하는 커넥터를 사용하여, 상기 외부 회로와 칩-온-필름 패키지(300A, 300B)를 서로 접속할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명이 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 게 있어 명백할 것이다.