KR101527764B1 - 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치 - Google Patents

레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치에 관한 것으로, 제1 및 제2 레이저 간섭계(10a, 10b)는 광경로차가 λ/4 씩 순차로 커지는 간섭무늬를 발생시켜 서로 다른 위치에서 검사 대상체(101)에 조사한다. 검사부(20)는 제1 및 제2 레이저 간섭계(10a, 10b)에서 발생된 광경로차가 λ/4 씩 순차로 커지는 간섭무늬가 검사 대상체(101)에 반사되어 발생되는 간섭무늬 영상을 획득하여 메인 영상처리부(30)로 출력한다. 메인 영상처리부(30)는 검사부(20)에서 입력되는 광경로차가 λ/4 씩 순차로 커지는 간섭무늬 영상을 위상처리기법으로 처리하여 검사 대상체(101)의 3차원 형상을 획득하여 검사하도록 구성됨으로써 정밀도와 노이즈에 대한 저항력이 좋은 3차원 형상을 얻을 수 있다.

Description

레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치{3 dimension image measuring apparatus using a laser interferometer}
본 발명은 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 간섭계의 제1 및 제2 미러를 각각 λ/4 씩 순차로 커지게 반복적으로 이동시켜 레이저가 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 간섭무늬를 발생하게 하고 검사 대상체에 격자무늬를 조사(照射)하고 검사부에서 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 간섭무늬 영상을 획득하고 메인 영상처리부에서 위상천이기법으로 처리하여 검사 대상체의 3차원 형상을 획득하여 검사할 수 있는 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치에 관한 것이다.
종래 관찰 대상물의 높이를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 방법이 다수 제안되었다. 제안된 종래 기술로는 광삼각법(optical triangulation), 광촉침식(optical profilometry), 공초점현미경(confocal microscopy), 모아 레(moire) 무늬 등을 이용한 비접촉식 측정법 등이 있다. 상기 기술들은 대상물에 손상을 입히지 않는 장점으로 인하여 널리 이용되고 있었다.
상기 3차원 형상 측정 방법 중 모아레 무늬를 이용한 형상 측정 방식은 측정하고자 하는 물체의 표면에 일정 형태를 가지는 두 개 이상의 주기적인 패턴이 겹쳐지는 간섭 무늬를 측정 및 해석하여 물체 표면의 높이에 대한 정보를 획득하는 것이다.
일반적으로, 모아레 무늬를 이용한 3차원 형상 측정 방법에는 그림자식 모아레(shadow moire)와 투영식 모아레(projection moire) 방법으로 구분된다.
상기 그림자식 모아레(shadow moire)는 렌즈를 사용하지 않고 피사체의 표면에 나타나는 격자무늬의 그림자로부터 생성된 모아레 무늬를 이용하여 피사체의 형상을 측정하는 방식이고, 상기 투영식 모아레(shaw moire)는 피사체의 백색광 내지는 단색광 프로젝터를 이용해서 격자패턴을 주사하고 물체의 형상에 따라 변형되어진 격자 이미지를 주사하여 한 격자와 동일한 피치를 가지는 기준격자에 겹침으로써 모아레 무늬를 획득하는 기술이 있었다.
그러나 상술한 그림자식 모아레를 이용한 3차원 형상 측정 장치는 설비가 간단한 장점이 있지만 격자의 그림자를 이용해야 하기 때문에 격자와 피사체를 충분히 근접시킬 수 있는 경우에만 적용되는 문제점이 있었다.
투영식 모아레는 격자의 크기에 의해서 대상 물체의 크기가 제한받지 않고, 작은 높이 차를 갖는 미세한 물체의 측정시 물체 가까이 위치시켜야 하는 제한이 없기 때문에 선호되고 있지만, 투영식 모아레 방식은 일정한 각도로 기울여서 피사체에 격자무늬를 투영하므로 상기 기울어진 각도에 의해서 피사체의 높이에 의해 투영되는 곳의 반대편은 그림자가 발생되며, 상기 발생된 그림자를 제거하기 위하여 한쪽 투영방식에서 투영체를 중심으로 양쪽으로 격자무늬를 투영하는 방식이 사용되었다.
이러한 문제를 해결하기 위하여 본 출원인은 대한민국 등록특허 제10-0982051호에 수십 만개의 미세 거울을 반도체 칩으로 집적화시킨 DMD(Digital Micromirror Device)를 이용하여, 위상 천이(PSI) 방식에 따라 격자 이미지를 생성하고, DMD의 내부 또는 외부에 구비되는 프로젝션 렌즈를 통해 측정 대상물에 투영함으로써, 서로 λ/4 만큼의 위상차가 발생되는 4개의 격자 이미지를 순차적으로 투영한 이후, 순차적으로 투영된 격자 이미지가 반사된 결과를 종래의 위상 천이 기법(PSI)에 따라 처리하여 3차원 영상을 획득할 수 있는 "ＤＭＤ를 이용한 모아레 영상 측정 장치"를 도 1에 도시된 바와 같이 제안하였다.
도 1은 종래 기술의 일 실시예에 따른 모아레 영상 측정 장치의 일례를 나타내는 개략도이다.
도 1을 참조하면, 적어도 두 개의 DMD(131, 132)를 구비하며, 각각의 DMD(131, 132)는 조명(111, 112)과 렌즈(121, 122)를 통해 광을 입력받는다. 도시된 제1 DMD(131)는 제1 조명(111)으로부터 빛을 공급받아 위상 천이된 제1 격자 이미지를 생성하고, 제2 DMD(132)는 제2 조명(112)으로부터 빛을 공급받아 위상 천이된 제2 격자 이미지를 생성한다.
상기 제1 격자 이미지 및 제2 격자 이미지는 제1 광 투영부(141)과 제2 광 투영부(151)로 각각 전달된다. 각각의 광 투영부는 프로젝션 렌즈 등의 광학 수단을 이용하여 상기 제1 및 제2 격자 이미지를 측정 대상물(160)에 투영시킨다.
상기 제1 광 투영부(141)는 렌즈를 통해 제1 방향으로 격자 이미지를 투영하고, 상기 제2 광 투영부(142)는 렌즈를 통해 제2 방향으로 격자 이미지를 투영한다.
상기 제1 광 투영부(141)는 렌즈를 통해 제1 방향으로 격자 이미지를 투영하고, 상기 제2 광 투영부(142)는 렌즈를 통해 제2 방향으로 격자 이미지를 투영한다.
복수의 광 투영부(141, 151)를 통해 측정 대상물(160)을 서로 다른 방향에서 관찰할 수 있다. 따라서 측정 대상물(160)을 어느 일 방향에서 관찰하는 경우에 발생하는 그림자 등의 문제를 해결할 수 있다. 측정 대상물(160)로부터 반사되는 격자 이미지는, 결상 렌즈(170)를 통하여, 카메라로 구현 가능한 격자 이미지 수광부(180)에 의해 수광된다.
제1 DMD(131)에 의해 투영된 격자 이미지가 반사된 결과와 제 2 DMD(132)에 의해 투영된 격자 이미지가 반사된 결과가 각각 별개로 수광된다. 별개로 수광된 각각의 결과는 영상 처리부(미도시)에 의해 영상 처리된다.
이 종래의 기술에 의한 모아레 영상 측정 장치는 DMD를 이용하여 격자 이송의 효과를 냄으로써 기계적 격자 이송시 진동 등으로 인한 잡음신호의 발생을 배제할 수 있지만, 수직방향으로 높이 변화가 큰 경우 오차가 발생하는 문제점이 있었다.
대한민국 특허공개 제10-2008-0099008호(2008.11.12. 공개) 대한민국 특허등록 제10-0612932호 (2006.08.08. 등록) 대한민국 특허등록 제10-0847433호 (2008.07.15. 등록) 대한민국 특허등록 제10-0870930호 (2008.11.21. 등록)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 간섭계의 제1 및 제2 미러를 정밀 스테이지로 이동시켜 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 간섭무늬를 발생시켜 검사 대상체에 조사(照射)하고 검사부에서 간섭무늬 영상을 획득하고 메인 영상처리부에서 위상천이기법으로 처리하여 정밀도와 노이즈에 대한 저항력이 좋은 검사 대상체의 3차원 형상을 획득하여 검사할 수 있는 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치는 광경로차가 λ/4 씩 순차로 커지는 간섭무늬를 발생시켜 서로 다른 위치에서 검사 대상체에 조사하는 제1 및 제2 레이저 간섭계와; 상기 제1 및 제2 레이저 간섭계에서 발생된 광경로차가 λ/4 씩 순차로 커지는 간섭무늬가 검사 대상체에 반사되어 발생되는 간섭무늬 영상을 획득하여 메인 영상처리부로 출력하는 검사부와; 상기 검사부에서 입력되는 광경로차가 λ/4 씩 순차로 커지는 간섭무늬 영상을 위상처리기법으로 처리하여 상기 검사 대상체의 3차원 형상을 획득하여 검사하는 메인 영상처리부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 레이저 간섭계는, 레이저를 발생시키는 레이저 다이오드와; 상기 레이저 다이오드에서 발생된 레이저에서 스펙클 노이즈를 제거하는 스펙클 노이즈 제거기와; 상기 레이저 다이오드에서 발생되는 레이저를 두 방향으로 분리시키는 빔 스플리터와; 상기 빔 스플리터에서 분리된 2개의 레이저 중 하나를 각각 반사시키는 제1 및 제2 미러와; 상기 제1 및 제2 미러를 각각 틸트시키는 제1 및 제2 틸트 스테이지와; 상기 제1 및 제2 미러를 각각 λ/4 씩 순차로 커지게 이동시키는 제1 및 제2 정밀 스테이지와; 상기 제1 및 제2 미러에서 반사되는 레이저들을 편광시키는 편광판과; 상기 편광판을 통과한 레이저들을 평행하게 하는 콜리메이팅 렌즈와; 상기 제1 및 제2 정밀 스테이지를 제어하여 상기 제1 및 제2 미러를 이동시켜 광경로가 λ/4 씩 순차로 커지게 이동시키는 간섭계 컨트롤러를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 제 1 및 제2 정밀 스테이지는 리니어 스테이지, 초음파 스테이지, 피에조 스테이지로 구성되며, 상기 간섭계 콘트롤러에 의해 제어되며 상기 제1 및 제2 미러를 각각 λ/4 씩 순차로 커지게 이동시켜 상기 제1 미러를 제2 미러에 대해 λ/4 씩 순차로 커지는 광 경로차를 갖게 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 메인 영상처리부는 제1 및 제2 정밀 스테이지가 피에조 스테이지로 구성된 경우, 상기 간섭계 콘트롤러에 제어신호를 출력하여 제1 및 제2 미러가 λ/4 의 배수 경로차를 가지도록 제1 및 제2 정밀 스테이지에 제1 내지 제 4 위치전압 을 인가하도록 하고, 제1 내지 제 4 영상획득 신호를 순차로 상기 검사부에 출력하여 상기 검사 대상체에 조사된 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 다수의 간섭무늬 영상을 촬영하여 위상천이기법으로 상기 검사 대상체의 3차원 형상을 획득하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 메인 영상 처리부는 상기 검사 대상체에서 반사되는 λ/4 의 배수 경로차를 가지는 4개의 간섭무늬 영상을 입력받아 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 4 개의 간섭무늬에 대응하는 광강도(I1, I2, I3, I4)를 산출하고 상기 간섭무늬 영상의 각 픽셀 위치(x,y)에서 위상천이기법을 이용하여 다음 식에 의해,
φ(x,y)=tan-1{(I2-I4)/(I1-I3)}
상기 간섭무늬 영상에서 각 픽셀 위치(x,y)에서의 위상 값을 산출하고, 기준파장을 이용하여 해당 픽셀 위치(x,y)에서 위치높이를 산출하여 상기 검사 대상체의 3차원 형상을 획득하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 레이저 간섭계는 4개의 레이저 간섭계를 상기 검사부를 중심으로 서로 직각을 이루면서 좌,우측 방향 및 전후방향으로 설치하여 좌,우측 방향 및 전후방향에서 제1 내지 제 4 간섭무늬를 발생시켜 상기 검사 대상체의 3차원 형상을 좌,우측 방향 및 전후방향에서 획득할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
다른 실시예의 본 발명에 의한 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치는 검사 대상체에 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 원형의 간섭무늬를 순차로 경로차를 증가시키면서 조사하는 레이저 간섭계와; 상기 레이저 간섭계에 의해 검사 대상체에 조사되는 간섭무늬를 촬영하여 메인 영상처리부로 출력하는 제1 및 제2 검사부와; 상기 제1 및 제2 검사부에서 입력되는 광경로차가 λ/4 씩 순차로 커지는 간섭무늬 영상을 위상처리기법으로 처리하여 상기 검사 대상체의 3차원 형상을 획득하여 검사하는 메인 영상처리부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 제1 및 제2 검사부는 4개의 검사부로 대체되며, 상기 4개의 검사부는 서로 90°의 각을 이루도록 설치되며, 상기 검사 대상체에서 반사되어 발생되는 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 간섭무늬를 촬영하고, 촬영된 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 간섭무늬의 영상을 메인 영상 처리부로 출력하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치는, 간섭계의 미러를 정밀 스테이지로 이동시켜 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 간섭무늬를 발생시켜 검사 대상체에 조사(照射)하고 검사 대상체에 조사된 간섭무늬 영상을 획득하여 위상천이기법으로 처리함으로써 정밀도와 노이즈에 대한 저항력이 좋은 3차원 형상을 얻을 수 있다.
도 1 은 종래 기술의 일 실시예에 따른 모아레 영상 측정 장치의 일례를 나타내는 개략도,
도 2 는 본 발명에 의한 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치의 구성을 나타내는 블록도,
도 3 은 본 발명에 의한 레이저 간섭계의 구성을 나타내는 블록도,
도 4 는 본 발명에 의한 3차원 형상검사 장치에 의해 검사 대상체에 형성된 간섭무늬와 검사부,
도 5a 는 본 발명에 의한 제1 및 제2 레이저 간섭계에 의해 발생되는 간섭무늬를 검사부에서 촬영한 영상,
도 5b 는 본 발명에 의한 제1 및 제2 정밀 스테이지를 피에조 스테이지로 구성하고 메인 영상처리부가 간섭무늬 영상을 획득하기 위해 출력하는 제어신호의 타이밍 차트,
도 6 은 본 발명에 의한 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상검사 장치의 다른 실시예,
도 7 은 본 발명에 의한 4개의 레이저 간섭계가 만들어내는 간섭무늬 영상의 일 실시예,
도 8 은 본 발명에 의한 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상검사 장치의 또 다른 실시예,
도 9 는 본 발명에 의한 레이저 간섭계가 발생시키는 원형의 간섭무늬를 좌측과 우측의 검사부에서 촬영하는 상태를 나타내는 평면도,
도 10 은 본 발명에 의한 레이저 간섭계에 의해 검사 대상체에 조사되는 간섭무늬를 4개의 검사부가 촬영하는 실시예이다.
이하에서는 도면에 도시된 실시예를 참조하여 본 발명에 따른 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치를 상세하게 설명한다.
도 2 에 본 발명에 의한 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치의 구성을 나타내는 블록도가 도시되고, 도 3에 본 발명에 의한 레이저 간섭계의 구성을 나타내는 블록도가 도시된다.
본 발명에 따른 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치(100)는, 광경로차가 λ/4 씩 순차로 커지는 간섭무늬를 발생시켜 서로 다른 위치에서 검사 대상체(101)에 조사하는 제1 및 제2 레이저 간섭계(10a, 10b)와; 상기 제1 및 제2 레이저 간섭계(10a, 10b)에서 발생된 광경로차가 λ/4 씩 순차로 커지는 간섭무늬가 검사 대상체(101)에 반사되어 발생되는 간섭무늬 영상을 획득하여 메인 영상처리부(30)로 출력하는 검사부(20)와; 상기 검사부(20)에서 입력되는 광경로차가 λ/4 씩 순차로 커지는 간섭무늬 영상을 위상처리기법으로 처리하여 상기 검사 대상체(101)의 3차원 형상을 획득하여 검사하는 메인 영상처리부(30)를 포함하여 구성된다.
본 발명에 의한 제1 및 제2 레이저 간섭계(10a, 10b)는 서로 동일한 구성이며 서로 180°다른 위치에서 간섭무늬를 검사 대상체(101)에 투영하기 위해 사용되므로 설명을 간단하고 명확하게 하기 위해 대표 부호 "10"을 붙인 레이저 간섭계(10)에 대해 설명한다.
본 발명에 의한 레이저 간섭계(10)는 레이저를 발생시키는 레이저 다이오드(11)와; 상기 레이저 다이오드(11)에서 발생된 레이저에서 스펙클 노이즈를 제거하는 스펙클 노이즈 제거기(12)와; 상기 레이저 다이오드(11)에서 발생되는 레이저를 두 방향으로 분리시키는 빔 스플리터(13)와; 상기 빔 스플리터(13)에서 분리된 2개의 레이저 중 하나를 각각 반사시키는 제1 및 제2 미러(14a, 14b)와; 상기 제1 및 제2 미러(14a, 14b)를 각각 틸트시키는 제1 및 제2 틸트 스테이지(15a, 15b)와; 상기 제1 및 제2 미러(16a, 16b)를 각각 λ/4 씩 순차로 커지게 이동시키는 제1 및 제2 정밀 스테이지(16a, 16b)와; 상기 제1 및 제2 미러(14a, 14b)에서 반사되는 레이저들을 편광시키는 편광판(17)과; 상기 편광판(17)을 통과한 레이저들을 평행하게 하는 콜리메이팅 렌즈(18)와; 상기 제1 및 제2 정밀 스테이지(16a, 16b)를 제어하여 상기 제1 및 제2 미러(16a, 16b)를 이동시켜 광경로가 λ/4 씩 순차로 커지게 이동시키는 간섭계 컨트롤러(19)를 포함하여 구성된다.
레이저 다이오드(11)는 예를 들면, 반도체 GaAs, Alx Ga1-xAs계 접합하여 3층으로 만들어지며 수백 ㎛각(角) 정도의 크기와 소형으로서 구동전력이 작아 가하는 전류에 의해 레이저광을 방출한다.
스펙클 노이즈 제거기(12)는 레이저의 간섭성(coherence)에 의해 발생하는 스펙클 노이즈를 제거한다.
빔 스플리터(13)는 상기 레이저 다이오드(11)에서 발생되는 레이저의 일부를 반사시켜 제1 미러(14a) 방향으로 진행시키고, 나머지 레이저는 투과시켜 제2 미러(14b) 방향으로 분리시킨다.
제1 및 제2 미러(14a, 14b)는 상기 빔 스플리터(13)에서 분리된 2개의 레이저 중 하나를 각각 반사시켜 상기 빔 스플리터(13)에서 반사되거나 투과하여 편광판(17)과 콜리메이팅 렌즈(18)를 통해 검사 대상체(101)에 간섭무늬를 발생시킨다.
제1 및 제2 틸트 스테이지(15a, 15b)는 상기 간섭계 콘트롤러(19)에 의해 제어되며 상기 제1 및 제2 미러(14a, 14b)의 방향을 조정하여 상기 제1 및 제2 미러(14a, 14b)에서 반사된 레이저가 상기 빔 스플리터(13)에 수직으로 입사할 수 있도록 조정한다.
제 1 및 제2 정밀 스테이지(16a, 16b)는 리니어 스테이지, 초음파 스테이지, 피에조 스테이지 등으로 구성되며, 상기 간섭계 콘트롤러(19)에 의해 제어되며 상기 제1 및 제2 미러(14a, 14b)를 각각 λ/4 씩 순차로 커지게 이동시켜 상기 제1 미러(14a)를 제2 미러(14b)에 대해 λ/4 씩 순차로 커지는 광경로차를 갖게 한다.
편광판(17)은 상기 제1 및 제2 미러(14a, 14b)에서 반사되는 레이저들을 직선편광, 원편광, 타원편광 등으로 만들어 투과시킨다.
콜리메이팅 렌즈(18)는 상기 편광판(17)을 투과한 레이저들을 평행하게 하여 검사 대상체(101)에 조사한다.
본 발명에 의한 간섭계 콘트롤러(19)는 1 및 제2 정밀 스테이지(16a, 16b)와 제1 및 제2 틸트 스테이지(15a, 15b)를 제어하여 제1 및 제2 미러(14a, 14b)를 각각 λ/4 씩 순차로 커지게 반복적으로 이동시켜 레이저 다이오드(11)에서 발생된 레이저가 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 간섭무늬를 발생하게 한다.
도 4에 본 발명에 의한 3차원 형상검사 장치에 의해 검사 대상체에 형성된 간섭무늬와 검사부의 위치를 나타내고, 도 5a에 본 발명에 의한 제1 및 제2 레이저 간섭계에 의해 발생되는 간섭무늬를 검사부에서 촬영한 영상을 나타내고, 도 5b에 본 발명에 의한 제1 및 제2 정밀 스테이지를 피에조 스테이지로 구성하고 메인 영상처리부가 간섭무늬 영상을 획득하기 위해 출력하는 제어신호의 타이밍 차트가 도시된다.
본 발명에 의한 제1 레이저 간섭계(10a)는 검사부(20)의 좌측에 설치되어 검사 대상체(101)에 도시된 바와 같이 λ/4 의 배수 경로차를 가지며 중심이 좌측에 있는 원형의 간섭 무늬(31)를 순차로 조사(照射)하여 검사부(20)에서 검사 대상체(101)의 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 간섭무늬 영상을 촬영할 수 있도록 한다.
제2 레이저 간섭계(10b)는 상기 제1 레이저 간섭계(10a)의 반대편, 즉 우측에 설치되어 검사 대상체(101)에 도시된 바와 같이 λ/4 의 배수 경로차를 가지며 중심이 우측에 있는 원형의 간섭 무늬(32)를 순차로 조사하여 검사부(20)에서 검사 대상체(101)의 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 간섭무늬 영상을 촬영할 수 있도록 한다.
검사부(20)는 λ/4 의 배수 경로차를 가지며 중심이 좌측에 있는 원형의 간섭 무늬(31)가 검사 대상체(101)에서 반사되는 영상을 촬영하여 메인 영상 처리부(30)로 출력한다.
메인 영상처리부(30)는 간섭계 콘트롤러(19)에 제어신호를 출력하여 제1 및 제2 미러(14a, 14b)가 λ/4 의 경로차를 가지도록 제1 및 제2 정밀 스테이지(16a, 16b)에 제1 위치전압 V1을 인가하도록 하고 안정화 시간(t1-t2), 예를 들면, 70∼80㎳을 대기하고, 상기 안정화 시간(t1-t2) 경과 후, 제1 영상획득 신호 P1 을 검사부(20)에 출력하여 영상 획득시간(t2-t3), 예를 들면 30∼40㎳ 동안 검사 대상체(101)에 조사된 λ/4 경로차를 갖는 간섭무늬 영상을 촬영한다.
이어서 메인 영상처리부(30)는 앞서와 마찬가지로 제1 및 제2 미러(14a, 14b)가 λ/2 의 경로차를 가지도록 제1 및 제2 정밀 스테이지(16a, 16b)에 제2 위치전압 V2 를 인가하도록 간섭계 콘트롤러(19)를 제어하고 안정화 시간(t3-t4)을 대기하고, 상기 안정화 시간(t3-t4) 경과 후, 제2 영상획득 신호 P2 를 검사부(20)에 출력하여 영상 획득시간(t4-t5) 동안 검사 대상체(101)에 조사된 λ/2 경로차를 갖는 간섭무늬 영상을 촬영한다.
다음에 메인 영상처리부(30)는 제3 위치전압 V3 을 제1 및 제2 정밀 스테이지(16a, 16b)에 인가하도록 제어하고, 제3 영상획득 신호 P3 를 검사부(20)에 출력하여 검사 대상체(101)에 조사된 3λ/4 경로차를 갖는 간섭무늬 영상을 촬영한다.
마찬가지로 메인 영상처리부(30)는 제4 위치전압 V4 을 제1 및 제2 정밀 스테이지(16a, 16b)에 인가하도록 제어하고, 제4 영상획득 신호 P4 를 검사부(20)에 출력하여 검사 대상체(101)에 조사된 λ 경로차를 갖는 간섭무늬 영상을 촬영한다.
메인 영상 처리부(30)에서는 검사 대상체(101)에서 반사되는 λ/4 의 배수 경로차를 가지며 중심이 좌측에 있는 원형의 간섭 무늬(31) 영상을 처리하여 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 4 개의 간섭무늬(31)에 대응하는 광강도(I1, I2, I3, I4)를 산출하고 각 픽셀 위치(x,y)에서 위상천이기법을 이용하여 다음 식에 의해 위상 φ 를 얻는다.
φ(x,y)=tan-1{(I2-I4)/(I1-I3)}
이와 같이 4 개의 간섭무늬(31)에 대응하는 광강도(I1, I2, I3, I4)에 의해 간섭무늬 영상에서 각 픽셀 위치(x,y)에서의 위상 값을 산출하고, 기준파장을 이용하여 해당 픽셀 위치(x,y)에서 위치높이를 산출하여 상기 검사 대상체(101)의 좌측 3차원 형상을 획득한다.
이어서 검사부(20)는 중심이 우측에 있는 원형의 격자 무늬(32)가 검사 대상체(101)에서 반사되는 영상을 촬영하여 메인 영상 처리부(30)로 출력하고, 메인 영상 처리부(30)에서는 검사 대상체(101)에서 반사되는 중심이 우측에 있는 원형의 격자 무늬(32) 영상을 위상천이기법을 이용하여 앞서와 같이 처리함으로써 상기 검사 대상체(101)의 우측 3차원 형상을 획득한다.
메인 영상 처리부(30)는 중심이 좌측에 있는 원형의 간섭무늬(31) 영상과 중심이 우측에 있는 원형의 간섭무늬(32) 영상을 처리하여 획득한 좌측 3차원 형상과 우측 3차원 형상을 조합하여 검사 대상체(101)의 전체 3차원 형상을 획득한다.
도 6 에 본 발명에 의한 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상검사 장치의 다른 실시예가 도시되고, 도 7에 본 발명에 의한 4개의 레이저 간섭계가 만들어내는 간섭무늬 영상의 일 실시예가 도시된다.
본 실시예의 3차원 형상검사 장치(200)는 4개의 레이저 간섭계(10a, 10b, 10c, 10d)를 검사부(20)를 중심으로 서로 직각을 이루면서 좌,우측 방향 및 전후방향으로 설치하여 좌,우측 방향 및 전후방향에서 제1 내지 제 4 간섭무늬(31, 32, 33, 34)를 발생시켜 검사 대상체(101)의 3차원 형상을 좌,우측 방향 및 전후방향에서 획득할 수 있도록 한다.
제1 내지 제4 간섭무늬(31, 32, 33, 34)는 제1 내지 제4 레이저 간섭계(10a, 10b, 10c, 10d)에 의해 발생되고, 각각 λ/4 의 배수 경로차를 가지며 좌측, 우측, 전방측 및 후방측에 중심이 있는 원형 간섭무늬이다.
검사부(20)는 도 7에 도시된 바와 같이 각각 λ/4 의 배수 경로차를 가지며 좌측, 우측, 전방측 및 후방측에 중심이 있는 제1 내지 제 4 간섭무늬(31, 32, 33, 34)의 영상을 획득하여 메인 영상 처리부(30)로 출력하고, 메인 영상 처리부(30)에서는 제1 내지 제 4 간섭무늬(31, 32, 33, 34)의 영상을 앞서 설명한 바와 같이 위상천이기법을 이용하여 처리함으로써 상기 검사 대상체(101)의 좌측, 우측, 전방측 및 후방측 3차원 형상을 획득하고 조합하여 전체 3차원 형상을 획득한다.
도 8에 본 발명에 의한 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상검사 장치의 또 다른 실시예가 도시되고, 도 9 에 본 발명에 의한 레이저 간섭계가 발생시키는 원형의 간섭무늬를 좌측과 우측의 검사부에서 촬영하는 상태를 나타내는 평면도가 도시된다.
본 실시예에 의한 3차원 형상검사 장치(300)는 검사 대상체(101)에 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 원형의 간섭무늬(60)를 순차로 경로차를 증가시키면서 조사하는 레이저 간섭계(40)와; 상기 레이저 간섭계(40)에 의해 검사 대상체(101)에 조사되는 간섭무늬(60)를 촬영하여 메인 영상처리부로 출력하는 제1 및 제2 검사부(51, 52)와; 상기 제1 및 제2 검사부(51, 52)에서 입력되는 광경로차가 λ/4 씩 순차로 커지는 간섭무늬 영상을 위상처리기법으로 처리하여 상기 검사 대상체(101)의 3차원 형상을 획득하여 검사하는 메인 영상처리부(30)를 포함하여 구성된다.
본 실시예의 레이저 간섭계(40)는 앞서의 실시예에서 레이저 간섭계(10a, 10b)와 동일하며, λ/4 의 배수 경로차를 갖는 완전 원형의 간섭무늬(60)를 순차로 경로차를 증가시키면서 검사 대상체(101)에 조사한다.
제1 및 제2 검사부(51, 52)는 서로 반대편에 마주보며 설치되어 검사 대상체(101)에서 반사되어 발생되는 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 원형의 간섭무늬(60)를 촬영하고, 촬영된 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 원형의 간섭무늬(60)의 영상을 메인 영상 처리부(30)로 출력한다.
메인 영상 처리부(30)는 검사 대상체(101)에서 반사되는 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 원형의 간섭무늬(60) 영상을 처리하여 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 4 개의 간섭무늬(60)에 대응하는 광강도(I1, I2, I3, I4)를 산출하고 각 픽셀 위치(x,y)에서 위상천이기법을 이용하여 위상 φ 를 얻고, 상기 위상 φ 와 기준파장을 이용하여 해당 픽셀 위치(x,y)에서 위치높이를 산출하여 상기 검사 대상체(101)의 3차원 형상을 획득한다.
또 다른 실시예로서 검사 대상체(101)에 조사되는 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 원형의 간섭무늬(60)를 도 10에 도시된 바와 같이 4 개의 검사부(51, 52, 53, 54)를 사용하여 촬영할 수 있다.
4개의 검사부(51, 52, 53, 54)는 서로 90°의 각을 이루도록 설치되며, 검사 대상체(101)에서 반사되어 발생되는 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 원형의 간섭무늬(60)를 촬영하고, 촬영된 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 원형의 간섭무늬(60)의 영상을 메인 영상 처리부(30)로 출력한다.
메인 영상 처리부(30)는 4 개의 검사부(51, 52, 53, 54)로부터 입력되는 검사 대상체(101)에서 반사되는 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 원형의 간섭무늬(60) 영상을 처리하여 위상천이기법을 이용하여 위상 φ 를 얻고, 상기 위상 φ 와 기준파장을 이용하여 해당 픽셀 위치(x,y)에서 위치높이를 산출하여 상기 검사 대상체(101)의 3차원 형상을 획득한다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 실시예는 본 발명을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 발명의 보호범위는 이하의 특허청구범위에 기재된 사항에 의해서만 정하여지며, 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 개량 및 변경된 실시예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속한다.
10a,10b: 제1 및 제2 레이저 간섭계 11: 레이저 다이오드
12: 스펙클 노이즈 제거기 13: 빔 스플리터
14a,14b: 제1 및 제2 미러 15a,15b: 제1 및 제2 틸트 스테이지
16a,16b: 제1 및 제2 정밀 스테이지 17: 편광판
18: 콜리메이팅 렌즈 19: 간섭계 컨트롤러
20: 검사부 30: 메인 영상처리부
31,32,33,34: 제1 내지 제4 간섭무늬 40: 레이저 간섭계 51, 52: 제1 및 제2 검사부 60: 간섭무늬
100: 3차원 형상검사 장치 101: 검사 대상체

Claims (8)

  1. 광경로차가 λ/4 씩 순차로 커지는 간섭무늬를 발생시켜 서로 다른 위치에서 검사 대상체에 조사하는 제1 및 제2 레이저 간섭계와;
    상기 제1 및 제2 레이저 간섭계에서 발생된 광경로차가 λ/4 씩 순차로 커지는 간섭무늬가 검사 대상체에 반사되어 발생되는 간섭무늬 영상을 획득하여 메인 영상처리부로 출력하는 검사부; 및
    상기 검사부에서 입력되는 광경로차가 λ/4 씩 순차로 커지는 간섭무늬 영상을 위상처리기법으로 처리하여 상기 검사 대상체의 3차원 형상을 획득하여 검사하는 메인 영상처리부;를 포함하여 구성되되,
    상기 레이저 간섭계는,
    레이저를 발생시키는 레이저 다이오드와;
    상기 레이저 다이오드에서 발생된 레이저에서 스펙클 노이즈를 제거하는 스펙클 노이즈 제거기와;
    상기 레이저 다이오드에서 발생되는 레이저를 두 방향으로 분리시키는 빔 스플리터와;
    상기 빔 스플리터에서 분리된 2개의 레이저 중 하나를 각각 반사시키는 제1 및 제2 미러와;
    상기 제1 및 제2 미러를 각각 틸트시키는 제1 및 제2 틸트 스테이지와;
    상기 제1 및 제2 미러를 각각 λ/4 씩 순차로 커지게 이동시키는 제1 및 제2 정밀 스테이지와;
    상기 제1 및 제2 미러에서 반사되는 레이저들을 편광시키는 편광판과;
    상기 편광판을 통과한 레이저들을 평행하게 하는 콜리메이팅 렌즈와;
    상기 제1 및 제2 정밀 스테이지를 제어하여 상기 제1 및 제2 미러를 이동시켜 광경로가 λ/4 씩 순차로 커지게 이동시키는 간섭계 컨트롤러;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제2 정밀 스테이지는 리니어 스테이지, 초음파 스테이지, 피에조 스테이지로 구성되며, 상기 간섭계 콘트롤러에 의해 제어되며 상기 제1 및 제2 미러를 각각 λ/4 씩 순차로 커지게 이동시켜 상기 제1 미러를 제2 미러에 대해 λ/4 씩 순차로 커지는 광 경로차를 갖게 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 메인 영상처리부는 제1 및 제2 정밀 스테이지가 피에조 스테이지로 구성된 경우, 상기 간섭계 콘트롤러에 제어신호를 출력하여 제1 및 제2 미러가 λ/4 의 배수 경로차를 가지도록 제1 및 제2 정밀 스테이지에 제1 내지 제 4 위치전압 을 인가하도록 하고, 제1 내지 제 4 영상획득 신호를 순차로 상기 검사부에 출력하여 상기 검사 대상체에 조사된 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 다수의 간섭무늬 영상을 촬영하여 위상천이기법으로 상기 검사 대상체의 3차원 형상을 획득하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치.
  5. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 메인 영상 처리부는 상기 검사 대상체에서 반사되는 λ/4 의 배수 경로차를 가지는 4개의 간섭무늬 영상을 입력받아 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 4 개의 간섭무늬에 대응하는 광강도(I1, I2, I3, I4)를 산출하고 상기 간섭무늬 영상의 각 픽셀 위치(x,y)에서 위상천이기법을 이용하여 다음 식에 의해,
    φ(x,y)=tan-1{(I2-I4)/(I1-I3)}
    상기 간섭무늬 영상에서 각 픽셀 위치(x,y)에서의 위상 값을 산출하고, 기준파장을 이용하여 해당 픽셀 위치(x,y)에서 위치높이를 산출하여 상기 검사 대상체의 3차원 형상을 획득하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치.
  6. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 레이저 간섭계는 4개의 레이저 간섭계를 상기 검사부를 중심으로 서로 직각을 이루면서 좌,우측 방향 및 전후방향으로 설치하여 좌,우측 방향 및 전후방향에서 제1 내지 제 4 간섭무늬를 발생시켜 상기 검사 대상체의 3차원 형상을 좌,우측 방향 및 전후방향에서 획득할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치.
  7. 검사 대상체에 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 원형의 간섭무늬를 순차로 경로차를 증가시키면서 조사하는 레이저 간섭계와;
    상기 레이저 간섭계에 의해 검사 대상체에 조사되는 간섭무늬를 촬영하여 메인 영상처리부로 출력하는 제1 및 제2 검사부와;
    상기 제1 및 제2 검사부에서 입력되는 광경로차가 λ/4 씩 순차로 커지는 간섭무늬 영상을 위상처리기법으로 처리하여 상기 검사 대상체의 3차원 형상을 획득하여 검사하는 메인 영상처리부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 검사부는 4개의 검사부로 대체되며, 상기 4개의 검사부는 서로 90°의 각을 이루도록 설치되며, 상기 검사 대상체에서 반사되어 발생되는 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 간섭무늬를 촬영하고, 촬영된 λ/4 의 배수 경로차를 갖는 간섭무늬의 영상을 메인 영상 처리부로 출력하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101893948B1 (ko) 2017-05-12 2018-09-04 휴멘 주식회사 다채널 광간섭 측정 장치
KR20190033366A (ko) * 2017-09-21 2019-03-29 (주)테크윙 형상 측정장치
DE102020119194A1 (de) 2020-07-21 2022-01-27 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren zur berührungslosen optischen Prüfung von Freiformflächen und Gittern
CN114910013A (zh) * 2022-04-07 2022-08-16 上海盛相工业检测科技有限公司 一种基于相位偏折法的三维检测方法及***

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080099008A (ko) * 2007-05-08 2008-11-12 주식회사 고영테크놀러지 다방향 영사식 모아레 간섭계 및 이를 이용한 검사방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080099008A (ko) * 2007-05-08 2008-11-12 주식회사 고영테크놀러지 다방향 영사식 모아레 간섭계 및 이를 이용한 검사방법

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
김대근 외 5명. ‘내진동성 위상 천이 간섭계의 개발’. 한국광학회 2007년도 하계학술발표회, 25-26 페이지, 2007.7. *
김대근 외 5명. ‘내진동성 위상 천이 간섭계의 개발’. 한국광학회 2007년도 하계학술발표회, 25-26 페이지, 2007.7. 1부. *
김대근 외 5명. ‘내진동성 위상 천이 간섭계의 개발’. 한국광학회 2007년도 하계학술발표회, 25-26 페이지, 2007.7.*

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101893948B1 (ko) 2017-05-12 2018-09-04 휴멘 주식회사 다채널 광간섭 측정 장치
KR20190033366A (ko) * 2017-09-21 2019-03-29 (주)테크윙 형상 측정장치
KR102400937B1 (ko) * 2017-09-21 2022-05-24 (주)테크윙 형상 측정장치
KR20220070186A (ko) * 2017-09-21 2022-05-30 (주)테크윙 형상 측정장치
KR102524233B1 (ko) * 2017-09-21 2023-04-24 (주)테크윙 형상 측정장치
DE102020119194A1 (de) 2020-07-21 2022-01-27 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren zur berührungslosen optischen Prüfung von Freiformflächen und Gittern
DE102020119194B4 (de) 2020-07-21 2022-06-15 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen optischen Prüfung von Freiformflächen und Gittern
CN114910013A (zh) * 2022-04-07 2022-08-16 上海盛相工业检测科技有限公司 一种基于相位偏折法的三维检测方法及***

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