KR101522538B1 - Solar wafer cassette transfer robot - Google Patents

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KR101522538B1
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정찬수
한윤호
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창성 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a robot which transfers a solar wafer from a cleaning process for manufacturing a solar cell to cleaning, dehydrating, and drying processes. The present invention relates to a solar wafer cassette transfer robot which increases a processing yield and a productivity by reducing a returning time of the solar wafer, prevents a damage or a distortion of the solar wafer by stably chucking the cassette and returning the cassette, and reduces a processing line by being installed in a small space. The present invention comprises a housing which is arranged inside a clean room and has a guild rail vertically installed therein, detecting sensors respectively installed on the upper portion and the lower portion, and a transferring block installed on the rear portion; a chucking unit which is installed in the guide rail of the housing to be transferred vertically, and comprises one or more hooks for chucking the cassette; an elevating unit which is installed in the housing and has a screw rotating by an operation of a driving motor to transfer the chucking unit vertically; a transfer unit which is installed in the housing and has a pinion rotating by the operation of the driving motor to transfer the housing horizontally inside the clean room; and a transfer housing which is longitudinally installed in a frame inside the clean room and has the guild rail horizontally installed and a rack to be engaged with the pinion of the transferring unit.

Description

솔라 웨이퍼의 카세트 이송용 로봇 {Solar wafer cassette transfer robot}Solar wafer cassette transfer robot "

본 발명은 태양전지를 제조하기 위한 크리닝 공정에서 솔라 웨이퍼를 세정과 탈수 및 건조공정으로 이송하는 로봇에 관한 기술로서, 보다 상세하게 설명하면 다수의 솔라 웨이퍼가 수납된 카세트를 척킹하는 척킹유닛이 승강유닛에 의해 상하로 승강 작동하는 한편 이송유닛에 의해 좌우로 이송 작동하여 카세트를 세정과 탈수 및 건조공정으로 반송함으로써, 솔라 웨이퍼의 반송시간을 단축하여 공정수율과 생산성을 높이고, 카세트를 보다 안정적으로 척킹하여 반송함에 따라 솔라 웨이퍼의 손상과 변형을 방지할 뿐만 아니라 협소한 공간에 설치가 가능하여 공정라인을 축소할 수 있는 솔라 웨이퍼의 카세트 이송용 로봇에 관한 기술이다.
The present invention relates to a robot for transferring a solar wafer to a cleaning, dewatering and drying process in a cleaning process for manufacturing a solar cell. More specifically, the present invention relates to a robot for chucking a cassette containing a plurality of solar wafers, And the cassette is transported to the cleaning and dewatering and drying processes by the transfer unit moving up and down by the transfer unit in the left and right directions to shorten the transportation time of the solar wafer to improve the process yield and productivity, The present invention relates to a robot for transferring a cassette of a solar wafer, which can prevent damage and deformation of a solar wafer as it is transported by chucking and can be installed in a narrow space, thereby reducing a process line.

일반적으로 석유나 석탄과 같은 화석 에너지 자원의 고갈이 예측되고, 환경오염이 대두되면서 이를 대체할 수 있는 대체 에너지에 대한 관심이 높아지고 있으며, 그 중에서도 태양 에너지 자원은 무한히 이용할 수 있고, 환경오염에 대한 문제가 없으므로, 많은 연구가 진행되고 있다.Generally, fossil energy resources such as petroleum and coal are expected to be depleted, and environmental pollution is emerging, and there is increasing interest in alternative energy that can replace them. Among them, solar energy resources can be used indefinitely, There is no problem, so much research is going on.

이러한 태양 에너지를 이용하여 발전하는 방법에는 태양빛을 열로 받아들여 발전하는 태양열 발전과, 반도체의 성질을 이용하여 태양광(photons) 에너지를 전기로 변환하는 태양광 발전으로 구분할 수 있으며, 보통 태양전지(solar cells)라고 하면 태양광 전지를 의미한다.Such a method of generating electricity by using solar energy can be classified into a solar power generation which receives sunlight as heat and a solar power generation which converts the photons energy into electricity using the property of semiconductor, (solar cells) refers to solar cells.

태양전지의 종류는 실리콘 반도체를 재료로 사용하는 것과, 화합물 반도체를 재료로 사용하는 것으로 크게 구분되고, 실리콘 반도체의 경우, 결정계와 비결정계로 분류되며, 물론 이같은 분류 외에 더욱 다양하다 할 수 있다. 태양전지의 기술 개발에 관해서는 변환효율의 향상이나 가격조정 등이 중요한 과제이며, 실리콘 및 화합물 반도체 태양전지 또한 변환효율을 높이고, 가격을 낮출 수 있는 박막 태양전지의 개발에 집중하고 있다.The types of solar cells are largely classified into those using silicon semiconductors and those using compound semiconductors. In the case of silicon semiconductors, they are classified into crystal systems and amorphous systems. Concerning the technology development of solar cell, improvement of conversion efficiency and price adjustment are important issues, and silicon and compound semiconductor solar cell also concentrate on the development of thin film solar cell which can increase conversion efficiency and lower the price.

최근 실리콘 반도체를 재료로 사용하는 태양전지는 솔라 웨이퍼(solar wafer)를 세정 - 증착 - 식각 등의 다양한 공정을 거쳐 제조되며, 이에 따라 솔라 웨이퍼를 다양한 공정으로 이동시켜 옮겨야 하는데, 이러한 경우 다수의 솔라 웨이퍼를 카세트에 수납하여 이송하고 있다.In recent years, solar cells using silicon semiconductor materials have been manufactured through various processes such as cleaning-deposition-etching, and thus, the solar wafers must be transferred to various processes to transfer them. In this case, The wafer is stored in a cassette and transferred.

또한 태양전지의 제조공정에서 솔라 웨이퍼는 미세 잔극이나 결함이 존재하므로 이를 없애고, 솔라 웨이퍼의 반사율을 감소시키기 위해 텍스쳐링(texturing) 공정을 거치며, 텍스쳐링 공정을 거친 솔라 웨이퍼는 표면의 산화막과 각종 이물질을 제거하는 크리닝 공정을 거친다.In addition, in the solar cell manufacturing process, the solar wafer is subjected to texturing process in order to reduce the reflectance of the solar wafer due to the presence of fine surplus or defects, and the solar wafer subjected to the texturing process has the surface oxide film and various foreign substances Cleaning process.

크리닝 공정은 솔라 웨이퍼가 수납된 카세트를 세정액이 수용된 다수의 배스(bath)에 순차적으로 담가 표면의 산화막과 각종 이물질을 제거하는 세정공정과, 솔라 웨이퍼에 묻은 세정액이나 물기를 제거하는 탈수공정과, 솔라 웨이퍼의 수분을 건조하는 건조공정으로 실시된다.The cleaning process includes a cleaning process of sequentially immersing a cassette containing a solar wafer in a plurality of baths containing a cleaning liquid to remove an oxide film and various foreign substances on the surface, a dewatering process of removing a cleaning liquid or moisture adhering to the solar wafer, And the drying process of drying the water of the solar wafer.

종래 크리닝 공정에서 솔라 웨이퍼를 세정과 탈수 및 건조공정으로 반송하는 이송장치는 대부분 컨베이어 또는 체인방식으로 구동하여 솔라 웨이퍼를 순차적인 공정으로 반송함에 따라 반송시간이 지연되고, 이로 인해 공정수율과 생산성이 떨어지는 한편 반송과정에서 솔라 웨이퍼에 손상과 변형이 발생할 뿐만 아니라 구조가 복잡하여 공정라인이 길어지는 문제점이 있었다.
In the conventional cleaning apparatus, the transfer device for transferring the solar wafer to the cleaning, dewatering and drying processes is driven by a conveyor or a chain method, and the transfer of the solar wafer to the sequential process results in a delay in transferring time, There is a problem that the solar wafer is damaged and deformed in the course of transportation and the structure is complicated and the process line becomes long.

대한민국 등록특허 제10-0851819호.Korean Patent No. 10-0851819. 대한민국 등록특허 제10-0978236호.Korean Patent No. 10-0978236. 대한민국 등록특허 제10-1169924호.Korean Patent No. 10-1169924. 대한민국 등록특허 제10-1308517호.Korean Patent No. 10-1308517.

본 발명은 종래 태양전지를 제조하기 위한 크리닝 공정에서 솔라 웨이퍼를 세정과 탈수 및 건조공정으로 반송하는 이송장치에 따른 문제점들을 개선하고자 안출된 기술로서, 솔라 웨이퍼의 반송시간을 단축하여 공정수율과 생산성을 높이고, 카세트를 보다 안정적으로 척킹하여 반송함으로써, 이송과정에서 솔라 웨이퍼의 손상과 변형을 방지할 뿐만 아니라 구조가 간단하고, 협소한 공간에 설치가 가능하여 공정라인을 축소할 수 있는 솔라 웨이퍼의 카세트 이송용 로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the problems associated with a transfer device for transferring a solar wafer to a cleaning, dehydrating and drying process in a cleaning process for manufacturing a conventional solar cell. The present invention reduces the transfer time of a solar wafer, And the cassette is chucked and transported more stably to prevent damage and deformation of the solar wafer during the transportation process. In addition, the structure of the solar wafer, which can be installed in a narrow space, It is an object of the present invention to provide a robot for transferring a cassette.

또한 본 발명은 솔라 웨이퍼가 수납된 카세트를 척킹하는 척킹유닛이 승강유닛에 의해 상하로 승강 작동하는 한편 이송유닛에 의해 좌우로 이송 작동하여 카세트를 세정과 탈수 및 건조공정으로 반송함에 따라 솔라 웨이퍼의 반송시간을 보다 단축하고, 설치구조가 간단하게 구성된 솔라 웨이퍼의 카세트 이송용 로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.
Further, according to the present invention, the chucking unit for chucking the cassette containing the solar wafer is vertically moved up and down by the lifting unit, while being transported to the left and right by the transporting unit to transport the cassette to the cleaning and dehydrating and drying processes, And to provide a robot for transferring a cassette of a solar wafer in which the transportation time is further shortened and the installation structure is simple.

본 발명은 상기와 같은 소기의 목적을 실현하고자,The present invention has been made to solve the above-

크린롬의 내부에 배치되고, 수직상으로 가이드레일이 설치되는 한편 상부와 하부에 각각 감지센서가 설치되며, 후방부에 이송블록이 설치된 하우징; 상기 하우징의 가이드레일에 설치되어 상하로 이송가능케 설치되고, 카세트를 척킹하는 후크가 하나 이상으로 구성된 척킹유닛; 상기 하우징에 설치되고, 구동모터의 작동으로 스크류가 회전하여 척킹유닛을 상하로 이송시키는 승강유닛; 상기 하우징에 설치되고, 구동모터의 작동으로 피니언이 회전하여 하우징을 크린롬의 내부에서 좌우로 이송시키는 이송유닛; 및 상기 크린롬의 내부에서 프레임에 길이 방향으로 설치되고, 수평상으로 가이드레일이 설치되는 한편 이송유닛의 피니언과 치합되는 래크가 설치된 이송하우징;을 포함하여 구현된다.A housing disposed in the interior of the clean room, wherein the guide rail is installed in a vertical direction, the sensing sensor is installed in the upper portion and the transporting block is provided in the rear portion, A chucking unit installed on a guide rail of the housing and provided so as to be vertically transportable and having at least one hook for chucking the cassette; An elevating unit installed in the housing and rotating the screw by the operation of the driving motor to vertically convey the chucking unit; A transfer unit installed in the housing and rotating the pinion by operation of a driving motor to transfer the housing from the inside of the clean ROM to the left and right; And a transfer housing provided in the frame in the longitudinal direction of the frame and having a guide rail on a horizontal plane and a rack coupled with a pinion of the transfer unit.

또한 본 발명의 실시예로서, 척킹유닛은 하우징의 가이드레일에 끼워져 상하로 이송가능케 설치된 승강블록; 상기 승강블록에 수직상으로 설치된 포스트; 상기 포스트의 상단에 수평상으로 설치된 암; 및 상기 암에 일정 거리로 이격되어 설치되고, 복수개로 구성되어 카세트의 양측부가 척킹되는 후크;를 포함하여 구현된다.
Further, as an embodiment of the present invention, the chucking unit may include a lift block fitted to the guide rail of the housing and vertically movable; A post vertically installed in the elevating block; An arm provided at the upper end of the post in a horizontal plane; And a hook which is installed to be spaced apart from the arm by a predetermined distance, and has a plurality of units and both sides of the cassette are chucked.

본 발명의 실시예는 솔라 웨이퍼의 반송시간을 단축하여 공정수율과 생산성을 높이고, 카세트를 보다 안정적으로 척킹하여 반송함으로써, 카세트의 이송과정에서 솔라 웨이퍼의 손상과 변형을 방지할 뿐만 아니라 구조가 간단하고, 협소한 공간에 설치가 가능하여 공정라인을 축소하는 한편 설치비용을 대폭 절감할 수 있는 효과가 있다.The embodiment of the present invention shortens the transportation time of the solar wafer to increase the process yield and productivity and more reliably chucks and transports the cassette so as to prevent damage and deformation of the solar wafer during transportation of the cassette, And can be installed in a narrow space, thereby reducing the number of process lines and greatly reducing the installation cost.

아울러, 본 발명의 실시예는 카세트를 척킹하는 척킹유닛이 승강유닛에 의해 상하로 승강 작동하는 한편 이송유닛에 의해 좌우로 이송 작동하여 카세트를 세정과 탈수 및 건조공정으로 반송함에 따라 솔라 웨이퍼의 반송시간을 보다 단축하고, 구조가 간단하여 공정라인을 축소하는 효과가 있다.
In addition, in the embodiment of the present invention, the chucking unit for chucking the cassette moves up and down by the lifting unit, while being transported to the left and right by the transporting unit to transport the cassette to the cleaning and dehydrating and drying processes, The time is further shortened and the structure is simple, thereby reducing the process line.

도 1은 본 발명에서 솔라 웨이퍼의 크리닝 공정을 나타낸 구성도.
도 2는 본 발명에서 로봇의 설치상태를 나타낸 측단면도.
도 3은 본 발명에서 로봇의 설치상태를 나타낸 요부 측단면도.
도 4는 본 발명에서 로봇의 설치상태를 나타낸 요부 정면도.
도 5는 본 발명에서 로봇의 작동상태를 나타낸 요부 측단면도.
도 6은 본 발명에서 로봇의 작동상태를 나타낸 요부 정면도.
도 7은 본 발명에서 로봇의 척킹유닛을 나타낸 요부 정면도.
도 8은 본 발명에서 카세트의 척킹상태를 나타낸 요부 측면도.
도 9는 본 발명에서 카세트의 척킹상태를 나타낸 요부 정면도.
도 10은 본 발명에서 카세트의 척킹과정을 나타낸 요부 정면도.1 is a block diagram showing a cleaning process of a solar wafer in the present invention.
2 is a side cross-sectional view showing the installation state of the robot according to the present invention.
Fig. 3 is a cross-sectional view of the main part showing the installation state of the robot in the present invention. Fig.
Fig. 4 is a front view of the main part showing the installation state of the robot in the present invention. Fig.
Fig. 5 is a cross-sectional view of the main part showing the operating state of the robot in the present invention. Fig.
FIG. 6 is a front view of the main part showing the operating state of the robot in the present invention. FIG.
Fig. 7 is a front view of the main part showing the chucking unit of the robot in the present invention. Fig.
8 is a side elevation view showing a chucking state of the cassette in the present invention.
Fig. 9 is a front view of the main part showing the chucking state of the cassette in the present invention. Fig.
Fig. 10 is a front view of the main part showing the chucking process of the cassette in the present invention. Fig.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 주요 구성을 살펴보면, 크린룸(100)의 내부에 배치되고, 수직상으로 가이드레일(11)이 설치되는 한편 상부와 하부에 각각 감지센서(12)(13)가 설치되며, 후방부에 이송블록(14)이 설치된 하우징(10); 상기 하우징(10)의 가이드레일(11)에 설치되어 상하로 이송가능케 설치되고, 카세트(60)를 척킹하는 후크(25)가 하나 이상으로 구성된 척킹유닛(20); 상기 하우징(10)에 설치되고, 구동모터(31)의 작동으로 스크류(33)가 회전하여 척킹유닛(20)을 상하로 이송시키는 승강유닛(30); 상기 하우징(10)에 설치되고, 구동모터(41)의 작동으로 피니언(45)이 회전하여 하우징(10)을 크린룸(100)의 내부에서 좌우로 이송시키는 이송유닛(40); 및 상기 크린룸(100)의 내부에서 프레임(110)에 길이 방향으로 설치되고, 수평상으로 가이드레일(51)이 설치되는 한편 이송유닛(40)의 피니언(45)과 치합되는 래크(52)가 설치된 이송하우징(50);을 포함하여 이루어진다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the following description, a guide rail 11 is installed in a clean room 100, (13) and a conveying block (14) at a rear portion of the housing (10); A chucking unit 20 installed on the guide rail 11 of the housing 10 so as to be vertically transportable and having at least one hook 25 for chucking the cassette 60; An elevating unit 30 installed in the housing 10 for rotating the screw 33 by the operation of the driving motor 31 to transfer the chucking unit 20 up and down; A transfer unit 40 installed in the housing 10 and rotating the pinion 45 by the operation of the drive motor 41 to transfer the housing 10 to the left and right inside the clean room 100; And a rack 52 installed longitudinally in the frame 110 in the clean room 100 and meshed with the pinion 45 of the conveying unit 40 while the guide rail 51 is mounted on the conveying unit 40 And an installed transfer housing (50).

솔라 웨이퍼의 크리닝 공정은 도면에서 도 1과 같이, 크린룸(100)의 한쪽에 카세트가 투입 이송되는 로딩장치(200)가 배치되는 한편 이와 반대쪽에 언로딩장치(300)가 배치되고, 상기 크린룸(100)의 내부에 세정과 탈수 및 건조과정이 순차적으로 수행되는 다수의 배스(400)가 설치되는 한편 크린룸(100)의 내부로 로딩된 카세트는 로봇(500)을 통해 순차적으로 이송되어 세정과 탈수 및 건조과정 등의 크리닝 공정이 수행된다.
As shown in FIG. 1, in the cleaning process of the solar wafer, a loading device 200 in which a cassette is inserted and transferred is disposed on one side of the clean room 100, an unloading device 300 is disposed on the opposite side of the loading device 200, A plurality of basses 400 are sequentially installed in the interior of the clean room 100 to perform washing, dewatering, and drying processes. The cassettes loaded into the clean room 100 are sequentially transferred through the robot 500, And a drying process are performed.

상기 실시예의 주요 구성에서 하우징(10)은 척킹유닛(20)과 승강유닛(30) 및 이송유닛(40)이 설치되는 구조물로서, 상기 하우징(10)은 도면에서 도 2 내지 도 6과 같이, 장방체의 형태로 구성되고, 크린룸(100)의 내부에서 배스(400)의 전방부 또는 후방부에 배치될 수 있으며, 베이스판에 수직상으로 나란히 한쌍의 가이드레일(11)이 설치된다.In the main structure of the embodiment, the housing 10 is a structure in which the chucking unit 20, the elevating unit 30 and the transfer unit 40 are installed. In the housing 10, as shown in FIGS. 2 to 6, And a pair of guide rails 11 are installed on the base plate in parallel with the vertical plane. The guide rails 11 are installed in the front or rear of the bath 400 in the clean room 100.

상기에서 하우징(10)은 가이드레일(11)의 일측에 위치히도록 베이스판의 상부와 하부에 각각 감지센서(12)(13)가 부착 설치되고, 상기 감지센서(12)(13)는 후술하는 척킹유닛(20)의 상하 작동을 감지하여 컨트롤러에 신호한다.The housing 10 is attached to the upper and lower portions of the base plate so that the housing 10 is positioned at one side of the guide rail 11 and the detection sensors 12, Up operation of the chucking unit 20 and signals the controller.

한편 하우징(10)은 가이드레일(11)이 위치한 반대쪽에 위치하도록 베이스판에 이송블록(14)이 부착 설치되며, 상기 이송블록(14)은 상하 수평상으로 나란히 한쌍으로 설치된다.
On the other hand, a transfer block 14 is attached to the base plate so that the housing 10 is located on the opposite side where the guide rail 11 is located. The transfer block 14 is installed vertically and vertically in pairs.

또한 상기 실시예의 주요 구성에서 척킹유닛(20)은 다수의 솔라 웨이퍼(70)가 수납된 카세트(60)를 척킹하는 기능으로서, 상기 척킹유닛(20)은 도면에서 도 2 내지 도 5와 같이, 하우징(10)의 가이드레일(11)에 끼워져 상하로 이송가능케 설치된 승강블록(21); 상기 승강블록(21)에 수직상으로 설치된 포스트(22); 상기 포스트(22)의 상단에 수평상으로 설치된 암(23); 및 상기 암(23)에 일정 거리로 이격되어 설치되고, 복수개로 구성되어 카세트(60)의 양측부가 척킹되는 후크(25);를 포함하여 구현된다.In the main configuration of the embodiment, the chucking unit 20 is a function of chucking the cassette 60 containing a plurality of solar wafers 70, and the chucking unit 20, as shown in Figs. 2 to 5, A lifting block (21) fitted to the guide rail (11) of the housing (10) and vertically movable; A post 22 vertically installed on the lifting block 21; An arm 23 provided horizontally on the upper end of the post 22; And a hook 25 spaced apart from the arm 23 by a predetermined distance and configured to be chucked on both sides of the cassette 60.

상기에서 승강블록(21)은 한쌍의 가이드레일(11)에 끼워져 상하로 이송가능케 설치되고, 상기 승강블록(21)에 포스트(22)가 수직상으로 설치되는 한편 포스트(22)의 상단부에 수평상으로 복수개의 암(23)이 결합 설치된다.The post 22 is vertically installed on the elevation block 21 while the upper portion of the post 22 is provided with an upper portion A plurality of arms (23) are coupled and mounted on a flat surface.

상기 암(23)에 카세트(60)의 길이보다 넓게 이격되어 한쌍의 가이드패널(24)이 설치되고, 상기 가이드패널(24)의 하단부에 서로 마주하도록 다수의 후크(25)가 설치되며, 여기서 후크(25)는 2개의 카세트(60)를 하나의 세트로 척킹할 경우, 각각의 카세트(60)에 2개의 후크(25)가 구비된다.A pair of guide panels 24 are provided on the arm 23 so as to be spaced apart from the cassette 60 so that a plurality of hooks 25 are provided on the lower end of the guide panel 24 so as to face each other, The hook 25 is provided with two hooks 25 in each cassette 60 when chucking two cassettes 60 into one set.

한편 가이드패널(24)에는 각각 감지센서(26)가 설치되어 카세트(60)의 척킹 여부를 감지하여 컨트롤러에 신호하며, 상기 감지센서(26)는 가이드패널(24)의 어느 한쪽에 설치할 수 있다.On the other hand, each of the guide panels 24 is provided with a detection sensor 26 to detect whether or not the cassette 60 is chucked and to signal the controller, and the detection sensor 26 can be installed on either side of the guide panel 24 .

카세트(60)의 척킹과정을 살펴보면, 도면에서 도 9 내지 도 10과 같이, 척킹유닛(20)이 아래로 하강 작동하여 후크(25)가 카세트(60)의 척킹홈(61)으로 하강 진입한 다음, 척킹유닛(20)이 일측 방향으로 이송 및 상승 작동하여 후크(25)가 카세트(60)의 척킹홈(61)에 걸려 척킹되며, 척킹유닛(20)의 하강과 이송 및 상승 작동시 이동거리는 감지센서에 의해 컨트롤러에서 제어된다.
9 to 10, the chucking unit 20 is lowered downward to move the hook 25 downward into the chucking groove 61 of the cassette 60. As a result, Next, the chucking unit 20 is moved and elevated in one direction so that the hook 25 is hooked to the chucking groove 61 of the cassette 60 and is chucked. When the chucking unit 20 is moved downward, The distance is controlled by the controller by the sensor.

또한 상기 실시예의 주요 구성에서 승강유닛(30)은 척킹유닛(20)을 상하로 이송시켜 카세트(60)를 들어올리거나 안착시키는 기능으로서, 상기 승강유닛(30)은 도면에서 도 4 내지 도 6과 같이, 하우징(10)의 일측에 결합 설치된 구동모터(31); 상기 구동모터(31)의 회전력이 풀리(32)(34)와 밸트로 전달되고, 하우징(10)에 수직상으로 회전가능케 설치되는 한편 척킹유닛(20)의 승강블록(21)이 이송너트로 결합 설치된 스크류(33);를 포함하여 구현된다.In the main structure of the embodiment, the elevating unit 30 has a function of lifting up or seating the cassette 60 by vertically moving the chucking unit 20, A drive motor 31 coupled to one side of the housing 10; The rotational force of the driving motor 31 is transmitted to the pulleys 32 and 34 and the belt 10 so as to be vertically rotatable to the housing 10 while the elevating block 21 of the chucking unit 20 is rotated by the conveying nut And a screw (33) provided with a joint.

상기에서 구동모터(31)는 하우징(10)의 일측에 수직상으로 결합 설치되고, 스크류(33)는 하우징(10)에 수직상으로 회전가능케 설치되는 한편 척킹유닛(20)의 승강블록(21)에 이송너트로 결합 설치되며, 구동모터(31)의 회전축과 스크류(33)의 하단부에 각각 풀리(32)(34)와 밸트가 설치된다.The driving motor 31 is vertically coupled to one side of the housing 10 and the screw 33 is rotatably installed in the housing 10 while the driving motor 31 is mounted on the elevating block 21 of the chucking unit 20 And pulleys 32 and 34 and belts are provided on the rotating shaft of the driving motor 31 and the lower end of the screw 33, respectively.

따라서, 승강유닛(30)은 구동모터(31)의 작동으로 스크류(33)가 어느 한쪽 방향으로 회전하면, 스크류(33)에 이송너트로 결합 설치된 척킹유닛(20)의 승강블록(21)이 가이드레일(11)을 따라 상하 어느 한쪽 방향으로 이송함으로써, 승강유닛(30)의 작동에 따라 척킹유닛(20)이 상하로 승강 작동하게 된다.
Therefore, when the screw 33 is rotated in either direction by the operation of the driving motor 31, the elevating unit 30 is moved in the vertical direction by the elevating block 21 of the chucking unit 20, The chucking unit 20 is vertically moved up and down in accordance with the operation of the elevating unit 30 by being transported to either one of the upper and lower directions along the guide rail 11. [

또한 상기 실시예의 주요 구성에서 이송유닛(40)은 하우징(10) 및 척킹유닛(20)을 크린룸(100)의 내부에서 좌우로 이송시켜 카세트(60)를 반송하는 기능으로서, 상기 이송유닛(40)은 도면에서 도 2 내지 도 4와 같이, 하우징(10)의 일측에 결합 설치된 구동모터(41); 상기 구동모터(41)의 회전력이 풀리(42)(44)와 밸트로 전달되고, 하우징(10)의 베이스판에 회전가능케 설치된 피니언(45);을 포함하여 구현된다.In the main structure of the embodiment, the transfer unit 40 is a function of transferring the cassette 60 by transferring the housing 10 and the chucking unit 20 right and left inside the clean room 100, and the transfer unit 40 2 to 4, a driving motor 41 coupled to one side of the housing 10; And a pinion 45 which is rotatably installed on the base plate of the housing 10 and is transmitted to the pulleys 42 and 44 and the belt of the driving motor 41.

상기에서 구동모터(41)는 하우징(10)의 베이스판에 브라켓(43)으로 결합 설치되고, 피니언(45)은 베이스판의 장공을 관통하여 후방부로 노출되게 배치되는 한편 베이스판에 브라켓으로 회전가능케 설치되며, 구동모터(41)의 회전축과 피니언(45)의 회전축에 각각 풀리(42)(44)와 밸트가 설치된다.The drive motor 41 is coupled to the base plate of the housing 10 by a bracket 43. The pinion 45 is exposed through the elongated hole of the base plate and exposed to the rear, And pulleys 42 and 44 and belts are provided on the rotary shaft of the drive motor 41 and the rotary shaft of the pinion 45, respectively.

따라서, 이송유닛(40)은 구동모터(41)의 작동으로 피니언(45)이 어느 한쪽 방향으로 회전하면, 후술하는 이송하우징(50)의 래크(52)를 따라 피니언(45)이 좌우 어느 한쪽 방향으로 이동함으로써, 하우징(10) 및 척킹유닛(20)을 크린룸(100)의 내부에서 좌우로 이송시켜 카세트(60)를 반송하게 된다.
Therefore, when the pinion 45 is rotated in either direction by the operation of the drive motor 41, the pinion 45 is moved along the rack 52 of the transfer housing 50, which will be described later, The housing 10 and the chucking unit 20 are transferred to the left and right in the clean room 100 to transport the cassette 60. [

또한 상기 실시예의 주요 구성에서 이송하우징(50)은 크린룸(100)의 내부에서 하우징(10)을 좌우로 이송시키는 기능으로서, 상기 이송하우징(50)은 도면에서 도 2와 도 3 및 도 6과 같이, 크린룸(100)의 내부에서 배스(400)의 프레임(110) 측면에 크린룸(100)의 길이 방향으로 부착 설치되고, 상부와 하부에 수평상으로 나란히 가이드레일(51)이 설치되며, 상기 가이드레일(51) 사이에 이송유닛(40)의 피니언(45)과 치합되는 래크(52)가 수평상으로 설치된다.In the main structure of the embodiment, the transfer housing 50 has a function of transferring the housing 10 from the inside of the clean room 100 to the left and right. The guide rails 51 are installed vertically on the upper and lower sides of the clean room 100 in the longitudinal direction of the clean room 100 on the side of the frame 110 of the bath 400 inside the clean room 100, A rack 52, which is engaged with the pinion 45 of the transfer unit 40, is provided between the guide rails 51 in a horizontal plane.

상기에서 가이드레일(51)은 하우징(10)의 베이스판에 설치된 이송블록(14)이 끼워져 이송가능케 설치됨에 따라 가이드레일(51)을 따라 하우징(10)이 좌우로 이송되며, 또한 래크(52)는 이송하우징(50)의 안쪽에 수평상으로 설치되고, 이송유닛(40)의 피니언(45)이 치합 설치된다.The guide rail 51 is provided with the conveying block 14 installed on the base plate of the housing 10 so that the housing 10 can be conveyed to the left and right along the guide rail 51, Are vertically provided on the inner side of the transfer housing 50, and the pinions 45 of the transfer unit 40 are engaged with each other.

따라서, 이송하우징(50)의 가이드레일(51)에 하우징(10)의 이송블록(14)이 끼워져 설치되므로 하우징(10)이 가이드레일(51)을 타고 좌우로 이송되며, 이송유닛(40)의 피니언(45)이 래크(52)에 치합된 상태에서 회전하므로 하우징(10)을 좌우로 이송시키게 된다.
The housing 10 is transferred to the left and right on the guide rails 51 because the transfer block 14 of the housing 10 is fitted in the guide rail 51 of the transfer housing 50, The pinion 45 of the pinion 45 is engaged with the rack 52 to rotate the housing 10 to the left and right.

이러한 구성으로 이루어진 본 발명의 실시예는 카세트의 척킹홈에 척킹유닛의 후크가 걸려 척킹되므로 카세트를 보다 안정적으로 척킹하여 반송함에 따라 카세트의 이송과정에서 솔라 웨이퍼의 손상과 변형을 방지하고, 구조가 간단하여 협소한 공간에 설치가 가능하다.According to the embodiment of the present invention having such a configuration, since the hook of the chucking unit is hooked to the chucking groove of the cassette, the chucking of the cassette is more stably chucked and transported, thereby preventing the damage and deformation of the solar wafer in the process of transferring the cassette. It is simple and can be installed in a narrow space.

또한 본 발명의 실시예는 승강유닛의 상하 승강작동과 이송유닛의 좌우 이송작동으로 카세트를 척킹하여 세정과 탈수 및 건조공정으로 반송함에 따라 솔라 웨이퍼의 반송시간을 단축함으로써, 공정수율과 생산성을 높이는 한편 작동과정이 신속하게 수행된다.Further, in the embodiment of the present invention, since the cassette is chucked by the up-and-down lifting operation of the lifting unit and the left-right transporting operation of the transporting unit, the transporting time of the solar wafer is shortened as the wafer is transported to the cleaning and dewatering and drying processes, On the other hand, the operation process is performed quickly.

상기에서 본 발명의 바람직한 실시예를 참고로 설명 하였으며, 상기의 실시예에 한정되지 아니하고, 상기의 실시예를 통해 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경으로 실시할 수 있는 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, It is possible to carry out various changes in the present invention.

10: 하우징 11: 가이드레일
12(13): 감지센서 14: 이송블록
20: 척킹유닛 21: 승강블록
22: 포스트 23: 암
25: 후크 30: 승강유닛
31: 구동모터 32: 풀리
33: 스크류 34: 풀리
40: 이송유닛 41: 구동모터
42(44): 풀리 45: 피니언
50: 이송하우징 51: 가이드레일
52: 래크 60: 카세트
70: 솔라 웨이퍼 10: housing 11: guide rail
12 (13): Detection sensor 14: Feed block
20: chucking unit 21:
22: Post 23: Cancer
25: hook 30: elevating unit
31: drive motor 32: pulley
33: screw 34: pulley
40: transfer unit 41: drive motor
42 (44): Pulley 45: Pinion
50: conveying housing 51: guide rail
52: rack 60: cassette
70: Solar wafer

Claims (5)

크린룸(100)의 내부에 배치되고, 수직상으로 가이드레일(11)이 설치되는 한편 상부와 하부에 각각 감지센서(12)(13)가 설치되며, 후방부에 이송블록(14)이 설치된 하우징(10);
상기 하우징(10)의 가이드레일(11)에 설치되어 상하로 이송가능케 설치되고, 카세트(60)를 척킹하는 후크(25)가 하나 이상으로 구성된 척킹유닛(20);
상기 하우징(10)에 설치되고, 구동모터(31)의 작동으로 스크류(33)가 회전하여 척킹유닛(20)을 상하로 이송시키는 승강유닛(30);
상기 하우징(10)에 설치되고, 구동모터(41)의 작동으로 피니언(45)이 회전하여 하우징(10)을 크린룸(100)의 내부에서 좌우로 이송시키는 이송유닛(40); 및
상기 크린룸(100)의 내부에서 프레임(110)에 길이 방향으로 설치되고, 수평상으로 가이드레일(51)이 설치되는 한편 이송유닛(40)의 피니언(45)과 치합되는 래크(52)가 설치된 이송하우징(50);을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 웨이퍼의 카세트 이송용 로봇.
A guide rail 11 is installed in a vertical direction in the clean room 100 while sensing sensors 12 and 13 are installed on upper and lower sides of the guide rail 11, (10);
A chucking unit 20 installed on the guide rail 11 of the housing 10 so as to be vertically transportable and having at least one hook 25 for chucking the cassette 60;
An elevating unit 30 installed in the housing 10 for rotating the screw 33 by the operation of the driving motor 31 to transfer the chucking unit 20 up and down;
A transfer unit 40 installed in the housing 10 and rotating the pinion 45 by the operation of the drive motor 41 to transfer the housing 10 to the left and right inside the clean room 100; And
A rack 52 is provided in the frame 110 in the longitudinal direction in the clean room 100 so as to be coupled with the pinion 45 of the conveying unit 40 while the guide rail 51 is mounted on the conveying unit 40 And a transfer housing (50) for transferring the wafer.
제1항에 있어서,
척킹유닛(20)은,
하우징(10)의 가이드레일(11)에 끼워져 상하로 이송가능케 설치된 승강블록(21); 상기 승강블록(21)에 수직상으로 설치된 포스트(22); 상기 포스트(22)의 상단에 수평상으로 설치된 암(23); 및 상기 암(23)에 일정 거리로 이격되어 설치되고, 복수개로 구성되어 카세트(60)의 양측부가 척킹되는 후크(25);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 웨이퍼의 카세트 이송용 로봇.
The method according to claim 1,
The chucking unit (20)
A lifting block (21) fitted to the guide rail (11) of the housing (10) and vertically movable; A post 22 vertically installed on the lifting block 21; An arm 23 provided horizontally on the upper end of the post 22; And a hook (25) spaced a predetermined distance from the arm (23) and configured to be chucked on both sides of the cassette (60).
제1항에 있어서,
승강유닛(30)은,
하우징(10)의 일측에 결합 설치된 구동모터(31); 상기 구동모터(31)의 회전력이 풀리(32)(34)와 밸트로 전달되고, 하우징(10)에 수직상으로 회전가능케 설치되는 한편 척킹유닛(20)의 승강블록(21)이 이송너트로 결합 설치된 스크류(33);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 웨이퍼의 카세트 이송용 로봇.
The method according to claim 1,
The elevating unit (30)
A drive motor 31 coupled to one side of the housing 10; The rotational force of the driving motor 31 is transmitted to the pulleys 32 and 34 and the belt 10 so as to be vertically rotatable to the housing 10 while the elevating block 21 of the chucking unit 20 is rotated by the conveying nut And a screw (33) which is provided on the bottom surface of the cassette.
제1항에 있어서,
이송유닛(40)은,
하우징(10)의 일측에 결합 설치된 구동모터(41); 상기 구동모터(41)의 회전력이 풀리(42)(44)와 밸트로 전달되고, 하우징(10)의 베이스판에 회전가능케 설치된 피니언(45);을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 웨이퍼의 카세트 이송용 로봇.
The method according to claim 1,
The transfer unit (40)
A driving motor 41 coupled to one side of the housing 10; And a pinion (45) which is rotatably installed on the base plate of the housing (10), and the rotational force of the drive motor (41) is transmitted to the pulleys (42) Transport robot.
제1항에 있어서,
이송하우징(50)은,
배스(400)의 프레임(110) 측면에 크린룸(100)의 길이 방향으로 부착 설치되고, 상부와 하부에 수평상으로 나란히 가이드레일(51)이 설치되며, 상기 가이드레일(51) 사이에 이송유닛(40)의 피니언(45)과 치합되는 래크(52)가 수평상으로 설치된 것을 특징으로 하는 솔라 웨이퍼의 카세트 이송용 로봇.The method according to claim 1,
The transfer housing (50)
A guide rail 51 is installed on the side of the frame 110 of the bath 400 in the longitudinal direction of the clean room 100 and horizontally and vertically on the upper and lower sides. And a rack (52) meshing with the pinion (45) of the robot (40) is provided in a horizontal plane.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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