KR101516315B1

KR101516315B1 - Control device for radiation irradiation stage transfer

Info

Publication number: KR101516315B1
Application number: KR1020130132908A
Authority: KR
Inventors: 이철영; 김현문; 하석호; 전국진; 김병철; 김인중
Original assignee: 한국표준과학연구원
Priority date: 2013-11-04
Filing date: 2013-11-04
Publication date: 2015-05-06

Abstract

The present invention relates to a movement control device for radiation stage, and more specifically, to a movement control device for radiation stage for freely controlling a movement of precision stages for radiation measurement where test equipment to test the level of radiation from X-ray, gamma ray or beta ray irradiators, X-ray radiation items or X-ray measurement system are mounted. The control device according to the present invention can serially connect a main stage freely moving along the X-axis to a sub stage where the equipment is equipped, and move the sub stage along the Y-axis to load sub stage at the top of the main stage and return the main stage loaded with the sub stage to the original location along the X-axis, so that the sub stage can be located on the path of the radiation beam from a linear accelerator.

Description

방사선조사 스테이지 이동제어장치{Control device for radiation irradiation stage transfer}[0001] The present invention relates to a radiation irradiation stage transfer control device,

본 발명은 가속기, 엑스선, 감마선, 베타선 조사기(irradiator) 등 방사선조사기에서 출력되는 방사선 빔의 선량이 적정한지를 검사하는 검사장비, 방사선조사물품 또는 방사선측정 시스템이 탑재되는 방사선 측정용 정밀 스테이지의 이동을 자유롭게 제어하는 기술에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus for inspecting whether a dose of a radiation beam outputted from a radiation irradiator such as an accelerator, an X-ray beam, a gamma ray or a beta ray irradiator is appropriate or a movement of a precise stage for measuring radiation to which a radiation- The present invention relates to a technique for freely controlling a vehicle.

의료용으로 사용되는 방사선 중 치료방사선은 암환자의 종양에 가해져 암세포를 더 이상 번식하지 못하게 함으로써 암세포가 수명을 다해 죽게 하거나 환자의 고통을 경감시키기 위해 사용된다.Among the radiation used for medical purposes, therapeutic radiation is applied to the tumor of the cancer patient to prevent the cancer cells from further propagating, thereby causing the cancer cells to die at the end of their life or to alleviate the suffering of the patient.

이러한 방사선 치료는 예컨대 수술을 한 뒤 암 세포가 남아 있을 가능성이 높은 경우 재발을 방지하기 위해서, 또는 수술을 하지 못하는 경우, 또는 수술보다는 방사선 치료가 더 효과적인 경우, 또는 수술과 방사선 치료를 같이 병행하여 환자의 삶의 질을 높이고자 하는 경우, 또는 항암 약물 치료와 함께 항암 효과를 극대화하기 위해서 행해진다.These radiation treatments can be used, for example, to prevent recurrence if there is a high likelihood of remaining cancerous cells after surgery, or if surgery is not possible, or if radiation therapy is more effective than surgery, To improve the quality of life of the patient, or to maximize the anti-cancer effect together with the anti-cancer drug treatment.

이와 같은 방사선 치료를 수행할 때에 무엇보다 중요한 것은 선형가속기(Linear accelerator)가 정확한 방사선량을 출력하도록 하는 것이다. 즉 종양의 상태나 크기 또는 깊이에 대응한 정확한 선량의 방사선을 조사하여야만 인체에 무해하면서도 최대의 치료효과를 거둘 수 있기 때문이다.What is most important when performing such radiotherapy is that the linear accelerator outputs accurate radiation dose. In other words, it is necessary to investigate the radiation dose of the precise dose corresponding to the state, size or depth of the tumor so that it can be harmless to the human body and achieve the maximum therapeutic effect.

또,한 방사선을 조사기(irradiator)에서 출력되는 빔의 방사선량을 정확히 정량하거나 정확한 양의 방사선을 조사물품에 투여하는 방식의 품질관리는 방사선 조사(irradiation) 행위의 부가가치를 향상시킬 수 있다.In addition, quality control in a manner of accurately quantifying the amount of radiation of a beam output from an irradiator or applying an accurate amount of radiation to an article to be irradiated can improve the value added of the irradiation operation.

따라서, 방사선조사기가 적정한 선량의 방사선 빔을 출력하는지를 측정, 분석, 검사하여 물품에 조사되는 정확도와 신뢰도를 높이는 작업은 중요하다.Therefore, it is important to measure, analyze, and inspect whether the radiation irradiator outputs an appropriate dose of radiation beam so as to increase the accuracy and reliability of irradiation to the article.

상기 방사선빔의 선량을 검사하는 방법으로는 상기 선형가속기의 전방에 검사장비가 탑재되는 이동형 스테이지를 설치하고, 상기 선형가속기에서 인위적으로 출력하는 방사선 빔을 검사장비에 조사함으로써 방사선량을 정밀하게 검사할 수 있게 된다.As a method of inspecting the dose of the radiation beam, a movable stage on which an inspection equipment is mounted is installed in front of the linear accelerator, and a radiation beam, which is artificially outputted from the linear accelerator, .

여기에서 상기 검사장비가 탑재되는 이동형 스테이지는 통상 X-Y축 방향으로 자유롭게 이동하여만 출력되는 방사선 빔의 선상에 정확하게 위치하면서 조사될 수 있는바 X-Y축 이동제어장치가 필수적으로 요구된다.Here, the movable stage on which the inspection equipment is mounted is normally required to be moved in the X-Y axis direction, and can be irradiated while being accurately positioned on the line of the outputted radiation beam.

이와 같은 X-Y축 이동제어장치에 관련한 선행기술로는 「특허등록 제214076호, 명칭/ 와이어 본더의 수평이동 테이블장치가 제안되고 있으며, 상기 선행기술은 스테이지와 Y축 테이블 사이를 연결하는 링케이지를 에어압을 이용한 슬라이더 구동방식으로 구성하여 기계적인 마모 없이 X-Y테이블이 가로, 세로방향으로 원활하게 이동하는 효과를 제공한다.As a prior art relating to such an XY-axis movement control apparatus, there is proposed a horizontal moving table apparatus of Patent Registration No. 214076 entitled " Name / wire bonder ", and the prior art has a ring cage for connecting the stage and the Y- The slider drive method using air pressure provides the effect that the XY table moves smoothly in the horizontal and vertical directions without mechanical wear.

그러나 상기 선행기술은 하나의 스테이지를 X-Y축 방향으로 이동시키는 기술에 국한될 뿐 다수의 스테이지를 구비하고, 이들 중 어느 하나를 선택하여 이동하는 목적으로 사용하기에는 제약이 있다.However, the prior art is limited to the technique of moving one stage in the X-Y axis direction and has a plurality of stages, and there is a limitation in using the stage for selecting one of the stages and moving it.

특히 상기 선형가속기의 경우 검사기관이나 교정기관에서 다수의 스테이지마다 여러 종류의 검사장비를 탑재한 상태에서 어느 하나의 스테이지를 선택적으로 이동시키면서 방사선량을 검사할 필요성이 있으나, 종래에는 이를 충족시킬만한 스테이지 이동제어장치가 전무한 실정이다.Particularly, in the case of the linear accelerator, there is a need to inspect the radiation dose while selectively moving any one stage in a state where various kinds of inspection equipment are mounted for each of a plurality of stages in an inspection institution or a calibration institution. However, There is no stage movement control device.

본 발명은 종래의 기술에 따른 스테이지 이동제어장치가 내포하고 있는 제반 문제점을 적극적으로 해소하기 위한 것으로, 메인 스테이지를 X축 방향으로 자유롭게 이동하면서 검사장비가 탑재되는 서브 스테이지와 직렬상태로 연계될 수 있도록 하고, 상기 서브 스테이지를 Y축 방향으로 이동시켜 상기 메인 스테이지의 상부에 서브 스테이지를 로딩하도록 하며, 상기 서브 스테이지가 로딩 된 메인 스테이지를 X축 방향으로 복귀 이동하면서 선형가속기에서 출력되는 방사선 빔의 경로 상에 위치할 수 있도록 함을 발명의 해결과제로 한다.The present invention is to positively solve various problems inherent in the stage movement control apparatus according to the related art, and it is an object of the present invention to provide an apparatus and method for controlling a stage, And the sub-stage is moved in the Y-axis direction to load the sub-stage on the main stage, and the main stage loaded with the sub-stage is moved in the X-axis direction while moving the radiation beam output from the linear accelerator So that it can be positioned on the path.

또한, 본 발명은 상기 서브 스테이지를 로딩 스테이지의 상부에서 Y축 방향으로 자유롭게 이동하면서 검사장비의 위치를 자유롭게 제어할 수 있도록 함을 발명의 또 다른 해결과제로 한다.It is another object of the present invention to allow the sub-stage to freely move in the direction of the Y-axis from the top of the loading stage while freely controlling the position of the inspection equipment.

또한, 본 발명은 스테이지 이동제어장치 전체를 Y축 방향으로 자유롭게 이동하면서 선형가속기에 간섭되지 않는 적정 거리를 유지할 수 있도록 함을 발명의 또 다른 해결과제로 한다.It is another object of the present invention to allow the entire stage motion control apparatus to freely move in the Y-axis direction to maintain an appropriate distance not to interfere with the linear accelerator.

본 발명은 상기한 과제를 해결하기 위한 수단으로 평면 받침유닛의 상단 전방에 이격 설치된 다수의 X축 가이드레일을 따라 X축 방향으로 이동가능하게 메인 스테이지를 설치하고, 상기 평면 받침유닛의 상단 후방의 베이스판에 이격 설치된 다수의 제2 연결레일을 따라 Y축 방향으로 이동가능하게 로딩 스테이지를 설치하며, 상기 로딩 스테이지의 상단에 이격 설치된 다수의 Y축 가이드레일을 따라 Y축 방향으로 이동가능하게 서브 스테이지를 설치하는 기술을 강구한다.As a means for solving the above-mentioned problems, the present invention provides a method of mounting a main stage on a main stage, which is movable in the X-axis direction along a plurality of X-axis guide rails spaced apart from an upper front of a plane- Axis direction along a plurality of Y-axis guide rails spaced apart from the upper end of the loading stage, the Y-axis guide rails being movable in the Y-axis direction along a plurality of second connection rails spaced apart from the base plate, Take a technique to install a stage.

본 발명에 따르면, 검사장비가 탑재되는 다수의 서브 스테이지를 선택적으로 바꾸어가면서 메인 스테이지에 로딩시킨 후 상기 서브 스테이지가 로딩된 메인 스테이지를 X축 방향으로 이동시켜 소망하는 지점에 정확하게 위치하도록 간편 제어할 수 있는 효과를 제공한다.According to the present invention, after a plurality of sub-stages on which inspection equipment are mounted are selectively changed and loaded on the main stage, the main stage loaded with the sub-stage is moved in the X-axis direction so as to be easily positioned at a desired point Provides a possible effect.

또한, 선형가속기가 고정 설치됨에도 출력되는 방사선 빔의 경로 상에 상기 메인 스테이지를 정확하게 위치시킬 수 있어 다양한 검사장비를 바꾸어가면서 방사선량이 적정한지를 사전에 검사함으로써 정확도와 신뢰도를 확보하는 효과를 제공한다.In addition, even though the linear accelerator is fixedly installed, the main stage can be accurately positioned on the path of the output beam, so that it is possible to precisely check whether the radiation dose is appropriate while changing various inspection equipments, thereby ensuring accuracy and reliability.

도 1은 본 발명이 적용된 스테이지 이동제어장치의 사시도
도 2는 본 발명 스테이지 이동제어장치의 정면도
도 3은 본 발명 스테이지 이동제어장치의 평면도
도 4는 본 발명 스테이지 이동제어장치의 우측면도
도 5는 본 발명의 메인 스테이지가 X축 방향으로 이동하는 상태의 평면도
도 6은 본 발명의 서브 스테이지가 메인 스테이지에 로딩되는 상태의 측면도
도 7은 본 발명의 서브 스테이지가 메인 스테이지에 로딩된 상태의 평면도
도 8은 본 발명의 서브 스테이지가 Y축 방향으로 이동하는 상태의 측면도
도 9는 본 발명 다른 실시 예 스테이지 이동제어장치의 측면도
도 10은 본 발명 또 다른 실시 예 스테이지 이동제어장치의 측면도
도 11은 본 발명 또 다른 실시 예 스테이지 이동제어장치의 정면도1 is a perspective view of a stage movement control apparatus to which the present invention is applied;
2 is a front view of the stage movement control apparatus of the present invention.
3 is a plan view of the stage movement control apparatus of the present invention.
4 is a right side view of the stage movement control apparatus of the present invention
5 is a plan view showing a state in which the main stage of the present invention is moved in the X-
6 is a side view of a state in which the sub-stage of the present invention is loaded on the main stage
Fig. 7 is a plan view showing a state in which the sub-stage of the present invention is loaded on the main stage
8 is a side view of the sub stage of the present invention in a state of moving in the Y axis direction
9 is a side view of another embodiment stage movement control apparatus of the present invention
10 is a side view of another embodiment stage movement control apparatus of the present invention
11 is a front view of another embodiment of the stage movement control apparatus of the present invention

본 발명이 해결하고자 하는 과제의 해결수단을 보다 구체적으로 구현하기 위한 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.Preferred embodiments of the present invention will now be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 스테이지 이동제어장치(S)의 전체적인 구성을 첨부된 도면에 의거 개략적으로 살펴보면, 평면 받침유닛(10)의 상단 전방에 이격 설치된 다수의 X축 가이드레일(21)을 따라 X축 방향으로 이동가능하게 설치되고, 상단에 다수의 제1 연결레일(23)이 이격 설치된 된 메인 스테이지(20)와; 상기 평면 받침유닛(10)의 상단 후방에 설치된 베이스판(31)에 상기 X축 가이드레일(21)과 직교상태로 이격 설치된 다수의 제2 연결레일(33)을 따라 Y축 방향으로 이동가능하게 설치된 다수의 로딩 스테이지(30)와; 상기 로딩 스테이지(30)의 상단에 제2 연결레일(33)과 평행하게 이격 설치된 다수의 Y축 가이드레일(41)을 따라 Y축 방향으로 이동가능하게 설치된 다수의 서브 스테이지(40)의 유기적인 결합구성으로 이루어짐을 알 수 있다.A plurality of X-axis guide rails 21 spaced apart from the upper end of the upper surface of the plane receiving unit 10 are provided in the X- A main stage 20 installed to be movable in the X-axis direction and having a plurality of first connection rails 23 spaced apart at an upper portion thereof; Axis direction along a plurality of second connection rails 33 spaced from and perpendicular to the X-axis guide rail 21 in a base plate 31 provided at an upper rear of the plane support unit 10 A plurality of loading stages (30) installed; A plurality of sub-stages 40 provided on the upper end of the loading stage 30 so as to be movable in the Y-axis direction along a plurality of Y-axis guide rails 41 spaced in parallel to the second connecting rail 33, It can be seen that it is composed of a combined structure.

이하, 상기 개략적인 구성으로 이루어진 본 발명을 실시 용이하도록 좀더 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention having the above-described schematic configuration will be described in more detail for facilitating the implementation.

본 발명의 평면 받침유닛(10)의 상단에는 전방에 다수의 X축 가이드레일(21)이 이격 설치되고, 상기 X축 가이드레일(21)에는 메인 스테이지(20)의 저면에 일체로 부착된 슬라이더(22)가 결합됨으로써 상기 X축 가이드레일(21)을 따라 메인 스테이지(20)가 X축 방향으로 자유롭게 이동하며, 상기 메인 스테이지(20)의 상단에는 다수의 제1 연결레일(23)이 X축 가이드레일(21)과 직교된 상태로 이격 설치된다.A plurality of X-axis guide rails 21 are provided in front of the upper end of the flat support unit 10 of the present invention. The X-axis guide rail 21 is provided with a slider 21 integrally attached to the bottom surface of the main stage 20, The main stage 20 moves freely along the X axis direction along the X axis guide rail 21 and a plurality of first connection rails 23 are supported at the upper end of the main stage 20 by X And is spaced apart from the shaft guide rail 21 in a perpendicular direction.

이때 상기 평면 받침유닛(10)은 베이스프레임(11) 및 상기 베이스프레임(11)에 안착되는 석정반(12)으로 이루어지고, 상기 석정반(12)의 상단에 X축 가이드레일(21)이 설치되며, 상기 석정반(12)은 정확하고 평활하게 다듬질 된 평면을 가진 튼튼한 석재 테이블을 적용된다.The plane bearing unit 10 includes a base frame 11 and a stone tablet 12 that is seated on the base frame 11. An X-axis guide rail 21 is fixed to the upper end of the stone tablet 12, And the stone basin 12 is applied with a durable stone table having an accurate and smoothed finished plane.

상기 메인 스테이지(20)는 상부에 선택적으로 로딩되는 서브 스테이지(40)를 X축 방향으로 이동하면서 소망하는 지점에 검사장비가 탑재되는 서브 스테이지(40)를 위치시키는 역할을 수행하는 것으로, X축 방향으로 이동을 위한 원동력은 리니어 모터(25)의 작동에 따라 이루어진다.The main stage 20 moves the sub-stage 40 selectively loaded on the main stage 20 in the X-axis direction, and positions the sub-stage 40 on which the inspection equipment is mounted at a desired point. Direction is performed according to the operation of the linear motor 25. [0050]

이와 같은 리니어 모터(25)는 도 3과 같이 메인 스테이지(20)의 저면에 부착되는 자석판(25a)과, 상기 자석판(25a)과 밀착된 상태로 평면 받침유닛(10)의 상단에 설치된 코일부(25b)로 구성됨으로써 상기 코일부(25b)에 전류를 흐르게 함으로써 구동력을 발생하며, 상기 메인 스테이지(20)의 이동에 따른 위치는 리니어 스케일을 스캔하여 정확한 위치 정도를 가능하게 한다.3, the linear motor 25 includes a magnet plate 25a attached to the bottom surface of the main stage 20 and a coil portion 25a provided on the upper end of the plane supporting unit 10 in a state of being in tight contact with the magnet plate 25a. (25b) to generate a driving force by flowing a current to the coil part (25b), and a position corresponding to the movement of the main stage (20) enables accurate position accuracy by scanning the linear scale.

상기 평면 받침유닛(10)의 상단, 즉 석정반(12)의 상단 후방에는 베이스판(31)이 고정 설치되고, 상기 베이스판(31)의 상부에 상기 X축 가이드레일(21)과 직교상태로 다수의 제2 연결레일(33)이 이격 설치되며, 상기 제2 연결레일(33)에는 로딩 스테이지(30)의 저면에 일체로 부착된 슬라이더(32)가 결합 됨으로써 상기 제2 연결레일(33)을 따라 로딩 스테이지(30)는 Y축 방향으로 원활하게 이동할 수 있게 된다.A base plate 31 is fixedly mounted on an upper end of the planar support unit 10, that is, an upper end of the upper stage of the stone ring 12, and the upper surface of the base plate 31 is perpendicular A plurality of second connection rails 33 are spaced apart from each other and a slider 32 integrally attached to the bottom surface of the loading stage 30 is coupled to the second connection rail 33, The loading stage 30 can move smoothly in the Y-axis direction.

상기 로딩 스테이지(30)의 상단에는 제2 연결레일(33)과 평행한 상태로 다수의 Y축 가이드레일(41)이 이격 설치되고, 상기 Y축 가이드레일(41)에는 서브 스테이지(40)의 저면에 부착된 슬라이더(42)가 결합됨으로써 상기 서브 스테이지(40)는 Y축 가이드레일(41)을 따라 Y축 방향으로 원활하게 이동할 수 있게 된다.A plurality of Y-axis guide rails 41 are spaced apart from the upper end of the loading stage 30 in parallel with the second connecting rail 33. The Y-axis guide rail 41 is provided with a sub- The sub-stage 40 can move smoothly along the Y-axis guide rail 41 in the Y-axis direction by engaging the slider 42 attached to the bottom surface.

이와 같은 상기 로딩 스테이지(30)는 다수 개가 설치되고, 각각의 로딩 스테이지(30)마다 다수의 서브 스테이지(40)가 개별 설치됨으로써 상기 다수의 서브 스테이지(40)에 다양한 검사장비를 탑재할 수 있게 된다.A plurality of such loading stages 30 are installed and a plurality of sub-stages 40 are installed for each loading stage 30 so that various inspection equipments can be mounted on the plurality of sub-stages 40 do.

이러한 구성으로 이루어진 본 발명은 상기 메인 스테이지(10)를 도 4와 같이 X축 방향을 따라 이동시키되 다수의 서브 스테이지(40) 중 어느 하나의 서브 스테이지(40)가 설치된 지점으로 이동시키면 상기 메인 스테이지(20)의 제1 연결레일(23)은 선택적으로 상기 제2 연결레일(33)과 동일 선상에 위치하면서 상호 직선상으로 연계된 상태를 유지한다.When the main stage 10 is moved along the X-axis direction as shown in FIG. 4 and is moved to a position where one of the plurality of sub-stages 40 is installed, The first connecting rails 23 of the first connecting rods 20 are located on the same line as the second connecting rails 33 and are maintained in a mutually connected state.

따라서, 작업자는 도 6 내지 7과 같이 상기 제2 연결레일(33)에 설치된 로딩 스테이지(30)를 Y축 방향으로 이동하면서 직선상으로 연계된 제1 연결레일(23)에 위치 이동시키면 상기 로딩 스테이지(30) 및 서브 스테이지(40)는 메인 스테이지(20)에 로딩됨으로써 상기 서브 스테이지(40)가 로딩 된 메인 스테이지(20)를 X축 방향으로 복귀 이동하면서 소망하는 지점에 정확하게 위치시킬 수 있는 효과를 제공하며, 나아가 선형가속기에서 출력되는 방사선 빔의 경로 상에 정확하게 위치할 수도 있게 된다.6 to 7, when the operator moves the loading stage 30 provided on the second connecting rail 33 to the first connecting rail 23 connected in a straight line while moving in the Y-axis direction, The stage 30 and the sub stage 40 are loaded on the main stage 20 so that the main stage 20 on which the sub stage 40 is loaded can be accurately positioned at a desired point while returning in the X axis direction Effect, and may even be located precisely on the path of the radiation beam output from the linear accelerator.

즉 본 발명은 다수의 서브 스테이지(40)를 선택하여 바꾸어가면서 상기 메인 스테이지(10)에 로딩시킨 후 상기 메인 스테이지(20)를 소망하는 지점에 정확하게 위치 이동하도록 간편하게 제어할 수 있는 특별한 효과를 제공한다.That is, the present invention provides a special effect that can be easily controlled so that the main stage 20 can be accurately moved to a desired position after a plurality of sub-stages 40 are selected and changed while being loaded on the main stage 10 do.

한편, 상기 메인 스테이지(20)의 상부에 로딩되는 로딩 스테이지(30)는 Y축 방향으로 유동하지 않고 견고한 고정상태를 유지하도록 락킹하는 기술이 추가로 접목된다.The loading stage 30, which is loaded on the main stage 20, is further coupled with a locking mechanism for maintaining a firm fixed state without flowing in the Y-axis direction.

이를 위해 상기 메인 스테이지(20)의 전면에 전기적으로 ON/OFF 작동하는 전자석 락(51)이 부착되고, 상기 로딩 스테이지(30)의 전면에는 상기 전자석 락(51)의 자력에 의해 선택적으로 붙으면서 상기 로딩 스테이지(30)의 고정상태를 유지하는 피자성체(51)가 설치됨으로써 상기 로딩 스테이지(30)를 유동 없이 일시적으로 고정할 수 있게 된다.To this end, an electromagnet lock 51, which electrically turns on / off, is attached to the front surface of the main stage 20. A front surface of the loading stage 30 is selectively attached to the front surface of the main stage 20 by the magnetic force of the electromagnet lock 51 The loading stage 30 can be temporarily fixed without the flow by installing the adherend 51 holding the loading stage 30 in a fixed state.

또한, 본 발명은 상기 서브 스테이지(40)의 Y축 방향 이동을 자동으로 제어하는 Y축 자동이동장치(60)의 기술구성이 추가로 접목된다.Further, the present invention is further combined with the technical construction of a Y-axis automatic movement device 60 for automatically controlling the movement of the sub-stage 40 in the Y-axis direction.

이를 위한 Y축 자동이동장치(60)는 상기 로딩 스테이지(30)의 상부면 중앙에 전후 방향으로 한 쌍의 엔드블럭(61)이 이격 설치되고, 상기 엔드블럭(61)의 사이에 볼스크류(62)가 회전가능하게 설치되며, 상기 볼스크류(62)의 일측 선단은 Y축 모터(63)와 직결되고, 상기 볼스크류(62)의 외측에는 상기 서브 스테이지(40)의 저면에 일체로 부착된 이동블럭(64)이 나사결합됨으로써 상기 Y축 모터(63)의 작동에 따라 메인 스테이지(20)는 자동으로 이동할 수 있게 된다.A Y-axis automatic moving device 60 is provided with a pair of end blocks 61 spaced apart from each other in the longitudinal direction at the center of the upper surface of the loading stage 30, The ball screw 62 is rotatably mounted on one end of the ball screw 62. One end of the ball screw 62 is directly connected to the Y axis motor 63 and the ball screw 62 is integrally attached to the bottom surface of the sub- The main stage 20 can be automatically moved in accordance with the operation of the Y-axis motor 63 by screwing the movable block 64.

그리고 본 발명은 상기 스테이지 이동제어장치(S) 전체를 Y축 방향으로 자유롭게 이동함으로써 상기 스테이지 이동제어장치(S)의 전방에 고정 설치된 선형가속기에 간섭되지 않는 적정 거리를 유지할 수 있게 된다.Further, the present invention can freely move the entire stage motion control device S in the Y-axis direction, thereby maintaining a proper distance not to interfere with the linear accelerator fixed in front of the stage motion control device S.

이를 위해 상기 평면 받침유닛(10)의 저면에는 다수의 리니어 슬라이더(14)가 등간격으로 설치되고, 상기 리니어 슬라이더(14)는 지면에 고정 설치되는 고정레일(15)의 상단에 일체로 안착 설치된 리니어 가이드(16)에 안착됨으로써 상기 리니어 가이드(16)를 따라 Y축 방향으로 이동하면서 상기 스테이지 이동제어장치(S)를 전체적으로 이동하여 적정거리를 유지할 수 있게 된다.
To this end, a plurality of linear sliders 14 are provided at equal intervals on the bottom surface of the plane support unit 10, and the linear slider 14 is integrally mounted on the upper end of a fixed rail 15 fixedly mounted on the ground It is possible to maintain the proper distance by moving the stage movement control device S as a whole while moving in the Y axis direction along the linear guide 16 by being seated on the linear guide 16. [

아울러 본 발명은 상기 로딩 스테이지(30)를 생략하고, 메인 스테이지(20) 및 서브 스테이지(40a)의 구성요소만으로 다른 실시 예의 스테이지 이동제어장치(S1)을 구현할 수 있게 된다.In addition, the present invention can implement the stage movement control apparatus S1 of another embodiment by omitting the loading stage 30 and only the components of the main stage 20 and the sub-stage 40a.

즉 상기 로딩 메인 스테이지(20)의 구성은 동일하되, 상기 평면 받침유닛(10)의 상단 후방에 설치되는 베이스판(31)에 상기 X축 가이드레일(21)과 직교상태로 이격 설치되는 다수의 제2 연결레일(33)에는 도 9와 같이 서브 스테이지(40a)가 직접 안착됨으로써 상기 서브 스테이지(40a)는 Y축 방향으로 원활하게 이동하면서 상기 메인 스테이지(20)에 직접 로딩될 수도 있으며, 이 경우 구조를 더욱 간소화하는 효과를 제공한다.
Axis guide rail 21 and the loading main stage 20. The loading main stage 20 has the same structure as the loading main stage 20 except that a plurality of The sub stage 40a is directly mounted on the second connection rail 33 as shown in FIG. 9 so that the sub stage 40a can be directly loaded on the main stage 20 while moving smoothly in the Y axis direction, Thereby providing a further simplification of the structure.

또한, 본 발명은 서브 스테이지(70)가 로딩 스테이지(30)와 함께 Y축 방향으로 원활하게 이동함은 물론 나아가 상기 서브 스테이지(70)만 단독으로 Z축 방향으로 이동할 수 있는 또 다른 실시 예의 스테이지 이동제어장치(S2)를 구현할 수 있게 된다.The present invention is also applicable to a stage of another embodiment in which the sub-stage 70 moves smoothly along the Y-axis direction together with the loading stage 30, and further, only the sub-stage 70 can move in the Z- The mobile control device S2 can be implemented.

이를 위한 기술구성으로 메인 스테이지(20) 및 로딩 스테이지(30)는 전자와 동일하되 수평베이스(71), 서브 스테이지(70)의 구성이 다소 상이하며, Z축 자동이동장치(80)가 추가된 점이 상이하다.The main stage 20 and the loading stage 30 are the same as the former but the configurations of the horizontal base 71 and the sub stage 70 are somewhat different from each other and the Z axis automatic moving device 80 is added The points are different.

즉 상기 로딩 스테이지(30)의 상단에 도 10 내지 도 11과 같이 제2 연결레일(33)과 평행하게 이격 설치된 다수의 Y축 가이드레일(41)을 따라 Y축 방향으로 이동가능하게 수평베이스(71)가 설치되고, 상기 수평베이스(71)의 상단에 수직베이스(72)가 직립 설치되며, 상기 수직베이스(72)의 전면 양측에 한 쌍의 Z축 가이드레일(73)이 이격 설치되고, 상기 Z축 가이드레일(73)을 따라 서브 스테이지(70)가 Z축 방향으로 이동가능하게 설치된다.10 to 11, at the upper end of the loading stage 30, a plurality of Y-axis guide rails 41 spaced apart in parallel with the second connecting rail 33 are disposed in the Y- A vertical base 72 is installed upright on the upper end of the horizontal base 71 and a pair of Z-axis guide rails 73 are provided on both sides of the front face of the vertical base 72, The sub-stage 70 is installed along the Z-axis guide rail 73 so as to be movable in the Z-axis direction.

그리고 상기 수직베이스(72)의 전면 중앙에는 Z축 모터(81)의 작동에 따라 회전하는 볼스크류(82)가 Z축 방향으로 설치되고, 상기 볼스크류(82)의 외측에는 서브 스테이지(70)의 후면에 부착된 이동블럭(84)이 나사결합 설치됨으로써 상기 Z축 모터(81)의 선택적인 작동에 따라 서브 스테이지(70)는 Z축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있는 특별한 효과를 제공한다.A ball screw 82 rotating in accordance with the operation of the Z axis motor 81 is installed in the Z axis direction at the front center of the vertical base 72 and a sub stage 70 is provided at the outer side of the ball screw 82, The sub-stage 70 can be freely moved in the Z-axis direction according to the selective operation of the Z-axis motor 81 by screwing the moving block 84 attached to the rear surface of the sub-stage 70. [

따라서, 본 발명은 Z축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있는 서브 스테이지(70)의 경우에도 상기 메인 스테이지(20)에 선택적으로 로딩하여 검사장비를 검사할 수 있는 효과를 제공한다.Accordingly, the present invention provides the effect of selectively loading the main stage 20 to the inspection apparatus even in the case of the sub-stage 70 which can freely move in the Z-axis direction.

이러한 본 발명은 선형가속기와 관련한 기술분야에서 실시되었지만 반드시 이에 한정하는 것은 아니며, 다만 다양한 서브 스테이지(70) 중 어느 하나를 선택하여 메인 스테이지(20)에 로딩한 후 상기 메인 스테이지(20)를 소망하는 지점에 정확하게 위치시키는 기술, 즉 스테이지의 이동에 관련한 것이라면 결코 본 발명의 범주를 벗어날 수 없음은 자명한 사실이라 할 수 있다.Although the present invention has been described in connection with the linear accelerator in the technical field, it is not limited thereto. It is possible to select any one of the various sub-stages 70, load the main stage 20 on the main stage 20, It is obvious that the present invention is not limited to the technique of precisely positioning the stage, that is, the movement of the stage.

10: 평면 받침유닛 11: 베이스프레임
12: 석정반 14: 리니어 슬라이더
16: 리니어 가이드 20: 메인 스테이지
21: X축 가이드레일 23: 제1 연결레일
25: 리니어 모터 30: 로딩 스테이지
31: 베이스판 33: 제2 연결레일
40, 40a, 70: 서브 스테이지 41: Y축 가이드레일
50: 전자석 락 51: 피자성체
60: Y축 자동이동장치 62, 82: 볼스크류
63: Y축 모터 64, 84: 이동블럭
71: 수평베이스 72: 수직베이스
73: Z축 가이드레일 80: Z축 자동이동장치
81: Z축 모터 S, S1, S2: 스테이지 이동제어장치10: Plane support unit 11: Base frame
12: Stone column 14: Linear slider
16: linear guide 20: main stage
21: X-axis guide rail 23: first connection rail
25: Linear motor 30: Loading stage
31: base plate 33: second connecting rail
40, 40a, 70: Substage 41: Y-axis guide rail
50: electromagnetic lock 51:
60: Y-axis automatic moving device 62, 82: Ball screw
63: Y-axis motor 64, 84: moving block
71: horizontal base 72: vertical base
73: Z-axis guide rail 80: Z-axis automatic movement device
81: Z-axis motor S, S1, S2: stage movement control device

Claims

평면 받침유닛(10)의 상단 전방에 이격 설치된 다수의 X축 가이드레일(21)을 따라 X축 방향으로 이동가능하게 설치되고, 상단에 다수의 제1 연결레일(23)이 이격 설치된 된 메인 스테이지(20)와;
상기 평면 받침유닛(10)의 상단 후방에 설치된 베이스판(31)에 상기 X축 가이드레일(21)과 직교상태로 이격 설치된 다수의 제2 연결레일(33)을 따라 Y축 방향으로 이동가능하게 설치된 다수의 로딩 스테이지(30)와;
상기 로딩 스테이지(30)의 상단에 제2 연결레일(33)과 평행하게 이격 설치된 다수의 Y축 가이드레일(41)을 따라 Y축 방향으로 이동가능하게 설치된 다수의 서브 스테이지(40)로 이루어진 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치.
A main stage (20) is installed movably in the X-axis direction along a plurality of X-axis guide rails (21) spaced apart from the upper front of the plane support unit (10) and has a plurality of first connection rails (20);
Axis direction along a plurality of second connection rails 33 spaced from and perpendicular to the X-axis guide rail 21 in a base plate 31 provided at an upper rear of the plane support unit 10 A plurality of loading stages (30) installed;
And a plurality of sub-stages 40 provided on the upper end of the loading stage 30 so as to be movable in the Y-axis direction along a plurality of Y-axis guide rails 41 spaced in parallel to the second connecting rail 33 Wherein the radiation irradiation stage movement control device comprises:

평면 받침유닛(10)의 상단 전방에 이격 설치된 다수의 X축 가이드레일(21)을 따라 X축 방향으로 이동가능하게 설치되고, 상단에 다수의 제1 연결레일(23)이 이격 설치된 된 메인 스테이지(20)와;
상기 평면 받침유닛(10)의 상단 후방에 설치된 베이스판(31)에 상기 X축 가이드레일(21)과 직교상태로 이격 설치된 다수의 제2 연결레일(33)을 따라 Y축 방향으로 이동가능하게 설치된 다수의 서브 스테이지(40)로 이루어진 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치.
A main stage (20) is installed movably in the X-axis direction along a plurality of X-axis guide rails (21) spaced apart from the upper front of the plane support unit (10) and has a plurality of first connection rails (20);
Axis direction along a plurality of second connection rails 33 spaced from and perpendicular to the X-axis guide rail 21 in a base plate 31 provided at an upper rear of the plane support unit 10 And a plurality of sub-stages (40) provided on the stage.

제 1항에 있어서,
상기 로딩 스테이지(30)의 상부면 중앙에는 Y축 모터(63)의 작동에 따라 회전하는 볼스크류(62)가 설치되고, 상기 볼스크류(62)의 외측에는 서브 스테이지(40)의 저면에 부착된 이동블럭(64)이 나사결합 설치된 구성을 갖는 Y축 자동이동장치(60)가 추가로 구비된 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치.
The method according to claim 1,
A ball screw 62 that rotates according to the operation of the Y axis motor 63 is installed at the center of the upper surface of the loading stage 30 and is attached to the bottom of the sub stage 40 on the outer side of the ball screw 62. And a Y-axis automatic moving device (60) having a configuration in which the movable block (64) is screwedly installed.

제 1항 또는 제 2항에 있어서,
메인 스테이지(20)는 리니어 모터(25)의 작동에 따라 X축 방향으로 자유롭게 이동하는 한편;
상기 리니어 모터(25)는 메인 스테이지(20)의 저면에 부착되는 자석판(25a)과, 상기 자석판(25a)과 밀착된 상태로 평면 받침유닛(10)의 상단에 설치된 코일부(25b)로 이루어진 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
The main stage 20 moves freely in the X-axis direction according to the operation of the linear motor 25;
The linear motor 25 includes a magnet plate 25a attached to the bottom surface of the main stage 20 and a coil portion 25b provided at the upper end of the plane supporting unit 10 in a state of being closely contacted with the magnet plate 25a And the irradiation start position of the irradiation start position.

제 1항 또는 제 2항에 있어서,
평면 받침유닛(10)은 베이스프레임(11) 및 상기 베이스프레임(11)의 상부에 안착되는 석정반(12)으로 이루어지며, 상기 석정반(12)의 상단에 X축 가이드레일(21) 및 베이스판(31)이 설치되는 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
The planar support unit 10 comprises a base frame 11 and a stone tablet 12 mounted on the top of the base frame 11. The X-axis guide rail 21 and the X- And a base plate (31) is provided on the base plate (31).

제 1항 또는 제 2항에 있어서,
메인 스테이지(20)의 전면에는 전자석 락(51)이 부착되고, 상기 전자석 락(51)의 자력에 의해 붙으면서 상기 메인 스테이지(20)의 상부에 로딩 되는 로딩 스테이지(30)의 고정상태를 유지하는 피자성체(51)가 상기 로딩 스테이지(30)의 전면에 설치된 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
An electromagnetic lock 51 is attached to the front surface of the main stage 20 and the loading stage 30 which is attached to the upper portion of the main stage 20 by the magnetic force of the electromagnetic lock 51 is maintained (51) is provided on the front surface of the loading stage (30).

제 1항 또는 제 2항에 있어서,
제1 연결레일(23)은 선택적으로 상기 제2 연결레일(33)과 동일 선상에 위치하면서 상호 연계된 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the first connection rails (23) are selectively positioned coaxially with the second connection rails (33) and remain connected to each other.

제 1항에 있어서,
평면 받침유닛(10)의 저면에는 다수의 리니어 슬라이더(14)가 등간격으로 설치되고, 상기 리니어 슬라이더(14)는 고정레일(15)의 상단에 일체화 안착된 리니어 가이드(16)를 따라 Y축 방향으로 이동하면서 스테이지 이동제어장치(S)를 전체적으로 Y축 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치.
The method according to claim 1,
A plurality of linear sliders 14 are provided at equal intervals on the bottom surface of the plane support unit 10 and the linear slider 14 is mounted on the Y- Axis direction, and moves the stage movement control device (S) as a whole in the Y-axis direction while moving in the Y-axis direction.

평면 받침유닛(10)의 상단 전방에 이격 설치된 다수의 X축 가이드레일(21)을 따라 X축 방향으로 이동가능하게 설치되고, 상단에 다수의 제1 연결레일(23)이 이격 설치된 된 메인 스테이지(20)와;
상기 평면 받침유닛(10)의 상단 후방에 설치된 베이스판(31)에 상기 X축 가이드레일(21)과 직교상태로 이격 설치된 다수의 제2 연결레일(33)을 따라 Y축 방향으로 이동가능하게 설치된 다수의 로딩 스테이지(30)와;
상기 로딩 스테이지(30)의 상단에 제2 연결레일(33)과 평행하게 이격 설치된 다수의 Y축 가이드레일(41)을 따라 Y축 방향으로 이동가능하게 설치된 수평베이스(71)와;
상기 수평베이스(71)의 상단에 직립 설치된 수직베이스(72)의 전면 양측에 이격 설치된 다수의 Z축 가이드레일(73)을 따라 Z축 방향으로 이동가능하게 설치된 서브 스테이지(70)와;
상기 수직베이스(72)의 전면 중앙에 Z축 모터(81)의 작동에 따라 회전하는 볼스크류(82)가 설치되고, 상기 볼스크류(82)의 외측에는 서브 스테이지(70)의 후면에 부착된 이동블럭(84)이 나사결합 설치된 구성을 갖는 Z축 자동이동장치(80)로 이루어진 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치.A main stage (20) is installed movably in the X-axis direction along a plurality of X-axis guide rails (21) spaced apart from the upper front of the plane support unit (10) and has a plurality of first connection rails (20);
Axis direction along a plurality of second connection rails 33 spaced from and perpendicular to the X-axis guide rail 21 in a base plate 31 provided at an upper rear of the plane support unit 10 A plurality of loading stages (30) installed;
A horizontal base 71 provided on the upper end of the loading stage 30 so as to be movable in the Y axis direction along a plurality of Y axis guide rails 41 spaced in parallel with the second connecting rail 33;
A sub-stage 70 provided to be movable in the Z-axis direction along a plurality of Z-axis guide rails 73 spaced from both sides of a front face of a vertical base 72 installed upright on an upper end of the horizontal base 71;
A ball screw 82 that rotates in accordance with the operation of the Z axis motor 81 is installed at the front center of the vertical base 72 and a ball screw 82 attached to the rear side of the sub stage 70 And a Z-axis automatic moving device (80) having a configuration in which a moving block (84) is installed in a screwed manner.