KR101498421B1 - 진동식 반송 장치 - Google Patents

Abstract

반송로를 따른 반송 상태의 양태를 용이하게 조정할 수 있는 진동식 반송 장치를 실현한다.
본 발명의 진동식 반송 장치는, 반송로를 구비한 반송체와, 반송체를 반송로의 반송방향 F의 전후에서 각각 지지하는 한 쌍의 구동용 판 스프링(11, 12)과, 한 쌍의 구동용 판 스프링을 개재시켜 반송체와 각각 접속되어 반송 방향의 전후에 배치되는 한 쌍의 접속체(15, 16)와, 한 쌍의 접속체에 각각 일단이 접속되고 반송 방향의 전후에 배치되는 한 쌍의 압전 구동체(D1, D2)와, 한 쌍의 압전 구동체의 타단 사이를 연결하는 연결 부재(Cn, Cw)와, 설치면 상에 있어서 한 쌍의 접속체를 각각 반송 방향의 전후에서 지지하는 한 쌍의 방진용 판 스프링(17, 18)과, 반송 방향의 전후의 적어도 한쪽의 방진용 판 스프링의 경사 각도를 조정 가능하게 구성하는 스프링 각 조정 기구(20)를 구비한다.

Description

진동식 반송 장치{Vibratory Conveying Apparatus}

본 발명은 진동식 반송 장치에 관한 것이고, 특히, 반송물의 반송 상태를 조정하기 위한 기구에 관한 것이다.

일반적으로, 제조 설비에 있어서 전자부품 등을 반송로 상에서 정렬시키면서 검사 장치 등에 공급하기 위한 진동식 반송 장치가 알려져 있다. 이 경우에, 반송로의 하류측에 배치되는 검사장치 등의 공급처 장치에서는 반송물의 처리 속도가 정해져 있기 때문에, 진동식 반송 장치의 반송로의 공급단에서는, 하류측의 공급처 장치의 처리 속도에 맞춘 속도로 반송물을 공급할 필요가 있다. 여기서, 만일 공급처 장치의 처리 속도보다도 반송물의 공급 속도가 늦어지면 제조설비 전체의 처리 효율이 저하되기 때문에, 제조 설비의 처리 능력을 충분히 활용할 수 없게 된다. 따라서, 통상은 공급처 장치의 처리 속도보다도 반송물의 공급 속도가 빨라지도록 설정하면 좋다. 그렇지만, 공급 속도가 너무 빠르면 상기 공급단의 근방에 있어서 반송물이 반송로 상에서 장시간 체류하므로, 반송물이 반송로 상에서 마모되거나 전후의 반송물끼리의 접촉으로 손상을 받거나 한다. 이 때문에, 실제로는, 진동식 반송 장치의 반송 속도를 공급처 장치의 처리 속도에 맞추어 정밀하게 조정할 필요가 있다.

종래의 진동식 반송 장치에서는, 예를 들어 아래의 특허 문헌 1과 같이, 반송로를 구비한 반송체를 진동시키기 위한 구동용 판 스프링의 경사 각도를 스페이서나 부착부의 가동구조 등에 의하여 조정가능하게 구성된 것이 알려져 있다. 한편, 반송체를 진동시키기 위한 구동용 판 스프링이 아닌, 반송체에 접속된 카운터 웨이트를 기대(基台)에 접속하기 위한 방진용 판 스프링의 경사 각도를 조정가능하게 구성함으로써, 반송 속도를 설정가능하게 구성된 것이 특허 문헌 2에 개시되어 있다.

일본국 특공 소 44－3778호 공보 일본국 특개 평 3－106711호 공보

그런데 진동식 반송 장치를 제조 설비에 설치할 때에는, 설치해야 할 장치의 상류측이나 하류측의 제조 설비와의 관계로 여러 가지의 조정 작업이 필요하다. 특히, 반송물의 반송 속도는 반드시 제조 라인에 대응하는 범위로 조정하지 않으면 안 된다. 그렇지만, 상기 종래의 특허문헌 1과 같은 구동용 판 스프링의 경사각도를 조정하는 방법으로는, 반송체의 진동 각도가 직접 조정되기 때문에 반송물의 반송 속도를 크게 바꿀 수는 있으나, 구동용 판 스프링의 스프링정수가 크기 때문에 그 경사 각도를 바꾸면 진동계 전체의 공진 주파수나 진폭도 크게 변화한다. 이 때문에, 반송물의 반송 속도 등을 소망하는 값으로 정밀하게 설정하려고 하면 여러 가지의 조건을 고려해 복잡하고 섬세한 조정 작업이 필요하게 된다. 또한, 구동용 판 스프링의 경사 각도를 조정하면, 반송체의 자세나 높이가 그 경사 각도에 따라서 크게 변화하기 때문에, 특히 근년의 미세한 부품을 반송물로 하는 장치에서는 반송체의 자세나 높이에 대한 요구 정밀도가 높으므로 경사 각도의 조정 작업 후에 반송로의 자세나 높이를 다시 재조정할 필요가 있어, 작업이 한층 더 번잡하게 된다.

한편, 상기 종래의 특허 문헌 2와 같은 방진용 판 스프링의 경사 각도를 바꾸는 방법으로는, 통상, 방진용 판 스프링의 진동 방향의 스프링 정수는 구동용 판 스프링의 스프링 정수에 비해 작기 때문에, 구동용 판 스프링을 개재시켜 접속된 반송로와 카운터 웨이트로 이루어지는 구동 진동계의 공진 주파수나 진폭에 주는 영향은 적다. 또한, 방진용 판 스프링의 하단부를 이동시키도록 하면 반송체의 자세나 높이를 바꾸지 않고 경사 각도를 바꾸는 일도 가능하다. 그러나 이 방법은, 반송체의 진동 양태를 직접 바꾸는 것이 아니고, 카운터 웨이트를 지지하는 방진용 판 스프링의 경사 각도를 바꾸는 것에 지나지 않는다. 즉, 카운터 웨이트의 탄성 지지 특성을 바꾸는 것으로 구동용 판 스프링을 개재시켜 탄성 지지되는 반송체의 진동 양태를 간접적으로 제어하려고 하는 것이다. 따라서, 방진용 판 스프링의 경사 각도를 어느 정도 크게 변화시키지 않으면 반송물의 반송 속도를 충분히 조정할 수 없고, 또한, 상기 경사 각도를 크게 변화시키면 진동 양태가 불안정하게 된다고 하는 문제점이 있다. 또한, 이 방법에서는, 구동용 판 스프링을 개재시켜 접속된 반송체와 카운터 웨이트로 이루어지는 구동 진동계의 반송 방향을 따른 지지 양태가 크게 변화하기 때문에, 반송체 전체의 반송 상태의 균형(밸런스), 예를 들어, 반송로의 전체 길이에 걸친 반송 속도의 균일화 또는 반송 방향을 따른 반송 속도의 변화 양태를 적절하게 설정하려고 하면, 전후의 방진용 판 스프링의 밸런스를 고려할 필요가 있기 때문에, 실제의 조정작업은 난항을 겪는 경우가 많다. 또한, 위에서 설명한 바와 같이, 방진용 판 스프링의 경사 각도를 조정하는 방법으로는 반송체의 자세나 높이를 거의 일정하게 유지하는 것은 가능하나, 볼트나 나사 등의 부착, 떼어냄으로 인해 발생하는 미묘한 자세나 높이의 차이를 회피할 수 없기 때문에, 근년의 반송물의 미세화에 수반해 반송체의 자세나 높이에 대한 요구 정밀도의 고도화에 대응하기 위해서는, 상기와 마찬가지로 자세나 높이의 재조정을 위한 번잡한 작업을 생략할 수 없다.

그래서 본 발명은 상기 문제점을 해결하는 것이며, 그 과제는, 반송로를 따른 반송 상태의 양태를 용이하게 조정할 수 있는 진동식 반송 장치를 실현하는 것에 있다. 또한, 다른 과제는, 방진용 판 스프링의 경사 각도를 조정하더라도 반송로의 자세나 높이의 재조정을 필요로 하지 않는 진동식 반송 장치를 실현하는 것에 있다.

이러한 실정에 비추어, 본 발명의 진동식 반송 장치는, 반송로를 구비한 반송체와, 상기 반송체를 상기 반송로의 반송 방향의 전후에서 각각 지지하는 한 쌍의 구동용 판 스프링과, 상기 한 쌍의 구동용 판 스프링을 개재시켜 상기 반송체와 각각 접속되어 상기 반송 방향의 전후에 따로따로 배치되는 한 쌍의 접속체와, 상기 한 쌍의 접속체에 각각 일단이 접속되어 상기 반송 방향의 전후에 배치되는 한 쌍의 압전 구동체와, 상기 한 쌍의 압전 구동체의 타단 사이를 연결하는 연결 부재와, 설치면 상에 있어서 상기 한 쌍의 접속체를 각각 상기 반송 방향의 전후에 있어서 지지하는 한 쌍의 방진용 판 스프링과, 상기 반송 방향의 전후의 적어도 어느 한쪽의 상기 방진용 판 스프링의 경사 각도를 조정 가능하게 구성하는 스프링 각(角) 조정 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 연결 부재에 대하여 공통으로 접속된 한 쌍의 압전 구동체에 의해 생긴 진동이 각각 반송 방향의 전후에 따로따로 배치된 접속체를 개재시켜 각각 대응하는 구동용 판 스프링에 전달됨으로써, 반송체가 한 쌍의 구동용 판 스프링에 의해 진동하고, 반송로 상의 반송물이 반송 방향으로 반송된다. 이때, 접속체를 탄성 지지하는 방진용 판 스프링은, 기대 등의 장치의 설치면 측으로 누설되는 진동에너지를 저감시킨다.

또한, 스프링 각 조정 기구에 의해 접속체를 탄성 지지하는 방진용 판 스프링의 경사 각도를 변경함으로써, 압전 구동체에 의하여 구동되는 접속체가 받는 탄성 지지 특성도 변화하기 때문에, 반송체의 진동 방향 및 진폭을 변화시킬 수 있다. 따라서, 스프링 각 조정 기구에 의해 반송 속도 그 외의 반송체에 의한 반송 양태를 제어하는 것이 가능하게 된다.

특히, 본 발명에서는, 반송 방향의 전후에 배치되는 한 쌍의 방진용 판 스프링이 반송 방향의 전후에 따로따로 배치되는 접속체에 각각 접속되어 있기 때문에, 한쪽의 방진용 판 스프링의 경사각도를 변화시키더라도, 기본적으로는 다른 한쪽의 방진용 판 스프링에 지지되는 구동 진동계에는 거의 영향을 주지 않는다. 따라서, 반송 방향의 전후의 어느 한쪽에서 반송 속도를 조정했을 때, 다른 한쪽에서는 반송 속도 그 외의 반송 양태가 거의 바뀌지 않기 때문에, 조정 작업을 종래보다도 큰 폭으로 용이하게 행할 수 있다.

여기서, 상기 연결 부재를, 구동용 판 스프링에 접속되는 반송체의 질량에 대응하는 관성 질량으로 함으로써, 방진용 판 스프링을 개재시켜 설치면 측으로 누출되는 진동에너지를 한층 더 저감시킬 수 있는 동시에, 반송 방향의 전후의 한 쌍의 구동 진동계의 사이의 독립성을 한층 더 높일 수 있기 때문에, 방진용 판 스프링의 경사 각도의 조정에 의한 반송체의 진동 양태의 제어를 한층 더 용이하게 행하는 것이 가능하게 된다.

본 발명에 있어서, 상기 스프링 각 조정 기구는, 상기 접속체가 고정된 상태로 상기 방진용 판 스프링의 경사 각도가 변경 가능하게 구성되는 것이 바람직하다. 이에 의하면, 접속체는 구동용 판 스프링을 개재시켜 반송체를 탄성 지지하고 있기 때문에, 접속체를 고정한 상태로 조정 작업을 행하도록 하면, 반송체의 자세나 높이를 바꾸지 않고 방진용 판 스프링의 경사 각도를 바꿀 수 있다. 접속체의 고정은, 접속체 자체를 직접 고정하는 경우뿐만 아니라, 예를 들어, 압전 구동체, 구동용 판 스프링, 반송체, 혹은, 연결 부재를 기대에 고정하는 등, 결과적으로 간접적이기는 하나 접속체를 고정할 수 있는 여러 가지의 방법으로 행할 수 있다. 이 경우에는 뒤에서 설명하는 지지 고정 수단을 사용하는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상기 반송 방향의 전후에 각각 배치되는, 상기 구동용 판 스프링, 상기 접속체 및 상기 압전 구동체로 이루어지는 한 쌍의 구동 진동계는, 상기 압전 구동체 내에 배치되는 진동 중심의 둘레에 회동하는 양태로 각각 진동하고, 상기 스프링 각 조정 기구는, 상기 반송 방향의 전후의 적어도 한쪽의 상기 방진용 판 스프링을, 이 방진용 판 스프링에 접속되는 상기 접속체, 이 접속체에 접속되는 상기 압전 구동체 및 상기 구동용 판 스프링, 그리고 이 구동용 판 스프링에 접속되는 상기 반송체로 이루어지는 상기 구동 진동계의 상기 진동 중심의 측에 있는 가상 중심점의 둘레의 회전 방향으로 회동가능하게 구성하고 또한 상기 회동 방향의 복수의 위치에서 유지 고정 가능하게 구성하며, 상기 가상 중심점은, 상기 방진용 판 스프링보다도 상기 진동 중심에 가까운 위치에 설정된다. 이에 의하면, 적어도 어느 한쪽의 방진용 판 스프링이 압전 구동체의 가상 중심점의 둘레에 회동 가능하게 되고, 더구나 그 회동 방향의 복수의 위치에서 유지 고정 가능하게 구성되므로, 방진용 판 스프링의 경사 각도를 변화시키더라도, 가상 중심점의 둘레의 접속체의 진동 각도는 변화하되, 가상 중심점에서 본 방진용 판 스프링의 자세는 변화하지 않기 때문에, 이 구동 진동계의 진동 중심의 위치 어긋남이나 압전 구동체에 대한 부하의 변동을 억제할 수가 있어 공진 주파수의 변동이나 구동 진동계의 진동 양태의 불안정화도 억제할 수 있다. 이 경우에 있어서, 상기 가상 중심점은, 방진용 판 스프링보다도 상기 진동 중심에 가까운 위치에 설정된다. 특히, 상기 가상 중심점이 상기 구동 진동계의 진동 중심에 거의 일치하는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상기 스프링 각 조정 기구는, 상기 가상 중심점의 둘레의 회동 방향을 따른 제1의 안내면에 의하여 안내되는 상기 방진용 판 스프링과 상기 접속체와의 사이의 제1 접접부(摺接部)와, 상기 방진용 판 스프링을 상기 접속체에 대해 상기 회동 방향에 위치 결정 유지하는 제1 유지 구조와, 상기 회동 방향을 따른 제2 안내면에 의하여 안내되는 상기 방진용 판 스프링과 상기 설치면과의 사이의 제2 접접부와, 상기 방진용 판 스프링을 상기 설치면에 대해 상기 회동 방향에 위치 결정 유지하는 제2 유지 구조를 가지는 것이 바람직하다.

이 경우에 있어서, 상기 스프링 각 조정 기구는, 상기 방진용 판 스프링을 상기 회동 방향으로 회동시키기 위한 회동 조작 수단과, 이 회동 조작 수단에 의해 설정된 상기 방진용 판 스프링의 경사각도를 표시하는 스프링 각 표시 수단을 구비한 조작 표시부를 더 가지는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상기 한 쌍의 방진용 판 스프링의 하단이 접속 고정되는 기대와, 상기 접속체를 직접 또는 간접적으로 상기 기대에 고정하는 지지 고정 수단을 더 가지는 것이 바람직하다. 스프링 각 조정 수단에 의하여 방진용 판 스프링의 경사 각도를 조정할 때에 지지 고정 수단을 사용해 접속체를 직접 또는 간접적으로 상기 기대에 고정함으로써, 접속체에 구동용 판 스프링을 개재시켜 탄성 지지를 받은 반송체의 반송 방향을 따른 자세 및 높이를 유지할 수 있기 때문에, 반송체의 자세 및 높이의 재설정을 위한 작업이 불필요하게 된다.

본 발명에 의하면, 스프링 각 조정 수단에 의하여, 반송로를 따른 반송 상태의 모양을 용이하게 조정할 수 있는 진동식 반송 장치를 실현할 수 있다. 또한, 지지 고정 수단에 의하여, 판 스프링의 경사 각도를 조정하더라도 반송로의 자세나 높이의 조정이 불필요한 진동식 반송 장치를 실현할 수 있다.

도 1은 본 발명에 관한 진동식 반송 장치의 실시 형태의 전체를 반송 방향의 전방으로부터 나타내는 사시도이다.
도 2는 동 실시 형태를 반송 방향의 전방에서 본 모습을 나타내는 정면도이다.
도 3은 동 실시 형태의 측면 피복판을 제거한 상태를 나타내는 좌측면도이다.
도 4는 동 실시 형태의 반송체 고정 부재를 추가로 제거한 상태를 나타내는 좌측면도이다.
도 5는 동 실시 형태의 다른 자세의 사시도이다.
도 6은 동 실시 형태의 측면 피복판을 제거한 상태를 나타내는 우측면도이다.
도 7은 동 실시 형태의 측면 피복판을 제거한 상태를 반송 방향의 후방에서 본 모습을 나타내는 사시도이다.
도 8은 동 실시 형태의 스프링 각 조정 기구의 조작 표시부의 확대도이다.
도 9는 동 실시 형태의 스프링 각 조정 기구의 내부 구조를 나타내는 부분 단면도이다.
도 10은 방진용 판 스프링의 기준 상태에 있어서의 스프링 각 조정 기구의 내부 구조를 확대해 나타내는 확대 부분 단면도이다.
도 11은 방진용 판 스프링의 경사 각도를 바꾼 상태에 있어서의 스프링 각 조정 기구의 내부 구조를 확대해 나타내는 확대 부분 단면도이다.
도 12는 도 10에 나타내는 종단면과 직교하는 종단면에 있어서의 스프링 각 조정 기구의 내부 구조를 확대해 나타내는 확대 부분 단면도이다.
도 13은 동 실시 형태의 스프링 각 조정 기구의 동작을 설명하기 위한 구조 설명도이다.
도 14는 다른 실시 형태의 전체 구성을 나타내는 구성 설명도이다.

다음으로, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태에 대해 상세하게 설명한다. 도 1은 본 실시형태의 사시도, 도 2는 동 정면도, 도 3은 측면 피복판을 제거한 상태를 나타내는 좌측면도, 도 4는 반송체 고정 부재를 추가로 제거한 상태를 나타내는 좌측면도, 도 5는 다른 사시도, 도 6은 측면 피복판을 제거한 상태를 나타내는 우측면도, 도 7은 측면 피복판을 제거한 다른 사시도이다.

본 실시 형태는, 반송로를 구비한 도시하지 않은 반송체를 탑재할 수 있는 진동식 반송 장치(10)이다. 반송체는 반송물(예를 들어, 전자 부품)의 형상 치수에 따라서 오목형상의 반송로를 구비하고 있다. 도시 예에서는, 반송 방향(F)을 향하여 직선 형상으로 신장되는 반송로를 구비한 제1 반송체(후술하는 반송체(10F))를 탑재하는 제1 트로프(trough,1F)와, 반송 방향(F)과는 반대 방향의 반송 방향(B)을 향하여 직선 형상으로 신장되는 반송로를 구비한 제2 반송체를 탑재하는 제2 트로프(1B)를 가진다.

제1 트로프(1F)에는, 반송 방향(F)의 전후로 떨어진 2개소에 있어서 각각 아래쪽으로부터 구동용 판 스프링(11, 12)이 접속된다. 또한, 제2 트로프(1B)에는, 반송 방향(B)의 전후로 떨어진 2개소에 있어서 각각 아래쪽으로부터 구동용 판 스프링(13, 14)이 접속 고정된다. 이들 구동용 판 스프링(11) 내지 (14)은, 도시 예에서는 평판 형상이며, 도 3에 나타내는 바와 같이, 각각 반송 방향(F, R)의 전방 비스듬히 위쪽을 향하는 진동 방향(Fv, Bv)과 거의 직교하는 자세로 부착되어 있다. 즉, 구동용 판 스프링(11, 12)의 법선은 진동 방향(Fv)와 거의 평행하고, 구동용 판 스프링(13, 14)의 법선은 진동 방향(Bv)과 거의 평행하다. 도 3에서는, 구동용 판 스프링(11, 12)의 상부 부착 법선(Lfu) 및 하부 부착 법선(Lfd)은 모두 진동 방향(Fv)과 평행하게 설정되고, 구동용 판 스프링(13, 14)의 상부 부착 법선(Lbu) 및 하부 부착 법선(Lbd)은 모두 진동 방향(Bv)과 평행하게 설정된다.

상기 구동용 판 스프링(11) 내지 (14)의 하단은, 각각 반송 방향(F, B)의 전후 아래쪽에 배치되는 한 쌍의 접속체(15, 16)의 상단에 접속 고정된다. 접속체(15)는 아래쪽으로 신장되는 방진용 판 스프링(17)에 접속 고정되고, 방진용 판 스프링(17)의 하단은 기대(19)에 접속 고정된다. 접속체(16)는 아래쪽으로 신장되는 방진용 판 스프링(18)에 접속 고정되고, 방진용 판 스프링(18)의 하단은 기대(19)에 접속 고정된다. 방진용 판 스프링(17, 18)도 도시 예에서는 평판 형상으로 구성되고, 기본적으로는 상기 진동 방향(Fv)과 거의 직교하는 자세로 부착되어 있다. 방진용 판 스프링(17)은 상부 부착 법선(Ldu1)으로 접속체(15)에 접속 고정되고, 하부 부착 법선(Ldd1)으로 후술하는 스프링 각 조정 기구(20)의 방진 스프링 부착 부재(21)에 접속 고정된다. 또한, 방진용 판 스프링(18)은 상부 부착 법선(Ldu2)으로 접속체(16)에 접속 고정되고, 하부 부착 법선(Ldd2)으로 기대(19)에 접속 고정된다. 본 실시 형태에서는, 방진용 판 스프링(17)의 상기 상부 부착 법선(Ldu1)과 하부 부착 법선(Ldd1)이 모두 가변으로 됨으로써, 후에 상술하는 스프링 각 조정 기구(20)에 의해 경사 각도 θ를 조정 가능하게 구성된다. 한편, 방진용 판 스프링(18)의 상부 부착 법선(Ldu2)과 하부 부착 법선(Ldd2)은 고정되어 있다.

접속체(15)의 하단에는 위쪽으로 신장되는 압전 구동체(D1)의 하단이 접속 고정되고, 압전 구동체(D1)의 상단은 연결판(Cn)의 전단에 접속 고정되어 있다. 또한, 접속체(16)의 하단에는 위쪽으로 신장되는 압전 구동체(D2)의 하단이 접속 고정되고, 압전 구동체(D2)의 상단은 연결판(Cn)의 후단에 접속 고정되어 있다. 따라서, 연결판(Cn)은 반송 방향(F)을 따라 신장되어, 그 전후의 한 쌍의 압전 구동체(D1)와 (D2)의 상단끼리를 연결한다. 연결판(Cn)의 하부에는 추(錘) 블록(Cw)이 고정되어 있다. 연결판(Cn)과 추 블록(Cw)은 상기의 연결 부재에 상당하는 것으로서, 본 실시 형태에서는 전체적으로 한 쌍의 압전 구동체(D1, D2)의 반송체와는 반대단에 접속된 관성 질량체(카운터 웨이트)를 구성한다. 이 관성 질량체는, 제1 트로프(1F) 및 이에 탑재되는 반송체의 합계 질량과 거의 동일한 질량을 가져, 방진용 판 스프링(17, 18)을 개재시켜 기대(19) 측으로 누출되는 진동에너지를 저감시킨다.

압전 구동체(D1, D2)는, 판 스프링 형상의 탄성 기판과, 이 기판의 표면에 적층된 압전층으로 이루어지는 압전 소자를 포함하고, 상기 압전층의 표리에 교번 전압을 인가함으로써 진동방향(Fv)을 거의 따른 방향으로 휨 변형한다. 도시 예에서는 압전 구동체(D1, D2)는 압전 소자만으로 구성되나, 압전 소자에 대하여 직렬로 판 스프링을 접속한 것이어도 된다. 압전 구동체(D1, D2)가 압전 소자만으로 구성된 것인 경우와 판 스프링을 직렬로 접속한 것인 경우의 어느 쪽에 있어서도, 압전 구동체(D1, D2)는 상술의 진동계 내에 있어서는 하나의 판 스프링으로서 기능한다. 또한, 도시 예에서는, 압전 구동체(D1, D2)는 탄성 기판의 양면에 압전체가 적층된 바이모르프타입으로 되어 있다. 압전 구동체(D1, D2)는 전체적으로 판 형상으로 구성되어 반송 방향(F, B)과 거의 직교하는 자세로 부착되나, 특히, 반송방향(F)이 공급 방향인 경우에는, 이 반송 방향(F)과 진동 방향(Fv)과의 사이의 중간 방위를 향한 법선을 가지는 자세로 부착되는 것이 바람직하다.

기대(19)에는 좌우 양측에 배치되는 측면 피복판(Sx)(도 1에는 2점 쇄선으로 나타냄), Sy가 부착된다. 측면 피복판(Sx, Sy)은 각각　기대(19)로부터 위쪽으로 신장되어, 연결판(Cn)의 측방, 바람직하게는 제1 트로프(1F) 및 제2 트로프(1B)의 하부 근방까지의 범위를 좌우의 측방으로부터 덮고 있다. 또한, 좌우 측방의 적어도 어느 한쪽 측, 도시 예에서는 좌측면측에 지지 고정 부재(30)가 부착된다. 이 지지 고정 부재(30)는, 접속체(15)를 고정하는 상기의 지지 고정 수단을 구성한다. 도시 예에서는, 지지 고정 부재(30)는 측면 피복판(Sx)을 넘도록 외측으로부터　기대(19)의 측부와 연결판(Cn)의 측부에 부착 고정된다. 이와 같이 부착 고정된 상태에서는, 지지 고정 부재(30)는, 결과적으로 접속체(15)의 위치를 고정하도록 작용한다. 도시 예에서는, 연결판(Cn)의 측부에 중앙의 나사구멍(Cna), 전후 양측의 오목구멍(Cnb)이 마련되고,　기대(19)의 측부에도 중앙의 나사구멍(19a), 전후 양측의 오목구멍(19b)이 마련된다. 한편, 지지 고정 부재(30)의 내면상에는 상부 및 하부의 각각에 상기 나사구멍(Cna, 19a)에 대응하는 볼트가 삽통 가능한 관통구멍과, 상기 오목구멍(Cnb, 19b)에 각각 대응하는 감합 돌기가 형성된다. 지지 고정 부재(30)는 이 감합 돌기를 상기 오목구멍(Cnb, 19b)에 감입한 상태에서 볼트(31)를 상하의 관통구멍으로부터 각각 나사 구멍(Cna, 10a)에 나입함으로써 부착된다. 이 지지 고정 부재(30)의 부착에 의해, 방진용 판 스프링(17)이 접속되는 접속체(15)의 위치가 고정되므로, 방진용 판 스프링(17)을 이동시키거나 떼어내거나 하여도 반송체의 자세나 높이가 변하지 않게 된다. 그리고 지지 고정 부재(30)는 최종적으로 반송체의 자세나 높이를 유지하기 위한 것이기 때문에, 결과적으로 접속체(15)의 위치가 고정되는 양태이면 좋고, 예를 들어, 접속체(15) 그 자체를 기대(19)에 대하여 고정하는 구조, 제1 트로프(1F)나 반송체 그 자체를　기대(19)에 대하여 고정하는 구조여도 좋다.

지지 고정 부재(30)가 부착되는 측면의 전단 하부에는 측면 프레임(22)이　기대(19)에 부착되어 있다. 이 측면 프레임(22)의 외면상에는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 다이얼식의 조작부(22a)와, 이 조작부(22a)에 대응하는 눈금을 가짐으로써 방진용 판 스프링(17)의 경사 각도 θ를 기정(旣定)의 방법으로 표시하는 표시부(22b)가 마련되어 있다. 도시 예에서는, 상기 조작부(22a)는 볼록 곡면형상의 회전축 머리부에 형성된 직선상의 오목홈에 의하여 구성된다. 또한, 상기 표시부(22b)는 조작부(22a)가 형성된 회전축 머리부의 둘레에 형성되는 눈금으로 구성되고, 조작부(22a)가 지시하는 눈금 위치가 후술하는 방진용 판 스프링의 경사 각도에 대응하도록 되어 있다.

본 실시 형태의 진동식 반송 장치에 있어서는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 제1 트로프(1F)와, 구동용 판 스프링(11, 12)과, 접속체(15, 16)와, 압전 구동체(D1, D2)와, 연결부재(Cn, Cw)는, 방진용 판 스프링(17, 18)에 의해 탄성 지지된 전동체 구조를 구성한다. 보다 구체적으로 설명하면, 본 실시 형태에서는, 연결 부재(Cn, Cw)가 관성 질량체로서 작용함으로써, 반송 방향(F)의 전방에 있어서, 구동용 판 스프링(11), 접속체(15), 압전 구동체(D1)로 이루어지는 구동 진동계가 구성되고, 반송 방향(F)의 후방에 있어서, 구동용 판 스프링(12), 접속체(16), 압전 구동체(D2)로 이루어지는 구동 진동계가 구성된다. 본 실시 형태에서는, 접속체(15)와 (16)이 따로따로 마련됨으로써, 양 구동 진동계는 반송체(제1 트로프(1F))에 대한 작용으로서는 실질적으로 독립된 진동계로 간주할 수 있는 경우가 있다.

다음으로, 도 9 내지 도 12를 참조하여 스프링 각 조정 기구(20)에 대해 설명한다. 상기의 진동계는, 통상은, 압전 구동체(D1, D2)에 의해 기진력(起振力)이 부여되어 압전 구동체(D1, D2) 내에 배치되는 진동 중심의 둘레에 회동하는 양태로 실질적으로 진동한다. 그렇지만, 엄밀한 의미에서의 진동 중심은 반송 방향(F)의 전후 한 쌍의 구동 진동계 전체의 구성이나 방진용 판 스프링(17, 18)의 탄성 지지 특성, 나아가서는 반송 방향(F) 전후의 구동 진동계의 밸런스나 양 진동계의 사이에 배치되는 연결 부재(관성 질량체)(Cn, Cw)의 크기나 강성 등에도 영향을 받기 때문에, 정확한 장소를 특정하는 것은 곤란하다. 그래서 스프링 각 조정 기구(20)에서는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 방진용 판 스프링(17)으로부터 보아 실제의 진동 중심이 존재하는 측에 있다고 상정되는 가상 중심점(O1)을 설정하고, 가상 중심점(O1)의 둘레에 방진용 판 스프링(17)을 회동 가능하게 구성하고, 이 회동에 의해 방진용 판 스프링(17)의 반송 방향(F)을 향한 경사 각도 θ를 조정할 수 있도록 구성하고 있다. 본 실시 형태에서는, 가상 중심점(O1)은, 방진용 판 스프링(17)의 각 부분보다도 실제의 진동 중심에 가까운 위치(거의 진동 중심으로 생각되는 위치)에 설정되어 있다.

도 9에 나타내는 바와 같이, 접속체(15)는, 접속 부재(15A)와, 이 접속 부재(15A)에 대해 상기 구동용 판 스프링(11)을 부착하기 위한 스페이서나 볼트 등으로 이루어지는 상부 부착 구조(15B)와, 상기 접속 부재(15A)에 대해 상기 압전 구동체(D1)를 부착하기 위한 스페이서나 볼트 등으로 이루어지는 하부 부착 구조(15C)와, 상기 접속 부재(15A)에 대해 상기 방진용 판 스프링(17)을 부착하기 위한 스페이서나 볼트 등으로 이루어지는 방진 스프링 부착 구조(15D)를 가진다. 이 방진 스프링 부착 구조(15D)에 의한 방진용 판 스프링(17)의 접속 부재(15A)에 대한 접속 높이는, 상부 부착 구조(15B)에 의한 구동용 판 스프링(11)의 부착 위치와, 하부 부착 구조(15C)에 의한 압전 구동체(D1)의 부착 위치와의 사이가 되도록 구성된다. 이와 같은 구성은, 압전 구동체(D1)의 배치 공간의 확보, 방진용 판 스프링(17)의 반송 방향(F)(진동 방향)의 스프링 정수의 저감, 장치 전체의 높이의 저감 등에 관하여 유리한 효과를 가져온다. 그리고 접속체(16)에 관해서도 상기 구성은 완전히 같다.

도 10은 방진용 판 스프링(17)을 구동용 판 스프링(11)과 평행한 자세로 한 경우(경사 각도 θ=3.5도, 조작부(22a)에 대응하는 표시부(22b)의 값이 1)의 방진용 판 스프링(17)의 부착 구조를 나타내는 부분 단면도이다. 방진용 판 스프링(17)의 상단은, 스프링 각 조정 기구(20)의 일부를 구성하는 접속체(15)의 상기 방진 스프링 부착 구조(15D)에 접속 고정된다. 방진 스프링 부착 구조(15D)는, 접속 부재(15A)에 마련된 상기 가상 중심점(O1)과 동 축에 구성된 원호 형상부(15a)를 포함한다. 이 원호 형상부(15a)의 내외 양면에는, 각각 상기 가상 중심점(O1)과 동 축에 형성된 원호형상의 접접면이 형성되어 있다. 또한, 방진 스프링 부착 구조(D)는, 원호 형상부(15a)의 내외 양면에 각각 접접하는 접접면을 구비한 스페이서인 내측 유지 부재(15b) 및 외측 유지 부재(15c)를 볼트 등에 의해 해제 가능하게 유지하는 구조를 가진다. 여기서, 방진 스프링 부착 구조(15D)에는, 원호 형상부(15a)의 원호형상 내외 양측의 접접면과 내측 유지 부재(15b)의 외면상의 접접면 및 외측 유지 부재(15c)의 내면상의 접접면에 의해 구성되는 제1 접접부와, 원호 형상부(15a) 및 내측 유지 부재(15b)의 관통구멍 및 외측 유지 부재(15c)의 나사구멍과 볼트 등에 의해 구성되는 제1 유지 구조가 마련된다. 여기서, 제1 유지 구조의 볼트 등을 체결함으로써 방진용 판 스프링(17)이 접속 부재(15A)에 고정되고, 제1 유지 구조의 볼트 등을 느슨하게 함으로써 방진용 판 스프링(17)을 제1접접부를 따라 가상 중심점(O1)의 둘레에 회동시킬 수 있도록 구성된다.

한편, 방진용 판 스프링(17)의 하단은, 스프링 각 조정 기구(20)의 일부를 구성하는 방진 스프링 부착 부재(21)에 대하여 스페이서나 볼트 등으로 이루어지는 방진 스프링 부착 구조(21D)에 의하여 접속 고정된다. 이 방진 스프링 부착 부재(21)에는, 좌측면 측(후술하는 측면 프레임(22)의 측)으로 향하여 돌출하고, 상하 양측에 가상 중심점(O1)의 둘레에 동 축에 형성된 원호형상의 계합면을 구비한 계합부(21a)와, 볼트 등을 장착하기 위한 좌우 양측의 측면에 형성된 나사구멍(21b)과, 좌측면 측에 개구 하는 캠 홈(21c)을 구비하고 있다.

방진 스프링 부착 부재(21)의 좌우 양측에는,　기대(19)에 부착 고정된 측면 프레임(22) 및 (23)이 배치된다. 측면 프레임(22) 및 (23)에는 도 12에 나타내는 바와 같이 관통구멍(22c, 23c)이 형성되고, 이들 관통구멍(22c, 23c)에 삽통한 볼트(24)를 방진 스프링 부착 부재(21)의 나사구멍(21b)에 나입함으로써 방진 스프링 부착 부재(21)를　기대(19)에 대하여 고정할 수 있도록 되어 있다. 여기서, 볼트(24)를 개재시킨 방진 스프링 부착 부재(21)와 측면 프레임(22, 23)과의 사이의 착탈 가능한 고정 구조는, 상기 제2 유지 구조에 상당한다. 또한, 도 10에 나타내는 바와 같이, 측면 프레임(22)의 내면상에는 가상 중심점(O1) 둘레의 회동 방향을 따른 안내홈(22d)이 형성되고, 이 안내홈(22d)에 상기 계합부(21a)가 감합되어, 그 원호형상의 계합면이 안내홈(22d)의 내면에 접접함으로써 방진 스프링 부착 부재(21)가 상기 회동 방향으로 안내되도록 되어 있다. 이 안내 구조는 상기 제2 접접부를 구성한다. 더욱이, 방진 스프링 부착 부재(21)의 상기 캠 홈(21c)에는, 측면 프레임(22)의 외면상에 돌설된 조작부(22a)에 대해 편심하도록 연결 고정된 원주형상의 캠(25)이 감입되고, 다이얼식의 조작부(22a)를 회전 조작하면 캠(25)이 편심 회동하여, 이로써 방진 스프링 부착 부재(21)가 안내홈(22d)을 따라 이동하도록 구성되어 있다. 이와 같이, 방진용 판 스프링(17)의 하단에 부착 고정된 방진 스프링 부착 부재(21)는,　기대(19)에 고정된 측면 프레임(22)의 안내홈(22d)에 의해 가상 중심점(O1)의 둘레에 회동하도록 안내되기 때문에, 방진용 판 스프링(17)을 회동시켜도 구동 진동계의 자세나 높이는 기본적으로 유지된다.

다음으로, 위에서 설명한 바와 같이 구성된 스프링 각 조정 기구(20)를 사용한 방진용 판 스프링(17)의 경사 각도 θ의 조정 방법 및 각 부분의 동작에 대해 설명한다. 우선, 방진용 판 스프링(17)의 경사 각도 θ의 조정을 개시함에 앞서, 제1 트로프(1F)(반송체)의 자세 및 높이를 유지하기 위해, 지지 고정 부재(30)를 연결판(Cn)의 측부와　기대(19)의 측부에 부착 고정한다. 이로써, 방진용 판 스프링(17)의 상기 방진 스프링 부착 구조(15D)와 방진 스프링 부착 부재(21) 및 측면 프레임(22, 23)에 의한 유지 고정 상태를 해제하여도, 접속체(15)가 고정되어 있기 때문에 그 위치는 변하지 않게 되어, 제1 트로프(1F)나 제2 트로프(1B)에 탑재되는 도시하지 않은 반송체의 자세나 높이가 변화하는 일은 없어진다.

다음으로, 볼트를 느슨하게 하는 것 등에 의해 상기 방진 스프링 부착 구조(15D)를 해방하고, 또한, 볼트(24)를 느슨하게 하는 것에 의해 방진 스프링 부착 부재(21)와 측면 프레임(22, 23)과의 고정 구조를 해방함으로써, 상기 제1 유지 구조 및 상기 제2 유지 구조를 해제하여 방진용 판 스프링(17)을 이동 가능하게 한다. 이와 같이 하면, 방진용 판 스프링(17)의 상단은, 방진 스프링 부착 구조(15D)의 원호 형상부(15a)와 내측 유지 부재(15b) 및 외측 유지 부재(15c)에 의하여 구성되는 제1 접접부에 의해 가상 중심점(O1)의 둘레를 회동 가능하게 안내되고, 방진용 판 스프링(17)의 하단은, 방진 스프링 부착 부재(21)의 계합부(21a)와 측면 프레임(22)의 안내홈(22d)에 의하여 구성되는 제2 접접부에 의해 가상 중심점(O1)의 둘레를 회동 가능하게 안내된 상태가 된다.

이 상태에서, 측면 프레임(22)의 외면상의 조작부(22a)를 회전 조작하면, 캠(25)의 편심 회전에 의해 제2 접접부의 캠 홈(21c)을 개재시켜 방진 스프링 부착 부재(21)가 위에서 설명한 바와 같이 안내되면서 회동하고, 이에 따라 방진 스프링 부착 구조(15D)도 제1 접접부에 의해 위에서 설명한 바와 같이 안내되면서 회동하므로, 방진 스프링 부착 부재(21)에 고정된 방진용 판 스프링(17)은 가상 중심점(O1)의 둘레를 회동한다. 따라서, 도 9에 나타내는 방진용 판 스프링(17)의 경사 각도 θ가 조작부(22a)의 회전 조작에 따라서 변화한다. 예를 들어, 도 10에 나타내는 기준 상태로부터, 도 9 및 도 11에 나타내는 상태로 변화시킬 수 있다. 여기서, 방진용 판 스프링(17)의 경사 각도 θ는, 적어도 ±1.5도의 범위 내에서 조정 가능한 것이 바람직하고, 특히, 적어도 ±3.0도의 범위 내에서 조정 가능하게 하는 것이 바람직하다. 또한, 경사 각도 θ가 2.5~3.5도 정도를 표준값으로 하고, 이에 대해 어느 방향으로도 증감을 조정 가능하게 하는 것이 바람직하다. 더욱이, 상기 경사 각도 θ와 소정의 대응 관계가 되도록 적절하게 설정된 눈금을 마련하는 것이 바람직하다. 도시 예의 표시부(22b)에서는, 방진용 판 스프링(17)이 구동용 판 스프링(11)과 평행한 자세가 되는 도 10에 나타내는 기준 상태를 0으로 하고, 이 기준 상태로부터 방진용 판 스프링(17)이 도시한 바와 같이 수평 방향을 향하여 경사 각도 θ를 증대시켜 가는 방향으로 정(正)의 값을 취하는, 각도 변화량(단위=도)을 나타내는 눈금 1~6이 마련되어 있다. 그리고 도 1 내지 도 8은, 조작부(22a)가 표시부(22b)의 눈금 6을 나타내는 상태를 표시하고 있다. 또한, 상기 표준값을 눈금 0으로 하고, 이 표준값으로부터 플러스 마이너스 양 방향에 각각 눈금을 표시하도록 하여도 좋다.

상기와 같이 하여 조작부(22a)에 대한 조작이 행해지고, 방진용 판 스프링(17)의 자세가 소망의 경사 각도 θ가 되도록 변경되면, 상기 방진 스프링 부착 구조(15D)의 볼트와 측면 프레임(22)의 외면상의 볼트(24)를 각각 체결하여 방진용 판 스프링(17)의 상단과 하단(방진 스프링 부착 부재(21))을 고정한다. 그리고 마지막에 상기 지지 고정 부재(30)를 연결판(Cn)과 기대(19)로부터 떼어낸다.

이상과 같이 하여, 방진용 판 스프링(17)의 경사 각도 θ가 조정되면, 다음과 같이 반송체의 반송 방향을 따른 반송 양태를 변화시킬 수 있다. 도 13은, 본 실시 형태의 진동식 반송 장치(10)의 전체 구성을 모식적으로 나타내는 설명도이다. 여기서, 제1 트로프(1F)에는 반송체(10F)가 탑재되어 있는 것으로 한다. 도 13에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 기준 상태(경사 각도 θ=3.5도)의 방진용 판 스프링(17)을 조정하여 경사 각도 θ를 증대시킨 방진용 판 스프링(17′)으로 할 수 있다. 여기서, 기준 상태의 방진용 판 스프링(17)이 접속체(15)에 부여하는 탄성 지지 특성은, 구동용 판 스프링(11) 및 방진용 판 스프링(17)과 직교하는 방향의 스프링 정수 Sa가 최소가 되고, 구동용 판 스프링(11) 및 방진용 판 스프링(17)과 평행한 방향의 스프링 정수 Sb가 최대가 된다. 이 때문에, 압전 구동체(D1)의 기진력에 의해 생기는 진동은 최소의 스프링 정수 Sa로 실질적으로 탄성 지지된 접속체(15)를 개재시켜 구동용 판 스프링(11)에 전달되므로, 반송체(10F)는 구동용 판 스프링(11)의 경사 각도와 직교하는 진동 방향(Fv)으로 효율적으로 진동한다.

이에 대해, 경사 각도 θ가 증대하면, 방진용 판 스프링(17)이 접속체(15)에 부여하는 탄성 지지 특성은, 최소의 스프링 정수 Sa′를 가지는 방향이 기준 상태의 Sa에 비해 반송 방향(F)의 전방으로 향하여 보다 상향으로 어긋나기 때문에, 압전 구동체(D1)에 의해 구동되는 접속체(15)는 기준 상태에 비해 약간 상향으로 진동하고, 그 진폭도 약간 작아진다. 따라서, 반송체(10F)의 진동 방향(Fv′)도 기준 상태의 진동 방향(Fv)에 비해 약간 상향으로 변화하고, 진폭도 작아지기 때문에, 반송물(W)의 반송 속도는 저하된다. 또한, 일반적으로 말하면, 방진용 판 스프링(17)의 경사 각도 θ를 증감시킴으로써, 이 방진용 판 스프링(17)에 대응하는 압전 구동체(D1), 접속체(15) 및 구동용 판 스프링(11)으로 이루어지는 구동 진동계에 의해 부여되는 진동 방향(Fv) 및 그 진폭을 변화시킬 수 있기 때문에, 반송 속도 그 외의 반송 상태(반송물(W)의 반송시의 자세 안정성 등)를 조정할 수 있다.

본 실시 형태에서는, 위에서 설명한 바와 같이 반송 방향(F)의 전방의 구동 진동계에 있어서는 진동 방향(Fv)을 방진용 판 스프링(17)의 경사 각도 θ에 의해 조정할 수 있다. 한편, 압전 구동체(D2), 접속체(16) 및 구동용 판 스프링(12)으로 이루어지는 반송 방향(F)의 후방에 있는 구동 진동계는 상기 전방의 구동 진동계와는 연결판(Cn) 및 추 블록(Cw)을 개재시켜 접속되어 있기 때문에, 진동의 위상은 동기하고 있으나, 진동 방향과 진폭에 대해서는 실질적으로 독립하여 반송체(10F)에 작용한다. 이 때문에, 접속체(16)를 탄성 지지하는 방진용 판 스프링(18)의 경사 각도 θ가 변화하지 않으면, 반송체(10F)의 반송 방향(F)의 후방 부분은 여전히 기준 상태의 진동 방향(Fv) 및 진폭에 의해 진동하게 된다. 따라서, 위에서 설명한 바와 같이 반송체(10F)의 후방 부분 상에 배치되는 반송물(W)의 반송 상태는, 반송체(10F)의 전방 부분과는 다른 반송 상태가 된다. 예를 들어, 상술한 예에서는 반송체(10F)의 후방 부분에서는 반송 속도가 빠르고, 전방 부분에서는 반송속도가 늦어진다. 그리고 반송 방향(F)의 전후의 구동 진동계의 독립성은, 연결판(Cn)으로 압전 구동체(D1)와 (D2)를 접속한 것만으로도 얻을 수 있으나, 도시 예와 같이 추 블록(Cw)의 방법으로, 압전 구동체(D1, D2)의 타단측의 관성 질량을 크게 할수록 높아진다.

본 실시 형태에서는, 방진용 판 스프링(17)의 경사 각도 θ는, 통상은 압전 구동체(D1)의 내부에 설정되는 진동 중심의 측에 있는 가상 중심점(O1)의 둘레에 방진용 판 스프링(17)이 회동됨으로써 변경되기 때문에, 가상 중심점(O1)에서 본 방진용 판 스프링(17)의 방위는 변화하나, 가상 중심점(O1)에서 본 방진용 판 스프링(17)의 자세 그 자체는 변화하지 않는다. 이 때문에, 방진용 판 스프링(17)의 경사 각도 θ의 변화는, 구동용 판 스프링(11)과 방진용 판 스프링(17)의 접속 각도의 변화에 기인하는 진동 양태의 변화를 가져 가상 중심점(O1) 둘레의 접속체(15)의 진동 각도 범위(진동의 방향)를 변화시키지만, 가상 중심점(O1) 둘레의 진동 그 자체에 대해서는 영향을 주기 어렵다. 따라서, 경사 각도 θ를 조정하는 경우에도, 그 각도 범위가 작으면, 진동 중심의 위치 어긋남이나 압전 구동체(D1)에 대한 부하 양태의 변동을 억제할 수 있다. 또한, 같은 이유에 의하여, 공진 주파수의 변동이나 구동 진동계의 진동 양태의 불안정화를 회피하는 것이 가능하게 된다. 그리고 가상 중심점(O1)은 실제의 진동 중심에 거의 일치하는 것이 바람직하나, 완전하게 일치하지 않아도, 가상 중심점(O1)이 방진용 판 스프링(17)의 각 부분보다도 진동 중심에 가까운 위치에 있으면 동등한 효과를 얻을 수 있다.

상기한 바와 같이 반송체(10F)의 전후에서 반송 속도를 바꾸는 것은 아래와 같은 경우에 유효하게 된다. 예를 들어, 도 13에 나타내는 바와 같이 반송체(10F)의 하류 측에 검사 장치 등의 다른 공급처 장치(50)가 배치되는 경우에 있어서, 이 공급처 장치(50)의 반송물(W)에 대한 처리 능력을 최대한으로 발휘시키기 위해서는 반송체(10F) 상의 반송물(W)의 반송 속도를 상기 처리 능력에 대응 처리 속도보다 크게 설정할 필요가 있다. 이것은, 반송 자세가 부적절하거나 구조상의 불량이 있거나 하는 반송물(W)을 반송로상으로부터 제거하도록 되어 있는 경우(본 실시형태에서는 반송체(10F)의 공급용 반송로로부터 인접하는 반송체의 회수용 반송로에 일부의 반송물(W)을 배출하도록 구성된다.)는, 상기 처리 능력에 거의 대응하는 반송 속도로 반송물(W)을 반송해 가면 일부의 반송물(W)이 배제됨으로써 실질적인 공급량이 부족하여 공급처 장치(50)의 처리 능력을 충분히 활용할 수 없게 되기 때문이다. 그렇지만, 이와 같이 반송체(10F)의 반송 속도를 상기 처리 속도보다 크게 설정하면, 도 13에 나타내는 바와 같이, 반송체(10F)의 장치(50)와의 사이에서 받아 넘김을 행하는 반송 방향(F)의 전단(공급단)의 부근에서는 반송물(W)이 체류하게 된다. 이와 같은 반송물(W)의 체류 상태는 어느 정도 필요하되, 체류 상태가 지연되면 반송물(W)과 반송로와의 마찰이나 반송물(W)끼리의 접촉에 의한 손상, 오염 등을 초래할 가능성이 있다. 그래서 상류측(반송 방향(F)의 후방 부분)에서는 반송 속도를 높게 하고, 하류측(반송 방향(F)의 전방 부분)에서는 반송 속도를 낮게 함으로써, 각 반송물(W)의 실질적인 체류 시간이 단축되는 동시에, 공급단의 근방에 있어서의 반송물(W)에 부여하는 반송 에너지 자체를 경감시킴으로써, 반송물(W)의 손상이나 오염의 정도를 저감시킬 수 있다.

본 실시 형태에서는, 상술한 것과는 반대로, 반송체(10F)의 반송 방향(F)의 후방 부분에서 전방 부분으로 향하여 반송 속도를 증대시키도록 스프링 각 조정 기구(20)에 의해 제어하는 것도 가능하고, 또한, 반송체(10F)의 전체 길이에 걸쳐 균일한 반송 속도를 얻을 수 있도록 하기 위해, 스프링 각 조정 기구(20)를 사용하는 것도 가능하다.

그리고 본 실시 형태의 경우에는 제2 트로프(1B)도 접속체(15)에 대하여 구동용 판 스프링(13)을 개재시켜 접속되어 있기 때문에, 스프링 각 조정 기구(20)에 의해, 제2 트로프(1B)에 탑재되는 도시하지 않은 반송체(예를 들어, 반송체(10F)로부터 배제되는 반송물(W)을 받아, 이 반송물(W)을 역방향으로 반송하여 상류측으로 되돌리기 위한 회수용 반송로를 구비한 반송체)에 대해서도, 반송 속도 그 외의 반송 상태를 제어할 수 있다. 단, 이 경우의 반송 방향B는 상기 반송 방향(F)과는 역방향이 되므로, 반송 방향을 따른 반송 상태의 제어 양태는 반송체(10F)와는 역방향의 양태가 된다.

도 14에는, 방진용 판 스프링(17)의 경사 각도 θ를 조정하기 위한 스프링 각 조정 기구(20)에 추가하여, 방진용 판 스프링(18)의 경사 각도를 조정하기 위한 스프링 각 조정 기구(20′)를 마련한 구성을 나타낸다. 이와 같이, 본 실시 형태에서는, 반송 방향(F)의 전방에 있는 구동 진동계와, 후방에 구동 진동계가 실질적으로 독립하여 반송체(10F)에 작용하기 때문에, 반송 방향(F)의 전후 스프링 각 조정 기구(20, 20′) 마련함으로써, 반송체(10F)의 반송 방향(F)의 전후에 걸친 반송 속도 그 외의 반송 상태를 보다 고정밀도, 또한 용이하게 제어할 수 있다.

그리고 본 발명의 진동식 반송 장치는, 상술한 도시 예에만 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에 있어서 여러 가지 변경을 추가할 수 있음은 물론이다. 예를 들어, 상기 실시 형태의 진동식 반송 장치는 공급용 반송로를 구비한 반송체와 회수용 반송로를 구비한 반송체를 평행하게 배치할 수 있는 구조를 가지, 공급용 반송로를 구비한 반송체만을 탑재 가능한 장치 구성으로 하여도 좋다.

10: 진동식 반송 장치
10F: 반송체
1F: 제1 트로프
1B: 제2 트로프
11~14: 구동용 판 스프링
15, 16: 접속체
15A: 접속 부재
15B: 상부 부착 구조
15C: 하부 부착 구조
15D: 방진 스프링 부착 구조
15a: 원호 형상부
15b: 내측 유지 부재
15c: 외측 유지 부재
17, 18: 방진용 판 스프링,
19: 기대
20, 20′: 스프링 각 조정 기구
21: 방진 스프링 부착 부재
21D: 방진 스프링 부착 구조
21a: 계합부
21b: 나사구멍
21c: 캠 홈
22, 23: 측면 프레임
22a: 조작부
22b: 표시부
22c, 23c: 관통구멍
22d: 안내홈
24: 볼트
25: 캠축
D1, D2: 압전 구동체
Cn: 연결판
Cw: 추 블록
F, B: 반송 방향
Fv, Fb: 진동 방향
θ: 경사 각도
W: 반송물
50: 공급처 장치

Claims (6)

1. 반송로를 구비한 반송체와,
   상기 반송체를 상기 반송로의 반송 방향의 전후에서 각각 지지하는 한 쌍의 구동용 판 스프링과,
   상기 한 쌍의 구동용 판 스프링을 개재시켜 상기 반송체와 각각 접속되어 상기 반송 방향의 전후에 배치되는 한 쌍의 접속체와,
   상기 한 쌍의 접속체에 각각 일단이 접속되어 상기 반송 방향의 전후에 배치되는 한 쌍의 압전 구동체와,
   상기 한 쌍의 압전 구동체의 타단 사이를 연결하는 연결부재와,
   설치면 상에 있어서 상기 한 쌍의 접속체를 각각 상기 반송 방향의 전후에 있어서 지지하는 한 쌍의 방진용 판 스프링과,
   상기 반송 방향의 전후의 적어도 한쪽의 상기 방진용 판 스프링의 경사각도를 조정 가능하게 하는 스프링 각(角) 조정기구를 구비하고 있고,
   상기 반송 방향의 전후에 각각 배치되는, 상기 구동용 판 스프링, 상기 접속체 및 상기 압전 구동체로 이루어지는 한 쌍의 구동 진동계는, 상기 압전 구동체 내에 배치되는 진동 중심의 둘레에 회동하는 양태로 각각 진동하고,
   상기 스프링 각 조정 기구는, 상기 반송 방향의 전후의 적어도 어느 한쪽의 상기 방진용 판 스프링을, 이 방진용 판 스프링에 접속되는 상기 접속체, 이 접속체에 접속되는 상기 압전 구동체 및 상기 구동용 판 스프링, 및, 이 구동용 판 스프링에 접속되는 상기 반송체로 이루어지는 상기 구동 진동계의 상기 진동 중심 측에 있는 가상 중심점의 둘레의 회전 방향으로 회동 가능하게 구성하며 또한 상기 회동 방향의 복수의 위치에서 유지 가능하게 구성하고, 상기 가상 중심점은, 상기 방진용 판 스프링보다도 상기 진동 중심에 가까운 위치에 설정되는 것을 특징으로 하는 진동식 반송 장치.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 접속체가 고정된 상태에서 상기 방진용 판 스프링의 경사 각도가 변경 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 진동식 반송 장치.
   
3. 제 2항에 있어서,
   상기 스프링 각 조정 기구는,
   상기 회동 방향을 따른 제1 안내면에 의해 안내되는 상기 방진용 판 스프링과 상기 접속체와의 사이의 제1 접접부(摺接部)와,
   상기 방진용 판 스프링을 상기 접속체에 대하여 상기 회동 방향에 위치 결정 유지하는 제1 유지 구조와,
   상기 회동 방향을 따른 제2 안내면에 의해 안내되는 상기 방진용 판 스프링과 상기 설치면과의 사이의 제2 접접부와,
   상기 방진용 판 스프링을 상기 설치면에 대하여 상기 회동 방향에 위치 결정 유지하는 제2 유지구조를 가지는 것을 특징으로 하는 진동식 반송 장치.
   
4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
   상기 스프링 각 조정기구는, 상기 방진용 판 스프링을 상기 회동 방향으로 회동시키기 위한 회동 조작 수단과, 이 회동 조작 수단에 의해 설정된 상기 방진용 판 스프링의 경사각도를 표시하는 스프링 각 표시 수단을 구비한 조작 표시부를 더 가지는 것을 특징으로 하는 진동식 반송 장치.
   
5. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 한 쌍의 방진용 판 스프링의 하단이 접속 고정되는 기대와,
   상기 접속체를 직접 또는 간접적으로 상기 기대에 고정하는 지지 고정 수단을 더 가지는 것을 특징으로 하는 진동식 반송 장치.
6. 삭제

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