KR101489372B1 - An apparatus for sensing mis install device in pocket of c-tray - Google Patents

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KR101489372B1
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김병노
유선두
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Abstract

The present invention relates to an apparatus for detecting a device mounting defect of a C-tray, which is capable of detecting a device mounting defect on a C-tray pocket in a C-tray unit transfer process of a semiconductor device. The apparatus for detecting a device mounting defect of a C-tray comprises: a transfer plate which mounts a tray gripper for gripping a C-tray of which semiconductor devices is mounted in pockets; a tray transfer unit which transmits the transfer plate in the horizontal and vertical direction; four sensing switches which generate switching signals by contacting C-tray upon movement of the transfer plate so as to approach to the C-tray to grip the C-tray; and a determination control unit which determines whether a device mounting defect is in the pocket of the C-tray based on each of the sensing signals generated from the four sensing switches.

Description

씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치{AN APPARATUS FOR SENSING MIS INSTALL DEVICE IN POCKET OF C-TRAY}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an apparatus for detecting a device mounting defect in a tray,

본 발명은 반도체 디바이스의 씨 트레이 단위 이송 과정에서 씨 트레이의 포켓에 디바이스의 안착 불량을 검출할 수 있는 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device mounting defect detection device of a seed tray capable of detecting a device mounting defect in a pocket of a seed tray in a process of transferring a semiconductor wafer by a seed tray unit.

반도체 디바이스는 제조 과정에서 제품 손상 방지 및 취급의 용이함 등 여러 가지 이유로 트레이 단위로 취급된다.Semiconductor devices are treated on a tray-by-tray basis for a number of reasons, including preventing product damage during handling and ease of handling.

반도체 디바이스의 공정 설비 간 이동은 작업자 및 자동화 시스템에 의해 이루어지나, 공정 설비 내에서의 디바이스 이송은 픽앤플레이스 장치에 의해 이루어지고, 씨 트레이 이동은 트레이 트랜스퍼라 통칭되는 씨 트레이 이송장치에 의해 이루어진다. 여기서는 씨 트레이 이송장치를 트레이 트랜스퍼라 한다.Movement of the semiconductor device between process facilities is performed by an operator and an automation system. However, device transfer in the process facility is performed by a pick and place apparatus, and seed tray movement is performed by a seed tray transfer device commonly referred to as a tray transfer. Here, the seed tray transfer device is referred to as a tray transfer device.

예를 들어, 조립이 완료된 반도체 디바이스에 대해서 양품 또는 불량품으로 선별하기 위한 테스트 공정을 수행하는 테스트 핸들러에서 디바이스가 장착되는 씨 트레이(C-TRAY)를 로딩부로부터 언로딩부로 자동으로 이동시키기 위한 트레이 트랜스퍼 유닛이 구비된다.For example, in a test handler that performs a test process for selecting a good or defective semiconductor device for assembled semiconductor devices, a tray for automatically moving a C-tray on which the device is mounted from the loading unit to the unloading unit A transfer unit is provided.

로딩부에 위치된 씨 트레이에 장착된 디바이스는 로딩측 픽커헤드에 의해 로딩부에 위치되는 테스트 트레이로 이송된 후 테스트 헤드를 통해 테스터가 전기적 신호를 가하여 양품, 불량 판정을 위한 소정의 테스트 과정을 거치게 된다.The device mounted on the seed tray positioned at the loading section is transported to the test tray located at the loading section by the loading side picker head, and then the tester applies an electrical signal through the test head to perform a predetermined test process .

그리고 로딩부에서 디바이스가 인출되어 빈 씨 트레이는 트레이 트랜스퍼 유닛에 의해 언로딩부로 이동된다.Then, the device is taken out from the loading section and the empty seed tray is moved to the unloading section by the tray transfer unit.

테스트가 완료된 디바이스는 테스트 트레이에 담긴 상태로 언로딩부에 위치하게 되는데 이때 언로딩 부 픽커헤드에 의해 테스트 트레이에 있는 디바이스를The tested device is placed in the unloading section in the test tray, and the unloading section picker head moves the device in the test tray

언로딩부로 이동된 빈 씨 트레이로 이송하게 된다.And transferred to the empty seed tray moved to the unloading section.

이런 과정을 거쳐 언로딩부에 있는 빈 씨 트레이의 포켓에 디바이스가 모두 적재되면 일련의 이동 과정을 거쳐 씨-트레이들이 복수 적층되게 되고, 일정 수 이상 적층되면, 언로딩부로부터 씨 트레이를 분리하여 작업자의 핸들링이나 자동화 시스템에 의해 다음의 공정으로 이송하게 된다.When all of the devices are loaded in the pockets of the empty seed tray in the unloading portion through this process, a plurality of seed trays are stacked through a series of moving processes. When the seed trays are stacked a predetermined number or more, the seed tray is separated from the unloading portion It is transferred to the next process by an operator's handling or an automation system.

그런데 상기와 같이, 씨 트레이에 디바이스를 장착하는 과정 내지 이동하는 과정에서 씨 트레이의 포켓에 디바이스가 정상적으로 장착되지 못할 경우, 예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같이, 씨 트레이의 포켓으로부터 디바이스가 일부분 돌출되도록 안착불량이 발생될 경우에, 복수의 씨 트레이를 적층시 디바이스에 리드의 손상, 볼의 데미지 및 패키지의 크랙 등 심각한 손상이 발생 될 수 있으며, 안정적으로 적층되지 못한 상태로 복수의 씨 트레이를 이송시킬 경우, 이송시에 씨 트레이의 적층 상태가 불안정하게 되어 낙하 내지 손상 등의 문제가 발생 될 수 있다.
However, if the device can not be normally mounted in the pocket of the tray in the process of mounting or moving the device in the tray, as shown in FIG. 1, When a plurality of seed trays are stacked, severe damage such as lead damage, ball damage, package crack, etc. may occur in a case where a mounting defect occurs so that a part of the seed tray is protruded, When the tray is transported, the stacking state of the seed tray may become unstable at the time of transportation, causing problems such as falling or damage.

대한민국 등록특허 제10-0517074호Korean Patent No. 10-0517074

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 창안된 것으로서, 씨 트레이의 포켓에서 디바이스 안착불량 상태를 검출할 수 있는 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a device mounting defect detection apparatus of a seed tray capable of detecting a device mounting defect state in a pocket of a seed tray.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치는, 반도체 디바이스들이 포켓에 장착되는 씨 트레이를 그립핑하기 위한 트레이 그립퍼가 장착된 트랜스퍼 플레이트; 상기 트레이 그립퍼에 의해 그립핑된 씨 트레이를 수평 및 상하 방향으로 이동시키는 씨 트레이 트랜스퍼 유닛; 상기 트랜스퍼 플레이트의 네 모서리부분에 설치되어, 상기 씨 트레이를 그립핑하기 위해 상기 트랜스퍼 플레이트가 상기 씨 트레이에 접근되도록 이동시 상기 씨 트레이에 접촉되어 스위칭신호를 발생하는 4개의 감지스위치; 상기 4개의 감지스위치 각각에서의 감지신호를 근거로 하여 상기 씨 트레이의 포켓에 디바이스 안착불량 여부를 판단하는 판단제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for detecting a device-seating failure of a seed tray, including: a transfer plate having a tray gripper for gripping a seed tray on which semiconductor devices are mounted; A seed tray transfer unit for moving the seed tray gripped by the tray gripper horizontally and vertically; Four sensing switches provided at four corners of the transfer plate to contact the seed tray when the transfer plate is moved to approach the seed tray so as to grip the seed tray to generate a switching signal; And a determination controller for determining whether or not the device is in the pocket of the seed tray based on a detection signal from each of the four sensing switches.

여기서, 상기 4개의 감지스위치 각각은 상기 씨 트레이에 접촉시 밀려 들어가면서 스위치되는 포고핀을 포함하는 것이 바람직하다.Preferably, each of the four sensing switches includes a pogo pin that is pushed into contact with the seed tray when the pogo pin is pushed.

또한, 상기 감지스위치의 높이를 조절하기 위한 높이 조절부를 더 포함하는 것이 좋다.The apparatus may further include a height adjusting unit for adjusting a height of the sensing switch.

또한, 상기 판단제어부는 상기 트랜스퍼 플레이트의 하강동작 완료시 상기 4개의 감지스위치 중에서 적어도 어느 하나에서 감지신호가 발생되지 않을 경우, 장착불량 디바이스가 발견된 것으로 판단하는 것이 좋다.It is also preferable that the determination control unit determines that a malfunctioning device is found when a sensing signal is not generated in at least one of the four sensing switches upon completion of the lowering operation of the transfer plate.

또한, 상기 트랜스퍼 플레이트에 설치되어 상기 트랜스퍼 플레이트의 하강완료시 그립핑할 씨 트레이를 감지하는 트레이 감지센서를 더 포함하고, 상기 판단제어부는 상기 트레이 감지센서에서 씨 트레이 감지신호 수신 후, 미리 설정된 시간이 경과한 후에 상기 감지스위치로부터 전달되는 스위칭신호를 근거로 디바이스 안착불량을 판단하는 것이 좋다.The apparatus may further include a tray sensor disposed on the transfer plate for sensing a tray to be gripped when the transfer plate is completely lowered, It is preferable to determine the device mounting failure based on the switching signal transmitted from the detection switch.

또한, 상기 판단제어부에서 장착불량 디바이스가 발견된 것으로 판단될 경우, 장착불량 디바이스 발견정보를 작업자가 인지하도록 외부로 출력하기 위한 출력부를 더 포함하는 것이 좋다.The apparatus may further include an output unit for externally outputting the mounting failure device discovery information to the worker so that the mounting failure device is detected by the determination control unit.

본 발명의 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치에 따르면, 트랜스퍼 플레이트의 4곳 모서리부분에 감지스위치를 설치하여, 트랜스퍼 플레이트의 하강 후 씨 트레이 유무 인지 후 복수의 감지 스위치와 씨 트레이와의 접촉에 의한 스위칭신호(감지신호)를 분석하여 씨 트레이의 포켓에 장착불량인 디바이스가 있는지를 판단할 수 있다.According to the device mounting defect detection device of the present invention, since the detection switch is provided at the four corners of the transfer plate to detect whether or not there is a seed tray after descending of the transfer plate, The switching signal (sensing signal) can be analyzed to determine if there is a defective device in the pocket of the seed tray.

특히 트랜스퍼 플레이트의 4곳 모서리부분에만 감지스위치를 설치하면 되므로, 적은 수의 감지스위치를 적용할 수 있어 부품 수를 줄이고 비용을 절감할 수 있다.In particular, since the detection switch can be installed only at the four corners of the transfer plate, a small number of detection switches can be applied, thereby reducing the number of components and reducing the cost.

또한, 씨 트레이의 포켓 수나 포켓의 크기 및 위치에 상관없이 적용이 가능하므로, 다양한 씨 트레이에 범용적으로 사용할 수 있기 때문에, 씨 트레이의 종류에 따라 감지 플레이트 등을 교체할 필요가 없게 되어 사용이 편리하고 교체작업 등으로 인한 작업 및 생산공정 효율의 저하를 방지할 수 있는 이점이 있다.In addition, since it can be applied regardless of the number of pockets of the seed tray or the size and position of the pockets, it can be used for various seed trays universally, so it is not necessary to change the detection plate according to the type of seed tray, It is advantageous in that it is possible to prevent the work and the efficiency of the production process from being deteriorated due to the replacement work and the like.

또한, 감지스위치의 높이를 조절할 수 있으므로, 서로 다른 두께를 가지는 다양한 씨 트레이에 모두 적용하여 사용할 수 있는 이점이 있다.In addition, since the height of the sensing switch can be adjusted, it is advantageous that it can be applied to various seed trays having different thicknesses.

도 1은 씨 트레이에 디바이스가 장착불량인 상태를 나타내 보인 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치를 나타내 보인 사시도이다.
도 3은 도 2의 요부를 발췌하여 보인 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치를 설명하기 위한 블록구성도이다.
도 5는 도 2에 도시된 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치의 개략적인 정면도이다.
도 6은 도 5의 A부분 확대 단면도이다.
도 7 내지 도 9b는 본 발명의 실시예에 따른 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 10a 내지 도 10e는 감지스위치의 높이를 조절하는 높이 조절부를 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치의 동작을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치의 동작을 설명하기 위한 타이밍차트이다.
도 13은 트랜스퍼 플레이트 상에 판단제어부가 회로기판으로 하여 설치되는 구성을 설명하기 위한 도면이다.1 is a view showing a state in which a device is not mounted on a seed tray.
2 is a perspective view showing a device mounting defect detection apparatus of a seed tray according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view excerpted from the main part of FIG.
4 is a block diagram for explaining a device seating defect detection apparatus of a seed tray according to an embodiment of the present invention.
Fig. 5 is a schematic front view of the device mounting defect detection device of the seed tray shown in Fig. 2. Fig.
6 is an enlarged cross-sectional view of a portion A in Fig.
FIGS. 7 to 9B are views for explaining the operation of the apparatus for inserting a device defect in the seed tray according to the embodiment of the present invention.
10A to 10E are views for explaining a height adjusting unit for adjusting the height of the sensing switch.
11 is a flowchart for explaining the operation of the apparatus for detecting a device mounting defect in the seed tray according to the embodiment of the present invention.
12 is a timing chart for explaining the operation of the apparatus for detecting a device mounting defect in the seed tray according to the embodiment of the present invention.
13 is a diagram for explaining a configuration in which a judgment control unit is provided as a circuit board on a transfer plate.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치를 자세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an apparatus for detecting a device mounting failure of a seed tray according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 내지 도 9b를 참조하면, 본 발명의 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치는, 트레이 트랜스퍼 유닛(100)과, 상기 트랜스퍼 플레이트(110)의 네 모서리부분에 설치되는 4개의 감지스위치(210,220,230,240)와, 상기 4개의 감지스위치(210,220,230,240) 각각에서의 감지신호를 근거로 하여 씨 트레이(10)의 디바이스(20) 안착불량 여부를 판단하고 판단하는 판단제어부(300)를 구비한다.
2 to 9B, a device mounting defect detection apparatus of the present invention includes a tray transfer unit 100, four detection switches 210, 220, 230, 240 installed at four corners of the transfer plate 110, And a judgment control unit 300 for judging whether or not the seat tray 10 has failed to seat the device 20 based on the detection signals from the four sensing switches 210, 220, 230 and 240.

상기 트레이 트랜스퍼 유닛(100)은 트랜스퍼 플레이트(110)와, 트랜스퍼 플레이트(110)를 수형 이동시키는 수평 구동부(120)와, 트랜스퍼 플레이트(110)를 상하 이동시키는 상하 구동부(130)와, 씨 트레이 그립퍼(140)를 구비한다.The tray transfer unit 100 includes a transfer plate 110, a horizontal driving unit 120 for vertically moving the transfer plate 110, a vertical driving unit 130 for moving the transfer plate 110 up and down, (140).

상기 트랜스퍼 플레이트(110)는 플레이트 형상을 가지며, 고정판(111)에 수평 상태로 고정설치되며, 수평구동부(120)에 의해 디바이스 로딩 위치와 언로딩위치 사이에서 수평이동가능하며, 상하 구동부(130)에 의해서는 상하로 위치이동 가능하게 설치된다.The transfer plate 110 has a plate shape and is horizontally fixed to the fixing plate 111. The transfer plate 110 is horizontally movable between the device loading position and the unloading position by the horizontal driving unit 120, As shown in Fig.

상하 구동부(130)는 고정판(111)을 지지하는 고정블록(131)과, 그 고정블록(153)에 결합되는 상하 리드스크류(132)와, 리드스크류(132)를 정방향 또는 역방향 회전구동시키는 제1구동모터(133)를 구비한다. 이러한 구성의 상하 구동부(130)에 의해 트랜스퍼 플레이트(110)가 상하 이동 가능하게 된다.The upper and lower driving unit 130 includes a fixing block 131 for supporting the fixing plate 111, upper and lower lead screws 132 coupled to the fixing block 153, 1 drive motor 133 as shown in Fig. The transfer plate 110 can be moved up and down by the up and down driving unit 130 having such a configuration.

상기 수평구동부(120)는 수평이동블록(121)과, 수평이동블록(121)에 결합되는 수평 리드스크류(122)와, 수평 리드스크류(122)를 회전구동시키는 제2구동모터(123)를 구비한다. 수평이동블록(121)은 테스트 핸들러장치(1)에 설치되며, 수평 가이더(125)에 의해 수평 이동 가능하게 설치된다. 그리고 수평 리드스크류(122)의 회전동작에 의해 좌우 수평방향으로 왕복이동 가능하다. 수평 이동블록(121)에 상기 상하 구동부(130)가 설치된다.The horizontal driving unit 120 includes a horizontal moving block 121, a horizontal lead screw 122 coupled to the horizontal moving block 121, and a second driving motor 123 for rotating the horizontal lead screw 122 Respectively. The horizontal movement block 121 is installed in the test handler device 1, and horizontally movably installed by the horizontal guider 125. And is horizontally reciprocated by the rotation of the horizontal lead screw 122. The horizontal movement block 121 is provided with the up and down driving unit 130.

여기서 상기 상하 리드스크류(132)와 수평 리드스크류(132)는 타이밍벨트로 대체하여 설치될 수도 있으며, 리니어모터 등으로 대체되어 트랜스퍼 플레이트(110)를 2축 방향으로 왕복 구동시킬 수 있다.
The upper and lower lead screws 132 and the horizontal lead screws 132 may be replaced with timing belts or replaced with linear motors so that the transfer plate 110 can be reciprocally driven in two axial directions.

상기 트랜스퍼 플레이트(110)에는 씨 트레이 그립퍼(140)가 더 설치된다. 씨 트레이 그립퍼(140)는 트랜스퍼 플레이트(110)에 회동 가능하게 설치되는 복수의 캐치핑거(141)와, 캐치핑거(141)의 회전중심에서 벗어난 부분에서 연결되는 연결바(142)와, 트랜스퍼 플레이트(110) 상에서 왕복 이동 가능하며 이동시 연결바(142)를 간섭하여 이동시키는 연동부재(143)와, 연동부재(143)를 왕복 구동시키는 홀더 구동부(144)를 구비한다. 연결바(142)에 형성된 구멍(142a)에 연동부재(143)의 연동핀(143a)이 끼워져 결합됨으로써, 연동부재(143)가 홀더 구동부(144)에 의해 수평 이동시 한 쌍의 연결바(142)가 동시에 직선 이동된다. 그러면, 연결바(142)에 연결되는 캐치핑거(141)가 회동됨으로써 트레이(10)를 홀딩하는 자세(도 7의 자세)와, 해제하는 자세(도 5의 자세) 사이에서 이동가능하게 된다. 상기 그립퍼 구동부(144)는 고정블록(131)에 설치되는 유압 또는 공압 액추에이터(유압실린더)를 포함할 수 있다. 그리고 상기 그립퍼 구동부(144)의 동작을 감지하기 위한 동작 감지센서(실린더 전진 및 후진 감지센서)를 구비할 수 있고, 상기 동작 감지센서의 감지신호는 판단제어부(300)로 전달될 수 있다.
The transfer plate 110 is further provided with a seed tray gripper 140. The seed tray gripper 140 includes a plurality of catch fingers 141 rotatably mounted on the transfer plate 110, a connecting bar 142 connected to the catch finger 141 at a position deviated from the center of rotation of the catch finger 141, An interlocking member 143 reciprocally movable on the body 110 and interfering with and moving the connecting bar 142 during movement and a holder driving unit 144 reciprocatingly driving the interlocking member 143. The interlocking pin 143a of the interlocking member 143 is inserted into the hole 142a formed in the connecting bar 142 so that when the interlocking member 143 is horizontally moved by the holder driving unit 144, ) Are simultaneously moved linearly. Then, the catch finger 141 connected to the connecting bar 142 is pivoted to be movable between the posture (the posture of Fig. 7) for holding the tray 10 and the posture (the posture of Fig. 5) for releasing the tray. The gripper driving unit 144 may include a hydraulic or pneumatic actuator (hydraulic cylinder) installed in the fixed block 131. And a motion detection sensor (cylinder advance and reverse detection sensor) for sensing the operation of the gripper driving unit 144. The detection signal of the motion detection sensor may be transmitted to the judgment control unit 300. [

한편, 상기에서 설명한 바와 같이, 트랜스퍼 플레이트(110)를 수평방향 및 상하방향으로 구동하는 수평 구동부(120) 및 상하 구동부(130)의 구성과, 씨 트레이 그립퍼(140)는 공지의 기술로부터 쉽게 이해할 수 있는 것이며, 상기한 실시예 이외에도 다양한 예가 가능한 것으로서, 그 구체적인 구성이 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 예를 들어, 대한민국 등록특허 제10-05117074호에 이러한 구성이 자세히 기재되어 있으므로 더 이상의 자세한 설명은 생략하기로 한다.
The configuration of the horizontal drive unit 120 and the up and down drive unit 130 for driving the transfer plate 110 in the horizontal direction and the vertical direction and the configuration of the seed tray gripper 140 can be easily understood from the known technology And it is to be understood that the invention is not limited to the specific constructions and constructions. For example, Korean Patent Registration No. 10-05117074 discloses such a configuration in detail, so that a detailed description thereof will be omitted.

또한, 상기 트랜스퍼 플레이트(110)에는 씨 트레이 감지센서(150)가 더 설치된다. 상기 씨 트레이 감지센서(150)는 트랜스퍼 플레이트(110)의 양측 테두리의 하부에 위치되어, 트랜스퍼 플레이트(110)가 하강시 밀착되는 씨 트레이를 감지하기 위한 것으로서, 발광부(151)와 수광부(153)를 가지는 수발광센서를 포함할 수 있다. 상기 트랜스퍼 플레이트(110)가 하강시, 씨 트레이 감지센서(150)에서 씨 트레이 감지신호가 발생되며, 트랜스퍼 플레이트(110;트레이 트랜스퍼)의 하강이 중지된다.Further, a seed tray detection sensor 150 is installed on the transfer plate 110. The seed tray detection sensor 150 is disposed below both sides of the transfer plate 110 and senses a seed tray to which the transfer plate 110 is closely contacted when the transfer plate 110 is lowered. The light emitting unit 151 and the light receiving unit 153 And a light-emitting sensor having a light-emitting layer. When the transfer plate 110 is lowered, a seed tray detection signal is generated at the seed tray detection sensor 150, and the descending of the transfer plate 110 (tray transfer) is stopped.

한편, 본 발명의 실시예에서는 트랜스퍼 플레이트(110)의 하강, 상승, 좌우 이동동작, 그리고 그리퍼 동작과, 트레이 감지센서 등의 동작이 판단제어부(300)에서 통제하는 것으로 설명하고 있으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 장비 자체에서(장치 자체에 구비된 메인 콘트롤러에서) 통제할 수 있는 것은 당연하다. 즉, 판단제어부(300)에서는 트레이 감지센서 및 복수의 감지스위치로부터의 신호를 이용하여 안착불량 상태만 검출하여 이상 상황을 장비에 알려주는 것으로 구성될 수도 있다.
In the embodiment of the present invention, the operation of the descending, ascending, left and right movement of the transfer plate 110, the operation of the gripper, and the operation of the tray detection sensor are controlled by the judgment control unit 300, And it is natural to be able to control the device itself (from the main controller provided in the device itself). That is, the determination control unit 300 may be configured to detect only a bad reception state by using signals from the tray detection sensor and the plurality of detection switches, and notify the abnormal condition to the equipment.

상기 복수의 감지스위치(210,220,230,240)는 트랜스퍼 플레이트(110)의 4곳 모서리부분에 각각 대응되게 설치되어, 트랜스퍼 플레이트(110)가 씨 트레이에 밀착되도록 하강완료시 씨 트레이에 접촉되어 스위칭신호를 발생하고, 발생된 스위칭신호는 판단제어부(300)로 전달된다. 이러한 복수의 감지스위치(210,220,230,240) 각각은 동일한 구성을 가지는 것으로서, 반도체 테스트장비 등에 널리 사용되는 소위 포고핀(pogo pin)의 구성을 가질 수 있다. 일 예로서, 도 7 내지 도 9b를 참조하면, 감지스위치(210)는 트랜스퍼 플레이트(110)에 결합되는 하우징(211)과, 하우징(211)의 하부로 출몰 가능하게 설치되는 승강핀(212)과, 승강핀(212)이 하우징(211)의 하부로 돌출되도록 탄성가압하는 스프링(213) 및 하우징(211)에 설치되어 스프링(213)의 탄성력을 이기고 하우징(211) 내부로 진입되는 승강핀(212)에 의해 스위칭신호를 발생하는 센서부(214)를 가진다. 센서부(214)는 하우징(211) 내에 설치되며, 승강핀(212)이 도 8b와 같이, 트랜스퍼 플레이트(110)에 밀착되는 씨 트레이(10)에 의해 접촉되어 하우징(211) 내로 밀려 들어올 때, 승강핀(212)에 접촉되어 스위칭신호(감지신호)를 발생하여 판단제어부(300)로 전달한다.The plurality of sensing switches 210, 220, 230, and 240 are provided corresponding to the four corners of the transfer plate 110 so as to contact the transfer tray 110 when the transfer plate 110 is brought into close contact with the seed tray, , And the generated switching signal is transmitted to the judgment control unit 300. Each of the plurality of sense switches 210, 220, 230 and 240 has the same configuration, and may have a so-called pogo pin configuration widely used for semiconductor test equipment and the like. 7 to 9B, the sensing switch 210 includes a housing 211 coupled to the transfer plate 110, a lifting pin 212 installed to be capable of retracting to and from the lower portion of the housing 211, A spring 213 which is elastically biased so that the lifting pin 212 protrudes to the lower portion of the housing 211 and a lifting pin 213 which is installed in the housing 211 to overcome the elastic force of the spring 213 and enter the inside of the housing 211, And a sensor unit 214 for generating a switching signal by the switching unit 212. The sensor unit 214 is installed in the housing 211. When the lifting pin 212 is brought into contact with the seed tray 10 closely attached to the transfer plate 110 and pushed into the housing 211 as shown in FIG. (Sensing signal), and transmits the switching signal (detection signal) to the judgment control unit 300. [0050]

여기서 상기 구성의 감지스위치(210,220,230,240)는 승강핀(212)이 트랜스퍼 플레이트(110)의 하부로 돌출되게 설치되는데, 씨 트레이(10)의 종류에 따라서 승강핀(212)의 돌출높이를 조절할 수 있도록 높이 조절부(250)에 의해 높이 조절되게 설치될 수 있다.
The sensing switches 210, 220, 230 and 240 of the above configuration are installed such that the lifting pin 212 protrudes to the lower portion of the transfer plate 110. The height of the lifting pin 212 can be adjusted according to the type of the seed tray 10 And may be installed to be height-adjustable by the height adjuster 250.

도 10a 내지 도 10e를 참조하면, 상기 높이 조절부(250)는 트랜스퍼 플레이트(110)에 결합되어 감지스위치(210)를 지지하는 지지브라켓(251)과, 지지브라켓(251)과 감지스위치(210)에 나사 결합되어 회전방향에 따라서 지지브라켓(251)에 대한 감지스위치(210)의 지지위치를 조절하여 높이 조절하는 높이 조절노브(253)를 구비한다.10A to 10E, the height adjuster 250 includes a support bracket 251 coupled to the transfer plate 110 to support the sensing switch 210, a support bracket 251, a sensing switch 210 And a height adjustment knob 253 for adjusting the height of the support bracket 251 by adjusting the support position of the sensing switch 210 according to the rotation direction.

지지브라켓(251)은 트랜스퍼 플레이트(110)의 상부에 결합되며, 나사 결합공(h1)이 형성된 베이스(251a)와, 베이스(251a)의 상부로 연장된 후 절곡되어 높이 조절노브(253)가 결합되는 노브 결합공(h2)을 가지는 고정 결합부(251b)를 가진다.The support bracket 251 is coupled to an upper portion of the transfer plate 110 and includes a base 251a on which a screw hole h1 is formed and an upper portion of the base 251a which is bent after the height adjustment knob 253 And a fixed engaging portion 251b having a knob engaging hole h2 to be engaged therewith.

그리고 높이 조절부(250)는 상기 감지스위치(210)의 하우징(211)에 결합되며, 상기 베이스(251a)와 고정 결합부(251b) 사이에 위치되고, 높이 조절노브(253)가 결합되는 피동 결합부(255)를 더 구비된다. 피동 결합부(255)에도 높이 조절노브(253)가 결합되는 노브 결합공(h3)이 형성된다.The height adjuster 250 is coupled to the housing 211 of the sensing switch 210 and is disposed between the base 251a and the fixed engaging portion 251b and has a height adjustment knob 253, And an engaging portion 255 is further provided. The driven coupling portion 255 is also formed with a knob coupling hole h3 to which the height adjusting knob 253 is coupled.

상기 높이 조절노브(253)는 고정 결합부(251)에 자유회전되게 결합되고 피동 결합부(255)에 나사 결합되어, 정방향 또는 역방향으로 나사 결합상태를 조절함으로써, 피동 결합부(255)와 고정 결합부(255) 사이의 간격을 조절함으로써, 결국 감지센서(210)의 높이를 미세 조절할 수 있게 된다. 여기서, 상기 높이 조절노브(253)는 작업자가 손으로 회전시킬 수도 있고, 그 헤드 부분에 십자형 또는 일자형 드라이버 결합홈을 형성하여 드라이버로 조절하도록 구성될 수도 있다.The height adjusting knob 253 is freely rotatably coupled to the fixed engaging portion 251 and is screwed to the driven engaging portion 255 so that the height adjusting knob 253 is fixed to the driven engaging portion 255 The height of the detection sensor 210 can be finely adjusted by adjusting the interval between the coupling portions 255. [ Here, the height adjustment knob 253 may be manually rotated by an operator, or may be formed with a screwdriver or a straight driver coupling groove in the head portion thereof, and may be adjusted by a driver.

또한, 상기 지지브라켓(251)은 베이스(251a)의 일측으로 연장되어 감지스위치(210)의 외측을 감싸서 지지하면서 상하 이동을 가이드 하는 가이드부(251c)를 더 구비하는 것이 좋다. 상기 가이드부(251c)는 감지스위치(210)가 상하로 통과하여 가이드되는 가이드공을 포함할 수 있으며, 가이드부(251c)의 측면에 고정부재(254)가 결합되는 고정홀(h4)이 더 형성됨으로써, 높이 조절된 감지스위치(210)를 견고하게 위치 고정시킬 수 있다.
The support bracket 251 may further include a guide portion 251c extending to one side of the base 251a and guiding the up and down movement while supporting the outer side of the sensing switch 210. [ The guide portion 251c may include a guide hole through which the sensing switch 210 passes and may be guided by the sensing switch 210. A fixing hole h4 may be formed on the side surface of the guide portion 251c, So that the height-adjusted sensing switch 210 can be securely positioned.

상기 판단제어부(300)는 씨 트레이(10) 이송 동작을 위해 트랜스퍼 플레이트(110)를 씨 트레이(10) 쪽으로 이동하는 동작에서 상기 씨 트레이 감지센서(150)로부터 감지신호를 전달받아 일정 시간 후, 감지스위치(210,220,230,240)에서의 감지신호를 전달받고, 전달받은 감지신호를 근거로 하여 씨 트레이(10)에 안착불량인 디바이스(20)의 유무를 판단하게 된다. 즉, 도 9a 및 도 9b와 같이, 그리고 안착불량인 디바이스(20')가 발견될 경우, 판단제어부(300)는 출력부(400)를 통해 안착불량 디바이스 발견을 알리는 경보신호를 출력하다. 이를 위해, 출력부(400)는 경보부(410)와, 메시지부(420)를 구비할 수 있다. 경보부(410)는 경광등, LED, 디스플레이부 등을 통해 비디오신호를 출력하여 작업자가 불량발생을 인지할 수 있도록 할 수 있으며, 기존 장비와 연동하여 장비 자체를 정지 시킬 수도 있다. 더 나아가서는 경보부(410)는 스피커 등을 포함하여, 오디오신호로도 불량발생신호를 출력할 수 있다.The judgment control unit 300 receives the detection signal from the seed tray detection sensor 150 in a movement of moving the transfer plate 110 toward the seed tray 10 for feeding the seed tray 10, And receives the sensing signal from the sensing switches 210, 220, 230 and 240, and determines whether or not the seat 20 has a defective seat 20 on the basis of the received sensing signal. 9A and 9B, and when a device 20 'having a poor seating is found, the determination control unit 300 outputs an alarm signal notifying that the seating poor device is found through the output unit 400. [ For this purpose, the output unit 400 may include an alarm unit 410 and a message unit 420. The alarm unit 410 may output a video signal through a beacon, an LED, a display unit, or the like so that the operator can recognize the occurrence of a defect, or may stop the apparatus itself by interlocking with the existing equipment. Furthermore, the alarm unit 410 may output a failure occurrence signal with an audio signal including a speaker and the like.

메시지부(420)는 작업자의 휴대단말기 등으로 불량발생 정보를 메시지로 전송한다.The message unit 420 transmits defect occurrence information to a portable terminal or the like of the worker as a message.

판단제어부(300)는 회로기판 형태로 구성되어, 도 13에 도시된 바와 같이, 트랜스퍼 플레이트(110)의 일측 상부에 설치될 수 있고, 다른 위치에 설치될 수도 있으며, 그 설치 위치에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다.
13, the judgment control unit 300 may be installed on one side of the transfer plate 110, or may be installed in another position, as shown in FIG. 13, But is not limited thereto.

이하 상기 구성을 가지는 본 발명의 실시예에 따른 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치를 이용하여 씨 트레이 디바이스 안착불량을 검출하는 동작에 대해 자세히 설명하기로 한다. Hereinafter, the operation of detecting a seat tray device mounting failure using the device seating failure detecting apparatus of the tray tray according to the embodiment of the present invention will be described in detail.

도 2 내지 도 12를 참조하면, 판단제어부(300)는 씨 트레이(10)를 이동하기 위해서 상하 구동부(130)를 구동제어하여 트랜스퍼 플레이트(110)를 하강시킨다(S10).Referring to FIGS. 2 to 12, the determination control unit 300 controls the up and down driving unit 130 to move the transfer plate 110 in order to move the seed tray 10 (S10).

이때, 트랜스퍼 플레이트(110)가 하강하여 도 8b와 같이, 씨 트레이(10)에 밀착되면 씨 트레이 감지센서(150)에서 씨 트레이(10)를 감지한다(S11). 씨 트레이(10)가 감지되면, 판단제어부(300)는 상하 구동부(130)를 중지시킨다.At this time, when the transfer plate 110 is lowered and comes into close contact with the seed tray 10 as shown in FIG. 8B, the seed tray sensor 150 detects the seed tray 10 (S11). When the seed tray 10 is detected, the judgment control unit 300 stops the up and down driving unit 130.

그리고, 판단 제어부(300)는 씨 트레이 감지신호를 수신 후, 미리 설정된 지연시간(약 0.5초)이 경과한 시간을 지연하고(S12), 감지스위치(210,220,230,240)에서의 체크동작을 시작한다(S13). 이때 상기 감지동작은 씨 트레이 그립퍼(140)의 구동이 개시되었는지를 확인하여(S14), 씨 트레이 그립퍼(140)에 의해 씨 트레이 그립동작이 완료될 때까지 이루어진다. After receiving the seed tray detection signal, the judgment control unit 300 delays the predetermined delay time (about 0.5 second) (S12) and starts the check operation of the detection switches 210, 220, 230 and 240 (S13 ). At this time, the sensing operation is performed until the operation of the seed tray gripper 140 is started (S14) and the seed tray grip operation is completed by the seed tray gripper 140.

씨 트레이 그립퍼(140)에 의해 그립핑동작이 이루어지면, 감지스위치(210,220,230,240)에 의해 디바이스 불량장착 상태의 검출동작을 완료한다(S15).When the gripping operation is performed by the seed tray gripper 140, the detecting operation of the device poor mounting state is completed by the sensing switches 210, 220, 230, and 240 (S15).

검출동작이 완료되면, 검출결과에 따라서 판단제어부(300)는 씨 트레이의 디바이스 장착불량 여부를 판단하게 된다(S16).When the detection operation is completed, the judgment control unit 300 judges whether or not the seed tray is mounted on the device in accordance with the detection result (S16).

즉, 판단제어부(300)는 복수의 감지스위치(210,220,230,240) 각각으로부터 전달된 신호(스위칭신호)를 근거로 하여 씨 트레이 상에 디바이스의 불량장착여부를 판단하게 되는데, 도 8b와 같이, 디바이스들(20)이 씨 트레이(10)의 포켓에 모두 정상적으로 안착되어 있게 되면, 씨 트레이(10)가 트랜스퍼 플레이트(110)에 밀착되어 그립핑될 수 있다. 따라서 트랜스퍼 플레이트(110)의 4곳 모서리부분에 설치된 감지스위치(210,220,230,240) 모두에서는 씨 트레이(10)에 의한 스위칭신호를 발생시켜 판단제어부(300)로 전달하게 되고, 4곳 모두의 감지스위치(210,220,230,240)로부터 감지신호가 전달될 경우, 판단제어부(300)는 씨 트레이 상에 장착불량 디바이스가 없는 것으로 판단하게 된다.That is, the judgment control unit 300 judges whether or not the device is badly mounted on the seed tray based on a signal (switching signal) transmitted from each of the plurality of sensing switches 210, 220, 230 and 240. As shown in FIG. 8B, 20 are normally seated in the pockets of the seed tray 10, the seed tray 10 can be brought into close contact with the transfer plate 110 and gripped. Therefore, all of the detection switches 210, 220, 230, and 240 provided at the four corners of the transfer plate 110 generate a switching signal by the seed tray 10 and transmit the switching signal to the determination control unit 300. All four detection switches 210, , The judgment control unit 300 judges that there is no bad mounting device on the seed tray.

이와 같이, 장착불량 디바이스가 없는 것으로 확인된 경우, 판단제어부(300)는 상하 구동부(130)를 구동하여 씨 트레이(10)를 그립핑한 후 트레이 트랜스퍼를 상승(S17) 하여 정상 동작을 실행한다.
If it is determined that there is no mounting failure device, the determination control unit 300 drives the up and down driving unit 130 to grip the seed tray 10, and then raises the tray transfer (S17) to perform normal operation .

한편, 도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이, 씨 트레이(10) 상에 불량장착된 디바이스(20')가 있는 경우에는, 트랜스퍼 플레이트(110)가 하강하여 씨 트레이(10)에 밀착되더라도, 불량 장착된 디바이스(20')에 의해 어느 한쪽 부분은 트랜스퍼 플레이트(110)에 밀착되지 못하게 된다. 따라서, 4개의 감지스위치(210,220,230,240) 중에서 적어도 어느 하나의 감지스위치(220)는 감지신호(스위칭신호)를 발생하지 못하고, 나머지 감지스위치(210,230,240)에서만 감지신호를 발생하고, 어느 하나의 감지스위치(220)에서는 감지신호를 발생하지 못하게 된다. 이와 같이, 씨 트레이(10)를 감지 후, 씨 트레이의 그립핑동작이 완료된 시점에서 특정 감지스위치(220)에서 감지신호를 획득하지 못할 경우, 판단제어부(300)는 씨 트레이 상에 장착불량 디바이스(20')가 있는 것으로 판단하고, 장치의 구동을 정시시킨다(S18). 즉, 씨 트레이 그립퍼(140)의 동작은 물론, 상하 구동부(130)의 동작을 정지시킨다. 그리고 에러 발생신호에 연계하여 출력부(400)를 통해 에러 발생신호를 출력하여 관리자가 에러 발생상태를 확인하고, 후속조치를 즉시 취할 수 있도록 할 수 있다.
9A and 9B, even if the transfer plate 110 is lowered and brought into close contact with the seed tray 10 when the device 20 'is mounted on the seed tray 10, Any one of the parts can not be brought into close contact with the transfer plate 110 by the poorly mounted device 20 '. Therefore, at least one of the four sensing switches 210, 220, 230 and 240 does not generate a sensing signal (switching signal), and only the remaining sensing switches 210, 230 and 240 generate a sensing signal, 220) can not generate a detection signal. When the sensing switch 220 can not acquire the sensing signal at the time when the gripping operation of the seed tray is completed after detecting the seed tray 10, the determination controller 300 determines that the mounting failure device It is judged that there is a door 20 ', and the driving of the apparatus is stopped (S18). That is, the operation of the seed tray gripper 140 and the operation of the up and down driving unit 130 are stopped. An error occurrence signal is output through the output unit 400 in conjunction with the error occurrence signal so that the administrator can check the error occurrence state and take immediate follow-up action.

이와 같이 본 발명에 따르면, 트랜스퍼 플레이트(110)의 4곳 모서리 부분에 위치된 감지 스위치(210,220,230,240) 중에서 어느 일부분의 감지 스위치만 스위칭동작되어 감지 신호를 발생하고, 반대 측의 감지 스위치에서는 감지 신호를 발생하지 못하게 되어 안착 불량 디바이스(20')의 존재 여부를 검출할 수 있게 된다.As described above, according to the present invention, only a part of the sensing switches 210, 220, 230, and 240 located at the four corners of the transfer plate 110 is switched to generate a sensing signal, So that it is possible to detect whether or not the misaligned device 20 'is present.

또한, 장착불량 디바이스(20')가 씨 트레이(10)의 중앙부분에 위치되거나, 복수의 불량장착 디바이스(20')가 있는 경우에는, 트랜스퍼 플레이트(110)가 하강완료되어 씨 트레이 감지센서(150)에서 씨 트레이를 감지하고 일정 지연시간이 지난 후에, 감지스위치(210,220,230,240)에서 스위칭 동작하는 감지신호를 수신하지 못할 경우, 장착불량 디바이스(20')가 존재하는 것으로 판단하고, 경보신호를 출력할 수 있다.When the poorly mounted device 20 'is located at the center of the seed tray 10 or there are a plurality of poorly mounted devices 20', the transfer plate 110 is completely lowered and the seed tray detection sensor 150, detects a seed tray, and after a predetermined delay time, if the detection switch 210, 220, 230, 240 does not receive a sensing signal for switching operation, it determines that the mounting failure device 20 'exists and outputs an alarm signal can do.

이와 같이, 장착불량 디바이스(20')가 있는 씨 트레이(10)를 감지할 수 있기 때문에, 씨 트레이(10)를 적층 또는 이동시 장착불량 디바이스(20')가 있는 씨 트레이(10)에 다른 씨 트레이(10)를 그대로 적층하기 전에, 장착불량 디바이스(20')가 있는 씨 트레이(10')를 분리하거나, 또는 장착불량 디바이스(20')를 정상적으로 장착시킨 후에, 씨 트레이를 적층하거나 이동할 수 있게 되어, 디바이스의 파손을 방지할 수 있게 된다.
As described above, since the seed tray 10 with the poorly mounted device 20 'can be detected, the seed tray 10 with the poorly mounted device 20' Before the tray 10 is stacked as it is, the seed tray 10 'with the poorly mounted device 20' may be removed, or after the poorly mounted device 20 'is properly mounted, the seed tray may be stacked or moved So that the device can be prevented from being damaged.

또한, 이와 같은 구성에 의하면, 씨 트레이(10)의 사이즈나, 씨 트레이(10)에 구비된 포켓의 수에 상관없이, 씨 트레이(10)에서 장착불량이 발생 된 것을 모두 검지할 수 있기 때문에, 모든 종류의 씨 트레이(10)에 적용하여 사용할 수 있게 된다.According to this configuration, it is possible to detect all the occurrence of mounting failure in the seed tray 10 regardless of the size of the seed tray 10 and the number of pockets provided in the seed tray 10 And can be applied to all kinds of seed trays 10 and used.

또한, 포켓별로 대응하여 장착불량 디바이스를 검사할 필요가 없으므로, 최소한의 감지 스위치 즉, 4개의 감지스위치만을 설치하면 되므로, 구성이 간단하고 부품 수를 최소화하여 비용을 줄일 수 있는 이점이 있다.
In addition, since there is no need to inspect the poorly mounted device in correspondence to each pocket, only the minimum sensing switch, i.e., four sensing switches, can be provided. Therefore, the configuration is simple and the number of parts is minimized.

이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범위를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. Those skilled in the art will readily appreciate that many modifications and variations of the present invention are possible without departing from the spirit and scope of the appended claims.

10..씨 트레이 20..디바이스
100..트레이 트랜스퍼 유닛 110..트랜스퍼 플레이트
120..수평 구동부 130..상하 구동부
140..씨 트레이 그립퍼 144..그립퍼 구동부
150..씨 트레이 감지센서 210,220,230,240..감지 스위치 300..판단제어부 400..출력부 10 .. Se Tray 20 .. Device
100 .. Tray transfer unit 110 .. Transfer plate
120 .. horizontal driver 130 .. upper and lower driver
140. Seed tray gripper 144. Gripper driving part
150. Cassette tray sensor 210, 220, 230, 240. Detection switch 300. Judgment control section 400. Output section

Claims (6)

반도체 디바이스들이 포켓에 장착되는 씨 트레이를 그립핑하기 위한 트레이 그립퍼가 장착된 트랜스퍼 플레이트;
상기 트레이 그립퍼에 의해 그립핑된 씨 트레이를 수평 및 상하 방향으로 이동시키는 씨 트레이 트랜스퍼 유닛;
상기 트랜스퍼 플레이트의 네 모서리부분에 설치되어, 상기 씨 트레이를 그립핑하기 위해 상기 트랜스퍼 플레이트가 상기 씨 트레이에 접근되도록 이동시 상기 씨 트레이에 접촉되어 스위칭신호를 발생하는 4개의 감지스위치;
상기 4개의 감지스위치 각각에서의 감지신호를 근거로 하여 상기 씨 트레이의 포켓에 디바이스 안착불량 여부를 판단하는 판단제어부;를 포함하고,
상기 4개의 감지스위치 각각은 상기 씨 트레이에 접촉시 밀려 들어가면서 스위치되는 포고핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치.A transfer plate mounted with a tray gripper for gripping a seed tray on which semiconductor devices are mounted in a pocket;
A seed tray transfer unit for moving the seed tray gripped by the tray gripper horizontally and vertically;
Four sensing switches provided at four corners of the transfer plate to contact the seed tray when the transfer plate is moved to approach the seed tray so as to grip the seed tray to generate a switching signal;
And a determination control unit for determining whether or not the device seating is bad in the pocket of the seed tray based on the detection signals of the four sensing switches,
Wherein each of the four sensing switches includes a pogo pin that is pushed into contact with the seed tray while being pushed in contact therewith. 삭제delete 반도체 디바이스들이 포켓에 장착되는 씨 트레이를 그립핑하기 위한 트레이 그립퍼가 장착된 트랜스퍼 플레이트;
상기 트레이 그립퍼에 의해 그립핑된 씨 트레이를 수평 및 상하 방향으로 이동시키는 씨 트레이 트랜스퍼 유닛;
상기 트랜스퍼 플레이트의 네 모서리부분에 설치되어, 상기 씨 트레이를 그립핑하기 위해 상기 트랜스퍼 플레이트가 상기 씨 트레이에 접근되도록 이동시 상기 씨 트레이에 접촉되어 스위칭신호를 발생하는 4개의 감지스위치;
상기 4개의 감지스위치 각각에서의 감지신호를 근거로 하여 상기 씨 트레이의 포켓에 디바이스 안착불량 여부를 판단하는 판단제어부; 및
상기 감지스위치의 높이를 조절하기 위한 높이 조절부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치.A transfer plate mounted with a tray gripper for gripping a seed tray on which semiconductor devices are mounted in a pocket;
A seed tray transfer unit for moving the seed tray gripped by the tray gripper horizontally and vertically;
Four sensing switches provided at four corners of the transfer plate to contact the seed tray when the transfer plate is moved to approach the seed tray so as to grip the seed tray to generate a switching signal;
A determination control unit for determining whether or not the device is in the pocket of the seed tray based on a detection signal from each of the four sensing switches; And
And a height adjusting unit for adjusting a height of the sensing switch. 반도체 디바이스들이 포켓에 장착되는 씨 트레이를 그립핑하기 위한 트레이 그립퍼가 장착된 트랜스퍼 플레이트;
상기 트레이 그립퍼에 의해 그립핑된 씨 트레이를 수평 및 상하 방향으로 이동시키는 씨 트레이 트랜스퍼 유닛;
상기 트랜스퍼 플레이트의 네 모서리부분에 설치되어, 상기 씨 트레이를 그립핑하기 위해 상기 트랜스퍼 플레이트가 상기 씨 트레이에 접근되도록 이동시 상기 씨 트레이에 접촉되어 스위칭신호를 발생하는 4개의 감지스위치;
상기 4개의 감지스위치 각각에서의 감지신호를 근거로 하여 상기 씨 트레이의 포켓에 디바이스 안착불량 여부를 판단하는 판단제어부;를 포함하고,
상기 판단제어부는
상기 트랜스퍼 플레이트의 하강동작 완료시 상기 4개의 감지스위치 중에서 적어도 어느 하나에서 감지신호가 발생되지 않을 경우, 장착불량 디바이스가 발견된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치.A transfer plate mounted with a tray gripper for gripping a seed tray on which semiconductor devices are mounted in a pocket;
A seed tray transfer unit for moving the seed tray gripped by the tray gripper horizontally and vertically;
Four sensing switches provided at four corners of the transfer plate to contact the seed tray when the transfer plate is moved to approach the seed tray so as to grip the seed tray to generate a switching signal;
And a determination control unit for determining whether or not the device seating is bad in the pocket of the seed tray based on the detection signals of the four sensing switches,
The determination control unit
And when it is determined that the detection signal is not generated in at least one of the four detection switches upon completion of the lowering operation of the transfer plate, it is determined that a mounting failure device is found. 반도체 디바이스들이 포켓에 장착되는 씨 트레이를 그립핑하기 위한 트레이 그립퍼가 장착된 트랜스퍼 플레이트;
상기 트레이 그립퍼에 의해 그립핑된 씨 트레이를 수평 및 상하 방향으로 이동시키는 씨 트레이 트랜스퍼 유닛;
상기 트랜스퍼 플레이트의 네 모서리부분에 설치되어, 상기 씨 트레이를 그립핑하기 위해 상기 트랜스퍼 플레이트가 상기 씨 트레이에 접근되도록 이동시 상기 씨 트레이에 접촉되어 스위칭신호를 발생하는 4개의 감지스위치;
상기 4개의 감지스위치 각각에서의 감지신호를 근거로 하여 상기 씨 트레이의 포켓에 디바이스 안착불량 여부를 판단하는 판단제어부; 및
상기 트랜스퍼 플레이트에 설치되어 상기 트랜스퍼 플레이트의 하강완료시 그립핑할 씨 트레이를 감지하는 트레이 감지센서;를 포함하고,
상기 판단제어부는 상기 트레이 감지센서에서 씨 트레이 감지신호 수신 후, 미리 설정된 시간이 경과한 후에 상기 감지스위치로부터 전달되는 스위칭신호를 근거로 디바이스 안착불량을 판단하는 것을 특징으로 하는 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치.A transfer plate mounted with a tray gripper for gripping a seed tray on which semiconductor devices are mounted in a pocket;
A seed tray transfer unit for moving the seed tray gripped by the tray gripper horizontally and vertically;
Four sensing switches provided at four corners of the transfer plate to contact the seed tray when the transfer plate is moved to approach the seed tray so as to grip the seed tray to generate a switching signal;
A determination control unit for determining whether or not the device is in the pocket of the seed tray based on a detection signal from each of the four sensing switches; And
And a tray detection sensor installed on the transfer plate and sensing a tray to be gripped when the transfer plate is completely lowered,
Wherein the judging control unit judges a device mounting failure based on a switching signal transmitted from the sensing switch after a predetermined time elapses after receiving a sensing signal from the tray sensing sensor. Detection device. 반도체 디바이스들이 포켓에 장착되는 씨 트레이를 그립핑하기 위한 트레이 그립퍼가 장착된 트랜스퍼 플레이트;
상기 트레이 그립퍼에 의해 그립핑된 씨 트레이를 수평 및 상하 방향으로 이동시키는 씨 트레이 트랜스퍼 유닛;
상기 트랜스퍼 플레이트의 네 모서리부분에 설치되어, 상기 씨 트레이를 그립핑하기 위해 상기 트랜스퍼 플레이트가 상기 씨 트레이에 접근되도록 이동시 상기 씨 트레이에 접촉되어 스위칭신호를 발생하는 4개의 감지스위치;
상기 4개의 감지스위치 각각에서의 감지신호를 근거로 하여 상기 씨 트레이의 포켓에 디바이스 안착불량 여부를 판단하는 판단제어부; 및
상기 판단제어부에서 장착불량 디바이스가 발견된 것으로 판단될 경우, 장착불량 디바이스 발견정보를 작업자가 인지하도록 외부로 출력하기 위한 출력부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치.
A transfer plate mounted with a tray gripper for gripping a seed tray on which semiconductor devices are mounted in a pocket;
A seed tray transfer unit for moving the seed tray gripped by the tray gripper horizontally and vertically;
Four sensing switches provided at four corners of the transfer plate to contact the seed tray when the transfer plate is moved to approach the seed tray so as to grip the seed tray to generate a switching signal;
A determination control unit for determining whether or not the device is in the pocket of the seed tray based on a detection signal from each of the four sensing switches; And
And an output unit for externally outputting the mounting failure device discovery information so that the operator can recognize the mounting failure device discovery information when it is determined that the mounting failure device is found in the determination control unit.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100517074B1 (en) 2003-06-05 2005-09-26 삼성전자주식회사 Transferring apparatus for tray and automatic test handler having thereof
KR20100074247A (en) * 2007-11-06 2010-07-01 가부시키가이샤 아드반테스트 Carrier device and electronic component handling device

Patent Citations (2)

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