KR200161974Y1 - Tray catcher of handler system for testing semiconductor device - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 트레이 캐쳐에 관한 것이다. 캐쳐는, 로드 측과 언 로드 측을 왕복 이송하는 트랜스퍼 아암에 설치된 승강용 스크루 축(18)의 구동으로 승강되는 베이스 부재(1)와, 매거진 내의 최상부에 적층된 트레이(15)를 파지하도록 베이스 부재(1)의 상부에 설치된 한 쌍의 가이드 레일(2)을 따라서 베이스 부재(1)의 횡방향으로 가이드되는 트레이 파지 수단과, 베이스 부재(1)의 중앙에 설치되는 공압 실린더(3), 공압 실린더(3)의 작동력을 트레이 파지 수단에 전달하는 동력 전달 수단과, 동력 전달 수단의 이동 거리를 감지하여 트레이 파지 수단의 이동을 제어하도록, 공압 실린더(3)의 운동을 제어하는 센서(13)를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a tray catcher of a handler system for testing semiconductor devices. The catcher is configured to hold the base member 1 which is lifted and lowered by the driving of the lifting screw shaft 18 provided on the transfer arm reciprocating between the rod side and the unload side, and the base 15 to hold the tray 15 stacked on the top of the magazine. Tray holding means guided in the transverse direction of the base member 1 along a pair of guide rails 2 provided on the upper part of the member 1, pneumatic cylinder 3 provided in the center of the base member 1, Power transmission means for transmitting the operating force of the pneumatic cylinder (3) to the tray holding means, and a sensor (13) for controlling the movement of the pneumatic cylinder (3) to sense the movement distance of the power transmission means to control the movement of the tray holding means. It characterized by including).
Description
본 고안은 반도체 디바이스 테스트용 핸들러에 있어서, 다수의 디바이스를 수용하는 트레이를 스토커로부터 분리하여, 테스트의 결과에 따라서 해당하는 스토커로 재치하기 위한 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 트레이 캐쳐에 관한 것이다.The present invention relates to a tray catcher of a handler system for testing a semiconductor device for separating a tray containing a plurality of devices from a stocker in a handler for testing a semiconductor device and placing the tray to a corresponding stocker according to a test result.
전자 산업계에서는, 집적 회로 및 반도체 칩 등의 전자 부품을 보다 저렴하고 소형화하는 것이 절대적으로 요구되었으며, 이러한 전자 부품의 생산성을 높이기 위하여, 단위 비용을 감소시키기 위한 방법 중 하나로 이러한 전자 부품을 동시 많은 양을 테스트하는 것에 의하여 테스트 속도를 높이는 것이다.In the electronics industry, it is absolutely necessary to make electronic components such as integrated circuits and semiconductor chips cheaper and smaller, and in order to increase the productivity of such electronic components, one of the methods for reducing the unit cost is the simultaneous large amount of electronic components. Speed up the test by testing
이와 같은 전자 부품 테스트 시스템(예를 들면 IC 테스터)은 테스트에 응하여 다양한 테스트 신호를 발생시키고, 그 결과의 출력 신호를 판정하기 위한 마스터 유니트와, 자동적으로 테스트될 부품을 테스트 헤드로 이동시켜 테스트하고, 테스트된 부품을 테스트 결과에 따라서 분류하는 오토매틱 테스트 핸들러로 구성된다.Such an electronic component test system (e.g., IC tester) generates a variety of test signals in response to the test, and the master unit for determining the output signal of the result, and automatically moves the test part to the test head It consists of an automatic test handler that classifies the tested parts according to the test results.
반도체 디바이스 테스트용 핸들러에서 피측정용 디바이스를 테스트할 때, 다수개의 피측정용 디바이스를 수용한 트레이를 하나의 단위로 하여 반송이 이루어진다. 여기에서, 유저(user)측이 입출력에 사용되는 트레이를 커스터머(customer) 트레이라 하고, 한편 반도체 디바이스가 안치되어 테스트되는 트레이를 테스트 트레이라 하며, 피측정용 디바이스의 공급 및 배출 시에, 피측정용 반도체 디바이스는 픽 앤 플레이스에 의하여 커스터머 트레이와 테스트 트레이 사이에서 반송이 행해진다.When the device under test is tested in the semiconductor device test handler, the transfer is carried out using a tray containing a plurality of devices under test as one unit. Here, a tray used for input / output by the user side is called a customer tray, while a tray in which a semiconductor device is placed and tested is called a test tray. The measurement semiconductor device is conveyed between the customer tray and the test tray by pick and place.
도 1 내지 도 5에는 일본의 어드반테스트 회사의 미국 특허 제 5,234,011호에 개시된 핸들러 시스템의 개략적인 구성이 도시되어 있다.1 to 5 show a schematic configuration of the handler system disclosed in U.S. Patent No. 5,234,011 of the Advantest Company of Japan.
도 1 및 도 2를 참조하여, 핸들러(20)는 하부 캐비넷(21, 도 1a에서 일부분만 도시됨), 중간 부분(22) 및 상부 부분(23)으로 구성된다. 하부 캐비넷(21)은 핸들러(20)의 중간 및 상부 부분(22,23)에서 주로 이루어지는 테스팅 동작의 기능 및 순서를 제어하는 케이블, 동력 부품, 전기 접속부가 수용된다.1 and 2, the handler 20 consists of a lower cabinet 21 (only a portion of which is shown in FIG. 1A), an intermediate portion 22 and an upper portion 23. The lower cabinet 21 houses cables, power components, and electrical connections that control the function and order of testing operations that are predominantly made in the middle and upper portions 22, 23 of the handler 20.
도 1a에서, 중간 부분(22)의 좌측에서 시작하는 매거진 입력 영역(24)은 핸들러(20)의 중간 부분(22)의 전방부 중앙 및 우측을 에워싸는 매거진 출력 영역(25)에 바로 인접한다. 이러한 매거진 입력 및 출력 영역(24,25)은 핸들러(20)에 의하여 테스트될 반도체 디바이스(29)들이 배열되는 커스터머 트레이(28)가 다수 적층되어 수납되는 카세트 또는 매거진(27)을 수용하는 다수의 스테이션(26)을 포함한다. 이러한 커스터머 트레이 매거진(27) 및 커스터머 트레이(28)는 도 1b에 분해 사시도로 도시되어 있으며, 도 1a에는 이해를 돕기 위하여 매거진 입력 영역(24)에 위치된 단지 하나의 커스터머 트레이 매거진(27) 만이 도시되어 있으나, 매거진 입력 및 출력 영역(24,25)들의 다양한 스테이션들이 각각이 유사한 매거진(27)을 수용하는 데 적합하다는 것을 알 수 있을 것이다.In FIG. 1A, the magazine input region 24 starting at the left side of the middle portion 22 is immediately adjacent to the magazine output region 25 surrounding the front center and right side of the middle portion 22 of the handler 20. These magazine input and output regions 24, 25 contain a plurality of cassettes or magazines 27 in which a plurality of customer trays 28 in which semiconductor devices 29 to be tested are arranged by the handlers 20 are stacked and housed. Station 26. This customer tray magazine 27 and customer tray 28 are shown in exploded perspective view in FIG. 1B, and in FIG. 1A only one customer tray magazine 27 located in the magazine input area 24 is shown for ease of understanding. Although shown, it will be appreciated that the various stations of the magazine input and output regions 24, 25 are each suitable for accommodating similar magazines 27.
도 1a에 도시된 예에서, 출력 영역(25)에는 총 10개의 스테이션(26)들이 도시되어 있으며, 이러한 스테이션들의 수는 8개의 상이한 카테고리에 따른 반도체 디바이스의 테스팅용 스테이션, 1개의 재테스트용 스테이션, 1개의 빈 커스터머 트레이용 스테이션을 제공한다. 이러한 매거진 출력 영역의 스테이션 수는 설계자의 의도에 따라서 변경될 수 있는 것이다.In the example shown in FIG. 1A, a total of ten stations 26 are shown in the output area 25, and the number of such stations is one for testing of semiconductor devices, one for retesting stations according to eight different categories. It provides one empty customer tray station. The number of stations in this magazine output area can be changed according to the designer's intention.
이러한 커스터머 트레이(28)의 분류를 위하여, 도 1b에 도시된 바와 같이, 리프터(30)가 매거진(27)에 있는 커스터머 트레이(28)를 리프팅하여서, 최상부의 커스터머 트레이(28)는 매거진(27)의 상부면 약간 위로 상승된다. 이러한 동작은 캐쳐(31)에 의하여 파지되기 적합하게 커스터머 트레이(28)를 위치시킨다. 캐쳐(31)는 먼저 커스터머 트레이(28)를 파지하도록 하강하고, 커스터머 트레이(28)를 파지한 후에 상승하고, 버퍼(33) 위의 한 위치를 향하여 우측으로 이동하여, 버퍼(33)상에 커스터머 트레이(28)를 내려 놓는다.For this sort of customer tray 28, as shown in FIG. 1B, the lifter 30 lifts the customer tray 28 in the magazine 27, so that the top customer tray 28 is the magazine 27. As shown in FIG. Rise slightly above the top surface. This operation positions the customer tray 28 to be gripped by the catcher 31. The catcher 31 first descends to grasp the customer tray 28, then grasp the customer tray 28, then ascend, move to the right toward a position on the buffer 33, and onto the buffer 33. Lower the customer tray 28.
도 3 및 도 4를 참조하여, 캐쳐(31)는 측부로부터 트레이를 결합하도록 커스터머 트레이(28, 도 4에서 쇄선으로 도시)를 감싸고 있다. 캐쳐(31)는 서로 평행하게 분리되어 브리지(36)에 의하여 서로 연결되는 한 쌍의 아암(34a,b)으로 구성된다. 이러한 캐쳐(31)의 구성은 캐쳐(31)가 커스터머 트레이(28)를 네 개의 부분에서 밀착 고정시킬 수 있게 한다. 즉, 2 개의 커스터머 트레이 입력 매거진(27)들은 서로 밀접하게 배열되어, 캐쳐의 이동을 위한 이용 공간을 최소화한다. 더욱이, 커스터머 트레이(28)들은 비교적 얇고, 커스터머 트레이(28)의 측부 상의 파지는 매우 정확해야만 된다. 캐쳐(31)의 브리지(36)는 L자 형상의 캐리지(37)에 연결되고, 캐리지(37)는 널링면을 가지는 노브(38)를 구비한다. 캐리지(37)는 한 쌍의 레일(40a,b, 도면에서는 하나만 도시됨)을 가지는 브라켓(39)에 설치되고, 캐리지(37)는 레일을 따라서 승강된다.3 and 4, the catcher 31 surrounds the customer tray 28 (shown in broken line in FIG. 4) to engage the tray from the side. The catcher 31 is composed of a pair of arms 34a and b separated in parallel from each other and connected to each other by a bridge 36. This configuration of the catcher 31 allows the catcher 31 to securely hold the customer tray 28 in four parts. That is, the two customer tray input magazines 27 are arranged closely to each other, minimizing the space used for the movement of the catcher. Moreover, the customer trays 28 are relatively thin, and the grip on the side of the customer tray 28 must be very accurate. The bridge 36 of the catcher 31 is connected to an L-shaped carriage 37, and the carriage 37 has a knob 38 having a nulling surface. The carriage 37 is installed on a bracket 39 having a pair of rails 40a and b (only one is shown in the figure), and the carriage 37 is elevated along the rail.
캐쳐(31)의 승강 운동은 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이 공압 실린더(41)에 의하여 공압으로 달성되고, 각각의 승강 운동은 실린더에 설치된 한 쌍의 밸브(42a,b)에 의하여 달성된다. 마찬가지로, 캐쳐(31)의 좌우 위치는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 브라켓(39)의 좌측에 위치된 한 쌍의 밸브(43a,b)에 의하여 공압으로 제어된다.The lifting motion of the catcher 31 is achieved by pneumatically by the pneumatic cylinder 41 as shown in Figs. 3 and 5, and each lifting motion is achieved by a pair of valves 42a and b installed in the cylinder. do. Similarly, the left and right positions of the catcher 31 are controlled pneumatically by a pair of valves 43a and b located on the left side of the bracket 39 as shown in FIGS. 4 and 5.
캐쳐(31)는 도 4에 도시된 바와 같이 4개의 핀(44)을 이용하여 트레이(28)를 파지하고, 핀들 중 2개는 각 아암(34a,b)에 위치되어 서로 교차하도록 배열된다. 핀(44)은 아암(34a,b)상의 각 핀의 위치에 위치되는 하우징(46)에 형성되는 구멍(45) 내에 설치된다. 트레이(28)를 파지하기 위하여, 핀(44)은 구멍(45)으로부터 돌출하여 트레이(28)의 측부에 형성된 대응 구멍에 결합된다. 그러므로, 이러한 배열은 수용된 반도체 디바이스(29)의 흐트러짐이 없도록 트레이(28)를 안전하게 파지할 수 있다.The catcher 31 grips the tray 28 using four pins 44 as shown in FIG. 4, and two of the pins are positioned on each arm 34a, b and arranged to intersect with each other. The pin 44 is provided in a hole 45 formed in the housing 46 located at the position of each pin on the arms 34a and b. To grip the tray 28, the pins 44 protrude from the holes 45 and engage in corresponding holes formed on the sides of the tray 28. Therefore, this arrangement can safely grip the tray 28 so that there is no disturbance of the contained semiconductor device 29.
핀(44)들은 각 핀 하우징에 장착된 밸브들과 공급 호스들에 의하여 공압으로 작동된다. 아암(34a,b)들은 트레이(28)의 폭에 대응하는 거리 만큼 분리된다. 그러나, 상기된 바와 같이, 트레이(28)들의 치수가 변하기 때문에, 캐쳐(31)는 조정 수단을 구비한다. 노브(38)는 아암/브리지의 조합품을 제거하도록 수동으로 회전될 수 있다. 그러므로, 다른 트레이에 대응하는 아암/브리지 조합품이 다양한 트레이의 정확한 취급을 위하여 캐쳐(31)에 재장착될 수 있다. 트레이(28)를 파지한 캐쳐(31)는 상승된 상태에서 모터에 의하여 구동되는 스크루 축(32)의 구동에 의하여 버퍼(33)로 이동된 후에, 버퍼(33)에 트레이(28)를 안치시키고, 버퍼(33)에 안치된 트레이(28)에 수용된 반도체 디바이스(29)들은 로드 픽 앤 플레이스(35)에 의하여 테스트 트레이(48)로 운반된다.The pins 44 are pneumatically actuated by valves and supply hoses mounted to each pin housing. The arms 34a and b are separated by a distance corresponding to the width of the tray 28. However, as mentioned above, since the dimensions of the trays 28 vary, the catcher 31 is provided with adjusting means. Knob 38 may be manually rotated to remove the arm / bridge combination. Therefore, arm / bridge combinations corresponding to other trays can be remounted in the catcher 31 for correct handling of the various trays. The catcher 31 holding the tray 28 is moved to the buffer 33 by driving the screw shaft 32 driven by the motor in the raised state, and then the tray 28 is placed in the buffer 33. The semiconductor devices 29 contained in the tray 28 placed in the buffer 33 are transferred to the test tray 48 by the load pick and place 35.
그러나, 상기된 바와 같은 종래의 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 트레이 캐쳐는 하우징에 설치되는 핀이 트레이에 형성된 홈과의 결합으로 트레이를 파지하는 방식을 취함으로써, 트레이 캐쳐의 중심부가 매거진에서 적층되는 트레이의 중심부와 일치되어야만 되나, 유격으로 인한 위치의 불일치가 빈번하게 발생되어, 캐쳐가 트레이의 파지를 위하여 하강될 때, 아암이 트레이에 충돌하여 트레이 또는 아암(또는 핀)이 손상되거나 또는 충돌에 의하여 트레이 상에 적재되는 반도체 디바이스들이 흐트러져, 픽 앤 플레이스에 의한 픽업 작업이 불가능하게 된다는 문제점이 있었다.However, the tray catcher of the handler system for testing a conventional semiconductor device as described above takes the manner in which the pins installed in the housing grip the tray by engagement with grooves formed in the tray, whereby the center of the tray catcher is stacked in the magazine. It must coincide with the center of the tray, but the mismatch of position due to play occurs frequently, and when the catcher is lowered to grasp the tray, the arm hits the tray and the tray or arm (or pin) is damaged or Thereby, there has been a problem that the semiconductor devices loaded on the trays are disturbed, so that pick-up operation by pick and place becomes impossible.
따라서, 본 고안의 목적은 트레이 캐쳐의 중심부가 매거진에서 적층되는 트레이의 중심부의 위치가 일치되지 않는 경우에도, 트레이와 아암의 충돌을 방지하여 트레이 또는 아암의 파손 및 트레이 상에 적재되는 디바이스들의 흐트러짐을 방지할 수 있는 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 트레이 캐쳐를 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to prevent the collision between the tray and the arm, even if the position of the center of the tray where the center of the tray catcher is stacked in the magazine does not coincide, the tray or the arm is broken and the devices loaded on the tray are disturbed. The present invention provides a tray catcher of a handler system for testing a semiconductor device.
도 1a는 종래의 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템을 개략적으로 도시한 사시도.1A is a schematic perspective view of a handler system for testing a conventional semiconductor device.
도 1b는 도 1a에 도시된 핸들러 시스템의 매거진과 리프터의 관계를 도시한 사시도.FIG. 1B is a perspective view showing the relationship between the magazine and the lifter of the handler system shown in FIG. 1A. FIG.
도 2는 도 1a에 도시된 핸들러 시스템의 배면도.FIG. 2 is a rear view of the handler system shown in FIG. 1A. FIG.
도 3은 도 1a에 도시된 트레이 캐쳐의 사시도.3 is a perspective view of the tray catcher shown in FIG. 1A;
도 4는 도 3에 도시된 트레이 캐쳐의 평면도.4 is a plan view of the tray catcher shown in FIG.
도 5는 도 3에 도시된 트레이 캐쳐의 정면도.5 is a front view of the tray catcher shown in FIG.
도 6은 본 고안에 따른 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 트레이 캐쳐를 도시한 사시도.6 is a perspective view illustrating a tray catcher of the handler system for testing a semiconductor device according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
1 : 베이스 부재 2 : 가이드 레일1 base member 2 guide rail
3 : 공압 실린더 4 : 레벨 체크 감지 센서3: pneumatic cylinder 4: level check detection sensor
5 : 가동부 6 : 핑거5 movable part 6 finger
7, 14 : 핀 8 : 연결 부재7, 14: pin 8: connection member
9 : 이동 부재 10 : 링크9: moving member 10: link
11 : 완충 스프링 12 : 인장 스프링11: buffer spring 12: tension spring
13 : 센서 15 : 트레이13: sensor 15: tray
16 : 반도체 디바이스 17 : 스토퍼16 semiconductor device 17 stopper
18 : 스크루 축18: screw shaft
상기된 바와 같은 목적은, 로드 측과 언 로드 측을 왕복 이송하는 트랜스퍼 아암에 설치된 승강용 스크루 축의 구동으로 승강되는 베이스 부재와; 매거진 내의 최상부에 적층된 트레이를 파지하도록 상기 베이스 부재의 상부에 설치된 한 쌍의 가이드 레일을 따라서 상기 베이스 부재의 횡방향으로 가이드되는 트레이 파지 수단과; 상기 베이스 부재의 중앙에 설치되는 공압 실린더와; 상기 공압 실린더의 작동력을 상기 트레이 파지 수단에 전달하는 동력 전달 수단과; 상기 동력 전달 수단의 이동 거리를 감지하여 상기 트레이 파지 수단의 이동을 제어하도록, 상기 공압 실린더의 운동을 제어하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 본 고안에 따른 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 트레이 캐쳐에 의하여 달성된다.An object as described above includes: a base member which is lifted and lowered by driving a lifting screw shaft provided on a transfer arm for reciprocating a rod side and an unload side; Tray gripping means guided in a lateral direction of the base member along a pair of guide rails provided on top of the base member to hold the tray stacked on the top of the magazine; A pneumatic cylinder installed at the center of the base member; Power transmission means for transmitting an operating force of the pneumatic cylinder to the tray holding means; And a sensor for controlling the movement of the pneumatic cylinder to sense the movement distance of the power transmission means and to control the movement of the tray holding means. Is achieved.
이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 6은 본 고안에 따른 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 트레이 캐쳐를 도시한 사시도이다.6 is a perspective view illustrating a tray catcher of the handler system for testing a semiconductor device according to the present invention.
도 6 에 도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 트레이 캐쳐는 핸들러의 반도체 디바이스 로드 측과 언 로드 측을 왕복 이송하는 트랜스퍼 아암에 설치된 승강용 스크루 축(18)의 구동으로 승강되는 베이스 부재(1)를 포함한다. 베이스 부재(1)는 도면에 도시된 바와 같이 판형 부재로 형성되며, 다수의 반도체 디바이스(16)가 안치된 트레이(15)가 적층된 매거진(또는 스토커, 도시되지 않음) 내를 스크루 축(18)의 구동으로 승강한다.As shown in FIG. 6, the tray catcher of the handler system for testing a semiconductor device according to the present invention is driven by a lifting screw shaft 18 installed in a transfer arm reciprocating between the semiconductor device rod side and the unload side of the handler. And a base member 1 which is elevated. The base member 1 is formed as a plate member as shown in the figure, and the screw shaft 18 in a magazine (or stocker, not shown) in which a tray 15 in which a plurality of semiconductor devices 16 are placed is stacked. ) Is driven by driving.
베이스 부재(1)는 상부에 한 쌍의 가이드 레일(2)이 평행하게 설치되고, 트레이(15)를 파지하기 위한 트레이 파지 수단이 가이드 레일(2)을 따라서 베이스 부재(1)의 횡방향으로 가이드된다. 이러한 트레이 파지 수단의 작동은 베이스 부재(1)의 상부 중앙에 설치되는 공압 실린더(3)에 의하여 작동되고, 트레이 파지 수단에 대한 공압 실린더(3)의 작동력 전달은 베이스 부재(1)의 상부에 제공되는 동력 전달 수단에 의하여 이루어진다.The base member 1 is provided with a pair of guide rails 2 parallel to each other, and tray holding means for gripping the tray 15 along the guide rail 2 in the transverse direction of the base member 1. Guided. The operation of this tray gripping means is operated by a pneumatic cylinder 3 installed in the upper center of the base member 1, and the transmission of the operating force of the pneumatic cylinder 3 to the tray gripping means is carried out at the top of the base member 1. By means of a power transmission provided.
한편, 반도체 테스트용 핸들러 시스템에는 다수의 매거진이 제공되며, 트레이 캐쳐는 작동 초기에 각 매거진에 적층된 트레이의 적층 레벨을 감지하여, 감지된 트레이의 적층 레벨을 중앙 제어 장치로 입력하는 레벨 체크 감지 센서(4)가 베이스 부재(1)에 설치되고, 레벨 체크 감지 센서(4)의 하부는 베이스 부재(1)에 형성된 관통공을 통하여 하부로 돌출되므로, 매거진 내에 적층된 최상부의 트레이(15)를 감지할 수 있다.On the other hand, a plurality of magazines are provided in the handler system for semiconductor test, and the tray catcher detects the stacking level of the trays stacked in each magazine at the initial stage of operation, and detects the level check to input the stacking level of the detected trays to the central control unit. Since the sensor 4 is installed in the base member 1 and the lower part of the level check detection sensor 4 protrudes downward through the through hole formed in the base member 1, the uppermost tray 15 stacked in the magazine. Can be detected.
스크루 축(18)의 작동으로 베이스 부재(1)가 매거진 내에서 하강될 때, 베이스 부재(1)의 하부로 돌출된 레벨 체크 감지 센서(4)가 매거진 내의 최상부 트레이(15)와 접촉하여 이를 감지하고, 감지된 신호를 핸들러 시스템의 중앙 제어 장치에 입력하고, 스크루 축(18)은 중앙 제어 장치에 저장된 각 매거진의 트레이 적층 상태에 따라서 작동되는 구동 모터(도시되지 않음)의 구동으로 베이스 부재(1)가 해당 매거진에서 적절한 높이로 하강되도록 작동된다.When the base member 1 is lowered in the magazine by the operation of the screw shaft 18, the level check detection sensor 4 protruding below the base member 1 contacts and contacts the uppermost tray 15 in the magazine. Sensing, inputs the sensed signal to the central control unit of the handler system, and the screw shaft 18 is driven by a drive motor (not shown) driven according to the stacking state of each magazine stored in the central control unit. (1) is operated to descend to the appropriate height in the magazine.
트레이 파지 수단은 베이스 부재(1)의 양측부에 제공되는 한 쌍의 가동바(5)와, 각각의 가동바(5)의 양단에 각각 선회 가능하게 핀(7)에 의하여 설치되는 4개의 핑거(6)와, 가동바(5)에 연결되어 베이스 부재(1)에 제공되는 가이드 레일(2)을 따라서 가이드되는 연결 부재(8)를 포함한다. 핑거(6)는 도면에 도시된 바와 같이 단면 형상이 경사면을 가지는 원판으로 형성되어 트레이(15)를 파지할 때 트레이(15)의 측면을 따라서 회전될 수 있으며, 베이스 부재(1)의 양측에 설치되는 한 쌍의 가동바(5)의 양단부에 각각 설치된다.The tray gripping means includes a pair of movable bars 5 provided at both sides of the base member 1 and four fingers provided by the pins 7 so as to be pivotable at both ends of each movable bar 5. 6 and a connecting member 8 connected to the movable bar 5 and guided along the guide rail 2 provided to the base member 1. As shown in the figure, the finger 6 is formed as a disc having a cross-sectional shape having an inclined surface, and can be rotated along the side of the tray 15 when the tray 15 is gripped, and on both sides of the base member 1. It is provided in the both ends of the pair of movable bars 5 which are installed, respectively.
이러한 트레이 파지 수단은 상기된 바와 같이 동력 전달 수단에 의하여 공압 실린더(3)의 동력을 전달받으며, 이러한 동력 전달 수단은 공압 실린더(3)의 피스톤(3a)의 단부에 이동 부재(9)가 연결되며, 이동 부재(9)는 공압 실린더(3)의 작동에 의하여 베이스 부재(1)에서 후방으로 이동된다. 이동 부재(9)는 다수 쌍의 링크(10)에 의하여 트레이 파지 수단의 가동바(5)에 연결되며, 링크(10)들은 일정 각도, 예를 들어 대략 45°의 각도로 배열되어 핀(14)에 의하여 연결 지점에서 선회 가능하도록 연결되며, 공압 실린더(3)의 피스톤(3a)의 후퇴 작동에 의한 이동 부재(9)의 후퇴 이동에 의하여 한 쌍의 가동바(5)를 베이스 부재(1)로 당긴다.This tray gripping means receives the power of the pneumatic cylinder 3 by means of a power transmission means as described above, wherein the moving member 9 is connected to the end of the piston 3a of the pneumatic cylinder 3. The moving member 9 is moved rearward from the base member 1 by the operation of the pneumatic cylinder 3. The moving member 9 is connected to the movable bar 5 of the tray holding means by a plurality of pairs of links 10, the links 10 arranged at an angle, for example an angle of approximately 45 °, so that the pins 14 Is connected to be pivotable at the connection point, and the pair of movable bars 5 are moved by the retracting movement of the movable member 9 by the retracting operation of the piston 3a of the pneumatic cylinder 3. )
이러한 공압 실린더(3)에 의한 가동바(5)의 내향 작동에 의하여, 한 쌍의 가동바(5)의 단부에 설치된 핑거(6) 사이에 위치된 트레이(15)는 핑거(6)에 의하여 파지되고, 트레이(15)가 파지될 때, 핑거(6)와 트레이(15) 사이의 충격을 완충하기 위하여 이동 부재(9)와 공압 실린더(3)의 피스톤(3a) 사이에는 완충 스프링(11)이 설치된다.By the inward actuation of the movable bar 5 by this pneumatic cylinder 3, the tray 15 located between the fingers 6 provided at the ends of the pair of movable bars 5 is fingered by the finger 6. When gripped and the tray 15 is gripped, the shock absorbing spring 11 is provided between the moving member 9 and the piston 3a of the pneumatic cylinder 3 to cushion the shock between the finger 6 and the tray 15. ) Is installed.
또한, 공압 실린더(3)의 피스톤(3a)이 전진 작동될 때, 가동바(5)의 유격을 방지하기 위하여, 가동바(5)들은 베이스 부재(1)에 설치된 다수의 인장 스프링(12)의 스프링력을 받게 된다.In addition, when the piston 3a of the pneumatic cylinder 3 is operated forward, the movable bars 5 are provided with a plurality of tension springs 12 installed in the base member 1 in order to prevent the play of the movable bars 5. Will receive spring force.
또한, 인장 스프링(12)의 역할로 작동중 에어가 갑자기 공급 중단이 되는 경우가 발생되어도 트레이(15)를 계속 파지한 상태로서 유지할수 있게 된다.In addition, even if the air suddenly stops supplying during operation in the role of the tension spring 12, the tray 15 can be maintained as a state of holding.
한편, 트레이 파지 수단이 정확한 위치에서 작동 및 작동 정지되도록, 베이스 부재(1)의 측부에 스토퍼(17)가 설치되고, 스토퍼(17)의 이동 경로에는 스토퍼(17)를 감지하기 위한 센서(13)가 설치된다. 센서(13)는 스토퍼(17)의 위치를 감지하여, 가동바(5)의 이동 거리를 제어하도록 공압 실린더(3)의 운동을 제어한다.On the other hand, the stopper 17 is provided on the side of the base member 1 so that the tray holding means is operated and stopped in the correct position, and the sensor 13 for detecting the stopper 17 in the movement path of the stopper 17. ) Is installed. The sensor 13 senses the position of the stopper 17 and controls the movement of the pneumatic cylinder 3 to control the moving distance of the movable bar 5.
공압 실린더(3)는 상기된 바와 같이 센서(13)의 작동에 의하여 작동이 제어되어, 매거진에 적층된 트레이(15)를 파지할 때, 정확한 트레이 파지력을 발휘하게 된다.The operation of the pneumatic cylinder 3 is controlled by the operation of the sensor 13 as described above, and when holding the tray 15 stacked in the magazine, it exhibits the correct tray holding force.
본 고안에 따른 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 트레이 캐쳐의 작동에 대하여 설명한다.The operation of the tray catcher of the handler system for testing a semiconductor device according to the present invention will be described.
먼저, 매거진 내에 적층된 트레이(15)를 파지하기 위하여, 초기에 레벨 감지 작업에 의하여 레벨 체크 감지 센서(4)에 의하여 감지된 최상부 트레이(15)의 레벨 만큼, 베이스 부재(1)는 스크루 축(18)의 구동으로 하강된다. 베이스 부재(1)가 일정 레벨 만큼 하강되었을 때, 매거진 내의 최상부 트레이(15)는 베이스 부재(1)의 양측에 제공되는 핑거(6)들 사이에 위치되고, 원판으로 형성되는 핑거(6)들은 트레이(15)의 상부에 형성된 플랜지부 또는 돌출턱 밑에 위치된다.First, in order to grip the trays 15 stacked in the magazine, the base member 1 is screwed by the level of the uppermost tray 15 detected by the level check detection sensor 4 by a level detection operation. It is lowered by the drive of 18. When the base member 1 is lowered by a certain level, the uppermost tray 15 in the magazine is located between the fingers 6 provided on both sides of the base member 1, and the fingers 6 formed of discs are Located under the flange or protruding jaw formed at the top of the tray 15.
이러한 상태에서, 공압 실린더(3)가 후퇴 작동하여, 가동바(5)가 베이스 부재(1)를 향하여 이동되고, 따라서 가동바(5)의 단부에 설치되는 핑거(6) 또한 베이스 부재(1)를 향하여 이동되는 것에 의하여, 트레이(15)의 플랜지부 또는 돌출턱 밑으로 이동하여 트레이(15)의 측벽과 접촉할 정도로 이동한다.In this state, the pneumatic cylinder 3 is retracted so that the movable bar 5 is moved toward the base member 1, so that the finger 6 provided at the end of the movable bar 5 is also the base member 1. By moving toward), it is moved under the flange portion of the tray 15 or the protruding jaw so as to be in contact with the side wall of the tray 15.
핑거(6)가 트레이(15)의 측벽과 접촉할 정도로 이동되었을 때, 센서(13)는 이동 부재(9)의 측부에 설치된 스토퍼(17)를 감지하여 공압 실린더(3)의 작동을 정지시키고, 공압 실린더(3)의 작동 정지에 의하여, 핑거(6)는 트레이(15)의 측벽과 접촉되도록 위치된다. 이 때, 트레이(15)가 매거진 내에서 약간 틀어져 위치되는 경우에, 핑거(6)의 파지 이동에 따른 접촉에 의하여 정렬되고, 이러한 트레이(15)의 정렬은 원판으로 형성된 핑거(6)가 트레이(15)의 측벽과 접촉될 때 회전되는 것에 의하여 파지되는 트레이(15)에 무리한 힘을 가하지 않고도 이루어질 수 있다.When the finger 6 has been moved to contact the side wall of the tray 15, the sensor 13 detects the stopper 17 provided on the side of the moving member 9 to stop the operation of the pneumatic cylinder 3. By the stop of operation of the pneumatic cylinder 3, the finger 6 is positioned in contact with the side wall of the tray 15. At this time, in the case where the tray 15 is slightly twisted and positioned in the magazine, it is aligned by the contact according to the gripping movement of the finger 6, and the alignment of the tray 15 is such that the finger 6 formed of a disc has a tray. It can be made without exerting an excessive force on the tray 15 to be gripped by being rotated when it is in contact with the side wall of (15).
센서(13)가 스토퍼(17)를 감지하는 것에 의하여, 스크루 축(18)을 구동시키는 구동 모터가 작동되어, 스크루 축(18)은 소정의 위치로 베이스 부재(1)를 상승시키도록 반대 방향으로 회전되어, 베이스 부재(1)는 상승되고 필요한 버퍼(도시되지 않음)로 트레이(15)를 안치시키도록 이동된다.By the sensor 13 sensing the stopper 17, a drive motor for driving the screw shaft 18 is activated so that the screw shaft 18 raises the base member 1 to a predetermined position in the opposite direction. Rotated, the base member 1 is raised and moved to settle the tray 15 into the required buffer (not shown).
상기된 바와 같이, 본 고안에 따른 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 트레이 캐쳐에 의하면, 트레이 캐쳐의 중심부가 매거진에서 적층되는 트레이의 중심부의 위치가 일치되지 않는 경우에도, 트레이와 아암의 충돌을 방지하여 트레이 또는 아암의 파손 및 트레이 상에 적재되는 디바이스들의 흐트러짐을 방지할 수 있다.As described above, according to the tray catcher of the handler system for testing a semiconductor device according to the present invention, even when the center of the tray catcher does not match the position of the center of the tray stacked in the magazine, the collision between the tray and the arm is prevented. It is possible to prevent breakage of the tray or the arm and disturbance of the devices stacked on the tray.
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