KR101481095B1 - 기판의 클램핑 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판의 클램핑 장치에 관한 것이다. 본 발명은 셔틀에 지지되고 일면에 마스크가 밀착된, 기판을 클램핑하기 위한 기판의 클램핑 장치에 있어서, 상기 셔틀에 고정되는 몸체; 상기 몸체에 회전가능하게 설치되어 상기 기판을 클램핑하는 클램핑 어셈블리; 및 상기 클램핑 어셈블리의 일측을 눌러 상기 클램핑 어셈블리가 상기 기판을 언클램핑하도록 회전시키는 푸셔를 포함하고, 상기 클램핑 어셈블리가 상기 푸셔에 의해 1차 회전 상태에서 상기 기판이 언로딩되고, 상기 클램핑 어셈블리의 1차 회전 상태보다 더 회전된 2차 회전 상태에서 상기 마스크가 언로딩될 수 있다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 푸셔의 동작에 연동하여 두 단계에 걸쳐 클램핑 플레이트가 회전됨으로써, 기판 및 마스크를 모두 언로딩할 수 있다.

Description

기판의 클램핑 장치{Apparatus for clamping substrate}
본 발명은 기판의 클램핑 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 클램핑된 기판과 마스크를 두 단계로 나누어 언로딩할 수 있는 기판의 클램핑 장치에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.
유기 전계 발광소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열 증착방법으로 기판 상에 증착된다.
진공열 증착방법은 진공 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
이러한 방법으로 유기 전계 발광소자를 제조하는 과정에서 기판을 안정적으로 클램핑하는 작업이 필요하다. 국내 공개특허 제10-2008-0110577호에는 기판을 클램핑하는 클램핑 고정구에 대하여 개시하고 있다.
하지만, 상기 클램핑 고정구는 작업자가 클램핑 고정구를 일일이 작동시켜야 하는 불편이 있으며, 언클램핑 상태로 회전시킨 상태에서 외력에 의해 기판 쪽으로 회전될 우려도 있다. 따라서, 기판의 클램핑 또는 언클램핑 상태를 안정적으로 유지할 수 있는 기판의 클램핑 장치가 필요하다.
따라서, 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 푸셔의 동작에 의하여 기판의 클램핑 또는 언클램핑을 수행하고 기판뿐만 아니라 마스크도 쉽게 언로딩이 이루어질 수 있는 기판의 클램핑 장치를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명에 의한 기판 클램핑 장치는 셔틀에 지지되고 일면에 마스크가 밀착된, 기판을 클램핑하기 위한 기판의 클램핑 장치에 있어서, 상기 셔틀에 고정되는 몸체; 상기 몸체에 회전가능하게 설치되어 상기 기판을 클램핑하는 클램핑 어셈블리; 및 상기 클램핑 어셈블리의 일측을 눌러 상기 클램핑 어셈블리가 상기 기판을 언클램핑하도록 회전시키는 푸셔를 포함하고, 상기 클램핑 어셈블리가 상기 푸셔에 의해 1차 회전 상태에서 상기 기판이 언로딩되고, 상기 클램핑 어셈블리의 1차 회전 상태보다 더 회전된 2차 회전 상태에서 상기 마스크가 언로딩될 수 있다.
상기 클램핑 어셈블리는, 상기 기판을 클램핑하는 클램핑 플레이트; 상기 몸체에 설치되는 회전축; 상기 회전축에 구비되어 상기 클램핑 플레이트가 상기 기판을 클램핑하는 방향으로 탄성력을 제공하는 제1 탄성부재 및 제2 탄성부재; 및 상기 회전축에 회전가능하게 설치되고, 상기 제1 탄성부재 및 제2 탄성부재에 각각 탄성 지지되는 제1 링크부재 및 제2 링크부재를 포함하고, 상기 제1 링크부재가 1차 회전된 상태에서 상기 제1 링크부재는 상기 제2 링크부재에 형성된 걸림부에 걸릴 수 있다.
상기 몸체는, 하판; 및 상기 하판의 양측에 직립되게 설치되는 측판을 포함하고, 상기 회전축은 상기 측판에 양단이 지지될 수 있다.
상기 제1 링크부재는 상기 클램핑 플레이트의 단부에서 소정 각도로 경사지게 연장될 수 있다.
상기 제2 링크부재는 ??자 형상으로 형성되고, 그 사이에 상기 제1 링크부재가 회전되게 설치될 수 있다.
상기 클램핑 플레이트는 상기 1차 회전 시 40°이상으로 회전되고, 상기 2차 회전 시 35°이상으로 회전될 수 있다.
상기 2차 링크부재는 상기 회전축에 회전가능하게 설치된 링크부재 블록에 결합될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 의한 기판 클램핑 장치는 셔틀에 지지되고 일면에 마스크가 밀착된, 기판을 클램핑하기 위한 기판의 클램핑 장치에 있어서, 상기 셔틀에 고정되는 몸체; 상기 몸체에 설치된 회전축에 회전가능하게 설치되고, 상기 기판을 클램핑하는 클램핑 플레이트; 상기 클램핑 플레이트의 단부에서 소정 각도로 경사지게 연장되고, 상기 회전축에 구비된 제1 탄성부재에 탄성 지지되는 제1 링크; 상기 회전축에 구비된 제2 탄성부재에 탄성 지지되고, 상기 제1 링크가 1차 회전된 상태에서 일측에 걸림되는 제2 링크; 및 상기 제1 링크의 일측을 눌러 상기 클램핑 플레이트가 상기 기판을 언클램핑하도록 회전시키는 푸셔를 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 푸셔의 동작에 연동하여 두 단계에 걸쳐 클램핑 플레이트가 회전됨으로써, 기판 및 마스크를 모두 언로딩할 수 있다.
또한, 탄성부재의 탄성력의 유무에 따라 클램핑 로드가 작동되기 때문에 보다 안정적인 기판의 클램핑 또는 언클램핑이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 클램핑 장치를 보인 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 1차 회전된 상태를 보인 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 2차 회전된 상태를 보인 사시도.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따라 기판을 클램핑한 상태를 보인 측단면도.
도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따라 기판을 클램핑한 상태를 보인 평면도.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 1차 회전된 상태를 보인 측단면도.
도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 1차 회전된 상태를 보인 평면도.
도 6a는 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 2차 회전된 상태를 보인 측단면도.
도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 2차 회전된 상태를 보인 평면도.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하에서는 본 발명에 의한 기판의 클램핑 장치의 일 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 클램핑 장치를 보인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 1차 회전된 상태를 보인 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 2차 회전된 상태를 보인 사시도이다.
이에 도시된 바에 따르면, 본 발명에 의한 기판의 클램핑 장치는 상기 셔틀(1)에 고정되는 몸체(10); 상기 몸체(10)에 회전가능하게 설치되어 상기 기판(2)을 클램핑하는 클램핑 어셈블리(20); 및 상기 클램핑 어셈블리(20)의 일측을 눌러 상기 클램핑 어셈블리(20)가 상기 기판(2)을 언클램핑하도록 회전시키는 푸셔(40)를 포함한다.
유기 전계 발광소자는 진공열 증착방법에 의하여 유기 박막이나 금속 박막을 형성하기 위한 방식으로 클러스터형 증착 시스템이나 인라인 증착 시스템이 적용되고 있는데, 이 중 인라인 증착 시스템은 복수의 공정 챔버를 일렬로 배열한 상태에서 복수의 기판을 셔틀(1)에 각각 장착하여 연속적으로 이송시키면서 공정을 수행하는 방식이다. 상기 셔틀(1)은 인라인 증착 시스템에서 사용되는 이송 수단을 말한다. 참고로, 도면부호 4는 마스크가 지지되는 마스크 프레임이다.
몸체(10)는 셔틀(1)에 고정되는 부분으로서, 대략 소정의 부피를 가진 블록 형상으로 형성된다. 몸체(10)는 하판(12)과, 하판(12)의 양측에 직립되게 설치되고 회전축(24)이 양단에 지지되는 측판(14)을 포함하여 대략 'ㄷ'자 형상으로 형성되나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. 이상의 몸체(10)의 측판(14) 사이에 해당되는 공간에는 상기 클램핑 어셈블리(20)가 설치된다.
클램핑 어셈블리(20)는 상기 기판(2)을 직접 클램핑하는 클램핑 플레이트(21); 상기 몸체(10)에 설치되는 회전축(24); 상기 회전축(24)에 구비되어 상기 클램핑 플레이트(21)가 상기 기판(2)을 클램핑하는 방향으로 탄성력을 제공하는 제1 탄성부재(27) 및 제2 탄성부재(34); 및 상기 회전축(24)에 회전가능하게 설치되고, 상기 제1 탄성부재(27) 및 제2 탄성부재(34)에 각각 탄성 지지되는 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)를 포함한다.
클램핑 플레이트(21)는 기판(2)을 안정적으로 클램핑할 수 있도록 소정의 폭을 가진 플레이트 형상을 가진다. 그리고, 클램핑 플레이트(21)의 단부에는 기판(2)과 직접 접촉하는 접촉부(22)가 구비된다. 또한, 회전축(24)은 몸체(10)의 측판(14)을 가로질러 설치된다.
제1 링크부재(26)는 클램핑 플레이트(21)와 소정 각도로 경사지게 연장된다. 본 도면에서는 제1 링크부재(26)가 클램핑 플레이트(21)에 별도로 결합되는 것으로 도시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니고 클램핑 플레이트(21)와 제1 링크부재(26)가 일체로 형성될 수도 있다. 제1 링크부재(26)는 푸셔(40)가 직접적으로 누르는 부분으로서, 대략 납작한 판상으로 형성된다. 이와 같이 제1 링크부재(26)는 클램핑 플레이트(21)와 일체로 동작되도록 되어 있어 푸셔(40)가 제1 링크부재(26)를 누르게 되면 클램핑 플레이트(21)와 함께 회전될 수 있다.
그리고, 제1 링크부재(26)는 회전축(24)에 회전가능하게 설치되고, 제1 탄성부재(27)에 탄성 지지되어 있어 기판(2)을 클램핑하는 방향으로 회전력을 부여받는다. 따라서, 푸셔(40)가 제1 링크부재(26)를 누르게 되면 제1 탄성부재(27)의 탄성력이 작용하면서 제1 링크부재(26)의 회전이 이루어진다. 제1 링크부재(26)는 푸셔(40)의 외력에 의하여 계속하여 회전되는 것은 아니고, 제2 링크부재(30)에 걸리는 시점까지만 1차 회전된다.
여기에서 제1 링크부재(26)의 1차 회전이 이루어지면, 이와 동시에 기판(2)의 언클램핑이 이루어지게 되고, 기판(2)과 클램핑 플레이트(21)가 간섭되지 않기 때문에 도 5a에서와 같이 기판(2)의 상방으로 언로딩될 수 있다. 즉, 제1 링크부재(26)의 1차 회전은 기판(2)의 언로딩을 위한 작동이라고 볼 수 있다.
다음으로, 제2 링크부재(30)는 몸체(10)와 유사한 형상을 가지는데, 대략 'ㄷ'자 형상으로 형성된다. 제2 링크부재(30) 또한 회전축(24)에 회전가능하게 설치되고, 제2 탄성부재(29)에 탄성 지지되어 있어 기판(2)을 클램핑하는 방향으로 회전력을 부여받는다. 그리고, 제2 링크부재(30)에는 걸림부(32)가 좌우 방향으로 가로질러 형성된다. 걸림부(32)는 제1 링크부재(26)가 회전되다가 걸리는 부분으로서, 걸림부(32)에 제1 링크부재(26)가 걸린 이후부터는 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)가 함께 2차 회전을 하게 된다.
본 실시예에서 이와 같이 제2 링크부재(30)가 제1 링크부재(26)와 함께 2차 회전이 이루어지도록 한 것은 도 5a에서와 같이 1차 회전이 이루어진 상태에서는 마스크가 장착된 마스크 프레임(4)과 간섭이 발생하기 때문에 1차 회전보다 더 회전되도록 하여 마스크의 언로딩이 가능하도록 한 것이다. 물론, 한번에 회전이 되도록 하여 기판(2) 및 마스크의 언로딩을 수행할 수도 있지만, 구조물의 형상에서 발생하는 제약 조건을 피하기 위한 이와 같이 설계한 것이다.
한편, 본 도면에서는 제2 링크부재(30)가 직접적으로 회전축(24)에 설치되는 것은 아니고, 별도의 링크부재 블록(36)을 통해 간접적으로 회전축(24)에 회전가능하게 설치된다. 하지만, 이에 제한되는 것은 아니고 제2 링크부재(30)가 링크부재 블록(36)과 일체로 형성되어 직접 회전축(24)에 설치될 수도 있고, 링크부재 블록(36) 없이 제2 링크부재(30)만 회전축(24)에 설치되는 것도 가능할 것이다.
또한, 본 실시예에서는 상술한 링크부재 블록(36)을 중심으로 내측에는 제1 탄성부재(26)가 구비되고, 외측에는 제2 탄성부재(30)가 각각 회전축(24)에 구비된다. 물론, 이는 하나의 실시예를 예시한 것에 불과하고, 탄성부재의 설치 위치는 변경될 수도 있다.
한편, 셔틀(1)의 상방에는 푸셔(40)가 상하로 이동가능하게 설치된다. 푸셔(40)는 별도의 구조물에 설치되어 이동될 수도 있고, 셔틀(1)의 일측에 이동가능하게 설치될 수 있다. 푸셔(40)는 최초에는 상방에 위치한 상태에서 기판(2) 및 마스크의 언로딩 시 하방으로 이동되면서 제1 링크부재(26)를 눌러주는 역할을 한다.
이하에서는 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 기판의 클램핑 장치의 작동 과정을 상세하게 설명한다.
도 4 내지 6은 본 발명에 의한 기판의 클램핑 장치의 작동 과정을 차례대로 도시한 것이다.
이에 도시된 바에 따르면, 기판(2)이 클램핑된 상태에서 언클램핑 신호가 입력되면(수동으로 조작도 가능), 도 4a에서와 같이 푸셔(40)가 제1 링크부재(26)를 향하여 하강한다. 하강한 푸셔(40)제1 링크부재(26)는 제1 링크부재(26)를 눌러 제1 링크부재(26) 및 클램핑 플레이트(21)를 함께 시계 반대방향으로 회전시킨다. 이때, 제1 링크부재(26)는 푸셔(40)의 하강력에 의해 제1 탄성부재(27)의 탄성력에 반대하여 회전된다.
제1 링크부재(26) 및 클램핑 플레이트(21)는 푸셔(40)의 동작에 의해 도 5a에서와 같이 1차 회전된다. 본 실시예에서는 제1 링크부재(26) 및 클램핑 플레이트(21)가 1차 회전되었을 때, 40°(θ1)만큼 회전되는 것으로 도시하였으나, 상기 각도범위에 제한되는 것은 아니다.
상술한 바와 같이, 제1 링크부재(26)가 1차 회전되면 클램핑 플레이트(21)가 상방으로 들린 상태가 된다. 그리고, 기판(2)의 언클랭핑이 이루어지기 때문에 기판(2)이 상방으로 이동될 수 있는 상태가 된다. 따라서, 제1 링크부재(26)의 1차 회전 상태에서 기판(2)의 언로딩이 이루어진다.
이상에서 설명한 제1 링크부재(26)의 1차 회전 상태에서는 기판(2)의 언로딩은 가능하나, 마스크의 언로딩은 이루어질 수 없다. 즉, 도 5a에서와 같이 마스크가 장착된 마스크 프레임(4)이 클램핑 플레이트(21)와 간섭되기 때문에 상방으로의 이동이 불가한 것이다.
따라서, 본 실시예에서는 제1 링크부재(26)가 1차 회전된 상태에서 제2 링크부재(30)의 걸림부(32)에 걸리도록 하고, 이때부터는 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)가 함께 2차 회전되도록 한 것이다.
푸셔(40)가 계속하여 하강하게 되면, 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)가 도 6a에서와 같이 2차 회전된다. 이때, 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)는 푸셔(40)의 하강력에 의해 제2 탄성부재(34)의 탄성력에 반대하여 회전된다. 본 실시예에서는 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)가 35°(θ2-θ1)만큼 회전되는 것으로 도시하였으나, 상기 각도범위에 제한되는 것은 아니다.
상술한 바와 같이, 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)가 2차 회전되면 클램핑 플레이트(21)가 더 상방으로 들린 상태가 된다. 그리고, 클램핑 플레이트(21)가 충분히 상방으로 들린 상태가 되므로, 마스크 프레임(4)이 상방으로 이동할 수 있게 된다. 따라서, 본 상태에서 마스크의 언로딩이 이루어질 수 있다.
한편, 기판(2) 및 마스크의 언로딩 상태에서 다시 기판(2) 및 마스크를 로딩시키려면, 기판(2) 및 마스크를 도 4a에서의 로딩 위치로 이동시킨다. 이 상태에서 푸셔(40)가 상방으로 상승하게 되면, 제1 탄성부재(27) 및 제2 탄성부재(34)의 탄성력에 의하여 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)가 회전되고, 도 4a에서의 로딩 위치로 클램핑 플레이트(21)가 회전되어 기판(2)을 클램핑하게 된다.
이상에서 본 발명의 실시 예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 다양한 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
1 : 셔틀 2 : 기판
4 : 마스크 프레임 10 : 몸체
12 : 하판 14 : 측판
20 : 클램핑 어셈블리 21 : 클램핑 플레이트
22 : 접촉부 24 : 회전축
26 : 제1 링크부재 27 : 제1 탄성부재
30 : 제2 링크부재 32 : 걸림부
34 : 제2 탄성부재 36 : 링크부재 블록
40 : 푸셔

Claims (8)

  1. 셔틀에 지지되고 일면에 마스크가 밀착된, 기판을 클램핑하기 위한 기판의 클램핑 장치에 있어서,
    상기 셔틀에 고정되는 몸체;
    상기 몸체에 회전가능하게 설치되어 상기 기판을 클램핑하는 클램핑 어셈블리; 및
    상기 클램핑 어셈블리의 일측을 눌러 상기 클램핑 어셈블리가 상기 기판을 언클램핑하도록 회전시키는 푸셔를 포함하고,
    상기 클램핑 어셈블리가 상기 푸셔에 의해 1차 회전 상태에서 상기 기판이 언로딩되고, 상기 클램핑 어셈블리의 1차 회전 상태보다 더 회전된 2차 회전 상태에서 상기 마스크가 언로딩되며,
    상기 클램핑 어셈블리는,
    상기 기판을 클램핑하는 클램핑 플레이트;
    상기 몸체에 설치되는 회전축;
    상기 회전축에 구비되어 상기 클램핑 플레이트가 상기 기판을 클램핑하는 방향으로 탄성력을 제공하는 제1 탄성부재 및 제2 탄성부재; 및
    상기 회전축에 회전가능하게 설치되고, 상기 제1 탄성부재 및 제2 탄성부재에 각각 탄성 지지되는 제1 링크부재 및 제2 링크부재를 포함하고,
    상기 제1 링크부재가 1차 회전된 상태에서 상기 제1 링크부재는 상기 제2 링크부재에 형성된 걸림부에 걸리는 것을 특징으로 하는 기판의 클램핑 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 몸체는,
    하판; 및
    상기 하판의 양측에 직립되게 설치되는 측판을 포함하고,
    상기 회전축은 상기 측판에 양단이 지지되는 것을 특징으로 하는 기판의 클램핑 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 링크부재는 상기 클램핑 플레이트의 단부에서 소정 각도로 경사지게 연장되는 것을 특징으로 하는 기판의 클램핑 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 링크부재는 'ㄷ'자 형상으로 형성되고, 그 사이에 상기 제1 링크부재가 회전되게 설치되는 것을 특징으로 하는 기판의 클램핑 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 클램핑 플레이트는 상기 1차 회전 시 40°이상으로 회전되고, 상기 2차 회전 시 35°이상으로 회전되는 것을 특징으로 하는 기판의 클램핑 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 2차 링크부재는 상기 회전축에 회전가능하게 설치된 링크부재 블록에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판의 클램핑 장치.
  8. 셔틀에 지지되고 일면에 마스크가 밀착된, 기판을 클램핑하기 위한 기판의 클램핑 장치에 있어서,
    상기 셔틀에 고정되는 몸체;
    상기 몸체에 설치된 회전축에 회전가능하게 설치되고, 상기 기판을 클램핑하는 클램핑 플레이트;
    상기 클램핑 플레이트의 단부에서 소정 각도로 경사지게 연장되고, 상기 회전축에 구비된 제1 탄성부재에 탄성 지지되는 제1 링크;
    상기 회전축에 구비된 제2 탄성부재에 탄성 지지되고, 상기 제1 링크가 1차 회전된 상태에서 일측에 걸림되는 제2 링크; 및
    상기 제1 링크의 일측을 눌러 상기 클램핑 플레이트가 상기 기판을 언클램핑하도록 회전시키는 푸셔를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 클램핑 장치.
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