KR101466488B1 - Display device and manufacturing method thereof - Google Patents

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KR101466488B1 KR20130065971A KR20130065971A KR101466488B1 KR 101466488 B1 KR101466488 B1 KR 101466488B1 KR 20130065971 A KR20130065971 A KR 20130065971A KR 20130065971 A KR20130065971 A KR 20130065971A KR 101466488 B1 KR101466488 B1 KR 101466488B1
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성수왕
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하이디스 테크놀로지 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a display device and a manufacturing method thereof. According to the present invention, a display device has a plurality of signal lines defining a pixel area in a display area, a plurality of signal pads formed in an area around the display area, and a plurality of fan-out wirings having different lengths and connecting the signal lines with the signal pads. Each of the fan-out wirings includes a first wiring line formed to connect the signal lines with the signal pads; a second wiring line formed on the first wiring line; and an insulating layer interposed between the first and second wiring lines, and having a plurality of contact holes to electrically connect the first wiring line with the second wiring line. In the case that the length of one fan-out wiring is longer than that of the other fan-out wiring in the two fan-out wirings having different lengths, the number of contact holes of the one fan-out wiring is larger than that of contact holes of the other fan-out wiring. Accordingly, in the case that one fan-out wiring is longer than the other fan-out wiring in the two fan-out wirings having different lengths among a plurality of fan-out wirings, the number of contact holes of the one fan-out wiring is formed to be larger than that of contact holes of the other fan-out wiring to compensate a resistance difference between the fan-out wirings having different lengths and to equally transmit simultaneously applied driving signals to the signal lines, thereby preventing distortion of a screen.

Description

표시장치 및 그 제조방법{DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a display device,

본 발명은 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 표시장치의 표시영역의 신호라인과 주변영역의 신호 패드를 연결하는 다수의 팬아웃 배선에서, 각 팬아웃 배선 간에 발생하는 저항차에 의한 전송신호의 전송속도가 균일해지도록 각 팬아웃 배선에서의 저항차를 보상할 수 있는 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a display device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a display device and a method of manufacturing the same, in which, in a plurality of fan-out wires connecting a signal line of a display area of a display device and a signal pad of a peripheral area, To compensate the resistance difference in each fan-out wiring so that the transmission speed of the transmission signal by the fan-out wiring becomes uniform.

일반적으로 액정표시장치(LCD) 또는 유기전자발광표시장치(EL)등과 같은 표시 장치는 영상을 표시하기 위한 기본 구성 요소로서 다수의 화소를 포함하며, 상기 각 화소는 독립적인 구동을 위해서 스위칭 소자를 포함한다.2. Description of the Related Art In general, a display device such as a liquid crystal display (LCD) or an organic electroluminescence display (EL) device includes a plurality of pixels as basic components for displaying an image, .

상기 표시장치는 도 1에서와 같이, 화면으로 표시되는 표시영역(a)과, 상기 표시영역(a)의 주변부인 주변영역(b)으로 구획된다.The display device is divided into a display area (a) displayed on the screen and a peripheral area (b) surrounding the display area (a), as shown in Fig.

상기 표시영역(a)에는 신호라인(110)인 게이트라인 및 데이터라인의 교차 배열에 의해 화소영역이 정의되고, 상기 주변영역 중 하부에는 외부에서 구동신호 인가를 위한 드라이버IC(130)가 접속가능한 다수의 신호 패드(120)가 형성된다.A pixel region is defined by a crossing arrangement of a gate line and a data line which are a signal line 110 in the display region a and a driver IC 130 for externally applying a driving signal is connected to a lower portion of the peripheral region A plurality of signal pads 120 are formed.

또한, 상기 신호 패드(120)를 통해 인가되는 구동신호를 상기 신호라인(110)으로 전달하도록 상기 신호라인(110)과 상기 신호 패드(120)를 연결하는 다수의 팬아웃 배선(140)이 형성된다.A plurality of fan-out wirings 140 are formed to connect the signal lines 110 and the signal pads 120 to transfer driving signals applied to the signal pads 120 to the signal lines 110 do.

그런데, 각 팬아웃 배선(140)은 신호라인(110)의 위치에 따라 서로 다른 길이로 형성되며, 이로 인해 각 팬아웃 배선(140)의 저항이 서로 다르게 된다.However, the fan-out wirings 140 are formed to have different lengths depending on the positions of the signal lines 110, and thus the resistance of the fan-out wirings 140 becomes different from each other.

이에 따라, 각 신호 패드(130)를 통해 동시에 구동신호를 인가하더라도 각 팬아웃 배선(140)의 저항차에 따라 각 신호라인(110)으로 전달되는 구동신호가 서로 달라져 화면품위가 저하되는 문제점이 있었다.Accordingly, even if a driving signal is simultaneously applied through the signal pads 130, the driving signals transmitted to the signal lines 110 are different from each other depending on the resistance difference of the respective fan-out wirings 140, there was.

대한민국 공개특허 제2008-0053781호Korea Patent Publication No. 2008-0053781 대한민국 공개특허 제2010-0121893호Korea Patent Publication No. 2010-0121893

본 발명의 과제는 상술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 각 팬아웃 배선을 컨택홀이 형성된 절연막을 사이에 두고 상하부에 각각 제1배선라인층과 제2배선라인층으로 형성하고, 상기 컨택홀을 통해 상호 전기적으로 접속가능하도록 구성하고, 서로 다른 길이를 가지는 두 팬아웃 배선에서 어느 하나의 팬아웃 배선이 다른 하나의 팬아웃 배선보다 긴 경우, 상기 어느 하나의 팬아웃 배선의 컨택홀의 수를 상기 다른 하나의 팬아웃 배선의 컨택홀의 수보다 많게 형성하여, 서로 다른 길이를 가지는 다수의 팬아웃 배선 간의 저항차를 보상할 수 있는 표시장치 및 그 제조방법을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a fan-out structure in which each fan-out wiring is formed as a first wiring line layer and a second wiring line layer on upper and lower portions, Out wiring of the two fan-out wirings is longer than the other one of the fan-out wirings, and the plurality of fan-out wirings are connected to each other through the contact holes, In which the number of holes is greater than the number of contact holes of the other fan-out wiring, thereby compensating for the difference in resistance between the plurality of fan-out wirings having different lengths, and a method of manufacturing the same.

또한, 각 팬아웃 배선 간의 저항차가 실질적으로 감소됨으로써 구동신호를 동일하게 신호라인으로 전달할 수 있어 화면의 왜곡현상을 방지될 수 있는 표시장치 및 그 제조방법을 제공함에 있다.Further, the present invention provides a display device capable of transmitting a driving signal to a signal line in the same manner by substantially reducing the resistance difference between each fan-out wiring, thereby preventing distortion of a screen and a method of manufacturing the same.

상기 과제는, 본 발명에 따라, 표시영역에 화소영역을 정의하는 다수의 신호라인이 형성되고, 상기 표시영역의 주변영역에는 다수의 신호 패드들이 형성되며, 상기 신호라인과 상기 신호 패드를 연결하는 서로 다른 길이의 다수의 팬아웃 배선이 형성되는 표시장치에 있어서, 상기 다수의 팬아웃 배선은, 상기 신호라인과 상기 신호 패드를 상호 연결하도록 형성되는 제1배선라인; 상기 제1배선라인의 상부에 형성되는 제2배선라인; 상기 제1배선라인과 상기 제2배선라인의 사이에 개재되며, 길이방향을 따라 상기 제1배선라인과 상기 제2배선라인이 전기적으로 접속되게 하는 다수의 컨택홀이 형성되는 절연막;을 포함하며, 서로 다른 길이의 두 팬아웃 배선에서, 어느 하나의 팬아웃 배선의 길이가 다른 하나의 팬아웃 배선의 길이보다 긴 경우, 상기 어느 하나의 팬아웃 배선의 컨택홀의 수는 상기 다른 하나의 팬아웃 배선의 컨택홀의 수보다 많은 것을 특징으로 하는 표시장치에 의해 달성된다.According to an embodiment of the present invention, a plurality of signal lines defining a pixel region are formed in a display region, a plurality of signal pads are formed in a peripheral region of the display region, A plurality of fan-out wirings having different lengths are formed, wherein the plurality of fan-out wirings include: a first wiring line formed to interconnect the signal lines and the signal pads; A second wiring line formed on the first wiring line; And an insulating film interposed between the first wiring line and the second wiring line and having a plurality of contact holes for electrically connecting the first wiring line and the second wiring line along the longitudinal direction, Out wiring is longer than the length of one of the other fan-out wirings in the two fan-out wirings having different lengths, the number of the contact holes of any one of the fan- And the number of contact holes of the wiring is larger than the number of the contact holes of the wiring.

여기서, 각 팬아웃 배선에 형성되는 컨택홀의 직경은 동일한 것이 바람직하다.Here, the diameters of the contact holes formed in the respective fan-out wirings are preferably the same.

또한, 상기 제1배선라인과 상기 제2배선라인은 어느 하나는 몰리브덴(Mo)이고, 다른 하나는 알루미늄네오듐(AlNd)인 것이 바람직하다.It is preferable that one of the first wiring line and the second wiring line is molybdenum (Mo) and the other is aluminum neodymium (AlNd).

한편, 상기 표시장치의 제조방법은, 표시영역에 화소영역을 정의하는 다수의 신호라인이 형성되고, 상기 표시영역의 주변영역에는 다수의 신호 패드들이 형성되며, 상기 신호라인과 상기 신호 패드를 연결하는 서로 다른 길이의 다수의 팬아웃 배선이 형성되는 표시장치의 제조방법에 있어서, 기판 상에 팬아웃 배선을 형성할 영역에 제1배선라인층 형성용 물질을 성막하여 제1배선라인층을 형성하고, 상기 제1배선라인층을 포토공정 또는 식각공정을 통해 상기 신호라인과 상기 신호 패드를 연결하도록 서로 다른 길이를 가지는 다수의 제1배선라인으로 패터닝하는 단계; 상기 다수의 제1배선라인의 상부에 절연물질을 성막하여 절연층을 형성하며, 상기 절연층을 각 제1배선라인의 길이방향을 따라 형성된 절연막으로 패터닝하고, 상기 절연막의 길이방향을 따라 하부의 제1배선라인을 노출시키는 다수의 컨택홀이 형성되도록 패터닝하되, 서로 다른 길이로 형성된 제1배선라인에서, 어느 하나의 제1배선라인의 길이가 다른 하나의 제1배선라인의 길이보다 긴 경우, 상기 어느 하나의 제1배선라인의 상부에 형성되는 컨택홀의 수는 상기 다른 하나의 제1배선라인의 상부에 형성되는 컨택홀의 수보다 많도록 패터닝하는 단계; 및, 상기 절연막의 상부에 제2배선라인층 형성용 물질을 성막하여 제2배선라인층을 형성하고, 상기 제2배선라인층을 포토공정 또는 식각공정을 통해 상기 절연막의 길이방향을 따라 형성된 제2배선라인으로 패터닝하되, 각 절연막의 길이방향을 따라 형성된 컨택홀을 통해 상기 제1배선라인과 컨택되도록 패터닝하는 단계;를 포함한다.A plurality of signal lines defining a pixel region are formed in a display region, a plurality of signal pads are formed in a peripheral region of the display region, and the signal lines are connected to the signal pad The first wiring line layer forming material is formed on the substrate in a region where the fan-out wiring lines are to be formed on the substrate to form a first wiring line layer Patterning the first wiring line layer into a plurality of first wiring lines having different lengths to connect the signal lines and the signal pads through a photolithography process or an etching process; Forming an insulating layer on the plurality of first wiring lines to form an insulating layer; patterning the insulating layer with an insulating film formed along the longitudinal direction of each first wiring line; A plurality of contact holes exposing the first wiring line are formed so that the length of one of the first wiring lines is longer than the length of one of the other first wiring lines in the first wiring line formed at different lengths Patterning the first wiring line so that the number of the contact holes formed on the first wiring line is larger than the number of the contact holes formed on the other first wiring line; And forming a second wiring line layer by depositing a material for forming a second wiring line layer on the insulating film, forming the second wiring line layer through a photolithography process or an etching process And patterning the first wiring line and the second wiring line through a contact hole formed along the longitudinal direction of each insulating film so as to be in contact with the first wiring line.

여기서, 상기 제1배선라인층 형성용 물질과 상기 제2배선라인층 형성용 물질은, 어느 하나는 몰리브덴(Mo)이고, 다른 하나는 알루미늄네오듐(AlNd)인 것이 바람직하다.Here, it is preferable that one of the first wiring line layer forming material and the second wiring line layer forming material is molybdenum (Mo) and the other is aluminum neodymium (AlNd).

또한, 상기 제1배선라인층 형성용 물질 또는 제2배선라인층 형성용 물질이 알루미늄네오듐(AlNd)인 경우, 포토공정의 현상액에 의해 패터닝되고, 상기 포토공정에서의 현상액은 수산화테트라메틸암모늄(TMAH) 또는 수산화칼륨(KOH)인 것이 바람직하다.When the material for forming the first wiring line layer or the material for forming the second wiring line layer is aluminum neodymium (AlNd), it is patterned by a developing solution of a photo process, and the developing solution in the photo process is tetramethylammonium hydroxide (TMAH) or potassium hydroxide (KOH).

본 발명에 따르면, 각 팬아웃 배선을 컨택홀이 형성된 절연막을 사이에 두고 상하부에 각각 제1배선라인층과 제2배선라인층으로 형성하고, 상기 컨택홀을 통해 상호 전기적으로 접속가능하도록 구성하고, 서로 다른 길이를 가지는 두 팬아웃 배선에서 어느 하나의 팬아웃 배선이 다른 하나의 팬아웃 배선보다 긴 경우, 상기 어느 하나의 팬아웃 배선의 컨택홀의 수를 상기 다른 하나의 팬아웃 배선의 컨택홀의 수보다 많게 형성하여, 서로 다른 길이를 가지는 다수의 팬아웃 배선 간의 저항차를 보상할 수 있는 표시장치가 제공된다.According to the present invention, each of the fan-out wirings is formed as a first wiring line layer and a second wiring line layer on upper and lower portions with an insulating film on which contact holes are formed, and is configured to be electrically connectable through the contact holes Out wirings of two fan-out wirings having different lengths than the other fan-out wirings, the number of the contact holes of any one of the fan-out wirings may be greater than the number of the contact holes of the other fan- A plurality of fanout wirings having different lengths can be compensated for.

또한, 각 팬아웃 배선 간의 저항차가 실질적으로 감소됨으로써 구동신호를 동일하게 신호라인으로 전달할 수 있어 화면의 왜곡현상을 방지될 수 있는 표시장치가 제공된다.Also, since the difference in resistance between the fan-out wirings is substantially reduced, the driving signal can be transmitted to the signal line in the same manner, thereby preventing display distortion.

도 1은 종래 표시장치의 개략도,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 개략도,
도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'을 따라 절단한 단면도,
도 4는 도 2의 제조공정도이다.1 is a schematic view of a conventional display device,
2 is a schematic view of a display device according to a first embodiment of the present invention,
3 is a cross-sectional view taken along the line I-I 'in Fig. 2,
4 is a manufacturing process diagram of Fig.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.Prior to the description, components having the same configuration are denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment. In other embodiments, configurations different from those of the first embodiment will be described do.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a display device according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 개략도이고, 도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 2 is a schematic view of a display device according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a sectional view taken along line I-I 'of FIG.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 표시장치는 기판(1) 상에 표시영역(A)과 그 주변부인 주변영역(B)으로 구획되며, 상기 표시영역(A)에는 다수의 신호라인(3)이 교차배열되어 화소영역이 정의되고, 상기 주변영역(B) 중 하측에는 드라이버IC(미도시)의 전기적 접속이 가능한 다수의 신호 패드(4)가 형성된다.2 and 3, a display device according to the present invention is divided into a display area A and a peripheral area B surrounding the display area A, and the display area A includes a plurality of signals A plurality of signal pads 4 are formed on the lower side of the peripheral region B so that a driver IC (not shown) can be electrically connected thereto.

여기서, 상기 기판(1)은 통상적으로 액정층을 사이에 두고 대향배치되는 상부기판과 하부기판 중 하부기판이다.Here, the substrate 1 is typically a lower substrate of an upper substrate and a lower substrate which are disposed opposite to each other with a liquid crystal layer interposed therebetween.

또한, 본 실시예에서는 표시영역(A)에 형성되는 신호라인(3) 중 데이터라인과 연결되는 팬아웃 배선(2)에 대해서 설명하며, 게이트라인과 연결되는 팬아웃 배선(2)도 데이터라인과 연결되는 팬아웃 배선(2)들과 동일한 개념으로 구성할 수 있으므로 상세한 설명은 생략한다.In this embodiment, the fan-out wiring 2 connected to the data line among the signal lines 3 formed in the display area A will be described, and the fan-out wiring 2 connected to the gate line will also be described. Out wirings 2 connected to the fan-out wirings 2, and therefore detailed description thereof will be omitted.

상기 신호라인(3)과 상기 신호 패드(4)는 서로 다른 길이를 가지는 다수의 팬아웃 배선(2)에 의해 전기적으로 연결된다.The signal lines 3 and the signal pads 4 are electrically connected by a plurality of fan-out wires 2 having different lengths.

이때, 각 팬아웃 배선(2)은 제1배선라인(10)과 절연막(20) 및 제2배선라인(30)을 포함하여 구성된다.At this time, each of the fan-out wirings 2 includes a first wiring line 10, an insulating film 20, and a second wiring line 30.

상기 제1배선라인(10)과 상기 제2배선라인(30)은, 어느 하나는 몰리브덴(Mo)이고, 다른 하나는 알루미늄네오듐(AlNd)이다.One of the first wiring line 10 and the second wiring line 30 is made of molybdenum (Mo) and the other is aluminum neodymium (AlNd).

상기 제1배선라인(10)은 상기 신호라인(3)과 상기 신호 패드(4)를 상호 연결하도록 형성되고, 상기 제2배선라인(30)은 제1배선라인(10)의 상부에 제1배선라인(10)의 길이방향을 따라 형성된다.The first wiring line 10 is formed to interconnect the signal line 3 and the signal pad 4 and the second wiring line 30 is formed to connect the first wiring line 10 to the first wiring line 10, Are formed along the longitudinal direction of the wiring line (10).

그리고, 상기 제1배선라인(10)과 상기 제2배선라인(30)의 사이에는 절연막(20)이 제1배선라인(10)의 길이방향과 대응되는 폭과 길이로 형성되는데, 길이방향을 따라 다수의 컨택홀(21)이 형성된다. 상기 컨택홀(21)을 통해 제2배선라인(30)은 제1배선라인(10)에 전기적으로 접속된다.An insulating film 20 is formed between the first wiring line 10 and the second wiring line 30 to have a width and a length corresponding to the longitudinal direction of the first wiring line 10, A plurality of contact holes 21 are formed. The second wiring line 30 is electrically connected to the first wiring line 10 through the contact hole 21.

여기서, 각 팬아웃 배선(2)에 형성되는 컨택홀(21)은 동일한 직경을 갖도록 형성되는 것이 바람직하다.Here, the contact holes 21 formed in the fan-out wirings 2 are preferably formed to have the same diameter.

한편, 각 팬아웃 배선(2)에서, 상기 컨택홀(21)의 수는 다르게 형성되는데, 상대적으로 긴 팬아웃 배선(2)에서는 컨택홀(21)의 수는 상대적으로 많게 형성되고, 상대적으로 짧은 팬아웃 배선(2)에서는 컨택홀(21)의 수는 상대적으로 작게 형성된다.On the other hand, in each fan-out wiring 2, the number of the contact holes 21 is formed differently. In the relatively long fan-out wiring 2, the number of the contact holes 21 is relatively large, In the short fan-out wiring 2, the number of the contact holes 21 is relatively small.

구체적으로, 서로 다른 길이의 두 팬아웃 배선(2)이 있다고 가정하고, 어느 하나의 팬아웃 배선(2)의 길이가 다른 하나의 팬아웃 배선(2)의 길이보다 긴 경우에는, 상기 어느 하나의 팬아웃 배선(2)의 컨택홀(21)의 수는 상기 다른 하나의 컨택홀(21)의 수보다 많은 수로 형성된다.More specifically, when it is assumed that there are two fan-out wires 2 having different lengths, and the length of one fan-out wiring 2 is longer than the length of the other fan-out wiring 2, The number of the contact holes 21 of the fan-out wiring 2 is greater than the number of the other contact holes 21.

상기와 같이 컨택홀(21)이 형성되며, 많은 수의 컨택홀(21)을 가지는 팬아웃 배선(2)의 제2배선라인(30)의 길이는 적은 수의 컨택홀(21)을 가지는 팬아웃 배선(2)의 제2배선라인(30)의 길이보다 길어진다.The length of the second wiring line 30 of the fan-out wiring 2 having a large number of contact holes 21 is formed as described above, Out wiring 2 is longer than the length of the second wiring line 30 in the outer wiring 2. [

즉, 길이가 긴 팬아웃 배선(2)의 제2배선라인(30)이 길이가 짧은 팬아웃 배선(2)의 제2배선라인(30)보다 길게 형성되어, 두 팬아웃 배선(2) 간의 저항차는 감소하게 된다.That is, the second wiring line 30 of the long fanout wiring 2 is formed to be longer than the second wiring line 30 of the fanout wiring 2 having a short length, The resistance difference is reduced.

같은 개념을 다수의 팬아웃 배선(2)에 적용하면, 다수의 팬아웃 배선(2)의 길이에 따른 저항차는 서로 간에 보상되어 실질적으로 균일한 저항값을 가지도록 형성할 수 있다.If the same concept is applied to the plurality of fan-out wirings 2, the resistance difference according to the length of the plurality of fan-out wirings 2 can be compensated with each other to have a substantially uniform resistance value.

즉, 동시에 드라이버IC로부터 인가되는 구동신호는 서로 다른 길이를 가지는 다수의 팬아웃 배선(2)을 경유하여 신호라인(3)으로 전달되더라도 동일한 값이 각 신호라인(3)으로 전달되도록 할 수 있다.
In other words, even if the driving signals applied from the driver IC are transferred to the signal lines 3 via the plurality of fan-out wirings 2 having different lengths, the same value can be transmitted to the signal lines 3 .

다음으로 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치의 제조방법에 대해 설명한다. 도 4는 도 2의 제조공정도이다.Next, a method of manufacturing the display device according to the first embodiment of the present invention will be described. 4 is a manufacturing process diagram of Fig.

도 4를 참조하면, 기판(1) 상에 팬아웃 배선(2)을 형성할 영역에 제1배선라인층 형성용 물질을 성막하여 제1배선라인층을 형성하고, 상기 제1배선라인층을 포토공정 또는 식각공정을 통해 상기 신호라인(3)과 상기 신호 패드(4)를 연결하도록 서로 다른 길이를 가지는 다수의 제1배선라인(10)으로 패터닝한다.4, a first wiring line layer is formed by depositing a material for forming a first wiring line layer on a region where a fan-out wiring 2 is to be formed on a substrate 1 to form a first wiring line layer, And patterned into a plurality of first wiring lines 10 having different lengths to connect the signal lines 3 and the signal pads 4 through a photolithography process or an etching process.

그리고, 상기 다수의 제1배선라인(10)의 상부에 절연물질을 성막하여 절연층을 형성하고, 상기 절연층을 각 제1배선라인(10)의 길이방향을 따라 형성된 절연막(20)으로 패터닝하되, 상기 절연막(20)의 길이방향을 따라 하부의 제1배선라인(10)을 노출시키는 다수의 컨택홀(21)이 형성되도록 패터닝한다.An insulating layer is formed on the first wiring lines 10 to form an insulating layer. The insulating layer is patterned with an insulating layer 20 formed along the longitudinal direction of each first wiring line 10 A plurality of contact holes 21 are formed to expose the first wiring line 10 located below the insulating film 20 in the longitudinal direction.

이때, 서로 다른 길이의 두 제1배선라인(10)에 형성되는 컨택홀(10)의 수는, 어느 하나의 제1배선라인(10)의 길이가 다른 하나의 제1배선라인(10)의 길이보다 긴 경우, 상기 어느 하나의 제1배선라인(10)의 컨택홀(21)의 수는 상기 다른 하나의 제1배선라인(10)의 컨택홀(21)의 수보다 많도록 패터닝한다.At this time, the number of the contact holes 10 formed in the two first wiring lines 10 having different lengths is determined by the number of the first wiring lines 10 having the different lengths of the first wiring lines 10 The number of the contact holes 21 of any one of the first wiring lines 10 is greater than the number of the contact holes 21 of the other first wiring line 10.

이어, 상기 절연막(20)의 상부에 제2배선라인층 형성용 물질을 성막하여 제2배선라인층을 형성하고, 상기 제2배선라인층을 포토공정 또는 식각공정을 통해 상기 절연막(20)의 길이방향을 따라 형성된 제2배선라인(30)으로 패터닝하되, 각 절연막(20)의 길이방향을 따라 형성된 컨택홀(21)을 통해 상기 제1배선라인(10)과 컨택되도록 패터닝한다. Next, a second wiring line layer is formed by depositing a material for forming a second wiring line layer on the insulating film 20, and the second wiring line layer is formed on the insulating film 20 through a photolithography process or an etching process. And patterned to contact the first wiring line 10 through a contact hole 21 formed along the longitudinal direction of each insulating film 20. The second wiring line 30 is patterned to contact the first wiring line 10 in the longitudinal direction.

여기서, 상기 제1배선라인 형성용 물질과 상기 제2배선라인 형성용 물질은, 어느 하나는 몰리브덴(Mo)이고, 다른 하나는 알루미늄네오듐(AlNd)일 수 있다.Here, one of the first wiring line forming material and the second wiring line forming material may be molybdenum (Mo) and the other may be aluminum neodymium (AlNd).

상기 제1 또는 제2배선라인 형성용 물질이 알루미늄네오듐(AlNd)이면, 포토공정의 현상액에 의해 패터닝되고, 상기 현상액은 수산화테트라메틸암모늄(TMAH) 또는 수산화칼륨(KOH)을 사용할 수 있다.If the material for forming the first or second wiring line is aluminum neodymium (AlNd), it may be patterned by a developing solution of a photo process, and the developing solution may be tetramethylammonium hydroxide (TMAH) or potassium hydroxide (KOH).

상기와 같은 방법을 통해 표시장치의 다수의 팬아웃 배선(2)을 형성하면, 각 팬아웃 배선(2)에서 실질적으로 균일한 저항값을 가지도록 할 수 있어, 구동신호의 신호 왜곡 현상을 방지할 수 있다.By forming the plurality of fan-out wirings 2 of the display device through the above-described method, it is possible to have a substantially uniform resistance value in each of the fan-out wirings 2, thereby preventing the signal distortion of the drive signal can do.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims.

※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※
1 : 기판 2 : 팬아웃 배선
3 : 신호라인 4 : 신호 패드
10 : 제1배선라인 20 : 절연막
21 : 컨택홀 30 : 제2배선라인 [Description of Reference Numerals]
1: substrate 2: fan-out wiring
3: Signal line 4: Signal pad
10: first wiring line 20: insulating film
21: contact hole 30: second wiring line

Claims (6)

표시영역에 화소영역을 정의하는 다수의 신호라인이 형성되고, 상기 표시영역의 주변영역에는 다수의 신호 패드들이 형성되며, 상기 신호라인과 상기 신호 패드를 연결하는 서로 다른 길이의 다수의 팬아웃 배선이 형성되는 표시장치에 있어서,
상기 다수의 팬아웃 배선은,
상기 신호라인과 상기 신호 패드를 상호 연결하도록 형성되는 제1배선라인;
상기 제1배선라인의 상부에 형성되는 제2배선라인;
상기 제1배선라인과 상기 제2배선라인의 사이에 개재되며, 길이방향을 따라 상기 제1배선라인과 상기 제2배선라인이 전기적으로 접속되게 하는 다수의 컨택홀이 형성되는 절연막;을 포함하며,
서로 다른 길이의 두 팬아웃 배선에서, 어느 하나의 팬아웃 배선의 길이가 다른 하나의 팬아웃 배선의 길이보다 긴 경우, 상기 어느 하나의 팬아웃 배선의 컨택홀의 수는 상기 다른 하나의 팬아웃 배선의 컨택홀의 수보다 많은 것을 특징으로 하는 표시장치.A plurality of signal lines defining a pixel region in a display region, a plurality of signal pads formed in a peripheral region of the display region, and a plurality of fan-out wirings In this display device,
The plurality of fan-
A first wiring line formed to interconnect the signal line and the signal pad;
A second wiring line formed on the first wiring line;
And an insulating film interposed between the first wiring line and the second wiring line and having a plurality of contact holes for electrically connecting the first wiring line and the second wiring line along the longitudinal direction, ,
When the length of one of the fan-out wirings is longer than the length of one of the other fan-out wirings, the number of the contact holes of the one fan-out wiring is larger than the number of the other fan- And the number of contact holes of the first electrode is greater than the number of the contact holes of the second electrode. 제 1항에 있어서,
각 팬아웃 배선에 형성되는 컨택홀의 직경은 동일한 것을 특징으로 하는 표시장치.The method according to claim 1,
And the diameter of the contact holes formed in each of the fan-out wirings is the same. 제 1항에 있어서,
상기 제1배선라인과 상기 제2배선라인은 어느 하나는 몰리브덴(Mo)이고, 다른 하나는 알루미늄네오듐(AlNd)인 것을 특징으로 하는 표시장치.The method according to claim 1,
Wherein one of the first wiring line and the second wiring line is molybdenum (Mo), and the other is aluminum neodymium (AlNd). 표시영역에 화소영역을 정의하는 다수의 신호라인이 형성되고, 상기 표시영역의 주변영역에는 다수의 신호 패드들이 형성되며, 상기 신호라인과 상기 신호 패드를 연결하는 서로 다른 길이의 다수의 팬아웃 배선이 형성되는 표시장치의 제조방법에 있어서,
기판 상에 팬아웃 배선을 형성할 영역에 제1배선라인층 형성용 물질을 성막하여 제1배선라인층을 형성하고, 상기 제1배선라인층을 포토공정 또는 식각공정을 통해 상기 신호라인과 상기 신호 패드를 연결하도록 서로 다른 길이를 가지는 다수의 제1배선라인으로 패터닝하는 단계;
상기 다수의 제1배선라인의 상부에 절연물질을 성막하여 절연층을 형성하며, 상기 절연층을 각 제1배선라인의 길이방향을 따라 형성된 절연막으로 패터닝하고, 상기 절연막의 길이방향을 따라 하부의 제1배선라인을 노출시키는 다수의 컨택홀이 형성되도록 패터닝하되, 서로 다른 길이로 형성된 제1배선라인에서, 어느 하나의 제1배선라인의 길이가 다른 하나의 제1배선라인의 길이보다 긴 경우, 상기 어느 하나의 제1배선라인의 상부에 형성되는 컨택홀의 수는 상기 다른 하나의 제1배선라인의 상부에 형성되는 컨택홀의 수보다 많도록 패터닝하는 단계; 및,
상기 절연막의 상부에 제2배선라인층 형성용 물질을 성막하여 제2배선라인층을 형성하고, 상기 제2배선라인층을 포토공정 또는 식각공정을 통해 상기 절연막의 길이방향을 따라 형성된 제2배선라인으로 패터닝하되, 각 절연막의 길이방향을 따라 형성된 컨택홀을 통해 상기 제1배선라인과 컨택되도록 패터닝하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.A plurality of signal lines defining a pixel region in a display region, a plurality of signal pads formed in a peripheral region of the display region, and a plurality of fan-out wirings In a manufacturing method of a display device,
Forming a first wiring line layer by depositing a material for forming a first wiring line layer on a region where a fan-out wiring is to be formed on a substrate, forming a first wiring line layer on the substrate, Patterning a plurality of first wiring lines having different lengths to connect signal pads;
Forming an insulating layer on the plurality of first wiring lines to form an insulating layer; patterning the insulating layer with an insulating film formed along the longitudinal direction of each first wiring line; A plurality of contact holes exposing the first wiring line are formed so that the length of one of the first wiring lines is longer than the length of one of the other first wiring lines in the first wiring line formed at different lengths Patterning the first wiring line so that the number of the contact holes formed on the first wiring line is larger than the number of the contact holes formed on the other first wiring line; And
Forming a second wiring line layer by depositing a material for forming a second wiring line layer on the insulating film; forming a second wiring line layer on the second wiring line layer through a photolithography process or an etching process; Patterning the first wiring line and the second wiring line by patterning the first wiring line and the second wiring line through a contact hole formed along a longitudinal direction of each insulating film. 제 4항에 있어서,
상기 제1배선라인층 형성용 물질과 상기 제2배선라인층 형성용 물질은, 어느 하나는 몰리브덴(Mo)이고, 다른 하나는 알루미늄네오듐(AlNd)인 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.5. The method of claim 4,
Wherein the first wiring line layer forming material and the second wiring line layer forming material are molybdenum (Mo) and the other is aluminum neodymium (AlNd). ≪ / RTI > 제 5항에 있어서,
상기 제1배선라인층 형성용 물질 또는 제2배선라인층 형성용 물질이 알루미늄네오듐(AlNd)인 경우, 포토공정의 현상액에 의해 패터닝되고, 상기 포토공정에서의 현상액은 수산화테트라메틸암모늄(TMAH) 또는 수산화칼륨(KOH)인 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.6. The method of claim 5,
When the material for forming the first wiring line layer or the material for forming the second wiring line layer is aluminum neodymium (AlNd), it is patterned by a developing solution of a photo process, and the developing solution in the photo process is tetramethylammonium hydroxide (TMAH ) Or potassium hydroxide (KOH).
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