KR101448527B1 - 테스트 트레이 보관장치 및 이를 포함하는 인라인 테스트 핸들러 - Google Patents

테스트 트레이 보관장치 및 이를 포함하는 인라인 테스트 핸들러 Download PDF

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김경태
유웅현
박해준
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Abstract

본 발명은 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하기 위한 컨베이어유닛에 설치되는 보관부재, 및 보관위치에 위치되는 테스트 트레이가 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 지지유닛을 포함하는 테스트 트레이 보관장치 및 이를 포함하는 인라인 테스트 핸들러에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 로딩공정, 언로딩공정 및 테스트공정 각각을 수행하는데 걸리는 시간에 차이가 발생하더라도 작업시간이 지연되는 것을 방지할 수 있고, 테스트 트레이에 대한 운반시간이 지연되는 것을 방지할 수 있도록 구현됨으로써 테스트 트레이에 대한 운반 효율을 향상시킬 수 있고, 이에 따라 반도체 소자에 대한 테스트공정이 완료될 때까지 걸리는 시간을 줄일 수 있다.

Description

테스트 트레이 보관장치 및 이를 포함하는 인라인 테스트 핸들러{Buffer Apparatus for Test tray and In-line Test Handler having the same}
본 발명은 테스트 트레이에 대한 이송 효율을 향상시키기 위한 테스트 트레이 보관장치 및 이를 포함하는 인라인 테스트 핸들러에 관한 것이다.
메모리 혹은 비메모리 반도체 소자, 모듈 IC 등(이하, '반도체 소자'라 함)은 여러 가지 공정을 수행하는 장치들을 거쳐 제조된다. 이러한 장치들 중의 하나인 테스트 핸들러는 반도체 소자가 테스트되도록 반도체 소자를 테스트장비에 접속시키고, 테스트된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하는 공정을 수행하기 위한 장치이다. 반도체 소자는 테스트 결과 양품으로 분류됨으로써 제조가 완료된다.
도 1은 종래 기술에 따른 테스트 핸들러의 개략적인 평면도이다.
도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 고객트레이에 담겨진 반도체 소자를 테스트 트레이(200)에 수납시키는 로딩유닛(1100), 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자를 테스트장비에 접속시키는 테스트유닛(1200), 및 테스트된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하여 고객트레이에 수납시키는 언로딩유닛(1300)를 포함한다.
상기 로딩유닛(1100)은 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(200)에 수납시키는 로딩공정을 수행한다. 상기 로딩유닛(1100)은 테스트될 반도체 소자가 담겨진 고객트레이를 저장하는 로딩스택커(1110), 및 테스트될 반도체 소자를 고객트레이에서 테스트 트레이(200)로 이송하는 로딩픽커(1120)를 포함한다. 테스트 트레이(200)는 테스트될 반도체 소자가 수납되면, 상기 테스트유닛(1200)으로 이송된다.
상기 테스트유닛(1200)은 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자를 테스트장비(400)에 접속시키는 테스트공정을 수행한다. 이에 따라, 상기 테스트장비(400)는 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자에 전기적으로 연결됨으로써, 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자를 테스트한다. 반도체 소자에 대한 테스트가 완료되면, 테스트 트레이(200)는 상기 언로딩유닛(1300)으로 이송된다.
상기 언로딩유닛(1300)은 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(200)로 분리하는 언로딩공정을 수행한다. 상기 언로딩유닛(1300)은 테스트된 반도체 소자를 담기 위한 고객트레이를 저장하는 언로딩스택커(1310), 및 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(200)에서 고객트레이로 이송하는 언로딩픽커(1320)를 포함한다. 테스트된 반도체 소자가 고객트레이로 이송됨에 따라 테스트 트레이(200)가 비게 되면, 비어 있는 테스트 트레이(200)는 다시 상기 로딩유닛(1100)으로 이송된다.
이와 같이 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 하나의 장치 안에서 테스트 트레이(200)를 순환 이동시키면서 상기 로딩공정, 상기 테스트공정 및 상기 언로딩공정을 순차적으로 수행하였다. 이러한 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 다음과 같은 문제가 있다.
첫째, 최근 기술 발전에 따라 하나의 테스트 트레이(200)를 기준으로 상기 로딩유닛(1100)이 로딩공정을 수행하는데 걸리는 시간이 단축되고 있다. 반면, 상기 테스트장비(400)는 반도체 소자의 종류가 다양해지고, 반도체 소자의 구조가 복잡해지는 등에 따라 하나의 테스트 트레이(200)를 기준으로 테스트공정을 수행하는데 걸리는 시간이 늘어나고 있다. 이에 따라, 하나의 테스트 트레이(200)를 기준으로 테스트공정이 로딩공정에 비해 더 오랜 시간이 걸리게 되었다. 따라서, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 로딩공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 테스트유닛(1200)으로 곧바로 이송하지 못하고, 상기 테스트유닛(1200)에서 테스트공정이 완료될 때까지 테스트 트레이(200)를 상기 로딩유닛(1100)에서 대기시켜야 하므로, 작업시간이 지연되는 문제가 있다. 테스트 트레이(200)가 상기 로딩유닛(1100)에서 대기하는 시간이 발생함에 따라, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 상기 로딩유닛(1100)이 다음 테스트 트레이(200)에 대해 로딩공정을 수행할 때까지 걸리는 시간도 지연되는 문제가 있다.
둘째, 상기 로딩공정과 마찬가지로 상기 언로딩유닛(1300)이 언로딩공정을 수행하는데 걸리는 시간 또한 단축되고 있다. 그러나, 상술한 바와 같이 테스트공정이 완료될 때까지 테스트 트레이(200)가 상기 로딩유닛(1100)에서 대기하여야 하므로, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 언로딩공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 로딩유닛(1100)으로 곧바로 이송하지 못하고, 테스트 트레이(200)를 상기 언로딩유닛(1300)에서 대기시켜야 한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 상기 언로딩유닛(1100)이 다음 테스트 트레이(200)에 대해 언로딩공정을 수행할 때까지 걸리는 시간이 지연되는 문제가 있다.
셋째, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 상기 로딩유닛(1100), 상기 테스트유닛(1200) 및 상기 언로딩유닛(1300) 중에서 어느 하나에만 고장이 발생해도, 정상적으로 작동하는 나머지 구성 또한 작업을 수행할 수 없는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 로딩공정, 언로딩공정 및 테스트공정 각각을 수행하는데 걸리는 시간에 차이가 발생하더라도 작업시간이 지연되는 것을 방지할 수 있는 인라인 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 로딩공정, 테스트공정 및 언로딩공정 각각을 수행하는 장치들 중에서 적어도 하나에 고장이 발생하더라도 전체 작업시간에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있는 인라인 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치는 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하기 위한 컨베이어유닛에 설치되는 보관부재; 및 상기 보관부재에 설치되고, 테스트 트레이가 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치에 위치되도록 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 지지유닛을 포함할 수 있다. 상기 지지유닛은 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록, 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지할 수 있다.
본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러는 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제1챔버유닛; 상기 제1챔버유닛으로부터 이격되어 설치되고, 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제2챔버유닛; 상기 제1챔버유닛 및 상기 제2챔버유닛 각각으로부터 이격되어 설치되는 소팅유닛; 상기 제1챔버유닛, 상기 제2챔버유닛, 및 상기 소팅유닛이 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하는 컨베이어유닛; 및 상기 컨베이어유닛에 설치되고, 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 보관위치로 이송하여 보관하기 위한 보관장치를 포함할 수 있다. 상기 보관장치는 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록, 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치로 이송하여 보관할 수 있다.
본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 이룰 수 있다.
본 발명은 로딩공정, 언로딩공정 및 테스트공정 각각을 수행하는데 걸리는 시간에 차이가 발생하더라도 작업시간이 지연되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 반도체 소자에 대한 제조 수율을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 로딩공정, 언로딩공정 및 테스트공정 각각을 수행하는 장치들 중에서 어느 하나에 고장이 발생하더라도 전체 시스템이 정지하는 것을 방지함으로써, 작업시간이 손실되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명은 테스트 트레이에 대한 운반시간이 지연되는 것을 방지할 수 있도록 구현됨으로써, 테스트 트레이에 대한 운반 효율을 향상시킬 수 있고, 이에 따라 반도체 소자에 대한 테스트공정이 완료될 때까지 걸리는 시간을 줄일 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 테스트 핸들러의 개략적인 평면도
도 2는 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치가 설치된 인라인 테스트 핸들러의 개략적인 평면도
도 3은 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치의 개략적인 사시도
도 4는 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치의 개략적인 측단면도
도 5는 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치에 있어서 승강유닛의 개략적인 사시도
도 6은 본 발명에 따른 지지유닛을 설명하기 위한 도 3의 A 부분을 확대하여 나타낸 일부 절개도
도 7 내지 도 9는 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치가 테스트 트레이를 보관위치에서 운반경로로 이동시키는 과정을 설명하기 위한 개략적인 측단면도
도 10 내지 도 12는 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치가 테스트 트레이를 운반경로에서 보관위치로 이동시키는 과정을 설명하기 위한 개략적인 측단면도
도 13은 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치에 있어서 대기위치, 운반경로, 및 보관위치의 위치관계를 설명하기 위한 개념도
도 14는 본 발명에 따른 반출유닛 및 반송유닛을 설명하기 위한 개략적인 사시도
도 15 내지 도 17은 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치가 테스트 트레이를 반출하는 과정을 설명하기 위한 개략적인 측단면도
도 18은 본 발명에 따른 반입유닛 및 반송유닛을 설명하기 위한 개략적인 사시도
도 19 내지 도 21은 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치가 테스트 트레이를 반입하는 과정을 설명하기 위한 개략적인 측단면도
도 22는 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러의 개략적인 블록도
도 23은 본 발명에 따른 챔버유닛의 개략적인 평면도
도 24 및 도 25는 본 발명에 따른 챔버유닛의 실시예를 설명하기 위한 개념도
도 26은 본 발명에 따른 컨베이어유닛의 개략적인 측면도
도 27은 본 발명에 따른 소팅유닛의 개략적인 평면도
이하에서는 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 인라인 테스트 핸들러(100)에 설치되는 것이다. 상기 인라인 테스트 핸들러(100)는 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 복수개의 챔버유닛(110), 및 테스트 트레이(200)를 운반하는 컨베이어유닛(120)을 포함한다. 상기 컨베이어유닛(120)은 로딩공정이 완료된 테스트 트레이(200)가 상기 챔버유닛(110)들 중에서 적어도 하나를 거쳐 테스트공정이 수행되도록 테스트 트레이(200)를 운반한다. 또한, 상기 컨베이어유닛(120)은 상기 챔버유닛(110)들 중에서 적어도 하나를 거쳐 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(200)에 대해 언로딩공정이 수행되도록 테스트 트레이(200)를 운반한다. 즉, 상기 컨베이어유닛(120)은 테스트 트레이(200)를 운반경로(MP, 도 4에 도시됨)를 따라 운반함으로써, 상기 챔버유닛(110)들을 인라인(In-line)으로 연결한다.
여기서, 상기 챔버유닛(110)에 반입되기 위해 상기 컨베이어유닛(120)에 지지되어 대기하고 있는 대기 테스트 트레이(210, 도 2에 도시됨)가 발생하면, 상기 컨베이어유닛(120)은 상기 대기 테스트 트레이(210)가 상기 챔버유닛(110)에 반입될 때까지 상기 대기 테스트 트레이(210)의 후방 측에 위치된 후방 테스트 트레이(220, 도 2에 도시됨)를 운반하지 못하게 된다. 상기 대기 테스트 트레이(210)가 대기하고 있는 상태에서, 상기 컨베이어닛(120)이 상기 후방 테스트 트레이(220)를 계속하여 운반하면, 상기 후방 테스트 트레이(220)가 상기 대기 테스트 트레이(210)에 충돌하게 되기 때문이다. 이에 따라, 상기 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 대기 테스트 트레이(210)가 상기 챔버유닛(110)에 반입될 때까지 상기 후방 테스트 트레이(220)도 대기시켜야 하므로, 테스트 트레이(200)에 대한 운반 효율이 저하되는 문제가 있다. 또한, 상기 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 대기 테스트 트레이(210)로 인해 운반시간이 지연되고, 이에 따라 반도체 소자에 대해 테스트공정이 완료될 때까지 걸리는 시간 또한 증가하는 문제가 있다.
이를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 컨베이어유닛(120)에 지지된 테스트 트레이(200)를 보관위치(SP, 도 4에 도시됨)로 이송하여 보관할 수 있도록 상기 컨베이어유닛(120)에 설치된다. 테스트 트레이(200)는 상기 보관위치(SP)에 위치됨에 따라 상기 운반경로(MP)로부터 이격됨으로써, 상기 컨베이어유닛(120)에 의해 상기 운반경로(MP)를 따라 운반되는 테스트 트레이(200)를 회피하게 된다.
이에 따라, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 대기 테스트 트레이(210)가 상기 후방 테스트 트레이(220)를 회피하도록 상기 대기 테스트 트레이(210)를 상기 보관위치(SP)로 이송하여 보관함으로써, 상기 컨베이어유닛(120)이 상기 후방 테스트 트레이(220)를 계속하여 운반할 수 있도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 대기 테스트 트레이(210)로 인해 테스트 트레이(200)에 대한 운반시간이 지연되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 반도체 소자에 대한 테스트공정이 완료될 때까지 걸리는 시간을 줄일 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 인라인 테스트 핸들러(100)에 있어서 테스트 트레이(200)에 대한 운반 효율을 향상시킴으로써, 상기 인라인 테스트 핸들러(100)에 대한 장비 가동율을 향상시킬 수 있다.
이를 위해, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 다음과 같은 구성을 포함한다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 컨베이어유닛(120)에 설치되는 보관부재(2), 및 상기 보관위치(SP, 도 4에 도시됨)에 위치된 테스트 트레이(200)를 지지하는 지지유닛(3)을 포함한다.
상기 보관부재(2)는 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 보관한다. 테스트 트레이(200)는 상기 보관부재(2) 내부에 위치되어 상기 지지유닛(3)에 지지됨으로써, 상기 보관위치(SP)에 위치된다. 상기 보관부재(2)는 내부가 비어 있는 직방체 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 내부에 테스트 트레이(200)를 보관할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상기 보관부재(2)는 상기 컨베이어유닛(120)에 설치됨으로써, 상기 컨베이어유닛(120)에 지지된다. 상기 보관부재(2)는 상기 운반경로(MP)의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛(120)에 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)는 상기 운반경로(MP)의 상측에 위치된다. 이에 따라, 상기 컨베이어유닛(120)이 운반하는 테스트 트레이(200)는, 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)의 아래를 통과함으로써 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)에 충돌하지 않고 계속하여 운반될 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 보관부재(2)가 상기 운반경로(MP)에 대해 측방에 설치되는 것과 비교할 때, 상기 보관부재(2)가 상기 운반경로(MP)의 상측에 설치됨으로써 상기 보관부재(2)로 인해 상기 컨베이어유닛(120)의 크기가 측방으로 증가되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 인라인 테스트 핸들러(100)에 있어서 상기 운반경로(MP)를 따라 평행하게 설치되는 컨베이어유닛(120)들이 서로 이격되는 거리를 줄임으로써, 상기 보관부재(2)로 인해 상기 인라인 테스트 핸들러(100)의 전체적인 크기가 증가하는 것을 방지할 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 지지유닛(3)은 상기 보관부재(2)에 설치된다. 상기 지지유닛(3)은 상기 운반경로(MP, 도 4에 도시됨)로부터 이격된 테스트 트레이(200)가 상기 보관위치(SP)에 위치된 상태로 유지되도록, 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 지지한다. 테스트 트레이(200)는 상기 지지유닛(3)에 지지되어 상기 보관위치(SP)에 위치되면, 상기 컨베이어유닛(120)에 의해 상기 운반경로(MP)를 따라 운반되는 테스트 트레이(200)를 회피할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 테스트 트레이(200)에 대한 운반시간이 지연되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 반도체 소자에 대한 테스트공정이 완료될 때까지 걸리는 시간을 줄일 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 지지유닛(3)은 지지기구(31)를 포함할 수 있다.
상기 지지기구(31)는 상기 보관부재(2)에 설치된다. 상기 지지기구(31)는 상기 보관위치(SP, 도 4에 도시됨)에 위치된 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP, 도 4에 도시됨)의 상측에서 지지한다. 이에 따라, 상기 컨베이어유닛(120)에 의해 상기 운반경로(MP)를 따라 운반되는 테스트 트레이(200)는, 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)의 아래를 통과하여 계속하여 운반될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 테스트 트레이(200)에 대한 운반시간이 지연되는 것을 방지할 수 있으면서도, 상기 인라인 테스트 핸들러(100)에 있어서 상기 운반경로(MP)를 따라 평행하게 설치되는 컨베이어유닛(120)들이 서로 이격되는 거리를 줄일 수 있다.
상기 지지기구(31)는 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)의 밑면을 지지한다. 이 경우, 상기 보관부재(2)는 복수개의 테스트 트레이(200)를 상하로 적층하여 보관한다. 이에 따라, 상기 지지기구(31)는 상기 보관부재(2)에 보관된 테스트 트레이(200)들 중에서 최하측에 위치된 테스트 트레이(200)를 지지함으로써, 테스트 트레이(200)들이 상기 보관부재(2)에 보관된 상태로 유지되도록 지지할 수 있다. 최하측에 위치된 테스트 트레이(200)는, 상기 운반경로(MP) 상측에 위치되게 상기 지지기구(31)에 지지될 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 컨베이어유닛(120)에 의해 상기 운반경로(MP)를 따라 운반되는 테스트 트레이(200)를 회피하도록 상기 보관부재(2)에 보관되는 테스트 트레이(200)의 개수를 늘릴 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 인라인 테스트 핸들러(100)에 있어서 테스트 트레이(200)에 대한 운반 효율을 더 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 반도체 소자에 대한 테스트공정이 완료될 때까지 걸리는 시간을 더 줄일 수 있다.
상기 지지부재(31)는 전체적으로 'ㄴ' 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 테스트 트레이(200)를 지지할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 지지유닛(3)을 복수개 포함할 수 있다. 상기 지지유닛(3)들은 서로 이격된 위치에서 상기 보관부재(2)에 결합된다. 이에 따라, 상기 지지기구(31)들은 테스트 트레이(200)의 서로 다른 부분을 분담하여 지지함으로써, 테스트 트레이(200)가 상기 보관위치(SP)에 위치되게 더 안정적으로 테스트 트레이(200)를 지지할 수 있다.
도 3, 도 5 내지 도 8을 참고하면, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 승강유닛(4)을 더 포함할 수 있다.
상기 승강유닛(4)은 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP, 도 7에 도시됨) 및 상기 보관위치(SP, 도 7에 도시됨) 간에 승강시킨다. 상기 승강유닛(4)은 상기 컨베이어유닛(120, 도 3에 도시됨)에 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 지지유닛(3)은 상기 지지기구(31)를 이동시키기 위한 이동기구(32)를 포함할 수 있다. 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)를 지지위치(HP, 도 8에 도시됨) 및 해제위치(RP, 도 7에 도시됨) 간에 이동시킨다. 상기 지지기구(31)는 상기 지지위치(HP)에 위치되면, 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 지지한다. 상기 지지기구(31)는 상기 해제위치(RP)에 위치되면, 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)로부터 이격된다.
상기 승강유닛(4)은 상기 지지기구(31)가 상기 해제위치(RP)에 위치된 상태에서 상기 운반경로(MP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 상기 보관위치(SP)로 상승시킨다. 이에 따라, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 승강유닛(4)이 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP)에서 상기 보관위치(SP)로 상승시키는 과정에서, 테스트 트레이(200)가 상기 지지기구(31)에 충돌하게 되는 것을 방지할 수 있다. 테스트 트레이(200)가 상기 보관위치(SP)에 위치되면, 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)를 상기 지지위치(HP)로 이동시킴으로써 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 지지한다. 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)가 상기 보관부재(2) 내부를 향하도록 상기 보관부재(2)에 결합될 수 있다. 상기 이동기구(32)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 등을 이용하여 상기 지지기구(31)를 이동시킬 수 있다.
상기 승강유닛(4)은 상기 지지기구(31)가 상기 해제위치(RP)에 위치된 상태에서 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP)로 하강시킨다. 이에 따라, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 승강유닛(4)이 테스트 트레이(200)를 상기 보관위치(SP)에서 상기 운반경로(MP)로 하강시키는 과정에서, 테스트 트레이(200)가 상기 지지기구(31)에 충돌하게 되는 것을 방지할 수 있다. 이 경우, 상기 승강유닛(4)이 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 지지한 상태에서, 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)를 상기 지지위치(HP)에서 상기 해제위치(RP)로 이동시킬 수 있다. 상기 지지유닛(3)은 상기 지지위치(HP)에 위치된 지지기구(31)가 상기 보관위치(SP)로 상승된 승강유닛(4)에 간섭되지 않는 위치에서 상기 보관부재(2)에 설치될 수 있다.
도 3, 도 5, 도 7 내지 도 9를 참고하면, 상기 보관부재(2)에 복수개의 테스트 트레이(200)가 보관되는 경우, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 다음과 같이 동작하여 테스트 트레이(200)를 상기 보관위치(SP)에서 상기 운반경로(MP)로 이동시킬 수 있다.
우선, 상기 지지기구(31)는 상기 이동기구(32)에 의해 상기 지지위치(HP)에 위치됨으로써, 상기 보관부재(2)에 보관된 테스트 트레이(200) 중에서 최하측에 위치된 제1테스트 트레이(210)를 지지하고 있다. 상기 제1테스트 트레이(210)에는 제2테스트 트레이(220)가 지지되어 있다.
다음, 상기 승강유닛(4)이 상승하여 상기 제1테스트 트레이(210)를 지지하면, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)를 상기 해제위치(RP)로 이동시킨다.
다음, 상기 이동기구(32)가 상기 해제위치(RP)에 위치되면, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 승강유닛(4)은 상기 제2테스트 트레이(220)가 상기 제1테스트 트레이(210)의 위치에 위치되도록 하강한다.
다음, 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)를 상기 지지위치(HP)로 이동시킨다. 이에 따라, 상기 지지기구(31)는 상기 제1테스트 트레이(210)의 상면에 형성된 삽입홈(211)에 삽입됨으로써, 상기 제2테스트 트레이(220)의 밑면을 지지하게 된다. 테스트 트레이(200)들은 각각 상기 지지기구(31)와 대략 일치하는 개수의 삽입홈을 포함할 수 있다.
다음, 상기 지지기구(31)가 상기 제2테스트 트레이(220)를 지지하면, 도 9에 도시된 바와 같이 상기 승강유닛(4)은 상기 제1테스트 트레이(210)가 상기 운반경로(MP)에 위치되도록 하강한다. 이 경우, 상기 제2테스트 트레이(220)는 상기 지지기구(31)에 지지됨으로써, 상기 보관부재(2)에 보관된 테스트 트레이(200)들을 지지하면서 상기 보관위치(SP)에 위치된 상태로 유지된다.
상술한 바와 과정을 거쳐, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 보관부재(2)에 복수개의 테스트 트레이(200)가 보관되는 경우, 테스트 트레이(200)를 상기 보관위치(SP)에서 상기 운반경로(MP)로 이동시킬 수 있다.
도 3, 도 5, 도 10 내지 도 12를 참고하면, 상기 보관부재(2)에 복수개의 테스트 트레이(200)가 보관되는 경우, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 다음과 같이 동작하여 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP)에서 상기 보관위치(SP)로 이동시킬 수 있다.
우선, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 지지기구(31)는 상기 이동기구(32)에 의해 상기 지지위치(HP)에 위치됨으로써, 상기 보관부재(2)에 보관된 테스트 트레이(200) 중에서 최하측에 위치된 제1테스트 트레이(210)를 지지하고 있다.
다음, 상기 승강유닛(4)은 상기 운반경로(MP)에 위치된 제2테스트 트레이(220)를 지지한 상태에서 상기 제2테스트 트레이(220)가 상기 제1테스트 트레이(210)의 밑면에 접촉되도록 상기 제2테스트 트레이(220)를 상승시킨다. 이 경우, 상기 지지기구(31)는 상기 제2테스트 트레이(220)에 형성된 삽입홈(211)에 삽입된다.
다음, 상기 제1테스트 트레이(210)가 상기 승강유닛(4)에 지지된 제2테스트 트레이(220)에 지지되면, 도 11에 도시된 바와 같이 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)를 상기 해제위치(RP)로 이동시킨다.
다음, 상기 지지기구(31)가 상기 해제위치(RP)에 위치되면, 상기 승강유닛(4)은 상기 제2테스트 트레이(220)가 상기 제1테스트 트레이(210)를 밀어 올려서 상기 보관위치(SP)에 위치되도록 상기 제2테스트 트레이(220)를 상승시킨다.
다음, 상기 제2테스트 트레이(220)가 상기 보관위치(SP)에 위치되면, 도 12에 도시된 바와 같이 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)를 상기 지지위치(RP)로 이동시킨다. 그 후, 상기 승강유닛(4)은 상기 운반경로(MP) 쪽으로 하강한다. 이 경우, 상기 제2테스트 트레이(220)는 상기 지지기구(31)에 의해 밑면이 지지됨으로써, 상기 제1테스트 트레이(210)를 포함하여 보관부재(2)에 보관된 테스트 트레이(200)들을 지지하면서 상기 보관위치(SP)에 위치된 상태로 유지된다.
상술한 바와 과정을 거쳐, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 보관부재(2)에 복수개의 테스트 트레이(200)가 보관되는 경우, 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP)에서 상기 보관위치(SP)로 이동시킬 수 있다.
도 3, 도 5 및 도 13을 참고하면, 상기 승강유닛(4)은 승강부재(41, 도 13에 도시됨) 및 승강기구(42, 도 13에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 승강부재(41)는 상기 승강기구(42)에 결합된다. 상기 승강부재(41)는 상기 승강기구(42)에 의해 승강된다. 상기 승강부재(41)는 테스트 트레이(200)를 지지할 수 있다.
상기 승강기구(42)는 상기 승강부재(41)를 승강시킨다. 상기 승강기구(42)는 상기 승강부재(41)를 대기위치(WP, 도 13에 도시됨), 상기 운반경로(MP, 도 13에 도시됨) 및 상기 보관위치(SP) 간에 승강시킬 수 있다. 상기 대기위치(WP)는 상기 운반경로(MP)의 하측에 형성된다. 상기 승강부재(41)가 상기 대기위치(WP)에 위치되면, 상기 컨베이어유닛(120, 도 3에 도시됨)은 상기 승강부재(41)에 방해됨이 없이 상기 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP)를 따라 운반할 수 있다. 상기 승강기구(42)는 상기 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP) 및 상기 보관위치(SP) 간에 이동시키기 위해 상기 승강부재(41)를 상기 운반경로(MP) 및 상기 보관위치(SP) 간에 승강시킬 수 있다.
상기 승강기구(42)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 상기 승강부재(41)를 이동시킬 수 있다. 상기 승강기구(42)는 상기 컨베이어유닛(120)에 설치될 수 있다.
도 2, 도 5, 도 14 내지 도 16을 참고하면, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 반출유닛(5, 도 5에 도시됨) 및 반송유닛(6, 도 14에 도시됨)을 더 포함할 수 있다.
상기 반출유닛(5)은 테스트 트레이(200)를 반출하는 기능을 수행한다. 예컨대, 상기 반출유닛(5)은 상기 컨베이어유닛(120, 도 2에 도시됨)에 지지되어 있던 테스트 트레이(200)를 상기 챔버유닛(110, 도 2에 도시됨)으로 반출할 수 있다. 상기 반출유닛(5)은 테스트 트레이(200)를 다른 컨베이어유닛(120)으로 반출할 수도 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 테스트 트레이(200)에 대한 운반 효율을 향상시키기 위해 테스트 트레이(200)를 상기 보관부재(2)에 보관하는 기능뿐만 아니라, 테스트 트레이(200)를 상기 챔버유닛(110) 또는 다른 컨베이어유닛(120)으로 반출하는 기능을 갖출 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 인라인 테스트 핸들러(100)에 있어서 별도의 장치를 통해 테스트 트레이(200)를 상기 챔버유닛(110) 및 다른 컨베이어유닛(120)으로 반출하는 기능을 구현하는 것과 비교할 때, 상기 인라인 테스트 핸들러(100)의 전체적인 크기를 줄일 수 있다.
상기 반출유닛(5)은 상기 승강부재(41)에 지지된 테스트 트레이(200)를 삽입위치(IP, 도 16에 도시됨)로 이동시킬 수 있다. 테스트 트레이(200)는 상기 삽입위치(IP)에 위치되면, 상기 보관부재(2)에 형성된 통과홈(21, 도 15에 도시됨)에 삽입된다. 상기 통과홈(21)은 상기 보관부재(2)에서 상기 챔버유닛(110) 또는 다른 컨베이어유닛(120)을 향하는 측벽을 관통하여 형성된다. 상기 반송유닛(6)은 상기 삽입위치(IP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 지지한다.
이 경우, 상기 승강기구(42)는 상기 승강부재(41)를 상기 운반경로(MP, 도 15에 도시됨) 및 상기 보관위치(SP, 도 15에 도시됨) 사이의 이송위치(TP)로 승강시킨다. 상기 승강기구(42)는 상기 승강부재(41)를 상기 이송위치(TP)로 상승시킴으로써, 상기 컨베이어유닛(120)에 지지되어 있던 테스트 트레이(200)를 상기 이송위치(TP)로 상승시킬 수 있다. 상기 승강기구(42)는 상기 승강부재(41)를 상기 이송위치(TP)로 하강시킴으로써, 상기 보관위치(SP)에 위치되어 있던 테스트 트레이(200)를 상기 이송위치(TP)로 하강시킬 수 있다. 상기 이송위치(TP)에 위치된 테스트 트레이(200)는 상기 통과홈(21) 및 상기 삽입위치(IP)와 대략 일치하는 높이에 위치된다.
도 15에 도시된 바와 같이 테스트 트레이(200)를 지지하고 있는 승강부재(41)가 상기 이송위치(TP)에 위치되면, 도 16에 도시된 바와 같이 상기 반출유닛(5)은 상기 승강부재(41)에 지지된 테스트 트레이(200)를 밀어서 상기 삽입위치(IP)로 이동시킬 수 있다. 이를 위해, 상기 반출유닛(5)은 반출부재(51, 도 5에 도시됨) 및 반출기구(52, 도 5에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 반출부재(51)는 상기 반출기구(52)에 결합된다. 상기 반출부재(51)는 상기 반출기구(52)에 의해 이동됨으로써, 상기 이송위치(TP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 밀어서 상기 삽입위치(IP)로 이동시킬 수 있다. 상기 반출부재(51)는 전체적으로 'ㄴ' 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 테스트 트레이(200)를 밀어서 이동시킬 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상기 반출기구(52)는 상기 반출부재(51)를 이동시킨다. 상기 반출기구(52)는 상기 승강부재(41)에 설치된다. 이에 따라, 상기 승강기구(42)가 상기 승강부재(41)를 승강시키면, 상기 반출기구(52)는 상기 승강부재(41)와 함께 승강된다. 상기 승강기구(42)가 상기 승강부재(41)를 상기 이송위치(TP)에 위치시키면, 상기 반출기구(52)는 상기 반출부재(51)를 이동시킴으로써 상기 승강부재(41)에 지지된 테스트 트레이(200)를 반출할 수 있다. 상기 반출기구(52)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 상기 반출부재(51)를 이동시킬 수 있다. 상기 반출기구(52)는 상기 반출부재(51)를 승강시킬 수도 있다. 테스트 트레이(200)를 반출하는 작업이 수행되지 않는 경우, 상기 반출기구(52)는 상기 반출부재(51)가 테스트 트레이(200)에 간섭되지 않도록 상기 반출부재(51)를 하강시킬 수 있다. 테스트 트레이(200)를 반출하는 작업이 수행되는 경우, 상기 반출기구(52)는 상기 반출부재(51)가 테스트 트레이(200)에 접촉되도록 상기 반출부재(51)를 상승시킬 수 있다.
도 2, 도 5, 도 14 내지 도 17을 참고하면, 상기 반송유닛(6, 도 14에 도시됨)은 상기 보관부재(2)에 설치된다. 상기 반송유닛(6)은 상기 삽입위치(IP, 도 16에 도시됨)에 위치된 테스트 트레이(200)의 밑면을 지지할 수 있도록 상기 보관부재(2)에 설치된다. 상기 반송유닛(6)은 상기 보관부재(2) 외부에 위치되게 상기 보관부재(2)에 결합된다. 상기 반송유닛(6)은 상기 삽입위치(IP)에 위치된 테스트 트레이(200)가 상기 보관부재(2)로부터 반출되도록 상기 삽입위치(IP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 이동시킨다.
상기 반송유닛(6)은 회전롤러(61, 도 14에 도시됨) 및 회전기구(62, 도 14에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 회전롤러(61)는 상기 보관부재(2)에 설치된다. 상기 회전롤러(61)는 상기 보관부재(2)에 회전 가능하게 설치될 수 있다. 상기 회전롤러(61)는 상기 삽입위치(IP)에 위치된 테스트 트레이(200)의 밑면을 지지할 수 있도록 상기 보관부재(2)의 외부에 설치된다. 상기 회전롤러(61)는 상기 보관부재(2)에서 상기 통과홈(21, 도 15에 도시됨)이 형성된 측벽 쪽에 위치되게 상기 보관부재(2)에 설치될 수 있다. 상기 반송유닛(6)은 상기 회전롤러(61)를 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 회전롤러(61)들은 서로 소정 거리 이격되게 상기 보관부재(2)에 결합될 수 있다.
상기 회전기구(62)는 상기 회전롤러(61)를 회전시킨다. 상기 회전기구(62)는 보관부재(2) 또는 상기 컨베이어유닛(120)에 설치될 수 있다. 도 16에 도시된 바와 같이 상기 테스트 트레이(200)가 상기 삽입위치(IP)에 위치되어 상기 회전롤러(61)에 지지되면, 도 17에 도시된 바와 같이 상기 회전기구(62)는 상기 회전롤러(61)를 회전시킴으로써 상기 삽입위치(IP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 반출할 수 있다. 상기 회전롤러(61)에 의해 반출되는 테스트 트레이(200)는 상기 챔버유닛(110, 도 2에 도시됨) 또는 다른 컨베이어유닛(120, 도 2에 도시됨)으로 이동할 수 있다. 상기 회전기구(62)는 상기 회전롤러(61)를 회전축을 중심으로 회전시키기 위해 상기 회전롤러(61)의 회전축에 직접 결합되는 모터를 포함할 수 있다. 상기 모터 및 상기 회전롤러(61)의 회전축이 소정 거리로 이격된 경우, 상기 회전기구(62)는 상기 모터 및 상기 회전롤러(61)의 회전축을 연결하는 연결수단을 더 포함할 수도 있다. 상기 연결수단은 체인, 벨트, 기어 등일 수 있다.
도 2, 도 5, 도 18 내지 도 21을 참고하면, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 반입유닛(7, 도 18에 도시됨)을 더 포함할 수 있다.
상기 반입유닛(7)은 테스트 트레이(200)를 반입하는 기능을 수행한다. 예컨대, 상기 반입유닛(7)은 테스트 트레이(200)를 상기 챔버유닛(110)에서 상기 보관부재(2) 내부로 반입할 수 있다. 상기 반입유닛(7)은 테스트 트레이(200)를 다른 컨베이어유닛(120)에서 상기 보관부재(2) 내부로 반입할 수도 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 테스트 트레이(200)에 대한 운반 효율을 향상시키기 위해 테스트 트레이(200)를 상기 보관부재(2)에 보관하는 기능뿐만 아니라, 테스트 트레이(200)를 상기 챔버유닛(110) 또는 다른 컨베이어유닛(120)으로부터 반입하는 기능을 갖출 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 인라인 테스트 핸들러(100)에 있어서 별도의 장치를 통해 테스트 트레이(200)를 상기 챔버유닛(110) 및 다른 컨베이어유닛(120)으로부터 반입하는 기능을 구현하는 것과 비교할 때, 상기 인라인 테스트 핸들러(100)의 전체적인 크기를 줄일 수 있다.
상기 반입유닛(7)은 상기 삽입위치(IP, 도 20에 도시됨)에 위치된 테스트 트레이(200)를 상기 이송위치(TP, 도 21에 도시됨)로 이동시킨다. 이에 따라, 테스트 트레이(200)는 상기 이송위치(TP)로 이송되어 상기 승강부재(41)에 지지된다. 상기 승강부재(41)에 지지된 테스트 트레이(200)는, 상기 승강기구(42)에 의해 상기 운반경로(MP)로 하강되어 상기 컨베이어유닛(120)에 지지될 수 있다. 상기 승강부재(41)에 지지된 테스트 트레이(200)는, 상기 승강기구(42)에 의해 상기 보관위치(SP)로 상승될 수도 있다.
이 경우, 상기 반송유닛(6)은 도 19에 도시된 바와 같이 테스트 트레이(200)를 상기 삽입위치(IP)로 이동시킬 수 있다. 상기 회전기구(62)는 테스트 트레이(200)를 반출할 때와 비교할 때, 상기 회전롤러(61)를 반대방향으로 회전시킴으로써 테스트 트레이(200)를 상기 삽입위치(IP)로 이동시킬 수 있다. 예컨대, 상기 회전기구(62)가 상기 회전롤러(1)를 제1회전방향으로 회전시켜서 테스트 트레이(200)를 반출하는 경우, 상기 회전기구(62)는 상기 회전롤러(1)를 상기 제1회전방향에 대해 반대되는 제2회전방향으로 회전시켜서 테스트 트레이(200)를 반입할 수 있다. 상기 반송유닛(6)에 의해 반입되는 테스트 트레이(200)는, 상기 챔버유닛(110, 도 2에 도시됨)으로부터 배출된 것일 수 있다. 상기 반송유닛(6)에 의해 반입되는 테스트 트레이(200)는, 다른 컨베이어유닛(110)으로부터 배출된 것일 수도 있다. 상기 테스트 트레이(200)가 상기 반송유닛(6)에 의해 상기 삽입위치(IP)에 위치되면, 도 20 및 도 21에 도시된 바와 같이 상기 반입유닛(7)은 상기 삽입위치(IP, 도 20에 도시됨)에 위치된 테스트 트레이(200)를 밀어서 상기 이송위치(TP, 도 21에 도시됨)로 이동시킬 수 있다. 이를 위해, 상기 반입유닛(7)은 반입부재(71, 도 20에 도시됨) 및 반입기구(72, 도 20에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 반입부재(71)는 상기 반입기구(72)에 결합된다. 상기 반입부재(71)는 상기 반입기구(72)에 의해 이동됨으로써, 상기 이송위치(TP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 밀어서 상기 삽입위치(IP)로 이동시킬 수 있다. 상기 반입부재(71)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 테스트 트레이(200)를 밀어서 이동시킬 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상기 반입기구(72)는 상기 반입부재(71)를 이동시킨다. 상기 반입기구(72)는 상기 보관부재(2)의 외부에 위치되게 상기 보관부재(2)에 결합된다. 상기 반입기구(72)는 상기 보관부재(2)에서 상기 통과홈(21, 도 19에 도시됨)이 형성된 측벽 쪽에서 상기 통과홈(21)의 상측에 위치되게 상기 보관부재(2)에 결합될 수 있다. 상기 반입기구(72)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 상기 반입부재(71)를 이동시킬 수 있다. 상기 반입기구(72)는 상기 반입부재(71)를 승강시킬 수도 있다. 테스트 트레이(200)가 상기 삽입위치(IP)로 이동되기 이전에, 도 19에 도시된 바와 같이 상기 반입기구(72)는 상기 반입부재(71)가 테스트 트레이(200)에 간섭되지 않도록 상기 반입부재(71)를 상승시킬 수 있다. 테스트 트레이(200)가 상기 삽입위치(IP)에 위치되면, 도 20에 도시된 바와 같이 상기 반입기구(72)는 상기 반입부재(71)가 테스트 트레이(200)에 접촉되도록 상기 반입부재(71)를 하강시킬 수 있다. 상기 반입부재(71)가 테스트 트레이(200)에 접촉되면, 도 21에 도시된 바와 같이 상기 반입기구(72)는 상기 반입부재(71)를 이동시킴으로써 테스트 트레이(200)를 상기 이송위치(TP)로 이동시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2 내지 도 22를 참고하면, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 복수개의 챔버유닛(110, 도 22에 도시됨), 상기 챔버유닛(110)들이 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이(200)를 운반하는 컨베이어유닛(120, 도 22에 도시됨), 상기 챔버유닛(110)들 각각으로부터 이격되어 설치된 소팅유닛(130, 도 22에 도시됨), 및 테스트 트레이(200)를 상기 보관위치(SP, 도 4에 도시됨)로 이송하여 보관하기 위한 보관장치(1)를 포함할 수 있다. 상기 보관장치(1)는 상술한 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)에서 설명한 바와 같으므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 소팅유닛(130)은 반도체 소자에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행한다. 상기 로딩공정은 테스트될 반도체 소자를 테스트 트레이(200)에 수납시키는 공정을 의미한다. 상기 언로딩공정은 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(200)로부터 분리한 후에, 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하는 공정을 의미한다. 상기 챔버유닛(110)들은 각각 상기 테스트공정을 수행한다. 상기 챔버유닛(110)들은 상기 컨베이어유닛(120)을 따라 복수개 설치된다. 상기 컨베이어유닛(120)은 서로 이격되게 설치된 소팅유닛(130) 및 상기 챔버유닛(110)들을 인라인으로 연결한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 소팅유닛(130)이 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정을 수행하는 것에 대해 상기 챔버유닛(11)들이 각각 테스트공정을 독립적으로 수행할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정에 대해 상기 테스트공정을 독립적으로 수행할 수 있으므로, 상기 챔버유닛(110)들 및 상기 소팅유닛(130) 중에서 어느 하나에 고장이 발생하더라도 정상적으로 작동하는 나머지 장치는 계속하여 작업을 수행할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 챔버유닛(110)들 및 상기 소팅유닛(130) 중에서 어느 하나에 고장이 발생한 경우 전체 시스템이 정지하는 것을 방지함으로써, 작업시간이 손실되는 것을 방지할 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 로딩공정, 상기 언로딩공정 및 상기 테스트공정 각각을 수행하는데 걸리는 시간을 고려하여 상기 컨베이어유닛(120)이 테스트 트레이(200)를 효율적으로 분배할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 장비 가동률을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 보관장치(1)를 이용하여 테스트 트레이(200)에 대한 운반시간이 지연되는 것을 방지할 수 있으므로, 테스트 트레이(200)에 대한 운반 효율을 더 향상시킬 수 있고, 이에 따라 반도체 소자에 대한 테스트공정이 완료될 때까지 걸리는 시간을 줄일 수 있다.
셋째, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 소팅유닛(130) 및 상기 챔버유닛(110)들이 별개의 장치로 구성되므로, 상기 소팅유닛(130)에 설치되는 기구 내지 장치들의 개수를 줄일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 소팅유닛(130)에 대한 잼 레이트(Jam rate)를 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 소팅유닛(130)에 잼이 발생함에 따라 상기 소팅유닛(130)이 정지하는 시간을 줄임으로써 상기 소팅유닛(130)에 대한 가동시간을 증대시킬 수 있다.
이하에서는 상기 챔버유닛(110), 상기 컨베이어유닛(120), 및 상기 소팅유닛(130)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
도 22 및 도 21을 참고하면, 상기 챔버유닛(110)은 상기 테스트공정을 수행한다. 상기 챔버유닛(110)은 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자를 테스트장비(400, 도 23에 도시됨)에 접속시킴으로써, 상기 테스트공정을 수행할 수 있다. 상기 테스트장비(400)는 반도체 소자가 접속됨에 따라 반도체 소자와 전기적으로 연결되면, 반도체 소자를 테스트한다. 테스트 트레이(200)는 복수개의 반도체 소자를 수납할 수 있다. 이 경우, 상기 챔버유닛(110)은 복수개의 반도체 소자를 상기 테스트장비(400)에 접속시킬 수 있고, 상기 테스트장비(400)는 복수개의 반도체 소자를 테스트할 수 있다. 상기 테스트장비(400)는 하이픽스보드(Hi-Fix Board)를 포함할 수 있다.
상기 챔버유닛(110)은 상기 테스트공정이 이루어지는 제1챔버(110a, 도 23에 도시됨)를 포함한다. 상기 제1챔버(110a)에는 상기 테스트장비(400)가 설치된다. 상기 테스트장비(400)는 일부 또는 전부가 상기 제1챔버(110a) 내부에 삽입되게 설치된다. 상기 테스트장비(400)는 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들이 접속되는 테스트소켓들(미도시)을 포함한다. 상기 테스트장비(400)는 상기 테스트 트레이(200)에 수납되는 반도체 소자들의 개수와 대략 일치하는 개수의 테스트소켓들을 포함할 수 있다. 예컨대, 테스트 트레이(200)는 64개, 128개, 256개, 512개 등의 반도체 소자들을 수납할 수 있다. 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들이 상기 테스트소켓들에 접속되면, 상기 테스트장비(400)는 상기 테스트소켓들에 접속된 반도체 소자들을 테스트할 수 있다. 상기 제1챔버(110a)는 상기 테스트장비(400)가 삽입되는 부분이 개방되게 형성된 직방체 형태로 형성될 수 있다.
상기 챔버유닛(110)은 테스트 트레이(200)를 상기 테스트장비(400)에 접속시키기 위한 콘택유닛(110b, 도 23에 도시됨)을 포함한다. 상기 콘택유닛(110b)은 상기 제1챔버(110a)에 설치된다. 상기 콘택유닛(110b)은 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들을 상기 테스트장비(400)에 접속시킨다. 상기 콘택유닛(110b)은 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들을 상기 테스트장비(400)에 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 콘택유닛(110b)이 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들을 상기 테스트장비(400)에 가까워지는 방향으로 이동시키면, 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들은 상기 테스트장비(400)에 접속된다. 이에 따라, 상기 테스트장비(400)는 반도체 소자들을 테스트할 수 있다. 반도체 소자들에 대한 테스트가 완료되면, 상기 콘택유닛(110b)은 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들을 상기 테스트장비(400)로부터 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있다.
테스트 트레이(200)에는 반도체 소자들을 수납하기 위한 캐리어모듈들이 설치된다. 상기 캐리어모듈들은 각각 적어도 하나 이상의 반도체 소자를 수납할 수 있다. 상기 캐리어모듈들은 각각 스프링(미도시)들에 의해 테스트 트레이(200)에 탄성적으로 이동 가능하게 결합된다. 상기 콘택유닛(110b)이 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들을 상기 테스트장비(400)에 가까워지는 방향으로 밀면, 상기 캐리어모듈들이 상기 테스트장비(400)에 가까워지는 방향으로 이동할 수 있다. 상기 콘택유닛(110b)이 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들을 밀던 힘을 제거하면, 상기 캐리어모듈들은 스프링이 갖는 복원력에 의해 상기 테스트장비(400)로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다. 상기 콘택유닛(110b)이 상기 캐리어모듈들과 반도체 소자들을 이동시키는 과정에서, 테스트 트레이(200)가 함께 이동할 수도 있다.
도시되지 않았지만, 상기 콘택유닛(110b)은 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들에 접촉되기 위한 복수개의 콘택소켓을 포함할 수 있다. 상기 콘택소켓들은 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들에 접촉되어 반도체 소자들을 이동시킴으로써, 반도체 소자들을 상기 테스트장비(400)에 접속시킬 수 있다. 상기 콘택유닛(110b)은 테스트 트레이(200)에 수납되는 반도체 소자들의 개수와 대략 일치하는 개수의 콘택소켓을 포함할 수 있다. 상기 콘택유닛(110b)은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등에 의해 이동될 수 있다.
도 22 내지 도 25를 참고하면, 상기 챔버유닛(110)은 상기 테스트장비(400, 도 23에 도시됨)가 상온의 환경에서 뿐만 아니라, 고온 또는 저온의 환경에서도 반도체 소자를 테스트할 수 있도록, 제2챔버(110c, 도 23에 도시됨) 및 제3챔버(110d, 도 23에 도시됨)를 더 포함한다.
상기 제2챔버(110c)는 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자를 제1온도로 조절한다. 상기 제2챔버(110c)에 위치된 테스트 트레이(200)는 상기 소팅유닛(130)에 의해 테스트될 반도체 소자가 수납된 것으로, 상기 컨베이어유닛(120, 도 22에 도시됨)에 의해 상기 챔버유닛(110) 쪽으로 운반된 후에 상기 보관장치(1, 도 22에 도시됨)에 의해 상기 제2챔버(110c)로 이송된 것이다. 상기 제1온도는 테스트될 반도체 소자가 상기 테스트장비(400)에 의해 테스트될 때, 테스트될 반도체 소자들이 갖는 온도 범위이다. 상기 제2챔버(110c)는 테스트될 반도체 소자를 상기 제1온도로 조절할 수 있도록 전열히터와 액화질소분사시스템 중에서 적어도 하나를 포함한다. 테스트될 반도체 소자가 상기 제1온도로 조절되면, 테스트 트레이(200)는 상기 제2챔버(110c)에서 상기 제1챔버(110a)로 이송된다.
상기 제3챔버(110d)는 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자를 제2온도로 조절한다. 상기 제3챔버(110d)에 위치된 테스트 트레이(200)는 상기 테스트공정을 거쳐 테스트된 반도체 소자가 수납된 것으로, 상기 제1챔버(110a)로부터 이송된 것이다. 상기 제2온도는 상온 또는 이에 근접한 온도를 포함하는 온도 범위이다. 상기 제3챔버(110d)는 테스트된 반도체 소자를 상기 제2온도로 조절할 수 있도록 전열히터와 액화질소분사시스템 중에서 적어도 하나를 포함한다. 테스트된 반도체 소자가 상기 제2온도로 조절되면, 테스트 트레이(200)는 상기 보관장치(1)로 이송된다. 상기 보관장치(1)로 이송된 테스트 트레이(200)는 상기 컨베이어유닛(120)에 지지되어 다른 챔버유닛(110) 또는 상기 소팅유닛(130)으로 운반될 수 있다. 상기 보관장치(1)로 이송된 테스트 트레이(200)는 상기 보관부재(2)로 이송되어 상기 보관부재(2)에 보관될 수도 있다.
도시되지 않았지만, 상기 챔버유닛(110)은 테스트 트레이(200)를 이송하기 위한 이송수단(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 이송수단은 테스트 트레이(200)를 밀거나 테스트 트레이(200)를 당겨서 이송할 수 있다. 상기 이송수단은 테스트될 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)를 상기 제2챔버(110c)에서 상기 제1챔버(110a)로 이송할 수 있다. 상기 이송수단은 테스트된 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)를 상기 제1챔버(110a)에서 상기 제3챔버(110d)로 이송할 수 있다. 상기 이송수단은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 테스트 트레이(200)를 이송할 수 있다.
도 24에 도시된 바와 같이, 상기 챔버유닛(110)은 상기 제2챔버(110c), 상기 제1챔버(110a), 및 상기 제3챔버(110d)가 수평방향으로 나란하게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 챔버유닛(110)은 복수개의 제1챔버(110a)를 포함할 수 있다. 상기 제1챔버(110a)들은 복수개가 상하로 적층 설치될 수 있다.
도 25에 도시된 바와 같이, 상기 챔버유닛(110)은 상기 제2챔버(110c), 상기 제1챔버(110a), 및 상기 제3챔버(110d)가 수직방향으로 적층 설치될 수도 있다. 즉, 상기 제2챔버(110c), 상기 제1챔버(110a), 및 상기 제3챔버(110d)는 상하로 적층 설치될 수 있다. 상기 제2챔버(110c)는 상기 제1챔버(110a)의 상측에 위치되게 설치될 수 있고, 상기 제3챔버(110d)는 상기 제1챔버(110a)의 하측에 위치되게 설치될 수 있다.
도 22 내지 도 24를 참고하면, 상기 챔버유닛(110)은 테스트 트레이(200)를 수평상태와 수직상태 간에 회전시키기 위한 로테이터(110e, 도 24에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 로테이터(110e)는 상기 챔버유닛(110)에 설치된다. 상기 로테이터(110e)는 테스트될 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)를 수평상태에서 수직상태로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1챔버(110a)는 수직상태로 세워진 테스트 트레이(200)에 대해 상기 테스트공정을 수행할 수 있다. 또한, 상기 소팅유닛(130)은 수평상태로 눕혀진 테스트 트레이(200)에 대해 상기 로딩공정을 수행할 수 있다. 상기 로테이터(110e)는 테스트된 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)를 수직상태에서 수평상태로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 소팅유닛(130)은 수평상태로 눕혀진 테스트 트레이(200)에 대해 상기 언로딩공정을 수행할 수 있다.
상기 챔버유닛(110)은 도 24 및 도 25에 도시된 바와 같이, 하나의 로테이터(110e)를 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 로테이터(110e)는 상기 제2챔버(110c)와 상기 제3챔버(110d) 사이에 설치될 수 있다. 테스트될 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)는 상기 로테이터(110e)에 의해 수직상태가 되도록 회전된 후에, 상기 이송수단에 의해 상기 로테이터(110e)에서 상기 제2챔버(110c)로 이송될 수 있다. 테스트된 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)는 상기 이송수단에 의해 상기 제3챔버(110d)에서 상기 로테이터(110e)로 이송된 후에, 상기 로테이터(110e)에 의해 수평상태가 되도록 회전될 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 챔버유닛(110)은 테스트될 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)를 회전시키기 위한 제1로테이터 및 테스트된 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)를 회전시키기 위한 제2로테이터를 포함할 수도 있다. 상기 제1로테이터는 상기 제2챔버(110c) 내부 또는 상기 제2챔버(110c) 외부에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제2로테이터는 상기 제3챔버(110d) 내부 또는 상기 제3챔버(110d) 외부에 위치되게 설치될 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 챔버유닛(110)은 상기 로테이터(110e) 없이 수평상태의 테스트 트레이(200)에 대해 테스트공정을 수행할 수도 있다. 이 경우, 테스트 트레이(200)는 수평상태로 상기 제2챔버(110c), 상기 제1챔버(110a) 및 상기 제3챔버(110d) 간에 이송되면서 상기 테스트공정이 수행될 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 이송수단은 상기 보관장치(1)로부터 반출되는 테스트 트레이(200)를 상기 챔버유닛(110)으로 반입할 수 있다. 상기 이송수단은 상기 보관장치(1)로부터 반출되는 테스트 트레이(200)를 상기 제1챔버(110a)로 반입할 수 있다. 상기 챔버유닛(110)이 상기 제2챔버(110c)를 포함하는 경우, 상기 이송수단은 상기 보관장치(1)로부터 반출되는 테스트 트레이(200)를 상기 제2챔버(110c)를 경유하여 상기 제1챔버(110a)로 반입할 수 있다. 상기 이송수단은 상기 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 보관장치(1)로 반출할 수 있다. 상기 이송수단은 상기 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 제1챔버(110a)에서 상기 보관장치(1)로 반출할 수 있다. 상기 챔버유닛(110)이 상기 제3챔버(110d)를 포함하는 경우, 상기 이송수단은 상기 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 제1챔버(110a)에서 상기 제3챔버(110d)를 경유하여 상기 보관장치(1)로 반출할 수 있다.
도 2 및 도 22를 참고하면, 상기 챔버유닛(110)은 상기 컨베이어유닛(120)을 따라 복수개가 설치된다. 상기 챔버유닛(110)들은 상기 컨베이어유닛(120)을 따라 서로 소정 거리 이격되게 설치된다. 예컨대, 상기 컨베이어유닛(120)에는 제1챔버유닛(111) 및 제2챔버유닛(112)이 서로 소정 거리 이격되게 설치될 수 있다. 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 N개(N은 2보다 큰 정수)의 챔버유닛(110)을 포함할 수도 있다.
도 2 및 도 22를 참고하면, 상기 컨베이어유닛(120)은 테스트 트레이(200)가 상기 소팅유닛(130) 및 상기 챔버유닛(110)들 간에 이송되도록 테스트 트레이(200)를 운반한다. 상기 컨베이어유닛(120)은 상기 소팅유닛(130)으로부터 배출된 테스트 트레이(200)가 상기 챔버유닛(110)으로 공급되도록 테스트 트레이(200)를 운반한다. 상기 컨베이어유닛(120)은 상기 챔버유닛(110)으로부터 배출된 테스트 트레이(200)가 상기 소팅유닛(130)으로 공급되도록 테스트 트레이(200)를 운반한다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 컨베이어유닛(120)을 통해 서로 이격되게 설치된 소팅유닛(130) 및 챔버유닛(110)들 간에 테스트 트레이(200)를 순환 이동시키면서, 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자에 대해 상기 로딩공정, 상기 테스트공정 및 상기 언로딩공정을 수행할 수 있다.
도 26을 참고하면, 상기 컨베이어유닛(120)은 테스트 트레이(200)를 운반하기 위한 컨베이어(120a)를 포함한다. 상기 컨베이어(120a)는 서로 소정 거리 이격되게 설치된 복수개의 회전부재(120b)를 포함할 수 있다. 상기 컨베이어(120a)는 상기 회전부재(120b)들을 각각의 회전축을 중심으로 회전시킨다. 테스트 트레이(200)는 상기 회전부재(120b)들에 지지된 상태로 상기 회전부재(120b)들이 회전함에 따라 운반될 수 있다. 상기 컨베이어(120a)는 상기 회전부재(120b)들을 각각의 회전축을 중심으로 시계방향과 반시계방향으로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 컨베이어(120a)는 상기 회전부재(120b)들이 회전하는 방향을 조절함으로써, 테스트 트레이(200)를 운반하는 방향을 조절할 수 있다. 상기 회전부재(120b)들은 각각 원통형태로 형성될 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 컨베이어(120a)는 상기 회전부재(120b)들을 각각의 회전축을 중심으로 회전시키기 위한 동력원을 포함할 수 있다. 상기 동력원은 모터일 수 있다. 상기 컨베이어(120a)는 상기 동력원과 상기 회전부재(120b)들 각각의 회전축을 연결하기 위한 연결수단을 포함할 수도 있다. 상기 연결수단은 풀리 및 벨트일 수 있다. 상기 컨베이어(120a)는 상기 회전부재(120b)들을 감싸도록 결합된 순환부재(미도시)를 더 포함할 수 있다. 테스트 트레이(200)는 상기 순환부재에 지지된다. 상기 순환부재는 내부에 위치한 회전부재(120b)들이 각각의 회전축을 중심으로 회전함에 따라 순환 이동하면서 테스트 트레이(200)를 운반할 수 있다.
상기 컨베이어(120a)는 상기 회전부재(120b)들을 지지하기 위한 설치기구(120c)를 포함한다. 상기 설치기구(120c)는 상기 회전부재(120b)들에 지지된 테스트 트레이(200)가 상기 운반경로(MP, 도 4에 도시됨)에 위치되게 상기 회전부재(120b)들을 지지한다. 상기 보관장치(1)는 상기 보관부재(2, 도 4에 도시됨)가 상기 운반경로(MP, 도 4에 도시됨)의 상측에 위치되게 설치기구(120c)에 설치될 수 있다.
상기 컨베이어유닛(120)은 상기 컨베이어(120a)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 컨베이어(120a)들은 서로 인접하게 설치된다. 테스트 트레이(200)는 상기 컨베이어(120a)들을 따라 운반됨으로써, 상기 챔버유닛(110, 도 22에 도시됨)들 및 상기 소팅유닛(130, 도 22에 도시됨) 간에 이송될 수 있다. 상기 컨베이어(120a)들은 각각 개별적으로 작동하면서, 테스트 트레이(200)를 개별적으로 이동시킬 수 있다. 예컨대, 상기 컨베이어(120a)들 중에서 적어도 하나가 정지한 상태에서 다른 컨베이어(120a)는 테스트 트레이(200)를 운반하기 위해 작동할 수 있다.
상기 컨베이어유닛(120)은 상기 챔버유닛(110)의 개수에 대응되는 개수의 컨베이어(120a)를 포함할 수 있다. 상기 컨베이어(120a)들에는 각각 상기 보관장치(1)가 설치될 수 있다. 상기 챔버유닛(110)들이 각각 제1챔버(110a), 제2챔버(110c) 및 제3챔버(110d)를 포함하는 경우, 상기 컨베이어(120a)들 각각에는 2개씩의 보관장치(1)가 설치될 수 있다. 이 경우, 하나의 보관장치(1)는 상기 제2챔버(110c)에 대응되는 위치에 설치됨으로써, 테스트 트레이(200)를 상기 제2챔버(110c)로 반출하는 기능을 수행할 수 있다. 다른 하나의 보관장치(1)는 상기 제3챔버(110d)에 대응되는 위치에 설치됨으로써, 테스트 트레이(200)를 상기 제3챔버(110d)로부터 반입하는 기능을 수행할 수 있다.
도 23 및 도 27을 참고하면, 상기 소팅유닛(130)은 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정을 수행한다. 상기 소팅유닛(130)은 상기 챔버유닛(110)들로부터 이격되게 설치된다. 상기 소팅유닛(130)은 상기 로딩공정을 수행하기 위한 로딩유닛(131, 도 27에 도시됨)을 포함할 수 있다.
상기 로딩유닛(131)은 테스트될 반도체 소자를 고객트레이에서 테스트 트레이(200)로 이송한다. 상기 로딩유닛(131)은 로딩스택커(1311, 도 27에 도시됨) 및 로딩픽커(1312, 도 27에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 로딩스택커(1311)는 고객트레이를 지지한다. 상기 로딩스택커(1311)에 지지된 고객트레이는 테스트될 반도체 소자들을 담고 있다. 상기 로딩스택커(1311)는 테스트될 반도체 소자들이 담겨진 고객트레이를 복수개 저장할 수 있다. 고객트레이들은 상하로 적층되어 상기 로딩스택커(1311)에 저장될 수 있다.
상기 로딩픽커(1312)는 상기 로딩스택커(1311)에 위치된 고객트레이로부터 테스트될 반도체 소자를 픽업하여 테스트 트레이(200)에 수납시킬 수 있다. 테스트 트레이(200)에 테스트될 반도체 소자가 수납될 때, 테스트 트레이(200)는 로딩위치(131a, 도 27에 도시됨)에 위치될 수 있다. 상기 로딩픽커(1312)는 제1축방향(X축 방향)과 제2축방향(Y축 방향)으로 이동하면서 테스트될 반도체 소자를 이송할 수 있다. 상기 로딩픽커(1312)는 승강할 수도 있다.
상기 로딩유닛(131)은 테스트될 반도체 소자를 일시적으로 수납하기 위한 로딩버퍼(1313, 도 27에 도시됨)를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 로딩픽커(1312)는 고객트레이로부터 테스트될 반도체 소자를 픽업한 후에, 픽업한 반도체 소자를 상기 로딩버퍼(1313)를 경유하여 상기 로딩위치(131a)에 위치된 테스트 트레이(200)에 수납시킬 수 있다. 상기 로딩픽커(1312)는 테스트될 반도체 소자를 고객트레이에서 상기 로딩버퍼(1313)로 이송하는 제1로딩픽커(1312a, 도 27에 도시됨), 및 테스트될 반도체 소자를 상기 로딩버퍼(1313)에서 테스트 트레이(200)로 이송하는 제2로딩픽커(1312b, 도 27에 도시됨)를 포함할 수도 있다.
도시되지 않았지만, 상기 로딩유닛(131)은 테스트 트레이(200)를 이송하기 위한 로딩이송수단을 포함할 수 있다. 상기 로딩이송수단은 테스트 트레이(200)를 밀거나 테스트 트레이(200)를 당겨서 이송할 수 있다. 상기 로딩이송수단은 상기 로딩공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 로딩위치(131a)에서 상기 컨베이어유닛(130)으로 이송할 수 있다. 상기 로딩이송수단은 상기 로딩공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 로딩위치(131a)에서 상기 보관장치(1)로 이송할 수도 있다. 상기 로딩이송수단은 비어 있는 테스트 트레이(200)를 상기 컨베이어유닛(130)에서 상기 로딩위치(131a)로 이송할 수 있다. 상기 로딩이송수단은 비어 있는 테스트 트레이(200)를 상기 보관장치(1)에서 상기 로딩위치(131a)로 이송할 수도 있다.
도 23 및 도 27을 참고하면, 상기 소팅유닛(130)은 상기 언로딩공정을 수행하기 위한 언로딩유닛(132, 도 27에 도시됨)을 포함할 수 있다.
상기 언로딩유닛(132)은 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(200)로부터 분리하여 고객트레이로 이송한다. 상기 언로딩유닛(132)은 언로딩스택커(1321, 도 27에 도시됨) 및 언로딩픽커(1322, 도 27에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 언로딩스택커(1321)는 고객트레이를 지지한다. 상기 언로딩스택커(1321)에 지지된 고객트레이에는 테스트된 반도체 소자들이 담겨진다. 상기 언로딩스택커(1321)는 테스트된 반도체 소자들이 담겨진 고객트레이를 복수개 저장할 수 있다. 고객트레이들은 상하로 적층되어 상기 언로딩스택커(1321)에 저장될 수 있다.
상기 언로딩픽커(1322)는 테스트 트레이(200)로부터 테스트된 반도체 소자를 픽업하여 상기 언로딩스택커(1321)에 위치된 고객트레이에 수납시킬 수 있다. 테스트 트레이(200)로부터 테스트된 반도체 소자가 픽업될 때, 테스트 트레이(200)는 언로딩위치(132a, 도 27에 도시됨)에 위치될 수 있다. 상기 언로딩픽커(1322)는 테스트된 반도체 소자를 테스트 결과에 따른 등급별로 그 등급에 해당하는 고객트레이에 수납시킬 수 있다. 상기 언로딩픽커(1322)는 상기 제1축방향(X축 방향)과 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 이동하면서 테스트된 반도체 소자를 이송할 수 있다. 상기 언로딩픽커(1322)는 승강할 수도 있다. 상기 언로딩유닛(132)이 테스트 트레이(200)로부터 테스트된 반도체 소자를 모두 분리함에 따라 테스트 트레이(200)가 비게 되면, 상기 소팅유닛(130)은 비어 있는 테스트 트레이(200)를 상기 언로딩유닛(132)에서 상기 로딩유닛(131)로 이송할 수 있다.
상기 언로딩유닛(132)은 테스트된 반도체 소자를 일시적으로 수납하기 위한 언로딩버퍼(1323, 도 27에 도시됨)를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 언로딩픽커(1322)는 상기 언로딩위치(132a)에 위치된 테스트 트레이(200)로부터 테스트된 반도체 소자를 픽업한 후에, 픽업한 반도체 소자를 상기 언로딩버퍼(1323)를 경유하여 상기 고객트레이에 수납시킬 수 있다. 상기 언로딩픽커(1322)는 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(200)에서 상기 언로딩버퍼(1323)로 이송하는 제1언로딩픽커(1322a, 도 27에 도시됨), 및 테스트된 반도체 소자를 상기 언로딩버퍼(1323)에서 고객트레이로 이송하는 제2언로딩픽커(1322b, 도 27에 도시됨)를 포함할 수도 있다.
도시되지 않았지만, 상기 언로딩유닛(132)은 테스트 트레이(200)를 이송하기 위한 언로딩이송수단을 포함할 수 있다. 상기 언로딩이송수단은 테스트 트레이(200)를 밀거나 테스트 트레이(200)를 당겨서 이송할 수 있다. 상기 언로딩이송수단은 상기 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 컨베이어유닛(120)에서 상기 언로딩위치(132a)로 이송할 수 있다. 상기 언로딩이송수단은 상기 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 보관장치(1)에서 상기 언로딩위치(132a)로 이송할 수도 있다. 상기 언로딩이송수단은 상기 언로딩공정이 완료됨에 따라 비게 되는 테스트 트레이(200)를 상기 언로딩위치(132a)에서 상기 컨베이어유닛(130)으로 이송할 수 있다. 상기 언로딩이송수단은 상기 언로딩공정이 완료됨에 따라 비게 되는 테스트 트레이(200)를 상기 언로딩위치(132a)에서 상기 보관장치(1)로 이송할 수도 있다. 상기 언로딩이송수단은 상기 언로딩공정이 완료됨에 따라 비게 되는 테스트 트레이(200)를 상기 언로딩위치(132a)에서 상기 로딩위치(131a)로 이송할 수도 있다.
도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 소팅유닛(130)을 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 소팅유닛(130)들은 상기 컨베이어유닛(130)을 따라 서로 이격되어 설치될 수 있다. 본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 소팅유닛(130)은 상기 로딩유닛(131)과 상기 언로딩유닛(132)이 서로 이격되어 설치될 수도 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정이 서로 독립적으로 수행되도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 로딩공정, 상기 언로딩공정 및 상기 테스트공정이 서로 독립적으로 수행됨에 따라 각 공정들에 걸리는 작업시간이 서로에게 영향을 미치는 것을 최소화할 수 있다. 상기 로딩유닛(131)과 상기 언로딩유닛(132)은 상기 컨베이어유닛(130)을 따라 서로 이격되어 설치될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
1 : 테스트 트레이 보관장치 2 : 보관부재 3 : 지지유닛 4 : 승강유닛
5 : 반출유닛 6 : 반송유닛 7 : 반입유닛 100 : 인라인 테스트 핸들러

Claims (20)

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  4. 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제1챔버유닛;
    상기 제1챔버유닛으로부터 이격되어 설치되고, 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제2챔버유닛;
    상기 제1챔버유닛 및 상기 제2챔버유닛 각각으로부터 이격되어 설치되는 소팅유닛;
    상기 제1챔버유닛, 상기 제2챔버유닛, 및 상기 소팅유닛이 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하는 컨베이어유닛; 및
    상기 컨베이어유닛에 설치되고, 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 보관위치로 이송하여 보관하기 위한 보관장치를 포함하고,
    상기 보관장치는 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치로 이송하여 보관하되,
    상기 보관장치는,
    테스트 트레이를 상기 운반경로 및 상기 보관위치 간에 승강시키기 위한 승강유닛;
    상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하기 위한 지지기구; 및
    상기 지지기구가 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 지지위치 및 상기 지지기구가 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이로부터 이격되는 해제위치 간에 상기 지지기구를 이동시키는 이동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 승강유닛은 상기 지지기구가 상기 해제위치에 위치된 상태에서 테스트 트레이를 상기 보관위치로 상승시키고, 상기 지지기구가 상기 해제위치에 위치된 상태에서 테스트 트레이를 상기 운반경로로 하강시키는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 운반경로의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛에 설치되고, 상기 보관위치에서 테스트 트레이를 상하로 적층하여 보관하기 위한 보관부재를 포함하고;
    상기 이동기구는 상기 승강유닛이 상기 보관부재에 보관된 테스트 트레이 중에서 최하측에 위치된 제1테스트 트레이를 지지한 상태에서, 상기 지지기구가 상기 제1테스트 트레이에 지지된 제2테스트 트레이를 지지하도록 상기 지지기구를 상기 지지위치로 이동시켜서 상기 제1테스트 트레이에 형성된 삽입홈에 삽입시키며;
    상기 승강유닛은 상기 지지기구가 상기 삽입홈에 삽입되어 상기 제2테스트 트레이를 지지하면, 상기 제1테스트 트레이를 하강시키는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 운반경로의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛에 설치되고, 상기 보관위치에서 테스트 트레이를 상하로 적층하여 보관하기 위한 보관부재를 포함하고;
    상기 이동기구는 상기 보관부재에 보관된 테스트 트레이 중에서 최하측에 위치된 제1테스트 트레이가 상기 승강유닛에 지지된 제2테스트 트레이에 지지되면, 상기 지지기구를 상기 해제위치로 이동시키고;
    상기 승강유닛은 상기 지지기구가 상기 해제위치에 위치되면, 상기 제2테스트 트레이가 상기 제1테스트 트레이를 밀어 올려서 상기 보관위치에 위치되도록 상기 제2테스트 트레이를 상승시키는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.
  8. 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제1챔버유닛;
    상기 제1챔버유닛으로부터 이격되어 설치되고, 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제2챔버유닛;
    상기 제1챔버유닛 및 상기 제2챔버유닛 각각으로부터 이격되어 설치되는 소팅유닛;
    상기 제1챔버유닛, 상기 제2챔버유닛, 및 상기 소팅유닛이 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하는 컨베이어유닛; 및
    상기 컨베이어유닛에 설치되고, 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 보관위치로 이송하여 보관하기 위한 보관장치를 포함하고,
    상기 보관장치는 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치로 이송하여 보관하되,
    상기 보관장치는,
    상기 운반경로의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛에 설치되고, 테스트 트레이가 통과하기 위한 통과홈이 형성된 보관부재;
    테스트 트레이를 지지하기 위한 승강부재;
    상기 승강부재가 상기 운반경로와 상기 보관위치 사이의 이송위치에 위치되도록 상기 승강부재를 승강시키는 승강기구;
    상기 승강기구가 테스트 트레이를 지지한 승강부재를 상기 이송위치에 위치시키면, 상기 승강부재에 지지된 테스트 트레이가 상기 통과홈에 삽입되는 삽입위치에 위치되도록 상기 승강부재에 지지된 테스트 트레이를 상기 삽입위치로 이동시키는 반출유닛; 및
    상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이가 상기 보관부재로부터 반출되도록 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 이동시키는 반송유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.
  9. 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제1챔버유닛;
    상기 제1챔버유닛으로부터 이격되어 설치되고, 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제2챔버유닛;
    상기 제1챔버유닛 및 상기 제2챔버유닛 각각으로부터 이격되어 설치되는 소팅유닛;
    상기 제1챔버유닛, 상기 제2챔버유닛, 및 상기 소팅유닛이 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하는 컨베이어유닛; 및
    상기 컨베이어유닛에 설치되고, 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 보관위치로 이송하여 보관하기 위한 보관장치를 포함하고,
    상기 보관장치는 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록, 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치로 이송하여 보관하되,
    상기 보관장치는,
    상기 운반경로의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛에 설치되고, 테스트 트레이가 통과하기 위한 통과홈이 형성된 보관부재;
    테스트 트레이를 지지하기 위한 승강부재;
    상기 승강부재가 상기 운반경로와 상기 보관위치 사이의 이송위치에 위치되도록 상기 승강부재를 승강시키는 승강기구;
    테스트 트레이가 상기 보관부재에 형성된 통과홈에 삽입되는 삽입위치에 위치되도록 테스트 트레이를 상기 삽입위치로 이동시키는 반송유닛; 및
    상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이가 상기 이송위치에 위치된 승강부재에 지지되도록 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 상기 이송위치로 이동시키는 반입유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.
  10. 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제1챔버유닛;
    상기 제1챔버유닛으로부터 이격되어 설치되고, 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제2챔버유닛;
    상기 제1챔버유닛 및 상기 제2챔버유닛 각각으로부터 이격되어 설치되는 소팅유닛;
    상기 제1챔버유닛, 상기 제2챔버유닛, 및 상기 소팅유닛이 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하는 컨베이어유닛; 및
    상기 컨베이어유닛에 설치되고, 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 보관위치로 이송하여 보관하기 위한 보관장치를 포함하고,
    상기 보관장치는 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치로 이송하여 보관하되,
    상기 보관장치는,
    상기 운반경로의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛에 설치되고, 테스트 트레이가 통과하기 위한 통과홈이 형성된 보관부재;
    상기 통과홈에 삽입되어 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 회전롤러; 및
    상기 회전롤러를 제1회전방향으로 회전시켜서 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 상기 보관부재로부터 반출시키고, 상기 회전롤러를 제1회전방향에 대해 반대되는 제2회전방향으로 회전시켜서 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 상기 보관부재로 반입시키는 회전기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.
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  14. 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하기 위한 컨베이어유닛에 설치되는 보관부재;
    상기 보관부재에 설치되고, 테스트 트레이가 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치에 위치되도록 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 지지유닛; 및
    테스트 트레이를 상기 운반경로 및 상기 보관위치 간에 승강시키기 위한 승강유닛을 포함하고,
    상기 지지유닛은 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하되,
    상기 지지유닛은 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하기 위한 지지기구, 및 상기 지지기구가 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 지지위치 및 상기 지지기구가 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이로부터 이격되는 해제위치 간에 상기 지지기구를 이동시키는 이동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 보관장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 승강유닛은 상기 지지기구가 상기 해제위치에 위치된 상태에서 테스트 트레이를 상기 보관위치로 상승시키고, 상기 지지기구가 상기 해제위치에 위치된 상태에서 테스트 트레이를 상기 운반경로로 하강시키는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 보관장치.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 보관부재는 상기 운반경로의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛에 설치되어 상기 보관위치에서 테스트 트레이를 상하로 적층하여 보관하고;
    상기 이동기구는 상기 승강유닛이 상기 보관부재에 보관된 테스트 트레이 중에서 최하측에 위치된 제1테스트 트레이를 지지한 상태에서, 상기 지지기구가 상기 제1테스트 트레이에 지지된 제2테스트 트레이를 지지하도록 상기 지지기구를 상기 지지위치로 이동시켜서 상기 제1테스트 트레이에 형성된 삽입홈에 삽입시키며;
    상기 승강유닛은 상기 지지기구가 상기 삽입홈에 삽입되어 상기 제2테스트 트레이를 지지하면, 상기 제1테스트 트레이를 하강시키는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 보관장치.
  17. 제14항에 있어서,
    상기 보관부재는 상기 운반경로의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛에 설치되어 상기 보관위치에서 테스트 트레이를 상하로 적층하여 보관하고;
    상기 이동기구는 상기 보관부재에 보관된 테스트 트레이 중에서 최하측에 위치된 제1테스트 트레이가 상기 승강유닛에 지지된 제2테스트 트레이에 지지되면, 상기 지지기구를 상기 해제위치로 이동시키고;
    상기 승강유닛은 상기 지지기구가 상기 해제위치에 위치되면, 상기 제2테스트 트레이가 상기 제1테스트 트레이를 밀어 올려서 상기 보관위치에 위치되도록 상기 제2테스트 트레이를 상승시키는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 보관장치.
  18. 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하기 위한 컨베이어유닛에 설치되는 보관부재;
    상기 보관부재에 설치되고, 테스트 트레이가 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치에 위치되도록 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 지지유닛;
    테스트 트레이를 지지하기 위한 승강부재;
    상기 승강부재가 상기 운반경로와 상기 보관위치 사이의 이송위치에 위치되도록 상기 승강부재를 승강시키는 승강기구;
    상기 승강기구가 테스트 트레이를 지지한 승강부재를 상기 이송위치에 위치시키면, 상기 승강부재에 지지된 테스트 트레이가 상기 보관부재에 형성된 통과홈에 삽입되는 삽입위치에 위치되도록 상기 승강부재에 지지된 테스트 트레이를 상기 삽입위치로 이동시키는 반출유닛; 및
    상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이가 상기 보관부재로부터 반출되도록 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 이동시키는 반송유닛을 포함하고,
    상기 지지유닛은 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록, 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 보관장치.
  19. 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하기 위한 컨베이어유닛에 설치되는 보관부재;
    상기 보관부재에 설치되고, 테스트 트레이가 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치에 위치되도록 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 지지유닛;
    테스트 트레이를 지지하기 위한 승강부재;
    상기 승강부재가 상기 운반경로와 상기 보관위치 사이의 이송위치에 위치되도록 상기 승강부재를 승강시키는 승강기구;
    테스트 트레이가 상기 보관부재에 형성된 통과홈에 삽입되는 삽입위치에 위치되도록 테스트 트레이를 상기 삽입위치로 이동시키는 반송유닛; 및
    상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이가 상기 이송위치에 위치된 승강부재에 지지되도록 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 상기 이송위치로 이동시키는 반입유닛을 포함하고,
    상기 지지유닛은 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록, 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 보관장치.
  20. 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하기 위한 컨베이어유닛에 설치되는 보관부재;
    상기 보관부재에 설치되고, 테스트 트레이가 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치에 위치되도록 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 지지유닛;
    상기 보관부재에 설치되고, 상기 보관부재에 형성된 통과홈에 삽입되어 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 회전롤러; 및
    상기 회전롤러를 제1회전방향으로 회전시켜서 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 상기 보관부재로부터 반출시키고, 상기 회전롤러를 제1회전방향에 대해 반대되는 제2회전방향으로 회전시켜서 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 상기 보관부재로 반입시키는 회전기구를 포함하고,
    상기 지지유닛은 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록, 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 보관장치.
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