KR101445933B1 - Platinum plating apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 백금 도금 장치에 관한 것으로, 수직되게 배치된 FIB(Focus Ion Beam, 집속이온빔) 칼럼과, 상기 FIB 칼럼의 측방에 경사지게 배치된 현미경수단 및 상기 FIB 칼럼과 현미경수단 사이에 다양한 각도로 배치되는 복수개의 백금 도가니를 포함하고, 상기 백금 도가니는, 정원의 원통형으로 형성되며, 내부에는 중심부에 토출통로가 형성되고, 상기 토출통로의 선단에 통하도록 노즐공이 형성된 바디; 상기 바디의 내부에 형성되며, 상기 토출통로의 외주에 균등한 간격으로 배열되며 상기 토출통로와 통하도록 형성된 복수의 유체수용부;를 포함하여 구성된다.
이에 따르면, 다수의 백금 도가니가 FIB 칼럼과 현미경수단 사이에 어느 각도로 배치되더라도 충돌되지 않고 그 선단의 노즐공이 FIB 칼럼과 현미경수단의 조사부위까지 깊숙이 진입할 수 있어 작업의 신뢰도가 향상될 수 있고, 균일하게 기화된 기체를 분사함으로써 제품의 품질이 향상될 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a platinum plating apparatus, comprising: a vertically arranged FIB (Focused Ion Beam) column; a microscope means disposed obliquely to the side of the FIB column; a plurality of angularly spaced angles between the FIB column and the microscope means; Wherein the platinum crucible is formed in a cylindrical shape of a garden, a discharge passage is formed in a central portion of the platinum crucible, and a nozzle hole is formed so as to communicate with a tip end of the discharge passage; And a plurality of fluid receiving portions formed inside the body and arranged at equal intervals on the outer periphery of the discharge passage and communicating with the discharge passage.
Accordingly, even if a plurality of platinum crucibles are disposed at any angle between the FIB column and the microscope means, the nozzle holes at the tip of the nozzle can be deeply penetrated to the irradiated portion of the FIB column and the microscope means, , There is an effect that the quality of the product can be improved by spraying uniformly vaporized gas.

Description

백금 도금 장치{PLATINUM PLATING APPARATUS}PLATINUM PLATING APPARATUS

본 발명은 백금 도금 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 백금 도가니가 현미경수단과 FIB 칼럼 사이에 걸리지 않고 깊숙히 진입이 가능해질 수 있고, 내부에 형성된 복수의 유체수용부와 외벽과의 거리를 균일하게 형성함으로써 불균일한 기화를 방지토록 하여 백금 기체의 토출속도가 균일하면서도 신속해질 수 있는 백금 도금 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a platinum plating apparatus, and more particularly, to a platinum plating apparatus capable of deeply entering a platinum crucible without being caught between a microscope means and an FIB column, and capable of uniformly distancing a plurality of fluid- To thereby prevent uneven vaporization, thereby enabling the platinum gas ejection speed to be uniform and quick.

일반적으로 백금은 전기화학적 활성이 높고 생체 친화적이며 강산이나 강염기 등과 같은 전해질에서도 안정성이 높아 태양광을 이용하여 물로부터 수소를 제조하는 광전기화학전지의 상대전극이나 알칼리 수전해, 해수전해, 폐수처리장치 등 다양한 전지시스템에서 환원전극으로 사용되고 있다. 그러나, 백금은 고가이므로 이를 대량으로 사용하지 않으면서도 동일한 목적을 달성할 수 있도록 하기 위하여 전류의 이동에 제한을 받지 않는 금속 지지체에 소량의 백금을 균일하게 도포하여 박막을 제조하는 기술이 필요하다.In general, platinum is highly electrochemically active and biocompatible, and has high stability even in electrolytes such as strong acids and strong bases. Therefore, the counter electrode or alkaline electrolysis solution of photoelectrochemical cell that produces hydrogen from water using solar light, electrolysis of seawater, And the like. However, since platinum is expensive, a technology for uniformly coating a small amount of platinum on a metal support that is not limited by the current transfer is required to achieve the same purpose without using a large amount of the platinum.

지지체에 백금 막을 형성하기 위하여 현재 일반적으로 스퍼터링(한국특허 제321694, JP 1994-091264), 전착법(US 5,529,680, US 4,552,641, US 6,136,704, US 2007/0092786 A1, Mater. Chem. & Phys. 85 (2004) 396, J.Magnetism and magnetic Mat. 320 (2008) 2985, Catalysis commun. 10 (2009) 610, Electrochimica Acta, 46(2000) 661, Int. J. Hydro. Energy, 33 (2008) 5672), 브러싱법(한국특허 제383269), CVD(US6,750,110 B1 & US 7,157,114 B2), 플라즈마 중합법(US 6,426,126 B1)등이 사용되고 있다. In order to form a platinum film on a support, a sputtering method is currently generally used for sputtering (Korean Patent No. 321694, JP 1994-091264), electrodeposition (US 5,529,680, US 4,552,641, US 6,136,704, US 2007/0092786 A1, Mater. Chem. & Phys. 2004, 396, J. Magnetism and magnetic Mat. 320 (2008) 2985, Catalysis commun. 10 (2009) 610, Electrochimica Acta, 46 (2000) CVD (US 6,750,110 B1 & US 7,157,114 B2), plasma polymerization (US 6,426,126 B1), and the like are used.

한편 도 1은 종래 백금도금장치를 나타낸 사시도이고, 도 2a 및 도 2b는 종래 백금 도가니를 나타낸 정단면도 및 측단면도이다. FIG. 1 is a perspective view showing a conventional platinum-plating apparatus, and FIGS. 2a and 2b are a front sectional view and a side sectional view showing a conventional platinum crucible.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 수직되게 배치된 FIB(Focus Ion Beam, 집속이온빔) 칼럼(100')과, 상기 FIB 칼럼(100')의 측방에 경사지게 배치된 FIB 칼럼(100') 및 상기 FIB 칼럼(100')과 현미경수단(200') 사이에 다양한 각도로 배치되는 복수개의 백금 도가니(300')를 포함한다.As shown in FIGS. 1 and 2, a vertically arranged FIB (Focused Ion Beam) column 100 'and an FIB column 100' disposed obliquely to the side of the FIB column 100 ' And a plurality of platinum crucibles 300 'disposed at various angles between the FIB column 100' and the microscope means 200 '.

복수개의 백금 도가니(300')는 단면이 직사각형으로 형성되며 그 내부에는 중앙의 토출통로(312')와, 상기 토출통로(312')의 외주에 방사상으로 배열된 복수의 유체수용부(320')로 구성되며 상기 토출통로(312')와 통하는 노즐공(314')이 형성되고, 상기 노즐공(314')에 통하며 선단부에 결합되는 노즐(316')을 포함하여 구성된다.The plurality of platinum crucibles 300 'are rectangular in cross section and include a central discharge passage 312' and a plurality of fluid receiving portions 320 'arranged radially on the outer periphery of the discharge passage 312' And a nozzle 314 'communicating with the discharge passage 312', and a nozzle 316 'communicated with the nozzle hole 314' and coupled to the tip of the nozzle hole 314 '.

상기 백금 도가니(300')는 외면에 가해지는 열에 의해 내부의 유체수용부(320')에 수용된 백금용액이 기화된 후 중앙의 토출통로(312')를 경유하여 노즐공(314') 및 노즐(316')을 통해 분사되는 것이다.The platinum crucible 300 'is heated by the heat applied to the outer surface of the platinum crucible 300' to vaporize the platinum solution contained in the fluid receiving portion 320 ', and then, through the central discharge passage 312', the nozzle hole 314 ' (316 ').

또한 백금 도가니(300')는 현미경수단(200')과 FIB 칼럼(100') 사이에 다양한 각도로 복수개가 배치되는데, 이들 백금 도가니(300')는 2변의 길이가 상이한 직사각형상이므로, 복수개의 백금 도가니(300') 중 일부는 그 장변이 현미경수단(200')과 FIB 칼럼(100') 사이에 걸리거나 충돌함으로써 순조롭게 수행되지 못하는 문제점이 발생되었다.A plurality of platinum crucibles 300 'are arranged at various angles between the microscope means 200' and the FIB columns 100 '. Since these two platinum crucibles 300' are rectangular in shape with different lengths, Some of the platinum crucibles 300 'are not smoothly carried out by being hung or collided between the microscope means 200' and the FIB column 100 '.

또한 백금 도가니(300')는 각 유체수용부(320')와 외면까지의 거리(t1,t2)가 상이하여 각 유체수용부(320')의 기화속도가 상이하게 되어 기체 생성이 불균일해지는 문제점이 있었다.
In addition, the platinum crucible 300 'has different distances t1 and t2 from the fluid receiving portion 320' to the outer surface, resulting in different gasification rates of the fluid receiving portions 320 ' .

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 백금 도가니가 현미경수단과 FIB(Focus Ion Beam, 집속이온빔) 칼럼 사이에 걸리지 않고 깊숙히 진입이 가능해질 수 있고, 내부에 형성된 복수의 유체수용부와 외벽과의 거리를 균일하게 형성함으로써 불균일한 기화를 방지토록 하여 백금 기체의 토출속도가 균일하면서도 신속해질 수 있어 우수한 신뢰성을 확보할 수 있고, 제품의 품질을 향상시킬 수 있는 백금 도금 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art described above, and it is an object of the present invention to provide a platinum crucible capable of deeply entering a platinum crucible without being caught between a microscope means and a FIB (Focused Ion Beam) column, By uniformly forming the distance between the fluid containing portion and the outer wall, it is possible to prevent uneven vaporization so that the discharge speed of the platinum gas can be made uniform and quick so that excellent reliability can be ensured and platinum plating The purpose of the device is to provide.

상기한 본 발명의 목적은, 수직되게 배치된 FIB(Focus Ion Beam, 집속이온빔) 칼럼과, 상기 FIB(Focus Ion Beam, 집속이온빔) 칼럼의 측방에 경사지게 배치된 현미경수단 및 상기 FIB(Focus Ion Beam, 집속이온빔) 칼럼과 현미경수단 사이에 다양한 각도로 배치되는 복수개의 백금 도가니를 포함하고, 상기 백금 도가니는, 외형이 원통형으로 형성되며, 내부에는 중심부에 토출통로가 형성되고, 상기 토출통로의 선단에 통하도록 노즐공이 형성된 원형의 바디; 상기 바디의 내부에 형성되며, 상기 토출통로의 외주에 균등한 간격으로 배열되며 상기 토출통로와 통하도록 형성된 복수의 유체수용부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 백금 도금 장치에 의해 달성될 수 있다.The object of the present invention can be achieved by a microfluidic system comprising a vertically arranged FIB (Focused Ion Beam) column, a microscope means disposed obliquely to the sides of the FIB (Focus Ion Beam) , And a plurality of platinum crucibles arranged at various angles between the column and the microscope means, wherein the platinum crucible is formed in a cylindrical shape, and a discharge passage is formed in the center of the platinum crucible, A circular body in which a nozzle hole is formed to pass through the nozzle; And a plurality of fluid receiving parts formed inside the body and arranged at equal intervals on the outer circumference of the discharge path and communicating with the discharge path.

상기 복수의 유체수용부는 토출통로의 외주에 방사상으로 배열되어 형성된 것을 특징으로 한다. And the plurality of fluid receiving portions are formed radially arranged on the outer periphery of the discharge passage.

상기 복수의 유체수용부의 일단과 상기 토출통로를 연결하는 기체이송로가 형성된 것을 특징으로 한다.
And a gas transfer path connecting one end of the plurality of fluid containing portions to the discharge passage.

본 발명에 따르면 다수의 백금 도가니가 FIB(Focus Ion Beam, 집속이온빔) 칼럼과 현미경수단 사이에 어느 각도로 배치되더라도 충돌되지 않고 그 선단의 노즐공이 FIB(Focus Ion Beam, 집속이온빔) 칼럼과 현미경수단의 조사부위까지 깊숙이 진입할 수 있어 작업의 신뢰도가 향상될 수 있고, 균일하게 기화된 기체를 분사함으로써 제품의 품질이 향상될 수 있는 효과가 있다.
According to the present invention, no matter how many platinum crucibles are arranged at any angle between the FIB (focus ion beam) column and the microscope means, the nozzle hole at the tip of the platinum crucible is not collided with the FIB (Focus Ion Beam) The reliability of the operation can be improved and the quality of the product can be improved by spraying uniformly vaporized gas.

도 1은 종래 백금도금장치를 나타낸 사시도.
도 2a 및 도 2b는 종래 백금 도가니를 나타낸 정단면도 및 측단면도.
도 3은 본 발명에 따른 백금 도금 장치를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명에 따른 백금 도금 장치에서 '백금 도가니'에 대한 정단면도.
도 5는 본 발명에 따른 백금 도금 장치에서 '백금 도가니'에 대한 측단면도.1 is a perspective view showing a conventional platinum-plating apparatus.
2A and 2B are a front sectional view and a side sectional view showing a conventional platinum crucible;
3 shows a platinum plating apparatus according to the present invention.
4 is a front sectional view of a platinum crucible in a platinum plating apparatus according to the present invention.
5 is a side cross-sectional view of a platinum crucible in a platinum plating apparatus according to the present invention.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부된 도면 중에서, 도 3은 본 발명에 따른 백금 도금 장치를 나타낸 도면, 도 4는 본 발명에 따른 백금 도금 장치에서 '백금 도가니'에 대한 정단면도, 도 5는 본 발명에 따른 백금 도금 장치에서 '백금 도가니'에 대한 측단면도이다.
4 is a front sectional view of a 'platinum crucible' in a platinum plating apparatus according to the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view of a platinum plating apparatus according to the present invention. &Quot; Platinum crucible ".

도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 백금 도금 장치는, 수직되게 배치된 FIB(Focus Ion Beam, 집속이온빔) 칼럼(100)과, 상기 FIB 칼럼(100)의 측방에 경사지게 배치된 현미경수단(200) 및 상기 FIB 칼럼(100)과 현미경수단(200) 사이에 다양한 각도로 배치되는 복수개의 백금 도가니(300)를 포함한다.3 to 5, a platinum plating apparatus according to the present invention includes a vertically arranged FIB (Focused Ion Beam) column 100 and a plurality of FIB columns arranged obliquely to the sides of the FIB column 100 And a plurality of platinum crucibles 300 disposed at various angles between the FIB column 100 and the microscope means 200.

또한 백금 도가니(300)는 외형이 원통형으로 형성되며, 내부에는 중심부에 토출통로(312)가 형성되고, 상기 토출통로(312)의 선단에 통하도록 노즐공(314)이 형성된 원형의 바디(310); 상기 바디(310)의 내부에 형성되며, 상기 토출통로(312)의 외주에 균등한 간격으로 배열되며 상기 토출통로(312)와 통하도록 형성된 복수의 유체수용부(320); 상기 바디(310)의 선단에 결합되는 노즐(316);을 포함하여 구성된다. The platinum crucible 300 is formed in a cylindrical shape and has a discharge passage 312 formed at the center thereof and a circular body 310 having a nozzle hole 314 communicating with the tip of the discharge passage 312 ); A plurality of fluid receiving portions 320 formed inside the body 310 and arranged at equal intervals on the outer periphery of the discharge passage 312 and communicating with the discharge passage 312; And a nozzle (316) coupled to the tip of the body (310).

복수의 유체수용부(320)는 6개로 구성되며, 이들 6개의 유체수용부(320)가 토출통로(312)의 외주에 방사상으로 배열되어 형성된다. The plurality of fluid receiving portions 320 are formed in six, and the six fluid receiving portions 320 are formed radially arranged on the outer circumference of the discharge passage 312.

또 바디(310)는 직경이 22~24mm인 원통형이며, 구체적으로는 23mm가 바람직하다. In addition, the body 310 is a cylindrical shape having a diameter of 22 to 24 mm, and specifically, it is preferably 23 mm.

그리고 복수의 유체수용부(320)의 일단과 상기 토출통로(312)를 연결하는 기체이송로가 형성된다.A gas transfer path for connecting one end of the plurality of fluid storage portions 320 to the discharge passage 312 is formed.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation of the present invention will be described.

FIB 칼럼(100)은 수직되게 장착되고, 이에 대해 경사지게 현미경수단(200)이 장착되며, 현미경수단(200)의 선단과 FIB 칼럼(100)의 선단이 이루는 각도는 예각을 갖도록 장착된다.The FIB column 100 is vertically mounted and mounted with an inclined microscope means 200 so that the angle between the tip of the microscope means 200 and the tip of the FIB column 100 is set to have an acute angle.

바람직하게는 FIB 칼럼(100)에 대한 현미경수단(200)의 기울기는 약 20~30°정도이다. Preferably, the slope of the microscope means 200 relative to the FIB column 100 is on the order of 20 to 30 degrees.

이후 FIB 칼럼(100)과 현미경수단(200) 사이에 복수개의 백금 도가니(300)가 다양한 각도로 배열된다.Thereafter, a plurality of platinum crucibles 300 are arranged at various angles between the FIB column 100 and the microscope means 200.

그리고 이들 복수개의 백금 도가니(300)는 그 노즐공(314)이 FIB 칼럼(100)과 현미경수단(200)의 조사부위까지 근접되도록 깊숙이 진입된다.The plurality of platinum crucibles 300 deeply penetrate the nozzle holes 314 such that the nozzle holes 314 are close to the irradiation sites of the FIB column 100 and the microscope means 200.

이때 백금 도가니(300)는 그 외형이 원형이므로 FIB 칼럼(100)과 현미경수단(200)에 충돌되지 않고 진입이 가능해진다.Since the outer shape of the platinum crucible 300 is circular, it is possible to enter the platinum crucible 300 without colliding with the FIB column 100 and the microscope means 200.

또한 백금 도가니(300)는 그 내부의 복수의 유체수용부(320)와 외면이 동일한 간격으로 형성되므로 외부의 열이 각 유체수용부(320)에 동일하게 전달되어 가열될 수 있으므로 기화속도와 기화량이 균일해질 수 있어 양질의 기체 분사가 가능해질 수 있고, 이로인해 백금 기체의 토출속도가 균일하면서도 신속해질 수 있게 된다.
Since the platinum crucible 300 has the plurality of fluid receiving portions 320 and the outer surfaces formed at the same interval, external heat can be similarly transferred to the respective fluid receiving portions 320 and heated. Therefore, So that the gas can be injected with a good quality, and the discharge speed of the platinum gas can be made uniform and quick.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.
Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the invention, It is obvious that the claims fall within the scope of the claims.

100 : FIB(Focus Ion Beam, 집속이온빔) 칼럼 200 : 현미경수단
300 : 백금 도가니 310 : 바디
320 : 유체수용부 100: Focus Ion Beam (FIB) column 200: Microscope means
300: platinum crucible 310: body
320: fluid receiving portion

Claims (4)

수직되게 배치된 FIB(Focus Ion Beam, 집속이온빔) 칼럼과, 상기 FIB(Focus Ion Beam, 집속이온빔) 칼럼의 측방에 경사지게 배치된 현미경수단 및 상기 FIB(Focus Ion Beam, 집속이온빔) 칼럼과 현미경수단 사이에 다양한 각도로 배치되는 복수개의 백금 도가니를 포함하고,
상기 백금 도가니는,
외형이 원통형으로 형성되며, 내부에는 중심부에 토출통로가 형성되고, 상기 토출통로의 선단에 통하도록 노즐공이 형성된 원형의 바디와;
상기 바디의 내부에 형성되며, 상기 토출통로의 외주에 균등한 간격으로 배열되며 상기 토출통로와 통하도록 형성된 복수의 유체수용부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 백금 도금 장치.
A focus ion beam (FIB) column arranged vertically, a microscope means arranged obliquely to the side of the FIB (Focus Ion Beam), a FIB (Focus Ion Beam) and a microscope means A plurality of platinum crucibles disposed at various angles between the first and second platinum crucibles,
In the platinum crucible,
A circular body having an outer shape formed in a cylindrical shape, a discharge passage formed in a central portion thereof, and a nozzle hole communicating with a tip end of the discharge passage;
A plurality of fluid receiving portions formed inside the body and arranged at equal intervals on the outer periphery of the discharge passage and communicating with the discharge passage;
Wherein the platinum plating device comprises:
제 1항에 있어서,
상기 복수의 유체수용부는 토출통로의 외주에 방사상으로 배열되어 형성된 것을 특징으로 하는 백금 도금 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the plurality of fluid receiving portions are formed radially arranged on the outer periphery of the discharge passage.
제 1항에 있어서,
상기 바디는 직경이 22~24mm인 것을 특징으로 하는 백금 도금 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the body has a diameter of 22 to 24 mm.
제 1항에 있어서,
상기 복수의 유체수용부의 일단과 상기 토출통로를 연결하는 기체이송로가 형성된 것을 특징으로 하는 백금 도금 장치.
The method according to claim 1,
And a gas transfer path for connecting one end of the plurality of fluid containing portions to the discharge passage.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US4976843A (en) 1990-02-02 1990-12-11 Micrion Corporation Particle beam shielding
US5435850A (en) 1993-09-17 1995-07-25 Fei Company Gas injection system

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