KR101422201B1 - Gate valve device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 에어 및 전기를 이용한 진공 밸브를 구동하도록 한 게이트 밸브 장치에 관한 것으로, 유체가 흐르는 통로 사이에 양 측면이 각각 밀폐 결합되어 통로 사이에 설치되는 메인 바디부; 상기 메인 바디부 내에서 왕복 이동하여 통로의 개폐 동작을 수행하는 무빙 메커니즘부; 상기 메인 바디부의 일측면에 결합 고정된 앤드 커버부; 상기 앤드 커버부를 통해 상기 무빙 메커니즘부의 일단부에 결합 고정되며, 실린더 왕복 운동에 의해 상기 무빙 메커니즘부를 왕복 이동시켜 주는 실린더부; 및 상기 실린더부의 일단부에 연결 고정되며, 회전 운동을 왕복 운동으로 변환시켜 상기 실린더부의 실린더 왕복 운동으로 전달하는 모터부를 포함한다. 이러한 게이트 밸브 장치는 일반 상태 이용 시에 전기 절약과 빠른 동작을 수행할 수 있도록 함과 동시에, 정밀 상태 이용 시에 전기로만 밸브 구동을 수행하여 보다 정밀한 구간별 밸브 제어를 수행할 수 있다.The present invention relates to a gate valve device for driving a vacuum valve using air and electricity, comprising: a main body portion, which is disposed between passages, A moving mechanism moving reciprocally in the main body to perform opening and closing operations of the passages; An end cover coupled to one side of the main body; A cylinder part coupled to one end of the moving mechanism part through the end cover part and reciprocating the moving mechanism part by reciprocating movement of the cylinder; And a motor part connected to one end of the cylinder part and converting the rotational motion into a reciprocating motion and transmitting the rotational motion to a cylinder reciprocating motion of the cylinder part. Such a gate valve device is capable of performing electricity saving and quick operation at the time of using the general state, and at the time of using the precision state, valve driving is performed only in the electric furnace, so that more precise valve control for each section can be performed.
Description
본 발명은 게이트 밸브 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 에어(air) 및 전기를 이용한 진공 밸브를 구동하도록 한 게이트 밸브 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a gate valve apparatus, and more particularly, to a gate valve apparatus for driving a vacuum valve using air and electricity.
일반적으로, LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정의 대부분은 진공 상태에서 진행되는데, 이때 사용되는 진공 장비에는 내부의 높은 진공도를 유지하기 위해서 진공 펌프가 사용되며, 진공 장비를 외부 또는 다른 진공 장비와 격리시키기 위해서 게이트 밸브를 구비한다.Generally, most of the processes for manufacturing an LCD substrate or a semiconductor device are performed in a vacuum state. In this case, a vacuum pump is used to maintain a high degree of vacuum in the vacuum equipment used. And a gate valve for isolating the valve from the valve.
이러한 게이트 밸브는 작업 환경이 진공을 요구하는 경우에 통로의 개폐 작동을 위해서 사용되는데, 외부보다 압력이 낮은 진공 장비의 게이트를 단속하는 것도 있지만, 챔버와 챔버 사이에 배치되어 다른 챔버보다 높은 압력을 가지는 챔버의 게이트를 단속하는 역압 대응 게이트 밸브도 있다.These gate valves are used for open and close operation of the passageways when the working environment requires a vacuum, which interrupts the gate of the vacuum equipment which is lower in pressure than the outside, but is arranged between the chamber and the chamber, There is also an back pressure compatible gate valve that intercepts the gate of the chamber.
한편, 한국등록특허 제10-0544299호는 블레이드를 개량하여 블레이드에 형성된 오링의 스크래치를 최소화하여 밸브의 수명을 연장하도록 한 진공 게이트 밸브에 관하여 개시되어 있는데, 공정 챔버와 진공 펌프에 연결되는 공기 통로가 형성되고, 일측으로부터 상기 공기 통로를 직교 방향으로 관통하는 슬라이드 공간이 형성되며, 내측면 양쪽에는 일측으로부터 상기 공기통로 방향으로 평행하다가 상향으로 구부러진 슬라이드 홈이 형성된 하우징; 상기 슬라이드 홈을 따라 이동하며, 상기 공기 통로를 개폐하는 상판 블레이드; 상기 상판 블레이드와 링크 결합된 하판 블레이드를 포함하는 것을 특징으로 한다. 개시된 기술에 따르면, 공기 이동 통로를 보다 효과적으로 밀폐할 수 있으며, 장기간 사용에서 발생하는 오링 스크래치 등의 손상을 최소화하여 밸브의 수명을 연장하도록 한다.On the other hand, Korean Patent No. 10-0544299 discloses a vacuum gate valve that improves the blade to minimize the scratch of the O-ring formed on the blade to prolong the life of the valve, A housing having a slide space formed in one side thereof and extending in a direction perpendicular to the air passage, a slide groove formed on both sides of the inner side, the slide groove being parallel to the air passage from one side thereof and bent upward; A top plate blade moving along the slide groove and opening and closing the air passage; And a lower plate blade linked with the upper plate blade. According to the disclosed technology, the air passage can be sealed more effectively, and the damage of the o-ring scratch and the like occurring in long-term use can be minimized to prolong the life of the valve.
한국공개특허 제10-2010-0082997호는 메인 유체 통로를 구조가 간단하고 동력원이 필요 없는 체크 밸브를 설치하여 개폐시키도록 한 진공 게이트 밸브에 관하여 기재되어 있다. 이러한 개시된 기술에 의하면, 챔버와 진공 펌프에 연결되는 메인 유체 통로(110)가 형성되고, 상기 메인 유체 통로(110)를 직교 방향으로 관통하는 압축 공기 유입 공간(120)이 형성되는 하우징(100); 상기 압축 공기 유입 공간(120)에 설치되어 상기 메인 유체 통로(110)를 기압차에 의하여 개폐시키는 체크 밸브(200); 상기 하우징(100) 상부의 외주면 설치되는 중공형 제1몸체(310)와, 상기 중공형 제1몸체(310)의 하부에 설치되는 중공형 제2몸체(320)가 구비되는 밀폐용기(300)를 포함하는 것을 특징으로 함으로써, 메인 유체 통로의 구조가 단순하며 동력원이 필요 없는 체크 밸브를 설치하여 개폐하므로 제공 공정이 간편하고 제조 비용이 절감되며, 반영구적으로 사용이 가능하고, 체크 밸브가 손상되더라도 쉽게 교체가 가능하다.Korean Patent Laid-Open No. 10-2010-0082997 discloses a vacuum gate valve in which a main fluid passage is opened and closed by installing a check valve which is simple in structure and does not require a power source. The
그런데, 상술한 바와 같은 종래의 게이트 밸브 장치는, 단순하게 밸브의 온/오프(on/off)를 수행하도록 하기 위한 단순 밸브 개폐 구동용으로만 사용되도록 구현되거나, 아니면 사용자가 원하는 구간별로 정밀하게 밸브의 개폐 구동을 수행하도록 하기 위한 정밀 구간 제어용으로만 사용되도록 구현되는 것이 대부분이었다. 다시 말해서, 종래의 게이트 밸브 장치는, 단순 밸브 온/오프 개폐 시와 정밀 구간 밸브 제어 시 모두 사용하기 어려운 단점이 있었다.
However, the conventional gate valve device as described above can be implemented to be used only for simple valve opening / closing driving for simply performing on / off of the valve, It is mostly used only for precise section control for performing valve opening and closing operations. In other words, the conventional gate valve device is disadvantageous in that it is difficult to use both the simple valve on / off switching and the precise interval valve control.
본 발명의 일 실시예는 에어 및 전기를 이용한 진공 밸브로 단순 밸브 온/오프 구동과 정밀 구간 제어 구동을 함께 수행할 수 있도록 한 게이트 밸브 장치를 제공하고자 한다.
An embodiment of the present invention is to provide a gate valve device capable of performing simple valve on / off driving and precise interval control driving together with a vacuum valve using air and electricity.
실시예들 중에서, 게이트 밸브 장치는 유체가 흐르는 통로 사이에 양 측면이 각각 밀폐 결합되어 통로 사이에 설치되는 메인 바디부; 상기 메인 바디부 내에서 왕복 이동하여 통로의 개폐 동작을 수행하는 무빙 메커니즘부; 상기 메인 바디부의 일측면에 결합 고정된 앤드 커버부; 상기 앤드 커버부를 통해 상기 무빙 메커니즘부의 일단부에 결합 고정되며, 실린더 왕복 운동에 의해 상기 무빙 메커니즘부를 왕복 이동시켜 주는 실린더부; 및 상기 실린더부의 일단부에 연결 고정되며, 회전 운동을 왕복 운동으로 변환시켜 상기 실린더부의 실린더 왕복 운동으로 전달하는 모터부를 포함한다.In the embodiments, the gate valve device includes: a main body portion, which is provided between the passages, with both side faces being sealed between the passages through which the fluid flows; A moving mechanism moving reciprocally in the main body to perform opening and closing operations of the passages; An end cover coupled to one side of the main body; A cylinder part coupled to one end of the moving mechanism part through the end cover part and reciprocating the moving mechanism part by reciprocating movement of the cylinder; And a motor part connected to one end of the cylinder part and converting the rotational motion into a reciprocating motion and transmitting the rotational motion to a cylinder reciprocating motion of the cylinder part.
일 실시예에서, 상기 앤드 커버부는, 관통 홀을 구비하고 해당 관통 홀을 통해 상기 무빙 메커니즘부의 일단부와 상기 실린더부의 일단부를 서로 결합 고정하여, 상기 무빙 메커니즘부가 상기 메인 바디부 내에서만 왕복 이동하도록 할 수 있다.In one embodiment, the end cover portion includes a through hole, and one end portion of the moving mechanism portion and one end portion of the cylinder portion are coupled and fixed to each other through the corresponding through hole, so that the moving mechanism can reciprocate only within the main body portion can do.
일 실시예에서, 상기 모터부는, 회전 운동하도록 하기 위한 모터; 상기 모터의 회전 운동에 의해 회전하는 볼 스크류부; 및 상기 실린더부의 일단부에 연결 고정되며, 상기 볼 스크류부의 회전에 따라 왕복 운동하여 상기 실린더부의 일단부를 왕복 이동시켜 주는 실린더 체결부를 포함할 수 있다.In one embodiment, the motor unit includes: a motor for rotating the motor; A ball screw unit rotated by the rotation of the motor; And a cylinder fastening part connected to one end of the cylinder part and reciprocating according to rotation of the ball screw part to reciprocate one end of the cylinder part.
일 실시예에서, 상기 실린더부는, 상기 앤드 커버부를 통해 상기 무빙 메커니즘부의 일단부에 결합 고정되는 메커니즘 체결부; 상기 메커니즘 체결부에 일단부가 연결되고 상기 모터부에 다른 일단부가 연결되어, 상기 모터부에서 변환된 왕복 운동에 따라 상기 메커니즘 체결부를 왕복 이동시켜 주는 왕복 운동부; 및 상기 메커니즘 체결부의 왕복 운동을 가이드하기 위한 홀을 구비하며, 상기 왕복 운동부의 왕복 운동을 가이드하는 실린더 가이드부를 포함할 수 있다.In one embodiment, the cylinder portion includes a mechanism fastening portion coupled to the one end portion of the moving mechanism portion through the end cover portion; A reciprocating unit that is connected at one end to the mechanism coupling unit and at the other end to the motor unit to reciprocate the mechanism coupling unit according to the reciprocating motion converted by the motor unit; And a cylinder guide portion having a hole for guiding the reciprocating motion of the mechanism fastening portion and guiding the reciprocating motion of the reciprocating portion.
일 실시예에서, 상기 실린더부는, 다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 상기 모터부의 일단부를 결합 고정시켜 주기 위한 모터 체결부를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the cylinder portion may further include a motor fastening portion having a plurality of holes for fastening one end of the motor portion in a bolt fastening manner.
일 실시예에서, 상기 왕복 운동부는, 상기 모터부의 실린더 체결부에 다른 일단부가 결합 고정되며, 상기 실린더 체결부의 왕복 운동에 의해 상기 실린더 가이드부 내에서 왕복 이동하여, 일단부에 연결된 메커니즘 체결부를 왕복 이동시켜 줄 수 있다.In one embodiment, the reciprocating portion is reciprocally moved in the cylinder guide portion by the reciprocation of the cylinder fastening portion, and the mechanism fastening portion connected to the one end portion is reciprocated in the cylinder guide portion, Can be moved.
일 실시예에서, 상기 무빙 메커니즘부는, 상기 메인 바디부 내에서 왕복 이동하여 상기 통로의 개폐 동작을 수행하는 블레이드부; 상기 블레이드부의 양쪽 단면 위에 각각 형성된 오링부; 및 상기 실린더부의 일단부를 결합 고정되어, 상기 실린더부의 일단부의 왕복 운동에 따라 상기 블레이드부를 왕복 이동시켜 주는 실린더 체결부를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the moving mechanism part includes: a blade part reciprocating in the main body part to perform opening and closing operations of the passage; An o-ring portion formed on both end faces of the blade portion; And a cylinder fastening portion fixedly coupled to one end of the cylinder portion and reciprocating the blade portion in accordance with the reciprocating motion of the one end portion of the cylinder portion.
일 실시예에서, 상기 메인 바디부는, 양 측면에 각각 형성되어 통로의 각 측면에 각각 밀폐 결합하여 통로 측면 사이에 설치되는 밀폐 결합부; 슬라이드 홈을 형성시켜 상기 무빙 메커니즘부를 슬라이드 가이딩하기 위한 슬라이드부; 홈을 형성시켜 홈으로 상기 무빙 메커니즘부가 삽입되도록 하기 위한 차단 홈부; 및 상기 슬라이드부의 일단부에 형성되어 상기 앤드 커버부를 결합 고정시켜 주기 위한 커버 결합부를 포함할 수 있다.
In one embodiment, the main body portion may include a sealing engagement portion formed on both sides of the main body portion, the seal engagement portion being hermetically coupled to each side surface of the passage, A slide part for forming a slide groove and slidingly guiding the moving mechanism part; A blocking groove portion for forming the groove and inserting the moving mechanism portion into the groove; And a cover engaging portion formed at one end of the slide portion for engaging and fixing the end cover portion.
본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치는, 진공 밸브를 에어 및 전기를 함께 이용하도록 구현하여 단순 밸브 개폐 구동과 정밀 구간 밸브 제어 구동 모두를 수행할 수 있도록 함으로써, 단순 밸브 온/오프 개폐 시와 정밀 구간 밸브 제어 시 모두 사용할 수 있어, 일반 상태 이용 시에 전기 절약과 빠른 동작을 수행할 수 있도록 함과 동시에, 정밀 상태 이용 시에 전기로만 밸브 구동을 수행하여 보다 정밀한 구간별 밸브 제어를 수행할 수 있다.
The gate valve device according to an embodiment of the present invention can realize both a simple valve opening / closing operation and a precise interval valve control operation by implementing a vacuum valve using air and electricity together, And precise section valve control, it is possible to perform electricity saving and quick operation when using the general condition, and more precise control of each section by performing valve driving only in the electric furnace when using the precision state can do.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치를 설명하는 사시도이다.
도 2는 도 1에 있는 게이트 밸브 장치를 설명하는 분해 사시도이다.
도 3은 도 2에 있는 실린더부를 설명하는 단면도이다.1 is a perspective view illustrating a gate valve device according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view illustrating the gate valve device shown in Fig.
3 is a cross-sectional view illustrating the cylinder portion in Fig.
본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The description of the present invention is merely an example for structural or functional explanation, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described in the text. That is, the embodiments are to be construed as being variously embodied and having various forms, so that the scope of the present invention should be understood to include equivalents capable of realizing technical ideas.
한편, 본 발명에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.Meanwhile, the meaning of the terms described in the present invention should be understood as follows.
"제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.The terms "first "," second ", and the like are intended to distinguish one element from another, and the scope of the right should not be limited by these terms. For example, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어"있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어"있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" to another element, it may be directly connected to the other element, but there may be other elements in between. On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between. On the other hand, other expressions that describe the relationship between components, such as "between" and "between" or "neighboring to" and "directly adjacent to" should be interpreted as well.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다"또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the singular " include "or" have "are to be construed as including a stated feature, number, step, operation, component, It is to be understood that the combination is intended to specify that it does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.
각 단계들에 있어 식별부호(예를 들어, a, b, c 등)는 설명의 편의를 위하여 사용되는 것으로 식별부호는 각 단계들의 순서를 설명하는 것이 아니며, 각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않는 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.In each step, the identification code (e.g., a, b, c, etc.) is used for convenience of explanation, the identification code does not describe the order of each step, Unless otherwise stated, it may occur differently from the stated order. That is, each step may occur in the same order as described, may be performed substantially concurrently, or may be performed in reverse order.
본 발명은 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드로서 구현될 수 있고, 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록 매체는 컴퓨터 시스템에 의하여 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록 장치를 포함한다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록 매체의 예로는 ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피 디스크, 광 데이터 저장 장치 등이 있으며, 또한, 캐리어 웨이브(예를 들어 인터넷을 통한 전송)의 형태로 구현되는 것도 포함한다. 또한, 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록 매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어, 분산 방식으로 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드가 저장되고 실행될 수 있다.The present invention can be embodied as computer-readable code on a computer-readable recording medium, and the computer-readable recording medium includes all kinds of recording devices for storing data that can be read by a computer system . Examples of the computer-readable recording medium include a ROM, a RAM, a CD-ROM, a magnetic tape, a floppy disk, an optical data storage device, and the like, and also implemented in the form of a carrier wave (for example, transmission over the Internet) . In addition, the computer-readable recording medium may be distributed over network-connected computer systems so that computer readable codes can be stored and executed in a distributed manner.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
All terms used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs, unless otherwise defined. Commonly used predefined terms should be interpreted to be consistent with the meanings in the context of the related art and can not be interpreted as having ideal or overly formal meaning unless explicitly defined in the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치를 설명하는 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a gate valve device according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치는, 메인 바디부(Main Body)(100), 무빙 메커니즘부(Moving Mechanism)(200), 앤드 커버부(End Cover)(300), 실린더부(Cylinder)(400) 및 모터부(Motor)(500)를 포함한다.1, a gate valve device according to an embodiment of the present invention includes a
메인 바디부(100)는, 양 측면이 유체(기체 또는 액체)가 흐르는 통로 사이의 측면과 각각 밀폐 결합되도록 하여 해당 통로 사이에 설치되며, 해당 통로의 개폐 동작이 수행되도록 하기 위해서, 무빙 메커니즘부(200)가 내부에서 왕복 이동 가능하도록 구현된다.The
또한, 메인 바디부(100)는, 일 단면부에 앤드 커버부(300)를 결합 고정하도록 설치하여, 해당 결합 고정된 앤드 커버부(300)에 의해 무빙 메커니즘부(200)가 내부에서만 왕복 이동할 수 있도록 해 준다.The
무빙 메커니즘부(200)는, 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동 가능하도록 구현되며, 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동하여 통로의 개폐 동작을 수행하여 유체를 차단 또는 개방하도록 한다.The
또한, 무빙 메커니즘부(200)는, 일단부가 실린더부(400)의 일단부에 결합 고정 설치되어, 실린더부(400)의 왕복 운동에 따라 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동하여 통로의 개폐 동작을 수행하도록 한다. 이때, 무빙 메커니즘부(200)의 일단부는 앤드 커버부(300)를 통해서(앤드 커버부(300)를 관통하여) 실린더부(400)의 일단부에 결합 고정 설치되어, 앤드 커버부(300)에 의해 메인 바디부(100) 내에서만 왕복 이동한다.One end of the
앤드 커버부(300)는, 메인 바디부(100)의 일측면에 결합 고정 설치되고, 관통을 통해 무빙 메커니즘부(200)의 일단부가 실린더부(400)의 일단부에 결합 고정 설치되도록 하여, 무빙 메커니즘부(200)가 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동 시에 무빙 메커니즘부(200)가 메인 바디부(100)의 외부로 나오지 않도록 해 준다. 즉, 앤드 커버부(300)는, 무빙 메커니즘부(200)가 메인 바디부(100) 내에서만 왕복 이동할 수 있도록 해 준다.The
실린더부(400)는, 일단부가 앤드 커버부(300)를 통해서(앤드 커버부(300)를 관통하여) 무빙 메커니즘부(200)의 일단부에 결합 고정 설치되어, 실린더 왕복 운동에 의해 무빙 메커니즘부(200)를 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동시켜 준다. 이때, 일반 상태의 밸브 구동 시에, 실린더부(400)는, 바로 직접 실린더 왕복 운동시켜 무빙 메커니즘부(200)를 왕복 이동하도록 함으로써, 일반 사용에 의해 전기를 절약할 수 있고 빠른 밸브 개폐 동작을 수행할 수 있도록 한다.The
또한, 실린더부(400)는, 다른 일단부가 모터부(500)의 일단부(몸체)에 결합 고정 설치되어, 모터부(500)에서 변환된 왕복 운동에 따라 일단부가 실린더 왕복 운동되도록 하여, 무빙 메커니즘부(200)를 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동시켜 준다. 이때, 정밀 상태의 밸브 구동 시에, 실린더부(400)는, 모터부(500)의 회전 운동(정방향 회전 또는 역방향 회전) 제어에 따라 실린더 왕복 운동하여 무빙 메커니즘부(200)를 정밀하게 왕복 이동하도록 함으로써, 정밀 사용에 의해 보다 정밀한 구간별 밸브 제어를 수행할 수 있도록 한다.The other end of the
일 실시예에서, 실린더부(400)는, 공기 압력에 의해 일단부를 왕복 운동하도록 하는 에어 실린더일 수 있다.In one embodiment, the
모터부(500)는, 모터의 회전 운동(정방향 회전 또는 역방향 회전)를 왕복 운동으로 변환시켜 해당 변환된 왕복 운동을 실린더부(400)의 실린더 왕복 운동으로 전달하기 위해서, 회전 운동에 의한 왕복 운동을 수행하는 부분이 실린더부(400)의 일단부에 연결되어 고정 설치되고 몸체의 일단부가 실린더부(400)의 다른 일단부에 고정 설치된다.The
이때, 모터부(500)는, 정밀 상태의 밸브 구동 시에 사용되는데, 모터의 회전 운동(정방향 회전 또는 역방향 회전)에 따라 왕복 운동을 수행하여 실린더부(400)의 일단부를 정밀하게 왕복 운동시켜 준다.At this time, the
상술한 바와 같은 구성을 가진 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치는, 밸브 구동 시에 일반 상태일 때와 정밀 상태일 때 모두 사용 가능하고 특히, 사용자가 원하는 구간별 정밀 구간 제어가 가능함으로써, 일반 사용 시에는 전기 절약의 효과를 가짐과 동시에 빠른 동작을 수행할 수 있으며, 정밀 사용 시에는 단지 전기로만 밸브 구동이 가능하여 보다 정밀한 구간별 밸브 제어를 수행할 수 있다.
The gate valve device according to an embodiment of the present invention having the above-described configuration can be used both in a normal state and in a precise state at the time of valve driving, and in particular, In general use, electricity saving effect and quick operation can be performed. In precision use, it is possible to drive valve only in electric furnace, so it is possible to perform more precise valve control per section.
도 2는 도 1에 있는 게이트 밸브 장치를 설명하는 분해 사시도이고, 도 3은 도 2에 있는 실린더부를 설명하는 단면도이다.FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating the gate valve device shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating the cylinder portion in FIG.
메인 바디부(100)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 통로(110), 두 개의 밀폐 결합부(121, 122), 슬라이드부(130), 차단 홈부(140), 커버 결합부(150)를 포함한다.2, the
밀폐 결합부(121, 122)는, 볼트 체결 형태의 플랜지로서, 유체(기체 또는 액체)가 흐르는 통로(110)를 형성하고 메인 바디부(100)의 양 측면에 각각 형성되어 통로(110)의 각 측면에 각각 밀폐 결합되도록 함으로써, 메인 바디부(100)를 통로 측면 사이에 설치되도록 한다.The hermetically sealed
슬라이드부(130)는, 슬라이드 홈을 형성하고 해당 슬라이드 홈을 따라 무빙 메커니즘부(200)가 왕복 이동하여 통로(110)를 개폐할 수 있도록 무빙 메커니즘부(200)를 슬라이드 가이딩하도록 한다.The
차단 홈부(140)는, 통로(110)의 둘레로 홈이 형성되고 해당 홈으로 무빙 메커니즘부(200)가 삽입되어 통로(110)로 흐르는 유체를 차단하도록 한다.The blocking
커버 결합부(150)는, 슬라이드부(130)의 일단부에 형성되어 앤드 커버부(300)를 결합 고정시켜 준다. 이때, 커버 결합부(150)는, 다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 앤드 커버부(300)를 결합 고정시킬 수 있다.The
무빙 메커니즘부(200)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 블레이드부(210), 오링부(220), 실린더 체결부(230)를 포함한다.The moving
블레이드부(210)는, 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동하여 통로(110)의 개폐 동작을 수행하여 유체를 차단 또는 개방하도록 한다. 즉, 블레이드부(210)는, 일단부에 실린더 체결부(230)가 형성되어 실린더부(400)의 왕복 운동에 따라 왕복 이동하는데, 슬라이드부(130)에 형성된 슬라이드 홈을 따라 왕복 이동하여 차단 홈부(140)에 삽입되거나 이탈된다.The
오링부(220)는, 블레이드부(210)의 양쪽 단면 위에 각각 형성되며, 무빙 메커니즘부(200)가 통로(110)를 차단하도록 하는데, 블레이드부(210)가 차단 홈부(140)로 삽입될 때에 차단 홈부(140)와 밀착되어 밀폐시켜 줌으로써 유체를 차단시켜 주도록 한다.The O-
실린더 체결부(230)는 실린더부(400)의 일단부를 결합 고정시켜 주는데, 앤드 커버부(300)의 관통 홀(310)를 통해 실린더부(400)의 일단부(즉, 메커니즘 체결부(410))와 체결됨으로써, 무빙 메커니즘부(200)가 앤드 커버부(300)에 의해 메인 바디부(100) 내에서만 왕복 이동하도록 한다.The
또한, 실린더 체결부(230)는, 블레이드부(210)의 일단부에 설치되며, 실린더부(400)의 일단부(즉, 메커니즘 체결부(410))의 왕복 운동에 따라 블레이드부(210)를 왕복 이동시켜 준다.The
앤드 커버부(300)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 메인 바디부(100)(즉, 커버 결합부(150))에 결합 고정되며, 관통 홀(310)을 포함한다.2, the
관통 홀(310)은 무빙 메커니즘부(200)의 일단부와 실린더부(400)의 일단부가 앤드 커버부(300)를 통해서 서로 결합 고정될 수 있도록 공간을 제공해 준다.The through
실린더부(400)는, 도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 메커니즘 체결부(410), 왕복 운동부(420), 실린더 가이드부(430), 모터 체결부(440)를 포함한다.The
메커니즘 체결부(410)는, 무빙 메커니즘부(200)의 일단부를 결합 고정시켜 주는데, 앤드 커버부(300)의 관통 홀(310)을 통해 무빙 메커니즘부(200)의 일단부(즉, 실린더 체결부(230))와 체결됨으로써, 무빙 메커니즘부(200)가 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동하도록 한다.The
왕복 운동부(420)는, 일단부에 메커니즘 체결부(410)와 일체형으로 형성되고 다른 일단부에 모터부(500)의 왕복 운동 부분(즉, 실린더 체결부(530))과 결합 고정되며, 모터부(500)의 볼 스크류부(520)가 삽입될 수 있도록 다른 일단부에 홈이 형성된다.The
또한, 왕복 운동부(420)는, 모터부(500)의 볼 스크류부(520)의 회전 운동에 따라 왕복 운동하는 실린더 체결부(530)에 의해 실린더 가이드부(430) 내에서 왕복 이동하며, 이에 일단부에 형성된 메커니즘 체결부(410)를 왕복 이동하도록 한다.The
실린더 가이드부(430)는, 내부에 형성되는 왕복 운동부(420)의 왕복 운동을 가이드하는데, 일단부에 메커니즘 체결부(410)의 왕복 운동을 가이드하기 위한 홀을 형성하며, 다른 일단부에 모터 체결부(440)와 일체형으로 형성된다.The
모터 체결부(440)는 다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 모터부(500)의 일단부(즉, 모터(510))를 결합 고정시켜 준다.The
모터부(500)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 모터(510), 볼 스크류부(Ball Screw)(520), 실린더 체결부(530)를 포함한다.The
모터(510)는, 다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 실린더부(400)의 다른 일단부(즉, 모터 체결부(440))에 결합 고정 설치되며, 전기를 공급받아 볼 스크류부(520)를 회전시켜 준다.The
볼 스크류부(520)는, 모터(510)의 회전에 의해 회전 운동하여 실린더 체결부(530)를 왕복 운동시켜 준다.The
실린더 체결부(530)는, 실린더부(400)의 일단부(즉, 왕복 운동부(420))에 연결되어 고정 설치되며, 볼 스크류부(520)의 회전에 따라 왕복 운동하여 실린더부(400)의 일단부를 왕복 이동하도록 한다.
The
아래에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치의 동작을 보다 상세히 살펴본다.Hereinafter, the operation of the gate valve device according to one embodiment of the present invention will be described in detail.
첫 번째로, 정밀 상태의 밸브 구동 시에 모터부(500)를 사용하도록 하는데, 이때 모터부(500)는, 사용자가 원하는 구간별 정밀 구간 제어를 위한 회전 운동(정방향 회전 또는 역방향 회전)을 수행하도록 한다.First, the
그리고 회전 운동에 의해 발생되는 왕복 운동을 수행하는 부분을 실린더부(400)의 일단부에 연결시켜 고정 설치하며, 모터부(500) 몸체의 일단부가 실린더부(400)의 다른 일단부에 고정 설치하도록 함으로써, 회전 운동에 의해 발생되는 왕복 운동은 실린더부(400)에 전달될 수 있다.The one end of the body of the
다시 말해서, 모터부(500)의 실린더 체결부(530)는 실린더부(400)의 일단부(즉, 왕복 운동부(420))에 연결되어 고정 설치되며, 모터부(500)의 모터(510)는 다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 실린더부(400)의 다른 일단부(즉, 모터 체결부(440))에 결합 고정 설치된다.In other words, the
이에, 모터(510)가 전기를 공급받아 볼 스크류부(520)를 회전시켜 주게 되며, 이에 따라 볼 스크류부(520)는 모터(510)의 회전에 의해 회전 운동하게 된다.Accordingly, the
이때, 실린더부(400)의 왕복 운동부(420)에 연결된 실린더 체결부(530)는, 볼 스크류부(520)의 회전에 따라 왕복 운동하여 실린더부(400)의 왕복 운동부(420)를 왕복 이동시켜 주게 된다.The
그러면, 실린더부(400)는, 일단부가 앤드 커버부(300)를 통해서(앤드 커버부(300)를 관통하여) 무빙 메커니즘부(200)의 일단부에 결합 고정 설치되어 있으므로, 모터부(500)의 회전 운동(정방향 회전 또는 역방향 회전)에 따라 실린더 왕복 운동하여 무빙 메커니즘부(200)를 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동시켜 준다. 이때, 실린더부(400)는, 모터부(500)의 정밀 구동 제어에 따라 실린더 왕복 운동하여 무빙 메커니즘부(200)를 정밀하게 왕복 이동시켜 줌으로써, 정밀 사용에 의해 보다 정밀한 구간별 밸브 제어를 수행할 수 있다.Since the
다시 말해서, 실린더부(400)의 메커니즘 체결부(410)는 무빙 메커니즘부(200)의 일단부에 결합 고정되어 있고, 실린더부(400)의 모터 체결부(440)는 다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 모터부(500)의 일단부(즉, 모터(510))에 결합 고정되어 있다. 또한, 실린더부(400)의 실린더 가이드부(430)의 일단부에는 메커니즘 체결부(410)의 왕복 운동을 가이드하기 위한 홀을 형성되어 있고, 다른 일단부에는 모터 체결부(440)와 일체형으로 형성되어 있다.In other words, the
그리고 왕복 운동부(420)의 일단부가 메커니즘 체결부(410)와 일체형으로 형성되고, 다른 일단부가 모터부(500)의 실린더 체결부(530)와 결합 고정되어 있고 모터부(500)의 볼 스크류부(520)가 삽입될 수 있도록 홈이 형성되어 있다.One end of the
이에, 왕복 운동부(420)는, 모터부(500)의 볼 스크류부(520)의 회전 운동에 따라 왕복 운동하는 실린더 체결부(530)에 의해서 실린더 가이드부(430) 내에서 왕복 이동하며, 이에 따라 일단부에 형성된 메커니즘 체결부(410)를 왕복 이동하도록 한다.The
두 번째로, 일반 상태의 밸브 구동 시에 모터부(500)의 구동 없이 실린더부(400)를 사용하도록 하는데, 이때 실린더부(400)는, 바로 직접 실린더 왕복 운동시켜 무빙 메커니즘부(200)를 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동시켜 줌으로써, 일반 사용에 의해 전기를 절약할 수 있고 빠른 밸브 개폐 동작을 수행할 수도 있다.Secondly, the
그러면, 일단부가 실린더부(400)의 일단부에 결합 고정된 무빙 메커니즘부(200)는, 실린더부(400)의 왕복 운동에 따라 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동하여 통로의 개폐 동작을 수행하도록 한다.The moving
다시 말해서, 실린더부(400)의 일단부에 결합 고정된 실린더 체결부(230)는, 앤드 커버부(300)의 관통 홀(310)를 통해 실린더부(400)의 메커니즘 체결부(410)와 체결되어 있으며, 또한 블레이드부(210)의 일단부에 설치되어 있으므로, 실린더부(400)의 메커니즘 체결부(410)의 왕복 운동에 따라 블레이드부(210)를 왕복 이동시켜 준다.In other words, the
이에, 블레이드부(210)는, 슬라이드부(130)에 형성된 슬라이드 홈을 따라 왕복 이동하여 차단 홈부(140)에 삽입되거나 이탈됨으로써, 통로(110)의 개폐 동작을 수행하여 유체를 차단 또는 개방하도록 한다. 특히, 블레이드부(210)가 차단 홈부(140)로 삽입되는 경우, 블레이드부(210)의 양쪽 단면 위에 각각 형성된 오링부(220)는, 차단 홈부(140)와 밀착되어 밀폐시켜 줌으로써 유체를 차단시켜 주도록 한다.
The
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims It can be understood that
100: 메인 바디부
110: 통로
121, 122: 밀폐 결합부
130: 슬라이드부
140: 차단 홈부
154: 커버 결합부
200: 무빙 메커니즘부
210: 블레이드부
220: 오링부
230: 실린더 체결부
300: 앤드 커버부
310: 관통 홀
400: 실린더부
410: 메커니즘 체결부
420: 왕복 운동부
430: 실린더 가이드부
440: 모터 체결부
500: 모터부
510: 모터
520: 볼 스크류부
530: 실린더 체결부
100: Main body part
110: passage
121 and 122:
130:
140:
154:
200: Moving mechanism part
210:
220: O-
230: cylinder fastening portion
300: End cover part
310: Through hole
400:
410: Mechanism fastening part
420: reciprocating motion part
430: Cylinder guide portion
440: motor coupling portion
500: motor section
510: Motor
520: ball screw part
530:
Claims (8)
상기 메인 바디부 내에서 왕복 이동하여 통로의 개폐 동작을 수행하는 무빙 메커니즘부;
상기 메인 바디부의 일측면에 결합 고정된 앤드 커버부;
상기 앤드 커버부를 통해 상기 무빙 메커니즘부의 일단부에 결합 고정되며, 상기 메인 바디부의 내부에서 상기 무빙 메커니즘부를 왕복 이동시켜 주는 실린더부;
상기 실린더부의 일단부에 연결 고정되며, 모터의 회전 운동을 왕복 운동으로 변환시키는 모터부를 포함하고,
상기 실린더부는,
상기 앤드 커버부를 통해 상기 무빙 메커니즘부의 일단부에 결합 고정되는 메커니즘 체결부;
상기 메커니즘 체결부가 일단부에서 연결되고, 상기 모터부가 다른 일단부에서 연결되어, 상기 모터부에서 변환된 왕복 운동에 따라 상기 메커니즘 체결부를 왕복 이동시켜 주는 왕복 운동부; 및
상기 메커니즘 체결부의 왕복 운동을 가이드하기 위한 홀을 구비하며, 상기 왕복 운동부의 왕복 운동을 가이드하는 실린더 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
A main body portion which is sealed between both side surfaces of the passages through which the fluid flows and is installed between the passages;
A moving mechanism moving reciprocally in the main body to perform opening and closing operations of the passages;
An end cover coupled to one side of the main body;
A cylinder part coupled to one end of the moving mechanism part through the end cover part and reciprocating the moving mechanism part within the main body part;
And a motor part connected to one end of the cylinder part and adapted to convert a rotational motion of the motor into a reciprocating motion,
Wherein,
A mechanism fastening part coupled to the one end of the moving mechanism part through the end cover part;
A reciprocating unit for reciprocating the mechanism fastening part in accordance with the reciprocating motion converted by the motor part, the reciprocating part being connected to the one end of the mechanism fastening part and the other end part of the motor part; And
And a cylinder guide portion having a hole for guiding the reciprocating motion of the mechanism coupling portion and guiding the reciprocating motion of the reciprocating portion.
관통 홀을 구비하고 해당 관통 홀을 통해 상기 무빙 메커니즘부의 일단부와 상기 실린더부의 일단부를 서로 결합 고정하여, 상기 무빙 메커니즘부가 상기 메인 바디부 내에서만 왕복 이동하도록 하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
The apparatus according to claim 1,
And one end of the moving mechanism and one end of the cylinder are coupled and fixed to each other through the corresponding through hole so that the moving mechanism reciprocates within the main body only.
회전 운동하도록 하기 위한 모터;
상기 모터의 회전 운동에 의해 회전하는 볼 스크류부; 및
상기 실린더부의 일단부에 연결 고정되며, 상기 볼 스크류부의 회전에 따라 왕복 운동하여 상기 실린더부의 일단부를 왕복 이동시켜 주는 실린더 체결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
The motor control apparatus according to claim 1,
A motor for rotating the motor;
A ball screw unit rotated by the rotation of the motor; And
And a cylinder fastening part connected to one end of the cylinder part and reciprocating with the rotation of the ball screw part to reciprocate one end of the cylinder part.
다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 상기 모터부의 일단부를 결합 고정시켜 주기 위한 모터 체결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
2. The fuel cell system according to claim 1,
Further comprising a motor fastening portion having a plurality of holes to fasten one end portion of the motor portion in a bolt fastening manner.
상기 모터부의 실린더 체결부가 상기 왕복 운동부의 다른 일단부에서 결합 고정되며, 상기 실린더 체결부의 왕복 운동에 의해 상기 실린더 가이드부 내에서 왕복 이동되어 상기 왕복 운동부의 일단부에서 연결된 메커니즘 체결부를 왕복 이동시켜 주는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
2. The apparatus according to claim 1,
The cylinder fastening portion of the motor portion is engaged and fixed at the other end portion of the reciprocating portion and is reciprocated in the cylinder guide portion by the reciprocating motion of the cylinder fastening portion to reciprocate the mechanism fastening portion connected at one end of the reciprocating portion And the gate valve device.
상기 메인 바디부 내에서 왕복 이동하여 상기 통로의 개폐 동작을 수행하는 블레이드부;
상기 블레이드부의 양쪽 단면 위에 각각 형성된 오링부; 및
상기 실린더부의 일단부를 결합 고정되어, 상기 실린더부의 일단부의 왕복 운동에 따라 상기 블레이드부를 왕복 이동시켜 주는 실린더 체결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
The apparatus according to claim 1, wherein the moving mechanism includes:
A blade portion reciprocating within the main body portion to perform opening and closing operations of the passage;
An o-ring portion formed on both end faces of the blade portion; And
Further comprising a cylinder engaging portion fixedly coupled to one end of the cylinder portion and reciprocating the blade portion in accordance with a reciprocating motion of the one end portion of the cylinder portion.
양 측면에 각각 형성되어 통로의 각 측면에 각각 밀폐 결합하여 통로 측면 사이에 설치되는 밀폐 결합부;
슬라이드 홈을 형성시켜 상기 무빙 메커니즘부를 슬라이드 가이딩하기 위한 슬라이드부;
홈을 형성시켜 홈으로 상기 무빙 메커니즘부가 삽입되도록 하기 위한 차단 홈부; 및
상기 슬라이드부의 일단부에 형성되어 상기 앤드 커버부를 결합 고정시켜 주기 위한 커버 결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.[2] The apparatus of claim 1,
A hermetically sealed portion formed on both side surfaces of the passage and hermetically coupled to the respective side surfaces of the passage and provided between the side surfaces of the passage;
A slide part for forming a slide groove and slidingly guiding the moving mechanism part;
A blocking groove portion for forming the groove and inserting the moving mechanism portion into the groove; And
And a cover engaging part formed at one end of the slide part for engaging and fixing the end cover part.
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KR102474321B1 (en) * | 2020-12-27 | 2022-12-06 | (주)코셈 | Field emission scanning electron microscope having improved image charging effect of vacuum switching unit |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS6435188A (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-06 | Canon Kk | Vacuum valve |
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2012
- 2012-11-23 KR KR1020120133600A patent/KR101422201B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS6435188A (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-06 | Canon Kk | Vacuum valve |
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