KR101408766B1 - 유량의 균일 분사를 위한 에어 나이프 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유랑의 균일 분사를 위한 에어 나이프 에 관한 것이고 구체적으로 에어 갭을 통하여 분사되는 유체가 정해진 거리까지 균일하게 분사될 수 있도록 하면서 이와 동시에 에어 갭의 간격 조절이 가능하도록 하는 유량의 균일 분사를 위한 에어 나이프 에 관한 것이다. 에어 나이프는 몸체(11) 내부에 형성된 압력 제어 공간(112); 압력 제어 공간(112)과 연결되고 몸체(11)의 한쪽 면을 따라 연장되는 분사 가이드(113); 몸체(11)의 한쪽 면에 결합되는 커버(12); 분사 가이드(113)과 커버(12)의 한쪽 면에 의하여 형성되는 분사 갭(13); 및 유체의 유입을 위한 커넥터를 포함하고, 상기 분사 가이드(113)은 압력 제어 공간(112)의 한쪽 면과 연결이 되어 커넥터를 통하여 유입된 유체는 압력 제어 공간(112)에서 유로가 변경되고 압력 제어 공간(112)의 압력에 의하여 분사 갭(13)을 통하여 분사된다.

Description

유량의 균일 분사를 위한 에어 나이프{Air Knife}
본 발명은 유랑의 균일 분사를 위한 에어 나이프 에 관한 것이고 구체적으로 에어 갭을 통하여 분사되는 유체가 정해진 거리까지 균일하게 분사될 수 있도록 하면서 이와 동시에 에어 갭의 간격 조절이 가능하도록 하는 유량의 균일 분사를 위한 에어 나이프 에 관한 것이다.
반도체 기판 또는 엘시디 기판의 제조 과정에서 표면에 존재하는 미세 입자 또는 이물질은 제품 전체의 불량을 발생시킬 수 있다. 그러므로 반도체 제품, 엘시디와 같은 표시 장치 또는 카메라 모듈의 제조 과정에서 표면에 존재하는 이물질에 해당하는 입자가 제거될 필요가 있다. 이와 같은 이물질의 제조는 제품의 다양한 제품의 제조 공정에서 요구되고 다양한 세정 관련 기술이 개발되고 있다.
일반적으로 세정을 위하여 화학 약품, 증류수 또는 공기가 사용될 수 있고 에어 나이프는 공기의 분사를 이용하여 이물질을 제거하거나 건조를 위하여 사용될 수 있다. 다양한 구조로 가지는 에어 나이프가 세정 또는 건조 공정에 적용되고 있다.
에어 나이프와 관련된 선행기술로 특허공개번호 제2003-0070172호 ‘PDP 제조용 에어나이프’가 있다. 상기 선행기술은 에어나이프 노즐 갭을 0.02 ㎜까지 구현할 수 있을 뿐만 아니라 에어나이프로부터 분사되는 압축 공기의 유량과 압력 분포를 전체적으로 균일하게 유지할 수 있는 PDP 제조용 에어나이프를 제공하는 것을 목적으로 한다. 위와 같은 목적을 위하여 선행기술은 상판과 하판으로 이루어져 내부에 공간부가 형성되는 몸체와, 상기 상판 또는 하판 중 어느 한쪽에 형성되는 공기 주입구와, 상기 상판과 하판 사이의 일단에 미세한 갭이 길이 방향으로 형성되는 노즐과, 상기 상판 또는 하판 중 어느 하나에 노즐이 형성된 부분을 제외한 공간부 둘레에 형성되는 오목 홈과, 상기 오목 홈에 결합되는 패킹 부재와, 상기 상판 및 하판을 체결하기 위해 몸체의 가장자리 둘레를 따라 일정한 간격으로 체결되는 체결 부재와, 상기 노즐의 갭을 미세 조절하기 위해 몸체의 일단에 체결되는 조절 부재를 포함하는 PDP 제조용 에어 나이프에 대하여 개시한다.
에어 나이프와 관련된 다른 선행기술로 특허공개번호 제2005-0006332호 ‘엘씨디 패널 건조 장치의 에어 나이프 구조’가 있다. 상기 선행기술은 공기 분사 방식으로 건조시키는 LCD 패널의 건조 장치에서 에어 나이프의 토출구를 통해 분사되는 공기의 일률성을 향상시킴과 동시에 조립 볼트공 부위에 발생되는 누출 구멍으로 인해 분사 공기의 일률성 및 인입된 공기의 손실을 최소화하도록 하는 LCD 패널 건조 장치의 에어나이프 구조를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이와 같은 목적을 위하여 상기 선행기술은 압축기로부터 공급되는 압축 공기를 내부로 유입시키도록 공기 유입 파이프를 양단에 설치하고, 유입된 공기를 유출시키도록 유출공을 하부면에 다수 개가 형성되고 내부에 공간을 갖는 사각 형상의 공기 유입 블록과 상기 공기 유입 블록과 일측단이 결합되고 타측단에는 분사공이 형성된 공기 분사 블록으로 구성되어 공기를 강한 압력으로 분사시켜 LCD 패널 표면의 세척액 및 파티클을 제거하도록 하는 LCD 패널 건조 장치의 에어나이프 구조에 관한 것으로 상기 공기 분사 블록에 공기 유입 블록의 유출공과 연결되는 공기 유도로를 다수 개 형성하고, 공기 유도로로부터 연장되면서 폭의 변화를 가지며 다단으로 굴곡이 되어 다수의 모서리가 형성된 오리피스 경로를 형성하고 오리피스 경로의 단부에 분사공이 형성된 LCD 패널 건조장치의 에어나이프에 대하여 개시한다.
에어나이프와 관련된 다른 선행기술로 국제공개번호 WO 2006/053115호 ‘에어나이프’가 있다. 상기 선행기술은 에어 커튼을 발생시키기 위한 유체 배출 장치를 제공하는 것을 목적으로 공기 유입 챔버와 공기 유출 챔버를 구비하는 바디 부재를 포함하는 에어 커튼 발생용 유체 배출 장치에 관한 것으로 상기 공기 유출 챔버는 공기 유입 챔버와 유체 연통하며 상기 바디 부재는 유체가 본체로부터 통과하여 배출되는 배출 오리피스를 형성하며, 이 배출 오리피스는 공기 유출 챔버와 유체 연통하며, 상기 공기 유출 챔버는 한 쌍의 대향 측벽을 구비하고, 각 측벽은 각진 측벽부를 구비하며, 각진 측벽부는 배출 오리피스를 향하여 하류 방향으로 연장됨에 따라 서로를 향하여 수렴하도록 배치되어, 유체를 배출 오리피스를 향하여 안내 및 지향시키는 대략 V 형상의 도입부를 형성하며, 상기 배출 오리피스는 제1 및 제2 에지에 의해 형성되고, 제1 에지는 제2 에지를 지나서 하류 방향으로 연장되는 연장 벽부에 의해 형성되어 배출 오리피스를 지나서 연장하는 유체 배출용 편향면을 형성하는 유체 배출 장치에 개시하고 있다.
상기 선행기술은 에어 갭의 조절이 어렵고 실질적으로 내부 압력에 의하여 공기가 배출되는 구조를 가지지 못하므로 균일한 공기 분사가 어렵다는 문제점을 가진다. 다른 한편으로 에어 갭의 조절에 의하여 필요에 따라 공기 또는 물과 같이 다양한 유체의 분사가 불가능하다는 문제점을 가진다.
본 발명은 선행기술이 가진 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.
본 발명의 목적은 이중 공간을 형성하여 내부의 균일한 압력에 의하여 유체가 균일하게 분사될 수 있으면서 에어 갭의 조절이 가능하도록 하는 에어 나이프를 제공하는 것이다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 에어 나이프는 몸체 내부에 형성된 압력 제어 공간; 압력 제어 공간과 연결되고 몸체의 한쪽 면을 따라 연장되는 분사 가이드; 몸체의 한쪽 면에 결합되는 커버; 분사 가이드와 커버의 한쪽 면에 의하여 형성되는 분사 갭; 및 유체의 유입을 위한 커넥터를 포함하고, 상기 분사 가이드는 압력 제어 공간의 한쪽 면과 연결이 되어 커넥터를 통하여 유입된 유체는 압력 제어 공간에서 유로가 변경되고 압력 제어 공간의 압력에 의하여 분사 갭(13)을 통하여 분사된다.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 유체의 분사 방향에 대하여 커버의 연장 길이가 몸체의 연장 길이에 비하여 크다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 몸체와 커버 사이에 설치되는 갭 제어 슬릿을 더 포함한다.
본 발명에 따른 에어 나이프는 이중 공간을 형성하여 유체를 분사시키는 것에 의하여 균일한 유체의 분사가 가능하도록 한다는 이점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 에어 나이프 는 에어 갭의 조절을 통하여 공기 또는 물의 분사가 가능하도록 하고 이로 인하여 건조 장치 또는 세척 장치로 사용될 수 있도록 한다는 장점을 가진다. 추가로 본 발명에 따른 에어 나이프 는 에어 갭을 조절하는 것에 의하여 유량 및 분사 거리가 제어되도록 하고 그리고 다양한 소재에 따라 다양한 형태의 분사 제어를 통하여 피세정물의 보호가 가능하도록 한다는 장점을 가진다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 에어 나이프의 몸체, 커버 및 갭 제어 슬릿의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 에어 나이프의 실시 예를 도시한 것이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 실시 예의 설명에서 공지된 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 발명의 이해를 위하여 요구되지 않는 경우 설명이 되지 않는다. 다만 이로 인하여 이와 같은 구성요소가 본 발명의 범위에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 에어 나이프의 몸체, 커버 및 갭 제어 슬릿의 실시 예를 도시한 것이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 발명에 따른 에어 나이프는 몸체(11) 내부에 형성된 압력 제어 공간(112); 압력 제어 공간(112)과 연결되고 몸체(11)의 한쪽 면을 따라 연장되는 분사 가이드(113); 몸체(11)의 한쪽 면에 결합되는 커버(12); 분사 가이드(113)와 커버(12)의 한쪽 면에 의하여 형성되는 분사 갭(13); 및 유체의 유입을 위한 커넥터를 포함하고, 상기 분사 가이드(113)는 압력 제어 공간(112)의 한쪽 면과 연결이 되어 커넥터를 통하여 유입된 유체는 압력 제어 공간(112)에서 유로가 변경되고 압력 제어 공간(112)의 압력에 의하여 분사 갭(13)을 통하여 분사된다.
본 발명에 따른 에어 나이프는 LCD 기판과 같이 패널의 표면에 존재하는 이물질 또는 미세 입장의 제거를 위하여 적용될 수 있지만 이에 제한되지 않고 제조 공정에서 세척 또는 건조가 요구되는 임의의 공정에 적용될 수 있다. 또한 에어 나이프는 공기를 비롯한 임의의 유체를 분사시켜 건조 또는 세척을 하는 장치를 포함하고 예를 들어 증류수를 분사시켜 세척을 하는 장치를 포함할 수 있다. 그러므로 에어 나이프에서 분사되는 유체는 공기에 제한되지 않는다.
에어 나이프는 예를 들어 이오나이저를 포함할 수 있고 그리고 집진 장치에 연결되어 사용될 수 있다. 예를 들어 본 발명에 따른 에어 나이프는 집진 장치에 부착되어 설치되거나 또는 에어 나이프의 한쪽 끝에 집진 장치가 설치될 수 있다. 그러므로 본 발명에 따른 장치는 부가적인 장치의 설치에 의하여 제한되지 않는다.
에어 나이프는 몸체(11) 및 커버(12)로 이루어질 수 있고 몸체(12) 내부로 유입된 압축 공기 또는 증류수는 몸체(11)와 커버(12)가 서로 마주보는 면 사이에 형성된 분사 갭(13)을 통하여 외부로 분사될 수 있다. 그리고 필요에 따라 몸체(11) 및 커버(12) 사이의 갭의 크기를 조절하기 위하여 갭 제어 슬릿(16)이 배치될 수 있다. 예를 들어 공기의 분사를 위한 갭의 크기와 증류수의 분사를 위한 갭의 크기는 서로 다를 수 있고 갭 제어 슬릿(16)에 의하여 갭의 크기가 조절될 수 있다.
몸체(11)는 전체적으로 다각 막대 형상을 가질 수 있고 일정 길이로 연장될 수 있지만 임의 의 형상이 될 수 있다. 몸체(11)의 내부에 외부로부터 유입되는 공기 또는 증류수가 체류되어 압력 공간을 형성하는 압력 제어 공간(112)이 형성될 수 있다. 압력 제어 공간(112)은 몸체(11) 내부에 길이 방향으로 형성될 수 있고 예를 들어 원형 또는 사각형의 단면을 가지면서 일정 부피를 형성하도록 만들어질 수 있다. 외부에서 유입이 되는 공기 또는 물과 같은 유체는 일단 압력 제어 공간(112)에 채워지고 이고 인하여 압력 제어 공간(112)은 외부에서 유입되는 유체로 인하여 일정 압력으로 유지될 수 있다.
압력 제어 공간(112)은 몸체(11) 내부에서 빈 공간을 형성하고 외부 유체가 유입되어 체류되는 공간을 형성하게 된다. 압력 제어 공간(112)의 유체는 분사 가이드(113)를 따라 일정한 압력으로 배출될 수 있다.
분사 가이드(113)는 몸체(11)의 전면(111)의 일부를 따라 형성되고 압력 제어 공간(112)에 비하여 충분히 작은 틈 또는 갭을 형성하면서 연장이 될 수 있다. 도 1a에 도시된 것처럼, 전면(111)은 평면 형상이 될 수 있고 분사 가이드(113)는 압력 제어 공간(112)의 한쪽 가장자리로부터 틈을 형성하면서 전면(111)을 따라 일정 길이만큼 연장되는 구조를 가질 수 있다. 구체적으로 압력 제어 공간(112)은 전면(111)을 향하는 면이 개방된 다각형 단면을 가지고 몸체(11)의 길이 방향을 따라 연장되는 구조를 가질 수 있다. 그리고 분사 가이드(113)는 개방 면의 한쪽 변을 따라 전면(111)에 홈을 형성하면서 일정 길이만큼 연장된다. 필요에 따라 유체의 흐름을 유연하게 하도록 하기 위하여 압력 제어 공간(112)과 분사 가이드(113)의 경계면에 유량 연결 면(113a)이 형성될 수 있다. 이와 같은 구조에서 압력 제어 공간(112)과 분사 가이드(113)는 전체적으로 공통적인 개방 면을 형성하면서 연결 공간을 형성하게 된다. 다만 유체가 이동되는 면의 폭 또는 높이는 압력 제어 공간(112)이 분사 가이드(113)에 비하여 충분히 크다. 예를 들어 압력 제어 공간(112)에서 유체의 흐름 방향에 대한 높이는 8 내지 15 ㎜가 되고 그리고 분사 가이드(113)에서 높이는 1.0 내지 3.0 ㎜가 될 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 다른 한편으로 유량 연결 면(113a)은 곡면이 되거나 또는 꺾인 면을 형성하면서 압력 제어 공간(112)과 분사 가이드(113)의 경계면이 직각이 아닌 경사각이 되도록 한다. 예를 들어 유량 연결 면(113a)과 압력 제어 공간(112) 또는 유량 연결 면(113a)과 분사 가이드(113)는 대략적으로 135°가 되도록 할 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 예를 들어 유량 연결 면(113a)은 곡면이 될 수 있다.
분사 가이드(113)의 폭 또는 전면(111)을 따라 연장되는 길이는 에어 나이프의 분사 폭 또는 분사 거리에 영향을 미칠 수 있다. 예를 들어 분사되는 유체는 정해진 면에 도달될 수 있어야 하고 그리고 미리 결정된 분사 폭을 가질 필요가 있다. 이를 위하여 분사 가이드(113)의 연장 길이는 압력 제어 공간(112)의 경계 면으로부터 6.0 내지 7.0 ㎜가 될 수 있고 그리고 분사 가이드(113)로부터 유체가 유도되는 전면(111)의 나머지 길이는 6.5 내지 7.5 ㎜가 될 수 있다. 제시된 치수는 예시적인 것으로 에어 나이프의 용도 또는 유입되는 유체의 양에 따라 다양한 치수가 본 발명에 따른 에어 나이프에 적용이 될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
몸체(11)의 전면(111)과 마주보는 반대쪽 면에 경사 면(111a)이 형성될 수 있다. 경사 면(111a)은 유체가 배출되는 분사 갭(13)이 형성을 위한 것이다. 분사 갭(13)은 분사 가이드(113)의 앞쪽에 형성될 수 있고 아래에서 설명되는 커버(12)가 몸체(11)에 결합되는 것에 의하여 형성될 수 있다.
커버(12)는 몸체(11)의 전면(111)에 적절한 고정 수단(B1, B2)에 의하여 결합되어 분사 갭(13)이 형성되도록 할 수 있다.
도 1b에 도시된 커버(12)는 몸체(11)의 전면(111)에 결합될 수 있고 전체적으로 판 형상을 가질 수 있다. 커버(12)의 대향 면(121)은 전면(111)과 일정거리 만큼 이격이 되어 마주보게 되고 이격된 틈은 분사 갭(13)을 형성하게 된다. 그리고 이격 거리는 예를 들어 아래에서 설명이 되는 갭 제어 슬릿(16) 또는 다른 적절한 수단에 의하여 제어될 수 있다.
커버(12)는 대향 면(121)과 경사 면(122)을 가지면 외부 면으로 이루어질 수 있고 대향 면(121)의 폭은 몸체(11)의 전면(111)의 폭에 비하여 클 수 있다. 예를 들어 몸체(11)의 전면(111)의 폭은 40 내지 45 ㎜가 되고 그리고 대향 면(121)의 폭은 43 내지 50 ㎜가 되면서 분사 갭(13)의 방향으로 대향 면(121)이 돌출될 수 있다. 돌출이 되는 길이는 예를 들어 2.8 내지 4.0 ㎜가 될 수 있다. 돌출되는 길이는 유체를 유도하는 기능을 가질 수 있고 만약 돌출되는 길이가 제시된 길이보다 작은 경우 분사 각도가 커지거나 직진성이 떨어질 수 있다. 이에 비하여 돌출되는 길이가 제시된 길이에 비하여 커지는 경우 유체가 면과 접촉하는 거리가 증가하여 마찰력으로 인하여 유속이 감소될 수 있다.
위에서 제시된 치수는 상대적인 것으로 이해되어야 하고 그리고 몸체(11) 내부로 유입되는 기체의 양 또는 압력에 따라 적절하게 조절될 수 있다. 커버(12)에 형성된 경사 면(122)은 몸체(11)의 경사 면(111a)과 유사하게 분사 갭(13)의 형성을 위한 것이다.
몸체(11)와 커버(12) 사이에 형성되는 이격 거리 또는 갭을 통하여 유체가 분사 갭(13)을 통하여 외부로 분사가 될 수 있다. 분사 갭(13)은 다양한 방법으로 형성될 수 있고 분사 갭(13)의 형성 방법은 몸체(11)와 커버(12)의 결합 방법에 의하여 결정되거나, 별도로 전면(111)과 대향 면(121) 사이에 기하학적으로 이격 틈을 형성하거나 또는 전면(111)과 대향 면(121) 사이에 적절한 제어 슬릿을 삽입하는 방법으로 형성될 수 있다.
도 1b의 아래쪽 부분에 도시된 것처럼, 몸체(11)와 커버(12) 사이에 갭 제어 슬릿(16)이 삽입될 수 있다.
갭 제어 슬릿(16)은 몸체(11)와 동일한 방향으로 연장이 되면서 충분히 작은 두께로 형성되는 차단 몸체(161) 및 측면 고정 유닛(162a, 162b)으로 이루어질 수 있다. 차단 몸체(161)는 유체가 몸체(11)의 뒤쪽 방향으로 흐르는 것을 방지하는 한편 적절한 두께를 유지하는 것에 의하여 유체가 분사 갭(13)의 방향으로 유도될 수 있도록 한다.
측면 고정 유닛(162a, 162b)은 에어 나이프의 양쪽 측면으로 유체가 흐르는 것을 방지하는 기능을 가질 수 있으므로 몸체(11)와 동일 또는 유사한 폭 또는 높이가 되도록 형성될 수 있다. 그리고 차단 몸체(161)의 폭 또는 높이는 몸체 전면(111)의 폭 또는 높이에 비하여 작도록 형성될 수 있다. 바람직하게 차단 몸체(161)의 폭 또는 높이는 전면(111)에서 압력 제어 공간(122)의 아래쪽 부분 또는 분사 갭(13)이 형성되는 부분의 반대쪽 부분의 길이와 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다. 예를 들어 압력 제어 공간(112)의 아래쪽 부분의 폭 또는 높이가 18 내지 20 ㎜가 된다면 차단 몸체(161)의 폭 또는 높이는 16 내지 20 ㎜가 될 수 있지만 이에 제한되지 않는다.
갭 제어 슬릿(16)에 의하여 유체가 분사되는 갭의 간격이 결정될 수 있다. 다른 한편으로 유체의 종류 또는 에어 나이프가 적용되는 대상에 따라 갭의 간격이 적절하게 조절이 될 필요가 있다. 갭 제어 슬릿(16)의 두께에 의하여 분사 갭(13)의 두께가 결정될 수 있고 갭 제어 슬릿(16)의 두께는 예를 들어 0.01 ㎜ 내지 0.5 ㎜, 바람직하게 0.03 내지 0.3 ㎜ 그리고 가장 바람직하게 0.05 내지 0.25 ㎜가 될 수 있다.
갭 제어 슬릿(16)은 두께 조절이 가능하도록 형성될 수 있다. 두께 조절을 위하여 예를 들어 두께가 서로 다른 갭 제어 슬릿(16)으로 교체하는 것이 고려될 수 있다. 이와 같은 경우 갭 제어 슬릿(16)은 교체 가능하도록 또는 분리 가능하도록 몸체(11) 및 커버(12) 사이에 고정 수단(B3, B4)에 의하여 결합될 수 있다. 대안으로 차단 몸체(161)를 탄성 소재로 형성할 수 있고 그리고 가해지는 압력에 따라 두께가 변화되도록 형성할 수 있다. 또 다른 대안으로 차단 몸체(161) 자체를 폭 또는 높이 방향으로 서로 다른 두께가 되도록 형성하고 그리고 갭 제어 슬릿(16)이 분사 갭(13) 방향으로 삽입 길이가 조절되도록 형성될 수 있다.
다양한 방법으로 갭 제어 슬릿(16)의 두께가 제어될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
몸체(11), 커버(12) 및 갭 제어 슬릿(16)은 다양한 구조로 형성되어 고정 수단(B1, B2, B3, B4)에 의하여 결합될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
아래에서 본 발명에 따른 에어 나이프에서 유체가 분사되는 과정에 대하여 설명이 된다.
도 2는 본 발명에 따른 에어 나이프의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2의 위쪽은 에어 나이프(10)의 전면 및 측면을 각각 도시한 것이고 그리고 아래쪽은 뒤쪽 면을 도시한 것이다.
도 2를 참조하면, 커넥터(21)를 통하여 에어 나이프(10)의 몸체 내부로 공기 또는 물과 같은 유체가 공급될 수 있고 그리고 공급된 유체는 압력 제어 공간(112)으로 공급이 될 수 있다. 압력 제어 공간(112)은 유체의 공급으로 인하여 공간 전체가 유체로 채워지면서 일정한 압력으로 유지될 수 있다. 압력 제어 공간(112)의 유체는 분사 가이드(113)를 통하여 일정한 폭을 가지면서 길이 방향에 대하여 전체적으로 일정한 압력으로 공급이 될 수 있다. 이후 유체는 몸체(11)의 전면(111)과 커버(12)의 대향 면(121) 사이에 형성되고 분사 가이드(113)와 연결되는 분사 갭(13)을 통하여 분사될 수 있다. 분사 갭(13)의 간격은 위에서 설명이 된 것처럼, 갭 제어 슬릿(16)에 의하여 조절될 수 있다. 분사 갭(13)을 통하여 분사되는 유체는 전체적으로 얇은 천과 같은 형상을 가지면서 에어 나이프(10) 외부로 분사될 수 있다.
분사 갭(13)의 간격이 조절될 필요가 있는 경우 갭 제어 슬릿(16)이 교체되거나 또는 갭 제어 슬릿(16)을 분사 갭(13)의 방향으로 삽입 깊이가 조절될 수 있다. 몸체(11)와 커버(12)는 다양한 고정 수단(B4, B5, B6)에 의하여 서로 결합이 될 수 있고 갭 제어 슬릿(16)은 분리 가능하도록 결합될 수 있다.
도 2에 도시된 것처럼, 분사 갭(13)이 형성되는 위치에서 커버(12)는 몸체(11)에 비하여 외부로 일정 길이만큼 돌출이 될 수 있고 몸체(11)의 경사 면(111a)과 커버(12)의 경사 면(122)에 의하여 분사 갭(13)의 날카로운 끝 부분이 형성될 수 있다. 커버(12)의 돌출 부분과 에어 나이프(10)의 날카로운 끝 부분은 유체가 일정한 폭으로 정해진 위치로 분사될 수 있도록 한다.
본 발명에 따른 에어 나이프(10)는 엘시디 기판, 웨이퍼 또는 이와 유사한 기판의 이물질을 공기 또는 증류수에 의하여 세척이 될 수 있도록 한다. 다른 한편으로 본 발명에 따른 에어 나이프(10)는 공기 건조에 적용될 수 있다. 필요에 따라 이오나이저가 함께 적용이 될 수 있고 집진 설비가 함께 사용될 수 있다. 다양한 용도로 본 발명에 따른 에어 나이프(10)가 적용될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 의하여 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 에어 나이프는 이중 공간을 형성하여 유체를 분사시키는 것에 의하여 균일한 유체의 분사가 가능하도록 한다는 이점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 에어 나이프 는 에어 갭의 조절을 통하여 공기 또는 물의 분사가 가능하도록 하고 이로 인하여 건조 장치 또는 세척 장치로 사용될 수 있도록 한다는 장점을 가진다. 추가로 본 발명에 따른 에어 나이프 는 에어 갭을 조절하는 것에 의하여 유량 및 분사 거리가 제어되도록 하고 그리고 다양한 소재에 따라 다양한 형태의 분사 제어를 통하여 피세정물의 보호가 가능하도록 한다는 장점을 가진다.
위에서 본 발명의 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
11; 몸체 12: 커버
13: 분사 갭 16: 갭 제어 슬릿
111: 전면 112: 압력 제어 공간
113: 분사 가이드 113a: 유량 연결 면
121: 대향 면 122: 경사 면

Claims (3)

  1. 몸체(11) 내부에 길이 방향으로 형성된 압력 제어 공간(112);
    압력 제어 공간(112)과 연결되고 몸체(11)의 한쪽 면을 따라 연장되는 분사 가이드(113);
    몸체(11)의 한쪽 면에 결합되는 커버(12);
    몸체(11)의 전면(111)과 커버(12)의 대향 면(121) 사이에 형성되고 분사 가이드(113)와 연결되는 분사 갭(13); 및
    몸체(11)의 내부로 유체를 유입시키기 위하여 커넥터(21)를 포함하고,
    상기 압력 제어 공간(112)과 분사 가이드(113)의 경계 면에 곡면 또는 꺾인 면으로 유량 연결 면(113a)이 형성되고, 압력 제어 공간(112)은 분사 가이드(113)에 비하여 큰 부피 공간을 형성하면서 분사 가이드(113)는 분사 갭(13)에 비하여 전면(111)을 기준으로 큰 높이를 가지도록 분사 가이드(113)와 압력 제어 공간(112)의 경계면으로부터 연장되는 것에 의하여 상기 커넥터(21)를 통하여 유입된 유체는 압력 제어 공간(112)에 체류되면서 일정 압력으로 유지되고 이로 인하여 압력 제어 공간(112)의 유체는 균일한 압력으로 분사 가이드(113)로 유도되고, 분사 가이드(113)의 연장 길이는 압력 제어 공간(112)의 경계 면으로부터 6.0 내지 7.0 ㎜가 되고 그리고 분사 가이드(113)의 끝 부분으로부터 분사 갭(13)에 이르는 유체가 유도되는 전면(111)의 나머지 길이는 6.5 내지 7.5 ㎜가 되는 것을 특징으로 하는 유량의 균일 분사를 위한 에어 나이프.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서, 몸체(11)와 커버(12) 사이에 설치되고 차단 몸체(161) 및 측면 고정 유닛(162a, 162b)으로 이루어진 갭 제어 슬릿(16)을 더 포함하고, 상기 차단 몸체(16)는 가해지는 압력에 따라 변화되는 탄성 소재로 형성되거나 또는 폭 또는 높이 방향으로 서로 다른 두께로 형성되면서 분사 갭(13)의 방향으로 삽입 길이가 조절되도록 형성된 것을 특징으로 하는 균일 분사를 위한 에어 나이프.
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