KR101395258B1 - Scanning electron microscope with detatchable vaccum chamber unit and scanning method using the same - Google Patents

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KR101395258B1 KR1020130143200A KR20130143200A KR101395258B1 KR 101395258 B1 KR101395258 B1 KR 101395258B1 KR 1020130143200 A KR1020130143200 A KR 1020130143200A KR 20130143200 A KR20130143200 A KR 20130143200A KR 101395258 B1 KR101395258 B1 KR 101395258B1
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plate
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임선종
최지연
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한국기계연구원
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Abstract

The present invention relates to an electron microscope and, more specifically, to an electron microscope with a detachable vacuum chamber unit installing a detachable vacuum chamber to scan a specimen being the object of scanning even when the size of the specimen is large by moving as needed, thereby improving convenience relative to conventional usage; and to a scanning method using the same.

Description

탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경 및 이를 이용한 검사 방법{SCANNING ELECTRON MICROSCOPE WITH DETATCHABLE VACCUM CHAMBER UNIT AND SCANNING METHOD USING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electron microscope equipped with a vacuum chamber unit,

본 발명은 전자 현미경에 대한 것으로서 특히 진공 챔버를 탈부착 가능하게 설치하여 검사 대상이 되는 시편의 크기가 큰 경우에도 필요에 따라 이동하여 검사할 수 있도록 하여 종래보다 사용상의 편의성이 증진되는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경 및 이를 이용한 검사 방법에 대한 것이다.The present invention relates to an electron microscope, and more particularly, to a vacuum degassing method and a vacuum degassing method in which a vacuum chamber is detachably installed so that even when the size of a specimen to be inspected is large, An electron microscope having a vacuum chamber unit, and an inspection method using the same.

근래, 초 미세 가공 기술의 발달에 따라 나노(nano : n,nm)치수를 균일성 있게 대량으로 가공 할 수 있는 나노가공장치들이 지속적으로 개발되는 것에 부응하여 나노 가공장치에서 가공된 초 미세 가공품을 측정하기 위한 장비로서 나노 계측기인 전자 현미경(Scanning Electron Microscope : SEM)의 기술 개발이 지속적으로 발전하고 있다.2. Description of the Related Art In recent years, in response to the continuous development of nano processing devices capable of mass-processing nano (n, nm) dimensions uniformly in accordance with the development of ultrafine processing technology, The development of the technology of Scanning Electron Microscope (SEM), which is a nano instrument, is continuously developing.

일반적인 전자 현미경(10)은 도 1에서 일부 도시된 바와 같이 진공 챔버의 내측 상부로부터 하부를 향해 전자빔을 발생하는 전자총(11)과, 전자총(11)에서 발생된 전자빔을 여과 및 집속하는 집속 렌즈부(12)와 시편으로 주사되는 전자빔의 편향 각도를 조절하는 주사코일(도시되지 않음)과, 편향 각도가 조절된 전자빔을 시편으로 주사하는 대물 렌즈부(13)와, 시편을 적재하는 시편테이블(도시되지 않음)을 포함한다.1, the general electron microscope 10 includes an electron gun 11 for generating an electron beam from the upper part of the inside of the vacuum chamber to the lower part thereof, a focusing lens unit 11 for filtering and focusing the electron beam generated from the electron gun 11, (Not shown) for adjusting the deflection angle of the electron beam scanned by the specimen, an objective lens unit 13 for scanning the electron beam whose deflection angle is adjusted by the specimen, a specimen table Not shown).

또한, 시편테이블에 인접한 영역의 진공챔버 일측에는 시편과 충돌하여 발생된 2차 전자를 검출하여 이미지 신호로 변환하는 이미지 검출기가 마련되어 있다.An image detector is provided at one side of the vacuum chamber adjacent to the specimen table for detecting secondary electrons generated by collision with the specimen and converting the secondary electrons into an image signal.

이러한 전자 현미경은 전자총으로부터 발생된 전자빔이 집속 렌즈부(12)와 주사코일 및 대물 렌즈부(13)를 거쳐 시편테이블의 시편으로 조사되면, 시편과 충돌된 빔은 투과전자(X-ray)와 2차전자로 생성되고, 이 중 2차전자는 이미지 검출기에 의해 이미지로 표시됨으로써, 디스플레이에 표시된 이미지를 이용하여 시편의 표면 및 각종 치수를 측정할 수 있다. In this electron microscope, when an electron beam generated from an electron gun is irradiated to a specimen of a specimen table through the focusing lens unit 12, the scanning coil, and the objective lens unit 13, the beam colliding with the specimen is transmitted through X- The secondary electrons are displayed as images by the image detector so that the surface of the specimen and various dimensions can be measured using the image displayed on the display.

그런데 상술한 바와 같은 종래의 전자 현미경의 경우 높은 해상도에도 불구하고 시편의 영상을 얻기 위해서 시편을 상기 진공 챔버 내부에 배치해야 하기 때문에 시편의 크기가 큰 경우 상기 시료를 절단하는 등의 전처리 공정이 필요하여 시편 검사에 많은 시간과 노력이 소모되는 문제점이 있었으며 상기 문제점을 해결하기 위해서는 진공 챔버의 크기가 증가되어 진공계 형성에 많은 비용이 소요되는 문제점이 있었다.However, in the case of the conventional electron microscope described above, since the specimen must be disposed inside the vacuum chamber in order to obtain the image of the specimen despite the high resolution, it is necessary to perform a pre-processing such as cutting the specimen when the size of the specimen is large However, there is a problem that much time and effort are required for specimen inspection. To solve the above problem, there is a problem that the size of the vacuum chamber is increased and a large amount of cost is required for forming a vacuum system.

또한, 상기 진공 챔버 내부를 진공으로 형성할 때, 상기 진공 챔버 내부 전 공간을 항상 진공으로 형성해야 해서 진공계 형성에 더욱 많은 비용이 소요되는 문제점이 있었다.
Further, when the inside of the vacuum chamber is formed into a vacuum, the entire space inside the vacuum chamber must be always formed in a vacuum, which requires a further cost for forming a vacuum system.

한편, 상술한 전자 현미경 자체는 널리 알려진 기술로서 특히 아래의 선행기술문헌에 자세히 기재되어 있는 바, 중복되는 설명과 도시는 생략한다.On the other hand, the above-described electron microscope itself is a well-known technique and is described in detail in the following prior art documents in detail, and thus duplicate description and illustration are omitted.

미국 등록 특허 제8541755호United States Patent No. 8541755 미국 등록 특허 제5376799호United States Patent No. 5376799 미국 등록 특허 제5089708호United States Patent No. 5089708 일본 공개 특허 제2002-289129호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-289129 일본 공개 특허 제2001-148232호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-148232 일본 공개 특허 제1994-099686호Japanese Patent Laid-Open No. 1994-099686 한국 등록 특허 제10-1236489호Korean Patent No. 10-1236489 한국 등록 특허 제10-1216961호Korean Patent No. 10-1216961 한국 등록 특허 제10-1195487호Korean Patent No. 10-1195487 한국 등록 특허 제10-1195486호Korean Patent No. 10-1195486 한국 등록 특허 제10-0962243호Korean Patent No. 10-0962243 한국 등록 특허 제10-0918434호Korean Patent No. 10-0918434 한국 등록 특허 제10-0822791호Korean Patent No. 10-0822791 한국 공개 특허 제2009-0053274호Korean Patent Publication No. 2009-0053274

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서 전자 현미경에 사용되는 진공 챔버를 탈부착 가능하게 설치하여 시편의 크기가 크더라도 시편의 절단 등이 필요 없이 검사하고자 하는 장소에서 진공 챔버를 설치하여 종래보다 편리하고 간단하게 시편을 검사할 수 있는 한편 진공 챔버 내부 일 부분을 구획하여 일정 부분만 진공 형성 및 해제되도록 하여 진공계 형성을 위한 비용을 절감할 수 있는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경을 제공함에 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a vacuum chamber detachably mountable for use in an electron microscope, so that even when the size of a specimen is large, An electron microscope having a vacuum chamber unit capable of inspecting specimens easily and separating a part of the vacuum chamber and forming and releasing only a certain portion of the vacuum chamber so as to reduce the cost for forming a vacuum system, The purpose is to provide.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 전자 현미경(10)의 대물 렌즈부(13)에 탈 부착 가능하게 설치되는 진공 챔버 유닛(100)과, 상기 진공 챔버 유닛(100)의 내부 일 공간을 차단하는 차단 유닛(140)을 포함하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경에 일 특징이 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an electron microscope comprising a vacuum chamber unit (100) detachably attached to an objective lens unit (13) of an electron microscope (10) And a vacuum chamber unit having a detachment type including a blocking unit 140. [

이때, 상기 차단 유닛(140)은 상기 진공 챔버 유닛(100) 내부에 출입하는 차단판(141)과, 상기 차단판(141)을 전후진하는 차단판 구동부(142)를 포함하는 것도 가능하다.The blocking unit 140 may include a blocking plate 141 that enters and exits the vacuum chamber unit 100 and a blocking plate driving unit 142 that moves the blocking plate 141 back and forth.

또한, 상기 차단판 구동부(142)는 상기 차단판(141)에 연결되는 실린더 로드(142b)와, 상기 실린더 로드(142b)를 구동시키는 실린더(142a)를 포함하는 것도 가능하다.The blocking plate driving part 142 may include a cylinder rod 142b connected to the blocking plate 141 and a cylinder 142a driving the cylinder rod 142b.

또한, 상기 차단판 구동부(142)는 상기 진공 챔버 유닛(100) 외측에 설치되는 볼 스크류(142e)와, 상기 볼 스크류(142e)를 회전시키는 액츄에이터(142f)와, 상기 볼 스크류(142e)를 지지하는 지지대(142c)와, 상기 볼 스크류(142e)에 결합되어 전후진 하는 것으로서 상기 차단판(141)이 장착되는 무빙 블록(142d)을 포함하는 것도 가능하다.The blocking plate driving unit 142 includes a ball screw 142e provided outside the vacuum chamber unit 100, an actuator 142f for rotating the ball screw 142e, And a moving block 142d which is coupled to the ball screw 142e and moves back and forth and on which the blocking plate 141 is mounted.

또한, 상기 진공 챔버 유닛(100)의 일 측은 관통부(114)가 형성되어 상기 차단판(141)이 출입하고 타 측 내부는 안착홈(115)이 되어 상기 차단판(141)이 삽입되며, 상기 안착홈(115)에는 거리 측정 센서(S1)가 설치되어 상기 차단판(141)의 진입 거리를 인식하는 것도 가능하다.One side of the vacuum chamber unit 100 is formed with a through hole 114 to allow the blocking plate 141 to enter and exit and the inside of the other side to be a seating groove 115 to insert the blocking plate 141, A distance measuring sensor S1 may be installed in the seating groove 115 so as to recognize the entering distance of the blocking plate 141.

또한, 상기 거리 측정 센서(S1)와 상기 차단판(141)을 구동하는 차단판 구동부(142)에 연결되는 제어부(CON)를 포함하는 것도 가능하다.It is also possible to include a control unit CON connected to the distance measuring sensor S1 and a shield plate driving unit 142 for driving the shield plate 141. [

또한, 상기 진공 챔버 유닛(100)은 중공의 진공 챔버 본체(110)를 포함하되, 상기 진공 챔버 본체(110)의 일 측으로서 상기 대물 렌즈부(13)와 접하는 측면과, 상기 진공 챔버 본체(110)의 타 측으로서 시편 또는 시판이 안착되는 테이블과 접촉하는 측면에 실링 부재(200)가 각각 안착되기 위한 그루브(111,112)가 각각 형성되고, 상기 진공 챔버 본체(110)의 또 다른 측면에 형성되어 석션 유닛(SU)에 의해 내부 공기를 배출하는 배출구(113)를 포함하는 것도 가능하다.The vacuum chamber unit 100 includes a hollow vacuum chamber main body 110 and a side surface of the vacuum chamber main body 110 which is in contact with the objective lens unit 13, Grooves 111 and 112 are formed at the other side of the vacuum chamber main body 110 so that the sealing member 200 is seated on the side contacting the specimen or the table on which the commercial plate is placed. And a discharge port 113 for discharging the internal air by the suction unit SU.

또한, 상기 대물 렌즈부(13)의 일 측으로서 상기 실링 부재(200)가 안착하기 위한 그루브(13a)를 포함하는 것도 가능하다.It is also possible to include a groove 13a for seating the sealing member 200 as one side of the objective lens unit 13. [

또한, 상기 진공 챔버 유닛(100)은 진공 챔버 본체(110)의 일 측에 설치되어 상기 진공 챔버 본체(110)를 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치하는 착탈 부재(300)를 더 포함하되, 상기 착탈 부재(300)는 상기 진공 챔버 본체(110) 일 측에 설치되는 걸림구(310)와, 상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 설치되는 걸림턱(320)을 포함하는 것도 가능하다.The vacuum chamber unit 100 further includes a detachable member 300 installed at one side of the vacuum chamber body 110 to detachably attach the vacuum chamber body 110 to the objective lens unit 13 The detachable member 300 may include a locking hole 310 provided at one side of the vacuum chamber main body 110 and a locking protrusion 320 provided at one side of the objective lens unit 13 Do.

또한, 상기 걸림구(310)는 상기 대물 렌즈부(13)측으로 연장되는 바아 형상이되 끝단부는 후크 형상인 걸림 후크(311)를 포함하고, 상기 걸림턱(320)은 사각형 단면으로서 상기 대물 렌즈부(13)로부터 돌출되어, 상기 걸림 후크(311)가 상기 걸림턱(320)에 걸림되거나 해제되어 상기 진공 챔버 본체(110)가 상기 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치되는 것도 가능하다.The hook 310 may have a bar shape extending toward the objective lens 13 and a hook having a hook shape at an end of the hook 310. The hook 320 may have a rectangular cross section, It is also possible for the vacuum chamber main body 110 to be detachably attached to the objective lens unit 13 so that the hooking hook 311 is hooked or released from the engaging step 320 .

또한, 상기 걸림구(310)는 판체 형상을 가지되 일 측이 상기 진공 챔버 본체(110) 일 부분에 핀 결합되는 회전판(312)과, U 형상이되 개방된 양 단부는 상기 회전판(312)의 회전방향 기준 양 측면에 각각 장치되는 걸림 바아(313)를 포함하고, 상기 걸림턱(320)은 판체 형상으로서 상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 고정되는 고정판(322)과 상기 고정판(322) 일 측에 절곡되어 상기 걸림 바아(312)가 걸림되도록 하는 절곡판(323)을 포함하는 것도 가능하다.The stopper 310 includes a rotary plate 312 having a plate shape and one side of which is connected to a portion of the vacuum chamber main body 110 by a pin and a pair of U- And a locking bar 313 provided on both sides of the rotation direction reference side of the fixing plate 322. The locking tab 320 has a plate shape and is fixed to one side of the objective lens unit 13, And a bent plate 323 which is bent at one side and hooks the latching bar 312.

또한, 본 발명은 상기 전자 현미경을 이용한 검사 방법으로서, 차단판(141)을 진공 챔버 유닛(100) 내부에 진입하는 단계(S110)와, 상기 차단판(141)과 시편 또는 시편이 안착되는 테이블 사이 공간의 진공 상태를 해제하는 단계(S120)와, 전자 현미경을 이동하는 단계(S130)와, 상기 차단판(141)과 시편 또는 시편이 안착되는 테이블 사이 공간을 진공으로하는 단계(S140)와, 상기 차단판(141)을 후퇴하는 단계(S150)와, 시편을 조사하는 단계(S160)를 포함하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경을 이용한 검사 방법에 또 다른 특징이 있다.The inspection method using the electron microscope according to the present invention may further include a step S110 of inserting the blocking plate 141 into the vacuum chamber unit 100 and a step S110 of inserting the blocking plate 141 and the table A step S140 of moving the electron microscope in the vacuum state, a step S140 of vacuuming the space between the blocking plate 141 and the table on which the specimen or the specimen is mounted, (S150) of moving the blocking plate (141) backward, and a step (S160) of irradiating the specimen. The inspection method using an electron microscope having a vacuum chamber unit of a attaching type has another feature.

이때, 상기 차단판(141)을 진공 챔버 유닛(100) 내부에 진입하는 단계(S110) 또는 상기 차단판(141)을 후퇴하는 단계(S150)는 제어부(CON)에 의해 차단판 구동부(142)를 구동하여 차단판(141)을 진공 챔버 유닛(100)에 전후진 시키되, 상기 진공 챔버 유닛(100)의 안착홈(115)에 설치되는 거리 측정 센서(S1)에 의해 상기 차단판(141)의 진입 또는 후퇴 거리를 측정하여 기 설정된 진입 거리만큼 상기 차단판(141)이 진입 또는 후퇴되도록 제어부(CON)가 차단판 구동부(142)를 제어하는 것도 가능하다.At this time, the step of entering the blocking plate 141 into the vacuum chamber unit 100 (S110) or the step of retracting the blocking plate 141 (S150) may be performed by the control unit CON by the blocking plate driving unit 142, The blocking plate 141 is moved back and forth to the vacuum chamber unit 100 by the distance measuring sensor S1 installed in the seating groove 115 of the vacuum chamber unit 100, It is also possible for the control unit CON to control the shutoff plate driving unit 142 so that the shutoff plate 141 enters or retracts by a predetermined entry distance.

또한, 상기 차단판(141)과 시편 또는 시편이 안착되는 테이블 사이 공간을 진공으로하는 단계(S140) 또는 상기 차단판(141)을 후퇴하는 단계(S150)에서, 상기 진공 챔버 유닛(100) 내부로서 상기 차단판(141)과 시편 또는 시편이 안착되는 테이블 사이 공간에 설치되는 압력 센서(S2)와 상기 압력 센서(S2)에 연결되는 제어부(CON)에 의해 기 설정된 진공 압력으로 되었는지를 확인하는 것도 가능하다.
In the step S140 of vacuuming the space between the blocking plate 141 and the table on which the test piece or the sample is placed or the step S150 of withdrawing the blocking plate 141, A pressure sensor S2 provided in the space between the blocking plate 141 and the table on which the test piece or the specimen is placed and a control part CON connected to the pressure sensor S2 confirm whether the vacuum pressure It is also possible.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다라는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Prior to that, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may properly define the concept of the term in order to best explain its invention It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

본 발명에 의하면 시편의 크기가 크더라도 진공 챔버를 탈거한 후 시편을 소정의 위치에 배치한 후 진공 챔버를 설치하여 검사할 수 있어 종래와 같이 시편 절단 등의 작업이 필요없게 되어 보다 편리하고 효율적으로 작업할 수 있으며 진공 챔버 내부 일 부분만 진공 형성하면 되어 진공계 형성에 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, even if the size of the specimen is large, it is possible to inspect the vacuum chamber after disposing the vacuum chamber and dispose the specimen at a predetermined position, And it is possible to reduce the cost of forming a vacuum system by forming only a part of the inside of the vacuum chamber.

도 1a 및 도 1b는 일반적인 전자 현미경 및 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 챔버 유닛 도시하는 개념도,
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 차단 유닛을 설명하는 개념도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 조사 방법을 설명하는 플로우 차트,
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 것으로서, 대물 렌즈부에 탈부착할 수 있도록 하는 착탈부재를 설명하는 개념도이다.1A and 1B are schematic diagrams showing a general electron microscope and a vacuum chamber unit according to an embodiment of the present invention,
2 and 3 are conceptual diagrams illustrating a blocking unit according to an embodiment of the present invention,
4 is a flowchart illustrating an investigation method according to an embodiment of the present invention;
5 and 6 are conceptual diagrams illustrating a detachable member that can be detachably attached to an objective lens unit according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thicknesses of the lines and the sizes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 내려져야 할 것이다.In addition, the terms described below are defined in consideration of the functions of the present invention, which may vary depending on the intention or custom of the user, the operator. Therefore, definitions of these terms should be made based on the contents throughout this specification.

아울러, 아래의 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 본 발명의 청구범위에 제시된 구성요소의 예시적인 사항에 불과하며, 본 발명의 명세서 전반에 걸친 기술사상에 포함되고 청구범위의 구성요소에서 균등물로서 치환 가능한 구성요소를 포함하는 실시예는 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있다.
In addition, the following embodiments are not intended to limit the scope of the present invention, but merely as exemplifications of the constituent elements set forth in the claims of the present invention, and are included in technical ideas throughout the specification of the present invention, Embodiments that include components replaceable as equivalents in the elements may be included within the scope of the present invention.

첨부된 도 1a 및 도 1b는 일반적인 전자 현미경 및 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 챔버 유닛 도시하는 개념도, 도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 차단 유닛을 설명하는 개념도, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 조사 방법을 설명하는 플로우 차트, 도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 것으로서, 대물 렌즈부에 탈부착할 수 있도록 하는 착탈부재를 설명하는 개념도이다.
2 and 3 are conceptual views illustrating a blocking unit according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 4A and 4B are conceptual views illustrating a vacuum chamber unit according to an embodiment of the present invention. FIGS. 5 and 6 are conceptual diagrams illustrating a detachable member that can be detachably attached to an objective lens unit according to an embodiment of the present invention. FIG. 6A and FIG. 6B are flowcharts illustrating an irradiation method according to an embodiment of the present invention.

실시예Example

본 발명은 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이 전자 현미경(10)의 대물 렌즈부(13)에 탈 부착 가능하게 설치되는 진공 챔버 유닛(100)과, 상기 진공 챔버 유닛(100)의 내부 일 공간을 차단하는 차단 유닛(140)을 포함한다.The present invention relates to a vacuum chamber unit 100 that is detachably attached to an objective lens unit 13 of an electron microscope 10 as shown in Figs. 1A and 1B, And a blocking unit 140 for blocking the space.

즉, 종래의 전자 현미경의 경우 진공 챔버가 일체로 설치되는 관계로 시편의 크기가 큰 경우 상기 시료를 절단하는 등의 전처리 공정이 필요하여 시편 검사에 많은 시간과 노력이 소모되는 문제점이 있었으며 시료를 절단하지 않기 위해서는 진공 챔버의 크기를 증가시켜야 해서 진공계 구성에 많은 비용이 소요되는 문제점이 있었다.That is, in the case of a conventional electron microscope, since a vacuum chamber is integrally installed, a pre-process such as cutting the sample is required when the size of the sample is large, so that it takes a lot of time and effort to test the sample. The size of the vacuum chamber must be increased in order to avoid cutting, and thus a large amount of cost is required for the construction of a vacuum system.

본 발명은 이러한 문제점을 해결한 것으로서 진공 챔버 유닛(100)을 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치하여 조사가 필요한 장소마다 옮겨가며 조사할 수 있어 시편을 절단하거나 혹은 진공 챔버의 크기를 증가시킬 필요가 없어 많은 시간과 비용을 절감할 수 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a vacuum chamber unit detachably attachable to an objective lens unit and irradiate the vacuum chamber unit at every place where irradiation is required, It is possible to save a lot of time and money.

또한, 본 발명은 도시된 바와 같이 차단 유닛(140)을 포함하여 진공 챔버 유닛(100)의 내부 일 공간을 차단한다.In addition, the present invention includes a blocking unit 140 as shown to block the internal work space of the vacuum chamber unit 100.

이는 상기 전자 현미경을 조사가 필요한 공간으로 옮기는 경우 진공 챔버 유닛(100)의 일 부분만 진공 해제/ 진공 형성이 되도록 하여 진공계 형성에 소요되는 비용을 줄이기 위함이다.
This is to reduce the cost of forming a vacuum system by vacuum-releasing / vacuum-forming only a part of the vacuum chamber unit 100 when the electron microscope is moved to a space requiring irradiation.

이를 위한 차단 유닛(140)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 상기 진공 챔버 유닛(100) 내부에 출입하는 차단판(141)과, 상기 차단판(141)을 전후진하는 차단판 구동부(142)를 포함할 수 있다.2 and 3, the blocking unit 140 includes a blocking plate 141 for entering and exiting the inside of the vacuum chamber unit 100, a blocking plate driving unit for moving the blocking plate 141 forward and backward 142).

즉, 상기 진공 챔버 유닛(100) 내부에 도면상 수평 방향으로 전진 또는 후진하는 차단판(141)을 차단부 구동부(142)에 의해 구동되도록 하여 상기 진공 챔버 유닛(100) 내부 일 부분을 차단하는 것이다.That is, the blocking plate 141, which advances or retreats in the horizontal direction in the figure, is driven by the blocking unit driving unit 142 to block the inside of the vacuum chamber unit 100 will be.

이때, 상기 차단판 구동부(142)는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 차단판(141)에 연결되는 실린더 로드(142b)와, 상기 실린더 로드(142b)를 구동시키는 실린더(142a)를 포함하는 것도 가능하다.2, the blocking plate driving part 142 includes a cylinder rod 142b connected to the blocking plate 141 and a cylinder 142a driving the cylinder rod 142b It is possible.

즉, 유압 또는 공압을 사용하는 실린더(142a)에 의해 실린더 로드(142b)를 전후진 시키면, 상기 실린더 로드(142b)에 연결되어 있는 차단판(141)이 상기 진공 챔버 유닛(100) 내부 일 부분을 차단하게 된다.
That is, when the cylinder rod 142b is moved back and forth by the cylinder 142a using the hydraulic pressure or the pneumatic pressure, the blocking plate 141 connected to the cylinder rod 142b is moved to the inside of the vacuum chamber unit 100 .

또한, 상기 차단판 구동부(142)는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 진공 챔버 유닛(100) 외측에 설치되는 볼 스크류(142e)와, 상기 볼 스크류(142e)를 회전시키는 액츄에이터(142f)와, 상기 볼 스크류(142e)를 지지하는 지지대(142c)와, 상기 볼 스크류(142e)에 결합되어 전후진 하는 것으로서 상기 차단판(141)이 장착되는 무빙 블록(142d)을 포함하는 것도 가능하다.3, the blocking plate driving part 142 includes a ball screw 142e provided outside the vacuum chamber unit 100, an actuator 142f for rotating the ball screw 142e, A supporting block 142c for supporting the ball screw 142e and a moving block 142d coupled to the ball screw 142e and moving back and forth to mount the blocking plate 141 thereon.

즉, 상기 볼 스크류(142e)는 외측에 나사산이 형성되어 있는 것으로서 무빙 블록(142d)과 결합하여 상기 볼 스크류(142e)의 회전에 의해 상기 무빙 블록(142d)이 이송된다.That is, the ball screw 142e is formed with a thread on the outer side and is engaged with the moving block 142d, and the moving block 142d is transferred by the rotation of the ball screw 142e.

이때, 상기 무빙 블록(142d)에는 상기 차단판(141)이 설치되어 상기 무빙 블록(142d)의 도면상 좌우 방향 이송에 의해 상기 차단판(141)이 진공 챔버 유닛(100) 내부로 진입하거나 후퇴하여 상기 진공 챔버 유닛(100) 일 부분을 구획하게 된다.At this time, the blocking plate 141 is installed in the moving block 142d so that the blocking plate 141 is moved into the vacuum chamber unit 100 by the lateral movement of the moving block 142d, Thereby separating a portion of the vacuum chamber unit 100 from the vacuum chamber.

한편, 상기 볼 스크류(142d)는 도시된 바와 같이 지지대(142c)에 회전가능하게 설치될 수 있으며, 전동 모터 등과 같은 액츄에이터(142f)에 의해 회전될 수 있다.
Meanwhile, the ball screw 142d may be rotatably installed on the support table 142c as shown in the figure, and may be rotated by an actuator 142f such as an electric motor.

한편, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 상기 진공 챔버 유닛(100)의 일 측은 관통부(114)가 형성되어 상기 차단판(141)이 출입하고 타 측 내부는 안착홈(115)이 되어 상기 차단판(141)이 삽입되도록 할 수 있다.1 to 3, one side of the vacuum chamber unit 100 is formed with a through hole 114 to allow the blocking plate 141 to enter and exit and the inside of the other side to be a seating groove 115 The blocking plate 141 may be inserted.

즉, 도면상 좌측 부분의 진공 챔버 유닛(100)은 관통되게 하고 도면상 우측 부분의 진공 챔버 유닛(100)은 내측 일부분이 요홈되어 형성된 안착홈(115)을 구비하여 상기 차단판(141)이 삽입되도록 할 수 있다.That is, the vacuum chamber unit 100 on the left side in the drawing passes through, and the vacuum chamber unit 100 on the right side in the drawing has a seating groove 115 formed with an inner part of the cavity, Can be inserted.

이때, 상기 안착홈(115)에는 거리 측정 센서(S1)가 설치되어 상기 차단판(141)의 진입 거리를 인식하도록 할 수 있으며 이에 대해서는 후술한다.At this time, a distance measuring sensor S1 may be installed in the seating groove 115 to recognize the entering distance of the blocking plate 141, which will be described later.

다만, 상기 거리 측정 센서(S1)는 측정 대상물의 거리를 측정하는 것으로서 널리 알려진 적외선 센서나 레이저 센서 등을 이용할 수 있으며 이는 널리 알려진 구성인 관계로 자세한 설명은 생략한다.
However, the distance measuring sensor S1 measures the distance of the object to be measured and can be a well-known infrared sensor or a laser sensor.

또한, 상술한 바와 같이 진공 챔버 유닛(100)의 일 부분이 관통되어 차단판(141)이 출입하는 바, 기밀을 유지하기 위해 상기 관통 부분 또는 안착홈(115)의 상하면에 각각 실링 부재(240)를 설치하는 것도 가능하며, 상기 실링 부재(240)에 대해서는 후술한다.
As described above, a part of the vacuum chamber unit 100 is penetrated, and the blocking plate 141 is inserted into and removed from the upper and lower surfaces of the penetration portion or the seating groove 115 to maintain the airtightness. ), And the sealing member 240 will be described later.

이상 설명한 바와 같은 본 발명의 차단 유닛(140)에 의해 진공 챔버 유닛(100)의 일 부분 즉, 상기 차단판(141)의 도면상 하측 부분과 상측 부분을 구획할 수 있으며, 상기 거리 측정 센서(S1)와 상기 차단판(141)을 구동하는 차단판 구동부(142)에 연결되는 제어부(CON)를 포함하여 상기 전자 현미경을 이용하여 시편을 검사하는 것도 가능하며, 이에 대해 도 4를 참조하여 설명한다.The shielding unit 140 of the present invention as described above can define a part of the vacuum chamber unit 100, that is, a lower portion and an upper portion of the shield plate 141, S1 connected to the shield plate driving part 142 for driving the shield plate 141 and the shield plate driving part 142 for driving the shield plate 141. It is also possible to inspect the specimen using the electron microscope, do.

우선, 상기 차단판(141)을 진공 챔버 유닛(100) 내부에 진입하는 단계(S110, 이하 제1단계라 함)를 수행한다.First, the step of entering the blocking plate 141 into the vacuum chamber unit 100 (S110, hereinafter referred to as a first step) is performed.

상기 제1단계(S110)에서 앞서 설명한 바와 같은 제어부(CON)에 의해 차단판 구동부(142)를 구동하여 차단판(141)을 진공 챔버 유닛(100)에 전진 시킬 수 있다.The blocking plate 141 may be advanced to the vacuum chamber unit 100 by driving the blocking plate driving unit 142 by the control unit CON as described above in the first step S110.

이때, 상기 진공 챔버 유닛(100)의 안착홈(115)에 설치되는 거리 측정 센서(S1)에 의해 상기 차단판(141)의 진입 거리를 측정하여 기 설정된 진입 거리만큼 상기 차단판(141)이 진입되도록 제어부(CON)가 차단판 구동부(142)를 제어하는 것도 가능하다.At this time, the penetration distance of the blocking plate 141 is measured by the distance measuring sensor S1 installed in the seating groove 115 of the vacuum chamber unit 100, and the blocking plate 141 It is also possible for the control unit CON to control the blocking plate driving unit 142 to enter.

즉, 상기 차단판(141)이 도 1에 도시된 위치II까지 진입하도록 미리 설정되어 있다면 상기 거리 측정 센서(S1)가 상기 차단판(141)의 진입 거리를 측정하여 상기 차단판(141)이 위치II에 진입할 때까지 제어부(CON)가 상기 차단판 구동부(142)를 구동하는 것이다.That is, if the blocking plate 141 is set to advance to the position II shown in FIG. 1, the distance measuring sensor S1 measures the entering distance of the blocking plate 141, The control unit CON drives the blocking plate driving unit 142 until it enters the position II.

한편, 상기 차단판(141)의 진입 거리는 다양한 방법으로 산출될 수 있으며 예를 들어 상기 차단판(141)의 최초 위치I와 측정된 현재 위치 사이의 거리에 의해 상기 진입 거리를 산출할 수 있다.
The entering distance of the blocking plate 141 can be calculated in various ways. For example, the entering distance can be calculated by the distance between the initial position I of the blocking plate 141 and the measured current position.

상기 제1단계(S110) 수행 후, 상기 차단판(141)과 시편(SP) 또는 시편(SP)이 안착되는 테이블(T) 사이 공간의 진공 상태를 해제하는 단계(S120, 이하 제2단계라 함)를 수행한다.After the first step S110, the vacuum state of the space between the blocking plate 141 and the table T on which the specimen SP or the specimen SP is seated is released S120, .

즉, 종래에는 전자 현미경의 위치를 변경하고자 하는 경우 진공 챔버 유닛(100) 내부 전체가 진공 상태에서 해제한 후 다시 진공 챔버 유닛(100) 내부 전체를 진공으로 형성해야 해서 진공계 형성에 많은 시간과 노력이 소요되는 문제점이 있었다.That is, conventionally, when the position of the electron microscope is changed, the entire inside of the vacuum chamber unit 100 is released from the vacuum state, and then the entire inside of the vacuum chamber unit 100 is vacuumed, There is a problem that it takes.

본 발명은 이러한 문제점을 해결한 것으로서 상기 차단판(141)과 시편(SP) 또는 시편(SP)이 안착되는 테이블(T) 사이 공간만을 진공 상태를 해제하거나 후에 진공 상태로 형성되록 하여 진공계 형성에 소요되는 비용과 노력을 절감할 수 있다.The present invention solves this problem. The present invention solves this problem, and it is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a vacuum degassing apparatus which is capable of releasing a vacuum state only after a space between a blocking plate 141 and a table T, The cost and effort required can be saved.

한편, 상기 진공 상태 형성 또는 진공 상태 해제는 도 1에 도시된 바와 같이 석션 유닛(SU)에 의해 수행될 수 있으며 이에 대해서는 후술한다.
Meanwhile, the vacuum state formation or the vacuum state release can be performed by a suction unit (SU) as shown in FIG. 1, which will be described later.

상기 제2단계(S120)에 의해 차단판(141)과 시편(SP) 또는 시편(SP)이 안착되는 테이블(T) 사이 공간의 진공 상태를 해제한 후 전자 현미경을 이동하여 조사하고자 하는 시편(SP) 또는 시편(SP)이 안착되는 테이블(T)의 특정 위치로 옮기는 단계(S130 이하 제3단계라 함)를 수행한다.The vacuum state of the space between the blocking plate 141 and the table T on which the specimen SP or the specimen SP is seated is released by the second step S120 and then the specimen SP) or the specimen SP to the specific position of the table T on which the specimen SP is mounted (step S130 and subsequent steps).

상기 제3단계(S130)에 의해 전자 현미경이 원하는 위치에 배치된 후 조사를 수행해야 하므로 상기 차단판(141)과 시편(SP) 또는 시편(SP)이 안착되는 테이블(T) 사이 공간을 진공으로 하는 단계(S140, 이하 제4단계라 함)를 수행한다.The space between the blocking plate 141 and the table T on which the specimen SP or the specimen SP is placed is set to a vacuum state because the irradiation is performed after the electron microscope is disposed at a desired position by the third step S130 (S140, hereinafter referred to as the fourth step).

이는 상술한 석션 유닛(SU)과 상기 진공 챔버 유닛(100) 일 측에 형성되는 배출구(113)에 의할 수 있으며, 이에 대해서는 후술한다.
This can be done by the suction unit (SU) and the discharge port 113 formed on one side of the vacuum chamber unit 100, which will be described later.

상기 제4단계(S140)에 의해 상기 차단판(141)과 시편(SP) 또는 시편(SP)이 안착되는 테이블(T) 사이 공간이 진공으로 형성되면 상기 차단판(141)을 후퇴하는 단계(S150, 이하 제5단계라 함)를 수행한다.If the space between the blocking plate 141 and the table T on which the specimen SP or the specimen SP is seated is vacuum formed by the fourth step S140, the step of retracting the blocking plate 141 S150, hereinafter referred to as a fifth step).

상기 제5단계(S150)는 앞서 설명한 바와 같이 제어부(CON)에 의해 차단판 구동부(142)를 구동하여 차단판(141)을 진공 챔버 유닛(100)으로부터 후진 시킴에 의해 수행될 수 있으며, 이때, 상기 차단판(141)의 후퇴 거리를 측정하여 기 설정된 진입 거리만큼 상기 차단판(141)이 후퇴되도록 제어부(CON)가 차단판 구동부(142)를 제어하는 것도 가능하다.The fifth step S150 may be performed by driving the shutoff plate driving unit 142 by the control unit CON to move the shutoff plate 141 backward from the vacuum chamber unit 100, The control unit CON may control the blocking plate driving unit 142 to measure the retraction distance of the blocking plate 141 so that the blocking plate 141 is retracted by a predetermined entering distance.

즉, 도 1에서 도시된 바와 같이 차단판(141)을 도면상 좌측으로 이동하는 경우 상기 차단판(141)이 위치II까지 오도록 제어할 수 있으며 이는 상술한 바와 같은 후퇴 거리를 측정하여 제어할 수 있으며 이는 상술한 바와 유사한 관계로 중복되는 설명은 생략한다.
That is, as shown in FIG. 1, when the blocking plate 141 is moved to the left in the drawing, it is possible to control the blocking plate 141 to come up to the position II, which can be controlled by measuring the above- Which is similar to that described above, so that redundant description is omitted.

이상 설명한 바와 같은 제5단계(S150)에 의해 진공 챔버 내부(100)가 시편을 조사할 환경이 조성되었으므로, 시편을 조사하는 단계(S160)를 수행한다.
In the fifth step S150 as described above, since the inside of the vacuum chamber 100 is irradiated with the specimen, the step of irradiating the specimen (S160) is performed.

한편, 상기 차단판(141)과 시편(SP) 또는 시편(SP)이 안착되는 테이블(T) 사이 공간을 진공으로 하는 제4단계(S140)에서 상기 차단판(141)과 시편(SP) 또는 시편(SP)이 안착되는 테이블(T) 사이 공간에 설치되는 압력 센서(S2)를 이용하여 진공 챔버 유닛(100) 내부 압력을 확인하는 것도 가능하다.In the fourth step S140 of vacuuming the space between the blocking plate 141 and the table T on which the specimen SP or the specimen SP is placed, the blocking plate 141 and the specimen SP or It is also possible to check the internal pressure of the vacuum chamber unit 100 by using the pressure sensor S2 installed in the space between the tables T on which the specimen SP is placed.

즉, 상기 압력 센서(S2)가 연결되는 상술한 바와 같은 제어부(CON)에 의해 상기 차단판(141)과 시편(SP) 또는 시편(SP)이 안착되는 테이블(T) 사이 공간의 압력을 상기 압력 센서(S2)가 인식하여 상기 제어부(CON)에 의해 기 설정된 진공 압력이 될 때까지 후술되는 석션 유닛(SU)을 가동하는 것이다.
That is, the pressure of the space between the blocking plate 141 and the table T on which the specimen SP or the specimen SP is placed is set by the control unit CON as described above, to which the pressure sensor S2 is connected, The pressure sensor S2 recognizes and actuates the sucking unit SU described below until the vacuum pressure is predetermined by the control unit CON.

또한, 상기 차단판(141)을 후퇴하는 제5단계(S150)의 경우도 상기 차단판(141)과 시편(P) 또는 시편(SP)이 안착되는 테이블(T) 사이 공간에 형성되는 진공도가 설정치까지 도달해야 하므로 상술한 압력 센서(S2)와 제어부(CON)에 의해 진공도가 설정치까지 도달한 경우 상기 차단판(141)을 후퇴하도록 하는 것도 가능하다.
Also in the fifth step S150 of retracting the blocking plate 141, the degree of vacuum formed in the space between the blocking plate 141 and the table T on which the test piece P or the test piece SP is placed It is also possible to retreat the blocking plate 141 when the degree of vacuum reaches the set value by the pressure sensor S2 and the control unit CON.

한편, 상술한 바와 같은 진공 챔버 유닛(100)은 도 1에 도시된 바와 같이 중공의 진공 챔버 본체(110)를 포함하되, 상기 진공 챔버 본체(110)의 일 측으로서 상기 대물 렌즈부(13)와 접하는 측면과, 상기 진공 챔버 본체(110)의 타 측으로서 시편(SP) 또는 시판(SP)이 안착되는 시편 테이블(T)와 접촉하는 측면에 실링 부재(200)가 각각 안착되기 위한 그루브(111,112)가 각각 형성되는 것도 가능하다.1, the vacuum chamber unit 100 includes a hollow vacuum chamber main body 110, and the objective lens unit 13, as one side of the vacuum chamber main body 110, And a groove (not shown) for seating the sealing member 200 on the side contacting the specimen table T on which the specimen SP or the SP is mounted as the other side of the vacuum chamber body 110 111, and 112, respectively.

즉, 도 1에 도시된 바와 같이 전자 현미경이 본 발명의 진공 챔버(100)의 상부에 배치되고 시편(SP) 또는 시편(SP)이 안착되는 테이블(T)이 진공 챔버(100)의 하측에 배치된 경우 상기 진공 챔버 본체(110)의 상부면 및 저면에 각각 상기 그루브(111,112)를 형성한 후 도시된 바와 같이 상기 실링 부재(200)를 각각 상기 그루브(111,112)에 안착하는 것이다.That is, as shown in FIG. 1, an electron microscope is disposed on the upper part of the vacuum chamber 100 of the present invention, and a table T on which the specimen SP or the specimen SP is placed is placed under the vacuum chamber 100 The grooves 111 and 112 are formed on the upper and lower surfaces of the vacuum chamber main body 110 and then the sealing members 200 are respectively seated on the grooves 111 and 112 as shown in FIG.

이때, 상기 진공 챔버 본체(110)의 상부면에 형성되는 그루브(111)에 안착되는 실링 부재(210)는 상기 대물 렌즈부(13)와 결합되어 진공이 유지되도록 하며 보다 안정적인 기밀 유지를 위해 상기 대물 렌즈부(13)의 일 측으로서 상기 실링 부재(200)가 안착하기 위한 그루브(13a)를 포함하는 것도 가능하다.At this time, the sealing member 210 seated on the groove 111 formed on the upper surface of the vacuum chamber body 110 is coupled with the objective lens unit 13 to maintain the vacuum, It is also possible that the groove 13a for seating the sealing member 200 as one side of the objective lens portion 13 is included.

즉, 도 1의 경우 상기 그루브(111)에 안착되는 실링 부재(210)가 상기 대물 렌즈부(13)에 형성되는 그루브(13a)에도 안착되어 상기 진공 챔버 본체(110)가 대물 렌즈부(13)에 설치될 때 안정적인 기밀 유지가 가능하도록 할 수 있다.
1, a sealing member 210 seated on the groove 111 is also seated on a groove 13a formed in the objective lens unit 13 so that the vacuum chamber main body 110 is fixed to the objective lens unit 13 It is possible to maintain stable airtightness.

한편, 상기 진공 챔버 본체(110) 저면에 형성되는 그루브(112)에 안착되는 실링 부재(220)는 시편(SP) 또는 테이블(T)과 접하여 진공이 유지되도록 한다.The sealing member 220 mounted on the groove 112 formed on the bottom surface of the vacuum chamber main body 110 is in contact with the specimen SP or the table T so that the vacuum is maintained.

또한, 상기 진공 챔버 본체(110)의 또 다른 측면에 형성되어 석션 유닛(SU)에 의해 내부 공기를 배출하는 배출구(113)를 포함하는 것도 가능하며, 상기 석션 유닛(SU)은 널리 알려진 바와 같이 진공 펌프와 흡입 배관을 포함할 수 있다.It is also possible to include an outlet 113 formed on the other side surface of the vacuum chamber main body 110 for discharging the internal air by a suction unit SU. A vacuum pump and a suction pipe.

즉, 상기 제2단계(S120)에서 진공 상태 해제를 위해 상기 배출구(113)를 통해 공기가 투입되도록 할 수 있다.
That is, in the second step S120, air may be supplied through the outlet 113 to release the vacuum state.

한편, 상기 석션 유닛(SU)은 도시된 바와 같이 상기 차단판(141)을 기준으로 상하에 각각 제1석션 유닛(SU1)과 제2석션 유닛(SU2)을 포함할 수 있다.The suction unit SU may include a first suction unit SU1 and a second suction unit SU2 on the upper and lower sides with respect to the blocking plate 141 as shown in FIG.

즉, 최초 진공 형성시 상기 제1석션 유닛(SU1)과 제2석션 유닛(SU2)을 사용하여 진공 챔버 본체(110) 내부를 진공으로 할 수 있고, 상술된 바와 같이 제4단계(S140)에서 제2석션 유닛(SU2)을 사용하여 차단판(141) 아래의 진공 챔버 본체(110) 내부를 진공으로 할 수 있다.
That is, the first vacuum unit SU1 and the second suction unit SU2 can be used to evacuate the inside of the vacuum chamber main body 110 during the initial vacuum formation, and in the fourth step S140 as described above, The inside of the vacuum chamber main body 110 under the blocking plate 141 can be evacuated by using the second suction unit SU2.

또한, 상기 석션 유닛(SU)은 상술한 바와 같은 제어부(CON)에 연결되어 상기 진공 챔버 본체(110) 내부의 압력 또는 차단판(141)으로 구획된 도면상 상하측 부분의 압력을 그 내부에 설치된 압력 센서(S2,S3)에 의해 측정하여 상기 제어부(CON)에 의해 구동될 수 있다.
The sucking unit SU is connected to the control unit CON as described above so that the pressure inside the vacuum chamber main body 110 or the pressure in the upper and lower parts partitioned by the blocking plate 141 is applied to the inside Can be measured by the installed pressure sensors S2 and S3 and can be driven by the control unit CON.

이하 상술한 본 발명의 작용에 대해 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the operation of the present invention will be described in more detail.

우선, 도 1에 도시된 바와 같이 진공 챔버 유닛(100)이 대물 렌즈부(13)에서 분리된 상태에서 상기 진공 챔버 본체(110)의 상면은 상기 대물 렌즈부(13)에 장착하고 상기 진공 챔버 본체(110)의 저면에는 시편(SP) 또는 시편(SP)이 안착되어 있는 테이블(T)을 배치한다.1, an upper surface of the vacuum chamber main body 110 is mounted on the objective lens unit 13 in a state where the vacuum chamber unit 100 is separated from the objective lens unit 13, A table T on which a specimen SP or a specimen SP is placed is disposed on the bottom surface of the main body 110.

이때, 상기 석션 유닛(SU)에 의해 배출구(113)로부터 공기를 흡입하여 진공 챔버 본체(110) 내부를 진공으로 형성하며 이는 상기 제1석션 유닛(SU1)과 제2석션 유닛(SU2)에 의해 수행될 수 있다.At this time, air is sucked from the discharge port 113 by the suction unit SU to form a vacuum inside the vacuum chamber main body 110, which is sucked by the first suction unit SU1 and the second suction unit SU2 .

이에 의해 상기 진공 챔버 유닛(100)은 상기 대물 렌즈부(13)측으로 밀착되며 상기 대물 렌즈부(13)와 진공 챔버 본체(110)사이의 실링 부재(210)에 의해 기밀이 유지된다.The vacuum chamber unit 100 is closely contacted to the objective lens unit 13 and the airtightness is maintained by the sealing member 210 between the objective lens unit 13 and the vacuum chamber body 110.

한편, 상기 진공 챔버 본체(110)의 저면은 시편(SP) 또는 시편(SP)이 안착되는 테이블(T)에 접하게 되는데, 진공 챔버 본체(110) 내부가 진공이 됨에 따라 상기 시편(SP) 또는 시편(SP)이 안착되는 테이블(T)이 상기 진공 챔버 본체(110)의 저면에 밀착하게 된다. 이 때, 상기 진공 챔버 본체(110)의 저면에 배치되는 실링 부재(220)에 의해 그 내부의 기밀이 유지된다.
The bottom surface of the vacuum chamber main body 110 is brought into contact with the table T on which the specimen SP or the specimen SP is placed. When the vacuum chamber main body 110 is evacuated, The table T on which the specimen SP is mounted is brought into close contact with the bottom surface of the vacuum chamber main body 110. At this time, the airtightness of the inside of the vacuum chamber main body 110 is maintained by the sealing member 220 disposed on the bottom surface of the vacuum chamber main body 110.

한편, 상기 배출구(113)를 통해 공기를 투입하면 진공 상태가 해제되어 상기 진공 챔버 본체(110)를 대물 렌즈부(13) 및 시편 또는 테이블로부터 분리할 수 있다.
Meanwhile, when air is supplied through the discharge port 113, the vacuum state is released and the vacuum chamber main body 110 can be separated from the objective lens unit 13 and the specimen or the table.

이상 설명한 바와 같은 본 발명의 진공 챔버 유닛(100)에 의해 특정 위치의 시편을 조사한 후 상기 시편의 다른 위치를 조사하고자 하는 경우 상술한 바와 같이 진공 챔버 본체(110)를 분리한 후 시편이나 전자 현미경의 위치를 변경한 후 다시 진공 챔버 본체(110)를 장착하면 시편의 크기가 크더라도 보다 용이하게 시편을 조사할 수 있다.
When the vacuum chamber unit 100 of the present invention as described above irradiates the specimen at a specific position and then irradiates the specimen at another position, the vacuum chamber main body 110 is detached as described above, and then the specimen or the electron microscope It is possible to easily irradiate the specimen even if the size of the specimen is large by mounting the vacuum chamber main body 110 again.

한편, 상기 실링 부재(200)는 상술한 바와 같이 진공 챔버 본체(110)와 대물 렌즈부(13) 또는 시편이나 테이블과의 기밀을 유지하기 위한 것으로서 진공용 O-RING이나 메탈 가스켓을 사용할 수 있다.
The sealing member 200 may be a vacuum O-ring or a metal gasket for maintaining the airtightness between the vacuum chamber main body 110 and the objective lens unit 13 or between the specimen and the table as described above .

또한, 상기 진공 챔버 본체(110)는 상술된 바와 같이 중공 형상이며 그 내부에 설치되는 이미지 검출기(120)를 더 포함할 수 있으며 상기 이미지 검출기(120) 자체는 널리 알려진 구성인 관계로 자세한 설명은 생략한다.
Further, the vacuum chamber body 110 may further include an image detector 120, which is hollow and has a hollow shape, as described above. Since the image detector 120 itself is a well-known structure, It is omitted.

상기 전자 현미경의 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치될 수 있으며 보다 안정적인 탈부착을 위해 후술하는 착탈 부재(300)를 더 포함할 수 있다.And may be detachably installed on the objective lens unit 13 of the electron microscope. The detachable member 300 may further include a detachable member 300 for stable attachment and detachment.

이하 도 5 및 도 6을 참조하여 상기 진공 챔버 본체(110)가 보다 견고하게 탈부착될 수 있도록 하는 착탈 부재(300)에 대해 설명한다.Hereinafter, a detachable member 300 for allowing the vacuum chamber body 110 to be attached and detached more firmly will be described with reference to FIGS. 5 and 6. FIG.

상기 착탈 부재(300)는 상기 진공 챔버 본체(110) 일 측에 설치되는 걸림구(310)와, 상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 설치되는 걸림턱(320)을 포함할 수 있다.The detachable member 300 may include a locking hole 310 provided at one side of the vacuum chamber main body 110 and a locking protrusion 320 provided at one side of the objective lens unit 13.

물론 상기 걸림턱(320)이 진공 챔버 본체(110)에 설치되고 걸림구(310)가 대물 렌즈부(13)에 설치되는 것도 가능하다.
It is also possible that the latching jaw 320 is installed in the vacuum chamber main body 110 and the latching hole 310 is provided in the objective lens unit 13.

한편, 상기 착탈 부재(300)는 상기 진공 챔버 본체(110)와 대물 렌즈부(13)를 탈부착 가능하게 하는 구성인 한 모두 사용가능하며, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 걸림구(310)는 상기 대물 렌즈부(13)측으로 연장되는 바아 형상이되 끝단부는 후크 형상인 걸림 후크(311)를 포함하고, 상기 걸림턱(320)은 사각형 단면으로서 상기 대물 렌즈부(13)로부터 돌출되도록 형성할 수 있다.As shown in FIG. 5, the detachable member 300 may be configured to detachably attach the vacuum chamber main body 110 and the objective lens unit 13, And a hooking hook 311 having a hook shape and having a bar shape extending toward the objective lens unit 13 side and having a hook shape and the hooking step 320 is formed to be protruded from the objective lens unit 13 .

이때, 상기 걸림 후크(311)가 상기 걸림턱(320)에 걸림되거나 해제되어 상기 진공 챔버 본체(110)가 상기 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치된다.At this time, the hooking hook 311 is hooked on or released from the hooking protrusion 320 so that the vacuum chamber main body 110 is detachably attached to the objective lens unit 13.

즉, 상기 진공 챔버 본체(110)가 대물 렌즈부(13) 저면에서 도면상 상부 방향으로 상승하면 상기 걸림 후크(311)가 탄성 변형하며 도면상 좌측으로 벌어진 후 원래 형상으로 복귀하면서 상기 걸림턱(320)에 걸림되어 상기 진공 챔버 본체(110)가 상기 대물 렌즈부(13)에 설치되는 것이다.That is, when the vacuum chamber main body 110 rises in the upward direction in the drawing from the bottom surface of the objective lens unit 13, the hooking hook 311 elastically deforms and opens to the left side in the drawing, And the vacuum chamber main body 110 is installed in the objective lens unit 13.

물론 상기 진공 챔버 본체(110)를 분리하기 위해서는 상기 걸림 후크(311)를 사용자가 파지하여 상기 걸림턱(320)으로부터 이격시키면 된다.
Of course, in order to separate the vacuum chamber main body 110, the user may grip the hook 311 to separate the hook 320 from the hook 320.

한편, 상기 걸림 후크(311)는 도시된 바와 같이 상단부 형상이 도면상 우측으로 경사지게 형성되어 상기 걸림턱(320) 접촉시 보다 용이하게 벌어지도록 형성될 수 있으며, 상기 걸림 후크(311)의 우측면을 요홈하게 형성하여 상기 걸림턱(320)이 삽입되도록 형성하는 것도 가능하다.As shown in the drawing, the hooking hook 311 may be formed so that the upper end portion thereof is inclined to the right side in the drawing, so that the hooking hook 311 can be more easily opened when the hooking protrusion 320 contacts the hooking hook 311, It is also possible to form it so that the latching protrusion 320 is inserted.

또한, 상기 걸림턱(320)은 도시된 바와 같이 사각형 단면으로서 상기 대물 렌즈부(13)에서 돌출된 판체 형상의 걸림턱(321)도 가능하다.
In addition, the latching jaw 320 may be a plate-shaped latching protrusion 321 protruding from the objective lens unit 13 as shown in FIG.

또한, 상기 걸림구(310)는 도 6에 도시된 바와 같이 판체 형상을 가지되 일 측이 상기 진공 챔버 본체(110) 일 부분에 핀 결합되는 회전판(312)과, U 형상이되 개방된 양 단부는 상기 회전판(312)의 회전방향 기준 양 측면에 각각 장치되는 걸림 바아(313)를 포함하고, 상기 걸림턱(320)은 판체 형상으로서 상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 고정되는 고정판(322)과 상기 고정판(322) 일 측에 절곡되어 상기 걸림 바아(313)가 걸림되도록 하는 절곡판(323)을 포함하는 것도 가능하다.6, the stopper 310 includes a rotation plate 312 having a plate shape and having one side thereof pin-coupled to a portion of the vacuum chamber main body 110, and a U- And the end portion includes a locking bar 313 provided on both sides of the rotation plate 312 relative to the rotation direction of the rotation plate 312. The locking protrusion 320 is a plate shape and fixed to one side of the objective lens unit 13 And a bent plate 323 which is bent at one side of the fixing plate 322 and hooks the latching bar 313.

즉, 도시된 바와 같이 상기 진공 챔버 본체(110) 일 부분에 핀(P) 결합되는 회전판(312)이 상기 핀(P)을 기준으로 회전하면 상기 회전판(312)에 설치되는 걸림 바아(313)가 상기 걸림구(320)측으로 이동하게 된다.That is, as shown in FIG. 2, when the rotation plate 312 coupled to a part of the vacuum chamber main body 110 rotates about the pin P, the locking bar 313 installed on the rotation plate 312, To the hooking hole 320 side.

이때, 상기 걸림구(320)는 도시된 바와 같이 상기 고정판(322)과 절곡판(323)사이의 공간에 상기 걸림 바아(313)가 삽입되도록 한 후 상기 회전판(312)을 원래 위치로 복귀시키면 상기 걸림 바아(313)가 상기 고정판(322)과 절곡판(323)사이의 공간에 걸림되어 상기 진공 챔버 본체(110)가 상기 대물 렌즈부(13)에 장착되는 것이다.At this time, as shown in the drawing, the latching bar 320 inserts the latching bar 313 into a space between the fixing plate 322 and the folding plate 323, and then returns the rotation plate 312 to its original position The hooking bar 313 is caught in a space between the fixing plate 322 and the bent plate 323 so that the vacuum chamber main body 110 is mounted on the objective lens unit 13. [

물론 상기 회전판(312)을 다시 회전시킨 후 상기 걸림 바아(313)를 상기 고정판(322)과 절곡판(323)사이의 공간으로부터 분리시키면 상기 진공 챔버 본체(110)가 상기 대물 렌즈부(13)로부터 분리된다.
The vacuum chamber main body 110 may be separated from the space between the fixing plate 322 and the bent plate 323 after the rotation plate 312 is rotated again, .

또한, 상기 회전판(312)이 상기 진공 챔버 본체(110) 상에서 보다 용이하게 회전하기 위해 상기 진공 챔버 본체(110) 상에 부착되는 채널(314)을 더 포함할 수 있다.The rotating plate 312 may further include a channel 314 attached to the vacuum chamber body 110 so as to rotate more easily on the vacuum chamber body 110.

이때, 상기 회전판(312)은 핀(P)에 의해 상기 채널(314)에 회전 가능하게 설치될 수 있다.
At this time, the rotation plate 312 may be rotatably installed on the channel 314 by a pin P.

한편, 도 1a에 도시된 바와 같이 상기 대물 렌즈부(13)가 도면상 하측 방향으로 갈수록 폭이 좁아지는 형상을 하고 있고 진공 챔버 본체(110)의 상단부는 수평 방향으로 형성되어 상호 결합될 수 있으며, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 상기 진공 챔버 본체(110)의 상단부가 상기 대물 렌즈부(13)의 형상과 대응되도록 경사지게 형성될 수 있다.As shown in FIG. 1A, the objective lens unit 13 has a shape narrower in the downward direction in the drawing, and the upper end of the vacuum chamber main body 110 is formed in a horizontal direction and can be coupled with each other The upper end of the vacuum chamber main body 110 may be inclined so as to correspond to the shape of the objective lens unit 13 as shown in FIGS.

이는 상기 대물 렌즈부(13)와 진공 챔버 본체(110)가 상호 맞닿아서 기밀을 형성할 수 있으면 족한 것으로서, 상기 대물 렌즈부(13)와 진공 챔버 본체(110)가 상호 결합되어 기밀을 유지할 수 있는 한, 대물 렌즈부(13)와 진공 챔버 본체(110)가 다른 형상을 가지는 경우라도 모두 본 발명의 범주에 속함은 당연하다.
This is because the objective lens unit 13 and the vacuum chamber main body 110 can meet each other to form an airtight seal and the objective lens unit 13 and the vacuum chamber main body 110 are coupled to each other to maintain airtightness. As long as the objective lens section 13 and the vacuum chamber main body 110 have different shapes, they all fall within the scope of the present invention.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상을 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the present invention. It is obvious that the modification or improvement is possible.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 범주에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 명확해질 것이다.It is intended that the present invention cover the modifications and variations of this invention provided they come within the scope of the appended claims and their equivalents.

100 : 진공 챔버 유닛 110 : 진공 챔버 본체
111,112 : 그루브 120 : 이미지 검출기
140 : 차단 유닛 141 : 차단판
142 : 차단판 구동부 CON : 제어부
200 : 실링 부재 300 : 착탈 부재
310 : 걸림구 320 : 걸림턱100: vacuum chamber unit 110: vacuum chamber body
111, 112: groove 120: image detector
140: blocking unit 141: blocking plate
142: blocking plate driving part CON:
200: sealing member 300: detachable member
310: latching portion 320: latching jaw

Claims (14)

전자 현미경(10)의 대물 렌즈부(13)에 탈 부착 가능하게 설치되는 진공 챔버 유닛(100)과, 상기 진공 챔버 유닛(100)의 내부 일 공간을 차단하는 차단 유닛(140)을 포함하되,
상기 진공 챔버 유닛(100)은 중공의 진공 챔버 본체(110)를 포함하고,
상기 진공 챔버 본체(110)의 일 측으로서 상기 대물 렌즈부(13)와 접하는 측면과, 상기 진공 챔버 본체(110)의 타 측으로서 시편 또는 시편이 안착되는 테이블과 접촉하는 측면에 실링 부재(200)가 각각 안착되기 위한 그루브(111,112)가 각각 형성되며,
상기 진공 챔버 본체(110)의 또 다른 측면에 형성되어 석션 유닛(SU)에 의해 내부 공기를 배출하는 배출구(113)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.A vacuum chamber unit 100 detachably attached to the objective lens unit 13 of the electron microscope 10 and a blocking unit 140 blocking the internal space of the vacuum chamber unit 100,
The vacuum chamber unit 100 includes a hollow vacuum chamber body 110,
A sealing member 200 (not shown) is provided on a side of the vacuum chamber main body 110 which is in contact with the objective lens portion 13 and in contact with a table on which the specimen or the specimen is mounted as the other side of the vacuum chamber main body 110 Grooves 111 and 112 are formed respectively for receiving the light-
And a discharge port (113) formed on another side surface of the vacuum chamber main body (110) and discharging internal air by a suction unit (SU). 제1항에 있어서,
상기 차단 유닛(140)은 상기 진공 챔버 유닛(100) 내부에 출입하는 차단판(141)과, 상기 차단판(141)을 전후진하는 차단판 구동부(142)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.The method according to claim 1,
Wherein the cutoff unit (140) includes a cutoff plate (141) for entering and exiting the inside of the vacuum chamber unit (100), and a cutoff plate drive unit (142) for moving the cutoff plate (141) back and forth Type vacuum chamber unit. 제2항에 있어서,
상기 차단판 구동부(142)는 상기 차단판(141)에 연결되는 실린더 로드(142b)와, 상기 실린더 로드(142b)를 구동시키는 실린더(142a)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.3. The method of claim 2,
The blocking plate driving part 142 includes a cylinder rod 142b connected to the blocking plate 141 and a cylinder 142a driving the cylinder rod 142b. An electron microscope having a unit. 제2항에 있어서,
상기 차단판 구동부(142)는 상기 진공 챔버 유닛(100) 외측에 설치되는 볼 스크류(142e)와,
상기 볼 스크류(142e)를 회전시키는 액츄에이터(142f)와,
상기 볼 스크류(142e)를 지지하는 지지대(142c)와,
상기 볼 스크류(142e)에 결합되어 전후진 하는 것으로서 상기 차단판(141)이 장착되는 무빙 블록(142d)을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.3. The method of claim 2,
The blocking plate driving part 142 includes a ball screw 142e provided outside the vacuum chamber unit 100,
An actuator 142f for rotating the ball screw 142e,
A support table 142c for supporting the ball screw 142e,
, And a moving block (142d) coupled to the ball screw (142e) and moving back and forth, wherein the blocking plate (141) is mounted. 제2항에 있어서,
상기 진공 챔버 유닛(100)의 일 측은 관통부(114)가 형성되어 상기 차단판(141)이 출입하고 타 측 내부는 안착홈(115)이 되어 상기 차단판(141)이 삽입되며,
상기 안착홈(115)에는 거리 측정 센서(S1)가 설치되어 상기 차단판(141)의 진입 거리를 인식하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.3. The method of claim 2,
One side of the vacuum chamber unit 100 is formed with a penetration portion 114 so that the blocking plate 141 enters and exits and the inside of the other side becomes a seating groove 115 into which the blocking plate 141 is inserted,
And a distance measuring sensor (S1) is installed in the seating groove (115) to recognize the entry distance of the blocking plate (141). 제5항에 있어서,
상기 거리 측정 센서(S1)와 상기 차단판(141)을 구동하는 차단판 구동부(142)에 연결되는 제어부(CON)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.6. The method of claim 5,
And a control unit CON connected to the distance measuring sensor S1 and the blocking plate driving unit 142 for driving the blocking plate 141. The electron microscope according to claim 1, 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 대물 렌즈부(13)의 일 측으로서 상기 실링 부재(200)가 안착하기 위한 그루브(13a)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.The method according to claim 1,
And a groove (13a) for seating the sealing member (200) as one side of the objective lens unit (13). 제1항에 있어서,
상기 진공 챔버 유닛(100)은 진공 챔버 본체(110)의 일 측에 설치되어 상기 진공 챔버 본체(110)를 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치하는 착탈 부재(300)를 더 포함하되,
상기 착탈 부재(300)는 상기 진공 챔버 본체(110) 일 측에 설치되는 걸림구(310)와,
상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 설치되는 걸림턱(320)을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.The method according to claim 1,
The vacuum chamber unit 100 further includes a detachable member 300 installed on one side of the vacuum chamber body 110 to detachably attach the vacuum chamber body 110 to the objective lens unit 13,
The detachable member 300 includes a latch 310 provided at one side of the vacuum chamber body 110,
And an engaging protrusion (320) provided on one side of the objective lens unit (13). 제9항에 있어서,
상기 걸림구(310)는 상기 대물 렌즈부(13)측으로 연장되는 바아 형상이되 끝단부는 후크 형상인 걸림 후크(311)를 포함하고,
상기 걸림턱(320)은 사각형 단면으로서 상기 대물 렌즈부(13)로부터 돌출되어,
상기 걸림 후크(311)가 상기 걸림턱(320)에 걸림되거나 해제되어 상기 진공 챔버 본체(110)가 상기 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.10. The method of claim 9,
The stopper 310 includes a hooking hook 311 having a bar shape extending toward the objective lens 13 and having a hook shape at an end thereof,
The stopping protrusion 320 protrudes from the objective lens unit 13 as a rectangular cross section,
Wherein the vacuum chamber main body 110 is detachably attached to the objective lens unit 13 so that the vacuum chamber main body 110 is detachably attached to the hooking hook 320. [ And an electron microscope. 제9항에 있어서,
상기 걸림구(310)는 판체 형상을 가지되 일 측이 상기 진공 챔버 본체(110) 일 부분에 핀 결합되는 회전판(312)과, U 형상이되 개방된 양 단부는 상기 회전판(312)의 회전방향 기준 양 측면에 각각 장치되는 걸림 바아(313)를 포함하고,
상기 걸림턱(320)은 판체 형상으로서 상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 고정되는 고정판(322)과 상기 고정판(322) 일 측에 절곡되어 상기 걸림 바아(312)가 걸림되도록 하는 절곡판(323)을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.10. The method of claim 9,
The stopper 310 includes a rotary plate 312 having a plate shape and one side of which is connected to a portion of the vacuum chamber main body 110 by a pin and a pair of U- And a locking bar 313 provided on both sides of the direction reference,
The locking protrusion 320 has a plate shape and includes a fixing plate 322 fixed on one side of the objective lens unit 13 and a bent plate 322 bent on one side of the fixing plate 322 to latch the locking bar 312 323). ≪ / RTI > An electron microscope having a vacuum chamber unit of a attaching type. 제1항 내지 제6항 및 제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 전자 현미경을 이용한 검사 방법으로서,
차단판(141)을 진공 챔버 유닛(100) 내부에 진입하는 단계(S110)와,
상기 차단판(141)과 시편 또는 시편이 안착되는 테이블 사이 공간의 진공 상태를 해제하는 단계(S120)와,
전자 현미경을 이동하는 단계(S130)와,
상기 차단판(141)과 시편 또는 시편이 안착되는 테이블 사이 공간을 진공으로하는 단계(S140)와,
상기 차단판(141)을 후퇴하는 단계(S150)와,
시편을 조사하는 단계(S160)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경을 이용한 검사 방법.11. An inspection method using an electron microscope according to any one of claims 1 to 6 and 8 to 11,
(S110) entering the blocking plate 141 into the vacuum chamber unit 100,
A step (S120) of releasing the vacuum state of the space between the blocking plate 141 and the table on which the specimen or the specimen is placed,
A step S130 of moving the electron microscope,
A step S140 of vacuuming the space between the blocking plate 141 and the table on which the specimen or the specimen is placed,
A step S150 of retracting the blocking plate 141,
And a step (S160) of irradiating the specimen with the vacuum chamber unit. 제12항에 있어서,
상기 차단판(141)을 진공 챔버 유닛(100) 내부에 진입하는 단계(S110) 또는 상기 차단판(141)을 후퇴하는 단계(S150)는 제어부(CON)에 의해 차단판 구동부(142)를 구동하여 차단판(141)을 진공 챔버 유닛(100)에 전후진 시키되,
상기 진공 챔버 유닛(100)의 안착홈(115)에 설치되는 거리 측정 센서(S1)에 의해 상기 차단판(141)의 진입 또는 후퇴 거리를 측정하여 기 설정된 진입 거리만큼 상기 차단판(141)이 진입 또는 후퇴되도록 제어부(CON)가 차단판 구동부(142)를 제어하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경을 이용한 검사 방법13. The method of claim 12,
In step S110 of moving the blocking plate 141 into the vacuum chamber unit 100 or in step S150 of moving the blocking plate 141 backward, the control unit CON drives the blocking plate driving unit 142 Thereby causing the blocking plate 141 to move back and forth to the vacuum chamber unit 100,
A distance measuring sensor S1 installed in a seating groove 115 of the vacuum chamber unit 100 measures an entering or retreating distance of the blocking plate 141 so that the blocking plate 141 And the control unit (CON) controls the blocking plate driving unit (142) so as to enter or retract the vacuum chamber unit 제12항에 있어서,
상기 차단판(141)과 시편 또는 시편이 안착되는 테이블 사이 공간을 진공으로하는 단계(S140) 또는 상기 차단판(141)을 후퇴하는 단계(S150)에서,
상기 진공 챔버 유닛(100) 내부로서 상기 차단판(141)과 시편 또는 시편이 안착되는 테이블 사이 공간에 설치되는 압력 센서(S2)와 상기 압력 센서(S2)에 연결되는 제어부(CON)에 의해 기 설정된 진공 압력으로 되었는지를 확인하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경을 이용한 검사 방법13. The method of claim 12,
In the step S140 of vacuuming the space between the blocking plate 141 and the table on which the specimen or the specimen is placed or the step S150 of retracting the blocking plate 141,
A pressure sensor S2 installed inside the vacuum chamber unit 100 in the space between the blocking plate 141 and the table on which the specimen or the specimen is mounted and the control unit CON connected to the pressure sensor S2, And the vacuum chamber unit is attached to the vacuum chamber unit.
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