KR101387613B1

KR101387613B1 - 디스플레이 기판 세정장치

Info

Publication number: KR101387613B1
Application number: KR1020120056138A
Authority: KR
Inventors: 지용현
Original assignee: 에프엔에스테크 주식회사
Priority date: 2012-05-25
Filing date: 2012-05-25
Publication date: 2014-04-23
Also published as: KR20130132057A

Abstract

본 발명은 디스플레이 기판 세정장치에 관한 것으로, 그 주된 목적은 세정을 위해 이송되는 기판이 이송용 롤러와의 접촉을 최소화하고, 세정장치 주변의 오염을 원천적으로 방지하여 보다 쾌적한 작업장 환경을 조성하며, 디스플레이 기판을 세정하되, 기판 상면 패턴의 손상을 최소화하고, 세정효율을 높이는 것이다.
이러한 목적을 이루기 위한 본 발명은,
디스플레이 기판 세정장치에 관한 것으로,
상기 세정장치는,
상기 세정수단과 상기 에어 나이프의 작동을 제어하도록 구비되는 중앙처리장치와, 상기 디스플레이 기판의 진입, 진출을 감지하여 상기 중앙처리장치에 전기적 신호를 발생시키는 제 1, 2감지수단과, 상기 제 1감지수단으로 부터 전달된 전기적 신호가 상기 중앙처리장치에서 연산된 신호에 따라 개폐되도록 상기 중앙처리장치와 전기적으로 연결된 제 1밸브와, 상기 제 2감지수단으로 부터 전달된 전기적 신호가 상기 중앙처리장치에서 연산된 신호에 따라 개폐되도록 상기 중앙처리장치와 전기적으로 연결된 제 2밸브와, 상기 에어 나이프 작동 후, 1 내지 5초 정도의 시차를 두고 상기 세정수단의 구동모터를 온/오프시키는 시차조절장치로 이루어진 콘트롤러를 포함한다.
이에 따라, 세정을 위해 이송되는 기판이 이송용 롤러와의 접촉을 최소화하고, 세정장치 주변의 오염을 원천적으로 방지하여 보다 쾌적한 작업장 환경을 조성하며, 디스플레이 기판을 세정하되, 기판 상면 패턴의 손상을 최소화하고, 거의 자동으로 세정작업이 이루어짐으로서 세정효율을 높이는 이점이 있다.

Description

디스플레이 기판 세정장치{A DISPLAY CIRCUIT BOARD CLEANING EQUIPMENT }

본 발명은 세정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 세정할 디스플레이 기판 후면에 이송용 롤러와의 접촉을 최소화하면서, 세정용 브러쉬와 기판과의 접촉력 유지를 위해 음압발생장치를 이용하며, 콘트롤러의 의해 세정장치의 동작이 제어되는 디스플레이 기판 세정장치에 관한 것이다.

일반적으로 디스플레이 기판을 세정하는 세정장치(10)(이하, "세정장치"라 칭한다)에 대해서는 여러가지가 알려져 오고 있다.

예를 들면, 도 1에 도시한 바와 같은 세정장치(10)가 그 대표적인 것으로, 그 내용은 다음과 같다.

도시한 바를 참조하면, 종래의 세정장치(10)는 로딩부(1)와 세정부(2)와 건조부(3)로 구분된다.

로딩부(1)는 디스플레이 기판(20)(이하, "기판"이라 칭한다)을 공급하는 공정이며, 세정부(2)는 상기한 로딩부(1)에서 공급된 기판(20)을 세정하는 공정이고, 건조부(3)는 상기 세정부(2)에서 세정된 기판(20)을 건조시키는 공정이다.

이와 같은, 공정을 이루기 위한 세정장치(10)는 도시한 바와 같이, 프레임본체(11)의 길이방향으로 이송용 롤러(13)가 다수 배치되는데, 각 롤러(13)의 단부에는 더블 스프로켓(14)이 축결합되어, 하나의 모터(MT) 동작에 의해 연동하도록 하였으며, 이 이송용 롤러(13)의 구동에 따라 상부에 구비된 기판(20)이 이동하게 된다.

이와 같이, 이동하는 기판(20)의 하측 방향, 다시 말해서 기판(20)의 후면으로 적어도 하나 이상의 세정 스프레이(30)가 구비되어 기판(20)의 하측 방향을 세정하는 것이다.

이와 같이, 세정이 완료된 기판(20)은 다수열 배치된 에어 노즐(50)의 에어에 의해 건조되며 세정작업이 완료된다.

그러나. 상술한 바와 같은 종래의 세정장치의 경우, 하부에 접촉하는 이송용 롤러가 기판의 이송을 위해서는 불가피하게 많은 수량이 구비되어야 함으로서, 세정작업이 완료되어도 기판 하부에 롤러 자국이 남아 원활한 세정이 이루어지지 않는 문제가 있었다.

또한, 세정 스프레이의 압력에 의해 분사되는 세정액이 주변으로 튀면서 세정장치 주변이 오염되는 문제가 있었다.

또한, 상기한 세정 스프레이의 압력에 의해 세정액이 기판 상면의 패턴을 오염시켜, 패턴의 불량이 다발하는 문제가 있었다.

또한, 상기한 세정액의 압력에 의해 기판이 상방향으로 유동하며 이탈함으로서, 세정 효율이 떨어지는 문제가 있었다.

또한, 세정 스프레이는 작업자가 수동으로 작동함으로서, 세정작업이 이루어지지 않고 지나치는 경우가 잦아 세정불량이 다발하는 문제가 있었다.

본 발명은 상술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 세정을 위해 이송되는 기판이 이송용 롤러와의 접촉을 최소화하는데 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 세정장치 주변의 오염을 원천적으로 방지하여 보다 쾌적한 작업장 환경을 조성하는데 있다.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은 디스플레이 기판을 세정하되, 기판 상면 패턴의 손상을 최소화하는데 있다.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은 세정작업 중 디스플레이 기판의 유동이 생기지 않도록 하여 세정효율을 높이는데 있다.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은 세정작업이 자동으로 이루어지도록 함으로서, 디스플레이 기판의 세정불량이 발생하지 않도록 하는데 있다.

이와 같은 목적으로 이루어진 본 발명은;

디스플레이 기판을 공급하는 로딩부와, 상기 로딩부에서 공급된 디스플레이 기판을 세정하도록 프레임본체 길이방향 상측에 적어도 하나 이상 구비되며, 고압의 에어 호스와 연결된 원통형의 에어공급구와, 상기 에어공급구와 일체로 형성되되, 평면에서 바라볼 때, 단부로 갈 수록 넓어지고, 측면에서 바라볼 때는 단부로 갈수록 좁아지도록 형성된 에어 분출구로 이루어진 에어 나이프와, 상기 프레임본체의 중간 부분에 적어도 하나 이상 구비되며, 일측 단면상에서 바라볼 때, "└┘"자 형으로 형성된 용기와, 상기 용기의 길이방향으로 구비되며, 양단은 상기 프레임 본체에 축결합된 세정용 브러쉬와, 상기 세정용 브러쉬를 회전시키기 위해 상기 세정용 브러쉬의 일단과 축결합된 구동모터로 이루어진 세정수단을 포함하는 세정부와, 상기 세정부에서 세정이 완료된 기판을 하측에서 건조시키도록 상향하는 적어도 하나 이상의 건조용 에어나이프를 구비한 건조부로 이루어지며, 프레임 본체의 길이방향 등간격으로 다수 구비된 이송용 롤러 사이에 다수열 구비되는 일측의 에어공급구와, 상기 에어공급구의 단부에서 사선방향으로 형성되고, 평면에서 바라볼 때, 방사상으로 다수 형성된 에어 분출구로 이루어진 음압발생장치가 구비된 디스플레이 기판 세정장치에 관한 것으로,

상기 세정장치는,
상기 세정수단과 상기 에어 나이프의 작동을 제어하도록 구비되는 중앙처리장치와, 상기 디스플레이 기판의 진입, 진출을 감지하여 상기 중앙처리장치에 전기적 신호를 발생시키는 제 1, 2감지수단과, 상기 제 1감지수단으로 부터 전달된 전기적 신호가 상기 중앙처리장치에서 연산된 신호에 따라 개폐되도록 상기 중앙처리장치와 전기적으로 연결된 제 1밸브와, 상기 제 2감지수단으로 부터 전달된 전기적 신호가 상기 중앙처리장치에서 연산된 신호에 따라 개폐되도록 상기 중앙처리장치와 전기적으로 연결된 제 2밸브와, 상기 에어 나이프 작동 후, 1 내지 5초 정도의 시차를 두고 상기 세정수단의 구동모터를 온/오프시키는 시차조절장치로 이루어진 콘트롤러를 포함한다.

삭제

이와 같이, 본 발명에 따른 디스플레이 기판의 세정장치에 의하면, 세정을 위해 이송되는 기판의 접촉을 최소화함으로서, 기판 전 면적에 대한 원활한 세정이 이루어지도록 하는 효과가 있다.

또한, 에어 나이프의 에어 작용에 의해 세정액이 주변으로 튀는 것을 원천적으로 예방함으로서, 세정장치 주변의 오염을 방지하고, 그에 따라, 보다 쾌적한 작업장 환경을 조성하는 효과가 있다.

또한, 디스플레이 기판 상측에 구비된 에어 나이프에 의해, 세정작업시 세정액이 기판 상면의 패턴에 튀는 것을 원천적으로 방지하여 패턴의 손상을 예방하는 효과가 있다.

또한, 디스플레이 기판의 세정은 원활하게 하되, 음압발생장치에 의해 세정되는 기판이 상측으로 들어 올려지는 유동이 생기지 않도록 하여 세정효율을 높이는 효과가 있다.

또한, 세정작업이 콘트롤러에 의해 자동으로 이루어져 세정불량이 거의 발생하지 않도록 함으로서, 디스플레이 기판의 세정 생산성이 향상되는 효과가 있다.

도 1은 종래 디스플레이 기판 세정장치를 일측과 평면에서 바라본 도면이고,
도 2는 본 발명에 따른 디스플레이 기판 세정장치를 일측과 평면에서 바라본 도면이고,
도 3은 도 2 "A"-"A"선에 따른 단면도로서, 본 발명에 따른 디스플레이 기판 세정장치의 구성중 음압발생장치를 보인 도면이고,
도 4는 본 발명에 따른 디스플레이 기판 세정장치의 구성중 에어 나이프를 보인 도면이고,
도 5는 본 발명에 따른 디스플레이 기판 세정장치의 콘트롤러를 보인 블럭도이다.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 디스플레이 기판 세정장치(10)(이하, "세정장치"라 칭한다)는 이송용 롤러(13)가 등간격으로 구비된 프레임 본체(11)와 음압발생장치(100)와 세정수단(200)과 에어 나이프(300)와 콘트롤러(400)와 건조용 에어 나이프(500)로 이루어진다.(본 발명에서는 후술하는 음압발생장치(100)에 의해 비접촉 이송이 이루어짐으로서, 종래의 구성과는 달리 이송용 롤러(13)의 수량을 대폭적으로 줄였으며, 이 이송용 롤러(13)의 구동에 대해서는 종래와 동일함으로 상세한 설명을 생략한다)

음압발생장치(100)는 프레임본체(11)의 길이방향 등간격으로 구비된 이송용 롤러(13) 사이에 다수열 구비된다.

도 3을 참조하면, 음압발생장치(100)는 평면에서 바라볼 때, 환형으로 형성되고, 이 환형의 중심에 도시한 방향을 기준하여 수직방향으로 에어 공급구(110)가 형성되고, 이 에어 공급구(110)의 단부에서 단면상 사선(斜線)방향으로는 다수의 에어 분출구(130)가 형성되는데 이 에어 분출구(130)는 평면에서 바라볼 때, 방사상으로 형성된다.

상기한 바와 같이, 다수 구비된 음압발생장치(100)의 에어 공급구(110)는 도시하지 않은 에어 라인과 연결되어 항상 일정한 압력의 에어 압(7~10Kg/㎠)이 상기한 에어분출구(130)로 배출된다.

한편, 본 발명에 따른 세정장치(10)의 세정수단(200)은 상기한 프레임본체(1) 중간 부분에 적어도 하나 이상 구비되는데, 이 세정수단(200)은 용기(210)와 세정용 브러쉬(230)와 구동모터(250)로 이루어진다.

용기(210)는 "└┘"자 형으로 상부만 개구된 육면체 형태로서, 그 내부에 세정액(211)이 구비된다.

상기한 용기(210)의 개구된 상단은 후술하는 작용에서 세정용 브러쉬(230)에 의해 세정액이 튀는 것을 최소화하기 위해 디스플레이 기판(20)(이하, "기판"이라 칭한다)의 하면에 근접하게 설치하는 것이 바람직하다.

한편, 용기(210)의 길이방향으로 세정용 브러쉬(230)가 구비되는데, 이 세정용 브러쉬(230)의 양단은 상기 프레임 본체(11)에 축결합되며, 일단에는 스프로켓(231)이 구비되어, 프레임 본체(11)의 하측에 구비된 구동모터(250)와 연동할 수 있도록 하였다.

이와 같은, 세정수단(200)의 상측으로 에어 나이프(300)가 구비된다.

도 4를 참조하면, 에어 나이프(300)는 상기한 세정수단(200)의 길이방향 상측에 적어도 하나 이상 구비된 것으로서, 일단의 원통형 에어 공급구(310)는 고압(7~10Kg/㎠)의 에어가 토출되는 에어 호스(HS)와 연결되고, 이 에어 공급구(310)와 일체로 에어 분출구(330)가 형성되어 있다.

이 에어 분출구(330)는 평면에서 바라볼 때, 상기한 에어 공급구(310)와 대향하는 단부로 갈 수록 넓어지고, 측면에서 바라볼 때는 좁아지도록 형성되어, 이 좁아진 틈새로 빠져 나오는 고압의 에어가 일직선상으로 에어 커튼(Air Curtain)막을 형성함으로서, 상기한 세정수단(200)에서 분출되는 세정액(211)이 기판(20)의 패턴을 오염시키는 것을 방지한다.

상기한 바와 같은 세정수단(200)과 에어 나이프(300)의 동작은 콘트롤러(400)에 의해 제어된다.

콘트롤러(400)는 중앙처리장치(401)와 제1, 2감지수단(410)(420)과 제 1, 2밸브(430)(440)와 시차조절장치(450)로 이루어진다.

중앙처리장치(401)는 C.P.U(Central Processing Unit)로서, 후술하는 작용에서의 동작을 수행할 수 있도록 명령을 해독하고, 산술, 논리연산이나 데이터 처리를 실행하는 장치로서, 후술하는 장치들의 동작을 감지하여 이미 입력된 데이터에 의해 동작을 수행한다.

제 1, 2감지수단(410)(420)은 상기한 기판(20)의 진입, 출을 감지하도록 상기 프레임본체(11) 선단과 세정수단(200) 인근에 설치되며, 기판(20)의 진입, 출이 감지가 되면 이 신호를 상기한 중앙처리장치(401)에 전달하여 후속동작이 이루어지도록 하는 것이다.

상기한 제 1, 2감지수단(410)(420)은 센서나 리미트 스위치중 어느 하나를 선택적으로 사용해도 무방하다.

제 1, 2밸브(430)(440)는 솔레노이드 밸브(Solenoid Valve)로서, 솔레노이드 밸브는 전기자석밸브의 일종으로서, 코어(미도시)로 구성된 양단의 솔레노이드 코일(밸브 양단의 전기 인가부분 뭉치)에 전기를 통전시키면 상기한 코어(미도시)에 끼워져 있던 봉부분의 내부가 전자석으로 바뀌게 되고, 이로 인해 밸브의 유로 부분을 막고 있던 다이아프램(미도시)과 연결되어있는 플런져(코일 중심봉안에 들어있는 쇠봉)가 자력(磁力)으로 인해 움직이게 됨으로서, 이 플런져와 연결되어있는 다이아프램이 길이방향 일측 또는 타측으로 이동하며 밸브의 유로가 개폐된다.

따라서, 상기한 제 1, 2감지수단(410)(420)으로 부터 전달된 전기신호를 중앙처리장치(401)가 연산하여 상기한 제 1, 2밸브(430)(440)가 개폐되도록 제어한다. 즉, 상기한 제 1감지수단(410)에 의해 작동되는 제 1밸브(430)는 음압발생장치(100)에 에어를 공급하고, 제 2감지수단(420)에 의해 작동되는 제 2밸브(440)는 에어 나이프(300)에 에어를 공급하도록 개폐된다.

한편, 시차조절장치(450)는 타이머로서, 상기한 중앙처리장치(401)에서 상기 제 2밸브(440)를 작동하도록 전기적 신호를 보내어 상기 제 2밸브(430)가 온/오프된 후, 1 내지 5초 정도의 시차(설정에 따라 다름)를 두고 상기 세정수단(200)의 구동모터(250)를 작동시킴으로서, 상기한 에어 나이프(300)보다는 다소 늦은 시간에 세정용 브러쉬(230)가 작동하도록 하는 것이다.

한편, 본 발명에 따른 세정장치(10)는, 상기 건조부(3)의 하측에 상향하게 구비된 적어도 하나 이상의 건조용 에어 나이프(500)를 더 포함한다.

이 건조용 에어 나이프(500)는 설치된 방향이 상향하도록 설치된 것 이외에는 상기한 에어 나이프(300)의 구성과 동일하고, 상기한 콘트롤러(400)에 의해서도 동시에 작동함으로 상세한 설명은 생략한다.

계속해서, 도 2 내지 도 5를 참조로 하여, 본 발명에 따른 세정장치(10)의 작용 효과를 설명한다.

우선, 본 발명에 따른 세정장치(10)의 프레임 본체(11)에 다수 배치된 이송용 롤러(13)의 회전에 의해 기판(20)이 일측으로 이송된다.

이 때, 프레임본체(11) 선단에 구비된 제 1감지수단(410)의 감지에 의해 중장처리장치(401)를 통해 연산된 신호에 따라 제 1밸브(430)가 작동하며 세정장치(10)에 다수 구비된 음압발생장치(100)에 에어가 공급된다.

이와 같이, 세정장치(10)의 각 이송용 롤러(13) 사이에 다수 구비된 음압발생장치(100)에 고압의 에어가 에어공급구(110)로 공급되고, 이 에어는 평면에서 바라볼 때, 방사상으로 다수 형성된 에어 분출구(130)를 통해 배출되는데, 이 음압발생장치(100)의 상면과 기판(20) 사이에는 음압(陰壓), 다시 말해서 압력 차이가 발생하게 된다.

이러한 압력차에 의해 기판(20)에는 상기한 음압발생장치(100)의 상면으로 인력(引力)이 작용하게 되고, 기판(20)에는 국부적으로 미세하게 휘는 현상(도 3의 "H"표시부위)이 생기게 됨에 따라 기판(20)은 후술하는 세정용 브러쉬(230)의 세정작업시에도 유동하지 않고 밀착된 상태로 이동한다.

그러다가, 상기한 기판(20)이 더 진행하여 세정수단(200)이 마련된 중간부분에 다다르면, 제 2감지수단(420)이 이를 감지하여 제 2밸브(440)를 작동함으로서, 에어 나이프(300)를 통해 에어 차단막이 형성된다.

이와 동시에, 타이머로 이루어진 시차조절장치(450)에 의해 세정수단(200)의 구동모터(250)가 작동함에 따라 세정용 브러쉬(230)가 회전하고, 이 회전에 의해 용기(210)에 구비된 세정액(211)이 기판(20)에 접촉하면, 이 세정액(211)을 세정용 브러쉬(230)가 닦아 내며 세정 작업이 이루어진다.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 세정수단(200)의 세정용 브러쉬(230)가 회전하며 세정작업이 이루어지는 동안, 그 상측에 마련된 에어 나이프(300)는 에어 분출구(330)를 통해 고압의 에어를 분출함으로서, 기판(20)의 하면을 세정한 세정액(211)이 상면으로 튀는 것을 원천적으로 방지한다.

이와 같이, 세정작업이 완료되면, 기판(20)은 프레임 본체(11) 하측에 상향하는 적어도 하나 이상의 건조용 에어 나이프(500)의 에어 분출구(530)를 통해 고압의 에어가 분출되며 건조가 완료됨으로서, 디스플레이 기판(20)의 세정 작업은 완료된다.

이 건조용 에어 나이프(500)도 콘트롤러(400)의 동작에 의해 상기한 에어 나이프(300)와 동시에 작동한다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 디스플레이 기판 세정장치(10)에 의하면, 세정을 위해 이송되는 기판(20)이 이송용 롤러(130)와의 접촉을 최소화함으로서, 기판 전 면적에 대한 원활한 세정이 이루어지도록 하였으며, 에어 나이프(300)의 에어 작용에 의해 세정액(211)이 주변으로 튀는 것을 원천적으로 예방함으로서, 세정장치(10) 주변의 오염을 방지하고, 그에 따라, 보다 쾌적한 작업장 환경을 조성하였다.

또한, 디스플레이 기판(20) 상측에 구비된 에어 나이프(300)에 의해 세정시 세정액(211)이 기판(20) 상면의 패턴에 튀는 것을 원천적으로 방지하여 패턴의 손상을 예방하였다.

본 발명은 상술한 특정 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변형실시는 본 발명의 청구범위 기재 범위 내에 있게 된다.

10 : 디스플레이 기판 세정장치 100 : 음압발생장치
110 : 에어 공급구 130 : 에어 분출구
200 : 세정수단 210 : 용기(容器)
230 : 세정용 브러쉬 250 : 구동모터
300 : 에어 나이프 310, 410 : 에어 공급구
330, 430 : 에어 분출구 400 : 콘트롤러
500 : 건조용 에어 나이프

Claims

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디스플레이 기판을 공급하는 로딩부와, 상기 로딩부에서 공급된 디스플레이 기판을 세정하도록 프레임본체 길이방향 상측에 적어도 하나 이상 구비되며, 고압의 에어 호스와 연결된 원통형의 에어공급구와, 상기 에어공급구와 일체로 형성되되, 평면에서 바라볼 때, 단부로 갈 수록 넓어지고, 측면에서 바라볼 때는 단부로 갈수록 좁아지도록 형성된 에어 분출구로 이루어진 에어 나이프와, 상기 프레임본체의 중간 부분에 적어도 하나 이상 구비되며, 일측 단면상에서 바라볼 때, "└┘"자 형으로 형성된 용기와, 상기 용기의 길이방향으로 구비되며, 양단은 상기 프레임 본체에 축결합된 세정용 브러쉬와, 상기 세정용 브러쉬를 회전시키기 위해 상기 세정용 브러쉬의 일단과 축결합된 구동모터로 이루어진 세정수단을 포함하는 세정부와, 상기 세정부에서 세정이 완료된 기판을 하측에서 건조시키도록 상향하는 적어도 하나 이상의 건조용 에어나이프를 구비한 건조부로 이루어지며, 프레임 본체의 길이방향 등간격으로 다수 구비된 이송용 롤러 사이에 다수열 구비되는 일측의 에어공급구와, 상기 에어공급구의 단부에서 사선방향으로 형성되고, 평면에서 바라볼 때, 방사상으로 다수 형성된 에어 분출구로 이루어진 음압발생장치가 구비된 디스플레이 기판의 세정장치에 있어서,
상기 세정장치는,
상기 세정수단과 상기 에어 나이프의 작동을 제어하도록 구비되는 중앙처리장치와, 상기 디스플레이 기판의 진입, 진출을 감지하여 상기 중앙처리장치에 전기적 신호를 발생시키는 제 1, 2감지수단과, 상기 제 1감지수단으로 부터 전달된 전기적 신호가 상기 중앙처리장치에서 연산된 신호에 따라 개폐되도록 상기 중앙처리장치와 전기적으로 연결된 제 1밸브와, 상기 제 2감지수단으로 부터 전달된 전기적 신호가 상기 중앙처리장치에서 연산된 신호에 따라 개폐되도록 상기 중앙처리장치와 전기적으로 연결된 제 2밸브와, 상기 에어 나이프 작동 후, 1 내지 5초 정도의 시차를 두고 상기 세정수단의 구동모터를 온/오프시키는 시차조절장치로 이루어진 콘트롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 세정장치.
제 5항에 있어서,
상기 감지수단은 센서 또는 리미트 스위치중 어느 하나이고;
상기 제 1, 2밸브는 솔레노이드 밸브이며;
상기 시차조절장치는 타이머인 것을 특징으로 하는 하는 디스플레이 기판 세정장치.
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