KR101354956B1 - Cleaner for probe unit - Google Patents

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Abstract

본 발명은 프로브 유니트용 크리너에 관한 것으로서, 상세하게는 프로브 유니트가 패널이 교체되어 대기하는 시간 또는 패널과 프로브 유니트가 접촉되기 직전 또는 프로브 유니트가 이동되는 시간에 크리너를 Y축으로 전후진시켜 크리너의 전단에 부착된 샌딩 블록을 통해 프로브 유니트의 프로브 블록 전극부를 샌딩하고, 에어를 분사하여 이물질을 제거하도록 하는 프로브 유니트용 크리너에 관한 것이다.The present invention relates to a cleaner for a probe unit, and in particular, the probe unit is moved back and forth on the Y axis at a time when the panel is waiting for replacement of the panel or just before the panel and the probe unit are contacted or when the probe unit is moved. The present invention relates to a cleaner for a probe unit, which sands a probe block electrode part of a probe unit through a sanding block attached to a front end of the probe unit, and blows air to remove foreign substances.

Description

프로브 유니트용 크리너{CLEANER FOR PROBE UNIT}Cleaner for probe unit {CLEANER FOR PROBE UNIT}

본 발명은 프로브 유니트용 크리너에 관한 것으로서, 상세하게는 프로브 유니트가 패널이 교체되어 대기하는 시간 또는 패널과 프로브 유니트가 접촉되기 직전 또는 프로브 유니트가 이동되는 시간에 크리너를 Y축으로 전후진시켜 크리너의 전단에 부착된 샌딩 블록을 통해 프로브 유니트의 프로브 블록 전극부를 샌딩하고, 에어를 분사하여 이물질을 제거하도록 하는 프로브 유니트용 크리너에 관한 것이다.The present invention relates to a cleaner for a probe unit, and in particular, the probe unit is moved back and forth on the Y axis at a time when the panel is waiting for replacement of the panel or just before the panel and the probe unit are contacted or when the probe unit is moved. The present invention relates to a cleaner for a probe unit, which sands a probe block electrode part of a probe unit through a sanding block attached to a front end of the probe unit, and blows air to remove foreign substances.

일반적으로, LCD 검사 장비는 LCD 패널이 불량품인지 양품인지를 육안상으로 용이하게 검사할 수 있도록 작업자가 위치한 지점까지 LCD 패널을 자동으로 이송시켜주고, 검사가 완료되면 검사결과에 따라 LCD 패널을 양품(good), 수리대상(repair), 폐기(reject)로 분류하여 카세트(cassette)에 구분 적치하여 주는 장치를 일컫는다.In general, the LCD inspection equipment automatically transfers the LCD panel to the point where the operator is located so that the LCD panel can be easily visually inspected whether the LCD panel is defective or good. It refers to a device that is classified as good, repair or reject and placed in a cassette.

도 1 및 도 2에 도시된 것과 같이, 일반적인 LCD 검사 장비는 본체(1)의 일측에 LCD 패널(P)의 검사를 수행하는 검사부(2)가 배치되고, 이 검사부(2)의 일측에 LCD 패널(P)을 공급 및 회수하는 로딩/언로딩부(7)가 배치된 구성으로 이루어진다.As shown in Fig. 1 and Fig. 2, in general LCD inspection equipment, an inspection unit 2 for inspecting the LCD panel P is disposed on one side of the main body 1, and the LCD on one side of the inspection unit 2 is disposed. The loading / unloading unit 7 for supplying and recovering the panel P is arranged.

또한, LCD 검사 장비에는 LCD 패널(P)을 상기 로딩/언로딩부(7)에서 검사부(2)로, 검사부(2)에서 로딩/언로딩부(7)로 반송하여 주는 캐리어(9)가 좌/우로 이동이 가능하게 설치되어 있다.In addition, the LCD inspection equipment includes a carrier 9 which conveys the LCD panel P from the loading / unloading portion 7 to the inspection portion 2 and the inspection portion 2 from the loading / unloading portion 7. It is installed to move left / right.

상기 검사부(2)는 프로브 유니트(3) 및 LCD 패널(P)을 상기 프로브 유니트(3)에 콘택시킴과 더불어 광원을 제공하는 워크 스테이지(4)(work stage)로 구성된다. 상기 워크 스테이지(4)는 편광판(4a) 및 백라이트(4b)로 이루어지고, 이 워크 스테이지(4)의 후방에는 워크 스테이지(4)를 프로브 유니트(3)에 대해 정렬함과 더불어 프로브 유니트(3)에 접속시키는 XYZθ스테이지(5)가 설치된다.The inspection unit 2 is composed of a work stage 4 which contacts the probe unit 3 and the LCD panel P to the probe unit 3 and provides a light source. The work stage 4 is composed of a polarizing plate 4a and a backlight 4b, and at the rear of the work stage 4, the work stage 4 is aligned with the probe unit 3, and the probe unit 3 ) Is provided with an XYZθ stage (5).

상기 로딩/언로딩부(7)에는 로더(미도시)로부터 반송된 LCD 패널을 소정 각도(예컨대 60도)로 기울여주는 서브테이블(8)이 설치된다.The loading / unloading unit 7 is provided with a subtable 8 for tilting the LCD panel conveyed from the loader (not shown) at a predetermined angle (for example, 60 degrees).

또한, 상기 검사부(2)의 전방에는 LCD 패널(P)의 육안 검사시 이상이 발견되었을 때 작업자가 이를 더욱 정밀히 확인하기 위한 현미경(6)이 상하 및 좌우로 이동이 가능하게 설치되어 있다.In addition, in the front of the inspection unit 2, when an abnormality is found during visual inspection of the LCD panel P, the microscope 6 for allowing the operator to check this more precisely is installed to be able to move vertically and horizontally.

상기와 같은 종래의 LCD 검사 장비에서 이루어지는 검사 과정을 간략하게 설명하면 다음과 같다.Referring to the inspection process made in the conventional LCD inspection equipment as described above is as follows.

로딩/언로딩부(7)의 로더(미도시)로부터 서브테이블(8)에 LCD 패널(P)이 전달되고, 서브테이블(8)은 소정 각도로 기울어지면서 캐리어(9)에 LCD 패널(P)을 전달한다. 이어서, 캐리어(9)는 LCD 패널(P)을 검사부(2)로 반송한다. 검사부(2)에 테스트할 LCD 패널(P)이 위치되면, 후방에서 XYZθ스테이지(5)가 전진하여 캐리어(9)의 LCD 패널(P)을 진공 흡착하여 고정하고, 고정된 LCD 패널(P)의 패드(미도시)를 프로브 유니트(3)의 리드핀(미도시)에 접속시킨다.The LCD panel P is transferred from the loader (not shown) of the loading / unloading unit 7 to the subtable 8, and the subtable 8 is inclined at a predetermined angle to the carrier 9 with the LCD panel P. ). Next, the carrier 9 conveys the LCD panel P to the inspection unit 2. When the LCD panel P to be tested is positioned in the inspection unit 2, the XYZθ stage 5 is advanced from the rear side to vacuum the LCD panel P of the carrier 9 to be fixed by vacuum suction, and the fixed LCD panel P is fixed. Pads (not shown) are connected to lead pins (not shown) of the probe unit 3.

이와 같이 LCD 패널(P)과 프로브 유니트(3) 간의 전기적 접속이 이루어지면, 프로브 유니트(3)를 통해 소정의 영상 신호가 인가됨과 동시에, 백라이트(4b)의 조명이 외부의 영상신호 입력 장치인 패턴제너레이터(pattern generator)에 의해 다양한 패턴으로 바뀌게 되고, 작업자는 이 때 구현되는 패턴으로 패널의 불량을 판별하게 된다.When the electrical connection is made between the LCD panel P and the probe unit 3 as described above, a predetermined image signal is applied through the probe unit 3 and the illumination of the backlight 4b is an external image signal input device. The pattern generator is changed into various patterns by the pattern generator, and the operator determines the defect of the panel by the pattern implemented at this time.

한편, 상기의 프로브 유니트는 도 3에 도시된 바와 같이 직사각 형태의 베이스 플레이트(3-1)와, 베이스 플레이트(3-1)의 상면 일단에 등간격을 가지며 설치되고, 핀 또는 필름 형태의 전극부를 구비하는 프로브 블록(3-3)과, 프로브 블록(3-3)으로 신호를 전달하도록 이와 전기적으로 접속되고, 베이스 플레이트(3-1)의 상면에 설치되는 데이터 PCB(3-5)와, 얼라인을 확인하도록 베이스 플레이트(3-1)의 상면에 설치되는 얼라인 카메라(3-7)로 구성된다.On the other hand, the probe unit as shown in Figure 3 is a rectangular base plate (3-1), and is installed at equal intervals on one end of the upper surface of the base plate 3-1, pin or film-shaped electrode A probe block 3-3 having a portion, a data PCB 3-5 electrically connected to the probe block 3-3 so as to transmit a signal to the probe block 3-3, and installed on an upper surface of the base plate 3-1; And an alignment camera 3-7 installed on the upper surface of the base plate 3-1 to check the alignment.

한편, 이러한 종래의 프로브 유니트는 LCD 패널과 프로브 유니트를 접촉시 이들 사이에 이물질이 있으면, 프로브 유니트와 패드와의 접촉이 방해되어, 정확하게 시험을 할 수 없는 경우가 있다.On the other hand, in the conventional probe unit, if there is foreign matter between the LCD panel and the probe unit, the contact between the probe unit and the pad may be hindered, and thus the test may not be performed accurately.

그리하여 청소장치가 개발되었고, 이러한 프로브 유니트의 청소 장치로 국내공개특허공보 10-2011-0121064호(선행기술 1)와, 10-2012-0098399호(선행기술 2)가 개시되었다.Thus, a cleaning device has been developed, and Korean Patent Publication Nos. 10-2011-0121064 (prior art 1) and 10-2012-0098399 (prior art 2) have been disclosed as cleaning devices for such a probe unit.

선행기술 1은 연성인쇄회로기판을 직접 또는 간접적으로 검사 대상물의 전극패드들에 접촉시킨 상태에서 검사 대상물에 대한 전기적인 검사 공정을 수행하는 경우, 상기 연성인쇄회로기판상의 이물질은 이물질 제거부로부터 분사된 가스에 의해 제거될 수 있다.In the prior art 1, when the flexible printed circuit board is directly or indirectly contacted with the electrode pads of the inspection object, and the electrical inspection process is performed on the inspection object, the foreign matter on the flexible printed circuit board is sprayed from the foreign substance removal unit. Can be removed by the gas.

선행기술 2는 전극을 갖춘 피검사체의 위쪽에 배치되는 프로브 장치로서, 상기 전극에 접촉되도록 아래쪽으로 향해진 침선을 갖는 복수의 프로브를 갖춘 프로브 장치 본체; 상기 프로브 장치 본체와 상기 피검사체가 서로 가까워지고 서로 멀어지는 상하방향으로의 상대 이동에 의해 상기 전극에 접촉 가능한 전단부를 상기 침선보다 아래쪽의 앞쪽에 갖춘 청소장치; 및 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사방향으로 상기 청소장치와 상기 프로브 장치 본체를 상대적으로 이동 가능하게 결합하는 결합장치를 포함한다.Prior art 2 is a probe device disposed above a test subject having an electrode, comprising: a probe device body having a plurality of probes having a needle point directed downward to contact the electrode; A cleaning device provided with a front end portion lower than the needle line in contact with the electrode by a relative movement in the vertical direction in which the probe apparatus main body and the test subject are closer to each other and farther apart from each other; And a coupling device for relatively moving the cleaning device and the probe device main body in an inclined direction toward the rear toward the upper side.

그러나, 선행기술 1은 에어를 분사하여 이물질을 제거하기 때문에 이물질 제거 효과가 떨어지고, 선행기술 2는 프로브 유니트가 LCD 패널과 접촉할 때 미리 청소장치를 LCD 패널과 접촉시켜 이물질을 제거한 후 후퇴하는 구조이기 때문에 구조가 복잡하고, 검사시 청소 공정이 포함되기 때문에 검사에 많은 시간이 소비되는 문제점이 있다.However, the prior art 1 is effective in removing foreign matters because the foreign matter is removed by spraying air, and the prior art 2 retreats after removing the foreign matters by contacting the cleaning device with the LCD panel in advance when the probe unit contacts the LCD panel. Because of this, there is a problem in that the structure is complicated and a large amount of time is required for inspection because a cleaning process is included in the inspection.

국내공개특허공보 10-2011-0121064호Domestic Patent Publication No. 10-2011-0121064 국내공개특허공보 10-2012-0098399호Domestic Patent Publication No. 10-2012-0098399

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 프로브 유니트가 패널이 교체되어 대기하는 시간 또는 패널과 프로브 유니트가 접촉되기 직전 또는 프로브 유니트가 이동되는 시간에 크리너를 Y축으로 전후진시켜 크리너의 전단에 부착된 샌딩 블록을 통해 프로브 유니트의 프로브 블록 전극부를 샌딩하여 부착된 이물질을 제거하고, 에어를 분사함으로써 검사 공정과 상관없이 프로브 블록의 전극부에 부착된 이물질을 완벽하게 제거할 수 있도록 하는 프로브 유니트용 크리너를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, by moving the cleaner back and forth on the Y-axis at the time when the probe unit is waiting for the panel is replaced, or just before the panel and the probe unit is in contact or when the probe unit is moved, Sanding block attached to the front end of the probe block electrode part of the probe unit to remove the adhered foreign matter, and by spraying air to completely remove the foreign matter attached to the electrode portion of the probe block irrespective of the inspection process The object is to provide a cleaner for the probe unit.

본 발명은 샌딩 블록을 이동시키는 가이드 부재에 캠홀을 형성하고, 캠홀을 따라 샌딩 블록이 Z축으로 경사방향으로 이동되도록 하여 프로브 블록의 전극부중 접촉 부위만을 샌딩함으로써 전극부의 수명을 연장시킬 수 있도록 하는 프로브 유니트용 크리너를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention forms a cam hole in the guide member for moving the sanding block and moves the sanding block along the cam hole in an inclined direction along the Z-axis so that only the contact portion of the electrode portion of the probe block can be sanded to extend the life of the electrode portion. The object is to provide a cleaner for the probe unit.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은,According to an aspect of the present invention,

베이스 플레이트에 복수의 프로브 블록이 구비되고, 상기 프로브 블록에 핀 또는 필름 형태의 전극부가 형성되는 프로브 유니트에 있어서, 상기 베이스 플레이트의 저면에 설치되고, 외부로부터 공급되는 구동원에 의해 동작되는 실린더와; 상기 실린더의 상면에 고정 설치되어 상기 실린더의 동작에 따라 Y축 방향으로 이동되는 슬라이딩 블록과; 일단이 상기 슬라이딩 블록의 양측면에 축회전 가능하도록 각각 설치되고, 일측에 캠홀이 형성되는 가이드 부재와; 상기 가이드 부재의 타단에 고정 설치되고, 상면에 샌딩 부재가 구비되어 상기 프로브 블록의 전극부를 샌딩하는 샌딩 블록과; 상기 가이드 부재를 관통하여 설치되고, 복수의 에어홀이 상기 샌딩 블록 측을 향하도록 구비되어 외부로부터 공급되는 상기 프로브 브록의 전극부로 에어를 분사하는 에어 분사 파이프; 및 상기 가이드 부재의 캠홀에 각각 설치되어 상기 가이드 부재의 Z축 방향의 이동을 조절하는 Z축 조절 블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.A probe unit provided with a plurality of probe blocks on a base plate, wherein the probe block is formed with an electrode portion in the form of a pin or a film, the probe unit comprising: a cylinder installed on a bottom surface of the base plate and operated by a driving source supplied from the outside; A sliding block fixedly installed on an upper surface of the cylinder and moving in a Y-axis direction according to an operation of the cylinder; A guide member having one end mounted on both sides of the sliding block so as to be rotatable, and a cam hole formed at one side thereof; A sanding block fixedly installed at the other end of the guide member and provided with a sanding member on an upper surface thereof to sand the electrode of the probe block; An air injection pipe installed through the guide member and having a plurality of air holes facing the sanding block side to inject air to an electrode portion of the probe block supplied from the outside; And Z-axis adjusting blocks respectively installed in the cam holes of the guide member to adjust the movement in the Z-axis direction of the guide member.

여기에서, 상기 프로브 유니트용 크리너는 상기 프로브 블록과 1 : 1 또는 1: N으로 설치된다.Herein, the cleaner for the probe unit is installed with the probe block at 1: 1 or 1: N.

여기에서 또한, 상기 실린더는 외부로부터 공급되는 에어에 의해 동작되는 에어 실린더이다.Here, the cylinder is also an air cylinder operated by air supplied from the outside.

여기에서 또, 상기 실린더는 Y축 방향으로 이동되기 위해 저면에 LM 가이드 부재가 구비된다.Here, the cylinder is provided with an LM guide member on the bottom surface to move in the Y-axis direction.

여기에서 또, 상기 가이드 부재는 상기 슬라이딩 블록과 부시에 의해 축 결합된다.Here, the guide member is axially coupled by the sliding block and the bush.

여기에서 또, 상기 가이드 부재의 캠홀은 상향 또는 하향 경사를 갖도록 형성된다.Here, the cam hole of the guide member is formed to have an upward or downward slope.

여기에서 또, 상기 샌딩 블록의 샌딩 부재는 샌딩 페이퍼, 브러쉬, 합성수지중 선택되는 어느 하나이다.Here, the sanding member of the sanding block is any one selected from a sanding paper, a brush, a synthetic resin.

여기에서 또, 상기 Z축 조절 블록은 상기 가이드 부재의 캠홀에 삽입되어 회전되는 캠 플로워 베어링과; 상기 캠 플로워 베어링이 측면에 고정 설치되고, Z축 조절 볼트가 수직으로 관통 설치되며, 양단에 수직 방향으로 핀홀이 형성되는 승하강 부재; 및 저면이 상기 베이스 플레이트에 고정 설치되고, 상면 양단에 상기 승하강 부재의 핀홀와 대응되는 위치에 핀이 돌출 형성되며, 상기 핀이 상기 승하강 부재의 핀홀에 삽입되고, 상기 Z축 조절 볼트가 결합되는 고정 부재로 이루어진다.Here, the Z-axis control block is a cam follower bearing is inserted into the cam hole of the guide member and rotated; An elevating member in which the cam follower bearing is fixed to the side, the Z-axis adjusting bolt is vertically penetrated, and pin holes are formed at both ends in a vertical direction; And a bottom surface is fixedly installed on the base plate, and pins protrude from positions corresponding to pinholes of the elevating member at both ends of the upper surface, the pin is inserted into the pinhole of the elevating member, and the Z-axis adjusting bolt is It consists of a fixing member to be coupled.

상기와 같이 구성되는 본 발명인 프로브 유니트용 크리너에 따르면, 프로브 유니트가 패널이 교체되어 대기하는 시간 또는 패널과 프로브 유니트가 접촉되기 직전 또는 프로브 유니트가 이동되는 시간에 크리너를 Y축으로 전후진시켜 크리너의 전단에 부착된 샌딩 블록을 통해 프로브 유니트의 프로브 블록 전극부를 샌딩하여 부착된 이물질을 제거하고, 에어를 분사함으로써 검사 공정과 상관없이 프로브 블록의 전극부에 부착된 이물질을 완벽하게 제거할 수 있다.According to the cleaner for a probe unit of the present invention configured as described above, the cleaner is moved forward and backward on the Y-axis at the time when the probe unit waits for the panel to be replaced or just before the panel and probe unit contact or when the probe unit moves. Sanding blocks attached to the front end of the probe unit of the probe block electrode unit of the probe unit to remove the adhered foreign matter, by blowing air can be completely removed foreign matter attached to the electrode portion of the probe block irrespective of the inspection process. .

본 발명에 따르면 샌딩 블록을 이동시키는 가이드 부재에 캠홀을 형성하고, 캠홀을 따라 샌딩 블록이 Z축으로 경사방향으로 이동되도록 하여 프로브 블록의 전극부중 접촉 부위만을 샌딩함으로써 전극부의 수명을 연장시킬 수 있다.According to the present invention, the cam hole may be formed in the guide member for moving the sanding block, and the sanding block may be moved along the cam hole in an inclined direction along the Z axis, thereby sanding only the contact portion of the electrode part of the probe block, thereby extending the life of the electrode part. .

도 1 및 도 2는 일반적인 LCD 검사 장비의 구성을 나타낸 도면이다.
도 3은 종래의 프로브 유니트의 구성을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 프로브 유니트용 크리너의 구성을 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 프로브 유니트용 크리너의 구성을 나타낸 저면 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 프로브 유니트용 크리너의 구성을 나타낸 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 프로브 유니트용 크리너가 프로브 유니트에 적용된 모습을 나타낸 사시도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 유니트용 크리너가 프로브 유니트에 적용된 모습을 나타낸 사시도이다.
도 9 및 도 10은 본 발명에 따른 프로브 유니트용 크리너가 동작되는 모습을 나타낸 설명도이다.1 and 2 is a view showing the configuration of a general LCD inspection equipment.
3 is a view showing the configuration of a conventional probe unit.
4 is a perspective view showing the configuration of a cleaner for a probe unit according to the present invention.
5 is a bottom perspective view showing the configuration of a cleaner for a probe unit according to the present invention.
6 is an exploded perspective view showing the configuration of a cleaner for a probe unit according to the present invention.
7 is a perspective view showing a state in which a cleaner for a probe unit according to the present invention is applied to a probe unit.
8 is a perspective view illustrating a cleaner for a probe unit applied to a probe unit according to another exemplary embodiment of the present invention.
9 and 10 are explanatory views showing a state in which the cleaner for a probe unit according to the present invention is operated.

이하, 본 발명에 따른 프로브 유니트용 크리너의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a configuration of a cleaner for a probe unit according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. The following terms are defined in consideration of the functions of the present invention, and may be changed according to the intentions or customs of the user, the operator, and the like. Therefore, the definition should be based on the contents throughout this specification.

도 4는 본 발명에 따른 프로브 유니트용 크리너의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 프로브 유니트용 크리너의 구성을 나타낸 저면 사시도이며, 도 6은 본 발명에 따른 프로브 유니트용 크리너의 구성을 나타낸 분해 사시도이고, 도 7은 본 발명에 따른 프로브 유니트용 크리너가 프로브 유니트에 적용된 모습을 나타낸 사시도이며, 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 유니트용 크리너가 프로브 유니트에 적용된 모습을 나타낸 사시도이다.Figure 4 is a perspective view showing the configuration of a probe unit cleaner according to the present invention, Figure 5 is a bottom perspective view showing the configuration of a probe unit cleaner according to the present invention, Figure 6 is a configuration of a probe unit cleaner according to the present invention 7 is an exploded perspective view illustrating a probe unit cleaner according to the present invention applied to a probe unit, and FIG. 8 illustrates a probe unit cleaner according to another embodiment of the present invention applied to a probe unit. It is a perspective view shown.

도 4 내지 도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 프로브 유니트용 크리너(100)는 실린더(110)와, 슬라이딩 블록(120)과, 가이드 부재(130)와, 샌딩 블록(140)과, 에어 분사 파이프(150)와, Z축 조절 블록(160)으로 구성된다.4 to 8, the probe unit cleaner 100 according to the present invention includes a cylinder 110, a sliding block 120, a guide member 130, a sanding block 140, and an air jet. The pipe 150 and the Z-axis adjustment block 160 is composed of.

먼저, 실린더(110)는 프로브 유니트(3)의 베이스 플레이트(3-1)의 저면에 설치되고, 외부로부터 공급되는 구동원에 의해 동작된다. 여기에서, 실린더(110)는 외부로부터 공급되는 에어에 의해 동작되는 에어 실린더인 것이 바람직하고, Y축 방향으로 이동하기 위하여 저면에 LM 가이드 부재(111)가 구비된다.
First, the cylinder 110 is installed on the bottom face of the base plate 3-1 of the probe unit 3, and is operated by a drive source supplied from the outside. Here, the cylinder 110 is preferably an air cylinder operated by air supplied from the outside, and the LM guide member 111 is provided on the bottom in order to move in the Y-axis direction.

그리고, 슬라이딩 블록(120)은 직육면체 형태로 실린더(110)의 상면에 고정 설치되어 실린더(110)의 동작에 따라 Y축 방향으로 이동된다.
In addition, the sliding block 120 is fixed to the upper surface of the cylinder 110 in a rectangular parallelepiped shape and is moved in the Y-axis direction according to the operation of the cylinder 110.

또한, 가이드 부재(130)는 한 쌍의 판 형상으로 일단이 슬라이딩 블록의 양측면에 축회전 가능하도록 각각 설치되고, 일측에 캠홀(131)이 형성된다. 여기에서, 가이드 부재(130)는 슬라이딩 블록(120)과 부시(133)에 의해 축 결합되고, 가이드 부재(130)의 캠홀(131)은 하기에서 설명할 샌딩 블록(140)을 경사지게 이동시켜 프로브 블록(3-3)의 전극부와 접촉하도록 상향 또는 하향 경사를 갖도록 형성되는 것이 바람직하다.
In addition, the guide member 130 is a pair of plate-shaped, one end of each is installed so as to be able to axially rotate on both sides of the sliding block, the cam hole 131 is formed on one side. Here, the guide member 130 is axially coupled by the sliding block 120 and the bush 133, the cam hole 131 of the guide member 130 is inclined to move the sanding block 140 to be described later to probe It is preferably formed to have an upward or downward inclination to contact the electrode portion of the block 3-3.

또, 샌딩 블록(140)은 가이드 부재(130)의 타단에 고정 설치되고, 상면에 샌딩 부재(141)가 구비되어 프로브 블록(3-3)의 전극부를 샌딩한다. 여기에서, 샌딩 블록(140)의 샌딩 부재(141)는 샌딩 페이퍼, 브러쉬, 합성수지중 선택되는 어느 하나이다.
In addition, the sanding block 140 is fixed to the other end of the guide member 130, the sanding member 141 is provided on the upper surface to sand the electrode portion of the probe block (3-3). Here, the sanding member 141 of the sanding block 140 is any one selected from sanding paper, a brush, and a synthetic resin.

한편, 에어 분사 파이프(150)는 가이드 부재(130)를 관통하여 설치되고, 복수의 에어홀(151)이 샌딩 블록(140) 측을 향하도록 구비되어 외부로부터 공급되는 에어를 프로브 블록(3-3)의 전극부로 분사한다. 여기에서, 에어 분사 파이프(150)는 각각의 가이드 부재(130)를 하나의 파이프가 관통되도록 구성되는 것이 바람직하다.
On the other hand, the air injection pipe 150 is installed through the guide member 130, the plurality of air holes 151 are provided so as to face the sanding block 140 side probe block (3-) Spray to the electrode part of 3). Here, the air injection pipe 150 is preferably configured such that one pipe passes through each guide member 130.

그리고, Z축 조절 블록(160)은 캠 플로워 베어링(161)과, 승하강 부재(163)와, 고정 부재(165)로 구성된다.And the Z-axis adjustment block 160 is comprised by the cam follower bearing 161, the elevating member 163, and the fixing member 165. As shown in FIG.

캠 플로워 베어링(161)은 가이드 부재(130)의 캠홀(131)에 삽입되어 캠홀(131) 내에서 회전되어 가이드 부재(130)가 이동되도록 한다.The cam follower bearing 161 is inserted into the cam hole 131 of the guide member 130 to be rotated in the cam hole 131 to move the guide member 130.

승하강 부재(163)는 캠 플로워 베어링(161)이 측면에 고정 설치되고, Z축 조절 볼트(167)가 수직으로 관통 설치되며, 양단에 수직 방향으로 핀홀(163a)이 형성된다.The elevating member 163 has a cam follower bearing 161 fixed to the side, and the Z-axis adjusting bolt 167 is vertically penetrated, and pinholes 163a are formed at both ends in the vertical direction.

고정 부재(165)는 저면이 베이스 플레이트(3-1)에 고정 설치되고, 상면 양단에 승하강 부재(163)의 핀홀(163a)와 대응되는 위치에 핀(165a)이 돌출 형성되며, 핀(165a)이 승하강 부재(163)의 핀홀(163a)에 삽입되고, Z축 조절 볼트(167)가 결합된다.The fixing member 165 has a bottom surface fixedly installed on the base plate 3-1, and pins 165a protrude and are formed at positions corresponding to the pinholes 163a of the elevating member 163 at both ends of the upper surface. 165a is inserted into the pinhole 163a of the elevating member 163, and the Z-axis adjusting bolt 167 is engaged.

한편, 본 발명에 따른 프로브 유니트용 크리너(100)는 도 6에 도시된 바와 같이 프로브 블록(3-3)과 1 : 1로 대응되도록 설치되거나 도 7에 도시된 바와 같이 프로브 블록(3-3)과 1: N으로 대응되도록 설치된다.
On the other hand, the cleaner 100 for the probe unit according to the present invention is installed so as to correspond to the probe block (3-3) 1: 1 as shown in Figure 6 or as shown in Figure 7 probe block (3-3) ) And 1: N.

이하, 본 발명에 따른 프로브 유니트용 크리너의 동작을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an operation of a cleaner for a probe unit according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 8 및 도 9는 본 발명에 따른 프로브 유니트용 크리너가 동작되는 모습을 나타낸 설명도이다.8 and 9 are explanatory views showing the operation of the cleaner for the probe unit according to the present invention.

프로브 유니트(3)가 패널이 교체되어 대기하는 시간 또는 패널과 프로브 유니트(3)가 접촉되기 직전 또는 프로브 유니트(3)가 이동되는 시간에 본 발명에 따른 프로브 유니트용 크리너(100)가 동작을 하게 된다.The probe unit cleaner 100 according to the present invention operates at the time when the probe unit 3 waits for the panel to be replaced or when the panel and probe unit 3 are in contact or when the probe unit 3 is moved. Done.

도 8에 도시된 바와 같이 실린더(110)에 에어가 공급되면, 실린더(110)가 LM 가이드 부재(111)를 따라 이동하면서, 이와 함께 슬라이딩 블록(120)이 Y축 방향, 즉 프로브 블록(3-3)측으로 이동된다.As shown in FIG. 8, when air is supplied to the cylinder 110, the cylinder 110 moves along the LM guide member 111, while the sliding block 120 moves in the Y-axis direction, that is, the probe block 3. -3) is moved to the side.

그러면, 슬라이딩 블록(120)과 연결된 가이드 부재(130) 또한 프로브 블록(3-3)측으로 이동된다.Then, the guide member 130 connected to the sliding block 120 is also moved to the probe block 3-3 side.

한편, 가이드 부재(130)가 이동되면 샌딩 블록(140)이 함께 이동되어 샌딩 블록(140)의 샌딩 부재(141)가 프로브 블록(3-3)의 전극부와 접촉하여 샌딩하게 된다. 이때, 샌딩 블록(140)은 가이드 부재(130)가 캠홀(131)에 의해 경사지도록 이동되기 때문에 프로브 블록(3-3)의 전극부중 접촉면만을 샌딩한다.Meanwhile, when the guide member 130 is moved, the sanding block 140 is moved together so that the sanding member 141 of the sanding block 140 contacts and contacts the electrode portion of the probe block 3-3. At this time, since the guide member 130 is moved to be inclined by the cam hole 131, the sanding block 140 sands only the contact surface of the electrode parts of the probe block 3-3.

이와 동시에 에어 분사 파이프(150)에 에어가 공급되어 에어홀(151)에서 프로브 블록(3-3)의 전극부로 에어를 분사하여 이물질을 제거한다.At the same time, air is supplied to the air injection pipe 150 to remove foreign substances by injecting air from the air hole 151 to the electrode portion of the probe block 3-3.

크리닝이 완료되면, 도 9에 도시된 바와 같이 샌딩 블록(140)과 가이드 부재(130) 및 슬라이딩 블록(120)이 실린더(110)에 의해 원위치로 이동되어 프로브 블록(3-3)의 접촉시 간섭이 없도록 한다.When the cleaning is completed, as shown in FIG. 9, the sanding block 140, the guide member 130, and the sliding block 120 are moved to their original positions by the cylinder 110, and the contact of the probe block 3-3 is performed. Make sure there is no interference.

한편, 가이드 부재(130)는 슬라이딩 블록(120)과 일단이 축결합되어 있기 때문에 Z축 조절 블록(160)에 의해 높이가 조절되기 때문에 샌딩 블록(140)과 프로브 블록(3-3)의 간격을 손쉽게 조절할 수 있다.On the other hand, since the height of the guide member 130 is axially coupled to the sliding block 120 and one end is adjusted by the Z-axis adjusting block 160, the distance between the sanding block 140 and the probe block (3-3) Can be adjusted easily.

본 발명은 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있으며 상기 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시 예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific forms thereof, which are to be considered as being limited to the specific embodiments, but on the contrary, the intention is to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. .

110 : 실린더 120 : 슬라이딩 블록
130 : 가이드 부재 140 : 샌딩 블록
150 : 에어 분사 파이프 160 : Z축 조절 블록110: cylinder 120: sliding block
130: guide member 140: sanding block
150: air injection pipe 160: Z-axis control block

Claims (8)

베이스 플레이트에 복수의 프로브 블록이 구비되고, 상기 프로브 블록에 핀 또는 필름 형태의 전극부가 형성되는 프로브 유니트에 있어서,
상기 베이스 플레이트의 저면에 설치되고, 외부로부터 공급되는 구동원에 의해 동작되는 실린더와;
상기 실린더의 상면에 고정 설치되어 상기 실린더의 동작에 따라 Y축 방향으로 이동되는 슬라이딩 블록과;
일단이 상기 슬라이딩 블록의 양측면에 축회전 가능하도록 각각 설치되고, 일측에 캠홀이 형성되는 가이드 부재와;
상기 가이드 부재의 타단에 고정 설치되고, 상면에 샌딩 부재가 구비되어 상기 프로브 블록의 전극부를 샌딩하는 샌딩 블록과;
상기 가이드 부재를 관통하여 설치되고, 복수의 에어홀이 상기 샌딩 블록 측을 향하도록 구비되어 외부로부터 공급되는 상기 프로브 브록의 전극부로 에어를 분사하는 에어 분사 파이프; 및
상기 가이드 부재의 캠홀에 각각 설치되어 상기 가이드 부재의 Z축 방향의 이동을 조절하는 Z축 조절 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유니트용 크리너.In the probe unit is provided with a plurality of probe blocks on the base plate, the electrode unit in the form of a pin or film in the probe block,
A cylinder installed at a bottom of the base plate and operated by a driving source supplied from the outside;
A sliding block fixedly installed on an upper surface of the cylinder and moving in a Y-axis direction according to an operation of the cylinder;
A guide member having one end mounted on both sides of the sliding block so as to be rotatable, and a cam hole formed at one side thereof;
A sanding block fixedly installed at the other end of the guide member and provided with a sanding member on an upper surface thereof to sand the electrode of the probe block;
An air injection pipe installed through the guide member and having a plurality of air holes facing the sanding block side to inject air to an electrode portion of the probe block supplied from the outside; And
And a Z-axis adjusting block which is installed in each of the cam holes of the guide member and adjusts the movement in the Z-axis direction of the guide member. 제 1 항에 있어서,
상기 프로브 유니트용 크리너는,
상기 프로브 블록과 1 : 1 또는 1: N으로 설치되는 것을 특징으로 하는 프로브 유니트용 크리너.The method of claim 1,
The probe unit cleaner,
Cleaner for a probe unit, characterized in that installed in the probe block and 1: 1 or 1: N. 제 1 항에 있어서,
상기 실린더는,
외부로부터 공급되는 에어에 의해 동작되는 에어 실린더인 것을 특징으로 하는 프로브 유니트용 크리너.The method of claim 1,
The cylinder
A probe unit cleaner, characterized in that the air cylinder is operated by the air supplied from the outside. 제 1 항에 있어서,
상기 실린더는,
Y축 방향으로 이동되기 위해 저면에 LM 가이드 부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 유니트용 크리너.The method of claim 1,
The cylinder
Cleaner for probe unit, characterized in that the LM guide member is provided on the bottom surface to move in the Y-axis direction. 제 1 항에 있어서,
상기 가이드 부재는,
상기 슬라이딩 블록과 부시에 의해 축 결합되는 것을 특징으로 하는 프로브 유니트용 크리너.The method of claim 1,
The guide member
Cleaner for probe unit, characterized in that the shaft is coupled by the sliding block and the bush. 제 1 항에 있어서,
상기 가이드 부재의 캠홀은,
상향 또는 하향 경사를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 유니트용 크리너.The method of claim 1,
The cam hole of the guide member,
Cleaner for probe unit, characterized in that formed to have an upward or downward slope. 제 1 항에 있어서,
상기 샌딩 블록의 샌딩 부재는,
샌딩 페이퍼, 브러쉬, 합성수지중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 프로브 유니트용 크리너.The method of claim 1,
The sanding member of the sanding block,
Cleaner for probe unit, characterized in that any one selected from sanding paper, brush, synthetic resin. 제 1 항에 있어서,
상기 Z축 조절 블록은,
상기 가이드 부재의 캠홀에 삽입되어 회전되는 캠 플로워 베어링과;
상기 캠 플로워 베어링이 측면에 고정 설치되고, Z축 조절 볼트가 수직으로 관통 설치되며, 양단에 수직 방향으로 핀홀이 형성되는 승하강 부재; 및
저면이 상기 베이스 플레이트에 고정 설치되고, 상면 양단에 상기 승하강 부재의 핀홀와 대응되는 위치에 핀이 돌출 형성되며, 상기 핀이 상기 승하강 부재의 핀홀에 삽입되고, 상기 Z축 조절 볼트가 결합되는 고정 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 유니트용 크리너.The method of claim 1,
The Z-axis control block,
A cam follower bearing inserted into the cam hole of the guide member and rotating;
An elevating member in which the cam follower bearing is fixed to the side, the Z-axis adjusting bolt is vertically penetrated, and pin holes are formed at both ends in a vertical direction; And
A bottom surface is fixedly installed on the base plate, and pins protrude from positions corresponding to the pinholes of the elevating member at both ends of the upper surface, the pins are inserted into the pinholes of the elevating member, and the Z axis adjusting bolt is coupled. Cleaner for a probe unit, characterized in that consisting of a fixing member.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102433367B1 (en) * 2021-01-22 2022-08-18 주식회사 디앤에스시스템 Jig for fixing position of test probe and positioning apparatus having the same

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070033129A (en) * 2005-09-20 2007-03-26 세메스 주식회사 Apparatus for washing chuck for wafer
KR20100089786A (en) * 2009-02-04 2010-08-12 호야 가부시키가이샤 Stage cleaner, lithography apparatus and substrate processing apparatus
KR20110086679A (en) * 2011-07-12 2011-07-29 주식회사 씨이텍 Dust removing apparatus attachable to wire bonding equipment

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070033129A (en) * 2005-09-20 2007-03-26 세메스 주식회사 Apparatus for washing chuck for wafer
KR20100089786A (en) * 2009-02-04 2010-08-12 호야 가부시키가이샤 Stage cleaner, lithography apparatus and substrate processing apparatus
KR20110086679A (en) * 2011-07-12 2011-07-29 주식회사 씨이텍 Dust removing apparatus attachable to wire bonding equipment

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